JP2002172791A - 圧電素子の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電極を等幅にすることの出来る圧電素子の製
造方法を提供すること。 【解決手段】 スクリーン印刷により電極２４等を印刷
する際に、一度試し刷りを行い、印刷位置による電極パ
ターン幅の不均一分布を測定する。そして、前記測定結
果に応じて、前記不均一を解消するように製版における
電極パターンに対応する孔部の幅の修正を行い、電極の
印刷を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電式インクジェ
ットプリンタヘッドにおける圧電素子の製造方法の技術
分野に属する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェットプリンタに用いられてい
るインクジェットプリンタヘッドにおいて、キャビティ
の圧力室に隣接して設けられた圧電素子を用いて、この
圧電素子に電圧を印加することで圧力室の容積を小さく
してインクをオリフィスから噴射させて印刷を行う圧電
式インクジェットプリンタヘッドが知られている。

【０００３】この圧電式インクジェットプリンタヘッド
では、シート状の圧電セラミック層上に、スクリーン印
刷により内部電極層を印刷すると共に、各圧電セラミッ
ク層及び電極層を設けていないセラミックス層等を交互
に積層してプレスして焼成し、焼成後、別途接着剤等を
用いて変形拘束材を接着して製造していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来の圧電素子の製造方法では、スクリーン印刷による電
極の印刷工程において、印刷のにじみ、かすれ等が発生
し、電極幅が不均一になるという問題があった。

【０００５】つまり、場所によって電極幅が異なるた
め、各圧力室に対応する圧電素子の電気的特性が異な
り、圧電素子の変形量が異なるため、均一な吐出特性が
得られないという問題があった。また、同時に、複数個
のインクジェットプリンタヘッド分の圧電素子を製造す
る場合には、ヘッドごとに吐出特性がばらつくという問
題があった。

【０００６】本発明は、前記問題に鑑みてなされたもの
で、電極を等幅にすることの出来る圧電素子の製造方法
を提供することを課題としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の圧電素子
の製造方法は、前記課題を解決するために、圧力室を形
成するキャビティプレートに接着取り付けされ、当該キ
ャビティプレートと共にインクジェットプリンタのヘッ
ドを形成する圧電素子の製造方法であって、電極パター
ンに応じて孔部を有する製版を形成する工程と、前記製
版を用いて電極形成部材を試し刷りする工程と、前記試
し刷りの後、印刷位置による電極パターン幅の不均一分
布を測定する工程と、前記測定結果に応じて、前記不均
一を解消するように前記孔部の幅の修正を行う工程と、
前記修正した製版を用いて、圧電材料からなるシート状
部材上に電極パターンを形成する工程と、前記電極パタ
ーンが形成されたシート状部材を積層する工程と、前記
積層されたシート状部材を、表面が平面状の支持部材に
載置する工程と、前記載置されたシート状部材を焼結す
る工程とを備えたことを特徴とする。

【０００８】請求項１記載の圧電素子の製造方法によれ
ば、まず、電極パターンに応じて孔部を有する製版を形
成する。次に、前記製版を用いて電極形成部材を試し刷
り。そして、前記試し刷りの後、印刷位置による電極パ
ターン幅の不均一分布を測定し、この測定結果に応じ
て、前記不均一を解消するように前記孔部の幅の修正を
行う。次に、前記修正した製版を用いて、圧電材料から
なるシート状部材上に、電極パターンを形成する。そし
て、前記電極パターンが形成されたシート状部材を積層
し、この積層されたシート状部材を、表面が平面状の支
持部材に載置して、この載置されたシート状部材を焼結
する。このようにして、圧電素子を製造する。従って、
上述のように実際に測定した不均一分布に基づいて前記
製版の孔部の修正が行われているため、製造後の圧電素
子においては、各電極パターン幅は等しくなり、各圧力
室に対応した圧電素子あるいは各ヘッドごとの圧電素子
の電気的特性は均一なものとなり、圧電素子の変位量も
均一なものとなる。その結果、インクの吐出性能が均一
な圧電素子を提供される。

【０００９】請求項２記載の圧電素子の製造方法は、前
記課題を解決するために、請求項１記載の圧電素子の製
造方法において、前記製版は、前記孔部が一の圧電素子
について複数箇所に並設されて孔部群を形成すると共
に、複数の圧電素子を一度に製造するように、前記孔部
群が各圧電素子毎に複数箇所に並設されており、前記不
均一を解消するための孔部の修正工程は、各孔部群毎に
行われる工程であり、前記焼結後、圧電素子毎に切り離
す工程をさらに有することを特徴とする。

【００１０】請求項２記載の圧電素子の製造方法によれ
ば、前記製版における孔部は、一の圧電素子について、
複数箇所に並設されており、孔部群を形成している。ま
た、前記孔部群は、複数の圧電素子を一度に製造するよ
うに、各圧電素子毎に複数箇所に並設されている。そし
て、前記不均一を解消するための孔部の修正工程は、各
孔部群毎に行われ、前記一度に製造された複数の圧電素
子は、前記焼結後、圧電素子毎に切り離される。従っ
て、一度に複数の圧電素子を製造する場合でも、各々の
圧電素子において、電極幅の均一化が図られることにな
る。

【００１１】請求項３記載の圧電素子の製造方法は、前
記課題を解決するために、請求項１または２記載の圧電
素子の製造方法において、前記各電極パターン幅は、２
５０μｍ以下に設定されていることを特徴とする。

【００１２】請求項３記載の圧電素子の製造方法によれ
ば、前記各電極パターン幅は、２５０μｍ以下に設定さ
れているので、非常の狭ピッチの圧電素子の製造を可能
にする。但し、２５０μｍ以下と電極幅が小さい場合に
は、各電極幅の大きさの違いが各電極の静電容量に与え
る影響が大きくなるが、上述したように、電極幅は均一
になるので、２５０μｍ以下と電極幅が小さい場合で
も、各電極の静電容量を均一に揃える。

【００１３】請求項４記載の圧電素子の製造方法は、請
求項１ないし３のいずれか１記載の圧電素子の製造方法
において、前記電極パターンを形成する工程は、スクリ
ーン印刷法を用いる工程であることを特徴とする。

【００１４】請求項４記載の圧電素子の製造方法によれ
ば、前記電極パターンは、スクリーン印刷法を用いて形
成されるので、一度に多量の電極パターンを容易に形成
可能であり、しかも、上述のように各々の電極パターン
幅の均一化が図られる。

【００１５】請求項５記載の圧電素子の製造方法は、前
記課題を解決するために、請求項１ないし４のいずれか
１記載の圧電素子の製造方法において、前記電極パター
ンを形成する電極材料はＡｇ−Ｐｄであることを特徴と
する。

【００１６】請求項５記載の圧電素子の製造方法によれ
ば、前記電極パターンは、Ａｇ−Ｐｄにより形成される
ので、微小な幅の電極パターンであっても容易に形成が
可能であり、また、良好な電気特性が得られる。但し、
印刷時において、にじみ、又は、かすれを生じさせる傾
向があるが、上述したような試し刷り工程を経て、各電
極パターン幅は均一に形成される。従って、本発明によ
れば、均一な幅の電極パターンが容易に形成される。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を添付図面に基づいて説明する。以下の説明は、圧電式
インクジェットヘッドに対して本発明を適用した場合の
実施形態である。

【００１８】記録媒体に沿って走行する公知のキャリッ
ジ（図示せず）に搭載される本体フレーム１は、図３に
示すように、上面開放の略箱状に形成されており、その
上方から４つのインクカートリッジ（図示せず）を着脱
自在に装着できる搭載部３を有し、該搭載部３の一側部
位３ａには、各インクカートリッジのインク放出部（図
示せず）に接続できるインク供給通路４ａ、４ｂ、４
ｃ、４ｄが本体フレーム１の底板５の下面まで連通して
いる。なお、この搭載部３の一側部位３ａの上面には、
各インクカートリッジのインク放出部（図示せず）と密
接できるようにしたゴム製等のパッキング（図示せず）
が配置されている。

【００１９】底板５は、搭載部３から一段下に突出する
ようにして水平状に形成され、図１及び図２並びに図４
に示すように、該底板５の下面側には、後述するフロン
トヘッドユニット６を２つ並列させて配置するための２
つの支持部８を段付き状に形成する。該各支持部８に
は、ＵＶ接着剤にて固定するための複数の空所９ａ、９
ｂが上下に貫通するように形成されている。

【００２０】図５は、フロントヘッドユニット６の斜視
図を示すものである。図６は、フロントヘッドユニット
の断面図を示すものである。フロントヘッドユニット６
は、図５及び図６に示すように、複数枚の積層型のキャ
ビティプレート１０と、該キャビティプレート１０に対
して接着剤または接着シートを介して接着・積層される
プレート型の圧電アクチュエータ２０と、その上面に外
部機器との電気的接続のために、フレキシブルフラット
ケーブル４０が接着剤にて重ね接合されて構成されてお
り、最下層のキャビティプレート１０の下面側に開口さ
れたノズル１５から下向きにインクが吐出する。

【００２１】図７は、キャビティプレート１０の分解斜
視図を示すものである。図８は、キャビティプレート１
０の分解拡大斜視図を示すものである。キャビティプレ
ート１０は、図８に示すように、ノズルプレート１１、
２枚のマニホールドプレート１２、スペーサプレート１
３、ペースプレート１４の５枚の薄い金属板をそれぞれ
接着剤にて重ね接合して積層した構造である。本実施形
態では、これらの各プレート１１〜１４は、４２％ニッ
ケル合金鋼板（４２合金）製で、５０μｍ〜１５０μｍ
程度の厚さを有している。なお、これらの各プレート１
１〜１４は、金属に限らず、例えば、樹脂により形成し
てもよい。

【００２２】ノズルプレート１１には、微小径（本実施
形態では、２５μｍ程度）の複数のインク吐出用のノズ
ル１５が、当該ノズルプレート１１における長手方向の
中心線１１ａ、１１ｂに沿って、微小ピッチＰの間隔で
千鳥状配列で穿設されている。２枚のマニホールドプレ
ート１２に対するノズルプレート１１及びスペーサプレ
ート１３の積層により密閉される構造になっている。

【００２３】また、ベースプレート１４には、図８に示
すように、長手方向の中心線１４ａ、１４ｂに対して直
交する方向に延びる細幅の複数の圧力室１６が千鳥状配
列で穿設されている。また、ベースプレート１４には、
各圧力室１６と接続される絞り部１６ｄが穿設されてい
る。さらに当該絞り部１６ｄと接続されるインク供給孔
１６ｂが穿設されている。各インク供給孔１６ｂは、ス
ペーサプレート１３における左右両側部位に穿設された
インク供給孔１８を介して、マニホールドプレート１２
における共通圧力室１２ａに連通している。ここで、各
絞り部１６ｄにおけるインクが流れる方向と直交する断
面積は、各圧力室１６における当該断面積より小さい構
造となっている。これは、絞り部１６ｄの断面積を小さ
くすることにより、流路抵抗を増すためである。

【００２４】各圧力室１６の一端部１６ａは、ノズルプ
レート１１における千鳥状配列のノズル１５に、スペー
サプレート１３及び２枚のマニホールドプレート１２に
同じく千鳥状配列で穿設されている微小径の貫通孔１７
を通って、各圧力室１６に対応するノズル１５に至るこ
ととなる。

【００２５】図９は、圧電アクチュエータ２０の分解拡
大斜視図を示すものである。圧電アクチュエータ２０
は、図９に示すように、３枚のセラミックスシート２
１、２２、２３とを積層した構造である。最下段のシー
ト２１の上面には、キャビティプレート１０における各
圧力室１６毎に対応した細幅の複数の駆動電極２４が、
千鳥状配列で設けられている。また、各駆動電極２４の
一端部２４ａは、圧電アクチュエータ２０の表裏面２０
ａ、２０ｂと直交する左右側面２０ｃに露出するように
形成されている。

【００２６】次段のシート２２の上面には、複数の圧力
室１６に対して共通のコモン電極２５が、設けられてい
る。コモン電極２５の一端部２５ａも、各駆動電極２４
の一端部２４ａと同様、左右側面２０ｃに露出するよう
に形成されている。

【００２７】最上段のシート２３の上面には、各駆動電
極２４の各々に対する表面電極２６と、コモン電極２５
に対する表面電極２７とが、左右側面２０ｃに沿って並
ぶように設けられている。

【００２８】また、左右側面２０ｃには、各駆動電極２
４の一端部２４ａに第１の凹み溝３０が、コモン電極２
５の一端部２５ａに第２の凹み溝３１が、それぞれ積層
方向に延びるように設けられている。各第１の凹み溝３
０内には、図６に示すように、各駆動電極２４と各表面
電極２６とを電気的に接続する側面電極３２が、第２の
凹み溝３１内には、コモン電極２５と表面電極２７とを
電気的に接続する側面電極３３が、それぞれ形成されて
いる。なお、符号２８及び２９の電極は、捨てパターン
の電極である。

【００２９】各駆動電極２４に対応する位置とコモン電
極２５とに挟まれたシート２２の各領域は、分極処理さ
れて圧電特性が付与され、各圧力室１６に対応した圧力
発生部となる。

【００３０】以上のような構成のキャビティプレート１
０と圧電アクチュエータ２０とは、キャビティプレート
１０における各圧力室１６と、圧電アクチュエータ２０
における駆動電極２４とが対応するように積層される。
また、圧電アクチュエータ２０における上側の表面２０
ａには、フレキシブルフラットケーブル４０が重ね押圧
されることにより、このフレキシブルフラットケーブル
４０における各種の配線パターン（図示せず）が、各表
面電極２６、２７に電気的に接合される。

【００３１】このような構成において、圧電アクチュエ
ータ２０における各駆動電極２４のうち任意の駆動電極
２４と、コモン電極２５との間に電圧を印加することに
より、圧電シート２２のうち電圧を印加した駆動電極２
４の部分、即ち、圧力発生部に、圧電効果による積層方
向の歪みが発生する。そして、この歪みによる圧力に
て、各駆動電極２４に対応する圧力室１６の内容積が縮
小されることにより、この圧力室１６内のインクが、ノ
ズル１５から液滴状に吐出して、所定の印字が行われ
る。

【００３２】ここで、前記圧電アクチュエータ２０の製
造方法について説明する。まず、強誘電性を有するチタ
ン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ（ＰｂＴｉＯ₃・ＰｂＺｒ
Ｏ₃））系のセラミック粉末、バインダ、溶剤を混合す
る。

【００３３】次に、前記混合液を、ＰＥＴ（ポリエチレ
ンテレフタレート）等のプラスチックフィルム上に、ド
クターブレード法を用いて所定の厚さに塗布し、３枚の
セラミックスシート２１、２２、２３となるグリーンシ
ートを形成する。各グリーンシートは図１０に示すよう
に圧電アクチュエータ複数個分の大きさである。

【００３４】さらに、図１０に示すように、前記グリー
ンシートの駆動電極２４等の電極となる部分に、Ａｇ−
Ｐｄからなる金属材料をスクリーン印刷により印刷す
る。

【００３５】そして、このようにして形成したグリーン
シートを積層し、加熱プレスし、グリーンシートの積層
ブロックを得る。

【００３６】次に、積層ブロックを所定の温度で加熱す
ることにより、バインダーを焼き飛ばした後、焼成炉に
より所定の温度で焼成する。

【００３７】そして、ブロックを所定の大きさに切断
し、個々の圧電アクチュエータ２０を得る。

【００３８】次に、個々の圧電アクチュエータ２０に側
面電極３２、３３を印刷し、焼成炉を用いて前記側面電
極３２、３３の焼付を行う。

【００３９】そして、電極２４、２５に高電圧を印加す
ることで、両電極間のセラミックスシート２１の分極処
理を行う。

【００４０】このようにして、本実施形態の圧電式イン
クジェットヘッドに用いられる圧電アクチュエータ２０
が製造される。

【００４１】以上のような製造方法によれば、２５０μ
ｍ以下という微細な電極幅を有する圧電アクチュエータ
２０を得ることが出来る。

【００４２】特に、本実施形態においては、上記のよう
な電極の印刷工程において、スクリーン印刷のための製
版に形成した駆動電極２４の印刷用の孔部の幅を、印刷
方向において不均一とすることにより、印刷後の駆動電
極幅を等幅にすることが出来、その結果、圧電アクチュ
エータ２０における変形量が各チャンネルにおいて等し
くなり、電気的特性が各チャンネルにおいて等しい圧電
アクチュエータ２０を製造することが出来る。

【００４３】これに対し、従来の製造方法においては、
製版に形成した駆動電極印刷用の孔部は、全て等しい幅
となるように構成されていたため、図１０に示すように
場所によって電極幅が異なっていた。

【００４４】図１０は、駆動電極２４の印刷工程後にお
けるグリーンシート上の電極幅を示す図である。

【００４５】図１０に示すように、セラミックスのグリ
ーンシート上には、個々の圧電アクチュエータに対応す
る部位毎に、ロケーション番号が印刷されている。

【００４６】駆動電極２４の印刷工程においては、公知
のスクリーン印刷と同様に製版上にインクを供給し、塗
布部材により一方向に塗布が行われるが、この方向は、
図１０に示すロケーション番号１及び７から、ロケーシ
ョン番号６及び１２の方向に設定されている。

【００４７】従って、製版の孔部の幅が全て等しい場合
には、前記の方向にインクを塗布した場合には、ロケー
ション番号１の電極２４の幅は、ロケーション番号６の
電極２４の幅よりも太くなり、逆に、ロケへション番号
６の電極２４の幅は、ロケーション番号１の電極２４の
幅よりも細くなってしまう。このように、電極幅が不均
一になってしまっていた。

【００４８】しかしながら、本実施形態においては、ロ
ケーション番号１及び７に対応する製版の孔部の幅の方
が、ロケーション番号６及び１２に対応する製版の孔部
の幅よりも細くなるように構成した。

【００４９】そして、各ロケーション番号に対応する製
版の孔部の幅は、一度試し刷りをして、電極幅のばらつ
きの傾向を調べた上で、印刷後の電極幅が全て等しくな
るように、その大きさを設定した。

【００５０】その結果、駆動電極２４の印刷工程におい
ても、全ての電極幅を等しくすることが出来た。その結
果、圧電アクチュエータ２０における電気的特性が各ヘ
ッドごとあるいは各圧力室において等しくなり、インク
吐出性能が各ヘッドごとあるいは各圧力室において等し
い圧電アクチュエータ２０を製造することが出来た。

【００５１】特に、本実施形態においては、電極の幅は
２５０μｍ以下、好ましくは１５０μｍという微細なも
のであるため、電極の印刷時における電極幅の変動が、
静電容量の変動に与える影響は大きい。しかしながら、
上述したように、本実施形態によれば、全ての電極幅が
均一であるため、２５０μｍ以下、好ましくは１５０μ
ｍという微細な電極を用いる場合でも、各電極の静電容
量を均一にし、各電極における電気的特性を揃えること
が出来るという極めて優れた効果を奏する。

【００５２】

【発明の効果】請求項１記載の圧電素子の製造方法によ
れば、圧力室を形成するキャビティプレートに接着取り
付けされ、当該キャビティプレートと共にインクジェッ
トプリンタのヘッドを形成する圧電素子の製造方法にお
いて、電極パターンに応じて孔部を有する製版を形成す
る工程と、前記製版を用いて電極形成部材を試し刷りす
る工程と、前記試し刷りの後、印刷位置による電極パタ
ーン幅の不均一分布を測定する工程と、前記測定結果に
応じて、前記不均一を解消するように前記孔部の幅の修
正を行う工程と、前記修正した製版を用いて、圧電材料
からなるシート状部材上に電極パターンを形成する工程
とを設けたので、製造後の圧電素子において、各電極パ
ターン幅を等しくすることが出来、各チャンネルにおけ
る電気的特性を均一にすることが出来る。従って、各圧
力室あるいは各ヘッドにおける圧電素子の変位量が均一
になり、インクの吐出性能が均一な圧電素子を提供する
ことが出来る。

【００５３】請求項２記載の圧電素子の製造方法によれ
ば、前記製版は、前記孔部が一の圧電素子について複数
箇所に並設されて孔部群を形成すると共に、複数の圧電
素子を一度に製造するように、前記孔部群が各圧電素子
毎に複数箇所に並設されており、前記不均一を解消する
ための孔部の修正工程は、各孔部群毎に行われる工程で
あり、前記焼結後、圧電素子毎に切り離す工程をさらに
有するので、一度に複数の圧電素子を製造する場合で
も、各々の圧電素子において、電極幅の均一化を図るこ
とが出来る。

【００５４】請求項３記載の圧電素子の製造方法によれ
ば、各電極パターン幅は、２５０μｍ以下に設定されて
いるので、電極幅が均一で、各電極の静電容量が均一に
揃えられた、非常の狭ピッチの圧電素子を容易に製造す
ることが出来る。

【００５５】請求項４記載の圧電素子の製造方法によれ
ば、前記電極パターンは、スクリーン印刷法を用いて形
成されるので、一度に多量の電極パターンを容易に形成
可能であり、しかも、上述のように各々の電極パターン
幅の均一化を図ることが出来る。

【００５６】請求項５記載の圧電素子の製造方法によれ
ば、前記電極パターンは、Ａｇ−Ｐｄにより形成される
ので、均一な幅の電極パターンを容易に形成することが
出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態における圧電式インクジェ
ットヘッドのノズル側を上にした斜視図である。

【図２】図１の圧電式インクジェットヘッドの部品の分
解斜視図である。

【図３】図１の圧電式インクジェットヘッドを上方から
見た部品の分解斜視図である。

【図４】図１の圧電式インクジェットヘッドの本体フレ
ームの底板を下面側から見た下面図である。

【図５】図１の圧電式インクジェットヘッドにおけるフ
ロントヘッドユニットの斜視図である。

【図６】図１の圧電式インクジェットヘッドにおけるフ
ロントヘッドユニットの断面図である。

【図７】図１の圧電式インクジェットヘッドにおけるキ
ャビティプレートの分解斜視図を示すものである。

【図８】図１の圧電式インクジェットヘッドにおけるキ
ャビティプレートの分解拡大斜視図を示すものである。

【図９】図１の圧電式インクジェットヘッドにおける圧
電アクチュエータの分解拡大斜視図を示すものである。

【図１０】従来の印刷工程後における圧電セラミックス
シート上の電極幅を示す図である。

【符号の説明】

２０ 圧電アクチュエータ ２１、２２ 圧電シート ２３ 絶縁シート ２４ 駆動電極 ２５ コモン電極 ２６、２７ 表面電極 ３０、３１ 凹み溝 ３２、３３ 側面電極

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧力室を形成するキャビティプレートに
   接着取り付けされ、当該キャビティプレートと共にイン
   クジェットプリンタのヘッドを形成する圧電素子の製造
   方法であって、 電極パターンに応じて孔部を有する製版を形成する工程
   と、 前記製版を用いて電極形成部材を試し刷りする工程と、 前記試し刷りの後、印刷位置による電極パターン幅の不
   均一分布を測定する工程と、 前記測定結果に応じて、前記不均一を解消するように前
   記孔部の幅の修正を行う工程と、 前記修正した製版を用いて、圧電材料からなるシート状
   部材上に電極パターンを形成する工程と、 前記電極パターンが形成されたシート状部材を積層する
   工程と、 前記積層されたシート状部材を、表面が平面状の支持部
   材に載置する工程と、 前記載置されたシート状部材を焼結する工程と、 を備えたことを特徴とする圧電素子の製造方法。
2. 【請求項２】 前記製版は、前記孔部が一の圧電素子に
   ついて複数箇所に並設されて孔部群を形成すると共に、
   複数の圧電素子を一度に製造するように、前記孔部群が
   各圧電素子毎に複数箇所に並設されており、前記不均一
   を解消するための孔部の修正工程は、各孔部群毎に行わ
   れる工程であり、前記焼結後、圧電素子毎に切り離す工
   程をさらに有することを特徴とする請求項１記載の圧電
   素子の製造方法。
3. 【請求項３】 前記各電極パターン幅は、２５０μｍ以
   下に設定されていることを特徴とする請求項１または２
   記載の圧電素子の製造方法。
4. 【請求項４】 前記電極パターンを形成する工程は、ス
   クリーン印刷法を用いる工程であることを特徴とする請
   求項１ないし３のいずれか１記載の圧電素子の製造方
   法。
5. 【請求項５】 前記電極パターンを形成する電極材料は
   Ａｇ−Ｐｄであることを特徴とする請求項１ないし４の
   いずれか１記載の圧電素子の製造方法。