JP2002162449A - フェイル解析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フェイルビットマップ同士の重ね合わせに関
連する操作を簡略化することができるフェイル解析装置
を提供すること。 【解決手段】 レイヤ管理部８６によって表示されたレ
イヤウインドウによって、複数のフェイルビットマップ
と各レイヤとが関連付けられる。表示範囲のズームや移
動が指示されたときに、表示範囲変更部８７は、これら
の関連付けが行われた各フェイルビットマップの画像が
連動するように、ズーム処理や移動処理を行う。また、
レイヤウインドウを用いることにより、各レイヤ間の論
理演算の内容が設定可能であり、画像合成部８８は、設
定された論理演算を実行した結果画像を作成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体メモリの記
憶セルのフェイル分布状態の測定結果を表示するフェイ
ル解析装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体試験装置は、被試験デバイス（Ｄ
ＵＴ）としての半導体メモリ（以下、単に「メモリ」と
称する）内の各記憶セルに対してデータの読み書きを行
うことにより、各記憶セルの不良を解析する。一般に、
半導体試験装置は、ＤＵＴから読み出されたデータと所
定の期待値データとを比較してパス・フェイルの判定を
行い、この結果をフェイルメモリに格納する。このよう
にしてフェイルメモリに格納されたフェイル情報を、ワ
ークステーション等によって構成されるフェイル解析装
置によって収集してその内容を調べることにより、この
ＤＵＴに対する各種の不良解析が行われる。

【０００３】例えば、フェイル解析装置は、所定のメモ
リデバイス評価ツールを用いることにより、大容量のＤ
ＲＡＭのフェイル分布状態をフィジカルマップあるいは
ロジカルマップとして表示することができる。フィジカ
ルマップは、物理アドレスＸ、Ｙを座標として用いる２
次元のフェイルビットマップであり、メモリの不良記憶
セルの物理的配置を確認するために用いられる。また、
ロジカルマップは、論理アドレスＸ、ＹとＩ／Ｏ番号と
を座標として用いる３次元のフェイルビットマップであ
り、論理アドレスＺを用いる場合には４次元になること
もある。上述したフェイルメモリから読み出されるフェ
イル情報に基づいてこのロジカルマップが生成される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のフェイル解析装置で生成されるロジカルマップやフ
ィジカルマップは、フェイルの傾向を比べる場合等にお
いては互いに重ね合わせることができれば便利である。
このような複数のビットマップの重ね合わせは、従来の
フェイル解析装置では不可能であるか、あるいは限られ
た制限の下で単なる重ね合わせを行うことのみが可能で
あった。例えば、２つのフェイルビットマップの重ね合
わせが可能な場合であっても、これら２つのフェイルビ
ットマップが関連付けられているわけではないため、再
び表示倍率を変えて重ね合わせを行いたい場合には、２
つのフェイルビットマップのそれぞれについて表示倍率
を変更する必要がある。また、フェイルビットマップの
表示領域を移動させたい場合も、２つのフェイルビット
マップが連動して移動するわけではないため、２つのフ
ェイルビットマップのそれぞれについて表示領域を移動
させる必要がある。また、複数のフェイルビットマップ
の組合せを変えて重ね合わせを行う場合には、組合せを
変える毎に重ね合わせの対象となる全てのフェイルビッ
トマップについてデータの読み込みから繰り返すことに
なる。また、複数のフェイルビットマップを重ね合わせ
た場合に、重ねる順番のみを変更することができなかっ
たため、結局順番を変えて再描画していた。このよう
に、従来のフェイル解析装置を用いてフェイルビットマ
ップの重ね合わせを行う場合には、何らかの変更を行う
場合の操作が煩雑になるという問題があった。

【０００５】また、例えば２つのフェイルビットマップ
を比べたときにフェイル箇所がどの程度一致しているか
等を確かめるような場合には、重ね合わせたフェイルビ
ットマップ同士の演算を行う必要があるが、従来のフェ
イル解析装置ではこのようなフェイルビットマップ同士
の演算を行うことは不可能であった。

【０００６】本発明は、このような点に鑑みて創作され
たものであり、その目的は、フェイルビットマップ同士
の重ね合わせに関連する操作を簡略化することができる
フェイル解析装置を提供することにある。また、本発明
の他の目的は、重ね合わせた複数のビットマップを用い
て演算を行うことができるフェイル解析装置を提供する
ことにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明のフェイル解析装置は、半導体試験装置
によって半導体メモリを試験した結果を表示する場合
に、半導体メモリに対応する試験結果を表す複数のフェ
イルビットマップ画像を生成するフェイルビットマップ
作成手段と、複数のフェイルビットマップ画像のそれぞ
れを複数のレイヤに対応させるとともに各レイヤ間の関
連付けを行うレイヤ管理手段と、レイヤ管理手段によっ
て複数のレイヤ間の関連付けが行われた複数のフェイル
ビットマップ画像を重ね合わせる処理を行う画像重ね合
わせ手段と、画像重ね合わせ手段によって重ね合わされ
た画像を表示する表示手段とを備えている。重ね合わさ
れた複数のフェイルビットマップ画像のそれぞれが複数
のレイヤに対応しており、各レイヤ間の関連付けがなさ
れているため、表示画像の内容変更を行う場合、例えば
表示倍率を変更したり表示範囲を移動したりする場合
に、各フェイルビットマップ画像の相互の関係を維持し
ながら表示内容を変更することができる。このため、各
フェイルビットマップ画像に対して個別に移動指示を行
ったり表示倍率の変更指示を行う必要がなく、操作を大
幅に簡略化することができる。

【０００８】また、上述したレイヤ管理手段は、レイヤ
毎にフェイルビットマップ画像の表示／非表示状態を管
理することが望ましい。これにより、重ね合わされた各
フェイルビットマップ毎に表示を消したり再表示したり
する際に、その都度データの読み込みや描画処理を繰り
返すことが不要になり、処理および操作の簡略化が可能
になる。

【０００９】また、上述したレイヤ管理手段は、関連付
けによって、複数のレイヤのそれぞれを対象とした論理
演算の内容を設定することが望ましい。各レイヤ間の関
連付けを行う際に論理演算の内容が設定されるため、こ
の設定内容にしたがって各フェイルビットマップを対象
にした論理演算が可能になる。

【００１０】また、上述したフェイルビットマップの表
示範囲の変更を指示する操作手段と、この操作手段によ
って表示範囲の変更が指示されたときにレイヤ管理手段
によって関連付けられた複数のレイヤに対応する複数の
フェイルビットマップを対象に表示範囲の変更を実行す
る表示範囲変更手段とをさらに備えることが望ましい。
これにより、操作手段による１回の変更指示を行うこと
により、複数のフェイルビットマップの表示範囲を同時
に変更することができる。

【００１１】また、上述したレイヤ管理手段は、複数の
フェイルビットマップ画像以外に試験結果に関連しない
画像を含めて複数のレイヤのそれぞに対応させて関連付
けを行うことが望ましい。例えば、所定の枠や罫線ある
いは文字等の画像を考えた場合に、重ね合わされた複数
のフェイルビットマップ画像にこの画像をさらに付加す
ることにより、表示内容の見やすさ等を向上させること
ができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した一実施形
態のフェイル解析装置について、図面を参照しながら説
明する。図１は、本実施形態のフェイル解析装置が接続
される半導体試験装置の構成を示す図である。図１に示
すように、半導体試験装置１００は、タイミング発生器
１１０、パターン発生器１１２、波形整形器１１４、論
理比較器１１６、ＡＦＭ（アドレスフェイルメモリ）１
１８、ＣＦＭ（コンパクトフェイルメモリ）１２０、テ
スタ処理部１２２、通信制御部１２４、フィジカル変換
部１２６を含んで構成されている。

【００１３】パターン発生器１１２によって発生したア
ドレスとデータが波形整形器１１４により波形整形され
てＤＵＴ１３０に入力される。論理比較器１１６は、Ｄ
ＵＴ１３０から読み出されたデータと、パターン発生器
１１２から出力される期待値とを比較して、パス・フェ
イルの判定を行う。

【００１４】ＡＦＭ１１８は、論理比較器１１６より出
力されるフェイル信号と、パターン発生器１１２より出
力されるアドレス信号により、各アドレス毎のフェイル
情報を格納する。これらの一連の動作は全てタイミング
発生器１１０から各部に入力されるシステムクロックに
同期して行われる。このＡＦＭ１１８に格納されるフェ
イル情報は、論理フェイルビットマップデータであり、
各Ｉ／Ｏ番号毎にＸアドレスとＹアドレスによって特定
される各記憶セルについてパスかフェイルかを示すビッ
トデータ（例えば、パスが“０”に、フェイルが“１”
に対応する）が格納されている。

【００１５】また、ＣＦＭ１２０は、ＡＦＭ１１８の内
容を縮小したフェイル情報を格納する。例えば、各Ｉ／
Ｏ番号毎に、Ｘアドレスがｎ分割、Ｙアドレスがｍ分割
され、各分割領域に対応する１ビットデータが得られ
る。具体的には、この１ビットデータの値は、Ｘアドレ
スの該当分割領域およびＹアドレスの該当分割領域に対
応するＡＦＭ１１８の複数のビットデータの論理和を演
算することにより求められる。すなわち、各分割領域で
特定される複数のビットデータの中に１つでもフェイル
を示す“１”が含まれる場合には、ＣＦＭ１２０内の対
応するビットデータがフェイルを示す“１”に設定さ
れ、各分割領域で特定される複数のビットデータの全て
がパスを示す“０”である場合には、ＣＦＭ１２０内の
対応するビットデータがパスを示す“０”に設定され
る。なお、以下の説明では、ＡＦＭ１１８から読み出さ
れるデータを「ＡＦＭデータ」あるいは「詳細ロジカル
データ」、ＣＦＭ１２０から読み出されるデータを「Ｃ
ＦＭデータ」あるいは「縮小ロジカルデータ」と称して
説明を行うものとする。

【００１６】フィジカル変換部１２６は、ＡＦＭ１１８
に格納されている詳細ロジカルデータに基づいてフィジ
カル変換処理を行うことにより、フィジカルフェイルビ
ットマップデータ（以後、「詳細フィジカルデータ」と
称する）を生成する。このフィジカル変換部１２６は、
専用のハードウエアによって構成されており、フィジカ
ル変換処理を高速に実行することができる。

【００１７】また、テスタ処理部１２２は、オペレーテ
ィングシステム（ＯＳ）によってテストプログラムを実
行して所定の試験を実施するために半導体試験装置１０
０の全体を制御する。例えば、ＡＦＭデータに基づいて
ＣＦＭデータを生成する処理はこのテスタ処理部１２２
によって行われる。通信制御部１２４は、半導体試験装
置１００に接続されたフェイル解析装置１０との間で各
種データの送受信を行う。

【００１８】図２は、本実施形態のフェイル解析装置１
０の詳細構成を示す図である。図２に示すように、フェ
イル解析装置１０は、通信制御部１２、ロジカルマップ
格納部１４、フィジカル変換部１６、フィジカルマップ
格納部１８、縮小処理部２０、詳細データ取得部３０、
縮小データ取得部４０、メインビューア作成部８０、ロ
ジカルビューア作成部８２、フィジカルビューア作成部
８４、レイヤ管理部８６、表示範囲変更部８７、画像合
成部８８、表示制御部９０、表示装置９４、操作部９
６、ＧＵＩ処理部９８を備えている。

【００１９】通信制御部１２は、半導体試験装置１００
との間で各種データの送受信を行う。ロジカルマップ格
納部１４は、ＤＵＴ１３０に対する試験によって得られ
た詳細ロジカルデータおよび縮小ロジカルデータを格納
する。フィジカル変換部１６は、詳細ロジカルデータに
基づいてフィジカル変換処理を行うことにより、フィジ
カルフェイルビットマップデータ（以後、「詳細フィジ
カルデータ」と称する）を生成する。フィジカルマップ
格納部１８は、フィジカル変換部１６によるフィジカル
変換処理によって得られた詳細フィジカルデータを格納
する。縮小処理部２０は、詳細フィジカルデータの内容
を縮小したビットマップデータ（以後、「縮小フィジカ
ルデータ」と称する）を生成する縮小処理を行う。この
縮小処理は、上述した半導体試験装置１００においてＡ
ＦＭデータからＣＦＭデータを生成する場合の処理と同
じである。

【００２０】詳細データ取得部３０は、詳細ロジカルデ
ータと詳細フィジカルデータを取得する。本実施形態の
フェイル解析装置１０は、半導体試験装置１００から直
接詳細ロジカルデータや縮小ロジカルデータを取得しな
がら各種の解析を行う「テスタモード」と、一旦保存し
た詳細ロジカルデータ等に基づいて各種の解析を行う
「ファイルモード」の２種類の解析モードを有する。

【００２１】具体的には、詳細ロジカルデータは、テス
タモード時には半導体メモリ１００内のＡＦＭ１１８か
らＡＦＭデータを読み出すことによって取得され、ファ
イルモード時にはロジカルマップ格納部１４から該当す
るデータを読み出すことにより取得される。また、詳細
フィジカルデータは、テスタモード時には半導体試験装
置１００内のＡＦＭ１１８に格納されている詳細ロジカ
ルデータに基づいてフィジカル変換部１２６によるフィ
ジカル変換処理を行った結果を読み込むことにより取得
され、ファイルモード時にはフィジカルマップ格納部１
８から該当するデータを読み出すことにより取得され
る。

【００２２】また、縮小データ取得部４０は、縮小ロジ
カルデータと縮小フィジカルデータを取得する。具体的
には、縮小ロジカルデータは、テスタモード時には半導
体試験装置１００内のＣＦＭ１２０からＣＦＭデータを
読み出すことにより取得され、ファイルモード時にはロ
ジカルマップ格納部１４から該当するデータを読み出す
ことにより行われる。また、縮小フィジカルデータは、
テスタモード時にはフィジカル変換処理によって得られ
た詳細フィジカルデータに基づいて縮小処理部２０によ
る縮小処理を行うことにより取得され、ファイルモード
時にはフィジカルマップ格納部１８から読み出した詳細
フィジカルデータに基づいて縮小処理部２０による縮小
処理を行うことにより取得される。

【００２３】メインビューア作成部８０は、表示装置９
４にメインビューア・ウインドウを表示するために必要
な描画データを作成する。このメインビューア・ウイン
ドウには、試験対象となった複数個のＤＵＴ１３０の試
験結果が一覧形式で含まれている。

【００２４】ロジカルビューア作成部８２は、表示装置
９４にロジカルビューア・ウインドウを表示するために
必要な描画データを作成する。このロジカルビューア・
ウインドウには、特定のＤＵＴ１３０およびＩ／Ｏ番号
が指定されたときのロジカルフェイルビットマップが含
まれる。

【００２５】また、フィジカルビューア作成部８４は、
表示装置９４にフィジカルビューア・ウインドウを表示
するために必要な描画データを作成する。このフィジカ
ルビューア・ウインドウには、特定のＤＵＴ１３０が指
定されたときのフィジカルフェイルビットマップが含ま
れる。上述したメインビューア・ウインドウ、ロジカル
ビューア・ウインドウ、フィジカルビューア・ウインド
ウの具体例については後述する。

【００２６】ところで、本実施形態のフェイル解析装置
１０では、複数のロジカルマップ同士、あるいは複数の
フィジカルマップ同士を重ね合わせて表示を行うことが
でき、このような画像の重ね合わせを行うためにレイヤ
の概念が導入されている。具体的には、重ね合わせの対
象となるフェイルビットマップ画像のそれぞれを複数の
レイヤのそれぞれに対応させ、各レイヤ間の関連付けを
行っている。

【００２７】レイヤ管理部８６は、各レイヤ毎の設定内
容と各レイヤ間の関連付け内容を管理する。これらの管
理情報の設定は、レイヤ管理部８６によって表示される
レイヤウインドウを用いて行われる。レイヤウインドウ
の具体例については後述する。

【００２８】表示範囲変更部８７は、移動やズーム等の
表示範囲の変更が指示されたときに、レイヤ管理部８６
によって設定された管理情報に基づいて、表示対象とな
っている重ね合わされた全てのフェイルビットマップの
表示範囲の変更を行う。具体的には、管理情報に基づい
て、変更指示がなされた時点で重ね合わされているフェ
イルビットマップを認識するとともに、これらのフェイ
ルビットマップの表示範囲の変更をロジカルビューア作
成部８２あるいはフィジカルビューア作成部８４に指示
する。

【００２９】画像合成部８８は、レイヤ管理部８６によ
って設定された管理情報に基づいて、ロジカルマップ同
士あるいはフィジカルマップ同士を重ね合わせた画像を
表示するために必要な描画データを作成する。表示制御
部９０は、メインビューア作成部８０、ロジカルビュー
ア作成部８２、フィジカルビューア作成部８４、画像合
成部８８のそれぞれによって作成された描画データに基
づいて、表示装置９４に出力する映像信号を生成する。
この表示制御部９０にはＶＲＡＭ（ビデオＲＡＭ）９２
が備わっており、画面上で一番上に表示したいウインド
ウの描画データが格納される。

【００３０】操作部９６は、利用者が各種の指示入力を
行うためのものであり、表示装置９４の表示画面の任意
位置を指定するポインティングデバイスとしてのマウス
や、テンキーやアルファベットキーあるいは各種の記号
キーからなるキーボードが含まれている。ポインティン
グデバイスは、マウス以外のデバイス、例えば入力タブ
レットやタッチパネル等を用いるようにしてもよい。Ｇ
ＵＩ（グラフィカル・ユーザ・インタフェース）処理部
９８は、操作部９６の操作状態に対応するＧＵＩ処理を
実現するためのものである。例えば、メインビューア・
ウインドウ等に含まれる各種のコマンドやボタンがマウ
スを用いてクリックされたときに、対応する処理を判定
し、この処理の依頼を行う。

【００３１】上述したメインビューア作成部８０、ロジ
カルビューア作成部８２、フィジカルビューア作成部８
４がフェイルビットマップ作成手段に、レイヤ管理部８
６がレイヤ管理手段に、表示範囲変更部８７が表示範囲
変更手段に、画像合成部８８が画像重ね合わせ手段に、
表示制御部９０、表示装置９４が表示手段に、操作部９
６、ＧＵＩ処理部９８が操作手段にそれぞれ対応する。

【００３２】本実施形態のフェイル解析装置１０はこの
ような構成を有しており、次にその動作を説明する。図
３は、フェイル解析装置の動作手順を示す流れ図であ
り、主にレイヤウインドウを用いて行った各種の設定内
容を表示に反映させるとともに、重ね合わされた画像の
表示範囲を変更する場合の動作手順が示されている。

【００３３】フェイル解析装置１０が起動されると、レ
イヤ管理部８６は、ロジカルビューア・ウインドウある
いはフィジカルビューア・ウインドウが表示されている
か否かを判定する（ステップ１００）。例えば、ロジカ
ルビューア・ウインドウやフィジカルビューア・ウイン
ドウは、メインビューア・ウインドウを表示させた状態
で所定の操作を行うことにより表示することができる。
次に、メインビューア・ウインドウからロジカルビュー
ア・ウインドウやフィジカルビューア・ウインドウを起
動する場合の具体的な方法を説明する。

【００３４】図４は、フェイル解析装置１０が起動され
た後に表示されるメインビューア・ウインドウの具体例
を示す図である。ＤＵＴデータ表示領域（ａ７） 試験対象となった複数のＤＵＴ１３０のそれぞれの試験
結果を示す結果画像を表示するために用いられる。矩形
で示されたそれぞれの結果画像に含まれる数字がＤＵＴ
番号を示しており、このＤＵＴ番号によって特定された
ＤＵＴ１３０がパスなのかフェイルなのかがこの矩形内
の色によって表現されている。例えば、パスの場合（こ
のＤＵＴ番号に対応する縮小ロジカルデータが全てパス
である場合）には矩形の内部が緑色に着色され、フェイ
ルの場合（このＤＵＴ番号に対応する縮小ロジカルデー
タに一つでもフェイルがある場合）には矩形の内部が赤
色に着色される。なお、図４に示したＤＵＴデータ表示
領域ａ７には、１〜１２８のＤＵＴ番号を示したが、半
導体試験装置１００に実際に実装されたＤＵＴ１３０の
数が１２８より少ない場合には、対応するＤＵＴ１３０
が存在しない矩形内の数字が非表示あるいはシャドウ表
示される。このＤＵＴ１３０の数や次に示すＩ／Ｏ番号
は、例えば、半導体試験装置１００からフェイル解析装
置１０に通知（Notify）が送られてきたときに、これら
の数に関する情報が読み込まれて更新される。また、半
導体試験装置１００に実際に実装されたＤＵＴ１３０の
数が１２８を超える場合には、１２８個のＤＵＴ１３０
の結果画像が含まれるページを切り替えて表示する。

【００３５】Ｉ／Ｏデータ表示領域（ａ８） ＤＵＴ番号が指定された特定のＤＵＴ１３０について、
各Ｉ／Ｏ番号毎の試験結果を示す結果画像を表示するた
めに用いられる。矩形で示されたそれぞれの結果画像に
含まれる数字がＩ／Ｏ番号を示しており、このＩ／Ｏ番
号によって指定されるロジカルフェイルビットマップが
パスなのかフェイルなのかがこの矩形内の色によって表
現されている。例えば、パスの場合（このＩ／Ｏ番号に
対応する縮小ロジカルデータが全てパスである場合）に
は矩形の内部が緑色に着色され、フェイルの場合（この
Ｉ／Ｏ番号に対応する縮小ロジカルデータに一つでもフ
ェイルがある場合）には矩形の内部が赤色に着色され
る。なお、図４に示したＩ／Ｏデータ表示領域ａ８に
は、０〜１４３のＩ／Ｏ番号を示したが、半導体試験装
置１００に実際に実装されたＤＵＴ１３０のＩ／Ｏ番号
の最大値が１４３より小さい場合には、対応するＩ／Ｏ
番号が存在しない矩形内の数字が非表示あるいはシャド
ウ表示される。また、ＤＵＴ番号の最大値が１４３を超
える場合には、ページを切り替えて表示する。

【００３６】表示切替オプションメニュー（ａ９） 上述したＤＵＴデータ表示領域ａ７あるいはＩ／Ｏデー
タ表示領域ａ８における表示内容を切り替えるために用
いられる。ＤＵＴデータ表示領域ａ７について、「Ｐａ
ｓｓ／Ｆａｉｌ」、「ＣＦＭ（Ａｌｌ）」、「ＣＦＭ
（１６ＤＵＴ）」、「ＣＦＭ（３２ＤＵＴ）」の各表示
オプションが用意されている。また、Ｉ／Ｏデータ表示
領域ａ８について、「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」、「ＣＦＭ
（Ａｌｌ）」、「ＣＦＭ（１６ｏｒ１８Ｉ／Ｏ）」、
「ＣＦＭ（３２ｏｒ３６Ｉ／Ｏ）」の各表示オプション
が用意されている。

【００３７】「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」は、試験結果がパ
スかフェイルかを示す上述した結果画像を表示するため
のオプションである。図４に示したメインビューア・ウ
インドウの初期画面では、起動時のデフォルトとしてこ
の表示オプションが選択された状態が示されている。

【００３８】また、「ＣＦＭ（Ａｌｌ）」、「ＣＦＭ
（１６ＤＵＴ）」、「ＣＦＭ（３２ＤＵＴ）」、「ＣＦ
Ｍ（１６ｏｒ１８Ｉ／Ｏ）」、「ＣＦＭ（３２ｏｒ３６
Ｉ／Ｏ）」のそれぞれは、縮小ロジカルデータに対応す
るロジカルフェイルビットマップ（以後、「縮小ロジカ
ルマップ」と称する）を示す縮小画像を括弧内の数だけ
表示するためのオプションである。縮小画像の具体的な
表示例については後述する。

【００３９】「Ｐｈｙｓｉｃａｌ」ボタン（ａ１０） ＤＵＴ番号が指定された特定のＤＵＴ１３０に対応する
フィジカルビューア・ウインドウの表示を指示するため
に用いられる。図５は、縮小ロジカルマップを示す縮小
画像の一覧が含まれるメインビューア・ウインドウの具
体例を示す図である。例えば、ＤＵＴデータ表示領域ａ
７に対応する表示オプションとして「ＣＦＭ（１６ＤＵ
Ｔ）」が、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８に対応する表示オ
プションとして「ＣＦＭ（１６ｏｒ１８Ｉ／Ｏ）」がそ
れぞれ選択された状態が示されている。

【００４０】ＤＵＴデータ表示領域ａ７内において、数
字が含まれる矩形領域は、表示オプションとして「Ｐａ
ｓｓ／Ｆａｉｌ」が選択された場合と同じ内容であり、
この番号で指定されるＤＵＴ１３０がパスなのかフェイ
ルなのかを示す結果画像に対応する。その上部に位置す
る矩形領域は、ＤＵＴ１３０毎の縮小ロジカルマップの
内容を示す縮小画像を示している。半導体試験装置１０
０内のＣＦＭ１２０からは、Ｉ／Ｏ番号毎のＣＦＭデー
タ（縮小ロジカルデータ）が読み出されるため、メイン
ビューア作成部８０は、各ＤＵＴ１３０毎に全Ｉ／Ｏ番
号の縮小ロジカルデータの各ビットの論理和を求めてこ
の縮小画像を生成する。

【００４１】また、Ｉ／Ｏデータ表示領域ａ８内におい
て、数字が含まれる矩形領域は、表示オプションとして
「Ｐａｓｓ／Ｆａｉｌ」が選択された場合と同じ内容で
あり、このＩ／Ｏ番号の縮小ロジカルデータがパスなの
かフェイルなのかを示す結果画像に対応する。その上部
に位置する矩形領域は、Ｉ／Ｏ番号毎の縮小ロジカルマ
ップの内容を示す縮小画像を示している。

【００４２】なお、図５に示した例では、ＤＵＴデータ
表示領域ａ７とＩ／Ｏデータ表示領域ａ８の両方が表示
されているが、いずれか一方を非表示状態にして他方の
表示可能数を増やすこともできる。上述したメインビュ
ーア・ウインドウが表示された状態で、Ｉ／Ｏデータ表
示領域ａ８に含まれるいずれかのＩ／Ｏ番号が指定され
ると、これはロジカルビューア・ウインドウの表示が指
示されたことになる。

【００４３】図６は、ロジカルビューア・ウインドウの
具体例を示す図である。このウインドウには、縮小ロジ
カルマップａ１１とその一部あるいは全部に対応するロ
ジカルフェイルビットマップａ１２が含まれている。こ
のロジカルフェイルビットマップａ１２は、詳細データ
取得部３０によって取得された詳細ロジカルデータに基
づいて作成される。

【００４４】また、メインビューア・ウインドウが表示
された状態で、「Ｐｈｙｓｉｃａｌ」ボタンａ１０が選
択されると、これはフィジカルビューア・ウインドウの
表示が指示されたことになる。図７は、フィジカルビュ
ーア・ウインドウの具体例を示す図である。このウイン
ドウには、縮小フィジカルマップａ１３とその一部ある
いは全部に対応するロジカルフェイルビットマップａ１
４が含まれている。このロジカルフェイルビットマップ
ａ１４は、詳細データ取得部３０によって取得された詳
細ロジカルデータに基づいて作成される。

【００４５】このようにしてロジカルビューア・ウイン
ドウあるいはフィジカルビューア・ウインドウが表示さ
れると、ステップ１００の判定で肯定判断が行われ、次
に、ＧＵＩ処理部９８は、レイヤウインドウの表示が指
示されたか否かを判定する（ステップ１０１）。例え
ば、表示中のロジカルビューア・ウインドウやフィジカ
ルビューア・ウインドウの上部に表示されたメニューバ
ーの中の「Ｖｉｅｗ」に対応するプルダウンメニュー
に、レイヤウインドウの表示を指示する項目「Ｌａｙｅ
ｒｓ…」が含まれているものとする。ＧＵＩ処理部９８
は、この項目「Ｌａｙｅｒｓ…」がマウスによってクリ
ックされたりキーボードを使って指し示されたか否かを
監視することにより、上述したステップ１０１の判定を
行う。

【００４６】レイヤウインドウの表示が指示されない場
合にはステップ１０１の判定で否定判断が行われ、次
に、ＧＵＩ処理部９８は、表示中のフェイルビットマッ
プの表示範囲の変更が指示されたか否かを判定する（ス
テップ１０２）。表示範囲の変更が指示されない場合に
は、ステップ１００に戻って処理が繰り返される。

【００４７】また、レイヤウインドウの表示が指示され
た場合にはステップ１０１の判定で肯定判断が行われ、
次に、レイヤ管理部８６は、レイヤウインドウの画像を
作成して表示装置９４に表示する（ステップ１０３）。
図８は、レイヤウインドウの具体例を示す図である。こ
のウインドウには、レイヤ表示エリアｂ１とボタンエリ
アｂ２が含まれている。レイヤ表示エリアｂ１に含まれ
るレイヤ名（「Ｌａｙｅｒ０」等）をマウスを操作して
クリックすると、このレイヤを示す部分が反転表示にな
り、このレイヤに対応するロジカルビューア・ウインド
ウあるいはフィジカルビューア・ウインドウが操作可能
になる。フェイル色指定ボックスｃ１は、このレイヤに
対応するフェイルビットマップのフェイル箇所が含まれ
ている場合にこのフェイル箇所の色を指定するために用
いられる。重ね合わせる各フェイルビットマップのフェ
イル箇所を全部同じ色にすると、各フェイルビットマッ
プのフェイル分布がわからなくなるため、このフェイル
色指定ボックスｃ１を用いてフェイル箇所の色を任意に
設定することができるようになっている。チェックボタ
ンｃ２は、ボタンエリアｂ１に含まれる各種のボタンに
対応した処理を行う場合に処理対象となるレイヤを指定
するためのものである。可視表示マークｃ３および不可
視マークｃ４は、このレイヤに対応するロジカルマップ
あるいはフィジカルマップの表示状態を設定するととも
に、設定された表示状態の内容を示している。マウスを
操作してクリックする毎にこれらのマークの表示が切り
替わる。

【００４８】また、ボタンエリアｂ２は、各レイヤに対
応するロジカルビューア・ウインドウ等に対する各種の
処理内容を指示する複数のボタンを含んでいる。「Ｎｅ
ｗ」ボタンは、新しいレイヤの追加を指示するために用
いられる。追加されるレイヤの表示位置は一番上（最前
部）になる。「Ｄｅｌ」ボタンは、選択されている（反
転表示されている）レイヤを削除するために用いられ
る。「Ｏｒ」ボタンは、選択されたレイヤに対応する各
種のフェイルビットマップを用いた論理和演算の実行を
指示するためのものである。「Ａｎｄ」ボタンは、選択
されたレイヤに対応する各種のフェイルビットマップを
用いた論理積演算の実行を指示するためのものである。
「Ｘｏｒ」ボタンは、２つのレイヤのそれぞれに対応し
たフェイルビットマップを用いた排他的論理和演算の実
行を指示するためのものである。３つ以上のレイヤが選
択されている場合には、上位にある２つのレイヤが自動
的に選択される。「Ｎｏｔ」ボタンは、選択されたレイ
ヤに対応する各種のフェイルビットマップのそれぞれに
対して論理否定演算の実行を指示するためのものであ
る。

【００４９】上述したレイヤウインドウが表示された状
態で、ＧＵＩ処理部９８は、レイヤウインドウに含まれ
るいずれかの項目内容が変更されたか否かを判定する
（ステップ１０４）。何も変更されずにレイヤウインド
ウが閉じられた場合には否定判断が行われ、上述したス
テップ１００の判定処理が繰り返される。

【００５０】また、レイヤウインドウ内の何らかの項目
内容が変更された場合にはステップ１０４の判定におい
て肯定判断が行われ、ロジカルビューア作成部８２ある
いはフィジカルビューア作成部８４は、この変更された
項目内容を反映した表示を行う（ステップ１０５）。こ
の表示処理が行われた後、ステップ１００に戻って処理
が繰り返される。

【００５１】また、ロジカルビューア・ウインドウやフ
ィジカルビューア・ウインドウが表示された状態で、マ
ウスを使って表示範囲の変更が指示された場合にはステ
ップ１０２の判定で肯定判断が行われる。例えば、ロジ
カルビューア・ウインドウに含まれる縮小ロジカルマッ
プａ１１上においてマウスの左ボタンを押しながらドラ
ッグすることにより、そのドラッグした範囲に対するズ
ーム処理が指示される。あるいは、縮小ロジカルマップ
ａ１１上においてマウスの中央ボタンを押しながらドラ
ッグすることにより、表示倍率を変えずにそのドラッグ
した方向に表示範囲の移動処理が指示される。フィジカ
ルビューア・ウインドウが表示された状態で表示範囲の
変更を指示する場合も同様である。

【００５２】次に、表示範囲変更部８７は、ロジカルビ
ューア作成部８２あるいはフィジカルビューア作成部８
４に指示を送って、現在の表示範囲の変更を行う（ステ
ップ１０６）。その後、ステップ１００に戻って処理が
繰り返される。図９は、フェイルビットマップの重ね合
わせの具体例を示す図である。例えば、レイヤ０、レイ
ヤ１、レイヤ２のそれぞれに異なる内容のフェイルビッ
トマップが対応付けられているものとする。なお、以下
の説明では、ロジカルフェイルビットマップの重ね合わ
せを行う場合を例にとって説明するが、フィジカルフェ
イルビットマップについても同様である。

【００５３】この場合に、図６に示したロジカルビュー
ア・ウインドウの縮小ロジカルマップａ１１とロジカル
フェイルビットマップａ１２の内容は、これら３つのレ
イヤ０、１、２に対応する３つのフェイルビットマップ
を重ね合わせたものとなる。このとき、レイヤウインド
ウのレイヤ表示エリアｂ１に含まれるフェイル色指定ボ
ックスｃ１を用いて、各レイヤ毎に異なる色が設定され
ている場合には、それぞれのフェイルビットマップのフ
ェイル箇所に異なる色が付される。また、レイヤウイン
ドウのレイヤ表示エリアｂ１において不可視マークｃ４
が設定されて非表示設定がなされているレイヤがある場
合には、図１０に示すように、このレイヤに対応するフ
ェイルビットマップは、画像の重ね合わせには使用され
ない。

【００５４】なお、各レイヤに対応するフェイルビット
マップの重ね合わせの順番は、レイヤ番号に対応してい
る。例えば、レイヤ０が最も下層であり、レイヤ番号が
大きいほど上層になり、最も大きなレイヤ番号が最前部
に対応する。したがって、レイヤ番号を変更することに
より、簡単に重ね合わせの順番を変更することができ
る。レイヤ番号の変更は、レイヤウインドウのボタンエ
リアｂ２の右端近傍に配置されたアローボタンをマウス
によってクリックすることにより行われる。レイヤ表示
エリアｂ１内で反転されたレイヤに対応するフェイルビ
ットマップの重ね合わせの順番を１つ上あるいは下に変
更したいときには、上向きのアローボタンあるいは下向
きのアローボタンを１回クリックすればよい。

【００５５】図１１は、フェイルビットマップの重ね合
わせの他の具体例を示す図であり、ズーム処理を行って
表示範囲を変更する場合の概略が示されている。レイヤ
ウインドウのレイヤ表示エリアｂ１内で反転されたレイ
ヤ（例えばレイヤ１）に対して、ロジカルビューア・ウ
インドウを用いた各種の操作が可能になる。しかし、本
実施形態では、ロジカルビューア・ウインドウ内の縮小
ロジカルマップａ１１を用いてズーム処理が指示された
場合には、レイヤ１に対応するロジカルマップのみなら
ず、レイヤウインドウを用いて関連付けられた他のレイ
ヤ０、２に対応する各ロジカルマップについても同時に
ズーム処理が行われる。この結果、ズーム処理実行後の
ロジカルビューア・ウインドウには、レイヤ０、１、２
のそれぞれに対応するロジカルマップを個別にズーム処
理した画像を重ね合わせた画像が表示される。

【００５６】図１２は、フェイルビットマップの重ね合
わせの他の具体例を示す図であり、移動処理を行って表
示範囲を変更する場合の概略が示されている。ロジカル
ビューア・ウインドウ内の縮小ロジカルマップａ１１を
用いて移動処理が指示された場合には、レイヤ１に対応
するロジカルマップのみならず、レイヤウインドウを用
いて関連付けられた他のレイヤ０、２に対応する各ロジ
カルマップについても同時に移動処理が行われる。この
結果、移動処理実行後のロジカルビューア・ウインドウ
には、レイヤ０、１、２のそれぞれに対応するロジカル
マップを個別に移動処理した画像を重ね合わせた画像が
表示される。

【００５７】図１３は、フェイルビットマップの重ね合
わせの他の具体例を示す図であり、いずれかのレイヤに
フェイルビットマップ等の試験結果に関連しない画像を
対応させて画像の重ね合わせを行った場合の概略が示さ
れている。試験結果に関連しない画像としては、例えば
所定の枠や罫線あるいは文字等の画像が考えられる。図
１３に示した例では、最上部に配置されるレイヤ４に、
枠と文字列「テスト結果」を含む画像が対応付けられて
おり、この画像と各フェイルビットマップの画像が重ね
合わされている。これにより、表示内容の見やすさ等を
向上させることができる。

【００５８】このように、本実施形態のフェイル解析装
置では、重ね合わされた複数のフェイルビットマップ画
像のそれぞれが複数のレイヤに対応しており、レイヤウ
インドウを用いて各レイヤ間の関連付けがなされている
ため、ズーム処理や移動処理を行う場合に、各フェイル
ビットマップ画像の相互の関係を維持しながら表示内容
を変更することができる。このため、各フェイルビット
マップ画像に対して個別にズーム処理や移動処理を指示
する必要がなく、操作を大幅に簡略化することができ
る。

【００５９】また、重ね合わされた各フェイルビットマ
ップ毎に表示を消したり再表示したりする際に、レイヤ
ウインドウ内の可視表示マークｃ３と不可視マークｃ４
を切り替えるだけでよいため、その都度データの読み込
みや描画処理を繰り返すことが不要になり、処理および
操作の簡略化が可能になる。

【００６０】さらに、レイヤウインドウを用いて各レイ
ヤ間の関連付けを行う際に、論理演算の内容を設定する
ことができるため、この設定内容にしたがって各フェイ
ルビットマップを対象にした論理演算が可能になる。

【００６１】

【発明の効果】上述したように、本発明によれば、重ね
合わされた複数のフェイルビットマップ画像のそれぞれ
が複数のレイヤに対応しており、各レイヤ間の関連付け
がなされているため、表示画像の内容変更を行う場合
に、各フェイルビットマップ画像の相互の関係を維持し
ながら表示内容を変更することができる。このため、各
フェイルビットマップ画像に対して個別に移動指示を行
ったり表示倍率の変更指示を行う必要がなく、操作を大
幅に簡略化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施形態のフェイル解析装置が接続される半
導体試験装置の構成を示す図である。

【図２】本実施形態のフェイル解析装置の詳細構成を示
す図である。

【図３】フェイル解析装置の動作手順を示す流れ図であ
る。

【図４】フェイル解析装置が起動された後に表示される
メインビューア・ウインドウの具体例を示す図である。

【図５】縮小ロジカルマップを示す縮小画像の一覧が含
まれるメインビューア・ウインドウの具体例を示す図で
ある。

【図６】ロジカルビューア・ウインドウの具体例を示す
図である。

【図７】フィジカルビューア・ウインドウの具体例を示
す図である。

【図８】レイヤウインドウの具体例を示す図である。

【図９】フェイルビットマップの重ね合わせの具体例を
示す図である。

【図１０】フェイルビットマップの重ね合わせの他の具
体例を示す図である。

【図１１】フェイルビットマップの重ね合わせの他の具
体例を示す図である。

【図１２】フェイルビットマップの重ね合わせの他の具
体例を示す図である。

【図１３】フェイルビットマップの重ね合わせの他の具
体例を示す図である。

【符号の説明】 １０ フェイル解析装置 １４ ロジカルマップ格納部 １６ フィジカル変換部 １８ フィジカルマップ格納部 ２０ 縮小処理部 ３０ 詳細データ取得部 ４０ 縮小データ取得部 ８０ メインビューア作成部 ８２ ロジカルビューア作成部 ８４ フィジカルビューア作成部 ８６ レイヤ管理部 ８７ 表示範囲変更部 ８８ 画像合成部 ９０ 表示制御部 ９４ 表示装置 ９６ 操作部 ９８ ＧＵＩ処理部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体試験装置によって半導体メモリを
   試験した結果を表示するフェイル解析装置であって、 前記半導体メモリに対応する試験結果を表す複数のフェ
   イルビットマップ画像を生成するフェイルビットマップ
   作成手段と、 前記複数のフェイルビットマップ画像のそれぞれを複数
   のレイヤに対応させるとともに各レイヤ間の関連付けを
   行うレイヤ管理手段と、 前記レイヤ管理手段によって前記複数のレイヤ間の関連
   付けが行われた前記複数のフェイルビットマップ画像を
   重ね合わせる処理を行う画像重ね合わせ手段と、 前記画像重ね合わせ手段によって重ね合わされた画像を
   表示する表示手段と、 を備えることを特徴とするフェイル解析装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、 前記レイヤ管理手段は、前記レイヤ毎に前記フェイルビ
   ットマップ画像の表示／非表示状態を管理することを特
   徴とするフェイル解析装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２において、 前記レイヤ管理手段は、前記関連付けによって、前記複
   数のレイヤのそれぞれを対象とした論理演算の内容を設
   定することを特徴とするフェイル解析装置。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかにおいて、 前記フェイルビットマップの表示範囲の変更を指示する
   操作手段と、 前記操作手段によって前記表示範囲の変更が指示された
   ときに、前記レイヤ管理手段によって関連付けられた前
   記複数のレイヤに対応する前記複数のフェイルビットマ
   ップを対象に、前記表示範囲の変更を実行する表示範囲
   変更手段と、 をさらに備えることを特徴とするフェイル解析装置。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかにおいて、 前記レイヤ管理手段は、前記複数のフェイルビットマッ
   プ画像以外に前記試験結果に関連しない画像を含めて前
   記複数のレイヤのそれぞれに対応させるとともに前記関
   連付けを行うことを特徴とするフェイル解析装置。