JP2002148290A - Characteristic impedance measuring instrument - Google Patents
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Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【技術分野】本発明は,多層プリント配線板の特性イン
ピーダンスを測定するための特性インピーダンス測定機
に関する。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a characteristic impedance measuring instrument for measuring the characteristic impedance of a multilayer printed wiring board.
【0002】[0002]
【従来技術】従来より,多層プリント配線板の特性イン
ピーダンスを測定するために,図13に示すような特性
インピーダンス測定機9が用いられている。該特性イン
ピーダンス測定機9は,TDRメータ91と,該TDR
メータ91に電気的に接続されたプローブ92とを有す
る。上記TDRメータ91は,プリント配線板3に電気
信号を発信し受信して特性インピーダンスを測定すると
共に測定結果を表示する。また,図14に示すごとく,
上記プローブ92は,信号ピン921と接地ピン922
とを一対有している。また,上記プローブ92は,図1
3に示すごとく,上記TDRメータ91に可撓ケーブル
93によって接続されている。2. Description of the Related Art Conventionally, a characteristic impedance measuring machine 9 as shown in FIG. 13 has been used to measure the characteristic impedance of a multilayer printed wiring board. The characteristic impedance measuring device 9 includes a TDR meter 91 and the TDR meter 91.
A probe 92 electrically connected to the meter 91; The TDR meter 91 transmits and receives an electric signal to and from the printed wiring board 3, measures the characteristic impedance, and displays the measurement result. Also, as shown in FIG.
The probe 92 includes a signal pin 921 and a ground pin 922.
And a pair. Further, the probe 92 is the same as that shown in FIG.
As shown in FIG. 3, it is connected to the TDR meter 91 by a flexible cable 93.
【0003】上記特性インピーダンス測定機9により上
記多層プリント配線板3の特性インピーダンスを測定す
るに当っては,上記プローブ92の信号ピン921と接
地ピン922とを,上記多層プリント配線板3に設けた
一対の測定パッド39に接触させて,上記電気信号を上
記多層プリント配線板3と上記TDRメータ91との間
で授受させる。When the characteristic impedance of the multilayer printed wiring board 3 is measured by the characteristic impedance measuring device 9, the signal pin 921 and the ground pin 922 of the probe 92 are provided on the multilayer printed wiring board 3. The electrical signal is transmitted and received between the multilayer printed wiring board 3 and the TDR meter 91 by contacting the pair of measurement pads 39.
【0004】[0004]
【解決しようとする課題】しかしながら,上記特性イン
ピーダンス測定機9におけるプローブ92は,図14に
示すごとく,上記信号ピン921と接地ピン922とを
それぞれ一本有しているのみである。それ故,上記多層
プリント配線板3が複数の信号層を有しており,これら
とそれぞれ接続される測定パッド39を複数有している
場合には,各信号層の特性インピーダンスを測定するご
とに,上記プローブ92を移動させて,対応する測定パ
ッド39に信号ピン921を当接させなければならな
い。従って,上記特性インピーダンス測定機9による
と,測定効率が低いという問題がある。特に,上記多層
プリント配線板3における測定ポイントが多くなればな
るほど特性インピーダンスの測定効率が低下する。However, the probe 92 in the characteristic impedance measuring instrument 9 has only one signal pin 921 and one ground pin 922 as shown in FIG. Therefore, when the multilayer printed wiring board 3 has a plurality of signal layers and has a plurality of measurement pads 39 connected to these, respectively, each time the characteristic impedance of each signal layer is measured, , The probe 92 must be moved to bring the signal pin 921 into contact with the corresponding measurement pad 39. Therefore, the characteristic impedance measuring device 9 has a problem that the measurement efficiency is low. In particular, as the number of measurement points on the multilayer printed wiring board 3 increases, the characteristic impedance measurement efficiency decreases.
【0005】本発明は,かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので,測定効率に優れた特性インピーダンス測
定機を提供しようとするものである。The present invention has been made in view of such a conventional problem, and an object of the present invention is to provide a characteristic impedance measuring instrument excellent in measurement efficiency.
【0006】[0006]
【課題の解決手段】請求項1に記載の発明は,接地層と
複数の信号層とを有する多層プリント配線板に電気信号
を発信し受信して特性インピーダンスを測定すると共に
測定結果を表示するTDRメータと,該TDRメータに
電気的に接続されたプローブとを有する特性インピーダ
ンス測定機において,上記プローブは,上記多層プリン
ト配線板における上記各信号層とそれぞれ電気的に接続
された信号用測定パッドに当接させる複数の信号ピン
と,上記多層プリント配線板における上記接地層と電気
的に接続された接地用測定パッドに当接させる接地ピン
とを有し,かつ,上記各信号ピンは,それぞれ対応する
上記各信号用測定パッドに一度に当接させることができ
るよう,上記プローブの本体部に配設されていることを
特徴とする特性インピーダンス測定機にある。According to a first aspect of the present invention, there is provided a TDR for transmitting and receiving an electric signal to a multilayer printed wiring board having a ground layer and a plurality of signal layers, measuring a characteristic impedance, and displaying a measurement result. In a characteristic impedance measuring instrument having a meter and a probe electrically connected to the TDR meter, the probe is connected to a signal measuring pad electrically connected to each of the signal layers of the multilayer printed wiring board. A plurality of signal pins to be brought into contact with each other, and a ground pin to be brought into contact with a grounding measurement pad electrically connected to the ground layer in the multilayer printed wiring board; The characteristic input terminal is provided on the main body of the probe so that it can be brought into contact with each signal measuring pad at a time. There to-impedance measuring instrument.
【0007】本発明において最も注目すべきことは,上
記各信号ピンが,それぞれ対応する上記各信号用測定パ
ッドに一度に当接させることができるよう,上記プロー
ブの本体部に配設されていることである。例えば,上記
プローブの本体部に,複数の信号ピンを,その先端が同
一平面上に配置されるように立設することもできる。It is most remarkable in the present invention that the signal pins are arranged on the main body of the probe so that the signal pins can be brought into contact with the corresponding signal measuring pads at a time. That is. For example, a plurality of signal pins may be erected on the main body of the probe so that their tips are arranged on the same plane.
【0008】次に,本発明の作用効果につき説明する。
上記特性インピーダンス測定機を用いて多層プリント配
線板の特性インピーダンスを測定するに当っては,例え
ば,以下のような手順を採る。まず,上記プローブを,
上記多層プリント配線板における所定の位置に配置す
る。即ち,上記プローブにおける各信号ピンを,上記多
層プリント配線板における対応する信号用測定パッドに
当接させ,上記接地ピンをそれぞれ対応する接地用測定
パッドに当接させる。Next, the function and effect of the present invention will be described.
In measuring the characteristic impedance of the multilayer printed wiring board using the characteristic impedance measuring instrument, for example, the following procedure is employed. First, connect the probe
It is arranged at a predetermined position on the multilayer printed wiring board. That is, each signal pin of the probe is brought into contact with a corresponding signal measurement pad on the multilayer printed wiring board, and each of the ground pins is brought into contact with a corresponding ground measurement pad.
【0009】次いで,測定しようとする信号層に,上記
TDRメータから電気信号を発信する。即ち,測定しよ
うとする信号層と接続された信号用測定パッドに当接さ
せた上記信号ピンを介して,電気信号を発信する。次い
で,上記信号層からの反射電流を,上記TDRメータに
受信する。該TDRメータは,この反射電圧を測定し,
その反射波形を表示する。そして,上記TDRメータ
は,上記多層プリント配線板へ発信した電気信号の入射
電圧と上記反射電圧とにより,上記信号層の特性インピ
ーダンスを演算し,表示する。Next, an electric signal is transmitted from the TDR meter to a signal layer to be measured. That is, an electric signal is transmitted through the signal pin which is in contact with the signal measurement pad connected to the signal layer to be measured. Next, the reflected current from the signal layer is received by the TDR meter. The TDR meter measures the reflected voltage,
The reflected waveform is displayed. Then, the TDR meter calculates and displays the characteristic impedance of the signal layer based on the incident voltage of the electric signal transmitted to the multilayer printed wiring board and the reflected voltage.
【0010】次いで,他の信号層に,同様に電気信号を
発信し,受信することにより,同様に,特性インピーダ
ンスの測定を行う。これを繰返して,各信号層について
の特性インピーダンスを測定する。Next, the characteristic impedance is similarly measured by transmitting and receiving an electric signal to other signal layers in the same manner. By repeating this, the characteristic impedance of each signal layer is measured.
【0011】上記特性インピーダンス測定機におけるプ
ローブは,上記のごとく,上記各信号ピンを,それぞれ
対応する上記各信号用測定パッドに一度に当接させるこ
とができるよう配設している。そのため,上記多層プリ
ント配線板における複数の信号層について特性インピー
ダンスを測定する場合,上記プローブを上記多層プリン
ト配線板における所定の位置に一旦配置することによ
り,上記複数の信号層について測定することができる。
それ故,各信号層を測定するごとに,上記プローブを移
動させ,対応する信号用測定パッドに信号ピンを当接さ
せるという作業を行う必要がない。As described above, the probe in the characteristic impedance measuring instrument is arranged so that the signal pins can be brought into contact with the corresponding signal measuring pads at a time. Therefore, when measuring the characteristic impedance of a plurality of signal layers in the multilayer printed wiring board, the probe can be measured in the plurality of signal layers by temporarily disposing the probe at a predetermined position in the multilayer printed wiring board. .
Therefore, it is not necessary to move the probe and contact the signal pin to the corresponding signal measurement pad every time each signal layer is measured.
【0012】従って,上記多層プリント配線板の特性イ
ンピーダンスを効率よく測定することができる。また,
上記多層プリント配線板における測定ポイントが多くな
ればなるほど測定効率は向上する。Therefore, the characteristic impedance of the multilayer printed wiring board can be measured efficiently. Also,
The more measurement points in the multilayer printed wiring board, the higher the measurement efficiency.
【0013】以上のごとく,本発明によれば,測定効率
に優れた特性インピーダンス測定機を提供することがで
きる。As described above, according to the present invention, it is possible to provide a characteristic impedance measuring instrument excellent in measurement efficiency.
【0014】次に,請求項2に記載の発明のように,上
記信号ピンは,上記プローブの本体部に対して伸縮可能
に設けられ,所望の信号ピンのみを上記信号用測定パッ
ドに当接させることができるよう構成してあることが好
ましい。これにより,正確な特性インピーダンスを測定
することができる。特に,上記多層プリント配線板にお
いて,複数の信号層が隣り合って配置されている場合,
即ち上記複数の信号層の間に接地層が介在していない場
合に効果がある。Next, as in the second aspect of the present invention, the signal pin is provided so as to be extendable with respect to the main body of the probe, and only a desired signal pin is brought into contact with the signal measuring pad. It is preferable that it is constituted so that it can be performed. Thereby, an accurate characteristic impedance can be measured. In particular, when a plurality of signal layers are arranged adjacent to each other in the multilayer printed wiring board,
That is, it is effective when the ground layer is not interposed between the plurality of signal layers.
【0015】即ち,隣り合う信号層にそれぞれ対応する
上記信号ピンを,共に信号用測定パッドに当接させて,
一方の信号層に電気信号を発信して測定を行うと,他方
の信号層が接地層と同様の働きをするため,測定値に誤
差が生じる。そこで,本発明のごとく,所望の信号ピン
のみを上記信号用測定パッドに当接させることにより,
他の信号層の影響を受けることなく,正確な特性インピ
ーダンスを測定することができる(実施形態例3参
照)。なお,上記信号ピンを伸縮させる手段としては,
例えば,電磁力や機械的な力等を用いることができる。That is, the signal pins respectively corresponding to the adjacent signal layers are both brought into contact with the signal measuring pad,
When an electric signal is transmitted to one signal layer and measurement is performed, an error occurs in the measured value because the other signal layer functions in the same manner as the ground layer. Therefore, as in the present invention, only a desired signal pin is brought into contact with the signal measuring pad, whereby
Accurate characteristic impedance can be measured without being affected by other signal layers (see Embodiment 3). As means for expanding and contracting the signal pin,
For example, electromagnetic force or mechanical force can be used.
【0016】次に,請求項3に記載の発明のように,上
記特性インピーダンス測定機は,上記信号ピンと上記T
DRメータとの電気的接続の入切を切替えるスイッチを
有していてもよい。この場合にも,上記請求項2の発明
と同様に正確な特性インピーダンスを測定することがで
きる。また,上記スイッチとしては,例えば,リレーや
ソレノイド等を用いることができる。Next, as in the third aspect of the present invention, the characteristic impedance measuring instrument includes a signal pin and the T pin.
A switch for switching on / off of the electrical connection with the DR meter may be provided. In this case, the characteristic impedance can be measured accurately as in the second aspect of the present invention. As the switch, for example, a relay or a solenoid can be used.
【0017】[0017]
【発明の実施の形態】実施形態例1 本発明の実施形態例にかかる特性インピーダンス測定機
につき,図1〜図7を用いて説明する。本例の特性イン
ピーダンス測定機1は,図1に示すごとく,TDRメー
タ11と,該TDRメータ11に電気的に接続されたプ
ローブ2とを有する。上記TDRメータ11は,接地層
32と複数の信号層31とを有する多層プリント配線板
3に電気信号を発信し受信して特性インピーダンスを測
定すると共に測定結果を表示する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS First Embodiment A characteristic impedance measuring instrument according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. As shown in FIG. 1, the characteristic impedance measuring instrument 1 of the present embodiment has a TDR meter 11 and a probe 2 electrically connected to the TDR meter 11. The TDR meter 11 transmits and receives an electric signal to and from the multilayer printed wiring board 3 having the ground layer 32 and the plurality of signal layers 31, measures the characteristic impedance, and displays the measurement result.
【0018】上記プローブ2は,図2に示すごとく,5
本の信号ピン21と,5本の接地ピン22とを有する。
上記多層プリント配線板3は,図3に示すごとく,絶縁
樹脂層37を介して10層の導電層38を積層してな
る。該導電層38のうち,第1,第3,第5,第6,第
8層が信号層31であり,第2,第4,第7,第9,第
10層が接地層32である。また,図3,図4に示すご
とく,上記多層プリント配線板3の最表層である第1層
に,上記多層プリント配線板3における上記各信号層3
1とそれぞれ電気的に接続された信号用測定パッド33
と,上記接地層32と電気的に接続された接地用測定パ
ッド34が形成してある。As shown in FIG.
It has five signal pins 21 and five ground pins 22.
As shown in FIG. 3, the multilayer printed wiring board 3 is formed by laminating ten conductive layers 38 via an insulating resin layer 37. Of the conductive layers 38, the first, third, fifth, sixth, and eighth layers are the signal layers 31, and the second, fourth, seventh, ninth, and tenth layers are the ground layers 32. . As shown in FIGS. 3 and 4, the signal layers 3 of the multilayer printed wiring board 3 are provided on the first layer, which is the outermost layer of the multilayer printed wiring board 3.
1 and a signal measuring pad 33 electrically connected to each other
And a grounding measuring pad 34 electrically connected to the grounding layer 32.
【0019】上記プローブ2の信号ピン21は,図4,
図5に示すごとく,上記多層プリント配線板3における
上記信号用測定パッド33に当接させる。また,上記接
地ピン22は,上記接地用測定パッド34に当接させ
る。The signal pin 21 of the probe 2 is shown in FIG.
As shown in FIG. 5, it is brought into contact with the signal measurement pad 33 on the multilayer printed wiring board 3. The ground pin 22 is brought into contact with the ground measurement pad 34.
【0020】また,上記各信号ピン21は,それぞれ対
応する上記各信号用測定パッド33に一度に当接させる
ことができるよう,上記プローブ2の本体部25に配設
されている。一方,上記接地ピン22も,それぞれ対応
する上記各接地用測定パッド34に一度に当接させるこ
とができるよう,上記プローブ2の本体部25に配設さ
れている。The signal pins 21 are arranged on the main body 25 of the probe 2 so that they can be brought into contact with the corresponding signal measuring pads 33 at one time. On the other hand, the ground pins 22 are also provided on the main body 25 of the probe 2 so as to be able to contact the corresponding ground measurement pads 34 at a time.
【0021】また,上記プローブ2は,図1に示すごと
く,上記TDRメータ11に可撓ケーブル12によって
接続されている。該可撓ケーブル12は,図2に示すご
とく,5本の同軸ケーブル120を束ねてなり,各同軸
ケーブル120の内線121が上記各信号ピン21に接
続され,外線122が上記接地ピン22に接続されてい
る。The probe 2 is connected to the TDR meter 11 by a flexible cable 12 as shown in FIG. As shown in FIG. 2, the flexible cable 12 is formed by bundling five coaxial cables 120, and the extension 121 of each coaxial cable 120 is connected to each signal pin 21, and the outside 122 is connected to the ground pin 22. Have been.
【0022】また,図6,図7に示すごとく,上記信号
ピン21は,上記プローブ2の本体部25に対して伸縮
可能に設けられ,所望の信号ピン21のみを上記信号用
測定パッド33に当接させることができるよう構成して
ある。上記信号ピン21を伸縮させる手段としては電磁
力を用いる。As shown in FIGS. 6 and 7, the signal pins 21 are provided so as to be extendable and retractable with respect to the main body 25 of the probe 2, and only the desired signal pins 21 are connected to the signal measuring pad 33. It is configured to be able to contact. An electromagnetic force is used as a means for expanding and contracting the signal pin 21.
【0023】例えば,上記多層プリント配線板3におけ
る第5層の信号層315について測定する場合,図6,
図7(A)に示すごとく,上記第5層の信号層315に
対応する信号ピン215を伸ばして,上記信号層315
に接続された信号用測定パッド335に当接させる。そ
して,他の信号ピン211,213,216,218は
縮めて上記信号用測定パッド33から離しておく。ま
た,接地ピン32については,対応する接地用測定パッ
ド34に当接させておく。接地用測定パッド34に接地
ピン32を当接させておいても,特に測定値に影響を与
えないからである。For example, when measuring the fifth signal layer 315 in the multilayer printed wiring board 3, FIG.
As shown in FIG. 7A, the signal pin 215 corresponding to the fifth signal layer 315 is extended to
Is brought into contact with the signal measurement pad 335 which is connected to. Then, the other signal pins 211, 213, 216 and 218 are contracted and separated from the signal measuring pad 33. Further, the ground pins 32 are brought into contact with the corresponding ground measurement pads 34. This is because even if the ground pin 32 is in contact with the ground measurement pad 34, the measured value is not particularly affected.
【0024】次に,第6層の信号層316について測定
する場合には,図7(B)に示すごとく,上記信号層3
16に対応する信号ピン216を伸ばして,上記信号層
316に接続された信号用測定パッド336に当接させ
る。そして,他の信号ピン211,213,215,2
18は縮めて上記信号用測定パッド33から離してお
く。Next, when measuring the signal layer 316 of the sixth layer, as shown in FIG.
The signal pin 216 corresponding to the signal layer 316 is extended and brought into contact with the signal measurement pad 336 connected to the signal layer 316. Then, the other signal pins 211, 213, 215, 2
18 is shrunk away from the signal measuring pad 33.
【0025】次に,本例の作用効果につき説明する。上
記特性インピーダンス測定機1を用いて多層プリント配
線板3の特性インピーダンスを測定するに当っては,以
下のような手順を採る。まず,上記プローブ2を,上記
多層プリント配線板3におけるテストパターン35を形
成した位置に配置する。即ち,上記プローブ2における
各信号ピン21を,上記多層プリント配線板3における
対応する信号用測定パッド33に当接させ,上記接地ピ
ン22をそれぞれ対応する接地用測定パッド34に当接
させる。Next, the operation and effect of this embodiment will be described. In measuring the characteristic impedance of the multilayer printed wiring board 3 using the characteristic impedance measuring device 1, the following procedure is employed. First, the probe 2 is arranged at a position on the multilayer printed wiring board 3 where the test pattern 35 is formed. That is, each signal pin 21 of the probe 2 is brought into contact with a corresponding signal measurement pad 33 of the multilayer printed wiring board 3, and the ground pin 22 is brought into contact with a corresponding ground measurement pad 34.
【0026】次いで,測定しようとする信号層31に,
上記TDRメータ11から電気信号を発信する。即ち,
測定しようとする信号層31と接続された信号用測定パ
ッド33に当接させた上記信号ピン21を介して,電気
信号を発信する。次いで,上記信号層31からの反射電
流を,上記TDRメータ11に受信する。該TDRメー
タ11は,この反射電圧を測定し,その反射波形を表示
する。そして,上記TDRメータ11は,上記多層プリ
ント配線板3へ発信した電気信号の入射電圧と上記反射
電圧とにより,上記信号層31の特性インピーダンスを
演算し,表示する。Next, in the signal layer 31 to be measured,
An electric signal is transmitted from the TDR meter 11. That is,
An electric signal is transmitted through the signal pin 21 which is in contact with the signal measurement pad 33 connected to the signal layer 31 to be measured. Next, the reflected current from the signal layer 31 is received by the TDR meter 11. The TDR meter 11 measures the reflected voltage and displays the reflected waveform. Then, the TDR meter 11 calculates and displays the characteristic impedance of the signal layer 31 based on the incident voltage of the electric signal transmitted to the multilayer printed wiring board 3 and the reflected voltage.
【0027】次いで,他の信号層31に,同様に電気信
号を発信し,受信することにより,同様に,特性インピ
ーダンスの測定を行う。これを繰返して,各信号層31
についての特性インピーダンスを測定する。Next, the characteristic signal is similarly measured by transmitting and receiving the electric signal to the other signal layers 31 in the same manner. By repeating this, each signal layer 31
Measure the characteristic impedance for.
【0028】上記特性インピーダンス測定機1における
プローブ2は,上記のごとく,上記各信号ピン21を,
それぞれ対応する上記各信号用測定パッド33に一度に
当接させることができるよう配設している。そのため,
上記多層プリント配線板3における複数の信号層31に
ついて特性インピーダンスを測定する場合,上記プロー
ブ2を上記多層プリント配線板3における所定の位置,
即ちテストパターン35の位置に一旦配置することによ
り,上記複数の信号層31について測定することができ
る。それ故,各信号層31を測定するごとに,上記プロ
ーブ2を移動させ,対応する信号用測定パッド33に信
号ピン21を当接させるという作業を行う必要がない。As described above, the probe 2 of the characteristic impedance measuring instrument 1 connects each of the signal pins 21 to
They are arranged so that they can be brought into contact with the corresponding signal measuring pads 33 at a time. for that reason,
When measuring the characteristic impedance of the plurality of signal layers 31 in the multilayer printed wiring board 3, the probe 2 is moved to a predetermined position on the multilayer printed wiring board 3,
That is, by arranging once at the position of the test pattern 35, it is possible to measure the plurality of signal layers 31. Therefore, it is not necessary to move the probe 2 every time each signal layer 31 is measured and to make the signal pins 21 contact the corresponding signal measurement pads 33.
【0029】従って,上記多層プリント配線板3の特性
インピーダンスを効率よく測定することができる。ま
た,上記多層プリント配線板3の測定ポイントが多くな
ればなるほど測定効率は向上する。Therefore, the characteristic impedance of the multilayer printed wiring board 3 can be measured efficiently. Also, the more measurement points on the multilayer printed wiring board 3, the higher the measurement efficiency.
【0030】また,上記信号ピン31は,上記プローブ
2の本体部25に対して伸縮可能に設けられ,所望の信
号ピン21のみを上記信号用測定パッド33に当接させ
ることができるよう構成してある。これにより,正確な
特性インピーダンスを測定することができる。特に,上
記多層プリント配線板3において,複数の信号層31が
隣り合って配置され,間に接地層32が介在していな
い,第5層の信号層315と第6層の信号層316につ
いて測定する場合に効果がある(実施形態例3参照)。The signal pins 31 are provided so as to be extendable with respect to the main body 25 of the probe 2 so that only the desired signal pins 21 can be brought into contact with the signal measuring pads 33. It is. Thereby, an accurate characteristic impedance can be measured. In particular, in the multilayer printed wiring board 3, the measurement is performed on the fifth signal layer 315 and the sixth signal layer 316 in which the plurality of signal layers 31 are arranged adjacent to each other and the ground layer 32 is not interposed therebetween. This is effective (see Embodiment 3).
【0031】以上のごとく,本例によれば,測定効率に
優れた特性インピーダンス測定機を提供することができ
る。As described above, according to the present embodiment, it is possible to provide a characteristic impedance measuring instrument excellent in measurement efficiency.
【0032】実施形態例2 本例は,図8,図9に示すごとく,信号ピン21とTD
Rメータ11との電気的接続の入切を切替えるスイッチ
26を有している特性インピーダンス測定機の例であ
る。Embodiment 2 As shown in FIGS. 8 and 9, the present embodiment employs a signal pin 21 and a TD.
This is an example of a characteristic impedance measuring instrument having a switch 26 for switching on / off of electrical connection with the R meter 11.
【0033】即ち,図8に示すごとく,上記特性インピ
ーダンス測定機におけるプローブ20の上記信号ピン2
1と接地ピン22とは,それぞれ,上記TDRメータ1
1に接続されている同軸ケーブルの内線121と外線1
22に接続される。そして,上記内線121と上記信号
ピン21との間には,リレーからなる上記スイッチ26
が設けられ,上記プローブ20内に配設されている。That is, as shown in FIG. 8, the signal pin 2 of the probe 20 in the characteristic impedance measuring instrument is used.
1 and the ground pin 22 are respectively connected to the TDR meter 1
1 and the outside line 1 of the coaxial cable connected to
22. And, between the extension 121 and the signal pin 21, the switch 26 formed of a relay is provided.
Are provided in the probe 20.
【0034】多層プリント配線板3の特性インピーダン
スを測定するに当っては,まず,図9に示すごとく,プ
ローブ20をテストパターン35の位置に配置する。そ
して,上記プローブ20における各信号ピン21及び接
地ピン22を,それぞれ対応する信号用測定パッド33
及び接地用測定パッド34に当接させる。In measuring the characteristic impedance of the multilayer printed wiring board 3, first, the probe 20 is arranged at the position of the test pattern 35 as shown in FIG. The signal pins 21 and the ground pins 22 of the probe 20 are connected to the corresponding signal measurement pads 33, respectively.
And the grounding measurement pad 34.
【0035】この状態から,例えば,多層プリント配線
板3における第5層の信号層315について測定する場
合には,図9に示すごとく,上記スイッチ265を入れ
ることにより,上記信号層315に対応する信号ピン2
15を,上記同軸ケーブル120の内線121に接続す
る。そして,他の信号ピン211,213,216,2
18については,スイッチ261,263,266,2
68を切って内線121との接続を切っておく。In this state, for example, when measuring the fifth signal layer 315 in the multilayer printed wiring board 3, as shown in FIG. 9, the switch 265 is turned on to correspond to the signal layer 315. Signal pin 2
15 is connected to the extension 121 of the coaxial cable 120. Then, the other signal pins 211, 213, 216, 2
With regard to 18, the switches 261, 263, 266, 2
The connection with the extension 121 is cut off by cutting 68.
【0036】次に,第6層の信号層316について測定
する際には,上記スイッチ266を入れることにより,
上記信号層316に対応する信号ピン216を,上記同
軸ケーブル120の内線121に接続する。そして,他
の信号ピン211,213,215,218は,スイッ
チ261,263,265,268を切って内線121
との接続を切っておく。その他は,実施形態例1と同様
である。Next, when measuring the sixth signal layer 316, by turning on the switch 266,
The signal pin 216 corresponding to the signal layer 316 is connected to the extension 121 of the coaxial cable 120. Then, the other signal pins 211, 213, 215, and 218 turn off the switches 261, 263, 265, and 268, and
Disconnect with. Other configurations are the same as those of the first embodiment.
【0037】この場合にも,測定しようとする信号層3
1のみをTDRメータ11と接続できるため,上記実施
形態例1と同様に正確な特性インピーダンスを測定する
ことができる。その他は,実施形態例1と同様の作用効
果を有する。Also in this case, the signal layer 3 to be measured
Since only 1 can be connected to the TDR meter 11, accurate characteristic impedance can be measured as in the first embodiment. Others have the same operation and effects as those of the first embodiment.
【0038】実施形態例3 本例は,図10〜図12に示すごとく,実施形態例1で
示した多層プリント配線板3における第5層と第6層の
信号層315,316について,実施形態例1の特性イ
ンピーダンス測定機1を用いて特性インピーダンスを測
定した例である。本例における符号は,実施形態例1に
おいて用いたものと同様のものを表す。Third Embodiment As shown in FIGS. 10 to 12, this embodiment relates to the fifth and sixth signal layers 315 and 316 in the multilayer printed wiring board 3 shown in the first embodiment. This is an example in which characteristic impedance was measured using the characteristic impedance measuring instrument 1 of Example 1. The reference numerals in this example represent the same elements as those used in the first embodiment.
【0039】上記特性インピーダンスの測定は,測定す
る信号層31に対応する信号ピン21のみを信号用測定
パッド33に当接させた場合(図11(A),図12
(A))と,全ての信号ピン31を上記信号用測定パッ
ド33に当接させた場合(図11(B),図12
(B))との両方について行った。なお,接地ピン22
については,いずれの場合も,全ての接地ピン22を接
地用測定パッド34に当接させておいた。The characteristic impedance is measured when only the signal pin 21 corresponding to the signal layer 31 to be measured is brought into contact with the signal measuring pad 33 (FIG. 11A, FIG. 12).
(A)) and when all the signal pins 31 are brought into contact with the signal measuring pad 33 (FIG. 11B, FIG. 12).
(B)). The grounding pin 22
In all cases, all the ground pins 22 were in contact with the ground measurement pad 34.
【0040】上記第5層と第6層の信号層315,31
6は,図10に示すごとく,隣り合う信号層であり,間
に接地層32は存在しない。まず,第5層の信号層31
5について測定した。即ち,上記信号ピン215のみを
信号用測定パッド335に当接させて特性インピーダン
スを測定した(図6,図7(A)参照)。次いで,全て
の信号ピン21を上記信号用測定パッド33に当接させ
て第5層の信号層315の特性インピーダンスを測定し
た(図5参照)。The fifth and sixth signal layers 315, 31
Numeral 6 denotes adjacent signal layers as shown in FIG. 10, and there is no ground layer 32 between them. First, the fifth signal layer 31
5 was measured. That is, the characteristic impedance was measured by bringing only the signal pin 215 into contact with the signal measurement pad 335 (see FIGS. 6 and 7A). Next, all the signal pins 21 were brought into contact with the signal measuring pad 33 to measure the characteristic impedance of the fifth signal layer 315 (see FIG. 5).
【0041】次に,第6層の信号層316について測定
した。即ち,上記信号ピン216のみを信号用測定パッ
ド336に当接させて特性インピーダンスを測定した
(図7(B)参照)。次いで,全ての信号ピン21を上
記信号用測定パッド33に当接させて第6層の信号層3
16の特性インピーダンスを測定した(図5参照)。そ
の他の測定方法は,実施形態例1と同様である。Next, measurement was performed on the sixth signal layer 316. That is, the characteristic impedance was measured by bringing only the signal pin 216 into contact with the signal measurement pad 336 (see FIG. 7B). Next, all the signal pins 21 are brought into contact with the signal measuring pads 33 to thereby form the sixth signal layer 3.
Sixteen characteristic impedances were measured (see FIG. 5). Other measurement methods are the same as in the first embodiment.
【0042】上記の特性インピーダンスの測定結果を,
図11,図12に示す。即ち,第5層の信号層315の
測定結果のうち,該信号層315に対応する信号ピン2
15のみを信号用測定パッド335に当接させた場合の
測定結果を図11(A)の曲線Aに示し,全ての信号ピ
ン31を信号用測定パッド33に当接させた場合の測定
結果を図11(B)の曲線Bに示す。The measurement result of the characteristic impedance is
This is shown in FIGS. That is, among the measurement results of the fifth signal layer 315, the signal pin 2 corresponding to the signal layer 315
A measurement result when only 15 is brought into contact with the signal measurement pad 335 is shown by a curve A in FIG. 11A, and a measurement result when all the signal pins 31 are brought into contact with the signal measurement pad 33 is shown. This is shown by curve B in FIG.
【0043】また,第6層の信号層316の測定結果の
うち,該信号層316に対応する信号ピン216のみを
信号用測定パッド336に当接させた場合の測定結果を
図12(A)の曲線Cに示し,全ての信号ピン31を信
号用測定パッド33に当接させた場合の測定結果を図1
2(B)の曲線Dに示す。なお,図11(A),
(B),図12(A),(B)において,測定値として
用いられるのは,曲線A〜Dのうち各図に示した範囲T
の部分である。FIG. 12A shows a measurement result when only the signal pin 216 corresponding to the signal layer 316 is brought into contact with the signal measurement pad 336 among the measurement results of the sixth signal layer 316. FIG. 1 shows a measurement result when all the signal pins 31 are brought into contact with the signal measurement pad 33.
This is shown in curve D of 2 (B). In addition, FIG.
12 (B) and FIGS. 12 (A) and 12 (B), the range T of the curves A to D shown in each drawing is used as the measured value.
Part.
【0044】図11,図12より分かるように,第5
層,第6層いずれの信号層31についても,測定する信
号層31に対応する信号ピン21のみを信号用測定パッ
ド33に当接させて測定した場合に比べ,全ての信号ピ
ン21を信号用測定パッド33に当接させて測定した場
合は,測定値が約5Ω程度低下することが分かる。As can be seen from FIGS. 11 and 12, the fifth
In all of the signal layers 31 of the sixth layer and the sixth layer, all the signal pins 21 are used for signal compared to the case where only the signal pin 21 corresponding to the signal layer 31 to be measured is brought into contact with the signal measuring pad 33. It can be seen that when the measurement is carried out in contact with the measurement pad 33, the measured value decreases by about 5Ω.
【0045】これは,隣り合う信号層31にそれぞれ対
応する上記信号ピン21を,共に信号用測定パッド33
に当接させて,一方の信号層31に電気信号を発信して
測定を行うと,他方の信号層31が接地層と同様の働き
をすることにより,測定値に誤差が生じるためと考えら
れる。The signal pins 21 corresponding to the adjacent signal layers 31 are connected to the signal measuring pads 33, respectively.
It is considered that when an electrical signal is transmitted to one of the signal layers 31 and measurement is performed while the other signal layer 31 is in contact with the ground layer, an error occurs in the measured value because the other signal layer 31 performs the same function as the ground layer. .
【0046】本例の結果より,測定しようとする信号層
31に対応する信号ピン21のみを上記信号用測定パッ
ド33に当接させることにより,他の信号層31の影響
を受けることなく,正確な特性インピーダンスを測定す
ることができることが分かる。According to the results of this example, by bringing only the signal pin 21 corresponding to the signal layer 31 to be measured into contact with the signal measuring pad 33, accurate measurement can be performed without being affected by other signal layers 31. It can be seen that a characteristic impedance can be measured.
【0047】[0047]
【発明の効果】上述のごとく,本発明によれば,測定効
率に優れた特性インピーダンス測定機を提供することが
できる。As described above, according to the present invention, it is possible to provide a characteristic impedance measuring instrument excellent in measurement efficiency.
【図1】実施形態例1における,特性インピーダンス測
定機及び多層プリント配線板の斜視図。FIG. 1 is a perspective view of a characteristic impedance measuring instrument and a multilayer printed wiring board according to a first embodiment.
【図2】実施形態例1における,プローブの斜視図。FIG. 2 is a perspective view of a probe according to the first embodiment.
【図3】実施形態例1における,多層プリント配線板の
断面説明図。FIG. 3 is an explanatory cross-sectional view of the multilayer printed wiring board according to the first embodiment.
【図4】実施形態例1における,プローブと多層プリン
ト配線板のテストパターンの平面図。FIG. 4 is a plan view of a test pattern of a probe and a multilayer printed wiring board in the first embodiment.
【図5】実施形態例1における,プローブを多層プリン
ト配線板のテストパターンに配置した状態を表す斜視
図。FIG. 5 is a perspective view showing a state in which probes are arranged on a test pattern of the multilayer printed wiring board in the first embodiment.
【図6】実施形態例1における,第5層の信号層につい
て測定する場合の,プローブと多層プリント配線板のテ
ストパターンの斜視図。FIG. 6 is a perspective view of a test pattern of a probe and a multilayer printed wiring board when measuring a fifth signal layer in the first embodiment.
【図7】実施形態例1における,(A)第5層の信号層
について測定する場合のプローブの断面説明図,(B)
第6層の信号層について測定する場合のプローブの断面
説明図。FIGS. 7A and 7B are cross-sectional explanatory views of a probe when measuring a fifth signal layer in the first embodiment, and FIG.
Sectional explanatory drawing of the probe at the time of measuring about the 6th signal layer.
【図8】実施形態例2における,プローブの長手方向に
垂直な平面による断面説明図。FIG. 8 is an explanatory sectional view of a plane perpendicular to the longitudinal direction of a probe according to a second embodiment.
【図9】実施形態例2における,第5層の信号層につい
て測定する場合の,プローブと多層プリント配線板のテ
ストパターンの断面説明図。FIG. 9 is an explanatory cross-sectional view of a test pattern of a probe and a multilayer printed wiring board when measuring a fifth signal layer in the second embodiment.
【図10】実施形態例3における,多層プリント配線板
の第5層と第6層の信号層の周辺を表す断面説明図。FIG. 10 is an explanatory cross-sectional view illustrating the periphery of a fifth signal layer and a sixth signal layer of the multilayer printed wiring board according to the third embodiment.
【図11】実施形態例3における,(A)測定する信号
層に対応する信号ピンのみを信号用測定パッドに当接さ
せたときの第5層の信号層の特性インピーダンスの測定
結果,(B)全ての信号ピンを信号用測定パッドに当接
させたときの第5層の信号層の特性インピーダンスの測
定結果をそれぞれ表す線図。FIG. 11A shows a measurement result of the characteristic impedance of the fifth signal layer when only the signal pin corresponding to the signal layer to be measured is brought into contact with the signal measurement pad in the third embodiment; 5) Diagrams showing measurement results of the characteristic impedance of the fifth signal layer when all signal pins are brought into contact with the signal measurement pad.
【図12】実施形態例3における,(A)測定する信号
層に対応する信号ピンのみを信号用測定パッドに当接さ
せたときの第6層の信号層の特性インピーダンスの測定
結果,(B)全ての信号ピンを信号用測定パッドに当接
させたときの第6層の信号層の特性インピーダンスの測
定結果をそれぞれ表す線図。FIG. 12A shows a measurement result of the characteristic impedance of the sixth signal layer when only the signal pin corresponding to the signal layer to be measured is brought into contact with the signal measurement pad in the third embodiment; 7) Diagrams respectively showing measurement results of the characteristic impedance of the sixth signal layer when all signal pins are brought into contact with the signal measurement pad.
【図13】従来例における,特性インピーダンス測定機
及び多層プリント配線板の斜視図。FIG. 13 is a perspective view of a characteristic impedance measuring instrument and a multilayer printed wiring board in a conventional example.
【図14】従来例における,プローブの正面図。FIG. 14 is a front view of a probe in a conventional example.
1...特性インピーダンス測定機, 11...TDRメータ, 2,20...プローブ, 21,211,213,215,216,218...
信号ピン, 22...接地ピン, 25...本体部, 3...多層プリント配線板, 31,311,313,315,316,318...
信号層, 32...接地層, 33,331,333,335,336,338...
信号用測定パッド, 34...接地用測定パッド,1. . . 10. Characteristic impedance measuring instrument, . . TDR meter, 2, 20. . . Probes, 21, 211, 213, 215, 216, 218. . .
Signal pins, 22. . . Ground pin, 25. . . Main body, 3. . . Multilayer printed wiring board, 31, 311, 313, 315, 316, 318. . .
Signal layer, 32. . . Ground layer, 33,331,333,335,336,338. . .
Measurement pad for signal, 34. . . Grounding measurement pad,
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 3/46 H05K 3/46 W Fターム(参考) 2G011 AA03 AA15 AB07 AC02 AC31 AF01 2G028 AA01 BB10 BC01 CG08 DH11 FK00 HM05 HM07 HN01 HN12 LR09 5E317 AA02 BB01 CD29 CD36 GG16 5E346 AA12 AA15 BB01 BB02 BB03 BB04 BB06 BB16 CC31 GG32 GG34 HH01 HH33 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI Theme coat ゛ (Reference) H05K 3/46 H05K 3/46 WF Term (Reference) 2G011 AA03 AA15 AB07 AC02 AC31 AF01 2G028 AA01 BB10 BC01 CG08 DH11 FK00 HM05 HM07 HN01 HN12 LR09 5E317 AA02 BB01 CD29 CD36 GG16 5E346 AA12 AA15 BB01 BB02 BB03 BB04 BB06 BB16 CC31 GG32 GG34 HH01 HH33
Claims (3)
リント配線板に電気信号を発信し受信して特性インピー
ダンスを測定すると共に測定結果を表示するTDRメー
タと,該TDRメータに電気的に接続されたプローブと
を有する特性インピーダンス測定機において,上記プロ
ーブは,上記多層プリント配線板における上記各信号層
とそれぞれ電気的に接続された信号用測定パッドに当接
させる複数の信号ピンと,上記多層プリント配線板にお
ける上記接地層と電気的に接続された接地用測定パッド
に当接させる接地ピンとを有し,かつ,上記各信号ピン
は,それぞれ対応する上記各信号用測定パッドに一度に
当接させることができるよう,上記プローブの本体部に
配設されていることを特徴とする特性インピーダンス測
定機。1. A TDR meter for transmitting and receiving an electric signal to a multilayer printed wiring board having a ground layer and a plurality of signal layers, measuring a characteristic impedance and displaying a measurement result, and electrically connecting the TDR meter to the TDR meter. In the characteristic impedance measuring instrument having a probe connected thereto, the probe comprises a plurality of signal pins which are brought into contact with a signal measuring pad electrically connected to each of the signal layers of the multilayer printed wiring board; A grounding pin for contacting a grounding measurement pad electrically connected to the grounding layer of the printed wiring board, and wherein each of the signal pins is in contact with each of the corresponding signal measurement pads at one time. A characteristic impedance measuring instrument, which is provided on a main body of the probe so as to be able to perform the measurement.
記プローブの本体部に対して伸縮可能に設けられ,所望
の信号ピンのみを上記信号用測定パッドに当接させるこ
とができるよう構成してあることを特徴とする特性イン
ピーダンス測定機。2. The signal pin according to claim 1, wherein the signal pin is provided so as to be expandable and contractable with respect to the main body of the probe, and only a desired signal pin can be brought into contact with the signal measuring pad. A characteristic impedance measuring instrument, characterized in that:
ンス測定機は,上記信号ピンと上記TDRメータとの電
気的接続の入切を切替えるスイッチを有することを特徴
とする特性インピーダンス測定機。3. The characteristic impedance measuring device according to claim 1, wherein the characteristic impedance measuring device includes a switch for switching on / off of an electrical connection between the signal pin and the TDR meter.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000345555A JP2002148290A (en) | 2000-11-13 | 2000-11-13 | Characteristic impedance measuring instrument |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000345555A JP2002148290A (en) | 2000-11-13 | 2000-11-13 | Characteristic impedance measuring instrument |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002148290A true JP2002148290A (en) | 2002-05-22 |
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ID=18819568
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000345555A Pending JP2002148290A (en) | 2000-11-13 | 2000-11-13 | Characteristic impedance measuring instrument |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002148290A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102440776A (en) * | 2011-09-23 | 2012-05-09 | 中国人民解放军第四军医大学 | Electrode and method for measuring dielectric properties of anisotropic biological tissue |
| CN103097901A (en) * | 2011-09-08 | 2013-05-08 | 日本梅克特隆株式会社 | Continuity inspection apparatus and continuity inspection method |
| CN114200211A (en) * | 2020-09-02 | 2022-03-18 | 日本梅克特隆株式会社 | Inspection method and inspection apparatus |
-
2000
- 2000-11-13 JP JP2000345555A patent/JP2002148290A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103097901A (en) * | 2011-09-08 | 2013-05-08 | 日本梅克特隆株式会社 | Continuity inspection apparatus and continuity inspection method |
| CN103097901B (en) * | 2011-09-08 | 2015-05-20 | 日本梅克特隆株式会社 | Continuity inspection apparatus and continuity inspection method |
| CN102440776A (en) * | 2011-09-23 | 2012-05-09 | 中国人民解放军第四军医大学 | Electrode and method for measuring dielectric properties of anisotropic biological tissue |
| CN114200211A (en) * | 2020-09-02 | 2022-03-18 | 日本梅克特隆株式会社 | Inspection method and inspection apparatus |
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