JP2002036123A - Whetstone, method of manufacturing the same, and optical shaping apparatus - Google Patents
Whetstone, method of manufacturing the same, and optical shaping apparatusInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は砥石部に生じる目詰まりを低減さ
せ、ドレッシングに費やす時間を低減させ、又は目詰ま
りしていても砥石工具や被加工物の破損が起きにくい砥
石工具、およびその製造方法を提供することを目的とす
る。また、他にも本発明のもう一つの目的としては、複
雑な形状でも容易に形状創成できる形状創成装置を提供
することを目的とする。
【解決手段】 本発明は、研削加工に用いる砥石工具に
おいて、中空の円筒形状を有する砥石部1と、その砥石
部を支持するシャンク部2とを有し、その砥石部の内周
面および外周面に溝を有した。また、他に本発明の他の
形態では、所定の波長の光を放射し、被形状形成物の表
面近傍に前記光を集光する光源と、被形状形成物を移動
させる駆動部材とを有し、被形状形成物を光源の光に反
応して硬化する光硬化樹脂液に浸しながら、被形状形成
物の表面に前記光源の光を放射させ、光硬化樹脂液を所
望の形状に硬化させて、所望の形状を形成する光造形装
置において、駆動部材は被形状形成物を回転可能である
こととした。
PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce clogging occurring in a grindstone portion, reduce the time spent for dressing, or to prevent a whetstone tool or a workpiece from being damaged even when clogged. , And a method of manufacturing the same. Another object of the present invention is to provide a shape creating apparatus that can easily create a complicated shape. SOLUTION: The present invention relates to a grindstone tool used for grinding, which has a grindstone portion 1 having a hollow cylindrical shape and a shank portion 2 for supporting the grindstone portion, and has an inner peripheral surface and an outer periphery of the grindstone portion. The surface had grooves. In another embodiment of the present invention, a light source that emits light of a predetermined wavelength and condenses the light near the surface of the workpiece is provided with a driving member that moves the workpiece. Then, while immersing the shape forming object in a photocurable resin liquid that cures in response to the light of the light source, the light of the light source is emitted to the surface of the shape forming object, and the photocurable resin liquid is cured into a desired shape. Thus, in the optical shaping apparatus for forming a desired shape, the driving member is capable of rotating the object to be shaped.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、被加工物に溝形状
や穴形状を施す砥石工具およびその製造方法に関する。
また、本発明は、その様な砥石工具を得るために、容易
な方法で形状創成可能な光造形装置にも関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a grindstone tool for forming a groove or a hole in a workpiece and a method of manufacturing the same.
The present invention also relates to an optical shaping apparatus capable of forming a shape by an easy method in order to obtain such a grindstone tool.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、セラミックスなどの高脆性材料に
溝や穴を形成する場合、コアドリルという工具を用い、
コアドリルを回転させながら材料に加圧接触させて溝や
穴を形成している。このコアドリルは、加工装置に取り
付けられる部分である台金またはシャンクと呼ばれる部
分の先端に、電着砥石を設けたものである。その際、ド
リルの軸に対し垂直な平面での電着砥石部分の断面形状
は、略ドーナツ形状を有した中空部分を有している。こ
のコアドリルは、中空部分に水または研削液を供給しな
がら、被加工物を研削加工してゆく。2. Description of the Related Art Conventionally, when forming grooves or holes in highly brittle materials such as ceramics, a tool called a core drill is used.
While rotating the core drill, the material is brought into pressure contact with the material to form grooves and holes. This core drill has an electrodeposition grindstone provided at the tip of a part called a base metal or a shank which is a part to be attached to a processing apparatus. At this time, the cross-sectional shape of the electrodeposition grindstone portion in a plane perpendicular to the axis of the drill has a hollow portion having a substantially donut shape. This core drill grinds a workpiece while supplying water or a grinding fluid to a hollow portion.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このコ
アドリルのような砥石工具による穴加工、特に深い穴の
加工においては、研削屑が砥石部に目詰まりしやすく、
加工の進展が著しく低下してしまう。そこで、目詰まり
を解消するために、砥石部を頻繁にドレッシングする必
要が生じてしまう。However, in drilling with a grinding wheel tool such as a core drill, particularly when drilling deep holes, grinding debris easily clogs the grinding wheel.
The progress of processing is significantly reduced. Therefore, in order to eliminate the clogging, it becomes necessary to frequently dress the grindstone portion.
【0004】また、砥石部が目詰まりの状態では、砥石
の先端部、外周部および内周部のいずれかの面が極度の
摩擦状態になり、被加工物に砥石工具が厚入された状態
になりやすい。このような状態になると加工が進展しな
くなったり、また、加工できたとしても砥石工具の摩耗
具合が極端に大きくなり工具を破損したり、最悪の状態
では被加工物を破損させてしまうことにもなってしま
う。In addition, when the grinding wheel is clogged, the surface of any one of the tip, outer periphery, and inner periphery of the grinding wheel is in an extremely frictional state, and the grinding tool is thickly inserted into the workpiece. Easy to be. In such a state, machining will not progress, or even if it can be done, the degree of wear of the grinding wheel tool will be extremely large and the tool will be damaged, and in the worst case the workpiece will be damaged Will also be.
【0005】そこで、本発明は砥石部に生じる目詰まり
を低減させ、ドレッシングに費やす時間を低減させ、又
は目詰まりしていても砥石工具や被加工物の破損が起き
にくい砥石工具、およびその製造方法を提供することを
目的とする。[0005] Therefore, the present invention reduces the clogging that occurs in the grindstone portion, reduces the time spent for dressing, or the whetstone tool or the workpiece that is less likely to be damaged even if clogged, and the manufacturing thereof. The aim is to provide a method.
【0006】一方、目詰まりを低減させるために、砥石
の形状に複雑な形状を必要とする場合がある。同心円状
の砥石に複雑な形状を施す場合、加工機の加工刃を複雑
に移動させて複雑な形状を創成する必要がある。しか
し、複雑な動きをする加工機は、非常に高価である。ま
た、その様な加工機では、加工刃の移動制御を十分なス
ペックで行うために、加工速度が遅くなる。したがっ
て、砥石を電鋳法により形成したとしても、その原版が
必要となる。その原版加工のため、やはり複雑な形状加
工が必要となる。On the other hand, in order to reduce clogging, there is a case where a complicated shape is required for the shape of the grindstone. When giving a complicated shape to a concentric whetstone, it is necessary to move a processing blade of a processing machine in a complicated manner to create a complicated shape. However, processing machines with complicated movements are very expensive. Further, in such a processing machine, the processing speed is slow because the movement control of the processing blade is performed with sufficient specifications. Therefore, even if the grindstone is formed by the electroforming method, the original plate is required. For the original plate processing, complicated shape processing is still required.
【0007】そこで、本発明のもう一つの目的として
は、複雑な形状でも容易に形状創成できる形状創成装置
を提供することを目的とする。[0007] It is another object of the present invention to provide a shape creating apparatus that can easily create a complicated shape.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、研削加工に用いる砥石工具において、中
空の円筒形状を有する砥石部と、その砥石部を支持する
シャンク部とを有し、その砥石部の内周面および外周面
に溝を有した。この様に溝を内周面および外周面に形成
することで、加工屑が溝にそって移動しやすくなり、加
工屑の排出性が向上する。更に、研削時、加工面に水や
加工液を供給する必要があるが、水や加工液の加工部位
への供給も溝を形成することで容易になる。また、同様
に水や加工液の排出性も良くなる。SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention relates to a grinding wheel tool used for grinding, which has a grinding portion having a hollow cylindrical shape and a shank portion for supporting the grinding portion. The grindstone had grooves on the inner and outer peripheral surfaces. By forming the grooves on the inner peripheral surface and the outer peripheral surface in this manner, the processing chips can easily move along the grooves, and the discharge of the processing chips can be improved. Further, at the time of grinding, it is necessary to supply water or a processing liquid to the processing surface, but the supply of water or the processing liquid to the processing portion is also facilitated by forming the groove. In addition, the drainage of water and the working fluid is also improved.
【0009】更に、本発明は、砥石部の内周面に形成さ
れた溝の一部と砥石部の外周面に形成された溝の一部と
が、貫通していることとした。この様に内周面と外周面
を貫通させることで、水や研削液が内周面側と外周面側
とで相互に流れやすくなり、研削状態を良好な状態で維
持できる。Further, in the present invention, a part of the groove formed on the inner peripheral surface of the grindstone portion and a part of the groove formed on the outer peripheral surface of the grindstone portion penetrate. By penetrating the inner peripheral surface and the outer peripheral surface in this manner, water and grinding fluid can easily flow between the inner peripheral surface side and the outer peripheral surface side, and a good grinding state can be maintained.
【0010】また、本発明は更に、砥石部の内周面に形
成された溝と、砥石部の外周面に形成された溝の少なく
とも一方が、リード形状となっていることとした。この
様に内外周面のいずれか一方の溝を螺旋状に形成し、リ
ード形状にすることで、砥石部がメッシュ状になり、容
易に内周面と外周面が貫通した構造が得られる。また、
砥石部の先端が研削により摩擦しても、砥石部の被加工
物に対する接触面積が変化しないので、研削状態を安定
に保つことができる。Further, in the present invention, at least one of the groove formed on the inner peripheral surface of the grindstone portion and the groove formed on the outer peripheral surface of the grindstone portion has a lead shape. In this way, by forming one of the grooves on the inner and outer peripheral surfaces in a spiral shape and forming a lead shape, the grindstone portion becomes a mesh shape, and a structure in which the inner and outer peripheral surfaces easily penetrate can be obtained. Also,
Even if the tip of the grindstone portion is rubbed by grinding, the contact area of the grindstone portion with the workpiece does not change, so that the grinding state can be stably maintained.
【0011】また、本発明は、中空の円筒形状を有し、
かつ内周面および外周面に溝が形成されている砥石部を
有する砥石工具の製造方法において、所定の波長の光に
反応して硬化する光硬化樹脂を用い、砥石部の形状の反
転形状になるように光硬化樹脂を硬化させて、砥石部の
反転形状型を得る型工程と、型工程の後に、研削性の良
い砥粒を含有した金属メッキ液により反転形状型にメッ
キ処理を行い砥石部を形成する工程とを有することとし
た。Further, the present invention has a hollow cylindrical shape,
In a method for manufacturing a grinding wheel tool having a grinding wheel portion having a groove formed on the inner peripheral surface and the outer peripheral surface, a light-curing resin that cures in response to light having a predetermined wavelength is used, and the shape of the grinding wheel portion is inverted. A mold step of curing the photocurable resin to obtain an inverted shape mold of the grindstone portion; and, after the mold process, performing a plating treatment on the inverted shape mold with a metal plating solution containing abrasive grains having good grindability. And forming a portion.
【0012】この様な製造工程により中空の円筒状を有
しその内周面と外周面に溝が形成された砥石部を有する
砥石工具を容易に製造することが可能となる。また、本
発明の他の形態では、所定の波長の光を放射し、被形状
形成物の表面近傍に前記光を集光する光源と、前記被形
状形成物を移動させる駆動部材とを有し、前記被形状形
成物を前記光源の光に反応して硬化する光硬化樹脂液に
浸しながら、前記被形状形成物の表面に前記光源の光を
放射させ、前記光硬化樹脂液を所望の形状に硬化させ
て、前記所望の形状を形成する光造形装置において、前
記駆動部材は、前記被形状形成物を回転可能であること
とした。By such a manufacturing process, it is possible to easily manufacture a grindstone tool having a grindstone portion having a hollow cylindrical shape and having grooves formed on the inner and outer peripheral surfaces thereof. In another embodiment of the present invention, a light source that emits light of a predetermined wavelength and condenses the light in the vicinity of the surface of the workpiece is provided, and a driving member that moves the workpiece is provided. Irradiating the light of the light source onto the surface of the shape-forming object while immersing the shape-forming object in a light-curing resin liquid that is cured in response to the light of the light source, thereby forming the light-curing resin liquid into a desired shape. In the optical shaping apparatus that forms the desired shape by curing the object, the driving member is capable of rotating the object to be shaped.
【0013】この様な光造形装置を用いることで、円筒
形状に更に複雑な形状を施すような場合に、被形状形成
物を回転させながら、光源の光を照射させる被形状形成
物上で位置が容易に変更できるので、円筒形状の被形状
形成物上に容易に造形ができる。By using such an optical shaping apparatus, when a more complicated shape is to be applied to a cylindrical shape, the position on the shape-forming object to be irradiated with light from the light source while rotating the shape-forming object. Can be easily changed, so that modeling can be easily performed on the cylindrical shaped workpiece.
【0014】次に、本発明の実施の形態を例示して、更
に本発明を詳しく説明するが、本発明はこれに限られる
ものではない。Next, the present invention will be described in more detail with reference to embodiments of the present invention, but the present invention is not limited to these embodiments.
【0015】[0015]
【発明の実施の形態】次に、本発明に係る実施形態であ
る砥石工具について説明する。本実施の形態では砥石工
具の一例としてコアドリルを例示し、図面を用いて説明
する。Next, a grindstone tool according to an embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, a core drill is illustrated as an example of a grindstone tool, and will be described with reference to the drawings.
【0016】図1は、本実施形態であるコアドリル先端
部の斜視図である。このコアドリルは、砥石部1と工具
シャンク2からなる。なお、図1には、工具シャンク2
の先端部分のみ開示している。工具シャンク2の全体形
状は、通常のシャンクと同じなのでここでの説明は省略
する。FIG. 1 is a perspective view of a tip portion of a core drill according to the present embodiment. This core drill comprises a grindstone part 1 and a tool shank 2. FIG. 1 shows the tool shank 2
Is disclosed only at the tip. Since the overall shape of the tool shank 2 is the same as that of a normal shank, description thereof will be omitted.
【0017】砥石部1は内周側と外周側にリード状の溝
形状を有し、そのリード形状の螺旋方向は、内周側と外
周側で逆方向になっている。そして、砥石部1の側面に
は、複数の開口部が設けられている。なお、砥石部1
は、ダイヤモンド砥粒が含有されたニッケル金属層で形
成されている。また、工具シャンク2は、マルテンサイ
ト系ステンレス鋼からなる。The grindstone portion 1 has a lead-like groove shape on the inner peripheral side and the outer peripheral side, and the spiral direction of the lead shape is opposite on the inner peripheral side and the outer peripheral side. A plurality of openings are provided on the side surface of the grindstone unit 1. In addition, whetstone part 1
Is formed of a nickel metal layer containing diamond abrasive grains. The tool shank 2 is made of martensitic stainless steel.
【0018】また、このコアドリルは、工具シャンク2
の外径より砥石部1の外径が大きくなるように形成され
ている。これは、工具シャンク2が、加工中、被加工物
に接触しないようにするためである。このコアドリルを
用いて穴加工を行う際には、この砥石部の内周、外周お
よび端面が被加工物に接触することで、被加工物への加
工が進展してゆく。Further, this core drill is used for the tool shank 2.
It is formed so that the outer diameter of the grindstone portion 1 is larger than the outer diameter of. This is to prevent the tool shank 2 from contacting the workpiece during machining. When a hole is drilled using this core drill, the inner periphery, the outer periphery, and the end surface of the grindstone portion come into contact with the workpiece, whereby the processing on the workpiece progresses.
【0019】ところで、本実施の形態におけるコアドリ
ルは、幾つかの利点を有する。ひとつは、砥石部1の側
面に、内周面と外周面とに連通するように、開口部が設
けられていることである。通常、コアドリルを使って被
加工物を研削する場合、研削液をコアドリルの内側から
供給する。そして、研削液がコアドリルと被加工物が接
触する部分全体に行き渡ることで良好な研削状態が得ら
れる。なお、本実施の形態におけるコアドリルには、内
周面と外周面とが連通するように開口部が設けられてい
るので、コアドリルの内側に供給された研削液もコアド
リルの外側に行き渡りやすくなっている。そのため、良
好な研削状態が得られるようになっている。The core drill according to the present embodiment has several advantages. One is that an opening is provided on the side surface of the grindstone 1 so as to communicate with the inner peripheral surface and the outer peripheral surface. Usually, when grinding a workpiece using a core drill, a grinding fluid is supplied from inside the core drill. Then, a favorable grinding state can be obtained by the grinding fluid being spread over the entire portion where the core drill contacts the workpiece. In the core drill according to the present embodiment, the opening is provided so that the inner peripheral surface and the outer peripheral surface communicate with each other, so that the grinding fluid supplied inside the core drill also easily spreads outside the core drill. I have. Therefore, a good grinding state can be obtained.
【0020】もうひとつに、砥石部の内周面と外周面に
異なるリード状の溝が形成されていることである。そし
て、溝は、等間隔にほぼ同じ幅で形成されている。した
がって、砥石部1の端面の面積は、コアドリルが摩耗し
ても常に同じ面積になる。その様子を図2に示した。図
2は、コアドリルの砥石部1の端面の様子を示したもの
であり、砥石部1の端面の摩耗による変化を示してい
る。Another difference is that different lead-shaped grooves are formed on the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the grindstone portion. The grooves are formed at substantially equal intervals at substantially the same width. Therefore, the area of the end face of the grindstone portion 1 is always the same even if the core drill is worn. This is shown in FIG. FIG. 2 shows a state of the end face of the grindstone portion 1 of the core drill, and shows a change due to wear of the end face of the grindstone portion 1.
【0021】このコアドリルでは、穴加工の際に砥石部
1の端面が一番加工に寄与する。したがって、コアドリ
ルでの加工時間の経過によって、砥石部1の端面が摩耗
して、砥石部1が段々短くなっていく。しかし、本実施
の形態におけるコアドリルは、砥石部1の側面に開口部
が設けられていても、端面の面積は摩耗の有無によら
ず、同一面積になる。In this core drill, the end face of the grindstone portion 1 most contributes to the hole drilling. Therefore, as the processing time with the core drill elapses, the end face of the grindstone portion 1 is worn, and the grindstone portion 1 is gradually shortened. However, in the core drill according to the present embodiment, even if an opening is provided on the side surface of the grindstone portion 1, the area of the end surface is the same regardless of the presence or absence of wear.
【0022】ところで、一番最初の端面の状態を図2
(a)に示した。この状態からコアドリルを使用する
と、被加工物との摩擦によりコアドリルも摩耗してゆ
く。したがって、図1で示したコアドリルに対して、そ
の先端部が幾らか短くなる。その時の砥石部1の端面の
形状は、図2(b)となる。砥石部1はリード状の形状
を有しているため、外周側の砥石部1は時計回りに、内
周側の砥石部1は反時計回りに端面の位置がずれてゆ
き、内周側の砥石部1と外周側の砥石部1とが僅かにず
れた位置に存在するようになる。しかし、砥石部1の端
面の面積は変わらない。FIG. 2 shows the state of the first end face.
(A). When the core drill is used from this state, the core drill also wears due to friction with the workpiece. Therefore, the tip of the core drill shown in FIG. 1 is somewhat shorter. FIG. 2B shows the shape of the end surface of the grindstone 1 at that time. Since the grindstone portion 1 has a lead-like shape, the position of the end face of the grindstone portion 1 on the outer peripheral side is shifted clockwise, and the position of the end face of the grindstone portion 1 on the inner peripheral side is counterclockwise shifted. The grindstone portion 1 and the grindstone portion 1 on the outer peripheral side are present at positions slightly shifted. However, the area of the end face of the grindstone 1 does not change.
【0023】そして、更にコアドリルが摩耗すると、そ
の砥石の端面は図2(c)に示すようになる。外周側の
砥石部1は更に時計回りに、そして、内周側の砥石部1
は更に反時計周りに位置がずれる。このときも、砥石部
1の端面の面積は変わらない。そして、更に摩耗が発生
すると、図2(d)に示した砥石部1の端面形状とな
る。このとき、図2(a)で示すように、コアドリルの
摩耗前と同じ端面形状となり、端面の面積は依然変わら
ない。When the core drill further wears, the end face of the grindstone becomes as shown in FIG. 2 (c). The outer peripheral side grindstone 1 is further clockwise, and the inner peripheral side grindstone 1
Shifts further counterclockwise. Also at this time, the area of the end face of the grindstone portion 1 does not change. Then, when further abrasion occurs, the end face shape of the grindstone portion 1 shown in FIG. At this time, as shown in FIG. 2A, the end face has the same shape as before wear of the core drill, and the area of the end face remains unchanged.
【0024】したがって、本実施の形態によるコアドリ
ルによれば、摩耗しても被加工物と砥石部1との接触面
積が変わらないので、安定した加工状態を得ることがで
きる。Therefore, according to the core drill according to the present embodiment, even when worn, the contact area between the workpiece and the grindstone portion 1 does not change, so that a stable machining state can be obtained.
【0025】また、本実施の形態では、リード状の溝の
螺旋方向は互いに逆方向になっているので、内周側の溝
と外周側の溝との交差部分が開口部となり、砥石部1の
側面がメッシュ状になっている。故に、砥石部1の外周
面にも水や加工液が行き渡りやすくなっている。In this embodiment, since the spiral directions of the lead-like grooves are opposite to each other, the intersection between the inner peripheral groove and the outer peripheral groove becomes an opening, and Has a mesh side. Therefore, the water and the working liquid can easily spread to the outer peripheral surface of the grindstone portion 1.
【0026】つぎに、図1で示すコアドリルの製造方法
について説明する。本発明の実施の形態における製造方
法を図3に基づいて説明する。ところで、本実施の形態
におけるコアドリルは、工具の直径が非常に小さく、そ
の直径が1mm程度の工具であるので、光造形手法を利
用してコアドリルを製造した。Next, a method of manufacturing the core drill shown in FIG. 1 will be described. The manufacturing method according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. By the way, the core drill according to the present embodiment is a tool having a very small tool diameter and a diameter of about 1 mm. Therefore, the core drill was manufactured using a stereolithography technique.
【0027】光造形手法は、紫外線硬化性樹脂をレーザ
ー光で硬化させ3次元立体構造を製作する。そこで、光
造形手法により図1に示したコアドリルとは反転した形
状を有する形状を、紫外線硬化性樹脂で製作することと
した。According to the photolithography technique, a three-dimensional three-dimensional structure is manufactured by curing an ultraviolet curable resin with a laser beam. Therefore, a shape having a shape inverted from that of the core drill shown in FIG. 1 is manufactured using an ultraviolet curable resin by a stereolithography technique.
【0028】図3は、図1に示した構造を有するコアド
リルの製作工程を示している。なお、図3は、各工程に
おける断面形状を示している。最初に、図3(a)に示
したように、機械加工により所定の形状に創成した工具
シャンク2に、紫外線硬化樹脂溶解時に同じ溶液で溶解
可能なアクリル樹脂22を固定した。このアクリル樹脂
22は中空のパイプ形状を有した工具シャンク2の穴内
部に圧入させている。なお、このアクリル樹脂材料22
は、必要な工具内径とほぼ同寸法である。FIG. 3 shows a manufacturing process of the core drill having the structure shown in FIG. FIG. 3 shows a cross-sectional shape in each step. First, as shown in FIG. 3A, an acrylic resin 22, which can be dissolved with the same solution when dissolving the ultraviolet curable resin, was fixed to a tool shank 2 formed into a predetermined shape by machining. The acrylic resin 22 is pressed into the hole of the tool shank 2 having a hollow pipe shape. The acrylic resin material 22
Is approximately the same size as the required tool inner diameter.
【0029】次に、アクリル樹脂22の円筒面に、砥石
部1の析出を助長させるために、ニッケルや銀、金等の
導電膜23を形成する。導電膜23を形成するときに
は、可能な限り回転させながら円周全般に渡って成膜す
ることが重要である。また、成膜した導電膜23と工具
シャンク2とは導通状態になるように成膜する必要があ
る。Next, a conductive film 23 of nickel, silver, gold or the like is formed on the cylindrical surface of the acrylic resin 22 in order to promote the precipitation of the grindstone portion 1. When forming the conductive film 23, it is important to form the film over the entire circumference while rotating as much as possible. Further, it is necessary to form a film so that the formed conductive film 23 and the tool shank 2 are in a conductive state.
【0030】この様にして得られた工具シャンク2とア
クリル樹脂22の断面形状は、図3(a)に示したよう
になっている。次に、図3(b)に示すように紫外線硬
化樹脂層24をアクリル樹脂22に設けて、工具シャン
ク2から突出した部分を砥石部1の反転形状になるよう
に製作する。The cross-sectional shapes of the tool shank 2 and the acrylic resin 22 obtained in this manner are as shown in FIG. Next, as shown in FIG. 3 (b), an ultraviolet curable resin layer 24 is provided on the acrylic resin 22, and a portion protruding from the tool shank 2 is manufactured so as to be an inverted shape of the grindstone portion 1.
【0031】まず、最初に、工具シャンク2を図4に示
す光造形装置40の横軸の割り出し盤42に固定する。
これによってアクリル樹脂22の円柱形状の中心を中心
に0.1°程度の割り出しが可能となる。First, the tool shank 2 is fixed to the indexing plate 42 on the horizontal axis of the optical shaping apparatus 40 shown in FIG.
This makes it possible to make an index of about 0.1 ° about the center of the cylindrical shape of the acrylic resin 22.
【0032】ところで、本実施の形態に用いられる光造
形装置40の概略は、図4に示した構成を有する。図4
は、タンク41を透視した時の光造形装置の側面図であ
る。この光造形装置40は、紫外線硬化樹脂溶液24a
を貯めておくタンク41と、前述の割り出し盤42と、
紫外レーザ光源43からなる。The outline of the optical shaping apparatus 40 used in the present embodiment has the configuration shown in FIG. FIG.
FIG. 4 is a side view of the optical shaping apparatus when the tank 41 is seen through. This stereolithography apparatus 40 includes an ultraviolet curing resin solution 24a.
Tank 41 for storing the above, the indexing board 42 described above,
It comprises an ultraviolet laser light source 43.
【0033】割り出し盤42はタンク41内に設けられ
ている。そして、割り出し盤42は、固定された工具シ
ャンク2を、中心軸を中心に0.1度毎の任意の角度で
回転させることができる。The indexing board 42 is provided in the tank 41. And the indexing board 42 can rotate the fixed tool shank 2 at an arbitrary angle of every 0.1 degree about the central axis.
【0034】また、紫外レーザ光源43から放射される
レーザ光は、本実施の形態では、工具シャンク2に固定
されたアクリル樹脂材料22の表面のところで、集光さ
れるようになっている。したがって、紫外線硬化樹脂溶
液24aは、アクリル樹脂22上で硬化するようになっ
ている。そして、紫外レーザ光源43は図4の図面左右
方向に光線を走査できるように走査光学系を有してい
る。したがって、工具シャンク2から突出したアクリル
樹脂22の任意の位置で硬化できるようになっている。In this embodiment, the laser beam emitted from the ultraviolet laser light source 43 is focused on the surface of the acrylic resin material 22 fixed to the tool shank 2. Therefore, the ultraviolet curable resin solution 24a is set on the acrylic resin 22. The ultraviolet laser light source 43 has a scanning optical system so that light beams can be scanned in the horizontal direction in FIG. Therefore, the acrylic resin 22 protruding from the tool shank 2 can be cured at an arbitrary position.
【0035】この様な光造形装置40を使用して、アク
リル樹脂22上に紫外線硬化樹脂24aを硬化させる場
合は、次のようにして行われる。最初に、図4に示すよ
うに、完成時に得られる砥石部1の外周部の接線が紫外
線硬化樹脂溶液24aの液面と平行になるように、工具
シャンク2を横軸の割り出し盤41に固定する。そし
て、割り出し盤42を回転駆動制御しかつ紫外レーザ光
源43の走査光学系を制御しながら、工具シャンク2に
設けられたアクリル樹脂材料22側面の溝形状が形成さ
れる部分に、厚み0.05mmの紫外線硬化樹脂層24
を都合0.4mm程度の厚みになるまで積層させて行
く。When the ultraviolet curing resin 24a is cured on the acrylic resin 22 by using such an optical shaping apparatus 40, the curing is performed as follows. First, as shown in FIG. 4, the tool shank 2 is fixed to the horizontal axis indexing plate 41 such that the tangent of the outer peripheral portion of the grindstone portion 1 obtained at the time of completion is parallel to the liquid surface of the ultraviolet curing resin solution 24a. I do. Then, while controlling the rotation of the indexing plate 42 and controlling the scanning optical system of the ultraviolet laser light source 43, a thickness of 0.05 mm is formed on the portion of the acrylic resin material 22 provided on the tool shank 2 where the groove shape is formed. UV curable resin layer 24
Are stacked until the thickness becomes about 0.4 mm.
【0036】なお、前述のように割り出し盤42は、ア
クリル樹脂22が有する円筒形状の軸に対して回転可能
である。したがって、紫外線硬化樹脂層24をアクリル
樹脂22の表面に形成するときは、紫外レーザ光の照射
位置が砥石部1のリード状の溝に該当する部分にくるよ
うに、アクリル樹脂22を回転移動させ、かつ紫外レー
ザ光源43の光束の集光位置を変える。このようにし
て、砥石部1の溝部分に対応する形状をアクリル樹脂2
2の上に紫外線硬化樹脂によって形づくる。この様に被
形状形成物である工具シャンク2に設けられたアクリル
樹脂22を割り出し盤42に固定して使用される光造形
装置では、非常に複雑な形状に紫外線硬化樹脂を形づく
るのも可能である。As described above, the indexing board 42 is rotatable with respect to the cylindrical shaft of the acrylic resin 22. Therefore, when forming the ultraviolet curable resin layer 24 on the surface of the acrylic resin 22, the acrylic resin 22 is rotated and moved so that the irradiation position of the ultraviolet laser light is located at a portion corresponding to the lead-shaped groove of the grindstone portion 1. In addition, the focusing position of the light beam of the ultraviolet laser light source 43 is changed. In this way, the shape corresponding to the groove portion of the grindstone portion 1 is
Formed on top of 2 with UV curable resin. In this way, in the optical shaping apparatus used by fixing the acrylic resin 22 provided on the tool shank 2 which is the shape forming object to the indexing board 42, it is possible to form the ultraviolet curable resin into a very complicated shape. is there.
【0037】なお、一回の露光で形成される紫外線硬化
樹脂層24の厚さは、本発明の実施の形態では0.05
mmであるため、一回の露光では十分な厚さの紫外線硬
化樹脂層24が出来ない。そのため、紫外レーザ光の集
光位置を変えずに、アクリル樹脂22の側面の位置を集
光位置から遠ざけて、再び砥石部1に形成される溝に該
当する部分に紫外レーザ光を集光させて、既に形成され
た紫外線硬化樹脂層24の上に新たに紫外線硬化樹脂層
24を積層させている。The thickness of the ultraviolet curable resin layer 24 formed by one exposure is 0.05 in the embodiment of the present invention.
mm, the UV-curable resin layer 24 having a sufficient thickness cannot be formed by one exposure. For this reason, the position of the side surface of the acrylic resin 22 is kept away from the focusing position without changing the focusing position of the ultraviolet laser light, and the ultraviolet laser light is focused again on the portion corresponding to the groove formed in the grindstone portion 1. Thus, the ultraviolet curable resin layer 24 is newly laminated on the already formed ultraviolet curable resin layer 24.
【0038】なお、最後には、必要とする砥石部1の外
径より更に外側に紫外線硬化樹脂層24を全体的に設け
ることが望ましい。更に、工具シャンク2の砥石を形成
させたくない部分にも紫外線硬化樹脂の硬化層を形成し
ている。なお、本発明の実施の形態では工具シャンク2
と砥石部1とが、紫外線硬化樹脂24やアクリル樹脂2
2を除去後にも、接合するように紫外線硬化樹脂層24
の一部に開口部を設けている。Finally, it is desirable to provide the ultraviolet curable resin layer 24 entirely outside the required outer diameter of the grindstone portion 1. Further, a cured layer of an ultraviolet curable resin is also formed on a portion of the tool shank 2 where the grindstone is not desired to be formed. In the embodiment of the present invention, the tool shank 2
And the grindstone 1 are made of an ultraviolet curable resin 24 or an acrylic resin
2 so that the ultraviolet curable resin layer 24 is bonded even after the removal.
Is provided with an opening at a part thereof.
【0039】ところで、この工程で用いられる紫外線硬
化樹脂は、後工程の作業性よりアクリル系を選定した。
しかし、本発明はこれに限られず、エポキシ系の材料を
用いても構わない。By the way, as the ultraviolet curing resin used in this step, an acrylic resin was selected from the viewpoint of workability in the subsequent steps.
However, the present invention is not limited to this, and an epoxy-based material may be used.
【0040】この様にして、砥石部1に形成される溝部
分に紫外線硬化樹脂層24を形成し終わったら、紫外線
硬化樹脂24やアクリル樹脂22に脱脂工程・洗浄を行
い、その後に、#500のダイヤモンド砥粒を含有する
無電解ニッケルめっき浴槽に紫外線硬化樹脂層24やア
クリル樹脂22が設けられた工具シャンク2を浸す。そ
して、アクリル樹脂22と紫外線硬化樹脂層24との間
に設けられた空間にダイヤモンド砥粒を含有した電鋳層
を形成する。After the formation of the ultraviolet curable resin layer 24 in the groove formed in the grindstone portion 1 in this manner, the ultraviolet curable resin 24 and the acrylic resin 22 are subjected to a degreasing step and washing, and then to # 500. The tool shank 2 provided with the ultraviolet curable resin layer 24 and the acrylic resin 22 is immersed in an electroless nickel plating bath containing diamond abrasive grains. Then, an electroformed layer containing diamond abrasive grains is formed in a space provided between the acrylic resin 22 and the ultraviolet curable resin layer 24.
【0041】このとき、可能な限りメッキ液とダイヤ砥
粒が、紫外線硬化樹脂層24とアクリル樹脂層22との
間の空間に到達するようにする必要がある。そのために
本実施の形態では、アクリル樹脂材料22で形成された
形状の先端を若干上方に向けたまま、1分間に数回転す
る速度で工具シャンクを回しながらニッケルを析出させ
た。この様にして、300μmの砥石部1(砥石内径よ
り外径までの半径成分の厚み)を析出させた。この様に
して砥石部1が析出された時の断面形状を図3(c)に
示した。At this time, it is necessary that the plating solution and the diamond abrasive grains reach the space between the ultraviolet curable resin layer 24 and the acrylic resin layer 22 as much as possible. For this purpose, in the present embodiment, nickel is deposited while rotating the tool shank at a speed of several revolutions per minute while the tip of the shape formed of the acrylic resin material 22 is directed slightly upward. In this way, a grinding wheel portion 1 (thickness of a radius component from the inner diameter to the outer diameter of the grinding wheel) of 300 μm was deposited. FIG. 3C shows a cross-sectional shape when the grinding wheel portion 1 is thus deposited.
【0042】最後に砥石部1が形成された工具シャンク
2を塩化メチレン溶液中に入れる。そのときに、超音波
洗浄を併用することでアクリル樹脂22と紫外線硬化樹
脂層24を溶解させることができる。Finally, the tool shank 2 on which the grinding wheel portion 1 is formed is put into a methylene chloride solution. At this time, the acrylic resin 22 and the ultraviolet curable resin layer 24 can be dissolved by using ultrasonic cleaning together.
【0043】この様にして、アクリル樹脂22と紫外線
硬化樹脂層24とを取り除くことで、図1に示すコアド
リルが完成する。ところで、本発明におけるコアドリル
は、図1に示すような形状に限られない。例えば、例え
ば、コアドリルの回転軸に対して垂直に切ったときの断
面図が、図5に示した形状を示すものでも良い。例え
ば、図5(a)に示すように外周側の砥石部1の断面形
状と内周側の断面形状とを異なる形状にしたり、図5
(b)に示すように内周又は外周の砥石部1を6角形な
ど多角形形状にしたり、図5(c)に示すように砥石部
1の断面を円形にすることでも構わない。The core drill shown in FIG. 1 is completed by removing the acrylic resin 22 and the ultraviolet curable resin layer 24 in this manner. By the way, the core drill in the present invention is not limited to the shape as shown in FIG. For example, for example, a cross-sectional view when cut perpendicularly to the rotation axis of the core drill may have the shape shown in FIG. For example, as shown in FIG. 5A, the cross-sectional shape of the grindstone portion 1 on the outer peripheral side is different from the cross-sectional shape on the inner peripheral side, or FIG.
As shown in (b), the inner or outer circumference of the grindstone portion 1 may be formed in a polygonal shape such as a hexagon, or the cross section of the grindstone portion 1 may be made circular as shown in FIG. 5 (c).
【0044】なお、図5(a)や図5(b)に示すよう
な形状を形成する場合、光造形方法により紫外線硬化樹
脂層の形状を、砥石部1の反転形状にして形成すること
で、製造可能となる。また図5(c)に示すような形状
を形成する場合、砥粒被覆されたワイヤー線を編み込ん
で使用しても良い。When the shape shown in FIG. 5A or FIG. 5B is formed, the shape of the ultraviolet curable resin layer is formed by inverting the shape of the grindstone 1 by a stereolithography method. , Can be manufactured. In the case of forming a shape as shown in FIG. 5C, a wire coated with abrasive grains may be woven and used.
【0045】この様に、リード状の溝形状を内周面及び
外周面に形成することで、いままで困難であった深穴加
工の加工可能時間の伸長を可能にすることができた。特
に、従来のコアドリルと比較して、ドレスインターバル
は2倍程度延びているので、リード状の溝加工が内周面
及び外周面に施されたコアドリルを用いて、深穴加工を
した場合、生産性が向上する。また、ワーク芯の折損事
故も従来のコアドリルを用いた場合と比較して、1/5
以下に減少している。As described above, by forming the lead-shaped grooves on the inner peripheral surface and the outer peripheral surface, it was possible to extend the processing time of deep hole processing, which has been difficult until now. In particular, since the dress interval is about twice as long as that of the conventional core drill, if deep drilling is performed using a core drill with lead-shaped grooves on the inner and outer peripheral surfaces, The performance is improved. Also, the breakage of the work core was 1/5 that of the case where the conventional core drill was used.
It has decreased below.
【0046】特に小径穴加工の場合において、工具先端
での目詰まりが減少したことにより、工具の寿命も2〜
4倍程度延びていることも確認した。なお、本発明は前
述のコアドリルだけに限られない。例えば、比較的内外
径の大きい砥石にこの形状を付与することでも構わな
い。なお、この様に中空部分が大きな口径を有している
場合は、放電加工機を用いて放電加工によりリード状の
溝形状を形成することでも構わない。Particularly in the case of drilling a small diameter hole, the clogging at the tip of the tool is reduced, so that the life of the tool is reduced by 2 to 2.
It was also confirmed that it was extended about four times. Note that the present invention is not limited to the core drill described above. For example, the shape may be given to a grindstone having a relatively large inner and outer diameter. In the case where the hollow portion has a large diameter, a lead-shaped groove may be formed by electric discharge machining using an electric discharge machine.
【0047】また、φ200〜φ300の平面研削用の
メタルボンド砥石にも、この様な形状を与えることで、
加工点への研削液供給を容易にすることが可能である。Also, by giving such a shape to a metal bond grinding wheel for surface grinding of φ200 to φ300,
It is possible to easily supply the grinding fluid to the processing point.
【0048】[0048]
【発明の効果】この様に、中空部分を有した円筒状の砥
石において、内周面または外周面にリード状の溝形状を
施すことにより、 ドレッシングに費やす時間を低減さ
せ、又は目詰まりしていても砥石工具や被加工物に破損
が起きにくい砥石工具を提供することが可能となる。As described above, in a cylindrical grindstone having a hollow portion, the time spent for dressing can be reduced or clogged by forming a lead-like groove on the inner peripheral surface or the outer peripheral surface. However, it is possible to provide a whetstone tool that is less likely to cause damage to the whetstone tool and the workpiece.
【0049】また、光造形装置に、被形状形成物を回転
させながら、光硬化樹脂に光を照射させて光硬化樹脂を
被形状形成物に設けられるように、被形状形成物を移動
させることで、容易に複雑な形状も形成可能となる。Further, the object to be formed is moved so that the photo-curable resin is provided on the object by irradiating the photo-curable resin with light while rotating the object to be formed. Thus, a complicated shape can be easily formed.
【図1】:本発明の実施の形態におけるコアドリルの概
略図である。FIG. 1 is a schematic view of a core drill according to an embodiment of the present invention.
【図2】:本発明の実施の形態におけるコアドリルにつ
いて、回転軸に対して垂直面における砥石の形状の経時
変化を示した図である。FIG. 2 is a diagram showing a change over time of the shape of a grindstone on a plane perpendicular to a rotation axis for a core drill according to an embodiment of the present invention.
【図3】:本発明の実施の形態におけるコアドリルの製
造工程を示す各工程におけるコアドリルの断面図であ
る。FIG. 3 is a cross-sectional view of the core drill in each step showing a manufacturing step of the core drill in the embodiment of the present invention.
【図4】:本実施の形態で用いられる光造形法を行うた
めの光造形装置の概略構成図である。FIG. 4 is a schematic configuration diagram of an optical shaping apparatus for performing an optical shaping method used in the present embodiment.
【図5】:本発明の実施の形態とは異なる形態のコアド
リルの回転軸に対して、垂直断面形状を示した図であ
る。FIG. 5 is a view showing a vertical cross-sectional shape with respect to a rotation axis of a core drill in a form different from the embodiment of the present invention.
【符号の説明】 1・・・砥石部 2・・・工具シャンク 22・・・アクリル樹脂 23・・・導電膜 24・・・紫外線硬化樹脂[Description of Signs] 1 ... Whetstone part 2 ... Tool shank 22 ... Acrylic resin 23 ... Conductive film 24 ... Ultraviolet curable resin
Claims (5)
空の円筒形状を有する砥石部と、前記砥石部を支持する
シャンク部とを有し、前記砥石部の内周面および外周面
に溝を有したことを特徴とする砥石工具。1. A grinding wheel tool used for grinding, comprising: a grinding wheel portion having a hollow cylindrical shape; and a shank portion for supporting the grinding wheel portion, wherein a groove is formed on an inner peripheral surface and an outer peripheral surface of the grinding stone portion. A grinding stone tool characterized by the following.
部と、前記砥石部の外周面に形成された溝の一部とが、
貫通していることを特徴とする請求項1に記載の砥石工
具。2. A part of a groove formed on an inner peripheral surface of the grindstone portion and a part of a groove formed on an outer peripheral surface of the grindstone portion,
The whetstone tool according to claim 1, wherein the tool is penetrated.
前記砥石部の外周面に形成された溝の少なくとも一方
が、リード形状となっていることを特徴とする請求項2
に記載の砥石工具。3. A groove formed on an inner peripheral surface of the whetstone part,
3. The device according to claim 2, wherein at least one of the grooves formed on the outer peripheral surface of the whetstone has a lead shape.
A whetstone tool as described in.
び外周面に溝が形成されている砥石部を有する砥石工具
の製造方法において、所定の波長の光に反応して硬化す
る光硬化樹脂を用い、前記砥石部の形状の反転形状にな
るように前記光硬化樹脂を硬化させて、前記砥石部の反
転形状型を得る型工程と、前記型工程の後に、砥粒を含
有したメッキ液により前記反転形状型にメッキ処理を行
い前記砥石部を形成する工程とを有することを特徴とす
る砥石工具の製造方法。4. A method of manufacturing a grinding wheel tool having a hollow cylindrical shape and having a grinding wheel portion having grooves formed on an inner peripheral surface and an outer peripheral surface, a light hardened in response to light having a predetermined wavelength. Using a cured resin, curing the photocurable resin so as to have an inverted shape of the shape of the grindstone portion, and a mold step of obtaining an inverted shape mold of the grindstone portion, containing abrasive grains after the mold step. Plating the inverted shape mold with a plating solution to form the grindstone portion.
の表面近傍に前記光を集光する光源と、 前記被形状形成物を移動させる駆動部材とを有し、 前記被形状形成物を前記光源の光に反応して硬化する光
硬化樹脂液に浸しながら、前記被形状形成物の表面に前
記光源の光を放射させ、前記光硬化樹脂液を所望の形状
に硬化させ、所望の形状を形成する光造形装置におい
て、 前記駆動部材は、前記被形状形成物を回転可能であるこ
とを特徴とする光造形装置。5. A light source which emits light of a predetermined wavelength and condenses the light near the surface of the object to be formed, and a driving member for moving the object to be formed, While immersing the object in a photo-curing resin liquid that cures in response to the light of the light source, the light of the light source is emitted to the surface of the shape-forming object, and the photo-curing resin liquid is cured to a desired shape. An optical shaping apparatus, wherein the drive member is capable of rotating the object to be formed.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000224135A JP2002036123A (en) | 2000-07-25 | 2000-07-25 | Whetstone, method of manufacturing the same, and optical shaping apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000224135A JP2002036123A (en) | 2000-07-25 | 2000-07-25 | Whetstone, method of manufacturing the same, and optical shaping apparatus |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002036123A true JP2002036123A (en) | 2002-02-05 |
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ID=18718146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000224135A Pending JP2002036123A (en) | 2000-07-25 | 2000-07-25 | Whetstone, method of manufacturing the same, and optical shaping apparatus |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002036123A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008093786A (en) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Jtekt Corp | Method for releasing dynamic pressure of grinding fluid in grinding, grinding method using the method, and grinding wheel used in the grinding method |
| JP2009028832A (en) * | 2007-07-26 | 2009-02-12 | Ujiden Chemical Industry Co Ltd | Grinding wheel and manufacturing method thereof |
| JP6041249B1 (en) * | 2016-03-31 | 2016-12-07 | 伊藤 幸男 | Chopping processing method using bird's nest-like grindstone and bird's nest-like grindstone |
-
2000
- 2000-07-25 JP JP2000224135A patent/JP2002036123A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008093786A (en) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Jtekt Corp | Method for releasing dynamic pressure of grinding fluid in grinding, grinding method using the method, and grinding wheel used in the grinding method |
| US8197305B2 (en) | 2006-10-12 | 2012-06-12 | Jtekt Corporation | Dynamic pressure releasing method of grinding liquid in grinding operation, grinding method using the releasing method, and grinding stone for use in the grinding method |
| JP2009028832A (en) * | 2007-07-26 | 2009-02-12 | Ujiden Chemical Industry Co Ltd | Grinding wheel and manufacturing method thereof |
| JP6041249B1 (en) * | 2016-03-31 | 2016-12-07 | 伊藤 幸男 | Chopping processing method using bird's nest-like grindstone and bird's nest-like grindstone |
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