JP2002011710A - セラミックグリーンシート製造用工程フィルム - Google Patents
セラミックグリーンシート製造用工程フィルムInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 セラミックグリーンシートを製造する際に使
用され、優れたスラリーのぬれ性とグリーンシートに対
する適度の剥離性を有するセラミックグリーンシート製
造用工程フィルムを提供すること。 【解決手段】 基材フィルムの少なくとも片面に剥離層
を形成してなり、該剥離層がシリコーン系剥離剤とセル
ロース誘導体とから成るものであるセラミックグリーン
シート製造用工程フィルム。
用され、優れたスラリーのぬれ性とグリーンシートに対
する適度の剥離性を有するセラミックグリーンシート製
造用工程フィルムを提供すること。 【解決手段】 基材フィルムの少なくとも片面に剥離層
を形成してなり、該剥離層がシリコーン系剥離剤とセル
ロース誘導体とから成るものであるセラミックグリーン
シート製造用工程フィルム。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックグリー
ンシート製造用工程フィルム、さらに詳しくは、セラミ
ック電子部品の製造におけるセラミックグリーンシート
製造工程で使用される、優れたセラミックスラリーのぬ
れ性とグリーンシートに対する適度の剥離性を有する工
程フィルムに関するものである。
ンシート製造用工程フィルム、さらに詳しくは、セラミ
ック電子部品の製造におけるセラミックグリーンシート
製造工程で使用される、優れたセラミックスラリーのぬ
れ性とグリーンシートに対する適度の剥離性を有する工
程フィルムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】コンデンサー、積層インダクタ素子、圧
電部品、サーミスタ、バリスタ等のセラミック電子部品
を製造する場合、セラミック粉、有機バインダー、可塑
剤、溶剤（有機溶剤または水）等から成る高誘電率用や
磁性用など上記電子部品に適したセラミックスラリーを
工程フィルムに塗工しグリーンシートを形成し（工程
）、その上にパラジウム、銀、ニッケル等の電極をス
クリ−ン印刷で設け（工程）、その後、グリーンシー
トを工程フィルムより剥がして多層積層し（工程）、
プレス切断工程を経てセラミックグリーンチップをつく
る（工程）。このようにして得られたチップは、その
後焼成され（工程）、銀、銀パラジウム、ニッケル、
銅等の端子電極を設け（工程）、セラミック電子部品
を得る。また、最近では、上述の工程と工程を複数
回繰返したのち、工程以降へ移る新しい製造法も提案
されている（特開平８−１３０１５０）。
電部品、サーミスタ、バリスタ等のセラミック電子部品
を製造する場合、セラミック粉、有機バインダー、可塑
剤、溶剤（有機溶剤または水）等から成る高誘電率用や
磁性用など上記電子部品に適したセラミックスラリーを
工程フィルムに塗工しグリーンシートを形成し（工程
）、その上にパラジウム、銀、ニッケル等の電極をス
クリ−ン印刷で設け（工程）、その後、グリーンシー
トを工程フィルムより剥がして多層積層し（工程）、
プレス切断工程を経てセラミックグリーンチップをつく
る（工程）。このようにして得られたチップは、その
後焼成され（工程）、銀、銀パラジウム、ニッケル、
銅等の端子電極を設け（工程）、セラミック電子部品
を得る。また、最近では、上述の工程と工程を複数
回繰返したのち、工程以降へ移る新しい製造法も提案
されている（特開平８−１３０１５０）。
【０００３】近年、セラミック電子部品の小型化・軽量
化・性能向上に伴って、グリ−ンシートの薄膜化が急速
に進行し、厚さが４μｍ以下のものが要求されるまでに
なっているが、従来のシリコーン系剥離剤を使用した工
程フィルムでは、セラミックスラリーを塗工した際に塗
工厚が薄いためハジキが発生し、均一な塗膜が形成でき
ないという問題が起こっており、セラミックスラリーの
ぬれ性のよい工程フィルムの開発が急がれている。ま
た、上記の工程と工程とを複数回繰返し、多層化す
る方法においては、従来の工程フィルムでは、剥離性が
過剰のため２度目以降のセラミックスラリーの重ね塗り
時に、最初に形成させたグリーンシートが工程フィルム
から浮いたり剥がれたりし、多層塗工がうまく行えない
という問題もあり、グリーンシートとの適度な剥離性を
有する工程フィルムの開発が急がれている。
化・性能向上に伴って、グリ−ンシートの薄膜化が急速
に進行し、厚さが４μｍ以下のものが要求されるまでに
なっているが、従来のシリコーン系剥離剤を使用した工
程フィルムでは、セラミックスラリーを塗工した際に塗
工厚が薄いためハジキが発生し、均一な塗膜が形成でき
ないという問題が起こっており、セラミックスラリーの
ぬれ性のよい工程フィルムの開発が急がれている。ま
た、上記の工程と工程とを複数回繰返し、多層化す
る方法においては、従来の工程フィルムでは、剥離性が
過剰のため２度目以降のセラミックスラリーの重ね塗り
時に、最初に形成させたグリーンシートが工程フィルム
から浮いたり剥がれたりし、多層塗工がうまく行えない
という問題もあり、グリーンシートとの適度な剥離性を
有する工程フィルムの開発が急がれている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
状況下で、セラミック電子部品に用いられるセラミック
グリーンシートを製造する際に使用され、セラミックス
ラリーの塗工時のハジキ及び繰返し塗工時のグリーンシ
ートの浮き・剥がれのない工程フィルムを提供すること
を目的とするものである。
状況下で、セラミック電子部品に用いられるセラミック
グリーンシートを製造する際に使用され、セラミックス
ラリーの塗工時のハジキ及び繰返し塗工時のグリーンシ
ートの浮き・剥がれのない工程フィルムを提供すること
を目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、これらの
要求性能を有するセラミックグリーンシート製造用工程
フィルムを開発すべく鋭意研究を重ねた結果、剥離層を
形成する剥離剤としてシリコーン系剥離剤とセルロース
誘導体との混合物を使用することにより、その目的に適
合しうる工程フィルムとなし得ることを見出した。本発
明は、かかる知見に基づいて完成したものである。
要求性能を有するセラミックグリーンシート製造用工程
フィルムを開発すべく鋭意研究を重ねた結果、剥離層を
形成する剥離剤としてシリコーン系剥離剤とセルロース
誘導体との混合物を使用することにより、その目的に適
合しうる工程フィルムとなし得ることを見出した。本発
明は、かかる知見に基づいて完成したものである。
【０００６】すなわち、本発明は、（１）基材フィルム
の少なくとも片面に剥離層を設けてなり、該剥離層がシ
リコーン系剥離剤とセルロース誘導体とからなることを
特徴とするセラミックグリーンシート製造用工程フィル
ム、（２）シリコーン系剥離剤が付加反応型シリコーン
系剥離剤である上記（１）のセラミックグリーンシート
製造用工程フィルム、（３）セルロース誘導体がエチル
セルロース、メチルセルロース、ヒドロキシエチルセル
ロース、カルボキシメチルセルロース及びヒドロキシプ
ロピルセルロースからなる群から選ばれた１種以上の化
合物である上記（１）のセラミックグリーンシート製造
用工程フィルム、（４）離型層におけるシリコーン系剥
離剤とセルロース誘導体との固形分重量比（シリコーン
系剥離剤：セルロース誘導体）が９０：１０〜３：９７
である上記（１）のセラミックグリーンシート製造用工
程フィルム、及び（５）基材フィルムがポリエチレンテ
レフタレートである上記（１）のセラミックグリーンシ
ート製造用工程フィルム、を提供するものである。
の少なくとも片面に剥離層を設けてなり、該剥離層がシ
リコーン系剥離剤とセルロース誘導体とからなることを
特徴とするセラミックグリーンシート製造用工程フィル
ム、（２）シリコーン系剥離剤が付加反応型シリコーン
系剥離剤である上記（１）のセラミックグリーンシート
製造用工程フィルム、（３）セルロース誘導体がエチル
セルロース、メチルセルロース、ヒドロキシエチルセル
ロース、カルボキシメチルセルロース及びヒドロキシプ
ロピルセルロースからなる群から選ばれた１種以上の化
合物である上記（１）のセラミックグリーンシート製造
用工程フィルム、（４）離型層におけるシリコーン系剥
離剤とセルロース誘導体との固形分重量比（シリコーン
系剥離剤：セルロース誘導体）が９０：１０〜３：９７
である上記（１）のセラミックグリーンシート製造用工
程フィルム、及び（５）基材フィルムがポリエチレンテ
レフタレートである上記（１）のセラミックグリーンシ
ート製造用工程フィルム、を提供するものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明で、剥離剤の一方成分とし
て使用されるシリコーン系剥離剤は、従来公知の付加反
応型シリコーン系剥離剤であり、付加反応型シリコーン
樹脂からなる主剤に、架橋剤と触媒とを加えたものであ
り、更に所望により、付加反応抑制剤、剥離調整剤、密
着向上剤などを加えてもよい。また、剥離剤の塗工後の
硬化プロセスで熱の他に紫外線照射を行う場合は光増感
剤を加えてもよい。シリコーン系剥離剤の形態として
は、シリコーン樹脂が付加反応型ならば、溶剤型でもエ
マルジョン型でも無溶剤（ソルベントフリー）型いずれ
でもよいが、溶剤型が品質、取扱い易さの点で適してい
る。
て使用されるシリコーン系剥離剤は、従来公知の付加反
応型シリコーン系剥離剤であり、付加反応型シリコーン
樹脂からなる主剤に、架橋剤と触媒とを加えたものであ
り、更に所望により、付加反応抑制剤、剥離調整剤、密
着向上剤などを加えてもよい。また、剥離剤の塗工後の
硬化プロセスで熱の他に紫外線照射を行う場合は光増感
剤を加えてもよい。シリコーン系剥離剤の形態として
は、シリコーン樹脂が付加反応型ならば、溶剤型でもエ
マルジョン型でも無溶剤（ソルベントフリー）型いずれ
でもよいが、溶剤型が品質、取扱い易さの点で適してい
る。
【０００８】上記付加反応型シリコーン樹脂としては、
特に制限はなく、従来の熱硬化付加反応型シリコーン樹
脂剥離剤として慣用されているものを用いることがで
き、例えば分子中に、官能基としてアルケニル基を有す
るポリオルガノシロキサンの中から選ばれる少なくとも
一種を挙げることができる。上記の分子中に官能基とし
てアルケニル基を有するポリオルガノシロキサンの好ま
しいものとしては、ビニル基を官能基とするポリジメチ
ルシロキサン、ヘキセニル基を官能基とするポリジメチ
ルシロキサン及びこれらの混合物などが挙げられる。
特に制限はなく、従来の熱硬化付加反応型シリコーン樹
脂剥離剤として慣用されているものを用いることがで
き、例えば分子中に、官能基としてアルケニル基を有す
るポリオルガノシロキサンの中から選ばれる少なくとも
一種を挙げることができる。上記の分子中に官能基とし
てアルケニル基を有するポリオルガノシロキサンの好ま
しいものとしては、ビニル基を官能基とするポリジメチ
ルシロキサン、ヘキセニル基を官能基とするポリジメチ
ルシロキサン及びこれらの混合物などが挙げられる。
【０００９】架橋剤としては、例えば一分子中に少なく
とも２個のケイ素原子結合した水素原子を有するポリオ
ルガノシロキサン、具体的には、ジメチルハイドロジェ
ンシロキシ基末端封鎖ジメチルシロキサン−メチルハイ
ドロジェンシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基
末端封鎖ジメチルシロキサン−メチルハイドロジェンシ
ロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基末端封鎖ポリ
（メチルハイドロジェンシロキサン）、ポリ（ハイドロ
ジェンシルセスキオキサン）などが挙げられる。架橋剤
の使用量は、付加反応型シリコーン樹脂１００重量部に
対し、０．１〜１００重量部、好ましくは０．３〜５０
重量部の範囲で選定される。
とも２個のケイ素原子結合した水素原子を有するポリオ
ルガノシロキサン、具体的には、ジメチルハイドロジェ
ンシロキシ基末端封鎖ジメチルシロキサン−メチルハイ
ドロジェンシロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基
末端封鎖ジメチルシロキサン−メチルハイドロジェンシ
ロキサン共重合体、トリメチルシロキシ基末端封鎖ポリ
（メチルハイドロジェンシロキサン）、ポリ（ハイドロ
ジェンシルセスキオキサン）などが挙げられる。架橋剤
の使用量は、付加反応型シリコーン樹脂１００重量部に
対し、０．１〜１００重量部、好ましくは０．３〜５０
重量部の範囲で選定される。
【００１０】触媒としては、白金系触媒、パラジウム系
触媒、ロジウム系触媒などが挙げられ、重合反応を促進
させるため適量が使用される。
触媒、ロジウム系触媒などが挙げられ、重合反応を促進
させるため適量が使用される。
【００１１】剥離調整剤としては、例えばジメチルポリ
シロキサンやシリコーンレジンなどが挙げられる。付加
反応抑制剤は、該組成物に室温における保存安定性を付
与するために用いられる成分であり、具体例としては、
３，５−ジメチル−１−ヘキシン−３−オール、３−メ
チル−１−ペンテン−３−オール、３−メチル−３−ペ
ンテン−１−イン、３，５−ジメチル−３−ヘキセン−
１−イン、テトラビニルシロキサン環状体、ベンゾトリ
アゾールなどが挙げられる。
シロキサンやシリコーンレジンなどが挙げられる。付加
反応抑制剤は、該組成物に室温における保存安定性を付
与するために用いられる成分であり、具体例としては、
３，５−ジメチル−１−ヘキシン−３−オール、３−メ
チル−１−ペンテン−３−オール、３−メチル−３−ペ
ンテン−１−イン、３，５−ジメチル−３−ヘキセン−
１−イン、テトラビニルシロキサン環状体、ベンゾトリ
アゾールなどが挙げられる。
【００１２】光増感剤としては特に制限はなく、従来紫
外線硬化型樹脂に慣用されているものの中から、任意の
ものを適宜選択して用いることができる。この光増感剤
としては、例えばベンゾイン類、ベンゾフェノン類、ア
セトフェノン類、α−ヒドロキシケトン類、α−アミノ
ケトン類、α−ジケトン類、α−ジケトンジアルキルア
セタール類、アントラキノン類、チオキサントン類、そ
の他化合物などが挙げられる。
外線硬化型樹脂に慣用されているものの中から、任意の
ものを適宜選択して用いることができる。この光増感剤
としては、例えばベンゾイン類、ベンゾフェノン類、ア
セトフェノン類、α−ヒドロキシケトン類、α−アミノ
ケトン類、α−ジケトン類、α−ジケトンジアルキルア
セタール類、アントラキノン類、チオキサントン類、そ
の他化合物などが挙げられる。
【００１３】これらの光増感剤は、単独で用いてもよ
く、二種以上を組み合わせて用いてもよい。また、その
使用量は、前記付加反応型シリコーン樹脂及び架橋剤の
合計量１００重量部に対し、通常０．０１〜３０重量
部、好ましくは０．０５〜２０重量部の範囲で選定され
る。
く、二種以上を組み合わせて用いてもよい。また、その
使用量は、前記付加反応型シリコーン樹脂及び架橋剤の
合計量１００重量部に対し、通常０．０１〜３０重量
部、好ましくは０．０５〜２０重量部の範囲で選定され
る。
【００１４】本発明において剥離剤の他方成分として使
用されるセルロース誘導体としては、エチルセルロー
ス、メチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、
カルボキシメチルセルロース及びヒドロキシプロピルセ
ルロースからなる群から選ばれた１種以上を使用するの
が適当である。但し、種類によって有機溶剤、水に対す
る溶解性が異なるので、溶剤型シリコーン系剥離剤には
トルエン、酢酸エチル等の有機溶剤に溶解し易いセルロ
ース誘導体を、エマルジョン型シリコーン系剥離剤に
は、水に溶解し易いセルロース誘導体を選ぶことがよ
い。例えば、溶剤型シリコーン系剥離剤には、エチルセ
ルロース、メチルセルロース、あるいはヒドロキシエチ
ルセルロースを組み合わせるのがよい。エマルジョン型
シリコーン系剥離剤にはカルボキシセルロース、ヒドロ
キシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース
を組み合わせるとよい。尚、上記セルロース誘導体は、
シリコーン系剥離剤との相溶性をより良くするために予
めシランカップリング処理やシリコーン処理されていて
もよい。無溶剤型のシリコーン系剥離剤には、予めこれ
らの処理を行ったものを組み合わせるとよい。尚、性
能、価格的な面からは、エチルセルロース、メチルセル
ロース及びカルボキシセルロースが好ましい。
用されるセルロース誘導体としては、エチルセルロー
ス、メチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、
カルボキシメチルセルロース及びヒドロキシプロピルセ
ルロースからなる群から選ばれた１種以上を使用するの
が適当である。但し、種類によって有機溶剤、水に対す
る溶解性が異なるので、溶剤型シリコーン系剥離剤には
トルエン、酢酸エチル等の有機溶剤に溶解し易いセルロ
ース誘導体を、エマルジョン型シリコーン系剥離剤に
は、水に溶解し易いセルロース誘導体を選ぶことがよ
い。例えば、溶剤型シリコーン系剥離剤には、エチルセ
ルロース、メチルセルロース、あるいはヒドロキシエチ
ルセルロースを組み合わせるのがよい。エマルジョン型
シリコーン系剥離剤にはカルボキシセルロース、ヒドロ
キシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース
を組み合わせるとよい。尚、上記セルロース誘導体は、
シリコーン系剥離剤との相溶性をより良くするために予
めシランカップリング処理やシリコーン処理されていて
もよい。無溶剤型のシリコーン系剥離剤には、予めこれ
らの処理を行ったものを組み合わせるとよい。尚、性
能、価格的な面からは、エチルセルロース、メチルセル
ロース及びカルボキシセルロースが好ましい。
【００１５】本発明におけるシリコーン系剥離剤とセル
ロース誘導体との使用比率は、使用するセラミックスラ
リーの種類により異なるが、固形分重量比（シリコーン
系剥離剤：セルロース誘導体）として、９０：１０〜
３：９７が適当であり、特に、８７：１３〜４０：６０
が好ましい。シリコーン系剥離剤の使用比率がこの範囲
よりも多くなると、剥離層表面の臨界表面張力の減少に
ともないぬれ性が低下し、ハジキが発生して良好な塗膜
形成が出来なくなり、一方セルロース誘導体の使用比率
がこの範囲よりも少くなると、剥離性能が不足し、前記
工程でグリーンシートを工程フィルムから剥がすこと
が困難となる。而して、上記の範囲内において、工程フ
ィルムから剥がしにくいタイプのセラミックスラリーを
使用したグリーンシートの製造に使用する場合は、シリ
コーン樹脂の比率を多くし、反対に剥がし易いタイプの
セラミックスラリーを使用する場合はセルロース誘導体
を多くするのが適当である。
ロース誘導体との使用比率は、使用するセラミックスラ
リーの種類により異なるが、固形分重量比（シリコーン
系剥離剤：セルロース誘導体）として、９０：１０〜
３：９７が適当であり、特に、８７：１３〜４０：６０
が好ましい。シリコーン系剥離剤の使用比率がこの範囲
よりも多くなると、剥離層表面の臨界表面張力の減少に
ともないぬれ性が低下し、ハジキが発生して良好な塗膜
形成が出来なくなり、一方セルロース誘導体の使用比率
がこの範囲よりも少くなると、剥離性能が不足し、前記
工程でグリーンシートを工程フィルムから剥がすこと
が困難となる。而して、上記の範囲内において、工程フ
ィルムから剥がしにくいタイプのセラミックスラリーを
使用したグリーンシートの製造に使用する場合は、シリ
コーン樹脂の比率を多くし、反対に剥がし易いタイプの
セラミックスラリーを使用する場合はセルロース誘導体
を多くするのが適当である。
【００１６】本発明における基材フィルムとしては、特
に制限はなく、セラミックグリーンシート製造用工程フ
ィルムの基材フィルムとして使用しうる従来公知のもの
の中から、任意のものを適宜選択して用いることができ
る。このような基材フィルムとしては、例えばポリエチ
レンテレフタレートやポリエチレンナフタレートなどの
ポリエステルフィルム、ポリプロピレンやポリメチルペ
ンテンなどのポリオレフィンフィルム、ポリカーボネー
トフィルム、ポリ酢酸ビニルフィルムなどを挙げること
ができるが、これらの中でポリエステルフィルムが好ま
しく、特に平滑性、耐熱性、価格的な面からは、二軸延
伸ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムが好
適である。この基材フィルムとしては、通常１２〜１２
５μｍの厚みを有するものが用いられる。
に制限はなく、セラミックグリーンシート製造用工程フ
ィルムの基材フィルムとして使用しうる従来公知のもの
の中から、任意のものを適宜選択して用いることができ
る。このような基材フィルムとしては、例えばポリエチ
レンテレフタレートやポリエチレンナフタレートなどの
ポリエステルフィルム、ポリプロピレンやポリメチルペ
ンテンなどのポリオレフィンフィルム、ポリカーボネー
トフィルム、ポリ酢酸ビニルフィルムなどを挙げること
ができるが、これらの中でポリエステルフィルムが好ま
しく、特に平滑性、耐熱性、価格的な面からは、二軸延
伸ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムが好
適である。この基材フィルムとしては、通常１２〜１２
５μｍの厚みを有するものが用いられる。
【００１７】本発明における工程フィルムを得るには、
先ず、前記のシリコーン系剥離剤とセルロース誘導体と
を、所定の割合で含む塗工液を調製する。調製にあたっ
ては溶剤型シリコーン系剥離剤／セルロース誘導体の系
では、トルエン、ヘキサン、酢酸エチル、メチルエチル
ケトン、ヘプタン及びこれらの混合物を希釈剤として用
い、エマルジョン型シリコーン系剥離剤／セルロース誘
導体の系では、一般に水を希釈剤として用いて、塗工可
能な粘度を有する塗工液とする。塗工液には、必要に応
じて、填料、静電気防止剤、染料、顔料その他の添加剤
を添加してもよい。このようにして調製した塗工液を、
前記の基材フィルムの片面又は両面に、例えばグラビア
コート法、バーコート法、マルチロールコート法などに
より塗工する。塗工量は、固形分換算塗工量として、
０．０１〜１．０ｇ／ｍ2 が適当であり、特に０．０３
〜０．５ｇ／ｍ2 が好ましい。この塗工量が０．０１ｇ
／ｍ2 未満ではセラミックグリーンシートの剥離性が悪
く、一方１．０ｇ／ｍ2 を超えるとセラミックスラリー
塗工時にハジキが発生する可能性が生じ、このハジキを
押さえようとセルロース誘導体の使用比率を上げると、
所望の剥離性が得られない場合がある。
先ず、前記のシリコーン系剥離剤とセルロース誘導体と
を、所定の割合で含む塗工液を調製する。調製にあたっ
ては溶剤型シリコーン系剥離剤／セルロース誘導体の系
では、トルエン、ヘキサン、酢酸エチル、メチルエチル
ケトン、ヘプタン及びこれらの混合物を希釈剤として用
い、エマルジョン型シリコーン系剥離剤／セルロース誘
導体の系では、一般に水を希釈剤として用いて、塗工可
能な粘度を有する塗工液とする。塗工液には、必要に応
じて、填料、静電気防止剤、染料、顔料その他の添加剤
を添加してもよい。このようにして調製した塗工液を、
前記の基材フィルムの片面又は両面に、例えばグラビア
コート法、バーコート法、マルチロールコート法などに
より塗工する。塗工量は、固形分換算塗工量として、
０．０１〜１．０ｇ／ｍ2 が適当であり、特に０．０３
〜０．５ｇ／ｍ2 が好ましい。この塗工量が０．０１ｇ
／ｍ2 未満ではセラミックグリーンシートの剥離性が悪
く、一方１．０ｇ／ｍ2 を超えるとセラミックスラリー
塗工時にハジキが発生する可能性が生じ、このハジキを
押さえようとセルロース誘導体の使用比率を上げると、
所望の剥離性が得られない場合がある。
【００１８】塗工した塗工液を硬化させるには塗工機の
オーブンで加熱処理するか、加熱処理した後紫外線照射
を併用するか、いずれでもよいが、後者の方が基材フィ
ルムの熱収縮しわの発生防止、シリコーン樹脂の硬化
性、基材フィルムへの剥離剤の密着性の点で望ましい。
加熱処理のみの場合、７０〜１６０℃の温度範囲で、十
分硬化するまでの時間であれば特に制限はないが通常５
〜１２０秒間加熱するのが適当である。加熱・紫外線照
射併用の場合は、まず好ましくは４０〜１２０℃の範囲
の温度で加熱処理して、光増感剤を添加した塗工液を予
備硬化させる。この加熱処理温度が４０℃未満では乾燥
や予備硬化が不充分となるおそれがあり、一方１２０℃
を超えると熱収縮しわが生じ、本発明の目的が達せられ
ない場合がある。乾燥や予備硬化度及び熱収縮しわの発
生などを考慮すると、この加熱処理温度は、５０〜１０
０℃の範囲がさらに好ましい。また加熱時間は、前記加
熱処理のみの場合に比べ短くすることができる。
オーブンで加熱処理するか、加熱処理した後紫外線照射
を併用するか、いずれでもよいが、後者の方が基材フィ
ルムの熱収縮しわの発生防止、シリコーン樹脂の硬化
性、基材フィルムへの剥離剤の密着性の点で望ましい。
加熱処理のみの場合、７０〜１６０℃の温度範囲で、十
分硬化するまでの時間であれば特に制限はないが通常５
〜１２０秒間加熱するのが適当である。加熱・紫外線照
射併用の場合は、まず好ましくは４０〜１２０℃の範囲
の温度で加熱処理して、光増感剤を添加した塗工液を予
備硬化させる。この加熱処理温度が４０℃未満では乾燥
や予備硬化が不充分となるおそれがあり、一方１２０℃
を超えると熱収縮しわが生じ、本発明の目的が達せられ
ない場合がある。乾燥や予備硬化度及び熱収縮しわの発
生などを考慮すると、この加熱処理温度は、５０〜１０
０℃の範囲がさらに好ましい。また加熱時間は、前記加
熱処理のみの場合に比べ短くすることができる。
【００１９】本発明においては、このようにして加熱処
理された塗工液の予備硬化層に、インラインで紫外線照
射を行い、完全に硬化させる。この際、紫外線ランプと
して、従来公知のもの、例えば高圧水銀ランプ、メタル
ハライドランプ、ハイパワーメタルハライドランプ、無
電極紫外線ランプなどを用いることができるが、紫外線
発光効率、赤外線照射量などから、基材に対する熱損傷
が少なく、かつシリコーン樹脂の硬化性が良いことなど
から、無電極紫外線ランプが好ましい。この無電極紫外
線ランプには、フュージョン社製のＤバルブ、Ｈバル
ブ、Ｈ＋バルブ、Ｖバルブなどがあるが、特にフュージ
ョン社製のＨバルブ及びＨ＋バルブが好適である。紫外
線照射出力については、通常は３０Ｗ／ｃｍ〜６００Ｗ
／ｃｍ、好ましくは５０Ｗ／ｃｍ〜３６０Ｗ／ｃｍであ
る。
理された塗工液の予備硬化層に、インラインで紫外線照
射を行い、完全に硬化させる。この際、紫外線ランプと
して、従来公知のもの、例えば高圧水銀ランプ、メタル
ハライドランプ、ハイパワーメタルハライドランプ、無
電極紫外線ランプなどを用いることができるが、紫外線
発光効率、赤外線照射量などから、基材に対する熱損傷
が少なく、かつシリコーン樹脂の硬化性が良いことなど
から、無電極紫外線ランプが好ましい。この無電極紫外
線ランプには、フュージョン社製のＤバルブ、Ｈバル
ブ、Ｈ＋バルブ、Ｖバルブなどがあるが、特にフュージ
ョン社製のＨバルブ及びＨ＋バルブが好適である。紫外
線照射出力については、通常は３０Ｗ／ｃｍ〜６００Ｗ
／ｃｍ、好ましくは５０Ｗ／ｃｍ〜３６０Ｗ／ｃｍであ
る。
【００２０】なお、基材フィルムと剥離層との密着性を
さらに良くするため、基材フィルムに予め接着増強処
理、例えばコロナ放電処理、オゾン処理、フレーム処
理、アンカーコート剤塗工などを行ってもよい。また、
剥離剤の塗工は基材フィルムの全面への塗工でも、ま
た、基材フィルムの一部、例えば両端部に未塗工部分を
設けて、剥離性と密着性とを調節するパターン塗工でも
よい。
さらに良くするため、基材フィルムに予め接着増強処
理、例えばコロナ放電処理、オゾン処理、フレーム処
理、アンカーコート剤塗工などを行ってもよい。また、
剥離剤の塗工は基材フィルムの全面への塗工でも、ま
た、基材フィルムの一部、例えば両端部に未塗工部分を
設けて、剥離性と密着性とを調節するパターン塗工でも
よい。
【００２１】かくして得られる本発明の工程フィルム
は、セラミックグリーンシート製造用として用いられる
が、グリーンシートの厚みが好ましくは２０μｍ以下、
より好ましくは１０μｍ以下、特に好ましくは４μｍ以
下のセラミックグリーンシート製造用として好適であ
る。更に、本発明の工程フィルムは、シリコーン系剥離
剤のセラミックスラリーへの移行が少ないためセラミッ
クグリーンシートを多層積層する際のシート間の接着性
が良いという特徴も有している。なお、セラミックグリ
ーンシートの製造に使用される電子部品用セラミックス
ラリーとしては、大別して溶剤系と水系とがあるが、本
発明の工程フィルムはそれらのいずれにも有用である。
は、セラミックグリーンシート製造用として用いられる
が、グリーンシートの厚みが好ましくは２０μｍ以下、
より好ましくは１０μｍ以下、特に好ましくは４μｍ以
下のセラミックグリーンシート製造用として好適であ
る。更に、本発明の工程フィルムは、シリコーン系剥離
剤のセラミックスラリーへの移行が少ないためセラミッ
クグリーンシートを多層積層する際のシート間の接着性
が良いという特徴も有している。なお、セラミックグリ
ーンシートの製造に使用される電子部品用セラミックス
ラリーとしては、大別して溶剤系と水系とがあるが、本
発明の工程フィルムはそれらのいずれにも有用である。
【００２２】
【実施例】次に、本発明を実施例により更に詳しく説明
するが、本発明は、これらの例によって何ら制限される
ものではない。なお、実施例及び比較例で得られた工程
フィルムの諸特性を、以下に示す要領に従い評価した。 （１）セラミックスラリーのぬれ性 チタン酸バリウム粉体１００重量部、アクリル樹脂５重
量部、塩化メチレン４０重量部、アセトン２５重量部、
ミネラルスピリット６重量部を配合し、φ１０ｍｍジル
コニアビーズを用い、ポット架台により２４時間混合
し、高誘電率用セラミックスラリーを得た。このセラミ
ックスラリーを、工程フィルム剥離面に乾燥後の厚みが
３μｍとなるようにスロットダイコーターで塗工し、乾
燥処理しグリーンシートを作製した。この際の、セラミ
ックスラリーのぬれ性（ハジキ、塗工ムラの有無）を目
視観察し、下記の判定基準に従い、評価した。 ◎：ハジキ及び塗工ムラはなく、塗工面は極めて良好で
ある（実用上問題なし）。 ○：ハジキはない（実用上問題なし）。 ×：ハジキがある（実用上問題あり）。
するが、本発明は、これらの例によって何ら制限される
ものではない。なお、実施例及び比較例で得られた工程
フィルムの諸特性を、以下に示す要領に従い評価した。 （１）セラミックスラリーのぬれ性 チタン酸バリウム粉体１００重量部、アクリル樹脂５重
量部、塩化メチレン４０重量部、アセトン２５重量部、
ミネラルスピリット６重量部を配合し、φ１０ｍｍジル
コニアビーズを用い、ポット架台により２４時間混合
し、高誘電率用セラミックスラリーを得た。このセラミ
ックスラリーを、工程フィルム剥離面に乾燥後の厚みが
３μｍとなるようにスロットダイコーターで塗工し、乾
燥処理しグリーンシートを作製した。この際の、セラミ
ックスラリーのぬれ性（ハジキ、塗工ムラの有無）を目
視観察し、下記の判定基準に従い、評価した。 ◎：ハジキ及び塗工ムラはなく、塗工面は極めて良好で
ある（実用上問題なし）。 ○：ハジキはない（実用上問題なし）。 ×：ハジキがある（実用上問題あり）。
【００２３】（２）グリーンシート浮き・剥がれ 上記（１）の方法で作製したグリーンシートの上に、さ
らに（１）の方法に準じてスラリーを重ね塗りした際の
工程フィルムと最初に形成させたグリーンシートとの浮
き、剥がれの発生の有無を目視判定した。 ○：浮き・剥がれはない（実用上問題なし）。 ×：浮き・剥がれがある（実用上問題あり）。 （３）グリーンシートの剥離性 上記（２）の方法で作製したグリーンシートの剥離性を
手剥がしテストにより評価した。 ◎：シートの変形なく、スムースに剥がれた（実用上問
題なし）。 ○：シートの変形なく剥がれた（実用上問題なし）。 ×：シートの変形著しく、剥がれ難い（実用上問題あ
り）。 ××：剥がれない（実用上問題あり）。
らに（１）の方法に準じてスラリーを重ね塗りした際の
工程フィルムと最初に形成させたグリーンシートとの浮
き、剥がれの発生の有無を目視判定した。 ○：浮き・剥がれはない（実用上問題なし）。 ×：浮き・剥がれがある（実用上問題あり）。 （３）グリーンシートの剥離性 上記（２）の方法で作製したグリーンシートの剥離性を
手剥がしテストにより評価した。 ◎：シートの変形なく、スムースに剥がれた（実用上問
題なし）。 ○：シートの変形なく剥がれた（実用上問題なし）。 ×：シートの変形著しく、剥がれ難い（実用上問題あ
り）。 ××：剥がれない（実用上問題あり）。
【００２４】実施例１ ビニル基を官能基とするポリジメチルシロキサンと架橋
剤（ポリメチルハイドロジェンシロキサン）とを主成分
とした溶剤型付加反応型シリコーン系剥離剤（東レ・ダ
ウコーニング・シリコーン社製、商品名：ＳＲＸ−２１
１、固形分濃度３０重量％）に、予めトルエンで１０重
量％濃度に希釈したエチルセルロースを添加し、シリコ
ーン系剥離剤とエチルセルロースとの固形分重量比が７
５：２５となるよう調整し、トルエンを主成分とする有
機溶剤で希釈した後、白金系触媒（東レ・ダウコーニン
グ・シリコーン社製、商品名：ＳＲＸ−２１２、固形分
濃度１００重量％）を前記シリコーン系剥離剤の製品重
量で１００重量部に対し製品重量で２重量部加え、固形
分濃度２重量％の塗工液を調整した。この塗工液を、厚
み３８μｍの二軸延伸ＰＥＴフィルム上に、固形分塗工
量０．１ｇ／ｍ2 になるようにグラビアコート法により
均一に塗工した。次いで、110 ℃の熱風循環式乾燥機に
て３０秒間加熱処理し、塗工液を硬化させ、工程フィル
ムを作製した。この工程フィルムの諸特性を第１表に示
す。
剤（ポリメチルハイドロジェンシロキサン）とを主成分
とした溶剤型付加反応型シリコーン系剥離剤（東レ・ダ
ウコーニング・シリコーン社製、商品名：ＳＲＸ−２１
１、固形分濃度３０重量％）に、予めトルエンで１０重
量％濃度に希釈したエチルセルロースを添加し、シリコ
ーン系剥離剤とエチルセルロースとの固形分重量比が７
５：２５となるよう調整し、トルエンを主成分とする有
機溶剤で希釈した後、白金系触媒（東レ・ダウコーニン
グ・シリコーン社製、商品名：ＳＲＸ−２１２、固形分
濃度１００重量％）を前記シリコーン系剥離剤の製品重
量で１００重量部に対し製品重量で２重量部加え、固形
分濃度２重量％の塗工液を調整した。この塗工液を、厚
み３８μｍの二軸延伸ＰＥＴフィルム上に、固形分塗工
量０．１ｇ／ｍ2 になるようにグラビアコート法により
均一に塗工した。次いで、110 ℃の熱風循環式乾燥機に
て３０秒間加熱処理し、塗工液を硬化させ、工程フィル
ムを作製した。この工程フィルムの諸特性を第１表に示
す。
【００２５】実施例２ 実施例１の塗工液に、光増感剤としてアセトフェノン
を、シリコーン系剥離剤の製品重量１００重量部に対し
固形分０．１重量部添加し、９０℃の熱風循環式乾燥機
にて２０秒間加熱処理したのち、直ちに、フュージョン
Ｈバルブ２４０Ｗ／cm１灯取付で照射距離１０２ｍｍの
コンベア式紫外線照射機により、コンベアスピード１０
０ｍ／分の条件で紫外線照射する以外は、実施例１に準
じて工程フィルムを作製した。この工程フィルムの諸特
性を第１表に示す。
を、シリコーン系剥離剤の製品重量１００重量部に対し
固形分０．１重量部添加し、９０℃の熱風循環式乾燥機
にて２０秒間加熱処理したのち、直ちに、フュージョン
Ｈバルブ２４０Ｗ／cm１灯取付で照射距離１０２ｍｍの
コンベア式紫外線照射機により、コンベアスピード１０
０ｍ／分の条件で紫外線照射する以外は、実施例１に準
じて工程フィルムを作製した。この工程フィルムの諸特
性を第１表に示す。
【００２６】実施例３ 実施例２において、シリコーン系剥離剤とエチルセルロ
ースとの固形分重量比を８５：１５とし、その他の条件
は実施例２に準じて工程フィルムを作製した。この工程
フィルムの諸特性を第１表に示す。
ースとの固形分重量比を８５：１５とし、その他の条件
は実施例２に準じて工程フィルムを作製した。この工程
フィルムの諸特性を第１表に示す。
【００２７】実施例４ 実施例２において、シリコーン系剥離剤とエチルセルロ
ースとの固形分重量比を２５：７５とし、その他の条件
は実施例２に準じて工程フィルムを作製した。この工程
フィルムの諸特性を第１表に示す。
ースとの固形分重量比を２５：７５とし、その他の条件
は実施例２に準じて工程フィルムを作製した。この工程
フィルムの諸特性を第１表に示す。
【００２８】実施例５ 実施例２において、シリコーン系剥離剤とエチルセルロ
ースとの固形分重量比を５：９５とし、その他の条件は
実施例２に準じて工程フィルムを作製した。この工程フ
ィルムの諸特性を第１表に示す。
ースとの固形分重量比を５：９５とし、その他の条件は
実施例２に準じて工程フィルムを作製した。この工程フ
ィルムの諸特性を第１表に示す。
【００２９】実施例６ ビニル基を官能基とするポリジメチルシロキサンと架橋
剤（ポリメチルハイドロジェンシロキサン）を主成分と
したエマルジョン型付加反応型シリコーン系剥離剤（信
越化学工業社製、商品名：Ｘ−５２−１９５、固形分濃
度４０重量％）を水で希釈し、白金系触媒（信越化学工
業社製社製、商品名：ＰＭ−１０Ａ、固形分濃度２０重
量％）を、シリコーン系剥離剤製品重量１００重量部に
対し製品重量５重量部加え、さらに水に溶解したカルボ
キシメチルセルロースを、シリコーン系剥離剤とカルボ
キシメチルセルロースとの固形分重量比が８０：２０と
なるよう添加し、固形分濃度６重量％の塗工液を調整し
た。この塗工液を、厚み３８μｍの二軸延伸ＰＥＴフィ
ルム上に、固形分塗工量０．３ｇ／ｍ2 になるようにグ
ラビアコート法により均一に塗工した。次いで、１２０
℃の熱風循環式乾燥機にて３０秒間加熱処理し、この塗
工液を硬化させ、工程フィルムを作製した。この工程フ
ィルムの諸特性を第１表に示す。
剤（ポリメチルハイドロジェンシロキサン）を主成分と
したエマルジョン型付加反応型シリコーン系剥離剤（信
越化学工業社製、商品名：Ｘ−５２−１９５、固形分濃
度４０重量％）を水で希釈し、白金系触媒（信越化学工
業社製社製、商品名：ＰＭ−１０Ａ、固形分濃度２０重
量％）を、シリコーン系剥離剤製品重量１００重量部に
対し製品重量５重量部加え、さらに水に溶解したカルボ
キシメチルセルロースを、シリコーン系剥離剤とカルボ
キシメチルセルロースとの固形分重量比が８０：２０と
なるよう添加し、固形分濃度６重量％の塗工液を調整し
た。この塗工液を、厚み３８μｍの二軸延伸ＰＥＴフィ
ルム上に、固形分塗工量０．３ｇ／ｍ2 になるようにグ
ラビアコート法により均一に塗工した。次いで、１２０
℃の熱風循環式乾燥機にて３０秒間加熱処理し、この塗
工液を硬化させ、工程フィルムを作製した。この工程フ
ィルムの諸特性を第１表に示す。
【００３０】比較例１ 溶剤型付加反応型シリコーン系剥離剤（東レ・ダウコー
ニング・シリコーン社製、商品名：ＳＲＸ−２１１、固
形分濃度３０重量％）１００製品重量部に白金系触媒
（東レ・ダウコーニング・シリコーン社製、商品名：Ｓ
ＲＸ−２１２、）を製品重量２重量部加え、トルエンを
主成分とする有機溶剤で希釈して、固形分濃度２重量％
の塗工液を調整した。この塗工液を、厚み３８μｍの二
軸延伸ＰＥＴフィルム上に、固形分塗工量０．１ｇ／ｍ
2 になるようにグラビアコート法により均一に塗工し
た。次いで、１１０℃の熱風循環式乾燥機にて３０秒間
加熱処理し、塗工液を硬化させ、工程フィルムを作製し
た。この工程フィルムの諸特性を第１表に示す。
ニング・シリコーン社製、商品名：ＳＲＸ−２１１、固
形分濃度３０重量％）１００製品重量部に白金系触媒
（東レ・ダウコーニング・シリコーン社製、商品名：Ｓ
ＲＸ−２１２、）を製品重量２重量部加え、トルエンを
主成分とする有機溶剤で希釈して、固形分濃度２重量％
の塗工液を調整した。この塗工液を、厚み３８μｍの二
軸延伸ＰＥＴフィルム上に、固形分塗工量０．１ｇ／ｍ
2 になるようにグラビアコート法により均一に塗工し
た。次いで、１１０℃の熱風循環式乾燥機にて３０秒間
加熱処理し、塗工液を硬化させ、工程フィルムを作製し
た。この工程フィルムの諸特性を第１表に示す。
【００３１】
【表１】
【００３２】
【発明の効果】本発明の工程フィルムは、優れたセラミ
ックスラリーぬれ性とグリーンシートに対する適度の剥
離性を有しており、セラミックスラリーを薄く塗工した
場合もハジキが起こることはなく、またセラミックスラ
リーの塗工と電極の印刷工程を繰返し行う場合でのセラ
ミックスラリーの塗り重ね工程においてもグリーンシー
トの浮き・剥がれが起こることもない。
ックスラリーぬれ性とグリーンシートに対する適度の剥
離性を有しており、セラミックスラリーを薄く塗工した
場合もハジキが起こることはなく、またセラミックスラ
リーの塗工と電極の印刷工程を繰返し行う場合でのセラ
ミックスラリーの塗り重ね工程においてもグリーンシー
トの浮き・剥がれが起こることもない。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ０８Ｌ 83/04 Ｃ０８Ｌ 83/04 // Ｃ０８Ｌ 67:02 67:02 Ｆターム(参考） 4F006 AA12 AA20 AA35 AB03 AB39 BA11 CA08 DA04 4F100 AJ06B AK42A AK42K AK52B AR00B AT00A BA02 GB90 JL14 JL14B 4G052 DB01 4J002 AB01W AB02W CP03X
Claims (5)
- 【請求項１】 基材フィルムの少なくとも片面に剥離層
を設けてなり、該剥離層がシリコーン系剥離剤とセルロ
ース誘導体とからなることを特徴とするセラミックグリ
ーンシート製造用工程フィルム。 - 【請求項２】 シリコーン系剥離剤が付加反応型シリコ
ーン系剥離剤である請求項１記載のセラミックグリーン
シート製造用工程フィルム。 - 【請求項３】 セルロース誘導体がエチルセルロース、
メチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、カル
ボキシメチルセルロース及びヒドロキシプロピルセルロ
ースからなる群から選ばれた１種以上の化合物である請
求項１記載のセラミックグリーンシート製造用工程フィ
ルム。 - 【請求項４】 離型層におけるシリコーン系剥離剤とセ
ルロース誘導体との固形分重量比（シリコーン系剥離
剤：セルロース誘導体）が９０：１０〜３：９７であ
る、請求項１記載のセラミックグリーンシート製造用工
程フィルム。 - 【請求項５】 基材フィルムがポリエチレンテレフタレ
ートである請求項１記載のセラミックグリーンシート製
造用工程フィルム。
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