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JP2002010393A - 圧電型電気音響変換器 - Google Patents

圧電型電気音響変換器

Info

Publication number
JP2002010393A
JP2002010393A JP2001118966A JP2001118966A JP2002010393A JP 2002010393 A JP2002010393 A JP 2002010393A JP 2001118966 A JP2001118966 A JP 2001118966A JP 2001118966 A JP2001118966 A JP 2001118966A JP 2002010393 A JP2002010393 A JP 2002010393A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
diaphragm
electrodes
piezoelectric
laminate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001118966A
Other languages
English (en)
Inventor
Tetsuo Takeshima
哲夫 竹島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2001118966A priority Critical patent/JP2002010393A/ja
Publication of JP2002010393A publication Critical patent/JP2002010393A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】簡単な接続構造で大きな音圧を得るバイモルフ
型振動板を構成できるとともに、落下強度の大幅な向上
を図る圧電型電気音響変換器を得る。 【解決手段】2層または3層の圧電セラミックス層1
a,1bを積層して積層体1が形成され、この積層体1
の表裏主面に主面電極3,4が形成され、各セラミック
ス層の間に内部電極5が形成される。積層体1の側面に
は主面電極3,4を相互に接続する側面電極8と、内部
電極5と導通する側面電極9とが形成される。すべての
セラミックス層1a,1bは厚み方向において同一方向
に分極されており、主面電極3,4と内部電極5との間
に交番信号を印加することで、積層体1を屈曲振動させ
る。積層体1の表裏面のほぼ全面が樹脂層6,7で覆わ
れ、落下強度を高めている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は圧電受話器,圧電サ
ウンダ,圧電スピーカ,圧電ブザーなどの圧電型電気音
響変換器、特にその振動板の構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、圧電受話器や圧電ブザーなどに圧
電型電気音響変換器が広く用いられている。この種の圧
電型電気音響変換器は、円形の圧電セラミック板の片面
に円形の金属板を貼り付けてユニモルフ型振動板を構成
し、この振動板の周縁部を円形のケースの中に支持し、
ケースの開口部をカバーで閉鎖した構造のものが一般的
である。しかしながら、ユニモルフ型振動板の場合、電
圧印加によって外径が伸縮するセラミック板を、寸法変
化しない金属板に接着して屈曲振動を得るものであるか
ら、その変位量つまり音圧が小さいという欠点がある。
【0003】そこで、複数の圧電セラミックス層からな
る積層構造のバイモルフ型振動板が提案されている(特
開昭61−205100号公報)。この振動板は、複数
のセラミックグリーンシートおよび複数の電極を積層
し、同時に焼成して得られた焼結体を利用したものであ
り、振動板の振動を拘束しない位置に形成されたスルー
ホールにより、電極間を電気的に接続している。そし
て、厚み方向に順に配置された第1および第2の振動領
域が相互に逆方向に振動するように構成することで、ユ
ニモルフ型に比べて大きな変位量つまり大きな音圧を得
ることができる。
【0004】ところが、上記バイモルフ型振動板の場
合、例えば3層のセラミックス層からなる振動板を屈曲
振動させようとすると、上記公報の第17図に示すよう
に、一方の主面の電極と一方の内部電極とをスルーホー
ルを介して相互に接続し、他方の主面電極と他方の内部
電極とをスルーホールを介して相互に接続した上、両者
の間に交番電圧を印加する必要がある。そのため、主面
電極と内部電極との間の複雑な相互接続が必要となり、
コスト高になる可能性があった。
【0005】そこで、本願出願人は、主面電極と内部電
極との相互接続をなくし、簡単な接続構造でバイモルフ
型振動板を構成できる圧電型電気音響変換器を提供した
(特願平11−207198号)。この電気音響変換器
は、2層または3層の圧電セラミックス層を積層して積
層体が形成され、この積層体の表裏主面に主面電極が形
成され、各セラミックス層の間に内部電極が形成され、
すべてのセラミックス層は厚み方向において同一方向に
分極されたものである。そして、主面電極と内部電極と
の間に交番信号を印加することで、積層体を屈曲振動さ
せることができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】このようなバイモルフ
型振動板の場合、ユニモルフ型振動板に比べて大きな音
圧を得ることができるという特徴がある反面、金属板に
よる補強がないために、耐衝撃性が低く、携帯端末など
に使用した場合に十分な落下強度が得られなかった。
【0007】そこで、本発明の目的は、簡単な接続構造
で大きな音圧を得るバイモルフ型振動板を構成できると
ともに、落下強度の大幅な向上を図る圧電型電気音響変
換器を得ることにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載の発明は、2層または3層の圧電セ
ラミックス層を積層して積層体が形成され、この積層体
の表裏主面に主面電極が形成され、各セラミックス層の
間に内部電極が形成され、すべてのセラミックス層は厚
み方向において同一方向に分極されており、上記主面電
極と内部電極との間に交番信号を印加することで、上記
積層体を屈曲振動させる圧電型電気音響変換器であっ
て、上記積層体の表裏面のほぼ全面が樹脂層で覆われて
いることを特徴とする圧電型電気音響変換器を提供す
る。
【0009】本発明の積層体の場合、主面電極と内部電
極との間に交番電圧を印加すれば、表側および裏側のセ
ラミックス層に働く電界方向が厚み方向において逆方向
になる。一方、分極方向は全てのセラミックス層が厚み
方向において同一方向に向いている。圧電セラミックス
は、分極方向と電界方向とが同一方向であれば平面方向
に縮む性質を有し、分極方向と電界方向とが逆方向であ
れば平面方向に伸びる性質を有している。したがって、
上記のように交番電圧を印加すれば、表側のセラミック
ス層が伸びた(縮んだ)時、裏側のセラミックス層が縮
み(伸び)、全体として積層体は屈曲振動を生じること
になる。この変位量はユニモルフ型振動板に比べて大き
いので、音圧も増大する。
【0010】セラミックスよりなる積層体は音圧が大き
い反面、落下衝撃に弱い。そこで、本発明では、積層体
の表裏面のほぼ全面を樹脂層で覆うことで、積層体を補
強し、落下強度を大幅に向上させている。この樹脂層は
積層体の屈曲振動を阻害するものではないので、音圧を
殆ど損なわず、また共振周波数が大きく上昇することが
ない。
【0011】上記樹脂層は、請求項2のように、ペース
ト状樹脂を膜状に塗布した後、硬化させたコーティング
層としてもよいし、請求項3のように、積層体に対して
接着された樹脂フィルムであってもよい。樹脂層を構成
する樹脂材料は、シリコーン系やウレタン系などのヤン
グ率が低い樹脂材料の場合には、積層体の補強効果が殆
どなく、落下衝撃に対する強度向上が十分に見込めない
のに対し、エポキシ系、アクリル系、ポリイミド系、ポ
リアミドイミド系などのヤング率が高い樹脂材料では、
耐衝撃性を大幅に向上させることができる。
【0012】請求項4のように、積層体を方形状とする
のが望ましい。方形状の積層体の場合、マザー基板の段
階で電極形成、セラミックス層の積層、圧着、焼成、樹
脂層の形成などの工程を行なうことができ、量産性が向
上するとともに、材料の無駄も少ない。さらに、方形の
振動板を構成すると、円形の振動板に比べて音響変換効
率が向上し、低周波数の音を発生することができるとい
う利点がある。
【0013】請求項5のように、表裏の主面電極を積層
体の側面に形成された第1の側面電極を介して互いに導
通させ、内部電極を第1の側面電極と異なる位置の側面
に形成された第2の側面電極と導通させるのがよい。こ
の場合には、主面電極と内部電極とを側面電極を介して
引き出すことにより、外部との電気的接続が容易にな
る。
【0014】請求項6のように、第1及び第2の側面電
極を、樹脂層の表裏面まで回り込むように形成するのが
よい。例えば、本発明の電気音響変換器を外部と導電性
接着剤などを用いて電気的に接続する場合に、接続が簡
単かつ確実になる。
【0015】請求項7のように、第2の側面電極を積層
体の表裏面に回り込むように形成し、樹脂層に、表裏の
主面電極の一部が露出する切欠部と、積層体の表裏面に
回り込んだ第2の側面電極の一部が露出する切欠部とを
形成してもよい。この場合には、請求項6のように樹脂
層の表面に電極を形成する必要がなく、積層体に電極を
形成するだけでよいので、外部との電気的接続が容易に
なるだけでなく、電極形成の作業が簡単になる。
【0016】
【発明の実施の形態】図1〜図4は本発明にかかる圧電
型電気音響変換器の第1実施例を示す。この圧電型電気
音響変換器は、長方形の振動板(積層体)1と、この振
動板1を収容した角形のケース10および基板20とか
らなり、表面実装型に構成されている。
【0017】この実施例の振動板1は、図5,図6に示
すように、PZTなどからなる2層の圧電セラミックス
層1a,1bを積層したものであり、振動板1の表裏主
面には主面電極3,4が形成され、セラミックス層1
a,1bの間には内部電極5が形成されている。2つの
セラミックス層1a,1bは、太線矢印で示すように厚
み方向において同一方向に分極されている。この実施例
では、表側の主面電極3と裏側の主面電極4は、振動板
1の一方の短辺から他方の短辺の直前まで延びており、
内部電極5は主面電極3,4と対称的に他方の短辺から
一方の短辺の直前まで延びている。振動板1の表裏面は
樹脂層6,7によって覆われている。樹脂層6,7は、
ペースト状樹脂を膜状に塗布した後、硬化させたコーテ
ィング層であってもよいし、樹脂フィルムを接着したも
のでもよい。樹脂層6,7としては、エポキシ系樹脂、
アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂およびポリアミドイ
ミド系樹脂などの硬化状態でのヤング率が500MPa
〜6000MPaの材料が使用されている。
【0018】振動板1の一方の短辺側側面には、主面電
極3,4と導通する第1の側面電極8が形成され、この
側面電極8の上下部は樹脂層6,7の表面まで回り込む
ように形成されている。また、振動板1の他方の短辺側
側面には、内部電極5と導通する第2の側面電極9が形
成され、この側面電極9の上下部は樹脂層6,7の表面
まで回り込むように形成されている。
【0019】ケース10は耐熱性樹脂などにより上壁部
と4つの側壁部とを有する箱型に形成され、上壁部には
放音穴11が形成され、下面開口部に基板20が接着さ
れている。ケース10の対向する2側壁の内側面には段
差状の支持部12a,12bが形成され、これら支持部
12a,12b上に振動板1の短辺側の2辺が接着剤な
どの支持剤13a,13bによって支持されている。ま
た、振動板1の長辺側の2辺とケース10との隙間はシ
リコーンゴムなどの弾性封止剤14a,14bによって
封止されている。なお、支持剤13a,13bとして、
弾性封止剤14a,14bと同一の材料を用いてもよ
い。
【0020】基板20はケース10と同じく耐熱性樹
脂、ガラスエポキシ、セラミック材料などよりなり、そ
の両端部表裏面には外部接続用電極21a,21bが形
成され、表裏の電極21a,21bは基板20の両端部
側縁に形成された切欠溝22a,22bの内面を介して
相互に導通している。ケース10に固定された振動板1
の側面電極8,9上に導電性接着剤23a,23bを点
滴状に塗布した状態で、基板20をケース10の下面開
口部に絶縁性接着剤24により接着することにより、振
動板1の側面電極8は導電性接着剤23aによって外部
接続用電極21aと接続され、側面電極9は導電性接着
剤23bによって外部接続用電極21bと接続される。
なお、絶縁性接着剤24は、基板20上に塗布しておい
てもよいし、ケース10の開口部に塗布しておいてもよ
い。その後、導電性接着剤23a,23bおよび絶縁性
接着剤24を硬化させることにより、圧電型電気音響変
換器を完成する。
【0021】外部接続用電極21a,21bの間に所定
の交番電圧を印加すると、振動板1は長さベンディング
モードで屈曲振動する。すなわち、振動板1の短辺側両
端部を支点とし、長手方向の中央部を最大振幅点として
屈曲振動する。例えば外部接続用電極21aに接続され
た側面電極8にマイナスの電圧、外部接続用電極21b
に接続された側面電極9にプラスの電圧を印加すると、
図6の細線矢印で示す方向の電界が生じる。セラミック
ス層1a,1bは、分極方向と電界方向とが同一方向で
あれば平面方向に縮む性質を有し、分極方向と電界方向
とが逆方向であれば平面方向に伸びる性質を有するの
で、表側のセラミックス層1aは縮み、裏側のセラミッ
クス層1bは伸びることになる。そのため、振動板1は
中心部が下方へ凸となるように屈曲する。外部接続用電
極21a,21bに印加する電圧を交番電圧とすれば、
振動板1は周期的に屈曲振動を生じ、これによって大き
な音圧の音を発生することができる。
【0022】本発明の振動板1は、セラミックス層1
a,1bを積層したバイモルフ型振動板であるから、金
属板を使用したユニモルフ型振動板に比べて変位を大き
くすることができ、より大きな音圧を得ることができ
る。また、金属板によって変位が拘束されないので、低
周波の音を発生させることができる。換言すれば、同一
周波数の音を発生させるのであれば、寸法を小型化でき
る。また、表裏面に樹脂層6,7を形成して補強するこ
とにより、音圧を損なうことなく、かつ共振周波数を大
きく上昇させることなく、落下強度を向上させることが
できる。
【0023】図7は、振動板1のサイズを10mm×1
0mm×0.08mmとし、樹脂層6,7としてエポキ
シ系接着剤を振動板1の上下面に各20μmの厚みでコ
ーティングした場合の音圧を、樹脂層を設けない場合と
比較したものである。図7から明らかなように、樹脂層
6,7を設けることによる音圧低下および周波数変化は
殆どないことがわかる。
【0024】表1は、図7と同様にして振動板1に樹脂
層6,7を設けた場合(本発明)と、樹脂層を設けない
場合(比較品)との落下強度を比較したものである。表
において、○は割れが発生しないこと、×は割れが発生
したことを示す。なお、落下試験は、振動板1を図1に
示すようなケースに収納し、100gの治具に取り付け
て水平状態で落下させたものである。
【0025】
【表1】
【0026】上記実施例では、方形の振動板1を使用す
ることにより、次のような作用効果を有する。第1に、
音響変換効率が向上する点である。円形振動板の場合に
は、中心部のみが最大振幅点となるため、変位体積が小
さく、音響変換効率が比較的低い。また、振動板の周囲
が拘束されるので、周波数が高くなり、低い周波数の圧
電振動板を得ようとすれば、半径寸法が大きくなる。こ
れに対し、矩形振動板1の場合には、最大振幅点が長さ
方向の中心線にそって存在するので、変位体積が大き
く、高い音響変換効率を得ることができる。また、矩形
振動板1はその長さ方向両端部が固定されるが、その間
の部分は弾性封止剤14a,14bによって自由に変位
できるので、円形の振動板に比べて低い周波数を得るこ
とができる。逆に、同じ周波数を得るのであれば、寸法
を小型化できる。第2に、生産性が向上する点である。
円形振動板の場合には、マザー基板からパンチで振動板
を打ち抜くため、打ち抜きカスが多く発生するが、方形
振動板では、積層圧電体をダイシング等により切り出す
ことができるので、打ち抜きカスが少なくなる。また、
樹脂層のコーティングやフィルムを大型のマザー基板上
に形成できるので、量産性が向上し、工数が少なくて済
むという利点がある。
【0027】図8,図9は振動板の第2実施例を示す。
この振動板30は、図5,図6に示す振動板1と同様に
2層の方形セラミックス層31,32を積層し、その上
下面に主面電極33,34を形成するとともに、セラミ
ックス層31,32の間に内部電極35を形成したもの
である。振動板30の上下面には、主面電極33,34
を覆う樹脂層36,37が形成されている。主面電極3
3,34は、振動板30の一方の側面に形成された第1
の側面電極38を介して相互に接続され、内部電極35
は対向する側面に形成された第2の側面電極39と接続
されている。
【0028】この実施例では、側面電極38,39がセ
ラミックス層31,32の側面にのみ形成され、側面電
極39の一部はセラミックス層31,32の上下面にま
で回り込んでいる。そして、樹脂層36,37の一端側
には主面電極33,34の一部が露出する切欠部36
a,37aが形成され、樹脂層36,37の他端側には
セラミックス層31,32の上下面にまで回り込んた側
面電極39の一部が露出する切欠部36b,37bが形
成されている。
【0029】上記切欠部36a,37aおよび36b,
37bを介して、電極33,34および側面電極39が
振動板1の表裏面に露出するので、振動板30を導電性
接着剤などを介して外部と接続する場合に、接続作業が
容易にかつ確実に行なえる。また、図5,図6に示す振
動板1のように、樹脂層6,7の表面に電極を形成する
必要がないので、電極形成作業が簡素化されるという利
点がある。
【0030】図10は振動板の第3実施例を示す。この
実施例の振動板40は、3層の圧電セラミックス層41
〜43を積層したものであり、セラミックス層41の表
面およびセラミックス層43の裏面には主面電極44,
45が形成され、各セラミックス層41〜43の間には
内部電極46,47が形成されている。3つのセラミッ
クス層41〜43は太線矢印で示すように厚み方向にお
いて同一方向に分極されている。
【0031】振動板40の表裏面には、主面電極44,
45を覆う樹脂層48,49が全面に形成されている。
主面電極44,45は、図6と同様に振動板40の一方
の短辺から他方の短辺の直前まで延びており、その一端
は振動板40の一方の短辺側側面に形成された側面電極
50に接続されている。そのため、表裏の主面電極4
4,45は相互に接続されている。また、内部電極4
6,47は主面電極44,45と対称的に他方の短辺か
ら一方の短辺の直前まで延びており、その一端は振動板
40の他方の短辺側側面に形成された側面電極51に接
続されている。したがって、内部電極46,47も相互
に接続されている。なお、側面電極50,51は樹脂層
48,49の表裏面に回り込むように形成されている。
【0032】例えば、側面電極50にマイナスの電圧、
側面電極51にプラスの電圧を印加すると、図10の細
線矢印で示す方向の電界が生じる。この時、中間層であ
るセラミックス層42の両側に位置する内部電極46,
47は同一電位であるため、電界が生じない。表側のセ
ラミックス層41は分極方向と電界方向とが同一方向で
あるため平面方向に縮み、裏側のセラミックス層43は
分極方向と電界方向とが逆方向であるため平面方向に伸
びる。そして、中間層42は伸び縮みしない。そのた
め、振動板40は下方へ凸となるように屈曲する。側面
電極50,51間に交番電圧を印加すれば、振動板50
は周期的に屈曲振動を生じ、これによって大きな音圧の
音を発生することができる。なお、図10では、側面電
極50,51を樹脂層48,49の表裏面に回り込むよ
うに形成したが、図8のように樹脂層48,49の一部
を切り欠くことにより、主面電極44,45および側面
電極51を露出させるようにしてもよい。
【0033】上記実施例の振動板1,30,40の製造
方法は、例えばセラミックグリーンシートを電極膜を介
して2枚または3枚積層し、この積層体を同時焼成して
焼結積層体を得た後、この焼結積層体を分極処理する。
その後、分極済みの積層体の上下面に樹脂層を形成し、
この積層体を所定の素子寸法にカットした後、個々の素
子の側面に側面電極を形成することにより、製造でき
る。また、この方法に代えて、予め焼成し分極処理した
2枚または3枚の圧電セラミックス板を積層接着し、こ
の積層体の上下面に樹脂層を形成した後、素子寸法にカ
ットし、個々の素子の側面に側面電極を形成してもよ
い。積層後に焼成する前者の製造方法は、予め焼成した
ものを積層する後者の方法に比べて、振動板の厚みを格
段に薄くでき、音圧を大きくできるので、音響変換効率
に優れた振動板を得ることが可能である。また、樹脂層
は、マザー積層体を素子にカットする際に、素子の割れ
を防止する補強層としても機能する。
【0034】本発明は上記実施例に限定されるものでは
なく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変更が可能
である。本発明にかかる振動板(積層体)の形状は、実
施例のような方形状に限るものではなく、円形としても
よいことは勿論である。円形の場合も、ユニモルフ型振
動板に比べて、音圧を高めることができる。振動板(積
層体)を収容するハウジング構造としては、図1〜図4
の構造に限るものではない。図1〜図4では基板20に
外部接続用電極21a,21bを形成したが、ケース1
0側に外部接続用の電極を形成したり、端子を固定して
もよい。したがって、この場合には基板とケースとが上
下逆転する。振動板1の第1および第2の側面電極8,
9は図5,6のように対向する側面に限るものではな
く、同一の側面の異なる位置に隣接して形成することも
できる。なお、本発明の圧電型電気音響変換器は、圧電
ブザー,圧電サウンダ,圧電スピーカなどの発音体とし
ての用途の他、圧電受話器などの受音体としても使用で
きる。
【0035】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、請求項1
に記載の発明によれば、2層または3層の圧電セラミッ
クス層からなる積層体の表裏面に主面電極を形成し、各
セラミックス層の間に内部電極を形成し、すべてのセラ
ミックス層を厚み方向において同一方向に分極したの
で、主面電極と内部電極との間に交番信号を印加すれ
ば、表側と裏側のセラミックス層が逆方向に伸縮し、全
体として積層体が屈曲振動を生じることになる。この変
位量はユニモルフ型振動板に比べて大きくなるので、音
圧も増大させることができる。また、すべてのセラミッ
クス層が厚み方向において同一方向に分極されているの
で、従来のような主面電極と内部電極との間の複雑な相
互接続が不要であり、主面電極と内部電極との間に交番
信号を印加するだけでよく、構造が簡単で、製造コスト
を低減できる。さらに、積層体の表裏面が樹脂層で覆わ
れているので、積層体を補強でき、落下強度を大幅に向
上させることができる。そして、樹脂層は積層体の屈曲
振動を阻害するものではないので、音圧を殆ど損なわ
ず、また共振周波数が大きく上昇することがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる圧電型電気音響変換器の第1実
施例の外観斜視図である。
【図2】図1に示す圧電型電気音響変換器の分解斜視図
である。
【図3】図1のA−A線断面図である。
【図4】図1のB−B線断面図である。
【図5】図1の圧電型電気音響変換器に用いられる振動
板の斜視図である。
【図6】図5のC−C線断面図である。
【図7】樹脂層を設けた振動板と樹脂層を設けない振動
板の音圧比較図である。
【図8】本発明にかかる振動板の第2実施例の斜視図で
ある。
【図9】図8のD−D線断面図である。
【図10】本発明にかかる振動板の第3実施例の斜視図
である。
【符号の説明】
1,30,40 振動板(積層体) 1a,1b,31,32,41〜43 セラミックス層 3,4,33,34,44,45 主面電極 5,35,46,47 内部電極 6,7,36,37,48,49 樹脂層 10 ケース 20 基板

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】2層または3層の圧電セラミックス層を積
    層して積層体が形成され、この積層体の表裏主面に主面
    電極が形成され、各セラミックス層の間に内部電極が形
    成され、すべてのセラミックス層は厚み方向において同
    一方向に分極されており、上記主面電極と内部電極との
    間に交番信号を印加することで、上記積層体を屈曲振動
    させる圧電型電気音響変換器であって、上記積層体の表
    裏面のほぼ全面が樹脂層で覆われていることを特徴とす
    る圧電型電気音響変換器。
  2. 【請求項2】上記樹脂層は、ペースト状樹脂を膜状に塗
    布した後、硬化させたコーティング層であることを特徴
    とする請求項1に記載の圧電型電気音響変換器。
  3. 【請求項3】上記樹脂層は、積層体に対して接着された
    樹脂フィルムであることを特徴とする請求項1に記載の
    圧電型電気音響変換器。
  4. 【請求項4】上記積層体は方形状に形成されていること
    を特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の圧電
    型電気音響変換器。
  5. 【請求項5】上記表裏の主面電極は積層体の側面に形成
    された第1の側面電極を介して互いに導通しており、内
    部電極は第1の側面電極と異なる位置の側面に形成され
    た第2の側面電極と導通していることを特徴とする請求
    項1ないし4のいずれかに記載の圧電型電気音響変換
    器。
  6. 【請求項6】上記第1及び第2の側面電極は、上記樹脂
    層の表裏面まで回り込むように形成されていることを特
    徴とする請求項5に記載の圧電型電気音響変換器。
  7. 【請求項7】上記第2の側面電極は積層体の表裏面に回
    り込むように形成され、上記樹脂層に、表裏の主面電極
    の一部が露出する切欠部と、積層体の表裏面に回り込ん
    だ第2の側面電極の一部が露出する切欠部とが形成され
    ていることを特徴とする請求項5に記載の圧電型電気音
    響変換器。
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