JP2002081930A - Unit-type linear scale - Google Patents
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Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明が属する技術分野】本発明は、メインスケールが
収容されている枠体に対して、該スケールに沿って移動
するインデックススケールの相対移動量から長さ方向の
移動量を検出する検出ヘッドが一体的に形成されている
ユニット型リニアスケールに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a detection head for detecting a lengthwise movement amount of a frame housing a main scale from a relative movement amount of an index scale moving along the scale. The present invention relates to a unit-type linear scale formed integrally.
【0002】[0002]
【従来の技術】相対移動する対象物(移動体)の直線変
位を検出する装置として、メインスケールが収容されて
いる長尺状の枠体と、該枠体に対して相対移動可能なイ
ンデックススケール等の検出部が収容されている検出ヘ
ッドが一体的に形成されているユニット型リニアスケー
ルが一般に用いられている。2. Description of the Related Art As a device for detecting a linear displacement of an object (moving body) moving relatively, an elongated frame housing a main scale, and an index scale movable relatively to the frame. A unit-type linear scale in which a detection head accommodating a detection unit such as the above is integrally formed is generally used.
【0003】図4(A)、(B)、(C)は、このよう
なユニット型リニアスケールの一例を一方の対象物に固
定した状態の平面図、左側面図、正面図をそれぞれ示し
たものである。この図に示されるように、このユニット
型リニアスケールは、前記メインスケール(図示せず)
が収容されているアルミ枠(枠体)10と、前記検出部
(図示せず)が収容されている検出ヘッド12とが一体
的に形成され、該検出ヘッド12がアルミ枠10の長手
方向である測長方向に沿って移動可能になっている。FIGS. 4A, 4B, and 4C show a plan view, a left side view, and a front view, respectively, of an example of such a unit-type linear scale fixed to one object. Things. As shown in this figure, the unit-type linear scale is a main scale (not shown).
Is integrally formed with an aluminum frame (frame body) 10 in which the detection unit (not shown) is accommodated, and the detection head 12 is arranged in the longitudinal direction of the aluminum frame 10. It can be moved along a certain measuring direction.
【0004】このユニット型リニアスケールでは、アル
ミ枠10がその測長方向の両端部に取付けられた固定ブ
ロック14の固定位置にあたるねじ孔14Aを介して、
一方の対象物(図中、相手面)にねじ止めすることによ
り不動状態に固定されると共に、前記検出ヘッド12が
図示しない他方の対象物に固定され、両対象物の相対移
動量をアルミ枠10と検出ヘッド12の相対移動量から
検出するようになっている。In this unit type linear scale, the aluminum frame 10 is screwed through a screw hole 14A at a fixing position of a fixing block 14 attached to both ends in the length measuring direction.
The detection head 12 is fixed to the other object (not shown) by screwing it to one object (the opposite surface in the figure) and the detection head 12 is fixed to the other object (not shown). The detection is performed based on the relative movement amount of the detection head 10 and the detection head 12.
【0005】このようなユニット型リニアスケールとし
ては、前記図4に相当する図5に示すように、アルミ枠
10の対象物に対する固定を、測長方向両端部の固定ブ
ロック14だけでなく、測長方向の途中(例えば、中心
位置である中央部)に取付けた固定部材16の固定位置
16Aをねじ止めして、同様に相手面に3点で固定する
ものもある。As shown in FIG. 5 corresponding to FIG. 4, such a unit-type linear scale fixes the aluminum frame 10 to the object not only by the fixing blocks 14 at both ends in the length measuring direction. In some cases, the fixing position 16A of the fixing member 16 attached in the middle of the longitudinal direction (for example, the central portion which is the center position) is screwed and similarly fixed to the mating surface at three points.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明は、メインスケー
ルが収容されている測長方向に延びる枠体を、測長方向
両端部にそれぞれ直結されている固定ブロックをねじ止
めして、対象物に固定するユニット型リニアスケールに
おいて、前記両端部のいずれか一方の側の固定ブロック
に、測長方向のみに自由度を有した、前記枠体の伸びを
吸収する熱膨張吸収機構が形成されているようにしたこ
とにより、前記課題を解決したものである。SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, a frame body in which a main scale is accommodated and which extends in a length measuring direction is screwed to fixed blocks directly connected to both ends in the length measuring direction. In the unit-type linear scale to be fixed to, the fixed block on either one of the both ends has a degree of freedom only in the length measurement direction, and a thermal expansion absorption mechanism that absorbs the elongation of the frame is formed. This has solved the above-mentioned problem.
【0007】即ち、本発明においては、枠体を、その測
長方向両端部にそれぞれ直結されている固定ブロックを
ねじ止めして、対象物に固定すると共に、いずれか一方
の固定ブロックに前記枠体の伸びを吸収する熱膨張吸収
機構を形成するようにしたので、該枠体と対象物の材料
の熱膨張率が大きく異なっている場合でも、その伸びを
確実に吸収できるため、メインスケールの精度の直線性
が低下することを防止でき、結果として測定精度を向上
することができる。That is, in the present invention, the frame is fixed to the object by screwing the fixed blocks directly connected to both ends in the length measuring direction thereof, and the frame is fixed to one of the fixed blocks. Since the thermal expansion absorption mechanism that absorbs the elongation of the body is formed, even if the thermal expansion coefficients of the frame and the material of the object are significantly different, the elongation can be reliably absorbed, so that the main scale A decrease in the linearity of accuracy can be prevented, and as a result, measurement accuracy can be improved.
【0008】本発明は、又、メインスケールが収容され
ている測長方向に延びる枠体を、測長方向両端部にそれ
ぞれ直結されている固定ブロックと、側長方向途中に直
結されている固定部材をねじ止めして、対象物に固定す
るユニット型リニアスケールにおいて、前記両端部の固
定ブロックに、測長方向のみに自由度を有した、前記枠
体の伸びを吸収する熱膨張吸収機構が形成されているよ
うにしたことにより、同様に前記課題を解決したもので
ある。According to the present invention, a frame extending in the length measuring direction in which the main scale is accommodated is provided with a fixing block directly connected to both ends in the length measuring direction and a fixing block directly connected in the middle in the length direction. In a unit-type linear scale in which the member is screwed and fixed to the object, the fixed blocks at both ends have a degree of freedom only in the length measurement direction, and a thermal expansion absorption mechanism that absorbs the elongation of the frame body. The above-mentioned problem is similarly solved by being formed.
【0009】即ち、本発明においては、枠体を測長方向
途中で不動状態に固定すると共に、測長方向両端部では
いずれも前記熱膨脹吸収機構により、温度変化による伸
びを吸収できるようにしたので、同様に枠体に変形が生
じることを防止できる。That is, in the present invention, the frame is fixed in an immovable state in the middle of the length measuring direction, and at both ends in the length measuring direction, the thermal expansion absorbing mechanism can absorb the elongation due to the temperature change. Similarly, deformation of the frame can be prevented.
【0010】[0010]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態について詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【0011】図1は、本発明に係る第1実施形態のユニ
ット型リニアスケールが備えているアルミ枠10を、前
記図4(C)と同じ方向から見た測長方向両端部の近傍
を拡大して示したものである。但し、相手面(対象物)
は図示を省略してある。FIG. 1 is an enlarged view of an aluminum frame 10 provided in a unit-type linear scale according to a first embodiment of the present invention, in the vicinity of both ends in the length measurement direction as viewed from the same direction as that of FIG. It is shown. However, the other side (object)
Is not shown.
【0012】本実施形態では、ユニット型リニアスケー
ルを構成するアルミ枠(枠体)10の右側の測長方向端
部が、従来と同様の固定ブロック14にねじ(図示せ
ず)により直結され、該固定ブロック14を固定位置
(ねじ孔)14Aを介して対象物(図示せず)にねじ止
めして固定されている。従って、測長方向、これに直交
する相手面に垂直な方向及び相手面に平行な方向の3軸
方向の全ての方向に対してアルミ枠10の動きが規制さ
れるため、その結果この右側端部は完全な不動状態に固
定された固定端になっている。In this embodiment, the right end of the aluminum frame (frame body) 10 constituting the unit type linear scale in the length measurement direction is directly connected to a fixed block 14 similar to the conventional one by screws (not shown). The fixed block 14 is fixed to an object (not shown) by a screw via a fixed position (screw hole) 14A. Therefore, the movement of the aluminum frame 10 is restricted in all three directions, ie, the length measurement direction, the direction perpendicular to the mating surface perpendicular to the measuring surface, and the direction parallel to the mating surface. The part has a fixed end which is fixed in a completely immobile state.
【0013】一方、左側端部は、固定ブロック18に同
様に直結されているが、該固定ブロック18自体に熱膨
張吸収機構が形成され、自由端になっており、図中符号
20で示す固定用ねじは自由端側の固定位置になってい
る。以下にこの熱膨張吸収機構について、図2を参照し
ながら詳述する。On the other hand, the left end is similarly directly connected to the fixing block 18, but the fixing block 18 itself is formed with a thermal expansion absorbing mechanism, and is a free end. The screw is in a fixed position on the free end side. Hereinafter, this thermal expansion absorbing mechanism will be described in detail with reference to FIG.
【0014】この図2(A)は上記固定ブロック18を
拡大して示した平面図、同図(B)は固定用ねじ20の
軸中心を通るX方向の縦断面図、同図(C)は該固定用
ねじ20の軸方向に直交する方向の、同図(B)のC−
C位置における横断面図(理解し易いようにハッチング
は省略してある)である。FIG. 2A is an enlarged plan view of the fixing block 18, FIG. 2B is a longitudinal sectional view in the X direction passing through the axial center of the fixing screw 20, and FIG. In the direction perpendicular to the axial direction of the fixing screw 20, C- in FIG.
It is a cross-sectional view in the C position (hatching is omitted for easy understanding).
【0015】前記固定ブロック18は、ブッシュ(ねじ
部材)22を介して、対象物の表面に垂直に螺入されて
いる前記固定用ねじ20により、該対象物に固定されて
いる。又、このブッシュ22の上端に位置するフランジ
部22Aと固定ブロック18との間には、スプリングワ
ッシャ(ばね部材)24が介設され、該固定ブロック1
8を固定用ねじ20により完全に締め付けて固定しなく
とも、該ワッシャ24の付勢力により対象物の表面に確
実に密着させることができ、Y方向に規制されるように
なっている。The fixing block 18 is fixed to the target object via a bush (screw member) 22 by the fixing screw 20 which is vertically screwed into the surface of the target object. A spring washer (spring member) 24 is interposed between the fixed block 18 and the flange portion 22A located at the upper end of the bush 22.
8 can be securely brought into close contact with the surface of the object by the urging force of the washer 24 without being completely fastened and fixed by the fixing screw 20, and is regulated in the Y direction.
【0016】又、前記固定ブロック18には、上記ブッ
シュ22の外周面に当接する、図2(C)に示すよう
に、測長方向に平行な基準面(図中A面)を有する基準
部材18Aと、該基準面に対向し、同様に測長方向に延
びる押付面(図中B面)により、前記ブッシュ22を前
記基準部材18Aの基準面側に付勢する付勢部材18B
とを備えたことにより、測長方向には伸びの自由度を有
する圧縮ばね機構(熱膨張吸収機構)が形成されてい
る。As shown in FIG. 2C, the fixed block 18 has a reference member (surface A in the figure) which is in contact with the outer peripheral surface of the bush 22 and which is parallel to the length measuring direction. An urging member 18B that urges the bush 22 toward the reference surface of the reference member 18A by a pressing surface 18A and a pressing surface (a surface B in the drawing) that also faces the reference surface and extends in the length measurement direction.
Thus, a compression spring mechanism (thermal expansion absorption mechanism) having a degree of freedom of expansion in the length measurement direction is formed.
【0017】即ち、この固定ブロック18では、少なく
とも付勢部材18Bは付勢力を発生させる材料、例え
ば、アルミ、鉄、亜鉛等のごく一般的な入手可能な金属
で形成可能である。そして、前記基準面(A面)と押付
面(B面)の最大離間距離Dが二点鎖線で示すブッシュ
22の外径φdより小さく形成されており、しかも、ア
ルミ枠10との直結部近傍の付勢部材18Bには、その
肉厚を薄くすることにより、図中O点を中心とする圧縮
ばね機構が形成され、該ばね機構により固定ブロック1
8自体が図中X方向に規制され、位置決めされるように
なっている。That is, in the fixing block 18, at least the urging member 18B can be formed of a material that generates an urging force, for example, a generally available metal such as aluminum, iron, and zinc. The maximum separation distance D between the reference surface (A surface) and the pressing surface (B surface) is formed smaller than the outer diameter φd of the bush 22 indicated by a two-dot chain line, and near the portion directly connected to the aluminum frame 10. The biasing member 18B is formed with a compression spring mechanism centered on the point O in the figure by reducing the thickness thereof, and the fixing block 1 is formed by the spring mechanism.
8 itself is regulated in the X direction in the figure and positioned.
【0018】又、前記付勢部材18Bの押付面(B面)
は、前記最大離間距離Dの位置を境に測長方向に離間距
離が接触角α、βでそれぞれ漸減する曲面で形成されて
いる。従って、前記ブッシュ22は、最大離間距離Dの
位置で一番安定することから、この位置を外れるとアル
ミ枠10に該位置に戻そうとする張力が作用するように
なっている。The pressing surface (surface B) of the urging member 18B
Is formed as a curved surface in which the separation distance gradually decreases at the contact angles α and β in the length measurement direction from the position of the maximum separation distance D. Therefore, since the bush 22 is most stable at the position of the maximum separation distance D, when the bush 22 deviates from this position, a tension is applied to the aluminum frame 10 so as to return to the position.
【0019】以上詳述した本実施形態によれば、測定環
境の温度変化によりアルミ枠10が、Z方向(測長方
向)へ伸びようとした場合、ブッシュ22に対して固定
ブロックの基準面(A面)を基準として滑りが発生する
ため、その伸びを吸収することができる。又、このと
き、固定ブロック18の前記圧縮ばね機構により前記ブ
ッシュ22が基準面方向に圧縮されてX方向に位置決め
されているため、アルミ枠10の伸びのみが吸収される
ことになり、熱膨張に起因するアルミ枠10の変形を防
止することができる。According to the present embodiment described above, when the aluminum frame 10 tries to extend in the Z direction (length measuring direction) due to a temperature change in the measurement environment, the reference surface ( Since the slip occurs on the basis of the (A surface), the elongation can be absorbed. Also, at this time, since the bush 22 is compressed in the reference plane direction and positioned in the X direction by the compression spring mechanism of the fixed block 18, only the elongation of the aluminum frame 10 is absorbed, and thermal expansion occurs. The deformation of the aluminum frame 10 due to the above can be prevented.
【0020】又、固定ブロック18が、固定用ねじ20
により前記スプリングワッシャ24を介して対象物に付
勢して固定されているため、該固定ブロック18の前記
対象物に対する図中Y方向の押付力、図中X、Z方向へ
の摩擦力が、該固定用ねじ20の締付けに左右されない
ようにすることができる。又、付勢部材18Bの押付面
を、前記α、βの角度で設定される接触角からなる曲面
で形成することにより、圧縮ばねの締付力を安定する寸
法Dの位置にコントロールすることが可能となるため、
設計の自由度を向上することができる。The fixing block 18 is provided with a fixing screw 20.
As a result, the object is urged and fixed via the spring washer 24 so that the pressing force of the fixing block 18 against the object in the Y direction in the drawing and the frictional force in the X and Z directions in the drawing are: It can be prevented from being affected by the tightening of the fixing screw 20. Further, by forming the pressing surface of the biasing member 18B with a curved surface having a contact angle set by the angles α and β, the tightening force of the compression spring can be controlled to a position of the dimension D which is stable. To be able to
The degree of freedom in design can be improved.
【0021】又、測長方向両端部の片側を固定端とし、
他方の片側を自由端とすることができることにより、ア
ルミ枠10に対する伸びの基準点の設定と伸びの方向の
設定が可能となることから、収容されているメインスケ
ールの精度の直線性を向上することが可能となる。Further, one end of both ends in the measurement direction is a fixed end,
Since the other side can be set as a free end, it is possible to set a reference point for elongation and a direction of elongation with respect to the aluminum frame 10, thereby improving the linearity of the accuracy of the main scale accommodated. It becomes possible.
【0022】図3は、本発明に係る第2実施形態のユニ
ット型リニアスケールを示す、前記図5に相当する平面
図である。FIG. 3 is a plan view, corresponding to FIG. 5, showing a unit-type linear scale according to a second embodiment of the present invention.
【0023】本実施形態は3点固定のユニット型リニア
スケールであり、測長方向中央部(途中)のアルミ枠1
0が固定部材16で完全な不動状態に固定され、測長方
向両端部がいずれも前記圧縮ばね機構が形成されている
固定ブロック18により固定するようにしたものであ
る。The present embodiment is a unit-type linear scale fixed at three points, and has an aluminum frame 1 at the center (in the middle) in the length measuring direction.
Numeral 0 is fixed in a completely immobile state by a fixing member 16, and both ends in the length measurement direction are fixed by a fixing block 18 in which the compression spring mechanism is formed.
【0024】本実施形態によれば、アルミ枠10の中央
部を固定端とし、両端部を自由端とすることができるこ
とにより、該中央部を伸びの基準点に設定し、図中左右
に均等なアルミ枠10の伸びを生じさせることが可能と
なることから、収容されているメインスケールの精度の
直線性の低下を防止でき、結果として測定精度を向上す
ることができる。According to the present embodiment, the center of the aluminum frame 10 can be a fixed end, and both ends can be free ends. Since it is possible to cause the elongation of the aluminum frame 10, it is possible to prevent a decrease in the linearity of the accuracy of the housed main scale, thereby improving the measurement accuracy.
【0025】以上、本発明について具体的に説明した
が、本発明は、前記実施形態に示したものに限られるも
のでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能で
ある。Although the present invention has been specifically described above, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be variously modified without departing from the gist thereof.
【0026】例えば、前記固定ブロックに形成されてい
る熱膨張吸収機構の具体的な構成は、前記実施形態に示
したものに限定されない。具体的には、付勢部材18B
により基準部材18Aの基準面に付勢されるねじ部材
は、前記実施形態に示したブッシュに限られるものでな
く、ねじ自体であってもよい。又、付勢部材18Bの押
付面は曲面でなく平坦面であっても良い。For example, the specific configuration of the thermal expansion absorbing mechanism formed on the fixed block is not limited to the one shown in the above embodiment. Specifically, the urging member 18B
The screw member biased to the reference surface of the reference member 18A is not limited to the bush described in the above embodiment, and may be a screw itself. The pressing surface of the biasing member 18B may be a flat surface instead of a curved surface.
【0027】又、前記第2実施形態では、アルミ枠10
を中央部で固定する場合を示したが、測長方向の途中で
あれば特に制限されない。In the second embodiment, the aluminum frame 10
Is fixed at the center, but there is no particular limitation as long as it is in the length measurement direction.
【0028】[0028]
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
メインスケールが収容されている枠体と、該枠体を固定
する対象物との線膨張係数の差が大きい場合でも、メイ
ンスケールの精度の直線性が低下することを防止でき、
結果として測定精度を向上することができる。As described above, according to the present invention,
Even if the difference in linear expansion coefficient between the frame body in which the main scale is housed and the object to which the frame body is fixed is large, it is possible to prevent the linearity of the accuracy of the main scale from being reduced,
As a result, measurement accuracy can be improved.
【図1】本発明に係る第1実施形態のユニット型リニア
スケールが備えるアルミ枠を示す概略正面図FIG. 1 is a schematic front view showing an aluminum frame included in a unit-type linear scale according to a first embodiment of the present invention.
【図2】熱膨張吸収機構を有する固定ブロックを拡大し
て示す平面図、縦断面図、横断面図FIG. 2 is an enlarged plan view, a longitudinal sectional view, and a transverse sectional view showing a fixed block having a thermal expansion absorbing mechanism.
【図3】本発明に係る第2実施形態のユニット型リニア
スケールが備えるアルミ枠を示す概略正面図FIG. 3 is a schematic front view showing an aluminum frame included in a unit-type linear scale according to a second embodiment of the present invention.
【図4】従来のユニット型リニアスケールの外観を示す
平面図、左側面図、正面図FIG. 4 is a plan view, a left side view, and a front view showing the appearance of a conventional unit-type linear scale.
【図5】従来の他のユニット型リニアスケールの外観を
示す平面図、左側面図、正面図FIG. 5 is a plan view, a left side view, and a front view showing the appearance of another conventional unit-type linear scale.
10…アルミ枠 12…検出ヘッド 14…固定ブロック 16…固定部材 18…固定ブロック 18A…基準部材 18B…付勢部材 A面…基準面 B面…押付面 20…固定用ねじ 22…ブッシュ 24…スプリングワッシャ(ばね部材) DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Aluminum frame 12 ... Detection head 14 ... Fixed block 16 ... Fixed member 18 ... Fixed block 18A ... Reference member 18B ... Biasing member A surface ... Reference surface B surface ... Pressing surface 20 ... Fixing screw 22 ... Bush 24 ... Spring Washer (spring member)
Claims (7)
に延びる枠体を、測長方向両端部にそれぞれ直結されて
いる固定ブロックをねじ止めして、対象物に固定するユ
ニット型リニアスケールにおいて、 前記両端部のいずれか一方の側の固定ブロックに、測長
方向のみに自由度を有した、前記枠体の伸びを吸収する
熱膨張吸収機構が形成されていることを特徴とするユニ
ット型リニアスケール。1. A unit-type linear scale for fixing a frame body in which a main scale is accommodated and extending in a length measuring direction to a target object by screwing fixing blocks directly connected to both ends in the length measuring direction. A fixed block on either one of the two end portions, a unit having a degree of freedom only in the length-measuring direction, and a thermal expansion absorbing mechanism for absorbing elongation of the frame body; Linear scale.
に延びる枠体を、測長方向両端部にそれぞれ直結されて
いる固定ブロックと、側長方向途中に直結されている固
定部材をねじ止めして、対象物に固定するユニット型リ
ニアスケールにおいて、 前記両端部の固定ブロックに、測長方向のみに自由度を
有した、前記枠体の伸びを吸収する熱膨張吸収機構が形
成されていることを特徴とするユニット型リニアスケー
ル。2. A frame body, in which a main scale is accommodated, extending in the length measuring direction is fixed to a fixing block directly connected to both ends in the length measuring direction, and a fixing member directly connected in the middle in the side length direction. Then, in the unit-type linear scale to be fixed to the object, the fixed blocks at both ends are provided with a thermal expansion absorbing mechanism that has a degree of freedom only in the length measurement direction and absorbs the elongation of the frame body. A unit type linear scale characterized by the following.
を対象物に固定するために、該対象物の表面に垂直に螺
入されるねじ部材の外周面に当接する、測長方向に平行
な基準面を有する基準部材と、該基準面に対向し、測長
方向に延びる押付面により前記ねじ部材を、前記基準面
側に付勢する付勢部材とを備えていることを特徴とする
請求項1又は2に記載のユニット型リニアスケール。3. The thermal expansion absorbing mechanism according to claim 1, wherein said thermal expansion absorbing mechanism abuts on an outer peripheral surface of a screw member which is vertically screwed into a surface of said object in order to fix said fixing block to said object. A reference member having a stable reference surface, and an urging member that urges the screw member toward the reference surface side by a pressing surface that faces the reference surface and extends in the length measurement direction. The unit-type linear scale according to claim 1.
側に付勢するばね部材を介して、前記ねじ部材により固
定されていることを特徴とする請求項3に記載のユニッ
ト型リニアスケール。4. The unit-type linear scale according to claim 3, wherein the fixed block is fixed by the screw member via a spring member for urging the block toward the object.
付面との間の最大離間距離が、前記ねじ部材の外径より
小さく形成されていることを特徴とする請求項3に記載
のユニット型リニアスケール。5. The apparatus according to claim 3, wherein a maximum separation distance between a reference surface of said reference member and a pressing surface of said urging member is formed smaller than an outer diameter of said screw member. Unit type linear scale.
離の位置を境に測定方向にそれぞれ漸減するように形成
されていることを特徴とする請求項3に記載のユニット
型リニアスケール。6. The unit-type linear scale according to claim 3, wherein the pressing surface of the urging member is formed so as to gradually decrease in the measurement direction from the position of the maximum separation distance. .
付勢部材が前記基準部材に対する圧縮バネとして機能す
るように肉厚が薄く形成されていることを特徴とする請
求項3に記載のユニット型リニアスケール。7. A thickness of a portion of the urging member near a portion directly connected to the frame is formed to be thin so that the urging member functions as a compression spring for the reference member. 3. The unit-type linear scale according to 3.
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