JP2002079200A

JP2002079200A - ウエブの除塵方法及び装置

Info

Publication number: JP2002079200A
Application number: JP2000378906A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiko Fujiwara; 一彦藤原; Naoyuki Kawanishi; 直之川西
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1999-12-14
Filing date: 2000-12-13
Publication date: 2002-03-19

Abstract

(57)【要約】【課題】ウエブの表面にキズを付けたり、ダメージを与
えたりすることなく、表面に付着した異物、ゴミ、塵等
を除去できるウエブの除塵方法及び装置を提供する。【解決手段】まず、乾式除塵装置１２によって走行する
ウエブ状のフィルム１０に清浄度の高い高圧空気を給排
気して、表面に付着した比較的粘着力の弱い異物を除去
する。次いで、液体で濡らした弾性体１８でフィルム１
０の表面を連続的に擦り、フィルム１０の表面に残存す
る比較的粘着力の強い異物を除去する。次いで、フィル
ム１０の表面に液体を噴射して、フィルム１０の表面に
残存する異物を洗い流す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウエブの除塵方法
及び装置に関し、特に熱可塑性支持体（以下、単に「フ
ィルム」と言うこともある。）の表面に付着した異物、
ゴミ、塵等を精密に除去するウエブの除塵方法及び装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】熱可塑性支持体にそれぞれの機能を付加
して工業的な価値を発現する製品には、写真感光材料、
磁気記録テープ、光学用途フィルムなどが挙げられる。
これらの多くは、熱可塑性支持体の表面に感光性物質、
帯磁性物質、光変換物質等を塗布して製造されるが、近
年、生産性を上げるために、これらの物質の塗布速度は
向上しており、支持体表面に異物、ゴミ、塵等が付着し
ていると、塗布欠陥がこれらの異物の大きさの数百倍に
も達することがしばしば生じる。このため、塗布に先立
って支持体表面に付着した塵埃等を強制的に除去する、
いわゆる除塵処理が行われている。

【０００３】ところで、これらの異物は、フィルムを
製膜する際、フィルムが固化するまでに表面に存在して
埋め込まれたもの、フィルムの製膜から機能性材料を
塗布するまでの間に分子間力等で付着したもの、フィ
ルム表面が帯電することで生じた静電力により付着した
もの、固形物を含む液体が付着して、後に乾燥して固
化したもの、ウエブを搬送させるパスローラから再付
着したもの、などさまざまな原因で付着する。そして、
これらの異物の組成やフィルムに対する付着力は様々で
あり、また大きさもサブミクロンから数ミリ大までが欠
陥原因の対象となる。

【０００４】公知の乾式の除塵方法としては、特開昭５
９−１５０５７１号公報に開示されているように、フィ
ルム表面に不織布やブレード等を押し付ける方法や、特
開平１０−３０９５５３号公報に開示されているよう
に、清浄度の高い空気を高速で吹き付けて付着物をフィ
ルム表面から剥離させるとともに、近接した吸い込み口
に導入して除去する方法などが知られている。特に、超
音波振動する圧縮空気を吹き付けて付着物を剥離させ、
吸引するものにはニューウルトラクリーナの商品名で株
式会社伸興から市販されている。この装置の特徴は、空
気流による剪断力と超音波による振動作用とを組み合わ
せることにより、高い除塵作用を得ようとするものであ
る。

【０００５】また、乾式の除塵方法には、この他に静電
力を利用したものがあり、特開平１０−２９０９６４号
公報に開示されているように、正、負の空気イオンを注
入しながら電荷を中和させ、剥離した異物を別の空気流
によって除去する方法が知られている。

【０００６】一方、これら乾式の方法に対して湿式の除
塵方法もあり、洗浄槽内にフィルムを導入し、超音波振
動子により付着物を剥離させる方法や、特公昭４９−１
３０２０号公報に開示されているように、フィルムに洗
浄液を供給した後、高速空気の吹き付け、吸い込みを行
う方法などが知られている。

【０００７】しかしながら、これらの洗浄方法は、数十
μｍ以上の比較的大きな付着物、あるいは付着力の弱い
付着物には有効であるが、数μｍ以下の小さな付着物、
あるいは付着力の強い付着物については、ほとんど効果
が認められなかった。

【０００８】この問題を解決すべく、特公平５−５０４
１９号公報では、溶剤を塗着した後、溶剤が残存してい
る間にフィルムの搬送方向と逆に回転するロッド部材を
フィルムの表面に押し付け、付着物を掻き落とす方法が
考案された。この方法によれば、フィルムとロッド部材
との間に小さな間隙を形成し、この隙間より大きな付着
物の通過を阻止するとともに、溶剤液体を介して剪断力
を伝搬して付着物を剥離させることにより、より小さな
付着物、あるいは付着力の強い付着物についても効果が
あることが認められた。

【０００９】また、他の除塵方法として、特開昭６２−
６５８７２号公報では、フィルムの走行方向と反対方向
に回転するロッド部材の代わりに、シャープエッジを有
するブレードを配置することにより、洗浄効果を高める
方法が考案されている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特公平
５−５０４１９号公報や特開昭６２−６５８７２号公報
に開示されている方法は、ロッド部材等を直接熱可塑性
支持体表面に接触させているため、ロット部材等には平
滑かつ耐摩耗性に優れた超硬合金などが用いられている
が、フィルムとロット部材との間に固い異物が進入する
とフィルムに傷が発生するという欠点がある。また、フ
ィルム表面とロット部材等との間の液膜が途切れると、
フィルム表面を損傷するばかりか、これによって異物を
発生させてしまうという欠点もある。

【００１１】また、フィルム表面に付着物が多量に存在
する場合には、湿式の方法においても除塵がまかないき
れないことや、処理液の急激な汚染のためなどにより、
十分な除塵効果が得られないこともある。

【００１２】一方、フィルムの表面がウエブを搬送する
ためのパスローラと接触することによって異物がフィル
ム表面に再付着という問題も発生する。

【００１３】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、ウエブの表面にキズを付けたり、ダメージを
与えたりすることなく、表面に付着した異物、ゴミ、塵
等を除去できるウエブの除塵方法及び装置を提供するこ
とを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
前記目的を達成するために、走行するウエブに清浄度の
高い高圧空気を給排気して、ウエブの表面に付着した比
較的粘着力の弱い異物を除去する乾式除塵工程と、液体
で濡らした擦付用弾性体でウエブの表面を連続的に擦
り、ウエブの表面に残存する比較的粘着力の強い異物を
除去する弾性体擦付工程と、ウエブの前記擦付用弾性体
で擦った面に液体を噴射して、ウエブの表面に残存する
異物を洗い流すリンス工程と、からなることを特徴とす
る。

【００１５】請求項１の発明によれば、フィルム表面を
乾式除塵した後、フィルム表面を液体で濡らした擦付用
弾性体で連続的に擦る。この液体を濡らした擦付用弾性
体でフィルム表面を擦る方法は、同じ剪断速度を形成し
た場合、気体を用いた乾式の除塵方法に比べて千倍以上
の剪断応力が与えられる。このため、より小さく強固に
付着した異物に対しても除去効果が得られる。また、金
属ロッドやブレードに比べて擦付用弾性体の硬度が小さ
いため、フィルムに押し当てた場合に表面にキズやダメ
ージを与える可能性は極めて小さくなる。また、擦付用
弾性体による剪断力で擦り落とせなかった異物や液体に
同伴されて再付着した異物は、擦付用弾性体の下流で液
体を噴射して洗い流すことで解決される。

【００１６】一方、フィルム表面に付着した異物の中に
は比較的付着力が弱いものも多く、それらは乾式除塵で
予め除去することができる。この乾式除塵での異物除去
は下流の湿式除塵の負荷を減少させ、トータルで高い除
塵効果が達成できる。

【００１７】請求項２記載の発明は、前記目的を達成す
るために、走行するウエブに清浄度の高い高圧空気を給
排気して、ウエブの表面に付着した比較的粘着力の弱い
異物を除去する乾式除塵工程と、ウエブの背面に押付用
弾性体を押し当てることによって、ウエブの表面を液体
で濡らした擦付用弾性体に押し付け、その擦付用弾性体
でウエブの表面を連続的に擦ることによって、ウエブの
表面に残存する比較的粘着力の強い異物を除去する弾性
体擦付工程と、ウエブの前記弾性体で擦った面に液体を
噴射して、ウエブの表面に残存する異物を洗い流すリン
ス工程と、からなることを特徴とする。

【００１８】請求項２の発明によれば、請求項１の弾性
体擦付工程において、フィルム背面を押付用弾性体で押
し付けながら、フィルム表面を液体で濡らした擦付用弾
性体で連続的に擦るようにしたので、ウエブの表面に残
存する比較的粘着力の強い異物をより効果的に除去する
ことができる。

【００１９】請求項３記載の発明は、前記目的を達成す
るために、走行するウエブに清浄度の高い高圧空気を給
排気して、ウエブの表面に付着した比較的粘着力の弱い
異物を除去する乾式除塵工程と、液体で濡らした擦付用
弾性体でウエブの表面を連続的に擦り、ウエブの表面に
残存する比較的粘着力の強い異物を除去する弾性体擦付
工程と、ウエブの前記擦付用弾性体で擦った面に液体を
噴射して、ウエブの表面に残存する異物を洗い流すリン
ス工程と、走行するウエブに清浄度の高い高圧空気を給
排気して、ウエブ上に存在する液体を液切り除去する液
切り工程、及び液切り後、走行するウエブに清浄度の高
い空気を吹き付けて、ウエブ上に残留する液体を完全に
乾燥する乾燥工程と、からなることを特徴とする。

【００２０】請求項３の発明によれば、請求項１と同様
の作用に加え、フィルム表面に稀に僅かに存在する異物
は液切り工程で液に同伴して除去することができ、更
に、高速ハンドリング時において発生する液切り後のウ
エブ上の残留液に対しては乾燥工程で完全に乾燥するこ
とができる。

【００２１】また、請求項４記載の発明は、前記目的を
達成するために、請求項１又は２記載のウエブの除塵方
法において、前記リンス工程後、走行するウエブに清浄
度の高い高圧空気を給排気して、ウエブ上に残存する液
体を液切り乾燥する液切り工程を含むようにしたもの
で、フィルム表面に稀に僅かに残存する異物を除液に同
伴して除去することができる。

【００２２】また、請求項５記載の発明は、請求項３の
場合にも、ウエブの背面に押付用弾性体を押し当てるよ
うにしたもので、弾性体擦付工程での効果をより向上さ
せることができる。

【００２３】また、請求項６記載の発明は、請求項１、
２、３、４又は５記載のウエブの除塵方法において、前
記弾性体擦付工程は、ローラ状に形成され、一部が液体
に浸漬された擦付用弾性体を回転させてウエブの表面を
連続的に擦るとともに、該ウエブを擦った後の擦付用弾
性体に超音波を放射することによって、擦付用弾性体か
ら異物を除去するようにしたものである。これにより、
フィルム表面から擦り落とされた異物の一部は弾性体表
面に残存し、時間が経過するとともに蓄積してフィルム
表面に再付着するため、異物の除去率が小さくなるばか
りか、残存した異物の硬度がフィルムのそれを上回る場
合にはフィルムの損傷の原因となる。本発明では、フィ
ルムを擦った後に弾性体表面に超音波を放射し、転写し
た異物を脱落させることで、これを防止できる。

【００２４】また、請求項７記載の発明は、請求項２又
は５記載のウエブの除塵方法において、弾性体擦付工程
は、ウエブの背面にローラ状の押付用弾性体を押し当て
ることによって、ウエブの表面を一部又は全体が液体に
浸漬された回転するローラ状の擦付用弾性体に押し付け
て、ウエブの表面を擦付用弾性体で連続的に擦り、その
ウエブを擦った後の擦付用弾性体に超音波を放射するこ
とによって、擦付用弾性体から異物を除去するようにし
たものである。ウエブの背面にローラ状の押付用弾性体
を押し当てて効果的にフィルム表面から擦り落とされた
異物の一部は、擦付用弾性体表面に残存し、時間が経過
するとともに蓄積してフィルム表面に再付着するため、
異物の除去率が小さくなるばかりか、残存した異物の硬
度がフィルムのそれを上回る場合にはフィルムの損傷の
原因となる。本発明では、フィルムを擦った後に擦付用
弾性体表面に超音波を放射し、転写した異物を脱落させ
ることで、これを防止できる。

【００２５】また、請求項８記載の発明は前記目的を達
成するために、請求項３又は４記載のウエブの除塵方法
において、前記乾式除塵工程と前記液切り工程とは、走
行するウエブに超音波振動する高圧空気を給排気するよ
うにしたものである。これにより、空気流の境界層の中
で付着物が受ける剪断力によって剥離させる作用と、超
音波による振動作用との組み合わせで、高い除塵作用を
得ることができる。

【００２６】また、請求項９記載の発明は、前記目的を
達成するために、請求項１、２、３、４、５、６、７又
は８記載のウエブの除塵方法において、走行するウエブ
に対してウエブの表面製品部を非接触搬送するようにし
たものである。これにより、フィルムの表面がウエブを
搬送するパスローラに接すると、ローラ上の異物等がフ
ィルム表面へ再付着し、新たな欠陥の原因となるばかり
でなく、フィルムの損傷の原因となるが、本発明では、
フィルム表面を非接触で次工程に搬送させることで、こ
れを解決できる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、添付図面に従って本発明に
係るウエブの除塵方法及び装置の好ましい実施の形態に
ついて詳説する。

【００２８】図１は、本発明に係るウエブの除塵装置の
第１の実施の形態を示す模式図である。同図に示すよう
に、本実施の形態の除塵装置は、主としてウエブ状のフ
ィルム１０の走行をガイドするガイドローラ１４Ａ〜１
４Ｄと浮上ローラ１６Ａ〜１６Ｃ、そのガイドローラ１
４Ａ〜１４Ｄと浮上ローラ１６Ａ〜１６Ｃにガイドされ
て走行するフィルム１０の表面に高圧空気を給排気して
乾式除塵する乾式除塵装置１２、表面に被覆された擦付
用弾性体１８によって走行するフィルム１０を連続的に
擦り、フィルム１０に付着した異物を除去する擦付用ロ
ーラ２０、フィルム１０の擦付用ローラ２０に擦られた
面をすすぎ洗浄するリンスノズル２２、及び、すすぎ後
にフィルム１０に残存する洗浄液を高圧空気の給排気で
液切りさせる液切り装置２４から構成されている。

【００２９】ガイドローラ１４Ａ〜１４Ｄと浮上ローラ
１６Ａ〜１６Ｃとは、それぞれ所定の位置に配置されて
フィルム１０の走行をガイドする。ここで、ガイドロー
ラ１４Ａ〜１４Ｄは、フィルム１０の裏面側が巻き掛け
られて、フィルム１０の裏面走行をガイドし、浮上ロー
ラ１６Ａ〜１６Ｃは、フィルム１０の表面側が巻き掛け
られて、フィルム１０の表面走行をガイドする。

【００３０】この際、浮上ローラ１６Ａ〜１６Ｃは、フ
ィルム１０の表面全体を非接触でガイドする。すなわ
ち、浮上ローラ１６Ａ〜１６Ｃは、ローラ表面に多数の
孔又はスリットが形成されており、そのシャフトには図
示しない送風装置が連結されている。送風装置からシャ
フトへ供給された高圧空気は、ローラの表面に形成され
た孔又はスリットから吐出され、フィルムを浮上させて
搬送する。これにより、除塵後、フィルム表面への異物
の再付着が防止される。

【００３１】なお、ガイドローラ１４Ａ〜１４Ｄ及び浮
上ローラ１６Ａ〜１６Ｃは、それぞれ所定の位置に配置
されてフィルム１０の走行をガイドするが、この際、以
下の条件を満たすように配置される。すなわち、乾式除
塵装置１２による乾式除塵後、フィルム１０が擦付用ロ
ーラ２０に対してその表面に被覆された擦付用弾性体１
８と接触すること、及び、その同じ面を後続のリンスノ
ズル２２、更に液切り装置２４に近接するようにガイド
すること、以上の条件を満たすように配設される。

【００３２】また、浮上ローラ１６Ａ〜１６Ｃの直径は
撓みと重量の問題から３ｃｍ以上３０ｃｍ以下、好まし
くは１０ｃｍ以上２５ｃｍ以下を用いる。浮上ローラ内
の空気圧力は、フィルム１０がテンションに負けずに
０．1 ｍｍ以上１０ｍｍ以下、好ましくは０．５ｍｍ以
上５ｍｍ以下の範囲で浮上させるために４９０Ｐａ以上
６８６５Ｐａ以下（５０ｍｍＡｑ以上７００ｍｍＡｑ以
下）、好ましくは１９６１Ｐａ以上４９０３Ｐａ以下
（２００ｍｍＡｑ以上５００ｍｍＡｑ以下）。また、風
量は毎分１ｍ³以上５０ｍ³以下、好ましくは毎分３ｍ
³以上３０ｍ³以下を用いる。

【００３３】乾式除塵装置１２は、清浄度の高い空気を
高速でフィルム１０に吹き付けて、フィルム表面から異
物を剥離除去する。この乾式除塵装置１２は、ガイドロ
ーラ１４Ａをバックアップとしてフィルム１０に近接し
て設置され、図示しない高圧空気給排装置に接続され
る。この乾式除塵装置１２は、フィルム１０の幅方向に
沿ってフィルム１０と狭い間隙をもって配設される複数
の給気用スリットと排気用スリットとを備えており、高
圧空気給排気装置から供給される清浄度の高い空気を給
気用スリットから高速でフィルム１０に吹き付けて、フ
ィルム表面から付着物を剥離させる。そして、その剥離
させた付着物を排気用スリットから吸い込み除去する。

【００３４】なお、給気用スリット内に給気によって超
音波を発する機構を設け、超音波振動する圧縮空気をフ
ィルム１０に吹き付けるようにしてもよい。このような
機能を有する乾式除塵装置には、たとえばニューウルト
ラクリーナの商品名で株式会社伸興から市販されてい
る。このような超音波を利用した乾式除塵装置では、空
気流の境界層（厚み数十〜百μｍ）の中で付着物が受け
る剪断力によって剥離させる作用と、超音波による振動
作用とを組み合わせることにより、高い除塵作用を得る
ことができる。

【００３５】なお、乾式除塵装置１２とフィルム１０と
の間隙は、ウエブハンドリングに支障をきたさずに高い
除塵効果を得るため、０．１ｍｍ以上１０ｍｍ未満、好
ましくは０．３ｍｍ以上５ｍｍ未満に設定する。また、
圧縮空気の給気と排気はハンドリングに支障を起こさな
い範囲で強くすることが有利だが、除塵にとって特に重
要なことは清浄空気の給排気風量バランスであり、給気
よりも排気の風量を多くすることである。給気及び排気
風量は毎分１ｍ³以上１００ｍ³未満、好ましくは１０
ｍ³以上４０ｍ³未満で使用し、排気風量を給気風量よ
りも０. １ｍ³以上５０ｍ³未満、好ましくは１ｍ³以
上１０ｍ³未満多い風量に設定する。給気圧力範囲は５
ｋＰａ以上１００ｋＰａ未満、好ましくは１０ｋＰａ以
上５０ｋＰａ未満、さらに好ましくは２０ｋＰａ以上３
５ｋＰａ未満に設定し、排気圧力は１ｋＰａ以上２０ｋ
Ｐａ未満、好ましくは３ｋＰａ以上１０ｋＰａ未満に設
定する。

【００３６】擦付用ローラ２０は、表面に被覆された擦
付用弾性体１８によってフィルム１０を連続的に擦るこ
とにより、フィルム１０の表面に付着した異物が除去す
る。この擦付用ローラ２０は、ローラの外周面に擦付用
弾性体１８を被覆して形成したものであり、ガイドロー
ラ１４Ｂとガイドローラ１４Ｃとの間に配設され、下半
分が洗浄液槽２６内に配置された洗浄液２８に浸漬され
る。この擦付用ローラ２０には、図示しないモータが連
結されており、このモータに駆動されて回転する。フィ
ルム１０は、この回転する擦付用ローラ２０の表面に被
覆された擦付用弾性体１８に連続的に擦られて、表面に
付着した異物が除去される。

【００３７】なお、擦付用ローラ２０は下半分又は全部
が洗浄液２８に浸漬されているため、回転することによ
り、表面に被覆された擦付用弾性体１８は、その表面が
常に洗浄液２８で濡れた状態となる。これにより、気体
を用いた乾式の除塵に比べて千倍以上の剪断力が与えら
れるようになり、より小さく強固に付着した異物に対し
ても除去効果が得られる。また、始めに乾式の除塵で比
較的付着力の弱い異物を除去しておき、付着力の強い異
物は、次の洗浄液を使った除塵で除去することにより、
トータルでより高い除塵効果を得ることができる。

【００３８】なお、擦付用ローラ２０は、フィルム１０
の搬送方向に対して順転しても逆転してもよいが、フィ
ルム１０と擦付用ローラ２０との線速度の差の絶対値が
５ｍ／分以上に保たれるように直径と回転速度を設定す
ることが好ましい。

【００３９】また、擦付用ローラ２０の表面に被覆され
る弾性体１８は、ローラ２０の表面上に０. ５ｍｍ以
上、好ましくは０. ５〜１００ｍｍ、特に好ましくは
１. ０〜５０ｍｍの厚みで被覆する。また、被覆材料
は、公知の各種素材から選定することができ、たとえ
ば、６−ナイロン、６６−ナイロン、共重合体ナイロン
等のポリアミドや、ポリエチレンテレフタレート、ポリ
ブチレンテレフタレート、共重合ポリエステル等のポリ
エステルや、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオ
レフィンや、ポリ塩化ビニル、ポリフッ化ビニデリン、
テフロン（登録商標）等のポリハロゲン化ビニルや、天
然ゴム、ネオプレンゴム、ニトリルゴム、ノーデル、バ
イトンゴム、ハイパロン、ポリウレタン、レイヨン、セ
ルロース類等を挙げることができる。これらの弾性体
は、単体で使用しても混合物や積層構造、繊維を織込ん
だり不織布として使用してもよい。材質を選定する観点
は、使用する洗浄液によって軟化したり溶出したりしな
いことの他に擦るフィルムを傷つけないよう、フィルム
表面の硬度よりも高くないことが指定される。

【００４０】また、擦付用ローラ２０に対するフィルム
１０のラップ角は、擦付用ローラ２０の前後に配置され
たガイドローラ１４Ｂ、１４Ｃの配置で決定される。ラ
ップ角を大きくとることは、擦付用ローラ２０上のフィ
ルム１０通過の滞留時間を延長できるため、より高い洗
浄効果が得られるが、シワ、擦りキズ、蛇行を起こさず
安定に搬送するためには１８０度未満、好ましくは１３
５度未満、さらに好ましくは９０度未満に設定する。ま
た、擦付用ローラ２０の直径を大きくすることでも同様
に滞留時間を延長できるが、占有空間や価格の問題より
直径２００ｃｍ未満、好ましくは５ｃｍ以上１００ｃｍ
未満、さらに好ましくは１０ｃｍ以上５０ｃｍ未満を用
いる。

【００４１】さらに、擦付用ローラ２０上のフィルム１
０に掛かる面圧は、フィルム搬送系のテンションとロー
ル径で決まるが、ロール径は上記滞留時間とも関わるの
で、搬送系のテンションを制御することが好ましい。異
物を除去するためには面圧を高く保つことが好ましい
が、あまり高く設定すると洗浄液の液膜が破断し弾性体
１８とフィルム１０とが直接接触することで擦りキズが
発生しやすくなる。通常は９８１Ｎ／ｍ幅以下が好まし
く、さらに好ましくは４９Ｎ／ｍ幅以上９８１Ｎ／ｍ
幅、さらに好ましくは４９Ｎ／ｍ幅以上４９０Ｎ／ｍ幅
に設定する（通常は１００ｋｇｆ／ｍ幅以下が好まし
く、さらに好ましくは５ｋｇｆ／ｍ幅以上１００ｋｇｆ
／ｍ幅、さらに好ましくは５ｋｇｆ／ｍ幅以上５０ｋｇ
ｆ／ｍ幅に設定する。）。

【００４２】リンスノズル２２は、フィルム１０の擦付
用ローラ２０に擦られた面に洗浄液を噴射して、すすぎ
洗浄する。このリンスノズル２２は、ガイドローラ１４
Ｃとガイドローラ１４Ｄとの間に配設される。

【００４３】リンスノズル２２から噴射する洗浄液は、
洗浄液槽２６内に貯留された洗浄液２８を浄化したもの
が用いられる。すなわち、洗浄液槽２６とリンスノズル
２２とは配管３０を介して連結されており、洗浄液槽２
６に貯留された洗浄液２８は、配管３０の途中に設けら
れた圧送ポンプ３２により引き抜かれ、濾過フィルタ３
４で浄化されたのち、リンスノズル２２へと供給されて
噴射される。フィルム１０はこのリンスノズル２２から
噴出された洗浄液によって擦付用ローラ２０の擦付用弾
性体１８に擦られた面をすすぎ洗浄され、これにより、
擦付用弾性体１８による剪断力で擦り落とせなかった異
物や液体に同伴されて再付着した異物が洗い流される。
なお、リンスノズル２２から噴出された洗浄液は、前記
擦付用ローラ２０の擦付用弾性体１８で擦られた面に当
たり、自重で落下して洗浄液槽２６に回収される。すな
わち、洗浄液は循環供給される。

【００４４】なお、フィルム上から脱落した異物によっ
て汚染された洗浄液の浄化方法は、擦付用ローラ２０の
下流にあるリンスノズル２２に供給する送液系と兼用し
てもよいし、また、別の循環送液系を組んで濾過しても
よい。ここで使用される濾過フィルタは除去すべき異物
の大きさによって異なるが、フィルタの公称分画サイズ
は、分離したい異物の大きさの２分の１、より好ましく
は２分の１から１０分の１を選定する。また、濾過寿命
や取り扱いの簡便性より、プリーツ折り込み型のカート
リッジフィルタが有利に選定できる。

【００４５】また、濾過循環流量は、フィルム表面より
持ち込まれる異物により洗浄液槽内の異物数が経時とと
もに増加しないように設定する必要がある。洗浄液中に
浮遊する異物数の定量化には、野崎産業社製のＨＩＡＣ
／ＲＯＹＣＯ液体微粒子カウンターモデル４１００が簡
便に利用でき、除去すべきサイズの粒子が運転時間とと
もに増加しないよう、フィルタの分画サイズや循環流量
を調節することができる。

【００４６】また、リンスノズル２２から噴出する洗浄
液２８には、フィルム１０に含まれる成分、あるいはベ
ース表面に塗工その他の方法で組み込まれた下引き層な
どを溶解／抽出、又は洗浄液がそれらに浸透しないもの
を選択することが好ましい。たとえば、ゼラチンなどの
水溶性物質を下引き層として設けた場合は、非水系溶剤
で、かつ極性の低いものを選定する。本発明に用いられ
る溶剤の例としては、新版溶剤ポケットブック（オーム
社、１９９４年刊）などに挙げられるが、本発明はこれ
に限定されるものではない。また、本発明で使用する溶
剤の沸点としては、速乾性の観点より３０℃以上１２０
℃以下のものが好ましく、また、流体の粘度はハンドリ
ングしやすさより使用温度において、５０ｍＰａ・ｓ以
下が好ましい。洗浄液は、単独で使っても、複数組み合
わせても良い。

【００４７】なお、図１において符号３６は超音波振動
子である。この超音波振動子３６は、擦付用ローラ２０
の表面に被覆された擦付用弾性体１８の表面に超音波を
放射し、転写した異物を脱落される。

【００４８】この際、超音波振動子３６は放射した超音
波を弾性体１８の表面へと効率よく伝搬するために、擦
付用弾性体１８との間に洗浄液２８が保持されるよう配
置する。

【００４９】また、超音波振動子３６の大きさは、超音
波が放射される面において、擦付用ローラ２０の幅以上
であり、フィルムの搬送方向にはローラの直径の少なく
とも５０％以上を投影することが好ましい。もし、振動
子１個の大きさがこれより小さい場合には、複数の振動
子を並べて同様の投影面積をカバーすることができる。
この場合、隣接する振動子からの超音波の重なりが一様
になるよう、超音波振動子間の間隔を決定する必要があ
る。

【００５０】さらに、超音波振動子３６の周波数は、通
常の２０ｋＨｚからメガヘルツと呼ばれる１０００ｋＨ
ｚ以上までを使用することができる。擦付用ローラ２０
の材質がキャビテーションやエロージョンに対して脆弱
なものである場合、５００ｋＨｚ未満の周波数では弾性
体表面の損傷を起こすことがあるため、高価ではある
が、メガヘルツの振動子を用いることが好ましい。ま
た、周波数によって作用する異物の大きさが異なるため
（高周波ほど小さい異物に作用）、異なる周波数を発振
する複数の振動子を組み合わせたり、周波数変調が可能
な振動子を使用することが出来る。

【００５１】また、単位面積あたりの超音波出力は０.
１Ｗ／ｃｍ²〜２Ｗ／ｃｍ²を使用することができる。
振動子３６から擦付用ローラ２０までの距離には定在波
の存在から最適点が有り、以下の式の整数倍の距離にす
ることが望ましい。

【００５２】

【数１】λ ＝Ｃ／ｆここで、λは波長、Ｃは液中の超音波伝搬速度、ｆは周
波数である。

【００５３】液切り装置２４は、すすぎ洗浄後にフィル
ム１０表面に稀に僅かに残存する異物を液に同伴して除
去すると共に、同時にフィルム１０表面に残存する洗浄
液を高圧空気の給排気で液切りして乾燥させる。この液
切り装置２４は、ガイドローラ１４Ｄをバックアップと
してフィルム１０に近接して設置され、図示しない高圧
空気給排装置に接続される。この液切り装置２４は、上
記乾式除塵装置１２と同様にフィルム１０の幅方向に沿
ってフィルム１０と狭い間隙をもって配設される複数の
給気用スリットと排気用スリットとを備えており、高圧
空気給排気装置から供給される清浄度の高い空気を給気
用スリットから高速でフィルム１０に吹き付け、残存す
る洗浄液をフィルム表面から剥離させる。そして、その
剥離させた洗浄液を排気用スリットから吸い込み除去す
る。

【００５４】なお、上記乾式除塵装置１２と同様に給気
用スリット内に給気によって超音波を発する機構を設
け、超音波振動する圧縮空気をフィルム１０に吹き付け
るようにしてもよい。

【００５５】なお、液切り装置２４とフィルム１０との
間隙は、ウエブハンドリングに支障をきたさずに高い液
切り乾燥効果を得るため、０．１ｍｍ以上１０ｍｍ未
満、好ましくは０．３ｍｍ以上５ｍｍ未満に設定する。
また、圧縮空気の給気と排気はハンドリングに支障を起
こさない範囲で強くすることが有利だが、液切り乾燥に
とって特に重要なことは清浄空気の給排気風量バランス
であり、給気よりも排気の風量を多くすることで、異物
を含む洗浄液の系内飛散を防止すると同時に、フィルム
に微量残存する異物を洗浄液に同伴させて除去する仕上
げ除塵効果をも得ることができる。給気及び排気風量は
毎分１ｍ³以上１００ｍ³未満、好ましくは１０ｍ³以
上４０ｍ³未満で使用し、排気風量を給気風量よりも
０. １ｍ³以上５０ｍ³未満、好ましくは１ｍ³以上１
０ｍ³未満多い風量に設定する。給気圧力範囲は５ｋＰ
ａ以上１００ｋＰａ未満、好ましくは１０ｋＰａ以上５
０ｋＰａ未満、さらに好ましくは２０ｋＰａ以上３５ｋ
Ｐａ未満に設定し、排気圧力は１ｋＰａ以上２０ｋＰａ
未満、好ましくは３ｋＰａ以上１０ｋＰａ未満に設定す
る。ここで吸引された洗浄液は、図示しない気液分離装
置で処理され、再使用することができる。

【００５６】前記のごとく構成された第１の実施の形態
のウエブの除塵装置の作用は次のとおりである。

【００５７】なお、本実施の形態で処理するウエブ状の
フィルム１０は、ポリエステル、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリエチレンナフタレート、硝酸セルロース、
セルロースエステル、ポリビニルアセタール、ポリカー
ボネート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニデリン、ポリ
イミド、ポリアミド、及び関連する又は樹脂状の材料、
並びに紙、金属などを含む。可撓性基材、特に部分的に
アセチル化された、若しくはバライタ及び／又はα−オ
レフィンポリマ、特にポリエチレン、ポリプロピレン、
エチレン−ブテンコポリマなどの炭素数２〜１０である
α−オレフィンのポリマによりコートされた紙支持体
が、典型的に用いられる。さらに、これら熱可塑性支持
体にそれぞれの機能を付加して工業的な価値を発現させ
る。その代表的な例として写真感光材料、磁気記録テー
プ、光学用途フィルムなどが挙げられ、これらの多く
は、熱可塑性支持体の表面に感光性物質、帯磁性物質、
光変換物質等を塗布して製造される。

【００５８】除塵装置内に導入されたフィルム１０は裏
面を接触搬送するガイドローラ１４Ａ〜１４Ｄと、ロー
ラから除塵後のフィルム表面への異物再付着を防止する
ために、表面製品部を非接触搬送するエッジローラ又は
製品部全体を非接触搬送する浮上ローラ１６Ａ〜１６Ｃ
にガイドされて走行し、その走行過程で、まず乾式除塵
装置１２によって高圧空気の給排気による非接触の乾式
除塵が行われる。これにより、フィルム表面からは比較
的付着力の弱い異物が除去される。

【００５９】乾式除塵装置１２によって乾式除塵された
フィルム１０は、その後、下流部において回転する擦付
用ローラ２０の擦付用弾性体１８によって、その表面が
連続的に擦られる。これにより、フィルム１０からは、
その表面に残存する付着力の強い異物が除去される。

【００６０】この際、擦付用弾性体１８は擦付用ローラ
２０が回転することにより、常に表面が洗浄液２８で濡
れた状態にある。このため気体を用いた乾式の除塵方法
の場合に比べて千倍以上の剪断応力が与えられるように
なる。この結果、より小さく強固に付着した異物に対し
ても容易に剥離除去することができる。また、金属ロッ
ドやブレードに比べて弾性体の硬度が小さいため、フィ
ルム１０に押し当てた場合に表面にキズやダメージを与
える可能性は極めて小さくなる。

【００６１】なお、フィルム１０を擦った擦付用弾性体
１８は、回転して洗浄液中を通過する際に、その表面に
超音波振動子３６から超音波が放射される。これによ
り、フィルム１０の表面から擦り落とされた異物が擦付
用弾性体１８の表面に付着した場合であっても、洗浄液
中を通過する際に超音波振動の作用で除去することがで
きる。したがって、擦付用弾性体１８は常に清浄な状態
でフィルム１０を擦ることができ、残存した異物等によ
りフィルム１０をキズ付けたり、ダメージを与えたりす
ることもない。

【００６２】擦付用弾性体１８に擦られたフィルム１０
は、その後、下流部においてリンスノズル２２から洗浄
液が噴射され、これにより、擦付用弾性体１８による剪
断力で擦り落とせなかった異物や洗浄液の同伴されて再
付着した異物が洗い流される。この際、リンスノズル２
２から噴射する洗浄液には、洗浄液槽２６に貯留された
洗浄液２８が使用されるが、濾過フィルタ３４で浄化す
るようにしているため、フィルム１０から除去された異
物が再付着することもない。

【００６３】リンスされたフィルム１０は、その後、下
流部において非接触で液切り装置２４によって高圧空気
の給排によるフィルム１０からの液切り乾燥が行われ
る。これに伴い、フィルム１０からは稀に僅かに残存す
る異物が除液時に同伴して除去される。

【００６４】このように本発明の第１の実施の形態のウ
エブの除塵装置によれば、フィルム１０にキズを付けた
り、ダメージを与えたりすることなく、表面に付着した
異物、ゴミ、塵等を除去できる。

【００６５】なお、第１の実施の形態では、乾式除塵装
置１２、擦付用ローラ２０、リンスノズル２２、液切り
装置２４を各々１台づつ設置しているが、これに限定さ
れるものではない。フィルム１０の汚染度が高い、ある
いは液切り乾燥が不充分な場合には、それぞれ複数設置
することができる。この場合、乾式除塵装置１２から液
切り装置２４まで一連の工程を複数設置する方法以外
に、個々のパーツをそれぞれ複数台設置する方法、ある
いは乾式除塵装置１２のみ複数台設置し、それ以降は各
１台設置する方法、乾式除塵装置１２と擦付用ローラ２
０が複数でそれ以降は各１台設置する方法、乾式除塵装
置１２と擦付用ローラ２０とリンスノズル２２が複数で
液切り装置２４のみ１台設置する方法、また、乾式除塵
装置１２のみが１台でそれ以降はそれぞれ複数台設置す
る方法、乾式除塵装置１２と擦付用ローラ２０は１台で
それ以降は各複数台設置する方法、乾式除塵装置１２と
擦付用ローラ２０とリンスノズル２２は１台で液切り装
置２４のみ複数台設置する方法、など様々な組合せが採
れる。

【００６６】また、洗浄液２８を溜める洗浄液槽２６
は、超音波振動子３６や圧送ポンプ３２の発熱等による
温度上昇を吸収するためにジャケット構造を設けて冷媒
を循環したり、また送液配管３０中に設置或いは液中に
沈めた熱交換器に冷媒を循環したりして洗浄液２８の温
度を一定に保つことができる。

【００６７】また、本実施の形態では、リンスノズル２
２から噴射する洗浄液は、洗浄液槽２６に貯留された洗
浄液２８を浄化して循環供給するようにしているが、別
途設置した洗浄液槽等から浄化した液を供給するように
してもよい。

【００６８】また、本実施の形態では、フィルム１０の
表面側の走行をガイドする手段として、フィルム１０を
浮上搬送する浮上ローラ１６Ａ〜１６Ｃを使用している
が、これに代えてフィルム１０の幅方向の両端だけで保
持して搬送するエッジローラ又は特願平１１−２８８５
５１号記載の浮上搬送ローラとエッジローラを組み合わ
せたものを使用してもよい。

【００６９】なお、エッジローラの直径は大きい方が撓
みを防ぐために有利ではあるが、占有空間や重量の問題
から３ｃｍ以上３０ｃｍ以下、好ましくは５ｃｍ以上１
５ｃｍ以下を用いる。また、ローラの両端につけるエッ
ジはローラと一体加工又はリングをローラに被せて固定
する方法などがあるが、エッジ部の直径はフィルム中央
が弛んでローラ面に接触せず、しかも搬送時にフィルム
１０にシワが発生しない範囲で設定するが、ローラより
も０．４ｍｍ以上２０ｍｍ以下、好ましくは１ｍｍ以上
５ｍｍ以下の範囲で太くする。また、エッジへのフィル
ムの接触面は小さい方がフィルムへの異物再付着懸念部
が少なくなるが、搬送時の蛇行に対してもフィルムがエ
ッジから脱落することがない範囲で設定するが、両端各
１ｍｍ以上、好ましくは５ｍｍ以上を用いる。〔本発明
の第１の実施の形態の実施例〕次に、本発明の第１の実
施の形態を、実施例によって具体的に説明するが、本発
明が適用される形態はこれに限定されるべきものではな
い。第１実施例（従来技術）図２に示す搬送機において、送り出し装置１より厚み１
００μｍ、幅１００ｃｍのポリエチレンテレフタレート
フィルムを毎分５０ｍの速度で送り出し、塗布ヘッド２
において平均粒子径１０μｍのラテックスを含む塗布液
を塗布し、乾燥ゾーン３において蒸発させ、異物付着量
がコントロールされたフィルムを作成した。以下にラテ
ックスを含む塗布液の組成を示す。

【００７０】ラテックス原液３. ０ｍｌメタノール４７. ０ｍｌ純水５０. ０ｍｌラテックス原液は、１重量％の単分散ポリスチレンラテ
ックスを含んでいる。この塗布液を２５ｃｃ／ｍ²の量
フィルム上に塗布し、乾燥後のフィルム表面を顕微鏡で
観察すると、約１０００ヶ／ｍ²の密度で均一にラテッ
クス粒子が固着していた。

【００７１】続いて、フィルムを図２の湿式除塵ゾーン
４に導き除塵処理を行った。ここでは、特公平５−５０
４１９号に示されるようにファウンテンコータでメタノ
ールを２０ｃｃ／ｍ²塗布した直後に、フィルムの幅方
向に１. １ｍ、直径１０ｍｍの回転するワイヤーバーを
押し付けて除塵操作を行った。また、湿式除塵ゾーン４
はゾーンの前後でテンション分離されており、１１８Ｎ
／ｍ幅（１２ｋｇｆ／ｍ幅）であった。

【００７２】この後、フィルムの搬送を停止し、乾燥
後、巻き取り装置６で巻き取った。除塵効果を評価する
サンプルは、巻き取り装置６の手前５で搬送方向に１ｍ
採取し、１００倍の顕微鏡を用いて残存するラテックス
粒子を数えた。この時、フィルム表面に損傷が認められ
る場合は、その程度を記録した。評価ランクを以下に示
す。

【００７３】キズ本数＝０本／１ｍ無キズ本数＝数本／１ｍ少しキズ本数＝数十本／１ｍ多数キズ本数＝百本以上／１ｍ無数サンプリングは５０ｍ連続処理した後と３０００ｍ連続
処理した後の２回行い、経時安定性を確認した。

【００７４】図３に示す表の水準ＡとＢとにそれぞれ１
０ｒｐｍと５０ｒｐｍの速度でワイヤーバーをフィルム
の搬送方向と逆に回転させて擦った結果を示す。ラテッ
クスの個数は、除塵処理前の１０００ヶ／ｍから約１０
分の１に減少しているが、５０ｍ処理後に比べて３００
０ｍ処理後には若干異物個数が増えていること、並びに
フィルム表面にはキズが発生していることが認められ
た。第２実施例（従来技術）第１実施例と同じようにラテックス粒子を付着させて湿
式除塵を行った。ただし、図２の湿式除塵ゾーン４では
ファウンテンコータでメタノールを２０ｃｃ／ｍ²塗布
した直後に、回転するワイヤーバーではなく、フィルム
の幅方向に１.１ｍ、先端厚みが０. ５ｍｍのＳＵＳ３
０４製ブレードコータ用ブレードを取り付けて除塵操作
を行った。

【００７５】実験結果を図３に示す表の水準Ｃに示す
が、水準Ａ、Ｂよりも残留ラテックスの数は多く、また
フィルム表面のキズは無数に発生していた。第３実施例（比較技術）実施例１と同じようにラテックス粒子を付着させて湿式
除塵を行った。ただし、図２の湿式除塵ゾーン４には図
１に示す様なフィルムの幅方向に１. １ｍ、ロール径２
０ｃｍのアルミ製ローラー（擦付用ローラ２０）の表面
に、厚み１０ｍｍのバイトンゴム（擦付用弾性体１８）
を被覆したローラーを設置した。さらに、フィルムのラ
ップ角が５０度になるよう前後ローラーを調整し、バイ
トンゴム被覆ローラー（擦付用弾性体１８が被覆された
擦付用ローラ２０）下部をメタノールに１０ｃｍ浸けて
搬送方向と逆に回転させた。さらに、メタノールは循環
濾過し、リンスノズルに供給する送液装置と超音波振動
子を設置した。

【００７６】リンスノズルは、フィルムの幅方向に１０
０ｃｍ、先端の開口が１ｍｍのクリアランスのものを用
い、送液流量は３０Ｌ／分、フィルターは公称分画サイ
ズ０. ２μｍの富士写真フイルム社製アストロポアフィ
ルターを使用した。

【００７７】超音波振動子は、日本アレックス社製の特
別仕様機種をフィルムの幅方向に２台ならべてバイトン
ゴム被覆ローラーの幅全体に放射できるようにした。こ
の振動子１台の大きさはフィルムの幅方向に５０ｃｍ、
搬送方向に３０ｃｍであり、１００ｋＨｚの超音波を１
０００Ｗのパワーで出力する。

【００７８】実験結果を図３に示す表の水準ＤとＥに示
す。水準Ａ〜Ｃの従来技術に比べて５０ｍ処理後の残留
異物数は減少しており、弾性体被覆ローラーの除塵作用
が高いことが示された。一方、３０００ｍ処理後は５０
ｍ処理後に比べ若干異物数が増えているが、弾性体表面
への超音波放射を実施した水準Ｅは超音波放射をしなか
った水準Ｄに比べ異物数及び、３０００ｍ処理後の異物
増加分が少ない。これは、弾性体表面からの異物除去を
行う超音波放射の効果である。３０００ｍ除塵操作を行
った後のバイトンゴムの表面を観察したところ、水準Ｄ
はラテックス粒子が付着して白っぽくなっていたのに対
して、超音波を放射した水準Ｅは粒子の付着は殆ど見ら
れなかった。第４実施例（本発明）第３実施例と同じように弾性体被覆ローラー（擦付用弾
性体１８が被覆された擦付用ローラ２０）を用いた湿式
除塵を行った。ただし、図２の湿式除塵ゾーン４には、
図１に示す様な乾式除塵装置、液切り装置、非接触搬送
用エッジローラを設置した。

【００７９】乾式除塵装置及び液切り装置は、株式会社
伸興のニューウルトラクリーナをそれぞれ１台づつ使用
し、ウエブとの間隙を３ｍｍ、給気風量を１５ｍ³／
分、給気圧力２０ｋＰａ、排気風量を２０ｍ³／分、排
気圧力を５ｋＰａに設定した。エッジローラーは、ロー
ラーの直径１００ｍｍ、エッジ部の直径１０４ｍｍ、ウ
エブとエッジへの接触幅は全ウエブ幅３００ｍｍに対し
両端各１０ｍｍに設定した。

【００８０】実験結果を図３に示す表の水準Ｆ〜Ｈに示
す。水準Ｆは、比較技術の水準Ｅに対して湿式除塵の前
に超音波ウエブクリーナで乾式除塵を実施した例である
が、５０ｍ処理後の残留異物数はさらに減少しており、
乾式除塵との併用の効果が示された。水準Ｇにおいて
は、水準Ｆの内容に加えて湿式除塵の後に設置した液切
り乾燥装置を作動させた。残留異物個数はさらに減少
し、一桁台になった。しかし、水準Ｆ及び水準Ｇは３０
００ｍ処理後の残留異物数が若干増加傾向にある。水準
Ｈではさらにエッジローラによって湿式除塵処理面の非
接触搬送を実施した。残留異物数はさらに減少し、ほぼ
ゼロ個レベルに近づいた。また、３０００ｍ処理後も残
留異物の増加は見られず、本発明の優れた除塵効果が証
明された。

【００８１】図４は、本発明に係るウエブの除塵装置の
第２の実施の形態を示す模式図であり、第１の実施の形
態のウエブの除塵装置に押付用ローラ４０を設けたもの
である。尚、第１の実施の形態と同じ部材や装置は、同
じ符号を付して説明すると共に、同じ説明は省略する。

【００８２】押付用ローラ４０は、回転自在に支持され
ており、表面に被覆された押付用弾性体３８をフィルム
１０の裏面に押し付けることによって、フィルム１０の
表面を擦付用ローラ２０に被覆された擦付用弾性体１８
に押し付けてポイント的（一線上）に面圧を上昇させ、
これにより、擦付用弾性体１８によるフィルム１０の表
面の擦付効果を向上させる。この押付用ローラ４０は、
ローラの外周面に押付用弾性体３８を被覆して形成した
ものであり、擦付用ローラ２０の円弧上でフィルム１０
を挟み込んだ位置に配設される。

【００８３】また、押付用ローラ４０の表面に被覆され
る押付用弾性体３８は、ローラ２４の表面上に０．５ｍ
ｍ以上、好ましくは０．５〜１００ｍｍ、特に好ましく
は１．０〜５０ｍｍの厚みで被覆する。また、被覆材料
は、公知の各種素材から選定することができ、たとえ
ば、６−ナイロン、６６−ナイロン、共重合体ナイロン
等のポリアミドや、ポリエチレンテレフタレート、ポリ
ブチレンテレフタレート、共重合ポリエステル等のポリ
エステルや、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオ
レフインや、ポリ塩化ビニル、ポリフッ化ビニデリン、
テフロン等のポリハロゲン化ビニルや、天然ゴム、ネオ
プレンゴム、ニトリルゴム、ノーデル、バイトンゴム、
ハイパロン、ポリウレタン、レーヨン、セルロース類等
を挙げることができる。これらの弾性体は、単体で使用
しても混合物や積層構造、繊維を織込んだり不織布とし
て使用してもよい。材質を選定する観点は、使用する洗
浄液によって軟化したり溶出したりしないことの他に、
擦るフィルムを傷つけないよう、フィルム表面の硬度よ
りも高くないことが指定される。

【００８４】なお、押付用弾性体３８の幅は広過ぎる
と、フィルム１０の背面及びフィルム１０と速度差があ
る擦付用弾性体１８との接触によってハンドリング上の
問題を生じ、狭過ぎると押付用弾性体３８の幅よりも外
側のフィルムに圧力を加えられず除塵効果が劣る。この
ため、フィルムの製品となる幅以上、フィルム幅プラス
搬送時の蛇行幅未満とすることが好ましい。

【００８５】また、擦付用ローラ２０表面に被覆された
擦付用弾性体１８の円弧上に配設する押付用ローラ４０
の設置位置は、フィルム１０を挟み込んで設置すること
以外には特に限定はされないが、擦付用ローラ２０に対
するフィルム１０のラップ角設定に伴う占有空間や位置
の関係から自ずと制限される。

【００８６】また、押付用ローラ４０の直径は、占有空
間や製作精度、又は、価格の問題により直径２００ｃｍ
未満、好ましくは１ｃｍ以上１００ｃｍ未満、さらに好
ましくは１ｃｍ以上２０ｃｍ未満を用いる。

【００８７】フィルム１０を擦付用ローラ２０の表面に
被覆された擦付用弾性体１８に押し付ける押付用ローラ
４０の圧力は、フィルム１０への擦付用弾性体１８の擦
付時の面圧をポイント的に上げて除塵効果を増すために
は高くすることが好ましいが、あまり高く設定すると洗
浄液の液膜が破断し、擦付用弾性体１８とフィルム１０
とが直接接触することで擦りキズが発生しやすくなった
り、ハンドリング上の問題も生じる。このため、通常は
９８１Ｎ／ｍ幅以下が好ましく、さらに好ましくは０．
３Ｎ／ｍ幅以上４９０Ｎ／ｍ幅、さらに好ましくは１Ｎ
／ｍ幅以上２４５Ｎ／ｍ幅以下に設定する( 通常は１０
０ｋｇｆ／ｍ幅以下が好ましく、さらに好ましくは０．
０３ｋｇｆ／ｍ幅以上５０ｋｇｆ／ｍ幅、さらに好まし
くは０．１ｋｇｆ／ｍ幅以上２５ｋｇｆ／ｍ幅に設定す
る。）。

【００８８】上記の如く構成された本発明に係るウエブ
の除塵装置の第２の実施の形態によれば、第１の実施の
形態と同様の作用・効果を得ることができる上に、押付
用ローラ４０を設けたことにより、次の作用・効果を得
ることができる。即ち、乾式除塵装置１２によって乾式
除塵されたフィルム１０は、その後、下流部において押
付用ローラ４０の表面に被覆された押付用弾性体３８に
よって背面を押し付けられながら、回転する擦付用ロー
ラ２０の弾性体１８によって、その表面が連続的に擦ら
れる。このように、押付用ローラ４０を設けることによ
り、フィルム１０からは、その表面に残存する付着力の
強い異物を、より効果的に除去することができる。

【００８９】なお、本実施の形態では、乾式除塵装置１
２、擦付用ローラ２０、押付用ローラ４０、リンスノズ
ル２２、液切り装置２４を各々１台ずつ設置している
が、これに限定されるものではない。フィルム１０の汚
染度が高い、あるいは液切り乾燥が不充分な場合には、
それぞれ複数設置することができる。この場合、乾式除
塵装置１２から液切り装置２４まで一連の工程を複数設
置する方法以外に、個々のパーツをそれぞれ複数台設置
する方法、あるいは乾式除塵装置１２のみ複数台設置
し、それ以降は各１台設置する方法、乾式除塵装置１２
と擦付用ローラ２０が複数でそれ以降は各１台設置する
方法、乾式除塵装置１２と擦付用ローラ２０とリンスノ
ズル２２が複数で液切り装置２４のみ１台設置する方
法、また、乾式除塵装置１２のみが１台でそれ以降はそ
れぞれ複数台設置する方法、乾式除塵装置１２と擦付用
ローラ２０は１台でそれ以降は各複数台設置する方法、
乾式除塵装置１２と擦付用ローラ２０とリンスノズル２
２は１台で液切り装置２４のみ複数台設置する方法、な
ど様々な組合せが採れる。〔本発明の第２の実施の形態の実施例〕次に、本発明の
第２の実施の形態を、実施例によって具体的に説明する
が、本発明が適用される形態はこれに限定されるべきも
のではない。第１実施例（従来技術）図２に示す搬送機において、送り出し装置１より厚み１
００μｍ、幅１００ｃｍのポリエチレンテレフタレート
フィルムを毎分５０ｍの速度で送り出し、塗布ヘッド２
において平均粒子径３μｍ及び１０μｍのラテックスを
含む塗布液を塗布し、乾燥ゾーン３において蒸発させ、
異物付着量がコントロールされたフィルムを作成した。
以下にラテックスを含む塗布液の組成を示す。

【００９０】

【表１】ラテックス原液は、１重量％の単分散ポリスチレンラテ
ックスを含んでいる。この塗布液を２５ｃｃ／ｍ²の量
でフィルム上に塗布し、乾燥後のフィルム表面を顕微鏡
で観察すると、３μｍと１０μｍの各ラテックス粒子が
それぞれ約１０００ケ／ｍ²の密度で均一に固着してい
た。

【００９１】続いて、フィルムを図２の湿式除塵ゾーン
４に導き除塵処理を行った。ここでは、特公平５−５０
４１９号公報に示されるようにファウンテンコータでメ
タノールを２０ｃｃ／ｍ²塗布した直後に、フィルムの
幅方向に１００ｃｍ、直径１ｃｍの回転するワイヤーバ
ーを押し付けて除塵操作を行った、また、湿式除塵ゾー
ン４は、ゾーンの前後でテンション分離されており、１
１８Ｎ／ｍ幅( １２ｋｇｆ／ｍ幅）であった。

【００９２】この後、フィルムの搬送を停止し、乾燥
後、巻き取り装置６で巻き取った。除塵効果を評価する
サンプルは、巻き取り装置６の手前５で搬送方向に１ｍ
採取し、１００倍の顕微鏡を用いて残存するラテックス
粒子を数えた。この時、フィルム表面に損傷が認められ
る場合は、その程度を記録した。評価ランクを以下に示
す。

【００９３】

【表２】サンプリングは５０ｍ連続処理した後と３０００ｍ連続
処理した後の２回行い、経時安定性を確認した。

【００９４】図５に示す表の水準Ａに５０rpm の速度で
ワイヤーバーをフィルムの搬送方向と逆に回転させて擦
った結果を示す。ラテックスの個数は、除塵処理前の約
１０００ケ／ｍから３μｍが約５分の１に減少し、１０
μｍが約１０分の１に減少しているが、５０ｍ処理後に
比べて３０００ｍ処理後には異物個数が増えているこ
と、並びにフィルム表面にはキズが多数発生しているこ
とが認められた。第２実施例（従来技術）第１実施例と同じようにラテックス粒子を付着させて湿
式除塵を行った。ただし、図２の湿式除塵ゾーン４には
図４に示すようなフィルムの幅方向に１１０ｃｍ、ロー
ル径２０ｃｍのアルミ製ローラ（擦付用ローラ２０）の
表面に、厚み１ｃｍのバイトンゴム（擦付用弾性体１
８）を被覆したローラ（擦付用弾性体１８を被覆した擦
付用ローラ２０）を設置した、さらに、フィルムのラッ
プ角が５０度になるよう前後ローラを調整し、バイトン
ゴム被覆ローラ下部をメタノールに１０ｃｍ浸けて搬送
方向と逆に５０rpm で回転させた、さらに、メタノール
は循環濾過し、リンスノズルに供給する送液装置と超音
波振動子を設置した。

【００９５】リンスノズルは、フィルムの幅方向に１０
０ｃｍ、先端の開口が１ｍｍのクリアランスのものを用
い、送液流量は３０Ｌ／分、フィルターは公称分画サイ
ズ０．２μｍのの富士写真フィルム社製アストロポアフ
ィルターを使用した。

【００９６】超音波振動子は、日本アレックス社製の特
別仕様機種をフィルムの幅方向に２台並べてバイトンゴ
ム被覆ローラの幅全体に放射できるようにした。この振
動子１台の大きさはフィルムの幅方向に５０ｃｍ、搬送
方向に３０ｃｍであり、１００ｋＨｚの超音波を１００
０Ｗのパワーで出力する。

【００９７】実験結果を図５に示す表の水準Ｂに示す。
水準Ａの従来技術に比べて残留異物数、及び、３０００
ｍ処理後の異物増加分が少ない、これは、弾性体被覆ロ
ーラの除塵効果、及び、弾性体表面からの異物除去を行
う超音波放射の効果である。３０００ｍ除塵操作を行っ
た後のバイトンゴムの表面を観察したところ、粒子の付
着は殆ど見られなかった。第３実施例（比較技術）第２実施例と同じように弾性体被覆ローラ（擦付用弾性
体１８を被覆した擦付用ローラ２０）を用いた湿式除塵
を行った。ただし、図２の湿式除塵ゾーン４には図４に
示すような乾式除塵装置、液切り装置、非接触搬送用エ
ッジローラを設置した。

【００９８】乾式除塵装置及び液切り装置は、株式会社
伸興のニューウルトラクリーナをそれぞれ１台ずつ使用
し、ウエブとの間隙を３ｍｍ、給気風量を１５ｍ³／
分、給気圧力２０ｋＰａ、排気風量を２０ｍ³／分、排
気圧力を５ｋＰａに設定した。エッジローラは、ローラ
の直径１０ｃｍ、エッジ部の直径１０．４ｃｍ、ウエブ
とエッジへの接触幅は全ウエブ幅１００ｃｍに対し両端
各１ｃｍに設定した。

【００９９】実験結果を図５に示す表の水準ＣとＤに示
す。水準Ｃは、比較技術の水準Ｂに対して湿式除塵の前
に超音波ウエブクリーナで乾式除塵を実施した例である
が、５０ｍ処理後の残留異物数はさらに減少しており、
乾式除塵との併用の効果が示された。水準Ｄにおいて
は、水準Ｃの内容に加えて湿式除塵の後に設置した液切
り乾燥装置の作動とエッジローラによる湿式除塵処理面
の非接触搬送を実施した。残留異物数は更に減少し、３
０００ｍ処理後の異物増加も見られなくなったが、１０
μｍに比較して３μｍの微粒子に対する除塵効果が不充
分であることが認められた。第４実施例（本発明）第３実施例と同じように湿式除塵を行った。ただし、図
２の湿式除塵ゾーン４には、図４に示すような弾性体被
覆ローラ（押付用弾性体３８を被覆した押付用ローラ４
０）を設置した。

【０１００】弾性体被覆ローラは、フィルムの幅方向に
１１０ｃｍ、ロール径１０ｃｍのアルミ製押付用ローラ
（押付用ローラ４０）の表面に、厚み０．２ｃｍでフィ
ルムの幅方向に１００．２ｃｍのバイトンゴム（押付用
弾性体３８）を幅方向の中心をローラ中心と同一の位置
に合わせて被覆し、弾性体被覆ローラ（擦付用弾性体１
８を被覆した擦付用ローラ２０）の１２時（０度）の位
置にフィルム１０を挟んで設置した。

【０１０１】実験結果を図５に示す表の水準ＥとＦに示
す。水準Ｅは比較技術の水準Ｄに対して、弾性体被覆押
付用ローラを９．８Ｎ／幅（１ｋｇｆ／幅）の圧力で押
し付けた例であるが、特に３μｍの残留異物個数が減少
しており、弾性体被覆ローラ（押付用弾性体３８を被覆
した押付用ローラ４０）との併用の効果が示された。水
準Ｆにおいては、水準Ｅの押し付け圧力を１９．６Ｎ／
幅（２ｋｇｆ／幅）に上げた例であるが、残留異物数は
更に減少し３μｍ、１０μｍともほぼゼロ個に近づい
た。また、３０００ｍ処理後も残留異物の増加は見られ
ず、本発明の優れた除塵効果が証明された。

【０１０２】図６は、本発明に係るウエブの除塵装置の
第３の実施の形態を示す模式図であり、第１の実施の形
態のウエブの除塵装置における液切り装置２４の後段
に、乾燥装置４２と、バックアップとしてのガイドロー
ラ１４Ｅを設けたものである。尚、第１の実施の形態と
同じ部材や装置は、同じ符号を付して説明すると共に、
同じ説明は省略する。

【０１０３】第３の実施の形態においては、ガイドロー
ラ１４Ａ〜１４Ｅ及び浮上ローラ１６Ａ〜１６Ｃは、そ
れぞれ所定の位置に配置されてフィルム１０の走行をガ
イドするが、この際、以下の条件を満たすように配置さ
れる。すなわち、乾式除塵装置１２による乾式除塵後、
フィルム１０が擦付用ローラ２０に対して正のラップ角
をもってその表面に被覆された弾性体１８と接触するこ
と、及び、その同じ面を後続のリンスノズル２２、更に
液切り装置２４、更に乾燥装置４２に近接するようにガ
イドすること、以上の条件を満たすように配設される。

【０１０４】乾燥装置４２は、自然乾燥で処理できてい
た液切り後のフィルム１０に残留する洗浄液が、高速ハ
ンドリング時において増量し、自然乾燥でまかなえなく
なることに対し、強制的にドライエアーを吹き付けるこ
とによって完全乾燥させる。このような乾燥装置４２に
は、通常エアーナイフノズルと呼ばれるものなどが使用
されるが、たとえばハイブローノズルの商品名で株式会
社竹綱製作所から市販されている。この乾燥装置４２
は、ガイドローラ１４Ｅをバックアップとしてフィルム
１０に近接して設置され、図示しない清浄空気給気装置
に接続されている。この乾燥装置４２は、フィルム１０
の幅方向に沿ってフィルム１０と狭い間隙をもって配設
される一つ又は複数の給気用スリットを備えており、清
浄空気給気装置から供給される清浄度の高い空気をスリ
ットからフィルム１０に吹き付け、高速ハンドリング時
に残留する洗浄液をフィルム表面から完全に乾燥させ
る。

【０１０５】乾燥装置４２の条件は、そのウエブ速度に
おいてウエブハンドリングに支障をきたさない範囲で完
全乾燥効果を得るために後述の組合せの枠内で選定され
る。

【０１０６】乾燥装置４２とフィルム１０との間隙は、
０．１ｍｍ以上１００ｍｍ未満、好ましくは０．３ｍｍ
以上１０ｍｍ未満。スリット吹き出し風速は１ｍ/ 秒以
上３００ｍ/ 秒未満、好ましくは５ｍ/ 秒以上１００ｍ
/ 秒未満。吹き出し風温は５℃以上１５０℃未満、好ま
しくは１５℃以上８０℃未満。また、吹き出し風の湿度
は５％以上８５％未満、好ましくは１０％以上６０％未
満。乾燥装置４２のスリットクリアランスは、０. １ｍ
ｍ以上２０ｍｍ未満、好ましくは０. ５ｍｍ以上５ｍｍ
未満に設定する。

【０１０７】上記の如く構成された本発明に係るウエブ
の除塵装置の第３の実施の形態によれば、第１の実施の
形態と同様の作用・効果を得ることができる上に、液切
りされたフィルム１０は非接触で搬送され、更にその後
方において乾燥装置４２による清浄空気の吹き付けでフ
ィルム１０からの乾燥が行われる。これによって、高速
ハンドリング時においてもフィルム１０は完全に乾燥さ
れる。

【０１０８】このように第３の実施の形態のウエブの除
塵装置によれば、第１の実施の形態と同様の作用・効果
が得られる上に、高速ハンドリング時においてもフィル
ム１０を完全に乾燥することができる。また、図６では
図示しなかったが、第３の実施の形態の場合にも、第２
の実施の形態と同様に押付用弾性体３８を備えた押付用
ローラ４０を設けてもよい。

【０１０９】なお、本実施の形態では、乾式除塵装置１
２、擦付用ローラ２０、リンスノズル２２、液切り装置
２４、乾燥装置４２を各々１台づつ設置しているが、こ
れに限定されるものではない。フィルム１０の汚染度が
高い、あるいは液切りや乾燥が不充分な場合には、それ
ぞれ複数設置することができる。この場合、個々の工程
をそれぞれ複数台設置する方法、あるいは、一部の工程
のみ複数台設置する方法、など様々な組合せが採れる。〔本発明の第３の実施の形態の実施例〕次に、本発明の
第３の実施の形態を、実施例によって具体的に説明する
が、本発明が適用される形態はこれに限定されるべきも
のではない。第１実施例（従来技術）図２に示す搬送機において、送り出し装置１より厚み１
００μｍ、幅１００ｃｍのポリエチレンテレフタレート
フィルムを毎分８０ｍの速度で送り出し、塗布ヘッド２
において平均粒子径１０μｍのラテックスを含む塗布液
を塗布し、乾燥ゾーン３において蒸発させ、異物付着量
がコントロールされたフィルムを作成した。以下にラテ
ックスを含む塗布液の組成を示す。

【０１１０】ラテックス原液３. ０ｍｌメタノール４７. ０ｍｌ純水５０. ０ｍｌラテックス原液は、１重量％の単分散ポリスチレンラテ
ックスを含んでいる。この塗布液を２５ｃｃ/ ｍ²の量
フィルム上に塗布し、乾燥後のフィルム表面を顕微鏡で
観察すると、約１０００ヶ/ ｍ²の密度で均一ラテック
ス粒子が固着していた。

【０１１１】続いて、フィルムを図２の湿式除塵ゾーン
４に導き除塵処理を行った。ここでは、特公平５−５０
４１９号に示されるようにファウンテンコータでメタノ
ールを２０ｃｃ/ ｍ²塗布した直後に、フィルムの幅方
向に１. １ｍ、直径１０ｍｍの回転するワイヤーバーを
押し付けて除塵操作を行った。また、湿式除塵ゾーン４
は、ゾーンの前後でテンション分離されており、１１８
Ｎ/ ｍ幅（１２ｋｇｆ/ ｍ幅）であった。

【０１１２】この後、フィルムの搬送を停止し、乾燥
後、巻き取り装置６で巻き取った。除塵効果を評価する
サンプルは、巻き取り装置６の手前５で搬送方向に１ｍ
採取し、１００倍の顕微鏡を用いて残存するラテックス
粒子を数えた。この時、フィルム表面に損傷が認められ
る場合は、その程度を記録した。評価ランクを以下に示
す。

【０１１３】キズ本数＝０本/ １ｍ無キズ本数＝数本/ １ｍ少しキズ本数＝数十本/ １ｍ多数キズ本数＝百本以上/ １ｍ無数サンプリングは５０ｍ連続処理した後と３０００ｍ連続
処理した後の２回行い、経時安定性を確認した。

【０１１４】図７に示す表の水準ＡとＢとにそれぞれ１
０ｒｐｍと５０ｒｐｍの速度でワイヤーバーをフィルム
の搬送方向と逆に回転させて擦った結果を示す。ラテッ
クスの個数は、除塵処理前の１０００ヶ/ ｍに対し約１
/ ２０から１/ １０に減少しているが、５０ｍ処理後に
比べて３０００ｍ処理後には若干異物個数が増えている
こと、並びにフィルム表面にはキズが発生していること
が認められた。実施例２（従来技術）実施例１と同じようにラテックス粒子を付着させて湿式
除塵を行った。ただし、図２の湿式除塵ゾーン４ではフ
ァウンテンコーターでメタノールを２０ｃｃ/ｍ²塗布
した直後に、回転するワイヤーバーではなく、フィルム
の幅方向に１.１ｍ、先端厚みが０. ５ｍｍのＳＵＳ３
０４製ブレードコーター用ブレードを取り付けて除塵操
作を行った。

【０１１５】実験結果を図７に示す表の水準Ｃに示す
が、水準Ａ、Ｂよりも残留ラテックスの数は多く、また
フィルム表面のキズは無数に発生していた。第３実施例（比較技術）第１実施例と同じようにラテックス粒子を付着させて湿
式除塵を行った。ただし、図２の湿式除塵ゾーン４には
図６に示す様なフィルムの幅方向に１. １ｍ、ロール径
２０ｃｍのアルミ製ローラ（擦付用ローラ２０）の表面
に、厚み１０ｍｍのバイトンゴム（擦付用弾性体１８）
を被覆したローラ（擦付用弾性体１８を被覆した擦付用
ローラ２０）を設置した。さらに、フィルムのラップ角
が５０度になるよう前後ローラを調整し、バイトンゴム
被覆ローラ下部をメタノールに１０ｃｍ浸けて搬送方向
と逆に回転させた。さらに、メタノールは循環濾過し、
リンスノズルに供給する送液装置と超音波振動子を設置
した。

【０１１６】リンスノズルは、フィルムの幅方向に１０
０ｃｍ、先端の開口が１ｍｍのクリアランスのものを用
い、送液流量は３０Ｌ/ 分、フィルターは公称分画サイ
ズ０. ２μｍの富士写真フイルム社製アストロポアフィ
ルターを使用した。

【０１１７】超音波振動子は、日本アレックス社製の特
別仕様機種をフィルムの幅方向に２台ならべてバイトン
ゴム被覆ローラ（擦付用弾性体１８を被覆した擦付用ロ
ーラ２０）の幅全体に放射できるようにした。この振動
子１台の大きさはフィルムの幅方向に５０ｃｍ、搬送方
向に３０ｃｍであり、１００ｋＨｚの超音波を１０００
Ｗのパワーで出力する。

【０１１８】実験結果を図７に示す表の水準ＤとＥに示
す。水準Ａ〜Ｃの従来技術に比べて５０ｍ処理後の残留
異物数は減少しており、弾性体被覆ローラーの除塵作用
が高いことが示された。一方、３０００ｍ処理後は５０
ｍ処理後に比べ若干異物数が増えているが、弾性体表面
への超音波放射を実施した水準Ｅは超音波放射をしなか
った水準Ｄに比べ異物数及び、３０００ｍ処理後の異物
増加分が少ない。これは、弾性体表面からの異物除去を
行う超音波放射の効果である。３０００ｍ除塵操作を行
った後のバイトンゴムの表面を観察したところ、水準Ｄ
はラテックス粒子が付着して白っぽくなっていたのに対
して、超音波を放射した水準Ｅは粒子の付着は殆ど見ら
れなかった。第４実施例（本発明）第３実施例と同じように弾性体被覆ローラ（擦付用弾性
体１８を被覆した擦付用ローラ２０）を用いた湿式除塵
を行った。ただし、図２の湿式除塵ゾーン４には図６に
示す様な乾式除塵装置、液切り装置、乾燥装置、非接触
搬送用エッジローラを設置した。

【０１１９】乾式除塵装置及び液切り装置は、株式会社
伸興のニューウルトラクリーナをそれぞれ１台づつ使用
し、ウエブとの間隙を３ｍｍ、給気風量を１５ｍ³/分、
給気圧力２０ｋＰａ、排気風量を２０ｍ³/分、排気圧力
を５ｋＰａに設定した。また、乾燥装置は、株式会社竹
綱製作所のハイブローノズルを１台使用し、ウエブとの
間隙を３ｍｍ、スリット吹き出し風湿度３０％、風速５
０ｍ/ 秒、風温４０℃、スリットクリアランス３ｍｍに
設定した。エッジローラは、ローラの直径１００ｍｍ、
エッジ部の直径１０４ｍｍ、ウエブとエッジへの接触幅
は全ウエブ幅１００ｃｍに対し両端各１０ｍｍに設定し
た。

【０１２０】実験結果を図７に示す表の水準Ｆ〜Ｈに示
す。水準Ｆは、比較技術の水準Ｅに対して湿式除塵の前
に超音波ウエブクリーナで乾式除塵を実施した例である
が、５０ｍ処理後の残留異物数はさらに減少しており、
乾式除塵との併用の効果が示された。水準Ｇにおいて
は、水準Ｆの内容に加えて湿式除塵の後に設置した液切
り装置と乾燥装置を作動させた。残留異物個数はさらに
減少し、一桁台になった。しかし、水準Ｆおよび水準Ｇ
は３０００ｍ処理後の残留異物数が若干増加傾向にあ
る。

【０１２１】水準Ｈではさらにエッジローラによる湿式
除塵処理面の非接触搬送を実施した。残留異物数はさら
に減少し、３０００ｍ処理後も残留異物の増加は見られ
ず、本発明の優れた除塵効果が証明された。また、水準
ＡからＦでは検査用ウエブ上に洗浄液の残留が見られた
のに対し、液切り装置および乾燥装置を作動させた水準
ＧとＨでは完全な乾燥が得られた。

【０１２２】尚、図１、図４、図６において、乾式除塵
装置１２による乾式除塵後、フィルム１０が擦付用ロー
ラ２０に対して正のラップ角をもってその表面に被覆さ
れた擦付用弾性体１８と接触する図で示したが、図８の
ように、フィルム１０が擦付用ローラ２０に対して負の
ラップ角をもってその表面に被覆された擦付用弾性体１
８と接触するようにしてもよい。

【０１２３】

【発明の効果】本発明によれば、走行するウエブを高圧
空気の給排で乾式除塵を行った後、液体で浸した弾性体
で連続的に擦った後、清浄な同一液体を前記ウエブの同
じ面に供給してすすぎ操作を行い、さらに高圧空気の給
排で液切り乾燥と仕上げ除塵を行い、また、除塵後のウ
エブ表面は非接触で搬送することにより、ウエブ状巻物
表面にキズを付けたりダメージを与えたりすることな
く、ウエブに付着した異物、ゴミ、塵等を従来達しえな
かった精密度と安定性をもって除去することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るウエブの除塵装置の第１の実施の
形態の一実施形態を示す模式図

【図２】本発明に係るウエブの除塵装置が適用された搬
送機の模式図

【図３】第１の実施の形態における各実施例の実験結果
を示す表図

【図４】本発明に係るウエブの除塵装置の第２の実施の
形態の一実施形態を示す模式図

【図５】第２の実施の形態における各実施例の実験結果
を示す表図

【図６】本発明に係るウエブの除塵装置の第３の実施の
形態の一実施形態を示す模式図

【図７】第３の実施の形態における各実施例の実験結果
を示す表図

【図８】フィルムが擦付用ローラに対して接触したとき
のラップ角の別の態様を示した模式図

【符号の説明】

１…送り出し装置、２…塗布ヘッド、３…乾燥ゾーン、
４…湿式除塵ゾーン、６…巻き取り装置、１０…フィル
ム（熱可塑性支持体）、１２…乾式除塵装置、１４Ａ〜
１４Ｄ…ガイドローラ、１６Ａ〜１６Ｃ…浮上ローラ、
１８…弾性体、２０…擦付用ローラ、２２…リンスノズ
ル、２４…液切り装置、２６…洗浄液槽、２８…洗浄
液、３０…配管、３２…圧送ポンプ、３４…濾過フィル
タ、３６…超音波振動子

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】走行するウエブに清浄度の高い高圧空気
を給排気して、ウエブの表面に付着した比較的粘着力の
弱い異物を除去する乾式除塵工程と、液体で濡らした擦付用弾性体でウエブの表面を連続的に
擦り、ウエブの表面に残存する比較的粘着力の強い異物
を除去する弾性体擦付工程と、ウエブの前記擦付用弾性体で擦った面に液体を噴射し
て、ウエブの表面に残存する異物を洗い流すリンス工程
と、からなることを特徴とするウエブの除塵方法。
【請求項２】走行するウエブに清浄度の高い高圧空気
を給排気して、ウエブの表面に付着した比較的粘着力の
弱い異物を除去する乾式除塵工程と、ウエブの背面に押付用弾性体を押し当てることによっ
て、ウエブの表面を液体で濡らした擦付用弾性体に押し
付け、その擦付用弾性体でウエブの表面を連続的に擦る
ことによって、ウエブの表面に残存する比較的粘着力の
強い異物を除去する弾性体擦付工程と、ウエブの前記擦付用弾性体で擦った面に液体を噴射し
て、ウエブの表面に残存する異物を洗い流すリンス工程
と、からなることを特徴とするウエブの除塵方法。
【請求項３】走行するウエブに清浄度の高い高圧空気
を給排気して、ウエブの表面に付着した比較的粘着力の
弱い異物を除去する乾式除塵工程と、液体で濡らした擦付用弾性体でウエブの表面を連続的に
擦り、ウエブの表面に残存する比較的粘着力の強い異物
を除去する弾性体擦付工程と、ウエブの前記擦付用弾性体で擦った面に液体を噴射し
て、ウエブの表面に残存する異物を洗い流すリンス工程
と、走行するウエブに清浄度の高い高圧空気を給排気して、
ウエブ上に存在する液体を液切り除去する液切り工程
と、清浄度の高い空気を吹き付けてウエブ上に残留する液体
を完全に乾燥する乾燥工程と、からなることを特徴とす
るウエブの除塵方法。
【請求項４】前記リンス工程後、走行するウエブに清
浄度の高い高圧空気を給排気して、ウエブ上に残存する
液体を液切りする液切り工程を含むことを特徴とする請
求項１又は２記載のウエブの除塵方法。
【請求項５】前記弾性体擦付工程では、ウエブの背面に
押付用弾性体を押し当てることを特徴とする請求項３記
載のウエブの除塵方法。
【請求項６】前記弾性体擦付工程は、ローラ状に形成
され、一部又は全部が液体に浸漬された擦付用弾性体を
回転させてウエブの表面を連続的に擦るとともに、該ウ
エブを擦った後の擦付用弾性体に超音波を放射すること
によって、擦付用弾性体から異物を除去することを特徴
とする請求項１、２、３、４又は５記載のウエブの除塵
方法。
【請求項７】前記弾性体擦付工程は、ウエブの背面に
ローラ状の押付用弾性体を押し当てることによって、ウ
エブの表面を一部又は全体が液体に浸漬された回転する
ローラ状の擦付用弾性体に押し付けて、ウエブの表面を
擦付用弾性体で連続的に擦り、そのウエブを擦った後の
擦付用弾性体に超音波を放射することによって、擦付用
弾性体から異物を除去することを特徴とする請求項２又
は５記載のウエブの除塵方法。
【請求項８】前記乾式除塵工程と前記液切り工程と
は、走行するウエブに超音波振動する高圧空気を給排気
することを特徴とする請求項３又は４記載のウエブの除
塵方法。
【請求項９】走行するウエブに対してウエブの表面製
品部を非接触搬送することを特徴とする請求項１、２、
３、４、５、６、７又は８記載のウエブの除塵方法。
【請求項１０】走行するウエブに清浄度の高い高圧空
気を給排気して、ウエブの表面に付着した比較的粘着力
の弱い異物を除去する乾式除塵手段と、前記乾式除塵手段の下流側に設置され、走行するウエブ
の表面を液体で濡らした弾性体で連続的に擦ることによ
って、ウエブの表面に残存する比較的粘着力の強い異物
を除去する弾性体擦付手段と、前記弾性体擦付手段の下流側に設置され、走行するウエ
ブの表面に液体を噴射して、ウエブの表面に残存する異
物を洗い流すリンス手段と、からなることを特徴とする
ウエブの除塵装置。
【請求項１１】走行するウエブに清浄度の高い高圧空
気を給排気して、ウエブの表面に付着した比較的粘着力
の弱い異物を除去する乾式除塵手段と、前記乾式除塵手段の下流側に設置され、走行するウエブ
の背面に押付用弾性体を押し当てることによって、液体
で濡らした擦付用弾性体にウエブの表面を押し付け、そ
の擦付用弾性体でウエブの表面を連続的に擦ることによ
って、ウエブの表面に残存する比較的粘着力の強い異物
を除去する弾性体擦付手段と、前記弾性体擦付手段の下流側に設置され、走行するウエ
ブの表面に液体を噴射して、ウエブの表面に残存する異
物を洗い流すリンス手段と、からなることを特徴とする
ウエブの除塵装置。
【請求項１２】走行するウエブに清浄度の高い空気を
給排気して、ウエブの表面に付着した比較的粘着力の弱
い異物を除去する乾式除塵手段と、前記乾式除塵手段の下流側に設置され、走行するウエブ
の表面を液体で濡らした弾性体で連続的に擦ることによ
って、ウエブの表面に残存する比較的粘着力の強い異物
を除去する弾性体擦付手段と、前記弾性体擦付手段の下流側に設置され、走行するウエ
ブの表面に液体を噴射して、ウエブの表面に残存する異
物を洗い流すリンス手段と、前記リンス手段の下流側に設置され、走行するウエブに
清浄度の高い高圧空気を給排気して、ウエブ上に存在す
る液体を液切り除去する液切り手段と、前記液切り手段の下流側に設置され、走行するウエブに
清浄度の高い空気を吹き付けて、ウエブ上に残留する液
体を完全に乾燥する乾燥手段とからなることを特徴とす
るウエブの除塵装置。
【請求項１３】前記リンス手段の下流側に設置され、
走行するウエブに清浄度の高い高圧空気を給排気して、
ウエブ上に残存する液体を液切りする液切り手段を備え
たことを特徴とする請求項１０又は１１記載のウエブの
除塵装置。
【請求項１４】前記乾式除塵手段は、走行するウエブ
に狭い間隙をもって設置されるとともに、ウエブの幅方
向に沿って複数の給気用スリットと排気用スリットとを
備え、清浄度の高い高圧空気を給気用スリットから噴射
してウエブの表面から付着物を剥離し、その剥離した付
着物を排気用スリットから吸引し除去することを特徴と
する請求項１０、１１、１２又は１３記載のウエブの除
塵装置。
【請求項１５】前記乾式除塵手段は、前記給気用スリ
ット内に超音波発振手段を備え、走行するウエブに対し
て超音波振動する高圧空気を給気することを特徴とする
請求項１０、１１、１２、１３又は１４記載のウエブの
除塵装置。
【請求項１６】前記弾性体擦付手段は、走行するウエブに当接し、周面に弾性体が被覆されたロ
ーラと、前記ローラを回転させる回転駆動手段と、液体が貯留され、前記ローラの一部が浸漬される液槽
と、からなることを特徴とする請求項１０、１１、１
２、１３、１４又は１５記載のウエブの除塵装置。
【請求項１７】前記弾性体擦付手段には、周面に弾性
体が被覆されるとともに回転自在に支持され、走行する
ウエブの背面に押し当てられて前記ウエブの表面を前記
擦付用ローラに押し付ける押付用ローラが設けられるこ
とを特徴とする請求項１２記載のウエブの除塵装置。
【請求項１８】前記弾性体擦付手段は、液中に浸漬さ
れた前記擦付用ローラに超音波を放射して、前記擦付用
ローラから異物を除去する超音波振動子を前記液槽内に
備えていることを特徴とする請求項１０、１１、１２、
１３、１４、１５、１６又は１７記載のウエブの除塵装
置。
【請求項１９】前記液切り手段は、走行するウエブに
狭い間隙をもって設置されるとともに、ウエブの幅方向
に沿って複数の給気用スリットと排気用スリットとを備
え、清浄度の高い高圧空気を給気用スリットから噴射し
てウエブの表面から付着物を剥離し、その剥離した付着
物を排気用スリットから吸引し除去することを特徴とす
る請求項１２、１３、１４、１５、１６、１７又は１８
記載のウエブの除塵装置。
【請求項２０】前記乾燥手段は、走行するウエブに狭
い間隔をもって設置されたスリットを備え、清浄度の高
い空気を吹き付けてウエブの表面から残留する液体を完
全に乾燥することを特徴とする請求項１２、１４、１
５、１６、１７、１８、１９又は２０記載のウエブの除
塵装置。
【請求項２１】ウエブは、所定位置に配設されたエッ
ジローラに表面側をガイドされて走行し、該エッジロー
ラはウエブ表面の両端部を保持し、ウエブの製品部を非
接触でガイドすることを特徴とする請求項１０、１１、
１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、１９又は
２０記載のウエブの除塵装置。
【請求項２２】ウエブは、所定位置に配設された浮上
ローラに表面側をガイドされて走行し、該浮上ローラ
は、周面に形成された多数の孔又はスリットから清浄度
の高い高圧空気を吹き出すことによって、ウエブを浮上
させて非接触でガイドすることを特徴とする請求項１
０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１
８、１９、２０又は２１記載のウエブの除塵装置。