JP2002074961A - Semiconductor storage device - Google Patents
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は半導体記憶装置の
構成に関し、より特定的には、半導体記憶装置のデータ
読み出し回路の構成に関する。The present invention relates to a configuration of a semiconductor memory device, and more particularly, to a configuration of a data read circuit of the semiconductor memory device.
【0002】[0002]
【従来の技術】半導体記憶装置、たとえば、ダイナミッ
ク型ランダムアクセスメモリ(以下、DRAMと呼ぶ)
においては、センスアンプ活性化信号、すなわち、ワー
ド線が活性化した後にセンスアンプを活性化させる信号
を活性化させるタイミングは、設計段階においてシミュ
レーションにより、予め一定の値に決められている。2. Description of the Related Art A semiconductor memory device, for example, a dynamic random access memory (hereinafter referred to as DRAM).
In, the timing for activating the sense amplifier activating signal, that is, the signal for activating the sense amplifier after the word line is activated, is previously set to a constant value by simulation in the design stage.
【0003】ところで、DRAMの特性のテストにおい
て、不良メモリセルとされるものの中には、読み出しマ
ージンが、この予め定められている一定のタイミングに
対して少ないことが原因となっているものがある。つま
り、ワード線が活性化した後にビット線にメモリセルの
データが読み出されるまでに時間を要するために、上記
所定のタイミング中にデータの転送が十分に行なわれ
ず、正確な値を読み出すことができないことが不良の原
因となる場合がある。In testing the characteristics of a DRAM, some of the defective memory cells are caused by the fact that the read margin is small with respect to the predetermined timing. . In other words, since it takes time until the data of the memory cell is read to the bit line after the activation of the word line, the data transfer is not sufficiently performed during the predetermined timing, and an accurate value cannot be read. May cause failure.
【0004】このような場合、センスアンプ活性化信号
の活性化のタイミングを微調整することによって、不良
を救済することが可能である。また、センスアンプ活性
化信号の活性化タイミングを微調整することによりメモ
リセルのデータに対する読み出し動作のマージンを向上
させることも可能である。In such a case, it is possible to remedy a defect by finely adjusting the activation timing of the sense amplifier activation signal. Further, by finely adjusting the activation timing of the sense amplifier activation signal, it is possible to improve the margin of the read operation for the data of the memory cell.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来、
このようなセンスアンプ活性化信号の活性化タイミング
の微調整を行なうためには、マスク改定により遅延段の
段数等を調整しなければならず、それに要する時間やコ
ストが必要以上に大きくなってしまうという問題があっ
た。However, conventionally,
In order to finely adjust the activation timing of the sense amplifier activation signal, it is necessary to adjust the number of delay stages by revising the mask, and the time and cost required for the adjustment become unnecessarily large. There was a problem.
【0006】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたものであって、その目的は、読み出しマ
ージンが少ないことが原因となった不良メモリセルを容
易に救済することができ、歩留まりの向上を実現できる
半導体記憶装置を提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to easily remedy a defective memory cell caused by a small read margin. Another object of the present invention is to provide a semiconductor memory device that can improve the yield.
【0007】この発明の他の目的は、動作モードに応じ
て、最適な読み出しマージンで動作することが可能な半
導体記憶装置を提供することである。Another object of the present invention is to provide a semiconductor memory device capable of operating with an optimum read margin according to an operation mode.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】請求項1記載の半導体記
憶装置は、行列状に配列される複数のメモリセルを有す
るメモリセルアレイと、外部から与えられる制御信号に
応じて、読出しコマンドからデータ出力までの遅延期間
を、複数の所定期間のうちのいずれかに選択的に設定す
るためのモード設定手段と、メモリセルアレイの行に対
応して設けられる複数のワード線と、メモリセルアレイ
の列に対応して設けられる複数のビット線と、アドレス
信号に応じて、ワード線を選択的に活性化する行選択手
段と、活性化されたワード線に接続するメモリセルから
ビット線を介して読み出されるデータを増幅するための
複数のセンスアンプと、いずれの所定期間が選択される
かに応じて、ワード線の活性化からセンスアンプの活性
化までのタイミングを変更する制御回路とを備える。According to a first aspect of the present invention, there is provided a semiconductor memory device comprising: a memory cell array having a plurality of memory cells arranged in a matrix; and a data output from a read command in response to an externally applied control signal. Mode setting means for selectively setting the delay period to any of a plurality of predetermined periods, a plurality of word lines provided corresponding to rows of the memory cell array, and a plurality of word lines provided corresponding to columns of the memory cell array. A plurality of bit lines, a row selecting means for selectively activating a word line in accordance with an address signal, and data read from a memory cell connected to the activated word line via the bit line. And a plurality of sense amplifiers for amplifying memory cells, and a timing from word line activation to sense amplifier activation depending on which predetermined period is selected. And a control circuit for changing the.
【0009】請求項2記載の半導体記憶装置は、請求項
1記載の半導体記憶装置の構成において、制御回路は、
ワード線の活性化後にセンスアンプの活性化を指示する
センスアンプ活性化信号を生成するタイミング設定手段
を含み、タイミング設定手段は、複数の所定時間にそれ
ぞれ対応して設けられ、センスアンプ活性化信号の出力
タイミングを調整する複数の遅延回路と、いずれの所定
期間が選択されるかに応じて、複数の遅延回路のうちの
対応する遅延回路を選択的に動作させる選択手段とを有
する。According to a second aspect of the present invention, in the semiconductor memory device according to the first aspect, the control circuit includes:
A timing setting means for generating a sense amplifier activation signal instructing activation of the sense amplifier after the activation of the word line, wherein the timing setting means is provided corresponding to each of a plurality of predetermined times; And a selecting means for selectively operating a corresponding one of the plurality of delay circuits in accordance with which predetermined period is selected.
【0010】請求項3記載の半導体記憶装置は、請求項
2記載の半導体記憶装置の構成において、各遅延回路
は、遅延時間を変更するためのヒューズ素子を含み、ヒ
ューズ素子は、レーザブローにより切断可能である。According to a third aspect of the present invention, in the semiconductor memory device according to the second aspect, each delay circuit includes a fuse element for changing a delay time, and the fuse element is cut by laser blowing. It is possible.
【0011】請求項4記載の半導体記憶装置は、請求項
2記載の半導体記憶装置の構成において、各遅延回路
は、遅延時間を変更するためのヒューズ素子を含み、ヒ
ューズ素子は、外部からの電圧印加により切断可能であ
る。According to a fourth aspect of the present invention, in the semiconductor memory device according to the second aspect, each of the delay circuits includes a fuse element for changing a delay time, and the fuse element has an external voltage. It can be cut by application.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】[実施の形態1]図1は、本発明
の実施の形態1の半導体記憶装置1000の構成を示す
概略ブロック図である。[First Embodiment] FIG. 1 is a schematic block diagram showing a configuration of a semiconductor memory device 1000 according to a first embodiment of the present invention.
【0013】図1を参照して、半導体記憶装置1000
は、外部から、外部チップセレクト信号Ext./C
S、外部ロウアドレスストローブ信号Ext./RA
S、外部コラムアドレスストローブ信号Ext./CA
S、外部ライトイネーブル信号Ext./WE等の制御
信号をそれぞれ受ける制御信号入力端子群2、4、6
と、アドレス入力端子群8と、データ信号を授受するた
めのデータ入出力端子群9と、接地電位Vssが与えら
れる接地端子12と、電源電位ext.Vccが与えら
れる電源端子10とを備える。Referring to FIG. 1, semiconductor memory device 1000
Is externally supplied with an external chip select signal Ext. / C
S, external row address strobe signal Ext. / RA
S, external column address strobe signal Ext. / CA
S, the external write enable signal Ext. / WE and other control signal input terminal groups for receiving control signals such as / WE
, An address input terminal group 8, a data input / output terminal group 9 for transmitting and receiving data signals, a ground terminal 12 to which a ground potential Vss is applied, and a power supply potential ext. And a power supply terminal 10 to which Vcc is applied.
【0014】半導体記憶装置1000は、さらに、制御
信号を受けて、半導体記憶装置1000の内部動作を制
御するための内部制御信号を生成するコントロール回路
22と、外部からのアドレス信号を受けて内部アドレス
信号を生成する行および列アドレスバッファ24と、行
および列アドレスバッファ24からの信号を受けて、行
選択を行なうための信号を生成する行プリデコーダ26
と、行および列アドレスバッファ24からの信号を受け
て、列選択を行なうための信号を生成する列プリデコー
ダ28と、センスアンプ+入出力制御回路40と、メモ
リセルアレイ42と、データ入出力バッファ44とを備
える。Semiconductor memory device 1000 further receives a control signal to generate an internal control signal for controlling the internal operation of semiconductor memory device 1000, and receives an external address signal to receive an internal address signal. A row and column address buffer 24 for generating a signal, and a row predecoder 26 for receiving a signal from row and column address buffer 24 and generating a signal for selecting a row
, Column predecoder 28 for receiving a signal from row and column address buffer 24 and generating a signal for column selection, sense amplifier + input / output control circuit 40, memory cell array 42, data input / output buffer 44.
【0015】コントロール回路22は、制御信号入力端
子1を介して与えられるチップセレクト信号Ext./
CS、制御信号入力端子2、4を介して外部から与えら
れる外部行アドレスストローブ信号Ext./RASと
外部列アドレスストローブ信号Ext./CASとに基
づいた所定の動作モードに相当する制御クロック、例え
ばセンスアンプ活性化信号SON,SOP等を発生し、
半導体記憶装置全体の動作を制御する。コントロール回
路22は、さらに他の制御信号と外部ライトイネーブル
信号Ext./WEとの組合せに応じて、書込み動作お
よび読出動作におけるデータ入出力バッファ44の動作
を制御する信号を生成する。The control circuit 22 has a chip select signal Ext. /
CS, external row address strobe signal Ext. / RAS and external column address strobe signal Ext. / CAS, generates a control clock corresponding to a predetermined operation mode based on / CAS, for example, sense amplifier activation signals SON, SOP, etc.
The operation of the entire semiconductor memory device is controlled. The control circuit 22 further controls another control signal and the external write enable signal Ext. In response to the combination with / WE, a signal for controlling the operation of data input / output buffer 44 in the write operation and the read operation is generated.
【0016】行および列アドレスバッファ回路24は、
外部から与えられるアドレス信号A0〜Ai(iは自然
数)に基づいて生成した内部アドレス信号を行プリデコ
ーダ26および列プリデコーダ28に与える。The row and column address buffer circuit 24
An internal address signal generated based on externally applied address signals A0 to Ai (i is a natural number) is applied to row predecoder 26 and column predecoder 28.
【0017】メモリセルアレイアは、複数のメモリセル
ブロックMCB0〜MCBnに分割されている。各メモ
リセルブロックには、行プリデコーダ26からの行プリ
デコード信号に基づいて、対応するメモリセルブロック
内の行(ワード線)を選択する行デコーダ27と、列プ
リデコーダ28からの列プリデコード信号に基づいて、
対応するメモリセルブロック内の列(ビット線対)を選
択する列デコーダ100と、各ビット線対に対応して設
けられ、選択されたメモリセルの記憶データの増幅を行
なうセンスアンプSAおよび列デコーダ100により選
択されるビット線対からのデータをデータ入出力バッフ
ァ44に選択的に伝達するためのI/O回路とが設けら
れる。図1においては、便宜上、列デコーダ(YD)1
00、センスアンプおよびI/O回路40とは、まとめ
てひとつのブロックで表してある。The memory cell array is divided into a plurality of memory cell blocks MCB0 to MCBn. In each memory cell block, a row decoder 27 for selecting a row (word line) in the corresponding memory cell block based on a row predecode signal from a row predecoder 26, and a column predecode from a column predecoder 28 Based on the signal
A column decoder 100 for selecting a column (bit line pair) in a corresponding memory cell block, a sense amplifier SA and a column decoder provided corresponding to each bit line pair for amplifying data stored in the selected memory cell. And an I / O circuit for selectively transmitting data from the bit line pair selected by 100 to data input / output buffer 44. In FIG. 1, for convenience, a column decoder (YD) 1
00, the sense amplifier and the I / O circuit 40 are collectively represented by one block.
【0018】つまり、行デコーダ27と列デコーダ10
0とによって指定されたメモリセルアレイ42中のメモ
リセルは、センスアンプ+I/O回路40とデータ入出
力バッファ44を介して、入出力端子群9を通じて外部
とデータのやり取りを行なう。That is, the row decoder 27 and the column decoder 10
The memory cells in the memory cell array 42 designated by "0" exchange data with the outside through the input / output terminal group 9 through the sense amplifier + I / O circuit 40 and the data input / output buffer 44.
【0019】半導体記憶装置1000は、さらに、外部
電源電位Ext.Vccおよび接地電位Vssとを受け
て、内部電源電位VccpおよびVccsを生成する内
部電源回路38を備える。Semiconductor memory device 1000 further includes an external power supply potential Ext. An internal power supply circuit 38 receiving Vcc and ground potential Vss to generate internal power supply potentials Vccp and Vccs is provided.
【0020】半導体集積回路1000は、さらに、外部
からの制御信号Ext./CS、Ext./RAS、E
xt./CAS、ext./WEに基づいてコントロー
ル回路22において生成される内部チップセレクト信号
CS0、内部ロウアドレスストローブ信号RAS0、内
部コラムアドレスストローブ信号CAS0、内部ライト
イネーブル信号WE0や行および列アドレスバッファ2
4からの内部アドレス信号に基づいて、モード信号、た
とえば、後に説明するCASレイテンシ制御信号CL
2、CL3等を生成するためのモードレジスタセット6
0とを備える。The semiconductor integrated circuit 1000 further includes a control signal Ext. / CS, Ext. / RAS, E
xt. / CAS, ext. / WE based on internal chip select signal CS0, internal row address strobe signal RAS0, internal column address strobe signal CAS0, internal write enable signal WE0, row and column address buffer 2
4 based on the internal address signal, for example, a CAS latency control signal CL described later.
2, mode register set 6 for generating CL3, etc.
0.
【0021】なお、図1に示した半導体記憶装置100
0の構成は、その代表的な一例にすぎず、本願は、より
一般的に、ダイナミック型半導体記憶装置の他の構成に
も適用可能なものである。たとえば、メモリセルアレイ
の分割の仕方は、とくに図1の例に限定されるものでは
なく、また、半導体記憶装置1000自体は、1チップ
上に他の回路とともに集積化される構成であってもよ
い。The semiconductor memory device 100 shown in FIG.
The configuration of 0 is only a typical example, and the present invention is more generally applicable to other configurations of the dynamic semiconductor memory device. For example, the way of dividing the memory cell array is not particularly limited to the example of FIG. 1, and the semiconductor memory device 1000 itself may be configured to be integrated with other circuits on one chip. .
【0022】図2は、図1に示すセンスアンプ部の構成
を示す図である。図2においては、1つのセンスアンプ
およびそれに関連する部分の構成が代表的に示される。FIG. 2 is a diagram showing a configuration of the sense amplifier section shown in FIG. FIG. 2 representatively shows a configuration of one sense amplifier and parts related thereto.
【0023】センスアンプ17は、センスノードSNa
に結合される一方導通ノードとセンスノードSNbに結
合されるゲートとを有するゲートを有するPチャネルM
OSトランジスタPQaと、センスノードSNbに結合
される一方導通ノードとセンスノードSNaに結合され
るゲートとを有するゲートを有するPチャネルMOSト
ランジスタPQbと、センスノードSNaに結合される
一方導通ノードとセンスノードSNbに結合されるゲー
トとを有するゲートを有するNチャネルMOSトランジ
スタNQaと、センスノードSNbに結合される一方導
通ノードとセンスノードSNaに結合されるゲートとを
有するゲートを有するNチャネルMOSトランジスタN
Qbとを含む。The sense amplifier 17 has a sense node SNa
Channel having a gate having a conduction node coupled to sense node SNb and a conduction node coupled to sense node SNb
P-channel MOS transistor PQb having an OS transistor PQa, a gate having one conduction node coupled to sense node SNb and a gate coupled to sense node SNa, one conduction node and sense node coupled to sense node SNa N-channel MOS transistor NQa having a gate having a gate coupled to SNb, and N-channel MOS transistor N having a gate having a conduction node coupled to sense node SNb and a gate coupled to sense node SNa.
Qb.
【0024】このセンスアンプ17に対し、コントロー
ル回路22に含まれるセンス活性化回路35からのセン
スアンプ活性化信号SOPに応答して導通し、Pチャネ
ルMOSトランジスタPQaおよびPQbの他方導通ノ
ードへ、アレイ用電源電位Vccsを供給するPチャネ
ルMOSトランジスタPQcと、センス活性化回路35
からのセンスアンプ活性化信号SONに応答して導通
し、NチャネルMOSトランジスタNQaおよびNQb
の他方導通ノードへ、接地電位GNDを供給するNチャ
ネルMOSトランジスタNQcとが設けられる。Pチャ
ネルMOSトランジスタPQa、PQbおよびPQcの
基板領域(ウェル領域または半導体層であり、基板とし
て作用する領域)には、アレイ用電源電位Vccsが供
給される。センス活性化回路35は、周辺回路用電源電
位Vccpを一方動作電源電位として動作する。The sense amplifier 17 is turned on in response to a sense amplifier activating signal SOP from a sense activating circuit 35 included in the control circuit 22, and is connected to the other conductive node of the P channel MOS transistors PQa and PQb. P-channel MOS transistor PQc for supplying power supply potential Vccs, and sense activation circuit 35
In response to sense amplifier activating signal SON from N-channel MOS transistors NQa and NQb.
N-channel MOS transistor NQc for supplying ground potential GND to the other conduction node. Array power supply potential Vccs is supplied to substrate regions (regions which are well regions or semiconductor layers and function as substrates) of P-channel MOS transistors PQa, PQb and PQc. Sense activation circuit 35 operates using peripheral circuit power supply potential Vccp as one operation power supply potential.
【0025】センスノードSNaおよびSNbは、一方
のメモリセルブロックのビット線BLLおよび/BLL
に、ビット線分離トランジスタ30aおよび30bを介
してそれぞれ接続され、かつ他方メモリセルブロックの
ビット線BLRおよび/BLRにビット線分離トランジ
スタ32aおよび32bを介してそれぞれ接続される。
ビット線分離トランジスタ30aおよび30bのゲート
には、ビット線分離制御信号BLILが与えられ、ビッ
ト線分離トランジスタ32aおよび32bのゲートに
は、ビット線分離制御信号BLIRが与えられる。Sense nodes SNa and SNb are connected to bit lines BLL and / BLL of one memory cell block, respectively.
Are connected to bit lines BLR and / BLR of the memory cell block via bit line separation transistors 32a and 32b, respectively.
Bit line isolation control signals BLIL are applied to the gates of bit line isolation transistors 30a and 30b, and bit line isolation control signal BLIR is applied to the gates of bit line isolation transistors 32a and 32b.
【0026】ビット線BLL,/BLLおよびビット線
BLR,/BLRの一方に選択メモリセルMCが接続さ
れている場合には、ビット線分離制御信号BLILおよ
びBLIRのうち、この選択メモリセルが接続されるビ
ット線対に対応するビット線分離信号のみが”H”レベ
ル(通常、アレイ電源電位Vccsよりも高い電位レベ
ル)とされ、他方のビット線対に対するビット線分離信
号は”L”レベルとされる。When a selected memory cell MC is connected to one of bit lines BLL, / BLL and bit lines BLR, / BLR, of the bit line isolation control signals BLIL and BLIR, the selected memory cell is connected. Only the bit line isolation signal corresponding to one bit line pair is set to the "H" level (normally, a potential level higher than the array power supply potential Vccs), and the bit line isolation signal for the other bit line pair is set to the "L" level. You.
【0027】センスノードSNaおよびSNbとサブI
O線SIO,/SIOの間に、列デコーダ30から伝達
さるれる列選択信号CSLに応答して導通し、センスノ
ードSNaおよびSNbを、サブIO線SIO,/SI
Oへ接続するIOゲートトランジスタ34aおよび34
bが設けられる。Sense nodes SNa and SNb and sub-I
Between O lines SIO and / SIO, conduction is performed in response to a column selection signal CSL transmitted from column decoder 30, and sense nodes SNa and SNb are connected to sub IO lines SIO and / SI.
IO gate transistors 34a and 34 connected to O
b is provided.
【0028】図3は、ワード線WLの活性化タイミング
とセンスアンプ活性化信号の活性化タイミングとの関係
を示すタイミングチャートである。FIG. 3 is a timing chart showing the relationship between the activation timing of the word line WL and the activation timing of the sense amplifier activation signal.
【0029】時刻t1において、ワード線WLの電位レ
ベルが行デコーダ27により活性化状態とされた後、時
間ΔTだけ経過した時刻t2において、センス活性化回
路35からの信号SONが活性状態(”H”レベル)と
なる。さらに、信号SOP(図示せず)も活性状態(”
L”レベル)となる。At time t1, after the potential level of word line WL is activated by row decoder 27, at time t2 after a lapse of time ΔT, signal SON from sense activation circuit 35 is activated (“H”). "Level). Further, the signal SOP (not shown) is also in an active state ("
L "level).
【0030】本発明においては、この時間ΔTを半導体
記憶装置1000の製造後においても、事後的に調整可
能とする。In the present invention, this time ΔT can be adjusted after the semiconductor memory device 1000 is manufactured.
【0031】図4は、センス活性化回路35に含まれる
タイミング調整回路200の構成を示す回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram showing a configuration of the timing adjustment circuit 200 included in the sense activation circuit 35.
【0032】タイミング調整回路200は、ワード線の
活性化から設計時に定められた所定のタイミングで活性
状態となる信号SONTを受けて動作する。なお、図4
においては、信号SONTを受けて信号SONを生成す
るタイミング調整回路200は、1段のみ設けられる構
成となっているが、必要に応じて、複数段設ける構成と
なっていてもよい。The timing adjustment circuit 200 operates upon receiving a signal SON which becomes active at a predetermined timing determined at the time of design from activation of a word line. FIG.
In the above, the timing adjustment circuit 200 that receives the signal SON and generates the signal SON is provided with only one stage, but may be provided with a plurality of stages as necessary.
【0033】図4を参照して、タイミング調整回路20
0は、電源電位Vccpと出力ノードn1との間に設け
られ、ゲートに信号SONTを受けるPチャネルMOS
トランジスタPQ10と、ノードn1と接地電位GND
との間に直列に設けられる抵抗体R10、R12および
NチャネルMOSトランジスタNQ10と、抵抗体R1
2と並列に結合されるヒューズ素子F10とを備える。Referring to FIG. 4, timing adjustment circuit 20
0 is a P-channel MOS provided between power supply potential Vccp and output node n1, and receiving signal SON at its gate.
Transistor PQ10, node n1 and ground potential GND
Resistors R10 and R12 and an N-channel MOS transistor NQ10 provided in series between
2 and a fuse element F10 coupled in parallel.
【0034】ヒューズ素子F10をレーザでブローする
ことにより、信号SONTの活性化から信号SONの活
性化までの遅延時間を大きくすることが可能である。By blowing the fuse element F10 with a laser, the delay time from the activation of the signal SONT to the activation of the signal SON can be increased.
【0035】したがって、半導体記憶装置1000の製
造後においても、ウエハ工程中であれば、ヒューズ素子
のブローによりセンスアンプ活性化信号の活性化タイミ
ングを調整することができ、メモリセルの読み出しマー
ジンを向上させることが可能となる。さらに、読み出し
マージン不足により不良となったメモリセルを救済する
ことが可能となる。Therefore, even after the manufacture of semiconductor memory device 1000, during the wafer process, the activation timing of the sense amplifier activation signal can be adjusted by blowing the fuse element, thereby improving the read margin of the memory cell. It is possible to do. Further, it becomes possible to relieve a memory cell that has become defective due to a shortage of a read margin.
【0036】[実施の形態2]図5は、実施の形態2の
タイミング調整回路300の構成を示す回路図である。
図4に示した実施の形態1のタイミング調整回路200
と異なる点は以下のとおりである。[Second Embodiment] FIG. 5 is a circuit diagram showing a configuration of a timing adjustment circuit 300 according to a second embodiment.
Timing adjustment circuit 200 according to the first embodiment shown in FIG.
The differences are as follows.
【0037】すなわち、タイミング調整回路300にお
いては、ヒューズ素子F10を電気的に切断可能なよう
にパッドPD1およびパッドPD2からヒューズ素子F
10に電圧を印加可能な構成となっている。その他の点
は、タイミング調整回路200の構成と同様であるの
で、同一部分には同一符号を付してその説明は繰り返さ
ない。That is, in the timing adjustment circuit 300, the fuse element F10 is connected to the pad PD1 and the pad PD2 so that the fuse element F10 can be electrically disconnected.
10 is configured to be able to apply a voltage. In other respects, the configuration is the same as that of the timing adjustment circuit 200. Therefore, the same portions are denoted by the same reference characters, and description thereof will not be repeated.
【0038】このような構成とすることで、半導体記憶
装置1000の製造後であって、モールド工程終了後で
あれば、ヒューズ素子のブローによりセンスアンプ活性
化信号の活性化タイミングを調整することができ、メモ
リセルの読み出しマージンを向上させることが可能とな
る。さらに、読み出しマージン不足により不良となった
メモリセルを救済することが可能となる。With this configuration, after the manufacture of the semiconductor memory device 1000 and after the end of the molding process, the activation timing of the sense amplifier activation signal can be adjusted by blowing the fuse element. It is possible to improve the read margin of the memory cell. Further, it becomes possible to relieve a memory cell that has become defective due to a shortage of a read margin.
【0039】[実施の形態3]半導体記憶装置1000
が、同期型ダイナミック型ランダムアクセスメモリ(以
下、SDRAM)である場合には、読み出しデータは、
リードコマンドが与えられた後の所定のクロック期間
(CASレイテンシ)だけ経過後に出力される。[Embodiment 3] Semiconductor memory device 1000
Is a synchronous dynamic random access memory (hereinafter, SDRAM), the read data is
It is output after a lapse of a predetermined clock period (CAS latency) after the application of the read command.
【0040】このCASレイテンシの大きさは、動作周
波数などに応じて、モードレジスタセットコマンドによ
り指定される。このとき、モードレジスタ60から出力
される信号CL2またはCL3が活性状態とされる。た
とえば、その組合せにより、CASレイテンシの大きさ
は、1.5クロック、2.0クロック、2.5クロック
等に設定される。The magnitude of the CAS latency is specified by a mode register set command according to the operating frequency and the like. At this time, the signal CL2 or CL3 output from the mode register 60 is activated. For example, the magnitude of the CAS latency is set to 1.5 clocks, 2.0 clocks, 2.5 clocks, or the like according to the combination.
【0041】たとえば、SDRAMが動作周波数100
MHz動作の際には、CL=2が設定され、133MH
zではCL=3が設定される。For example, if the SDRAM operates at an operating frequency of 100
At the time of MHz operation, CL = 2 is set, and 133 MHz is set.
In z, CL = 3 is set.
【0042】センスアンプ活性化信号の活性化タイミン
グをCL=2の場合を基準として設計すると、CL=3
でSDRAMを動作させる場合には、読み出しタイミン
グには余裕が生じることになる。CL=2/3のそれぞ
れの場合において、センスアンプ活性化信号のタイミン
グを変えることで、読み出しマージンを各動作モードご
とに最適な値に設定することができる。If the activation timing of the sense amplifier activation signal is designed based on the case where CL = 2, then CL = 3
In the case of operating the SDRAM, there is a margin in the read timing. In each case of CL = 2, the read margin can be set to an optimum value for each operation mode by changing the timing of the sense amplifier activation signal.
【0043】図6は、このようなコントロール回路22
に含まれるタイミング設定回路400の構成を示す回路
図である。FIG. 6 shows such a control circuit 22.
3 is a circuit diagram showing a configuration of a timing setting circuit 400 included in FIG.
【0044】図6を参照して、タイミング設定回路40
0は、信号SONTを受けるインバータINV10と、
インバータINV10の出力を一方入力ノードに受けて
信号CL2を他方入力ノードに受けるNAND回路GN
A1と、インバータINV10の出力を一方入力ノード
に受けて信号CL3を他方入力ノードに受けるNAND
回路GNA2と、NAND回路GNA1の出力を受けて
所定時間遅延させて出力する遅延回路DL1と、NAN
D回路GNA2の出力を受けて所定時間遅延させて出力
する遅延回路DL2と、遅延回路DL1およびDL2か
らの出力を受けて信号SONを出力するNOR回路GN
R1とを備える。Referring to FIG. 6, timing setting circuit 40
0 is an inverter INV10 receiving the signal SON,
NAND circuit GN receiving the output of inverter INV10 at one input node and receiving signal CL2 at the other input node
A1 and a NAND receiving the output of inverter INV10 at one input node and receiving signal CL3 at the other input node
A circuit GNA2, a delay circuit DL1 receiving the output of the NAND circuit GNA1, delaying the output by a predetermined time, and outputting the delayed signal;
A delay circuit DL2 that receives an output of the D circuit GNA2 and delays the output by a predetermined time and outputs the same, and a NOR circuit GN that receives outputs from the delay circuits DL1 and DL2 and outputs a signal SON
R1.
【0045】以上のような構成により、CASレイテン
シの大きさに応じて、ワード線WLが活性化されてから
センスアンプ活性化信号が活性化されるまでのタイミン
グが変更されるので、いずれの動作モードにおいても読
み出しマージンを確保することが可能となる。With the above-described configuration, the timing from activation of the word line WL to activation of the sense amplifier activation signal is changed according to the magnitude of the CAS latency. In the mode, a read margin can be secured.
【0046】[実施の形態3の変形例1]図6において
示したタイミング設定回路400中の遅延回路DL1お
よびDL2を、図4に示したタイミング調整回路200
とすることが可能である。[Modification 1 of Third Embodiment] Delay circuits DL1 and DL2 in timing setting circuit 400 shown in FIG. 6 are replaced with timing adjustment circuit 200 shown in FIG.
It is possible.
【0047】この場合、各動作モードにおいて、タイミ
ングの微調整がウエハ工程中で可能となり、読み出しマ
ージンを調整することが可能となる。したがって、各動
作モードに対する歩留まりを向上させることが可能とな
る。In this case, in each operation mode, fine adjustment of the timing becomes possible during the wafer process, and the read margin can be adjusted. Therefore, the yield for each operation mode can be improved.
【0048】[実施の形態3の変形例2]図6において
示したタイミング設定回路400中の遅延回路DL1お
よびDL2を、図5に示したタイミング調整回路200
とすることが可能である。[Modification 2 of Third Embodiment] Delay circuits DL1 and DL2 in timing setting circuit 400 shown in FIG. 6 are replaced with timing adjustment circuit 200 shown in FIG.
It is possible.
【0049】この場合、各動作モードにおいて、タイミ
ングの微調整がモールド工程完了後で可能となり、読み
出しマージンを調整することが可能となる。したがっ
て、各動作モードに対する歩留まりを向上させることが
可能となる。In this case, in each operation mode, the timing can be finely adjusted after the completion of the molding process, and the read margin can be adjusted. Therefore, the yield for each operation mode can be improved.
【0050】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。The embodiments disclosed this time are to be considered in all respects as illustrative and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
【0051】[0051]
【発明の効果】請求項1,2記載の半導体記憶装置は、
各動作モードにおいて、タイミングの微調整が製造後で
可能となり、読み出しマージンを調整することが可能と
なる。したがって、各動作モードに対する歩留まりを向
上させることが可能となる。According to the semiconductor memory device according to the first and second aspects,
In each operation mode, fine adjustment of the timing becomes possible after manufacturing, and the read margin can be adjusted. Therefore, the yield for each operation mode can be improved.
【0052】請求項3,4記載の半導体記憶装置は、半
導体記憶装置の製造後においても、ヒューズ素子の切断
によりセンスアンプ活性化信号の活性化タイミングを調
整することができ、メモリセルの読み出しマージンを向
上させることが可能となる。さらに、読み出しマージン
不足により不良となったメモリセルを救済することが可
能となる。In the semiconductor memory device according to the third and fourth aspects, the activation timing of the sense amplifier activation signal can be adjusted by cutting the fuse element even after the semiconductor memory device is manufactured, and the read margin of the memory cell can be adjusted. Can be improved. Further, it becomes possible to relieve a memory cell that has become defective due to a shortage of a read margin.
【図1】 本発明の実施の形態1の半導体記憶装置10
00の構成を示す概略ブロック図である。FIG. 1 shows a semiconductor memory device 10 according to a first embodiment of the present invention.
It is a schematic block diagram which shows the structure of 00.
【図2】 図1に示すセンスアンプ部の構成を示す図で
ある。FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of a sense amplifier unit illustrated in FIG. 1;
【図3】 ワード線WLの活性化タイミングとセンスア
ンプ活性化信号の活性化タイミングとの関係を示すタイ
ミングチャートである。FIG. 3 is a timing chart showing the relationship between the activation timing of a word line WL and the activation timing of a sense amplifier activation signal.
【図4】 センス活性化回路35に含まれるタイミング
調整回路200の構成を示す回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram showing a configuration of a timing adjustment circuit included in a sense activation circuit.
【図5】 実施の形態2のタイミング調整回路300の
構成を示す回路図である。FIG. 5 is a circuit diagram showing a configuration of a timing adjustment circuit 300 according to the second embodiment.
【図6】 タイミング設定回路400の構成を示す回路
図である。FIG. 6 is a circuit diagram showing a configuration of a timing setting circuit 400.
1,2,4,6 制御信号入力端子、8 アドレス信号
入力端子群、9 データ入出力端子群、10 電源入力
端子、12 接地電位入力端子、18 ゲート回路、2
2 コントロール回路、24 行およびアドレスバッフ
ァ、26 行プリデコーダ、28 列プリデコーダ、4
0 センスアンプ+入出力制御回路、42 メモリセル
アレイ、44 データ入出力バッファ、60 モードレ
ジスタセット、100 列デコーダ、200,300
タイミング調整回路、400 タイミング設定回路、1
000 半導体集積回路装置。1, 2, 4, 6 control signal input terminal, 8 address signal input terminal group, 9 data input / output terminal group, 10 power supply input terminal, 12 ground potential input terminal, 18 gate circuit, 2
2 control circuit, 24 rows and address buffer, 26 rows predecoder, 28 columns predecoder, 4
0 sense amplifier + input / output control circuit, 42 memory cell array, 44 data input / output buffer, 60 mode register set, 100 column decoder, 200, 300
Timing adjustment circuit, 400 timing setting circuit, 1
000 Semiconductor integrated circuit device.
Claims (4)
ルアレイと、 外部から与えられる制御信号に応じて、読出しコマンド
からデータ出力までの遅延期間を、複数の所定期間のう
ちのいずれかに選択的に設定するためのモード設定手段
と、 前記メモリセルアレイの行に対応して設けられる複数の
ワード線と、 前記メモリセルアレイの列に対応して設けられる複数の
ビット線と、 アドレス信号に応じて、前記ワード線を選択的に活性化
する行選択手段と、 前記活性化されたワード線に接続するメモリセルから前
記ビット線を介して読み出されるデータを増幅するため
の複数のセンスアンプと、 いずれの前記所定期間が選択されるかに応じて、前記ワ
ード線の活性化から前記センスアンプの活性化までのタ
イミングを変更する制御回路とを備える、半導体記憶装
置。1. A semiconductor memory device, comprising: a memory cell array having a plurality of memory cells arranged in a matrix; and a plurality of delay periods from a read command to a data output according to a control signal supplied from outside. Mode setting means for selectively setting any one of the predetermined periods, a plurality of word lines provided corresponding to a row of the memory cell array, and a plurality of word lines provided corresponding to a column of the memory cell array. A row selection means for selectively activating the word line according to an address signal; and amplifying data read from the memory cell connected to the activated word line via the bit line. A plurality of sense amplifiers for activating the word lines and activating the sense amplifiers depending on which of the predetermined periods is selected. And a control circuit for changing the timing in a semiconductor memory device.
指示するセンスアンプ活性化信号を生成するタイミング
設定手段を含み、 前記タイミング設定手段は、 前記複数の所定時間にそれぞれ対応して設けられ、前記
センスアンプ活性化信号の出力タイミングを調整する複
数の遅延回路と、 いずれの前記所定期間が選択されるかに応じて、前記複
数の遅延回路のうちの対応する遅延回路を選択的に動作
させる選択手段とを有する、請求項1記載の半導体記憶
装置。2. The control circuit further comprises: timing setting means for generating a sense amplifier activating signal for instructing activation of the sense amplifier after activating the word line, wherein the timing setting means comprises: A plurality of delay circuits which are provided corresponding to time and adjust the output timing of the sense amplifier activating signal; and a plurality of delay circuits corresponding to the predetermined period are selected. 2. The semiconductor memory device according to claim 1, further comprising: a selection unit that selectively operates a delay circuit that performs the operation.
ためのヒューズ素子を含み、 前記ヒューズ素子は、レーザブローにより切断可能な、
請求項2記載の半導体記憶装置。3. Each of the delay circuits includes a fuse element for changing a delay time, wherein the fuse element can be cut by a laser blow.
The semiconductor memory device according to claim 2.
ためのヒューズ素子を含み、 前記ヒューズ素子は、外部からの電圧印加により切断可
能な、請求項2記載の半導体記憶装置。4. The semiconductor memory device according to claim 2, wherein each of said delay circuits includes a fuse element for changing a delay time, and said fuse element can be cut off by applying a voltage from outside.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2000256848A JP2002074961A (en) | 2000-08-28 | 2000-08-28 | Semiconductor storage device |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7038957B2 (en) | 2004-05-06 | 2006-05-02 | Hynix Semiconductor, Inc. | Semiconductor memory device for testifying over-driving quantity depending on position |
| JP2007141383A (en) * | 2005-11-18 | 2007-06-07 | Elpida Memory Inc | Semiconductor memory apparatus |
| KR100746229B1 (en) | 2006-07-07 | 2007-08-03 | 삼성전자주식회사 | Semiconductor memory device |
| US7298667B2 (en) | 2002-07-10 | 2007-11-20 | Samsung Electronic Co., Ltd. | Latency control circuit and method of latency control |
| JP2008226389A (en) * | 2007-03-15 | 2008-09-25 | Elpida Memory Inc | Semiconductor storage device |
| US7577047B2 (en) | 2006-09-05 | 2009-08-18 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor memory device |
-
2000
- 2000-08-28 JP JP2000256848A patent/JP2002074961A/en not_active Withdrawn
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