JP2002062588A - 平滑化光学素子および照明光学系 - Google Patents
平滑化光学素子および照明光学系Info
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- Microscoopes, Condenser (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 入射光束を側面で反射することにより出射光
束の強度分布を平滑化する柱状の平滑化素子において、
出射端面のエッジの欠けや出射端面上の異物が影を形成
するのを防止し、また、出射光束のF数を入射光束のF
数よりも大きくする。 【解決手段】 平滑化素子をガラス製の充填部とこれに
連なる筒状の中空部で構成し、光束を充填部の側面で全
反射するとともに中空部の内側の側面でも反射するよう
にする。充填部の端面を入射端面、中空部の端面を出射
端面とすることで、出射端面に欠けが生じたり異物が付
着したりする可能性を皆無にする。また、反射角を入射
角よりも大きくする微細構造を側面に設けることで、出
射光束のF数を大きくする。
束の強度分布を平滑化する柱状の平滑化素子において、
出射端面のエッジの欠けや出射端面上の異物が影を形成
するのを防止し、また、出射光束のF数を入射光束のF
数よりも大きくする。 【解決手段】 平滑化素子をガラス製の充填部とこれに
連なる筒状の中空部で構成し、光束を充填部の側面で全
反射するとともに中空部の内側の側面でも反射するよう
にする。充填部の端面を入射端面、中空部の端面を出射
端面とすることで、出射端面に欠けが生じたり異物が付
着したりする可能性を皆無にする。また、反射角を入射
角よりも大きくする微細構造を側面に設けることで、出
射光束のF数を大きくする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光束の強度分布を
平滑化する平滑化光学素子、および平滑化光学素子を備
えた照明光学系に関する。
平滑化する平滑化光学素子、および平滑化光学素子を備
えた照明光学系に関する。
【0002】
【従来の技術】LCD(Liquid Crystal Display:液晶
表示器)、DMD(Digital Micromirror Device:デジ
タルマイクロミラー素子)等の表示素子に照明光を導
き、表示素子に表示した映像によって照明光を変調し
て、変調後の光を投射光学系で投射することによりスク
リーン上に映像を表示する投射型映像表示装置がある。
投射型映像表示装置では、明るさにむらのない映像を提
供するために、強度分布が均一な光束で表示素子を照明
する必要がある。ところが、一般に、光源から射出され
る光束の強度は、中央部で高く周辺部で低くなり、均一
な分布にはならない。このため、照明光を表示素子に供
給する照明光学系には、光源からの光束の強度分布を平
滑化(均一化)するための平滑化光学系が備えられる。
表示器)、DMD(Digital Micromirror Device:デジ
タルマイクロミラー素子)等の表示素子に照明光を導
き、表示素子に表示した映像によって照明光を変調し
て、変調後の光を投射光学系で投射することによりスク
リーン上に映像を表示する投射型映像表示装置がある。
投射型映像表示装置では、明るさにむらのない映像を提
供するために、強度分布が均一な光束で表示素子を照明
する必要がある。ところが、一般に、光源から射出され
る光束の強度は、中央部で高く周辺部で低くなり、均一
な分布にはならない。このため、照明光を表示素子に供
給する照明光学系には、光源からの光束の強度分布を平
滑化(均一化)するための平滑化光学系が備えられる。
【0003】平滑化光学系にはいくつかの方式がある
が、インテグレータロッドと呼ばれるものが最も簡素な
構成であり、多用されている。インテグレータロッドは
透明な角柱状の素子で、一端面(入射端面)に収束光を
与えられ、入射した光束を側面で全反射して他端面(出
射端面)に導いて、発散光として出射させる。側面での
全反射の回数は入射端面への入射角に応じて異なり、出
射端面上のどの部位にも様々な反射回数の光が到来す
る。すなわち、出射端面では入射前の光束の中央部の光
と周辺部の光が混じり合うことになり、これにより光束
の強度分布が均一になる。
が、インテグレータロッドと呼ばれるものが最も簡素な
構成であり、多用されている。インテグレータロッドは
透明な角柱状の素子で、一端面(入射端面)に収束光を
与えられ、入射した光束を側面で全反射して他端面(出
射端面)に導いて、発散光として出射させる。側面での
全反射の回数は入射端面への入射角に応じて異なり、出
射端面上のどの部位にも様々な反射回数の光が到来す
る。すなわち、出射端面では入射前の光束の中央部の光
と周辺部の光が混じり合うことになり、これにより光束
の強度分布が均一になる。
【0004】出射端面より出射する光束に含まれる光が
インテグレータロッドの光軸(入射端面の中心と出射端
面の中心を結ぶ直線)に対して成す角は、入射前の各光
が光軸に対して成す角と等しい。したがって、出射端面
の同一点から出た光は光軸に対する角度の違いにより分
離することになり、出射端面上で均一になった強度分布
は出射端面から離れるほど不均一になってしまう。
インテグレータロッドの光軸(入射端面の中心と出射端
面の中心を結ぶ直線)に対して成す角は、入射前の各光
が光軸に対して成す角と等しい。したがって、出射端面
の同一点から出た光は光軸に対する角度の違いにより分
離することになり、出射端面上で均一になった強度分布
は出射端面から離れるほど不均一になってしまう。
【0005】そこで、インテグレータロッドは、出射端
面と表示素子とを共役な関係にして、出射端面から出た
光束を表示素子を含む平面上に結像させるリレー光学系
と組み合わせて使用される。出射端面の同一点から出た
光は、光軸に対する角度にかかわらず、表示素子の同一
点に入射することになり、これにより表示素子上でも光
束の強度分布は均一になる。
面と表示素子とを共役な関係にして、出射端面から出た
光束を表示素子を含む平面上に結像させるリレー光学系
と組み合わせて使用される。出射端面の同一点から出た
光は、光軸に対する角度にかかわらず、表示素子の同一
点に入射することになり、これにより表示素子上でも光
束の強度分布は均一になる。
【0006】明るい映像を表示するために、インテグレ
ータロッドには強度の高い光束が与えられる。このた
め、インテグレータロッドは耐熱性に優れたガラスで作
製される。ところが、このようなガラスは機械的衝撃に
弱いため、インテグレータロッドのエッジには欠けが生
じ易い。出射端面のエッジに欠けが生じると、出射端面
と表示素子が共役な位置関係にあるため、その欠けが表
示素子上で明確な影を形成してしまう。この影は投射さ
れたスクリーン上でも明確な影となって現れることにな
る。
ータロッドには強度の高い光束が与えられる。このた
め、インテグレータロッドは耐熱性に優れたガラスで作
製される。ところが、このようなガラスは機械的衝撃に
弱いため、インテグレータロッドのエッジには欠けが生
じ易い。出射端面のエッジに欠けが生じると、出射端面
と表示素子が共役な位置関係にあるため、その欠けが表
示素子上で明確な影を形成してしまう。この影は投射さ
れたスクリーン上でも明確な影となって現れることにな
る。
【0007】この不都合を解消する方法として提案され
ている構成を図10に示す。図10において、71はイ
ンテグレータロッド、72は光源である。光源72は、
ランプ72aとリフレクタ72bより成る。リフレクタ
72bは回転楕円面鏡であり、その第1焦点にランプ7
2aが配置されている。インテグレータロッド71は、
その入射端面71aがリフレクタ72bの第2焦点上に
位置するように配置されており、光源72からの収束光
を与えられる。
ている構成を図10に示す。図10において、71はイ
ンテグレータロッド、72は光源である。光源72は、
ランプ72aとリフレクタ72bより成る。リフレクタ
72bは回転楕円面鏡であり、その第1焦点にランプ7
2aが配置されている。インテグレータロッド71は、
その入射端面71aがリフレクタ72bの第2焦点上に
位置するように配置されており、光源72からの収束光
を与えられる。
【0008】出射端面71bには出射端面71bよりも
小さい開口を有するマスク73が備えられており、出射
端面71bから出る光束のうち周辺部はマスク73によ
って遮られる。マスク73の開口の大きさは表示素子の
大きさに対応するように設定されており、マスク73を
通過した光束は表示素子の全面に結像する。したがっ
て、出射端面71bのエッジに欠けがあっても、表示素
子上に影を形成することはない。
小さい開口を有するマスク73が備えられており、出射
端面71bから出る光束のうち周辺部はマスク73によ
って遮られる。マスク73の開口の大きさは表示素子の
大きさに対応するように設定されており、マスク73を
通過した光束は表示素子の全面に結像する。したがっ
て、出射端面71bのエッジに欠けがあっても、表示素
子上に影を形成することはない。
【0009】LCD、DMD等の表示素子による照明光
の変調は、照明光のF数が大きいほど、すなわち照明光
が平行光線に近いほど、効率および精度がよい。また、
変調後の光束を投射するための投射光学系は、光束のF
数が大きいほど口径を小さくすることができる。このた
め、リレー光学系はF数の大きな光束を表示素子に導く
ように設定されており、リレー光学系が取り込み得る光
束のF数には実質的に下限が存在する。
の変調は、照明光のF数が大きいほど、すなわち照明光
が平行光線に近いほど、効率および精度がよい。また、
変調後の光束を投射するための投射光学系は、光束のF
数が大きいほど口径を小さくすることができる。このた
め、リレー光学系はF数の大きな光束を表示素子に導く
ように設定されており、リレー光学系が取り込み得る光
束のF数には実質的に下限が存在する。
【0010】表示素子を明るく照明するためには、イン
テグレータロッドからの光束を表示素子のみに導き、表
示素子の傍らを通過する部分がないようにしなければな
らない。したがって、リレー光学系には、表示素子の大
きさとインテグレータロッドの出射端面の大きさの比で
定まる倍率をもたせる必要がある。しかし、取り込み得
る光束のF数に下限があるため、リレー光学系の倍率を
あまり自由に設定することはできず、その結果、インテ
グレータロッドの出射端面の大きさには上限が生じる。
テグレータロッドからの光束を表示素子のみに導き、表
示素子の傍らを通過する部分がないようにしなければな
らない。したがって、リレー光学系には、表示素子の大
きさとインテグレータロッドの出射端面の大きさの比で
定まる倍率をもたせる必要がある。しかし、取り込み得
る光束のF数に下限があるため、リレー光学系の倍率を
あまり自由に設定することはできず、その結果、インテ
グレータロッドの出射端面の大きさには上限が生じる。
【0011】一方、インテグレータロッドから出射する
光束のF数は、インテグレータロッドに入射する前の光
束、つまり光源が射出する光束のF数に等しい。ところ
が、光源が射出する光束のF数を大きくすると、光束全
体をインテグレータロッドに入射させるためには、光源
からインテグレータロッドまでの距離を大きくする必要
が生じて、構成が大型化する。
光束のF数は、インテグレータロッドに入射する前の光
束、つまり光源が射出する光束のF数に等しい。ところ
が、光源が射出する光束のF数を大きくすると、光束全
体をインテグレータロッドに入射させるためには、光源
からインテグレータロッドまでの距離を大きくする必要
が生じて、構成が大型化する。
【0012】また、高出力の光源は、発光部が大きいた
め収束性能があまり高くなく、収束位置においても光束
径は大きい。したがって、明るい映像を表示するために
高出力の光源を使用すると、光源からの光束全体をイン
テグレータロッドに入射させることができなくなって光
量損失が生じてしまう。
め収束性能があまり高くなく、収束位置においても光束
径は大きい。したがって、明るい映像を表示するために
高出力の光源を使用すると、光源からの光束全体をイン
テグレータロッドに入射させることができなくなって光
量損失が生じてしまう。
【0013】出射端面の大きさに上限があるという制約
のもとで、光源からの光束をできるだけ多くインテグレ
ータロッドに入射させる方法として、図11に示すよう
に、インテグレータロッドを、入射端面側で幅が広く出
射端面側で幅の狭いテーパー状とすることが提案されて
いる。このようにすると、光源72をインテグレータロ
ッド71から大きく離間させなくてもF数の大きな光束
全体をインテグレータロッドに入射させることができる
し、収束性能の低い高出力の光源からの光束全体を入射
させることもできる。
のもとで、光源からの光束をできるだけ多くインテグレ
ータロッドに入射させる方法として、図11に示すよう
に、インテグレータロッドを、入射端面側で幅が広く出
射端面側で幅の狭いテーパー状とすることが提案されて
いる。このようにすると、光源72をインテグレータロ
ッド71から大きく離間させなくてもF数の大きな光束
全体をインテグレータロッドに入射させることができる
し、収束性能の低い高出力の光源からの光束全体を入射
させることもできる。
【0014】また、インテグレータロッドから出射する
光束のF数を光源からの光束のF数よりも大きくする方
法として、図12に示すように、インテグレータロッド
を、入射端面側で幅が狭く中央部で幅の広いテーパー部
を有する形状とすることが提案されている。この構成で
は、インテグレータロッド71に入射した光はテーパー
部の側面で全反射されるごとに光軸に対して平行に近づ
いていき、出射する光束のF数は大きくなる。
光束のF数を光源からの光束のF数よりも大きくする方
法として、図12に示すように、インテグレータロッド
を、入射端面側で幅が狭く中央部で幅の広いテーパー部
を有する形状とすることが提案されている。この構成で
は、インテグレータロッド71に入射した光はテーパー
部の側面で全反射されるごとに光軸に対して平行に近づ
いていき、出射する光束のF数は大きくなる。
【0015】明るい映像を表示するために、光源を2つ
備えることも提案されている。この構成を図13に示
す。2つの光源72はインテグレータロッド71の光軸
に関して対称に配置されており、いずれも光軸に対して
斜めの方向から光束をインテグレータロッド71に与え
る。
備えることも提案されている。この構成を図13に示
す。2つの光源72はインテグレータロッド71の光軸
に関して対称に配置されており、いずれも光軸に対して
斜めの方向から光束をインテグレータロッド71に与え
る。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】インテグレータロッド
の出射端面にマスクを備える図10の構成は、出射端面
のエッジの欠けが表示素子上に影を形成するのを防止す
ることができる。しかし、インテグレータロッドから出
射する光束の一部をマスクで遮るため、光量損失が生じ
ることは避けられない。しかも、出射端面では強度分布
が均一になっているため失われる光量は多く、明るい映
像を表示するために好ましい構成とはいえない。さら
に、エッジの欠けだけでなく、出射端面に付着した埃等
の異物も表示素子上に明確な影を形成するが、図10の
構成では異物の影を防止することはできない。
の出射端面にマスクを備える図10の構成は、出射端面
のエッジの欠けが表示素子上に影を形成するのを防止す
ることができる。しかし、インテグレータロッドから出
射する光束の一部をマスクで遮るため、光量損失が生じ
ることは避けられない。しかも、出射端面では強度分布
が均一になっているため失われる光量は多く、明るい映
像を表示するために好ましい構成とはいえない。さら
に、エッジの欠けだけでなく、出射端面に付着した埃等
の異物も表示素子上に明確な影を形成するが、図10の
構成では異物の影を防止することはできない。
【0017】インテグレータロッドをテーパー状にした
図11の構成では、光源からの光束全体をインテグレー
タロッドに入射させることは可能である。しかし、光は
側面で反射させるごとに光軸に対する角度が大きくなっ
ていくから、出射する光束のF数は光源からの光束のF
数よりも小さくなり、リレー光学系に取り込まれない光
が生じる。このため、明るい映像を表示する効果は少な
い。
図11の構成では、光源からの光束全体をインテグレー
タロッドに入射させることは可能である。しかし、光は
側面で反射させるごとに光軸に対する角度が大きくなっ
ていくから、出射する光束のF数は光源からの光束のF
数よりも小さくなり、リレー光学系に取り込まれない光
が生じる。このため、明るい映像を表示する効果は少な
い。
【0018】図12のテーパー部を有するインテグレー
タロッドでは、出射する光束のF数を光源からの光束の
F数よりも大きくすることは可能であるものの、入射端
面が小さくなるため、光源の収束性能がよくないと光量
損失が生じる。すなわち、入射端面からではなくテーパ
ー部の側面から入射する光が生じ、この光は入射時の屈
折により光軸に対する角度が大きくなって、出射後はリ
レー光学系に取り込まれなくなる。したがって、明るい
映像を表示するために高出力の光源を使用しても、その
性能を十分に生かすことができなくなる。
タロッドでは、出射する光束のF数を光源からの光束の
F数よりも大きくすることは可能であるものの、入射端
面が小さくなるため、光源の収束性能がよくないと光量
損失が生じる。すなわち、入射端面からではなくテーパ
ー部の側面から入射する光が生じ、この光は入射時の屈
折により光軸に対する角度が大きくなって、出射後はリ
レー光学系に取り込まれなくなる。したがって、明るい
映像を表示するために高出力の光源を使用しても、その
性能を十分に生かすことができなくなる。
【0019】図13のように、光源を2つ備える構成
は、明るい映像を表示するのに有効である。しかし、各
光源はインテグレータロッドの光軸に対して斜めの方向
から光束を与えるため、出射する光束のF数が光源の離
間方向について小さくなり、リレー光学系に取り込まれ
ない光が生じる。このため、光源を1つ備える構成の2
倍の明るさの映像を表示することはできない。
は、明るい映像を表示するのに有効である。しかし、各
光源はインテグレータロッドの光軸に対して斜めの方向
から光束を与えるため、出射する光束のF数が光源の離
間方向について小さくなり、リレー光学系に取り込まれ
ない光が生じる。このため、光源を1つ備える構成の2
倍の明るさの映像を表示することはできない。
【0020】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたもので、出射端面のエッジの欠けや出射端面に付着
した異物の影響のない平滑化素子、および出射後の光束
のF数を入射前の光束のF数よりも大きくし得る平滑化
素子を提供することを目的とする。また、照明対象面に
影を形成することのない照明光学系、および光量損失の
少ない照明光学系を提供することを目的とする。
れたもので、出射端面のエッジの欠けや出射端面に付着
した異物の影響のない平滑化素子、および出射後の光束
のF数を入射前の光束のF数よりも大きくし得る平滑化
素子を提供することを目的とする。また、照明対象面に
影を形成することのない照明光学系、および光量損失の
少ない照明光学系を提供することを目的とする。
【0021】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、柱状の外形を有し、一端面より入射す
る光束を側面で反射して他端面に導き、強度分布が平滑
化した光束として出射させる平滑化素子を、透光性の材
料で充たされ、側面で光を全反射する柱状の充填部と、
充填部に連なり、内側を向いた側面で光を反射する筒状
の中空部とで構成する。
に、本発明では、柱状の外形を有し、一端面より入射す
る光束を側面で反射して他端面に導き、強度分布が平滑
化した光束として出射させる平滑化素子を、透光性の材
料で充たされ、側面で光を全反射する柱状の充填部と、
充填部に連なり、内側を向いた側面で光を反射する筒状
の中空部とで構成する。
【0022】この平滑化素子は、従来のインテグレータ
ロッドと同様の充填部に、中空部を付加した構成であ
る。この平滑化素子は、光束を充填部側から入射させて
中空部側から出射させる形態で使用することができる。
この使用形態では、中空部の縁で囲まれた空気の範囲が
平滑化素子の出射端面となり、ここに異物が付着するこ
とはないし、そのエッジに欠けが生じることもない。し
たがって、出射端面から出射する光束を結像させるリレ
ー光学系と組み合わせても、結像面上に異物や欠けの影
が生じるおそれがない。逆に、光束を中空部側から入射
させて充填部側から出射させる形態で使用してもよい。
ロッドと同様の充填部に、中空部を付加した構成であ
る。この平滑化素子は、光束を充填部側から入射させて
中空部側から出射させる形態で使用することができる。
この使用形態では、中空部の縁で囲まれた空気の範囲が
平滑化素子の出射端面となり、ここに異物が付着するこ
とはないし、そのエッジに欠けが生じることもない。し
たがって、出射端面から出射する光束を結像させるリレ
ー光学系と組み合わせても、結像面上に異物や欠けの影
が生じるおそれがない。逆に、光束を中空部側から入射
させて充填部側から出射させる形態で使用してもよい。
【0023】本発明では、また、柱状の外形を有し、一
端面より入射する光束を側面で反射して他端面に導き、
強度分布が平滑化した光束として出射させる平滑化素子
において、側面の少なくとも一部が、反射角を入射角よ
りも大きくする微細構造を有するものとする。
端面より入射する光束を側面で反射して他端面に導き、
強度分布が平滑化した光束として出射させる平滑化素子
において、側面の少なくとも一部が、反射角を入射角よ
りも大きくする微細構造を有するものとする。
【0024】光は微細構造を有する側面で反射されるご
とに、平滑化素子の光軸に対して平行に近づいていく。
したがって、テーパー状の外形とすることなく、出射す
る光束のF数を入射する光束のF数よりも大きくするこ
とができる。
とに、平滑化素子の光軸に対して平行に近づいていく。
したがって、テーパー状の外形とすることなく、出射す
る光束のF数を入射する光束のF数よりも大きくするこ
とができる。
【0025】前記目的を達成するために、本発明ではま
た、充填部と中空部とを備える上記の平滑化素子と、平
滑化素子の一端面近傍を収束位置とする光束を平滑化素
子に与える光源と、平滑化素子の他端面から出射する光
束を平面上に結像させるリレー光学系とで照明光学系を
構成する。平滑化素子は充填部が光源側に位置するよう
に配置することも、中空部が光源側に位置するように配
置することもできる。
た、充填部と中空部とを備える上記の平滑化素子と、平
滑化素子の一端面近傍を収束位置とする光束を平滑化素
子に与える光源と、平滑化素子の他端面から出射する光
束を平面上に結像させるリレー光学系とで照明光学系を
構成する。平滑化素子は充填部が光源側に位置するよう
に配置することも、中空部が光源側に位置するように配
置することもできる。
【0026】充填部が光源側に、中空部がリレー光学系
側に位置するように平滑化素子を配置すると、光束を充
填部側から平滑化素子に入射させて中空部側から出射さ
せる形態となり、照明対象面である平面に平滑化素子の
出射端面のエッジの欠けや異物の影のない照明光を導く
ことができる。
側に位置するように平滑化素子を配置すると、光束を充
填部側から平滑化素子に入射させて中空部側から出射さ
せる形態となり、照明対象面である平面に平滑化素子の
出射端面のエッジの欠けや異物の影のない照明光を導く
ことができる。
【0027】この配置では、平滑化素子の全長をL0、
平滑化素子の中空部の長さをL1、平滑化素子の充填部
の幅をd、平滑化素子の充填部の屈折率をn、光源が平
滑化素子に与える光束のF数をF1で表すとき、式1〜
式3の関係を満たすようにするとよい。 d・(4・n2・F12−1)1/2≦L0≦10・d・(4・n2・F12−1)1/2 …式1 (1/4)・d・(4・n2・F12−1)1/2≦L1≦(1/2)・L0 …式2 0.8≦F1≦2.0 …式3
平滑化素子の中空部の長さをL1、平滑化素子の充填部
の幅をd、平滑化素子の充填部の屈折率をn、光源が平
滑化素子に与える光束のF数をF1で表すとき、式1〜
式3の関係を満たすようにするとよい。 d・(4・n2・F12−1)1/2≦L0≦10・d・(4・n2・F12−1)1/2 …式1 (1/4)・d・(4・n2・F12−1)1/2≦L1≦(1/2)・L0 …式2 0.8≦F1≦2.0 …式3
【0028】式1は、光源からの光束の最外部の光が、
平滑化素子の側面で1回以上かつ10回以下反射される
ことを保証する。式2は、中空部がある程度以上の長さ
を有するが、平滑化素子の全長の半分以下であることを
規定する。式3は、一般的な光源からの光束のF数の範
囲を示す。これらの式を満たすことで、光束の強度分布
の平滑化と照明対象面に影を生じさせないことを実現し
つつ、中空部の側面での不完全な反射による光量損失を
抑えることができる。
平滑化素子の側面で1回以上かつ10回以下反射される
ことを保証する。式2は、中空部がある程度以上の長さ
を有するが、平滑化素子の全長の半分以下であることを
規定する。式3は、一般的な光源からの光束のF数の範
囲を示す。これらの式を満たすことで、光束の強度分布
の平滑化と照明対象面に影を生じさせないことを実現し
つつ、中空部の側面での不完全な反射による光量損失を
抑えることができる。
【0029】平滑化素子の側面の少なくとも一部が、反
射角を入射角よりも大きくする微細構造を有する構成と
するとよい。光源からの光束のF数が小さくても、平滑
化素子を出射した光束のF数を大きくすることができ
て、光束全体をリレー光学系に取り込ませることが容易
になる。反射角を入射角よりも大きくする微細構造とし
ては、例えば回折格子がある。
射角を入射角よりも大きくする微細構造を有する構成と
するとよい。光源からの光束のF数が小さくても、平滑
化素子を出射した光束のF数を大きくすることができ
て、光束全体をリレー光学系に取り込ませることが容易
になる。反射角を入射角よりも大きくする微細構造とし
ては、例えば回折格子がある。
【0030】平滑化素子の微細構造を有する側面は、充
填部の側面であってもよいし、中空部の側面であっても
よい。
填部の側面であってもよいし、中空部の側面であっても
よい。
【0031】前記目的を達成するために、本発明ではさ
らに、側面の少なくとも一部が反射角を入射角よりも大
きくする微細構造を有する前述の平滑化素子と、平滑化
素子の一端面近傍を収束位置とする光束を平滑化素子に
与える光源と、平滑化素子の他端面から出射する光束を
平面上に結像させるリレー光学系とで照明光学系を構成
する。
らに、側面の少なくとも一部が反射角を入射角よりも大
きくする微細構造を有する前述の平滑化素子と、平滑化
素子の一端面近傍を収束位置とする光束を平滑化素子に
与える光源と、平滑化素子の他端面から出射する光束を
平面上に結像させるリレー光学系とで照明光学系を構成
する。
【0032】この照明光学系では、平滑化素子から出射
する光束のF数を光源からの光束のF数よりも大きくす
ることができて、光束全体をリレー光学系に取り込ませ
ることが容易になる。また、リレー光学系の倍率を高め
て、平滑化素子の出射端面と入射端面とを大きくするこ
とが可能になり、光源として収束性能の低い高出力のも
のを使用しても、その光源からの光束全体を容易に平滑
化素子に入射させることができる。
する光束のF数を光源からの光束のF数よりも大きくす
ることができて、光束全体をリレー光学系に取り込ませ
ることが容易になる。また、リレー光学系の倍率を高め
て、平滑化素子の出射端面と入射端面とを大きくするこ
とが可能になり、光源として収束性能の低い高出力のも
のを使用しても、その光源からの光束全体を容易に平滑
化素子に入射させることができる。
【0033】ここで、平滑化素子の全長をL0、平滑化
素子の側面の微細構造を有する部位の長さをL2、平滑
化素子の幅をd、平滑化素子の屈折率をn、光源が平滑
化素子に与える光束のF数をF1、リレー光学系が取り
込み得る光束の最小のF数をF2で表すとき、式4〜式
6の関係を満たすようにするとよい。 d・(4・n2・F22−1)1/2≦L0≦10・d・(4・n2・F22−1)1/2 …式4 (1/4)・d・(4・n2・F12−1)1/2≦L2≦L0 …式5 0.8≦F2≦2.0 …式6
素子の側面の微細構造を有する部位の長さをL2、平滑
化素子の幅をd、平滑化素子の屈折率をn、光源が平滑
化素子に与える光束のF数をF1、リレー光学系が取り
込み得る光束の最小のF数をF2で表すとき、式4〜式
6の関係を満たすようにするとよい。 d・(4・n2・F22−1)1/2≦L0≦10・d・(4・n2・F22−1)1/2 …式4 (1/4)・d・(4・n2・F12−1)1/2≦L2≦L0 …式5 0.8≦F2≦2.0 …式6
【0034】式4は、リレー光学系が取り込む光束の最
外部の光が、平滑化素子の側面で1回以上かつ10回以
下反射されたものであることを保証する。式5は、側面
の微細構造を有する部位の長さが、光源からの光束の最
外部の光を1回反射する長さの1/4以上であることを
規定する。また、式6は一般的なリレー光学系が取り込
み得る光束のF数の範囲を示す。これらの式を満たすこ
とで、光束の強度分布を平滑化しつつ、光束全体をリレ
ー光学系に入射させることを実現することができる。
外部の光が、平滑化素子の側面で1回以上かつ10回以
下反射されたものであることを保証する。式5は、側面
の微細構造を有する部位の長さが、光源からの光束の最
外部の光を1回反射する長さの1/4以上であることを
規定する。また、式6は一般的なリレー光学系が取り込
み得る光束のF数の範囲を示す。これらの式を満たすこ
とで、光束の強度分布を平滑化しつつ、光束全体をリレ
ー光学系に入射させることを実現することができる。
【0035】平滑化素子の側面が反射角を入射角よりも
大きくする微細構造を有する照明光学系では、光源を2
つ以上備えて、各光源が平滑化素子の一端面の中心と他
端面の中心を結ぶ直線に対して斜めの方向から、平滑化
素子に光束を与える構成としてもよい。光源が平滑化素
子の光軸に対して斜め方向から光束を与えると、そのF
数は小さくなるが、平滑化素子は微細構造によりF数を
大きくすることができるから、光束全体をリレー光学系
に取り込ませることが可能である。
大きくする微細構造を有する照明光学系では、光源を2
つ以上備えて、各光源が平滑化素子の一端面の中心と他
端面の中心を結ぶ直線に対して斜めの方向から、平滑化
素子に光束を与える構成としてもよい。光源が平滑化素
子の光軸に対して斜め方向から光束を与えると、そのF
数は小さくなるが、平滑化素子は微細構造によりF数を
大きくすることができるから、光束全体をリレー光学系
に取り込ませることが可能である。
【0036】この場合、平滑化素子の側面には、平滑化
素子の一端面の中心と他端面の中心を結ぶ直線と光源と
を含む平面に対して垂直な平面が含まれており、この平
面のみが微細構造を有する構成としてもよい。F数の小
さい方向だけに微細構造を設けることになり、平滑化素
子の作製が容易になる。
素子の一端面の中心と他端面の中心を結ぶ直線と光源と
を含む平面に対して垂直な平面が含まれており、この平
面のみが微細構造を有する構成としてもよい。F数の小
さい方向だけに微細構造を設けることになり、平滑化素
子の作製が容易になる。
【0037】また、少なくとも1対の光源が、平滑化素
子の一端面の中心と他端面の中心を結ぶ直線に関して互
いに逆の方向から、平滑化素子に光束を与える構成とす
ることもできる。すなわち、対を成す光源を、平滑化素
子の光軸を含む平面上に、かつ光軸に関して反対側に配
置することができる。
子の一端面の中心と他端面の中心を結ぶ直線に関して互
いに逆の方向から、平滑化素子に光束を与える構成とす
ることもできる。すなわち、対を成す光源を、平滑化素
子の光軸を含む平面上に、かつ光軸に関して反対側に配
置することができる。
【0038】
【発明の実施の形態】以下、本発明の平滑化光学素子お
よび照明光学系の実施形態について、図面を参照しなが
ら説明する。第1の実施形態の照明光学系1の要部を図
1に示す。照明光学系1は、平滑化素子11、光源1
2、およびリレー光学系(不図示)を備えている。光源
12は、ランプ12aとリフレクタ12bより成る。リ
フレクタ12bは回転楕円面鏡であり、その第1焦点に
ランプ12aが配置されている。
よび照明光学系の実施形態について、図面を参照しなが
ら説明する。第1の実施形態の照明光学系1の要部を図
1に示す。照明光学系1は、平滑化素子11、光源1
2、およびリレー光学系(不図示)を備えている。光源
12は、ランプ12aとリフレクタ12bより成る。リ
フレクタ12bは回転楕円面鏡であり、その第1焦点に
ランプ12aが配置されている。
【0039】平滑化素子11は、断面が長方形の四角柱
状であり、充填部11fと中空部11eより成る。充填
部11fは透明なガラス製であり、ガラス材料で充たさ
れている。中空部11eもガラス製であるが、内部はガ
ラス材料で充たされておらず、筒状である。充填部11
fと中空部11eは連続しており、中空部11eの内側
の側面11c’は、充填部11fの側面11cの延長上
にある。中空部11eの側面11c’の全体には反射膜
が設けられている。
状であり、充填部11fと中空部11eより成る。充填
部11fは透明なガラス製であり、ガラス材料で充たさ
れている。中空部11eもガラス製であるが、内部はガ
ラス材料で充たされておらず、筒状である。充填部11
fと中空部11eは連続しており、中空部11eの内側
の側面11c’は、充填部11fの側面11cの延長上
にある。中空部11eの側面11c’の全体には反射膜
が設けられている。
【0040】充填部11fの2つの端面11a、11b
は側面11cに対して垂直である。端面11aの中心と
端面11bの中心を結ぶ直線を平滑化素子11の光軸A
xという。平滑化素子11は、光軸Axがリフレクタ1
2bの光軸(回転軸)に一致し、かつ、充填部11の端
面11aがリフレクタ12bの第2焦点上に位置するよ
うに配置されている。充填部11fの端面11aが平滑
化素子11の入射端面であり、中空部11eの端部の縁
で囲まれた空気のみが存在する面11dが平滑化素子1
1の出射端面である。
は側面11cに対して垂直である。端面11aの中心と
端面11bの中心を結ぶ直線を平滑化素子11の光軸A
xという。平滑化素子11は、光軸Axがリフレクタ1
2bの光軸(回転軸)に一致し、かつ、充填部11の端
面11aがリフレクタ12bの第2焦点上に位置するよ
うに配置されている。充填部11fの端面11aが平滑
化素子11の入射端面であり、中空部11eの端部の縁
で囲まれた空気のみが存在する面11dが平滑化素子1
1の出射端面である。
【0041】ランプ12aが発した光はリフレクタ12
bによって反射され、充填部11fの端面11aの中心
を収束位置とする収束光束となって、充填部11fに入
射する。端面11aより充填部11fに入射した光束に
含まれる光は、側面11cで全反射されながら端面11
bに達し、これを透過して中空部11eに入る。中空部
11eに入った光は、側面11c’で反射されながら中
空部11の端面11dに達し、平滑化素子11より発散
光束として出射する。
bによって反射され、充填部11fの端面11aの中心
を収束位置とする収束光束となって、充填部11fに入
射する。端面11aより充填部11fに入射した光束に
含まれる光は、側面11cで全反射されながら端面11
bに達し、これを透過して中空部11eに入る。中空部
11eに入った光は、側面11c’で反射されながら中
空部11の端面11dに達し、平滑化素子11より発散
光束として出射する。
【0042】端面11dのどの部位にも側面11c、1
1c’による反射の回数が異なる様々な光が達して、強
度分布が不均一であった光源12からの光束は、端面1
1d上では強度分布が平滑化された光束となる。端面1
1dより出射した光束は、不図示のリレー光学系によっ
て、端面11dと共役な平面上に結像させられる。この
平面が照明対象面であり、照明対象面は、端面11dと
相似形でリレー光学系の倍率に応じた大きさの範囲を均
一に照明されることになる。
1c’による反射の回数が異なる様々な光が達して、強
度分布が不均一であった光源12からの光束は、端面1
1d上では強度分布が平滑化された光束となる。端面1
1dより出射した光束は、不図示のリレー光学系によっ
て、端面11dと共役な平面上に結像させられる。この
平面が照明対象面であり、照明対象面は、端面11dと
相似形でリレー光学系の倍率に応じた大きさの範囲を均
一に照明されることになる。
【0043】充填部11fのエッジには欠けが生じ易い
が、たとえ端面11bのエッジに欠けがあったとして
も、端面11bは照明対象面と共役ではないから、照明
対象面に欠けの影は現れない。また、端面11bに埃等
の異物が付着しても、同じ理由で、照明対象面に異物の
影は現れない。出射端面11dには空気が存在するのみ
で、ここに異物が付着したり欠けが生じたりすることは
ないから、照明対象面に影が形成される可能性はない。
が、たとえ端面11bのエッジに欠けがあったとして
も、端面11bは照明対象面と共役ではないから、照明
対象面に欠けの影は現れない。また、端面11bに埃等
の異物が付着しても、同じ理由で、照明対象面に異物の
影は現れない。出射端面11dには空気が存在するのみ
で、ここに異物が付着したり欠けが生じたりすることは
ないから、照明対象面に影が形成される可能性はない。
【0044】平滑化素子11は、次の式1〜式3の関係
を満たすように設定するのが好ましい。 d・(4・n2・F12−1)1/2≦L0≦10・d・(4・n2・F12−1)1/2 …式1(再掲) (1/4)・d・(4・n2・F12−1)1/2≦L1≦(1/2)・L0 …式2(再掲) 0.8≦F1≦2.0 …式3(再掲)
を満たすように設定するのが好ましい。 d・(4・n2・F12−1)1/2≦L0≦10・d・(4・n2・F12−1)1/2 …式1(再掲) (1/4)・d・(4・n2・F12−1)1/2≦L1≦(1/2)・L0 …式2(再掲) 0.8≦F1≦2.0 …式3(再掲)
【0045】ここで、L0は充填部11fと中空部11
eを含む平滑化素子11の全長、L1は中空部11eの
長さ、dは充填部11fの幅(太さ)、nは充填部11
fの屈折率、F1は光源12が平滑化素子11に与える
光束のF数である。
eを含む平滑化素子11の全長、L1は中空部11eの
長さ、dは充填部11fの幅(太さ)、nは充填部11
fの屈折率、F1は光源12が平滑化素子11に与える
光束のF数である。
【0046】式1は平滑化素子11の全長を規定するも
のである。光源12からの光束の最外部の光が1回も反
射されないほど短ければ、平滑化素子11は強度分布を
平滑化する機能を発揮できない。d・(4・n2・F12−
1)1/2は、光源12からの光束の最外部の光が、端面
11aのエッジ付近に入射して、反対側の側面11cに
達するまでの光軸Ax方向の距離である。したがって、
左の不等号は、光源12からの光束の最外部の光が、端
面11aのどこに入射しても側面11c、11c’によ
って少なくとも1回反射されることを示す。これにより
平滑化機能が確保される。一方、最外部の光が10回も
反射されるほど長ければ、強度分布は十分に均一になる
から、平滑化素子11をそれ以上長くすることに意味は
ない。右の不等号は反射回数を10以下に抑えることを
示す。
のである。光源12からの光束の最外部の光が1回も反
射されないほど短ければ、平滑化素子11は強度分布を
平滑化する機能を発揮できない。d・(4・n2・F12−
1)1/2は、光源12からの光束の最外部の光が、端面
11aのエッジ付近に入射して、反対側の側面11cに
達するまでの光軸Ax方向の距離である。したがって、
左の不等号は、光源12からの光束の最外部の光が、端
面11aのどこに入射しても側面11c、11c’によ
って少なくとも1回反射されることを示す。これにより
平滑化機能が確保される。一方、最外部の光が10回も
反射されるほど長ければ、強度分布は十分に均一になる
から、平滑化素子11をそれ以上長くすることに意味は
ない。右の不等号は反射回数を10以下に抑えることを
示す。
【0047】式2は中空部11eの長さを規定する。中
空部11があまり短ければ、充填部11fの端面11b
が照明対象面と共役な位置に近くなり、エッジの欠けや
異物の影が照明対象面に現れ易くなる。中空部11eの
長さが、最外部の光が少なくとも1回反射される距離の
1/4以上であれば、そのような事態は生じない。左の
不等号はこれを下限として定めたものものである。中空
部11eの側面11c’に設けられている反射膜は、高
い反射率を有するように設定されているが、光を全反射
する充填部11fの側面11cほど反射率は高くない。
したがって、中空部11eが長くなるほど光量損失が大
きくなる。右側の不等式は、これを避けるために、中空
部11eの長さを平滑化素子11の全長の半分以下に制
限することを示す。
空部11があまり短ければ、充填部11fの端面11b
が照明対象面と共役な位置に近くなり、エッジの欠けや
異物の影が照明対象面に現れ易くなる。中空部11eの
長さが、最外部の光が少なくとも1回反射される距離の
1/4以上であれば、そのような事態は生じない。左の
不等号はこれを下限として定めたものものである。中空
部11eの側面11c’に設けられている反射膜は、高
い反射率を有するように設定されているが、光を全反射
する充填部11fの側面11cほど反射率は高くない。
したがって、中空部11eが長くなるほど光量損失が大
きくなる。右側の不等式は、これを避けるために、中空
部11eの長さを平滑化素子11の全長の半分以下に制
限することを示す。
【0048】式3は一般的な光源が射出する光束のF数
の範囲を示す。したがって、光源12として特殊なもの
を使用しない限り、平滑化素子11が式1〜式3の関係
を満たす照明光学系1は、強度分布を平滑化することと
照明対象面に影を形成しないことを両立させつつ、平滑
化素子11内での光量損失をきわめて低く抑えることが
できる。
の範囲を示す。したがって、光源12として特殊なもの
を使用しない限り、平滑化素子11が式1〜式3の関係
を満たす照明光学系1は、強度分布を平滑化することと
照明対象面に影を形成しないことを両立させつつ、平滑
化素子11内での光量損失をきわめて低く抑えることが
できる。
【0049】第2の実施形態の照明光学系2の要部を図
2に示す。この照明光学系2は、上記の照明光学系1の
平滑化素子11に代えて、平滑化素子21を備えたもの
である。平滑化素子21は、平滑化素子11と同様に充
填部21fと中空部21eより成るが、向きを逆にして
配置されており、中空部21eの端部の縁で囲まれた端
面21dがリフレクタ12bの第2焦点上に位置する。
また、中空部21eの側面21c’の全体には、反射膜
が設けられているだけでなく、反射角を入射角よりも大
きくする微細構造が形成されている。この微細構造は、
バイナリ型、ブレーズ型等の回折格子である。
2に示す。この照明光学系2は、上記の照明光学系1の
平滑化素子11に代えて、平滑化素子21を備えたもの
である。平滑化素子21は、平滑化素子11と同様に充
填部21fと中空部21eより成るが、向きを逆にして
配置されており、中空部21eの端部の縁で囲まれた端
面21dがリフレクタ12bの第2焦点上に位置する。
また、中空部21eの側面21c’の全体には、反射膜
が設けられているだけでなく、反射角を入射角よりも大
きくする微細構造が形成されている。この微細構造は、
バイナリ型、ブレーズ型等の回折格子である。
【0050】端面21dより中空部21eに入射した光
束に含まれる光は、側面21c’で反射され、その微細
構造によって、光軸Axに対して平行に近づけられる。
この光は端面21bから充填部21fに入射し、側面2
1cで全反射されて端面21aに達する。端面21a上
での光束の強度分布は平滑化される。側面21c’で反
射されたことにより、端面21aから出射する光束のF
数は、端面21dに入射する前の光束のF数よりも大き
くなっている。したがって、リレー光学系としては、照
明光学系1のリレー光学系よりも、取り込み得る最小の
F数が小さいものを使用することができる。
束に含まれる光は、側面21c’で反射され、その微細
構造によって、光軸Axに対して平行に近づけられる。
この光は端面21bから充填部21fに入射し、側面2
1cで全反射されて端面21aに達する。端面21a上
での光束の強度分布は平滑化される。側面21c’で反
射されたことにより、端面21aから出射する光束のF
数は、端面21dに入射する前の光束のF数よりも大き
くなっている。したがって、リレー光学系としては、照
明光学系1のリレー光学系よりも、取り込み得る最小の
F数が小さいものを使用することができる。
【0051】第3の実施形態の照明光学系3の要部を図
3に示す。この照明光学系3は、リレー光学系の倍率を
照明光学系2よりも高くするとともに、平滑化素子21
に代えて、充填部31fと中空部31eの幅を広くした
平滑化素子31を備えたものである。中空部31eの側
面31c’に反射角を入射角よりも大きくする微細構造
が形成されていることは同様である。
3に示す。この照明光学系3は、リレー光学系の倍率を
照明光学系2よりも高くするとともに、平滑化素子21
に代えて、充填部31fと中空部31eの幅を広くした
平滑化素子31を備えたものである。中空部31eの側
面31c’に反射角を入射角よりも大きくする微細構造
が形成されていることは同様である。
【0052】微細構造により端面31aから出射する光
束のF数を大きくすることができるため、照射対象面へ
の光束のF数を保ったままでリレー光学系の倍率を高く
することが可能になっている。その結果、平滑化素子3
1の幅を広くして、出射端面31aと共に入射端面31
dを大きくすることも可能になっている。
束のF数を大きくすることができるため、照射対象面へ
の光束のF数を保ったままでリレー光学系の倍率を高く
することが可能になっている。その結果、平滑化素子3
1の幅を広くして、出射端面31aと共に入射端面31
dを大きくすることも可能になっている。
【0053】入射端面31dの大きい平滑化素子31を
備える照明光学系3では、光源12として収束性能が低
く収束位置での光束径の大きい高出力のものを使用して
も、その光束全体を平滑化素子31に入射させることが
できる。したがって、広い範囲を明るく照明することが
可能である。
備える照明光学系3では、光源12として収束性能が低
く収束位置での光束径の大きい高出力のものを使用して
も、その光束全体を平滑化素子31に入射させることが
できる。したがって、広い範囲を明るく照明することが
可能である。
【0054】第4の実施形態の照明光学系4の要部を図
4に示す。この照明光学系4は、第2の実施形態の照明
光学系2に光源12を1つ追加したものである。図4に
おいて(a)、(b)は直交する2方向についての断面
図である。
4に示す。この照明光学系4は、第2の実施形態の照明
光学系2に光源12を1つ追加したものである。図4に
おいて(a)、(b)は直交する2方向についての断面
図である。
【0055】2つの光源12は同一の構成であり、平滑
化素子21の光軸Axに関して対象に配置されている。
したがって、光源12は光軸Axに対して斜めの方向か
ら、光束を平滑化素子21に与える。平滑化素子21
は、4つの側面11cのうち対向する1組が、光軸Ax
とランプ12aを含む平面に対して垂直になり、他の1
組が平行になるように配置されている。
化素子21の光軸Axに関して対象に配置されている。
したがって、光源12は光軸Axに対して斜めの方向か
ら、光束を平滑化素子21に与える。平滑化素子21
は、4つの側面11cのうち対向する1組が、光軸Ax
とランプ12aを含む平面に対して垂直になり、他の1
組が平行になるように配置されている。
【0056】この構成では、平滑化素子21に入射する
光源から光束のF数は、光源12の離間方向(図4のX
方向)について、これと直交する方向(図4のY方向)
の半分以下になる。しかし、中空部21eの側面21
c’に形成された微細構造によって出射する光束のF数
を大きくすることができるため、出射する光束の全体を
リレー光学系に取り込ませることが可能である。したが
って、光量損失はなく、光源12を2つ備えることの効
果が少しも減じることはない。
光源から光束のF数は、光源12の離間方向(図4のX
方向)について、これと直交する方向(図4のY方向)
の半分以下になる。しかし、中空部21eの側面21
c’に形成された微細構造によって出射する光束のF数
を大きくすることができるため、出射する光束の全体を
リレー光学系に取り込ませることが可能である。したが
って、光量損失はなく、光源12を2つ備えることの効
果が少しも減じることはない。
【0057】なお、この構成では、反射角を入射角より
も大きくする微細構造を、中空部21eの4つの側面2
1c’全てに設ける必要はなく、光源12からの光束の
F数が小さい方向(X方向)に対して垂直な側面のみに
設ければよい。そのようにすると、平滑化素子21の作
製が容易になる上、出射する光束のF数を直交する2方
向について同程度にすることができる。
も大きくする微細構造を、中空部21eの4つの側面2
1c’全てに設ける必要はなく、光源12からの光束の
F数が小さい方向(X方向)に対して垂直な側面のみに
設ければよい。そのようにすると、平滑化素子21の作
製が容易になる上、出射する光束のF数を直交する2方
向について同程度にすることができる。
【0058】第5の実施形態の照明光学系5の要部を図
5に示す。この照明光学系5は、照明光学系4に光源1
2をさらに2つ追加したものである。図5において
(a)、(b)は直交する2方向についての断面図であ
る。
5に示す。この照明光学系5は、照明光学系4に光源1
2をさらに2つ追加したものである。図5において
(a)、(b)は直交する2方向についての断面図であ
る。
【0059】追加した2つの光源12は他の2つの光源
12を平滑化素子21の光軸Axに関して90°回転し
た位置に配置されている。反射角を入射角よりも大きく
する微細構造は4つの側面21c’全てに設けられてい
る。照明光学系5においても、平滑化素子21から出射
する光束全体をリレー光学系に取り込ませることが可能
であり、光量損失はない。
12を平滑化素子21の光軸Axに関して90°回転し
た位置に配置されている。反射角を入射角よりも大きく
する微細構造は4つの側面21c’全てに設けられてい
る。照明光学系5においても、平滑化素子21から出射
する光束全体をリレー光学系に取り込ませることが可能
であり、光量損失はない。
【0060】第6の実施形態の照明光学系6の要部を図
6に示す。この照明光学系6は、第4の実施形態の照明
光学系4の平滑化素子21に代えて、別の平滑化素子4
1を備えたものである。平滑化素子41は、ガラス製の
充填部のみを有し、その側面41cの一部41pに反射
角を入射角よりも大きくする微細構造が形成されてい
る。微細構造が形成されているのは、光源12の離間方
向に対して垂直な2つの側面だけである。
6に示す。この照明光学系6は、第4の実施形態の照明
光学系4の平滑化素子21に代えて、別の平滑化素子4
1を備えたものである。平滑化素子41は、ガラス製の
充填部のみを有し、その側面41cの一部41pに反射
角を入射角よりも大きくする微細構造が形成されてい
る。微細構造が形成されているのは、光源12の離間方
向に対して垂直な2つの側面だけである。
【0061】照明光学系6も、微細構造によって平滑化
素子41から出射する光束のF数を大きくすることがで
きる。このため、出射する光束全体をリレー光学系に取
り込ませることが可能であり、光量損失はない。
素子41から出射する光束のF数を大きくすることがで
きる。このため、出射する光束全体をリレー光学系に取
り込ませることが可能であり、光量損失はない。
【0062】平滑化素子41は、次の式4〜式6の関係
を満たすように設定するのが好ましい。 d・(4・n2・F22−1)1/2≦L0≦10・d・(4・n2・F22−1)1/2 …式4(再掲) (1/4)・d・(4・n2・F12−1)1/2≦L2≦L0 …式5(再掲) 0.8≦F2≦2.0 …式6(再掲)
を満たすように設定するのが好ましい。 d・(4・n2・F22−1)1/2≦L0≦10・d・(4・n2・F22−1)1/2 …式4(再掲) (1/4)・d・(4・n2・F12−1)1/2≦L2≦L0 …式5(再掲) 0.8≦F2≦2.0 …式6(再掲)
【0063】ここで、L2は側面41cの微細構造を有
する部位41pの長さ、F2はリレー光学系が取り込み
得る光束の最小のF数である。また、L0、d、nはそ
れぞれ、前述のように、平滑化素子41の全長、幅、屈
折率である。なお、F1は2つの光源12が平滑化素子
41に与える光束全体のF数である。
する部位41pの長さ、F2はリレー光学系が取り込み
得る光束の最小のF数である。また、L0、d、nはそ
れぞれ、前述のように、平滑化素子41の全長、幅、屈
折率である。なお、F1は2つの光源12が平滑化素子
41に与える光束全体のF数である。
【0064】式4は、平滑化素子41の全長を規定する
ものであり、リレー光学系に取り込まれる光束の最外部
の光が側面41cで1回以上かつ10回以下反射された
ものであることを示す。式5は、側面41cの微細構造
を有する部位41pの長さが、光源12からの光束の最
外部の光を少なくとも1回反射する長さの1/4以上で
あることを規定する。また、式6は一般的なリレー光学
系が取り込み得る光束のF数の範囲を示す。これらの式
を満たすことで、光束の強度分布を平滑化しつつ、光束
全体をリレー光学系に取り込ませることを実現すること
ができる。
ものであり、リレー光学系に取り込まれる光束の最外部
の光が側面41cで1回以上かつ10回以下反射された
ものであることを示す。式5は、側面41cの微細構造
を有する部位41pの長さが、光源12からの光束の最
外部の光を少なくとも1回反射する長さの1/4以上で
あることを規定する。また、式6は一般的なリレー光学
系が取り込み得る光束のF数の範囲を示す。これらの式
を満たすことで、光束の強度分布を平滑化しつつ、光束
全体をリレー光学系に取り込ませることを実現すること
ができる。
【0065】なお、ここでは、入射端面41aに近い部
位に微細構造を設けているが、微細構造は、入射端面4
1aから出射端面41bまでの間のどこに設けてもよ
い。また、式5の右の等号が示すように、入射端面41
aから出射端面41bに至る全範囲にわたって微細構造
を設けるようにしてもよい。
位に微細構造を設けているが、微細構造は、入射端面4
1aから出射端面41bまでの間のどこに設けてもよ
い。また、式5の右の等号が示すように、入射端面41
aから出射端面41bに至る全範囲にわたって微細構造
を設けるようにしてもよい。
【0066】第7の実施形態の照明光学系7の要部を図
7に示す。この照明光学系7は、第4の実施形態の照明
光学系4の平滑化素子21の向きを逆にして、充填部2
1fの端面21aが光源12の第2焦点上に位置するよ
うにしたものである。微細構造は、中空部21eの4つ
の側面21c’のうち、2つの光源12の離間方向(X
方向)に対して垂直な側面のみに設けられている。
7に示す。この照明光学系7は、第4の実施形態の照明
光学系4の平滑化素子21の向きを逆にして、充填部2
1fの端面21aが光源12の第2焦点上に位置するよ
うにしたものである。微細構造は、中空部21eの4つ
の側面21c’のうち、2つの光源12の離間方向(X
方向)に対して垂直な側面のみに設けられている。
【0067】照明光学系7は、2つの光源12からの光
束を全てリレー光学系に取り込ませることができるとい
う照明光学系4の特長に加えて、充填部21fの端面2
1bの異物やそのエッジの欠けの影が照射対象面に形成
されないという照明光学系1の特長も備えることにな
る。
束を全てリレー光学系に取り込ませることができるとい
う照明光学系4の特長に加えて、充填部21fの端面2
1bの異物やそのエッジの欠けの影が照射対象面に形成
されないという照明光学系1の特長も備えることにな
る。
【0068】第8の実施形態である投射型映像表示装置
8の構成を図8に示す。映像表示装置8は、第7の実施
形態の照明光学系7、平面ミラー51、2つのプリズム
52、53、表示素子54、および投射光学系55より
成る。照明光学系7には、平滑化素子21、光源12の
ほか、リレー光学系13を成す2つの凸レンズ13a、
13bが含まれている。
8の構成を図8に示す。映像表示装置8は、第7の実施
形態の照明光学系7、平面ミラー51、2つのプリズム
52、53、表示素子54、および投射光学系55より
成る。照明光学系7には、平滑化素子21、光源12の
ほか、リレー光学系13を成す2つの凸レンズ13a、
13bが含まれている。
【0069】ミラー51は、レンズ13a、13bの間
で、平滑化素子21からの光束を反射して、その光路を
折曲げる。ミラー51は全体構成を小型化するために備
えられたもので、省略することも可能である。
で、平滑化素子21からの光束を反射して、その光路を
折曲げる。ミラー51は全体構成を小型化するために備
えられたもので、省略することも可能である。
【0070】表示素子54は角度可変の微小なミラー素
片が2次元に多数配列されたDMDである。各ミラー素
片は、その角度に応じて、照明光を所定の2方向のいず
れかに択一的に反射する。個々のミラー素片を画素とし
て、各ミラー素片の角度を映像を表す信号に応じて制御
することにより、DMD上に映像が表示される。照明光
は2方向に反射されることにより変調され、一方の反射
光が映像を表す光となり、他方の反射光は不要光とな
る。
片が2次元に多数配列されたDMDである。各ミラー素
片は、その角度に応じて、照明光を所定の2方向のいず
れかに択一的に反射する。個々のミラー素片を画素とし
て、各ミラー素片の角度を映像を表す信号に応じて制御
することにより、DMD上に映像が表示される。照明光
は2方向に反射されることにより変調され、一方の反射
光が映像を表す光となり、他方の反射光は不要光とな
る。
【0071】2つのプリズム52、53は、照明光学系
7からの光を表示素子54に導くとともに、表示素子5
4からの映像を表す反射光を投射光学系55に導く。プ
リズム52、53は各々の対向する面52a、53aが
間に微小な間隙を形成するように配置されており、照明
光学系7からの光を面52aで全反射することにより表
示素子54に導き、表示素子54からの反射光を面52
aを透過させることにより投射光学系55に導く。
7からの光を表示素子54に導くとともに、表示素子5
4からの映像を表す反射光を投射光学系55に導く。プ
リズム52、53は各々の対向する面52a、53aが
間に微小な間隙を形成するように配置されており、照明
光学系7からの光を面52aで全反射することにより表
示素子54に導き、表示素子54からの反射光を面52
aを透過させることにより投射光学系55に導く。
【0072】投射光学系55は、プリズム52、53を
透過した表示素子55からの映像を表す反射光を、図外
のスクリーンに向けて投射し、スクリーン上に結像させ
る。プリズム52、53は表示素子54からの不要光も
透過させるが、不要光は投射光学系55には向かわず、
捨てられる。
透過した表示素子55からの映像を表す反射光を、図外
のスクリーンに向けて投射し、スクリーン上に結像させ
る。プリズム52、53は表示素子54からの不要光も
透過させるが、不要光は投射光学系55には向かわず、
捨てられる。
【0073】映像表示装置8でカラー映像を表示する場
合、赤色光、緑色光、青色光を選択的に透過させるカラ
ーフィルターを備えたカラーホイールを、平滑化素子2
1の入射端面または出射端面近傍に配置して、表示素子
54を照明する光を切り換えるようにする。また、表示
素子54には、映像の赤色成分、緑色成分、青色成分の
うち照明光に応じたものを、照明光の切り換えに同期し
て表示させるようにする。
合、赤色光、緑色光、青色光を選択的に透過させるカラ
ーフィルターを備えたカラーホイールを、平滑化素子2
1の入射端面または出射端面近傍に配置して、表示素子
54を照明する光を切り換えるようにする。また、表示
素子54には、映像の赤色成分、緑色成分、青色成分の
うち照明光に応じたものを、照明光の切り換えに同期し
て表示させるようにする。
【0074】平滑化素子21の出射端面21dと表示素
子54はリレー光学系13により共役な位置関係にあ
り、表示素子54は出射端面21dにおける強度分布と
同じ均一な強度分布の光束で、影なく照明される。しか
も、照明光学系7は光源12を2つ備えており、表示素
子54は明るく照明される。また、照明光のF数が大き
いため、映像を表す光と不要光は確実に分離され、表示
素子による変調の精度は高い。さらに、投射光学系55
に導かれる光束のF数も大きいから、投射光学系55と
しては口径の小さな小型のものを用いることができる。
このように、映像表示装置8は、小型の構成ながら、明
るく質の高い映像を提供することが可能である。
子54はリレー光学系13により共役な位置関係にあ
り、表示素子54は出射端面21dにおける強度分布と
同じ均一な強度分布の光束で、影なく照明される。しか
も、照明光学系7は光源12を2つ備えており、表示素
子54は明るく照明される。また、照明光のF数が大き
いため、映像を表す光と不要光は確実に分離され、表示
素子による変調の精度は高い。さらに、投射光学系55
に導かれる光束のF数も大きいから、投射光学系55と
しては口径の小さな小型のものを用いることができる。
このように、映像表示装置8は、小型の構成ながら、明
るく質の高い映像を提供することが可能である。
【0075】第9の実施形態である投射型映像表示装置
9の構成を図9に示す。映像表示装置9は、第7の実施
形態の照明光学系7、偏光分離(PBS)プリズム5
6、表示素子57、および投射光学系55より成る。
9の構成を図9に示す。映像表示装置9は、第7の実施
形態の照明光学系7、偏光分離(PBS)プリズム5
6、表示素子57、および投射光学系55より成る。
【0076】表示素子57は反射型のLCDであり、照
明光として与えられる直線偏光を、液晶層に表示した映
像によって部分的に90°回転させることにより、変調
する。
明光として与えられる直線偏光を、液晶層に表示した映
像によって部分的に90°回転させることにより、変調
する。
【0077】PBSプリズム56は2つの三角プリズム
を接合して作製されており、接合面にPBS膜56aが
設けられている。PBS膜56aは、S偏光として入射
する偏光成分を反射し、P偏光として入射する偏光成分
を透過させるように設定されている。PBSプリズム5
6は、照明光学系7からの無偏光の光のうち、PBS膜
56aに対してS偏光となる直線偏光を反射して表示素
子57に導くとともに、表示素子57によって反射され
た光のうち、PBS膜56aに対してP偏光となる直線
偏光を透過させて投射光学系55に導く。
を接合して作製されており、接合面にPBS膜56aが
設けられている。PBS膜56aは、S偏光として入射
する偏光成分を反射し、P偏光として入射する偏光成分
を透過させるように設定されている。PBSプリズム5
6は、照明光学系7からの無偏光の光のうち、PBS膜
56aに対してS偏光となる直線偏光を反射して表示素
子57に導くとともに、表示素子57によって反射され
た光のうち、PBS膜56aに対してP偏光となる直線
偏光を透過させて投射光学系55に導く。
【0078】投射光学系55は、PBSプリズム56を
透過した表示素子57からの映像を表す反射光を、図外
のスクリーンに向けて投射し、スクリーン上に結像させ
る。映像表示装置9でも、前述のようにしてカラー映像
を表示することができる。小型の構成ながら、明るく質
の高い映像を提供することができることは、映像表示装
置8と同様である。
透過した表示素子57からの映像を表す反射光を、図外
のスクリーンに向けて投射し、スクリーン上に結像させ
る。映像表示装置9でも、前述のようにしてカラー映像
を表示することができる。小型の構成ながら、明るく質
の高い映像を提供することができることは、映像表示装
置8と同様である。
【0079】なお、第8、第9の実施形態では照明光学
系7を備える構成を例として掲げたが、照明光学系1〜
6のいずれを備えてもよいことは言うまでもない。ま
た、ここでは表示素子として反射型のものを使用してい
るが、透過型のLCDを使用することもできる。その場
合、照明光学系と投射光学系の間にLCDを配置し、照
明光学系とLCDの間およびLCDと投射光学系の間
に、偏光板を配置すればよい。
系7を備える構成を例として掲げたが、照明光学系1〜
6のいずれを備えてもよいことは言うまでもない。ま
た、ここでは表示素子として反射型のものを使用してい
るが、透過型のLCDを使用することもできる。その場
合、照明光学系と投射光学系の間にLCDを配置し、照
明光学系とLCDの間およびLCDと投射光学系の間
に、偏光板を配置すればよい。
【0080】
【発明の効果】充填部と中空部とを備える本発明の平滑
化素子では、光束を充填部側から入射させて中空部側か
ら出射させる形態で使用することにより、出射端面のエ
ッジに欠けが生じたり出射端面に異物が付着したりする
恐れがなくなり、強度分布が均一なだけでなく、欠けや
異物の影響のない光束を提供することができる。また、
中空部の側面に所定の機能をもたせることも可能であ
り、光束を中空部側から入射させて充填部側から出射さ
せる形態で使用するときでも有用である。
化素子では、光束を充填部側から入射させて中空部側か
ら出射させる形態で使用することにより、出射端面のエ
ッジに欠けが生じたり出射端面に異物が付着したりする
恐れがなくなり、強度分布が均一なだけでなく、欠けや
異物の影響のない光束を提供することができる。また、
中空部の側面に所定の機能をもたせることも可能であ
り、光束を中空部側から入射させて充填部側から出射さ
せる形態で使用するときでも有用である。
【0081】側面の少なくとも一部が反射角を入射角よ
りも大きくする微細構造を有する本発明の平滑化素子で
は、入射した光束に含まれる光を光軸に対して平行に近
づけることが可能であり、入射端面と出射端面が同じ大
きさであっても、出射後の光束のF数を入射前の光束の
F数よりも大きくすることができる。
りも大きくする微細構造を有する本発明の平滑化素子で
は、入射した光束に含まれる光を光軸に対して平行に近
づけることが可能であり、入射端面と出射端面が同じ大
きさであっても、出射後の光束のF数を入射前の光束の
F数よりも大きくすることができる。
【0082】このような特長を有する平滑化素子と、光
源と、リレー光学系とを備える本発明の照明光学系は、
照明対象面に影のない光束を導いたり、F数の大きな光
束を導いたりすることができる。したがって、投射型映
像表示装置の表示素子の照明に適する。
源と、リレー光学系とを備える本発明の照明光学系は、
照明対象面に影のない光束を導いたり、F数の大きな光
束を導いたりすることができる。したがって、投射型映
像表示装置の表示素子の照明に適する。
【図1】 第1の実施形態の照明光学系の要部の概略構
成を示す断面図。
成を示す断面図。
【図2】 第2の実施形態の照明光学系の要部の概略構
成を示す断面図。
成を示す断面図。
【図3】 第3の実施形態の照明光学系の要部の概略構
成を示す断面図。
成を示す断面図。
【図4】 第4の実施形態の照明光学系の要部の概略構
成を示す断面図。
成を示す断面図。
【図5】 第5の実施形態の照明光学系の要部の概略構
成を示す断面図。
成を示す断面図。
【図6】 第6の実施形態の照明光学系の要部の概略構
成を示す断面図。
成を示す断面図。
【図7】 第7の実施形態の照明光学系の要部の概略構
成を示す断面図。
成を示す断面図。
【図8】 第8の実施形態の投射型映像表示装置の概略
構成を示す断面図。
構成を示す断面図。
【図9】 第9の実施形態の投射型映像表示装置の概略
構成を示す断面図。
構成を示す断面図。
【図10】 インテグレータロッドを備える従来の照明
光学系の要部の概略構成を示す断面図。
光学系の要部の概略構成を示す断面図。
【図11】 インテグレータロッドを備える従来の他の
照明光学系の要部の概略構成を示す断面図。
照明光学系の要部の概略構成を示す断面図。
【図12】 インテグレータロッドを備える従来のさら
に他の照明光学系の要部の概略構成を示す断面図。
に他の照明光学系の要部の概略構成を示す断面図。
【図13】 インテグレータロッドを備える従来のさら
に他の照明光学系の要部の概略構成を示す断面図。
に他の照明光学系の要部の概略構成を示す断面図。
1〜7 照明光学系 8、9 投射型映像表示装置 11、21、31、41 平滑化素子 11f、21f、31f 充填部 11e、21e、31e 中空部 11a、21a、31a 充填部端面 11b、21b、31b 充填部端面 11c、21c、31c、41c 充填部側面 11c’、21c’、31c’ 中空部側面 11d、21d、31d 中空部端面 12 光源 12a ランプ 12b リフレクタ 13 リレー光学系 13a、13b 凸レンズ 51 ミラー 52、53 プリズム 54 DMD(表示素子) 55 投射光学系 56 PBSプリズム 56a PBS膜 57 LCD(表示素子)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高本 勝裕 大阪市中央区安土町二丁目3番13号 大阪 国際ビル ミノルタ株式会社内 (72)発明者 大利 祐一郎 大阪市中央区安土町二丁目3番13号 大阪 国際ビル ミノルタ株式会社内 Fターム(参考) 2H038 AA54 BA07 BA08 2H052 BA02 BA03 BA07 BA09 BA14
Claims (11)
- 【請求項1】 柱状の外形を有し、一端面より入射する
光束を側面で反射して他端面に導き、強度分布が平滑化
した光束として出射させる平滑化素子において、 透光性の材料で充たされ、側面で光を全反射する柱状の
充填部と、 充填部に連なり、内側を向いた側面で光を反射する筒状
の中空部とを備えることを特徴とする平滑化素子。 - 【請求項2】 柱状の外形を有し、一端面より入射する
光束を側面で反射して他端面に導き、強度分布が平滑化
した光束として出射させる平滑化素子において、 側面の少なくとも一部が、反射角を入射角よりも大きく
する微細構造を有することを特徴とする平滑化素子。 - 【請求項3】 請求項1に記載の平滑化素子と、 平滑化素子の一端面近傍を収束位置とする光束を平滑化
素子に与える光源と、 平滑化素子の他端面から出射する光束を平面上に結像さ
せるリレー光学系とを備えることを特徴とする照明光学
系。 - 【請求項4】 平滑化素子は、充填部が光源側に、中空
部がリレー光学系側に位置するように配置されており、 平滑化素子の全長をL0、平滑化素子の中空部の長さを
L1、平滑化素子の充填部の幅をd、平滑化素子の充填
部の屈折率をn、光源が平滑化素子に与える光束のF数
をF1で表すとき、 d・(4・n2・F12−1)1/2≦L0≦10・d・(4・n2・
F12−1)1/2 (1/4)・d・(4・n2・F12−1)1/2≦L1≦(1/
2)・L0 0.8≦F1≦2.0 の関係を満たすことを特徴とする請求項3に記載の照明
光学系。 - 【請求項5】 平滑化素子の側面の少なくとも一部が、
反射角を入射角よりも大きくする微細構造を有すること
を特徴とする請求項3または請求項4に記載の照明光学
系。 - 【請求項6】 平滑化素子の微細構造を有する側面が、
中空部の側面であることを特徴とする請求項5に記載の
照明光学系。 - 【請求項7】 請求項2に記載の平滑化素子と、 平滑化素子の一端面近傍を収束位置とする光束を平滑化
素子に与える光源と、 平滑化素子の他端面から出射する光束を平面上に結像さ
せるリレー光学系とを備えることを特徴とする照明光学
系。 - 【請求項8】 平滑化素子の全長をL0、平滑化素子の
側面の微細構造を有する部位の長さをL2、平滑化素子
の幅をd、平滑化素子の屈折率をn、光源が平滑化素子
に与える光束のF数をF1、リレー光学系が取り込み得
る光束の最小のF数をF2で表すとき、 d・(4・n2・F22−1)1/2≦L0≦10・d・(4・n2・
F22−1)1/2 (1/4)・d・(4・n2・F12−1)1/2≦L2≦L0 0.8≦F2≦2.0 の関係を満たすことを特徴とする請求項7に記載の照明
光学系。 - 【請求項9】 光源を2つ以上備え、各光源が平滑化素
子の一端面の中心と他端面の中心を結ぶ直線に対して斜
めの方向から、平滑化素子に光束を与えることを特徴と
する請求項5ないし請求項8のいずれか1項に記載の照
明光学系。 - 【請求項10】 平滑化素子の側面には、平滑化素子の
一端面の中心と他端面の中心を結ぶ直線と光源とを含む
平面に対して垂直な平面が含まれており、この平面のみ
が微細構造を有することを特徴とする請求項9に記載の
照明光学系。 - 【請求項11】 少なくとも1対の光源が、平滑化素子
の一端面の中心と他端面の中心を結ぶ直線に関して互い
に逆の方向から、平滑化素子に光束を与えることを特徴
とする請求項9または請求項10に記載の照明光学系。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP2000252122A JP2002062588A (ja) | 2000-08-23 | 2000-08-23 | 平滑化光学素子および照明光学系 |
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| JP2000252122A JP2002062588A (ja) | 2000-08-23 | 2000-08-23 | 平滑化光学素子および照明光学系 |
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|---|---|
| JP2002062588A true JP2002062588A (ja) | 2002-02-28 |
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ID=18741420
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| JP2000252122A Pending JP2002062588A (ja) | 2000-08-23 | 2000-08-23 | 平滑化光学素子および照明光学系 |
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| JP (1) | JP2002062588A (ja) |
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