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JP2001307940A - 積層セラミックコンデンサとその製造方法 - Google Patents

積層セラミックコンデンサとその製造方法

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Publication number
JP2001307940A
JP2001307940A JP2000125294A JP2000125294A JP2001307940A JP 2001307940 A JP2001307940 A JP 2001307940A JP 2000125294 A JP2000125294 A JP 2000125294A JP 2000125294 A JP2000125294 A JP 2000125294A JP 2001307940 A JP2001307940 A JP 2001307940A
Authority
JP
Japan
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main component
ceramic
multilayer ceramic
ceramic capacitor
dielectric
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2000125294A
Other languages
English (en)
Inventor
Koichi Chazono
広一 茶園
Hisamitsu Shizuno
寿光 静野
Hiroshi Kishi
弘志 岸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Taiyo Yuden Co Ltd filed Critical Taiyo Yuden Co Ltd
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  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 積層セラミックコンデンサの小型大容量化の
ために誘電体層を薄層化させ、誘電体層の積層数を増加
させて行くと、1層当たりの電界強度が大きくなり、内
部電極間で絶縁破壊が生じ易くなり、積層セラミックコ
ンデンサの寿命が短くなり、積層セラミックコンデンサ
の電気的特性に対する信頼性が低下するという問題があ
った。 【解決手段】 複数の誘電体層と複数の内部電極とを一
体的に積層してなり、該誘電体層が誘電体磁器組成物か
らなり、該誘電体磁器組成物が主成分粒子と、該主成分
粒子の粒界に形成された二次相とを含む焼結体からなる
積層セラミックコンデンサにおいて、該二次相の絶縁抵
抗を該主成分粒子より高くした。ここで、前記主成分粒
子中に固溶している成分を前記二次相の主成分としても
よい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、寿命特性を向上
させ、薄層化・多層化による更なる小型大容量化を可能
にした積層セラミックコンデンサとその製造方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】図2は積層セラミックコンデンサの説明
図である。同図に示すように、積層セラミックコンデン
サはチップ状の素体18と、素体18の両端部に形成さ
れた一対の外部電極20,20とからなる。素体18は
一般に誘電体層22と内部電極24とが交互に多数層積
層された積層体からなる。内部電極24のうち、隣り合
う内部電極24,24は誘電体層22を介して対向し、
別々の外部電極20,20と電気的に接続されている。
【0003】ここで、誘電体層22の材料としては、例
えばチタン酸バリウムを主成分とし、これに希土類元素
の酸化物を添加した、耐還元性誘電体磁器組成物が使用
されている。この誘電体磁器組成物は、図3に示すよう
に、セラミック粒子10と焼結助剤26とからなり、セ
ラミック粒子10は中心部のコア部12とコア部12を
囲繞するシェル部14とからなる。また、内部電極24
の材料としては、例えばNi金属粉末を主成分とする導
電性ペーストを焼結させたものが使用されている。
【0004】素体18は、セラミックグリーンシートと
内部電極パターンとを交互に一体的に積層させたチップ
状の積層体を脱バインダした後、非酸化性雰囲気中にお
いて1200〜1300℃程度の高温で焼成し、その
後、酸化性雰囲気中で再酸化させることにより製造され
ている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年におけ
る電子回路の小型化、高密度化の流れに伴い、積層セラ
ミックコンデンサについても小型大容量化が求められ、
小型大容量化のために誘電体層の積層数の更なる増加
と、1層当たりの誘電体層の更なる薄層化が進んでい
る。
【0006】しかし、誘電体層を薄層化させると、1層
当たりの電界強度が大きくなり、積層セラミックコンデ
ンサの寿命が短くなり、所望の寿命の積層セラミックコ
ンデンサが得られなくなるという問題があった。
【0007】この発明は、誘電体層を多層化・薄層化し
ても所望の寿命を有し、小型大容量化が可能な積層セラ
ミックコンデンサとその製造方法を提供することを目的
とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】この発明に係る積層セラ
ミックコンデンサは、複数の誘電体層と複数の内部電極
とを一体的に積層してなり、該誘電体層は誘電体磁器組
成物からなり、該誘電体磁器組成物は主成分粒子と、該
主成分粒子の粒界(粒子と粒子の間の部分)に形成され
た二次相(主成分粒子以外の部分)とを含む焼結体から
なり、該二次相は該主成分粒子より絶縁抵抗が高いこと
を特徴とするものである。
【0009】ここで、前記主成分粒子中に固溶している
成分が前記二次相の主成分となっていてもよい。また、
前記二次相が結晶体から形成されていてもよい。
【0010】また、前記主成分粒子が、中心部を形成す
るコア部と、該コア部を囲繞するシェル部とからなり、
該コア部が結晶体からなり、該シェル部が固溶体からな
り、前記二次相の絶縁抵抗が該シェル部の絶縁抵抗より
高くてもよい。
【0011】また、前記誘電体磁器組成物は、例えばチ
タン酸バリウム系の誘電体磁器組成物、チタン酸ストロ
ンチウム系の誘電体磁器組成物又は鉛系の誘電体磁器組
成物によって形成することができるが、これら以外の誘
電体磁器組成物によって形成してもよい。
【0012】また、前記誘電体磁器組成物は、JISの
温度特性がB特性の誘電体磁器組成物、F特性の誘電体
磁器組成物のいずれでもよい。ここで、F特性とは、−
25〜85℃の温度範囲で静電容量変化率が+20%〜
−80%の範囲内にあること、B特性とは、−25〜+
85℃の温度範囲で静電容量変化率が−10〜+10%
の範囲内にあることをいう。
【0013】また、前記二次相中にSc,Y,Gd,D
y,Ho,Er,Yb,Tm,Luから選択された1種
又は2種以上の希土類元素を含ませてもよい。この場
合、前記誘電体磁器組成物100モル%に対し、前記希
土類元素を2〜18atm%の割合で含ませるのが好ま
しい。希土類元素が2atm%未満では所望の寿命(lif
e)が得られず、18atm%を越えると所望の誘電率
(ε)が得られなくなるからである。
【0014】また、前記二次相中にMgを含ませてもよ
い。この場合、前記誘電体磁器組成物100モル%に対
し、Mgを0.8〜5.0atm%の割合で含ませるの
が好ましい。Mgが0.8atm%未満では所望の寿命
(life)が得られず、5atm%を越えても寿命(life)の
延びがこれ以上期待できないからである。
【0015】また、前記二次相中にMn,V,Cr,C
o,Fe,Ni,Cu,Mo,P,Nb及びTaから選
択された1種又は2種以上の元素を含ませてもよい。ま
た、焼結助剤は、実施例で使用されたBaSiOに限
定されず、LiやBを含むものであってもよい。
【0016】また、この発明に係る積層セラミックコン
デンサの製造方法は、主成分化合物を形成する主成分原
料と該主成分化合物に固溶させる副成分原料とを含むセ
ラミック原料を準備する原料工程と、該セラミック原料
を用いてセラミックグリーンシートを形成するシート形
成工程と、該セラミックグリーンシートに内部電極パタ
ーンを印刷する印刷工程と、該印刷工程を経たセラミッ
クグリーンシートを積層して積層体を形成する積層工程
と、該積層体を内部電極パターン毎に裁断してチップ状
の積層体を得る裁断工程と、該裁断工程で得られたチッ
プ状の積層体を焼成する焼成工程とを備え、前記副成分
原料の量を前記主成分化合物に固溶する限度以上とした
ものである。
【0017】ここで、前記セラミック原料は、例えばチ
タン酸バリウム系のセラミック原料、チタン酸ストロン
チウム系のセラミック原料又は鉛系のセラミック原料を
使用することができるが、これら以外の誘電体磁器組成
物を使用してもよい。
【0018】また、前記セラミック原料中にSc,Y,
Gd,Dy,Ho,Er,Yb,Tm,Luから選択さ
れた1種又は2種以上の希土類元素の化合物を含ませて
もよい。ここで、前記セラミック原料100モル%に対
し、前記希土類元素を2〜18atm%の割合で含ませ
るのが好ましい。希土類元素が2atm%未満では寿命
(life)の延びが期待できず、18atm%を越えると所
望の誘電率(ε)が得られなくなるからである。
【0019】また、前記副成分中にMgを含ませてもよ
い。ここで、前記セラミック原料100モル%に対して
Mgを0.8〜5.0atm%の割合で含ませるのが好
ましい。Mgが0.8atm%未満では所望の寿命(lif
e)が得られず、5atm%を越えても寿命(life)の延び
がこれ以上期待できないからである。
【0020】また、前記二次相中にMn,V,Cr,C
o,Fe,Ni,Cu,Mo,P,Nb及びTaから選
択された1種又は2種以上の元素を含ませてもよい。ま
た、焼結助剤は、実施例で使用されたBaSiOに限
定されず、LiやBを含むものであってもよい。
【0021】また、前記焼成工程は、前記チップ状の積
層体を非酸化性雰囲気中で焼成した後、酸化性雰囲気中
で焼成する再酸化工程を有していてもよい。
【0022】
【実施例】まず、BaCO、MgO、SrO、TiO
及び希土類元素(Ho,Dy,Er,Sm)の酸化物
を各々秤量し、これらの化合物をポットミルに、アルミ
ナボール及び水とともに入れ、充分に撹拌混合して、原
料混合物を得た。
【0023】次に、この原料混合物をステンレスポット
に入れ、熱風式乾燥器を用い、150℃で乾燥し、この
乾燥した原料混合物を粗粉砕し、この粗粉砕した原料混
合物をトンネル炉を用い、大気中において約1200℃
で2時間仮焼し、第1基本成分の粉末を得た。
【0024】また、BaCO とZrO とが等モル
となるように、それぞれ秤量し、これ等を混合し、乾燥
し、粉砕した後、大気中において約1250℃で2時間
仮焼して、第2基本成分の粉末を得た。
【0025】そして、98モル部(976.28g)の
第1基本成分の粉末と、2モル部(23.85g)の第
2基本成分の粉末とを混合して1000gの基本成分を
得た。
【0026】次に、前記基本成分100モル部に対し、
BaSiO(焼結助剤)を1.5mol%、MnO
(還元防止剤)を0.05mol%添加し、アクリル酸
エステルポリマー、グリセリン、縮合リン酸塩の水溶液
からなる有機バインダーを、15重量%添加し、更に、
50重量%の水を加え、これらをボールミルに入れて、
粉砕及び混合して磁器原料のスラリーを調製した。
【0027】次に、上記セラミックスラリーを真空脱泡
機に入れて脱泡し、このセラミックスラリーをリバース
ロールコータに入れ、ここから得られる薄膜成形物を長
尺なポリエステルフィルム上に連続して受け取らせると
共に、同フィルム上でこれを100℃に加熱して乾燥さ
せ、厚さ約5μmで10cm角の正方形のセラミックグ
リーンシートを得た。
【0028】一方、平均粒径1.5μmのニッケル粉末
10gと、エチルセルロース0.9gをブチルカルビト
ール9.1gに溶解させたものとを撹拌機に入れ、10
時間撹拌することにより内部電極用の導電性ペーストを
得た。そして、この導電性ペーストを用い、長さ14m
m、幅7mmのパターンを50個有するスクリーンを介
して上記セラミックグリーンシートの片側に内部電極パ
ターンを印刷し、これを乾燥させた。
【0029】次に、内部電極パターンを印刷したセラミ
ックグリーンシートを内部電極パターンを上にした状態
で11枚積層した。この際、隣接する上下のセラミック
グリーンシートにおいて、その印刷面が内部電極パター
ンの長手方向に約半分程ずれるように配置した。更に、
この積層物の上下両面に内部電極パターンを印刷してな
い保護層用のセラミックグリーンシートを200μmの
厚さで積層した。
【0030】次に、この積層物を約50℃の温度で厚さ
方向に約40トンの荷重を加えて圧着させ、しかる後、
この積層物を内部電極パターン毎に格子状に裁断して、
3.2×1.6mmのチップ状の積層体を50個得た。
【0031】次に、このチップ状の積層体を雰囲気焼成
が可能な炉に入れ、大気雰囲気中において100℃/h
の速度で600℃まで昇温させ、有機バインダを燃焼除
去させた。
【0032】その後、炉の雰囲気を大気雰囲気からH
(2体積%)+N (98体積%)の還元性雰囲気に
変えた。そして、炉をこの還元性雰囲気とした状態を保
って、積層体チップの加熱温度を600℃から焼結温度
の1130℃まで、100℃/hの速度で昇温して11
30℃(最高温度)を3時間保持した。
【0033】そして、100℃/hの速度で600℃ま
で降温し、雰囲気を大気雰囲気(酸化性雰囲気)におき
かえて、600℃を30分間保持して酸化処理を行い、
その後、室温まで冷却して積層セラミックコンデンサの
素体を得た。
【0034】次に、内部電極の端部が露出する素体の側
面に亜鉛とガラスフリット(glassfrit)とビヒクル(v
ehicle)とからなる導電性ペーストを塗布して乾燥し、
これを大気中で550℃の温度で15分間焼付け、亜鉛
電極層を形成し、更にこの上に無電解メッキ法で銅層を
形成し、更にこの上に電気メッキ法でPb−Sn半田層
を設けて、一対の外部電極を形成した。
【0035】そして、このようにして作成した積層セラ
ミックコンデンサの寿命(Life)と、誘電体層の誘電率
(ε)を調べたところ、表1に示す通りであった。
【0036】ここで、寿命は、170℃の恒温槽内で、
積層セラミックコンデンサに70Vの電圧を負荷し、ブ
レークダウンした時間を測定して求めた。なお、表1中
の寿命の数値は試料No.1の値を1とした場合の倍率
で表わしている。
【0037】また、誘電率(ε)は、温度20℃、周波
数1kHz、電圧1.0Vの条件で積層セラミックコン
デンサの静電容量を測定し、この測定値と、一対の内部
電極の対向面積と誘電体層の厚みから計算で求めた。
【0038】
【表1】
【0039】以上の結果から、最低でも20%の寿命(L
ife)のアップが認められた。但し、No.6の試料のよ
うに希土類元素の添加量が20atm%を越えると誘電
率(ε)が大幅に低下してしまうこともわかった。
【0040】また、この積層セラミックコンデンサの誘
電体層の断面を顕微鏡で観察したところ、図1に示すよ
うに、セラミック粒子10の粒界に二次相16が形成さ
れていることがわかった。そして、二次相16の成分を
分析したところ、セラミック粒子10中に固溶している
添加成分と略同一のものであることがわかった。
【0041】
【発明の効果】この発明は、誘電体層を形成している誘
電体磁器組成物中に高絶縁性を有する二次相を分散状態
で存在させたので、誘電体層に印加される電圧の一部が
二次相によって分担され、セラミック粒子の電気的な負
荷が少なくなり、積層セラミックコンデンサの寿命特
性、特に誘電体層を薄層化させた時の寿命特性が向上
し、薄層化・多層化が可能になり、積層セラミックコン
デンサの小型大容量化が可能になるという効果がある。
【0042】また、この発明は、二次相が結晶体からな
る場合、誘電体層の誘電率の低下を抑えることができ、
積層セラミックコンデンサの小型大容量化に寄与すると
いう効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明に係る積層セラミックコンデンサの誘
電体層を形成している磁器組成物の微細構造の説明図で
ある。
【図2】積層セラミックコンデンサの説明図である。
【図3】従来の積層セラミックコンデンサの誘電体層を
形成している磁器組成物の微細構造の説明図である。
【符号の説明】
10 セラミック粒子 12 コア部 14 シェル部 16 二次相 18 素体 20 外部電極 22 誘電体層 24 内部電極 26 焼結助剤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岸 弘志 東京都台東区上野6丁目16番20号 太陽誘 電株式会社内 Fターム(参考) 5E001 AB03 AD00 AE00 AE01 AE02 AE03 AE04 AF06 AH01 AH06 AH08 AH09 AJ01 AJ02 5E082 AA01 AB03 BC39 EE04 EE35 FG06 FG26 FG54 LL01 LL02 LL03 MM24 PP03

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の誘電体層と複数の内部電極とを一
    体的に積層してなり、該誘電体層は誘電体磁器組成物か
    らなり、該誘電体磁器組成物は主成分粒子と、該主成分
    粒子の粒界に形成された二次相とを含む焼結体からな
    り、該二次相は該主成分粒子より絶縁抵抗が高いことを
    特徴とする積層セラミックコンデンサ。
  2. 【請求項2】 前記主成分粒子中に固溶している成分が
    前記二次相の主成分となっていることを特徴とする請求
    項1に記載の積層セラミックコンデンサ。
  3. 【請求項3】 前記主成分粒子が、中心部を形成してい
    るコア部と、該コア部を囲繞しているシェル部とからな
    り、該コア部が結晶体からなり、該シェル部が固溶体か
    らなり、前記二次相の絶縁抵抗が該シェル部の絶縁抵抗
    より高いことを特徴とする請求項1又は2に記載の積層
    セラミックコンデンサ。
  4. 【請求項4】 前記二次相が結晶体からなることを特徴
    とする請求項1〜3のいずれかに記載の積層セラミック
    コンデンサ。
  5. 【請求項5】 前記誘電体磁器組成物がチタン酸バリウ
    ム系の誘電体磁器組成物、チタン酸ストロンチウム系の
    誘電体磁器組成物又は鉛系の誘電体磁器組成物からなる
    ことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の積層
    セラミックコンデンサ。
  6. 【請求項6】 前記二次相中にSc,Y,Gd,Dy,
    Ho,Er,Yb,Tm,Luから選択された1種又は
    2種以上の希土類元素が含まれていることを特徴とする
    請求項1〜5のいずれかに記載の積層セラミックコンデ
    ンサ。
  7. 【請求項7】 前記誘電体磁器組成物100モル%に対
    し、前記希土類元素が2〜18atm%含まれているこ
    とを特徴とする請求項6に記載の積層セラミックコンデ
    ンサ。
  8. 【請求項8】 前記二次相中にMgが含まれていること
    を特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の積層セラ
    ミックコンデンサ。
  9. 【請求項9】 前記誘電体磁器組成物100モル%に対
    し、Mgが0.8〜5.0atm%含まれていることを
    特徴とする請求項8に記載の積層セラミックコンデン
    サ。
  10. 【請求項10】 前記二次相中にMn,V,Cr,C
    o,Fe,Ni,Cu,Mo,P,Nb及びTaから選
    択された1種又は2種以上の元素が含まれていることを
    特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の積層セラミ
    ックコンデンサ。
  11. 【請求項11】 主成分化合物を形成する主成分原料と
    該主成分化合物に固溶させる副成分原料とを含むセラミ
    ック原料を準備する原料工程と、該セラミック原料を用
    いてセラミックグリーンシートを形成するシート形成工
    程と、該セラミックグリーンシートに内部電極パターン
    を印刷する印刷工程と、該印刷工程を経たセラミックグ
    リーンシートを積層して積層体を形成する積層工程と、
    該積層体を内部電極パターン毎に裁断してチップ状の積
    層体を得る裁断工程と、該裁断工程で得られたチップ状
    の積層体を焼成する焼成工程とを備え、前記副成分原料
    の量を前記主成分化合物に固溶する限度以上としたこと
    を特徴とする積層セラミックコンデンサの製造方法。
  12. 【請求項12】 前記セラミック原料がチタン酸バリウ
    ム系のセラミック原料、チタン酸ストロンチウム系のセ
    ラミック原料又は鉛系のセラミック原料からなることを
    特徴とする請求項11に記載の積層セラミックコンデン
    サの製造方法。
  13. 【請求項13】 前記セラミック原料中にSc,Y,G
    d,Dy,Ho,Er,Yb,Tm,Luから選択され
    た1種又は2種以上の希土類元素の化合物が含まれてい
    ることを特徴とする請求項11又は12に記載の積層セ
    ラミックコンデンサの製造方法。
  14. 【請求項14】 前記セラミック原料100モル%に対
    し、前記希土類元素が2〜18atm%含まれているこ
    とを特徴とする請求項13に記載の積層セラミックコン
    デンサの製造方法。
  15. 【請求項15】 前記副成分中にMgが含まれているこ
    とを特徴とする請求項11〜14のいずれかに記載の積
    層セラミックコンデンサの製造方法。
  16. 【請求項16】 前記セラミック原料100モル%に対
    し、Mgが0.8〜5.0atm%含まれていることを
    特徴とする請求項15に記載の積層セラミックコンデン
    サの製造方法。
  17. 【請求項17】 前記二次相中にMn,V,Cr,C
    o,Fe,Ni,Cu,Mo,P,Nb及びTaから選
    択された1種又は2種以上の元素が含まれていることを
    特徴とする請求項11〜16のいずれかに記載の積層セ
    ラミックコンデンサの製造方法。
  18. 【請求項18】 前記焼成工程が、前記チップ状の積層
    体を非酸化性雰囲気中で焼成した後、酸化性雰囲気中で
    焼成する再酸化工程を有していることを特徴とする請求
    項11〜17のいずれかに記載の積層セラミックコンデ
    ンサの製造方法。
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