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JP2001303200A - HIGH-STRENGTH LOW-THERMAL-EXPANSION Fe-Ni ALLOY, AND SHADOW MASK AND CATHODE-RAY TUBE USING THE MASK, AND LEAD FRAME AND SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE FRAME - Google Patents

HIGH-STRENGTH LOW-THERMAL-EXPANSION Fe-Ni ALLOY, AND SHADOW MASK AND CATHODE-RAY TUBE USING THE MASK, AND LEAD FRAME AND SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE FRAME

Info

Publication number
JP2001303200A
JP2001303200A JP2000120302A JP2000120302A JP2001303200A JP 2001303200 A JP2001303200 A JP 2001303200A JP 2000120302 A JP2000120302 A JP 2000120302A JP 2000120302 A JP2000120302 A JP 2000120302A JP 2001303200 A JP2001303200 A JP 2001303200A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
niobium
alloy
expansion
based alloy
thermal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000120302A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Junichi Nishida
純一 西田
Ryoji Inoue
良二 井上
Takehisa Seo
武久 瀬尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Metals Ltd filed Critical Hitachi Metals Ltd
Priority to JP2000120302A priority Critical patent/JP2001303200A/en
Priority to EP01106170A priority patent/EP1134300A3/en
Priority to US09/810,176 priority patent/US6592810B2/en
Publication of JP2001303200A publication Critical patent/JP2001303200A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Electrodes For Cathode-Ray Tubes (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To attain a high-strength low-thermal-expansion Fe-Ni alloy and to provide a shadow mask composed of the alloy and a cathode-ray tube using the mask and also to provide a lead frame composed of the alloy and a semiconductor device using the frame. SOLUTION: The alloy is an Fe-Ni alloy having a composition consisting of, by mass, 30-50% Ni and the balance mainly Fe or an Fe-Ni alloy having a composition consisting of 27-47% Ni, <=22% Co and the balance mainly Fe. Moreover, the maximum grain size of a compound composed mainly of niobium and nitrogen and a compound composed mainly of niobium and carbon, observed in the cross section of the structure, is regulated to <0.5 μm, and the total number of these compounds accounts for >=50000 pieces/mm2 of the cross section of the structure. To be concrete, the alloy is an Fe-Ni alloy which has a composition consisting of 30-50% Ni or 27-47% Ni and <=22% Co, 0.005-0.1% Nb, <0.01% C, 0.002-0.02% N and the balance essentially Fe and satisfying 0.000013<=[%Nb].[%N]<=0.002. Further, the shadow mask or the lead frame is composed of the above Fe-Ni alloy, and the cathode-ray tube or the semiconductor device is manufactured by using the shadow mask or the lead frame, respectively.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、高強度でかつ平均
熱膨張係数が小さいFe−Ni系合金に関するものであ
り、特にシャドウマスクとこれを用いたブラウン管及び
リードフレームとこれを用いた半導体素子、さらには精
密機械の各部品等の素材に適用されるものに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an Fe--Ni alloy having a high strength and a small average coefficient of thermal expansion, and more particularly to a shadow mask, a cathode ray tube and a lead frame using the same, and a semiconductor device using the same. Further, the present invention relates to a material applied to a material such as each part of a precision machine.

【0002】[0002]

【従来の技術】Fe−36%Niに代表されるアンバー
系のFe−Ni系合金や、Fe−31%Ni−5%Co
に代表されるスーパーアンバー系のFe−Ni−Co系
合金は、平均熱膨張係数が小さい低熱膨張合金として知
られている。これらFe−Ni系合金やFe−Ni−C
o系合金(以下、Fe−Ni系合金と総称する)は、テ
レビやコンピューターのディスプレイにおけるシャドウ
マスク、ブラウン管電子銃の電極、あるいは半導体パッ
ケージ等の製造に用いられるリードフレームといった低
熱膨張特性が必要とされる用途に使用されている。
2. Description of the Related Art Amber-based Fe-Ni-based alloys represented by Fe-36% Ni, Fe-31% Ni-5% Co
Are known as low thermal expansion alloys having a small average thermal expansion coefficient. These Fe-Ni alloys and Fe-Ni-C
An o-based alloy (hereinafter collectively referred to as an Fe-Ni-based alloy) requires low thermal expansion characteristics such as a shadow mask in a television or computer display, an electrode of a cathode ray tube electron gun, or a lead frame used in the manufacture of a semiconductor package. Is used for

【0003】例えばシャドウマスク材料は、従来一般に
は軟鋼が用いられていた。軟鋼はプレス成形性およびエ
ッチング性は良好であるが、熱膨張係数が約12×10
−6/℃と大きく、電子ビームの照射により加熱されて
熱膨張を生じ、色純度を劣化させてしまうという問題が
あった。近年、ディスプレイの高精細化、高輝度化が要
求される中、従来の軟鋼に替えて、熱膨張係数の小さい
Fe−36%Niに代表されるアンバー系合金がシャド
ウマスク材料として実用化されている。しかしながら、
Fe−36%Niアンバー系合金は、軟鋼と比べてエッ
チング性に劣り、また、コストが非常に高いという問題
点を有している。
[0003] For example, as a shadow mask material, mild steel has conventionally been generally used. Mild steel has good press formability and etching properties, but has a thermal expansion coefficient of about 12 × 10
It is as large as −6 / ° C., and is heated by electron beam irradiation to cause thermal expansion, which causes a problem of deteriorating color purity. In recent years, with the demand for higher definition and higher brightness of the display, an amber-based alloy represented by Fe-36% Ni having a small coefficient of thermal expansion has been put to practical use as a shadow mask material instead of conventional mild steel. I have. However,
The Fe-36% Ni invar alloy has problems that the etching property is inferior to mild steel and that the cost is very high.

【0004】また、最近のフラット画面化への急速な進
展に伴い、従来のプレス成形方式のシャドウマスクに代
わって、張力を付与した状態でマスクフレームに支持さ
れるテンション方式が適用されつつある。この場合、特
にフレーム枠体に支持していることから、シャドウマス
ク自体にはその形状保持のための強度が取り立てて必要
でなく、コストを下げる目的でシャドウマスクの薄板化
が進められている。しかし、その薄板状態としての取扱
いに係わり、各工程で折れや変形に対処できるだけのハ
ンドリング性(強度)が求められている。
Further, with the recent rapid progress toward flat screens, a tension system in which a tension is applied to a mask frame in a state where tension is applied is being applied instead of a shadow mask of a conventional press molding system. In this case, since the shadow mask itself is particularly supported by the frame, the shadow mask itself is not required to have sufficient strength for maintaining its shape, and the thickness of the shadow mask is being reduced in order to reduce costs. However, with regard to handling in a thin plate state, handling properties (strength) capable of dealing with breakage and deformation in each step are required.

【0005】そして、リードフレーム材料は、リードフ
レームとして熱膨張係数が小さい半導体素子と接合され
ることから、これらの素子と熱膨張係数が近いFe−4
2%Niに代表されるFe−Ni系合金が使用されてい
る。リードフレーム材料にはプレス打抜き加工、フォト
エッチング加工によって微細なリード加工が施される
が、半導体装置の高集積化に伴う加工形状の微細化、高
精度化が一層強く求められている中、これらFe−Ni
系合金の打抜き性の向上や薄板化へのための高強度化が
求められる。
Since the lead frame material is joined to a semiconductor element having a small coefficient of thermal expansion as a lead frame, Fe-4 having a similar coefficient of thermal expansion to these elements is used.
An Fe-Ni alloy represented by 2% Ni is used. Fine lead processing is applied to lead frame materials by press punching and photo-etching. However, as finer processing shapes and higher precision are required with higher integration of semiconductor devices, these Fe-Ni
It is required to improve the punching property of the system alloy and to increase the strength for thinning.

【0006】上記の用途に供されるFe−Ni(−C
o)系合金においては、そのエッチング性やプレス成形
性、そして強度や打抜き性の向上手段としてNb添加に
よる手段が多数提案されている。例えば特開平4−12
0251号は、Nを0.01%以下に規制すると共に窒
化物を形成しやすいNbを0.01〜1.0%添加する
ことで固溶N量を低減し、更にはCrを適量添加するこ
とでレジスト膜の密着性およびプレス成形後の剛性を向
上したシャドウマスク用素材を提案する。そして、特開
平7−145451号は、1〜4%のNbを添加するこ
とで高強度化を図ったリードフレーム材を提案してい
る。
[0006] Fe-Ni (-C
As for the o) -based alloys, a number of means by adding Nb have been proposed as means for improving the etching property, press formability, strength and punching property. For example, JP-A-4-12
No. 0251 regulates N to 0.01% or less, reduces the amount of solid-dissolved N by adding 0.01 to 1.0% of Nb, which easily forms a nitride, and further adds an appropriate amount of Cr. We propose a shadow mask material that improves the adhesion of the resist film and the rigidity after press molding. Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 7-145451 proposes a lead frame material in which the strength is enhanced by adding 1 to 4% of Nb.

【0007】特にリードフレーム材料について言えば、
特開平9−263891号は、C:0.003〜0.0
3%、Nb:0.005〜2.5%、N:0.001〜
0.02%とし、最大径20μm以下のNb化合物(炭
化物、窒化物)を形成させることで打抜き性を向上した
高強度低熱膨張Fe−Ni系合金を提案している。そし
て、特開平10−183304号は4A族あるいは5A
族元素を含む粒状析出物(単体、炭化物、窒化物、金属
間化合物)の大きさを5μm以下にまで調整し、その中
でもC:0.001〜0.3%、Nb:0.01〜6%
にて調整されるNbC(炭化ニオブ)の析出・調整を行
なうことでプレス打抜き性や機械的強度を向上させる手
法を提案する。
[0007] Especially regarding the lead frame material,
JP-A-9-263891 discloses that C: 0.003 to 0.0.
3%, Nb: 0.005 to 2.5%, N: 0.001
A high-strength low-thermal-expansion Fe-Ni-based alloy has been proposed in which the punching property is improved by forming an Nb compound (carbide, nitride) having a maximum diameter of 20 μm or less with 0.02%. Japanese Unexamined Patent Publication No. 10-183304 discloses a 4A group or 5A group.
The size of the granular precipitates containing elemental group elements (simple, carbide, nitride, intermetallic compound) was adjusted to 5 μm or less, and among them, C: 0.001 to 0.3%, Nb: 0.01 to 6 %
We propose a method for improving press punching properties and mechanical strength by performing precipitation and adjustment of NbC (niobium carbide) adjusted by the method described above.

【0008】また、特開平10−60528号は、シャ
ドウマスクやリードフレームを対象とした高強度インバ
ー合金板として、0.10%までのCと1.0%までの
Nbを添加すると共に、Nを0.005%以下に低減す
る手法を提案している。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-60528 discloses a high-strength Invar alloy plate for a shadow mask or a lead frame, in which C of up to 0.10% and Nb of up to 1.0% are added and N is added. Has been proposed to reduce the value to 0.005% or less.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】上述した手法は、シャ
ドウマスクやリードフレーム等に求められる諸特性の向
上に有効な手段である。しかし、その高強度化の手段と
してNbを固溶状態で利用し、加工歪みを蓄積して加工
硬化を図るものについては、多量のNb添加が必要とな
り、熱膨張特性の劣化が懸念される。また、含Nb析出
物としての高強度化を図るものの場合、これらは主に炭
化ニオブとしての分散強化を狙っており、これについて
もその効果発揮に十分な析出量を確保するに多量のNb
が必要となる。加えてその析出物のサイズも大きい。
The above method is an effective means for improving various characteristics required for a shadow mask, a lead frame, and the like. However, in the case of using Nb in a solid solution state as a means of increasing the strength and accumulating work strain to achieve work hardening, a large amount of Nb needs to be added, and there is a concern that thermal expansion characteristics may deteriorate. In the case of increasing the strength as Nb-containing precipitates, these are mainly aimed at strengthening the dispersion as niobium carbide, and a large amount of Nb is necessary to secure a sufficient amount of precipitation to exhibit the effect.
Is required. In addition, the size of the precipitate is large.

【0010】上述したような従来の合金の場合は、その
造塊・凝固時に晶出する炭、窒化物が粗大になり易く、
これはエッチング面に突出したり、またプレス打抜き時
に金型の摩耗を増長するといった問題に繋がる。そこで
本発明は、粗大な炭、窒化物の晶出を抑えた高強度低熱
膨張Fe−Ni系合金を達成し、そして、それら合金よ
りなるシャドウマスクとこれを用いたブラウン管やリー
ドフレームとこれを用いた半導体素子を提供することを
目的とする。
[0010] In the case of the conventional alloys as described above, the charcoal and nitride which are crystallized during ingot ingot and solidification tend to be coarse,
This leads to problems such as protruding from the etched surface and increasing the wear of the die during press punching. Therefore, the present invention has achieved a high-strength low-thermal expansion Fe-Ni-based alloy that suppresses crystallization of coarse coal and nitride, and a shadow mask made of such an alloy, a cathode ray tube and a lead frame using the same, and It is an object to provide a semiconductor element used.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】まず、本発明者らは、F
e−Ni系合金の高強度化の手法として、粗大となり易
い晶出炭化物に依らない手法を検討した。その結果、固
溶析出処理により超微細な析出が可能なニオブ窒化物を
主に、窒化物、炭化物、炭窒化物といったニオブを含む
微細なニオブ化合物を組織中に多数析出させることで結
晶粒の微細化が達成でき、諸特性の劣化をきたさずに高
強度化を達成するに有効な手段であることをつきとめ
た。つまり、固溶化処理によってFe−Ni系合金中に
完全固溶させることができる範囲内でのNb,C,N量
調整を利用することで、少量のNb添加で、超微細なニ
オブ化合物を析出させる手法であり、粗大な炭、窒化物
の晶出を抑えかつ、分散強化を主作用とする従来の方法
にも依らないことから、多量のNb添加をも必要としな
い方法である。
Means for Solving the Problems First, the present inventors have proposed F
As a method of increasing the strength of the e-Ni-based alloy, a method that does not rely on a crystallized carbide that tends to become coarse was studied. As a result, a large number of fine niobium compounds including niobium, such as nitride, carbide, and carbonitride, can be precipitated in the structure mainly by niobium nitride capable of ultrafine precipitation by solid solution precipitation treatment, thereby forming crystal grains. It has been found that it is an effective means for achieving fineness and achieving high strength without deteriorating various characteristics. In other words, by using the Nb, C, and N adjustments within a range in which the solid solution can completely form a solid solution in the Fe—Ni-based alloy, an ultrafine niobium compound is precipitated with a small amount of Nb added. This method does not require the addition of a large amount of Nb, because it does not rely on the conventional method of suppressing the crystallization of coarse coal and nitride and also mainly of strengthening the dispersion.

【0012】すなわち、本発明は、質量%にて、Ni:
30〜50%を含有し、残部はFeを主体とするFe−
Ni系合金であって、組織断面に観察されるニオブおよ
び窒素を主体とする化合物および、ニオブおよび炭素を
主体とする化合物の最大粒径が0.5μm未満でありか
つ、その組織断面に占める総個数が50000個/mm
以上であることを特徴とする高強度低熱膨張Fe−N
i系合金である。具体的には、質量%にて、Ni:30
〜50%、Nb:0.005〜0.1%、C:0.01
%未満、N:0.002〜0.02%、残部が実質的に
Feからなり、0.000013≦[%Nb]・[%
N]≦0.002であることを特徴とする高強度低熱膨
張Fe−Ni系合金である。
That is, according to the present invention, Ni:
30% to 50%, with the balance being Fe-
A Ni-based alloy in which the maximum particle size of a compound mainly composed of niobium and nitrogen and a compound mainly composed of niobium and carbon observed in the structure cross section is less than 0.5 μm, and 50,000 pieces / mm
High strength and low thermal expansion Fe-N characterized by being 2 or more
It is an i-based alloy. Specifically, in mass%, Ni: 30
-50%, Nb: 0.005-0.1%, C: 0.01
%, N: 0.002 to 0.02%, balance substantially consisting of Fe, 0.000013 ≦ [% Nb] · [%
N] ≦ 0.002 is a high-strength low-thermal-expansion Fe—Ni-based alloy.

【0013】あるいは、質量%にて、Ni:27〜47
%、Co:22%以下を含有し、残部はFeを主体とす
るFe−Ni系合金であって、組織断面に観察されるニ
オブおよび窒素を主体とする化合物および、ニオブおよ
び炭素を主体とする化合物の最大粒径が0.5μm未満
でありかつ、その組織断面に占める総個数が50000
個/mm以上であることを特徴とする高強度低熱膨張
Fe−Ni系合金である。具体的には、質量%にて、N
i:27〜47%、Co:22%以下、Nb:0.00
5〜0.1%、C:0.01%未満、N:0.002〜
0.02%、残部が実質的にFeからなり、0.000
013≦[%Nb]・[%N]≦0.002であること
を特徴とする高強度低熱膨張Fe−Ni系合金である。
Alternatively, in mass%, Ni: 27 to 47
%, Co: not more than 22%, and the balance is a Fe-Ni-based alloy mainly composed of Fe, which is mainly composed of a compound mainly composed of niobium and nitrogen, and mainly composed of niobium and carbon observed in the cross section of the structure. The maximum particle size of the compound is less than 0.5 μm and the total number of the
High-strength low-thermal-expansion Fe—Ni-based alloy characterized by being at least 2 pieces / mm 2 . Specifically, in mass%, N
i: 27 to 47%, Co: 22% or less, Nb: 0.00
5 to 0.1%, C: less than 0.01%, N: 0.002 to
0.02%, balance substantially consisting of Fe, 0.000%
013 ≦ [% Nb] · [% N] ≦ 0.002 is a high-strength low-thermal-expansion Fe—Ni-based alloy.

【0014】加えて、これら本発明の高強度低熱膨張F
e−Ni系合金に好ましくは、平均結晶粒径がJIS
G 0551による粒度番号にて10以上の細粒のもの
である。また、その含有されるMnを0.10%以下、
あるいはBを0.004%以下としてもよい。
In addition, the high strength and low thermal expansion F
Preferably, the average crystal grain size of the e-Ni alloy is JIS.
The fine particles have a particle size number of 10 or more according to G 0551. Further, the Mn content is 0.10% or less,
Alternatively, B may be set to 0.004% or less.

【0015】そして、これら本発明の高強度低熱膨張F
e−Ni系合金よりなるシャドウマスクとこれを用いた
ブラウン管あるいはリードフレームとこれを用いた半導
体素子であって、高精細・高精度で加工形状の微細化が
達成され、色純度に優れたブラウン管、高集積度に優れ
た半導体素子である。
The high strength and low thermal expansion F of the present invention
A shadow mask made of an e-Ni alloy and a cathode ray tube or a lead frame using the same and a semiconductor element using the same, the cathode ray tube having a high definition and a high precision, and having a fine processing shape and excellent color purity. It is a semiconductor element excellent in high integration.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】本発明の最大の特徴は、粗大な
炭、窒化物の晶出を抑えかつ、分散強化を主作用とする
従来の方法にも依らない手法にて、Fe−Ni系合金の
高強度化を達成したところにある。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The most important feature of the present invention is that it is possible to suppress the crystallization of coarse coal and nitride and to use an Fe-Ni-based method by a method which does not depend on the conventional method whose main function is dispersion strengthening. This is where high strength of the alloy has been achieved.

【0017】本発明者らは、粗大なニオブ炭化物の晶出
によって懸念される上記の問題点を解決する手法を検討
し、それが同じく分散強化を主作用に利用されていた従
来からの窒化物、炭化物、炭窒化物といったニオブおよ
び窒素を主体とする化合物および、ニオブおよび炭素を
主体とする化合物(以下、ニオブ化合物と総称する)の
更なる調整にあることを見いだした。つまり、固溶析出
処理により微細なニオブ化合物の析出が可能であり、固
溶化処理で完全に固溶させることができる範囲で調整し
たNb,C,N量の効果に着眼したものである。
The present inventors have studied a method for solving the above-mentioned problem that is feared due to the crystallization of coarse niobium carbide, and it is known that the conventional nitride, which also utilizes dispersion strengthening as its main function, It has been found that there is further adjustment of compounds mainly composed of niobium and nitrogen, such as carbides and carbonitrides, and compounds mainly composed of niobium and carbon (hereinafter collectively referred to as niobium compounds). In other words, the present invention focuses on the effects of the amounts of Nb, C, and N adjusted within a range in which fine niobium compounds can be precipitated by the solid solution precipitation treatment and can be completely dissolved by the solid solution treatment.

【0018】特に窒化ニオブは、その溶解度積が炭化物
と比べて小さいため、完全に固溶させるためには極少量
のNb添加を行う。好ましくは窒化ニオブの溶解度積を
0.000013以上、0.002以下にすることによ
り、900℃から1350℃、更には1300℃までの
範囲での固溶化処理で固溶が可能となり、その後に行わ
れる析出処理、あるいは熱間加工後の制御冷却により、
微細に析出させることができる。
In particular, niobium nitride has a smaller solubility product than that of carbides. Therefore, a very small amount of Nb is added to completely form a solid solution. Preferably, by setting the solubility product of niobium nitride to 0.000013 or more and 0.002 or less, it becomes possible to form a solid solution by a solution treatment in a range of 900 ° C. to 1350 ° C. and further up to 1300 ° C. Precipitation treatment or controlled cooling after hot working
It can be finely precipitated.

【0019】超微細な析出物は結晶粒界のピンニング粒
子として有効に働くことから、結晶粒の超微細化につな
がり、素材の高強度化が達成できる。よって、Fe−N
i系合金中に超微細なニオブ化合物、特に窒化ニオブを
多量形成させることで、粗大な炭化物を利用せずとも高
強度化が達成できるのである。
Since ultra-fine precipitates effectively work as pinning particles at the crystal grain boundaries, it leads to ultra-fine crystal grains and high strength of the material can be achieved. Therefore, Fe-N
By forming a large amount of ultrafine niobium compounds, particularly niobium nitride, in the i-based alloy, high strength can be achieved without using coarse carbides.

【0020】加えて、本発明者らは、その結晶粒の微細
化による高強度化を達成するに有効なニオブ化合物のサ
イズについて検討した。本発明のFe−Ni系合金にお
いては、その高強度化に効果を示す平均結晶粒径とし
て、JIS G 0551による粒度番号が10以上の
細粒であることが望ましい。この場合、Zenerの関
係式(R=4/3・r/f2/3:マトリックス平均結
晶粒径R、析出物の平均粒径r、析出物体積率f)から
導かれる分散粒子径とマトリックスの平均結晶粒径の関
係から検討すれば、組織断面に観察されるニオブ化合物
(ニオブと窒素を主体とする化合物および、ニオブと炭
素を主体とする化合物)の最大粒径を0.5μm未満と
しかつ、その効果を十分に発揮する上での組織断面に占
める個数を総数で50000個/mm以上とすること
が必要である。
In addition, the present inventors have studied the size of a niobium compound that is effective for achieving high strength by making the crystal grains fine. In the Fe-Ni-based alloy of the present invention, it is preferable that the average grain size, which is effective for increasing the strength, is a fine grain having a grain size number of 10 or more according to JIS G 0551. In this case, the dispersed particle diameter and the matrix derived from the Zener's relational expression (R = 4/3 · r / f 2/3 : the average crystal grain diameter R of the matrix, the average particle diameter r of the precipitate, and the volume ratio f of the precipitate) Considering the relationship between the average crystal grain diameters, the maximum particle diameter of the niobium compound (compound mainly composed of niobium and nitrogen and compound mainly composed of niobium and carbon) observed in the cross section of the structure is set to less than 0.5 μm. In addition, it is necessary that the total number of the occupied sections in the tissue cross-section for fully exhibiting the effect is 50,000 / mm 2 or more.

【0021】よって、本発明のFe−Ni系合金は、そ
の組織断面に観察されるニオブ化合物(ニオブと窒素を
主体とする化合物および、ニオブと炭素を主体とする化
合物)の最大粒径を0.5μm未満としかつ、その組織
断面に占める総個数を50000個/mm以上とす
る。好ましくは、最大粒径が0.3μm以下、あるいは
組織断面に占める総個数が100000個/mm以上
であり、最大粒径が0.3μm以下かつ、組織断面に占
める総個数が100000個/mm以上であることが
望ましい。
Therefore, the Fe—Ni-based alloy of the present invention has a maximum particle size of a niobium compound (a compound mainly composed of niobium and nitrogen and a compound mainly composed of niobium and carbon) that is observed in the cross section of the structure. 0.5 μm or less and the total number occupying the tissue cross section is 50,000 / mm 2 or more. Preferably, the maximum particle size is 0.3 μm or less, or the total number occupying the tissue section is 100,000 / mm 2 or more, and the maximum particle size is 0.3 μm or less, and the total number occupying the tissue section is 100,000 / mm 2. It is desirable that the number be 2 or more.

【0022】なお、0.5μm未満の超微細なニオブ化
合物は、例えばその製造工程において900〜1350
℃の均熱固溶化処理と析出処理の条件を適宜調整するに
合わせ、好ましくは後述する組成条件を組合せること
で、調整が可能である。
Incidentally, an ultrafine niobium compound having a size of less than 0.5 μm can be used, for example, in a manufacturing process of 900 to 1350.
The adjustment can be performed by suitably adjusting the conditions of the soaking and solution treatment at a temperature of ° C. and the precipitation treatment, preferably by combining the composition conditions described below.

【0023】組織断面に観察されるニオブ化合物の粒径
測定法としては、例えばスピード法にて腐食した組織面
に現出されるニオブ化合物を観察する方法が適用でき
る。図1は、スピード法にて腐食したFe−Ni系合金
の組織面を16000倍の走査電子顕微鏡にて観察した
ものであり、最大粒径が0.06μmのニオブ化合物を
示している。なお、ニオブと窒素を主体とする化合物、
そしてニオブと炭素を主体とする化合物であることは、
EDXによる分析によりニオブと窒素あるいは炭素を主
体に含む粒として確認が可能である。組織断面に占める
これらニオブ化合物の総個数については、その組織面に
観察される数をカウントすればよく、mm あたりの個
数に換算すればよい。図1の場合、811×10/m
である。
Particle size of niobium compound observed in the cross section of the structure
As a measuring method, for example, a tissue surface corroded by the speed method
Method for observing niobium compounds appearing in
You. Fig. 1 shows a Fe-Ni-based alloy corroded by the speed method.
Was observed with a scanning electron microscope at a magnification of 16000.
And a niobium compound having a maximum particle size of 0.06 μm.
Is shown. In addition, a compound mainly composed of niobium and nitrogen,
And it is a compound mainly composed of niobium and carbon,
Nitrogen and nitrogen or carbon are mainly analyzed by EDX.
It can be confirmed as grains contained in the body. Occupy the tissue section
Regarding the total number of these niobium compounds,
Count the number of observations, mm 2Pieces per
What is necessary is just to convert to a number. In the case of FIG. 1, 811 × 104/ M
m2It is.

【0024】主に炭化ニオブといった晶出物による分散
強化を利用した従来の技術の場合、先述したようにその
十分な晶出量を確保するためのNbはおおむね0.1%
を大きく超える添加量が必要であり、その晶出物の径は
最低でも0.5μm程度である。それに比して、超微細
なニオブ化合物の固溶析出による結晶粒微細化を目的と
する本発明であれば、その達成するNb添加量は後述す
るように少量であることから、粗大なニオブ化合物、特
にニオブ窒化物の晶出を抑制することができ、Nb自体
の添加量も抑えることができる。
In the case of the conventional technique utilizing dispersion strengthening mainly by a crystallized substance such as niobium carbide, as described above, Nb for securing a sufficient crystallized amount is about 0.1%.
Is necessary, and the diameter of the crystallized product is at least about 0.5 μm. On the other hand, according to the present invention, which aims at refining crystal grains by solid solution precipitation of an ultrafine niobium compound, the amount of Nb to be achieved is small as described later. In particular, crystallization of niobium nitride can be suppressed, and the amount of Nb added can be suppressed.

【0025】以下、本発明のFe−Ni系合金に好まし
い具体的組成について、その数値限定理由を述べる。N
iは、Fe−Ni(−Co)系合金の低熱膨張特性に大
きな影響を及ぼす元素である。含有量が30%より少な
く、または50%を越えるものでは熱膨張係数を低める
インバー効果がなくなるため、Niの範囲は30〜50
%とする。また、本発明のFe−Ni系合金はその更な
る低熱膨張特性確保の点から、Niの一部をCoに置換
あるいはCoを添加してもよい。具体的には、Ni:2
7〜47%、Co:22%以下を含有するFe−Ni系
合金であり、好ましくは、Co:2〜6%を含有するF
e−Ni系合金である。
The reasons for limiting the numerical values of the preferred specific composition of the Fe—Ni alloy of the present invention will be described below. N
i is an element having a large effect on the low thermal expansion characteristics of the Fe—Ni (—Co) alloy. If the content is less than 30% or more than 50%, the invar effect of lowering the coefficient of thermal expansion is lost, so the range of Ni is 30 to 50.
%. Further, in the Fe-Ni-based alloy of the present invention, a part of Ni may be replaced with Co or Co may be added from the viewpoint of securing further low thermal expansion characteristics. Specifically, Ni: 2
Fe-Ni alloy containing 7 to 47% and Co: 22% or less, preferably F containing 2 to 6% Co
It is an e-Ni alloy.

【0026】Nbは本発明の重要かつ必須の元素であ
る。本発明においては、その極少量の添加でニオブ化合
物、とりわけニオブ窒化物を超微細に分散析出させるこ
とが可能であり、結晶粒の微細化に効果がある。その結
晶粒微細化に十分な添加量として0.005%を下限と
する。一方、Nb量が0.1%を越えると粗大なニオブ
窒化物を晶出しやすく、1350℃を超える均熱処理で
も固溶し難くなるため、上限を0.1%に限定する。好
ましくは、0.01〜0.05%である。
Nb is an important and essential element of the present invention. In the present invention, it is possible to disperse and precipitate a niobium compound, especially niobium nitride, by adding a very small amount thereof, which is effective in making crystal grains fine. The lower limit of 0.005% is set as a sufficient amount for the crystal grain refinement. On the other hand, if the Nb content exceeds 0.1%, coarse niobium nitride is likely to be crystallized, and it is difficult to form a solid solution even at a soaking temperature of more than 1350 ° C., so the upper limit is limited to 0.1%. Preferably, it is 0.01 to 0.05%.

【0027】Cも本発明の達成の上でその調整が重要な
元素である。多すぎると粗大なニオブ炭化物を晶出し、
結晶粒微細化に有効なニオブ窒化物が少なくなるため、
0.01%未満とする。好ましくは、0.005%以下
である。
C is also an element whose adjustment is important for achieving the present invention. If too much, coarse niobium carbide will crystallize out,
Because the amount of niobium nitride effective for grain refinement decreases,
It should be less than 0.01%. Preferably, it is 0.005% or less.

【0028】Nも本発明のNb,Cに合わせて本発明の
重要な添加元素であり、超微細なニオブ化合物の析出の
上で0.002%以上が必要である。ただし、多量に添
加すると粗大なニオブ窒化物を晶出し易く、均熱処理の
際の固溶温度も高くなるため、上限を0.02%に限定
する。好ましくは、0.003〜0.01%である。
N is also an important additive element of the present invention in accordance with Nb and C of the present invention, and 0.002% or more is required for precipitation of an ultrafine niobium compound. However, if added in a large amount, coarse niobium nitride is easily crystallized, and the solid solution temperature during soaking is increased, so the upper limit is limited to 0.02%. Preferably, it is 0.003 to 0.01%.

【0029】また、本発明の超微細なニオブ化合物を達
成するに、例えば900〜1350℃の均熱処理により
一旦、ニオブ窒化物を固溶させる工程が有効であって、
そのため本発明では[%Nb]・[%N]溶解度積を
0.000013〜0.002に規定している。好まし
くは、0.000013〜0.001とする。
In order to achieve the ultrafine niobium compound of the present invention, it is effective to temporarily dissolve niobium nitride by, for example, soaking at 900 to 1350 ° C.
Therefore, in the present invention, the solubility product of [% Nb] · [% N] is specified to be 0.000013 to 0.002. Preferably, it is 0.000013 to 0.001.

【0030】その他、Mnは熱間加工性を改善する元素
であるが、その低減によってFe−Ni系合金の熱膨張
係数を低くできる作用がある。この効果を得るに本発明
のFe−Ni系合金のMn量は0.10%以下としても
よい。
In addition, Mn is an element that improves hot workability, and has an effect of reducing the coefficient of thermal expansion of an Fe—Ni alloy by reducing the Mn. To obtain this effect, the Mn content of the Fe-Ni-based alloy of the present invention may be 0.10% or less.

【0031】本発明において、多量のB含有はNとの結
合によりニオブ窒化物の形成を阻害することから、好ま
しくは0.004%以下とする。但し、エッチング加工
後の形状改善効果もあり、特にMnを低減するような場
合に有効であることから、0.0001%以上を含有し
てもよい。
In the present invention, since a large amount of B inhibits the formation of niobium nitride by bonding with N, it is preferably made 0.004% or less. However, it also has an effect of improving the shape after etching, and is particularly effective in reducing Mn. Therefore, it may contain 0.0001% or more.

【0032】なお、ニオブ化合物の調整を重要とする本
発明においては、その最適な形成を達成すべく、Fe−
Ni(−Co)系合金に含まれる酸素量を質量比にて1
00ppm以下、好ましくは50ppm以下とすること
が望ましい。
In the present invention, in which the adjustment of the niobium compound is important, the Fe-
The amount of oxygen contained in the Ni (-Co) -based alloy is 1
It is desirably at most 00 ppm, preferably at most 50 ppm.

【0033】[0033]

【実施例】(実施例1)真空誘導溶解炉により、表1に
示す各種成分に調整したFe−36%Niアンバー系合
金の鋼塊を作製した。その後、1100℃に加熱して鍛
造と熱間圧延を施して厚さ2.5mmの板材とした。こ
の板材に800〜900℃でのニオブ化合物の析出処理
を行った後、冷間圧延と焼鈍を繰り返して厚さ0.1m
mの冷間圧延材とした。
EXAMPLES Example 1 Ingots of Fe-36% Ni invar alloy adjusted to the various components shown in Table 1 were produced in a vacuum induction melting furnace. Thereafter, the sheet was heated to 1100 ° C. and subjected to forging and hot rolling to obtain a sheet having a thickness of 2.5 mm. After performing a precipitation treatment of a niobium compound at 800 to 900 ° C. on this sheet material, cold rolling and annealing are repeated to obtain a thickness of 0.1 m.
m of cold-rolled material.

【0034】これら仕上げた冷間圧延材を供試材とし、
各供試材についての平均結晶粒径(JIS G 055
1による結晶粒度番号)と、最大のニオブ化合物(ニオ
ブと窒素を主体とする化合物および、ニオブと炭素を主
体とする化合物)の粒径、総個数、0.2%耐力、熱膨
張係数を測定した。なお、ニオブ化合物の粒径測定は、
供試材をスピード法で腐食した組織面について、その総
測定観察視野面積500μmを走査電子顕微鏡にて観
察することで行なった。ニオブ化合物の総個数は同組織
面に観察される数をカウント、換算した。また、0.2
%耐力は20℃おいて、熱膨張係数は20〜100℃の
範囲で測定した。
These finished cold-rolled materials were used as test materials,
Average grain size of each test material (JIS G 055
1) and the particle size, total number, 0.2% proof stress, and coefficient of thermal expansion of the largest niobium compounds (compounds mainly composed of niobium and nitrogen and compounds mainly composed of niobium and carbon) did. Incidentally, the particle size measurement of the niobium compound,
The specimen surface was corroded by the speed method, and the observation was performed by observing the total measurement observation visual field area of 500 μm 2 with a scanning electron microscope. The total number of niobium compounds was obtained by counting and converting the number observed on the same tissue surface. Also, 0.2
The percent proof stress was measured at 20 ° C, and the coefficient of thermal expansion was measured in the range of 20 to 100 ° C.

【0035】[0035]

【表1】 [Table 1]

【0036】本発明を満たすNo.1〜5は、ニオブ化
合物の微細析出により微細な結晶粒が得られており、N
b無添加材(No.7)に比べて、低熱膨張特性等のシ
ャドウマスク材としての特性を損なうこと無く、耐力を
約10%程度向上させることができた。一方、Nb量の
多いNo.6は、0.2%耐力こそ向上しているも、造
塊時の冷却速度が遅い部分でやや大きなニオブ窒化物の
晶出が見られるため、熱間加工性やエッチング性状が悪
い。そして、No.8はC量が多いため、大きめのニオ
ブ炭化物を晶出していることから、エッチング性状が悪
い。
No. satisfying the present invention. In Nos. 1 to 5, fine crystal grains were obtained by fine precipitation of a niobium compound.
As compared with the b-free material (No. 7), the proof stress could be improved by about 10% without impairing the properties as a shadow mask material such as low thermal expansion characteristics. On the other hand, No. 2 having a large amount of Nb was used. In No. 6, although the proof stress is improved by 0.2%, since a relatively large crystallization of niobium nitride is observed in a portion where the cooling rate during ingot formation is low, hot workability and etching properties are poor. And No. No. 8 has a large C content, so that a large niobium carbide is crystallized, so that the etching property is poor.

【0037】(実施例2)真空誘導溶解炉により、表2
に示す各種成分に調整したFe−42%Ni合金の鋼塊
を作製した。その後、1100℃に加熱して鍛造と熱間
圧延を施して厚さ2.5mmの板材とした。この板材に
800〜900℃でのニオブ化合物の析出処理を行った
後、冷間圧延と焼鈍を繰り返して厚さ0.5mmの冷間
圧延材とした。
Example 2 Using a vacuum induction melting furnace, Table 2
The steel ingot of the Fe-42% Ni alloy adjusted to the various components shown in the following was produced. Thereafter, the sheet was heated to 1100 ° C. and subjected to forging and hot rolling to obtain a sheet having a thickness of 2.5 mm. After performing a precipitation treatment of a niobium compound at 800 to 900 ° C. on this sheet material, cold rolling and annealing were repeated to obtain a cold rolled material having a thickness of 0.5 mm.

【0038】これら仕上げた冷間圧延材を供試材とし、
各供試材についての平均結晶粒径(JIS G 055
1による結晶粒度番号)と、最大のニオブ化合物の粒
径、総個数、0.2%耐力、バリ体積を測定した。な
お、バリ体積はプレス打抜き試験を行なった供試材の打
抜き縁に立つバリの体積を、圧延方向と平行な面で長さ
350μmの範囲で測定したものである。0.2%耐力
およびニオブ化合物の粒径、総個数の測定については実
施例1に従うものである。
The finished cold-rolled material was used as a test material,
Average grain size of each test material (JIS G 055
1), the maximum particle size of the niobium compound, the total number, the 0.2% proof stress, and the burr volume. The burr volume is obtained by measuring the volume of the burr standing on the punched edge of the test material subjected to the press punching test within a range of 350 μm in a plane parallel to the rolling direction. The measurement of the 0.2% proof stress, the particle size of the niobium compound, and the total number are in accordance with Example 1.

【0039】[0039]

【表2】 [Table 2]

【0040】本発明を満たすNo.9〜12は、ニオブ
化合物の微細析出による結晶粒の微細化により0.2%
耐力が向上した。そして、その微細なニオブ化合物の析
出によって打抜き面の破断単位が小さくなり、Nb無添
加材(No.14)よりバリが小さくなった。なお、N
o.13はNbの添加量が多く、粗大なニオブ窒化物を
晶出しているため、打抜き時の金型の摩耗を増長した。
No. satisfying the present invention. 9 to 12 are 0.2% due to the refinement of crystal grains by fine precipitation of the niobium compound.
The proof stress improved. Then, the unit of breakage of the punched surface was reduced by the precipitation of the fine niobium compound, and the burr was smaller than that of the Nb-free material (No. 14). Note that N
o. In No. 13, the amount of Nb added was large, and coarse niobium nitride was crystallized, so that the wear of the die during punching was increased.

【0041】(実施例3)真空誘導溶解炉により、表3
に示す各種成分に調整したFe−31%Ni−5%Co
スーパーインバー系合金の鋼塊を作製した。その後、1
100℃に加熱して鍛造と熱間圧延を施して厚さ2.5
mmの板材とした。この板材に800〜900℃でニオ
ブ化合物の析出処理を行った後、冷間圧延と焼鈍を繰り
返して厚さ0.1mmの冷間圧延材とした。
Example 3 Using a vacuum induction melting furnace, Table 3
Fe-31% Ni-5% Co adjusted to various components shown in
A steel ingot of a Super Invar alloy was prepared. Then 1
Heated to 100 ° C, forged and hot rolled to a thickness of 2.5
mm plate material. After performing a precipitation treatment of a niobium compound on the sheet at 800 to 900 ° C., cold rolling and annealing were repeated to obtain a cold-rolled material having a thickness of 0.1 mm.

【0042】これら仕上げた冷間圧延材を供試材とし、
そして、各供試材についての平均結晶粒径(JIS G
0551による結晶粒度番号)と、最大のニオブ化合
物の粒径、総個数、0.2%耐力、熱膨張係数を測定し
た。測定要領は実施例1に従う。
The finished cold-rolled material was used as a test material,
Then, the average crystal grain size (JIS G
0551), the maximum particle size of the niobium compound, the total number, the 0.2% proof stress, and the coefficient of thermal expansion. The measurement procedure follows Example 1.

【0043】[0043]

【表3】 [Table 3]

【0044】本発明を満たすNo.15〜18は、ニオ
ブ化合物の微細析出により微細な結晶粒が得られてお
り、Nb無添加材(No.20)に比べて、熱膨張特性
やその他の特性を損なうこと無く、耐力を約10%程度
向上させることができた。一方、No.19はNb量が
多いため、造塊時の冷却速度が遅い部分でやや大きなニ
オブ窒化物の晶出が見られることから、熱間加工性やエ
ッチング性状が悪い。No.21はC量が多いため、大
きめのニオブ炭化物を晶出していることから、エッチン
グ性状が悪い。
No. satisfying the present invention. In Nos. 15 to 18, fine crystal grains are obtained by fine precipitation of the niobium compound, and the yield strength is about 10 without impairing the thermal expansion characteristics and other characteristics as compared with the Nb-free material (No. 20). % Could be improved. On the other hand, No. 19 has a large amount of Nb, so that a relatively large crystallization of niobium nitride is observed in a portion where the cooling rate during ingot is low, so that hot workability and etching properties are poor. No. 21 has a large amount of C and, therefore, crystallizes a large amount of niobium carbide, and thus has poor etching properties.

【0045】そして、上記本発明の供試材をシャドウマ
スクとして用いたブラウン管は、色純度に優れるもので
ある。また、そのリードフレームとして用いた半導体素
子は、高集積度に優れるものである。
A cathode ray tube using the above-described test material of the present invention as a shadow mask is excellent in color purity. The semiconductor element used as the lead frame is excellent in high integration.

【0046】[0046]

【発明の効果】本発明であれば、高強度でかつ熱膨張係
数が小さいFe−Ni系合金の提供が可能である。よっ
て、シャドウマスク材の用途においては、ハンドリング
が容易になるため、更なる薄板化が可能になることか
ら、プレス成形方式に加えてテンション方式にも適し、
マスク原価の低減が図れる。そして、リードフレーム材
の用途においては、高強度化により打抜き加工性も向上
し、加工形状の微細化、高精度化が図れる。
According to the present invention, it is possible to provide an Fe-Ni alloy having high strength and a small coefficient of thermal expansion. Therefore, in the application of the shadow mask material, since the handling becomes easy, and further thinning is possible, in addition to the press molding method, it is suitable for the tension method,
Mask costs can be reduced. In the use of the lead frame material, the punching workability is also improved by the high strength, and the processing shape can be made finer and the precision can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】Fe−Ni系合金の組織面に観察されるニオブ
化合物を示す金属ミクロ組織写真である。
FIG. 1 is a metal microstructure photograph showing a niobium compound observed on the structure surface of an Fe—Ni-based alloy.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 23/50 H01L 23/50 V Fターム(参考) 5C027 HH02 5C031 EE05 5F067 AA00 EA02 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H01L 23/50 H01L 23/50 VF term (Reference) 5C027 HH02 5C031 EE05 5F067 AA00 EA02

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 質量%にて、Ni:30〜50%を含有
し、残部はFeを主体とするFe−Ni系合金であっ
て、組織断面に観察されるニオブおよび窒素を主体とす
る化合物および、ニオブおよび炭素を主体とする化合物
の最大粒径が0.5μm未満でありかつ、その組織断面
に占める総個数が50000個/mm以上であること
を特徴とする高強度低熱膨張Fe−Ni系合金。
1. A Fe-Ni-based alloy containing 30 to 50% of Ni by mass%, with the balance being Fe, and a compound mainly composed of niobium and nitrogen observed in a cross section of a structure. And a high-strength low-thermal-expansion Fe— compound, wherein the maximum particle size of the compound mainly composed of niobium and carbon is less than 0.5 μm, and the total number of the compounds in the tissue cross section is 50,000 / mm 2 or more. Ni-based alloy.
【請求項2】 質量%にて、Ni:30〜50%、N
b:0.005〜0.1%、C:0.01%未満、N:
0.002〜0.02%、残部が実質的にFeからな
り、0.000013≦[%Nb]・[%N]≦0.0
02であることを特徴とする請求項1に記載の高強度低
熱膨張Fe−Ni系合金。
2. In mass%, Ni: 30 to 50%, N
b: 0.005 to 0.1%, C: less than 0.01%, N:
0.002 to 0.02%, the balance being substantially Fe, 0.000013 ≦ [% Nb] · [% N] ≦ 0.0
2. The high-strength low-thermal-expansion Fe—Ni-based alloy according to claim 1.
【請求項3】 質量%にて、Ni:27〜47%、C
o:22%以下を含有し、残部はFeを主体とするFe
−Ni系合金であって、組織断面に観察されるニオブと
窒素を主体とする化合物および、ニオブと炭素を主体と
する化合物の最大粒径が0.5μm未満でありかつ、そ
の組織断面に占める総個数が50000個/mm以上
であることを特徴とする高強度低熱膨張Fe−Ni系合
金。
3. In mass%, Ni: 27-47%, C
o: contains 22% or less, with the balance being Fe mainly composed of Fe
A Ni-based alloy, in which a compound mainly composed of niobium and nitrogen and a compound mainly composed of niobium and carbon observed in the structure section have a maximum particle size of less than 0.5 μm and occupy the structure section; A high-strength low-thermal-expansion Fe-Ni-based alloy having a total number of 50,000 / mm 2 or more.
【請求項4】 質量%にて、Ni:27〜47%、C
o:22%以下、Nb:0.005〜0.1%、C:
0.01%未満、N:0.002〜0.02%、残部が
実質的にFeからなり、0.000013≦[%Nb]
・[%N]≦0.002であることを特徴とする請求項
3に記載の高強度低熱膨張Fe−Ni系合金。
4. Ni: 27 to 47% by mass%, C:
o: 22% or less, Nb: 0.005 to 0.1%, C:
Less than 0.01%, N: 0.002 to 0.02%, balance substantially consisting of Fe, 0.000013 ≦ [% Nb]
The high-strength low-thermal-expansion Fe—Ni alloy according to claim 3, wherein [% N] ≦ 0.002.
【請求項5】 平均結晶粒径がJIS G 0551に
よる粒度番号にて10以上の細粒であることを特徴とす
る請求項1ないし4のいずれかに記載の高強度低熱膨張
Fe−Ni系合金。
5. The high-strength, low-thermal-expansion Fe—Ni-based alloy according to claim 1, wherein the average crystal grain size is a fine grain having a grain size number of 10 or more according to JIS G 0551. .
【請求項6】 質量%にて、Mn:0.10%以下であ
ることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載
の高強度低熱膨張Fe−Ni系合金。
6. The high-strength low-thermal-expansion Fe—Ni-based alloy according to claim 1, wherein Mn is 0.10% or less in mass%.
【請求項7】 質量%にて、B:0.004%以下であ
ることを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載
の高強度低熱膨張Fe−Ni系合金。
7. The high-strength low-thermal-expansion Fe—Ni-based alloy according to claim 1, wherein B is 0.004% or less by mass%.
【請求項8】 請求項1ないし7のいずれかに記載のF
e−Ni系合金よりなることを特徴とするシャドウマス
ク。
8. The F according to claim 1, wherein
A shadow mask comprising an e-Ni alloy.
【請求項9】 請求項8に記載のシャドウマスクを用い
たことを特徴とするブラウン管。
9. A cathode ray tube using the shadow mask according to claim 8. Description:
【請求項10】 請求項1ないし7のいずれかに記載の
Fe−Ni系合金よりなることを特徴とするリードフレ
ーム。
10. A lead frame comprising the Fe—Ni-based alloy according to claim 1.
【請求項11】 請求項10に記載のリードフレームを
用いたことを特徴とする半導体素子。
11. A semiconductor device using the lead frame according to claim 10.
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