JP2001358180A - テープ状物の処理装置およびテープ状物の処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電子部品実装用フィルムキャリアテープなど
のテープ状物を、処理部において処理する際に、位置精
度良く、正確な停止位置が得られ、確実な処理を実施す
ることができるテープ状物の処理装置を提供する。 【解決手段】 送り出し装置と処理部との間、および巻
き取り装置と処理部との間で垂下されるテープ状物の下
方端の位置をそれぞれ、上下方向に設けた３つのセンサ
ーによって、その位置を検知して、送り出し装置と巻き
取り装置のぞれぞれの駆動、停止を制御して、これらの
垂下されるテープ状物の下方端の位置を常に一定範囲に
あるようにして、テープ状物に付加されるテンションが
常に一定の値となるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、テープ状物、特
に、電子部品実装用フィルムキャリアテープ（ＴＡＢ
（Tape Automated Bonding）テープ、Ｔ-ＢＧＡ(Tape B
all Grid Array)テープ、ＡＳＩＣ（Application Speci
fic Integrated Circuit）テープなど）（以下、単に
「電子部品実装用フィルムキャリアテープ」と言う。）
に対して、所定の処理、例えば、スクリーン印刷、電気
検査、外観検査などの処理を実施する際に、テープ状物
を所定位置に停止することのできるテープ状物の処理装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】エレクトロニクス産業の発達に伴い、Ｉ
Ｃ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）などの電子
部品を実装するプリント配線板の需要が急激に増加して
いるが、電子機器の小型化、軽量化、高機能化が要望さ
れ、これら電子部品の実装方法として、最近ではＴＡＢ
テープ、Ｔ-ＢＧＡテープおよびＡＳＩＣテープなどの
電子部品実装用フィルムキャリアテープを用いた実装方
式が採用されている。特に、パーソナルコンピュータな
どのように高精細化、薄型化、液晶画面の額縁面積の狭
小化が要望されている液晶表示素子（ＬＣＤ）を使用す
る電子産業においてその重要性が高まっている。

【０００３】さらに、最近では、フィルムキャリアテー
プの中でも、図４に示したように、ＢＧＡ（Ball Grid
Array）と呼ばれるアウターリードの代わりにフィルム
キャリアテープ３００に孔３０２を開けて、この孔３０
２を介してＩＣ３０４などをハンダボール３０６で接続
するデバイスホールの設けられていないフィルムキャリ
アテープ、ＣＳＰ（Chip Size Package）と呼ばれるＩ
Ｃのサイズとフィルムキャリアテープのパッケージのサ
イズとが同じであり、その接続方法が主にＢＧＡと同じ
であるフィルムキャリアテープも用いられるようになっ
ている。

【０００４】このような電子部品実装用フィルムキャリ
アテープでは、例えば、ＴＡＢテープ２００は、図５に
示したように、幅方向の両側端部に、それぞれ長手方向
に連続して複数の移送用のスプロケット孔２０２、２０
２が並設されており、このスプロケット孔２０２の間の
略中央部分にＩＣなどのデバイスを装着するデバイスホ
ール２０４が形成されている。そして、デバイスホール
２０４のインナーリード２０６、アウターリード２０８
からなる配線パターン２１０が形成されている。

【０００５】ところで、このようなＴＡＢテープ２００
において、ＴＡＢテープ２００の品質を検査することが
実施されているが、配線パターン２１０の電気的な断
線、短絡、絶縁抵抗などを電気的に検査して、不良品に
ついてパンチングなどにより不良マーキングを施す方法
が実施されている。また、最近では、図６に示したよう
に、被検査対象であるＴＡＢテープ１００の電子部品実
装部１０２の配線パターンをラインセンサカメラと呼ば
れるＣＣＤカメラ１０４を用い、このカメラを矢印で示
したＴＡＢテープの長手方向に、スプロケット孔を基準
にして、所定の距離だけ移動させ走査することによっ
て、配線パターンを撮像（取り込む）する。これによっ
て、得られた撮像情報を比較することによって、例え
ば、Ａ／Ｄ変換器でデジタル情報化するとともに、濃淡
画像情報に変換してエッジデータを得、これと予め記憶
された良品のマスターパターンのエッジデータ（二値化
情報）と比較することによって、配線パターンの不良を
検査している（特開平６−２７３１２号公報、特開平７
−１１０８６３号公報）。

【０００６】さらに、このような画像検査を実施した後
に、電子部品実装用フィルムキャリアテープの不良であ
るメッキ不良、汚れ、異物などの外観検査を、実体顕微
鏡で、反射光または透過光を利用して、人の目視にて実
施している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】このような画像検査、
外観検査を実施する際には、従来では、図７に示したよ
うな検査装置が用いられている。すなわち、従来の検査
装置４００では、リール４０２に巻装された電子部品実
装用フィルムキャリアテープＴが、送り出し装置４０４
から送給され、電子部品実装用フィルムキャリアテープ
テープＴにテンション（張力）を付加する送り出し用ダ
ンサーローラ（段差ローラ）４０６を介して、実体顕微
鏡など備えた検査部４０８に供給されるようになってい
る。

【０００８】検査部４０８には、スプロケットギアから
なるドライブギア４１０と押さえローラ４１２によっ
て、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴが搬送さ
れて、検査部４０８の検査装置４１４の下方に、電子部
品実装用フィルムキャリアテープＴの所定の検査部位が
位置した際に搬送が停止される（ピッチ送りされる）。
そして、スプロケットギアからなるバックテンションギ
ア４１６と押さえローラ４１８によって、電子部品実装
用フィルムキャリアテープＴにバックテンションを付加
して、位置決めされ検査が実施される。

【０００９】検査が終了した電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープＴは、テンションを付加する巻き取り用ダ
ンサーローラ４２０を介して、巻き取り装置のリール４
２６に巻き取られるようになっている。このような従来
の検査装置４００では、送り出し用ダンサーローラ４０
６と巻き取り用ダンサーローラ４２０はそれぞれ、図８
に示したように、ダンサーローラの支持軸の基端部の位
置を検出する上下方向に配置された２つの位置センサー
４２２、４２４によって、電子部品実装用フィルムキャ
リアテープＴに一定のテンションが付加されるように制
御されている。

【００１０】すなわち、例えば、図８に示したように、
送り出し用ダンサーローラ４０６の支持軸４０７の基端
部４０９の位置が、上方位置にあると上方位置センサー
４２２ａが検知した際、すなわち、送り出し用ダンサー
ローラ４０６が下方位置にあるときには、送り出し装置
４０４の送給を停止する。そして、逆に、送り出し用ダ
ンサーローラ４０６の支持軸４０７の基端部４０９の位
置が、下方位置にあると下方位置センサー４２２ｂが検
知した際、すなわち、送り出し用ダンサーローラ４０６
が上方位置にあるときには、送り出し装置４０４の送給
を開始するようになっている。これによって、電子部品
実装用フィルムキャリアテープＴに一定のテンションが
付加されるように制御されている。なお、このような制
御は、巻き取り用ダンサーローラ４２０についても同様
に実施されている。

【００１１】しかしながら、このような２つのセンサー
の入切によって、ダンサーローラを上下させ、電子部品
実装用フィルムキャリアテープＴにテンションを付加す
る方法では、ダンサロールの重量でテンションを付加し
ている。従って、検査部４０８の検査装置４１４の下方
に、電子部品実装用フィルムキャリアテープＴの所定の
検査部位が位置した際に搬送を停止した際、または、送
り出し用ダンサーローラ４０６が上方位置または下方位
置で停止した際に、図８の矢印Ｋで示したように、送り
出し用ダンサーローラ４０６が上下に揺動することにな
る。

【００１２】そのため、この送り出し用ダンサーローラ
４０６の揺動によって、電子部品実装用フィルムキャリ
アテープもその位置が移動し、検査部４０８における実
体顕微鏡などによる検査の際に、電子部品実装用フィル
ムキャリアテープＴの位置がずれることになり、電子部
品実装用フィルムキャリアテープＴの停止位置の精度に
影響して、正確な停止位置が得られなくなり、検査自体
の信頼性も低下することになる。なお、このような問題
は、送り出し用ダンサーローラ４０６側だけでなく、巻
き取り用ダンサーローラ４２０側においても同様に発生
する。

【００１３】本発明は、このような現状を考慮して、電
子部品実装用フィルムキャリアテープなどのテープ状物
の処理装置に対して、常に一定のテンションをテープ状
物に対して、付加することができ、スクリーン印刷、電
気検査、外観検査などの処理を実施する際に、電子部品
実装用フィルムキャリアテープなどのテープ状物を、処
理部において処理する際に、位置精度良く、正確な停止
位置が得られ、確実な処理を実施することができるテー
プ状物の処理装置およびテープ状物の処理方法を提供す
ることを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は、前述したよう
な従来技術における課題及び目的を達成するために発明
なされたものであって、本発明のテープ状物の処理装置
は、リールに巻装されたテープ状物を送給する送り出し
装置と、前記送り出し装置から送給されたテープ状物
に、所定の処理を行う処理部と、前記処理部において、
所定の処理を終了したテープ状物をリールに巻き取る巻
き取り装置とを備えたテープ状物の処理装置であって、
前記送り出し装置と処理部との間で、テープ状物を垂下
させて、テープ状物にテンションを付加するとともに、
前記送り出し装置と処理部との間に、前記垂下したテー
プ状物の下端位置を検出する上下方向に配置された３つ
の送り出し用位置検出センサーを設けるとともに、前記
垂下したテープ状物の下端位置が上方位置にあること
を、第１の送り出し用位置検出センサーによって検知し
た際に、前記送り出し装置を駆動して、テープ状物を送
り出して、テープ状物を下方に移動させるようにすると
ともに、前記垂下したテープ状物の下端位置が下方位置
にあることを、第２の送り出し用位置検出センサーによ
って検知した際に、前記送り出し装置を停止させ、前記
垂下したテープ状物の下端位置が、前記下方位置よりも
下方の下方限界位置に位置することを第３の送り出し用
位置検出センサーによって検知した際に、装置自体を停
止するように構成したことを特徴とするテープ状物の処
理装置である。

【００１５】また、本発明のテープ状物の処理装置は、
リールに巻装されたテープ状物を送給する送り出し装置
と、前記送り出し装置から送給されたテープ状物に、所
定の処理を行う処理部と、前記処理部において、所定の
処理を終了したテープ状物をリールに巻き取る巻き取り
装置とを備えたテープ状物の処理装置であって、前記巻
き取り装置と処理部との間で、テープ状物を垂下させ
て、テープ状物にテンションを付加するとともに、前記
巻き取り装置と処理部との間に、前記垂下したテープ状
物の下端位置を検出する上下方向に配置された３つの巻
き取り用位置検出センサーを設けるとともに、前記垂下
したテープ状物の下端位置が上方位置にあり、テープ状
物のテンションが所定のテンションを下回ることを、第
１の巻き取り用位置検出センサーによって検知した際
に、前記巻き取り装置を停止させて、テープ状物に所定
のテンションを付加するようにするとともに、前記垂下
したテープ状物の下端位置が下方位置にあり、テープ状
物のテンションが所定のテンションを上回ることを、第
２の巻き取り用位置検出センサーによって検知した際
に、前記巻き取り装置を駆動して、テープ状物を巻き取
って、テープ状物を上方に移動させ、前記垂下したテー
プ状物の下端位置が、前記下方位置よりも下方の下方限
界位置に位置することを第３の巻き取り用位置検出セン
サーによって検知した際に、装置自体を停止するように
構成したことを特徴とするテープ状物の処理装置であ
る。

【００１６】また、本発明のテープ状物の処理装置は、
リールに巻装されたテープ状物を送給する送り出し装置
と、前記送り出し装置から送給されたテープ状物に、所
定の処理を行う処理部と、前記処理部において、所定の
処理を終了したテープ状物をリールに巻き取る巻き取り
装置とを備えたテープ状物の処理装置であって、前記送
り出し装置と処理部との間で、テープ状物を垂下させ
て、テープ状物にテンションを付加するとともに、前記
送り出し装置と処理部との間に、前記垂下したテープ状
物の下端位置を検出する上下方向に配置された３つの送
り出し用位置検出センサーを設けるとともに、前記垂下
したテープ状物の下端位置が上方位置にあることを、第
１の送り出し用位置検出センサーによって検知した際
に、前記送り出し装置を駆動して、テープ状物を送り出
して、テープ状物を下方に移動させるようにするととも
に、前記垂下したテープ状物の下端位置が下方位置にあ
ることを、第２の送り出し用位置検出センサーによって
検知した際に、前記送り出し装置を停止させ、前記垂下
したテープ状物の下端位置が、前記下方位置よりも下方
の下方限界位置に位置することを第３の送り出し用位置
検出センサーによって検知した際に、装置自体を停止す
るように構成するとともに、前記巻き取り装置と処理部
との間で、テープ状物を垂下させて、テープ状物にテン
ションを付加するとともに、前記巻き取り装置と処理部
との間に、前記垂下したテープ状物の下端位置を検出す
る上下方向に配置された３つの巻き取り用位置検出セン
サーを設けるとともに、前記垂下したテープ状物の下端
位置が上方位置にあり、テープ状物のテンションが所定
のテンションを下回ることを、第１の巻き取り用位置検
出センサーによって検知した際に、前記巻き取り装置を
停止させて、テープ状物に所定のテンションを付加する
ようにするとともに、前記垂下したテープ状物の下端位
置が下方位置にあり、テープ状物のテンションが所定の
テンションを上回ることを、第２の巻き取り用位置検出
センサーによって検知した際に、前記巻き取り装置を駆
動して、テープ状物を巻き取って、テープ状物を上方に
移動させ、前記垂下したテープ状物の下端位置が、前記
下方位置よりも下方の下方限界位置に位置することを第
３の巻き取り用位置検出センサーによって検知した際
に、装置自体を停止するように構成したことを特徴とす
るテープ状物の処理装置である。

【００１７】また、本発明のテープ状物の処理方法は、
リールに巻装されたテープ状物を、送り出し装置から送
給して、一定の処理を行う処理部に供給し、前記テープ
状物を処理部において、搬送を停止して、テープ状物に
対して一定の処理を行い、前記処理部において、処理が
終了したテープ状物を、巻き取り装置のリールに巻き取
き取るテープ状物の処理方法であって、前記送り出し装
置と処理部との間で、テープ状物を垂下させて、テープ
状物にテンションを付加するとともに、前記送り出し装
置と処理部との間に、前記垂下したテープ状物の下端位
置を検出する上下方向に配置された３つの送り出し用位
置検出センサーを設けるとともに、前記垂下したテープ
状物の下端位置が上方位置にあることを、第１の送り出
し用位置検出センサーによって検知した際に、前記送り
出し装置を駆動して、テープ状物を送り出して、テープ
状物を下方に移動させるようにするとともに、前記垂下
したテープ状物の下端位置が下方位置にあることを、第
２の送り出し用位置検出センサーによって検知した際
に、前記送り出し装置を停止させ、前記垂下したテープ
状物の下端位置が、前記下方位置よりも下方の下方限界
位置に位置することを第３の送り出し用位置検出センサ
ーによって検知した際に、装置自体を停止することを特
徴とするテープ状物の処理方法である。

【００１８】また、本発明のテープ状物の処理方法は、
リールに巻装されたテープ状物を、送り出し装置から送
給して、一定の処理を行う処理部に供給し、前記テープ
状物を処理部において、搬送を停止して、テープ状物に
対して一定の処理を行い、前記処理部において、処理が
終了したテープ状物を、巻き取り装置のリールに巻き取
き取るテープ状物の処理方法であって、前記巻き取り装
置と処理部との間で、テープ状物を垂下させて、テープ
状物にテンションを付加するとともに、前記巻き取り装
置と処理部との間に、前記垂下したテープ状物の下端位
置を検出する上下方向に配置された３つの巻き取り用位
置検出センサーを設けるとともに、前記垂下したテープ
状物の下端位置が上方位置にあり、テープ状物のテンシ
ョンが所定のテンションを下回ることを、第１の巻き取
り用位置検出センサーによって検知した際に、前記巻き
取り装置を停止させて、テープ状物に所定のテンション
を付加するようにするとともに、前記垂下したテープ状
物の下端位置が下方位置にあり、テープ状物のテンショ
ンが所定のテンションを上回ることを、第２の巻き取り
用位置検出センサーによって検知した際に、前記巻き取
り装置を駆動して、テープ状物を巻き取って、テープ状
物を上方に移動させて、前記垂下したテープ状物の下端
位置が、前記下方位置よりも下方の下方限界位置に位置
することを第３の巻き取り用位置検出センサーによって
検知した際に、装置自体を停止するように構成したこと
を特徴とするテープ状物の処理方法である。

【００１９】また、本発明のテープ状物の処理方法は、
リールに巻装されたテープ状物を、送り出し装置から送
給して、一定の処理を行う処理部に供給し、前記テープ
状物を処理部において、搬送を停止して、テープ状物に
対して一定の処理を行い、前記処理部において、処理が
終了したテープ状物を、巻き取り装置のリールに巻き取
き取るテープ状物の処理方法であって、前記送り出し装
置と処理部との間で、テープ状物を垂下させて、テープ
状物にテンションを付加するとともに、前記送り出し装
置と処理部との間に、前記垂下したテープ状物の下端位
置を検出する上下方向に配置された３つの送り出し用位
置検出センサーを設けるとともに、前記垂下したテープ
状物の下端位置が上方位置にあることを、第１の送り出
し用位置検出センサーによって検知した際に、前記送り
出し装置を駆動して、テープ状物を送り出して、テープ
状物を下方に移動させるようにするとともに、前記垂下
したテープ状物の下端位置が下方位置にあることを、第
２の送り出し用位置検出センサーによって検知した際
に、前記送り出し装置を停止させ、前記垂下したテープ
状物の下端位置が、前記下方位置よりも下方の下方限界
位置に位置することを第３の送り出し用位置検出センサ
ーによって検知した際に、装置自体を停止するように構
成するとともに、前記巻き取り装置と処理部との間で、
テープ状物を垂下させて、テープ状物にテンションを付
加するとともに、前記巻き取り装置と処理部との間に、
前記垂下したテープ状物の下端位置を検出する上下方向
に配置された３つの巻き取り用位置検出センサーを設け
るとともに、前記垂下したテープ状物の下端位置が上方
位置にあり、テープ状物のテンションが所定のテンショ
ンを下回ることを、第１の巻き取り用位置検出センサー
によって検知した際に、前記巻き取り装置を停止させ
て、テープ状物に所定のテンションを付加するようにす
るとともに、前記垂下したテープ状物の下端位置が下方
位置にあり、テープ状物のテンションが所定のテンショ
ンを上回ることを、第２の巻き取り用位置検出センサー
によって検知した際に、前記巻き取り装置を駆動して、
テープ状物を巻き取って、テープ状物を上方に移動さ
せ、前記垂下したテープ状物の下端位置が、前記下方位
置よりも下方の下方限界位置に位置することを第３の巻
き取り用位置検出センサーによって検知した際に、装置
自体を停止することを特徴とするテープ状物の処理方法
である。

【００２０】このように構成することによって、従来の
ように、ダンサーローラを用いてダンサロールの重量で
テープ状物にテンションを付加するのではなく、３２の
バックテンションギアのみで一定のテンションを与える
事で、テープの巻きだし、巻き取り時のダンサーローラ
の慣性力でテープに余分な力が付加されるのを防ぐ物で
ある。

【００２１】例えば、検査などの処理のために、テープ
状物の搬送を停止する際に、従来のダンサーローラを用
いた場合のようにその位置がずれることなく、位置精度
良く、正確な停止位置が得られ、確実な処理を実施する
ことができる。また、この際に、テープ状物の垂下状態
を、上下方向に配置された第１の位置検出センサーと第
２の位置検出センサーの２つの位置検出センサーで検知
して、送り出し装置、巻き取り装置の駆動を制御して、
テープ状物の垂下位置を常に一定範囲にあるようにして
いるので、テープ状物に付加されるテンションが常に一
定の値となる。これによって、テープ状物に対して、処
理部において処理する際に、位置精度良く、正確な停止
位置が得られ、確実な処理を実施することができる。

【００２２】さらに、第３の位置検出センサーによっ
て、垂下したテープ状物の下端位置が所定の限界値に達
したことを検知した際には、テープ状物が床面と接触し
て、テープ状物が汚染したり損傷するのを防止するよう
に、装置全体を停止するようになっている。また、本発
明では、前記テープ状物が、電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープであることを特徴とする。

【００２３】これによって、スクリーン印刷、電気検
査、外観検査などの処理を実施する際に、電子部品実装
用フィルムキャリアテープを、処理部において処理する
際に、位置精度良く、正確な停止位置が得られ、確実な
処理を実施することができる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態（実施例）について説明する。図１は、本
発明のテープ状物の処理装置を、電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの検査装置に適用した例を示す正面
図、図２は、図１の送り出し装置の制御を示す概略図、
図３は、図１の巻き取り装置の制御を示す概略図であ
る。

【００２５】図１に示したように、１０は全体で本発明
の電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置を
示している。電子部品実装用フィルムキャリアテープの
検査装置１０（以下、単に「検査装置１０」と言う）
は、図１に示したように、送り出し装置２０と、検査部
３０と、マーキング部４０と、巻き取り装置５０とを備
えている。

【００２６】送り出し装置２０には、例えば、ＣＳＰ、
ＢＧＡのようなタイプの電子部品実装用フィルムキャリ
アテープ（以下、単に「ＴＡＢテープと言う」）であっ
て、その製造工程が終了したＴＡＢテープＴが、スペー
サＳを介して巻装されたリールＲが、送り出し駆動軸２
２に装着されている。そして、図示しない駆動モータの
駆動により、送り出し駆動軸２２が回転して、ＴＡＢテ
ープＴがリールＲからスペーサＳとともに繰り出され
て、案内ローラ２１を介して、検査部３０へと供給され
るようになっている。

【００２７】この検査部３０に供給されたＴＡＢテープ
Ｔは、バックテンションギア３２とドライブギア３４の
間を通過する際に、ドライブギア３４の駆動が一時停止
されて、ＴＡＢテープＴの送給が停止されるとともに、
ＴＡＢテープＴのスプロケット孔に係合するバックテン
ションギア３２の逆転によって、ＴＡＢテープＴが正確
に所定の位置に、例えば、ＴＡＢテープＴのスプロケッ
ト孔を基準にして、位置決めされるようになっている
（ピッチ送りされる）。図中、３１、３３は、これらの
ギアとの間でＴＡＢテープＴを押さえるための押さえロ
ーラである。

【００２８】そして、検査部３０には、図１に示したよ
うに、例えば、断線、短絡、欠け、突起などの外観検査
を、反射光または透過光を利用して、人の目視にて実施
するための実体顕微鏡などの顕微鏡３６が配置されてい
る。そして、この顕微鏡で、不良部分が発見されたＴＡ
ＢテープＴの電子部品実装部に、インキング、パンチン
グなどによるマークを施すためのマーキング部４０が配
置されている。

【００２９】このように、マーキング部４０によって、
ＴＡＢテープＴの不良箇所の所定位置に、所定のマーキ
ングが施された後、ＴＡＢテープＴは、案内ローラ４２
を通過して、次の巻き取り装置５０に供給される。図１
に示したように、巻き取り装置５０に供給されたＴＡＢ
テープＴは、図示しない駆動モータの駆動により巻き取
り駆動軸５２が回転することにより、巻き取り駆動軸５
２に装着されたリールＲに、案内ローラ４２を介して巻
き取られる。

【００３０】この際、送り出し装置２０のリールＲから
繰り出されたスペーサＳが、案内ローラ５６、５７及び
巻き弛み防止器５９を介して、巻き取り装置５０のリー
ルＲに供給されＴＡＢテープの間に介装され、ＴＡＢテ
ープ同士が接触してインキが別の部分に付着したり、Ｔ
ＡＢテープが損傷しないように保護するようになってい
る。

【００３１】そして、本発明の検査装置１０では、リー
ルＲに巻装されたＴＡＢテープＴが、送り出し装置２０
から送給された後、検査部３０へと案内ローラ２１を介
して供給される前に、送り出し装置２０のリールＲと案
内ローラ２１との間で、ＴＡＢテープＴがその自重によ
って、一定の長さ分だけ垂下され、この自重によってＴ
ＡＢテープＴにテンション（張力）が付加され、案内ロ
ーラ２１を介して、実体顕微鏡など備えた検査部３０に
供給されるようになっている。

【００３２】また、同様に、検査部３０にて検査が終了
し、一定のマーキングが施されたＴＡＢテープＴは、案
内ローラ４２を介して案内された後、案内ローラ４２と
巻き取り装置５０のリールＲとの間で、ＴＡＢテープＴ
がその自重によって、一定の長さ分だけ垂下され、この
自重によってＴＡＢテープＴにテンション（張力）が付
加され、巻き取り装置５０のリールＲに巻き取られるよ
うになっている。

【００３３】図２に示したように、送り出し装置２０側
では、送り出し装置２０のリールＲと案内ローラ２１と
の間で垂下されたＴＡＢテープＴの位置を検出するため
に、上下方向に配置された３つの位置センサー７１〜７
３が、検査装置１０の本体１２の送り出し装置２０の側
の側部１４に配設されている。すなわち、これらの位置
センサー７１〜７３は、上方に配置した第１の送り出し
用位置検出センサー７１と、中間位置に配置した第２の
送り出し用位置検出センサー７２と、下方に配置した第
３の送り出し用位置検出センサー７３とから構成されて
いる。

【００３４】この場合、図２に示したように、送り出し
装置２０のリールＲと案内ローラ２１との間で垂下され
たＴＡＢテープＴの下方端が、上方位置Ａにある場合に
は、第１の送り出し用位置検出センサー７１によって検
知される。この際には、ＴＡＢテープＴの下方端が上方
位置にあるので、送り出し装置２０のリールＲと案内ロ
ーラ２１との間で垂下されるＴＡＢテープＴの長さがほ
とんど存在しないため、垂下されるＴＡＢテープＴの重
さ（重力）が、ＴＡＢテープＴにほとんど作用しないた
め、ＴＡＢテープＴのテンション（張力）が、所定のテ
ンションを下回ることになる。

【００３５】従って、この際には、図２に示したよう
に、図示しない制御装置によって、送り出し装置２０の
送り出し駆動軸２２を駆動させて、送り出し装置２０の
リールＲからＴＡＢテープＴを送り出し方向Ｅに送給し
て、ＴＡＢテープＴの下方端を下方に移動させる。これ
によって、送り出し装置２０のリールＲと案内ローラ２
１との間で垂下されるＴＡＢテープＴの長さを大きくし
て、その自重によって、ＴＡＢテープＴに所定のテンシ
ョンを付加するようになっている。

【００３６】一方、送り出し装置２０のリールＲと案内
ローラ２１との間で垂下されたＴＡＢテープＴの下方端
が、下方位置Ｂにある場合には、第２の送り出し用位置
検出センサー７２によって検知される。この際には、Ｔ
ＡＢテープＴの下方端が下方位置にあるので、送り出し
装置２０のリールＲと案内ローラ２１との間で垂下され
るＴＡＢテープＴの長さが長く、垂下されるＴＡＢテー
プＴの重さ（重力）が、ＴＡＢテープＴに作用して所定
のテンションを上回ることになる。

【００３７】従って、この際には、図２に示したよう
に、図示しない制御装置によって、送り出し装置２０の
送り出し駆動軸２２を停止させて、送り出し装置２０の
リールＲからのＴＡＢテープの送り出しを停止させて、
ドライブギア３４の駆動によるＴＡＢテープＴの搬送の
みを作用させることによって、ＴＡＢテープＴの下方端
を上方に移動させる。

【００３８】これによって、送り出し装置２０のリール
Ｒと案内ローラ２１との間で垂下されるＴＡＢテープＴ
の長さを短くするようにして、その自重によるＴＡＢテ
ープＴへ付加されるテンションの値を所定の範囲になる
ようにしている。さらに、万一、図２に示したように、
ＴＡＢテープＴの下方端が下方位置Ｂを超えて、下方限
界位置Ｃに達した際には、第３の送り出し用位置検出セ
ンサー７３によって、垂下したＴＡＢテープＴの下端位
置が所定の限界値に達したことを検知される。この場
合、ＴＡＢテープＴが床面と接触して、ＴＡＢテープＴ
が汚染したり損傷するのを防止するように、図示しない
制御装置によって、検査装置１０全体を停止するように
なっている。

【００３９】一方、図３に示したように、巻き取り装置
５０側においても、巻き取り装置５０と案内ローラ４２
との間で垂下されたＴＡＢテープＴは、図２の送り出し
装置２０のリールＲと案内ローラ２１との間で垂下され
たＴＡＢテープＴと同じように制御されるようになって
いる。すなわち、図３に示したように、巻き取り装置５
０側では、巻き取り装置５０のリールＲと案内ローラ４
２との間で垂下されたＴＡＢテープＴの位置を検出する
ために、上下方向に配置された３つの位置センサー９１
〜９３が、検査装置１０の本体１２の巻き取り装置５０
の側の側部１６に配設されている。

【００４０】すなわち、これらの位置センサー９１〜９
３は、上方に配置した第１の巻き取り用位置検出センサ
ー９１と、中間位置に配置した第２の巻き取り用位置検
出センサー９２と、下方に配置した第３の巻き取り用位
置検出センサー９３とから構成されている。この場合、
図３に示したように、巻き取り装置５０のリールＲと案
内ローラ４２との間で垂下されたＴＡＢテープＴの下方
端が、上方位置Ａにある場合には、第１の巻き取り用位
置検出センサー９１によって検知される。

【００４１】この際には、ＴＡＢテープＴの下方端が上
方位置Ａにあるので、巻き取り装置５０のリールＲと案
内ローラ４２との間で垂下されるＴＡＢテープＴの長さ
がほとんど存在しないため、垂下されるＴＡＢテープＴ
の重さ（重力）が、ＴＡＢテープＴにほとんど作用しな
いため、ＴＡＢテープＴのテンション（張力）が、所定
のテンションを下回ることになる。

【００４２】従って、この際には、図３に示したよう
に、図示しない制御装置によって、巻き取り装置５０の
巻き取り駆動軸５２の駆動を停止させて、巻き取り装置
５０のリールＲへのＴＡＢテープＴの巻き取りを停止し
て、ドライブギア３４の駆動によるＴＡＢテープＴの搬
送のみを作用させることによって、ＴＡＢテープＴの下
方端を下方に移動させる。

【００４３】これによって、巻き取り装置５０のリール
Ｒと案内ローラ４２との間で垂下されるＴＡＢテープＴ
の長さを長くするようにする。これによって、巻き取り
装置５０のリールＲと案内ローラ４２との間で垂下され
るＴＡＢテープＴの長さを大きくして、その自重によっ
て、ＴＡＢテープＴに所定のテンションを付加するよう
になっている。

【００４４】一方、巻き取り装置５０のリールＲと案内
ローラ４２との間で垂下されたＴＡＢテープＴの下方端
が、下方位置Ｂにある場合には、第２の巻き取り用位置
検出センサー９２によって検知される。この際には、Ｔ
ＡＢテープＴの下方端が下方位置にあるので、巻き取り
装置５０のリールＲと案内ローラ４２との間で垂下され
るＴＡＢテープＴの長さが長く、垂下されるＴＡＢテー
プＴの重さ（重力）が、ＴＡＢテープＴに作用して所定
のテンションを上回ることになる。

【００４５】この場合には、図示しない制御装置によっ
て、巻き取り装置５０の送り出し駆動軸２２を駆動させ
て、巻き取り装置５０のリールＲにＴＡＢテープＴを巻
き取ることよりＴＡＢテープＴを巻き取り方向Ｇに巻き
取り、ＴＡＢテープＴの下方端を上方に移動させる。こ
れによって、その自重によるＴＡＢテープＴへ付加され
るテンションの値を所定の範囲になるようにしている。

【００４６】さらに、万一、図３に示したように、ＴＡ
ＢテープＴの下方端が下方位置Ｂを超えて、下方限界位
置Ｃに達した際には、第３の巻き取り用位置検出センサ
ー９３によって、垂下したＴＡＢテープＴの下端位置が
所定の限界値に達したことを検知される。この場合、Ｔ
ＡＢテープＴが床面と接触して、ＴＡＢテープＴが汚染
したり損傷するのを防止するように、図示しない制御装
置によって、検査装置１０全体を停止するようになって
いる。

【００４７】このように構成することによって、送り出
し装置２０のリールＲと案内ローラ２１との間、および
巻き取り装置５０のリールＲと案内ローラ４２との間で
垂下されるＴＡＢテープＴの下方端の位置が、常に、上
方位置Ａと下方位置Ｂとの間の一定範囲に位置するよう
になる。従って、検査部３０でのＴＡＢテープに付加さ
れるテンションが常に一定の値となる。これによって、
ＴＡＢテープＴに対して、常に一定のテンションが付加
されることになるので、処理部である検査部３０におい
て検査処理する際に、位置精度良く、正確な停止位置が
得られ、確実な処理を実施することができる。

【００４８】しかも、従来のように、ダンサーローラを
用いてダンサロールの重量でテープ状物にテンションを
付加するのではなく、テープ状物自体の垂下による自重
のみで、テープ状物に一定のテンションを付加してい
る。すなわち、テープ状物の自重のみによって、テープ
状物に対して比較的低いテンションがかかっているだけ
であるので、検査のために、テープ状物の搬送を停止す
る際に、従来のダンサーローラを用いた場合のようにそ
の位置がずれることなく、位置精度良く、正確な停止位
置が得られ、確実な処理を実施することができる。

【００４９】なお、この場合、送り出し装置２０のリー
ルＲと案内ローラ２１との間、および巻き取り装置５０
のリールＲと案内ローラ４２との間で垂下されるＴＡＢ
テープＴの長さは、ＴＡＢテープＴの種類、寸法によっ
て適宜所定のテンションとなるようにすればよい。ま
た、このような設定とするためには、図１に示したよう
に、検査機の高さにもよるが案内ローラ２１の上端位置
と第１の送り出し用位置検出センサー７１との間の距離
Ｌａは２０〜３０cm、案内レール２１の上端位置と第２
の送り出し用位置検出センサー７２との距離Ｌｂを、３
０〜４０cm、床面と第３の送り出し用位置検出センサー
７３との間の距離Ｌｃは、４０〜５０cmとするのが望ま
しい。

【００５０】さらに、バックテンションギア３２の逆転
によるＴＡＢテープＴのスプロケット孔の損傷による影
響、停止位置の精度への影響を小さくし、ＴＡＢテープ
Ｔへかかるテンションを小さくするために、図示しない
が、バックテンションギア３２とその駆動モータとの間
に、バックテンションギアにかかるトルクが、所定のト
ルクとなるように制御されるクラッチを設けてもよい。

【００５１】このようなクラッチとしては、微小電流で
トルクを制御できるタイプのクラッチであるのが、トル
クの制御を容易に実施することができ、しかも小さい箇
所に設置できるためには望ましく、例えば、ヒステリシ
スクラッチ、パウダークラッチなどが使用できる。パウ
ダークラッチは、電磁パウダ式で、励磁電流にほぼ比例
したトルクを発生でき、許容スリップ率内での連続スリ
ップ使用ができ、回転数によるトルクの変化がほとんど
なく、反復性にすぐれており、コイル静止形の一体構造
であり、取付が容易で保守を要せず、パウダを使用し、
長寿命のものである。このようなヒステリシスクラッチ
として、例えば「マイクロパウダクラッチ・ブレーキ
OPシリーズ」（小倉クラッチ（株）製）が使用できる。

【００５２】また、ヒステリシスクラッチは、励磁電流
に比例したトルクを発生し、正確なトルク制御が可能
で、許容スリップ率内での連続スリップ使用ができ、電
磁的トルク伝達で機械的接触部分が存在しないので、半
永久的に安定したトルクを発生することができ、コイル
静止形で、軸に組込んであり、機械への取付が容易で保
守が不要なものである。このようなヒステリシスクラッ
チとして、例えば、「ヒステリシスクラッチ・ブレーキ
Hシリーズ」（小倉クラッチ（株）製）が使用でき
る。

【００５３】以上、本発明の好ましい実施の態様を説明
してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、例
えば、上記実施例では、本発明のテープ状物の処理装置
を、電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置
に適用した例を示したが、本発明は何らこれに限定され
ることはなくスクリーン印刷、電気検査、外観検査など
の処理を実施する際に、テープ状物を位置精度良く、正
確に停止する必要がある場合に適用することができる。

【００５４】また、上記実施例では、送り出し装置側お
よび巻き取り装置側の両方においてＴＡＢテープを垂下
させてそれぞれ、３つの位置センサーで検出し、制御す
るようにしたが、何れか一方の側のＴＡＢテープのみを
垂下させて、位置センサーで検出することも勿論可能で
あるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が
可能である。

【００５５】

【発明の効果】本発明によれば、送り出し装置と処理部
との間、および巻き取り装置と処理部との間で垂下され
るテープ状物の下方端の位置が、常に、上方位置と下方
位置との間の一定範囲に位置するようになる。従って、
処理部でのテープ状物に付加されるテンションが常に一
定の値となる。これによって、テープ状物に対して、常
に一定のテンションが付加されることになるので、処理
部において検査処理する際に、位置精度良く、正確な停
止位置が得られ、確実な処理を実施することができる。

【００５６】しかも、従来のように、ダンサーローラを
用いてダンサロールの重量でテープ状物にテンションを
付加するのではなく、テープ状物自体の垂下による自重
のみで、テープ状物に一定のテンションを付加してい
る、すなわち、テープ状物の自重のみによって、テープ
状物に対して比較的低いテンションがかかっているだけ
であるので、検査のために、テープ状物の搬送を停止す
る際に、従来のダンサーローラを用いた場合のようにそ
の位置がずれることなく、位置精度良く、正確な停止位
置が得られ、確実な処理を実施することができる。

【００５７】さらに、万一、テープ状物の下方端が下方
位置を超えて、下方限界位置に達した際には、第３の位
置検出センサーによって、垂下したテープ状物の下端位
置が所定の限界値に達したことが検知され、検査装置自
体が停止され、テープ状物が床面と接触して、テープ状
物が汚染したり損傷するのを防止することができる。ま
た、本発明では、スクリーン印刷、電気検査、外観検査
などの処理を実施する際に、電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープを、処理部において処理する際に、位置精
度良く、正確な停止位置が得られ、確実な処理を実施す
ることができるなどの幾多の作用効果を奏する極めて優
れた発明である。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明のテープ状物の処理装置を、電
子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置に適用
した例を示す正面図である。

【図２】図２は、図１の送り出し装置側の電子部品実装
用フィルムキャリアテープの制御を示す概略図である。

【図３】図３は、図１の巻き取り装置側の電子部品実装
用フィルムキャリアテープの制御を示す概略図である。

【図４】図４は、従来のＢＧＡタイプＴＡＢテープの部
分拡大断面図である。

【図５】図５は、従来のＴＡＢテープの概略図である。

【図６】図６は、従来の電子部品実装用フィルムキャリ
アテープの検査装置の概略図である。

【図７】図７は、従来の検査装置の概略正面図である。

【図８】図８は、従来の検査装置のダンサローラの制御
方法を示す概略図である。

【符号の説明】

１０ 検査装置 １２ 検査装置本体 １４、１６ 側部 ２０ 送り出し装置 ２１ 案内ローラ ２２ 駆動軸 ３０ 検査部 ３２ バックテンションギア ３４ ドライブギア ３６ 顕微鏡 ４０ マーキング部 ４２ 案内ローラ ５０ 巻き取り装置 ５２ 駆動軸 ５６、５７ 案内ローラ ７１〜７３ 巻き取り用位置検出センサー ９１〜９３ 巻き取り用位置検出センサー Ｔ ＴＡＢテープ Ｒ リール

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 埜 藤 幸 雄 岐阜県吉城郡神岡町大字東町六郎807の３ 神岡鉱山エンジニアリング株式会社内 Ｆターム(参考） 5F044 MM03 MM13 MM16 MM25 MM26 MM31 MM40 MM49

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 リールに巻装されたテープ状物を送給す
   る送り出し装置と、 前記送り出し装置から送給されたテープ状物に、所定の
   処理を行う処理部と、 前記処理部において、所定の処理を終了したテープ状物
   をリールに巻き取る巻き取り装置とを備えたテープ状物
   の処理装置であって、 前記送り出し装置と処理部との間で、テープ状物を垂下
   させて、テープ状物にテンションを付加するとともに、 前記送り出し装置と処理部との間に、前記垂下したテー
   プ状物の下端位置を検出する上下方向に配置された３つ
   の送り出し用位置検出センサーを設けるとともに、 前記垂下したテープ状物の下端位置が上方位置にあるこ
   とを、第１の送り出し用位置検出センサーによって検知
   した際に、前記送り出し装置を駆動して、テープ状物を
   送り出して、テープ状物を下方に移動させるようにする
   とともに、 前記垂下したテープ状物の下端位置が下方位置にあるこ
   とを、第２の送り出し用位置検出センサーによって検知
   した際に、前記送り出し装置を停止させ、 前記垂下したテープ状物の下端位置が、前記下方位置よ
   りも下方の下方限界位置に位置することを第３の送り出
   し用位置検出センサーによって検知した際に、装置自体
   を停止するように構成したことを特徴とするテープ状物
   の処理装置。
2. 【請求項２】 リールに巻装されたテープ状物を送給す
   る送り出し装置と、 前記送り出し装置から送給されたテープ状物に、所定の
   処理を行う処理部と、 前記処理部において、所定の処理を終了したテープ状物
   をリールに巻き取る巻き取り装置とを備えたテープ状物
   の処理装置であって、 前記巻き取り装置と処理部との間で、テープ状物を垂下
   させて、テープ状物にテンションを付加するとともに、 前記巻き取り装置と処理部との間に、前記垂下したテー
   プ状物の下端位置を検出する上下方向に配置された３つ
   の巻き取り用位置検出センサーを設けるとともに、 前記垂下したテープ状物の下端位置が上方位置にあり、
   テープ状物のテンションが所定のテンションを下回るこ
   とを、第１の巻き取り用位置検出センサーによって検知
   した際に、前記巻き取り装置を停止させて、テープ状物
   に所定のテンションを付加するようにするとともに、 前記垂下したテープ状物の下端位置が下方位置にあり、
   テープ状物のテンションが所定のテンションを上回るこ
   とを、第２の巻き取り用位置検出センサーによって検知
   した際に、前記巻き取り装置を駆動して、テープ状物を
   巻き取って、テープ状物を上方に移動させ、 前記垂下したテープ状物の下端位置が、前記下方位置よ
   りも下方の下方限界位置に位置することを第３の巻き取
   り用位置検出センサーによって検知した際に、装置自体
   を停止するように構成したことを特徴とするテープ状物
   の処理装置。
3. 【請求項３】 リールに巻装されたテープ状物を送給す
   る送り出し装置と、 前記送り出し装置から送給されたテープ状物に、所定の
   処理を行う処理部と、 前記処理部において、所定の処理を終了したテープ状物
   をリールに巻き取る巻き取り装置とを備えたテープ状物
   の処理装置であって、 前記送り出し装置と処理部との間で、テープ状物を垂下
   させて、テープ状物にテンションを付加するとともに、 前記送り出し装置と処理部との間に、前記垂下したテー
   プ状物の下端位置を検出する上下方向に配置された３つ
   の送り出し用位置検出センサーを設けるとともに、 前記垂下したテープ状物の下端位置が上方位置にあるこ
   とを、第１の送り出し用位置検出センサーによって検知
   した際に、前記送り出し装置を駆動して、テープ状物を
   送り出して、テープ状物を下方に移動させ、 前記垂下したテープ状物の下端位置が下方位置にあるこ
   とを、第２の送り出し用位置検出センサーによって検知
   した際に、前記送り出し装置を停止させ、 前記垂下したテープ状物の下端位置が、前記下方位置よ
   りも下方の下方限界位置に位置することを第３の送り出
   し用位置検出センサーによって検知した際に、装置自体
   を停止するように構成するとともに、 前記巻き取り装置と処理部との間で、テープ状物を垂下
   させて、テープ状物にテンションを付加するとともに、 前記巻き取り装置と処理部との間に、前記垂下したテー
   プ状物の下端位置を検出する上下方向に配置された３つ
   の巻き取り用位置検出センサーを設けるとともに、 前記垂下したテープ状物の下端位置が上方位置にあり、
   テープ状物のテンションが所定のテンションを下回るこ
   とを、第１の巻き取り用位置検出センサーによって検知
   した際に、前記巻き取り装置を停止させて、テープ状物
   に所定のテンションを付加するようにするとともに、 前記垂下したテープ状物の下端位置が下方位置にあり、
   テープ状物のテンションが所定のテンションを上回るこ
   とを、第２の巻き取り用位置検出センサーによって検知
   した際に、前記巻き取り装置を駆動して、テープ状物を
   巻き取って、テープ状物を上方に移動させ、 前記垂下したテープ状物の下端位置が、前記下方位置よ
   りも下方の下方限界位置に位置することを第３の巻き取
   り用位置検出センサーによって検知した際に、装置自体
   を停止するように構成したことを特徴とするテープ状物
   の処理装置。
4. 【請求項４】 リールに巻装されたテープ状物を、送り
   出し装置から送給して、一定の処理を行う処理部に供給
   し、 前記テープ状物を処理部において、搬送を停止して、テ
   ープ状物に対して一定の処理を行い、 前記処理部において、処理が終了したテープ状物を、巻
   き取り装置のリールに巻き取き取るテープ状物の処理方
   法であって、 前記送り出し装置と処理部との間で、テープ状物を垂下
   させて、テープ状物にテンションを付加するとともに、 前記送り出し装置と処理部との間に、前記垂下したテー
   プ状物の下端位置を検出する上下方向に配置された３つ
   の送り出し用位置検出センサーを設けるとともに、 前記垂下したテープ状物の下端位置が上方位置にあるこ
   とを、第１の送り出し用位置検出センサーによって検知
   した際に、前記送り出し装置を駆動して、テープ状物を
   送り出して、テープ状物を下方に移動させるようにする
   とともに、 前記垂下したテープ状物の下端位置が下方位置にあるこ
   とを、第２の送り出し用位置検出センサーによって検知
   した際に、前記送り出し装置を停止させ、 前記垂下したテープ状物の下端位置が、前記下方位置よ
   りも下方の下方限界位置に位置することを第３の送り出
   し用位置検出センサーによって検知した際に、装置自体
   を停止することを特徴とするテープ状物の処理方法。
5. 【請求項５】 リールに巻装されたテープ状物を、送り
   出し装置から送給して、一定の処理を行う処理部に供給
   し、 前記テープ状物を処理部において、搬送を停止して、テ
   ープ状物に対して一定の処理を行い、 前記処理部において、処理が終了したテープ状物を、巻
   き取り装置のリールに巻き取き取るテープ状物の処理方
   法であって、 前記巻き取り装置と処理部との間で、テープ状物を垂下
   させて、テープ状物にテンションを付加するとともに、 前記巻き取り装置と処理部との間に、前記垂下したテー
   プ状物の下端位置を検出する上下方向に配置された３つ
   の巻き取り用位置検出センサーを設けるとともに、 前記垂下したテープ状物の下端位置が上方位置にあり、
   テープ状物のテンションが所定のテンションを下回るこ
   とを、第１の巻き取り用位置検出センサーによって検知
   した際に、前記巻き取り装置を停止させて、テープ状物
   に所定のテンションを付加するようにするとともに、 前記垂下したテープ状物の下端位置が下方位置にあり、
   テープ状物のテンションが所定のテンションを上回るこ
   とを、第２の巻き取り用位置検出センサーによって検知
   した際に、前記巻き取り装置を駆動して、テープ状物を
   巻き取って、テープ状物を上方に移動させ、 前記垂下したテープ状物の下端位置が、前記下方位置よ
   りも下方の下方限界位置に位置することを第３の巻き取
   り用位置検出センサーによって検知した際に、装置自体
   を停止するように構成したことを特徴とするテープ状物
   の処理方法。
6. 【請求項６】 リールに巻装されたテープ状物を、送り
   出し装置から送給して、一定の処理を行う処理部に供給
   し、 前記テープ状物を処理部において、搬送を停止して、テ
   ープ状物に対して一定の処理を行い、 前記処理部において、処理が終了したテープ状物を、巻
   き取り装置のリールに巻き取き取るテープ状物の処理方
   法であって、 前記送り出し装置と処理部との間で、テープ状物を垂下
   させて、テープ状物にテンションを付加するとともに、 前記送り出し装置と処理部との間に、前記垂下したテー
   プ状物の下端位置を検出する上下方向に配置された３つ
   の送り出し用位置検出センサーを設けるとともに、 前記垂下したテープ状物の下端位置が上方位置にあるこ
   とを、第１の送り出し用位置検出センサーによって検知
   した際に、前記送り出し装置を駆動して、テープ状物を
   送り出して、テープ状物を下方に移動させるとともに、 前記垂下したテープ状物の下端位置が下方位置にあるこ
   とを、第２の送り出し用位置検出センサーによって検知
   した際に、前記送り出し装置を停止させ、 前記垂下したテープ状物の下端位置が、前記下方位置よ
   りも下方の下方限界位置に位置することを第３の送り出
   し用位置検出センサーによって検知した際に、装置自体
   を停止するように構成するとともに、 前記巻き取り装置と処理部との間で、テープ状物を垂下
   させて、テープ状物にテンションを付加するとともに、 前記巻き取り装置と処理部との間に、前記垂下したテー
   プ状物の下端位置を検出する上下方向に配置された３つ
   の巻き取り用位置検出センサーを設けるとともに、 前記垂下したテープ状物の下端位置が上方位置にあり、
   テープ状物のテンションが所定のテンションを下回るこ
   とを、第１の巻き取り用位置検出センサーによって検知
   した際に、前記巻き取り装置を停止させて、テープ状物
   に所定のテンションを付加するようにするとともに、 前記垂下したテープ状物の下端位置が下方位置にあり、
   テープ状物のテンションが所定のテンションを上回るこ
   とを、第２の巻き取り用位置検出センサーによって検知
   した際に、前記巻き取り装置を駆動して、テープ状物を
   巻き取って、テープ状物を上方に移動させ、 前記垂下したテープ状物の下端位置が、前記下方位置よ
   りも下方の下方限界位置に位置することを第３の巻き取
   り用位置検出センサーによって検知した際に、装置自体
   を停止することを特徴とするテープ状物の処理方法。
7. 【請求項７】 前記テープ状物が、電子部品実装用フィ
   ルムキャリアテープであることを特徴とする請求項１か
   ら３のいずれかに記載のテープ状物の処理装置。
8. 【請求項８】 前記テープ状物が、電子部品実装用フィ
   ルムキャリアテープであることを特徴とする請求項４か
   ら６のいずれかに記載のテープ状物の処理方法。