JP2001352038A - Semiconductor integrated circuit device - Google Patents
Semiconductor integrated circuit deviceInfo
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- Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 設計期間を短縮し、かつ、メモリ部の回路規
模の増大を防ぐ。
【解決手段】 ロジックチップ100内に、信号処理回
路101、メモリコントローラ102、BIST回路1
03,104、BISTコントローラ105、EEPR
OM106、レジスタ107、EX−NOR回路10
8、選択スイッチ109を設ける。EEPROM106
には不良アドレスFADが記憶される。レジスタ107
は、EEPROM106に記憶された不良アドレスに対
応した記憶領域を有する。信号処理回路101からのア
ドレスADがEEPROM106に記憶された不良アド
レスFADと一致すると、EX−NOR回路108は、
Hレベルの切換信号SWを選択スイッチ109に与え
る。選択スイッチ109は、データバスDB1とデータ
バスDB2とを接続状態にする。レジスタ107は、順
番NBに対応する領域を選択し、書き込み/読み出しを
可能にする。
(57) [Summary] [PROBLEMS] To shorten the design period and prevent an increase in the circuit scale of a memory unit. SOLUTION: A signal processing circuit 101, a memory controller 102, a BIST circuit 1 are provided in a logic chip 100.
03, 104, BIST controller 105, EEPR
OM 106, register 107, EX-NOR circuit 10
8. A selection switch 109 is provided. EEPROM 106
Stores a defective address FAD. Register 107
Has a storage area corresponding to the defective address stored in the EEPROM 106. When the address AD from the signal processing circuit 101 matches the defective address FAD stored in the EEPROM 106, the EX-NOR circuit 108
An H level switching signal SW is supplied to the selection switch 109. The selection switch 109 connects the data bus DB1 and the data bus DB2. The register 107 selects an area corresponding to the order NB and enables writing / reading.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は半導体集積回路装
置に関し、さらに詳しくは、欠陥を有する不良メモリセ
ルを検出する機能と、不良メモリセルを救済する機能と
を有する半導体集積回路装置に関する。The present invention relates to a semiconductor integrated circuit device, and more particularly, to a semiconductor integrated circuit device having a function of detecting a defective memory cell having a defect and a function of relieving the defective memory cell.
【0002】[0002]
【従来の技術】半導体集積回路(LSI)の集積度の向
上に伴って、それまで別々のパッケージとして構成され
ていたロジック回路やメモリなどの機能を1つのパッケ
ージ内に搭載した「マルチチップモジュール」や、1つ
のチップ上に形成した「システムLSI」の設計開発が
行われるようになっている。2. Description of the Related Art With the improvement in the degree of integration of semiconductor integrated circuits (LSIs), a "multi-chip module" in which functions such as a logic circuit and a memory which have been configured as separate packages are mounted in one package. Design and development of a "system LSI" formed on one chip has been performed.
【0003】マルチチップモジュールやシステムLSI
の長所としては、消費電力を低減することができる点、
アクセス帯域幅を広げることができるために処理速度を
向上させることができる点などが挙げられる。[0003] Multi-chip modules and system LSIs
The advantage is that power consumption can be reduced,
For example, the processing speed can be improved because the access bandwidth can be widened.
【0004】一方、短所としては、完成したLSIの歩
留りが低下する点が挙げられる。メモリに欠陥が存在す
る場合、たとえロジック回路に欠陥が存在していなくて
もLSI全体として不良と判定されるためである。[0004] On the other hand, the disadvantage is that the yield of completed LSIs is reduced. This is because if a defect exists in the memory, the LSI as a whole is determined to be defective even if no defect exists in the logic circuit.
【0005】そこで、歩留りを向上させるために、メモ
リ内部にあらかじめ冗長回路を設けて欠陥を救済する方
法が採られている。さらに、メモリの検査コストを低減
するために、メモリ内部にBIST(Built In
Self Test)と呼ばれる検査回路が設けられ
る。Therefore, in order to improve the yield, a method of providing a redundant circuit in the memory in advance to remedy the defect has been adopted. Furthermore, in order to reduce the inspection cost of the memory, a BIST (Build In
An inspection circuit called “Self Test” is provided.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ロジック回路やメモリ
など、それまでは複数のパッケージで実現されていた機
能を1つのパッケージに搭載することによって、テレビ
やビデオなどのセットに必要となる部品の数をより少な
くすることができる。これにより、セットの開発効率を
高めることができる。したがって、LSIの設計開発が
セットの開発の重要な役割を占めるようになりつつあ
る。By mounting functions previously realized in a plurality of packages, such as a logic circuit and a memory, in a single package, the number of components required for a set such as a television or a video is increased. Can be reduced. Thereby, the development efficiency of the set can be increased. Therefore, LSI design and development are playing an important role in the development of sets.
【0007】マルチチップモジュールやシステムLSI
の設計においては、過去の設計資産を再利用することに
よって設計期間の短縮や低コスト化が図られている。[0007] Multi-chip module and system LSI
In this design, the design period is shortened and the cost is reduced by reusing the past design resources.
【0008】ところが、過去の設計資産として存在する
メモリのすべてが冗長回路や検査回路の機能を備えてい
るわけではない。特に、特殊な用途に用いられるメモリ
では、これらの機能が備わっていない場合が多い。この
ような場合、完成したLSIの歩留りを向上させるため
には、冗長回路や検査回路の機能を備えたメモリを一か
ら新たに設計しなければならない。これは設計期間の長
期化につながる。[0008] However, not all memories existing as design resources in the past have the functions of a redundant circuit and a test circuit. Particularly, memories used for special purposes often do not have these functions. In such a case, in order to improve the yield of the completed LSI, a memory having a function of a redundant circuit or a test circuit must be newly designed from scratch. This leads to a longer design period.
【0009】また、メモリに冗長回路や検査回路の機能
を持たせた場合、その分だけメモリの回路規模が大きく
なる。特に、複数のメモリを搭載したLSIではこれが
顕著となる。When a memory is provided with a function of a redundant circuit or a test circuit, the circuit scale of the memory is correspondingly increased. This is particularly noticeable in an LSI having a plurality of memories.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】この発明の1つの局面に
従うと、半導体集積回路装置は、メモリチップと、信号
処理部と、検査部と、不良アドレス記憶部と、レジスタ
部と、救済部とを備える。メモリチップ、信号処理部、
検査部、不良アドレス記憶部、レジスタ部、および救済
部は、同一パッケージ内に搭載される。According to one aspect of the present invention, a semiconductor integrated circuit device includes a memory chip, a signal processing unit, a test unit, a defective address storage unit, a register unit, and a rescue unit. Is provided. Memory chip, signal processing unit,
The inspection unit, the defective address storage unit, the register unit, and the rescue unit are mounted in the same package.
【0011】メモリチップは、複数のメモリセルを有す
る。信号処理部は、メモリチップの外部に設けられ、メ
モリチップに対してアドレスを指定し、当該指定したア
ドレスに対応するメモリセルに対してデータの書き込み
/読み出しを行う。検査部は、メモリチップの外部に設
けられ、複数のメモリセルのうち欠陥を有する不良メモ
リセルを検出する。不良アドレス記憶部は、メモリチッ
プの外部に設けられ、検査部によって検出された不良メ
モリセルのアドレスを記憶する。レジスタ部は、メモリ
チップの外部に設けられ、不良アドレス記憶部に記憶さ
れた不良アドレスに対応づけられた記憶領域を有する。
救済部は、メモリチップの外部に設けられ、信号処理部
によって指定されたアドレスが不良アドレス記憶部に記
憶された不良アドレスと一致するとき、信号処理部が当
該不良アドレスに対応づけられたレジスタ部の記憶領域
に対してデータの書き込み/読み出しを行うようにす
る。The memory chip has a plurality of memory cells. The signal processing unit is provided outside the memory chip, specifies an address for the memory chip, and writes / reads data to / from a memory cell corresponding to the specified address. The inspection unit is provided outside the memory chip and detects a defective memory cell having a defect among the plurality of memory cells. The defective address storage unit is provided outside the memory chip and stores an address of a defective memory cell detected by the inspection unit. The register section is provided outside the memory chip, and has a storage area associated with the defective address stored in the defective address storage section.
The rescue unit is provided outside the memory chip, and when the address specified by the signal processing unit matches the defective address stored in the defective address storage unit, the signal processing unit registers the defective unit with the corresponding defective address. Write / read data to / from the storage area.
【0012】上記半導体集積回路装置では、メモリチッ
プの外部に検査部、不良アドレス記憶部、レジスタ部、
および救済部が設けられる。したがって、メモリチップ
の設計において、欠陥を有する不良メモリを検出する機
能および不良メモリを救済する機能を備えていないメモ
リの設計資産を利用した場合であっても、完成した半導
体集積回路装置の歩留りを向上させることができる。ま
た、欠陥を有する不良メモリを検出する機能および不良
メモリを救済する機能を備えたメモリチップを新たに設
計開発する必要がなくなるため、設計期間を短縮するこ
とができる。また、メモリチップの回路規模の増大を防
ぐことができる。In the above semiconductor integrated circuit device, the inspection unit, the defective address storage unit, the register unit,
And a relief unit. Therefore, in designing a memory chip, the yield of completed semiconductor integrated circuit devices can be reduced even when a memory design resource that does not have a function of detecting a defective memory having a defect and a function of relieving the defective memory is used. Can be improved. Further, since it is not necessary to newly design and develop a memory chip having a function of detecting a defective memory having a defect and a function of relieving the defective memory, the design period can be shortened. In addition, an increase in the circuit size of the memory chip can be prevented.
【0013】この発明のもう1つの局面に従うと、半導
体集積回路装置は、メモリ部と、信号処理部と、検査部
と、不良アドレス記憶部と、レジスタ部と、救済部とを
備える。メモリ部、信号処理部、検査部、不良アドレス
記憶部、レジスタ部、および救済部は、同一チップ上に
形成される。According to another aspect of the present invention, a semiconductor integrated circuit device includes a memory unit, a signal processing unit, an inspection unit, a defective address storage unit, a register unit, and a rescue unit. The memory section, signal processing section, inspection section, defective address storage section, register section, and rescue section are formed on the same chip.
【0014】メモリ部は、複数のメモリセルを有する。
信号処理部は、メモリ部の外部に設けられ、メモリ部に
対してアドレスを指定し、当該指定したアドレスに対応
するメモリセルに対してデータの書き込み/読み出しを
行う。検査部は、メモリ部の外部に設けられ、複数のメ
モリセルのうち欠陥を有する不良メモリセルを検出す
る。不良アドレス記憶部は、メモリ部の外部に設けら
れ、検査部によって検出された不良メモリセルのアドレ
スを記憶する。レジスタ部は、メモリ部の外部に設けら
れ、不良アドレス記憶部に記憶された不良アドレスに対
応づけられた記憶領域を有する。救済部は、メモリ部の
外部に設けられ、信号処理部によって指定されたアドレ
スが不良アドレス記憶部に記憶された不良アドレスと一
致するとき、信号処理部が当該不良アドレスに対応づけ
られたレジスタ部の記憶領域に対してデータの書き込み
/読み出しを行うようにする。The memory section has a plurality of memory cells.
The signal processing unit is provided outside the memory unit, specifies an address for the memory unit, and writes / reads data to / from a memory cell corresponding to the specified address. The inspection unit is provided outside the memory unit and detects a defective memory cell having a defect among the plurality of memory cells. The defective address storage unit is provided outside the memory unit and stores an address of a defective memory cell detected by the inspection unit. The register section is provided outside the memory section, and has a storage area associated with the defective address stored in the defective address storage section. The rescue unit is provided outside the memory unit, and when the address specified by the signal processing unit matches the defective address stored in the defective address storage unit, the signal processing unit registers the defective unit with the corresponding defective address. Write / read data to / from the storage area.
【0015】上記半導体集積回路装置では、メモリ部の
外部に検査部、不良アドレス記憶部、レジスタ部、およ
び救済部が設けられる。したがって、メモリ部の設計に
おいて、欠陥を有する不良メモリを検出する機能および
不良メモリを救済する機能を備えていないメモリの設計
資産を利用した場合であっても、完成した半導体集積回
路装置の歩留りを向上させることができる。また、欠陥
を有する不良メモリを検出する機能および不良メモリを
救済する機能を備えたメモリ部を新たに設計開発する必
要がなくなるため、設計期間を短縮することができる。
また、メモリ部の回路規模の増大を防ぐことができる。In the above-mentioned semiconductor integrated circuit device, an inspection section, a defective address storage section, a register section, and a relief section are provided outside the memory section. Therefore, in designing the memory section, the yield of the completed semiconductor integrated circuit device can be reduced even if the design resources of the memory not having the function of detecting the defective memory having the defect and the function of relieving the defective memory are used. Can be improved. Further, since it is not necessary to newly design and develop a memory unit having a function of detecting a defective memory having a defect and a function of relieving the defective memory, the design period can be shortened.
Further, it is possible to prevent an increase in the circuit scale of the memory unit.
【0016】好ましくは、上記救済部は、比較判定回路
と、選択スイッチとを含む。比較判定回路は、信号処理
部によって指定されたアドレスと不良アドレス記憶部に
記憶された不良アドレスとが一致するか否かを判定す
る。選択スイッチは、比較判定回路によって一致すると
判定されたとき、レジスタ部と信号処理部との間にデー
タパスを形成する。Preferably, the rescue section includes a comparison / determination circuit and a selection switch. The comparison determination circuit determines whether or not the address specified by the signal processing unit matches the defective address stored in the defective address storage unit. The selection switch forms a data path between the register unit and the signal processing unit when the comparison and determination circuit determines that they match.
【0017】上記半導体集積回路装置においては、信号
処理部によって指定されたアドレスと不良アドレス記憶
部に記憶された不良アドレスとが一致するとき、レジス
タ部と信号処理部との間にデータパスが形成される。そ
して、信号処理部は、当該不良アドレスに対応づけられ
たレジスタ部の記憶領域に対してデータの書き込み/読
み出しを行う。In the above semiconductor integrated circuit device, when the address specified by the signal processing section matches the defective address stored in the defective address storage section, a data path is formed between the register section and the signal processing section. Is done. Then, the signal processing unit writes / reads data to / from the storage area of the register unit associated with the defective address.
【0018】[0018]
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて図面を参照して詳しく説明する。なお、図中同一ま
たは相当部分には同一符号を付し、その説明は繰り返さ
ない。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In the drawings, the same or corresponding portions have the same reference characters allotted, and description thereof will not be repeated.
【0019】<構成>図1は、この発明の実施の形態に
よる半導体集積回路(LSI)の全体構成を示すブロッ
ク図である。図1を参照して、このLSIは、ロジック
チップ100およびメモリチップ200,300を同一
のパッケージ1内に搭載したマルチチップモジュールで
ある。このように、ロジックチップ100およびメモリ
チップ200,300が1つのパッケージ1にまとめら
れて、1つの大きな機能を持つLSIとして用いられ
る。<Structure> FIG. 1 is a block diagram showing an overall structure of a semiconductor integrated circuit (LSI) according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 1, this LSI is a multi-chip module in which a logic chip 100 and memory chips 200 and 300 are mounted in the same package 1. As described above, the logic chip 100 and the memory chips 200 and 300 are combined into one package 1 and used as an LSI having one large function.
【0020】ロジックチップ100は、信号処理回路1
01と、メモリコントローラ102と、BIST(Bu
ilt In Self Test)回路103,10
4と、BISTコントローラ105と、EEPROM1
06と、レジスタ107と、EX−NOR回路108
と、選択スイッチ109とを含む。The logic chip 100 includes the signal processing circuit 1
01, the memory controller 102, and the BIST (Bu
ilt In Self Test) circuits 103 and 10
4, the BIST controller 105, and the EEPROM 1
06, a register 107, and an EX-NOR circuit 108
And a selection switch 109.
【0021】信号処理回路101は、メモリチップ20
0,300に対してアドレス信号ADを与え、そのアド
レスに対応したメモリセルに対してデータの書き込み/
読み出しを行う。アドレス信号ADには、書き込み/読
み出しを行うメモリチップ200,300およびそのメ
モリチップ内のメモリセルのアドレスに関する情報が含
まれる。The signal processing circuit 101 includes a memory chip 20
0, 300 to write / read data to / from a memory cell corresponding to that address.
Perform reading. The address signal AD includes information related to the memory chips 200 and 300 for writing / reading and addresses of memory cells in the memory chips.
【0022】メモリコントローラ102は、信号処理回
路101からのアドレス信号ADを受け、メモリチップ
200内のメモリセルに対して書き込み/読み出しが行
われる場合には、メモリチップ200に対して活性の選
択信号C1を与え、メモリチップ300内のメモリセル
に対して書き込み/読み出しが行われる場合には、メモ
リチップ300に対して活性の選択信号C2を与える。The memory controller 102 receives an address signal AD from the signal processing circuit 101 and, when writing / reading is performed on a memory cell in the memory chip 200, an active selection signal for the memory chip 200. When C1 is applied and writing / reading is performed on a memory cell in the memory chip 300, an active selection signal C2 is applied to the memory chip 300.
【0023】BIST回路103は、メモリチップ20
0内のメモリセルのうち欠陥を有する不良メモリセルを
検出する。BIST回路104は、メモリチップ300
内のメモリセルのうち欠陥を有する不良メモリセルを検
出する。The BIST circuit 103 includes the memory chip 20
A defective memory cell having a defect among the memory cells in 0 is detected. The BIST circuit 104 includes the memory chip 300
Detect defective memory cells having a defect among the memory cells in the memory cells.
【0024】BISTコントローラ105は、検査を行
うべきメモリチップ200,300に対応するBIST
回路103,104を活性化し、また、BIST回路1
03,104によって検出された不良メモリセルのアド
レスを特定する。The BIST controller 105 controls the BIST corresponding to the memory chips 200 and 300 to be inspected.
Activate the circuits 103 and 104 and set the BIST circuit 1
03, 104, the address of the defective memory cell detected is specified.
【0025】EEPROM106は、BISTコントロ
ーラ105によって特定された不良メモリセルのアドレ
ス(以下、不良アドレスともいう。)FADを記憶す
る。レジスタ107は、EEPROM106に記憶され
た不良アドレスに対応した記憶領域を有する。The EEPROM 106 stores an address (hereinafter, also referred to as a defective address) FAD of a defective memory cell specified by the BIST controller 105. The register 107 has a storage area corresponding to the defective address stored in the EEPROM 106.
【0026】EX−NOR回路108は、信号処理回路
101からのアドレス信号ADとEEPROM106に
記憶された不良アドレスFADとのExclusive
−NOR(排他的否定論理和)を出力する。EX−NO
R回路108からの出力は、切換信号SWとなる。The EX-NOR circuit 108 is an exclusive circuit for the address signal AD from the signal processing circuit 101 and the defective address FAD stored in the EEPROM 106.
-Output NOR (exclusive NOR). EX-NO
The output from the R circuit 108 becomes a switching signal SW.
【0027】選択スイッチ109は、EX−NOR回路
108からの切換信号SWに応答して、データバスDB
1とデータバスDB2またはDB3とを接続する。デー
タバスDB1は、信号処理回路101と選択スイッチ1
09との間でデータのやりとりをするためのバスであ
る。データバスDB2は、選択スイッチDB2とレジス
タ107との間でデータのやりとりをするためのバスで
ある。データバスDB3は、選択スイッチ109とメモ
リチップ200,300との間でデータのやりとりをす
るためのバスである。The selection switch 109 responds to a switching signal SW from the EX-NOR circuit 108 to switch the data bus DB
1 and the data bus DB2 or DB3. The data bus DB1 is connected to the signal processing circuit 101 and the selection switch 1
This is a bus for exchanging data with the H.09. The data bus DB2 is a bus for exchanging data between the selection switch DB2 and the register 107. The data bus DB3 is a bus for exchanging data between the selection switch 109 and the memory chips 200 and 300.
【0028】メモリチップ200,300は、行および
列にマトリクス状に配置された複数のメモリセル(図示
せず)を含む。このようなメモリチップとしては、例え
ば、DRAM(ダイナミック・ランダムアクセスメモ
リ)、SRAM(スタティック・ランダムアクセスメモ
リ)などが挙げられる。Each of memory chips 200 and 300 includes a plurality of memory cells (not shown) arranged in rows and columns in a matrix. Examples of such a memory chip include a DRAM (dynamic random access memory) and an SRAM (static random access memory).
【0029】図2は、図1に示したEEPROM106
に記憶される不良アドレスとレジスタ107内の記憶領
域との対応関係を示す図である。なお、ここでは、メモ
リチップ200のアドレスAおよびアドレスB、メモリ
チップ300のアドレスCおよびアドレスDが、不良ア
ドレスとしてEEPROM106に記憶されるものとす
る。FIG. 2 shows the EEPROM 106 shown in FIG.
FIG. 4 is a diagram showing a correspondence relationship between a defective address stored in the register 107 and a storage area in the register 107. Here, it is assumed that the addresses A and B of the memory chip 200 and the addresses C and D of the memory chip 300 are stored in the EEPROM 106 as defective addresses.
【0030】図2に示すように、EEPROM106に
記憶される不良アドレスFADの各々は、順番NBと対
応づけられている。対応付けは、EEPROM106に
記憶された順序に従っている。すなわち、BISTコン
トローラ105から1番目に与えられた不良アドレス
は、メモリチップ200のアドレスAであり、順番1と
対応づけて記憶される。以下同様に、2−4番目に与え
られたメモリチップ200のアドレスB、メモリチップ
300のアドレスC,Dは、それぞれ順番2−4と対応
づけられて記憶される。As shown in FIG. 2, each of the defective addresses FAD stored in the EEPROM 106 is associated with an order NB. The association is in accordance with the order stored in the EEPROM 106. That is, the first defective address given from the BIST controller 105 is the address A of the memory chip 200, and is stored in association with the order 1. Similarly, the address B of the memory chip 200 and the addresses C and D of the memory chip 300 given in the 2-4th order are stored in association with the order 2-4, respectively.
【0031】一方、レジスタ107においても、順番に
対応づけられた記憶領域が割り当てられる。例えば、順
番1に対しては領域Aが、順番2に対しては領域Bが、
順番3に対しては領域Cが、順番4に対しては領域Dが
割り当てられる。On the other hand, also in the register 107, storage areas associated in order are allocated. For example, region A for order 1, region B for order 2,
Region C is assigned to order 3, and region D is assigned to order 4.
【0032】このように、順番を介して、EEPROM
106に記憶される不良アドレスとレジスタ107内の
記憶領域とが対応づけられる。すなわち、BISTコン
トローラ105から1番目に与えられた不良アドレスで
あるメモリチップ200のアドレスAは、レジスタ10
7内の領域Aと対応づけられる。以下同様に、2−4番
目に与えられた不良アドレスであるメモリチップ200
のアドレスB、メモリチップ300のアドレスC,D
は、それぞれ、レジスタ107内の領域B−Dと対応づ
けられる。As described above, the order of the EEPROM
The defective address stored in 106 and the storage area in register 107 are associated with each other. That is, the address A of the memory chip 200, which is the first defective address given from the BIST controller 105, is stored in the register 10
7 is associated with the area A. Similarly, the memory chip 200 which is the second-fourth defective address is given.
B of the memory chip and addresses C and D of the memory chip 300
Are respectively associated with areas BD in the register 107.
【0033】なお、救済可能な不良メモリセルの個数
は、レジスタ107およびEEPROM106の容量に
依存することになる。The number of repairable defective memory cells depends on the capacity of the register 107 and the EEPROM 106.
【0034】<動作>次に、以上のように構成された半
導体集積回路の動作について説明する。ここでは、
(1)欠陥を有する不良メモリセルの検出、(2)不良
メモリセルの救済に分けて説明する。 (1)不良メモリセルの検出 まず、BISTコントローラ105によって、テストを
行うメモリチップ200,300が選択され、選択され
たメモリチップに対応したBIST回路103,104
が活性化される。<Operation> Next, the operation of the semiconductor integrated circuit configured as described above will be described. here,
A description will be given of (1) detection of a defective memory cell having a defect and (2) rescue of the defective memory cell. (1) Detection of defective memory cell First, the memory chips 200 and 300 to be tested are selected by the BIST controller 105, and the BIST circuits 103 and 104 corresponding to the selected memory chip.
Is activated.
【0035】活性化されたBIST回路103,104
は、内部で作成したテストパターンに従って対応するメ
モリチップ200,300に対してアドレスを順次指定
し、指定したアドレスに対応するメモリセルに対してデ
ータを書き込む。次いで、書き込んだデータを読み出
す。そして、読み出したデータと書き込んだはずのデー
タ(期待値データ)とが一致するかどうかを判定する。Activated BIST circuits 103 and 104
Sequentially specifies addresses for the corresponding memory chips 200 and 300 in accordance with a test pattern created internally, and writes data to a memory cell corresponding to the specified address. Next, the written data is read. Then, it is determined whether or not the read data and the data to be written (expected value data) match.
【0036】次いで、BISTコントローラ105は、
BIST回路103,104での判定の結果に基づいて
良品、不良品の判定を行う。Next, the BIST controller 105
Non-defective products and defective products are determined based on the results of the determination in the BIST circuits 103 and 104.
【0037】不良品であると判定した場合、BISTコ
ントローラ105は、欠陥を有する不良メモリセルのア
ドレスを特定する。不良メモリセルのアドレスの特定
は、BISTコントローラ105単独で、または、ロジ
ックチップ100内に含まれるCPU(図示せず)とと
もに行う。なお、BIST回路による判定結果に基づい
て不良メモリセルのアドレスを特定する手段は公知の手
段であり、例えば、特開平11−317096号公報、
特開平10−302499号公報などに開示されてい
る。If the BIST controller 105 determines that the defective memory cell is defective, it specifies the address of a defective memory cell having a defect. The specification of the address of the defective memory cell is performed by the BIST controller 105 alone or together with a CPU (not shown) included in the logic chip 100. The means for specifying the address of the defective memory cell based on the result of the determination by the BIST circuit is a known means, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-317096,
It is disclosed in JP-A-10-302499 and the like.
【0038】次いで、特定した不良アドレスが、EEP
ROM106に書き込まれる。この際、図2に示したよ
うに、順番と対応づけられて記憶される。Next, the specified defective address is the EEP
The data is written to the ROM 106. At this time, as shown in FIG. 2, the information is stored in association with the order.
【0039】なお、不良アドレスを記憶するメモリとし
てEEPROM106を用いている理由は以下のとおり
である。すなわち、通常、不良メモリセルを検出するテ
ストは完成品出荷前に1回だけ行われるため、検出され
た結果を書き込む機会も1回でよい。ゆえに、1回のみ
書き込みを行えるメモリであるEEPROMを用いてい
るのである。 (2)不良メモリセルの救済 次に、欠陥を有する不良メモリセルの救済について説明
する。The reason why the EEPROM 106 is used as a memory for storing a defective address is as follows. That is, normally, the test for detecting a defective memory cell is performed only once before shipment of a finished product, and therefore, the chance of writing the detected result may be one. Therefore, an EEPROM, which is a memory that can be written only once, is used. (2) Relief of defective memory cell Next, relief of a defective memory cell having a defect will be described.
【0040】信号処理回路101によってアドレスAD
が指定される。指定されたアドレスADは、メモリチッ
プ200のアドレスAであるとする。信号処理回路10
1によって指定されたメモリチップ200のアドレスA
は、EX−NOR回路108の入力の一方に与えられ
る。EX−NOR回路108の入力の他方には、EEP
ROM106に記憶されている不良アドレスFADが順
次与えられる。ここでは、順番1に対応する不良アドレ
スから順に与えられる。また、EEPROM106に
は、図2に示したような不良アドレスが記憶されている
ものとする。さらに、EX−NOR回路108の入力の
他方に与えられる不良アドレスFADに対応する順番N
Bがレジスタ107に与えられる。The address AD is output by the signal processing circuit 101.
Is specified. It is assumed that the specified address AD is the address A of the memory chip 200. Signal processing circuit 10
1 of the memory chip 200 designated by
Is supplied to one of the inputs of the EX-NOR circuit 108. The other of the inputs of the EX-NOR circuit 108 includes an EEP
The defective addresses FAD stored in the ROM 106 are sequentially applied. Here, the address is given in order from the defective address corresponding to the order 1. It is also assumed that the EEPROM 106 stores a defective address as shown in FIG. Further, the order N corresponding to the defective address FAD given to the other input of the EX-NOR circuit 108
B is applied to the register 107.
【0041】信号処理回路101からのアドレスAD
(ここでは、メモリチップ200のアドレスA)がEE
PROM106に記憶された不良アドレスFAD(ここ
では、順番1に対応するメモリチップ200のアドレス
A)に一致すると、EX−NOR回路108は、Hレベ
ル(論理ハイレベル)の切換信号SWを選択スイッチ1
09に与える。Address AD from signal processing circuit 101
(Here, the address A of the memory chip 200) is EE
When the address matches the defective address FAD stored in the PROM 106 (here, the address A of the memory chip 200 corresponding to the order 1), the EX-NOR circuit 108 switches the H-level (logic high level) switching signal SW to the selection switch 1
09.
【0042】Hレベルの切換信号SWに応答して、選択
スイッチ109は、データバスDB1とデータバスDB
2とを接続状態にする。これにより、信号処理回路10
1とレジスタ107との間にデータパスが形成される。
また、Hレベルの切換信号SWに応答して、レジスタ1
07は、与えられた順番NB(ここでは1)に対応する
領域(ここでは領域A)を選択し、当該領域を書き込み
/読み出し可能にする。そして、信号処理回路101か
らのデータがレジスタ107の領域Aに書き込まれ、ま
たは、領域Aに記憶されているデータが読み出される。
このようにして、欠陥を有する不良メモリセル(ここで
は、メモリチップ200のアドレスAに対応するメモリ
セル)が救済される。In response to the H-level switching signal SW, the selection switch 109 switches between the data bus DB1 and the data bus DB.
2 is connected. Thereby, the signal processing circuit 10
1 and the register 107 form a data path.
Further, in response to the H-level switching signal SW, the register 1
07 selects an area (here, area A) corresponding to the given order NB (here, 1) and makes the area writable / readable. Then, the data from the signal processing circuit 101 is written to the area A of the register 107, or the data stored in the area A is read.
In this way, a defective memory cell having a defect (here, a memory cell corresponding to address A of memory chip 200) is relieved.
【0043】次に、信号処理回路101によって指定さ
れたアドレスADが、EEPROM106に記憶されて
いる不良アドレスのいずれとも一致しない場合、例え
ば、メモリチップ200のアドレスEが指定された場合
について説明する。Next, a case where the address AD specified by the signal processing circuit 101 does not match any of the defective addresses stored in the EEPROM 106, for example, a case where the address E of the memory chip 200 is specified will be described.
【0044】EX−NOR回路108は、選択スイッチ
109に対してLレベル(論理ローレベル)の切換信号
SWを与える。Lレベルの切換信号SWに応答して、選
択スイッチ109は、データバスDB1とデータバスD
B3とを接続状態にする。これにより、信号処理回路1
01とメモリチップ200,300との間にデータパス
が形成される。The EX-NOR circuit 108 supplies the selection switch 109 with an L level (logic low level) switching signal SW. In response to the L-level switch signal SW, the selection switch 109 switches the data bus DB1 and the data bus D
B3 is connected. Thereby, the signal processing circuit 1
01 and the memory chips 200 and 300, a data path is formed.
【0045】信号処理回路101によって指定されたア
ドレスAD(ここでは、メモリチップ200のアドレス
E)を受けて、メモリコントローラ102は、対応する
メモリチップ(ここでは、メモリチップ200)に対す
る選択信号(ここでは、選択信号C1)を活性にする。
活性の選択信号C1を受けて、メモリチップ200が活
性化される。そして、信号処理回路101からのデータ
がメモリチップ200のアドレスEに対応するメモリセ
ルに書き込まれ、または、当該メモリセルに記憶されて
いるデータが読み出される。In response to the address AD (here, the address E of the memory chip 200) specified by the signal processing circuit 101, the memory controller 102 sends a selection signal (here, the memory chip 200) for the corresponding memory chip (here, the memory chip 200). Then, the selection signal C1) is activated.
Receiving the activation selection signal C1, the memory chip 200 is activated. Then, data from the signal processing circuit 101 is written to a memory cell corresponding to the address E of the memory chip 200, or data stored in the memory cell is read.
【0046】<効果>以上のように、この発明の実施の
形態による半導体集積回路では、ロジックチップ100
内に、BIST回路103,104と、BISTコント
ローラ105と、EEPROM106と、レジスタ10
7と、EX−NOR回路108と、選択スイッチ109
とを設けたため、メモリチップ200,300の設計に
おいて、不良メモリセルを検出する機能および救済する
機能を備えていないメモリの設計資産を利用した場合で
あっても、完成した半導体集積回路(パッケージ)の歩
留りを向上させることができる。<Effects> As described above, in the semiconductor integrated circuit according to the embodiment of the present invention, the logic chip 100
The BIST circuits 103 and 104, the BIST controller 105, the EEPROM 106, and the register 10
7, EX-NOR circuit 108, selection switch 109
Thus, in designing the memory chips 200 and 300, a completed semiconductor integrated circuit (package) can be used even if a memory design resource that does not have a function of detecting a defective memory cell and a function of relieving it is used. Yield can be improved.
【0047】また、不良メモリセルを検出する機能およ
び救済する機能を備えたメモリを新たに開発する必要が
なくなるため、設計期間を短縮することができる。ま
た、メモリチップの回路規模の増大を抑えることができ
る。Further, since it is not necessary to newly develop a memory having a function of detecting a defective memory cell and a function of relieving the memory cell, the design period can be shortened. Further, an increase in the circuit scale of the memory chip can be suppressed.
【0048】なお、BIST回路103,104、BI
STコントローラ105、EEPROM106、レジス
タ107、EX−NOR回路108、および選択スイッ
チ109は、1つのチップ100内に設けたが、メモリ
チップ200,300の外部であれば、これらを複数の
チップ内に設けてもよい。The BIST circuits 103 and 104, BI
The ST controller 105, the EEPROM 106, the register 107, the EX-NOR circuit 108, and the selection switch 109 are provided in one chip 100, but if they are outside the memory chips 200 and 300, they are provided in a plurality of chips. You may.
【0049】また、ここでは、複数のチップがひとつの
パッケージ内に搭載されたマルチチップモジュールにつ
いて示したが、複数の機能を有するブロックがひとつの
チップ上に形成されたシステムLSI(図1に示すロジ
ックチップ100と同様の機能を有するロジック部と、
メモリチップ200,300と同様の機能を有するメモ
リ部とが同一チップ上に形成されたシステムLSI)に
ついても、上述したのと同様の効果を得ることができ
る。Although a multi-chip module in which a plurality of chips are mounted in one package has been described, a system LSI in which blocks having a plurality of functions are formed on one chip (see FIG. 1) A logic unit having the same function as the logic chip 100;
The same effects as described above can be obtained for a system LSI in which a memory unit having the same function as the memory chips 200 and 300 is formed on the same chip.
【0050】また、マルチチップモジュールやシステム
LSIなどでは、メモリチップ(メモリ部)とロジック
チップ(ロジック部)との距離が短いため、ロジックチ
ップ(ロジック部)内に不良メモリの検出機能および救
済機能を持たせても、メモリチップ(メモリ部)内にこ
れらの機能を持たせた場合と比較して、信号の帯域幅や
速度の面などに関して問題はない。In a multichip module, a system LSI, or the like, since the distance between the memory chip (memory section) and the logic chip (logic section) is short, a function of detecting and relieving a defective memory in the logic chip (logic section) is provided. , There is no problem in terms of signal bandwidth, speed, etc. as compared with the case where these functions are provided in a memory chip (memory section).
【0051】[0051]
【発明の効果】この発明の1つの局面に従った半導体集
積回路装置は、メモリチップの外部に検査部、不良アド
レス記憶部、レジスタ部、および救済部を設けたため、
メモリチップの設計において、欠陥を有する不良メモリ
を検出する機能および不良メモリを救済する機能を備え
ていないメモリの設計資産を利用した場合であっても、
完成した半導体集積回路装置の歩留りを向上させること
ができる。また、欠陥を有する不良メモリを検出する機
能および不良メモリを救済する機能を備えたメモリチッ
プを新たに設計開発する必要がなくなるため、設計期間
を短縮することができる。また、メモリチップの回路規
模の増大を防ぐことができる。According to the semiconductor integrated circuit device according to one aspect of the present invention, the inspection unit, the defective address storage unit, the register unit, and the rescue unit are provided outside the memory chip.
In designing a memory chip, even if a memory design resource that does not have a function of detecting a defective memory having a defect and a function of relieving the defective memory is used,
The yield of the completed semiconductor integrated circuit device can be improved. Further, since it is not necessary to newly design and develop a memory chip having a function of detecting a defective memory having a defect and a function of relieving the defective memory, the design period can be shortened. In addition, an increase in the circuit size of the memory chip can be prevented.
【0052】この発明のもう1つの局面に従った半導体
集積回路装置は、メモリ部の外部に検査部、不良アドレ
ス記憶部、レジスタ部、および救済部を設けたため、メ
モリ部の設計において、欠陥を有する不良メモリを検出
する機能および不良メモリを救済する機能を備えていな
いメモリの設計資産を利用した場合であっても、完成し
た半導体集積回路装置の歩留りを向上させることができ
る。また、欠陥を有する不良メモリを検出する機能およ
び不良メモリを救済する機能を備えたメモリ部を新たに
設計開発する必要がなくなるため、設計期間を短縮する
ことができる。また、メモリ部の回路規模の増大を防ぐ
ことができる。In the semiconductor integrated circuit device according to another aspect of the present invention, the inspection unit, the defective address storage unit, the register unit, and the rescue unit are provided outside the memory unit. Even when a memory design resource that does not have a function of detecting a defective memory and a function of relieving the defective memory is used, the yield of the completed semiconductor integrated circuit device can be improved. Further, since it is not necessary to newly design and develop a memory unit having a function of detecting a defective memory having a defect and a function of relieving the defective memory, the design period can be shortened. Further, it is possible to prevent an increase in the circuit scale of the memory unit.
【図1】この発明の実施の形態による半導体集積回路の
全体構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing an overall configuration of a semiconductor integrated circuit according to an embodiment of the present invention.
【図2】図1に示したEEPROMに記憶される不良ア
ドレスとレジスタ内の記憶領域との対応関係を示す図で
ある。FIG. 2 is a diagram showing a correspondence relationship between a defective address stored in the EEPROM shown in FIG. 1 and a storage area in a register.
1 パッケージ 101 信号処理回路 103,104 BIST回路 105 BISTコントローラ 106 EEPROM 107 レジスタ 108 EX−NOR回路 109 選択スイッチ 200,300 メモリチップ DB1−DB3 データバス 1 Package 101 Signal Processing Circuit 103, 104 BIST Circuit 105 BIST Controller 106 EEPROM 107 Register 108 EX-NOR Circuit 109 Selection Switch 200, 300 Memory Chip DB1-DB3 Data Bus
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5B018 GA01 GA02 GA03 HA01 HA21 HA40 JA30 NA06 QA13 5F038 DF05 DF11 DF14 DF16 DT07 DT08 DT15 DT17 DT18 EZ20 5L106 AA01 AA02 CC05 CC09 CC11 CC17 CC21 CC32 DD12 DD25 GG05 GG07 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F-term (reference)
Claims (3)
と、 前記メモリチップの外部に設けられ、前記メモリチップ
に対してアドレスを指定し、当該指定したアドレスに対
応するメモリセルに対してデータの書き込み/読み出し
を行う信号処理部と、 前記メモリチップの外部に設けられ、前記複数のメモリ
セルのうち欠陥を有する不良メモリセルを検出する検査
部と、 前記メモリチップの外部に設けられ、前記検査部によっ
て検出された不良メモリセルのアドレスを記憶する不良
アドレス記憶部と、 前記メモリチップの外部に設けられ、前記不良アドレス
記憶部に記憶された不良アドレスに対応づけられた記憶
領域を有するレジスタ部と、 前記メモリチップの外部に設けられ、前記信号処理部に
よって指定されたアドレスが前記不良アドレス記憶部に
記憶された不良アドレスと一致するとき、前記信号処理
部が当該不良アドレスに対応づけられた前記レジスタ部
の記憶領域に対してデータの書き込み/読み出しを行う
ようにする救済部とを備え、 前記メモリチップ、前記信号処理部、前記検査部、前記
不良アドレス記憶部、前記レジスタ部、および前記救済
部は、同一パッケージ内に搭載されることを特徴とする
半導体集積回路装置。A memory chip having a plurality of memory cells; an address provided outside the memory chip, designating an address for the memory chip, and writing data to a memory cell corresponding to the designated address. A signal processing unit for performing read / read; a test unit provided outside the memory chip to detect a defective memory cell having a defect among the plurality of memory cells; and a test unit provided outside the memory chip. A defective address storage unit that stores an address of a defective memory cell detected by the memory unit; and a register unit that is provided outside the memory chip and has a storage area that is associated with the defective address stored in the defective address storage unit. An address provided outside the memory chip and designated by the signal processing unit; A rescue unit configured to write / read data to / from the storage area of the register unit associated with the defective address when the address matches the defective address stored in the storage unit. A semiconductor integrated circuit device, wherein the memory chip, the signal processing unit, the inspection unit, the defective address storage unit, the register unit, and the rescue unit are mounted in the same package.
アドレスを指定し、当該指定したアドレスに対応するメ
モリセルに対してデータの書き込み/読み出しを行う信
号処理部と、 前記メモリ部の外部に設けられ、前記複数のメモリセル
のうち欠陥を有する不良メモリセルを検出する検査部
と、 前記メモリ部の外部に設けられ、前記検査部によって検
出された不良メモリセルのアドレスを記憶する不良アド
レス記憶部と、 前記メモリ部の外部に設けられ、前記不良アドレス記憶
部に記憶された不良アドレスに対応づけられた記憶領域
を有するレジスタ部と、 前記メモリ部の外部に設けられ、前記信号処理部によっ
て指定されたアドレスが前記不良アドレス記憶部に記憶
された不良アドレスと一致するとき、前記信号処理部が
当該不良アドレスに対応づけられた前記レジスタ部の記
憶領域に対してデータの書き込み/読み出しを行うよう
にする救済部とを備え、 前記メモリ部、前記信号処理部、前記検査部、前記不良
アドレス記憶部、前記レジスタ部、および前記救済部
は、同一チップ上に形成されることを特徴とする半導体
集積回路装置。2. A memory unit having a plurality of memory cells, and an address provided outside the memory unit, designating an address to the memory unit, and writing data to a memory cell corresponding to the designated address A signal processing unit for performing read / read; a test unit provided outside the memory unit to detect a defective memory cell having a defect among the plurality of memory cells; and a test unit provided outside the memory unit. A defective address storage unit for storing an address of a defective memory cell detected by the memory unit; and a register unit provided outside the memory unit and having a storage area associated with the defective address stored in the defective address storage unit. A defective address provided outside the memory unit, wherein an address specified by the signal processing unit is stored in the defective address storage unit; And a rescue unit for writing / reading data to / from a storage area of the register unit associated with the defective address when the signal unit matches the defective address. A semiconductor integrated circuit device, wherein the processing unit, the inspection unit, the defective address storage unit, the register unit, and the rescue unit are formed on the same chip.
集積回路装置において、 前記救済部は、 前記信号処理部によって指定されたアドレスと前記不良
アドレス記憶部に記憶された不良アドレスとが一致する
か否かを判定する比較判定回路と、 前記比較判定回路によって一致すると判定されたとき、
前記レジスタ部と前記信号処理部との間にデータパスを
形成する選択スイッチとを含むことを特徴とする半導体
集積回路装置。3. The semiconductor integrated circuit device according to claim 1, wherein the rescue unit matches an address specified by the signal processing unit with a defective address stored in the defective address storage unit. A comparison / judgment circuit for judging whether or not to perform the judgment; and
A semiconductor integrated circuit device, comprising: a selection switch that forms a data path between the register unit and the signal processing unit.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000168713A JP2001352038A (en) | 2000-06-06 | 2000-06-06 | Semiconductor integrated circuit device |
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