JP2001219281A - 真空形成体の製造方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 断熱部材等に用いる真空形成体は、被接合材
の周縁部を排気口を残してイナートガスアーク溶接など
により接合し、形成した気密部内のガスを排出しながら
排気口を封止することにより製造していたが、熱ひずみ
が発生しやすいため、板状等の被接合材を組み合わせて
様々な形状の真空形成体を製造するには、この熱ひずみ
の影響を解消するための大がかりな支持装置が必要で設
備費も高くなり、また、重ね部に隙間が生じてガスが残
留しやすく、高真空が得にくい、という問題があった。 【解決手段】 所定形状の被接合材１１・１２を組み合
わせて接合し内部に気密部３を設ける接合工程と、該気
密部３を真空にしつつ封止部２１を接合して密閉する封
止工程とからなる真空形成体７の製造方法において、前
記接合工程と封止工程に摩擦攪拌接合法を用いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、所定形状の被接合
材を組み合わせて接合して内部を真空にした真空形成体
の製造方法や装置に関し、特に、冷蔵庫の断熱底板、保
温ボックスの断熱壁など、扁平状、楕円状など様々な大
きさ・形状からなる真空形成体を製造する技術に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、断熱部材等に用いられる真空
形成体を製造するには、まず、接合工程において、所定
形状の被接合材の周縁を、後で閉塞する排気口（以下
「封止部」とする）を残して、全てイナートガスアーク
溶接などによって接合して内部に気密部を設け、次の封
止工程において、該気密部を真空にしつつ封止部を接合
して密閉する。そして、該封止工程には、大気中におい
て該気密部をポンプなどで真空引きしながら、封止部を
圧着などで封止する大気中封止方法と、気密部を設けた
真空形成体を真空室内に置き、真空室内を真空引きする
と共に気密部内も真空にした後、該真空室内において封
止部をろう付け等で封止する真空中封止方法がある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の接合工程や封止工程のいずれにおいても、以
下のような問題があった。すなわち、被接合材の周縁を
接合する際にイナートガスアーク溶接を用いるため、入
熱が大きく熱ひずみが発生しやすいことから、従来の真
空形成体は、気密性確保の点から変形しにくい筒状のも
のが多く、板状等の被接合材を組み合わせて様々な形状
の真空形成体を製造するには、この熱ひずみを押さえて
被接合材同士を密着させねばならず、大がかりな支持装
置が必要であり、設備費も高くなる、という問題があっ
た。

【０００４】そして、たとえ被接合材同士を強く密着で
きても、図１１に示すように、板状等の被接合材１ａ・
１ｂ間を接合するには、重ね部４の端面沿いに外側から
溶接するしかなく、該重ね部４に隙間５が生じてそこに
ガスが残留するため、真空形成体７での高真空が得にく
くなり、また、接合部２の接合幅６も狭いため、接合部
２における接合強度や気密性が十分に確保できない、と
いう問題があった。さらに、イナートガスアーク溶接で
は補助溶接材料を用いるため、接合部の気密性向上に影
響の大きな母材の溶け込み深さが十分にとれず、気密漏
れが生じやすい、という問題があった。

【０００５】また、前記大気中封止方法での封止部は、
一般に、一端を気密部に内挿し、他端を外部に突出させ
た純銅からなるパイプ等から構成され、該パイプを、真
空引きしながら加圧圧着させることで真空封止するよう
にしているが、真空形成体からパイプが突設された形態
であるために破損しやすく、そして、気密部が薄い場合
には、このようなパイプの取り付け自体が難しく、さら
に、パイプからの気密漏れが生じた場合には、パイプを
取り替える必要があり再封止に手間がかかる、という問
題があった。

【０００６】また、前記真空中封止方法での封止部につ
いては、一般に、ろう付けが行われている。そのうち、
軟ろうではフラックスを用いるため、加熱時にガスが発
生して高真空が得にくく、また、硬ろうでは高温に加熱
する必要から熱ひずみが発生しやすい、という問題があ
った。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の解決しようとす
る課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するた
めの手段を説明する。すなわち、請求項１においては、
所定形状の被接合材を組み合わせて接合し内部に気密部
を設ける接合工程と、該気密部を真空にしつつ封止部を
接合して密閉する封止工程とからなる真空形成体の製造
方法において、前記接合工程と封止工程に摩擦攪拌接合
法を用いるものである。

【０００８】請求項２においては、請求項１記載の接合
工程に摩擦攪拌接合法を用いるに際し、接合線の始端と
終端とを、前記気密部を形成する接合線上から離間した
位置に設けるものである。

【０００９】請求項３においては、請求項１記載の接合
工程に摩擦攪拌接合法を用いるに際し、封止部を被接合
材内に設けるものである。

【００１０】請求項４においては、請求項３記載の封止
部は、摩擦攪拌接合により複数回の封止が可能な構成と
するものである。

【００１１】請求項５においては、請求項１記載の封止
工程において、気密部をポンプにより真空引きした後、
該ポンプと気密部とを連通して連結する連結パイプを、
摩擦攪拌接合法により封止するものである。

【００１２】請求項６においては、請求項１記載の封止
工程において、気密部を設けた真空形成体を真空室内に
配置した後に、気密部を真空にして封止部を封じる際、
該真空室の外部から内部に向かって気密保持可能にツー
ルを挿入し、該ツールにより前記封止部を摩擦攪拌接合
法で封止するものである。

【００１３】請求項７においては、所定形状の被接合材
を組み合わせて接合し内部に気密部を設けた後、該気密
部を真空にしつつ封止部を接合して密閉する真空形成体
の製造装置において、真空形成体を内部に配置可能な真
空室と、該真空室の外部から内部に向かって気密保持可
能に挿入されるツールを有する摩擦攪拌接合装置と、真
空室内の真空形成体を所定速度で移動可能な送り装置と
から構成される真空中封止装置を有するものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面に基
づいて説明する。図１は周縁の接合を摩擦攪拌接合法に
より行う本発明に係わる真空形成体の斜視図、図２は同
じく断面図、図３は突出部を設けた被接合材側に裏当て
を当てた場合の真空形成体の断面図、図４は接合線を示
す真空形成体の平面図、図５は気密部の接合線を示す真
空形成体の平面図、図６は封止するための接合線を示す
真空形成体の平面図、図７は大気中封止を摩擦攪拌接合
法により行う封止部の斜視図、図８は真空中封止を摩擦
攪拌接合法により行う真空中封止装置の側面断面図、図
９は重ね部の上下面をダミー部材で挟持する真空形成体
の斜視図、図１０は被接合材に突出部を設けない真空形
成体の斜視図、図１１は従来のイナートガスアーク溶接
法による真空形成体の断面図である。

【００１５】まず、本発明に係わる真空形成体の製造方
法の全体構成について、図１、図２、図５により説明す
る。本発明に係わる真空形成体の製造方法は、所定形状
の被接合材を組み合わせて接合し内部に気密部を設ける
接合工程と、該気密部を真空にしつつ封止部を接合して
密閉する封止工程とからなる。

【００１６】このうち、接合工程においては、図１に示
すように、プレス加工などで突出部１１ａを設けた被接
合材１１を、平板状の被接合材１２上に、突出部１１ａ
を上向きにして重ね、この重ね部４の裏面に裏当て８を
当接させ、その上に、工具鋼などからできた高速回転す
るツール９を、押圧・進入させながら移動させる。

【００１７】次の封止工程においては、図２に示すよう
に、前記接合工程により突出部１１ａと被接合材１２と
の間の空間に空けた気密部３を、大気中でのポンプによ
る排気や、真空形成体を置いた真空室内の排気により真
空にしつつ、図５に示すような、気密部３と外部とを連
通する封止部２１を閉塞し、真空形成体７を完成するよ
うにしている。

【００１８】次に、このような全体構成からなる真空形
成体の製造方法において、接合工程で用いる接合法につ
いて、図２、図３、図９乃至図１１により説明する。前
記接合工程で述べた高速回転するツール９を押圧・進入
しながら移動させる接合法は摩擦攪拌接合法といわれ、
本発明者らが真空形成体の製造法に適用可能な接合法に
ついて鋭意検討した結果、この摩擦攪拌接合法を適正に
用いることで、前述した種々の課題を解決できることを
見出した。

【００１９】すなわち、図２に示すように、ツール９
は、被接合材よりも高強度の素材、例えば工具鋼などを
材料にすると共に、円柱形状の本体９ａと、該本体９ａ
の下面中央から同軸上に突設する摩擦ピン９ｂとから構
成される。該摩擦ピン９ｂの回転に伴い、摩擦ピン９ｂ
近傍の重ね部４は摩擦熱により加熱され、この加熱軟化
された被接合材１１・１２は、前記ツール９の回転と送
りに合わせて金属が塑性変形しながら動き出す、いわゆ
る「塑性流動」という現象を示す。この塑性流動によっ
て水平および垂直方向に流動化された被接合材は、摩擦
ピン９ｂにより十分に攪拌・混合され、そして該摩擦ピ
ン９ｂが通過し冷却されると、被接合材同士が一体とな
り接合部１０が形成され、被接合材１１・１２間が強固
に接合されるのである。

【００２０】従って、摩擦攪拌接合法では、イナートガ
スアーク溶接法の場合に比べて入熱が小さく、また、イ
ナートガスを使用しないので、たとえ接合中であっても
接合部を強制的に冷風などで空冷できるため、熱ひずみ
を抑制することができ、変形しにくい。加えて、重ね部
を加圧しながら接合するために、被接合材の形状や表面
性状が不良であっても、確実に密着させながら接合する
ことができ、板状等の被接合材を組み合わせて様々な形
状の真空形成体を製造するに際しても、大がかりな支持
装置などが不要であり、設備費も低減することができ
る。

【００２１】また、摩擦攪拌接合法により形成される接
合部１０の接合幅１３は、図１１に示すイナートガスア
ーク溶接法での接合幅６に比べて広いため、気密部３側
にはガスが残留する隙間が形成されにくく、高真空が得
やすい。さらには、この広幅の接合部１０によって、接
合強度や気密性も大きく向上させることができるのであ
る。さらに、この接合部１０は、前述した如く、塑性流
動化された被接合材１１・１２同士が攪拌・混合され、
その直後に冷却・凝固されて形成されるため、異相が生
じにくく、イナートガスアーク溶接の如く母材と異なる
補助溶接材料を使用する場合に比べて、気密性を高く保
持することができるのである。

【００２２】なお、図３に示すように、裏当て１４上
に、反転した真空形成体７の重ね部４を係止可能な構造
とし、上板の被接合材１２上からツール９を押圧・進入
させながら移動できるようにすることで、ツール９の移
動が突出部１１ａにより邪魔されることがないため、接
合部１０を気密部３にできるだけ近接して形成させるこ
とができ、ガスが残留する気密部３側の被接合材１１・
１２間の隙間をほとんどなくせるので、所定の真空度ま
で迅速に真空引きすることができる。

【００２３】また、図９に示すように、重ね部４の上下
面がダミー部材５１で挟持された構造とし、その上から
ツール９を押圧・進入させながら移動できるようにする
ことで、被接合材１１・１２の板厚が極端に薄い場合で
あっても、重ね部４で顕著な塑性流動に起因した溶け落
ちなどの現象が発生することなく、良好な接合部品質を
得ることができる。さらに、図１０に示すように、上板
下板とも突出部のない板状の被接合材５３・１２とし、
該被接合材５３・１２の端部にはペーサー５２を介設
し、その上からツール９を押圧・進入させながら移動で
きるようにすることで、プレス加工などで突出部を設け
た高価な被接合材を用いる必要がなく、部品コストの低
減を図ることができ、加えて、ツール９の移動が突出部
により邪魔されないため、接合部１０を気密部３にでき
るだけ近接して形成させることができ、ガスの残留を抑
制し、所定の真空度まで迅速に真空引きすることができ
るのである。

【００２４】次に、接合工程における接合線、及び封止
部の形成方法について、図４乃至図６により説明する。
図４に示すように、重ね部４上で被接合材１１の突出部
１１ａ側面沿いに前記ツール９を移動させて、始端１５
・終端１６の直線状の接合線１７、１８を形成し、続い
て、始端２２から突出部１１ａ側面沿いにツール９を移
動させた後、角部の屈折点２４・２４で向きを変え、被
接合材１１の対角線方向に延出して終端２３として接合
線１９、２０を形成する。これらの接合線１７、１８、
１９、２０により囲まれた部分、つまり、図５に示すよ
うな接合線２５で囲まれた部分に、前記気密部３が形成
されると共に、該接合線２５上には、前記始端１５・２
２及び終端１６・２３が位置しないようにしている。す
なわち、始端と終端では、ツール９の加圧と回転力とが
不足して接合部１０の成長が小さく、表面性状も悪く、
この接合部１０内には内部欠陥も発生し易いため、接合
線の始端と終端とを、気密部３を形成する接合線２５上
から離間した位置に設けることにより、接合の不十分な
部分を排除して、気密性の確保を図るようにしている。

【００２５】また、図５に示すように、前述のようにし
て設けた気密部３の接合線２５のうち、前記接合線１
９、２０上の屈折点２４・２４と終端２３・２３とによ
り囲まれた部分には、外部と連通する隙間が形成されて
おり、この隙間を封止部２１として、該封止部２１を介
して、気密部３内を外部と連通させるようにしている。
すなわち、このようにして、封止部２１を被接合材１１
・１２内に設けることにより、封止部２１が真空形成体
７から外部に突出することがないため、気密部３から突
設させた従来のパイプ等とは異なり、破損しにくく、ま
た破損防止のために複雑な構造を設ける必要がない。ま
た、気密部３が薄い場合であっても封止部２１は容易に
形成することができる。

【００２６】さらに、封止部２１の長さに相当する前記
屈折点２４・２４と前記終端２３・２３との間隔を十分
に確保しており、封止のために複数回の摩擦攪拌接合が
行えるようにしている。すなわち、従来のイナートガス
アーク溶接においては、気密漏れが発見された場合は、
既溶接部を一度除去して溶接しようとしても、溶接中の
スパッターや熱ひずみなどのために既溶接部近傍は性状
が非常に悪く、ほとんど再溶接はできないが、摩擦攪拌
接合を用いることにより、既接合部近傍の性状が良好と
なり、該既接合部の近接位置に再接合を施すことができ
るため、封止のための複数回の接合を容易に行うことが
できるのである。

【００２７】例えば、図６に示すように、ツール９を、
封止部２１の接合線２５に直交して移動させることによ
り接合線２６を形成し、該接合線２６により仮封止を施
して漏れ試験を行う。そして、気密漏れの有無を調査
し、気密漏れがなく良好な気密性が得られた場合には、
前記接合線２６近傍に接合線２７を形成して、該接合線
２７により本封止を行うのである。気密漏れがあれば、
前記接合線２６の接合部を除去して、摩擦攪拌接合法に
より全体の再接合を行い気密性を向上させた後、再び、
真空引きしながら接合線２７を形成し、該接合線２７に
より本封止を行うのである。

【００２８】次に、封止工程で用いる封止方法につい
て、図６乃至図８により説明する。まず、大気中封止方
法について説明する。前記封止部２１のように、被接合
材内に設けた封止部において、再封止を行うことがで
き、気密漏れによる不良品の発生を大きく低減すること
ができる。

【００２９】一方、被接合材が変形しやすく、大気中で
真空引きする際に、大気圧により前記封止部２１の隙間
が保持できない場合などには、従来の如くパイプを使用
する必要がある。この場合、図７に示すように、前記被
接合材１１の突出部１１ａの側面より、内部の前記気密
部３に連通した連結パイプ２９が突設され、該連結パイ
プ２９は、図示せぬポンプに接続されており、該ポンプ
を駆動することにより、気密部３内のガスを排出できる
ようにしている。そして、該パイプ２９の途中部の上下
にはダミー板３０・３０を仮止めし、該ダミー板３０・
３０の裏面には裏当て３０を当接させると共に、ダミー
板３０・３０の上面からは、回転するツール９を加圧し
ながら位置３２から３３まで移動させることによって摩
擦攪拌接合を行い、連結パイプ２９を封止するのであ
る。

【００３０】すなわち、このように連結パイプを摩擦攪
拌接合法で封止することにより、従来のように加熱しな
がら加圧圧着させる場合とは異なり、連結パイプを取り
替えなくとも、位置をわずかにずらせるだけで再封止が
可能であり、また、圧着に比べて接合部の接合強度も高
く、高い気密性を確実に保持することができるのであ
る。

【００３１】次に、真空中封止方法における封止部の封
止方法及びその装置について説明する。図８に示すよう
に、真空室３７の底板３７ａ上には、上部にボールなど
の転動・摺動が可能な部材を設けた複数の支持体３８を
配設し、該支持体３８上には真空形成体７を保持するた
めの保持台３９を水平方向に移動可能に載置し、該保持
台３９上に真空形成体７が固定されている。そして、前
記真空室３７上方からは、基部を接合ヘッド３３に固設
したツール３６が、真空室３７上部の蓋板３７ｂを貫通
して前記封止部２１上面に押圧されると共に、この貫通
部３７ｃと前記接合ヘッド３３との間は、伸縮可能な気
密カバー３５で覆われている。一方、前記保持台３９の
側面には、複数の移動アーム４１の先端が固定され、該
移動アーム４１の基部は、真空室３７の側板３７ｄを貫
通して、真空室３７側方に設けた駆動部４２に接続さ
れ、該駆動部４２と貫通部３７ｅとの間も、伸縮可能な
気密カバー４０で覆われている。

【００３２】このような、真空形成体７を内部に配置可
能な真空室３７と、該真空室３７の外部から内部に向か
って気密保持可能に挿入されるツール３６を有する摩擦
攪拌接合装置４４と、真空室３７内の真空形成体７を所
定速度で移動可能な送り装置４５とからなる真空中封止
装置４３において、ツール３６を押圧して保持した状態
で、前記送り装置４２の移動アーム４１を駆動部４２に
より伸縮させ、ツール３６先端が前記接合線２６や接合
線２７に沿って移動するように保持台３９を移動させる
ことで、前記封止部２１を封止することができるのであ
る。

【００３３】すなわち、このような真空中封止装置４３
を用いて、封止部２１を摩擦攪拌接合により封止するこ
とにより、従来のろう付けとは異なって、接合中のフラ
ックスによるガス発生がなく、高い真空度が得られると
共に、被接合材表面でのみ接合するろう付けとは異な
り、被接合材同士の塑性流動により接合する摩擦攪拌接
合の方が、接合強度が高く、高い気密性が得られる。

【００３４】

【発明の効果】本発明は、以上のように構成したので、
次のような効果を奏するものである。即ち、請求項１の
ように、所定形状の被接合材を組み合わせて接合し内部
に気密部を設ける接合工程と、該気密部を真空にしつつ
封止部を接合して密閉する封止工程とからなる真空形成
体の製造方法において、前記接合工程と封止工程に摩擦
攪拌接合法を用いるので、イナートガスアーク溶接法に
比べて熱ひずみを大幅に低減することができ、板状など
の被接合材であっても確実に密着させながら接合できる
ため、様々な形状の真空形成体を簡単な設備で安価に製
造することができる。また、接合部の幅を広くとること
ができ、ガスが残留する隙間の発生を抑えて高真空が得
やすくなり、接合強度や気密性も大きく向上させること
ができる。加えて、塑性流動化された被接合材同士が攪
拌・混合されて接合部が形成されるため、異相が生じに
くく、さらに気密性を高く維持することができる。

【００３５】請求項２のように、請求項１記載の接合工
程に摩擦攪拌接合法を用いるに際し、接合線の始端と終
端とを、前記気密部を形成する接合線上から離間した位
置に設けるので、始端と終端からの気密漏れを防止し
て、高い気密性を維持させることができる。

【００３６】請求項３のように、請求項１記載の接合工
程に摩擦攪拌接合法を用いるに際し、封止部を被接合材
内に設けるので、封止部が真空形成体から外部に突出す
ることがなく、従来の突設したパイプ等とは異なり、破
損しにくく、また破損防止のために複雑な構造を設ける
必要がなく、加えて、気密部が薄い場合であっても封止
部を容易に形成することができる。

【００３７】請求項４のように、請求項３記載の封止部
は、摩擦攪拌接合により複数回の封止が可能な構成とす
るので、気密漏れに対する補修を簡単に行うことがで
き、不良品の発生が大きく低減できるばかりでなく、使
用中に気密漏れが発生した真空形成体のリサイクルも容
易に行うことができる。

【００３８】請求項５のように、請求項１記載の封止工
程において、気密部をポンプにより真空引きした後、該
ポンプと気密部とを連通して連結する連結パイプを、摩
擦攪拌接合法により封止するので、連結パイプを取り替
えなくとも再封止が可能であり、また、圧着に比べて接
合部の接合強度も高く、高い気密性を確実に保持するこ
とができる。

【００３９】請求項６のように、請求項１記載の封止工
程において、気密部を設けた真空形成体を真空室内に配
置した後に、気密部を真空にして封止部を封じる際、該
真空室の外部から内部に向かって気密保持可能にツール
を挿入し、該ツールにより前記封止部を摩擦攪拌接合法
で封止するので、従来のろう付けとは異なり、接合中の
フラックスによるガス発生がなく、高い真空度が得られ
ると共に、ろう付けに比べ接合強度が高く、高い気密性
を得ることができる。

【００４０】請求項７のように、所定形状の被接合材を
組み合わせて接合し内部に気密部を設けた後、該気密部
を真空にしつつ封止部を接合して密閉する真空形成体の
製造装置において、真空形成体を内部に配置可能な真空
室と、該真空室の外部から内部に向かって気密保持可能
に挿入されるツールを有する摩擦攪拌接合装置と、真空
室内の真空形成体を所定速度で移動可能な送り装置とか
ら構成される真空中封止装置を有するので、封止部の摩
擦攪拌接合による真空中での封止を簡単な装置で確実に
行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】周縁の接合を摩擦攪拌接合法により行う本発明
に係わる真空形成体の斜視図である。

【図２】同じく断面図である。

【図３】突出部を設けた被接合材側に裏当てを当てた場
合の真空形成体の断面図である。

【図４】接合線を示す真空形成体の平面図である。

【図５】気密部の接合線を示す真空形成体の平面図であ
る。

【図６】封止するための接合線を示す真空形成体の平面
図である。

【図７】大気中封止を摩擦攪拌接合法により行う封止部
の斜視図である。

【図８】真空中封止を摩擦攪拌接合法により行う真空中
封止装置の側面断面図である。

【図９】重ね部の上下面をダミー部材で挟持する真空形
成体の斜視図である。

【図１０】被接合材に突出部を設けない真空形成体の斜
視図である。

【図１１】従来のイナートガスアーク溶接法による真空
形成体の断面図である。

【符号の説明】

３ 気密部 ７ 真空形成体 ９・３６ ツール １１・１２ 被接合材 １５・２２ 始端 １６・２３ 終端 １７・１８・１９・２０ 接合線 ２１ 封止部 ２９ 連結パイプ ３７ 真空室 ４３ 真空中封止装置 ４４ 摩擦攪拌接合装置 ４５ 送り装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 阪本 慶二 神戸市中央区港島南町１丁目５番２号 財 団法人新産業創造研究機構内 (72)発明者 四方 宏 神戸市中央区港島南町１丁目５番２号 財 団法人新産業創造研究機構内 Ｆターム(参考） 3H036 AA08 AB28 AC01 AE13 4E067 BG00 CA04 DB01 EA08 EB00 EC02

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定形状の被接合材を組み合わせて接合
   し内部に気密部を設ける接合工程と、該気密部を真空に
   しつつ封止部を接合して密閉する封止工程とからなる真
   空形成体の製造方法において、前記接合工程と封止工程
   に摩擦攪拌接合法を用いることを特徴とする真空形成体
   の製造方法。
2. 【請求項２】 前記接合工程に摩擦攪拌接合法を用いる
   に際し、接合線の始端と終端とを、前記気密部を形成す
   る接合線上から離間した位置に設けることを特徴とする
   請求項１記載の真空形成体の製造方法。
3. 【請求項３】 前記接合工程に摩擦攪拌接合法を用いる
   に際し、封止部を被接合材内に設けることを特徴とする
   請求項１記載の真空形成体の製造方法。
4. 【請求項４】 前記封止部は、摩擦攪拌接合により複数
   回の封止が可能な構成とすることを特徴とする請求項３
   記載の真空形成体の製造方法。
5. 【請求項５】 前記封止工程において、気密部をポンプ
   により真空引きした後、該ポンプと気密部とを連通して
   連結する連結パイプを、摩擦攪拌接合法により封止する
   ことを特徴とする請求項１記載の真空形成体の製造方
   法。
6. 【請求項６】 前記封止工程において、気密部を設けた
   真空形成体を真空室内に配置した後に、気密部を真空に
   して封止部を封じる際、該真空室の外部から内部に向か
   って気密保持可能にツールを挿入し、該ツールにより前
   記封止部を摩擦攪拌接合法で封止することを特徴とする
   請求項１記載の真空形成体の製造方法。
7. 【請求項７】 所定形状の被接合材を組み合わせて接合
   し内部に気密部を設けた後、該気密部を真空にしつつ封
   止部を接合して密閉する真空形成体の製造装置におい
   て、真空形成体を内部に配置可能な真空室と、該真空室
   の外部から内部に向かって気密保持可能に挿入されるツ
   ールを有する摩擦攪拌接合装置と、真空室内の真空形成
   体を所定速度で移動可能な送り装置とから構成される真
   空中封止装置を有することを特徴とする真空形成体の製
   造装置。