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JP2001212489A - Coating device - Google Patents

Coating device

Info

Publication number
JP2001212489A
JP2001212489A JP2000027400A JP2000027400A JP2001212489A JP 2001212489 A JP2001212489 A JP 2001212489A JP 2000027400 A JP2000027400 A JP 2000027400A JP 2000027400 A JP2000027400 A JP 2000027400A JP 2001212489 A JP2001212489 A JP 2001212489A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
slurry
coating
rear edge
edge portion
front edge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000027400A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takahiro Yamazaki
隆弘 山崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2000027400A priority Critical patent/JP2001212489A/en
Publication of JP2001212489A publication Critical patent/JP2001212489A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】その目的は、塗布媒体上にセラミック粉末が含
有したスラリーを塗布するのに、塗布するスラリーの表
面が均一にすることができる塗布装置を提供することを
目的とする。 【解決手段】塗布ヘッド10は、スリット部3を介し
て、その移動方向の前後に分割して設けられた前面エッ
ジ部1及び後面エッジ部2を備え、前面エッジ部に下面
1bと、後面エッジ部2に、傾斜面2aと、塗布媒体面
50に略平行に形成された下面2bとを有し、下面1b
よりも下面2bが塗布媒体50に近づけて形成した構成
とする。
(57) [Problem] To provide a coating apparatus capable of making a surface of a slurry to be applied uniform when applying a slurry containing ceramic powder on a coating medium. I do. A coating head (10) includes a front edge (1) and a rear edge (2) which are divided into front and rear portions in a moving direction thereof via a slit (3). The portion 2 has an inclined surface 2a and a lower surface 2b formed substantially parallel to the application medium surface 50, and the lower surface 1b
The lower surface 2b is formed closer to the application medium 50 than the lower surface 2b.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、セラミックスラリ
ー等のスラリーを塗布しながらセラミックグリーンシー
トを積層する塗布装置に関するもので、特にスラリーを
連続して押す塗布ヘッドの形状に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a coating apparatus for laminating ceramic green sheets while applying a slurry such as a ceramic slurry, and more particularly to a coating head for continuously pressing a slurry.

【0002】[0002]

【従来の技術】積層セラミック回路基板は、回路の小型
化、高密度実装には欠くことのできないものであり、そ
の構造としては、複数積層したセラミック絶縁層間に内
部配線等の配線パターンを形成し、また、表面に所定の
配線パターンを形成した後、各種電子部品、例えば、チ
ップ抵抗器、チップコンデンサ、表面実装可能な各種電
子、表面配線にボンディング接合されるICベアチップ
などを搭載するように構成されている。
2. Description of the Related Art A multilayer ceramic circuit board is indispensable for miniaturization and high-density mounting of a circuit. Its structure is such that a wiring pattern such as an internal wiring is formed between a plurality of laminated ceramic insulating layers. In addition, after a predetermined wiring pattern is formed on the surface, various electronic components such as chip resistors, chip capacitors, various types of surface mountable electrons, and IC bare chips bonded to the surface wiring are mounted. Have been.

【0003】ここで、例えば携帯電話端末機に使用され
るパワーアンプモジュール用の積層セラミック回路基板
においては、比較的大きな電圧が印加されるため、その
中に内層される導体配線パターンは、できる限り導体抵
抗値が低いことが要求される。
Here, since a relatively large voltage is applied to a multilayer ceramic circuit board for a power amplifier module used in, for example, a portable telephone terminal, a conductor wiring pattern formed in the circuit is as large as possible. Low conductor resistance is required.

【0004】そこで、一般的に、内層の配線パターンの
導体抵抗値を下げるために、配線パターンの印刷膜厚を
大きくする手法がとられる。すなわち、誘電体層の厚み
が10〜50μmである場合、内部電極の厚みを誘電体
層の厚みに近づけた10〜30μm程度にすることが試
みられている。
Therefore, in general, in order to reduce the conductor resistance value of the inner wiring pattern, a method of increasing the printed film thickness of the wiring pattern is used. That is, when the thickness of the dielectric layer is 10 to 50 μm, attempts have been made to reduce the thickness of the internal electrode to about 10 to 30 μm, which is close to the thickness of the dielectric layer.

【0005】しかし、図5(a)のように、通常の厚さ
の配線パターン6を形成した誘電体層5aで複数積層す
る方法に比べて、図5(b)のように、配線パターン6
の膜厚を単純に大きくすると、誘電体層5aの厚みに対
する配線パターン6の厚みが無視できなくなるため、誘
電体層5aの積層間の密着性が低下して、誘電体層5a
間の剥離現象が発生し、デラミネーションdの原因にな
るという問題点があった。
However, as compared with a method of laminating a plurality of dielectric layers 5a on which a wiring pattern 6 having a normal thickness is formed as shown in FIG.
When the thickness of the wiring layer 6 is simply increased, the thickness of the wiring pattern 6 cannot be ignored with respect to the thickness of the dielectric layer 5a.
There has been a problem that a separation phenomenon occurs between the layers, which causes delamination d.

【0006】そこで、図6に示すように、ガラス台板7
上に誘電体のスラリー5を印刷法ないしドクターブレー
ド法などで塗布し、乾燥後、配線パターン6を印刷形成
し、さらに、その上からスラリー5を形成することを繰
り返して積層体を得、しかる後、ガラス台板7から剥離
して積層体とする方式が提案されている。このことによ
り、配線パターン6の非形成部Vにもスラリー5が入り
込むため、積層間の密着性が向上し、耐熱特性などの信
頼性が優れたセラミック回路基板を得ることができるも
のである。
Therefore, as shown in FIG.
A dielectric slurry 5 is applied thereon by a printing method or a doctor blade method, dried, printed and formed with a wiring pattern 6, and further, the slurry 5 is further formed thereon to obtain a laminate. Thereafter, a method has been proposed in which the laminate is separated from the glass base plate 7 to form a laminate. As a result, the slurry 5 enters the non-formed portions V of the wiring pattern 6, so that the adhesion between the laminations is improved, and a ceramic circuit board having excellent reliability such as heat resistance can be obtained.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記塗
布装置では、ガラス台板7の上に、スラリー5を印刷法
ないしドクターブレード法などで塗布しているだけなの
で、例えば、化学的な凝集作用によりセラミック粉末の
凝集粒子が存在することや、焼成の際の脱バインダー工
程において、乾燥後のセラミック溶剤がなくなった部分
がポーラスになることなどから、誘電体層5aの磁器密
度が低く、耐湿特性が悪くなるという問題があった。
However, in the above-mentioned coating apparatus, the slurry 5 is merely applied on the glass base plate 7 by a printing method or a doctor blade method. Due to the presence of agglomerated particles of ceramic powder and the fact that, in the binder removal step at the time of firing, the portion where the ceramic solvent has disappeared after drying becomes porous, the porcelain density of the dielectric layer 5a is low and the moisture resistance is low. There was a problem of getting worse.

【0008】また、配線パターン6の上に塗布した誘電
体層を乾燥した時、誘電体層5aの配線パターン6の有
無により、配線パターン6が存在するところは積層体の
表面が盛り上がり、配線パターン6が存在しないところ
では積層体の表面が窪むといったように積層体の表面に
凹凸が生じるため、誘電体層5aの上に印刷する配線パ
ターン6の膜厚が不均一になり、電気特性がばらつき、
また一体焼成した時の収縮率に差を生じ、層間剥離など
の欠陥を発生しやすいという問題点があった。
When the dielectric layer applied on the wiring pattern 6 is dried, the surface of the laminated body rises where the wiring pattern 6 exists, depending on the presence or absence of the wiring pattern 6 on the dielectric layer 5a. Since the surface of the laminate is uneven, for example, where the surface of the laminate is not present, the thickness of the wiring pattern 6 printed on the dielectric layer 5a becomes non-uniform, and the electrical characteristics are reduced. Variation,
In addition, there is a problem that a difference occurs in the shrinkage rate when integrally firing, and defects such as delamination are easily generated.

【0009】本発明は、上述の問題点に鑑みて案出され
たものであり、その目的は、塗布媒体上にセラミック粉
末が含有したスラリーを塗布するのに、塗布するスラリ
ーの表面が均一にすることができる塗布装置を提供する
ことを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to apply a slurry containing ceramic powder onto a coating medium and to uniformly coat the surface of the slurry. It is an object of the present invention to provide a coating device capable of performing the coating.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明の塗布装置は、ポケット部からスリット部
を介してセラミック粉末を含むスラリーを連続して押し
出しながら塗布媒体上を移動して塗布する塗布ヘッドを
有した塗布装置において、前記塗布ヘッドは、前記スリ
ット部を介して、その移動方向の前後に分割して設けら
れた前面エッジ部及び後面エッジ部とを有し、前記前面
エッジ部に前記塗布媒体と対向する前面エッジ側下面
と、前記後面エッジ部に、前記スリット部のスラリー押
出し部側から形成された傾斜面と、該傾斜面から連続
し、かつ、前記塗布媒体面に略平行に形成された後面エ
ッジ側下面とを形成するとともに、前記前面エッジ側下
面よりも後面エッジ側下面を前記塗布媒体に近づけて形
成した構成とする。
In order to solve the above problems, a coating apparatus of the present invention moves on a coating medium while continuously extruding a slurry containing ceramic powder from a pocket section through a slit section. In the coating apparatus having a coating head for performing coating, the coating head has a front edge portion and a rear edge portion which are provided separately in front and behind the moving direction through the slit portion, A front edge side lower surface facing the coating medium at an edge portion, an inclined surface formed from a slurry extruding portion side of the slit portion at the rear edge portion, and a continuous surface from the inclined surface, and the coating medium surface And a lower surface on the rear edge side formed substantially in parallel with the coating medium, and the lower surface on the rear edge side is formed closer to the coating medium than the lower surface on the front edge side.

【0011】本発明の構成によれば、前記前記前面エッ
ジ側下面よりも後面エッジ側下面が前記塗布媒体に近づ
けて形成したために、スリット部から連続して押し出さ
れるスラリーが塗布ヘッドの移動にしたがって傾斜面か
ら押し付けるように入り込み、このあと、スラリーを後
面エッジ部の後面エッジ側下面がスラリーを押しつけな
がら移動して塗布されることになる。
According to the structure of the present invention, since the lower surface on the rear edge side is formed closer to the coating medium than the lower surface on the front edge side, the slurry continuously extruded from the slit portion moves in accordance with the movement of the coating head. Then, the slurry is pushed from the inclined surface, and then the slurry is applied while the slurry is moved while the lower surface on the rear edge side of the rear edge portion presses the slurry.

【0012】このように、後面エッジ側下面で押さえつ
けながら塗布するために、スラリーの表面と後面エッジ
側下面/又は塗布媒体とスラリー間でせん断応力がかか
り、特にスラリーの表面にある凝集粒子を粉砕しながら
平坦化することができ、これにより、塗布媒体の表面が
内部配線パターン等により凹凸となっている場合でも、
スラリーが凹部に入り込みながら表面を平坦化させるこ
とができる。その結果、セラミック粉末の充填密度が向
上することができ、焼成後に積層体内部にポーラスな部
分が少なくなり、構造欠陥や諸特性の品質のばらつきが
改善した積層体を形成することができる。
As described above, since the slurry is applied while being pressed on the lower surface on the rear edge side, a shear stress is applied between the surface of the slurry and the lower surface on the rear edge side and / or between the coating medium and the slurry, and particularly, agglomerated particles on the surface of the slurry are pulverized. It is possible to planarize while applying, even if the surface of the coating medium is uneven due to an internal wiring pattern or the like,
The surface can be flattened while the slurry enters the recess. As a result, the packing density of the ceramic powder can be improved, the number of porous portions inside the laminate after firing decreases, and a laminate having improved structural defects and variations in quality of various characteristics can be formed.

【0013】また、塗布ヘッドの傾斜面における傾斜幅
が0.1〜0.7mmで、かつ前記後面エッジ側下面の
距離が1〜8mmの範囲に形成することにより、スラリ
ーの不足による成形体の密度の低下や塗布面のスジの発
生を防ぐことができ、セラミック粉末の凝集粒子の粉砕
も十分に行うことができる。
[0013] Further, by forming the inclined width of the inclined surface of the coating head in the range of 0.1 to 0.7 mm and the distance of the lower surface on the rear edge side to the range of 1 to 8 mm, the molded body due to lack of slurry is formed. It is possible to prevent a decrease in the density and generation of streaks on the application surface, and it is possible to sufficiently crush the aggregated particles of the ceramic powder.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】本発明の塗布装置を図面に基づい
て詳説する。図1は、本発明による塗布装置Xにおける
塗布ヘッド10の一実施例を示す断面図であり、図2
は、図1の前面エッジ部1,後面エッジ部2の作用効果
を説明する断面図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A coating apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing one embodiment of a coating head 10 in a coating apparatus X according to the present invention, and FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating the operation and effect of the front edge portion 1 and the rear edge portion 2 of FIG.

【0015】図1において、塗布ヘッド10は、スラリ
ー5が供給されるポケット部4と、ポケット部4に連結
してスラリー5を連続して押し出すスリット部3と、ス
リット部3を介してシート状媒体の搬送方向の前後側に
それぞれ設けられた前面エッジ部1及び後面エッジ部2
とを備えている。
In FIG. 1, a coating head 10 has a pocket 4 to which a slurry 5 is supplied, a slit 3 connected to the pocket 4 and continuously pushing out the slurry 5, and a sheet-like shape through the slit 3. A front edge portion 1 and a rear edge portion 2 provided respectively on the front and rear sides in the medium transport direction.
And

【0016】そして、塗布ヘッド10のポケット部4に
は、外部の受液タンク及び吐出ポンプ(図示せず)が連
結され、この受液タンクから吐出ポンプによりスラリー
5がポケット部4に供給され、このスラリー5をスリッ
ト部3から押し出して、塗布ヘッド10先端面が塗布媒
体50上を走行することにより均一な厚さの塗布膜50
aを形成する。
An external liquid receiving tank and a discharge pump (not shown) are connected to the pocket portion 4 of the coating head 10, and slurry 5 is supplied from the liquid receiving tank to the pocket portion 4 by the discharge pump. The slurry 5 is extruded from the slit 3, and the tip end surface of the coating head 10 runs on the coating medium 50, so that the coating film 50 having a uniform thickness is formed.
a is formed.

【0017】ここで、前面エッジ部1は塗布媒体50と
対向する前面エッジ側下面1bと前面エッジ部の前面側
に通じるように傾斜面1aが形成されている。また、後
面エッジ部2の後面エッジ面は、前記スリット部3から
連続する傾斜面2aと、傾斜面2aに連続し、かつ、塗
布媒体50と略平行に形成した後面エッジ側下面2b
と、後面エッジ側下面2bから連続して形成され、後面
エッジ部の後面の一部を切り欠いた切り欠き部2cが形
成されており、前面エッジ部1の前面エッジ側下面1b
より、後面エッジ面2の後面エッジ側下面1bが塗布媒
体50側に近づいている。
Here, the front edge portion 1 is formed with a front edge side lower surface 1b facing the coating medium 50 and an inclined surface 1a so as to communicate with the front side of the front edge portion. Further, the rear edge surface of the rear edge portion 2 has an inclined surface 2a continuous from the slit portion 3 and a rear edge side lower surface 2b continuous with the inclined surface 2a and formed substantially parallel to the coating medium 50.
And a notch portion 2c formed continuously from the rear edge side lower surface 2b, and a part of the rear surface of the rear edge portion is cut out, and the front edge side lower surface 1b of the front edge portion 1 is formed.
Thus, the rear edge side lower surface 1b of the rear edge surface 2 is closer to the application medium 50 side.

【0018】スラリー5としては水,アルコール,トル
エン等の溶媒にチタン酸バリウム,チタン酸マグネシウ
ム,チタン酸ストロンチウム等の誘電体材料や低温焼成
のガラスセラミックス材料からなるセラミック粉末及び
可塑剤等を所定量加え、泥流状にしたものからなる。
The slurry 5 includes a predetermined amount of a ceramic powder and a plasticizer made of a dielectric material such as barium titanate, magnesium titanate, strontium titanate or a low temperature fired glass ceramic material in a solvent such as water, alcohol or toluene. In addition, it consists of a muddy one.

【0019】また、スラリー5の粘度としては、300
cP(センチポイズ)未満のスラリー5を用いた場合、
充分にせん断応力をかけることができず、塗布膜50a
の密度を上げることができない。また、スラリー5の粘
度が1200cPより大きい場合、均一な厚みの塗布膜
50aを得ることが困難になる。従って、スラリー5の
粘度が300〜1200cP(センチポイズ)以下の範
囲にあることが望ましい。
The slurry 5 has a viscosity of 300
When a slurry 5 having a cP (centipoise) or less is used,
A sufficient shear stress cannot be applied, and the coating film 50a
Density cannot be increased. If the viscosity of the slurry 5 is greater than 1200 cP, it becomes difficult to obtain a coating film 50a having a uniform thickness. Therefore, it is desirable that the viscosity of the slurry 5 be in the range of 300 to 1200 cP (centipoise) or less.

【0020】本発明は、スラリー5のセラミック粉末の
密度を高めて塗布膜50aを形成できるものであり、以
下にそのメカニズムについて説明する。 (1)まず、はじめに、スラリー5は粘度が高いため、
図2に示すように、スラリー5(図示せず)がスリット
部3から押し出された部分の圧力P2が所定の高さを有
しており、この部分から上流側のエッジの端にいくにし
たがって、圧力P1のように小さくなるように、なだら
かな勾配を描く。ここで、前面エッジ部1の前面エッジ
側下面1bより、後面エッジ部2の傾斜面2aや後面エ
ッジ側下面2cが塗布媒体50側に近づいて形成されて
いるため、図のように後面エッジ部2側では圧力(P3
〜P4)はさらに高くなる。 (2)次に図3のように、前面エッジ部1の前面エッジ
側下面1bより、後面エッジ部2の後面エッジ側下面2
cが塗布媒体50側に突出しているため、スリット部3
から押し出されたスラリー5は、まず前面エッジ部1側
に広がろうとする。ここで塗布ヘッド10は、前面エッ
ジ部1側に移動するため、スラリー5は相対的には後面
エッジ部2側に押し戻されることになる。このとき、後
面エッジ部2の後面エッジ側下面2cは前面エッジ部1
側より塗布面との間の距離が短く形成されているため、
後面エッジ側下面2cに対面する側のスラリー5は圧縮
されながら均される。 (3)スラリー5内に含まれる凝集粒子を充填する場
合、単に上から下へ押さえつけるより、水平方向に動か
した方が、スラリー中の凝集粒子を粉砕することがで
き、これによりより効果的にスラリー5の塗布膜50a
中に均一にセラミックス粉末を充填することができる。
すなわち、塗布膜50aの表面にせん断応力が働くた
め、その表面にある凝集粒子を物理的に粉砕しながら移
動するため塗布膜50a中に粉砕粒子が均一に充填され
る。
In the present invention, the coating film 50a can be formed by increasing the density of the ceramic powder of the slurry 5, and the mechanism will be described below. (1) First, since the viscosity of the slurry 5 is high,
As shown in FIG. 2, the pressure P2 of the portion where the slurry 5 (not shown) is extruded from the slit portion 3 has a predetermined height, and from this portion toward the end of the upstream edge. , A gentle gradient is drawn such that the pressure P1 becomes smaller. Here, since the inclined surface 2a and the rear edge side lower surface 2c of the rear edge portion 2 are formed closer to the coating medium 50 side than the front edge side lower surface 1b of the front edge portion 1, the rear edge portion Pressure (P3
To P4) are even higher. (2) Next, as shown in FIG. 3, the lower surface 1b of the front edge 1 is moved from the lower surface 1b of the front edge 1 to the lower surface 2 of the rear edge 2.
c protrudes toward the application medium 50, the slit 3
First, the slurry 5 extruded from the surface tends to spread to the front edge portion 1 side. Here, since the coating head 10 moves to the front edge portion 1 side, the slurry 5 is relatively pushed back to the rear edge portion 2 side. At this time, the rear edge side lower surface 2c of the rear edge portion 2 is
Because the distance between the coating surface and the side is formed shorter than the side
The slurry 5 on the side facing the rear edge side lower surface 2c is leveled while being compressed. (3) When filling the agglomerated particles contained in the slurry 5, it is possible to pulverize the agglomerated particles in the slurry by moving in the horizontal direction, rather than simply pressing down from the top, thereby more effectively. Coating film 50a of slurry 5
The ceramic powder can be uniformly filled therein.
That is, since a shear stress acts on the surface of the coating film 50a, the aggregated particles on the surface move while physically pulverizing, so that the pulverized particles are uniformly filled in the coating film 50a.

【0021】ここで、図4のように、凝集粒子と前面エ
ッジ部1,後面エッジ部2,スラリー5の表面との摩擦
力により、前面エッジ部1及び後面エッジ部2に近い塗
布後の凝集粒子は塗布ヘッド10の進行方向(C1,C
3)に移動しようとし、塗布面に近い凝集粒子は塗布ヘ
ッド1の進行方向と反対方向(C2,C4)に移動しよ
うとする。従って、スラリー5の表面と後面エッジ側下
面又は塗布媒体50とスラリー5間にせん断応力が働き
凝集粒子を粉砕,平坦化させることができ、これによ
り、より効果的にスラリー5の塗布膜50a中に粉砕さ
れた凝集粒子を充填できる。
Here, as shown in FIG. 4, due to the frictional force between the agglomerated particles and the front edge 1, the rear edge 2, and the surface of the slurry 5, the agglomeration after application close to the front edge 1 and the rear edge 2. The particles move in the traveling direction of the coating head 10 (C1, C
Agglomerated particles near the application surface tend to move in the direction (C2, C4) opposite to the traveling direction of the application head 1. Therefore, a shear stress acts between the surface of the slurry 5 and the lower surface on the rear edge side or between the coating medium 50 and the slurry 5 so that the aggregated particles can be pulverized and flattened, whereby the coating film 50a of the slurry 5 can be more effectively formed. Can be filled with the agglomerated particles.

【0022】これらのことから、誘電体の密度が向上
し、粒子が緻密なセラミック回路基板が得られる。ま
た、ガラス基板上に塗布・乾燥された塗布媒体50上に
配線パターンの凹凸を形成し、その上にスラリー5を塗
布した際に、配線パターンの凹部にスラリー5が入り込
み、かつ、配線パターンに形成した凸部の影響を受け
ず、平滑な塗布面を得ることができ、構造欠陥や諸特性
の品質のばらつきが改善できる。
From these facts, it is possible to obtain a ceramic circuit board in which the density of the dielectric is improved and the particles are dense. In addition, when forming the irregularities of the wiring pattern on the application medium 50 applied and dried on the glass substrate, and when the slurry 5 is applied thereon, the slurry 5 enters the recesses of the wiring pattern, and A smooth coating surface can be obtained without being affected by the formed convex portions, and structural defects and variations in quality of various characteristics can be improved.

【0023】なお、前記傾斜面の傾斜幅Laが0.1〜
0.7mmの範囲、好ましくは0.2〜0.5mmの範
囲とするのが好ましい。傾斜面の傾斜幅が0.1mmよ
りも短いとスラリー5が後面エッジ側下面2bに流れ込
みにくく、0.7mmを超えると塗布膜50aに圧力が
かかりにくく、成形体の密度が低くなり好ましくない。
The inclination width La of the inclined surface is 0.1 to
It is preferably in the range of 0.7 mm, preferably in the range of 0.2 to 0.5 mm. If the inclination width of the inclined surface is shorter than 0.1 mm, the slurry 5 does not easily flow into the lower surface 2b on the rear edge side, and if it exceeds 0.7 mm, it is difficult to apply pressure to the coating film 50a, and the density of the molded body is undesirably low.

【0024】また、後面エッジ側下面2cの距離Lbが
1〜8mmの範囲、より好ましくは3〜7mmの範囲と
する。後面エッジ側下面2cの距離Lbが1mmよりも
短いと塗布膜50aに対して十分にせん断応力が働かず
成形体の密度を上げることができず、8mmを超えると
塗布が終わらないうちにスラリー5の乾燥が進みすぎる
ため、塗布膜50aの表面と後面エッジ側下面2cの間
に摩擦が生じてスジが入ることとなり好ましくない。
The distance Lb of the rear edge side lower surface 2c is in the range of 1 to 8 mm, more preferably 3 to 7 mm. If the distance Lb of the rear edge side lower surface 2c is shorter than 1 mm, sufficient shear stress does not act on the coating film 50a to increase the density of the molded body. If the distance Lb exceeds 8 mm, the slurry 5 will be formed before the coating is completed. Is excessively advanced, so that friction occurs between the surface of the coating film 50a and the lower surface 2c on the rear edge side, and streaks are formed, which is not preferable.

【0025】かくして、本発明の構成によれば、スラリ
ー5の不足による成形体の密度の低下や塗布面のスジの
発生を防ぐことができる。また、せん段応力も十分に発
生させることができる。
Thus, according to the structure of the present invention, it is possible to prevent a decrease in the density of the molded body due to the shortage of the slurry 5 and the occurrence of streaks on the application surface. In addition, the step stress can be sufficiently generated.

【0026】ここで、図1において、前面エッジ部1の
上流側の傾斜面1aを設けることにより、塗布ヘッドX
の前面にはみ出したスラリー5が再度塗布ヘッドの下側
に入り込む際にスムーズに流れる作用効果がある。ま
た、後面エッジ部2の下流側の切り欠き部2cを設ける
ことによりエッジがスムーズに動く作用効果をえること
ができる。
Here, in FIG. 1, the coating head X is provided by providing an inclined surface 1a on the upstream side of the front edge portion 1.
This has the effect of smoothly flowing the slurry 5 that has protruded into the front surface of the coating head when it again enters the lower side of the coating head. Further, by providing the cutout portion 2c on the downstream side of the rear surface edge portion 2, the effect that the edge moves smoothly can be obtained.

【0027】なお、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で
の種々の変更や改良等は何ら差し支えない。例えば、回
路部品以外に、積層部品として、積層セラミックコンデ
ンサや積層フィルターなどにも、広く適用することがで
きる。
Various changes and improvements may be made without departing from the spirit of the present invention. For example, in addition to circuit components, the present invention can be widely applied to multilayer ceramic capacitors and multilayer filters as multilayer components.

【0028】[0028]

【実施例】次に、本発明の作用効果を確認するために、
以下の実験を行った。なお、説明では、各誘電体層間に
内部電極を形成してなる積層セラミック回路基板の製造
方法を用いて説明する。 *塗布用台板 材質:ガラス サイズ:幅200×長さ200×厚み8mm *誘電体スラリー組成 100重量部 チタン酸バリウム 55重量部 有機溶媒 35重量部 バインダ樹脂分 7重量部 散剤、可塑剤 3重量部 *スラリー粘度 491cps(ブルックフィールド粘
度計測定) *塗布速度 80mm/秒 *塗布幅 180mm *誘電体厚み 10μm 傾斜面2aの寸法及び後面エッジ側下面2bの寸法を変
えながら、ガラス台板上に、誘電体スラリー5を塗布/
乾燥させた後、配線パターン6をスクリーン印刷/乾燥
で交互に繰り返して誘電体層からなる積層体を形成し
た。そして、成形密度及び塗布面の評価を実施した。こ
こで、成形密度、すなわち配線パターンを含まない、誘
電体部分の密度は、焼成後の積層体の磁器密度に影響す
るため、3.7(g/cm2)以上をOKとした。塗布
面の評価は、顕微鏡(10倍)を用いて、側面に光源を
設けて、スジの発生状態を観察した。結果を表1〜2に
示す。外観検査結果は、 ◎・・・スジなし ○・・・スジ1〜5本/塗布面 △・・・スジ6〜10本/塗布面 ×・・・スジ11以上/塗布面 で評価を行った。
Next, in order to confirm the operation and effect of the present invention,
The following experiment was performed. In the description, a method of manufacturing a multilayer ceramic circuit board in which internal electrodes are formed between dielectric layers will be described. * Coating base material: glass Size: width 200 x length 200 x thickness 8 mm * Dielectric slurry composition 100 parts by weight Barium titanate 55 parts by weight Organic solvent 35 parts by weight Binder resin content 7 parts by weight Powder and plasticizer 3 parts by weight Part * Slurry viscosity 491 cps (Brookfield viscometer measurement) * Coating speed 80 mm / sec * Coating width 180 mm * Dielectric thickness 10 μm While changing the size of the inclined surface 2 a and the size of the lower surface 2 b on the rear edge side, Apply dielectric slurry 5 /
After drying, the wiring pattern 6 was alternately repeated by screen printing / drying to form a laminate composed of a dielectric layer. Then, evaluation of the molding density and the application surface was performed. Here, since the molding density, that is, the density of the dielectric portion not including the wiring pattern affects the porcelain density of the fired laminate, 3.7 (g / cm 2 ) or more was determined to be OK. The evaluation of the coated surface was performed by using a microscope (10 times), providing a light source on the side surface, and observing the state of streaks. The results are shown in Tables 1 and 2. The appearance inspection results were as follows: な し: no streaks ○: 1 to 5 streaks / coated surface △: 6 to 10 streaks / coated surface ×: 11 or more streaks / coated surface .

【0029】[0029]

【表1】 [Table 1]

【0030】表1の結果より、傾斜幅Lbが0.1〜
0.7mmでは成形体密度,塗布面の外観検査が良好で
あるものの、傾斜幅Laが、0.1mm未満の場合、ス
ラリー5が塗布ヘッド10内に流れ込みにくくなり、ス
ラリー5の不足により、スジが発生する。同時に成形体
密度も低い問題がある。傾斜幅Laが0.7mmを越え
てくると、塗布面に圧力がかかりにくく、成形体の密度
が低いことがわかる。
From the results shown in Table 1, the inclination width Lb is 0.1 to
When the density is 0.7 mm, the density of the molded body and the appearance inspection of the coated surface are good, but when the inclination width La is less than 0.1 mm, the slurry 5 becomes difficult to flow into the coating head 10, and the stripe 5 is insufficient due to the shortage of the slurry 5. Occurs. At the same time, there is a problem that the compact density is low. When the inclination width La exceeds 0.7 mm, pressure is hardly applied to the application surface, and the density of the molded body is low.

【0031】[0031]

【表2】 [Table 2]

【0032】表2の結果より、距離Lbが1〜8mmで
は成形体密度,塗布面外観検査結果が良好であるもの
の、距離Lbが1mm以下では、スラリーに対して、充
分にせん断応力をかけることができず、成形体密度を上
げることができない。また、塗布面のレベリングも不充
分である。厚み8mmを越えてくると、塗布が終わらな
いうちにスラリーの乾燥が進みすぎる為、塗布面とヘッ
ド間に摩擦が生じ、スジが発生する問題があることがわ
かる。
From the results shown in Table 2, when the distance Lb is 1 to 8 mm, the density of the molded product and the results of the appearance inspection of the coated surface are good, but when the distance Lb is 1 mm or less, sufficient shear stress is applied to the slurry. And the density of the compact cannot be increased. Also, the leveling of the coated surface is insufficient. When the thickness exceeds 8 mm, drying of the slurry proceeds too much before the coating is completed, so that friction is generated between the coated surface and the head, and there is a problem that streaks are generated.

【0033】[0033]

【表3】 [Table 3]

【0034】表3のように、傾斜面2a傾斜角度αが1
20〜150度が最も、スラリー5が流れ込みやすいと
考えられる。150度を越えた場合及び120度未満の
場合、成形体密度の低下と塗布面のスジの発生が見られ
る。特に180度,90度ではスラリ5ーが塗布面に流
れ込みにくく、スラリー5の不足によるスジの発生が起
きる。165度,105度でもその傾向が見られるが、
同時に傾斜面2aによる圧縮効果も低い為、成形体の密
度も上がらないことがわかる。
As shown in Table 3, the inclined surface 2a has an inclination angle α of 1
It is considered that the slurry 5 flows most easily at 20 to 150 degrees. If it exceeds 150 degrees or less than 120 degrees, a decrease in the density of the molded body and generation of streaks on the coated surface are observed. In particular, at 180 degrees and 90 degrees, the slurry 5 hardly flows into the application surface, and a streak occurs due to the shortage of the slurry 5. The same tendency can be seen at 165 degrees and 105 degrees,
At the same time, since the compression effect of the inclined surface 2a is low, it can be seen that the density of the compact does not increase.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上のように、本発明の塗布装置によれ
ば、セラミック粉末の充填密度が向上し、焼成後にポー
ラスな個所が形成されることが減るために耐湿性を改善
することができる。また、凹凸のある塗布媒体上に塗布
した際に、平滑な塗布面を得ることができ、構造欠陥や
諸特性の品質のばらつきを改善できる。
As described above, according to the coating apparatus of the present invention, the packing density of the ceramic powder is improved, and the formation of porous portions after firing is reduced, so that the moisture resistance can be improved. . In addition, when applied on a coating medium having irregularities, a smooth coated surface can be obtained, and structural defects and variations in quality of various characteristics can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による塗布装置における塗布ヘッドの一
実施例を示す断面図である。
FIG. 1 is a sectional view showing one embodiment of a coating head in a coating apparatus according to the present invention.

【図2】本発明の塗布ヘッドにおける前面エッジ部及び
後面エッジ部の作用効果を説明するための図である。
FIG. 2 is a view for explaining the function and effect of a front edge portion and a rear edge portion in the coating head of the present invention.

【図3】本発明の塗布ヘッドにおける前面エッジ部及び
後面エッジ部の作用効果を説明するための図である。
FIG. 3 is a diagram for explaining the function and effect of a front edge portion and a rear edge portion in the coating head of the present invention.

【図4】本発明の塗布ヘッドにおける前面エッジ部及び
後面エッジ部の作用効果を説明するための図である。
FIG. 4 is a view for explaining the function and effect of a front edge portion and a rear edge portion in the coating head of the present invention.

【図5】従来のセラミックグリーンシートの厚みに対し
て内部電極厚みを大きくした場合の問題点を表す説明図
である。(a)は内部電極厚みが薄い場合、(b)は内
部電極厚みが厚い場合の説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing a problem when the thickness of an internal electrode is made larger than the thickness of a conventional ceramic green sheet. (A) is an explanatory diagram when the internal electrode thickness is small, and (b) is an explanatory diagram when the internal electrode thickness is large.

【図6】従来の塗布装置を説明するための断面図であ
る。
FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a conventional coating apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10・・・塗布ヘッド 1・・・・前面エッジ部 1a・・・傾斜面 1b・・・前面エッジ側下面 2・・・・後面エッジ部 2a・・・傾斜面 2b・・・後面エッジ側下面 2c・・・切り欠き部 3・・・・スリット部 4・・・・ポケット部 5・・・・スラリー 50a・・・塗布膜 6・・・・配線パターン 7・・・・ガラス台板 Reference Signs List 10 coating head 1 front edge 1a inclined surface 1b front lower surface 2b rear edge 2a inclined surface 2b lower edge lower surface 2c: Notch 3: Slit 4: Pocket 5: Slurry 50a: Coating film 6: Wiring pattern 7: Glass base plate

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ポケット部からスリット部を介してセラ
ミック粉末を含むスラリーを連続して押し出しながら塗
布媒体上を移動して塗布する塗布ヘッドを有した塗布装
置において、 前記塗布ヘッドは、前記スリット部を介して、その移動
方向の前後に分割して設けられた前面エッジ部及び後面
エッジ部とを有し、前記前面エッジ部に前記塗布媒体と
対向する前面エッジ側下面と、前記後面エッジ部に、前
記スリット部のスラリー押出し部側から形成された傾斜
面と、該傾斜面から連続し、かつ、前記塗布媒体面に略
平行に形成された後面エッジ側下面とを形成するととも
に、前記前面エッジ側下面よりも後面エッジ側下面を前
記塗布媒体に近づけて形成したことを特徴とする塗布装
置。
1. A coating apparatus having a coating head for moving and applying a slurry containing ceramic powder from a pocket portion through a slit portion on a coating medium while continuously extruding the slurry, the coating head comprising: A front edge portion and a rear edge portion provided separately in the front and rear of the moving direction, a front edge side lower surface facing the coating medium on the front edge portion, and a rear edge portion. An inclined surface formed from the slurry extruding portion side of the slit portion, and a rear edge side lower surface continuous from the inclined surface and formed substantially parallel to the coating medium surface; A coating apparatus, wherein a lower surface on a rear edge side is formed closer to the coating medium than a lower surface on a side.
【請求項2】 前記塗布ヘッドの傾斜面の傾斜幅が0.
1〜0.7mmで、かつ前記後面エッジ側下面の距離が
1〜8mmの範囲にあることを特徴とする請求項1記載
の塗布装置。
2. The method according to claim 1, wherein the inclination width of the inclined surface of the coating head is 0.5.
2. The coating apparatus according to claim 1, wherein the distance is 1 to 0.7 mm and a distance between the lower surface on the rear edge side is 1 to 8 mm. 3.
【請求項3】 前記スラリーの粘度が100〜1200
cP(センチポイズ)の範囲にあることを特徴とする請
求項1記載の塗布装置。
3. The viscosity of the slurry is 100 to 1200.
The coating device according to claim 1, wherein the coating device is in a range of cP (centipoise).
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