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JP2001208621A - トルク検出装置の製造方法、センサモジュール及びトルク検出装置 - Google Patents

トルク検出装置の製造方法、センサモジュール及びトルク検出装置

Info

Publication number
JP2001208621A
JP2001208621A JP2000016846A JP2000016846A JP2001208621A JP 2001208621 A JP2001208621 A JP 2001208621A JP 2000016846 A JP2000016846 A JP 2000016846A JP 2000016846 A JP2000016846 A JP 2000016846A JP 2001208621 A JP2001208621 A JP 2001208621A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
axis
magnetic element
shaft
sensor module
magnetic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000016846A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsuaki Yasui
克明 安井
Yutaka Ohashi
豊 大橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2000016846A priority Critical patent/JP2001208621A/ja
Priority to US09/626,864 priority patent/US6382034B1/en
Priority to DE10066415.6A priority patent/DE10066415B4/de
Priority to DE10042593A priority patent/DE10042593B4/de
Publication of JP2001208621A publication Critical patent/JP2001208621A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L3/00Measuring torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency, in general
    • G01L3/02Rotary-transmission dynamometers
    • G01L3/04Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft
    • G01L3/10Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating
    • G01L3/101Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means
    • G01L3/104Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means involving permanent magnets

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Steering Mechanism (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 検出精度の高いトルク検出装置、センサモジ
ュール、及びそのシンプルな製造方法を得ることを目的
とする。 【解決手段】 回転自在に同軸配置された第1の軸1お
よび第2の軸2と、第11および第2の軸間2のトルク
に応じて捻れ変位を生ずるトーションバー3と、第1の
軸1と同位相で回転する磁性素子12と、第2の軸2と
同位相で回転する磁性素子11,13と、それら磁性素
子の回転位相差に従って変化するリラクタンスを検出す
るコイル21a,bを備え、第1の軸1と同位相で回転
する磁性素子12と、第2の軸2と同位相で回転する磁
性素子11,13とを、あらかじめ所定の回転位相差を
持たせて仮固定したセンサモジュールとし、第1の軸
1、第2の軸2、トーションバー3、及びセンサモジュ
ールを組み上げた後に仮固定を解除する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、自動車のパワー
ステアリング機構等において使用されるトルク検出装置
に係り、特に回転軸に外力が印加された際のトルクを非
接触で検出するためのトルク検出装置及びその製造方法
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来より、自動車のステアリングホイー
ルを回転させて操舵を行った場合に、ステアリングホイ
ールに加わったトルクに応じた回転力をモータから操舵
機構に加え、操舵力を補助するようにしたパワーステア
リング機構が用いられている。
【0003】このパワーステアリング機構においては、
パワーアシストの量を決定するために、操舵輪に加わる
トルクを検出する必要がある。このための装置としては
例えば特開平6−174569号公報にて開示されたト
ルク検出装置がある。この装置の構造を図4に基づいて
説明する。
【0004】図4において、第1の軸1には図示しない
操舵輪が取付けられ、第2の軸2には操舵機構のピニオ
ンギア(図示せず)が取付けられている。そして、これ
ら第1の軸1と第2の軸2の中心軸上にはトーションバ
ー3が設けられ、2つの軸を捻り方向に弾性的に接続し
ている。第1の軸1は、自動車の車体等に取付けられる
筒状のケース4に軸受5を介して回転自在に支持されて
いる。第1の軸1には非磁性体よりなる第1のスリーブ
14aが固着されており、その外周には軟磁性材料より
なる円筒状の第1の磁性素子11及び第2の磁性素子1
2が所定間隔あけて固着されている。
【0005】第1の磁性素子11は、右端縁が第1の軸
1の軸心に垂直な平面になっており、左端縁には矩形状
の歯部11aが周方向に等ピッチで形成されている。第
2の磁性素子12は、第1の磁性素子11と対向する右
端縁が第1の軸1の軸心に垂直な平面となっており、左
端縁には矩形状の歯部12aが周方向に等ピッチで形成
されている。この歯部12aの歯幅寸法は、歯部12a
の切欠部の幅寸法にほぼ等しく設定されている。
【0006】第2の軸2には非磁性体よりなる第2のス
リーブ14bが固着されており、その外周には軟磁性材
料よりなる円筒状の第3の磁性素子13が固着されてい
る。この第3の磁性素子13の右端縁には、第2の磁性
素子12に形成した歯部と同一幅、同一形状、同一ピッ
チの複数の歯部13aが形成されている。
【0007】ケース4の内側には、断面コ字状をしてお
り内フランジを有する軟磁性材料よりなるヨーク22
a、22bが固着されている。ヨーク22aは第1及び
第2の磁性素子11及び12に跨がる長さを有し、その
軸長方向中央部が第1及び第2の磁性素子11及び12
の対向位置として配設されている。また、ヨーク22b
は第2及び第3の磁性素子12及び13に跨がる長さを
有し、その軸長方向中央部を第1及び第2の磁性素子1
2及び13の対向位置として配設されている。
【0008】ヨーク22a,22bにはその周方向に沿
ってそれぞれ温度補償用である第1のコイル21aと、
トルク検出用である第2のコイル21bが巻回されてい
る。これら第1のコイル21a,第2のコイル21bを
図示しない発振器に接続することにより、ヨーク22a
は第1及び第2の磁性素子11,12と、ヨーク22b
は第2及び第3の磁性素子12,13と磁気回路を構成
する。
【0009】次に、上記トルク検出装置の動作について
説明する。第2の軸2に操舵輪からのトルクが印加され
ると、トーションバー3に捻り変形が発生し、第1の軸
1と第2の軸2に相対角度ずれが発生する。そうする
と、スリーブ14a,14bを介してそれぞれの軸に固
着された第2の磁性素子12と第3の磁性素子13の間
に周方向の相対変位が発生し、それぞれの磁性素子1
2,13に設けられた歯部12aと歯部13a間の、磁
路となる対向面積が変化する。第2のコイル21bは、
ヨーク22b、第2の磁性素子12、第3の磁性素子1
3を通る磁気回路を構成しており、歯部12aと歯部1
3a間の、磁路となる対向面積が変化すると、この磁気
回路の磁気抵抗が変化し、インダクタンスが変化する。
そして、図示しない検出回路によって、このコイルに数
kHzの周波数を有する交流の駆動電流を流し、インダ
クタンスの変化を検出することにより、トーションバー
3に作用したトルクを検出することができる。
【0010】第2のコイル21bのインダクタンスは、
トルクによってのみならず、温度によっても変化するた
め、温度補償を行う必要がある。第1の磁性素子11と
第2の磁性素子12は、どちらもスリーブ14aを介し
て第1の軸1に固着されているので、トルクの印加によ
ってもその相対角度は変化せず、歯部11aと歯部12
aとの対向面積も変化しない。従って、第1と第2の磁
性素子11及び12の中間位置を周回する様に設けられ
た第1のコイル21aのインダクタンスはトルクによっ
て変化しない。しかし、温度変化によっては第2のコイ
ル21bと同様にインダクタンスを変化させるので、第
1のコイル21aと第2のコイル21bのインダクタン
スの差を検出することによって、温度に影響されず、ト
ルクだけに比例した出力を得ることが出来る。
【0011】次に、上記トルク検出装置の製造方法につ
いて説明する。第1の軸1と第2の軸2をトーションバ
ー3で結合する工程は角度誤差が出やすい。そのため、
磁性素子の回転位相差を正確に中立位置に固定するため
には、まず、第1及び第2の磁性素子11,12を備え
た第1のスリーブ14aを第1の軸1に固着する。そし
て、第3の磁性素子13を備えた第2のスリーブ14b
は、第2の軸2に通しただけの状態で固着せずにはめて
おき、第1の軸1と第2の軸2をトーションバー3で結
合した後に、第2のスリーブ14bを、第1のスリーブ
14aとの回転位相差が所定角度になるように調整し、
第2の軸2に固着するという手段が取られていた。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】従来のトルク検出装置
は上記のように製造されているので、製造工程が複雑と
なり、コスト高を招くという問題があった。
【0013】また、通常の場合、第1の軸1及び第2の
軸2は鉄鋼製であるので、従来の可変リラクタンス型の
トルク検出装置では、コイルで発生した磁束は、磁性素
子のみならず上記軸にも通る。しかし、軸の磁気特性は
バラツキが大きく、また、温度特性も良くないので、磁
束が多量に軸に漏れる構成とすると、トルク検出装置の
精度が悪化するという問題があった。
【0014】この発明は、上記のような課題を解消する
ためになされたもので、検出精度の高いトルク検出装
置、トルク検出センサモジュール、及びそのシンプルな
製造方法を得ることを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、回転
自在に同軸配置され、対向する第1の軸および第2の軸
と、第1および第2の軸間のトルクに応じて、捻れ変位
を生ずる弾性部材と、第1の軸と同位相で回転する磁性
素子と、第2の軸と同位相で回転する磁性素子と、それ
ら磁性素子の回転位相差に従って変化するリラクタンス
を検出するコイルを備え、第1および第2の軸間に作用
するトルクを検出するトルク検出装置の製造方法であっ
て、第1の軸と同位相で回転する磁性素子と、第2の軸
と同位相で回転する磁性素子とを、あらかじめ所定の回
転位相差を持たせて仮固定したセンサモジュールとし、
第1の軸、第2の軸、弾性部材、及びセンサモジュール
を組み上げた後に上記仮固定を解除することを特徴とす
る。
【0016】請求項2の発明は、回転自在に同軸配置さ
れ、対向する第1の軸および第2の軸と、第1および第
2の軸間のトルクに応じて、捻れ変位を生ずる弾性部材
と、第1の軸と同位相で回転する磁性素子と、第2の軸
と同位相で回転する磁性素子と、それら磁性素子の回転
位相差に従って変化するリラクタンスを検出するコイル
を備え、第1および第2の軸間に作用するトルクを検出
するトルク検出装置を構成するセンサモジュールであっ
て、第1の軸と同位相で回転する磁性素子と、第2の軸
と同位相で回転する磁性素子とを所定の回転位相差を持
たせて仮固定したことを特徴とする。
【0017】請求項3の発明は、第1の軸と第2の軸の
回転位相差に従ってリラクタンスの変化する磁性素子の
対を複数組備え、それらを一体に仮固定したことを特徴
とする。
【0018】請求項4の発明は、第1の軸、第2の軸、
又はその両方を包囲する導電性の材料よりなるベースを
備え、上記磁性素子はベースより外周側に配置されたこ
とを特徴とする。
【0019】請求項5の発明は、第1の軸、第2の軸、
又はその両方を包囲する、概円筒状の導電性の材料より
なるベースと、ベースより外側に配置された第1及び第
2の支持部材を備え、第1の支持部材はベースに、第2
の支持部材は第2の軸に固定するように構成され、第1
及び第2の支持部材の表面上に磁性素子を配設するよう
にしたことを特徴とする。
【0020】請求項6の発明は、第1の軸、第2の軸、
又はその両方を包囲する導電性の材料よりなるベース
と、ベースより外側に配置された磁性素子を備え、ベー
スの上記磁性素子の下に隠されない部分に、他の部分よ
り肉厚が約半分以下の薄肉のかしめ部を備えたことを特
徴とする。
【0021】請求項7の発明は、磁性素子を軟磁性アモ
ルファス金属によって構成したことを特徴とする。
【0022】請求項8の発明は、円筒形状のバンド部
と、第1及び第2の磁性素子又はそれらを固着した支持
部材の軸方向の動きを規制するリブと、バンドを締め付
ける締結機構を備えた仮固定部材を備えたことを特徴と
する。
【0023】請求項9の発明は、回転自在に同軸配置さ
れ、対向する第1の軸および第2の軸と、第1および第
2の軸間のトルクに応じて、捻れ変位を生ずる弾性部材
と、第1の軸と同位相で回転する磁性素子と、第2の軸
と同位相で回転する磁性素子と、それら磁性素子の回転
位相差に従って変化するリラクタンスを検出するコイル
を備え、第1および第2の軸間に作用するトルクを検出
するトルク検出装置であって、第1の軸、第2の軸、又
はその両方を包囲する導電性の材料よりなるベースを備
え、上記磁性素子はベースより外周側に配置したことを
特徴とする。
【0024】
【発明の実施の形態】実施の形態1.図1はこの発明の
実施の形態によるトルク検出装置を示す正面断面図であ
る。従来例である図4と同一もしくは同等の部材および
部位には、同一符号を付す。
【0025】図1において、第1の軸1には図示しない
操舵輪が取付けられ、第2の軸2には操舵機構のピニオ
ンギア(図示せず)が取付けられている。そして、これ
ら第1の軸1と第2の軸2の中心軸上にはトーションバ
ー3が配設され、2つの軸を捻り方向に弾性的に接続し
ている。第1の軸1及び第2の軸2は、自動車の車体等
に取付けられる筒状のケース4に軸受5a,5bを介し
て回転自在に支持されている。
【0026】第1の軸1には軸長方向に所定の長さを有
する円筒状のアルミ製のベース31が固着され、かしめ
部32を第1の軸1にかしめることによって固定される
ようになっている。
【0027】支持部材114bは、上記円筒状のベース
31に沿って配設される円筒形状の樹脂製部品であり、
右端のアルミ製の部分をかしめることによって第2の軸
2に固定される。また、支持部材114bの軸方向の中
央部には、支持部材114aを配設するための一対の大
きな窓を有する。支持部材114aは、支持部材114
bの上記窓から頭を出し、下部をベース31の外周に固
着した図示上下1対の樹脂製部品である。
【0028】第1及び第3の磁性素子11,13は、支
持部材114bの円筒外面上を周回するように固着され
た軟磁性アモルファス金属箔等より構成されている。ま
た、第2の磁性素子12は、1対の支持部材114aの
円筒外面上にそれぞれ固着された、一対の軟磁性アモル
ファス金属箔等より構成されている。
【0029】第1の磁性素子11の右端縁には矩形状の
歯部11aが周方向に等ピッチで形成されている。第2
の磁性素子12には、第1の磁性素子11の右端縁と対
向する左端縁に矩形状の歯部12aが、第3の磁性素子
13の左端縁に対向する右端縁に矩形状の歯部12bが
それぞれ周方向に等ピッチで形成されている。また、第
3の磁性素子13の左端縁に矩形状の歯部13aが等ピ
ッチで形成されている。
【0030】第1のコイル21aは、第1の磁性素子1
1と第2の磁性素子12の中間位置の外周を周回する様
に巻回されたコイルである。また、第2のコイル21b
は、第2の磁性素子12と第3の磁性素子13の中間位
置の外周を周回する様に巻回されたコイルである。
【0031】次に、上記実施の形態のトルク検出装置の
動作について説明する。第2の軸2に図示しない操舵輪
からのトルクが印加されると、トーションバー3に捻り
変形が発生し、第1の軸1と第2の軸2に相対角度ずれ
が発生する。そうすると、支持部材114aを介して第
1の軸1に固着された第2の磁性素子12と、支持部材
114bを介して第2の軸2に固着された第1の磁性素
子11及び第3の磁性素子13の間に周方向の回転位相
差が発生し、それぞれの磁性素子に設けられた歯部間
の、磁路となる対向面積が変化する。例えば、図1にお
いて、第2の軸2および、第2の軸2に固定された第1
及び第3の磁性素子11,13が固定された状態で第1
の軸1を捻り、第2の磁性素子12を図示上方向に変位
させた場合には、歯部11aと歯部12aの対向面積は
減少し、歯部12bと歯部13aの対向面積は増加する
ため、第1のコイル21aのインダクタンスは減少し、
第2のコイル21bのインダクタンスは増加する。そし
て、図示しない検出回路によって交流電流を印加し、こ
のインダクタンス変化を検出することによってトルクを
検出することができる。
【0032】この実施の形態のトルク検出装置によれ
ば、図示しない検出回路から印加された交流電流によっ
て、各コイルの発生する交番磁束は、各磁性素子には流
れるが、導電性の材料よりなるベース31に発生する渦
電流によって打ち消され、ベース31より内側に位置す
る第1の軸1及び第2の軸2にはほとんど到達しない。
従って、コイルのインダクタンスは上記軸の磁気特性に
依存せず、磁性素子の回転位相差のみによるインダクタ
ンス変化を検出することができる効果がある。
【0033】また、磁性素子として軟磁性アモルファス
金属箔を使用すれば、当該金属箔は磁気特性が非常に優
れており、且つ厚さが数十μm以下と薄いので、コンパ
クトで高精度なセンサモジュールを形成するのに最適と
なる。
【0034】次に、このトルク検出装置の製造方法につ
いて説明する。図2はこの発明の実施の形態によるトル
ク検出装置のセンサモジュールを示す正面一部断面図、
図3はこの発明の実施の形態によるトルク検出装置のセ
ンサモジュールを示す上面図である。
【0035】図2の上半分に示された断面図に示すよう
に、ベース31の図示左端にはドーナツ形のリブ31a
が設けられており、また、支持部材114bの図示左端
にもドーナツ形のリブ114baが設けられている。こ
れらのリブが、上下1対の樹脂製の仮固定部材33a、
33bに挟み込まれて仮固定されている。すなわち、仮
固定部材33a及び33bは、それぞれ半円筒形状のバ
ンド部34と、3本のリブ35を備えており、バンド部
34によりベース31及び支持部材114bの半径方向
の相対変位を規制し、3本のリブ35によりベース31
及び支持部材114bの軸方向の相対変位を規制してい
る。
【0036】図3において、1対の仮固定部材33a,
33bの、図示上端はヒンジを構成しており、図示下端
はセルフタッピングネジの座を構成している。セルフタ
ッピングネジ36を締め込むことによって仮固定部材3
3a及び33bは互いに締め付けられ、ベース31と支
持部材114bは仮固定され、トルク検出装置のセンサ
モジュールが形成される。この時、第1〜第3の磁性素
子11,12,13の回転位相差は所定の中立位置にな
るように精密に組み立てられる。
【0037】そして、上記センサモジュールは、第1の
軸1に設けられた穴とかしめ部32が重なる様に第1の
軸1に嵌合され、支持部材114bに設けられた穴部4
1を通して、棒状の工具をかしめ部32に押しつけるこ
とによって、かしめ部32の薄肉部分を第1の軸1に設
けられた穴に押し込み、かしめつける。この時、かしめ
部32の肉厚が厚すぎると、ベース31全体が引きつ
り、変形するので、かしめ部32の肉厚は、他の部分の
約半分以下の薄肉にしてある。
【0038】次に、第1の軸1と第2の軸2を、トーシ
ョンバー3を介して結合する。従来はこの工程の相対角
度の精度の悪さが課題であったが、この実施の形態によ
る製造方法では、この工程ではまだセンサモジュールは
仮固定されたままなので、所定の中立状態を保ってい
る。この状態で支持部材114bの図示右端を第2の軸
2にかしめて固定し、その後、仮固定部材33a及び3
3bを取り外す。その結果、第1の磁性素子11〜第3
の磁性素子13の位置が中立状態を保った状態でトルク
検出装置のシャフト部分を製造することができる。
【0039】
【発明の効果】請求項1から請求項8の発明によれば、
第1の軸と同位相で回転する磁性素子と、第2の軸と同
位相で回転する磁性素子とを、あらかじめ所定の中立の
回転位相差をもって仮固定したセンサモジュールとし、
第1の軸、第2の軸、弾性部材、およびセンサモジュー
ルを組み上げた後に上記仮固定を解除する様にしたの
で、第1の軸と第2の軸を弾性部材で結合する場合の角
度調整を行う必要が無く、シンプルな製造工程でトルク
検出装置を製造することが可能となる効果がある。
【0040】請求項4から請求項6、請求項9の発明に
よれば、導電性の材料よりなるベースによって軸を包囲
し、磁性素子はベースより外側に配置するようにしたの
で、コイルの発生する磁束が軸に流れなく、上記軸の磁
気特性の不安定性による精度悪化の問題を解決する効果
がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1によるトルク検出装
置を示す正面一部断面図である。
【図2】 この発明の実施の形態1によるトルク検出装
置のセンサモジュールを示す正面一部断面図である。
【図3】 この発明の実施の形態1によるトルク検出装
置のセンサモジュールを示す上面図である。
【図4】 従来のトルク検出装置を示す正面一部断面図
である。
【符号の説明】
1 第1の軸、2 第2の軸、3 トーションバー、1
1,12,13 磁性素子、11a,12a,12b,
13a 磁性素子の歯部、21a,b コイル、31
ベース、32 かしめ部、33a、33b 仮固定部
材、34 バンド部、35 リブ、114a,b 支持
部材。

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転自在に同軸配置され、対向する第1
    の軸および第2の軸と、第1および第2の軸間のトルク
    に応じて、捻れ変位を生ずる弾性部材と、第1の軸と同
    位相で回転する磁性素子と、第2の軸と同位相で回転す
    る磁性素子と、それら磁性素子の回転位相差に従って変
    化するリラクタンスを検出するコイルを備え、第1およ
    び第2の軸間に作用するトルクを検出するトルク検出装
    置の製造方法であって、 第1の軸と同位相で回転する磁性素子と、第2の軸と同
    位相で回転する磁性素子とを、あらかじめ所定の回転位
    相差を持たせて仮固定したセンサモジュールとし、第1
    の軸、第2の軸、弾性部材、及びセンサモジュールを組
    み上げた後に上記仮固定を解除することを特徴とするト
    ルク検出装置の製造方法。
  2. 【請求項2】 回転自在に同軸配置され、対向する第1
    の軸および第2の軸と、第1および第2の軸間のトルク
    に応じて、捻れ変位を生ずる弾性部材と、第1の軸と同
    位相で回転する磁性素子と、第2の軸と同位相で回転す
    る磁性素子と、それら磁性素子の回転位相差に従って変
    化するリラクタンスを検出するコイルを備え、第1およ
    び第2の軸間に作用するトルクを検出するトルク検出装
    置を構成する部品であって、 第1の軸と同位相で回転する磁性素子と、第2の軸と同
    位相で回転する磁性素子とを所定の回転位相差を持たせ
    て仮固定したことを特徴とするセンサモジュール。
  3. 【請求項3】 第1の軸と第2の軸の回転位相差に従っ
    てリラクタンスの変化する磁性素子の対を複数組備え、
    それらを一体に仮固定したことを特徴とする請求項2に
    記載のセンサモジュール。
  4. 【請求項4】 第1の軸、第2の軸、又はその両方を包
    囲する導電性の材料よりなるベースを備え、上記磁性素
    子はベースより外側に配置されたことを特徴とする請求
    項2又は請求項3に記載のセンサモジュール。
  5. 【請求項5】 第1の軸、第2の軸、又はその両方を包
    囲する導電性の材料よりなるベースと、ベースより外側
    に配置された第1及び第2の支持部材を備え、第1の支
    持部材はベースに、第2の支持部材は第2の軸に固定す
    るように構成され、第1及び第2の支持部材の表面上に
    磁性素子を配設するようにしたことを特徴とする請求項
    4に記載のセンサモジュール。
  6. 【請求項6】 第1の軸、第2の軸、又はその両方を包
    囲する導電性の材料よりなるベースと、ベースより外側
    に配置された磁性素子を備え、ベースの上記磁性素子の
    下に隠されない部分に、他の部分より肉厚が約半分以下
    の薄肉のかしめ部を備えたことを特徴とする請求項4又
    は請求項5に記載のセンサモジュール。
  7. 【請求項7】 磁性素子を軟磁性アモルファス金属によ
    って構成したことを特徴とする請求項2から請求項6の
    いずれか1項に記載のセンサモジュール。
  8. 【請求項8】 円筒形状のバンド部と、第1及び第2の
    磁性素子又はそれらを固着した支持部材の軸方向の動き
    を規制するリブと、バンドを締め付ける締結機構を備え
    た仮固定部材を備えたことを特徴とする請求項2から請
    求項7のいずれか1項に記載のセンサモジュール。
  9. 【請求項9】 回転自在に同軸配置され、対向する第1
    の軸および第2の軸と、第1および第2の軸間のトルク
    に応じて、捻れ変位を生ずる弾性部材と、第1の軸と同
    位相で回転する磁性素子と、第2の軸と同位相で回転す
    る磁性素子と、それら磁性素子の回転位相差に従って変
    化するリラクタンスを検出するコイルを備え、第1およ
    び第2の軸間に作用するトルクを検出するトルク検出装
    置であって、 第1の軸、第2の軸、又はその両方を包囲する導電性の
    材料よりなるベースを備え、上記磁性素子はベースより
    外周側に配置したことを特徴とするトルク検出装置。
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