JP2001200080A - インバータの保護装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】電極間で発生するアーク放電の状態に対応し、
保護する必要のあるインバータのみを確実に認識してそ
の運転を停止させる。 【解決手段】大地電位にある同一の誘電体ロール35に対
して配設された複数の電極33ａ，33ｂに、高周波電圧を
印加してコロナ放電を発生させ、ロール35の回転により
配送されるフィルム(34)の表面処理を行なわせる、複数
のそれぞれ独立したインバータ31ａ，31ｂを保護する保
護装置であって、電極33ａ，33ｂでの異常状態を検出し
て対応するインバータ31ａ，31ｂの運転を停止させる
と、運転を停止させたインバータ31ａ，31ｂへの電極側
からの電圧の印加状態を電圧検出器12ａ，12ｂで検出
し、これに応じて他のインバータの運転を制御する制御
装置11を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フィルムの表面処
理を行なう装置でコロナ放電を起こさせるべく高周波電
力を発生させるインバータの保護装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】フィルムの表面処理のためにコロナ放電
を行なう装置で、高周波電力を発生させる一般的なイン
バータの回路構成を図４に例示する。同図で、２１が３
相交流電源、２が６個のダイオードで構成され、３相交
流電源２１の出力を整流する整流ブリッジ、３は直流平
滑コンデンサ、４は単相のインバータブリッジ、２５は
高圧トランス、６は制御回路、７は検出回路の接続線、
８はリアクトルである。

【０００３】上記のような回路構成にあって、商用電源
である３相交流電源２１の出力する３相交流は、整流ブ
リッジ２により直流に整流され、さらに直流平滑コンデ
ンサ３で平滑化された後に、インバータブリッジ４にお
いて負荷に応じて決まる共振周波数で励振されて高周波
電力とされ、さらに高圧トランス２５で大幅に昇圧され
た後にここでは図示しない負荷に供給される。

【０００４】このとき、制御回路６は検出回路の接続線
７により状態を常に検出しており、必要により異常の判
断、警報の出力、運転の停止等の制御動作を行なう。

【０００５】図５はコロナ放電を用いた表面処理方法の
概要を示すもので、３相交流電源２１と高圧トランス
（ＨＶＴＲ）２５は上記図４と同様であり、３１が同じ
く図４のインバータ（ＩＮＶ）である。３相交流電源２
１からの３相交流電圧はインバータ３１で高周波化さ
れ、高圧トランス２５で昇圧されてコロナ放電用電極３
３に印加される。

【０００６】このコロナ放電用電極３３は表面処理対象
となるフィルム３４の搬送路上の、誘電体で構成された
ロール３５に対向する位置に配設されており、またロー
ル３５にはアースブラシ３７が取付けられる。

【０００７】しかして、コロナ放電用電極３３とロール
３５の間で高電圧高周波の電力によるコロナ放電が発生
し、該放電中の電子のエネルギによりこの放電空間中を
通過するフィルム３４の表面に微細な凹凸が表面処理と
して形成される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】このようなロール３５
とコロナ放電用電極３３との対は、フィルム３４の製造
ラインの最終工程に設置されている。生産量の増加など
のためにフィルム３４の走行速度が上昇された場合、短
い通過時間で表面処理を行なわなければならないことか
らコロナ放電に必要な電力も増大する。したがって、こ
のような場合にはコロナ放電用のインバータ３１の出力
を増加させることが行なわれてきた。

【０００９】しかしながら、高電圧高周波のインバータ
を考えた場合、単機出力を増加させるのはコストの面で
不利なことがあるため、複数のインバータを用いること
が考えられるが、この場合、コロナ放電用電極３３を複
数設けても同一のロール３５に対して放電させることが
可能であり、且つ設置スペースも省略することができ
る。

【００１０】図６は２系統のインバータ３１ａ，３１ｂ
及び高圧トランス２５ａ，２５ｂを用いて単一のロール
３５に２つのコロナ放電用電極３３ａ，３３ｂを設置す
るようにしたものである。このような構成とした場合、
複数の電極対は別々のインバータに接続されているた
め、放電における周波数、位相などを異ならせることが
できる。

【００１１】このような配置を実現するにあたって、機
械の小型化、工場での機械設置面積の低下などの要求を
受けて、ロール３５をより小径のものとすることが行な
われている。その際、複数の電極は、電極間の絶縁を考
慮した距離を挟んで配置することは言うまでもない。

【００１２】しかして、上記のようなインバータ３１に
対する保護動作として、具体的には次のような制御処理
が行なわれていた。すなわち、第１の保護対策は、イン
バータ３１の内部を流れる過電流などに対し、インバー
タ３１の動作自体を停止させる方法であり、第２の保護
対策は、高電圧の電極で放電するために電極から接地電
位に対してアーク放電を生じることがあるので、アーク
放電が生じた際にはアークを瞬時に消滅させ、機器を保
護するために電力供給を停止させる方法である。

【００１３】ここで上記第２のアーク放電に対する保護
対策について考える。

【００１４】インバータ３１の出力は、電極間の静電容
量とインバータ３１内部のリアクトル８による共振周波
数を出力するように制御されている。ところが、対地電
位などにアーク放電するとこの共振条件から外れるため
にインバータ３１の出力電圧または電流の位相が跳躍す
る。インバータ３１内部の上記制御回路６ではこの位相
の急変を監視し、アークによる異常放電と認識し、放電
出力を停止させるようになっている。

【００１５】このような保護機能を有するインバータ３
１において、次に説明するような不具合が発生する。こ
れはすなわち、上記図６に示したような複数のコロナ放
電用電極３３ａ，３３ｂを有する構成において、複数の
電極３３ａ，３３ｂは互いに絶縁距離以上離れており、
ロール３５との距離に比して十分離間しているため、通
常の状態では電極３３ａ，３３ｂ間で大気を介して放電
する可能性はほとんどない。

【００１６】しかしながら、ロール３５の表面に汚れが
付着し、あるいは水分が結露している場合に、図７
（ａ）に示すようなロール３５の端部でフィルム３４が
電極３３（３３ａ，３３ｂ）とロール３５とに介在して
いない部位では、例えば図７（ｂ）に示す如く電極３３
ｂからロール３５を介して電極３３ａ間で図中の＜１＞
〜＜３＞の経路を通ってアーク放電が発生し、結果とし
て大気を介して電極３３ｂ，３３ａ間で直接アーク放電
が継続してしまう可能性がある。

【００１７】このような電極間アークが発生した場合
に、別位相で動作している２台のインバータ３１ａ，３
１ｂの双方が共に位相を急変することで対地アークと判
断して運転を停止するような可能性はほとんどないと考
えられる。

【００１８】これはすなわち、２台のインバータ３１
ａ，３１ｂのうちの１台が電極間アークにエネルギを供
給することとなり、エネルギを供給されている側のイン
バータは位相が急変して停止するが、エネルギを供給し
ている側のインバータは他の条件、例えばアークの冷
却、ロール３５表面の汚れや結露等がなくなる、などに
よってアークが消滅しない限り電極間アークは継続する
ため、このエネルギを供給している側のインバータは運
転を継続するような制御を行なうことになるためであ
る。

【００１９】図８は上記保護機能が動作しないようにし
て電極間アークが発生したときの高電圧の電流波形を例
示するもので、図中のタイミングＴＡでアーク放電が発
生しており、それ以前では２台のインバータ３１ａ，３
１ｂが別位相で運転しているものの、アーク発生直後か
ら２台のインバータ３１ａ，３１ｂがほぼ同位相となっ
て運転を継続していることがわかる。

【００２０】このとき、上記保護機能を動作させれば、
位相が急変した、該アーク放電によりエネルギを供給さ
れる側のインバータは運転を停止することとなるが、位
相の変化が小さいかほとんど変化しない、エネルギを供
給する側のインバータでは、位相の急変を検出すること
ができないために、運転を停止することなく継続するこ
ととなる。

【００２１】しかして、電極間でアーク放電が発生して
いる状態での運転を継続すると、次のような不具合が発
生する。

【００２２】図９は電極３３ｂ，３３ａの間でアーク放
電している２台のインバータ３１ｂ，３２ａの回路構成
を示すものである。いま、電極３３ｂ，３３ａ間にアー
クが発生し、これを検出したインバータ３１ａが保護機
能による動作で運転を停止しているものとする。インバ
ータ３１ａが運転を停止した状態でもインバータ３１ｂ
が運転を行なっている限りは電極３３ｂ，３３ａ間のア
ーク放電は継続するもので、図中にエネルギの流れを矢
印ＥＮで示す如く、アークのエネルギはインバータ３１
ｂから電極３３ｂ，３３ａの間を介してインバータ３１
ａに供給されることとなる。

【００２３】このエネルギは、インバータ３１ｂの発生
する周波数の交流電流で供給されることとなるもので、
供給を受けるインバータ３１ａでは、供給された交流電
流がダイオード７１で整流されるために、停止している
インバータ３１の直流電圧が上昇する。

【００２４】そして、このように運転を停止中のインバ
ータ３１ａで直流電圧の上昇があると、インバータの直
流回路に接続されているコンデンサやその他半導体素子
の両端に印加される電圧が増加し、その素子の耐電圧電
圧を超えた時点で素子が破壊されてしまうことになる。

【００２５】このような事態を防止するためには、２台
のインバータ３１ａ，３１ｂのいずれか一方がアーク放
電の検出を行なった時点で、検出をしていない他方側も
連動して同時に運転を停止させることにより、電極間の
アーク放電を消滅させることができる。

【００２６】ただし、このような連動制御を実現する際
には、電極と電極との間ではなく電極と大地との間にア
ークが飛んで、アークを発生したインバータを保護する
ために運転を停止させたい場合でも、アーク放電が発生
している部位を区別して認識する手段がないために、同
一のロール３５に放電している他のインバータの運転を
停止せざるを得ないこととなる。

【００２７】本発明は上記のような実情に鑑みてなされ
たもので、その目的とするところは、大地電位にある同
一の誘電体ロールに対して配設された複数の電極に、高
周波電圧を印加してコロナ放電を発生させ、上記ロール
の回転により配送されるフィルムの表面処理を行なわせ
る、複数のそれぞれ独立したインバータを保護する保護
装置であって、上記電極で発生するアーク放電の状態に
対応し、保護する必要のあるインバータのみを確実に認
識してその運転を停止させることが可能なインバータの
保護装置を提供することにある。

【００２８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
大地電位にある同一の誘電体ロールに対して配設された
複数の電極に、高周波電圧を印加してコロナ放電を発生
させ、上記ロールの回転により配送されるフィルムの表
面処理を行なわせる、複数のそれぞれ独立したインバー
タを保護する保護装置であって、上記電極での異常状態
を検出して対応するインバータの運転を停止させる第１
の制御手段と、この第１の制御手段で運転を停止させた
インバータへの電極側からの電圧の印加状態または電流
の流入状態に応じて他のインバータの運転を制御する第
２の制御手段とを具備したことを特徴とする。

【００２９】請求項２記載の発明は、大地電位にある同
一の誘電体ロールに対して配設された複数の電極に、高
周波電圧を印加してコロナ放電を発生させ、上記ロール
の回転により配送されるフィルムの表面処理を行なわせ
る、複数のそれぞれ独立したインバータを保護する保護
装置であって、上記電極での異常状態を検出して対応す
るインバータの運転を停止させる第１の制御手段と、こ
の第１の制御手段で運転を停止させたインバータの直流
回路部での電圧値に応じて他のインバータの運転を制御
する第２の制御手段とを具備したことを特徴とする。

【００３０】請求項３記載の発明は、大地電位にある同
一の誘電体ロールに対して配設された複数の電極に、高
周波電圧を印加してコロナ放電を発生させ、上記ロール
の回転により配送されるフィルムの表面処理を行なわせ
る、複数のそれぞれ独立したインバータを保護する保護
装置であって、上記複数のインバータ毎に設けられ、上
記電極での異常状態を検出して対応するインバータの運
転を停止させる第１の制御手段と、上記複数のインバー
タ毎に設けられ、上記第１の制御手段で運転を停止させ
たインバータの直流回路部での電圧値を検出する第２の
制御手段と、上記第２の制御手段の検出内容に応じて他
のインバータの運転を統括制御する第３の制御手段とを
具備したことを特徴とする。

【００３１】上記請求項１乃至３いずれに記載の発明に
おいても、上記電極で発生するアーク放電の状態に対応
し、保護する必要のあるインバータのみを確実に認識し
てその運転を停止させることが可能となる。

【００３２】

【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）以下図面を
参照して本発明の第１の実施の形態について説明する。

【００３３】図１はその回路構成を示すもので、インバ
ータ３１ａ，３１ｂ、高圧トランス２５ａ，２５ｂ、コ
ロナ放電用電極３３ａ，３３ｂ、ロール３５、及びアー
スブラシ３７等に関しては基本的に上記図６、図９等で
説明したものと同様であるので、同一部分には同一符号
を付してその説明は省略する。

【００３４】しかして、インバータ３１ａと高圧トラン
ス２５ａ間における電圧を検出する電圧検出器１２ａを
設け、同様にインバータ３１ｂと高圧トランス２５ｂ間
における電圧を検出する電圧検出器１２ｂを設けて、こ
れらの検出内容を制御装置１１に送出させる。

【００３５】この制御装置１１は、インバータ３１ａ，
３１ｂを保護するための制御動作を実行するもので、イ
ンバータ３１ａ，インバータ３１ｂはそれぞれ、自機が
運転中であることを示す信号１３ａ，１３ｂを制御装置
１１へ送出し、また制御装置１１から運転の停止を指示
する信号１４ａ，１４ｂを受ける。

【００３６】このような構成にあって、例えば電極３３
ａ，３３ｂ間でアーク放電が発生し、インバータ３１ａ
がこれを検出して運転を停止し、一方インバータ３１ｂ
は運転を継続している場合の動作について考える。

【００３７】インバータ３１ａからの信号１３ａの内容
によりインバータ３１ａが運転を停止したことを認識し
た制御装置１１は、電圧検出器１２ａからの信号により
インバータ３１ａと高圧トランス２５ａ間で電圧が発生
しているか否かを判断する。

【００３８】この場合、インバータ３１ａは運転を停止
しているため、電極３３ａ，３３ｂ間にアーク放電が発
生していなければ、インバータ３１ｂからの電流がイン
バータ３１ａ側に供給されることはなく、電圧検出器１
２ａで電圧の発生を検出することはない。

【００３９】その反面、電極３３ａ，３３ｂ間にアーク
放電が発生していれば、インバータ３１ｂからの電流が
該アーク放電によりインバータ３１ａ側に供給されるこ
ととなり、電圧検出器１２ａで電圧の発生を検出するこ
とができる。

【００４０】したがって、制御装置１１は運転を停止し
た側のインバータ３１ａに対応する電圧検出器１２ａか
らの信号により、電圧を発生している場合には、電極３
３ａ，３３ｂ間でアーク放電を発生しているものと判断
して、信号１４ｂにより運転を継続しているインバータ
３１ｂの運転も停止させる。

【００４１】このように、大地電位の誘電体ロール３５
に対して配設された電極３３ａ，３３ｂ間でアーク放電
が発生したとしても、そのアーク放電に電流を供給し続
ける側のインバータ３１ｂの運転を停止させるため、該
アーク放電を強制的に消滅させることができる。

【００４２】また、電極３３ａ，３３ｂ間ではなく、電
極３３ａ，３３ｂのいずれか一方と大地との間でアーク
放電が発生した場合には、アーク放電を発生させた側の
電極に接続されたインバータ３１ａまたは３１ｂのみが
停止するので、他のインバータを停止させることなく、
運転を継続させることができる。

【００４３】なお、上記実施の形態では、インバータ３
１ａと高圧トランス２５ａ間での電圧を検出する電圧検
出器１２ａと、インバータ３１ｂと高圧トランス２５ｂ
間での電圧を検出する電圧検出器１２ｂとを設けるもの
としたが、これらに代えて、同位置に電極３３ａ，３３
ｂ側からインバータ３１ａ，３１ｂへの電流の流入を検
出するための電流検出器を設けることとしても良い。

【００４４】（第２の実施の形態）以下図面を参照して
本発明の第２の実施の形態について説明する。

【００４５】図２はその回路構成を示すもので、インバ
ータ３１ａ，３１ｂ、高圧トランス２５ａ，２５ｂ、コ
ロナ放電用電極３３ａ，３３ｂ、ロール３５、及びアー
スブラシ３７等に関しては基本的に上記図６、図９等で
説明したものと同様であるので、同一部分には同一符号
を付してその説明は省略する。

【００４６】しかして、インバータ３１ａ中のインバー
タブリッジ４前段の平滑化された直流電圧を検出するも
のとして直流電圧検出器８２ａを設け、同様にインバー
タ３１ｂにも直流電圧検出器８２ｂを設けて、これらの
検出内容を制御装置８１に送出させる。

【００４７】この制御装置８１は、インバータ３１ａ，
３１ｂを保護するための制御動作を実行するもので、特
にインバータ３１ａ，インバータ３１ｂに対して運転の
停止を指示する信号８３ａ，８３ｂを送信する。

【００４８】インバータ３１ａ，３１ｂはそれぞれ、運
転中、停止中のいずれであろうと、通常の３相交流電源
２１が接続されている状態であれば、直流電圧検出器８
２ａ，８２ｂの検出する直流電圧はある一定の幅内の値
となる。

【００４９】このような構成にあって、例えば電極３３
ａ，３３ｂ間でアーク放電が発生し、インバータ３１ａ
がこれを検出して運転を停止し、一方インバータ３１ｂ
は運転を継続している場合の動作について考える。

【００５０】このとき、インバータ３１ａは停止してい
るために直流電圧検出器８２ａの検出する直流電圧は、
本来であれば一定の幅内の値となるはずであるが、電極
３３ａ，３３ｂのアーク放電のためにインバータ３１ｂ
からの電流が供給されることで結果として検出される直
流電圧の値が上昇する。

【００５１】制御装置８１では、この直流電圧検出器８
２ａからの検出信号により、停止中のインバータ３１ａ
の直流電圧が上昇しており、電極３３ａ，３３ｂ間にア
ーク放電が発生しているものと判断して、運転を継続し
ているインバータ３１ｂに対しても信号８３ｂにより運
転を停止させる。

【００５２】このように、大地電位の誘電体ロール３５
に対して配設された電極３３ａ，３３ｂ間でアーク放電
が発生したとしても、そのアーク放電に電流を供給し続
ける側のインバータ３１ｂの運転を停止させるため、該
アーク放電を強制的に消滅させることができる。

【００５３】また、電極３３ａ，３３ｂ間ではなく、電
極３３ａ，３３ｂのいずれか一方と大地との間でアーク
放電が発生した場合には、アーク放電を発生させた側の
電極に接続されたインバータ３１ａまたは３１ｂのみが
停止し、且つその直流電圧が一定の幅の値を超えること
はないので、他方のインバータを停止させることなく、
運転を継続させることができる。

【００５４】なお、この第２の実施の形態による直流電
圧値の上昇から電極間のアーク放電の発生を検出する方
法を、上記第１の実施の形態による方法と併せて実施
し、いずれか一方の方法で電極間でのアーク放電の発生
を検出した場合には運転を継続している側のインバータ
の運転を停止させるようなものとしても良い。

【００５５】（第３の実施の形態）以下図面を参照して
本発明の第３の実施の形態について説明する。

【００５６】図３はその回路構成を示すもので、３１ａ
〜３１ｃは上記図２で説明したインバータ３１と基本的
には同様の構成のインバータであり、同一部分には同一
符号を付してその説明は省略する。

【００５７】しかして、各インバータ３１ａ〜３１ｃ内
の制御回路６′は、インバータが運転を停止している状
態でも直流回路部での電圧値を監視する機能を有してい
るものとする。

【００５８】さらに、上記各インバータ３１ａ〜３１ｃ
内の制御回路６′と通信ライン９２を介して統括制御回
路９１が接続される。この統括制御回路９１は、例えば
シーケンサやパーソナルコンピュータで構成され、コロ
ナ放電用電極３３ａ〜３３ｃ（図示せず）間で発生する
アーク放電によるインバータ３１ａ〜３１ｃの破損を防
止するべく各インバータ３１ａ〜３１ｃの運転／停止を
制御する。

【００５９】このような構成にあって、例えば電極３３
ａ，３３ｂ間でアーク放電が発生し、インバータ３１ａ
がこれを検出して運転を停止し、一方インバータ３１
ｂ，３１ｃは運転を継続している場合の動作について考
える。

【００６０】このとき、インバータ３１ａは停止してい
るためにその直流回路部での電圧値は本来であれば一定
の幅内の値となるはずであるが、電極３３ａ，３３ｂの
アーク放電のためにインバータ３１ｂからの電流が供給
されることで結果として直流電圧の値が上昇する。

【００６１】インバータ３１ａの制御回路６′では、運
転を停止しているにも拘らず直流電圧の値が上昇してい
ることを通信ライン９２を介して統括制御回路９１に送
信し、これを受けた統括制御回路９１は電極３３ａ，３
３ｂ間か、または電極３３ａ，３３ｃ間にアーク放電が
発生しているものと判断して、運転を継続しているイン
バータ３１ｂ，３１ｃに対しても通信ライン９２により
運転を停止させる。

【００６２】このように、大地電位の誘電体ロール３５
に対して配設された電極３３ａ〜３３ｃのいずれかの間
でアーク放電が発生したとしても、そのアーク放電に電
流を供給し続ける側のインバータの運転を停止させるた
め、該アーク放電を強制的に消滅させることができる。

【００６３】また、電極間ではなく、電極のいずれか１
つと大地との間でアーク放電が発生した場合には、アー
ク放電を発生させた側の電極に接続されたインバータの
みが停止し、且つその直流電圧が一定の幅の値を超える
ことはないので、その他のインバータを停止させること
なく、運転を継続させることができる。

【００６４】なお、本発明は上記第１乃至第３の実施の
形態に限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲内で種々変形して実施することが可能であるものとす
る。

【００６５】

【発明の効果】上記請求項１乃至３いずれに記載の発明
によっても、大地電位にある同一の誘電体ロールに対し
て配設された複数の電極に、高周波電圧を印加してコロ
ナ放電を発生させ、上記ロールの回転により配送される
フィルムの表面処理を行なわせる、複数のそれぞれ独立
したインバータを保護する保護装置において、上記電極
で発生するアーク放電の状態に対応し、保護する必要の
あるインバータのみを確実に認識してその運転を停止さ
せることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る回路構成を示
すブロック図。

【図２】本発明の第２の実施の形態に係る回路構成を示
すブロック図。

【図３】本発明の第３の実施の形態に係る回路構成を示
すブロック図。

【図４】一般的なコロナ表面処理ようインバータの回路
構成を例示する図。

【図５】コロナ放電を用いた表面処理方法の概要を示す
図。

【図６】２系統のインバータ及び電極を用いた表面処理
装置の構成を示す図。

【図７】電極間アーク放電の発生原理を示す図。

【図８】電極間アーク放電が発生した場合の高電圧の電
流波形を例示する図。

【図９】図９は電極間でアーク放電している２台のイン
バータの回路構成とエネルギの流れとを示す図。

【符号の説明】

２…整流ブリッジ ３…直流平滑コンデンサ ４…インバータブリッジ ６，６′…制御回路 ７…接続線 ８…リアクトル １１…制御装置 １２ａ，１２ｂ…電圧検出器 １３ａ，１３ｂ…運転中信号 １４ａ，１４ｂ…運転停止信号 ２１…３相交流電源 ２５，２５ａ，２５ｂ…高圧トランス ３１，３１ａ，３１ｂ…インバータ ３３，３３ａ，３３ｂ…コロナ放電用電極 ３４…フィルム ３５…ロール ３６…コロナ放電 ３７…アースブラシ ７１…ダイオード ８１…制御装置 ８２ａ，８２ｂ…直流電圧検出器 ８３ａ，８３ｂ…運転停止信号 ９１…統括制御回路 ９２…通信ライン

フロントページの続き (72)発明者 坂上 真二 愛知県名古屋市中村区岩塚町字高道１番地 三菱重工業株式会社名古屋機器製作所内 Ｆターム(参考） 4F073 AA06 BB01 CA21 HA12 5H007 AA17 CC05 CC32 DA06 DB01 DC02 DC05 GA08

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】大地電位にある同一の誘電体ロールに対し
   て配設された複数の電極に、高周波電圧を印加してコロ
   ナ放電を発生させ、上記ロールの回転により配送される
   フィルムの表面処理を行なわせる、複数のそれぞれ独立
   したインバータを保護する保護装置であって、 上記電極での異常状態を検出して対応するインバータの
   運転を停止させる第１の制御手段と、 この第１の制御手段で運転を停止させたインバータへの
   電極側からの電圧の印加状態または電流の流入状態に応
   じて他のインバータの運転を制御する第２の制御手段と
   を具備したことを特徴とするインバータの保護装置。
2. 【請求項２】大地電位にある同一の誘電体ロールに対し
   て配設された複数の電極に、高周波電圧を印加してコロ
   ナ放電を発生させ、上記ロールの回転により配送される
   フィルムの表面処理を行なわせる、複数のそれぞれ独立
   したインバータを保護する保護装置であって、 上記電極での異常状態を検出して対応するインバータの
   運転を停止させる第１の制御手段と、 この第１の制御手段で運転を停止させたインバータの直
   流回路部での電圧値に応じて他のインバータの運転を制
   御する第２の制御手段とを具備したことを特徴とするイ
   ンバータの保護装置。
3. 【請求項３】大地電位にある同一の誘電体ロールに対し
   て配設された複数の電極に、高周波電圧を印加してコロ
   ナ放電を発生させ、上記ロールの回転により配送される
   フィルムの表面処理を行なわせる、複数のそれぞれ独立
   したインバータを保護する保護装置であって、 上記複数のインバータ毎に設けられ、上記電極での異常
   状態を検出して対応するインバータの運転を停止させる
   第１の制御手段と、 上記複数のインバータ毎に設けられ、上記第１の制御手
   段で運転を停止させたインバータの直流回路部での電圧
   値を検出する第２の制御手段と、 上記第２の制御手段の検出内容に応じて他のインバータ
   の運転を統括制御する第３の制御手段とを具備したこと
   を特徴とするインバータの保護装置。