JP2001291289A - 光ディスク用スタンパの再生方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ディスクの再生信号と同等の再生信号を得
ることができる光ディスク用スタンパの再生方法を提供
して、スタンパの段階で記録状態を確認することを可能
にする。 【解決手段】 光ディスクの樹脂基板の屈折率をｎ、前
記樹脂を通して信号を再生するレーザ光の波長をλ、前
記樹脂基板に照射される前記レーザ光を集束する対物レ
ンズの開口数をＮＡとしたとき、波長がλ／ｎのレーザ
光１３Ｓを開口数がＮＡ／ｎの対物レンズ１４Ｓを介し
て前記光ディスクを作成するためのスタンパ７に照射し
てこのスタンパから信号を再生する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスクを製造
するために用いられる光ディスク用スタンパを検査する
ための再生方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図４は、光ディスクの製造工程を示す説
明図である。まず、表面が研磨され、洗浄されたガラス
基板１を用意する（ａ）。このガラス基板１にフォトレ
ジスト２をスピンコート法により塗布して乾燥させる
（ｂ）。記録すべき信号により変調された露光ビーム３
により、選択的にピットやグルーブの潜像をフォトレジ
スト層２内に形成する（ｃ）。その後、露光されフォト
レジスト層２を現像することにより、マスタ原盤４が作
成される（ｄ）。

【０００３】このマスタ原盤４にスパッタによりニッケ
ル導電膜５を形成し（ｅ）、マスタ原盤４上にニッケル
電鋳によって、ニッケルメッキ層６を形成する（ｆ）。
そして、ニッケルメッキ層６からマスタ原盤４を剥離す
ることによって、ニッケルスタンパ７が作成される。こ
のスタンパ７を金型に取り付け、この金型を用いてポリ
カーボネートなどの樹脂を成形することによりレプリカ
ディスク（樹脂基板）８ができあがる。更に、レプリカ
ディスク８の信号面上に反射膜、保護膜が順に形成され
て光ディスクが作成される。

【０００４】図３は、従来の光ディスク再生系の構成を
示す説明図である。光ディスク９は、樹脂基板１０の信
号面上にアルミニウムなどからなる反射膜１１、紫外線
硬化型樹脂からなる保護膜１２が順に形成されてなる。
この光ディスク９の再生を行うとき、波長λのレーザ光
１３は、開口数がＮＡの対物レンズ１４により集束さ
れ、屈折率ｎの樹脂基板１０を通して信号面に達する。
ここで、対物レンズ１４によって集束されて光ディスク
９の信号面に照射されたレーザ光１３は、図示のような
ピットのない面では、ほとんどそのまま反射されて検出
器に戻ってくるが、ピットのある面では、照射されたレ
ーザ光がピットによって回折されて対物レンズ１４の視
野外に出てしまい、入射されたレーザ光の一部しか検出
器に戻ってこない。つまり、検出器に戻ってくる光の強
度がピットによって変調されることになり、これを用い
て再生信号の検出がなされることになる。

【０００５】図２は、従来の光ディスク用スタンパ再生
系の構成を示す説明図である。光ディスク用のスタンパ
７は、上述したようにレプリカディスク８を作成するた
めの原盤であって、信号読み出し面が透明な樹脂基板で
覆われていないものである。従来例におけるスタンパ７
の再生は、基本的には光ディスク再生用のピックアップ
を用いて行われており、波長λのレーザ光１３を開口数
がＮＡの対物レンズ１４により集束し、スタンパ７の信
号面に照射するものであるが、この際に、光ディスク９
における樹脂基板１０と同等の屈折率ｎと同等の厚さと
を備えるレーザ光の収差補正用のガラス板１５を用い、
対物レンズ１４で集光したレーザ光をこのガラス板１５
を介して信号面に照射するようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記の図２で示された
従来の方法でスタンパ７を再生した場合、図３に示され
る光ディスクの再生と比較すると、信号面が屈折率ｎの
樹脂基板に接しているか否かの違いがあり、そのため
に、スタンパ７を上記従来の方法で再生した際に得られ
た信号は、光ディスクを再生した際に得られた信号とは
異なるものとなってしまう。

【０００７】すなわち、光ディスク９の再生において
は、図３に示すように信号面が屈折率ｎの樹脂基板１０
に接しているため樹脂基板１０に入射したレーザ光の波
長λが、波長変換されてλ／ｎとなり、波長λ／ｎのレ
ーザ光で再生されることとなる。一方、スタンパ７の再
生においては、図２に示すように信号面が大気に接して
いるためレーザ光の波長変換が生じず、波長λのレーザ
光で再生されることとなる。この再生波長の違いによ
り、信号面を異なった位相で再生することになり、結果
として反射光量に差異が生じる。

【０００８】このように、従来のスタンパ再生方法で
は、スタンパを再生することによって、このスタンパか
ら作成される光ディスクの再生信号を正確に確認するこ
とができない。したがって、スタンパの段階で記録状態
に不具合があるか否かを確認することができず、正確な
記録状態を確認するには、スタンパから一旦レプリカデ
ィスクを作成する必要があり、記録状態の確認に時間が
かかると共に生産性に問題があった。

【０００９】本発明は、上記の問題を解決するために提
案されたものであって、光ディスクの再生信号と同等の
再生信号を得ることができる光ディスク用スタンパの再
生方法を提供して、スタンパの段階で記録状態を確認す
ることを可能にして生産性の向上を図ることを目的とす
るものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による光ディスク用スタンパの再生方法は、
光ディスクの樹脂基板の屈折率をｎ、該樹脂基板を通し
て信号を再生するレーザ光の波長をλ、上記樹脂基板に
照射される上記レーザ光を集束する対物レンズの開口数
をＮＡとしたとき、波長が略λ／ｎのレーザ光を開口数
がＮＡ／ｎの対物レンズを介して上記光ディスクを作成
するためのスタンパに照射して該スタンパから信号を再
生することを特徴とする。

【００１１】これによると、光ディスク用スタンパの再
生条件を光ディスク（レプリカディスク）の再生条件と
等価のものにすることで、スタンパを再生した際の信号
が光ディスクを再生した際の信号と同等のものになり、
スタンパを再生することでそのスタンパから形成される
光ディスクの記録状態を確認することができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施形態による
光ディスク用スタンパの再生系を示す説明図である。本
実施例における光ディスク用スタンパ７は、上述した従
来の製造工程により作成されたもので、表面に信号面
７’を記録して信号溝部７ａが形成されたものである。

【００１３】このように作成された光ディスク用スタン
パ７の再生方法について説明すると、スタンパ７から作
成される光ディスクにおける樹脂基板の屈折率をｎ、該
樹脂基板を通してこの光ディスクの信号を再生する際に
使用するレーザ光の波長をλ、このレーザ光を集束する
対物レンズの開口数をＮＡとしたとき、図１において、
レーザ光１３Ｓの波長λｓをλｓ≒λ／ｎとし、対物レ
ンズ１４Ｓの開口数をＮＡ／ｎとして、上記光ディスク
を作成するためのスタンパ７に照射して該スタンパ７か
ら信号を再生する。

【００１４】ここで、光ディスクの再生の場合には、図
３に示されるように、屈折率ｎの樹脂基板１０により、
波長がλのレーザ光１３に波長変換が発生し、波長が略
λ／ｎのレーザ光で再生されることとなる。一方、本発
明の実施例に係る光ディスク用スタンパ７の再生におい
ては、屈折率ｎの樹脂基板がないため、波長がλ／ｎの
レーザ光１３Ｓで再生されることで、光ディスクの再生
の場合と再生レーザ光の波長が略同一となり、検出信号
において位相差が生じない。

【００１５】また、図１において、信号面７’上に照射
されたレーザ光１３Ｓのスポット径ｄは、波長／開口数
に比例するから、ｄ＝λｓ／（ＮＡ／ｎ）≒（λ／ｎ）
／（ＮＡ／ｎ）≒λ／ＮＡとなり、図３に示される光デ
ィスク９の再生の場合と略同一となる。更に、対物レン
ズへのレーザ光の入射パターンを光ディスクの再生光学
系の場合と同等とすることで、スタンパ７から得られる
再生信号を光ディスクから得られる再生信号と同等のも
のにすることができる。

【００１６】以上のように、実施例における光ディスク
用スタンパの再生方法によると、再生レーザ光の波長と
スポット径、対物レンズへのレーザ光の入射パターン
を、夫々光ディスクの再生の場合と同等とすることによ
り、光ディスクの再生信号と互換性のある光ディスク用
スタンパの再生信号が得られる。

【００１７】具体例を示すと、ＣＤの場合、ＣＤ再生用
のレーザ光の波長λ＝７８０ｎｍ、樹脂基板（ポリカー
ボネート製）の屈折率ｎ＝１．５５、使用する対物レン
ズの開口数ＮＡ＝０．４５であるとすると、このＣＤを
作成するスタンパをＣＤの再生条件と等価の再生条件で
再生するためには、図１に示すレーザ光１３Ｓの波長は
λｓ＝７８０／１．５５＝５０３ｎｍ、対物レンズ１４
Ｓの開口数はＮＡ／ｎ＝０．４５／１．５５＝０．２９
となる。

【００１８】以下に図５を参照して、本発明の光ディス
ク用スタンパの再生方法を採用したスタンパの検査工程
を含む、光ディスクの製造工程について説明する。ま
ず、表面が研磨され、洗浄されたガラス基板１を用意
し、このガラス基板１にフォトレジストをスピンコート
法により塗布して乾燥させる（Ａ）。これに対して、記
録すべき信号により変調された露光ビームにより、選択
的にピットやグルーブの潜像をフォトレジスト層内に形
成して信号記録を行う（Ｂ）。その後、露光されフォト
レジスト層を現像する（Ｃ）ことにより、マスタ原盤４
が作成される。

【００１９】このマスタ原盤４にスパッタによりニッケ
ルの導電膜を被覆し（Ｄ）、マスタ原盤４上にニッケル
電鋳によって、ニッケルメッキ層６を形成する（Ｅ）。
これによってニッケルスタンパ７が作成される。

【００２０】このスタンパ７に対して上記の再生方法に
よって再生を行い（Ｆ）、得られた再生信号が最終的に
作成される光ディスクから再生される信号と同等のもの
であるか否かを確認する（Ｇ）。ここで、この再生信号
が不良である場合には、マスタ原盤４から再度上記の工
程を経てスタンパ７を作成し直すか、或いは更に遡って
信号記録工程（Ｂ）から再度マスタ原盤４を作成して、
そこからスタンパ７を作成し直す。そして、再生信号確
認工程（Ｇ）において適正な信号確認がなされた場合
に、そのスタンパ７を金型に取り付け、この金型を用い
てポリカーボネートなどの樹脂を成形することによりレ
プリカディスク（樹脂基板）８を作成する。

【００２１】この光ディスクの製造工程によると、スタ
ンパ７の良否を直接再生信号を得ることによって確認す
ることができるので、従来のようにレプリカディスクを
作成した後にレプリカディスクの再生信号からスタンパ
の良否を判定していた方法と比較して、判定結果がでる
までの時間を大幅に短縮することが可能になり、これに
よって生産性の向上を図ることができる。

【００２２】

【発明の効果】本発明は上記のように構成されるので、
本発明の光ディスク用スタンパの再生方法によると、ス
タンパを再生することで光ディスクの再生信号と同等の
再生信号を得ることができ、スタンパの段階で記録状態
を確認することが可能になる。これによって、レプリカ
を形成する前に記録状態の不具合を見つけることがで
き、生産性の向上が図れる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例に係る光ディスク用スタンパの
再生方法を示す説明図である。

【図２】従来の光ディスク用スタンパの再生方法を示す
説明図である。

【図３】光ディスク再生系の構成を示す説明図である。

【図４】光ディスクの製造工程を示す説明図である。

【図５】本発明の光ディスク用スタンパの再生方法を採
用した光ディスクの製造工程を示す説明図である。

【符号の説明】

１ ガラス基板 ２ フォトレジスト，フォトレジスト層 ３ 露光ビーム ４ マスタ原盤 ５ ニッケル導電膜 ６ ニッケルメッキ層 ７ スタンパ ７ａ 信号溝部 ８ レプリカディスク ９ 光ディスク ９ａ 信号溝部 １０ 樹脂基板 １１ 反射膜 １２ 保護膜 １３，１３Ｓ レーザ光 １４，１４Ｓ 対物レンズ １５ 樹脂板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ディスクの樹脂基板の屈折率をｎ、該
   樹脂基板を通して信号を再生するレーザ光の波長をλ、
   上記樹脂基板に照射される上記レーザ光を集束する対物
   レンズの開口数をＮＡとしたとき、波長が略λ／ｎのレ
   ーザ光を開口数がＮＡ／ｎの対物レンズを介して上記光
   ディスクを作成するためのスタンパに照射して該スタン
   パから信号を再生することを特徴とする光ディスク用ス
   タンパの再生方法。