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JP2001283550A - Magnetic disk drive and component manufacturing method for the same - Google Patents

Magnetic disk drive and component manufacturing method for the same

Info

Publication number
JP2001283550A
JP2001283550A JP2000094563A JP2000094563A JP2001283550A JP 2001283550 A JP2001283550 A JP 2001283550A JP 2000094563 A JP2000094563 A JP 2000094563A JP 2000094563 A JP2000094563 A JP 2000094563A JP 2001283550 A JP2001283550 A JP 2001283550A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic disk
rotor hub
magnetic
disk drive
spacer ring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000094563A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tatsuya Hatanaka
達也 畠中
Hideyuki Sasaki
秀幸 佐々木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2000094563A priority Critical patent/JP2001283550A/en
Publication of JP2001283550A publication Critical patent/JP2001283550A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Rotational Drive Of Disk (AREA)
  • Holding Or Fastening Of Disk On Rotational Shaft (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 快削性のステンレス鋼で構成される磁気ディ
スク装置内の部品である、ロータハブ部品、スペーサリ
ングから放出される硫黄成分を除去し、磁気ヘッドや磁
気ディスクの腐食、付着物による障害を防止する。 【解決手段】 スピンドルモータ6のロータハブ部品6
b又はスペーサリング7を快削性ステンレス鋼から切削
加工して形成し、このロータハブ部品6b又はスペーサ
リング7の、磁気ディスク4が配置される表面の少なく
とも一部を、Fe(x)Cr(y)O(z)の混合層で
あって、かつ厚さが20nm〜500nmの酸化膜20
で被覆する。
PROBLEM TO BE SOLVED: To remove a sulfur component emitted from a rotor hub component and a spacer ring, which are components in a magnetic disk device made of free-cutting stainless steel, to corrode a magnetic head and a magnetic disk. , To prevent obstacles due to deposits. SOLUTION: A rotor hub part 6 of a spindle motor 6 is provided.
b or the spacer ring 7 is formed by cutting from free-cutting stainless steel, and at least a part of the surface of the rotor hub component 6b or the spacer ring 7 on which the magnetic disk 4 is arranged is made of Fe (x) Cr (y 2.) Oxide film 20 which is a mixed layer of O (z) and has a thickness of 20 nm to 500 nm.
Cover with.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、アウトガス対策
した磁気ディスク装置及び同装置の部品製造方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk drive with an outgassing countermeasure and a method for manufacturing parts of the magnetic disk drive.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気ディスク装置を内蔵する装置、例え
ばパーソナルコンピュータにおいては、一般的に、朝電
源を投入すると、長時間パソコンを使用するため磁気デ
ィスクはその間回転状態である。この駆動源であるスピ
ンドルモータからは、熱が発生し、この熱は経時的に蓄
積し、磁気ディスク装置の気密容器(ディスクエンクロ
ージャー)内は、相当な高温度となる。この温度上昇に
より気密容器(ディスクエンクロージャー)内要素、例
えばスピンドルモータ、ボイスコイルモータ、ヘッドア
ームなどのアクチュエータ機構等に使用される接着剤等
からアウトガスとよばれるガスを発生し、このアウトガ
スが気密容器(ディスクエンクロージャー)内機器、例
えば磁気ヘッドギャップ近傍部品や磁気ディスク表面に
付着すると、誤動作の要因となっていた。このような課
題を解決するために、気密容器(ディスクエンクロージ
ャー)内に、アウトガスを吸着する吸着剤をセットする
ことにより対策する技術が、例えば特開平6−3021
78号公開公報に記載されている。この技術によれば、
特別なスペースを必要とせず、アウトガス吸着効率の高
い磁気ディスク装置が得られることが記載されている。
即ち、磁気ディスク装置内部のアウトガスに起因する信
頼性の低下を防止するために、磁気ディスク装置内部に
各種の吸着剤を設置することでアウトガスを吸着除去す
る手段である。
2. Description of the Related Art In a device having a built-in magnetic disk device, for example, a personal computer, when the power is turned on in the morning, the personal computer is used for a long time, and the magnetic disk is in a rotating state during that time. Heat is generated from the spindle motor, which is the driving source, and the heat accumulates over time, so that the temperature inside the airtight container (disk enclosure) of the magnetic disk device becomes considerably high. Due to this temperature rise, a gas called outgas is generated from elements in an airtight container (disk enclosure), for example, an adhesive used for an actuator mechanism such as a spindle motor, a voice coil motor, and a head arm. If it adheres to a device in the (disk enclosure), for example, a component near the magnetic head gap or the surface of the magnetic disk, it causes a malfunction. In order to solve such a problem, a technique of setting an adsorbent for adsorbing outgas in an airtight container (disk enclosure) is disclosed in, for example, JP-A-6-3021.
No. 78 publication. According to this technology,
It is described that a magnetic disk device having high outgas adsorption efficiency can be obtained without requiring a special space.
That is, in order to prevent a decrease in reliability due to outgas inside the magnetic disk device, the outgas is adsorbed and removed by installing various adsorbents inside the magnetic disk device.

【0003】また、近年の磁気ディスク装置の小型化に
対応した装置としては、装置のベースやカバーの内壁面
に、炭素、銀、同のうち一種類以上の微粒子からなる吸
着剤を付着させることにより、少ない体積で、吸収効率
の高い吸着剤を設定していることが特徴である。
[0003] Further, as a device corresponding to the recent miniaturization of a magnetic disk device, an adsorbent composed of carbon, silver, or one or more of fine particles of the same type is attached to the inner wall of a base or a cover of the device. Is characterized in that an adsorbent having a small volume and high absorption efficiency is set.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、予め、
磁気ディスク装置の内壁面に吸着剤を付着させた、HD
Aベースプレート(基台)やHDAトップカバーを使用
するが、磁気ディスク装置組み立て封入前に、吸着剤が
大気にされされるために、この時大気中のガス成分を吸
収してしまい、磁気ディスク装置として気密容器(ディ
スクエンクロージャー)が構成された時には、許容吸着
容量が低下する等の問題がある。吸着剤の性能を維持し
たまま磁気ディスク装置に組み込むための管理が難し
い。さらにまた、吸着剤を使用しているために磁気ディ
スク装置稼動時の温度の上昇や、使用環境温度の変動で
磁気ディスク装置の気密容器(ディスクエンクロージャ
ー)内部の温度が上昇した場合、吸着剤に吸着されたガ
ス成分がアウトガスとなって磁気ディスク装置内に再放
出され、一時的に、磁気ディスク装置内のアウトガス濃
度が急激に上昇する問題がある。磁気ディスク装置内部
の各種構成部品は、ガス発生の要因となる成分を内在し
ており(例えば、接着剤等)、磁気ディスク装置動作中
の熱等で、同ガス成分は、磁気ディスク装置内部に、ア
ウトガスとして放出される。このアウトガスは、磁気ヘ
ッド−磁気ディスク界面(磁気ヘッドギャップ部)に悪
影響を及ぼし、さらに、スピンドルモータ等磁気ディス
ク装置の寿命を低下させる不具合を発生する場合があ
る。
However, in advance,
An HD with an adsorbent attached to the inner wall surface of a magnetic disk drive
A A base plate (base) or HDA top cover is used, but the adsorbent is released to the atmosphere before assembling and enclosing the magnetic disk device. At this time, the gas components in the atmosphere are absorbed and the magnetic disk device is absorbed. When an airtight container (disk enclosure) is formed, there is a problem that the allowable adsorption capacity is reduced. It is difficult to manage to incorporate the adsorbent into the magnetic disk drive while maintaining the performance. Furthermore, if the temperature rises during operation of the magnetic disk drive due to the use of the adsorbent, or if the temperature inside the airtight container (disk enclosure) of the magnetic disk drive rises due to fluctuations in the operating environment temperature, the adsorbent may be used. The adsorbed gas component becomes an outgas and is re-emitted into the magnetic disk device, and there is a problem that the outgas concentration in the magnetic disk device temporarily increases rapidly. Various components inside the magnetic disk drive contain components that cause gas generation (for example, adhesives), and due to heat during operation of the magnetic disk drive, the same gas components are stored inside the magnetic disk drive. , Released as outgas. This outgas has an adverse effect on the interface between the magnetic head and the magnetic disk (magnetic head gap portion), and may further cause a problem of shortening the life of the magnetic disk device such as a spindle motor.

【0005】例えば、磁気ディスクに摺動する磁気ヘッ
ドは動作中に、磁気ディスクの回転で発生する空気流の
圧力で、反発力を受けて間隔が約数nm程度浮上して磁
気記録または再生をしているが、同時に、吸引力を発生
することで、浮上を安定させる構造にもなっている。こ
のため、前述のアウトガスが、動作中に徐々に、磁気ヘ
ッドの空気軸受け面(スライダ面)やその近傍に付着あ
るいは、各種重合反応・分解により、固体化・析出する
ことがある。磁気ディスク装置の動作時間が長くなる
と、上記アウトガス付着物により、磁気ヘッドの空気軸
受け面(スライダ面)の形状が変化して、浮上を不安定
にさせ、磁気ヘッド−磁気ディスク間で衝突が発生する
という不具合が生じる。あるいは、これら固体の析出物
が、磁気ディスク動作中に磁気ヘッド−磁気ディスク界
面に、遺物として巻き込まれ、摺動摩擦が発生する場合
がある。更に、コンタクトスタートストップ(以下、C
SS方式と称する)の磁気ディスク装置の場合、停止時
に、磁気ヘッドが磁気ディスク表面のCSSエリアとよ
ばれるユーザデータが書込まれない領域に接触するが、
前述の磁気ヘッドの付着成分が、磁気ヘッド−磁気ディ
スク界面で粘性を持ち、スピンドルモータ起動時の回転
トルクを越えて固着するため、起動ができなくなるいわ
ゆる吸着現象と呼ばれる不具合が発生することがある。
For example, during operation, a magnetic head that slides on a magnetic disk receives a repulsive force due to the pressure of an air flow generated by the rotation of the magnetic disk and flies at a distance of about several nm to perform magnetic recording or reproduction. However, at the same time, it has a structure that stabilizes the floating by generating a suction force. Therefore, the above-mentioned outgas may gradually adhere to or near the air bearing surface (slider surface) of the magnetic head or solidify / precipitate due to various polymerization reactions / decompositions during operation. When the operation time of the magnetic disk device is prolonged, the shape of the air bearing surface (slider surface) of the magnetic head changes due to the above-mentioned outgas deposits, and the flying becomes unstable, and a collision occurs between the magnetic head and the magnetic disk. Malfunction occurs. Alternatively, these solid precipitates may be caught as a relic at the interface between the magnetic head and the magnetic disk during operation of the magnetic disk, and sliding friction may occur. Further, contact start / stop (hereinafter, C
In the case of a magnetic disk device of the SS type, when stopped, the magnetic head comes into contact with an area called a CSS area on the surface of the magnetic disk where user data is not written.
Since the above-mentioned adhesion component of the magnetic head has viscosity at the interface between the magnetic head and the magnetic disk and sticks beyond the rotation torque at the time of starting the spindle motor, a problem called a so-called adsorption phenomenon that the starting cannot be performed may occur. .

【0006】磁気ディスク装置の信頼性に影響を及ぼす
上記アウトガスの付着を低減させる手段として、磁気デ
ィスク装置内部に各種のガス吸着剤を設置することが行
われてきたが、配置される吸着剤自体が、組み立て時に
大気中にされされるため、大気を多量に吸着する。この
吸着剤は、飽和吸着量以上のアウトガスを吸着できない
という吸着量の限度があるため、実質磁気ディスク装置
稼働中発生するアウトガスに対する吸着能力が大幅に低
下してしまう。従って、このような方法で磁気ディスク
装置としての設計仕様を満たす吸着性能を確保すること
が非常に難しくなっている。さらに、次の稼動時に、再
び、磁気ディスク装置の気密容器(ディスクエンクロー
ジャー)内部が高温になると、吸着剤に吸着していたア
ウトガス成分が、磁気ディスク装置の気密容器(ディス
クエンクロージャー)内部に再放出され、磁気ディスク
装置の気密容器(ディスクエンクロージャー)内部のア
ウトガス濃度が一時的に上昇し、磁気ヘッド部や磁気デ
ィスクなどに付着して、装置動作に悪影響を及ぼすなど
の問題があった。また、ガラスを主材料とした基板の磁
気ディスクを用いた磁気ディスク装置の場合、スピンド
ルモータのロータハブ部品やスペーサリングは、加工性
の観点から、硫黄化合物を含むSUS430F等のステ
ンレス鋼が使用される。しかし、SUS430F等のス
テンレス鋼材料は、高温高湿環境下に長時間されされる
と、硫黄化合物が分解し、不安定となりガス化しやすく
なり、このガスがアウトガスとして磁気ディスク装置の
気密容器(ディスクエンクロージャー)内に放出されや
すくなる。
As a means for reducing the adhesion of the above-mentioned outgas which affects the reliability of the magnetic disk drive, various kinds of gas adsorbents have been installed in the magnetic disk drive. However, since it is exposed to the air at the time of assembly, it absorbs a large amount of the air. This adsorbent has an adsorption amount limit that cannot adsorb outgas in excess of the saturated adsorption amount, so that the adsorbing ability for outgas generated substantially during operation of the magnetic disk device is greatly reduced. Therefore, it is very difficult to secure the attraction performance satisfying the design specification as the magnetic disk device by such a method. Furthermore, when the temperature inside the airtight container (disk enclosure) of the magnetic disk device becomes high again during the next operation, the outgas component adsorbed by the adsorbent is re-emitted into the airtight container (disk enclosure) of the magnetic disk device. As a result, there has been a problem that the outgas concentration in the airtight container (disk enclosure) of the magnetic disk device temporarily increases and adheres to a magnetic head portion, a magnetic disk, or the like, which adversely affects the operation of the device. Further, in the case of a magnetic disk drive using a magnetic disk having a substrate made of glass as a main material, stainless steel such as SUS430F containing a sulfur compound is used for a rotor hub part and a spacer ring of a spindle motor from the viewpoint of workability. . However, when a stainless steel material such as SUS430F is subjected to a high-temperature and high-humidity environment for a long time, a sulfur compound is decomposed, becomes unstable and easily gasifies, and this gas is used as outgas as an outgas in an airtight container (disk) of a magnetic disk device. Enclosure).

【0007】このような場合、上述の先行技術では、磁
気ディスク装置の気密容器(ディスクエンクロージャ
ー)内部の硫黄ガス成分を吸着材が吸着除去しきれず、
磁気ヘッド−磁気ディスク等要素部品表面への固体析出
あるいは、同腐食等の障害を引き起こす可能性がある。
従来、上述の硫黄を含むステンレス鋼材に関しては、そ
の部品製造時に、酸・アルカリ等の溶液中に浸漬するこ
とで、その硫黄化合物を分解除去する、いわゆるパッシ
ベーション処理を行っているが、処理速度や、溶液管理
・洗浄斑等の面で、安定した硫黄化合物の除去が難しい
という問題があった。特に、磁気ディスク装置のスピン
ドルモータのロータハブやスペーサリングのように、各
種ねじ孔等を有する複雑な形状の部品への適用に関して
は、処理により不安定となった硫黄化合物が、洗浄残渣
として残留し、未処理品より多くの硫黄を放出するとい
う問題があった。とりわけ、硫黄系の化合物ガスは、磁
気ヘッド素子部や磁気ディスク表面を腐食させるため、
磁気ディスク装置の長期信頼性に及ぼす影響が大きいと
される。一方、磁気ディスクの基板としてガラス基板を
用いた磁気ディスク装置の場合、熱膨張係数や加工性の
観点から、スピンドルモータのロータハブ部品として硫
黄化合物を含むSUS430F等の快削性のステンレス
鋼が使用されるため、硫黄化合物の磁気ディスク装置内
への混入は不可避となっている。
In such a case, in the above-mentioned prior art, the adsorbent cannot completely remove the sulfur gas component in the airtight container (disk enclosure) of the magnetic disk drive.
There is a possibility of causing solid deposition on the surface of an element component such as a magnetic head-magnetic disk, or an obstacle such as corrosion.
Conventionally, the above-mentioned sulfur-containing stainless steel material is subjected to a so-called passivation process for decomposing and removing its sulfur compound by immersing it in a solution of an acid or an alkali at the time of manufacturing the component. In addition, there has been a problem that it is difficult to remove a stable sulfur compound from the viewpoints of solution management and washing spots. In particular, when applied to parts having complicated shapes having various screw holes, such as a rotor hub or a spacer ring of a spindle motor of a magnetic disk drive, the sulfur compound which has become unstable due to the processing remains as a cleaning residue. However, there is a problem that more sulfur is released than the untreated product. In particular, sulfur-based compound gas corrodes the magnetic head element and the surface of the magnetic disk.
It is said that the influence on the long-term reliability of the magnetic disk device is large. On the other hand, in the case of a magnetic disk drive using a glass substrate as the magnetic disk substrate, a free-cutting stainless steel such as SUS430F containing a sulfur compound is used as a rotor hub part of the spindle motor from the viewpoint of thermal expansion coefficient and workability. Therefore, the incorporation of sulfur compounds into the magnetic disk drive is inevitable.

【0008】従来では、磁気ディスク装置の信頼性に影
響を及ぼすアウトガスを低減させる場合、磁気ディスク
装置内部に各種のガス吸着剤を設置することが行われて
きたが、高温多湿環境下では、吸着剤自体の吸着効率が
低下するばかりか、吸着したアウトガス成分が再放出す
ることがある。一方、上述のようにガラス基板を使用し
た磁気ディスク装置の場合、加工性の観点から、スピン
ドルモータのロータハブ部品やスペーサリングは、硫黄
化合物を含むSUS430F等の快削性のステンレス鋼
を使用するが、同材料は、高温多湿環境下に長時間さら
されると、硫黄化合物が分解しガス化する場合がある。
これらの硫黄系のガスは、吸着剤では除去しきれない場
合がある。この発明は、上述する問題点に鑑みなされた
もので、磁気ディスク装置の信頼性に影響を及ぼすアウ
トガスを効率よく吸収でき、信頼性の高い磁気ディスク
装置を提供することを目的としたものである。また、磁
気ディスク装置の信頼性に影響を及ぼす硫黄系のアウト
ガスを低減させ、信頼性の高い磁気ディスク装置を提供
することを目的としたたものである。具体的には、硫黄
系のアウトガスの主発生源であるスピンドルモータのロ
ータハブ部品やスペーサリングを切削加工後、その表面
に高温多湿環境下で緻密な酸化膜を形成することで、ハ
ブ材表面の硫黄化合物を被覆あるいは分解除去すること
で、信頼性の高い磁気ディスク装置を提供することを目
的としたものである。
Conventionally, in order to reduce outgas that affects the reliability of the magnetic disk drive, various gas adsorbents have been installed inside the magnetic disk drive. Not only does the adsorption efficiency of the agent itself decrease, but the adsorbed outgas component may be released again. On the other hand, in the case of a magnetic disk drive using a glass substrate as described above, from the viewpoint of workability, the rotor hub parts and spacer rings of the spindle motor use free-cutting stainless steel such as SUS430F containing a sulfur compound. When this material is exposed to a high-temperature and high-humidity environment for a long time, a sulfur compound may be decomposed and gasified.
These sulfur gases may not be completely removed by the adsorbent. The present invention has been made in consideration of the above-described problems, and has as its object to provide a highly reliable magnetic disk device that can efficiently absorb outgas that affects the reliability of the magnetic disk device. . It is another object of the present invention to provide a highly reliable magnetic disk drive by reducing sulfur-based outgas that affects the reliability of the magnetic disk drive. Specifically, after cutting the rotor hub parts and spacer ring of the spindle motor, which is the main source of sulfur-based outgas, by forming a dense oxide film on the surface under high temperature and high humidity environment, the hub material surface An object of the present invention is to provide a highly reliable magnetic disk drive by coating or decomposing and removing a sulfur compound.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ディスク装
置は、請求項1に記載されているように、スピンドル上
に回動自在に設けられたロータハブと、前記ロータハブ
上に配置され、スピンドルモータにより回転される少な
くとも一枚の磁気ディスクと、前記磁気ディスクの表面
に接近してデータの書込み/読出しを行う磁気ヘッド
と、前記磁気ヘッドを所定のシリンダ位置へシークして
移動させ位置決めするアクチュエータ機構および前記ス
ピンドルモータを固定したベースプレートとを内包し密
閉された構造のディスクエンクロージャーを有する磁気
ディスク装置において、前記スピンドルモータのロータ
ハブは快削性ステンレス鋼からなり、前記ロータハブの
前記磁気ディスクが配置される表面の少なくとも一部が
Fe(x)Cr(y)O(z)の混合層であって、かつ
厚さが20nm〜500nmの酸化膜とを有することを
特徴としている。また、この発明の磁気ディスク装置
は、請求項2に記載されているように、複数枚の磁気デ
ィスクと、前記複数枚の各磁気ディスク間に配置される
環状のスペーサリングとを有し、前記スペーサリングは
快削性ステンレス鋼からなり、その表面の少なくとも一
部がFe(x)Cr(y)O(z)の混合層であって、
かつ厚さが20nm〜500nmの酸化膜を有すること
を特徴としている。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a magnetic disk drive, comprising: a rotor hub rotatably provided on a spindle; and a spindle motor disposed on the rotor hub. At least one magnetic disk rotated by a magnetic disk, a magnetic head for writing / reading data by approaching the surface of the magnetic disk, and an actuator mechanism for seeking, moving, and positioning the magnetic head to a predetermined cylinder position And a magnetic disk drive having a sealed disk enclosure including a base plate to which the spindle motor is fixed, wherein a rotor hub of the spindle motor is made of free-cutting stainless steel, and the magnetic disk of the rotor hub is arranged. At least a part of the surface is composed of Fe (x) Cr (y A mixed layer of O (z), and a thickness is characterized by having an oxide film of 20 nm to 500 nm. According to a second aspect of the present invention, there is provided a magnetic disk drive comprising: a plurality of magnetic disks; and an annular spacer ring disposed between the plurality of magnetic disks. The spacer ring is made of free-cutting stainless steel, and at least a part of its surface is a mixed layer of Fe (x) Cr (y) O (z),
In addition, it has an oxide film having a thickness of 20 nm to 500 nm.

【0010】このように、快削性のステンレス鋼で構成
される磁気ディスク装置内の部品である、ロータハブ、
スペーサリングから放出される硫黄成分を、磁気ディス
ク装置内に組み込む前に除去して使用するため、同硫黄
に起因する磁気ヘッドや磁気ディスクの腐食、磁気ヘッ
ド付着物等の障害を防止することができる。また、この
発明の磁気ディスク装置の部品製造方法は、請求項3に
記載されているように、磁気ディスク装置の部品とし
て、スピンドル上に回動自在に設けられ快削性ステンレ
ス鋼からなるロータハブと、前記ロータハブ上に配置さ
れスピンドルモータにより回転される少なくとも一枚の
磁気ディスクと、前記磁気ディスクの表面に接近してデ
ータの書込み/読出しを行う磁気ヘッドと、前記磁気ヘ
ッドを所定のシリンダ位置へシークして移動させ位置決
めするアクチュエータ機構および前記スピンドルモータ
を固定したベースプレートとを内包し密閉された構造の
ディスクエンクロージャーを有する磁気ディスク装置の
部品製造方法であって、前記スピンドルモータのロータ
ハブの少なくとも一部を切削加工する工程と、前記ロー
タハブを切削加工処理した後、150℃〜400℃の水
蒸気雰囲気で熱処理する工程とからなっている。
[0010] As described above, the rotor hub, which is a component in the magnetic disk drive made of free-cutting stainless steel,
Since the sulfur component released from the spacer ring is removed before use in the magnetic disk drive, it is possible to prevent the magnetic head and magnetic disk from being corroded by the sulfur, and to prevent the magnetic head from adhering. it can. According to a third aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a component of a magnetic disk drive, comprising: a rotor hub rotatably provided on a spindle and made of free-cutting stainless steel as a component of the magnetic disk drive. At least one magnetic disk disposed on the rotor hub and rotated by a spindle motor, a magnetic head for writing / reading data by approaching the surface of the magnetic disk, and moving the magnetic head to a predetermined cylinder position What is claimed is: 1. A method for manufacturing a component of a magnetic disk drive, comprising: a disk enclosure having a sealed structure enclosing an actuator mechanism for seeking, moving and positioning and a base plate to which the spindle motor is fixed, wherein at least a part of a rotor hub of the spindle motor is provided. And cutting the rotor hub After cutting processing, it consists a step of heat treatment at a water vapor atmosphere at 0.99 ° C. to 400 ° C..

【0011】また、この発明の磁気ディスク装置の部品
製造方法は、請求項4に記載されているように、磁気デ
ィスク装置部品として複数枚の磁気ディスクと、前記複
数枚の各磁気ディスク間に配置され快削性ステンレス鋼
からなる環状のスペーサリングとを有する磁気ディスク
装置の部品製造方法であって、前記スペーサリングの少
なくとも一部を切削加工する工程と、前記スペーサリン
グを切削加工処理した後、150℃〜400℃の水蒸気
雰囲気で熱処理する工程とからなっている。このよう
に、本発明の方法によれば、硫黄化合物を気化して除去
できるため、溶液処理に比べて複雑な形状の部品にも対
応でき、加工処理を行う時間の短縮が可能となる。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a component of a magnetic disk drive, the method comprising: arranging a plurality of magnetic disks as magnetic disk device components and a plurality of magnetic disks between the plurality of magnetic disks; A method of manufacturing a component of a magnetic disk drive having an annular spacer ring made of free-cutting stainless steel, wherein at least a part of the spacer ring is cut, and after the spacer ring is cut, And performing a heat treatment in a steam atmosphere at 150 ° C. to 400 ° C. As described above, according to the method of the present invention, the sulfur compound can be vaporized and removed, so that it is possible to cope with a part having a complicated shape as compared with the solution processing, and it is possible to shorten the time for performing the processing.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本実施
形態を具体的に説明する。 (第1の実施形態)図1は、本発明の第1の実施形態に
おける磁気ディスク装置の断面概略図である。図1に示
した磁気ディスク装置のアッセンブリ(以下、ハードデ
ィスクアッセンブリ:HDAと称する)は、HDAベー
ス(ベースプレート)1a、HDAトップカバー1bと
を有し、このHDAベース(ベースプレート)1aとH
DAトップカバー1bで磁気ディスク装置の気密容器
(ディスクエンクロージャー)を形成している。この気
密容器内(ディスクエンクロージャー)には、ヘッドキ
ャリッジ2aからなるアクチュエータ機構2と磁気ヘッ
ド3、データの記録領域として複数のシリンダを有する
磁気ディスク4、装置外部と磁気ディスク装置の気密容
器内(ディスクエンクロージャー)と圧力調整のための
呼吸孔であって、装置外部から磁気ディスク装置内への
ゴミ(以下、パーティクルと称する)の進入を防止する
パーティクルフィルタ付き呼吸孔5、スピンドル6a上
に搭載されたロータハブ6bからなるスピンドルモータ
6、ディスクスペーサ7(以下、スペーサリングと称す
る)及びディスククランプ8が格納されている。
Embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to the drawings. (First Embodiment) FIG. 1 is a schematic sectional view of a magnetic disk drive according to a first embodiment of the present invention. The assembly (hereinafter, referred to as a hard disk assembly: HDA) of the magnetic disk device shown in FIG. 1 has an HDA base (base plate) 1a and an HDA top cover 1b, and the HDA base (base plate) 1a and H
The DA top cover 1b forms an airtight container (disk enclosure) of the magnetic disk device. In the airtight container (disk enclosure), an actuator mechanism 2 including a head carriage 2a and a magnetic head 3, a magnetic disk 4 having a plurality of cylinders as a data recording area, the outside of the device and the airtight container of the magnetic disk device (disk Enclosure) and a breathing hole for pressure adjustment, mounted on a spindle 6a, a breathing hole 5 with a particle filter for preventing dust (hereinafter, referred to as particles) from entering the magnetic disk device from outside the device. A spindle motor 6 including a rotor hub 6b, a disk spacer 7 (hereinafter, referred to as a spacer ring), and a disk clamp 8 are stored.

【0013】本実施形態の磁気ディスク装置に用いられ
るロータハブ6b、スペーサリング7の製造方法を以下
に示す。まず、ステンレス鋼(SUS430F)の棒材
から、旋盤を用いて2.5インチ磁気ディスク装置用の
ロータハブ部品6bをハブ形状に切削加工した後、軸の
偏心ロータハブ面のうねり等の所定の寸法精度が既定値
内であることを確認する。その後、本発明の緻密な酸化
膜20を形成するため、水蒸気雰囲気炉を用いて150
℃、200℃、300℃の水蒸気雰囲気中で、それぞれ
2時間保持する。また、400℃、500℃の水蒸気雰
囲気で約20分間保持した部品を用いることが可能であ
ることも確認した。処理後の寸法精度を確認したとこ
ろ、処理による寸法精度の変化はほとんど見られなかっ
た。ここで、比較材料として上述同様に切削加工して、
酸化膜を形成するための処理を行わない未処理品、60
0℃、700℃及び800℃で20分の水蒸気処理を行
ったもの、処理後のロータハブ部品6b’、又はスペー
サリング7’を試料としてその寸法精度を比較確認し
た。これらロータハブ部品6b、6b’又はスペーサリ
ング7、7’を、まず、処理前と同等の寸法検査を実施
したところ、本実施形態の処理を行ったロータハブ6b
とスペーサリング7の試料は、寸法変化は見られず、全
て規定の寸法内に収まり合格品と判定された。
A method for manufacturing the rotor hub 6b and the spacer ring 7 used in the magnetic disk drive of the present embodiment will be described below. First, a 2.5 inch magnetic disk drive rotor hub part 6b is cut into a hub shape from a stainless steel (SUS430F) bar using a lathe, and then a predetermined dimensional accuracy such as waviness of the shaft eccentric rotor hub surface is obtained. Check that is within the default value. After that, in order to form the dense oxide film 20 of the present invention, 150 mm
In a steam atmosphere at 200 ° C., 200 ° C., and 300 ° C., each is maintained for 2 hours. It was also confirmed that it was possible to use a component held in a steam atmosphere at 400 ° C. and 500 ° C. for about 20 minutes. When the dimensional accuracy after the treatment was confirmed, almost no change in the dimensional accuracy due to the treatment was observed. Here, as a comparative material, it was cut in the same manner as above,
Unprocessed product not subjected to a process for forming an oxide film, 60
The dimensional accuracy of the sample subjected to the steam treatment at 0 ° C., 700 ° C., and 800 ° C. for 20 minutes, the treated rotor hub component 6b ′, or the spacer ring 7 ′ was compared and confirmed. These rotor hub parts 6b, 6b 'or spacer rings 7, 7' were first subjected to the same dimensional inspection as before the processing, and the rotor hub 6b subjected to the processing of the present embodiment was obtained.
The samples of the spacer ring 7 and the spacer ring 7 did not show any dimensional change, and all were within the specified dimensions, and were judged to be acceptable products.

【0014】一方、600℃、700℃及び800℃で
20分の水蒸気処理を実施したロータハブ部品6b’と
スペーサリング7’は、寸法精度、特に偏心性がすべて
規格外となり、ロータハブ部品6b’、スペーサリング
7’として使用できないことが分かった。 (表面形態観察及び分析の結果)上述したロータハブ部
品6b、6b’又はスペーサリング7、7’の加工表面
を、走査電子顕微鏡(以下、SEMと称する)観察を行
うとともに、X線マイクロアナライザーで分析を行っ
た。まず、従来のロータハブ部品6b’とスペーサリン
グ7’の加工表面をSEMで観察した結果、その加工表
面には旋盤による円周方向の加工痕の中に、約10μm
程度の硫黄系の析出物が均一に分散している様子が観測
された(図3記載)。同表面をX線マイクロアナライザ
ー分析した結果、硫黄が偏析しており、この析出は硫黄
系の金属間化合物であることが観察された(図3記
載)。一方、本実施形態のロータハブ部品6bとスペー
サリング7の加工表面を観測すると、円周状の加工痕は
観察されるものの、上述の約10μm程度の析出物は、
空洞となり、マンガン及びクロムが若干偏析しているこ
とが確認されるものの、硫黄はほとんど検出されなかっ
た(図2記載)。
On the other hand, the rotor hub part 6b 'and the spacer ring 7' which have been subjected to the steam treatment at 600 ° C., 700 ° C. and 800 ° C. for 20 minutes have the dimensional accuracy, especially the eccentricity, which are all out of the standard. It turned out that it cannot be used as a spacer ring 7 '. (Results of Observation and Analysis of Surface Morphology) The processed surfaces of the rotor hub components 6b and 6b 'or the spacer rings 7 and 7' described above are observed with a scanning electron microscope (hereinafter, referred to as SEM) and analyzed with an X-ray microanalyzer. Was done. First, the processing surfaces of the conventional rotor hub component 6b 'and the spacer ring 7' were observed with a SEM.
It was observed that some sulfur-based precipitates were uniformly dispersed (see FIG. 3). As a result of X-ray microanalyzer analysis of the surface, sulfur was segregated, and it was observed that this precipitate was a sulfur-based intermetallic compound (see FIG. 3). On the other hand, when observing the machining surfaces of the rotor hub component 6b and the spacer ring 7 of the present embodiment, although the circumferential machining marks are observed, the above-mentioned precipitates of about 10 μm are:
Although it became a cavity and it was confirmed that manganese and chromium were slightly segregated, sulfur was hardly detected (see FIG. 2).

【0015】(表面酸化膜の厚さ測定)さらに、これら
加工表面の酸化膜の状態を、オージェ電子分光分析装置
を用いた深さ方向(厚み)解析を行った。結果、従来の
ロータハブ部品6b’とスペーサリング7’の表面は、
表面にシリコン熱酸化膜換算で、約3nmの酸化膜が検
出された(図3記載)。一方、本実施形態のロータハブ
部品6bとスペーサリング7では、処理条件によって異
なるが、20〜500nmの厚さの鉄クロム系酸化膜が
観察された(図2記載)。 (ロータハブ部品の表面近傍模式図)図2は、本実施形
態におけるロータハブ部品6bとスペーサリング7の表
面近傍の断面模式図である。ステンレス鋼である、SU
S430Fステンレス母材9の中に加工性(快削性)を
向上させるための硫黄系金属間化合物10が分散してい
る。また、本実施形態の処理により同ロータハブ部品6
bとスペーサリング7の表面には、緻密な酸化膜20が
形成され、金属硫黄化物は除去されている。図3は、従
来処理のSUS430Fで形成されたロータハブ部品6
b’とスペーサリング7’の表面近傍の断面模式図であ
る。ステンレス鋼である、SUS430Fの母材90中
に、加工を向上させる目的で添加された硫黄系金属間化
合物100が分散している。また、これらステンレス表
面には約5nm程度の薄い自然酸化膜110が形成され
ている。
(Measurement of Surface Oxide Film Thickness) Further, the state of the oxide film on these processed surfaces was analyzed in the depth direction (thickness) using an Auger electron spectrometer. As a result, the surfaces of the conventional rotor hub part 6b 'and the spacer ring 7'
An oxide film of about 3 nm was detected on the surface in terms of a silicon thermal oxide film (see FIG. 3). On the other hand, in the rotor hub component 6b and the spacer ring 7 of the present embodiment, an iron-chromium-based oxide film having a thickness of 20 to 500 nm was observed, depending on the processing conditions (see FIG. 2). FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the vicinity of the surfaces of the rotor hub component 6b and the spacer ring 7 in the present embodiment. SU, which is stainless steel
In the S430F stainless steel base material 9, a sulfur-based intermetallic compound 10 for improving workability (free-cutting property) is dispersed. In addition, the rotor hub component 6 according to the present embodiment is processed.
A dense oxide film 20 is formed on the surfaces of the spacer b and the spacer ring 7, and the metal sulfide is removed. FIG. 3 shows a rotor hub component 6 made of SUS430F of a conventional process.
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of b ′ and the vicinity of the surface of a spacer ring 7 ′. A sulfur-based intermetallic compound 100 added for the purpose of improving processing is dispersed in a base material 90 of SUS430F, which is stainless steel. Further, a thin natural oxide film 110 of about 5 nm is formed on the surface of these stainless steels.

【0016】同化合物は加工により、表面にも露出して
おり、使用環境中の水分(HO)により分解され、不
安定な硫黄ガス130として磁気ディスク装置内の気密
空間(ディスクエンクロージャー)内に放出されると考
えられる。 (抽出イオン成分)これらロータハブ部品を、50ml
の超純水とともに、ポリプロピレンの袋に導入し、シー
ルにより密封した後、さらに、外側を同袋でシールし、
80℃の温水中でイオン成分の抽出実験を行った。上記
抽出水を、イオンクロマト分析装置にて、硫黄酸イオン
の含有量を調査したところ、ロータハブ部品とスペーサ
リング、1個あたりで、比較材料の未処理のロータハブ
部品6b’とスペーサリング7’は、5000μg/p
の硫黄イオンが検出されたのに対して、本実施形態のロ
ータハブ部品6bとスペーサリング7では、5〜15μ
g/個と、ほとんど検出限界程度のイオンしか検出され
なかった。 (銀板変色試験)さらに、これらのロータハブ部品6
b、6b’とスペーサリング7、7’を銀板とともに、
80℃90%の高温高湿環境中に10日間放置した結
果、従来のロータハブ部品6b’とスペーサリング7’
と接触させた銀板は、接触部が茶渇色に変色していた。
The compound is also exposed on the surface by processing, is decomposed by moisture (H 2 O) in the use environment, and becomes unstable sulfur gas 130 in an airtight space (disk enclosure) in the magnetic disk device. It is thought to be released to (Extracted ion component) 50 ml of these rotor hub parts
With ultrapure water, introduced into a polypropylene bag, sealed with a seal, and further sealed with the same bag on the outside,
An extraction experiment of ionic components was performed in hot water at 80 ° C. The extracted water was examined for the content of sulfuric acid ions with an ion chromatograph. As a result, the rotor hub part and the spacer ring per untreated rotor hub part 6b ′ and the spacer ring 7 ′ were compared with each other. 5000 μg / p
Is detected by the rotor hub part 6b and the spacer ring 7 of the present embodiment.
g / piece, almost only ions of the detection limit were detected. (Silver plate discoloration test) Furthermore, these rotor hub parts 6
b, 6b 'and spacer rings 7, 7' together with a silver plate,
As a result of being left for 10 days in a high-temperature and high-humidity environment of 80 ° C. and 90%, the conventional rotor hub part 6 b ′ and the spacer ring 7 ′ were obtained.
In the silver plate contacted with, the contact portion was discolored to brown.

【0017】特に、ディスククランプ8用のねじ孔の周
辺は、変色が著しく、黒色化していた。変色部をX線マ
イクロアナライザで解析した結果、銀の他に硫黄が検出
された。ロータハブ部品6b’とスペーサリング7’の
硫黄が転写し、硫化銀を形成したものと推定される。一
方、実施形態のロータハブ部品6bとスペーサリング7
と接触した銀板は、ねじ孔の近傍に極めて薄い変色が確
認できたものの、通常の接触面では、変色は全く見られ
なかった。 (実機試験)さらに、これらロータハブ部品6b、6
b’とスペーサリング7、7’を用いて、マグネットベ
アリング等と組合せてスピンドルモータ基台として、各
5台の磁気ディスク装置を組み立てた後、磁気ディスク
4、磁気ヘッドスタックアッセンブリとしてのアクチュ
エータ構造2を組み込み、サーボトラックライトを行っ
た後、所定のエラーチェック等の動作試験を行った。こ
の磁気ディスク装置を、650℃×80%の高温高湿で
12時間と、5℃×8%の低温常湿12時間の結露を含
む温度湿度サイクル放置試験を、60サイクル実施し
た。その後、所定のリード/ライトチェックを行った結
果、比較部品としての従来のロータハブ部品6b’とス
ペーサリング7’では、5台中3台が、ライトミス系の
不具合が発生したが、本実施形態におけるロータハブ部
品6bとスペーサリング7を用いた磁気ディスク装置で
は、エラーは発生しなかった。
In particular, the area around the screw hole for the disk clamp 8 was significantly discolored and turned black. As a result of analyzing the discolored portion with an X-ray microanalyzer, sulfur was detected in addition to silver. It is presumed that sulfur in the rotor hub part 6b 'and the spacer ring 7' was transferred to form silver sulfide. On the other hand, the rotor hub part 6b and the spacer ring 7 of the embodiment
In the silver plate that was in contact with, a very faint discoloration was confirmed near the screw hole, but no discoloration was observed on the normal contact surface. (Actual machine test) Furthermore, these rotor hub parts 6b, 6
After assembling five magnetic disk devices each as a spindle motor base by combining with magnetic bearings or the like using b ′ and spacer rings 7 and 7 ′, the magnetic disk 4, an actuator structure 2 as a magnetic head stack assembly After performing a servo track write, an operation test such as a predetermined error check was performed. The magnetic disk device was subjected to 60 cycles of a temperature / humidity cycle storage test including dew condensation at 650 ° C. × 80% high temperature and high humidity for 12 hours and 5 ° C. × 8% low temperature and normal humidity for 12 hours. Thereafter, as a result of performing a predetermined read / write check, in the conventional rotor hub part 6b 'and the spacer ring 7' as comparative parts, three out of five units suffered a write-miss problem. In the magnetic disk drive using the rotor hub component 6b and the spacer ring 7, no error occurred.

【0018】(第2の実施形態)次に、以下に本発明の
第2の実施形態を説明する。前記第1の実施形態と同様
の加工を施したロータハブ部品6b、6b’とスペーサ
リング7、7’を、高圧水蒸気雰囲気炉を用いて、15
0℃、200℃、300℃の温度で、20気圧の加圧水
蒸気雰囲気中でそれぞれ20分保持する処理を実施した
ロータハブ部品6bとスペーサリング7を、後に所定の
洗浄を施した後、同ロータハブ部品6bとスペーサリン
グ7を用いて、各5台のHDDを作成した。このHDD
を、80℃×90%の高温高湿12時間と−(マイナ
ス)5℃の低温12時間の結露を含む温湿度サイクル放
置試験を60サイクル実施した。この後、所定のリード
/ライトチェックを行った。結果、比較品としての従来
のロータハブ部品6b’とスペーサリング7’では、5
台中5台が、ライトミス系の不具合が生じたが、本発明
の同実施形態のロータハブ部品6bとスペーサリング7
を用いたHDDでは、エラーは発生しなかった。
(Second Embodiment) Next, a second embodiment of the present invention will be described below. The rotor hub parts 6b, 6b 'and the spacer rings 7, 7', which have been processed in the same manner as in the first embodiment, are placed in a high-pressure steam atmosphere furnace for 15 minutes.
The rotor hub component 6b and the spacer ring 7 that have been subjected to a process of holding each at a temperature of 0 ° C., 200 ° C., and 300 ° C. for 20 minutes in a pressurized steam atmosphere of 20 atm are subjected to predetermined cleaning, and then the rotor hub component Using the 6b and the spacer ring 7, five HDDs each were prepared. This HDD
Were subjected to 60 cycles of a temperature / humidity cycle standing test including dew condensation at a high temperature and high humidity of 80 ° C. × 90% for 12 hours and a low temperature of − (minus) 5 ° C. for 12 hours. Thereafter, a predetermined read / write check was performed. As a result, in the conventional rotor hub part 6b 'and the spacer ring 7' as comparative products, 5
Five of the units had write-miss problems, but the rotor hub part 6b and the spacer ring 7 of the same embodiment of the present invention were used.
No error occurred in the HDD using.

【0019】[0019]

【発明の効果】上述したように本発明によれば、磁気デ
ィスク装置の信頼性に影響を及ぼす硫黄系のアウトガス
を低減させ、信頼性の高い磁気ディスク装置を提供する
ことが可能となる。具体的には、硫黄系のアウトガスの
主発生源であるスピンドルモータのロータハブ部品又は
スペーサリングを加工後、その表面に高温多湿環境下で
緻密な酸化膜を形成することで、ロータハブ部品又はス
ペーサリング表面の硫黄化合物を被覆あるいは分解除去
することで、信頼性の高い磁気ディスク装置を提供する
ことを可能となる。
As described above, according to the present invention, a sulfur-based outgas which affects the reliability of a magnetic disk drive can be reduced, and a highly reliable magnetic disk drive can be provided. Specifically, after processing a rotor hub part or a spacer ring of a spindle motor, which is a main source of sulfur-based outgas, a dense oxide film is formed on the surface thereof in a high-temperature and high-humidity environment, so that the rotor hub part or the spacer ring is formed. By coating or decomposing and removing the sulfur compound on the surface, a highly reliable magnetic disk device can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態を説明するための断面図。FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating one embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施形態であるロータハブ部品又は
スペーサリング表面近傍の断面模式図。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the vicinity of a rotor hub component or a spacer ring surface according to an embodiment of the present invention.

【図3】従来のロータハブ部品又はスペーサリング表面
近傍の断面模式図。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the vicinity of a conventional rotor hub component or spacer ring surface.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1………ディスクエンクロージャー 1a……HDAベースプレート 1b……HDAトップカバー 2………アクチュエータ構造 3a……ヘッドキャリッジ 3………磁気ヘッド 4………磁気ディスク 5………呼吸孔 6………スピンドルモータ(SPM) 6a……スピンドル 6b……ロータハブ 7………スペーサリング 8………ディスククランプ 9………ステンレス母材 10……金属硫黄化物(析出物) 11……自然酸化膜 20……緻密な酸化膜 90……ステンレス母材 100…金属硫黄化物(析出物) 110…自然酸化膜 130…硫黄ガス DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Disk enclosure 1a ... HDA base plate 1b ... HDA top cover 2 ... Actuator structure 3a ... Head carriage 3 ... Magnetic head 4 ... Magnetic disk 5 ... Breathing hole 6 ... Spindle motor (SPM) 6a Spindle 6b Rotor hub 7 Spacer ring 8 Disk clamp 9 Stainless steel base material 10 Metal sulfide (precipitate) 11 Natural oxide film 20 ... dense oxide film 90 ... stainless steel base material 100 ... metal sulfide (precipitate) 110 ... natural oxide film 130 ... sulfur gas

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 スピンドル上に回動自在に設けられたロ
ータハブと、 前記ロータハブ上に配置され、スピンドルモータにより
回転される少なくとも一枚の磁気ディスクと、 前記磁気ディスクの表面に接近してデータの書込み/読
出しを行う磁気ヘッドと、 前記磁気ヘッドを所定のシリンダ位置へシークして移動
させ位置決めするアクチュエータ機構および前記スピン
ドルモータを固定したベースプレートとを内包し密閉さ
れた構造のディスクエンクロージャーを有する磁気ディ
スク装置において、 前記スピンドルモータのロータハブは快削性ステンレス
鋼からなり、前記ロータハブの前記磁気ディスクが配置
される表面の少なくとも一部がFe(x)Cr(y)O
(z)の混合層であって、かつ厚さが20nm〜500
nmの酸化膜とを有することを特徴とする磁気ディスク
装置。
A rotor hub rotatably provided on a spindle; at least one magnetic disk arranged on the rotor hub and rotated by a spindle motor; A magnetic disk having a sealed disk enclosure including a magnetic head for writing / reading, an actuator mechanism for seeking and moving the magnetic head to a predetermined cylinder position and a base plate on which the spindle motor is fixed. In the apparatus, a rotor hub of the spindle motor is made of free-cutting stainless steel, and at least a part of a surface of the rotor hub on which the magnetic disk is disposed is Fe (x) Cr (y) O.
(Z) a mixed layer having a thickness of 20 nm to 500 nm;
A magnetic disk drive comprising:
【請求項2】 複数枚の磁気ディスクと、 前記複数枚の各磁気ディスク間に配置される環状のスペ
ーサリングとを有し、前記スペーサリングは快削性ステ
ンレス鋼からなり、その表面の少なくとも一部がFe
(x)Cr(y)O(z)の混合層であって、かつ厚さ
が20nm〜500nmの酸化膜を有することを特徴と
する請求項1記載の磁気ディスク装置。
2. A magnetic disk comprising: a plurality of magnetic disks; and an annular spacer ring disposed between the plurality of magnetic disks, wherein the spacer ring is made of free-cutting stainless steel, and has at least one of its surfaces. The part is Fe
2. The magnetic disk drive according to claim 1, wherein the magnetic disk drive has a mixed layer of (x) Cr (y) O (z) and a thickness of 20 nm to 500 nm.
【請求項3】 磁気ディスク装置の部品として、スピン
ドル上に回動自在に設けられ快削性ステンレス鋼からな
るロータハブと、前記ロータハブ上に配置されスピンド
ルモータにより回転される少なくとも一枚の磁気ディス
クと、前記磁気ディスクの表面に接近してデータの書込
み/読出しを行う磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを所定
のシリンダ位置へシークして移動させ位置決めするアク
チュエータ機構および前記スピンドルモータを固定した
ベースプレートとを内包し密閉された構造のディスクエ
ンクロージャーを有する磁気ディスク装置の部品製造方
法であって、 前記スピンドルモータのロータハブの少なくとも一部を
切削加工する工程と、前記ロータハブを切削加工処理し
た後、150℃〜400℃の水蒸気雰囲気で熱処理する
工程と、 からなる磁気ディスク装置の部品製造方法。
3. A magnetic disk drive, comprising: a rotor hub rotatably provided on a spindle and made of free-cutting stainless steel; and at least one magnetic disk disposed on the rotor hub and rotated by a spindle motor. A magnetic head for writing / reading data by approaching the surface of the magnetic disk, an actuator mechanism for seeking and moving the magnetic head to a predetermined cylinder position, and a base plate on which the spindle motor is fixed. A method of manufacturing a component of a magnetic disk drive having a disk enclosure having a sealed structure, comprising: a step of cutting at least a part of a rotor hub of the spindle motor; Step of heat treatment in steam atmosphere at ℃ The method of part production magnetic disk apparatus consisting of.
【請求項4】 磁気ディスク装置部品として複数枚の磁
気ディスクと、前記複数枚の各磁気ディスク間に配置さ
れ快削性ステンレス鋼からなる環状のスペーサリングと
を有する磁気ディスク装置の部品製造方法であって、 前記スペーサリングの少なくとも一部を切削加工する工
程と、 前記スペーサリングを切削加工処理した後、150℃〜
400℃の水蒸気雰囲気で熱処理する工程と、 からなる磁気ディスク装置の部品製造方法。
4. A method of manufacturing a magnetic disk drive component having a plurality of magnetic disks as magnetic disk drive components and an annular spacer ring made of free-cutting stainless steel disposed between the plurality of magnetic disks. A step of cutting at least a part of the spacer ring;
Heat treating in a steam atmosphere at 400 ° C .;
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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