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JP2001264776A - Liquid crystal display device and method of manufacturing the same - Google Patents

Liquid crystal display device and method of manufacturing the same

Info

Publication number
JP2001264776A
JP2001264776A JP2000079475A JP2000079475A JP2001264776A JP 2001264776 A JP2001264776 A JP 2001264776A JP 2000079475 A JP2000079475 A JP 2000079475A JP 2000079475 A JP2000079475 A JP 2000079475A JP 2001264776 A JP2001264776 A JP 2001264776A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
display device
crystal display
switching element
spacer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000079475A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Mitsuhiro Takeba
光弘 竹場
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
Priority to JP2000079475A priority Critical patent/JP2001264776A/en
Publication of JP2001264776A publication Critical patent/JP2001264776A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板間隔を規定するスペーサを、フォトリソ
グラフィーを用いて形成する場合において、露光工程を
セルフアライメントで形成でき、画素上の残渣による表
示品位の悪化を防ぎ、また、光学特性を規定するセル厚
を任意に設計することを可能とする液晶表示装置及びそ
の製造方法を提供する。 【解決手段】 液晶層3と、液晶層3を挟持する一対の
絶縁性基板11、21と、一対の絶縁性基板11、21
の間隔を規定するスペーサと、を備える液晶表示装置に
おいて、スペーサは、感光性透明樹脂層41と感光性黒
色樹脂層42の二層構造からなる。
(57) [Summary] [Problem] When a spacer for defining a substrate interval is formed by photolithography, an exposure process can be formed by self-alignment, and deterioration of display quality due to residue on a pixel can be prevented. Provided are a liquid crystal display device and a method of manufacturing the liquid crystal display device, which can arbitrarily design a cell thickness for defining optical characteristics. A liquid crystal layer, a pair of insulating substrates sandwiching the liquid crystal layer, and a pair of insulating substrates.
, The spacer has a two-layer structure of a photosensitive transparent resin layer 41 and a photosensitive black resin layer 42.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置及び
その製造方法であり、特に一対の絶縁性基板の間隔を規
定するスペーサに特徴を有する液晶表示装置及びその製
造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device and a method of manufacturing the same, and more particularly to a liquid crystal display device characterized by a spacer for defining a distance between a pair of insulating substrates and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、液晶表示装置の一つとして、アク
ティブマトリクス液晶表示装置が知られており、図9に
示すように、画素電極17´上に配向膜18´等を形成
したアクティブマトリクス基板1´と対向電極23´及
び配向膜25´等を形成したカラーフィルタ基板2´と
を対向させ、この2枚の基板間に液晶3´が封入され、
絶縁性基板間の距離を一定に保つために粒径の均一なプ
ラスチックビーズ等のスペーサ4´を2枚の基板間に散
在させている。基板周囲はシール剤5´で固定された構
成になっている。
2. Description of the Related Art Conventionally, an active matrix liquid crystal display device is known as one of the liquid crystal display devices, and as shown in FIG. 9, an active matrix substrate having an alignment film 18 'formed on a pixel electrode 17'. 1 ′ is opposed to a color filter substrate 2 ′ on which a counter electrode 23 ′ and an alignment film 25 ′ are formed, and a liquid crystal 3 ′ is sealed between the two substrates.
In order to keep the distance between the insulating substrates constant, spacers 4 'such as plastic beads having a uniform particle size are scattered between the two substrates. The periphery of the substrate is fixed by a sealant 5 '.

【0003】しかしながら、プラスチックビーズ等を散
布してスペーサとする場合に、2枚の絶縁性基板間に散
布したスペーサが表示画素上に位置するとスペーサ周辺
からの光漏れを起こすという問題があった。また、スペ
ーサが基板上に不均一に散布されると表示ムラ等の不具
合となる問題があった。
However, when plastic beads or the like are scattered to form spacers, if the spacers scattered between two insulating substrates are positioned on display pixels, there is a problem that light leaks from the periphery of the spacers. Further, if the spacers are scattered non-uniformly on the substrate, there is a problem that display irregularities or the like may occur.

【0004】このため、特開平9−120075号公報
で開示されているように、カラーフィルタの着色層を画
素領域外に積層させて柱状スペーサを形成する方法や、
特開平11−218749号公報に開示されている感光
性黒色樹脂で形成した遮光層をスペーサとして用いる方
法等が提案されている。
[0004] For this reason, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-120075, a method of laminating a coloring layer of a color filter outside a pixel region to form a columnar spacer,
A method using a light-shielding layer formed of a photosensitive black resin as a spacer has been proposed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-21849.

【0005】しかしながら、特開平9−120075号
公報に開示されている方法では、積層させるカラーフィ
ルタの各着色層においては必要とされる色特性を再現す
るために膜厚があらかじめ規定されるため、着色層の積
層により合算した膜厚が所望する膜厚(セル厚)と必ず
しも合致しないという問題がある。また、カラーフィル
タの各着色層をフォトリソグラフィーによリパターニン
グする際に、露光工程でのアライメントずれが生じる
と、各着色層が同位置に積層されず所望する高さに形成
できないという問題があった。
However, in the method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-120075, the thickness of each colored layer of a color filter to be laminated is predetermined in order to reproduce required color characteristics. There is a problem that the total thickness of the colored layers does not always match the desired thickness (cell thickness). In addition, when realignment of each colored layer of the color filter by photolithography, if an alignment shift occurs in the exposure step, the colored layers are not stacked at the same position and cannot be formed at a desired height. Was.

【0006】特開平11−218749号公報に開示さ
れた方法によれば、着色層を形成した絶縁性基板に感光
性黒色樹脂を塗布し、フォトリソグラフィーにより感光
性黒色樹脂をパターニングし、これが遮光層とスペーサ
の機能を兼ねる。スペーサの機能をもたせるために黒色
樹脂の膜厚が大きくなり、樹脂を十分硬化させるために
表面と背面の両面から露光を行っている。
According to the method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-218779, a photosensitive black resin is applied to an insulating substrate having a colored layer formed thereon, and the photosensitive black resin is patterned by photolithography. And also functions as a spacer. The thickness of the black resin is increased in order to provide the function of the spacer, and the exposure is performed from both the front surface and the rear surface in order to sufficiently cure the resin.

【0007】上記手法を背面露光のみで行うと着色層を
マスクとしてセルフアライメントが可能となるが、背面
露光では黒色樹脂の表面側では硬化に必要な露光量は照
射されず、現像時に樹脂表面が溶解し、結果的に樹脂の
膜厚が小さくなるため、膜厚(セル厚)を任意に設定す
るのが困難になる。また、必要な露光量を照射するため
照射時間を長くすると、スループットが低下する。ま
た、着色層をマスクとして背面露光する場合、照射時間
を長くすると、着色層上に塗布された本来照射されない
黒色樹脂まで感光し、着色層上に黒色樹脂が付着し表示
品位が低下するという問題が起きる。
When the above method is performed only by back exposure, self-alignment can be performed using the colored layer as a mask. However, in back exposure, the exposure amount necessary for curing is not irradiated on the surface side of the black resin. Since the resin is dissolved and the film thickness of the resin is reduced as a result, it is difficult to arbitrarily set the film thickness (cell thickness). In addition, if the irradiation time is increased to irradiate a necessary exposure amount, the throughput decreases. In addition, in the case of back exposure using the colored layer as a mask, if the irradiation time is lengthened, the black resin applied on the colored layer, which is not originally irradiated, is exposed, and the black resin adheres to the colored layer, thereby deteriorating the display quality. Happens.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明の目
的は、基板間隔を規定するスペーサを、フォトリソグラ
フィーを用いて形成する場合において、露光工程をセル
フアライメントで形成でき、画素上の残渣による表示品
位の悪化を防ぎ、また、光学特性を規定するセル厚を任
意に設計することを可能とする液晶表示装置及びその製
造方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide an exposure process by self-alignment when a spacer for defining a substrate interval is formed by photolithography, and display by a residue on a pixel. It is an object of the present invention to provide a liquid crystal display device capable of preventing deterioration of quality and allowing an arbitrary design of a cell thickness for defining optical characteristics, and a method of manufacturing the same.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は、液晶層と、該
液晶層を挟持する一対の絶縁性基板と、該一対の絶縁性
基板の間隔を規定するスペーサと、を備える液晶表示装
置において、前記スペーサは、感光性透明樹脂層と感光
性黒色樹脂層の二層構造からなる液晶表示装置である。
The present invention relates to a liquid crystal display device comprising a liquid crystal layer, a pair of insulating substrates sandwiching the liquid crystal layer, and a spacer for defining a distance between the pair of insulating substrates. The spacer is a liquid crystal display device having a two-layer structure of a photosensitive transparent resin layer and a photosensitive black resin layer.

【0010】これにより、スペーサとなる樹脂の膜厚
は、感光性透明樹脂の膜厚を変えることで対応できるた
め、黒色樹脂の膜厚を大きくする場合に比べて露光時の
紫外線の照射量を大きく必要がなく、任意の膜厚が形成
できる。また、現像時に画素上の不要な樹脂を除去する
際に、黒色樹脂の下に透明樹脂が位置することで、黒色
樹脂が画素上で現像残り(残渣)となることを防ぐこと
が可能となる。
Thus, the thickness of the resin serving as the spacer can be controlled by changing the thickness of the photosensitive transparent resin, so that the irradiation amount of the ultraviolet rays at the time of exposure is smaller than when the thickness of the black resin is increased. It is not necessary to be large, and an arbitrary film thickness can be formed. In addition, when unnecessary resin on the pixel is removed at the time of development, the transparent resin is positioned below the black resin, so that it is possible to prevent the black resin from remaining as a development residue (residue) on the pixel. .

【0011】また、本発明は、一対の絶縁性基板の一方
は、マトリクス状に形成されたスイッチング素子と、該
スイッチング素子に制御電圧を供給するゲート配線と、
該ゲート配線に直交するように形成され、かつ、スイッ
チング素子にデータ信号を供給するソース配線と、を有
しており、そして、スイッチング素子、ゲート配線、ソ
ース配線上に層間絶縁膜が形成され、かつ、該層間絶縁
膜を貫くコンタクトホールを介してスイッチング素子と
層間絶縁膜上の画素電極とが接続されている液晶表示装
置である。
Further, according to the present invention, one of the pair of insulating substrates includes a switching element formed in a matrix and a gate wiring for supplying a control voltage to the switching element.
A source wiring that is formed so as to be orthogonal to the gate wiring and supplies a data signal to the switching element, and an interlayer insulating film is formed on the switching element, the gate wiring, and the source wiring; Further, the present invention is a liquid crystal display device in which a switching element and a pixel electrode on the interlayer insulating film are connected via a contact hole penetrating the interlayer insulating film.

【0012】これにより、画素電極が層間絶縁膜上に形
成されているため、画素電極をゲート配線、ソース配線
の領域まで覆って形成できる。このため、第二の絶縁性
基板に形成される着色層が、互いに隣り合って接してい
る、あるいは、重ねて形成される部分が、対向する第一
の絶縁性基板に形成されたソース配線上に完全に隠れる
ように形成できるため、重なり部分の段差による液晶配
向の乱れによる表示品位の低下の懸念がない。
Thus, since the pixel electrode is formed on the interlayer insulating film, the pixel electrode can be formed so as to cover the gate wiring and the source wiring. For this reason, the colored layers formed on the second insulating substrate are adjacent to each other or in contact with each other, or the portions formed by overlapping are formed on the source wiring formed on the opposing first insulating substrate. Therefore, there is no concern that display quality may be degraded due to disturbance of liquid crystal alignment due to a step in the overlapping portion.

【0013】そして、本発明は、上記スペーサは、スイ
ッチング素子上に位置している液晶表示装置である。
The present invention is the liquid crystal display device, wherein the spacer is located on the switching element.

【0014】これにより、スペーサがスイッチング素子
を遮光する機能も有するので、スイッチング素子の光リ
ーク電流の発生を防ぐことが可能となる。
Thus, since the spacer also has a function of shielding the switching element from light, it is possible to prevent the occurrence of light leakage current of the switching element.

【0015】更に、本発明は、上記スペーサは、表示領
域の周辺部に形成されている液晶表示装置である。
Further, the present invention is the liquid crystal display device, wherein the spacer is formed in a peripheral portion of a display area.

【0016】これにより、スペーサが表示領域の周辺部
のセル厚を規定するとともに、周辺遮光部を兼ねて機能
する。
Thus, the spacer defines the cell thickness in the peripheral portion of the display area and also functions as the peripheral light shielding portion.

【0017】また、本発明は、液晶層と、該液晶層を挟
持する一対の絶縁性基板と、該一対の絶縁性基板の間隔
を規定するスペーサと、を備える液晶表示装置を製造す
る方法において、前記一対の絶縁性基板の少なくとも一
方に感光性透明樹脂層を形成し、次に、その上に感光性
黒色樹脂層を形成して二層構造として、液晶層を挟持す
る一対の絶縁性基板の間隔を規定するスペーサとする工
程を有する液晶表示装置の製造方法である。
Further, the present invention relates to a method of manufacturing a liquid crystal display device comprising a liquid crystal layer, a pair of insulating substrates sandwiching the liquid crystal layer, and a spacer for defining a distance between the pair of insulating substrates. Forming a photosensitive transparent resin layer on at least one of the pair of insulating substrates, and then forming a photosensitive black resin layer thereon to form a two-layer structure, and a pair of insulating substrates sandwiching a liquid crystal layer. Is a method of manufacturing a liquid crystal display device including a step of forming a spacer for defining a distance between the liquid crystal display devices.

【0018】これにより、スペーサとなる樹脂の膜厚
は、感光性透明樹脂の膜厚を変えることで対応できるた
め、黒色樹脂の膜厚を大きくする場合に比べて露光時の
紫外線の照射量を大きくする必要がないためスループッ
トの低下がない。また、現像時に画素上の不要な樹脂を
除去する際に、黒色樹脂の下に透明樹脂が位置すること
で、黒色樹脂が、画素上に付着することを防ぎ画素上の
残渣による不良を低減する。また、従来のスペーサ散布
装置を用いた散布工程が不要となり、セル厚の異なる液
晶表示装置を作製する場合に、従来であれば、散布する
スペーサの種類を変更する必要があるが、本構成では、
スペーサとなる樹脂の塗布条件の変更で対応できる。
Thus, the thickness of the resin serving as the spacer can be adjusted by changing the thickness of the photosensitive transparent resin, so that the irradiation amount of the ultraviolet rays at the time of exposure is smaller than when the thickness of the black resin is increased. There is no need to increase the size, so there is no decrease in throughput. In addition, when unnecessary resin on the pixel is removed during development, the transparent resin is positioned under the black resin, thereby preventing the black resin from adhering to the pixel and reducing defects due to residue on the pixel. . In addition, the spraying step using the conventional spacer spraying device is not required, and when manufacturing a liquid crystal display device having a different cell thickness, conventionally, it is necessary to change the type of the spacer to be sprayed. ,
This can be dealt with by changing the application conditions of the resin serving as the spacer.

【0019】そして、本発明は、上記一対の絶縁性基板
の一方に、マトリクス状に形成されたスイッチング素子
と、該スイッチング素子を制御するゲート配線と、該ゲ
ート配線に直交するように形成されてスイッチング素子
にデータ信号を供給するソース配線と、を形成する工程
と、さらに、前記スイッチング素子、ゲート配線、ソー
ス配線上に形成された層間絶縁膜を貫くコンタクトホー
ルを介して前記スイッチング素子と層間絶縁膜上に形成
された画素電極とを接続する工程と、を有する液晶表示
装置の製造方法である。
According to the present invention, on one of the pair of insulating substrates, a switching element formed in a matrix, a gate wiring for controlling the switching element, and a gate wiring are formed so as to be orthogonal to the gate wiring. Forming a source line for supplying a data signal to the switching element; and forming an interlayer insulating layer with the switching element via a contact hole penetrating an interlayer insulating film formed on the switching element, the gate line, and the source line. Connecting a pixel electrode formed on the film to the liquid crystal display device.

【0020】これにより、画素電極が層間絶縁膜上に形
成され、画素電極をゲート配線、ソース配線の領域まで
覆って形成するので、隣り合う着色層が接して、あるい
は、重ねて形成される部分が、対向する絶縁性基板に形
成されたソース配線上に完全に隠れるように形成するた
め、貼り合わせ工程での貼り合わせにある程度ずれが生
じても、重なり部分の段差による液晶配向の乱れによる
表示品位の低下の懸念がない。
As a result, the pixel electrode is formed on the interlayer insulating film, and the pixel electrode is formed so as to cover the gate wiring and the source wiring, so that the adjacent colored layers are in contact with or overlap with each other. However, since it is formed so as to be completely hidden on the source wiring formed on the opposing insulating substrate, even if there is some deviation in the bonding in the bonding process, display due to disorder in the liquid crystal alignment due to the step in the overlapping portion There is no concern about quality degradation.

【0021】更に、本発明は、上記スペーサをスイッチ
ング素子上に位置するように形成する工程を有する液晶
表示装置の製造方法である。
Further, the present invention is a method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising the step of forming the spacer so as to be located on the switching element.

【0022】これにより、TFTの遮光部を裏面露光に
よりセルフアライメントで形成でき、生産工程が簡略に
なる。
Thus, the light-shielding portion of the TFT can be formed by self-alignment by backside exposure, thereby simplifying the production process.

【0023】また、本発明は、上記スペーサを表示領域
の周辺部に形成する工程を有する液晶表示装置の製造方
法である。
Further, the present invention is a method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising a step of forming the above-mentioned spacer at a peripheral portion of a display area.

【0024】これにより、スペーサが周辺遮光部を兼ね
て同時に作製できるため工程が簡略になる。
Thus, the process can be simplified since the spacers can be simultaneously manufactured as the peripheral light shielding portions.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】本発明の発明の実施の形態を説明
する。本実施の形態の液晶表示装置について、図1〜図
8を用いて説明する。図1は、実施例の液晶表示装置の
断面説明図である。図2は、実施例の液晶表示装置にお
けるアクティブマトリクス基板の説明図である。図3
は、図2におけるA−A´の矢視断面図である。図4
は、実施例の液晶表示装置におけるカラーフィルター基
板の説明図である。図5は、図4におけるB−B´の矢
視断面図である。図6は、図4におけるC−C´矢視断
面図である。図7は、実施例2の液晶表示装置における
カラーフィルター基板の説明図である。図8は、図7に
おけるD−D´の矢視断面図である。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described. A liquid crystal display device of the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is an explanatory cross-sectional view of a liquid crystal display device according to an embodiment. FIG. 2 is an explanatory diagram of an active matrix substrate in the liquid crystal display device according to the embodiment. FIG.
FIG. 3 is a sectional view taken along the line AA ′ in FIG. 2. FIG.
FIG. 4 is an explanatory diagram of a color filter substrate in the liquid crystal display device of the example. FIG. 5 is a sectional view taken along the line BB ′ in FIG. FIG. 6 is a sectional view taken along the line CC ′ in FIG. FIG. 7 is an explanatory diagram of a color filter substrate in the liquid crystal display device according to the second embodiment. FIG. 8 is a sectional view taken along the line DD ′ in FIG.

【0026】実施例1を説明する。本実施例の液晶表示
装置は、図1に示すように、第1の絶縁性基板11及び
第2の絶縁性基板21と、一対の絶縁性基板11、21
に挟持された液晶層3と、一対の絶縁性基板11、21
の間隔を規定するスペーサとを備えている。第1の絶縁
性基板11は、図2、3に示すように、TFT(スイッ
チング素子)12、ゲート配線13、ソース配線14、
層間絶縁膜15、第1の画素電極17、第1の配向膜1
8、等を備えている。TFT12は、図2に示すよう
に、マトリクス状に形成されている。ゲート配線13
は、TFT12に制御電圧を供給する。ソース配線14
は、ゲート配線13に直交するように形成されており、
TFT12にデータ信号を供給する。層間絶縁膜15
は、TFT12、ゲート配線13、ソース配線14、上
に形成されており、そして、貫通する孔であるコンタク
トホール16を有し、TFT12と第1の画素電極17
とを接続している。第2の絶縁性基板21は、図4〜6
に示すように、着色層(赤)22r、同(緑)22g、
同(青)22bからなるカラーフィルタ層、第2の画素
電極23、等を備えている。スペーサは、図5に示すよ
うに、感光性透明樹脂41と感光性黒色樹脂42の二層
構造からなる。そして、第1及び第2の画素電極17、
23間の液晶層3に電圧を印加することにより、図示し
ない光源等からの光のカラーフィルタ層22の通過を制
御し、カラー表示を行うことができる。
Embodiment 1 will be described. As shown in FIG. 1, the liquid crystal display device of this embodiment includes a first insulating substrate 11 and a second insulating substrate 21 and a pair of insulating substrates 11 and 21.
Liquid crystal layer 3 sandwiched between a pair of insulating substrates 11 and 21
And a spacer for defining the interval between the two. As shown in FIGS. 2 and 3, the first insulating substrate 11 includes a TFT (switching element) 12, a gate wiring 13, a source wiring 14,
Interlayer insulating film 15, first pixel electrode 17, first alignment film 1
8, etc. The TFTs 12 are formed in a matrix as shown in FIG. Gate wiring 13
Supplies a control voltage to the TFT 12. Source wiring 14
Are formed so as to be orthogonal to the gate wiring 13,
A data signal is supplied to the TFT 12. Interlayer insulating film 15
Is formed on the TFT 12, the gate wiring 13, and the source wiring 14, and has a contact hole 16 which is a penetrating hole.
And are connected. The second insulating substrate 21 is shown in FIGS.
As shown in the figure, the colored layer (red) 22r, the colored layer (green) 22g,
A color filter layer made of the same (blue) 22b, a second pixel electrode 23, and the like. The spacer has a two-layer structure of a photosensitive transparent resin 41 and a photosensitive black resin 42, as shown in FIG. Then, the first and second pixel electrodes 17,
By applying a voltage to the liquid crystal layer 3 between the layers 23, the passage of light from a light source or the like (not shown) through the color filter layer 22 can be controlled, and color display can be performed.

【0027】実施例1によれば、スペーサは、感光性透
明樹脂41と感光性黒色樹脂42の二層構造からなるた
め、スペーサの膜厚は、感光性透明樹脂41の膜厚を変
えることが可能となり、感光性黒色樹脂42の膜厚を大
きくする場合に比べて露光時の紫外線の照射量を大きく
必要がなく、任意の膜厚が形成できる。また、現像時に
画素上の不要な樹脂を除去する際に、感光性黒色樹脂4
2の下に感光性透明樹脂41が位置することで、感光性
黒色樹脂42が画素上で現像残り(残渣)となることを
防ぐことが可能となる。
According to the first embodiment, since the spacer has a two-layer structure of the photosensitive transparent resin 41 and the photosensitive black resin 42, the thickness of the spacer can be changed by changing the thickness of the photosensitive transparent resin 41. This makes it possible to form an arbitrary film thickness without the necessity of increasing the irradiation amount of the ultraviolet ray at the time of exposure as compared with the case where the film thickness of the photosensitive black resin 42 is increased. Further, when unnecessary resin on the pixel is removed during development, the photosensitive black resin 4 is removed.
Positioning the photosensitive transparent resin 41 below the second layer 2 makes it possible to prevent the photosensitive black resin 42 from being left undeveloped (residue) on the pixel.

【0028】次に、実施例1の液晶表示装置の製造方法
を説明する。第1の絶縁性基板11上に、図3に示すよ
うに、TFT(薄膜トランジスタ)12、このTFT1
2に電気的に接続されたゲート配線13、ソース配線1
4を形成する。本実施例ではゲート配線13の線幅を1
5μm、ソース配線14の線幅を10μmとした。続い
て、アクリル製樹脂からなる感光性の層間絶縁膜15を
基板11全面にスピナーで塗布する。そして、層間絶縁
膜15に、フォトリソグラフィー法により、マスクを介
して紫外線を照射して感光させ、エッチングすることに
よって、TFT12のドレイン電極上にコンタクトホー
ル16を形成する。次にスパッタ法により透明電極とし
てITO(インジウム錫酸化物)層17を形成して画素
周囲の各配線にエッジが重なる形状にパターニングを行
い、第1の画素電極17を形成する。このようにして、
TFT12、ゲート配線13、ソース配線14、第1の
画素電極17を形成した絶縁性基板11にポリイミドか
らなる第1の配向膜18を形成し、そして、液晶分子の
配向を可能にするために第1の配向膜18の表面に対し
てラビング等によって配向処理を行う。
Next, a method of manufacturing the liquid crystal display device according to the first embodiment will be described. As shown in FIG. 3, a TFT (thin film transistor) 12 and a TFT 1 are formed on a first insulating substrate 11.
2 and a source line 1 electrically connected to
4 is formed. In this embodiment, the line width of the gate wiring 13 is set to 1
5 μm, and the line width of the source wiring 14 was 10 μm. Subsequently, a photosensitive interlayer insulating film 15 made of an acrylic resin is applied to the entire surface of the substrate 11 by a spinner. Then, the interlayer insulating film 15 is exposed to ultraviolet light through a mask by a photolithography method to be exposed to light, and is etched to form a contact hole 16 on the drain electrode of the TFT 12. Next, an ITO (indium tin oxide) layer 17 is formed as a transparent electrode by a sputtering method, and patterning is performed so that an edge overlaps each wiring around the pixel to form a first pixel electrode 17. In this way,
A first alignment film 18 made of polyimide is formed on an insulating substrate 11 on which a TFT 12, a gate wiring 13, a source wiring 14, and a first pixel electrode 17 are formed, and a second alignment film 18 is formed to enable alignment of liquid crystal molecules. An alignment process is performed on the surface of the first alignment film 18 by rubbing or the like.

【0029】次に、第2の絶縁性基板21上に、赤、
緑、青の着色層22r、22g、22bを各色の感光性
樹脂、例えば、富士ハントテクノロジー社製カラーレジ
ストCR−2000、CG−2000、CB−2000
を用いて形成する。すなわち、着色フォトレジストを基
板21上にスピナーで塗布し、80℃で10分間焼成処
理を行う。その後、所定のマスクを用いて露光し、アル
カリ現像液で現像後、純水で洗浄し、さらに220℃で
60分間焼成処理を行う。この工程を3色について繰り
返し着色層22を形成した。それぞれの着色層22の膜
厚は1.2μmとし、第1の絶縁性基板11に形成した
TFT12に対向し、後の工程でスペーサを形成する部
分には着色層22は形成しない。また、各着色層22の
エッジは隣りに位置する着色層のエッジと接するか一部
重なり部24となるように形成する。本実施例では3μ
m重なるように形成する。図1に示すように、この重な
り部24は、第1の絶縁性基板11のソース配線14と
対向する位置にある。ソース配線14は線幅10μmで
形成しているため、重なり部24の段差による液晶の配
向乱れが生じても、ソース配線14で完全に遮光される
ため、表示品位を低下させることはない。貼り合わせ工
程での貼り合わせにある程度ずれが生じても、重なり部
24がソース配線14幅からはみ出さないため、貼り合
わせ工程でのマージンになる。
Next, on the second insulating substrate 21, red,
The green and blue colored layers 22r, 22g, and 22b are formed of a photosensitive resin of each color, for example, color resists CR-2000, CG-2000, and CB-2000 manufactured by Fuji Hunt Technology.
It is formed using. That is, a colored photoresist is applied on the substrate 21 by a spinner and baked at 80 ° C. for 10 minutes. Thereafter, exposure is performed using a predetermined mask, development is performed with an alkali developing solution, washing is performed with pure water, and baking treatment is performed at 220 ° C. for 60 minutes. This process was repeated for three colors to form a colored layer 22. The thickness of each colored layer 22 is 1.2 μm, and the colored layer 22 is not formed in a portion where a spacer is to be formed in a later step, facing the TFT 12 formed on the first insulating substrate 11. Further, the edge of each colored layer 22 is formed so as to be in contact with the edge of the adjacent colored layer or to form a partially overlapping portion 24. In this embodiment, 3 μm
They are formed so as to overlap by m. As shown in FIG. 1, the overlapping portion 24 is located at a position facing the source wiring 14 of the first insulating substrate 11. Since the source wiring 14 is formed with a line width of 10 μm, even if the alignment of the liquid crystal is disturbed due to the step of the overlapping portion 24, the light is completely shielded by the source wiring 14, so that the display quality is not degraded. Even if there is some deviation in the bonding in the bonding step, the overlapping portion 24 does not protrude from the width of the source wiring 14, so that it becomes a margin in the bonding step.

【0030】次に、この第2の基板21上にスパッタ法
により第2の画素電極23としてITO電極を形成す
る。引き続き、この基板21上に感光性透明樹脂41、
例えば、新日鐵化学社製V259−PAを塗布し、80
℃で10分間焼成処理を行い、さらに感光性黒色樹脂4
2、例えば、新日鐵化学社製V259−BKOを塗布
し、80℃で10分間焼成処理を行って二層構造とす
る。次に、先に形成した着色層22をマスクとして背面
露光を行い、アルカリ現像液で感光性透明樹脂41、感
光性黒色樹脂42の両方を現像後、純水で洗浄し、さら
に、220℃で60分間焼成処理を行い、感光性透明樹
脂41の膜厚を4μm、感光性黒色樹脂42の膜厚を
1.5μmの柱状スペーサを形成した。本実施例では、
感光性透明樹脂41の膜厚を4.0μmとしたが、この
膜厚はスピナーでの塗布条件により任意に設定可能であ
る。また、透明樹脂であるため、膜厚が大きくなって
も、照射光がさえぎられることがないので、上部に塗布
した感光性黒色樹脂42まで照射光が到達し十分硬化す
る。
Next, an ITO electrode is formed as a second pixel electrode 23 on the second substrate 21 by a sputtering method. Subsequently, a photosensitive transparent resin 41 is provided on the substrate 21.
For example, V259-PA manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.
Baked at 10 ° C. for 10 minutes.
2. For example, V259-BKO manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd. is applied and baked at 80 ° C. for 10 minutes to form a two-layer structure. Next, back exposure is performed using the previously formed colored layer 22 as a mask, and both the photosensitive transparent resin 41 and the photosensitive black resin 42 are developed with an alkali developing solution, washed with pure water, and further at 220 ° C. A baking treatment was performed for 60 minutes to form a columnar spacer having a thickness of the photosensitive transparent resin 41 of 4 μm and a thickness of the photosensitive black resin 42 of 1.5 μm. In this embodiment,
Although the thickness of the photosensitive transparent resin 41 is set to 4.0 μm, this thickness can be arbitrarily set according to the application conditions of the spinner. In addition, since the transparent resin is used, even if the film thickness becomes large, the irradiation light is not blocked, so that the irradiation light reaches the photosensitive black resin 42 applied on the upper portion and is sufficiently cured.

【0031】このようにして、着色層22、重なり部2
4、透明電極23、柱状スペーサ41、42を形成し
た、第2の絶縁性基板21上にポリイミドからなる第2
の配向膜25を形成し、液晶分子の配向を可能にするた
めに配向膜25の表面に対してラビング等によって配向
処理を行う。
Thus, the colored layer 22 and the overlapping portion 2
4. A second electrode made of polyimide is formed on the second insulating substrate 21 on which the transparent electrode 23 and the columnar spacers 41 and 42 are formed.
Is formed, and an alignment process is performed on the surface of the alignment film 25 by rubbing or the like in order to enable alignment of liquid crystal molecules.

【0032】最後に、TFT12、ゲート配線13、ソ
ース配線14、第1の画素電極17が形成された第1の
絶縁性基板11と、カラーフィルタ層22、柱状スペー
サ41、42が形成された第2の絶縁性基板21と、を
貼り合わせる。カラーフィルタ層22を形成した基板2
1上には既にスペーサ41、42が形成されているの
で、貼り合わせ工程前にスペーサを散布する工程が不要
となる。そして、液晶を注入して封止して液晶表示装置
が得られる。
Finally, the first insulating substrate 11 on which the TFT 12, the gate wiring 13, the source wiring 14, and the first pixel electrode 17 are formed, and the first insulating substrate 11 on which the color filter layer 22 and the columnar spacers 41 and 42 are formed. And the second insulating substrate 21. Substrate 2 on which color filter layer 22 is formed
Since the spacers 41 and 42 are already formed on 1, a step of dispersing the spacers before the bonding step is not required. Then, the liquid crystal is injected and sealed to obtain a liquid crystal display device.

【0033】実施例2を説明する。本実施例は、別な形
態の液晶表示装置の製造方法であり、図2、図3、図
7、図8を用いて、説明する。
Embodiment 2 will be described. The present embodiment is a method for manufacturing a liquid crystal display device of another embodiment, which will be described with reference to FIGS. 2, 3, 7, and 8. FIG.

【0034】第1の絶縁性基板11上に、実施例1で示
した方法と同様にして、TFT12、ゲート配線13、
ソース配線14、画素電極17を形成し、ポリイミドか
らなる配向膜18を形成し、液晶分子の配向を可能にす
るために配向膜18の表面に対してラビング等によって
配向処理を行う。
On the first insulating substrate 11, a TFT 12, a gate wiring 13,
The source wiring 14 and the pixel electrode 17 are formed, an alignment film 18 made of polyimide is formed, and an alignment process is performed on the surface of the alignment film 18 by rubbing or the like to enable alignment of liquid crystal molecules.

【0035】次に、第2の絶縁性基板21上に、実施例
1と同様に、赤、緑、青の着色層22r、22g、22
bを各色の感光性樹脂、例えば、富士ハントテクノロジ
ー社製カラーレジストCR−2000、CG−200
0、CB−2000、を用いて形成する。すなわち、着
色フォトレジストを基板21上にスピナーで塗布し、8
0℃で10分間焼成処理を行う。その後所定のマスクを
用いて露光し、アルカリ現像液で現像後、純水で洗浄
し、さらに220℃で60分間焼成処理を行う。この工
程を3色について繰り返し着色層22を形成する。ま
た、液晶の注入口26となる部分にも、図7、図8に示
すように、着色層22を形成する。本実施例では、青の
着色層22bを形成している。
Next, red, green, and blue colored layers 22r, 22g, and 22 are formed on the second insulating substrate 21 in the same manner as in the first embodiment.
b is a photosensitive resin of each color, for example, color resist CR-2000, CG-200 manufactured by Fuji Hunt Technology Co., Ltd.
0, CB-2000. That is, a colored photoresist is applied on the substrate 21 by a spinner,
A baking treatment is performed at 0 ° C. for 10 minutes. Thereafter, exposure is performed using a predetermined mask, development with an alkali developing solution, washing with pure water, and baking treatment at 220 ° C. for 60 minutes. This step is repeated for three colors to form the colored layer 22. Also, a colored layer 22 is formed on a portion to be a liquid crystal injection port 26, as shown in FIGS. In this embodiment, the blue colored layer 22b is formed.

【0036】次に、この基板21上にスパッタ法により
画素電極23としてITO電極を形成する。引き続き、
この基板21上に感光性透明樹脂41、例えば、新日鐵
化学社製V259−PAを塗布し、80℃で10分間焼
成処理を行い、さらに感光性黒色樹脂42、例えば、新
日鐵化学社製V259−BKOを塗布し、80℃で10
分間焼成処理を行って二層構造とする。次に、周辺遮光
部と表示領域に光が透過するように形成したマスクを用
いて背面露光を行い、アルカリ現像液で感光性透明樹脂
41、感光性黒色樹脂42の両方を現像後、純水で洗浄
し、さらに220℃で60分間焼成処理を行い、感光性
透明樹脂41の膜厚を4.0μm、感光性黒色樹脂42
の膜厚を1.5μmの周辺遮光部を形成した。注入口2
4の部分には、図8に示すように、あらかじめ、着色層
22bを形成しているので、この部分には、感光性樹脂
層は形成されないため、後工程での液晶の注入が可能で
ある。本実施例では、注入口に青色着色層22bのみを
形成したが、更に、赤色着色層22rと重ねる、あるい
は、アクティブマトリクス基板11側の注入口26に対
向する部分にゲート配線13あるいはソース配線14を
形成するのに用いた金属膜を配置することで、注入口2
6部分の遮光性を高めることができる。
Next, an ITO electrode is formed as a pixel electrode 23 on the substrate 21 by a sputtering method. Continued
A photosensitive transparent resin 41, for example, V259-PA manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd. is applied on the substrate 21 and baked at 80 ° C. for 10 minutes, and a photosensitive black resin 42, for example, Nippon Steel Chemical Co., Ltd. V259-BKO manufactured at 80 ° C.
A baking process is performed for two minutes to form a two-layer structure. Next, back exposure is performed using a mask formed so that light is transmitted to the peripheral light-shielding portion and the display region. After developing both the photosensitive transparent resin 41 and the photosensitive black resin 42 with an alkali developing solution, pure water is applied. Then, a baking treatment is performed at 220 ° C. for 60 minutes, and the photosensitive transparent resin 41 has a thickness of 4.0 μm and a photosensitive black resin 42.
A peripheral light-shielding portion having a thickness of 1.5 μm was formed. Inlet 2
As shown in FIG. 8, the colored layer 22b is formed in advance in the portion 4 and no photosensitive resin layer is formed in this portion, so that liquid crystal can be injected in a later step. . In this embodiment, only the blue coloring layer 22b is formed at the injection port. However, the gate wiring 13 or the source wiring 14 may be further overlapped with the red coloring layer 22r, or may be provided at a portion facing the injection port 26 on the active matrix substrate 11 side. By disposing the metal film used to form the
The light-shielding properties of the six portions can be improved.

【0037】このようにして、着色層22、画素電極2
3、周辺遮光部を形成した絶縁性基板21上にポリイミ
ドからなる配向膜25を形成し、液晶分子の配向を可能
にするために配向膜25の表面に対してラビング等によ
って配向処理を行う。
As described above, the coloring layer 22 and the pixel electrode 2
3. An alignment film 25 made of polyimide is formed on the insulating substrate 21 on which the peripheral light-shielding portion is formed, and an alignment process is performed on the surface of the alignment film 25 by rubbing or the like to enable alignment of liquid crystal molecules.

【0038】最後に、TFT12、ゲート配線13、ソ
ース配線14、画素電極17が形成された絶縁性基板1
1と、カラーフィルタ22、周辺遮光部の周辺に、シー
ル材5を印刷した絶縁性基板21と、を貼り合わせ、液
晶を注入して封止して液晶表示装置が得られる。
Finally, the insulating substrate 1 on which the TFT 12, the gate wiring 13, the source wiring 14, and the pixel electrode 17 are formed
1 and the color filter 22 and the insulating substrate 21 on which the sealing material 5 is printed around the peripheral light-shielding portion, and the liquid crystal is injected and sealed to obtain a liquid crystal display device.

【0039】以上説明したように、2枚の絶縁性基板に
挟持された液晶層を有する、液晶表示装置において、第
1の絶縁性基板と第2の絶縁性基板の間隔を規定するス
ペーサが、感光性透明樹脂と感光性黒色樹脂の二層構造
となっていることで、スペーサとなる樹脂の膜厚は、感
光性透明樹脂の膜厚を変えることで対応できるため、黒
色樹脂の膜厚を大きくする場合に比べて露光時の紫外線
の照射量を大きくする必要がなく任意の膜厚が形成でき
る。また、現像時に画素上の不要な樹脂を除去する際
に、黒色樹脂の下に透明樹脂が位置することで、黒色樹
脂が画素上で現像残り(残渣)となることを防ぐことが
可能となる。
As described above, in a liquid crystal display device having a liquid crystal layer sandwiched between two insulating substrates, a spacer for defining a distance between the first insulating substrate and the second insulating substrate is: By having a two-layer structure of a photosensitive transparent resin and a photosensitive black resin, the thickness of the resin serving as a spacer can be adjusted by changing the thickness of the photosensitive transparent resin. It is not necessary to increase the irradiation amount of the ultraviolet ray at the time of exposure as compared with the case where the thickness is increased, and an arbitrary thickness can be formed. In addition, when unnecessary resin on the pixel is removed at the time of development, the transparent resin is positioned below the black resin, so that it is possible to prevent the black resin from remaining as a development residue (residue) on the pixel. .

【0040】また、上記液晶表示装置において、スイッ
チング素子、ゲート配線、ソース配線上に層間絶縁膜が
形成され、該層間絶縁膜を貫くコンタクトホールを介し
て前記スイッチング素子と画素電極が接続されているた
め、画素電極をゲート配線、ソース配線の領域まで覆っ
て形成できる。よって、開口率が大きくできる。また、
隣り合う着色層を重ねて形成される部分が、対向する絶
縁性基板に形成された配線上に完全に隠れるように形成
できるため、重なり部分の段差による液晶配向の乱れに
よる表示品位の低下の懸念がない。
In the above liquid crystal display device, an interlayer insulating film is formed on the switching element, the gate wiring, and the source wiring, and the switching element and the pixel electrode are connected via a contact hole penetrating the interlayer insulating film. Therefore, the pixel electrode can be formed to cover the gate wiring and the source wiring. Therefore, the aperture ratio can be increased. Also,
Since the portion formed by overlapping the adjacent colored layers can be formed so as to be completely hidden on the wiring formed on the opposing insulating substrate, there is a concern that the display quality may be degraded due to disorder of the liquid crystal alignment due to the step of the overlapping portion. There is no.

【0041】そして、液晶表示装置は、前記スペーサを
スイッチング素子上に形成されていることで、スイッチ
ング素子を遮光するので、スイッチング素子の光リーク
電流の発生を防ぐことが可能となる。
In the liquid crystal display, since the switching element is shielded from light by forming the spacer on the switching element, it is possible to prevent light leakage current from being generated in the switching element.

【0042】更に、液晶表示装置は、スペーサが表示領
域の周辺部に形成されていることにより、スペーサが表
示領域の周辺部のセル厚を規定するとともに、周辺遮光
部を兼ねて機能する。
Further, in the liquid crystal display device, since the spacer is formed in the peripheral portion of the display region, the spacer defines the cell thickness in the peripheral portion of the display region and also functions as the peripheral light shielding portion.

【0043】また、液晶表示装置の製造方法において、
2枚の絶縁性基板に挟持された液晶層を有し、第1の絶
縁性基板及び第2の絶縁性基板の間隔を規定するスペー
サを、感光性透明樹脂と感光性黒色樹脂の二層構造とな
るように形成する工程を備えることで、スペーサとなる
樹脂の膜厚は、感光性透明樹脂の膜厚を変えることで対
応できるようになり、黒色樹脂の膜厚を大きくする場合
に比べて露光時の紫外線の照射量を大きくする必要がな
いため、スループットを低下させない。また、現像時に
画素上の不要な樹脂を除去する際に、黒色樹脂の下に透
明樹脂が位置することで、黒色樹脂が、画素上に付着す
ることを防ぎ、画素上の残渣による不良を低減する。ま
た、従来のスペーサ散布装置を用いた散布工程が不要と
なり、セル厚の異なる液晶表示装置を作製する場合に、
従来であれば、散布するスペーサの種類を変更する必要
があるが、本構成では、スペーサとなる樹脂の塗布条件
の変更で対応できる。
In the method of manufacturing a liquid crystal display device,
A spacer having a liquid crystal layer sandwiched between two insulating substrates, and defining a space between the first insulating substrate and the second insulating substrate, has a two-layer structure of a photosensitive transparent resin and a photosensitive black resin. The thickness of the resin serving as the spacer can be adjusted by changing the thickness of the photosensitive transparent resin by providing a process of forming the spacer so that the thickness of the black resin is increased as compared with the case where the thickness of the black resin is increased. Since it is not necessary to increase the irradiation amount of ultraviolet rays at the time of exposure, the throughput is not reduced. In addition, when removing unnecessary resin on the pixel during development, the transparent resin is located under the black resin, preventing the black resin from adhering to the pixel and reducing defects due to residue on the pixel. I do. Further, a spraying step using a conventional spacer spraying device is not required, and when manufacturing a liquid crystal display device having a different cell thickness,
Conventionally, it is necessary to change the type of the spacer to be sprayed. However, this configuration can cope with this by changing the application condition of the resin serving as the spacer.

【0044】そして、上記の液晶表示装置の製造方法に
おいて、第1の絶縁性基板には、マトリクス状に形成さ
れたスイッチング素子と、該スイッチング素子を制御す
るゲート配線と該スイッチング素子にデータ信号を供給
し、前配ゲート配線に直交するように形成されたソース
配線とを形成する工程と、さらに、前記スイッチング素
子、ゲート配線、ソース配線上に層間絶縁膜が形成し、
該層間絶縁膜を貫くコンタクトホールを介して前記スイ
ッチング素子と該層間絶縁膜上の画素電極を接続させる
工程を備えているため、画素電極が層間絶縁膜上に形成
され、画素電極をゲート配線、ソース配線の領域まで覆
って形成するので、隣り合う着色層が接して、あるい
は、重ねて形成される部分が、対向する絶縁性基板に形
成されたソース配線上に完全に隠れるように形成でき、
貼り合わせ工程での貼り合わせにある程度ずれが生じて
も、重なり部分の段差による液晶配向の乱れによる表示
品位の低下の懸念がない。
In the above-mentioned method for manufacturing a liquid crystal display device, the first insulating substrate includes a switching element formed in a matrix, a gate wiring for controlling the switching element, and a data signal applied to the switching element. Supplying and forming a source wiring formed so as to be orthogonal to the preceding gate wiring, and further, an interlayer insulating film is formed on the switching element, the gate wiring, and the source wiring;
Since the method includes a step of connecting the switching element and a pixel electrode on the interlayer insulating film via a contact hole penetrating the interlayer insulating film, the pixel electrode is formed on the interlayer insulating film, and the pixel electrode is connected to a gate wiring, Since it is formed so as to cover the area of the source wiring, adjacent colored layers are in contact with each other, or a portion formed by overlapping can be formed so as to be completely hidden on the source wiring formed on the opposing insulating substrate,
Even if the bonding in the bonding step is displaced to some extent, there is no concern that the display quality will be degraded due to the disorder of the liquid crystal alignment due to the step of the overlapping portion.

【0045】更に、上記の液晶表示装置の製造方法にお
いて、前記スペーサをスイッチング素子上に位置すよう
に形成する工程を備えており、TFTの遮光部は裏面露
光によりセルフアライメントで形成でき、生産工程が簡
略になる。
Further, in the above-mentioned method of manufacturing a liquid crystal display device, there is provided a step of forming the spacer so as to be located on the switching element, and the light shielding portion of the TFT can be formed by self-alignment by backside exposure. Is simplified.

【0046】また、上記の液晶表示装置の製造方法にお
いて、前記スペーサを表示領域の周辺部に形成する工程
を備えることを特徴としている。上記構成によれば、ス
ペーサが周辺遮光部を兼ねて同時に作製できるため工程
が簡略になる。
Further, in the above-mentioned method for manufacturing a liquid crystal display device, the method further comprises a step of forming the spacer around a display area. According to the above configuration, since the spacers can be simultaneously manufactured as the peripheral light-shielding portions, the process is simplified.

【0047】[0047]

【発明の効果】本発明によれば、基板間隔を規定するス
ペーサを、フォトリソグラフィーを用いて形成する場合
において、露光工程をセルフアライメントで形成でき、
画素上の残渣による表示品位の悪化を防ぎ、また、光学
特性を規定するセル厚を任意に設計することを可能とす
る液晶表示装置を得ることができる。
According to the present invention, when a spacer for defining a substrate interval is formed by photolithography, the exposure step can be formed by self-alignment.
It is possible to obtain a liquid crystal display device capable of preventing deterioration of display quality due to residue on a pixel and enabling an arbitrary design of a cell thickness for defining optical characteristics.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施例の液晶表示装置の断面説明図。FIG. 1 is an explanatory cross-sectional view of a liquid crystal display device according to an embodiment.

【図2】実施例の液晶表示装置におけるアクティブマト
リクス基板の説明図。
FIG. 2 is an explanatory diagram of an active matrix substrate in the liquid crystal display device according to the embodiment.

【図3】図2におけるA−A´の矢視断面図。FIG. 3 is a sectional view taken along the line AA ′ in FIG. 2;

【図4】実施例の液晶表示装置におけるカラーフィルタ
ー基板の説明図。
FIG. 4 is an explanatory diagram of a color filter substrate in the liquid crystal display device according to the embodiment.

【図5】図4におけるB−B´の矢視断面図。FIG. 5 is a sectional view taken along the line BB ′ in FIG. 4;

【図6】図4におけるC−C´矢視断面図。FIG. 6 is a sectional view taken along the line CC ′ in FIG. 4;

【図7】実施例2の液晶表示装置におけるカラーフィル
ター基板の説明図。
FIG. 7 is an explanatory diagram of a color filter substrate in the liquid crystal display device according to the second embodiment.

【図8】図7におけるD−D´の矢視断面図。FIG. 8 is a sectional view taken along the line DD ′ in FIG. 7;

【図9】従来の液晶表示装置の説明図。FIG. 9 is an explanatory diagram of a conventional liquid crystal display device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 第1の絶縁性基板 12 TFT 13 ゲート配線 14 ソース配線 15 層間絶縁膜 16 コンンタクトホール 17 第1の画素電極 18 配向膜 21 第2の絶縁性基板 22r 着色層(赤) 22g 着色層(線) 22b 着色層(青) 23 第2の画素電極 24 着色層の重なり部 25 配向膜 26 注入口 3 液晶 41 感光性透明樹脂 42 感光性黒色樹脂 5 シール剤 Reference Signs List 11 first insulating substrate 12 TFT 13 gate wiring 14 source wiring 15 interlayer insulating film 16 contact hole 17 first pixel electrode 18 alignment film 21 second insulating substrate 22r colored layer (red) 22g colored layer (line 22b Colored layer (blue) 23 Second pixel electrode 24 Overlapping portion of colored layer 25 Alignment film 26 Injection port 3 Liquid crystal 41 Photosensitive transparent resin 42 Photosensitive black resin 5 Sealant

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G09F 9/30 349 G02F 1/136 500 Fターム(参考) 2H089 LA02 LA07 LA12 MA03X NA14 QA05 QA14 TA09 TA12 2H092 GA29 JA37 JA41 JA47 JB52 JB56 KB25 MA05 MA13 MA17 MA41 PA03 PA08 5C094 AA03 AA16 AA43 AA48 AA55 BA03 BA43 CA19 CA24 DA13 DB01 DB04 EA04 EB02 EC03 EC04 ED03 ED15 FA01 FA02 FB01 FB15 GB10 Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat II (reference) G09F 9/30 349 G02F 1/136 500 F term (reference) 2H089 LA02 LA07 LA12 MA03X NA14 QA05 QA14 TA09 TA12 2H092 GA29 JA37 JA41 JA47 JB52 JB56 KB25 MA05 MA13 MA17 MA41 PA03 PA08 5C094 AA03 AA16 AA43 AA48 AA55 BA03 BA43 CA19 CA24 DA13 DB01 DB04 EA04 EB02 EC03 EC04 ED03 ED15 FA01 FA02 FB01 FB15 GB10

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液晶層と、該液晶層を挟持する一対の絶
縁性基板と、該一対の絶縁性基板の間隔を規定するスペ
ーサと、を備える液晶表示装置において、 前記スペーサは、感光性透明樹脂層と感光性黒色樹脂層
の二層構造からなることを特徴とする液晶表示装置。
1. A liquid crystal display device comprising: a liquid crystal layer; a pair of insulating substrates sandwiching the liquid crystal layer; and a spacer for defining a distance between the pair of insulating substrates. A liquid crystal display device having a two-layer structure of a resin layer and a photosensitive black resin layer.
【請求項2】 請求項1に記載の液晶表示装置におい
て、 一対の絶縁性基板の一方は、マトリクス状に形成された
スイッチング素子と、該スイッチング素子に制御電圧を
供給するゲート配線と、該ゲート配線に直交するように
形成され、かつ、スイッチング素子にデータ信号を供給
するソース配線と、を有しており、そして、スイッチン
グ素子、ゲート配線、ソース配線上に層間絶縁膜が形成
され、かつ、該層間絶縁膜を貫くコンタクトホールを介
してスイッチング素子と層間絶縁膜上の画素電極とが接
続されていることを特徴とする液晶表示装置。
2. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein one of the pair of insulating substrates includes a switching element formed in a matrix, a gate wiring for supplying a control voltage to the switching element, and the gate. A source wiring formed to be orthogonal to the wiring, and supplying a data signal to the switching element, and an interlayer insulating film is formed on the switching element, the gate wiring, and the source wiring, and A liquid crystal display device, wherein a switching element and a pixel electrode on the interlayer insulating film are connected via a contact hole penetrating the interlayer insulating film.
【請求項3】 請求項2記載の液晶表示装置において、 上記スペーサは、スイッチング素子上に位置しているこ
とを特徴とする液晶表示装置。
3. The liquid crystal display device according to claim 2, wherein the spacer is located on a switching element.
【請求項4】 請求項2記載の液晶表示装置において、 上記スペーサは、表示領域の周辺部に形成されているこ
とを特徴とする液晶表示装置。
4. The liquid crystal display device according to claim 2, wherein the spacer is formed at a peripheral portion of a display area.
【請求項5】 液晶層と、該液晶層を挟持する一対の絶
縁性基板と、該一対の絶縁性基板の間隔を規定するスペ
ーサと、を備える液晶表示装置を製造する方法におい
て、 前記一対の絶縁性基板の少なくとも一方に感光性透明樹
脂層を形成し、次に、その上に感光性黒色樹脂層を形成
して二層構造として、液晶層を挟持する一対の絶縁性基
板の間隔を規定するスペーサとする工程を有することを
特徴とする液晶表示装置の製造方法。
5. A method for manufacturing a liquid crystal display device comprising: a liquid crystal layer; a pair of insulating substrates sandwiching the liquid crystal layer; and a spacer for defining a distance between the pair of insulating substrates. A photosensitive transparent resin layer is formed on at least one of the insulating substrates, and then a photosensitive black resin layer is formed thereon to form a two-layer structure, defining a distance between a pair of insulating substrates sandwiching the liquid crystal layer. A method for manufacturing a liquid crystal display device, comprising a step of forming a spacer to be used.
【請求項6】 請求項5記載の液晶表示装置の製造方法
において、 上記一対の絶縁性基板の一方に、マトリクス状に形成さ
れたスイッチング素子と、該スイッチング素子を制御す
るゲート配線と、該ゲート配線に直交するように形成さ
れてスイッチング素子にデータ信号を供給するソース配
線と、を形成する工程と、さらに、前記スイッチング素
子、ゲート配線、ソース配線上に形成された層間絶縁膜
を貫くコンタクトホールを介して前記スイッチング素子
と層間絶縁膜上に形成された画素電極とを接続する工程
と、を有することを特徴とする液晶表示装置の製造方
法。
6. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 5, wherein a switching element formed in a matrix on one of the pair of insulating substrates, a gate wiring for controlling the switching element, and the gate. Forming a source line formed to be orthogonal to the wiring and supplying a data signal to the switching element; and a contact hole penetrating an interlayer insulating film formed on the switching element, the gate wiring, and the source wiring. Connecting the switching element and a pixel electrode formed on an interlayer insulating film via a semiconductor device.
【請求項7】 請求項6記載の液晶表示装置の製造方法
において、 上記スペーサをスイッチング素子上に位置するように形
成する工程を有することを特徴とする液晶表示装置の製
造方法。
7. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 6, further comprising the step of forming the spacer so as to be located on the switching element.
【請求項8】 請求項6記載の液晶表示装置の製造方法
において、 上記スペーサを表示領域の周辺部に形成する工程を有す
ることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
8. The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 6, further comprising the step of forming the spacer at a peripheral portion of a display area.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003186420A (en) * 2001-12-21 2003-07-04 Seiko Epson Corp Active matrix substrate, electro-optical device, method of manufacturing electro-optical device, and electronic apparatus

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