JP2001264267A

JP2001264267A - 基板検査装置

Info

Publication number: JP2001264267A
Application number: JP2000072849A
Authority: JP
Inventors: Takehiro Takahashi; 武博高橋
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2000-03-15
Filing date: 2000-03-15
Publication date: 2001-09-26
Anticipated expiration: 2020-03-15
Also published as: JP4436523B2

Abstract

(57)【要約】【課題】自動的に欠陥部分の大きさに応じて観察に適し
た表示倍率に拡大・縮小して表示する。【解決手段】画像取込部１からガラス基板３の画像デー
タ（回折画像データ、干渉画像データ）を画像処理部１
６で受け取って画像表示用ディスプレイ１４の画面上に
表示し、この画像上でオペレータにより指示された欠陥
部分を含む矩形領域Ｆを取得し、この矩形領域Ｆを画像
表示用ディスプレイ１４の画面上に表示するための任意
の大きさの欠陥表示用ウィンドウＷを作成して、この欠
陥表示用ウィンドウＷ内に矩形領域Ｆの画像を倍率変更
して表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶ディス
プレイに用いられるガラス基板や半導体ウエハなどの被
検査体を撮像してその画像をディスプレイ画面上に表示
して被検査体の検査を行う基板検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶ディスプレイの生産ラインでは、こ
の液晶ディスプレイに用いられるガラス基板のマクロ又
はミクロ検査が行われている。マクロ検査は、ガラス基
板上における欠陥部分として傷、異物、むら、汚れなど
をマクロ的に観察するもので、例えばガラス基板に対し
て斜め方向から照明光を照射し、オペレータの目視によ
りガラス基板上の欠陥を観察したり、又はガラス基板の
全体を撮像してその画像をディスプレイに表示し、この
表示画像を目視して観察している。

【０００３】そして、オペレータの目視によるガラス基
板上の欠陥の観察の結果から傷、異物、むら、汚れなど
の欠陥部分の情報を取りまとめ、最終的にガラス基板の
良否を判定する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このうちガラス基板の
全体を撮像して取得した画像をディスプレイ画面上に表
示して目視により観察する方法では、欠陥部分を検出す
ると、この欠陥部分の画像を拡大・縮小してディスプレ
イ画面上に表示して観察している。

【０００５】しかしながら、欠陥部分の大きさは、その
欠陥種類例えば傷、異物、むら、汚れごとに大きく異な
り、かつ同一種類の欠陥でもそれぞれ異なることがあ
る。このため従来では、各欠陥部分の画像をディスプレ
イ画面上に表示しながら観察に最適な倍率に拡大・縮小
して表示するために、表示倍率を変える操作が煩雑とな
り、拡大操作を誤ると、ディスプレイ画面上から欠陥部
分がはみ出てしまうことがある。

【０００６】そこで本発明は、自動的に欠陥部分の大き
さに応じて観察に適した表示倍率に拡大・縮小して表示
できる基板検査装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１記載による本発
明は、被検査体を撮像して取得された画像データをディ
スプレイ画面上に表示する画像表示手段と、ディスプレ
イ画面上の表示画像から欠陥部分を含む画像領域を取得
する画像領域取得手段と、画像領域をディスプレイ画面
上に表示するための任意の大きさのウィンドウを作成す
るウィンドウ作成手段と、ウィンドウ内に画像領域の画
像を倍率変更して表示するウィンドウ表示手段とを具備
した基板検査装置である。

【０００８】請求項２記載による本発明は、請求項１記
載の基板検査装置において、画像領域取得手段は、ディ
スプレイ画面上の表示画像に対する操作入力を受けて画
像領域を取得する機能、又は欠陥部分の座標に基づいて
画像領域を取得する機能のうちいずれか一方又は両方を
有するものである。

【０００９】請求項３記載による本発明は、請求項１記
載の基板検査装置において、ウィンドウ表示手段は、画
像領域の大きさとウィンドウの大きさとに基づいて画像
領域の倍率を算出する機能を有するものである。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。

【００１１】図１は基板検査装置の構成図である。画像
取込部１は、液晶ディスプレイに用いられるガラス基板
又は半導体ウエハなどの被検査体を撮像してその画像デ
ータを取得するものである。基板ステージ２上には、被
検査体としてガラス基板３が載置されている。この基板
ステージ２は、装置制御ユニット４の駆動制御によっ
て、後述するライン状の照明光のライン方向に対して垂
直方向に所定の速度で移動するものとなっている。

【００１２】ガラス基板３は、例えばパーソナルコンピ
ュータに用いる液晶ディスプレイの大きさを６面又は８
面取りした大きさである。

【００１３】基板ステージ２の上方には、ライン照明装
置５が配置されている。このライン照明装置５は、移動
するガラス基板３に対して斜め方向からライン状の照明
光６を照射するものである。又、ガラス基板３からの反
射光７の光路上には、ラインセンサ・カメラ８が配置さ
れている。このラインセンサ・カメラ８は、移動するガ
ラス基板３からの反射光７を逐次入射してその画像信号
を出力する機能を有している。

【００１４】画像処理ボード９は、ラインセンサ・カメ
ラ８から出力される画像信号を逐次入力し、１枚のガラ
ス基板３に対する画像の取り込みが終了したところでガ
ラス基板３の全面に対する画像データを作成する機能を
有している。

【００１５】ここで、画像取込部１は、画像データとし
て複数の画像データ、例えば回折画像データと干渉画像
データとを取得する機能を有している。このうち回折画
像データは、ガラス基板３に対して斜め方向から照明光
６を照射し、このときのガラス基板３の表面上の傷やご
みにより生じる散乱光をラインセンサ・カメラ８により
捉えて取得されるものである。干渉画像データは、レジ
ストが塗布されたガラス基板３に対して斜め方向から照
明光６を照射し、このときのレジスト表面からの反射光
とガラス基板３の表面からの反射光との干渉光をライン
センサ・カメラ８により捉えて取得される明暗の画像で
ある。

【００１６】演算・制御装置１０は、画像取込部１から
ガラス基板３の画像データ（回折画像データ、干渉画像
データ）を受け取り画像処理して画像表示用ディスプレ
イ１４に表示し、この表示画像上でオペレータにより指
示された欠陥部分を含む画像領域（矩形領域）を取得
し、この画像領域をディスプレイ画面上に拡大表示する
ための任意の大きさのウィンドウを作成して、このウィ
ンドウ内に画像領域の画像を倍率変更して表示するとい
う機能と、ガラス基板３の欠陥情報を登録し、この欠陥
情報に基づいてガラス基板３の良否判定を行うという一
連の演算・制御する機能とを有するもので、ユーザ・イ
ンターフェイスとしてのキーボード１１とマウス１２、
画像サーバ１３及び画像表示用ディスプレイ１４が接続
されている。

【００１７】図２はかかる演算・制御装置１０の具体的
な機能ブロック図である。画像取込部１のラインセンサ
・カメラ８から取り込んだ画像データは、画像処理ポー
ト９を介して演算・制御装置１０の画像メモリ１５に記
憶（展開）されるようになっている。

【００１８】画像処理部１６は、画像メモリ１５に記憶
された画像データを読み取り、この画像データを画像表
示用の映像信号に変換して画像表示用ディスプレイ１４
に表示出力する機能を有している。

【００１９】又、画像処理部１６は、キーボード１１又
はマウス１２からの操作信号を受けて、例えば図３に示
すようにポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４
の画面上で移動表示させ、かつこのポインタ１４ａの移
動表示により欠陥部分、例えば便宜上付された欠陥ラベ
ル「１」「２」又は「３」のうち欠陥ラベル「３」の欠
陥部分を含む矩形の画像領域（以下、矩形領域と称す
る）Ｆを取得する手動操作の画像領域取得手段としての
機能を有している。この場合、画像処理部１６は、矩形
領域Ｆ内の画像データを抜き取って画像メモリ１５に記
憶するようにしてもよい。

【００２０】この手動操作での矩形領域Ｆの設定は、オ
ペレータの手動によるポインタ１４ａの画像表示用ディ
スプレイ１４の画面上での移動により欠陥部分の大きさ
に応じたサイズ、すなわち拡大表示するのに最適なサイ
ズに設定できる。

【００２１】このように矩形領域Ｆが設定されると、画
像処理部１６は、矩形領域Ｆの座標から矩形領域Ｆのサ
イズ（Ｘ方向，Ｙ方向）をピクセル数で算出する機能を
有している。

【００２２】さらに、画像処理部１６は、ポインタ１４
ａの移動表示により例えば欠陥ラベル「３」の欠陥部分
が指示されると、この欠陥部分の重心の座標又は欠陥部
分領域の座標に基づいて矩形領域Ｆを自動的に取得する
画像領域取得手段としての機能を有している。

【００２３】なお、これら画像領域取得手段としての機
能は、手動操作又は自動のいずれか一方又は両方備えて
いてもよい。

【００２４】又、画像処理部１６は、キーボード１１又
はマウス１２からの操作信号を受けて、例えば図４に示
すようにポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４
の画面上で移動表示させ、かつこのポインタ１４ａの移
動により任意のサイズ、すなわち欠陥部分を拡大表示す
るのに最適なサイズの欠陥表示用ウィンドウＷを作成す
るウィンドウ作成手段としての機能を有している。

【００２５】この画像処理部１６のウィンドウ作成手段
は、既に作成済みの欠陥表示用ウィンドウＷをその座標
と共に欠陥情報メモリ２０に登録している。従って、こ
のウィンドウ作成手段は、欠陥情報メモリ２０に登録さ
れているサイズの異なる複数の欠陥表示用ウィンドウＷ
から選択して設定する機能を有している。この場合、ウ
ィンドウ作成手段は、欠陥情報メモリ２０に登録されて
いる複数の欠陥表示用ウィンドウＷを読み出して画像表
示用ディスプレイ１４の画面上に表示し、キーボード１
１又はマウス１２からの指示を受けて設定するものとな
っている。

【００２６】このように欠陥表示用ウィンドウＷが設定
されると、画像処理部１６は、この欠陥表示用ウィンド
ウＷの座標からそのサイズ（Ｘ方向，Ｙ方向）をピクセ
ル数で算出する機能を有している。

【００２７】又、画像処理部１６は、矩形領域Ｆのサイ
ズ（ピクセル数）と欠陥表示用ウィンドウＷのサイズ
（ピクセル数）とに基づいて欠陥表示用ウィンドウＷ内
に表示する矩形領域Ｆ内の画像データの倍率（Ｘ方向の
倍率，Ｙ方向の倍率）を算出し、この倍率で欠陥表示用
ウィンドウＷ内に矩形領域Ｆ内の画像を表示するウィン
ドウ表示手段としての機能を有している。

【００２８】又、画像処理部１６は、画像ファイル１８
に欠陥ラベル「１」「２」「３」の矩形領域Ｆ内の画像
データを保存すると共に、その各欠陥表示用ウィンドウ
Ｗの座標を欠陥情報メモリ２０に登録していれば、キー
ボード１１又はマウス１２の操作により指定された欠陥
ラベル「１」「２」又は「３」の拡大画像を画像表示用
ディスプレイ１４の画面上に自動的に表示する機能を有
している。

【００２９】又、画像処理部１６は、オペレータによる
キーボード１１又はマウス１２の操作入力によって、欠
陥部分の拡大画像を表示している状態から元の倍率のマ
クロ画像に戻す機能を有している。

【００３０】又、画像処理部１６は、例えば欠陥ラベル
「１」「２」「３」の順序で順次サイズの異なる欠陥表
示用ウィンドウＷに切り換えて、その欠陥表示用ウィン
ドウＷ内に各欠陥ラベル「１」「２」「３」の欠陥部分
の各拡大画像を所定周期で連続的に切り替えて表示する
機能を有している。

【００３１】画像保存検索部１７は、画像メモリ１５に
記憶された画像データを読み取り、この画像データから
画像ファイル１８を作成して画像サーバ１３に保存する
機能を有している。

【００３２】又、この画像保存検索部１７は、キーボー
ド１１又はマウス１２からの検索指示を受けて、複数保
存している画像ファイル１８のうち指示された画像ファ
イル１８を検索し読み出してその画像データを画像メモ
リ１５に記憶する機能を有している。

【００３３】一方、欠陥登録部１９は、キーボード１１
又はマウス１２からの操作信号を受け、ポインタ１４ａ
を画像表示用ディスプレイ１４の画面上で移動表示させ
て、このポインタ１４ａにより表示画像上で欠陥部分、
例えば欠陥ラベル「１」「２」又は「３」の欠陥部分を
指示すると、この指示した欠陥部分の欠陥情報、例えば
欠陥種類（傷、異物、むら、汚れ）、欠陥形状及び欠陥
位置（座標）を欠陥情報メモリ２０に登録する機能を有
している。

【００３４】この欠陥情報の登録方法は、例えばキーボ
ード１１又はマウス１２からの指示を受けた画像処理部
１６によって欠陥情報メモリ２０に記憶されている欠陥
登録ダイアログウィンドウ情報を読み出して図５に示す
ように画像表示用ディスプレイ１４に表示する。この欠
陥登録ダイアログウィンドウ２１は、欠陥種類（欠陥名
称）として予め傷、異物、むら、汚れなどが登録されて
おり、キーボード１１又はマウス１２の操作により選択
決定されるようになっている。

【００３５】又、キーボード１１又はマウス１２の操作
信号によりポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１
４の画面上で移動表示させることにより、欠陥ラベル
「１」「２」又は「３」の各欠陥部分の形状、欠陥位置
（座標）を指示できるようになっている。

【００３６】基板判定部２２は、欠陥情報メモリ２０に
登録された欠陥情報を読み込み、この欠陥情報から少な
くとも各欠陥種類（欠陥名称）別にその個数の集計を行
い、この集計結果に基づいてガラス基板３の良否、例え
ば良品、廃棄、リワーク（ガラス基板３の表面を削って
レジストをやり直す）を判定する機能を有している。

【００３７】欠陥情報保存検索部２３は、欠陥情報メモ
リ２０に登録されている欠陥種類（例えば傷、異物、む
ら、汚れ）と共に、基板判定部２２でのガラス基板３の
判定結果（例えば良品、廃棄、リワーク）を欠陥情報フ
ァイル２４として画像サーバ１３に保存する機能を有し
ている。

【００３８】又、この欠陥情報保存検索部２３は、キー
ボード１１又はマウス１２からの検索指示を受けて、複
数保存している欠陥情報ファイル２４のうち指示された
欠陥情報ファイル２４を検索し読み出してその欠陥情報
を欠陥情報メモリ２０に記憶する機能を有している。

【００３９】次に、上記の如く構成された装置の作用に
ついて図６に示す欠陥の自動拡大表示フローチャートに
従って説明する。

【００４０】画像取込部１における基板ステージ２上に
ガラス基板３が載置される。このガラス基板３に対して
斜め方向からライン照明装置５からのライン状の照明光
６が照射されると共に、基板ステージ２が装置制御ユニ
ット４の駆動制御によってライン状の照明光６のライン
方向に対して垂直方向に所定の速度で移動する。この状
態にラインセンサ・カメラ８は、移動するガラス基板３
からの反射光７を逐次入射してその画像信号を出力す
る。

【００４１】画像処理ボード９は、ラインセンサ・カメ
ラ８から出力される画像信号を逐次入力し、１枚のガラ
ス基板３に対する画像の取り込みが終了したところでガ
ラス基板３の全面に対する画像データを作成する。

【００４２】ここで、回折画像データと干渉画像データ
との２つの画像データを取得するために、画像取込部１
では、ガラス基板３に対して斜め方向から照明光６を照
射し、このときのガラス基板３の表面上の傷やごみによ
り生じる散乱光をラインセンサ・カメラ８により捉えて
回折画像データを取得し、又レジストが塗布されたガラ
ス基板３に対して斜め方向から照明光６を照射し、この
ときのレジスト表面からの反射光とガラス基板３の表面
からの反射光との干渉光をラインセンサ・カメラ８によ
り捉えて明暗の干渉画像データを取得する。以下、回折
画像データ、干渉画像データとして説明する。

【００４３】画像取込部１から回折画像データ、続いて
干渉画像データが演算・制御装置１０に送られると、こ
の演算・制御装置１０は、ステップ＃１において、回折
画像データ、続いて干渉画像データを新規画像データと
して取り込み、これら回折画像データ、続いて干渉画像
データを画像メモリ１５に記憶（展開）する。

【００４４】次に、画像保存検索部１７は、ステップ＃
２において、画像メモリ１５に記憶された回折画像デー
タ及び干渉画像データを読み取り、これら回折画像デー
タ及び干渉画像データからそれぞれ画像ファイル１８を
作成して画像サーバ１３に保存する。

【００４５】次に、画像処理部１６は、ステップ＃３に
おいて、画像メモリ１５に記憶された回折画像データ、
干渉画像データを読み取り、これら回折画像データ及び
干渉画像データを画像表示用の映像信号に変換して画像
表示用ディスプレイ１４に表示出力する。なお、画像表
示用ディスプレイ１４の画面上には、回折画像データ又
は干渉画像データのいずれか一方又は両方を表示させる
ようにしてよい。

【００４６】次に、演算・制御装置１０は、ステップ＃
４において、現在、画像表示用ディスプレイ１４の画面
上に表示されている回折画像データ又は干渉画像データ
のいずれか一方又は両方の欠陥情報が欠陥情報ファイル
２４に保存されているか否かを判断する。

【００４７】ここで、現在、画像表示用ディスプレイ画
面上に表示されている回折画像データ又は干渉画像デー
タは、いずれも新規の画像であるので、演算・制御装置
１０は、ステップ＃６に移り、欠陥情報の入力を行うか
否かを判断する。これら回折画像データ又は干渉画像デ
ータは、いずれも新規の画像であるので、キーボード１
１又はマウス１２から欠陥情報の入力を行う指示が入力
される。

【００４８】次に、演算・制御装置１０は、ステップ＃
７において欠陥情報の保存を行う。このとき、画像処理
部１６は、画像表示用ディスプレイ１４の画面上に回折
画像データ又は干渉画像データのいずれか一方又は両方
を表示すると共に、キーボード１１又はマウス１２の操
作により移動可能にポインタ１４ａを表示している。

【００４９】又、キーボード１１又はマウス１２から欠
陥登録の指示を受けた画像処理部１６は、欠陥情報メモ
リ２０に記憶されている欠陥登録ダイアログウィンドウ
情報を読み出して図５に示すように画像表示用ディスプ
レイ１４の画面上に欠陥登録ダイアログウィンドウ２１
を表示する。

【００５０】この表示状態に、キーボード１１又はマウ
ス１２の操作によりポインタ１４ａを画像表示用ディス
プレイ１４の画面上で移動表示させ、例えば各欠陥ラベ
ル「１」「２」又は「３」の各欠陥部分の形状、欠陥位
置（座標）を指示する。このように画像表示用ディスプ
レイ１４の画面上でポインタ１４ａを移動させて欠陥部
分の形状、欠陥位置を指示すれば、欠陥登録部１９は、
それらの座標が回折画像データ上、干渉画像データ上に
おいて対応できる。

【００５１】又、例えば、欠陥ラベル「１」について
は、画像表示用ディスプレイ１４の画面上の欠陥登録ダ
イアログウィンドウ２１において欠陥種類としてむらが
選択決定され、欠陥ラベル「２」については傷、欠陥ラ
ベル「３」についてはごみが選択決定される。

【００５２】この後、欠陥種類（欠陥名称）の選択決
定、欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）が指示された
後に、登録ダイアログウィンドウ２１上の登録ボタンが
操作されると、欠陥登録部１９は、これら欠陥種類（欠
陥名称）、欠陥部分の形状及び欠陥位置（座標）を欠陥
情報メモリ２０に登録する。なお、これら欠陥情報は、
回折画像データと干渉画像データとのそれぞれに対して
登録される。

【００５３】次に、画像処理部１６は、ステップ＃８に
おいて、キーボード１１又はマウス１２からの操作信号
を受け、図３に示すようにポインタ１４ａを画像表示用
ディスプレイ１４の画面上で移動表示させて、このポイ
ンタ１４ａにより表示画像上で欠陥部分、例えば欠陥ラ
ベル「１」「２」又は「３」の欠陥部分を指示し、これ
ら欠陥ラベル「１」「２」又は「３」の欠陥部分が現在
入力中の欠陥部分であるか、又は既に登録済みの欠陥部
分であるのかを選択する。

【００５４】次に、登録されていない欠陥に対し、画像
処理部１６は、ステップ＃９において、オペレータの手
動操作によるキーボード１１又はマウス１２からの操作
信号を受けて、例えば図３に示すようにポインタ１４ａ
を画像表示用ディスプレイ１４の画面上で移動表示さ
せ、かつこのポインタ１４ａの移動表示により欠陥部
分、例えば欠陥ラベル「１」「２」又は「３」のうち欠
陥ラベル「３」の欠陥部分を含む矩形領域Ｆを取得す
る。このとき、矩形領域Ｆは、オペレータの手動により
欠陥部分が完全に含まれる大きさ、すなわち欠陥部分に
ほぼ外接するサイズに設定される。

【００５５】このように矩形領域Ｆが設定されると、画
像処理部１６は、矩形領域Ｆの座標から矩形領域Ｆのサ
イズ（Ｘ方向，Ｙ方向）をピクセル数で算出する。例え
ば、矩形領域Ｆのサイズは、（Ｘ：５０ピクセル，Ｙ：
５０ピクセル）である。

【００５６】矩形領域Ｆを自動的に取得する場合、ポイ
ンタ１４ａの移動表示により例えば欠陥ラベル「３」の
欠陥部分が指示されると、画像処理部１６は、この欠陥
部分の重心の座標又は欠陥部分領域の座標に基づいて矩
形領域Ｆを自動的に取得するものとなる。

【００５７】次に、演算・制御装置１０は、ステップ＃
１０において、欠陥表示用ウィンドウＷを新規作成する
か、又は既存の欠陥表示用ウィンドウＷを用いるかを判
断する。オペレータによりキーボード１１又はマウス１
２への操作により新規作成が指示されると、画像処理部
１６は、ステップ＃１１において、キーボード１１又は
マウス１２からの操作信号を受けて、例えば図４に示す
ようにポインタ１４ａを画像表示用ディスプレイ１４の
画面上で移動表示させ、かつこのポインタ１４ａの移動
により任意のサイズ、すなわち欠陥部分を拡大表示する
のに最適なサイズの欠陥表示用ウィンドウＷを作成す
る。

【００５８】この欠陥表示用ウィンドウＷが設定される
と、画像処理部１６は、この欠陥表示用ウィンドウＷの
座標からそのサイズ（Ｘ方向，Ｙ方向）をピクセル数で
算出する。例えば、新規作成された欠陥表示用ウィンド
ウＷのサイズは、（Ｘ：５００ピクセル，Ｙ：１０００
ピクセル）である。

【００５９】一方、既存の欠陥表示用ウィンドウＷを用
いる場合、画像処理部１６は、ステップ＃１２におい
て、欠陥情報メモリ２０に登録されているサイズの異な
る複数の欠陥表示用ウィンドウＷを読み出して画像表示
用ディスプレイ１４の画面上に表示し、オペレータの操
作によるキーボード１１又はマウス１２からの指示を受
けて選択された欠陥表示用ウィンドウＷを設定するもの
となる。例えば、既存の欠陥表示用ウィンドウＷのサイ
ズは、（Ｘ：２５０ピクセル，Ｙ：２５０ピクセル）で
ある。

【００６０】次に、画像処理部１６は、ステップ＃１３
において、矩形領域Ｆのサイズ（例えばＸ：５０ピクセ
ル，Ｙ：５０ピクセル）と欠陥表示用ウィンドウＷのサ
イズ（ピクセル数）とに基づいて欠陥表示用ウィンドウ
Ｗ内に表示する矩形領域Ｆ内の画像データの倍率（Ｘ方
向の倍率，Ｙ方向の倍率）を算出する。例えば、新規作
成された欠陥表示用ウィンドウＷ（Ｘ：５００ピクセ
ル，Ｙ：１０００ピクセル）の場合は、Ｘ倍率＝５００／５０＝１０倍Ｙ倍率＝１０００／５０＝２０倍となるが、小さい方の倍率を取って拡大倍率１０倍とす
る。

【００６１】又、既存の欠陥表示用ウィンドウＷ（Ｘ：
２５０ピクセル，Ｙ：２５０ピクセル）の場合は、Ｘ倍率＝２５０／５０＝５倍Ｙ倍率＝２５０／５０＝５倍となり、拡大倍率５倍とする。

【００６２】次に、画像処理部１６は、ステップ＃１４
において、画像表示用ディスプレイ１４の画面上に、新
規作成又は既存の欠陥表示用ウィンドウＷを設定し、こ
の欠陥表示用ウィンドウＷ内に拡大した例えば欠陥ラベ
ル「３」の欠陥部分を表示する。

【００６３】なお、矩形領域Ｆのサイズが欠陥表示用ウ
ィンドウＷのサイズよりも大きければ、矩形領域Ｆ内の
画像を縮小して欠陥表示用ウィンドウＷ内に表示するも
のとなる。

【００６４】次に、画像処理部１６は、ステップ＃１５
において、他の欠陥部分（欠陥ラベル「１」「２」）を
選択するか否かを判断し、オペレータによるキーボード
１１又はマウス１２の操作入力によって他の欠陥部分を
選択するのであれば、再びステップ＃８に戻って欠陥部
分の選択を行い、次に新規作成又は既存の欠陥表示用ウ
ィンドウＷを設定し、次に画像の拡大倍率を算出して画
像表示用ディスプレイ１４の画面上に表示する。

【００６５】このように例えば各欠陥ラベル「１」
「２」「３」の欠陥部分の各矩形領域Ｆを設定してその
画像データを画像ファイル１８に保存し、かつこれら欠
陥部分に対してそれぞれ異なるサイズの各欠陥表示用ウ
ィンドウＷを設定しその座標を欠陥情報メモリ２０の登
録しておけば、図３に示すように画像表示用ディスプレ
イ１４の画面上に回折画像データ又は干渉画像データを
表示し、キーボード１１又はマウス１２の操作により欠
陥ラベル「１」「２」又は「３」を拡大表示することを
指示すれば、画像処理部１６は、画像表示用ディスプレ
イ１４の画面上に、図７に示すような欠陥ラベル「３」
の欠陥部分の拡大画像を自動的に表示する。

【００６６】又、画像表示用ディスプレイ１４の画面上
に欠陥ラベル「３」の欠陥部分の拡大画像を表示してい
る状態に、オペレータによるキーボード１１又はマウス
１２の操作入力によって元の倍率の画像に戻す指示を入
力すると、画像処理部１６は、欠陥ラベル「３」の欠陥
部分を有する元の画像データ（回折画像データ又は干渉
画像データ）を認識しているので、欠陥ラベル「３」の
欠陥部分の拡大画像から元の倍率の画像（回折画像デー
タ又は干渉画像データ）に戻す。

【００６７】又、複数の欠陥部分（欠陥ラベル「１」
「２」「３」）に対する各矩形領域Ｆ内の画像データと
その各欠陥表示用ウィンドウＷが設定されていれば、オ
ペレータによるキーボード１１又はマウス１２の操作入
力によって連続表示が指示されると、画像処理部１６
は、例えば欠陥ラベル「１」「２」「３」の順序で順次
サイズの異なる欠陥表示用ウィンドウＷに切り換えて、
その欠陥表示用ウィンドウＷ内に各欠陥ラベル「１」
「２」「３」の欠陥部分の各拡大画像を所定周期で切り
替えて表示する。

【００６８】この後、再びステップ＃６に戻って欠陥情
報の入力を行うか否かを判断する。

【００６９】一方、基板判定部２２は、上記ステップ＃
７において欠陥情報メモリ２０に登録された欠陥情報を
読み込み、この欠陥情報から少なくとも各欠陥種類（欠
陥名称）別にその個数の集計を行い、この集計結果に基
づいてガラス基板３の良否、例えば良品、廃棄、リワー
ク（ガラス基板３の表面を削ってレジストをやり直す）
を判定する。

【００７０】このガラス基板３の良否判定が終了する
と、欠陥情報保存検索部２３は、欠陥情報メモリ２０に
登録されている欠陥種類（例えば傷、異物、むら、汚
れ）と共に、基板判定部２２でのガラス基板３の判定結
果（例えば良品、廃棄、リワーク）を欠陥情報ファイル
２４として画像サーバ１３に保存する。

【００７１】そして、画像の取り込み・検索を繰り返さ
なければ、演算・制御装置１０は、システム終了を判断
する。

【００７２】なお、ステップ＃５における画像合成は、
画像処理部１６により欠陥情報メモリ２０に記憶されて
いる欠陥情報を、任意の画像データ、例えば回折画像デ
ータ、干渉画像データ又は他の画像データに重ね合せて
画像表示用ディスプレイ１４の画面上に合成表示するも
のである。

【００７３】このように上記一実施の形態においては、
画像取込部１からガラス基板３の画像データ（回折画像
データ、干渉画像データ）を画像表示用ディスプレイ１
４に表示させた画像上でオペレータにより指示された欠
陥部分を含む矩形領域Ｆを取得し、この矩形領域Ｆをデ
ィスプレイ画面上に拡大・縮小表示するための任意の大
きさの欠陥表示用ウィンドウＷを作成して、この欠陥表
示用ウィンドウＷ内に矩形領域Ｆの画像を倍率変更して
表示するようにしたので、自動的に欠陥ラベル「１」
「２」又は「３」の欠陥部分の大きさに応じて最適な拡
大画像を欠陥表示用ウィンドウＷ内に表示できる。

【００７４】従って、欠陥部分の大きさは、その欠陥種
類例えば傷、異物、むら、汚れごとに異なり、かつ同一
種類の欠陥でもそれぞれ異なるが、これら欠陥部分に対
して観察しやすい倍率に拡大して自動的に画像表示用デ
ィスプレイ１４上に表示することができ、かつその操作
も簡単で、観察中の各欠陥部分ごとの拡大・縮小の操作
を軽減できる。

【００７５】むらや汚れなどの欠陥は、傷や異物などの
微小欠陥に比べて非常に大きく、このような場合には、
欠陥表示用ウィンドウＷ内に納まる大きさに縮小するこ
とが望ましい。

【００７６】この場合、欠陥表示用ウィンドウＷは、新
規作成により任意のサイズに設定できるので、欠陥部分
の拡大・縮小倍率を観察に最適な倍率に設定できる。こ
のとき、欠陥表示用ウィンドウＷのサイズを矩形領域Ｆ
のサイズよりも小さく設定すれば、矩形領域Ｆ内の画像
を縮小して欠陥表示用ウィンドウＷ内に表示できる。

【００７７】又、例えば、各欠陥ラベル「１」「２」
「３」の欠陥部分の各矩形領域Ｆを設定してその画像デ
ータを画像ファイル１８に保存し、かつこれら欠陥部分
に対してそれぞれ異なるサイズの各欠陥表示用ウィンド
ウＷを設定しその座標を欠陥情報メモリ２０に登録する
ので、この後は、キーボード１１又はマウス１２の操作
により欠陥ラベル「１」「２」又は「３」を拡大表示す
ることを指示するだけで、画像表示用ディスプレイ１４
の画面上に欠陥ラベル「１」「２」又は「３」の欠陥部
分が観察に最適な拡大・縮小画像で画像表示用ディスプ
レイ１４上に自動的に表示できる。

【００７８】又、画像表示用ディスプレイ１４の画面上
に例えば欠陥ラベル「３」の欠陥部分の拡大画像を表示
している状態からオペレータの指示によって、欠陥ラベ
ル「３」の欠陥部分を有する元の倍率の画像データ（回
折画像データ又は干渉画像データ）の表示に何時でも戻
すことができる。

【００７９】又、オペレータによるキーボード１１又は
マウス１２の操作入力によって、例えば欠陥ラベル
「１」「２」「３」の順序で順次サイズの異なる欠陥表
示用ウィンドウＷに切り換えて、その欠陥表示用ウィン
ドウＷ内に欠陥ラベル「１」「２」「３」の欠陥部分の
拡大・縮小画像を連続的に所定周期で切り替えて表示で
きる。

【００８０】さらに、拡大・縮小表示した欠陥ラベル
「１」「２」又は「３」の欠陥部分に対する欠陥情報を
欠陥情報ファイル２４から読み出せば、欠陥部分の拡大
・縮小画像と共に、その欠陥情報（欠陥種類、欠陥部分
の形状及び欠陥位置）を表示できる。

【００８１】なお、本発明は、上記一実施の形態に限定
されるものでなく次の通りに変形してもよい。

【００８２】上記一実施の形態では、液晶ディスプレイ
に用いられるガラス基板のマクロ観察に適用した場合に
ついて説明したが、これに限らず各種被検査体の所望部
分の拡大画像を得るときに適用できる。

【００８３】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、自
動的に欠陥部分の大きさに応じて観察に適した表示倍率
に拡大・縮小して表示できる基板検査装置を提供でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態を
示す構成図。

【図２】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おける演算・制御装置の具体的な機能ブロック図。

【図３】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おける矩形領域の作成を示す図。

【図４】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おける欠陥表示用ウィンドウの作成を示す図。

【図５】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おける欠陥登録ダイヤブロックを示す図。

【図６】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おける欠陥の自動拡大表示フローチャート。

【図７】本発明に係わる基板検査装置の一実施の形態に
おける欠陥表示用ウィンドウ内で拡大表示した欠陥部分
を示す図。

【符号の説明】

１：画像取込部２：基板ステージ３：ガラス基板４：装置制御ユニット５：ライン照明装置８：ラインセンサ・カメラ９：画像処理ボード１０：演算・制御装置１１：キーボード１２：マウス１３：画像サーバ１４：画像表示用ディスプレイ１４ａ：ポインタ１５：画像メモリ１６：画像処理部１７：画像保存検索部１８：画像ファイル１９：欠陥登録部２０：欠陥情報メモリ２１：欠陥登録ダイアログウィンドウ２２：基板判定部２３：欠陥情報保存検索部２４：欠陥情報ファイル

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査体を撮像して取得された画像デー
タをディスプレイ画面上に表示する画像表示手段と、前記ディスプレイ画面上の表示画像から欠陥部分を含む
画像領域を取得する画像領域取得手段と、前記画像領域を前記ディスプレイ画面上に表示するため
の任意の大きさのウィンドウを作成するウィンドウ作成
手段と、前記ウィンドウ内に前記画像領域の画像を倍率変更して
表示するウィンドウ表示手段と、を具備したことを特徴
とする基板検査装置。
【請求項２】前記画像領域取得手段は、前記ディスプ
レイ画面上の表示画像に対する操作入力を受けて前記画
像領域を取得する機能、又は前記欠陥部分の座標に基づ
いて前記画像領域を取得する機能のうちいずれか一方又
は両方を有することを特徴とする請求項１記載の基板検
査装置。
【請求項３】前記ウィンドウ表示手段は、前記画像領
域の大きさと前記ウィンドウの大きさとに基づいて前記
画像領域の倍率を算出する機能を有することを特徴とす
る請求項１記載の基板検査装置。