JP2001260349A - 圧電式インクジェットプリンタヘッドにおけるプレート型圧電アクチェータ及びその製造方法 - Google Patents
圧電式インクジェットプリンタヘッドにおけるプレート型圧電アクチェータ及びその製造方法Info
- Publication number
- JP2001260349A JP2001260349A JP2000072678A JP2000072678A JP2001260349A JP 2001260349 A JP2001260349 A JP 2001260349A JP 2000072678 A JP2000072678 A JP 2000072678A JP 2000072678 A JP2000072678 A JP 2000072678A JP 2001260349 A JP2001260349 A JP 2001260349A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- piezoelectric actuator
- electrode
- electrodes
- material sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 30
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 49
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 19
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 12
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 4
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 241001122767 Theaceae Species 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ノズル１５ごとの圧力室１６を備えた金属製
のキャビティープレート１０と、前記各圧力室１６ごと
の駆動電極２４を形成したプレート型の圧電アクチェー
タ２０とを積層して成る圧電式インクジェットプリンタ
ヘッドにおいて、前記圧電アクチェータの側面２０ｃ
に、前記各駆動電極２４から引き出した側面電極３２を
形成する場合に、この側面電極３２に損傷が発生するこ
とを確実に低減する。 【解決手段】 前記圧電アクチェータ２０の側面２０ｃ
に、凹み溝３０を設けて、この凹み溝３０内に、前記側
面電極３２を形成する。
のキャビティープレート１０と、前記各圧力室１６ごと
の駆動電極２４を形成したプレート型の圧電アクチェー
タ２０とを積層して成る圧電式インクジェットプリンタ
ヘッドにおいて、前記圧電アクチェータの側面２０ｃ
に、前記各駆動電極２４から引き出した側面電極３２を
形成する場合に、この側面電極３２に損傷が発生するこ
とを確実に低減する。 【解決手段】 前記圧電アクチェータ２０の側面２０ｃ
に、凹み溝３０を設けて、この凹み溝３０内に、前記側
面電極３２を形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電式のインクジ
ェットプリンタヘッドにおいて、この印字駆動に使用さ
れるプレート型の圧電アクチェータと、これを製造する
方法とに関するものである。
ェットプリンタヘッドにおいて、この印字駆動に使用さ
れるプレート型の圧電アクチェータと、これを製造する
方法とに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】先行技術としての米国特許第５，４０
２，１５９号明細書は、複数個のノズル及びこの各ノズ
ルごとの圧力室を備えたキャビティープレートと、前記
各圧力室ごとに形成された駆動電極及び隣接する圧力室
に共通するコモン電極により圧電シートを挟んで積層し
たプレート型の圧電アクチェータとからなり、この圧電
アクチェータを、前記キャビティープレートに、当該圧
電アクチェータにおける各駆動電極が各圧力室に対応す
るように積層してなる圧電式インクジェットプリンタヘ
ッドを提案している。
２，１５９号明細書は、複数個のノズル及びこの各ノズ
ルごとの圧力室を備えたキャビティープレートと、前記
各圧力室ごとに形成された駆動電極及び隣接する圧力室
に共通するコモン電極により圧電シートを挟んで積層し
たプレート型の圧電アクチェータとからなり、この圧電
アクチェータを、前記キャビティープレートに、当該圧
電アクチェータにおける各駆動電極が各圧力室に対応す
るように積層してなる圧電式インクジェットプリンタヘ
ッドを提案している。
【０００３】また、この先行技術の圧電式インクジェッ
トプリンタヘッドにおいては、前記米国特許第５，４０
２，１５９号明細書におけるＦＩＧ．１５に記載されて
いるように、前記圧電アクチェータにおける表裏両表面
と直交する側面に、少なくとも前記各駆動電極に電気的
に導通する側面電極を、金属の真空蒸着又はスパッタリ
ング、或いは導電性ペーストの塗布等にて形成して、前
記各駆動電極を、この各側面電極を介して外部に接続す
るように構成している。
トプリンタヘッドにおいては、前記米国特許第５，４０
２，１５９号明細書におけるＦＩＧ．１５に記載されて
いるように、前記圧電アクチェータにおける表裏両表面
と直交する側面に、少なくとも前記各駆動電極に電気的
に導通する側面電極を、金属の真空蒸着又はスパッタリ
ング、或いは導電性ペーストの塗布等にて形成して、前
記各駆動電極を、この各側面電極を介して外部に接続す
るように構成している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この先行技術
のプレート型圧電アクチェータのように、その表裏両表
面と直交する側面に、各駆動電極に対する外部への接続
用の側面電極を、金属の真空蒸着又はスパッタリング、
或いは導電性ペーストの塗布等にて形成した場合、この
側面電極は、圧電アクチェータの側面から突出している
ことにより、圧電アクチェータの製造中とか、この圧電
アクチェータの組み立て中に、前記側面電極にハンドラ
ー又は治具等が接触して、これを損傷するおそれが大き
く、圧電アクチェータの製造に際しての不良品の発生率
が、前記側面電極が損傷し易いことに起因して、高くな
るという問題があった。
のプレート型圧電アクチェータのように、その表裏両表
面と直交する側面に、各駆動電極に対する外部への接続
用の側面電極を、金属の真空蒸着又はスパッタリング、
或いは導電性ペーストの塗布等にて形成した場合、この
側面電極は、圧電アクチェータの側面から突出している
ことにより、圧電アクチェータの製造中とか、この圧電
アクチェータの組み立て中に、前記側面電極にハンドラ
ー又は治具等が接触して、これを損傷するおそれが大き
く、圧電アクチェータの製造に際しての不良品の発生率
が、前記側面電極が損傷し易いことに起因して、高くな
るという問題があった。
【０００５】本発明は、このような問題を解消したプレ
ート型の圧電アクチェータと、この圧電アクチェータを
低コストで製造できる方法とを提供することを技術的課
題とするものである。
ート型の圧電アクチェータと、この圧電アクチェータを
低コストで製造できる方法とを提供することを技術的課
題とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明の圧電アクチェータは、請求項１に記載し
たように、「複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧
力室を備えたキャビティープレートと、前記各圧力室ご
との駆動電極及び隣接する圧力室に共通するコモン電極
を圧電シートを挟んで積層したプレート型の圧電アクチ
ェータとからなり、この圧電アクチェータを、前記キャ
ビティープレートに、当該圧電アクチェータにおける各
駆動電極が各圧力室に対応するように積層してなる圧電
式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電ア
クチェータのうち表裏両表面と直交する側面に、少なく
とも前記各駆動電極を露出する凹み溝が設けられ、この
凹み溝内に、前記駆動電極に電気的に導通する側面電極
が形成されている。」ことを特徴とする。
るため本発明の圧電アクチェータは、請求項１に記載し
たように、「複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧
力室を備えたキャビティープレートと、前記各圧力室ご
との駆動電極及び隣接する圧力室に共通するコモン電極
を圧電シートを挟んで積層したプレート型の圧電アクチ
ェータとからなり、この圧電アクチェータを、前記キャ
ビティープレートに、当該圧電アクチェータにおける各
駆動電極が各圧力室に対応するように積層してなる圧電
式インクジェットプリンタヘッドにおいて、前記圧電ア
クチェータのうち表裏両表面と直交する側面に、少なく
とも前記各駆動電極を露出する凹み溝が設けられ、この
凹み溝内に、前記駆動電極に電気的に導通する側面電極
が形成されている。」ことを特徴とする。
【０００７】また、本発明における第１の製造方法は、
請求項３に記載したように、「少なくとも、一つの圧電
アクチェータを構成する圧電シートの複数個を並べて一
体化した第１素材シートにおける表面のうち前記各圧電
シートの箇所に複数個の駆動電極を形成する工程と、同
じく一つの圧電アクチェータを構成する圧電シートの複
数個を並べて一体化した第２素材シートにおける表面の
うち前記各圧電シートの箇所に前記駆動電極の複数個に
対応するコモン電極を形成する工程と、前記第１素材シ
ート及び第２素材シートの少なくとも一枚ずつを交互に
積層して一体化する工程と、前記第１素材シート及び第
２素材シートのうち前記各圧電シート間の境界線上で且
つ前記各駆動電極の部分に貫通孔を、この貫通孔内に駆
動電極が露出するように穿設する工程と、前記積層した
積層体を前記境界線に沿って各圧電アクチェータごとに
切断する工程と、前記貫通孔内に側面電極を前記駆動電
極に電気的に導通するように形成する工程とからな
る。」ことを特徴とする。
請求項３に記載したように、「少なくとも、一つの圧電
アクチェータを構成する圧電シートの複数個を並べて一
体化した第１素材シートにおける表面のうち前記各圧電
シートの箇所に複数個の駆動電極を形成する工程と、同
じく一つの圧電アクチェータを構成する圧電シートの複
数個を並べて一体化した第２素材シートにおける表面の
うち前記各圧電シートの箇所に前記駆動電極の複数個に
対応するコモン電極を形成する工程と、前記第１素材シ
ート及び第２素材シートの少なくとも一枚ずつを交互に
積層して一体化する工程と、前記第１素材シート及び第
２素材シートのうち前記各圧電シート間の境界線上で且
つ前記各駆動電極の部分に貫通孔を、この貫通孔内に駆
動電極が露出するように穿設する工程と、前記積層した
積層体を前記境界線に沿って各圧電アクチェータごとに
切断する工程と、前記貫通孔内に側面電極を前記駆動電
極に電気的に導通するように形成する工程とからな
る。」ことを特徴とする。
【０００８】更にまた、本発明における第２の製造方法
は、請求項４に記載したように、「少なくとも、一つの
圧電アクチェータを構成する圧電シートの複数個を並べ
て一体化した第１素材シートにおける表面のうち前記各
圧電シートの箇所に複数個の駆動電極を形成する工程
と、同じく一つの圧電アクチェータを構成する圧電シー
トの複数個を並べて一体化した第２素材シートにおける
表面のうち前記各圧電シートの箇所に前記駆動電極の複
数個に対応するコモン電極を形成する工程と、一つの圧
電アクチェータを構成する絶縁シートの複数個を並べて
一体化した第３素材シートにおける表面のうち前記各絶
縁シートの箇所に前記各駆動電極の各々に対応する表面
電極を形成する工程と、前記第１素材シート及び第２素
材シートの少なくとも一枚ずつを交互に積層し、これに
前記第３素材シートを積層して一体化する工程と、前記
第１素材シート、第２素材シート及び第３素材シートの
うち前記各圧電シート及び絶縁シート間の境界線上で且
つ前記各駆動電極の部分に貫通孔を、この貫通孔内に駆
動電極が露出するように穿設する工程と、前記積層した
積層体を前記境界線に沿って各圧電アクチェータごとに
切断する工程と、前記貫通孔内に側面電極を前記駆動電
極と前記表面電極とに電気的に導通するように形成する
工程とからなる。」ことを特徴とする。
は、請求項４に記載したように、「少なくとも、一つの
圧電アクチェータを構成する圧電シートの複数個を並べ
て一体化した第１素材シートにおける表面のうち前記各
圧電シートの箇所に複数個の駆動電極を形成する工程
と、同じく一つの圧電アクチェータを構成する圧電シー
トの複数個を並べて一体化した第２素材シートにおける
表面のうち前記各圧電シートの箇所に前記駆動電極の複
数個に対応するコモン電極を形成する工程と、一つの圧
電アクチェータを構成する絶縁シートの複数個を並べて
一体化した第３素材シートにおける表面のうち前記各絶
縁シートの箇所に前記各駆動電極の各々に対応する表面
電極を形成する工程と、前記第１素材シート及び第２素
材シートの少なくとも一枚ずつを交互に積層し、これに
前記第３素材シートを積層して一体化する工程と、前記
第１素材シート、第２素材シート及び第３素材シートの
うち前記各圧電シート及び絶縁シート間の境界線上で且
つ前記各駆動電極の部分に貫通孔を、この貫通孔内に駆
動電極が露出するように穿設する工程と、前記積層した
積層体を前記境界線に沿って各圧電アクチェータごとに
切断する工程と、前記貫通孔内に側面電極を前記駆動電
極と前記表面電極とに電気的に導通するように形成する
工程とからなる。」ことを特徴とする。
【０００９】
【発明の作用・効果】本発明の圧電アクチェータのよう
に、各側面電極が、側面に設けた凹み溝内に形成すると
いう構成であると、各側面電極を、側面から突出しない
ようにできるか、或いは、側面からの突出を小さくする
ことができる。
に、各側面電極が、側面に設けた凹み溝内に形成すると
いう構成であると、各側面電極を、側面から突出しない
ようにできるか、或いは、側面からの突出を小さくする
ことができる。
【００１０】従って、本発明によると、圧電アクチェー
タの製造中とか、この圧電アクチェータの組み立て中
に、その側面電極にハンドラー又は治具等が接触するこ
とに起因して、前記各側面電極を損傷することを確実に
低減できる効果を有する。
タの製造中とか、この圧電アクチェータの組み立て中
に、その側面電極にハンドラー又は治具等が接触するこ
とに起因して、前記各側面電極を損傷することを確実に
低減できる効果を有する。
【００１１】また、請求項２に記載したように、前記圧
電アクチェータのうちキャビティープレートが接触する
表面と反対側の表面に、前記各側面電極に電気的に導通
する表面電極を設ける。
電アクチェータのうちキャビティープレートが接触する
表面と反対側の表面に、前記各側面電極に電気的に導通
する表面電極を設ける。
【００１２】これにより、前記圧電アクチェータのうち
キャビティープレートが接触する表面と反対側の表面に
対して、外部機器に対する接続用のフレキシブルフラッ
トケーブルを重ねて押圧することで、このフレキシブル
フラットケーブルにおける各配線パターンを、前記各表
面電極に対して、簡単な構造で確実に接続することがで
きる。
キャビティープレートが接触する表面と反対側の表面に
対して、外部機器に対する接続用のフレキシブルフラッ
トケーブルを重ねて押圧することで、このフレキシブル
フラットケーブルにおける各配線パターンを、前記各表
面電極に対して、簡単な構造で確実に接続することがで
きる。
【００１３】次に、請求項３に記載した第１の製造方法
によると、圧電アクチェータの側面に凹み溝を設けるこ
とが、貫通孔を穿設することで簡単に設けることができ
ると共に、圧電アクチェータの複数個を同時に製造でき
るから、前記した機能を有する圧電アクチェータを、低
コストで製造できる。
によると、圧電アクチェータの側面に凹み溝を設けるこ
とが、貫通孔を穿設することで簡単に設けることができ
ると共に、圧電アクチェータの複数個を同時に製造でき
るから、前記した機能を有する圧電アクチェータを、低
コストで製造できる。
【００１４】この場合、前記凹み溝内への側面電極の形
成は、請求項５に記載したように、積層体を各圧電アク
チェータごとに切断した後で行うようにしても良いが、
これを、請求項６に記載したように、前記貫通孔内に側
面電極用の導電性ペーストを充填し、この充填物を各圧
電アクチェータごとの切断と同時に切断するという方法
で行うことで、コストをより低減することができる。
成は、請求項５に記載したように、積層体を各圧電アク
チェータごとに切断した後で行うようにしても良いが、
これを、請求項６に記載したように、前記貫通孔内に側
面電極用の導電性ペーストを充填し、この充填物を各圧
電アクチェータごとの切断と同時に切断するという方法
で行うことで、コストをより低減することができる。
【００１５】また、請求項４に記載した第２の製造方法
によると、前記請求項２にした構成の圧電アクチェータ
を、第１の製造方法と同様に、低コストで製造できる。
によると、前記請求項２にした構成の圧電アクチェータ
を、第１の製造方法と同様に、低コストで製造できる。
【００１６】特に、この第２の製造方法は、これに、請
求項７に記載したように、各表面電極の相互間を電気的
に接続する電極パターンを形成する工程、前記各表面電
極に対して金属メッキを施す工程、及び、各圧電アクチ
ェータごとの切断と同時に前記電極パターンを除去する
工程を付加することで、フレキシブルフラットケーブル
に対する電気的接合性をより向上した圧電アクチェータ
を、低コストで製造できる。
求項７に記載したように、各表面電極の相互間を電気的
に接続する電極パターンを形成する工程、前記各表面電
極に対して金属メッキを施す工程、及び、各圧電アクチ
ェータごとの切断と同時に前記電極パターンを除去する
工程を付加することで、フレキシブルフラットケーブル
に対する電気的接合性をより向上した圧電アクチェータ
を、低コストで製造できる。
【００１７】すなわち、全ての表面電極の表面には、そ
の間を電気的に接続する電極パターンを介して通電した
状態での金属メッキ処理にて、金等の金属メッキ層を同
時に形成することができて、フレキシブルフラットケー
ブルに対する電気的接合性を、コストの大幅なアップを
招来することなく、確実により向上できる一方、前記電
極パターンは、積層体の切断と同時に除去されるから、
各表面電極及び各側面電極の相互間の電気的を独立性を
確保できる。
の間を電気的に接続する電極パターンを介して通電した
状態での金属メッキ処理にて、金等の金属メッキ層を同
時に形成することができて、フレキシブルフラットケー
ブルに対する電気的接合性を、コストの大幅なアップを
招来することなく、確実により向上できる一方、前記電
極パターンは、積層体の切断と同時に除去されるから、
各表面電極及び各側面電極の相互間の電気的を独立性を
確保できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
について説明する。
について説明する。
【００１９】図１〜図７は、本発明の実施の形態による
圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す。
圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す。
【００２０】この図において、符号１０は、金属板製の
キャビティープレートを、符号２０は、このキャビティ
ープレート１０に対して積層されるプレート型の圧電ア
クチェータを、そして、符号４０は、外部機器との接続
のために前記圧電アクチェータ２０に対して重ね接合さ
れるフレキシブルフラットケーブルを各々示す。
キャビティープレートを、符号２０は、このキャビティ
ープレート１０に対して積層されるプレート型の圧電ア
クチェータを、そして、符号４０は、外部機器との接続
のために前記圧電アクチェータ２０に対して重ね接合さ
れるフレキシブルフラットケーブルを各々示す。
【００２１】前記キャビティープレート１０は、図５及
び図６に示すように構成されている。
び図６に示すように構成されている。
【００２２】すなわち、ノズルプレート１１、二枚のマ
ニホールドプレート１２、スペーサプレート１３及びベ
ースプレート１４の五枚の薄い金属板を積層した構造で
ある。
ニホールドプレート１２、スペーサプレート１３及びベ
ースプレート１４の五枚の薄い金属板を積層した構造で
ある。
【００２３】前記ノズルプレート１１には、微小径のイ
ンク噴出用のノズル１５が、当該ノズルプレート１１に
おける長手方向の中心線１１ａに沿って、微小ピッチＰ
の間隔で多数個穿設されている。前記二枚のマニホール
ドプレート１２には、インク通路１２ａが、前記ノズル
１５の列の両側に沿って延びるように穿設され、このイ
ンク通路１２ａは、この両マニホールドプレート１２に
対する前記ノズルプレート１１及び前記スペーサプレー
ト１３の積層により密閉される構造になっている。
ンク噴出用のノズル１５が、当該ノズルプレート１１に
おける長手方向の中心線１１ａに沿って、微小ピッチＰ
の間隔で多数個穿設されている。前記二枚のマニホール
ドプレート１２には、インク通路１２ａが、前記ノズル
１５の列の両側に沿って延びるように穿設され、このイ
ンク通路１２ａは、この両マニホールドプレート１２に
対する前記ノズルプレート１１及び前記スペーサプレー
ト１３の積層により密閉される構造になっている。
【００２４】また、前記ベースプレート１４には、その
長手中心線１４ａに対して直交する方向に延びる細幅の
圧力室１６の多数個が穿設されている。この各圧力室１
６は、その先端１６ａが前記長手中心線１４ａ上に位置
し、これから一つおきに互いに逆方向に延びるように交
互に設けられている。この各圧力室１６の先端１６ａ
は、前記ノズルプレート１１におけるノズル１５に、前
記スペーサプレート１３及び両マニホールドプレート１
２に穿設されている微小径の貫通孔１７を介して連通し
ている一方、前記各圧力室１６の他端１６ｂは、前記ス
ペーサプレート１３に穿設した貫通孔１８を介して、前
記両マニホールドプレート１２におけるインク通路１２
ａに連通している。
長手中心線１４ａに対して直交する方向に延びる細幅の
圧力室１６の多数個が穿設されている。この各圧力室１
６は、その先端１６ａが前記長手中心線１４ａ上に位置
し、これから一つおきに互いに逆方向に延びるように交
互に設けられている。この各圧力室１６の先端１６ａ
は、前記ノズルプレート１１におけるノズル１５に、前
記スペーサプレート１３及び両マニホールドプレート１
２に穿設されている微小径の貫通孔１７を介して連通し
ている一方、前記各圧力室１６の他端１６ｂは、前記ス
ペーサプレート１３に穿設した貫通孔１８を介して、前
記両マニホールドプレート１２におけるインク通路１２
ａに連通している。
【００２５】これにより、前記スペーサプレート１３及
び前記ベースプレート１４の一端部に穿設の供給孔１９
ａ，１９ｂから前記インク通路１２ａ内に流入したイン
クは、このインク通路１２ａから前記各圧力室１６内に
前記各貫通孔１８を通って分配されたのち、この各圧力
室１６内から前記貫通孔１７を通って、当該圧力室１６
に対応するノズル１５に至るという構成になっている。
び前記ベースプレート１４の一端部に穿設の供給孔１９
ａ，１９ｂから前記インク通路１２ａ内に流入したイン
クは、このインク通路１２ａから前記各圧力室１６内に
前記各貫通孔１８を通って分配されたのち、この各圧力
室１６内から前記貫通孔１７を通って、当該圧力室１６
に対応するノズル１５に至るという構成になっている。
【００２６】一方、前記圧電アクチェータ２０は、図７
に示すように、二枚の圧電シート２１，２２と、一枚の
絶縁シート２３とを積層した構造で、前記各圧電シート
２１，２２のうち最下段の圧電シート２１の上面には、
前記キャビティープレート１０における各圧力室１６の
箇所ごとに細幅の駆動電極２４が、当該駆動電極２４の
一端部２４ａが前記圧電アクチェータ２０における表裏
両積層面２０ａ，２０ｂと直交する左右両側面２０ｃに
露出するように形成されている。
に示すように、二枚の圧電シート２１，２２と、一枚の
絶縁シート２３とを積層した構造で、前記各圧電シート
２１，２２のうち最下段の圧電シート２１の上面には、
前記キャビティープレート１０における各圧力室１６の
箇所ごとに細幅の駆動電極２４が、当該駆動電極２４の
一端部２４ａが前記圧電アクチェータ２０における表裏
両積層面２０ａ，２０ｂと直交する左右両側面２０ｃに
露出するように形成されている。
【００２７】次段の圧電シート２２の上面には、複数個
の圧力室１６の複数個に対して共通のコモン電極２５
が、当該コモン電極２５の一端部２５ａが前記圧電アク
チェータ２０における左右両側面２０ｃに露出するよう
に形成されている。
の圧力室１６の複数個に対して共通のコモン電極２５
が、当該コモン電極２５の一端部２５ａが前記圧電アク
チェータ２０における左右両側面２０ｃに露出するよう
に形成されている。
【００２８】前記最上段の絶縁シート２３の上面には、
前記各駆動電極２４の各々に対する表面電極２６と、前
記コモン電極２５に対する表面電極２７とが、前記圧電
アクチェータ２０における左右両側面２０ｃに沿って並
ぶように設けられている。
前記各駆動電極２４の各々に対する表面電極２６と、前
記コモン電極２５に対する表面電極２７とが、前記圧電
アクチェータ２０における左右両側面２０ｃに沿って並
ぶように設けられている。
【００２９】なお、符号２８及び２９は、捨てパターン
の電極である。
の電極である。
【００３０】そして、前記圧電アクチェータ２０におけ
る表裏両表面２０ａ，２０ｂと直交する左右両側面２０
ｃには、前記各駆動電極２４の一端部２４ａの部位に、
第１の凹み溝３０が、前記コモン電極２５の一端部２５
ａの部位の部位に、第２の凹み溝３１が各々積層方向に
延びるように設けられ、この各第１の凹み溝３０内に
は、前記各駆動電極２４とその各々の表面電極２６とを
電気的に接続する側面電極３２が、前記第２の凹み溝３
１内には、前記コモン電極２５と表面電極２７とを電気
的に接続する側面電極３３が各々形成されている。
る表裏両表面２０ａ，２０ｂと直交する左右両側面２０
ｃには、前記各駆動電極２４の一端部２４ａの部位に、
第１の凹み溝３０が、前記コモン電極２５の一端部２５
ａの部位の部位に、第２の凹み溝３１が各々積層方向に
延びるように設けられ、この各第１の凹み溝３０内に
は、前記各駆動電極２４とその各々の表面電極２６とを
電気的に接続する側面電極３２が、前記第２の凹み溝３
１内には、前記コモン電極２５と表面電極２７とを電気
的に接続する側面電極３３が各々形成されている。
【００３１】なお、図示の実施の形態は、圧電アクチェ
ータ２０として、駆動電極２４を設けた圧電シート２１
と、コモン電極２５を設けた圧電シート２２とを一つの
対として、これを一対だけ積層した場合であったが、本
発明においては、これに限らず、駆動電極２４を設けた
圧電シート２１と、コモン電極２５を設けた圧電シート
２２とからなる対を複数対積層したものに構成しても良
い。
ータ２０として、駆動電極２４を設けた圧電シート２１
と、コモン電極２５を設けた圧電シート２２とを一つの
対として、これを一対だけ積層した場合であったが、本
発明においては、これに限らず、駆動電極２４を設けた
圧電シート２１と、コモン電極２５を設けた圧電シート
２２とからなる対を複数対積層したものに構成しても良
い。
【００３２】そして、このような構成のプレート型の圧
電アクチェータ２０は、前記キャビティープレート１０
に対して、当該圧電アクチェータ２０における各駆動電
極２４が前記キャビティープレート１０における各圧力
室１６の各々に対応するように積層される。また、この
圧電アクチェータ２０における上側の表面２０ａには、
前記フレキシブルフラットケーブル４０が重ね押圧され
ることにより、このフレキシブルフラットケーブル４０
における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表
面電極２６，２７に電気的に接合される。
電アクチェータ２０は、前記キャビティープレート１０
に対して、当該圧電アクチェータ２０における各駆動電
極２４が前記キャビティープレート１０における各圧力
室１６の各々に対応するように積層される。また、この
圧電アクチェータ２０における上側の表面２０ａには、
前記フレキシブルフラットケーブル４０が重ね押圧され
ることにより、このフレキシブルフラットケーブル４０
における各種の配線パターン（図示せず）が、前記各表
面電極２６，２７に電気的に接合される。
【００３３】この構成において、前記圧電アクチェータ
２０における各駆動電極２４のうち任意の駆動電極２４
と、コモン電極２５との間に電圧を印加することによ
り、圧電シート２１，２２のうち前記電圧を印加した駆
動電極２４の部分に圧電による積層方向の歪みが発生
し、この歪みにて前記各駆動電極２４に対応する圧力室
１６の内容積が縮小されることにより、この圧力室１６
内のインクが、ノズル１５から液滴状に噴出して、所定
の印字が行われる。
２０における各駆動電極２４のうち任意の駆動電極２４
と、コモン電極２５との間に電圧を印加することによ
り、圧電シート２１，２２のうち前記電圧を印加した駆
動電極２４の部分に圧電による積層方向の歪みが発生
し、この歪みにて前記各駆動電極２４に対応する圧力室
１６の内容積が縮小されることにより、この圧力室１６
内のインクが、ノズル１５から液滴状に噴出して、所定
の印字が行われる。
【００３４】前記構成の圧電アクチェータ２０において
は、その側面２０ｃにおける各側面電極３２，３３は、
当該側面２０ｃに設けた凹み溝３０，３１内に形成され
ていることにより、各側面電極３２，３３を、側面２０
ｃから突出しないようにできるか、或いは、側面２０ｃ
からの突出を小さくすることができる。その結果、圧電
アクチェータ２０の製造中とか、この圧電アクチェータ
２０の組み立て中に、その各側面電極３２，３３にハン
ドラー又は治具等が接触することに起因して、前記各側
面電極３２，３３を損傷することを確実に低減できる。
は、その側面２０ｃにおける各側面電極３２，３３は、
当該側面２０ｃに設けた凹み溝３０，３１内に形成され
ていることにより、各側面電極３２，３３を、側面２０
ｃから突出しないようにできるか、或いは、側面２０ｃ
からの突出を小さくすることができる。その結果、圧電
アクチェータ２０の製造中とか、この圧電アクチェータ
２０の組み立て中に、その各側面電極３２，３３にハン
ドラー又は治具等が接触することに起因して、前記各側
面電極３２，３３を損傷することを確実に低減できる。
【００３５】そして、前記した構成の圧電アクチェータ
２０は、以下に述べるような方法で製造される。
２０は、以下に述べるような方法で製造される。
【００３６】図８〜図１３は、第１の実施の形態による
製造方法を示す。
製造方法を示す。
【００３７】この図８において、符号２１０は、前記一
つの圧電アクチェータ２０における圧電シート２１の複
数個をマトリックス状に並べて一体化してなる第１素材
シート（セラミックグリーンシート）を示し、この第１
素材シート２１０の表面のうち各圧電シート２１の箇所
に、複数個の駆動電極２４と、捨てパターンの電極２８
とを、この材料である導電性ペーストをスクリーン印刷
したのち乾燥することで形成する。
つの圧電アクチェータ２０における圧電シート２１の複
数個をマトリックス状に並べて一体化してなる第１素材
シート（セラミックグリーンシート）を示し、この第１
素材シート２１０の表面のうち各圧電シート２１の箇所
に、複数個の駆動電極２４と、捨てパターンの電極２８
とを、この材料である導電性ペーストをスクリーン印刷
したのち乾燥することで形成する。
【００３８】また、符号２２０は、同じく前記一つの圧
電アクチェータ２０における圧電シート２２の複数個を
マトリックス状に並べて一体化してなる第２素材シート
（セラミックグリーンシート）を示し、この第２素材シ
ート２２０の表面のうち各圧電シート２２の箇所に、コ
モン電極２５と、捨てパターンの電極２９とを、その材
料である導電性ペーストをスクリーン印刷したのち乾燥
することで形成する。
電アクチェータ２０における圧電シート２２の複数個を
マトリックス状に並べて一体化してなる第２素材シート
（セラミックグリーンシート）を示し、この第２素材シ
ート２２０の表面のうち各圧電シート２２の箇所に、コ
モン電極２５と、捨てパターンの電極２９とを、その材
料である導電性ペーストをスクリーン印刷したのち乾燥
することで形成する。
【００３９】更にまた、符号２３０は、前記一つの圧電
アクチェータ２０における絶縁シート２３の複数個をマ
トリックス状に並べて一体化してなる第３素材シート
（セラミックグリーンシート）を示し、この第３素材シ
ート２３０の表面のうち各絶縁シート２３の箇所に、表
面電極２６，２７を、その材料である導電性ペーストを
スクリーン印刷したのち乾燥することで形成する。
アクチェータ２０における絶縁シート２３の複数個をマ
トリックス状に並べて一体化してなる第３素材シート
（セラミックグリーンシート）を示し、この第３素材シ
ート２３０の表面のうち各絶縁シート２３の箇所に、表
面電極２６，２７を、その材料である導電性ペーストを
スクリーン印刷したのち乾燥することで形成する。
【００４０】なお、これら各素材シート２１０，２２
０，２３０の周囲には、余白部が一体的に設けられてい
る。
０，２３０の周囲には、余白部が一体的に設けられてい
る。
【００４１】次いで、前記第１素材シート２１０，第２
素材シート２２０及び第３素材シート２３０を、図９及
び図１０に示すように、その順番で積層したのち、積層
方向にプレスすることで一体化して、一枚の積層体Ａに
する。
素材シート２２０及び第３素材シート２３０を、図９及
び図１０に示すように、その順番で積層したのち、積層
方向にプレスすることで一体化して、一枚の積層体Ａに
する。
【００４２】次いで、この積層体Ａのうち各圧電シート
２１，２２及び且つ絶縁シート２３間の境界線Ａ１，Ａ
２上で、且つ、前記各表面電極２６，２７の箇所の各々
に、貫通孔（スルーホール）３００，３１０を穿設し
て、この貫通孔３００，３１０内に、前記各駆動電極２
４の一端部２４ａ及びコモン電極２５の一端部２５ａを
露出する。
２１，２２及び且つ絶縁シート２３間の境界線Ａ１，Ａ
２上で、且つ、前記各表面電極２６，２７の箇所の各々
に、貫通孔（スルーホール）３００，３１０を穿設し
て、この貫通孔３００，３１０内に、前記各駆動電極２
４の一端部２４ａ及びコモン電極２５の一端部２５ａを
露出する。
【００４３】なお、これらの貫通孔３００，３１０は、
ポンチによる打ち抜きにて穿設する。また、これらの貫
通孔３００，３１０は、前記第１、第２及び第３素材シ
ート２１０，２２０，２３０を積層する前において、こ
れらの各々に予め穿設しておくようにしても良い。
ポンチによる打ち抜きにて穿設する。また、これらの貫
通孔３００，３１０は、前記第１、第２及び第３素材シ
ート２１０，２２０，２３０を積層する前において、こ
れらの各々に予め穿設しておくようにしても良い。
【００４４】次いで、前記積層体Ａを、高い温度で焼成
したのち、高速回転するダイシングカッター（図示せ
ず）にて各境界線Ａ１，Ａ２に沿って切断することによ
り、図１１及び図１２に示すように、各圧電アクチェー
タ２０ごとに分割する。
したのち、高速回転するダイシングカッター（図示せ
ず）にて各境界線Ａ１，Ａ２に沿って切断することによ
り、図１１及び図１２に示すように、各圧電アクチェー
タ２０ごとに分割する。
【００４５】この切断により圧電アクチェータ２０の左
右両側面２０ｃには、前記貫通孔２００，３１０による
凹み溝３０，３１が積層方向に延びるように設けられ
る。
右両側面２０ｃには、前記貫通孔２００，３１０による
凹み溝３０，３１が積層方向に延びるように設けられ
る。
【００４６】次いで、前記圧電アクチェータ２０の左右
両側面２０ｃにおける各凹み溝３０３１内に、図１３に
示すように、側面電極３２，３３を形成することによ
り、図１２に示す構造の圧電アクチェータ２０の完成品
にできる。
両側面２０ｃにおける各凹み溝３０３１内に、図１３に
示すように、側面電極３２，３３を形成することによ
り、図１２に示す構造の圧電アクチェータ２０の完成品
にできる。
【００４７】なお、前記側面電極３２，３３は、各凹み
溝３０，３１内に対する金属の真空蒸着又はスパッタリ
ング、或いは導電性ペーストの塗布等にて形成すること
はいうまでもない。
溝３０，３１内に対する金属の真空蒸着又はスパッタリ
ング、或いは導電性ペーストの塗布等にて形成すること
はいうまでもない。
【００４８】次に、図１４〜図１６は、第２の実施の形
態による製造方法を示す。
態による製造方法を示す。
【００４９】この製造方法は、前記積層体Ａに穿設した
各貫通孔３００，３１０内に、図１４に示すように、導
電性ペースト３２′，３３′を充填して乾燥し、次い
で、前記積層体Ａを、高い温度で焼成したのち、各境界
線Ａ１，Ａ２に沿って各圧電アクチェータ２０ごとに切
断するとき、前記各貫通孔３００，３１０内における前
記導電性ペースト３２′，３３′を左右二つ割りに切断
するものである。
各貫通孔３００，３１０内に、図１４に示すように、導
電性ペースト３２′，３３′を充填して乾燥し、次い
で、前記積層体Ａを、高い温度で焼成したのち、各境界
線Ａ１，Ａ２に沿って各圧電アクチェータ２０ごとに切
断するとき、前記各貫通孔３００，３１０内における前
記導電性ペースト３２′，３３′を左右二つ割りに切断
するものである。
【００５０】これにより、図１５及び図１６に示すよう
に、圧電アクチェータ２０の側面２０ｃにおける各側面
電極３２，３３を、側面２０ｃに設けた凹み溝３０，３
１内に形成することができる。
に、圧電アクチェータ２０の側面２０ｃにおける各側面
電極３２，３３を、側面２０ｃに設けた凹み溝３０，３
１内に形成することができる。
【００５１】この方法によると、前記第１の製造方法に
ように、各側面電極３２，３３を、切断後における各圧
電アクチェータごとに形成する場合よりも低コストを図
ることができる。
ように、各側面電極３２，３３を、切断後における各圧
電アクチェータごとに形成する場合よりも低コストを図
ることができる。
【００５２】更にまた、図１７〜図１９は、第３の実施
の形態による製造方法を示す。
の形態による製造方法を示す。
【００５３】この製造方法は、前記第３素材シート２３
０の表面に、図１７に示すように、各表面電極２６，２
７を、導電性ペーストのスクリーン印刷にて形成すると
き同時に、この各表面電極２６，２７の相互間を電気的
に接続する細幅Ｗ０の電極パターン３４０，３５０を、
各境界線Ａ１，Ａ２に沿って延びるように形成し、この
第３素材シート２３０を、前記第１及び第２素材シート
２１０，２２０に対して積層して一体化する。
０の表面に、図１７に示すように、各表面電極２６，２
７を、導電性ペーストのスクリーン印刷にて形成すると
き同時に、この各表面電極２６，２７の相互間を電気的
に接続する細幅Ｗ０の電極パターン３４０，３５０を、
各境界線Ａ１，Ａ２に沿って延びるように形成し、この
第３素材シート２３０を、前記第１及び第２素材シート
２１０，２２０に対して積層して一体化する。
【００５４】次いで、貫通孔３００，３１０を穿設し、
この貫通孔３００，３１０内に、図１８に示すように、
導電性ペースト３２′，３３′を充填して乾燥したの
ち、前記積層体Ａを、高い温度で焼成する。
この貫通孔３００，３１０内に、図１８に示すように、
導電性ペースト３２′，３３′を充填して乾燥したの
ち、前記積層体Ａを、高い温度で焼成する。
【００５５】次いで、前記積層体Ａを、メッキ液中に浸
漬し、この状態で各表面電極２６，２７に、細幅の電極
パターン３４０，３５０を介して通電して電気メッキを
行うことにより、図１９に示すように、前記各表面電極
２６，２７の表面に、金属メッキ層２６′，２７′を形
成する。
漬し、この状態で各表面電極２６，２７に、細幅の電極
パターン３４０，３５０を介して通電して電気メッキを
行うことにより、図１９に示すように、前記各表面電極
２６，２７の表面に、金属メッキ層２６′，２７′を形
成する。
【００５６】この金属メッキ層２６′，２７′は、例え
ば、ニッケルメッキ層を下地としてその上に金メッキ層
を形成するもので、この金属メッキ層２６′，２７′の
形成により、前記フレキシブルフラットケーブル４０に
おける各配線パターンの、前記各表面電極２６，２７に
対する電気的接合性を大幅に向上できる。
ば、ニッケルメッキ層を下地としてその上に金メッキ層
を形成するもので、この金属メッキ層２６′，２７′の
形成により、前記フレキシブルフラットケーブル４０に
おける各配線パターンの、前記各表面電極２６，２７に
対する電気的接合性を大幅に向上できる。
【００５７】次いで、前記積層体Ａを、高速回転するダ
イシングカッター（図示せず）にて各境界線Ａ１，Ａ２
に沿って各圧電アクチェータ２０ごとに切断する際し
て、この切断を行う前記ダイシングカッターの切削幅Ｗ
１を、前記電気メッキのために形成した前記電極パター
ン３４０，３５０の幅寸法Ｗ０よりも大きくする。
イシングカッター（図示せず）にて各境界線Ａ１，Ａ２
に沿って各圧電アクチェータ２０ごとに切断する際し
て、この切断を行う前記ダイシングカッターの切削幅Ｗ
１を、前記電気メッキのために形成した前記電極パター
ン３４０，３５０の幅寸法Ｗ０よりも大きくする。
【００５８】これにより、積層体Ａを各圧電アクチェー
タ２０ごとに切断すると同時に、前記電極パターン３４
０，３５０を除去することができるから、各表面電極２
６，２７及び各側面電極３２，３３の相互間を電気的に
独立化できるのである。
タ２０ごとに切断すると同時に、前記電極パターン３４
０，３５０を除去することができるから、各表面電極２
６，２７及び各側面電極３２，３３の相互間を電気的に
独立化できるのである。
【００５９】なお、この第３の実施の形態による製造方
法においては、各側面電極３２，３３を、貫通孔３０
０，３１０内への導電性ペーストの充填にて形成するこ
とに代えて、前記第１の実施の形態による製造方法と同
様に、各圧電アクチェータ２０ごとに切断したあとで、
凹み溝３０，３１内に金属の真空蒸着等にて形成するよ
うにしても良いことはいうまでもない。
法においては、各側面電極３２，３３を、貫通孔３０
０，３１０内への導電性ペーストの充填にて形成するこ
とに代えて、前記第１の実施の形態による製造方法と同
様に、各圧電アクチェータ２０ごとに切断したあとで、
凹み溝３０，３１内に金属の真空蒸着等にて形成するよ
うにしても良いことはいうまでもない。
【図１】本発明の実施の形態による圧電式インクジェッ
トプリンタヘッドを示す分解斜視図である。
トプリンタヘッドを示す分解斜視図である。
【図２】前記図１においてキャビティープレートと圧電
アクチェータとの一端部を示す拡大斜視図である。
アクチェータとの一端部を示す拡大斜視図である。
【図３】前記図２のIII −III 視拡大断面図である。
【図４】前記図３においてキャビティープレートと圧電
アクチェータとを積層した状態の拡大断面図である。
アクチェータとを積層した状態の拡大断面図である。
【図５】前記キャビティープレートの分解斜視図であ
る。
る。
【図６】前記キャビティープレートの部分的拡大斜視図
である。
である。
【図７】前記圧電アクチェータの分解斜視図である。
【図８】本発明の第１の製造方法における各素材シート
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図９】前記各素材シートの積層体を示す斜視図であ
る。
る。
【図１０】前記図９のＸ−Ｘ視拡大断面図である。
【図１１】前記図９の積層体から分割した圧電アクチェ
ータを示す斜視図である。
ータを示す斜視図である。
【図１２】前記図１１のXII −XII 視断面図である。
【図１３】前記圧電アクチェータに側面電極を形成した
ときの断面図である。
ときの断面図である。
【図１４】本発明の第２の製造方法における積層体を示
す断面図である。
す断面図である。
【図１５】前記図１４の積層体から分割した圧電アクチ
ェータを示す斜視図である。
ェータを示す斜視図である。
【図１６】前記図１５のXVI −XVI 視断面図である。
【図１７】本発明の第３の製造方法における積層体を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図１８】前記図１７のXVIII −XVIII 視断面図であ
る。
る。
【図１９】前記第３の製造方法において金属メッキ層を
形成した状態を示す断面図である。
形成した状態を示す断面図である。
１０ キャビティープレート １１ ノズルプレート １２ マニホールドプレート １３ スペーサプレート １４ ベースプレート １５ ノズル １６ 圧力室 ２０ 圧電アクチェータ ２１，２２ 圧電シート ２３ 絶縁シート ２４ 駆動電極 ２５ コモン電極 ２６，２７ 表面電極 ２６′，２７′ 金属メッキ層 ３０，３１ 凹み溝 ３２，３３ 側面電極 ３２′，３３′ 導電性ペースト ４０ フレキシブルフラットケー
ブル ２１０ 第１素材シート ２２０ 第２素材シート ２３０ 第３素材シート Ａ 積層体 Ａ１，Ａ２ 境界線 ３００，３１０ 貫通孔 ３４０，３５０ 電極パターン
ブル ２１０ 第１素材シート ２２０ 第２素材シート ２３０ 第３素材シート Ａ 積層体 Ａ１，Ａ２ 境界線 ３００，３１０ 貫通孔 ３４０，３５０ 電極パターン
Claims (7)
- 【請求項１】複数個のノズル及びこの各ノズルごとの圧
力室を備えたキャビティープレートと、前記各圧力室ご
との駆動電極及び隣接する圧力室に共通するコモン電極
を圧電シートを挟んで積層したプレート型の圧電アクチ
ェータとからなり、この圧電アクチェータを、前記キャ
ビティープレートに、当該圧電アクチェータにおける各
駆動電極が各圧力室に対応するように積層してなる圧電
式インクジェットプリンタヘッドにおいて、 前記圧電アクチェータのうち表裏両表面と直交する側面
に、少なくとも前記各駆動電極を露出する凹み溝が設け
られ、この凹み溝内に、前記駆動電極に電気的に導通す
る側面電極が形成されていることを特徴とする圧電式イ
ンクジェットプリンタヘッドにおける圧電アクチェー
タ。 - 【請求項２】前記請求項１の記載において、前記圧電ア
クチェータにおける表裏両表面のうち前記キャビティー
プレートと反対側の表面に、前記各側面電極の各々に電
気的に導通する表面電極が設けられていることを特徴と
する圧電式インクジェットプリンタヘッドにおける圧電
アクチェータ。 - 【請求項３】少なくとも、一つの圧電アクチェータを構
成する圧電シートの複数個を並べて一体化した第１素材
シートにおける表面のうち前記各圧電シートの箇所に複
数個の駆動電極を形成する工程と、同じく一つの圧電ア
クチェータを構成する圧電シートの複数個を並べて一体
化した第２素材シートにおける表面のうち前記各圧電シ
ートの箇所に前記駆動電極の複数個に対応するコモン電
極を形成する工程と、前記第１素材シート及び第２素材
シートの少なくとも一枚ずつを交互に積層して一体化す
る工程と、前記第１素材シート及び第２素材シートのう
ち前記各圧電シート間の境界線上で且つ前記各駆動電極
の部分に貫通孔を、この貫通孔内に駆動電極が露出する
ように穿設する工程と、前記積層した積層体を前記境界
線に沿って各圧電アクチェータごとに切断する工程と、
前記貫通孔内に側面電極を前記駆動電極に電気的に導通
するように形成する工程とからなることを特徴とする圧
電式インクジェットプリンタヘッドにおける圧電アクチ
ェータの製造方法。 - 【請求項４】少なくとも、一つの圧電アクチェータを構
成する圧電シートの複数個を並べて一体化した第１素材
シートにおける表面のうち前記各圧電シートの箇所に複
数個の駆動電極を形成する工程と、同じく一つの圧電ア
クチェータを構成する圧電シートの複数個を並べて一体
化した第２素材シートにおける表面のうち前記各圧電シ
ートの箇所に前記駆動電極の複数個に対応するコモン電
極を形成する工程と、一つの圧電アクチェータを構成す
る絶縁シートの複数個を並べて一体化した第３素材シー
トにおける表面のうち前記各絶縁シートの箇所に前記各
駆動電極の各々に対応する表面電極を形成する工程と、
前記第１素材シート及び第２素材シートの少なくとも一
枚ずつを交互に積層し、これに前記第３素材シートを積
層して一体化する工程と、前記第１素材シート、第２素
材シート及び第３素材シートのうち前記各圧電シート及
び絶縁シート間の境界線上で且つ前記各駆動電極の部分
に貫通孔を、この貫通孔内に駆動電極が露出するように
穿設する工程と、前記積層した積層体を前記境界線に沿
って各圧電アクチェータごとに切断する工程と、前記貫
通孔内に側面電極を前記駆動電極と前記表面電極とに電
気的に導通するように形成する工程とからなることを特
徴とする圧電式インクジェットプリンタヘッドにおける
圧電アクチェータの製造方法。 - 【請求項５】前記請求項３又は４の記載において、前記
側面電極を形成する工程が、各圧電シートごとに切断し
たあとにおける工程であることを特徴とする圧電式イン
クジェットプリンタヘッドにおける圧電アクチェータの
製造方法。 - 【請求項６】前記請求項３又は４の記載において、前記
側面電極を形成する工程が、各圧電シートごとに切断す
る前において前記貫通孔内に側面電極用の導電性ペース
トを充填し、この充填物を前記の切断と同時に切断する
工程であることを特徴とする圧電式インクジェットプリ
ンタヘッドにおける圧電アクチェータの製造方法。 - 【請求項７】前記請求項４〜６のいずれかの記載におい
て、第３素材シートにおける表面のうち前記各絶縁シー
トの箇所に表面電極を形成する工程が、各表面電極の相
互間を電気的に接続する細幅の電極パターンを前記境界
線に沿って延びるように形成する工程を含み、前記各表
面電極に対して金属メッキを施す工程を備え、更に、前
記積層体を各圧電アクチェータごとに切断する工程が、
この切断と同時に前記電極パターンを除去する工程を含
んでいることを特徴とする圧電式インクジェットプリン
タヘッドにおける圧電アクチェータの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000072678A JP3692900B2 (ja) | 2000-03-15 | 2000-03-15 | 圧電式インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 |
| US09/798,986 US6604817B2 (en) | 2000-03-07 | 2001-03-06 | Print head for piezoelectric ink jet printer, piezoelectric actuator therefor, and process for producing piezoelectric actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000072678A JP3692900B2 (ja) | 2000-03-15 | 2000-03-15 | 圧電式インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2005030123A Division JP4289304B2 (ja) | 2005-02-07 | 2005-02-07 | 圧電アクチュエータ、インクジェットプリンタヘッド、及びそれらの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001260349A true JP2001260349A (ja) | 2001-09-25 |
| JP3692900B2 JP3692900B2 (ja) | 2005-09-07 |
Family
ID=18591046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000072678A Expired - Fee Related JP3692900B2 (ja) | 2000-03-07 | 2000-03-15 | 圧電式インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3692900B2 (ja) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1516732A1 (en) | 2003-09-19 | 2005-03-23 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink jet printer head |
| EP1518682A1 (en) | 2003-09-24 | 2005-03-30 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink jet printer head and method of inspecting the same |
| JP2005254721A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Brother Ind Ltd | インクジェット記録ヘッド |
| US6973703B2 (en) | 2002-02-19 | 2005-12-13 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing an ink-jet head |
| US7073895B2 (en) | 2002-09-27 | 2006-07-11 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet printhead and method for producing the same |
| US7102275B2 (en) | 2003-11-11 | 2006-09-05 | Tdk Corporation | Stack-type piezoelectric device |
| US7170217B2 (en) | 2003-12-26 | 2007-01-30 | Tdk Corporation | Stack-type piezoelectric device |
| US7176384B2 (en) | 2003-11-11 | 2007-02-13 | Tdk Corporation | Electronic component |
| US7233099B2 (en) | 2003-12-25 | 2007-06-19 | Tdk Corporation | Multilayer piezoelectric element |
| US7253553B2 (en) | 2003-12-24 | 2007-08-07 | Tdk Corporation | Electronic component |
| US7352115B2 (en) | 2004-04-28 | 2008-04-01 | Tdk Corporation | Piezoelectric element and piezoelectric device |
| JP2008079500A (ja) * | 2001-12-06 | 2008-04-03 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータ及び流体移送装置 |
| US7370943B2 (en) | 2002-09-27 | 2008-05-13 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Structure and method for connecting flexible printed circuit board to inkjet print head |
| US7434918B2 (en) | 2001-12-06 | 2008-10-14 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid transporting apparatus and method for producing liquid transporting apparatus |
| US7682000B2 (en) | 2005-03-24 | 2010-03-23 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator, liquid transporting apparatus and method of producing piezoelectric actuator |
| JP2014222757A (ja) * | 2014-06-18 | 2014-11-27 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッド |
| US10328696B2 (en) | 2016-09-06 | 2019-06-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection head |
-
2000
- 2000-03-15 JP JP2000072678A patent/JP3692900B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7434918B2 (en) | 2001-12-06 | 2008-10-14 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Liquid transporting apparatus and method for producing liquid transporting apparatus |
| JP2008079500A (ja) * | 2001-12-06 | 2008-04-03 | Brother Ind Ltd | 圧電アクチュエータ及び流体移送装置 |
| US7263752B2 (en) | 2002-02-19 | 2007-09-04 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing an ink-jet head |
| US6973703B2 (en) | 2002-02-19 | 2005-12-13 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing an ink-jet head |
| US7073895B2 (en) | 2002-09-27 | 2006-07-11 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet printhead and method for producing the same |
| US7370943B2 (en) | 2002-09-27 | 2008-05-13 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Structure and method for connecting flexible printed circuit board to inkjet print head |
| US7654654B2 (en) | 2003-09-19 | 2010-02-02 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink jet printer head |
| EP1516732A1 (en) | 2003-09-19 | 2005-03-23 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink jet printer head |
| US7213912B2 (en) | 2003-09-19 | 2007-05-08 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink jet printer head |
| EP1518682A1 (en) | 2003-09-24 | 2005-03-30 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink jet printer head and method of inspecting the same |
| US7168792B2 (en) | 2003-09-24 | 2007-01-30 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink jet printer head and method of inspecting same |
| US7102275B2 (en) | 2003-11-11 | 2006-09-05 | Tdk Corporation | Stack-type piezoelectric device |
| US7176384B2 (en) | 2003-11-11 | 2007-02-13 | Tdk Corporation | Electronic component |
| US7253553B2 (en) | 2003-12-24 | 2007-08-07 | Tdk Corporation | Electronic component |
| US7233099B2 (en) | 2003-12-25 | 2007-06-19 | Tdk Corporation | Multilayer piezoelectric element |
| US7170217B2 (en) | 2003-12-26 | 2007-01-30 | Tdk Corporation | Stack-type piezoelectric device |
| JP2005254721A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Brother Ind Ltd | インクジェット記録ヘッド |
| US7352115B2 (en) | 2004-04-28 | 2008-04-01 | Tdk Corporation | Piezoelectric element and piezoelectric device |
| US7682000B2 (en) | 2005-03-24 | 2010-03-23 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Piezoelectric actuator, liquid transporting apparatus and method of producing piezoelectric actuator |
| JP2014222757A (ja) * | 2014-06-18 | 2014-11-27 | ブラザー工業株式会社 | インクジェットヘッド |
| US10328696B2 (en) | 2016-09-06 | 2019-06-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection head |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3692900B2 (ja) | 2005-09-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6604817B2 (en) | Print head for piezoelectric ink jet printer, piezoelectric actuator therefor, and process for producing piezoelectric actuator | |
| JP3692900B2 (ja) | 圧電式インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 | |
| JP3772654B2 (ja) | 圧電式インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法 | |
| US6631981B2 (en) | Piezoelectric actuator of ink jet printer head | |
| JP2002254634A (ja) | 積層型圧電素子 | |
| JP3692895B2 (ja) | 圧電式インクジェットプリンタヘッド | |
| JP3705085B2 (ja) | 圧電式インクジェットプリンタヘッド | |
| JP3752974B2 (ja) | 圧電アクチュエータ及びその製造方法 | |
| JP4362688B2 (ja) | 圧電アクチュエータの製造方法 | |
| WO1996000151A1 (en) | Piezoelectric actuator for ink jet head and method of manufacturing same | |
| JP2002127420A (ja) | 圧電式インクジェットプリンタヘッド及び圧電式インクジェットプリンタヘッドの製造方法 | |
| JP3767395B2 (ja) | 積層型圧電素子の製造方法 | |
| JP2003165215A (ja) | インクジェットプリンタヘッド | |
| JP4289304B2 (ja) | 圧電アクチュエータ、インクジェットプリンタヘッド、及びそれらの製造方法 | |
| JP3705090B2 (ja) | 圧電式インクジェットプリンタヘッド | |
| JP3729997B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及びこれに使用する圧電振動子ユニットの製造方法 | |
| JP3885696B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP2002234170A (ja) | インクジェットプリンタヘッドの製造方法 | |
| JP3777955B2 (ja) | 圧電アクチュエータ及びその製造方法 | |
| JP4622362B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
| JP2959052B2 (ja) | インクジェット式印字ヘッド | |
| JP3452133B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド、及びこれに使用する圧電振動子ユニット、及び圧電振動子ユニットの製造方法 | |
| JP3734036B2 (ja) | 圧電振動子ユニット | |
| JP3541638B2 (ja) | インクジェット式記録ヘッド | |
| JP2959056B2 (ja) | インクジェット式印字ヘッド |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041118 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041207 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050204 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050531 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050613 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3692900 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080701 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090701 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100701 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110701 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120701 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120701 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130701 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |