JP2001248610A - シリンダ及びそれを用いたロードポート並びに生産方式 - Google Patents
シリンダ及びそれを用いたロードポート並びに生産方式Info
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- F15B15/26—Locking mechanisms
- F15B15/261—Locking mechanisms using positive interengagement, e.g. balls and grooves, for locking in the end positions
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- Combustion & Propulsion (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＦＯＵＰ開閉時のラッチ動作を確実に行うこ
とが可能な信頼性の高いロードポート及びシリンダを提
供することを目的とする。さらに、半導体集積回路等を
高い信頼性を持って連続生産可能な生産方式を提供する
ことにある。 【解決手段】 本発明のシリンダは、ピストン室の一方
の端面に係止されピストンロッドと同軸に配置されたバ
ネ受け部材と、バネ受け部材とピストンとの間に配置さ
れた第１のバネ部材と、ピストンロッドに設けられ、バ
ネ受け部材のピストンロッドに対するピストンと反対方
向への移動を制限するストッパーと、ストッパーよりも
ピストンから離れた位置のピストンロッド上に設けられ
た凹部と、凹部と係合するように、第２のバネ部材によ
り凹部方向に付勢されたストップピンと、からなり、３
位置のピストンロッド送り出しを行うことを特徴とす
る。さらに、かかるシリンダを用いてロードポートを構
成したことを特徴とする。
とが可能な信頼性の高いロードポート及びシリンダを提
供することを目的とする。さらに、半導体集積回路等を
高い信頼性を持って連続生産可能な生産方式を提供する
ことにある。 【解決手段】 本発明のシリンダは、ピストン室の一方
の端面に係止されピストンロッドと同軸に配置されたバ
ネ受け部材と、バネ受け部材とピストンとの間に配置さ
れた第１のバネ部材と、ピストンロッドに設けられ、バ
ネ受け部材のピストンロッドに対するピストンと反対方
向への移動を制限するストッパーと、ストッパーよりも
ピストンから離れた位置のピストンロッド上に設けられ
た凹部と、凹部と係合するように、第２のバネ部材によ
り凹部方向に付勢されたストップピンと、からなり、３
位置のピストンロッド送り出しを行うことを特徴とす
る。さらに、かかるシリンダを用いてロードポートを構
成したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、シリンダ及びそれ
を用いたロードポート並びに生産方式に係り、特に、Ｓ
ＥＭＩ規格に対応し、しかも種々のラッチキー受け形状
を有するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）に
対応可能なロードポートに関する。
を用いたロードポート並びに生産方式に係り、特に、Ｓ
ＥＭＩ規格に対応し、しかも種々のラッチキー受け形状
を有するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）に
対応可能なロードポートに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体ウェハを複数枚収納する容
器として、オープンカセットが広く用いられていたが、
クリーンルームに要するコストを削減して、高性能な半
導体デバイスを安価に作るための手段として、ミニエン
バイロメント方式が提唱され、２００ｍｍウェハではＳ
ＭＩＦ（Standard Mechanical InterFace）方式が広く
使用されており、３００ｍｍウェハではＦＯＵＰ（Fron
t Opening Unified Pod）方式が使用されようとして
いる。
器として、オープンカセットが広く用いられていたが、
クリーンルームに要するコストを削減して、高性能な半
導体デバイスを安価に作るための手段として、ミニエン
バイロメント方式が提唱され、２００ｍｍウェハではＳ
ＭＩＦ（Standard Mechanical InterFace）方式が広く
使用されており、３００ｍｍウェハではＦＯＵＰ（Fron
t Opening Unified Pod）方式が使用されようとして
いる。
【０００３】ＦＯＵＰは、世界各国の半導体製造装置・
材料メーカーが集まり組織されたＳＥＭＩ（Semiconduc
tor Equipment and Materials International）に
おいて提唱され、規格標準化されたミニエンバイロメン
ト方式であり、半導体デバイスメーカーも本方式にて量
産製造ラインの構築を進めようとしている。ＦＯＵＰ方
式は、ＳＥＭＩのスタンダード委員会にて技術的な検討
がなされ規格化されたものであるが、ＦＯＵＰとＦＯＵ
Ｐドアを開閉するためロードポートの機械的なインター
フェース方法については、ロードポートに関する精度を
厳格に規定する一方、ＦＯＵＰはあえて自由度を持たせ
ることにより、ＦＯＵＰメーカーの独創性を持たせる内
容となっている（ＳＥＭＩ規格 Ｅ５７−０２９９）。
材料メーカーが集まり組織されたＳＥＭＩ（Semiconduc
tor Equipment and Materials International）に
おいて提唱され、規格標準化されたミニエンバイロメン
ト方式であり、半導体デバイスメーカーも本方式にて量
産製造ラインの構築を進めようとしている。ＦＯＵＰ方
式は、ＳＥＭＩのスタンダード委員会にて技術的な検討
がなされ規格化されたものであるが、ＦＯＵＰとＦＯＵ
Ｐドアを開閉するためロードポートの機械的なインター
フェース方法については、ロードポートに関する精度を
厳格に規定する一方、ＦＯＵＰはあえて自由度を持たせ
ることにより、ＦＯＵＰメーカーの独創性を持たせる内
容となっている（ＳＥＭＩ規格 Ｅ５７−０２９９）。
【０００４】このようなＦＯＵＰ方式は、例えば、特開
平８−２７９５４６号公報に詳細に記載されているが、
図５及び６を用いてその構造、開閉機構を説明する。図
５は、ＦＯＵＰを開閉するためのロードポートである。
ロードポート３０は、開口を有するフレーム３１と、３
個のキネマティックピン３４を有し、フレーム方向に前
後進可能なステージ３２と、ステージと反対方向から開
口部に挿入、退避するポートドア３３とから構成され
る。ポートドア３３には、対角線上に配設された２個の
レジストレーションピン３６と、直立した状態（９０
゜）と水平状態（０゜）に回転可能なラッチキー３５が
２個取り付けられている。また、レジストレーションピ
ン３６を囲むように、ＦＯＵＰドア５２を吸引固定する
ための吸着パッド３７が取り付けられている。
平８−２７９５４６号公報に詳細に記載されているが、
図５及び６を用いてその構造、開閉機構を説明する。図
５は、ＦＯＵＰを開閉するためのロードポートである。
ロードポート３０は、開口を有するフレーム３１と、３
個のキネマティックピン３４を有し、フレーム方向に前
後進可能なステージ３２と、ステージと反対方向から開
口部に挿入、退避するポートドア３３とから構成され
る。ポートドア３３には、対角線上に配設された２個の
レジストレーションピン３６と、直立した状態（９０
゜）と水平状態（０゜）に回転可能なラッチキー３５が
２個取り付けられている。また、レジストレーションピ
ン３６を囲むように、ＦＯＵＰドア５２を吸引固定する
ための吸着パッド３７が取り付けられている。
【０００５】ＦＯＵＰ５０は、図６に示すように、ＦＯ
ＵＰボックス５１とＦＯＵＰドア５２とからなり、ＦＯ
ＵＰボックス５１には、ウエハ５３を戴置するための棚
やオペレータが持つためのハンドル５６等が取り付けら
れている。ＦＯＵＰドア５２には、ポートドア３３のラ
ッチキー３５及びレジストレーションピン３６に対応す
る位置に、ラッチホール５５及びレジストレーションホ
ール５４が形成されている。ラッチホール５５の内部に
は、ラッチキー３５と係合するラッチキー受けが設けら
れ、このラッチキー受けをラッチキーで回転させること
によりラッチ５６のロック及び解除が行われる。ＳＥＭ
Ｉ規格には、ラッチキー受けを９０゜及び０゜の位置に
することにより、ＦＯＵＰボックス５１とＦＯＵＰドア
５２との固定及び解除を行う旨の規定はあるものの、具
体的な固定方法についてはＦＯＵＰメーカーに任されて
いる。ＦＯＵＰドアの開閉構造を示すの具体的な例につ
いては、例えば、米国特許第５９１５５６２号に開示さ
れている。
ＵＰボックス５１とＦＯＵＰドア５２とからなり、ＦＯ
ＵＰボックス５１には、ウエハ５３を戴置するための棚
やオペレータが持つためのハンドル５６等が取り付けら
れている。ＦＯＵＰドア５２には、ポートドア３３のラ
ッチキー３５及びレジストレーションピン３６に対応す
る位置に、ラッチホール５５及びレジストレーションホ
ール５４が形成されている。ラッチホール５５の内部に
は、ラッチキー３５と係合するラッチキー受けが設けら
れ、このラッチキー受けをラッチキーで回転させること
によりラッチ５６のロック及び解除が行われる。ＳＥＭ
Ｉ規格には、ラッチキー受けを９０゜及び０゜の位置に
することにより、ＦＯＵＰボックス５１とＦＯＵＰドア
５２との固定及び解除を行う旨の規定はあるものの、具
体的な固定方法についてはＦＯＵＰメーカーに任されて
いる。ＦＯＵＰドアの開閉構造を示すの具体的な例につ
いては、例えば、米国特許第５９１５５６２号に開示さ
れている。
【０００６】次に、ＦＯＵＰの開閉操作方法について説
明する。ＦＯＵＰはステージ上に配置している３箇所の
キネマティックピン３４上に戴置することにより、位置
決めがなされる。この状態でステージ３２を前進させる
ことにより、ＦＯＵＰ５０のレジストレーションホール
５５がポートドアのレジストレーションピン３６にはま
り込み、ＦＯＵＰドアの位置が補正される。さらにステ
ージを前進させることにより、ポートドアのラッチキー
３５がＦＯＵＰのラッチホール５５を通してラッチキー
受けにはまり込み、最終的にはＦＯＵＰドアとポートド
アが密着する。この状態でレジストレーションピン３６
の根本に配設されている吸着パッド３７を負圧にするこ
とにより、ＦＯＵＰドアをポートドアに固定することが
できる。
明する。ＦＯＵＰはステージ上に配置している３箇所の
キネマティックピン３４上に戴置することにより、位置
決めがなされる。この状態でステージ３２を前進させる
ことにより、ＦＯＵＰ５０のレジストレーションホール
５５がポートドアのレジストレーションピン３６にはま
り込み、ＦＯＵＰドアの位置が補正される。さらにステ
ージを前進させることにより、ポートドアのラッチキー
３５がＦＯＵＰのラッチホール５５を通してラッチキー
受けにはまり込み、最終的にはＦＯＵＰドアとポートド
アが密着する。この状態でレジストレーションピン３６
の根本に配設されている吸着パッド３７を負圧にするこ
とにより、ＦＯＵＰドアをポートドアに固定することが
できる。
【０００７】次に、ラッチキーを９０゜回転させて０゜
位置とすることにより、ＦＯＵＰボックスとＦＯＵＰド
アの固定を解除する。ポートドアはＦＯＵＰドアを保持
したまま、後方へ移動し、さらに下降し、開口を介して
ウエハの取り出しが可能な状態とする。 この状態にお
いて、ＦＯＵＰボックスに収納されているウエハは、日
本国特許第２７４９３１４号公報の記載されている基板
搬送用スカラ型ロボット等で基板処理装置へ移送するこ
とが可能となる。ＦＯＵＰドアを閉じる場合は、以上の
操作を逆に行えばよい。
位置とすることにより、ＦＯＵＰボックスとＦＯＵＰド
アの固定を解除する。ポートドアはＦＯＵＰドアを保持
したまま、後方へ移動し、さらに下降し、開口を介して
ウエハの取り出しが可能な状態とする。 この状態にお
いて、ＦＯＵＰボックスに収納されているウエハは、日
本国特許第２７４９３１４号公報の記載されている基板
搬送用スカラ型ロボット等で基板処理装置へ移送するこ
とが可能となる。ＦＯＵＰドアを閉じる場合は、以上の
操作を逆に行えばよい。
【０００８】
【発明が解決しようとする問題】このＦＯＵＰ方式は、
１９９６年にＳＥＭＩの暫定仕様として制定され、この
規格をもとに各社がＦＯＵＰ、ロードポートを開発・製
作を進めてきたが、実際にＦＯＵＰ方式での運用の検証
を進めるにつれてさまざまな問題点が明らかになってき
た。
１９９６年にＳＥＭＩの暫定仕様として制定され、この
規格をもとに各社がＦＯＵＰ、ロードポートを開発・製
作を進めてきたが、実際にＦＯＵＰ方式での運用の検証
を進めるにつれてさまざまな問題点が明らかになってき
た。
【０００９】前述したようにＳＥＭＩ規格は、ロードポ
ートに関する精度を厳格に規定するものの、ＦＯＵＰに
はあえて自由度を持たせている。例えば、ラッチキーの
形状・大きさには公差を含めて厳密な規定を設けている
が、ラッチキー受けの形状・大きさには何ら規定はな
い。このため、以下のような問題が発生している。すな
わち、ラッチキーの回転角度は、ＳＥＭＩ規格Ｅ６２−
０９９９により、０゜位置及び９０゜位置のそれぞれに
±１゜の公差規定がある。しかし、ラッチキー受けの大
きさに規定がないため、図１３に示すように、ラッチキ
ー受け５７の幅Ｗ１がラッチキー３５の幅Ｗ２よりもあ
る程度以上大きくなると、ラッチキーが９０゜に回転し
てもラッチキー受けは９０゜まで回転せず、９０゜位置
にない状態（すなわち、９０−θ゜）が起こり得る。従
って、幅の差（Ｗ１−Ｗ２）によっては、ラッチのロッ
クが行われない場合を生じる。また、ラッチのロックが
行われる範囲であっても、ラッチキー受けが９０゜位置
に無い状態で、次の基板処理工程のロードポートに搬送
されると、ＦＯＵＰを開けるためにステージが前進した
とき、ラッチキーとラッチキー受けとが接触、若しくは
衝突してしまう場合がある。この接触等は、発塵を起こ
し、ウエハ移送空間を汚染してしまうという問題ととも
に、この接触等が度重なることでラッチキー受けが削ら
れ変形してしまうことにもなる。ラッチキー受けが変形
すると、例えばラッチキーを０゜に回転させてもラッチ
キー受けは０゜位置まで回転できず、すなわち、公差１
゜以上の位置（例えば５゜）で停止してしまうことにな
る。ＦＯＵＰボックスとＦＯＵＰドアは、ラッチキー受
けが０゜±１゜となることにより、その固定が解かれる
構成になっていたものが、ラッチキー受けの変形により
その固定を解くことができなくなり、製造プロセス上大
きな問題となる。
ートに関する精度を厳格に規定するものの、ＦＯＵＰに
はあえて自由度を持たせている。例えば、ラッチキーの
形状・大きさには公差を含めて厳密な規定を設けている
が、ラッチキー受けの形状・大きさには何ら規定はな
い。このため、以下のような問題が発生している。すな
わち、ラッチキーの回転角度は、ＳＥＭＩ規格Ｅ６２−
０９９９により、０゜位置及び９０゜位置のそれぞれに
±１゜の公差規定がある。しかし、ラッチキー受けの大
きさに規定がないため、図１３に示すように、ラッチキ
ー受け５７の幅Ｗ１がラッチキー３５の幅Ｗ２よりもあ
る程度以上大きくなると、ラッチキーが９０゜に回転し
てもラッチキー受けは９０゜まで回転せず、９０゜位置
にない状態（すなわち、９０−θ゜）が起こり得る。従
って、幅の差（Ｗ１−Ｗ２）によっては、ラッチのロッ
クが行われない場合を生じる。また、ラッチのロックが
行われる範囲であっても、ラッチキー受けが９０゜位置
に無い状態で、次の基板処理工程のロードポートに搬送
されると、ＦＯＵＰを開けるためにステージが前進した
とき、ラッチキーとラッチキー受けとが接触、若しくは
衝突してしまう場合がある。この接触等は、発塵を起こ
し、ウエハ移送空間を汚染してしまうという問題ととも
に、この接触等が度重なることでラッチキー受けが削ら
れ変形してしまうことにもなる。ラッチキー受けが変形
すると、例えばラッチキーを０゜に回転させてもラッチ
キー受けは０゜位置まで回転できず、すなわち、公差１
゜以上の位置（例えば５゜）で停止してしまうことにな
る。ＦＯＵＰボックスとＦＯＵＰドアは、ラッチキー受
けが０゜±１゜となることにより、その固定が解かれる
構成になっていたものが、ラッチキー受けの変形により
その固定を解くことができなくなり、製造プロセス上大
きな問題となる。
【０００１０】以上の問題を解決するため、ＦＯＵＰメ
ーカー各社はさまざまな検討を行っているが、コスト・
信頼性等の問題から、現在のところ妥当な解決策は得ら
れていない状況である。本発明は、上記問題点に鑑みて
なされたものであり、その目的はＦＯＵＰ開閉時のラッ
チ動作を確実に行うことが可能な信頼性の高いロードポ
ートを提供することにある。さらに、本発明は、かかる
ロードポートに好適に用いられるシリンダを提供するこ
とを目的とする。さらに、本発明の目的は、半導体集積
回路等を高い信頼性を持って連続生産可能な生産方式を
提供することにある。
ーカー各社はさまざまな検討を行っているが、コスト・
信頼性等の問題から、現在のところ妥当な解決策は得ら
れていない状況である。本発明は、上記問題点に鑑みて
なされたものであり、その目的はＦＯＵＰ開閉時のラッ
チ動作を確実に行うことが可能な信頼性の高いロードポ
ートを提供することにある。さらに、本発明は、かかる
ロードポートに好適に用いられるシリンダを提供するこ
とを目的とする。さらに、本発明の目的は、半導体集積
回路等を高い信頼性を持って連続生産可能な生産方式を
提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記問題点
を解決すべく、ラッチキーの駆動機構にシリンダを用い
て、ラッチキー受けへのラッチキーの挿入方法及びラッ
チのメカニズム等を詳細に検討した結果、上記問題を解
決するには、ラッチ後にラッチキー受けを９０゜位置に
修正するのが最も信頼性に優れているとの結論に達し
た。すなわち、ラッチをロックする際、ラッチキー受け
が９０゜位置となるように、ラッチキーを９０゜位置よ
りも大きな角度（９０゜＋θ）まで回転し、その後ラッ
チキーを９０゜位置に戻すという方法である。
を解決すべく、ラッチキーの駆動機構にシリンダを用い
て、ラッチキー受けへのラッチキーの挿入方法及びラッ
チのメカニズム等を詳細に検討した結果、上記問題を解
決するには、ラッチ後にラッチキー受けを９０゜位置に
修正するのが最も信頼性に優れているとの結論に達し
た。すなわち、ラッチをロックする際、ラッチキー受け
が９０゜位置となるように、ラッチキーを９０゜位置よ
りも大きな角度（９０゜＋θ）まで回転し、その後ラッ
チキーを９０゜位置に戻すという方法である。
【００１２】この方法を実現するためには、少なくとも
３つの位置に正確にピストンロッドを送り出すことがで
きるシリンダが不可欠となる。そこで、本発明者は、９
０゜回転用シリンダ７１と微少角（θ）回転用シリンダ
７２を連結して、図１２に示す連結型のシリンダを作製
し、種々の形状のラッチキー受けを有するＦＯＵＰにつ
いて、ラッチのロック、解除の検討を行った。このシリ
ンダを用い４つの流体ポートに供給する空気の圧力を制
御することにより、図１２（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）に
示す３つの状態にピストンロッドを送り出すことが可能
となり、上記従来の問題点を解決できることが分かっ
た。しかしながら、シリンダ全体のサイズが大きくなり
すぎ、ＳＥＭＩ規格のポートドアに設置することが実際
上困難であった。そこで、本発明者は、以上の知見に基
づいてさらに検討を加え、小型化可能なシリンダ構造を
研究した結果、本発明のシリンダ及びロードポートを完
成するに至ったものである。
３つの位置に正確にピストンロッドを送り出すことがで
きるシリンダが不可欠となる。そこで、本発明者は、９
０゜回転用シリンダ７１と微少角（θ）回転用シリンダ
７２を連結して、図１２に示す連結型のシリンダを作製
し、種々の形状のラッチキー受けを有するＦＯＵＰにつ
いて、ラッチのロック、解除の検討を行った。このシリ
ンダを用い４つの流体ポートに供給する空気の圧力を制
御することにより、図１２（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）に
示す３つの状態にピストンロッドを送り出すことが可能
となり、上記従来の問題点を解決できることが分かっ
た。しかしながら、シリンダ全体のサイズが大きくなり
すぎ、ＳＥＭＩ規格のポートドアに設置することが実際
上困難であった。そこで、本発明者は、以上の知見に基
づいてさらに検討を加え、小型化可能なシリンダ構造を
研究した結果、本発明のシリンダ及びロードポートを完
成するに至ったものである。
【００１３】すなわち、本発明のシリンダは、２つの流
体ポートを有し、該ポートに供給される流体がピストン
に加える圧力によりピストンロッドの往復運動を行うシ
リンダにおいて、シリンダチューブのピストン室に、前
記ピストン室の一方の端面に係止されるようにピストン
ロッドと同軸に配置されたバネ受け部材と、該バネ受け
部材と前記ピストンとを離間するように配置された第１
のバネ部材と、前記ピストンロッドに設けられ、前記バ
ネ受け部材のピストンロッドに対する前記ピストンと反
対方向への移動を制限するストッパーと、前記ストッパ
ーよりも前記ピストンから離れた位置のピストンロッド
に設けられた凹部と、前記シリンダチューブに、前記凹
部と係合するように配置され、第２のバネ部材により前
記凹部方向に付勢されたストップピンと、からなり、３
位置のピストンロッド送り出しを行うことを特徴とす
る。さらには、前記ピストン室の他方の端面と前記ピス
トンが当接する位置、前記凹部の一端と前記ストップピ
ンが当接する位置、及び前記バネ受け部材のピストン方
向の移動が係止される位置又は前記凹部の他端と前記ス
トップピンとが当接する位置の３位置により、ピストン
ロッドの送り出しを規定したことを特徴とする。
体ポートを有し、該ポートに供給される流体がピストン
に加える圧力によりピストンロッドの往復運動を行うシ
リンダにおいて、シリンダチューブのピストン室に、前
記ピストン室の一方の端面に係止されるようにピストン
ロッドと同軸に配置されたバネ受け部材と、該バネ受け
部材と前記ピストンとを離間するように配置された第１
のバネ部材と、前記ピストンロッドに設けられ、前記バ
ネ受け部材のピストンロッドに対する前記ピストンと反
対方向への移動を制限するストッパーと、前記ストッパ
ーよりも前記ピストンから離れた位置のピストンロッド
に設けられた凹部と、前記シリンダチューブに、前記凹
部と係合するように配置され、第２のバネ部材により前
記凹部方向に付勢されたストップピンと、からなり、３
位置のピストンロッド送り出しを行うことを特徴とす
る。さらには、前記ピストン室の他方の端面と前記ピス
トンが当接する位置、前記凹部の一端と前記ストップピ
ンが当接する位置、及び前記バネ受け部材のピストン方
向の移動が係止される位置又は前記凹部の他端と前記ス
トップピンとが当接する位置の３位置により、ピストン
ロッドの送り出しを規定したことを特徴とする。
【００１４】このような構成とすることにより、１つの
ピストンロッドで、３つの位置への送り出しを高精度に
行うことができ、しかも、３位置の状態間の移行を安定
して行うことが可能となる。また、２つのシリンダを連
結した構成に比べて、切り替えバルブ等の部品点数を大
幅に減らすことができるため、コスト的にも極めて有利
である。その結果、小型で、低価格、かつ信頼性が高い
３位置型のシリンダを実現することが可能となる。
ピストンロッドで、３つの位置への送り出しを高精度に
行うことができ、しかも、３位置の状態間の移行を安定
して行うことが可能となる。また、２つのシリンダを連
結した構成に比べて、切り替えバルブ等の部品点数を大
幅に減らすことができるため、コスト的にも極めて有利
である。その結果、小型で、低価格、かつ信頼性が高い
３位置型のシリンダを実現することが可能となる。
【００１５】本発明のロードポートは、開口を有するフ
レームと、ラッチにより前面ドアを固定して内部の密閉
状態を保持する基板収納容器を載置し、かつ前記フレー
ムの方向に移動可能なステージと、前記ステージと反対
側から前記開口に挿入され、前記前面ドアのラッチのロ
ック及び解除を行うポートドアと、からなり、前記ステ
ージを前記フレーム側に移動させて、前記前面ドアを前
記ポートドアに密着固定させた状態で、前記前面ドアの
ラッチのロック及び解除を行うロードポートにおいて、
前記ポートドアは、前面ドアのラッチをロック及び解除
するためのラッチキーであって、垂直位置に回転させて
ラッチをロックし、水平位置にしてロックを解除するラ
ッチキーと、該ラッチキーを回転させるためのシリンダ
とを有し、前記ラッチキーを垂直位置に回転させてラッ
チのロックを行う際、ラッチキーを水平位置から９０゜
よりも大きな角度に回転させ、その後９０゜位置に戻す
ように構成したことを特徴とする。即ち、ラッチキーを
９０゜以上に回転してラッチをロックするため、種々の
形状を有するＦＯＵＰであっても、確実にＦＯＵＰボッ
クスにドアを固定し、内部の密閉を確保することができ
る。さらに、ラッチをロックした後のラッチキー受けは
常に９０゜位置となるため、次工程のロードポートにお
けるラッチのロック解除動作の際に、ラッチキーとラッ
チキー受けが衝突等する問題を回避することができる。
このように、本発明のロードポートを用いることによ
り、信頼性の高いラッチのロック、解除を行うことがで
きる。
レームと、ラッチにより前面ドアを固定して内部の密閉
状態を保持する基板収納容器を載置し、かつ前記フレー
ムの方向に移動可能なステージと、前記ステージと反対
側から前記開口に挿入され、前記前面ドアのラッチのロ
ック及び解除を行うポートドアと、からなり、前記ステ
ージを前記フレーム側に移動させて、前記前面ドアを前
記ポートドアに密着固定させた状態で、前記前面ドアの
ラッチのロック及び解除を行うロードポートにおいて、
前記ポートドアは、前面ドアのラッチをロック及び解除
するためのラッチキーであって、垂直位置に回転させて
ラッチをロックし、水平位置にしてロックを解除するラ
ッチキーと、該ラッチキーを回転させるためのシリンダ
とを有し、前記ラッチキーを垂直位置に回転させてラッ
チのロックを行う際、ラッチキーを水平位置から９０゜
よりも大きな角度に回転させ、その後９０゜位置に戻す
ように構成したことを特徴とする。即ち、ラッチキーを
９０゜以上に回転してラッチをロックするため、種々の
形状を有するＦＯＵＰであっても、確実にＦＯＵＰボッ
クスにドアを固定し、内部の密閉を確保することができ
る。さらに、ラッチをロックした後のラッチキー受けは
常に９０゜位置となるため、次工程のロードポートにお
けるラッチのロック解除動作の際に、ラッチキーとラッ
チキー受けが衝突等する問題を回避することができる。
このように、本発明のロードポートを用いることによ
り、信頼性の高いラッチのロック、解除を行うことがで
きる。
【００１６】なお、ラッチキーの駆動には、上記本発明
のシリンダを用いるのが好ましく、さらに、前記ピスト
ン室の他方の端面と前記ピストンが当接する位置、前記
凹部の一端と前記ストップピンが当接する位置、及び前
記バネ受け部材のピストン方向の移動が係止される位置
又は前記凹部の他端と前記ストップピンとが当接する位
置の３位置を、前記ラッチキーの水平位置、垂直位置及
び９０゜より大きい角度に対応させることにより、信頼
性の高いラッチ動作を行わせることが可能となる。さら
には、本発明の小型のシリンダを用いるため、ポートド
アに余裕を持って取り付けることができ、ＳＥＭＩ規格
に十分対応できるものである。
のシリンダを用いるのが好ましく、さらに、前記ピスト
ン室の他方の端面と前記ピストンが当接する位置、前記
凹部の一端と前記ストップピンが当接する位置、及び前
記バネ受け部材のピストン方向の移動が係止される位置
又は前記凹部の他端と前記ストップピンとが当接する位
置の３位置を、前記ラッチキーの水平位置、垂直位置及
び９０゜より大きい角度に対応させることにより、信頼
性の高いラッチ動作を行わせることが可能となる。さら
には、本発明の小型のシリンダを用いるため、ポートド
アに余裕を持って取り付けることができ、ＳＥＭＩ規格
に十分対応できるものである。
【００１７】前記ラッチキーを水平位置に回転させてラ
ッチの解除を行う際、水平位置を越えてさらに所定の角
度回転させることを特徴とする。これにより、ラッチの
解除の信頼性をより高まめることができる。
ッチの解除を行う際、水平位置を越えてさらに所定の角
度回転させることを特徴とする。これにより、ラッチの
解除の信頼性をより高まめることができる。
【００１８】さらに、２つのラッチキーを連結させ、１
つのシリンダにより２つのラッチキーを同時に回転させ
る構成とするのが好ましい。これにより、シリンダ、及
びバルブは半分ですむことになり、ロードポートの一層
のコスト削減を図ることができる。また、本発明の生産
方式は、上記本発明のロードポートを用いたことを特徴
とする。
つのシリンダにより２つのラッチキーを同時に回転させ
る構成とするのが好ましい。これにより、シリンダ、及
びバルブは半分ですむことになり、ロードポートの一層
のコスト削減を図ることができる。また、本発明の生産
方式は、上記本発明のロードポートを用いたことを特徴
とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図を
用いて説明する。
用いて説明する。
【００２０】（シリンダ）まず、本発明のシリンダを図
１，２を参照して説明する。図１は、本発明の３点位置
決めシリンダの一例を示す概略断面図である。図におい
て、２はシリンダチューブ、３はピストンロッド、４は
ピストン、５，６は流体ポートである。シリンダチュー
ブ２には、ピストン４の外径と略同径の内径を有するピ
ストン室（Ｉ−II）がシリンダカバー７、１９の間に形
成されている。
１，２を参照して説明する。図１は、本発明の３点位置
決めシリンダの一例を示す概略断面図である。図におい
て、２はシリンダチューブ、３はピストンロッド、４は
ピストン、５，６は流体ポートである。シリンダチュー
ブ２には、ピストン４の外径と略同径の内径を有するピ
ストン室（Ｉ−II）がシリンダカバー７、１９の間に形
成されている。
【００２１】ピストンロッド３の一端には、スリーブ８
が固定され、その外周面には溝（凹部）９が形成され、
また、その先端部にはテーパー１０が形成されている。
ピストン４とスリーブ８との間には、一端面にフランジ
が取り付けられた円筒部材からなるバネ受け部材１４
が、ピストンロッド３と同軸に、ピストンロッド３と独
立に軸方向移動可能に配置されている。このバネ受け部
材１４とピストン４の間には、バネ（第１のバネ部材）
１５がバネ受け部材１４を右側に付勢するように配置さ
れている。バネ受け部材１４はシリンダカバー１９及び
スリーブ８のそれぞれにより右方向の移動が抑えられ
る。すなわち、スリーブ８はバネ受け部材１４の右方向
への移動を抑えるストッパーとしても作用する。なお、
図においては、バネ１５の作用を滑らかに行うためのバ
ネガイド部材１６がピストンロッド３及びピストン４に
固定されて配置されている。
が固定され、その外周面には溝（凹部）９が形成され、
また、その先端部にはテーパー１０が形成されている。
ピストン４とスリーブ８との間には、一端面にフランジ
が取り付けられた円筒部材からなるバネ受け部材１４
が、ピストンロッド３と同軸に、ピストンロッド３と独
立に軸方向移動可能に配置されている。このバネ受け部
材１４とピストン４の間には、バネ（第１のバネ部材）
１５がバネ受け部材１４を右側に付勢するように配置さ
れている。バネ受け部材１４はシリンダカバー１９及び
スリーブ８のそれぞれにより右方向の移動が抑えられ
る。すなわち、スリーブ８はバネ受け部材１４の右方向
への移動を抑えるストッパーとしても作用する。なお、
図においては、バネ１５の作用を滑らかに行うためのバ
ネガイド部材１６がピストンロッド３及びピストン４に
固定されて配置されている。
【００２２】また、シリンダチューブ２には、スリーブ
８に形成された凹部９に係合可能なストップピン１１が
設けられている。このストップピン１１は、バネ１２
（第２のバネ部材）とカバー１３により、ピストンロッ
ド３の中心軸方向に付勢されている。ストップピン１１
と凹部９を係合させることにより、ピストンロッド３の
軸方向の動きが制限される。なお、このストップピン１
１は、流体ポート６に導入される加圧流体により押し戻
され、凹部９との係合が解除される。
８に形成された凹部９に係合可能なストップピン１１が
設けられている。このストップピン１１は、バネ１２
（第２のバネ部材）とカバー１３により、ピストンロッ
ド３の中心軸方向に付勢されている。ストップピン１１
と凹部９を係合させることにより、ピストンロッド３の
軸方向の動きが制限される。なお、このストップピン１
１は、流体ポート６に導入される加圧流体により押し戻
され、凹部９との係合が解除される。
【００２３】次に、図２を用いて、シリンダの動作と共
にピストンロッドを異なる３位置に送り出す方法を説明
する。図２の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）が送り出し量の異
なる状態を示し、（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）の順に送り出
し量が増加する（すなわち、Ｌ３＞Ｌ２＞Ｌ１）。
にピストンロッドを異なる３位置に送り出す方法を説明
する。図２の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）が送り出し量の異
なる状態を示し、（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）の順に送り出
し量が増加する（すなわち、Ｌ３＞Ｌ２＞Ｌ１）。
【００２４】まず、図２（Ａ）に示すように、流体ポー
ト５を高圧（Ｈ）、流体ポート６を低圧（Ｌ）にする
と、ピストンロッド３は図の右方向に押され、送り出し
量は最小値Ｌ１となる。この位置は、バネ受け部材１４
とバネガイド部材１６とが当接し、両者の間隔Ｌ０がゼ
ロになる位置である。すなわち、バネ受け部材１４とバ
ネガイド部材１６とが当接する位置により送り出しの最
小量が決められる。なお、この最小送り出し量は、上記
間隔Ｌ０がゼロになる位置で決める他に、凹部９の左端
がストップピン１１と当接する位置で決めてもよい。
ト５を高圧（Ｈ）、流体ポート６を低圧（Ｌ）にする
と、ピストンロッド３は図の右方向に押され、送り出し
量は最小値Ｌ１となる。この位置は、バネ受け部材１４
とバネガイド部材１６とが当接し、両者の間隔Ｌ０がゼ
ロになる位置である。すなわち、バネ受け部材１４とバ
ネガイド部材１６とが当接する位置により送り出しの最
小量が決められる。なお、この最小送り出し量は、上記
間隔Ｌ０がゼロになる位置で決める他に、凹部９の左端
がストップピン１１と当接する位置で決めてもよい。
【００２５】次に、図２（Ｂ）に示すように、（Ａ）の
状態から、流体ポート５を低圧とすると、ピストン４は
バネ１５の力により左方向に押され、ピストンロッド３
は左方向に移動し、凹部９の右端がストップピン１１と
当接する位置で停止する。この位置が第２の送り出し量
Ｌ２となる。この送り出し量Ｌ２は凹部９の右端の位置
により決められるが、この際、バネ１５は、ストップピ
ン１１が凹部の右端に当接するまでピストンロッド３を
移動させるのに十分なバネ定数及び長さを有するバネを
用いることは言うまでもない。
状態から、流体ポート５を低圧とすると、ピストン４は
バネ１５の力により左方向に押され、ピストンロッド３
は左方向に移動し、凹部９の右端がストップピン１１と
当接する位置で停止する。この位置が第２の送り出し量
Ｌ２となる。この送り出し量Ｌ２は凹部９の右端の位置
により決められるが、この際、バネ１５は、ストップピ
ン１１が凹部の右端に当接するまでピストンロッド３を
移動させるのに十分なバネ定数及び長さを有するバネを
用いることは言うまでもない。
【００２６】最後に、送り出し量最大の状態を示す図２
（Ｃ）は、流体ポート５を低圧、流体ポート６を高圧と
することにより、ピストン４に左方向の圧力を加え、ピ
ストンロッド３を送り出す。ただし、図２（Ｂ）の状態
で流体ポート６を高圧とすると、ピストンロッド３に左
方向の力が加わり、ストップピン１１と凹部９の端面と
の摩擦によりストップピン１１と凹部９との係合が解除
できなくなる場合があるため、例えば、図２（Ｄ）に示
す状態を経由して図２（Ｃ）の状態に移行させるのが好
ましい。すなわち、流体ポート５を高圧とし、続いて流
体ポート６も高圧とすると、凹部９右端とストップピン
１１の間に力が加わらない状態で、ストップピン１１を
押し戻す圧力を加えることができ、ストップピン１１と
凹部９の係合を安定して解除することができる。続い
て、流体ポート５を低圧状態とすることにより、ピスト
ンロッド３は左方向に移動し、ピストン４がシリンダカ
バー７に当接する位置で停止する。この状態が最大送り
出し位置Ｌ３に対応する。
（Ｃ）は、流体ポート５を低圧、流体ポート６を高圧と
することにより、ピストン４に左方向の圧力を加え、ピ
ストンロッド３を送り出す。ただし、図２（Ｂ）の状態
で流体ポート６を高圧とすると、ピストンロッド３に左
方向の力が加わり、ストップピン１１と凹部９の端面と
の摩擦によりストップピン１１と凹部９との係合が解除
できなくなる場合があるため、例えば、図２（Ｄ）に示
す状態を経由して図２（Ｃ）の状態に移行させるのが好
ましい。すなわち、流体ポート５を高圧とし、続いて流
体ポート６も高圧とすると、凹部９右端とストップピン
１１の間に力が加わらない状態で、ストップピン１１を
押し戻す圧力を加えることができ、ストップピン１１と
凹部９の係合を安定して解除することができる。続い
て、流体ポート５を低圧状態とすることにより、ピスト
ンロッド３は左方向に移動し、ピストン４がシリンダカ
バー７に当接する位置で停止する。この状態が最大送り
出し位置Ｌ３に対応する。
【００２７】なお、図２（Ｃ）の状態から（Ａ），
（Ｂ）の状態に移行させる場合は、流体ポート５を高
圧、流体ポート６を低圧とする。流体ポート６は低圧と
なるため、ストップピン１１はバネ１２の力により突出
した状態となるが、スリーブ８の端面にはテーパー部１
０が形成されているため、ピストンロッド３が右方向に
移動する際、テーパー部１０がストップピン１１を押し
戻しながらに移動することになり、信頼性のある動作を
確保することができる。
（Ｂ）の状態に移行させる場合は、流体ポート５を高
圧、流体ポート６を低圧とする。流体ポート６は低圧と
なるため、ストップピン１１はバネ１２の力により突出
した状態となるが、スリーブ８の端面にはテーパー部１
０が形成されているため、ピストンロッド３が右方向に
移動する際、テーパー部１０がストップピン１１を押し
戻しながらに移動することになり、信頼性のある動作を
確保することができる。
【００２８】以上述べたようにして、図１のシリンダを
用いることにより、凹部９の形成位置及び長さ、バネ受
け部材１４とバネガイド部材１６との間隔Ｌ０及びシリ
ンダカバー７を適宜選択することにより、３段階のピス
トンロッド３の送り出し量を様々な値に変化させること
ができ、しかも、それぞれの位置を正確に規定すること
が可能となる。
用いることにより、凹部９の形成位置及び長さ、バネ受
け部材１４とバネガイド部材１６との間隔Ｌ０及びシリ
ンダカバー７を適宜選択することにより、３段階のピス
トンロッド３の送り出し量を様々な値に変化させること
ができ、しかも、それぞれの位置を正確に規定すること
が可能となる。
【００２９】図１に示すシリンダは、ピストンのピスト
ンロッド送り出し方向とは反対側にストップピン、凹
部、バネ受け部材等を配設した構成としたが、ピストン
ロッドの送り出し方向側にストップピン等を配設した構
成も可能である。このような構成のシリンダを図３に示
す。図３の例では、図１に示したようなテーパー部１０
を有するスリーブ８を設けず、ピストンロッドの一部分
１７をバネ受け部材１４の左方向への移動を制限するス
トッパーとして作用させ、さらにピストンロッド３の外
周に溝（凹部）９を形成したものである。また、バネガ
イド部材１６として、バネ受け部材１４と同じ形状のも
のを用いている。ここで、図３の両部材１４，１６と
も、ピストンロッド３には固定されておらず、軸方向に
独立して移動することができる。なお、図３のシリンダ
においては、（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示す状態がピス
トンロッド３の３つの送り出し位置に対応する。なお、
図３の場合、ピストン室はピストン止め１８とシリンダ
カバー１９を端面とする室である。
ンロッド送り出し方向とは反対側にストップピン、凹
部、バネ受け部材等を配設した構成としたが、ピストン
ロッドの送り出し方向側にストップピン等を配設した構
成も可能である。このような構成のシリンダを図３に示
す。図３の例では、図１に示したようなテーパー部１０
を有するスリーブ８を設けず、ピストンロッドの一部分
１７をバネ受け部材１４の左方向への移動を制限するス
トッパーとして作用させ、さらにピストンロッド３の外
周に溝（凹部）９を形成したものである。また、バネガ
イド部材１６として、バネ受け部材１４と同じ形状のも
のを用いている。ここで、図３の両部材１４，１６と
も、ピストンロッド３には固定されておらず、軸方向に
独立して移動することができる。なお、図３のシリンダ
においては、（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示す状態がピス
トンロッド３の３つの送り出し位置に対応する。なお、
図３の場合、ピストン室はピストン止め１８とシリンダ
カバー１９を端面とする室である。
【００３０】最小送り出し量Ｌ１は、図３（Ａ）に示す
ように、流体ポート５を高圧、流体ポート６を低圧とす
ることにより達成される。ピストンロッド３は右方向に
移動し、ピストン４がシリンダカバー１９に当接する位
置で停止する。すなわち、送り出し量Ｌ１は、シリンダ
カバー１９の位置により決定される。なお、この状態
で、ストップピン１１は、ピストンロッド３により押し
戻された状態にある。第２の送り出し量Ｌ２は、図３
（Ｂ）に示すように、流体ポート５を低圧にし、流体ポ
ート６を高圧にして、ピストンロッド３を左側に移動さ
せ、ストップピン１１と凹部９とを係合させた後、いず
れの流体ポートも低圧とすることにより達成される。ピ
ストン両側の圧力差がなくなると、バネ１５の力により
ピストンロッド３は右方向に移動し、ストップピン１１
が凹部９左端と当接する位置で停止する。この状態が第
２の送り出し量に対応し、送り出し量Ｌ２はストップピ
ン１１と凹部９左端とが当接する位置で決められる。
ように、流体ポート５を高圧、流体ポート６を低圧とす
ることにより達成される。ピストンロッド３は右方向に
移動し、ピストン４がシリンダカバー１９に当接する位
置で停止する。すなわち、送り出し量Ｌ１は、シリンダ
カバー１９の位置により決定される。なお、この状態
で、ストップピン１１は、ピストンロッド３により押し
戻された状態にある。第２の送り出し量Ｌ２は、図３
（Ｂ）に示すように、流体ポート５を低圧にし、流体ポ
ート６を高圧にして、ピストンロッド３を左側に移動さ
せ、ストップピン１１と凹部９とを係合させた後、いず
れの流体ポートも低圧とすることにより達成される。ピ
ストン両側の圧力差がなくなると、バネ１５の力により
ピストンロッド３は右方向に移動し、ストップピン１１
が凹部９左端と当接する位置で停止する。この状態が第
２の送り出し量に対応し、送り出し量Ｌ２はストップピ
ン１１と凹部９左端とが当接する位置で決められる。
【００３１】次に、この（Ｂ）の状態から、流体ポート
６を高圧にすると、ピストンロッド３はストップピン１
１の右端面に当接するまで送り出される（図３
（Ｃ））。すなわち、最大送り出し量Ｌ３は、ストップ
ピン１１と凹部９の右端が当接する位置により決められ
ることになる。なお、図１と同様に、バネ受け部材１４
とバネガイド部材１６が当接する位置（すなわち、Ｌ０
＝０）を最大送り出し量としても良い。
６を高圧にすると、ピストンロッド３はストップピン１
１の右端面に当接するまで送り出される（図３
（Ｃ））。すなわち、最大送り出し量Ｌ３は、ストップ
ピン１１と凹部９の右端が当接する位置により決められ
ることになる。なお、図１と同様に、バネ受け部材１４
とバネガイド部材１６が当接する位置（すなわち、Ｌ０
＝０）を最大送り出し量としても良い。
【００３２】また、図３（Ｂ）又は（Ｃ）の状態から、
図３（Ａ）の状態に移すには、図２で示したのと同様
に、図３（Ｄ）に示すように、流体ポート６を高圧にし
た後、流体ポート５を高圧にし、その後、流体ポート６
を低圧とすればよい。このようにすることにより、スト
ップピン１１が容易に押し戻され、（Ａ）状態への移行
がスムーズに行なわれる。
図３（Ａ）の状態に移すには、図２で示したのと同様
に、図３（Ｄ）に示すように、流体ポート６を高圧にし
た後、流体ポート５を高圧にし、その後、流体ポート６
を低圧とすればよい。このようにすることにより、スト
ップピン１１が容易に押し戻され、（Ａ）状態への移行
がスムーズに行なわれる。
【００３３】さらに、本発明のシリンダは、例えば、図
４に示すように、ピストンの両側の所定の位置に、凹
部、バネ受け部材、ストップピン等をそれぞれ配置する
ことにより、送り出し量を４位置以上の多位置で規定す
るシリンダ構造を実現することも可能である。
４に示すように、ピストンの両側の所定の位置に、凹
部、バネ受け部材、ストップピン等をそれぞれ配置する
ことにより、送り出し量を４位置以上の多位置で規定す
るシリンダ構造を実現することも可能である。
【００３４】以上のように、図１〜４に本発明のシリン
ダの構成例を示したが、本発明はこれらに限定されるも
のではなく、これらに基づき種々の設計変更をしても良
い。例えば、スリーブ８又はピストンロッド３上に形成
される凹部９は外周面全体にわたり形成する必要は必ず
しもなく、ストップピン１１と係合する部分のみに形成
してもよい。また、バネガイド部材１６は、図１，３の
構造のものにかぎらず、バネの伸縮を安定して確保でき
るものであればどのような構造のものであっても良く、
また、ピストン等に固定してもしなくても良い。さら
に、バネガイド部材１６を省略することも可能である。
省略する場合は、間隔Ｌ０は、ピストン４とバネ受け部
材１４との間隔となる。また、バネ受け部材１４は、シ
リンダカバー１９（又はピストン止め１８）やスリーブ
８等のストッパー１７により、係止されるものであれ
ば、どのような構造ものでもよく、図１〜４で示したも
のに限られるものではない。さらに、本発明のバネ部材
は、バネ受け部材１４やストップピン１１を押しつける
ものであればどのような構造、材質のものであってもよ
く、例えば、コイル状バネ、皿バネ、スポンジ、ゴム等
を含む意味である。
ダの構成例を示したが、本発明はこれらに限定されるも
のではなく、これらに基づき種々の設計変更をしても良
い。例えば、スリーブ８又はピストンロッド３上に形成
される凹部９は外周面全体にわたり形成する必要は必ず
しもなく、ストップピン１１と係合する部分のみに形成
してもよい。また、バネガイド部材１６は、図１，３の
構造のものにかぎらず、バネの伸縮を安定して確保でき
るものであればどのような構造のものであっても良く、
また、ピストン等に固定してもしなくても良い。さら
に、バネガイド部材１６を省略することも可能である。
省略する場合は、間隔Ｌ０は、ピストン４とバネ受け部
材１４との間隔となる。また、バネ受け部材１４は、シ
リンダカバー１９（又はピストン止め１８）やスリーブ
８等のストッパー１７により、係止されるものであれ
ば、どのような構造ものでもよく、図１〜４で示したも
のに限られるものではない。さらに、本発明のバネ部材
は、バネ受け部材１４やストップピン１１を押しつける
ものであればどのような構造、材質のものであってもよ
く、例えば、コイル状バネ、皿バネ、スポンジ、ゴム等
を含む意味である。
【００３５】（ロードポート）次に、本発明のシリンダ
を用いたロードポートについて説明する。図５はロード
ポートの構成例を示す概略斜視図である。図に示すよう
に、ロードポート３０は、図６に示すＦＯＵＰ５０を載
置し、基板を移送するための開口を有するフレーム３１
と、フレーム３１方向に移動可能なＦＯＵＰ載置ステー
ジ３２と、フレームの開口に挿入でき、ＦＯＵＰ内の基
板を移送する際には、後退したのち下方に退避するポー
トドア３３とから構成される。ＦＯＵＰ載置ステージ３
２には、ＦＯＵＰを位置決めするキネマティックピンが
３個取り付けられている。一方、ポートドアは、後述す
るように、ラッチキー３５とそれを駆動するシリンダ１
が２組設けられ、ＦＯＵＰドア５２のラッチ及びその解
除を行う。ポートドア３３は、ＦＯＵＰドア５２のラッ
チを解除した後、ＦＯＵＰドアとともに後方さらに下方
に移動し、ロボットによる基板移送を妨害しない位置に
退避する。
を用いたロードポートについて説明する。図５はロード
ポートの構成例を示す概略斜視図である。図に示すよう
に、ロードポート３０は、図６に示すＦＯＵＰ５０を載
置し、基板を移送するための開口を有するフレーム３１
と、フレーム３１方向に移動可能なＦＯＵＰ載置ステー
ジ３２と、フレームの開口に挿入でき、ＦＯＵＰ内の基
板を移送する際には、後退したのち下方に退避するポー
トドア３３とから構成される。ＦＯＵＰ載置ステージ３
２には、ＦＯＵＰを位置決めするキネマティックピンが
３個取り付けられている。一方、ポートドアは、後述す
るように、ラッチキー３５とそれを駆動するシリンダ１
が２組設けられ、ＦＯＵＰドア５２のラッチ及びその解
除を行う。ポートドア３３は、ＦＯＵＰドア５２のラッ
チを解除した後、ＦＯＵＰドアとともに後方さらに下方
に移動し、ロボットによる基板移送を妨害しない位置に
退避する。
【００３６】図７（Ａ）は、ポートドアの前面カバーを
取り除いた状態をステージ３２側から見た概略図であ
る。ＦＯＵＰドア５１のラッチホール５５及びレジスト
レーションホール５４に対応する位置にラッチキー３５
及びレジストレーションピン３６がそれぞれ２つずつ取
り付けられている。ラッチキー３５は、連結部材３８に
連結され、該連結部材３８はエアシリンダのピストンロ
ッド先端のナックル２１に回転可能に連結されている。
この結果、エアシリンダのピストンロッド３の往復運動
に伴い、ラッチキーは回転することができる。なお、エ
アシリンダ１の他端はクレビス型の支持構造２０をな
し、ポートドアの後面カバー４１に取り付けられた支持
部材４２に回転可能に固定されている。また、シリンダ
のポート５，６はエア配管４０を介して切り替えバル
ブ、さらには圧縮エア源に接続されている。また、レジ
ストレーションピン３６を囲むように吸着パッ３７ドが
取り付けられており、ＦＯＵＰドアとポートドアとが密
着した際、吸着パッド３７とＦＯＵＰドア５２との間の
空間を真空排気可能なように、吸着パッドは真空用配管
３９を介して真空装置（不図示）と接続されている。
取り除いた状態をステージ３２側から見た概略図であ
る。ＦＯＵＰドア５１のラッチホール５５及びレジスト
レーションホール５４に対応する位置にラッチキー３５
及びレジストレーションピン３６がそれぞれ２つずつ取
り付けられている。ラッチキー３５は、連結部材３８に
連結され、該連結部材３８はエアシリンダのピストンロ
ッド先端のナックル２１に回転可能に連結されている。
この結果、エアシリンダのピストンロッド３の往復運動
に伴い、ラッチキーは回転することができる。なお、エ
アシリンダ１の他端はクレビス型の支持構造２０をな
し、ポートドアの後面カバー４１に取り付けられた支持
部材４２に回転可能に固定されている。また、シリンダ
のポート５，６はエア配管４０を介して切り替えバル
ブ、さらには圧縮エア源に接続されている。また、レジ
ストレーションピン３６を囲むように吸着パッ３７ドが
取り付けられており、ＦＯＵＰドアとポートドアとが密
着した際、吸着パッド３７とＦＯＵＰドア５２との間の
空間を真空排気可能なように、吸着パッドは真空用配管
３９を介して真空装置（不図示）と接続されている。
【００３７】ラッチキー受けの形状に伴う種々の問題を
未然に防ぎ、安定したラッチのロック及びその解除を行
うためには、どのようなラッチ形状のＦＯＵＰに対して
も、ラッチをロックした後のラッチキー受けを常に９０
゜位置に置くことが重要であるが、このためにはピスト
ンロッドの送り出し量を３段階に制御できる本発明のシ
リンダが好適に用いられる。すなわち、本発明のシリン
ダを用いることにより、ラッチキー受けの形状にかかわ
らず、ラッチ動作終了後のラッチキー受けを常に９０゜
位置におくことができ、ラッチの信頼性を高めるととも
に、ラッチ解除のためにラッチキーをラッチキー受けへ
挿入する際の両者の衝突を防止することができる。
未然に防ぎ、安定したラッチのロック及びその解除を行
うためには、どのようなラッチ形状のＦＯＵＰに対して
も、ラッチをロックした後のラッチキー受けを常に９０
゜位置に置くことが重要であるが、このためにはピスト
ンロッドの送り出し量を３段階に制御できる本発明のシ
リンダが好適に用いられる。すなわち、本発明のシリン
ダを用いることにより、ラッチキー受けの形状にかかわ
らず、ラッチ動作終了後のラッチキー受けを常に９０゜
位置におくことができ、ラッチの信頼性を高めるととも
に、ラッチ解除のためにラッチキーをラッチキー受けへ
挿入する際の両者の衝突を防止することができる。
【００３８】図１に示す構造のエアシリンダを用いてポ
ートドアを構成した場合のＦＯＵＰドアの開閉動作を図
５〜１０を参照して説明する。図８は、各動作に対応す
るシリンダの状態を示す概略断面図、図９はエアポート
に連結された切り替え用の電磁バルブの動作及びラッチ
キー位置を示す模式図である。なお、図８では、各動作
におけるピストンロッド位置の具体的数値を示した。Ｆ
ＯＵＰ５０は、ロードポート３０のステージ３２にキネ
マティックピン３４をあわせて載置される。ここで、Ｆ
ＯＵＰボックス５１とドア５２とは、ラッチにより、固
定され、内部は外部と完全に遮断され密閉状態にある。
また、２つのラッチキー受けは水平方向から９０゜回転
した位置にある。一方、ポートドアの２つのラッチキー
３５も９０゜の位置にある。
ートドアを構成した場合のＦＯＵＰドアの開閉動作を図
５〜１０を参照して説明する。図８は、各動作に対応す
るシリンダの状態を示す概略断面図、図９はエアポート
に連結された切り替え用の電磁バルブの動作及びラッチ
キー位置を示す模式図である。なお、図８では、各動作
におけるピストンロッド位置の具体的数値を示した。Ｆ
ＯＵＰ５０は、ロードポート３０のステージ３２にキネ
マティックピン３４をあわせて載置される。ここで、Ｆ
ＯＵＰボックス５１とドア５２とは、ラッチにより、固
定され、内部は外部と完全に遮断され密閉状態にある。
また、２つのラッチキー受けは水平方向から９０゜回転
した位置にある。一方、ポートドアの２つのラッチキー
３５も９０゜の位置にある。
【００３９】ステージ３２を不図示の駆動機構によりポ
ートドア３３方向に移動させると、ＦＯＵＰドア５２の
レジストレーションホール５４にレジストレーションピ
ン３６が挿入されて両者の位置決めがなされ、続いてラ
ッチホール５５を通してラッチキー３５がラッチキー受
けに挿入される。ポートドア３３とＦＯＵＰドア５２と
が密着した状態で、真空装置（不図示）により吸着パッ
ド３７内を真空にし、ポートドア３３にＦＯＵＰドア５
２を吸着固定させる。この状態で、ラッチのロックを解
除し、ＦＯＵＰドア５２を開ける操作を行う。ピストン
ロッドの動きとポート５，６へのエアの供給との関係を
図８、９を用いて説明する。なお、２つのシリンダは全
く同じ動作を行う。
ートドア３３方向に移動させると、ＦＯＵＰドア５２の
レジストレーションホール５４にレジストレーションピ
ン３６が挿入されて両者の位置決めがなされ、続いてラ
ッチホール５５を通してラッチキー３５がラッチキー受
けに挿入される。ポートドア３３とＦＯＵＰドア５２と
が密着した状態で、真空装置（不図示）により吸着パッ
ド３７内を真空にし、ポートドア３３にＦＯＵＰドア５
２を吸着固定させる。この状態で、ラッチのロックを解
除し、ＦＯＵＰドア５２を開ける操作を行う。ピストン
ロッドの動きとポート５，６へのエアの供給との関係を
図８、９を用いて説明する。なお、２つのシリンダは全
く同じ動作を行う。
【００４０】ラッチキー３５がラッチキー受けに挿入さ
れる状態の２つのシリンダは、いずれも図８（Ａ）に示
す状態にあり、ポート５，６に接続されたバルブＡ，Ｂ
はいずれも大気圧側に切り替えられている（図９
（Ａ））。ピストンロッド３は、バネにより左方向に押
され、凹部９の右端がストップピン１１により係止され
ている。このときのラッチキーは９０゜位置にある。
れる状態の２つのシリンダは、いずれも図８（Ａ）に示
す状態にあり、ポート５，６に接続されたバルブＡ，Ｂ
はいずれも大気圧側に切り替えられている（図９
（Ａ））。ピストンロッド３は、バネにより左方向に押
され、凹部９の右端がストップピン１１により係止され
ている。このときのラッチキーは９０゜位置にある。
【００４１】次に、まず、バルブＡを、続いてバルブＢ
を圧縮空気側に切り替えると（図９（Ｂ））、ピストン
４が右方向に少しずれた状態でピストンの両側のいずれ
もが加圧状態になるため、この圧力によりストップピン
１１がバネ１２の力に抗して押し戻され、ストップピン
と凹部の係合が解かれる（図８（Ｂ））。
を圧縮空気側に切り替えると（図９（Ｂ））、ピストン
４が右方向に少しずれた状態でピストンの両側のいずれ
もが加圧状態になるため、この圧力によりストップピン
１１がバネ１２の力に抗して押し戻され、ストップピン
と凹部の係合が解かれる（図８（Ｂ））。
【００４２】この状態で、バルブＡを大気圧側に切り替
えると（図９（Ｃ））、ピストン４に左方向の力が加わ
り、ピストンロッド３は押し出され、ピストン４がシリ
ンダカバー７と当接する位置で停止し、これに対応して
ラッチキー３５が０゜位置まで回転する。ラッチキー３
５の回転に伴いラッチキー受けも回転し、ＦＯＵＰドア
のラッチが解除される（図８（Ｃ））。
えると（図９（Ｃ））、ピストン４に左方向の力が加わ
り、ピストンロッド３は押し出され、ピストン４がシリ
ンダカバー７と当接する位置で停止し、これに対応して
ラッチキー３５が０゜位置まで回転する。ラッチキー３
５の回転に伴いラッチキー受けも回転し、ＦＯＵＰドア
のラッチが解除される（図８（Ｃ））。
【００４３】ここで、ポートドア３３を駆動機構（不図
示）により、開口部から後退、退避させて、不図示のロ
ボットによる基板移送動作を可能な状態とする。ＦＯＵ
Ｐと基板処理装置間で基板の移送を行い、ＦＯＵＰに収
納された基板の処理を行い、処理終了後の基板は再びＦ
ＯＵＰ内に移送される。
示）により、開口部から後退、退避させて、不図示のロ
ボットによる基板移送動作を可能な状態とする。ＦＯＵ
Ｐと基板処理装置間で基板の移送を行い、ＦＯＵＰに収
納された基板の処理を行い、処理終了後の基板は再びＦ
ＯＵＰ内に移送される。
【００４４】すべての基板の処理が終了した後、ＦＯＵ
Ｐドア５２をＦＯＵＰボックス５１に固定する操作を行
う。ポートドア３３を退避した状態から、不図示の駆動
機構により、ポートドアを上昇、さらに前進させて開口
内に挿入し、ＦＯＵＰボックス５１にＦＯＵＰドア５２
を押し当てる。この状態で、バルブＡ、Ｂをそれぞれ圧
縮空気側及び大気圧側へと切り替える（図９（Ｄ））。
ピストンロッド３は右方向に移動し、ストップピン１１
が凹部９に係合して、ストップピンと凹部の右端とが接
触する位置よりもさらに進み、間隔Ｌ０がゼロとなる位
置で停止する。これに対応して、ラッチキー３５は９０
゜位置を越えて９０゜＋θ位置で停止し（図８（Ｄ）、
図９（Ｄ））、一方、ラッチキー受けは９０゜位置とな
る。
Ｐドア５２をＦＯＵＰボックス５１に固定する操作を行
う。ポートドア３３を退避した状態から、不図示の駆動
機構により、ポートドアを上昇、さらに前進させて開口
内に挿入し、ＦＯＵＰボックス５１にＦＯＵＰドア５２
を押し当てる。この状態で、バルブＡ、Ｂをそれぞれ圧
縮空気側及び大気圧側へと切り替える（図９（Ｄ））。
ピストンロッド３は右方向に移動し、ストップピン１１
が凹部９に係合して、ストップピンと凹部の右端とが接
触する位置よりもさらに進み、間隔Ｌ０がゼロとなる位
置で停止する。これに対応して、ラッチキー３５は９０
゜位置を越えて９０゜＋θ位置で停止し（図８（Ｄ）、
図９（Ｄ））、一方、ラッチキー受けは９０゜位置とな
る。
【００４５】ラッチキー受け幅Ｗ１とラッチキー幅Ｗ２
との差によっては、ラッチキーは９０゜位置にあっても
ラッチキー受けは９０゜に達せず（例えば、Ｗ１＝６ｍ
ｍ，Ｗ２＝５ｍｍのとき、ラッチキー受け角度＝８６
゜）、この状態では次工程のラッチ解除の際に、ラッチ
キーとラッチキー受け周辺が接触する問題や、ラッチの
ロックが不十分で密閉性が不十分となり、ＦＯＵＰ搬送
中に内部が汚染されかねないという問題がある。しかし
ながら、図１に示すシリンダにより、ラッチキーは９０
゜＋θ位置まで回転するため、ラッチキー受けを常に９
０゜位置とすることができ、以上の問題を未然に防ぐこ
とができる。
との差によっては、ラッチキーは９０゜位置にあっても
ラッチキー受けは９０゜に達せず（例えば、Ｗ１＝６ｍ
ｍ，Ｗ２＝５ｍｍのとき、ラッチキー受け角度＝８６
゜）、この状態では次工程のラッチ解除の際に、ラッチ
キーとラッチキー受け周辺が接触する問題や、ラッチの
ロックが不十分で密閉性が不十分となり、ＦＯＵＰ搬送
中に内部が汚染されかねないという問題がある。しかし
ながら、図１に示すシリンダにより、ラッチキーは９０
゜＋θ位置まで回転するため、ラッチキー受けを常に９
０゜位置とすることができ、以上の問題を未然に防ぐこ
とができる。
【００４６】ここで、ポート５のバルブＡを大気圧側に
切り替えると、バネ１５の力によりピストンロッド３は
ストップピン１１が凹部右端に当接するまで左方向に移
動する。これに対応して、ラッチキーも９０゜位置に戻
り、ラッチキー受け及びラッチキーのいずれもが９０゜
位置になる。この結果、ロードポートは次のＦＯＵＰの
ラッチ解除操作を行える状態となるとともに、ＦＯＵＰ
も次の工程のロードポートにより支障なくドア解除が行
えることになる。ピストンロッドの往復運動により、シ
リンダは軸に垂直方向の力を受けるため、シリンダの両
端部２１、２０は、それぞれ回転可能に連結部材３８，
支持部材４２と連結されている。従って、上記した一連
の動作において、シリンダは図１０に示すような動きを
することになる。
切り替えると、バネ１５の力によりピストンロッド３は
ストップピン１１が凹部右端に当接するまで左方向に移
動する。これに対応して、ラッチキーも９０゜位置に戻
り、ラッチキー受け及びラッチキーのいずれもが９０゜
位置になる。この結果、ロードポートは次のＦＯＵＰの
ラッチ解除操作を行える状態となるとともに、ＦＯＵＰ
も次の工程のロードポートにより支障なくドア解除が行
えることになる。ピストンロッドの往復運動により、シ
リンダは軸に垂直方向の力を受けるため、シリンダの両
端部２１、２０は、それぞれ回転可能に連結部材３８，
支持部材４２と連結されている。従って、上記した一連
の動作において、シリンダは図１０に示すような動きを
することになる。
【００４７】また、ラッチを解除する場合は、上述した
ように、ラッチキーを水平位置に回転するが、ラッチキ
ー受け幅Ｗ１が大きいＦＯＵＰになると、ラッチキーを
０゜に戻してもラッチキー受けはラッチ解除角度（０゜
±１゜）まで達せず、ラッチが解除できない場合が起こ
りうる。そこで、ラッチ解除を安定して行うには、ラッ
チキーを０゜を越えてさらに回転させるようにすればよ
い。すなわち、ラッチ解除の信頼性を高めるにはラッチ
キーを（−θ）まで回転すればよい。この角度（−θ）
は、ピストン４がシリンダカバー７に当接する位置によ
り決めることができる。
ように、ラッチキーを水平位置に回転するが、ラッチキ
ー受け幅Ｗ１が大きいＦＯＵＰになると、ラッチキーを
０゜に戻してもラッチキー受けはラッチ解除角度（０゜
±１゜）まで達せず、ラッチが解除できない場合が起こ
りうる。そこで、ラッチ解除を安定して行うには、ラッ
チキーを０゜を越えてさらに回転させるようにすればよ
い。すなわち、ラッチ解除の信頼性を高めるにはラッチ
キーを（−θ）まで回転すればよい。この角度（−θ）
は、ピストン４がシリンダカバー７に当接する位置によ
り決めることができる。
【００４８】以上は図１のシリンダを用いたロードーポ
ートについて説明したが、同様に、図３に示す構成のシ
リンダを用いた場合も同様である。なお、この場合は図
７（Ａ）に示すシリンダ位置を９０゜回転して配置すれ
ばよい。また、図５のポートドアには、２つのラッチキ
ーに対応した２本のシリンダが取り付けられているが、
一本のシリンダで同様なラッチ動作を実現することも可
能である。この場合のポートドア構成例を図７（Ｂ）に
示す。図の例は、Ｔ字型の連結部材４３を用いて、２つ
のラッチの連結部材３８とシリンダのナックル２１とを
連結したものである。シリンダの往復運動により、２つ
のラッチキーが同位相で回転し、ラッチのロック及び解
除を１つのシリンダで行うことができる。
ートについて説明したが、同様に、図３に示す構成のシ
リンダを用いた場合も同様である。なお、この場合は図
７（Ａ）に示すシリンダ位置を９０゜回転して配置すれ
ばよい。また、図５のポートドアには、２つのラッチキ
ーに対応した２本のシリンダが取り付けられているが、
一本のシリンダで同様なラッチ動作を実現することも可
能である。この場合のポートドア構成例を図７（Ｂ）に
示す。図の例は、Ｔ字型の連結部材４３を用いて、２つ
のラッチの連結部材３８とシリンダのナックル２１とを
連結したものである。シリンダの往復運動により、２つ
のラッチキーが同位相で回転し、ラッチのロック及び解
除を１つのシリンダで行うことができる。
【００４９】（生産方式）次に、本発明の半導体生産方
式を図１１を参照して説明する。半導体工場内では、各
種処理を受けるウエハ５３はＦＯＵＰ５０に収納された
状態で各処理装置６１間を移動する。３００ｍｍ径クラ
スのウエハ５３を収納したＦＯＵＰ５０は８ｋｇ以上の
重量となるため、安全上人手での搬送は考えにくく、Ｏ
ＨＴ部（Overhead Hoist Transfer）６０等の自動搬
送機器を使用することになる。
式を図１１を参照して説明する。半導体工場内では、各
種処理を受けるウエハ５３はＦＯＵＰ５０に収納された
状態で各処理装置６１間を移動する。３００ｍｍ径クラ
スのウエハ５３を収納したＦＯＵＰ５０は８ｋｇ以上の
重量となるため、安全上人手での搬送は考えにくく、Ｏ
ＨＴ部（Overhead Hoist Transfer）６０等の自動搬
送機器を使用することになる。
【００５０】図１１の例では、処理されるウエハ５３が
収納されたＦＯＵＰ５０を、工程内に設置されたストッ
カからＯＨＴ部６０によって処理装置６１（例えばエッ
チング装置）上に搬送する。
収納されたＦＯＵＰ５０を、工程内に設置されたストッ
カからＯＨＴ部６０によって処理装置６１（例えばエッ
チング装置）上に搬送する。
【００５１】次いで、ＦＯＵＰ５０を、ホイスト（Hois
t）機構６２を用いて処理装置６１のロードポート３０
上へ降ろして所定位置（移載ポジション）にセットす
る。次いで、ＦＯＵＰ５０の下面に設けられているＶ溝
を、ロードポート３０上のキネマティックピン３４上に
導いて所定の収まり位置に固定する。
t）機構６２を用いて処理装置６１のロードポート３０
上へ降ろして所定位置（移載ポジション）にセットす
る。次いで、ＦＯＵＰ５０の下面に設けられているＶ溝
を、ロードポート３０上のキネマティックピン３４上に
導いて所定の収まり位置に固定する。
【００５２】次いで、ホイスト機構６２をＦＯＵＰ５０
から外してＦＯＵＰ５０をロードポート３０上に載せ
る。その後、ＦＯＵＰ５０を前進させてポートドア３３
に密着固定する。次いで、ラッチキー３５を回転するこ
とにより、ＦＯＵＰドア５２のラッチを解除する。
から外してＦＯＵＰ５０をロードポート３０上に載せ
る。その後、ＦＯＵＰ５０を前進させてポートドア３３
に密着固定する。次いで、ラッチキー３５を回転するこ
とにより、ＦＯＵＰドア５２のラッチを解除する。
【００５３】次いで、ポートドア開閉機構を駆動してＦ
ＯＵＰドア５２をＦＯＵＰボックス５１から取り外し、
処理装置６１内下部へＦＯＵＰドア５２を移動する。Ｆ
ＯＵＰドア５２が外れた状態でＦＯＵＰ５０の前面から
ウェハ５３を取り出し、処理装置６１内のウェハ移送ロ
ボット（不図示）でウェハ５３を処理装置６１内部の処
理部（不図示）に移送して所要の処理を行う。半導体チ
ップが出来るまで、このＦＯＵＰドア５２の開閉動作
は、５００回から多い場合には１０００回程度行うこと
になる。
ＯＵＰドア５２をＦＯＵＰボックス５１から取り外し、
処理装置６１内下部へＦＯＵＰドア５２を移動する。Ｆ
ＯＵＰドア５２が外れた状態でＦＯＵＰ５０の前面から
ウェハ５３を取り出し、処理装置６１内のウェハ移送ロ
ボット（不図示）でウェハ５３を処理装置６１内部の処
理部（不図示）に移送して所要の処理を行う。半導体チ
ップが出来るまで、このＦＯＵＰドア５２の開閉動作
は、５００回から多い場合には１０００回程度行うこと
になる。
【００５４】次いで、処理の終了後、処理済みのウェハ
５３をウェハ移送ロボットを用いてＦＯＵＰ５０に戻
す。このように、ＦＯＵＰ５０内に収納されているウェ
ハ５３のそれぞれに所要の処理を行った後、ボートドア
開閉機構を駆動しＦＯＵＰドア５２をＦＯＵＰボックス
５１に挿入し、本発明のシリンダーを用いてラッチキー
３５を一旦９０゜＋θの位置まで過回転させ、ラッチキ
ーを９０゜位置に戻すことによりラッチをロックし、Ｆ
ＯＵＰドア５２をＦＯＵＰボックス５１に固定する。
５３をウェハ移送ロボットを用いてＦＯＵＰ５０に戻
す。このように、ＦＯＵＰ５０内に収納されているウェ
ハ５３のそれぞれに所要の処理を行った後、ボートドア
開閉機構を駆動しＦＯＵＰドア５２をＦＯＵＰボックス
５１に挿入し、本発明のシリンダーを用いてラッチキー
３５を一旦９０゜＋θの位置まで過回転させ、ラッチキ
ーを９０゜位置に戻すことによりラッチをロックし、Ｆ
ＯＵＰドア５２をＦＯＵＰボックス５１に固定する。
【００５５】その後、ＦＯＵＰ５０を後退させて移載ポ
ジションに納置する。搬送要求に応じて、ロードポート
３０、すなわち搬送要求の対象となっているＦＯＵＰ５
０が置かれているロードポート３０上に空のＯＨＴ部６
０を停止させ、ホイスト機構６２のロボットハンド（不
図示）を用いて引き上げる。
ジションに納置する。搬送要求に応じて、ロードポート
３０、すなわち搬送要求の対象となっているＦＯＵＰ５
０が置かれているロードポート３０上に空のＯＨＴ部６
０を停止させ、ホイスト機構６２のロボットハンド（不
図示）を用いて引き上げる。
【００５６】次いで、ＦＯＵＰ５０をＯＨＴ部６０でス
トッカに搬送して一時保管した後に、次の処理工程（例
えば、アッシング工程等）にＦＯＵＰ５０を搬送する。
このようなフロー（基板収納治具搬送方法）を繰り返す
ことで所望の回路をウェハ５３上に形成する。
トッカに搬送して一時保管した後に、次の処理工程（例
えば、アッシング工程等）にＦＯＵＰ５０を搬送する。
このようなフロー（基板収納治具搬送方法）を繰り返す
ことで所望の回路をウェハ５３上に形成する。
【００５７】なお、上記においては、自動搬送としてＯ
ＨＴ部６０を用いる例で説明したが、これに特に限定さ
れることなく、ＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）や
ＲＧＶ（Rail Guided Vehicle）を用いても良く、また
ＰＧＶ（Person Guided Vehicle）を用いた手動搬送を
用いても良いことは明らかである。本発明の生産方式に
おいては、全ての処理装置６１に本発明のロードポート
３０を取付けることが望ましいが、従来のロードポート
の一部を本発明のロードポートに置き換える構成であっ
ても、従来の生産方式に比べてより安定した生産を行う
ことが可能となる。例えば、５〜６台の処理装置６１の
ロードポートの１台に本発明のロードポート３０を取付
け、他の処理装置には従来のロードポートが取り付けら
れた場合であっても、本発明のロードポートにＦＯＵＰ
が搬送されてきた際に、従来のロードポートで生じたラ
ッチキー受けの位置ずれを矯正し、正確に９０゜位置と
することができることとなる。その結果、ラッチキー解
除の際のラッチキーとラッチキー受けとの接触、衝突等
の問題発生を低減し、より安定した生産を行うことが可
能となる。
ＨＴ部６０を用いる例で説明したが、これに特に限定さ
れることなく、ＡＧＶ（Automated Guided Vehicle）や
ＲＧＶ（Rail Guided Vehicle）を用いても良く、また
ＰＧＶ（Person Guided Vehicle）を用いた手動搬送を
用いても良いことは明らかである。本発明の生産方式に
おいては、全ての処理装置６１に本発明のロードポート
３０を取付けることが望ましいが、従来のロードポート
の一部を本発明のロードポートに置き換える構成であっ
ても、従来の生産方式に比べてより安定した生産を行う
ことが可能となる。例えば、５〜６台の処理装置６１の
ロードポートの１台に本発明のロードポート３０を取付
け、他の処理装置には従来のロードポートが取り付けら
れた場合であっても、本発明のロードポートにＦＯＵＰ
が搬送されてきた際に、従来のロードポートで生じたラ
ッチキー受けの位置ずれを矯正し、正確に９０゜位置と
することができることとなる。その結果、ラッチキー解
除の際のラッチキーとラッチキー受けとの接触、衝突等
の問題発生を低減し、より安定した生産を行うことが可
能となる。
【００５８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明により、３つ
の位置に送り出し可能で、しかも３位置間の移行を安定
して行うことができるシリンダを提供することができ
る。しかも、２つのシリンダを連結した場合に比べてピ
ストンロッドを一本で構成しているため、流体ポート数
も２つと半減でき、小型化が達成できるとともに、コス
トの低減を図ることができる。また、かかるシリンダを
用いてロードポートを構成することにより、ＦＯＵＰ開
閉時のラッチ動作を確実に行うことが可能な信頼性の高
いロードポートを提供することが可能となる。さらに、
２つのラッチキーを連結して、１つのシリンダで２つの
ラッチを固定、解除することが可能となり、ポートド
ア、さらにはロードポートのコスト削減を図ることが可
能となる。さらに本発明の半導体生産方式により、確実
に密閉され、クリーンな状態でウエハを各処理装置間で
搬送することができ、さらに各処理室におけるウエハ処
理を安定して行うことが可能となる。クリーンルームの
コスト削減を図りながら、半導体集積回路等の量産が可
能となる。
の位置に送り出し可能で、しかも３位置間の移行を安定
して行うことができるシリンダを提供することができ
る。しかも、２つのシリンダを連結した場合に比べてピ
ストンロッドを一本で構成しているため、流体ポート数
も２つと半減でき、小型化が達成できるとともに、コス
トの低減を図ることができる。また、かかるシリンダを
用いてロードポートを構成することにより、ＦＯＵＰ開
閉時のラッチ動作を確実に行うことが可能な信頼性の高
いロードポートを提供することが可能となる。さらに、
２つのラッチキーを連結して、１つのシリンダで２つの
ラッチを固定、解除することが可能となり、ポートド
ア、さらにはロードポートのコスト削減を図ることが可
能となる。さらに本発明の半導体生産方式により、確実
に密閉され、クリーンな状態でウエハを各処理装置間で
搬送することができ、さらに各処理室におけるウエハ処
理を安定して行うことが可能となる。クリーンルームの
コスト削減を図りながら、半導体集積回路等の量産が可
能となる。
【図１】本発明のシリンダの構成を示す概略断面図であ
る。
る。
【図２】本発明のシリンダの動作原理を示す概略断面図
である。
である。
【図３】本発明のシリンダの別の構成例を示す断面図で
ある。
ある。
【図４】本発明のシリンダの別の構成例を示す断面図で
ある。
ある。
【図５】ロードポートの構成を示す概略斜視図である。
【図６】ＦＯＵＰを示す概略斜視図である。
【図７】本発明のシリンダを組み込んだポートドアの構
成図である。
成図である。
【図８】本発明のロードポートのシリンダの動作原理を
示す概略断面図である。
示す概略断面図である。
【図９】本発明のロードポートの（ａ）ラッチキー動作
及び（ｂ）シリンダの電磁弁回路を示す模式図である。
及び（ｂ）シリンダの電磁弁回路を示す模式図である。
【図１０】ピストンロッドの往復運動に伴うシリンダの
揺動を説明する平面図である。
揺動を説明する平面図である。
【図１１】本発明の半導体生産方式を示す概念図であ
る。
る。
【図１２】従来構造のシリンダを２つ連結して、３位置
へピストンロッド送り出しを可能としたシリンダを示す
概略断面図である。
へピストンロッド送り出しを可能としたシリンダを示す
概略断面図である。
【図１３】ラッチキ−とラッチキー受けとの関係を示し
た模式図である。
た模式図である。
１ シリンダ、 ２ シリンダチューブ、 ３ ピストンロッド、 ４ ピストン、 ５，６ 流体ポート、 ７、１９ シリンダカバー、 ８ スリーブ、 ９ 溝（凹部）、 １０ テーパー、 １１ ストップピン、 １２ バネ（第２のバネ部材）、 １３ カバー、 １４ バネ受け部材、 １５ バネ（第１のバネ部材）、 １６ バネガイド部材、 １７ ストッパー部分、 １８ ピストン止め、 ２１ ナックル、 ３０ ロードポート、 ３１ フレーム、 ３２ ステージ、 ３３ ポートドア、 ３４ キネマティックピン、 ３５ ラッチキー、 ３６ レジストレーションピン、 ３７ 吸着パッド、 ５０ ＦＯＵＰ、 ５１ ＦＯＵＰボックス、 ５２ ＦＯＵＰドア、 ５４ レジストレーションホール、 ５５ ラッチホール、 ５６ ラッチ、 ５７ ラッチキー受け ６０ ＯＨＴ部、 ６１ 処理装置、 ６２ ホイスト機構、 ７１、７２ シリンダ。
フロントページの続き (72)発明者 藤井 淳弘 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社半導体先端テクノロジーズ内 (72)発明者 小松 省二 広島県深安郡神辺町道上1588番地の２ ロ ーツェ株式会社内 (72)発明者 梶田 憲生 愛知県小牧市応時二丁目250番地 シーケ ーディ株式会社内 (72)発明者 岡部 満康 東京都千代田区内神田３丁目６番３号 シ ーケーディ株式会社第二ビル内 Ｆターム(参考） 3H081 AA02 AA11 BB03 CC22 CC25 DD02 DD24 FF03 FF04 FF08 FF10 FF27 FF38 FF43 FF48 HH04 5F031 DA01 DA17 NA10
Claims (8)
- 【請求項１】 ２つの流体ポートを有し、該ポートに供
給される流体がピストンに加える圧力によりピストンロ
ッドの往復運動を行うシリンダにおいて、 シリンダチューブのピストン室に、前記ピストン室の一
方の端面に係止されるようにピストンロッドと同軸に配
置されたバネ受け部材と、 該バネ受け部材と前記ピストンとを離間するように配置
された第１のバネ部材と、 前記ピストンロッドに設けられ、前記バネ受け部材のピ
ストンロッドに対する前記ピストンと反対方向への移動
を制限するストッパーと、 前記ストッパーよりも前記ピストンから離れた位置のピ
ストンロッドに設けられた凹部と、 前記シリンダチューブに前記凹部と係合するように配置
され、第２のバネ部材により前記凹部方向に付勢された
ストップピンと、からなり、３位置のピストンロッド送
り出しを行うことを特徴とするシリンダ。 - 【請求項２】 前記ピストン室の他方の端面と前記ピス
トンが当接する位置、前記凹部の一端と前記ストップピ
ンが当接する位置、及び前記バネ受け部材のピストン方
向の移動が係止される位置又は前記凹部の他端と前記ス
トップピンとが当接する位置の３位置により、ピストン
ロッドの送り出しを規定したことを特徴とする請求項１
に記載のシリンダ。 - 【請求項３】 開口を有するフレームと、ラッチにより
前面ドアを固定して内部の密閉状態を保持する基板収納
容器を載置し、かつ前記フレームの方向に移動可能なス
テージと、前記ステージと反対側から前記開口に挿入さ
れ、前記前面ドアのラッチのロック及び解除を行うポー
トドアと、からなり、前記ステージを前記フレーム側に
移動させて、前記前面ドアを前記ポートドアに密着固定
させた状態で、前記前面ドアのラッチのロック及び解除
を行うロードポートにおいて、 前記ポートドアは、前面ドアのラッチをロック及び解除
するためのラッチキーであって、垂直位置に回転させて
ラッチをロックし、水平位置にしてロックを解除するラ
ッチキーと、該ラッチキーを回転させるためのシリンダ
とを有し、前記ラッチキーを垂直位置に回転させてラッ
チのロックを行う際、ラッチキーを水平位置から９０゜
よりも大きな角度に回転させ、その後９０゜位置に戻す
ように構成したことを特徴とするロードポート。 - 【請求項４】 前記シリンダは、２つの流体ポートを有
し、該ポートに供給される流体がピストンに加える圧力
によりピストンロッドの往復運動を行うシリンダにおい
て、 シリンダチューブのピストン室に、前記ピストン室の一
方の端面に係止されるようにピストンロッドと同軸に配
置されたバネ受け部材と、 該バネ受け部材と前記ピストンとを離間するように配置
された第１のバネ部材と、 前記ピストンロッドに設けられ、前記バネ受け部材のピ
ストンロッドに対する前記ピストンと反対方向への移動
を制限するストッパーと、 前記ストッパーよりも前記ピストンから離れた位置のピ
ストンロッドに設けられた凹部と、 前記シリンダチューブに、前記凹部と係合するように配
置され、第２のバネ部材により前記凹部方向に付勢され
たストップピンと、からなり、３位置のピストンロッド
送り出しを行うことを特徴とする請求項３に記載のロー
ドポート。 - 【請求項５】 前記ピストン室の他方の端面と前記ピス
トンが当接する位置、前記凹部の一端と前記ストップピ
ンが当接する位置、及び前記バネ受け部材のピストン方
向の移動が係止される位置又は前記凹部の他端と前記ス
トップピンとが当接する位置の３位置を、前記ラッチキ
ーの水平位置、垂直位置及び９０゜より大きい角度に対
応させたことを特徴とする請求項４に記載のロードポー
ト。 - 【請求項６】 前記ラッチキーを水平位置に回転させて
ラッチの解除を行う際、水平位置を越えてさらに所定の
角度回転させることを特徴とする請求項３又は４に記載
のロードポート。 - 【請求項７】 ２つのラッチキーを連結し、１つのシリ
ンダにより前記２つのラッチキーを同時に回転させる構
成としたことを特徴とする請求項３〜６のいずれか１項
に記載のロードポート。 - 【請求項８】 請求項３〜７のいずれか１項に記載のロ
ードポートを用いたことを特徴とする生産方式。
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