JP2001247381A

JP2001247381A - ＳｉＣ系多孔体及びその製造方法

Info

Publication number: JP2001247381A
Application number: JP2000056928A
Authority: JP
Inventors: Chihiro Kawai; 千尋河合
Original assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 2000-03-02
Filing date: 2000-03-02
Publication date: 2001-09-11

Abstract

(57)【要約】【課題】高い気孔率を有すると共に、機械的強度や熱
伝導率にも優れたＳｉＣ系多孔体とその製造方法を提供
し、このＳｉＣ系多孔体を用いて透過性能に優れた各種
フィルターを提供する。【解決手段】Ｓｉ粉末量が３０〜６１重量％となるよ
うにＳｉ粉末とＣ粉末を混合し、その成形体を焼結後、
焼結体に残留する炭素を加熱消失させて、六角板状のα
型ＳｉＣ粒子が焼結ネッキングした三次元骨格組織を持
ち、気孔率が６１〜７５％のＳｉＣ系多孔体を得る。こ
のＳｉＣ多孔体は、高気孔率を持ち、透過性能に優れる
と共に、高強度で高熱伝導率であるため、液体濾過用フ
ィルター及びパティキュレートフィルターとして好適で
ある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、食品や医薬品の分
野での濾過や自動車の排気ガス中の浮遊物除去等に使用
されるセラミックスフィルター材料、特に耐熱性が高
く、高強度で、透過性能に優れたＳｉＣ系多孔体に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】各種セラミックスの中でも炭化ケイ素
（ＳｉＣ）は、高強度、高靭性、高耐熱衝撃性、耐薬品
性を持つ構造用セラミックス材料であり、最近では各種
のフィルタ材料として注目されている。その主な用途
は、食品や医薬品分野をはじめ、半導体洗浄液のリサイ
クルと排液処理等に使用する液体濾過用フィルターや、
自動車ディーゼルエンジンの排気ガス浄化用のパティキ
ュレートフィルター等に向けられている。

【０００３】液体濾過用フィルターの場合には、処理液
中の微細な粒子の捕集能力並びに液の透過処理能力の向
上と共に、処理液に対する高い耐食性が要求される。ま
た、パティキュレートフィルターの場合には、処理ガス
中の微細なパティキュレートの効率的な捕集並びに有害
ガスの分離能力の向上と共に、高温ガス下での耐熱性及
び耐食性が要求される。このため、耐食性及び耐熱性に
優れたセラミックスを用い、その気孔率を上げると共
に、平均細孔径や孔径部分の構造を改良する試みがなさ
れている。

【０００４】また、このようなセラミック多孔体には、
フィルター等として使用する際に、形状保持のための機
械的な強度が備わっている必要がある。更に、排気ガス
浄化用パティキュレートフィルターでは、フィルター自
体の昇温による基本性能の劣化を抑えるために、高い熱
伝導性を有することも求められている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記したセラミックス
フィルター材料として、ＳｉＣ粒子を焼結して骨格構造
化したＳｉＣ多孔体が提案されている。このＳｉＣ多孔
体をフィルターとして用いる場合、まず第１に高い透過
性能が要求される。フィルターの透過性能は、それを構
成するＳｉＣ多孔体の気孔率が高いほど高くなる。しか
し、ＳｉＣ多孔体の気孔率を高くすると、機械的な強度
が低下して破損しやすくなり、熱伝導率も低下するとい
う問題があった。

【０００６】三次元骨格構造を持つＳｉＣ多孔体の製法
として、Ａｌ−ＳｉＣ複合材料用としてではあるが、
「粉体粉末冶金協会講演概要集（平成１１年度秋期大
会）」第２５５頁に記載された方法がある。この方法で
は、ＳｉＣ粉末をバインダーと共に成形して、不活性ガ
ス中にて２０００℃以上の高温で焼成する。この焼成に
よって、ＳｉＣ粒子の一部が昇華してガス化し、ＳｉＣ
として再折出するときに、ＳｉＣ粒子同士が焼結して骨
格構造化したＳｉＣ多孔体が得られる。

【０００７】しかしながら、このような方法で製造され
た三次元骨格構造を持つＳｉＣ多孔体は、気孔率に上限
があり、せいぜい６０％までの気孔率しか得られない。
そのため、液体濾過用フィルターとしても、パティキュ
レートフィルターとしても、十分満足すべき透過性能が
得られなかった。

【０００８】本発明は、かかる従来の事情に鑑み、高い
気孔率を有すると共に、機械的強度や熱伝導率にも優れ
たＳｉＣ系多孔体、及びその製造方法、並びにこのＳｉ
Ｃ系多孔体を用いて、透過性能に優れた液体濾過用フィ
ルターやパティキュレートフィルターを提供することを
目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明が提供するＳｉＣ系多孔体は、六角板状のα
型ＳｉＣ粒子が焼結ネッキングした三次元骨格組織を持
ち、気孔率が６１〜７５％であることを特徴とする。ま
た、本発明のＳｉＣ系多孔体は、炭素成分を含むことが
できる。

【００１０】また、上記本発明のＳｉＣ系多孔体は、平
均細孔径が０.１〜２００μｍであること、ＪＩＳ準拠
の３点曲げ強度が１００ＭＰａ以上であること、又は２
０℃での熱伝導率が１５Ｗ／ｍ・Ｋ以上であること等の
特性を備えている。

【００１１】上記本発明のＳｉＣ系多孔体の製造方法
は、Ｓｉ粉末と炭素粉末をＳｉ粉末量が全体の３０〜６
５重量％となるように混合し、その成形体を不活性ガス
雰囲気中において温度２０００〜２４００℃で熱処理し
てＳｉＣと炭素からなる焼結体を得た後、この焼結体を
酸素含有雰囲気中において３００℃以上に加熱して炭素
成分の全部又は一部を消失せしめることを特徴とする。

【００１２】更に、本発明は、上記のＳｉＣ系多孔体か
らなる液体濾過用フィルター、及び自動車ディーゼルエ
ンジンの排気ガス浄化用パティキュレートフィルターを
提供するものである。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明者は、既に特願平１１−３
６９０８６号において、優れた機械的強度と高い熱伝導
率を有するＳｉＣ多孔体及びその製造方法を提案した。
この方法は、従来のごとくＳｉＣ粉末を高温で焼成する
のではなく、原料粉末としてＳｉ粉末と炭素粉末を用
い、特にＳｉ粉末が原料粉末全体の７１〜７３重量％と
なるように混合して、不活性ガス雰囲気中にて２０００
〜２４００℃の高温で焼成するものである。

【００１４】この方法において、Ｓｉと炭素はＳｉが昇
華する高温で反応して、ＳｉＣを形成する。即ち、Ｓｉ
が溶融する１４５０℃付近で反応が始まり、液相のＳｉ
と炭素が反応してＳｉＣ化する。この時点では結晶系が
立方晶系の３Ｃ型ＳｉＣが生成するが、更に温度が上が
り２０００℃を越えると、生成した３Ｃ型ＳｉＣは六方
晶系の６Ｈ型ＳｉＣ（α型ＳｉＣ）に転化して、六角板
状のＳｉＣ結晶となる。このＳｉＣの六角板状結晶の生
成と同時に、このＳｉＣ粒子が焼結ネッキングして三次
元骨格構造が形成されるのである。

【００１５】しかしながら、この特願平１１−３６９０
８６号による方法も主にＡｌ−ＳｉＣ複合材料を前提に
したものであるため、得られたＳｉＣ多孔体は機械的強
度と熱伝導率には優れているものの、その気孔率は低い
ものであった。即ち、Ｓｉ粉末と炭素粉末の混合原料粉
末中におけるＳｉ粉末量を全体の７１〜７３重量％とす
ることにより、余剰のＳｉがガスとなってＳｉＣ粒子同
士を強固に焼結ネッキングさせる働きをするが、得られ
るＳｉＣ系多孔体の気孔率は３０〜６０％に過ぎない。

【００１６】これに対して、本発明においては、Ｓｉ粉
末と炭素粉末をＳｉ粉末量が全体の３０〜６５重量％と
なるように混合する。これにより、図１（ａ）に示すよ
うに成形体中に過剰の炭素が存在し、この過剰な炭素は
熱処理後も図１（ｂ）に示すごとく未反応のまま残存し
てＳｉＣ−Ｃ系焼結体が得られる。これを更に酸素含有
雰囲気中で加熱して、図１（ｃ）に示すように炭素成分
を全部又は一部消失させることによって、比較的大きな
細孔が現れ、気孔率の高いＳｉＣ系多孔体を得ることが
できる。

【００１７】Ｓｉ粉末と炭素粉末の混合原料粉末中にお
けるＳｉ粉末の割合が低いほど、未反応の炭素が多くな
るため、最終的に炭素成分を殆ど消失させたＳｉＣ系多
孔体の気孔率は高くなる。しかし、Ｓｉ粉末の割合が３
０重量％未満では、熱処理により生成するＳｉＣが少な
くなり、ＳｉＣ結晶同士が強固に結合することができな
いため、得られるＳｉＣ系多孔体の強度が低下してしま
う。一方、Ｓｉ粉末の割合が６５重量％を越えると、炭
素成分が少なくなって、気孔率の向上が殆ど期待できな
い。

【００１８】本発明によるＳｉＣ系多孔体の気孔率は、
上記混合原料粉末中のＳｉ粉末量以外に、成形体作製時
における成形体の気孔率の制御や、炭素消失処理の程度
等によっても変化する。成形体の気孔率が高いほど、最
終的なＳｉＣ系多孔体の気孔率も高くなることは当然で
ある。尚、成形体の気孔率は成形時の圧力を調整するこ
とによって制御できるが、気孔率を高めるため成形圧力
を小さくしすぎると、後の処理中に崩壊しやすいので注
意を要する。また、同じＳｉ粉末量の場合、炭素の消失
量を多くするほど、ＳｉＣ系多孔体の気孔率が高くな
る。

【００１９】原料粉末であるＳｉＣ粉末と炭素粉末につ
いては、含まれる不純物元素が少ないほど、高熱伝導化
のために好ましい。特に、ＳｉＣ粉末と炭素粉末中のＡ
ｌとＦｅを、それぞれ１００ｐｐｍ以下に低下させるこ
とで、より一層高熱伝導率のＳｉＣ系多孔体が得られ
る。また、炭素粉末の平均粒径が大きくなるほど、得ら
れるＳｉＣ系多孔体の平均細孔径が大きくなるが、その
一方で強度は低下する。尚、ＳｉＣ粉末は昇華してガス
化するので、その粒径に制限はない。

【００２０】Ｓｉ粉末と炭素粉末の混合原料粉末は、成
形体とした後、不活性ガス雰囲気中で熱処理して焼結す
る。成形圧力が小さいほど成形体の気孔率を大きくでき
るが、成形体が崩壊しやすくなるので注意を要する。ま
た、成形は真空中で行うことが好ましい。焼結温度は２
０００℃以上が必要であり、２０００℃未満では焼結が
進行しない。また、焼結温度が２４００℃を越えると、
ＳｉＣの昇華が激しくなるため収率が低下する。焼結時
の不活性ガス雰囲気としては、アルゴンが好ましい。ア
ルゴン中で熱処理することによって、生成したＳｉＣ結
晶中に含まれる積層欠陥が消滅しやすくなり、得られる
ＳｉＣ系多孔体の熱伝導率が高くなるためである。

【００２１】この熱処理により得られるＳｉＣ−Ｃ系焼
結体は炭素成分を含むので、次に、酸素含有雰囲気中、
好ましくは大気中で加熱して、炭素成分の全部又は一部
をＣＯ_２ガスとして消失させる。加熱温度は３００℃以
上が必要であり、ＳｉＣ系多孔体中に意図的に炭素成分
を残したい場合には低温が好ましい。温度が高いほど炭
素が消失しやすいが、１５００℃を越えるとＳｉＣ自体
が酸化して、熱伝導率が低下するため好ましくない。通
常は、５００℃程度の温度で数時間加熱すれば、炭素成
分は全て消失する。

【００２２】このようにして得られた本発明のＳｉＣ系
多孔体は、気孔率が６１〜７５％にまで改善され、平均
細孔径は０.１〜２００μｍの範囲となる。また、従来
のＳｉＣ粉末を成形及び焼結して作製したＳｉＣ多孔体
に比べ、ＳｉＣ粒子同士がランダムに絡み合って強固に
結合しているため機械的強度が高くなり、原料粉末の平
均粒径を小さく制御すること等により、ＪＩＳ準拠の３
点曲げ強度が１００ＭＰａ以上のＳｉＣ系多孔体を得る
ことができる。尚、ＳｉＣ−Ｃ系焼結体中に残存する炭
素成分は主にＳｉＣ結晶表面に生成するため、炭素成分
を消失させても強度の低下が少ない。

【００２３】更に、本発明のＳｉＣ系多孔体は熱伝導率
が高く、原料粉末中の不純物量の制御等により、優れた
ものでは２０℃での熱伝導率で１５Ｗ／ｍ・Ｋ以上とな
る。即ち、一般に六角板状のα型ＳｉＣ結晶の熱伝導率
は結晶軸方向に依存して変化し、板状面と垂直なｃ軸方
向には熱伝導率が小さく、板状面に平行なａ軸方向には
高い。経験的には、ｃ軸方向の熱伝導率はａ軸方向の
０.７倍程度である（High Temperatures−High Pressur
es、1997、vol.29、pages73−79参照）。このような理
由により、本発明のＳｉＣ系多孔体では、図２に示すよ
うに、主として六角板状のα型ＳｉＣ結晶の板状面に沿
って熱が伝導するため、高い熱伝導率が得られるものと
考えられる。

【００２４】このように、本発明のＳｉＣ系多孔体は、
六角板状のα型ＳｉＣ粒子が焼結ネッキングした三次元
骨格組織を有し、機械的強度が高く、耐熱性及び耐食性
を有すると共に、高い気孔率を有するので、高透過性能
の各種フィルターとして利用できる。特に、液体濾過用
フィルターや、自動車ディーゼルエンジンの排気ガス浄
化用パティキュレートフィルターとして有効である。

【００２５】しかも、本発明のＳｉＣ系多孔体からなる
フィルターは、六角板状のＳｉＣ結晶が互いに絡み合い
ながら強固に結合している三次元骨格構造の組織を持つ
ため、水銀圧入法で測定した見掛けの細孔径よりも小さ
な粒径の粒子を捕集することができる。また、熱伝導率
が高いため、ジーゼルエンジンの排気ガス浄化用パティ
キュレートフィルターとして用いたとき、捕集した煤な
どを効率よく燃焼させることができる。

【００２６】

【実施例】実施例１下記表１に示す試料１〜７として、平均粒径０.１μｍ
又は２００μｍの市販黒鉛粉末と、平均粒径０.２μｍ
又は３６μｍのＳｉ粉末とを、Ｓｉ粉末量が３０〜７１
重量％の組成となるように混合した。比較のため、試料
８〜１２では、原料粉末として平均粒径０.１μｍ又は
２００μｍのＳｉＣ粉末を用いた。尚、ＳｉＣ粉末と黒
鉛粉末中に含まれる不純物のＡｌとＦｅの量は、表１に
示したとおりである。

【００２７】

【表１】 Si粒径 C粒径 Al量(ppm) Fe量(ppm) Si粉量混合原料試料 (μm) (μm) Si粉 C粉 Si粉 C粉 (wt%) 粉末比重 1＊ 0.2 0.1 120 120 110 110 30 2.214 2 0.2 0.1 120 120 110 110 30 2.214 3 0.2 0.1 120 120 110 110 50 2.212 4＊ 0.2 0.1 120 120 110 110 71 2.208 5 36 200 12 10 20 10 50 2.212 6 36 200 12 10 20 10 60 2.209 7〜10＊平均粒径0.1μｍのSiC粉末 11＊平均粒径200μｍのSiC粉末（注）表中の＊を付した試料は比較例である。

【００２８】上記表１に示す試料１〜６の各混合原料粉
末を用い、下記表２に示すように、温度１１００℃の真
空中にて各種の成形圧力で成形体とし、次に１気圧のＡ
ｒガス雰囲気中において２２００又は２３００℃で熱処
理することにより焼結した。得られた各焼結体の密度と
気孔率を、成形体の密度と気孔率と共に、下記表２に示
した。また、比較例の試料７〜１１についても、下記表
２に示す条件以外は上記と同様に成形及び焼結して、従
来のＳｉＣ焼結体（そのままＳｉＣ多孔体となる）を製
造し、成形体及び焼結体について上記と同様に評価し
た。

【００２９】

【表２】成形圧成形体密度成形体焼結温度焼結体密度焼結体試料 (MPa) (g/cm^３) 気孔率(%) (℃) (g/cm^３) 気孔率(%) 1＊ 120 1.35 39 2300 1.20 53 2 550 1.80 19 2300 1.90 25 3 120 1.42 36 2300 1.44 49 4＊ 120 1.50 32 2300 1.75 46 5 120 1.42 36 2200 1.44 49 6 120 1.45 34 2200 1.65 47 7＊ 30 成形時崩壊 8＊ 60 成形時崩壊 9＊ 100 1.30 59 2300 1.30 59 10＊ 320 1.80 44 2300 1.80 44 11＊ 420 1.60 50 2200 1.60 50 （注）表中の＊を付した試料は比較例である。

【００３０】その後、上記試料１〜６の各焼結体につい
て、炭素を消失させるため５００℃の大気中において２
時間加熱して、それぞれＳｉＣ多孔体を得た。得られた
各ＳｉＣ多孔体について、密度と気孔率、平均細孔経、
２０℃での熱伝導率、３点曲げ強度を測定し、その結果
を下記表３に示した。また、試料７〜１１のＳｉＣ多孔
体（上記炭素消失のための加熱処理なし）についても、
同様の測定を行った結果を表３に併せて示した。尚、試
料７〜１１のＳｉＣ多孔体の密度と気孔率は、前記表２
に示す各焼結体のそれらと同じである。

【００３１】

【表３】密度気孔率平均細孔径熱伝導率曲げ強度試料 (g/cm^３) (％) (μｍ) (W／m・K) (MPa) 1＊加熱時崩壊のため測定不能 2 0.80 75 0.11 15 77 3 1.04 68 0.23 21 103 4＊ 1.75 45 0.18 13 220 5 1.04 68 186 43 19 6 1.25 61 170 67 27 7＊成形時崩壊のため測定不能 8＊成形時崩壊のため測定不能 9＊ 1.30 59 0.20 14 70 10＊ 1.80 44 0.16 2 99 11＊ 1.60 50 180 23 10 （注）表中の＊を付した試料は比較例である。

【００３２】上記表３から分かるように、本発明の実施
例によるＳｉＣ多孔体は、高い気孔率を有すると共に、
優れた機械的強度と熱伝導率を備えている。しかし、強
度を高めると熱伝導率が低下し、逆に熱伝導率を高める
と強度が低下しやすい傾にある。また、ＳｉＣ粉末を用
いた比較例では、高気孔率を得るために成形圧力を低下
させると、成形後に崩壊しやすくなる。崩壊しなかった
試料でも、得られたＳｉＣ多孔体の強度及び熱伝導率が
低かった。

【００３３】実施例２上記実施例１の各ＳｉＣ多孔体を用いて、外径８ｍｍ、
肉厚０.２ｍｍ、長さ５ｍｍに切り出し、その一端を樹
脂で封止してパイプ状フィルターを作製した。この各パ
イプ状フィルターを用いて以下の実験を行い、その結果
を下記表４に示した。ただし、この実施例２の試料番号
は、実施例１の各多孔体の試料番号に合わせてある。
尚、試料１、７、８は途中で崩壊したため、これらの実
験は行っていない。

【００３４】(１) パイプ状フィルターの内部から外部
へ、粒径０.０５〜２００μｍの各ポリエチレン粒子の
懸濁液（濃度１０ｐｐｍ）１００ｍｌを圧力０.１ＭＰ
ａで濾過させ、粒子の捕集率を測定した。 (２) パイプ状フィルターの内部から外部へ、純水を圧
力０.１ＭＰａで連続供給して、透過流量を測定した。 (３) 上記実験(１)で粒子を捕集後、フィルターの両端
部に１００Ｗの電力を印加して通電発熱させ、捕集され
たポリエチレン粒子が完全に燃焼し終えるまでの燃焼時
間を測定した。

【００３５】

【表４】粒子の捕集率(％) 透過流量燃焼時間試料 0.05μｍ 0.1μｍ 40μｍ 200μｍ (l/sec/m^２) (sec) 2 100 100 100 100 0.24 55 3 100 100 100 100 0.22 26 4＊ 100 100 100 100 0.17 16 5 0 0 100 100 5450 11 6 0 0 100 100 3200 8 9＊ 25 41 100 100 0.06 54 10＊ 35 45 100 100 0.05 26 11＊ 0 0 21 100 770 19 （注）表中の＊を付した試料は比較例である。

【００３６】本発明のＳｉＣ多孔体から作製したフィル
ターは、従来のＳｉＣ粒子を焼結した多孔体で作製した
フィルターに比べて、透過性能に優れていることが分か
る。また、本発明のＳｉＣ多孔体は熱伝導率が高いた
め、捕集したポリエチレン粒子の燃焼時間が短く、それ
故にディーゼルエンジン用のパティキュレートフィルタ
として有効であることが分かる。

【００３７】

【発明の効果】本発明によれば、炭素を過剰に配合した
Ｓｉ粉末と炭素粉末の成形体から、炭素が残留するＳｉ
Ｃ−Ｓ系焼結体を作製し、これを加熱処理して炭素を消
失させることにより、気孔率の高いＳｉＣ系多孔体を得
ることができる。また、このＳｉＣ系多孔体は、熱伝導
率の高い六角板状のＳｉＣ結晶粒子が強固に結合した骨
格構造を有するので、高い強度と高い熱伝導率とを併せ
持っている。

【００３８】従って、本発明のＳｉＣ系多孔体をフィル
ターとして用いると、透過性能に優れると同時に、水銀
圧入法により測定される平均細孔径よりも小さな粒子を
捕集することができる。また、熱伝導率が高いため、捕
集した煤などを効率よく燃焼させることができるので、
ジーゼルエンジンの排気ガス浄化用パティキュレートフ
ィルターとして好適である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のＳｉＣ系多孔体の製造過程を説明する
概略図であり、（ａ）は成形体の状態、（ｂ）はＳｉＣ
−Ｃ焼結体の状態、及び（ｃ）はＳｉＣ系多孔体の状態
を示している。

【図２】本発明のＳｉＣ多孔体を熱が伝わる状態を説明
する概略図である。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】六角板状のα型ＳｉＣ粒子が焼結ネッキ
ングした三次元骨格組織を持ち、気孔率が６１〜７５％
であることを特徴とするＳｉＣ系多孔体。
【請求項２】炭素成分を含むことを特徴とする、請求
項１に記載のＳｉＣ系多孔体。
【請求項３】平均細孔径が０.１〜２００μｍである
ことを特徴とする、請求項１又は２に記載のＳｉＣ系多
孔体。
【請求項４】ＪＩＳ準拠の３点曲げ強度が１００ＭＰ
ａ以上であることを特徴とする、請求項１〜３のいずれ
かに記載のＳｉＣ系多孔体。
【請求項５】２０℃での熱伝導率が１５Ｗ／ｍ・Ｋ以
上であることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに
記載のＳｉＣ系多孔体。
【請求項６】請求項１〜５のいずれかのＳｉＣ系多孔
体からなる液体濾過用フィルター。
【請求項７】請求項１〜５のいずれかのＳｉＣ系多孔
体からなる自動車ディーゼルエンジンの排気ガス浄化用
パティキュレートフィルター。
【請求項８】請求項１又は２のＳｉＣ系多孔体の製造
方法であって、Ｓｉ粉末と炭素粉末をＳｉ粉末量が全体
の３０〜６５重量％となるように混合し、その成形体を
不活性ガス雰囲気中において温度２０００〜２４００℃
で熱処理してＳｉＣと炭素からなる焼結体を得た後、こ
の焼結体を酸素含有雰囲気中において３００℃以上に加
熱して炭素成分の全部又は一部を消失せしめることを特
徴とする前記ＳｉＣ多孔体の製造方法。
【請求項９】Ｓｉ粉末及び炭素粉末中のＦｅ又はＡｌ
の不純物量が１００ｐｐｍ以下であることと特徴とす
る、請求項８に記載のＳｉＣ系多孔体の製造方法。