JP2001241561A - Flow control valve - Google Patents
Flow control valveInfo
- Publication number
- JP2001241561A JP2001241561A JP2000048402A JP2000048402A JP2001241561A JP 2001241561 A JP2001241561 A JP 2001241561A JP 2000048402 A JP2000048402 A JP 2000048402A JP 2000048402 A JP2000048402 A JP 2000048402A JP 2001241561 A JP2001241561 A JP 2001241561A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- control valve
- vibrator
- cylindrical portion
- cylinder
- rotor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、振動子で発生した振動を有効に回
転力として働かせる超音波モータによる制御弁を提供す
ることを目的とする。
【解決手段】 本発明の流量制御弁は、弾性体6の上面
に圧電素子2もしくは電歪素子を接合してなる振動子1
0と、該振動子に発生する節円位置に、円筒7と、弁口
8を備え下面より延長された筒状部9aを持つボディ9
を各々溶接等の適宜な加工手段により密閉構造に形成し
た略π型形状の制御弁本体1を設け、該制御弁本体1内
に、振動子10の振動により駆動子4を介して回転する
ロータ3と、該ロータ3の回転を適宜な付勢手段によっ
て前記弁口8との開度を変化させる弁体5を設けてなる
超音波モータ利用の制御弁であって、前記ボディ9外縁
部の下面より延長された筒状部9aに切り欠き9bを少
なくとも一つ以上設けた事を特徴とするものである。
(57) [Problem] An object of the present invention is to provide a control valve using an ultrasonic motor that effectively uses vibration generated by a vibrator as a rotational force. SOLUTION: The flow control valve of the present invention is a vibrator 1 in which a piezoelectric element 2 or an electrostrictive element is joined to an upper surface of an elastic body 6.
0, a body 9 having a cylinder 7 and a cylindrical portion 9a having a valve port 8 and extending from the lower surface at a nodal circle position generated in the vibrator.
Are provided in a substantially π-shaped control valve body 1 each having a hermetically sealed structure formed by appropriate processing means such as welding, and a rotor that is rotated via a driver 4 by vibration of a vibrator 10 in the control valve body 1. 3 and a control valve using an ultrasonic motor provided with a valve element 5 for changing the opening of the rotor 3 with the valve port 8 by an appropriate urging means. At least one notch 9b is provided in a cylindrical portion 9a extending from the lower surface.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、空気調和装置、冷
凍冷蔵庫等に接続され、冷媒等の流量を制御するために
用いる超音波モータ利用の流量制御弁または圧力制御弁
等に係わり、特に円筒及びボディの形状等により、振動
子で発生した振動を有効に回転力として働かせる流量制
御弁に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flow control valve or a pressure control valve which is connected to an air conditioner, a refrigerator or the like and uses an ultrasonic motor for controlling a flow rate of a refrigerant or the like, and particularly relates to a cylinder. Also, the present invention relates to a flow control valve that effectively uses a vibration generated by a vibrator as a rotational force due to a shape of a body and the like.
【0002】[0002]
【従来の技術】一般に、圧電素子を超音波領域の高周波
電圧で駆動する超音波モータを制御弁に組み合せると、
小型で制御性の優れた制御弁を構成することができる。
図3は、従来の超音波モータを用いた制御弁の一例であ
り本出願人が特願平11-190577号にて出願して
いる。以下、従来技術を図3に基づき説明する。2. Description of the Related Art In general, when an ultrasonic motor for driving a piezoelectric element with a high-frequency voltage in an ultrasonic region is combined with a control valve,
A control valve that is small and has excellent controllability can be configured.
FIG. 3 shows an example of a conventional control valve using an ultrasonic motor, which has been filed by the present applicant in Japanese Patent Application No. 11-190577. Hereinafter, the prior art will be described with reference to FIG.
【0003】従来技術における制御弁は、弾性体6の上
面に圧電素子2を接合してなる振動子10と、側面に流
入管12を備えた円筒7と、弁口8と流出管13と筒状
部9aを備えたボディ9とからなり、該制御弁本体1
は、弾性体6と振動子10に発生する節円位置11に接
合する、くびれ部19またはテーパー部または凹あるい
は凸型の突起を有する形状の円筒7と、ボディ9とを各
々溶接等の適宜な加工手段により密閉構造に接合し略π
型に形成したものである。また、前記制御弁本体1内に
は、ロータ3と駆動子4および弁体5とが収納され、前
記ロータ3は駆動子4側に適宜な付勢手段によって圧接
されている。また、前記弁体5は、前記ロータ3と共回
りして弁口8の開度を制御できるものである。A control valve according to the prior art includes a vibrator 10 in which a piezoelectric element 2 is joined to an upper surface of an elastic body 6, a cylinder 7 having an inflow pipe 12 on a side face, a valve port 8, an outflow pipe 13, and a cylinder. The control valve body 1 comprises a body 9 having a
The cylindrical body 7 having a constricted portion 19 or a tapered portion or a concave or convex projection, which is joined to the elastic body 6 and a nodal circle position 11 generated in the vibrator 10, and the body 9 are appropriately welded or the like. Approximately π
It is formed in a mold. The control valve body 1 accommodates a rotor 3, a driver 4 and a valve body 5, and the rotor 3 is pressed against the driver 4 by an appropriate urging means. Further, the valve element 5 is capable of controlling the opening of the valve port 8 by rotating together with the rotor 3.
【0004】スラストスプリング14は、駆動子4側お
よびボディ9側にスラスト荷重を与え、かつロータ3お
よび弁体5の回転と共回りさせるようになっている。ま
た、前記弁体5の中心部に形成された円筒状の穴には、
スプリング15が挿入され、該スプリング15を介して
ボール16をボディ9の中心部に形成された凹部17に
当接させている。なお、前記スラストスプリング14
は、スプリング15に比べ、ばね力が大きく設定してあ
るので、常時弁体5の下面をボディ9に圧接するととも
に、ロータ3を介して駆動子4の方向にも圧接してい
る。[0004] The thrust spring 14 applies a thrust load to the driver 4 and the body 9 and rotates together with the rotation of the rotor 3 and the valve element 5. In addition, a cylindrical hole formed at the center of the valve body 5 includes:
A spring 15 is inserted, and the ball 16 is brought into contact with a recess 17 formed in the center of the body 9 via the spring 15. The thrust spring 14
Since the spring force is set to be larger than that of the spring 15, the lower surface of the valve body 5 is constantly pressed against the body 9 and also pressed toward the driver 4 via the rotor 3.
【0005】また、前記弁体5は、外周部の一部を外側
に張り出してストッパー片が形成され、このストッパー
片は、弁体5の基準位置(全閉状態)が弁口8に達した
ときに、ボディ9に植設して固定されたストッパーピン
18に当接してロータ3の回転が止まるようになってい
る。The valve element 5 has a stopper piece formed by projecting a part of the outer peripheral portion outward, and the stopper piece reaches the valve port 8 at a reference position (fully closed state) of the valve element 5. At this time, the rotation of the rotor 3 is stopped by abutting against a stopper pin 18 implanted and fixed to the body 9.
【0006】次に、従来技術の動作について説明する。
従来技術の駆動機構は、圧電素子2により駆動子4が振
動し、これによってロータ3が回転する超音波モータで
ある。動作原理の説明は省略するが、いわゆる定在波駆
動の超音波モータである。従来技術は、このロータ3の
回転運動を利用して、弁体5が回転することにより、ボ
ディ9の弁口8と弁体5の流通溝の間隙が変化し、弁口
8への流量を制御するものである。Next, the operation of the prior art will be described.
The driving mechanism of the related art is an ultrasonic motor in which the driving element 4 is vibrated by the piezoelectric element 2 and the rotor 3 is rotated. Although the description of the operation principle is omitted, it is a so-called standing wave driven ultrasonic motor. In the prior art, the gap between the valve port 8 of the body 9 and the flow groove of the valve element 5 is changed by rotating the valve element 5 using the rotational movement of the rotor 3, and the flow rate to the valve port 8 is reduced. To control.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】以上のように従来の超
音波モータによる制御弁は、振動子10と円筒7とボデ
ィ9を溶接等によって密閉構造を形成したために振動子
10で発生した振動が横波や縦波として伝搬して、円筒
の先端部に振動が集中するため、円筒7の形状をくびれ
部19やテーパー部、または凹あるいは凸型の突起を設
けた形状にして振動伝搬を抑制していた。しかし、振動
子10で発生した振動の伝搬を完全に抑制するには至ら
ないため、ボディ9に筒状部9aを設けることにより、
わずかながら伝搬した振動を自由にすることで、振動子
10に配設された駆動子4との摩擦駆動によって回転す
るロータ3の回転を確実なものにしていた。しかしなが
ら、従来の構成においても、ロータ3の回転動作は超音
波モータの持つ本来の迅速な回転が得られないという問
題があった。さらに、従来の超音波モータによる制御弁
では円筒7とボディ9の溶接等による接合部において、
耐圧強度は十分であるが、より高い制御弁本体1の破壊
圧強度を得ることができないという問題があった。As described above, in the conventional control valve using an ultrasonic motor, the vibration generated in the vibrator 10 is generated because the vibrator 10, the cylinder 7, and the body 9 are hermetically sealed by welding or the like. Since the vibration propagates as a transverse wave or a longitudinal wave and the vibration concentrates on the tip of the cylinder, the vibration of the cylinder 7 is suppressed by making the shape of the cylinder 7 a constricted portion 19 or a tapered portion, or a shape provided with a concave or convex projection. I was However, since the propagation of the vibration generated in the vibrator 10 is not completely suppressed, the provision of the cylindrical portion 9a in the body 9
By slightly releasing the slightly propagated vibration, the rotation of the rotor 3 that is rotated by friction driving with the driver 4 disposed on the vibrator 10 is ensured. However, even in the conventional configuration, there is a problem that the rotation operation of the rotor 3 cannot obtain the original rapid rotation of the ultrasonic motor. Further, in a control valve using a conventional ultrasonic motor, at a joint portion of the cylinder 7 and the body 9 by welding or the like,
Although the pressure resistance is sufficient, there is a problem that a higher breaking pressure strength of the control valve body 1 cannot be obtained.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記のような
問題点を解決するためになされたものであり、その目的
は、振動子で発生した振動を有効に回転力として働かせ
る超音波モータによる制御弁を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an ultrasonic motor in which vibration generated by a vibrator works effectively as rotational force. To provide a control valve.
【0009】すなわち、第一の発明は、弾性体6の上面
に圧電素子2もしくは電歪素子を接合してなる振動子1
0と、該振動子に発生する節円位置11に、円筒7と、
弁口8を備え下面より延長された筒状部9aを持つボデ
ィ9とを各々溶接等の適宜な加工手段により密閉構造に
形成した略π型形状の制御弁本体1を設け、該制御弁本
体1内に、振動子10の振動により駆動子4を介して回
転するロータ3と、該ロータ3の回転を適宜な付勢手段
によって前記弁口8との開度を変化させる弁体5を設け
てなる超音波モータ利用の制御弁であって、前記ボディ
9外縁部の下面より延長された筒状部9aに切り欠き9
bを少なくとも一つ以上設けた事を特徴とする流量制御
である。That is, the first invention provides a vibrator 1 in which a piezoelectric element 2 or an electrostrictive element is joined to an upper surface of an elastic body 6.
0, a cylinder 7 at a nodal circle position 11 generated in the vibrator,
A control valve body 1 having a substantially π-shape in which a body 9 having a valve port 8 and having a cylindrical portion 9a extended from the lower surface is formed in a hermetically sealed structure by appropriate processing means such as welding is provided. 1, a rotor 3 that rotates via a driver 4 by vibrating a vibrator 10 and a valve body 5 that changes the degree of opening of the valve port 8 by rotating the rotor 3 by an appropriate urging means. A control valve using an ultrasonic motor, comprising a cylindrical portion 9a extending from a lower surface of an outer edge portion of the body 9;
The flow rate control is characterized in that at least one b is provided.
【0010】また、第二の発明は、前記の円筒7とボデ
ィ9とを結合するに際し、円筒7下端部の内側にボディ
9を配置させ、ボディ9の外縁部を下方に延長させて筒
状部9aを形成させるか、もしくはボディの下面より前
記円筒7部を下方に延長させて筒状部9aを形成させた
ことを特徴とする請求項1記載の流量制御弁である。In the second invention, when the cylinder 7 and the body 9 are connected to each other, the body 9 is disposed inside the lower end of the cylinder 7 and the outer edge of the body 9 is extended downward to form the cylindrical shape. 2. The flow control valve according to claim 1, wherein the cylindrical portion 9a is formed by forming a portion 9a or extending the cylindrical portion 7 downward from the lower surface of the body.
【0011】[0011]
【発明の作用】本発明によれば、弾性体6と円筒7と弁
口8を有するボディ9とを各々溶接等の適宜な加工手段
により密閉構造にし、弾性体の外部に接合してなる圧電
素子2もしくは電歪素子に超音波領域の電気信号を印加
し、内部の駆動子4に圧接されているロータ3を介して
流量を制御する弁体5がボディ9の上を摺動しながら回
転する。According to the present invention, the elastic body 6, the cylinder 7, and the body 9 having the valve port 8 are each made into a hermetically sealed structure by suitable processing means such as welding, and are joined to the outside of the elastic body. An electric signal in the ultrasonic range is applied to the element 2 or the electrostrictive element, and the valve element 5 for controlling the flow rate via the rotor 3 pressed against the internal driving element 4 rotates while sliding on the body 9. I do.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】以下、本発明の第一の実施例を図
1に基づき説明する。図2は、本発明の第ニの実施例を
示す断面図である。本実施例における流量制御弁は、従
来品と同様に、弾性体6の上面に圧電素子2を接合して
なる振動子10と、側面に流入管12を備えた円筒7
と、弁口8と流出管13と少なくとも一つ以上の切り欠
き9bを持つ筒状部9aを備えたボディ9とからなり、
該制御弁本体1は、弾性体6と振動子10に発生する節
円位置11に、円筒7とボディ9を各々溶接等の適宜な
加工手段により密閉構造に接合し略π型に形成したもの
である。また、前記制御弁本体1内には、ロータ3と駆
動子4および弁体5とが収納され、前記ロータ3は駆動
子4側に適宜な付勢手段によって圧接されている。ま
た、前記弁体5は、前記ロータ3と共回りして弁口8の
開度を制御できるものである。なお、前記流入管12
は、円筒7の側部取付けに変えて、図示しないがボディ
9に接続してもよい。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. FIG. 2 is a sectional view showing a second embodiment of the present invention. The flow control valve according to the present embodiment has a vibrator 10 in which a piezoelectric element 2 is joined to the upper surface of an elastic body 6 and a cylinder
And a body 9 having a tubular portion 9a having a valve port 8, an outflow pipe 13, and at least one notch 9b,
The control valve main body 1 is formed by joining a cylinder 7 and a body 9 to a hermetically sealed structure at a nodal position 11 generated in the elastic body 6 and the vibrator 10 by an appropriate processing means such as welding, and is formed in a substantially π shape. It is. The control valve body 1 accommodates a rotor 3, a driver 4 and a valve body 5, and the rotor 3 is pressed against the driver 4 by an appropriate urging means. Further, the valve element 5 is capable of controlling the opening of the valve port 8 by rotating together with the rotor 3. The inflow pipe 12
May be connected to the body 9 (not shown) instead of being attached to the side of the cylinder 7.
【0013】該制御弁本体1において、本発明品と従来
品の相違点を説明する。本発明品では、前記ボディ(9)
外縁部の下面より延長された筒状部9aに、少なくとも
一つ以上の切り欠き9bを設けている。In the control valve body 1, the difference between the present invention and the conventional product will be described. In the present invention, the body (9)
At least one notch 9b is provided in the cylindrical portion 9a extending from the lower surface of the outer edge.
【0014】したがって、該制御弁本体1においては、
振動子10で発生した振動の一部が円筒7を伝搬し、切
り欠き9bを少なくとも一つ以上設けた筒状部9aの先
端部でわずかながら伝搬した振動を自由にすることによ
り、ロータ3の回転は、超音波モータの持つ本来の迅速
な回転を得ることができる。Therefore, in the control valve body 1,
A part of the vibration generated by the vibrator 10 propagates through the cylinder 7, and the vibration slightly propagated at the distal end of the cylindrical portion 9 a provided with at least one notch 9 b is released, so that the rotor 3 As for the rotation, the original rapid rotation of the ultrasonic motor can be obtained.
【0015】本発明の駆動機構における動作について
は、従来技術と同じであるため省略する。The operation of the driving mechanism according to the present invention is the same as that of the prior art, and will not be described.
【0016】図2は、本発明の第ニの実施例を示す断面
図である。本実施例における流量制御弁は、前記の円筒
7とボディ9とを結合するに際し、円筒7下端部の内側
にボディ9を配置させ、ボディ9の外縁部を下方に延長
させて筒状部9aを形成させるか、もしくはボディの下
面より前記円筒7部を下方に延長させて筒状部9aを形
成させたものである。FIG. 2 is a sectional view showing a second embodiment of the present invention. In connecting the cylinder 7 and the body 9 to each other, the flow control valve according to the present embodiment disposes the body 9 inside the lower end of the cylinder 7 and extends the outer edge of the body 9 downward to form the cylindrical portion 9a. Or the cylindrical portion 9a is formed by extending the cylindrical portion 7 downward from the lower surface of the body.
【0017】上記の図2に示す制御弁本体1において、
本発明品と従来品の相違点を説明する。該制御弁本体1
においては、円筒7下端部の内側にボディ9と配置させ
て両者が結合されている。従って、従来の接合方法に比
べて高い、制御弁本体1の破壊圧強度を有する。In the control valve body 1 shown in FIG.
The differences between the product of the present invention and the conventional product will be described. The control valve body 1
In the above, the body 9 is disposed inside the lower end of the cylinder 7 and the two are joined. Accordingly, the control valve body 1 has a higher breaking pressure strength than the conventional joining method.
【0018】また、特に図示しないが、円筒7の形状
を、本出願人が特願平11-190577号にて出願し
ているくびれ部もしくはテーパー部もしくは凹あるい凸
の突起を有する形状にしても、本発明は成立する。Although not particularly shown, the shape of the cylinder 7 is made to have a constricted portion, a tapered portion, or a concave or convex projection filed by the present applicant in Japanese Patent Application No. 11-190577. Also, the present invention holds.
【0019】また、特に図示しないが、圧電素子2の分
割数は偶数分割にすれば本発明は成立する。また圧電素
子2の分極方向は、+、−にて2分化した場合、すべて
のエリアを同一方向にして行うシリーズ接続でも本発明
は成立する。Although not particularly shown, the present invention can be realized by dividing the piezoelectric element 2 into even numbers. In addition, when the polarization direction of the piezoelectric element 2 is divided into two parts by + and-, the present invention can be applied to a series connection in which all areas are set to the same direction.
【0020】[0020]
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、筒状部
9aに切り欠きを設けることによって、円筒7より伝搬
した一部の振動を先端部にて働かせることにより、ロー
タ3の回転をスムーズなものにできる利点を有し、ま
た、制御弁本体1の破壊圧強度を高めることができる利
点を有するという効果は絶大なものである。As described above, according to the present invention, the notch is provided in the cylindrical portion 9a so that a part of the vibration propagated from the cylinder 7 is caused to act at the front end portion, so that the rotation of the rotor 3 is achieved. Has an advantage of being able to increase the breaking pressure strength of the control valve body 1 and has a great effect.
【図1】 本発明の第一実施例を示す部分断面図。FIG. 1 is a partial sectional view showing a first embodiment of the present invention.
【図2】 本発明の第二実施例を示す断面図。FIG. 2 is a sectional view showing a second embodiment of the present invention.
【図3】 従来の超音波モータ利用の流量制御弁を示す
断面図。FIG. 3 is a sectional view showing a conventional flow control valve using an ultrasonic motor.
1 制御弁本体 2 圧電素子 3 ロータ
4 駆動子 5 弁体 6 弾性体 7 円筒
7b 円筒の先端 8 弁口 9 ボディ 9a 筒状部
9b 切り欠き 10 振動子 11 振動子10で発生する節円位
置 12 流入管 13 流出管 14 スラスト
スプリング 15 スプリング 16 ボール 17 ボディ9
の中心部に形成された凹部 18 ストッパーピン 19 くびれ部DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Control valve body 2 Piezoelectric element 3 Rotor
4 Driver 5 Valve 6 Elastic body 7 Cylinder
7b Tip of cylinder 8 Valve port 9 Body 9a Cylindrical part
9b Notch 10 Vibrator 11 Articulated circle position generated in vibrator 10 12 Inflow pipe 13 Outflow pipe 14 Thrust spring 15 Spring 16 Ball 17 Body 9
Concave part formed at the center of 18 stopper pin 19 constricted part
Claims (2)
は電歪素子を接合してなる振動子(10)と、該振動子に
発生する節円位置に、円筒(7)と、弁口(8)を備え下面
より延長された筒状部(9a)を持つボディ(9)を各々
溶接等の適宜な加工手段により密閉構造に形成した略π
型形状の制御弁本体(1)を設け、該制御弁本体(1)内
に、振動子(10)の振動により駆動子(4)を介して回転
するロータ(3)と、該ロータ(3)の回転を適宜な付勢手
段によって前記弁口(8)との開度を変化させる弁体(5)
を設けてなる超音波モータ利用の制御弁であって、前記
ボディ(9)外縁部の下面より延長された筒状部(9a)
に切り欠き(9b)を少なくとも一つ以上設けた事を特徴
とする流量制御弁。A vibrator (10) in which a piezoelectric element (2) or an electrostrictive element is joined to an upper surface of an elastic body (6), and a cylinder (7) is located at a nodal circle generated in the vibrator. , A body (9) having a valve port (8) and having a cylindrical portion (9a) extended from the lower surface is formed in a closed structure by a suitable processing means such as welding.
A control valve main body (1) having a mold shape is provided, and a rotor (3) rotating via a driver (4) by vibration of a vibrator (10) is provided in the control valve main body (1); ) Is rotated by an appropriate urging means to change the degree of opening with the valve port (8).
A control valve using an ultrasonic motor, comprising: a cylindrical portion (9a) extending from a lower surface of an outer edge portion of the body (9).
A flow control valve, characterized in that at least one notch (9b) is provided in the flow control valve.
に際し、円筒(7)下端部の内側にボディ9を配置させ、
ボディ9の外縁部を下方に延長させて筒状部(9a)を形
成させるか、もしくはボディの下面より前記円筒(7)部
を下方に延長させて筒状部(9a)を形成させたことを特
徴とする請求項1記載の流量制御弁。2. When connecting the cylinder (7) and the body (9), the body 9 is arranged inside the lower end of the cylinder (7).
Either the outer edge of the body 9 is extended downward to form the cylindrical portion (9a), or the cylindrical portion (7) is extended downward from the lower surface of the body to form the cylindrical portion (9a). The flow control valve according to claim 1, wherein:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000048402A JP2001241561A (en) | 2000-02-25 | 2000-02-25 | Flow control valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000048402A JP2001241561A (en) | 2000-02-25 | 2000-02-25 | Flow control valve |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001241561A true JP2001241561A (en) | 2001-09-07 |
Family
ID=18570490
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000048402A Pending JP2001241561A (en) | 2000-02-25 | 2000-02-25 | Flow control valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001241561A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006200808A (en) * | 2005-01-20 | 2006-08-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Embedded ceiling air conditioner |
-
2000
- 2000-02-25 JP JP2000048402A patent/JP2001241561A/en active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006200808A (en) * | 2005-01-20 | 2006-08-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Embedded ceiling air conditioner |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10900480B2 (en) | Disc pump with advanced actuator | |
| EP1553297A2 (en) | Check valve and pump including the same | |
| EP3692626A2 (en) | Piezoelectric drive unit | |
| CN114992098A (en) | Resonance excitation piezoelectric pump | |
| JP2001241561A (en) | Flow control valve | |
| JP4146244B2 (en) | Reciprocating compressor suction valve | |
| JP2000320710A (en) | Flow control valve | |
| JP2002228030A (en) | Flow control valve | |
| JPH05263763A (en) | Piezoelectric pump and method of operating the same | |
| CN217976535U (en) | Resonance excitation piezoelectric pump | |
| JP2001112275A (en) | Ultrasonic motor and flow control valve using the ultrasonic motor | |
| JP2000257738A (en) | Flow control valve | |
| JP2784040B2 (en) | Quick exhaust valve for sphygmomanometer | |
| JPH0866237A (en) | Motor-driven toothbrush | |
| JP2002054757A (en) | Valve device | |
| JP2001090858A (en) | Flow control valve | |
| JP4368055B2 (en) | Connecting structure of rotor and swash plate of variable capacity swash plate compressor | |
| JP2003172333A (en) | Link mechanism and variable displacement compressor using the link mechanism | |
| JPH10278116A (en) | Ultrasonic stapler | |
| JP2945932B2 (en) | Ultrasonic pump | |
| JPH09137764A (en) | Fuel injection valve | |
| JP2000199578A (en) | Flow rate control valve | |
| JPH0752456Y2 (en) | Butterfly valve | |
| JP2001132620A (en) | Pump | |
| JPH0220539Y2 (en) |