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JP2001126023A - Reader for two-dimensional code - Google Patents

Reader for two-dimensional code

Info

Publication number
JP2001126023A
JP2001126023A JP30747899A JP30747899A JP2001126023A JP 2001126023 A JP2001126023 A JP 2001126023A JP 30747899 A JP30747899 A JP 30747899A JP 30747899 A JP30747899 A JP 30747899A JP 2001126023 A JP2001126023 A JP 2001126023A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dimensional code
image
data pattern
guide mark
dimensional
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP30747899A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Eiji Mizutani
栄二 水谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Komatsu Ltd
Original Assignee
Komatsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Komatsu Ltd filed Critical Komatsu Ltd
Priority to JP30747899A priority Critical patent/JP2001126023A/en
Publication of JP2001126023A publication Critical patent/JP2001126023A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the recognition ratio of a two-dimensional code even if various noise components such as soiling causing a reading defect occurs in plural two-dimensional codes having the same data patterns. SOLUTION: Plural two-dimensional codes 1a and 1b having the same data patterns 3a are provided at plural parts on the surface of an object. The two-dimensional codes 1a and 1b are provided so that relative attitudes to the object surface are inverted. The two-dimensional codes 1a and 1b are divided into two parts. A divided part 1aj (1ak) in one two-dimensional code 1a taken out by dividing the two-dimensional codes 1a and 1b and a divided part 1bj (1bk) in another two-dimensional code are composed so that the data patterns 3a of the two-dimensional codes 1a and 1b can be read.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は二次元コードを読
み取る際の二次元コードの認識率の向上に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to improving the recognition rate of a two-dimensional code when reading a two-dimensional code.

【0002】[0002]

【従来の技術および発明が解決しようとする課題】二次
元コードは、その記録密度の高さから、小さな1〜2mm
程の領域にマーキングして画像認識することができる。
このため、一次元バーコードを使う面積がない半導体部
品、自動車部品や、商品タグを小さくしたい、宝石、眼
鏡等の商品、医療分野などへの利用が注目されている。
2. Description of the Related Art Due to the high recording density, a two-dimensional code has a small size of 1 to 2 mm.
The image can be recognized by marking the area of the image.
For this reason, attention has been focused on semiconductor parts and automobile parts that do not have an area using a one-dimensional barcode, and products that require a small product tag, such as jewelry and eyeglasses, and medical applications.

【0003】マトリクス式のコード方式の二次元コード
は、マトリクス式のデータパターン(モザイクパター
ン)と、このデータパターンの位置および方向を識別さ
せるためのガイドマークとから構成されている。ガイド
マークとしては、データコード、CPコードにおいては
左辺および底辺の2辺が直線となっているL型ガイドセ
ルが用いられている。
A two-dimensional code of a matrix type code system is composed of a matrix type data pattern (mosaic pattern) and guide marks for identifying the position and direction of the data pattern. As the guide mark, an L-shaped guide cell having two straight lines on the left side and the bottom side is used in the data code and the CP code.

【0004】ところで、このような二次元コードをシリ
コンウェハに刻印することで、シリコンウェハのロット
番号、ウェハ番号などの識別用に用いた場合には、半導
体処理工程上の問題によって形成された縞形状のレジス
ト残りによって二次元コードの読み取りができなくなる
という不具合が発生することがある。
When such a two-dimensional code is imprinted on a silicon wafer to identify the lot number, wafer number, etc. of the silicon wafer, stripes formed due to problems in the semiconductor processing process. A problem may occur that the two-dimensional code cannot be read due to the remaining resist of the shape.

【0005】すなわち、ウェハ製造工程においては、イ
ンゴット作成→オリエンテーションフラットまたはノッ
チの形成→スライス→研磨などの工程を経てウェハを作
成した後、ウェハのオリエンテーションフラットまたは
ノッチの近傍の所定位置に対し二次元コードを刻印す
る。
That is, in the wafer manufacturing process, a wafer is prepared through processes such as ingot preparation → orientation flat or notch formation → slice → polishing, and then two-dimensionally moved to a predetermined position near the orientation flat or notch of the wafer. Engrave the code.

【0006】そして、この二次元コードが付されたウェ
ハに対し、スピンコートによるレジスト塗布が行われた
後、プレベーク、露光、ポストベーク、現像などの処理
が行われてウェハ上にICが形成されるのであるが、上
記スピンコート処理の際には、ウェハ全面に亘って均一
にレジストを塗布させることは難しく、特にウェハの外
縁部においては、レジストの膜厚が他の中央部の領域に
比べ異なってしまう。したがって、レジストが何層が積
層されるに従ってあるいはその後の工程での各種薬品処
理による影響によって、ウェハの外縁部には、同心円状
の黒い段差部(以下「線ノイズ」と云う。)が発生す
る。
[0006] Then, after the resist to which the two-dimensional code is attached is applied by spin coating, processing such as pre-bake, exposure, post-bake, and development is performed to form an IC on the wafer. However, at the time of the spin coating process, it is difficult to apply the resist uniformly over the entire surface of the wafer, and particularly at the outer edge of the wafer, the thickness of the resist is smaller than that of other central regions. Will be different. Accordingly, concentric black steps (hereinafter referred to as "line noise") are generated at the outer edge of the wafer as the number of layers of the resist is increased or due to various chemical treatments in the subsequent steps. .

【0007】ここで、ウェハの外縁部には、二次元コー
ド(この場合二次元コードはL型ガイドセルをもつデー
タコード)が刻印されているので、上記形成された線ノ
イズが、データコードのL型ガイドセルと重畳すること
がある。これによりその後の各種半導体工程の際に二次
元コードの読み取りが不可能になるという問題が招来す
る。すなわち、二次元コードの場合は、データパターン
の位置および方向を識別させるためのガイドマークの認
識ができない場合、その後のデータパターンの読み取り
自体が成立しない。
Here, since a two-dimensional code (in this case, the two-dimensional code is a data code having an L-shaped guide cell) is engraved on the outer edge of the wafer, the formed line noise is generated by the data code. It may overlap with the L-shaped guide cell. This causes a problem that reading of a two-dimensional code becomes impossible in various subsequent semiconductor processes. That is, in the case of the two-dimensional code, if the guide mark for identifying the position and the direction of the data pattern cannot be recognized, the subsequent reading of the data pattern itself is not established.

【0008】このような問題に対して、同一のデータパ
ターンを有する複数の二次元コードをウェハの複数箇所
に対しウェハに対する相対姿勢角をそれぞれ異ならせて
マーキングする技術がある。
In order to solve such a problem, there is a technique for marking a plurality of two-dimensional codes having the same data pattern at a plurality of positions on a wafer with different relative attitude angles with respect to the wafer.

【0009】図13は、同一のデータパターン3aを有
する2つの二次元コード1a、1bを、ウェハWに対す
る相対姿勢を反転させてウェハWの2箇所に横方向にマ
ーキングした例と、同一のデータパターンを有する2つ
の二次元コード1a′、1b′を、ウェハWに対する相
対姿勢を反転させてウェハWの2箇所に縦方向にマーキ
ングした例を示す図である。
FIG. 13 shows an example in which two two-dimensional codes 1a and 1b having the same data pattern 3a are marked laterally at two places on the wafer W by reversing the relative attitude with respect to the wafer W, and the same data as in the example shown in FIG. FIG. 11 is a diagram showing an example in which two two-dimensional codes 1a ′ and 1b ′ having a pattern are vertically marked at two places on the wafer W by reversing their relative postures with respect to the wafer W.

【0010】二次元コード1aはデータパターン3aと
ガイドマーク2aとから構成されている。同様に、二次
元コード1bはデータパターン3aとガイドマーク2b
とから構成されている。同様に、二次元コード1a′は
データパターン3a′とガイドマーク2a′とから構成
されている。同様に、二次元コード1b′はデータパタ
ーン3a′とガイドマーク2b′とから構成されてい
る。
The two-dimensional code 1a comprises a data pattern 3a and a guide mark 2a. Similarly, the two-dimensional code 1b is composed of the data pattern 3a and the guide mark 2b.
It is composed of Similarly, the two-dimensional code 1a 'includes a data pattern 3a' and a guide mark 2a '. Similarly, the two-dimensional code 1b 'includes a data pattern 3a' and a guide mark 2b '.

【0011】これにより、1つの二次元コードが線ノイ
ズによって読み取りが不可能な場合でも他の箇所にマー
キングされた二次元コードを読み取るようにすれば二次
元コードの読み取りが可能になる。
Thus, even if one two-dimensional code cannot be read due to line noise, the two-dimensional code can be read by reading the two-dimensional code marked at another location.

【0012】また、各二次元コードは、マーキング対象
物に対する相対姿勢角が異なるようにマーキングされて
いるので、読み取りを不可能にする線ノイズの領域が大
きくなった場合でも、何れかの二次元コードで読み取り
ができる確率を向上させることができる。しかしなが
ら、線ノイズが2つの二次元コード上に発生した場合、
データパターンの読み取りができる確率は低下する。
Further, since each of the two-dimensional codes is marked so as to have a different relative attitude angle with respect to the marking object, even if the area of the line noise which makes reading impossible becomes large, any one of the two-dimensional codes becomes large. The probability that the code can be read can be improved. However, if the line noise occurs on two two-dimensional codes,
The probability that the data pattern can be read is reduced.

【0013】図14(a)は、線ノイズnsが2つの二
次元コード1a、1b上に横方向に発生した例を示す図
である。また図14(b)は、線ノイズnsが2つの二
次元コード1a′、1b′上に縦方向に発生した例を示
す図である。
FIG. 14A is a diagram showing an example in which a line noise ns is generated on two two-dimensional codes 1a and 1b in a horizontal direction. FIG. 14B is a diagram showing an example in which line noise ns is generated on two two-dimensional codes 1a 'and 1b' in the vertical direction.

【0014】これら図14(a)および図14(b)に
示すように、線ノイズnsが2つの二次元コード上に発
生すると、データパターンの読み取りができる確率は低
下する。
As shown in FIGS. 14A and 14B, when the line noise ns occurs on two two-dimensional codes, the probability that the data pattern can be read decreases.

【0015】本発明はこうした実情に鑑みてなされたも
のであり、同一のデータパターンを有する複数の二次元
コード上に汚れ等の読み取り不良を招く各種ノイズ成分
が発生した場合でも、二次元コードの認識率を向上させ
ることを第1の解決課題とする。
The present invention has been made in view of such circumstances, and even when various noise components that cause reading errors such as dirt are generated on a plurality of two-dimensional codes having the same data pattern, the two-dimensional code can be used. Improving the recognition rate is a first solution.

【0016】さて、ウェハ表面上に凹状または凸状に形
成されたドットから成る二次元コードを読み取る場合
に、二次元コードに対して暗視野照明または明視野照明
することがある。
When reading a two-dimensional code composed of dots formed in a concave or convex shape on the wafer surface, dark-field illumination or bright-field illumination may be applied to the two-dimensional code.

【0017】図15(a)は暗視野照明を用いた二次元
コードの読み取り装置を示す図であり、同図15(b)
はウェハ表面上の二次元コードを暗視野照明した場合に
得られた暗視野像を示す図である。
FIG. 15A is a diagram showing a two-dimensional code reading apparatus using dark field illumination, and FIG.
FIG. 4 is a diagram showing a dark-field image obtained when a two-dimensional code on a wafer surface is dark-field illuminated.

【0018】同図15(a)に示す二次元コードの読み
取り装置によれば、レンズ10a、10bを介して光源
11a、11bから出射された光が、斜光角度θでウェ
ハW表面上の二次元コード1に向けて照射され、さらに
二次元コード1の凹または凸によって散乱または回折さ
れる。そして、散乱または回折された光が二次元コード
1の上方側に設けられたカメラ4に入射されることによ
り二次元コード1が撮像される。
According to the two-dimensional code reader shown in FIG. 15A, the light emitted from the light sources 11a and 11b via the lenses 10a and 10b is converted into two-dimensional light on the surface of the wafer W at an oblique light angle θ. The two-dimensional code 1 is irradiated toward the code 1 and further scattered or diffracted by the concave or convex portions of the two-dimensional code 1. Then, the scattered or diffracted light is incident on a camera 4 provided above the two-dimensional code 1 so that the two-dimensional code 1 is imaged.

【0019】これにより、二次元コード1が形成されて
いない背景部分の明度よりも二次元コード1の明度が高
い同図15(b)に示す暗視野像が得られ、二次元コー
ド1を認識することができる。
As a result, a dark-field image shown in FIG. 15B is obtained in which the brightness of the two-dimensional code 1 is higher than the brightness of the background portion where the two-dimensional code 1 is not formed, and the two-dimensional code 1 is recognized. can do.

【0020】一方、図16(a)は明視野照明を用いた
二次元コードの読み取り装置を示す図であり、同図16
(b)はウェハ表面上の二次元コードを明視野照明した
場合に得られた明視野像を示す図である。
On the other hand, FIG. 16A is a diagram showing a two-dimensional code reading device using bright-field illumination.
(B) is a diagram showing a bright-field image obtained when a two-dimensional code on the wafer surface is illuminated with a bright field.

【0021】同図16(a)に示す二次元コードの読み
取り装置によれば、レンズ12を介して光源8から出射
された光が、二次元コード1の上方側に設けられたハー
フミラー13の側方側からハーフミラー13に向けて出
射される。さらに、ハーフミラー13で反射された該光
の一部がウェハW表面上の二次元コード1に向けて照射
される。そして、ウェハW表面上の二次元コード1の形
成されていない部分および二次元コード1で反射された
光の一部がハーフミラー13を透過する。こうして、ハ
ーフミラー13を透過した光が二次元コード1の上方側
に設けられたカメラ9に入射されることにより二次元コ
ード1が撮像される。
According to the two-dimensional code reader shown in FIG. 16A, the light emitted from the light source 8 via the lens 12 is transmitted to the half mirror 13 provided above the two-dimensional code 1. The light is emitted toward the half mirror 13 from the side. Further, a part of the light reflected by the half mirror 13 is irradiated toward the two-dimensional code 1 on the surface of the wafer W. Then, a portion of the surface of the wafer W where the two-dimensional code 1 is not formed and a part of the light reflected by the two-dimensional code 1 pass through the half mirror 13. In this way, the light transmitted through the half mirror 13 is incident on the camera 9 provided above the two-dimensional code 1 so that the two-dimensional code 1 is imaged.

【0022】これにより、ウェハW表面上の二次元コー
ド1が形成されていない部分と二次元コード1の凹また
は凸との反射率の違いによって、二次元コード1が形成
されていない背景部分の明度よりも二次元コード1の明
度が低い同図16(b)に示す明視野像が得られ、二次
元コード1を認識することができる。
Thus, due to the difference in reflectance between the portion on the surface of the wafer W where the two-dimensional code 1 is not formed and the concave or convex portion of the two-dimensional code 1, the background portion where the two-dimensional code 1 is not formed is formed. The bright-field image shown in FIG. 16B in which the brightness of the two-dimensional code 1 is lower than the brightness is obtained, and the two-dimensional code 1 can be recognized.

【0023】しかしながら、二次元コード1を暗視野照
明する際、二次元コード1の表面上に曇りが生じて、二
次元コード1の画像が白濁する場合がある。
However, when the two-dimensional code 1 is illuminated in the dark field, the surface of the two-dimensional code 1 may be fogged and the image of the two-dimensional code 1 may become cloudy.

【0024】図17(a)は、二次元コード1aを暗視
野照明した場合に、二次元コード1aの画像に生じた白
濁を示す図である。
FIG. 17A is a diagram showing white turbidity generated in an image of the two-dimensional code 1a when the two-dimensional code 1a is illuminated with a dark field.

【0025】同図17(a)に示すように、二次元コー
ド1aの画像に白濁が生じると二次元コード1aのL字
形状のガイドマーク2aが読みにくくなりデータパター
ン3aの認識率が低下する。
As shown in FIG. 17A, when the image of the two-dimensional code 1a becomes cloudy, the L-shaped guide mark 2a of the two-dimensional code 1a becomes difficult to read, and the recognition rate of the data pattern 3a decreases. .

【0026】一方、二次元コード1を暗視野照明する
際、二次元コード1の表面上に黒い線ノイズが生じる場
合がある。
On the other hand, when the two-dimensional code 1 is illuminated in the dark field, black line noise may occur on the surface of the two-dimensional code 1.

【0027】図17(b)は、二次元コード1aを暗視
野照明した場合に、二次元コード1aの表面上に生じた
黒い線ノイズnsを示す図である。
FIG. 17B is a diagram showing black line noise ns generated on the surface of the two-dimensional code 1a when the two-dimensional code 1a is illuminated in the dark field.

【0028】同図17(b)に示すように、二次元コー
ド1aの表面上に黒い線ノイズnsが生じると、二次元
コード1aのL字形状のガイドマーク2aが読み取りに
くくなり、データパターン3aの認識率が低下する。
As shown in FIG. 17B, when black line noise ns occurs on the surface of the two-dimensional code 1a, it becomes difficult to read the L-shaped guide mark 2a of the two-dimensional code 1a and the data pattern 3a. Recognition rate decreases.

【0029】本発明はこうした実情に鑑みてなされたも
のであり、二次元コード上に、暗視野照明で生じるノイ
ズ成分、あるいは明視野照明で生じるノイズ成分の何れ
かが発生した場合でも、二次元コードの認識率を向上さ
せることを第2の解決課題とする。
The present invention has been made in view of such circumstances, and even when a noise component generated by dark-field illumination or a noise component generated by bright-field illumination is generated on a two-dimensional code, the two-dimensional code can be obtained. A second solution is to improve the code recognition rate.

【0030】ところで、二次元コードの縁部分にはガイ
ドマークの他にタイミングパターンと呼ばれるドットデ
ータが設けられている。すなわち、データパターンの外
周形状に沿って、ガイドマークとタイミングデータとか
ら構成される外周データが設けられている。
Incidentally, dot data called a timing pattern is provided in addition to the guide mark at the edge of the two-dimensional code. That is, the outer peripheral data including the guide mark and the timing data is provided along the outer peripheral shape of the data pattern.

【0031】図18は外周データGD上に発生した線ノ
イズnsを示す図である。
FIG. 18 is a diagram showing a line noise ns generated on the outer circumference data GD.

【0032】同図18に示すようにタイミングパターン
TPは、データパターン3aの外周のうちガイドマーク
2aの反対側に、一個置きに形成されたドットで構成さ
れている。
As shown in FIG. 18, the timing pattern TP is composed of dots formed on every other side of the outer periphery of the data pattern 3a on the side opposite to the guide mark 2a.

【0033】同図18に示すように、外周データGD上
に線ノイズnsが発生すると、データパターン3aの認
識率が低下する。
As shown in FIG. 18, when line noise ns occurs on the outer peripheral data GD, the recognition rate of the data pattern 3a decreases.

【0034】本発明はこうした実情に鑑みてなされたも
のであり、二次元コードの外周データに汚れ等の読み取
り不良を招く各種ノイズ成分が発生した場合でも、二次
元コードの認識率を向上させることを第3の解決課題と
する。
[0034] The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to improve the recognition rate of a two-dimensional code even when various noise components that cause a reading error such as dirt occur in the outer peripheral data of the two-dimensional code. As a third solution.

【0035】[0035]

【課題を解決するための手段及び作用効果】そこで、本
発明の第1発明では、上記第1の解決課題を達成するた
めに、データパターンを有する二次元コードを物体表面
に設け、該二次元コードのデータパターンを読み取る二
次元コードの読み取り装置において、前記物体表面の複
数箇所に同一のデータパターンを有する複数の二次元コ
ードを設け、該複数の二次元コードを相互に、前記物体
表面に対する相対姿勢が反転するように設け、前記複数
の二次元コードの各々を二分割する二次元コード分割手
段と、該二次元コード分割手段によって前記複数の二次
元コードの各々を二分割することにより取り出された一
方の二次元コードのうちの分割された部分と他方の二次
元コードのうちの分割された部分とを前記二次元コード
のデータパターンが読み取れるように合成する二次元コ
ード合成手段とを備えるようにしている。
Accordingly, in the first invention of the present invention, in order to achieve the first object, a two-dimensional code having a data pattern is provided on the surface of an object. In a two-dimensional code reader for reading a data pattern of a code, a plurality of two-dimensional codes having the same data pattern are provided at a plurality of positions on the surface of the object, and the plurality of two-dimensional codes are mutually exchanged with respect to the surface of the object. A two-dimensional code dividing unit that is provided so that the posture is inverted, and divides each of the plurality of two-dimensional codes into two, and is extracted by dividing each of the plurality of two-dimensional codes into two by the two-dimensional code dividing unit. The divided part of one of the two-dimensional codes and the divided part of the other two-dimensional code are represented by a data pattern of the two-dimensional code. So that and a two-dimensional code synthesizing means for synthesizing as read.

【0036】上記第1発明を図1、図2(b)に対応さ
せて説明する。
The first invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2 (b).

【0037】すなわち第1発明によれば、物体表面の複
数箇所に同一のデータパターン3aを有する複数の二次
元コード1a、1bが設けられ、二次元コード1a、1
bが相互に、物体表面に対する相対姿勢が反転するよう
に設けられ、二次元コード分割手段22、23(24、
25)によって二次元コード1a、1bの各々が二分割
され、二次元コード1a、1bの各々が二分割されるこ
とにより取り出された一方の二次元コード1aのうちの
分割された部分1aj(1ak)と他方の二次元コード
のうちの分割された部分1bj(1bk)とが、二次元
コード1a、1bのデータパターン3aが読み取れるよ
うに合成される。
That is, according to the first invention, a plurality of two-dimensional codes 1a and 1b having the same data pattern 3a are provided at a plurality of locations on the surface of the object, and the two-dimensional codes 1a and 1b are provided.
b are provided such that their relative attitudes with respect to the object surface are inverted, and the two-dimensional code division means 22, 23 (24,
25), each of the two-dimensional codes 1a and 1b is divided into two parts, and each of the two-dimensional codes 1a and 1b is divided into two parts. ) And the divided portion 1bj (1bk) of the other two-dimensional code are synthesized so that the data pattern 3a of the two-dimensional codes 1a and 1b can be read.

【0038】このように第1発明では、物体表面の複数
箇所に同一のデータパターン3aを有する複数の二次元
コード1a、1bを設け、二次元コード1a、1bを相
互に、物体表面に対する相対姿勢が反転するように設
け、二次元コード1a、1bの各々を二分割し、二次元
コード1a、1bの各々を二分割することにより取り出
された一方の二次元コード1aのうちの分割された部分
1aj(1ak)と他方の二次元コードのうちの分割さ
れた部分1bj(1bk)とを、二次元コード1a、1
bのデータパターン3aが読み取れるように合成してい
るので、同一のデータパターンを有する複数の二次元コ
ード上に汚れ等の読み取り不良を招く各種ノイズ成分が
発生した場合でも、二次元コードの認識率を向上させる
ことができる。
As described above, in the first invention, a plurality of two-dimensional codes 1a and 1b having the same data pattern 3a are provided at a plurality of locations on the object surface, and the two-dimensional codes 1a and 1b are mutually positioned relative to the object surface. Are inverted so that each of the two-dimensional codes 1a and 1b is divided into two parts, and each of the two-dimensional codes 1a and 1b is divided into two parts. 1aj (1ak) and the divided part 1bj (1bk) of the other two-dimensional code are converted into two-dimensional codes 1a, 1b
Since the data pattern 3a is synthesized so that the data pattern 3a can be read, the recognition rate of the two-dimensional code can be improved even when various noise components such as dirt are generated on a plurality of two-dimensional codes having the same data pattern. Can be improved.

【0039】また、本発明の第2発明では、上記第2の
解決課題を達成するために、平坦な物体表面に対して凹
状または凸状の二次元コードを形成し、該物体表面のう
ち該二次元コードを除いた背景部分と前記二次元コード
とから成る像に基づいて前記二次元コードを読み取る二
次元コードの読み取り装置において、前記照明手段とし
て、前記背景部分の明度よりも前記二次元コードの明度
が高い暗視野像が得られるように前記物体表面を照明す
る暗視野照明手段と前記背景部分の明度よりも前記二次
元コードの明度が低い明視野像が得られるように前記物
体表面を照明する明視野照明手段とを備え、前記暗視野
像と前記明視野像とに基づいて前記二次元コードを読み
取るようにしている。
According to a second aspect of the present invention, in order to achieve the second object, a concave or convex two-dimensional code is formed on a flat object surface, and the two-dimensional code is formed on the object surface. In a two-dimensional code reading device that reads the two-dimensional code based on an image consisting of a background part excluding a two-dimensional code and the two-dimensional code, as the lighting unit, the two-dimensional code is more than the brightness of the background part. Dark object illumination means for illuminating the object surface so that a dark field image with a high brightness is obtained, and the object surface so that a light field image of the two-dimensional code having a lower brightness than the brightness of the background portion is obtained. And a bright-field illuminating means for illuminating the two-dimensional code based on the dark-field image and the bright-field image.

【0040】また、本発明の第3発明は、上記第2発明
において、前記二次元コードは、前記二次元コードの縁
の一部をガイドマークとするものであり、前記暗視野照
明手段は、前記背景部分の明度よりも前記ガイドマーク
の明度が高い暗視野像が得られるように前記物体表面を
照明するものであり、前記明視野照明手段は、前記背景
部分の明度よりも前記ガイドマークの明度が低い明視野
像が得られるように前記物体表面を照明するものである
ものとしている。
According to a third aspect of the present invention, in the second aspect, the two-dimensional code uses a part of an edge of the two-dimensional code as a guide mark, and the dark-field illumination means includes: The object surface is illuminated so that a dark-field image in which the brightness of the guide mark is higher than the brightness of the background portion is obtained, and the bright-field illuminating unit is configured to illuminate the guide mark more than the brightness of the background portion. The object surface is illuminated so as to obtain a bright field image with low brightness.

【0041】上記第2発明および第3発明を図3、図1
5(b)、図16(b)に対応させて説明する。
FIGS. 3 and 1 show the second and third inventions, respectively.
5 (b) and FIG. 16 (b).

【0042】すなわち第2発明および第3発明によれ
ば、背景部分の明度よりもガイドマーク2aの明度が高
い暗視野像が得られるように物体表面Wを照明する暗視
野照明手段4、6、7と、背景部分の明度よりもガイド
マーク2aの明度が低い明視野像が得られるように物体
表面Wを照明する明視野照明手段5、6、7とが備えら
れ、暗視野照明手段4、6、7によって得られた暗視野
像と明視野照明手段5、6、7によって得られた明視野
像とに基づいて二次元コード1が読み取られる。
That is, according to the second and third aspects of the invention, the dark-field illuminating means 4, 6, which illuminates the object surface W so as to obtain a dark-field image in which the brightness of the guide mark 2a is higher than the brightness of the background portion. 7 and bright-field illuminators 5, 6, 7 for illuminating the object surface W so as to obtain a bright-field image in which the brightness of the guide mark 2a is lower than the brightness of the background portion. The two-dimensional code 1 is read based on the dark-field images obtained by the dark-field images 6 and 7 and the bright-field images obtained by the bright-field illumination means 5, 6 and 7.

【0043】このように第2発明および第3発明では、
暗視野照明手段4、6、7によって得られた暗視野像
と、明視野照明手段5、6、7によって得られた明視野
像とに基づいて二次元コード1を読み取るようにしてい
るので、二次元コード1上に、暗視野照明で生じるノイ
ズ成分、あるいは明視野照明で生じるノイズ成分の何れ
が発生した場合でも、二次元コードの認識率を向上させ
ることができる。
As described above, in the second invention and the third invention,
Since the two-dimensional code 1 is read based on the dark-field images obtained by the dark-field illumination means 4, 6, 7 and the bright-field images obtained by the bright-field illumination means 5, 6, 7, Even if a noise component generated by dark-field illumination or a noise component generated by bright-field illumination occurs on the two-dimensional code 1, the recognition rate of the two-dimensional code can be improved.

【0044】また、本発明の第4発明では、上記第3の
解決課題を達成するために、データパターンと、該デー
タパターンの外周形状に応じた検出対象のガイドマーク
とから成る二次元コードの画像と、前記データパターン
の外周形状に応じた基準の形状のガイドマークの基準画
像とを用意し、前記ガイドマークと該基準画像とを突き
合わせて、前記ガイドマークの形状が前記基準画像の形
状と一致するか否かを判断し、一致するという判断結果
に基づいて前記ガイドマークを検出し、この検出された
ガイドマークに基づいて、前記二次元コードのデータパ
ターンを読み取る二次元コードの読み取り装置におい
て、前記ガイドマークの欠落した部分以外の部分に基づ
いて、前記ガイドマークの欠落した部分が前記データパ
ターンの外周形状に沿って連続するように前記ガイドマ
ークの補正画像を生成する補正画像生成手段を備え、前
記補正画像と前記基準画像とを突き合わせて、前記補正
画像の形状が前記基準画像の形状と一致するか否かを判
断し、一致するという判断結果に基づいて前記ガイドマ
ークを検出し、この検出されたガイドマークに基づい
て、前記二次元コードのデータパターンを読み取るよう
にしている。
According to the fourth aspect of the present invention, in order to achieve the third object, a two-dimensional code consisting of a data pattern and a detection target guide mark corresponding to the outer peripheral shape of the data pattern is used. An image and a reference image of a guide mark having a reference shape corresponding to the outer peripheral shape of the data pattern are prepared, and the guide mark and the reference image are matched with each other, so that the shape of the guide mark is the same as the shape of the reference image. A two-dimensional code reading device that determines whether or not the two-dimensional code matches, detects the guide mark based on the determination result that the two-dimensional code matches, and reads the data pattern of the two-dimensional code based on the detected guide mark. Based on a portion other than the missing portion of the guide mark, the missing portion of the guide mark is formed in the outer peripheral shape of the data pattern. Correction image generating means for generating a correction image of the guide mark so that the correction image is continuous with the reference image, and comparing the correction image with the reference image to determine whether the shape of the correction image matches the shape of the reference image. The guide mark is detected based on the result of the determination, and the data pattern of the two-dimensional code is read based on the detected guide mark.

【0045】上記第4発明を図9、図11(a)、
(b)、(c)、(d)、(e)に対応させて説明す
る。
The fourth invention is described with reference to FIGS.
A description will be given corresponding to (b), (c), (d), and (e).

【0046】すなわち第4発明によれば、ガイドマーク
2aの欠落した部分以外の部分に基づいて、ガイドマー
ク2aの欠落した部分がデータパターン3aの外周形状
に沿って連続するようにガイドマーク2aの補正画像2
a′が補正画像生成手段62で生成され、この生成され
た補正画像2a′と基準画像2axとが突き合わされ
て、補正画像2a′の形状が基準画像2axの形状と一
致するか否かが判断され、一致するという判断結果に基
づいてガイドマーク2aが検出され、この検出されたガ
イドマーク2aに基づいて、二次元コード1aのデータ
パターン3aが読み取られる。
That is, according to the fourth aspect of the present invention, the guide mark 2a is formed so that the missing portion of the guide mark 2a is continued along the outer peripheral shape of the data pattern 3a based on the portion other than the missing portion of the guide mark 2a. Correction image 2
a 'is generated by the corrected image generating means 62, and the generated corrected image 2a' and the reference image 2ax are compared to determine whether the shape of the corrected image 2a 'matches the shape of the reference image 2ax. Then, the guide mark 2a is detected based on the determination result that they match, and the data pattern 3a of the two-dimensional code 1a is read based on the detected guide mark 2a.

【0047】このように第4発明では、ガイドマーク2
aの欠落した部分以外の部分に基づいて、ガイドマーク
2aの欠落した部分がデータパターン3aの外周形状に
沿って連続するようにガイドマーク2aの補正画像2
a′を生成し、生成された補正画像2a′と基準画像2
axとを突き合わせて、補正画像2a′の形状が基準画
像2axの形状と一致するか否かを判断し、一致すると
いう判断結果に基づいてガイドマーク2aを検出し、検
出されたガイドマーク2aに基づいて、二次元コード1
aのデータパターン3aを読み取るようにしているの
で、二次元コードの外周データに汚れ等の読み取り不良
を招く各種ノイズ成分が発生した場合でも、二次元コー
ドの認識率を向上させることができる。
As described above, in the fourth invention, the guide mark 2
The corrected image 2 of the guide mark 2a is set so that the missing portion of the guide mark 2a is continued along the outer peripheral shape of the data pattern 3a based on the portion other than the missing portion of a.
a ′, and generates the corrected image 2a ′ and the reference image 2
ax, and determines whether or not the shape of the corrected image 2a 'matches the shape of the reference image 2ax. Based on the result of the determination, the guide mark 2a is detected, and the detected guide mark 2a is Based on the two-dimensional code 1
Since the data pattern 3a of "a" is read, the recognition rate of the two-dimensional code can be improved even when various noise components that cause reading failure such as dirt occur in the outer peripheral data of the two-dimensional code.

【0048】[0048]

【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明に係わ
る二次元コードの読み取り装置の実施形態について説明
する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a two-dimensional code reader according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0049】図1は、同一のデータパターンを有する複
数の二次元コード上に汚れ等の読み取り不良を招く各種
ノイズ成分が発生した場合でも、二次元コードの認識率
を向上させる二次元コードの読み取り装置の実施形態の
構成を示すブロック図である。
FIG. 1 shows the reading of a two-dimensional code for improving the recognition rate of a two-dimensional code even when various noise components which cause reading errors such as dirt are generated on a plurality of two-dimensional codes having the same data pattern. It is a block diagram showing composition of an embodiment of a device.

【0050】同図1に示すように、この実施形態は、ウ
ェハW上の二次元コード1aを撮像して位置を検出する
位置検出ユニット20と、ウェハW上の二次元コード1
bを撮像して位置を検出する位置検出ユニット21と、
二次元コード1aの画像の上(左)側部分を切り出す上
(左)部切出ユニット22と、二次元コード1bの画像
の上(左)側部分を切り出す上(左)部切出ユニット2
3と、二次元コード1aの画像の下(右)側部分を切り
出す下(右)部切出ユニット24と、二次元コード1b
の画像の下(右)側部分を切り出す下(右)部切出ユニ
ット25と、位置検出ユニット21で位置が検出された
二次元コード1bの画像を反転させる反転ユニット26
と、上(左)部切出ユニット23で切り出された二次元
コード1bの画像の上(左)側部分を反転させる反転ユ
ニット27と、下(右)部切出ユニット24で切り出さ
れた二次元コード1aの画像の下(右)側部分を反転さ
せる反転ユニット28と、上(左)部切出ユニット22
で切り出された二次元コード1aの画像の上(左)側部
分と反転ユニット27で反転された二次元コード1bの
画像の上(左)側部分とを合成する合成ユニット29
と、反転ユニット28で反転された二次元コード1aの
画像の下(右)側部分と下(右)部切出ユニット25で
切り出された二次元コード1bの画像の反転下(右)側
部分とを合成する合成ユニット30と、合成ユニット3
0で合成された二次元コード1aの画像の反転下(右)
側部分と二次元コード1bの画像の下(右)側部分とを
反転させる反転ユニット31と、位置検出ユニット20
で位置が検出された二次元コード1aの画像または反転
ユニット26で反転された二次元コード1bの画像また
は合成ユニット29で合成された二次元コード1aの画
像の上(左)側部分と二次元コード1bの画像の反転上
(左)側部分との画像または合成ユニット30で合成さ
れた二次元コード1aの画像の反転下(右)側部分と二
次元コード1bの画像の下(右)側部分との画像を反転
ユニット31で反転した画像に基づいてデータパターン
3aを読み取る認識ユニット32とから構成されてい
る。
As shown in FIG. 1, in this embodiment, a position detecting unit 20 for imaging a two-dimensional code 1a on a wafer W to detect a position, and a two-dimensional code 1a on the wafer W
a position detection unit 21 for imaging b to detect a position;
An upper (left) cutout unit 22 for cutting out the upper (left) side of the image of the two-dimensional code 1a, and an upper (left) cutout unit 2 for cutting out the upper (left) side of the image of the two-dimensional code 1b.
3, a lower (right) cutout unit 24 for cutting out the lower (right) side of the image of the two-dimensional code 1a, and the two-dimensional code 1b
A lower (right) cutout unit 25 that cuts out the lower (right) side of the image, and an inverting unit 26 that inverts the image of the two-dimensional code 1b whose position has been detected by the position detecting unit 21.
And a reversing unit 27 for reversing the upper (left) side of the image of the two-dimensional code 1b cut out by the upper (left) cutout unit 23, and the two cut out by the lower (right) cutout unit 24. A reversing unit 28 for reversing the lower (right) side of the image of the dimensional code 1a, and an upper (left) cutout unit 22
A combining unit 29 for combining the upper (left) side portion of the image of the two-dimensional code 1a cut out by the above and the upper (left) side portion of the image of the two-dimensional code 1b inverted by the inverting unit 27.
And the lower (right) side portion of the image of the two-dimensional code 1a inverted by the reversing unit 28 and the lower (right) side portion of the image of the two-dimensional code 1b cut out by the lower (right) cutout unit 25 Combining unit 30 for combining
Inversion of the image of the two-dimensional code 1a synthesized with 0 (right)
A reversing unit 31 for reversing the side part and the lower (right) side part of the image of the two-dimensional code 1b;
The upper (left) side portion of the image of the two-dimensional code 1a whose position has been detected in the above, the image of the two-dimensional code 1b inverted by the inverting unit 26, or the image of the two-dimensional code 1a synthesized by the synthesizing unit 29 and two-dimensional An image of the inverted upper (left) side of the image of the code 1b or an inverted lower (right) side of the image of the two-dimensional code 1a synthesized by the synthesizing unit 30 and the lower (right) side of the image of the two-dimensional code 1b. And a recognition unit 32 that reads the data pattern 3a based on the image obtained by inverting the image of the part by the inversion unit 31.

【0051】次に、この実施形態で行われる二次元コー
ドの読み取りの処理について、図1、図2(a)、
(b)、(c)を参照して説明する。
Next, the processing of reading a two-dimensional code performed in this embodiment will be described with reference to FIGS.
Description will be made with reference to (b) and (c).

【0052】図2(a)は、図1に示す二次元コードの
読み取り装置が行う二次元コードの読み取り処理のフロ
ーチャートであり、同図2(b)は、線ノイズnsが横
方向に発生した2つの二次元コード1a、1bの読み取
りの処理を説明するための図であり、同図2(c)は、
線ノイズnsが縦方向に発生した2つの二次元コード1
a′、1b′の読み取りの処理を説明するための図であ
る。
FIG. 2A is a flowchart of a two-dimensional code reading process performed by the two-dimensional code reading device shown in FIG. 1. FIG. 2B shows a line noise ns generated in the horizontal direction. FIG. 2C is a diagram for explaining a process of reading two two-dimensional codes 1a and 1b, and FIG.
Two two-dimensional codes 1 in which line noise ns occurs in the vertical direction
It is a figure for explaining processing of reading of a 'and 1b'.

【0053】まず、同図2(b)を参照して、線ノイズ
nsが横方向に発生した2つの二次元コード1a、1b
の読み取りの処理について説明する。
First, referring to FIG. 2B, two two-dimensional codes 1a and 1b in which a line noise ns is generated in the horizontal direction.
The following describes the reading process.

【0054】位置検出ユニット20によってウェハW上
の二次元コード1aの位置が検出されると、二次元コー
ド1aのデータパターン3aを読み取ることができるか
否かが認識ユニット32で判定される(ステップ10
0)。認識ユニット32でデータパターン3aを読み取
ることができると判定された場合には(ステップ100
の判断Yes)、データパターン3aが読み取られる
(ステップ104)。一方、認識ユニット32でデータ
パターン3aを読み取ることができないと判定された場
合(ステップ100の判断No)には、ステップ101
に移行される。
When the position of the two-dimensional code 1a on the wafer W is detected by the position detecting unit 20, the recognition unit 32 determines whether or not the data pattern 3a of the two-dimensional code 1a can be read (step). 10
0). If the recognition unit 32 determines that the data pattern 3a can be read (step 100)
Is determined, the data pattern 3a is read (step 104). On the other hand, if the recognition unit 32 determines that the data pattern 3a cannot be read (No in step 100), the process proceeds to step 101.
Will be migrated to.

【0055】次に、位置検出ユニット21によってウェ
ハW上の二次元コード1bが撮像され位置が検出される
と、検出された二次元コード1bの画像が反転ユニット
26によって反転される。そして、反転された二次元コ
ード1bのデータパターン3aを読み取ることができる
か否かが認識ユニット32で判定される(ステップ10
1)。認識ユニット32でデータパターン3aを読み取
ることができると判定された場合には(ステップ101
の判断Yes)、データパターン3aが読み取られる
(ステップ104)。一方、認識ユニット32でデータ
パターン3aを読み取ることができないと判定された場
合(ステップ101の判断No)には、ステップ102
に移行される。
Next, when the position detecting unit 21 images the two-dimensional code 1b on the wafer W and detects the position, the image of the detected two-dimensional code 1b is inverted by the inverting unit 26. Then, the recognition unit 32 determines whether or not the inverted data pattern 3a of the two-dimensional code 1b can be read (step 10).
1). If the recognition unit 32 determines that the data pattern 3a can be read (step 101)
Is determined, the data pattern 3a is read (step 104). On the other hand, if the recognition unit 32 determines that the data pattern 3a cannot be read (No in step 101), the process proceeds to step 102.
Will be migrated to.

【0056】次に、上部切出ユニット22によって二次
元コード1aの画像の上側部分1ajが切り出されると
ともに、上部切出ユニット23によって二次元コード1
bの画像の上側部分1bjが切り出される。切り出され
た二次元コード1bの画像の上側部分1bjは反転ユニ
ット27で反転される。そして、切り出された二次元コ
ード1aの画像の上側部分1ajと反転された二次元コ
ード1bの画像の上側部分1bjとが合成ユニット29
で合成される。さらに、合成された二次元コード1aの
画像の上側部分1ajと反転された二次元コード1bの
画像の上側部分1bjとからデータパターン3aを読み
取ることができるか否かが認識ユニット32で判定され
る(ステップ102)。認識ユニット32でデータパタ
ーン3aを読み取ることができると判定された場合には
(ステップ102の判断Yes)、データパターン3a
が読み取られる(ステップ104)。一方、認識ユニッ
ト32でデータパターン3aを読み取ることができない
と判定された場合(ステップ102の判断No)には、
ステップ103に移行される。
Next, the upper portion 1aj of the image of the two-dimensional code 1a is cut out by the upper cutout unit 22, and the two-dimensional code 1 is cut by the upper cutout unit 23.
The upper part 1bj of the image b is cut out. The upper part 1bj of the image of the cut-out two-dimensional code 1b is inverted by the inverting unit 27. Then, the upper part 1aj of the extracted image of the two-dimensional code 1a and the upper part 1bj of the inverted image of the two-dimensional code 1b are combined with each other by the combining unit 29.
Synthesized by Further, the recognition unit 32 determines whether or not the data pattern 3a can be read from the upper part 1aj of the image of the synthesized two-dimensional code 1a and the upper part 1bj of the image of the inverted two-dimensional code 1b. (Step 102). If the recognition unit 32 determines that the data pattern 3a can be read (Yes in step 102), the data pattern 3a is read.
Is read (step 104). On the other hand, if the recognition unit 32 determines that the data pattern 3a cannot be read (No in step 102),
The process proceeds to step 103.

【0057】次に、下部切出ユニット24によって二次
元コード1aの画像の下側部分1akが切り出されると
ともに、下部切出ユニット25によって二次元コード1
bの画像の下側部分1bkが切り出される。切り出され
た二次元コード1aの画像の下側部分1akは反転ユニ
ット28で反転される。そして、切り出され反転された
二次元コード1aの画像の下側部分1akと二次元コー
ド1bの画像の下側部分1bkとが合成ユニット30で
合成される。さらに、合成された二次元コード1aの画
像の下側部分1akと二次元コード1bの画像の下側部
分1bkとが反転ユニット31で反転される。そして、
反転された二次元コード1aの画像の下側部分1akと
二次元コード1bの画像の下側部分1bkとからデータ
パターン3aを読み取ることができるか否かが認識ユニ
ット32で判定される(ステップ103)。認識ユニッ
ト32でデータパターン3aを読み取ることができると
判定された場合には(ステップ103の判断Yes)、
データパターン3aが認識される(ステップ104)。
一方、認識ユニット32でデータパターン3aを読み取
ることができないと判定された場合(ステップ103の
判断No)には、データパターン3aを読み取ることが
できないものとみなされる(ステップ105)。
Next, the lower part 1ak of the image of the two-dimensional code 1a is cut out by the lower cutout unit 24, and the two-dimensional code 1
The lower part 1bk of the image b is cut out. The lower part 1ak of the image of the cut-out two-dimensional code 1a is inverted by the inverting unit 28. Then, the lower part 1ak of the image of the extracted and inverted two-dimensional code 1a and the lower part 1bk of the image of the two-dimensional code 1b are combined by the combining unit 30. Further, the lower part 1ak of the image of the synthesized two-dimensional code 1a and the lower part 1bk of the image of the two-dimensional code 1b are inverted by the inverting unit 31. And
The recognition unit 32 determines whether or not the data pattern 3a can be read from the lower part 1ak of the image of the inverted two-dimensional code 1a and the lower part 1bk of the image of the two-dimensional code 1b (step 103). ). If the recognition unit 32 determines that the data pattern 3a can be read (Yes in step 103),
The data pattern 3a is recognized (step 104).
On the other hand, if the recognition unit 32 determines that the data pattern 3a cannot be read (No in step 103), it is determined that the data pattern 3a cannot be read (step 105).

【0058】なお、この実施形態では、二次元コード1
aの画像の下側部分1akと二次元コード1bの画像の
下側部分1bkには線ノイズnsが発生していないの
で、ステップ103でデータパターン3aが読み取られ
る。
In this embodiment, the two-dimensional code 1
Since the line noise ns is not generated in the lower part 1ak of the image a and the lower part 1bk of the image of the two-dimensional code 1b, the data pattern 3a is read in step 103.

【0059】次に、同図2(c)を参照して、線ノイズ
nsが縦方向に発生した2つの二次元コード1a′、1
b′の読み取りの処理について説明する。この処理は、
上述したように、線ノイズnsが横方向に発生した2つ
の二次元コード1a、1bの読み取りの処理と同様に行
われる。
Next, referring to FIG. 2 (c), two two-dimensional codes 1a ', 1a', in which a line noise ns is generated in the vertical direction,
The process of reading b 'will be described. This process
As described above, the process is performed in the same manner as the process of reading the two two-dimensional codes 1a and 1b in which the line noise ns occurs in the horizontal direction.

【0060】位置検出ユニット20によってウェハW上
の二次元コード1a′の位置が検出されると、二次元コ
ード1a′のデータパターン3a′を読み取ることがで
きるか否かが認識ユニット32で判定される(ステップ
100)。認識ユニット32でデータパターン3a′を
読み取ることができると判定された場合には(ステップ
100の判断Yes)、データパターン3a′が読み取
られる(ステップ104)。一方、認識ユニット32で
データパターン3a′を読み取ることができないと判定
された場合(ステップ100の判断No)には、ステッ
プ101に移行される。
When the position of the two-dimensional code 1a 'on the wafer W is detected by the position detection unit 20, the recognition unit 32 determines whether or not the data pattern 3a' of the two-dimensional code 1a 'can be read. (Step 100). If the recognition unit 32 determines that the data pattern 3a 'can be read (determination Yes in step 100), the data pattern 3a' is read (step 104). On the other hand, if the recognition unit 32 determines that the data pattern 3a 'cannot be read (No in step 100), the process proceeds to step 101.

【0061】次に、位置検出ユニット21によってウェ
ハW上の二次元コード1b′が撮像され位置が検出され
ると、検出された二次元コード1b′の画像が反転ユニ
ット26によって反転される。そして、反転された二次
元コード1b′のデータパターン3a′を読み取ること
ができるか否かが認識ユニット32で判定される(ステ
ップ101)。認識ユニット32でデータパターン3
a′を読み取ることができると判定された場合には(ス
テップ101の判断Yes)、データパターン3a′が
読み取られる(ステップ104)。一方、認識ユニット
32でデータパターン3a′を読み取ることができない
と判定された場合(ステップ101の判断No)には、
ステップ102に移行される。
Next, when the position detecting unit 21 images the two-dimensional code 1b 'on the wafer W and detects the position, the image of the detected two-dimensional code 1b' is inverted by the inverting unit 26. Then, the recognition unit 32 determines whether or not the inverted data pattern 3a 'of the two-dimensional code 1b' can be read (step 101). Data pattern 3 by the recognition unit 32
If it is determined that a 'can be read (Yes in step 101), the data pattern 3a' is read (step 104). On the other hand, if the recognition unit 32 determines that the data pattern 3a ′ cannot be read (No in step 101),
The process proceeds to step 102.

【0062】次に、左部切出ユニット22によって二次
元コード1a′の画像の左側部分1alが切り出される
とともに、左部切出ユニット23によって二次元コード
1bの画像の左側部分1blが切り出される。切り出さ
れた二次元コード1bの画像の左側部分1blは反転ユ
ニット27で反転される。そして、切り出された二次元
コード1a′の画像の左側部分1alと反転された二次
元コード1b′の画像の左側部分1blとが合成ユニッ
ト29で合成される。さらに、合成された二次元コード
1a′の画像の左側部分1alと二次元コード1b′の
画像の上側部分1blとからデータパターン3a′を読
み取ることができるか否かが認識ユニット32で判定さ
れる(ステップ102)。認識ユニット32でデータパ
ターン3a′を読み取ることができると判定された場合
には(ステップ102の判断Yes)、データパターン
3a′が読み取られる(ステップ104)。一方、認識
ユニット32でデータパターン3a′を読み取ることが
できないと判定された場合(ステップ102の判断N
o)には、ステップ103に移行される。
Next, the left portion 1al of the image of the two-dimensional code 1a 'is cut out by the left cutout unit 22, and the left portion 1bl of the image of the two-dimensional code 1b is cut out by the left cutout unit 23. The left portion 1bl of the extracted image of the two-dimensional code 1b is inverted by the inverting unit 27. Then, the combining unit 29 combines the left part 1al of the extracted image of the two-dimensional code 1a 'and the left part 1bl of the inverted image of the two-dimensional code 1b'. Further, the recognition unit 32 determines whether or not the data pattern 3a 'can be read from the left portion 1al of the image of the synthesized two-dimensional code 1a' and the upper portion 1bl of the image of the two-dimensional code 1b '. (Step 102). When the recognition unit 32 determines that the data pattern 3a 'can be read (determination Yes in step 102), the data pattern 3a' is read (step 104). On the other hand, if the recognition unit 32 determines that the data pattern 3a 'cannot be read (determination N in step 102).
In step o), the process proceeds to step 103.

【0063】次に、右部切出ユニット24によって二次
元コード1a′の画像の右側部分1arが切り出される
とともに、右部切出ユニット25によって二次元コード
1b′の画像の右側部分1brが切り出される。切り出
された二次元コード1a′の画像の右側部分1arは反
転ユニット28で反転される。そして、切り出され反転
された二次元コード1a′の画像の右側部分1arと二
次元コード1b′の画像の右側部分1brとが合成ユニ
ット30で合成される。さらに、合成された二次元コー
ド1a′の画像の右側部分1arと二次元コード1b′
の画像の右側部分1brとが反転ユニット31で反転さ
れる。そして、反転された二次元コード1a′の画像の
右側部分1arと二次元コード1b′の画像の右側部分
1brとからデータパターン3a′を読み取ることがで
きるか否かが認識ユニット32で判定される(ステップ
103)。認識ユニット32でデータパターン3a′を
読み取ることができると判定された場合には(ステップ
103の判断Yes)、データパターン3a′が読み取
られる(ステップ104)。一方、認識ユニット32で
データパターン3a′を読み取ることができないと判定
された場合(ステップ103の判断No)には、データ
パターン3a′を読み取ることができないものとみなさ
れる(ステップ105)。なお、この実施形態では、二
次元コード1a′の画像の右側部分1arと二次元コー
ド1b′の画像の右側部分1brには線ノイズnsが発
生していないので、ステップ103でデータパターン3
a′が読み取られる。
Next, the right portion 1ar of the image of the two-dimensional code 1a 'is cut out by the right portion cutout unit 24, and the right portion 1br of the image of the two-dimensional code 1b' is cut out by the right portion cutout unit 25. . The right portion 1ar of the image of the cut-out two-dimensional code 1a 'is inverted by the inverting unit 28. Then, the right side portion 1ar of the image of the extracted and inverted two-dimensional code 1a 'and the right side portion 1br of the image of the two-dimensional code 1b' are combined by the combining unit 30. Further, the right part 1ar of the image of the synthesized two-dimensional code 1a 'and the two-dimensional code 1b'
Is inverted by the reversing unit 31. Then, the recognition unit 32 determines whether or not the data pattern 3a 'can be read from the right part 1ar of the image of the inverted two-dimensional code 1a' and the right part 1br of the image of the two-dimensional code 1b '. (Step 103). If the recognition unit 32 determines that the data pattern 3a 'can be read (Yes in step 103), the data pattern 3a' is read (step 104). On the other hand, when the recognition unit 32 determines that the data pattern 3a 'cannot be read (No in step 103), it is determined that the data pattern 3a' cannot be read (step 105). In this embodiment, no line noise ns occurs in the right portion 1ar of the image of the two-dimensional code 1a 'and the right portion 1br of the image of the two-dimensional code 1b'.
a 'is read.

【0064】ここで、上記ステップ100、ステップ1
01、ステップ102、ステップ103において、デー
タパターン3aを読み取る際の具体的な処理について説
明する。
Here, step 100, step 1
In step 01, step 102, and step 103, specific processing when reading the data pattern 3a will be described.

【0065】(イ)まず、データパターン3a(3
a′)を形成する各ドットの中心領域の画像の明度が、
背景の明度よりも高いか低いかで判別することにより各
ドットを2値化する。
(A) First, the data pattern 3a (3
The brightness of the image in the central area of each dot forming a ′) is
Each dot is binarized by determining whether it is higher or lower than the brightness of the background.

【0066】(ロ)上記処理(イ)において2値化され
た各ドットをデコードする。
(B) Each dot binarized in the above process (a) is decoded.

【0067】(ハ)上記処理(ロ)においてデコードが
できれば、データパターン3a(3a′)を読み取るこ
とができる判断する。一方、上記処理(ロ)においてデ
コードができなければ、データパターン3a(3a′)
を読み取ることができないと判断する。
(C) If decoding is possible in the above processing (b), it is determined that the data pattern 3a (3a ') can be read. On the other hand, if decoding is not possible in the above process (b), the data pattern 3a (3a ')
It is determined that cannot be read.

【0068】なお、上述した実施形態では、二次元コー
ドを二つを用いる場合に適用するようにしているが、二
つ以上の二次元コードを用いる場合に適用するようにし
てもよい。
In the above-described embodiment, the present invention is applied to the case where two two-dimensional codes are used. However, the present invention may be applied to the case where two or more two-dimensional codes are used.

【0069】以上のように、この実施形態の二次元コー
ドの読み取り装置では、物体表面の複数箇所に同一のデ
ータパターンを有する複数の二次元コードを設け、二次
元コードを相互に、物体表面に対する相対姿勢が反転す
るように設け、二次元コードの各々を二分割し、二次元
コードの各々を二分割することにより取り出された一方
の二次元コードのうちの分割された部分と他方の二次元
コードのうちの分割された部分とを、二次元コードのデ
ータパターンが読み取れるように合成しているので、同
一のデータパターンを有する複数の二次元コード上に汚
れ等の読み取り不良を招く各種ノイズ成分が発生した場
合でも、二次元コードの認識率を向上させることができ
る。
As described above, in the two-dimensional code reading device of this embodiment, a plurality of two-dimensional codes having the same data pattern are provided at a plurality of locations on the surface of the object, and the two-dimensional codes are mutually transmitted to the surface of the object. Provided so that the relative attitude is reversed, divide each of the two-dimensional codes into two, and divide each of the two-dimensional codes into two to obtain the divided part of one two-dimensional code and the other two-dimensional code Since the divided parts of the code are combined with each other so that the data pattern of the two-dimensional code can be read, various noise components that cause reading failure such as dirt on a plurality of two-dimensional codes having the same data pattern are obtained. Even when the error occurs, the recognition rate of the two-dimensional code can be improved.

【0070】次に、二次元コード上において、暗視野照
明で生じるノイズ成分、あるいは明視野照明で生じるノ
イズ成分の何れかが発生した場合でも二次元コードの認
識率を向上させる二次元コードの読み取り装置の実施形
態について説明する。
Next, even when a noise component generated by dark-field illumination or a noise component generated by bright-field illumination occurs on the two-dimensional code, reading of the two-dimensional code for improving the recognition rate of the two-dimensional code is performed. An embodiment of the device will be described.

【0071】図3は、暗視野照明で生じるノイズ成分、
あるいは明視野照明で生じるノイズ成分の何れが発生し
た場合でも二次元コードの認識率を向上させる二次元コ
ードの読み取り装置の実施形態の構成を示す図である。
なお、図3において、上述の図15(a)、図16
(a)と同一の構成要素には同一の符号を付しており、
これらの構成要素の説明については適宜省略する。
FIG. 3 shows noise components generated by dark field illumination.
FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of an embodiment of a two-dimensional code reading device that improves the recognition rate of a two-dimensional code even when any of noise components generated by bright field illumination occurs.
Note that, in FIG. 3, the above-described FIGS.
The same components as those in (a) are denoted by the same reference numerals,
The description of these components will be omitted as appropriate.

【0072】図3に示す実施形態によれば、レンズ7を
介して光源6から出射された光が斜光角度θで二次元コ
ード1に向けて照射され、さらに二次元コード1の凹ま
たは凸によって散乱または回折された光が暗視野用カメ
ラ4に入射される。こうして、二次元コード1が形成さ
れていない背景部分の明度よりも明度が高いドットが暗
視野用カメラ4によって撮像される。そして、暗視野用
カメラ4で撮像されたドットに基づいて、暗視野像が白
ドット検出ユニット40によって検出される。
According to the embodiment shown in FIG. 3, the light emitted from the light source 6 through the lens 7 is applied to the two-dimensional code 1 at an oblique light angle θ, and The scattered or diffracted light is incident on the dark-field camera 4. In this way, the dark field camera 4 picks up an image of a dot whose brightness is higher than the brightness of the background portion where the two-dimensional code 1 is not formed. Then, based on the dots captured by the dark-field camera 4, a dark-field image is detected by the white dot detection unit 40.

【0073】同時に、レンズ7を介して光源8から出射
された光が斜光角度θで二次元コード1に向けて照射さ
れ、ついで反射角度θで反射され、明視野用カメラ5に
入射される。こうして、二次元コード1が形成されてい
ない背景部分の明度よりも明度が低いドットが明視野用
カメラ5によって撮像される。そして、明視野用カメラ
5で撮像されたドットに基づいて、明視野像が黒ドット
検出ユニット50によって検出される。
At the same time, the light emitted from the light source 8 via the lens 7 is applied to the two-dimensional code 1 at an oblique light angle θ, then reflected at a reflection angle θ and incident on the bright field camera 5. In this manner, dots having a lower brightness than the brightness of the background portion where the two-dimensional code 1 is not formed are captured by the bright-field camera 5. Then, the bright field image is detected by the black dot detection unit 50 based on the dots captured by the bright field camera 5.

【0074】なお、図3に示す実施形態では、暗視野用
と明視野用の二つのカメラを用いているが、二つのカメ
ラを用いる代わりに、暗視野用と明視野用の二つの光源
を用いるようにしてもよい。
In the embodiment shown in FIG. 3, two cameras for dark field and bright field are used. Instead of using two cameras, two light sources for dark field and bright field are used. It may be used.

【0075】図4は、二次元コード1の暗視野像と明視
野像とを得るために、暗視野用と明視野用の二つの光源
を用いるようにした実施形態を示す図である。なお、図
4において、上述の図3、図15(a)、図16(a)
と同一の構成要素には同一の符号を付しており、これら
の構成要素の説明については適宜省略する。
FIG. 4 is a diagram showing an embodiment in which two light sources for the dark field and the bright field are used to obtain the dark field image and the bright field image of the two-dimensional code 1. Note that in FIG. 4, the above-described FIGS. 3, 15 (a), and 16 (a)
The same components as those described above are denoted by the same reference numerals, and descriptions of these components will be omitted as appropriate.

【0076】図4に示す実施形態によれば、暗視野像を
得る場合には、レンズ10を介して暗視野用光源11か
ら出射された光が、二次元コード1に向けて照射され
る。そして、二次元コード1の凹または凸によって散乱
または回折された光の一部がハーフミラー13を透過す
る。こうして、ハーフミラー13を透過した光が二次元
コード1の上方側に設けられたカメラ9に入射され、二
次元コード1が形成されていない背景部分の明度よりも
明度が高いドットがカメラ9によって撮像される。そし
て、カメラ9で撮像されたドットに基づいて、暗視野像
が白ドット検出ユニット40によって検出される。
According to the embodiment shown in FIG. 4, when a dark-field image is obtained, the light emitted from the dark-field light source 11 through the lens 10 is applied to the two-dimensional code 1. Then, a part of the light scattered or diffracted by the concave or convex of the two-dimensional code 1 passes through the half mirror 13. In this way, the light transmitted through the half mirror 13 is incident on the camera 9 provided above the two-dimensional code 1, and dots having a higher brightness than the background portion where the two-dimensional code 1 is not formed are formed by the camera 9. It is imaged. Then, based on the dots captured by the camera 9, a dark field image is detected by the white dot detection unit 40.

【0077】また、明視野像を得る場合には、レンズ1
2を介して明視野用光源8から出射された光が、ハーフ
ミラー13の側方側からハーフミラー13に向けて出射
される。さらに、ハーフミラー13で反射された該光の
一部が二次元コード1に向けて照射される。そして、ウ
ェハW表面上の二次元コード1の形成されていない部分
および二次元コード1で反射された光の一部がハーフミ
ラー13を透過する。こうして、ハーフミラー13を透
過した光がカメラ9に入射され、二次元コード1が形成
されていない背景部分の明度よりも明度が低いドットが
カメラ9によって撮像される。そして、カメラ9で撮像
されたドットに基づいて、明視野像が黒ドット検出ユニ
ット50によって検出される。
To obtain a bright-field image, the lens 1
Light emitted from the bright field light source 8 via the second mirror 2 is emitted from the side of the half mirror 13 toward the half mirror 13. Further, a part of the light reflected by the half mirror 13 is irradiated toward the two-dimensional code 1. Then, a portion of the surface of the wafer W where the two-dimensional code 1 is not formed and a part of the light reflected by the two-dimensional code 1 pass through the half mirror 13. Thus, the light transmitted through the half mirror 13 is incident on the camera 9, and a dot having a lower brightness than the brightness of the background portion where the two-dimensional code 1 is not formed is imaged by the camera 9. Then, based on the dots captured by the camera 9, the bright field image is detected by the black dot detection unit 50.

【0078】図5(a)は白ドット検出ユニット40の
構成を示すブロック図であり、同図5(b)は黒ドット
検出ユニット50の構成を示すブロック図である。
FIG. 5A is a block diagram showing the configuration of the white dot detection unit 40, and FIG. 5B is a block diagram showing the configuration of the black dot detection unit 50.

【0079】同図5(a)に示すように白ドット検出ユ
ニット40は、暗視野用カメラ4またはカメラ9で撮像
されたドットに基づいてガイドマーク2aの位置を検出
する白L位置検出部41と、白L位置検出部41で位置
が検出されたガイドマーク2aの方向を検出する方向検
出部42と、白L位置検出部41および方向検出部42
によって位置および方向が検出されたガイドマーク2a
に基づいてデータパターン3aを認識するドット認識部
43と、ドット認識部43で認識されたデータパターン
3aのドットデータのデコードを行うデコード部44と
から構成されている。
As shown in FIG. 5A, the white dot detecting unit 40 is a white L position detecting section 41 for detecting the position of the guide mark 2a based on the dots picked up by the dark field camera 4 or the camera 9. A direction detecting unit 42 for detecting the direction of the guide mark 2a whose position has been detected by the white L position detecting unit 41; a white L position detecting unit 41 and a direction detecting unit 42.
Guide mark 2a whose position and direction are detected by
And a decoding unit 44 for decoding dot data of the data pattern 3a recognized by the dot recognition unit 43.

【0080】一方、同図5(b)に示すように黒ドット
検出ユニット50は、明視野用カメラ5またはカメラ9
で撮像されたドットに基づいてガイドマーク2aの位置
を検出する黒L位置検出部51と、黒L位置検出部51
で位置が検出されたガイドマーク2aの方向を検出する
方向検出部52と、黒L位置検出部51および方向検出
部52によって位置および方向が検出されたガイドマー
ク2aに基づいてデータパターン3aを認識するドット
認識部53と、ドット認識部53で認識されたデータパ
ターン3aのドットデータのデコードを行うデコード部
54とから構成されている。
On the other hand, as shown in FIG. 5B, the black dot detection unit 50 is provided with the bright field camera 5 or the camera 9.
A black L position detecting unit 51 for detecting the position of the guide mark 2a based on the dot imaged by
The direction detection unit 52 detects the direction of the guide mark 2a whose position has been detected in step S5, and the data pattern 3a is recognized based on the guide mark 2a whose position and direction have been detected by the black L position detection unit 51 and direction detection unit 52. And a decoding unit 54 that decodes the dot data of the data pattern 3a recognized by the dot recognition unit 53.

【0081】次に、上記ドット認識部43、53で行わ
れる二次元コードの読み取りの処理について、図6を参
照して説明する。
Next, the process of reading a two-dimensional code performed by the dot recognition units 43 and 53 will be described with reference to FIG.

【0082】図6は、上記ドット認識部43、53が行
う二次元コードの読み取り処理のフローチャートであ
る。
FIG. 6 is a flowchart of a two-dimensional code reading process performed by the dot recognition units 43 and 53.

【0083】まず、ドット認識部43において、上記白
L位置検出部41および上記方向検出部42によって位
置および方向が検出されたガイドマーク2aに基づいて
データパターン3aを認識できるか否かが判定される
(ステップ200)。データパターン3aを認識できる
場合には(ステップ200の判断Yes)、デコード部
44においてデータパターン3aのドットデータのデコ
ードが行われる(ステップ202)。一方、データパタ
ーン3aを認識できない場合には(ステップ200の判
断No)、ステップ201に移行される。
First, the dot recognition section 43 determines whether or not the data pattern 3a can be recognized based on the guide mark 2a whose position and direction have been detected by the white L position detection section 41 and the direction detection section 42. (Step 200). If the data pattern 3a can be recognized (Yes in step 200), the decoding unit 44 decodes the dot data of the data pattern 3a (step 202). On the other hand, if the data pattern 3a cannot be recognized (No in step 200), the process proceeds to step 201.

【0084】次に、ドット認識部53において、上記黒
L位置検出部51および上記方向検出部52によって位
置および方向が検出されたガイドマーク2aに基づいて
データパターン3aを認識できるか否かが判定される
(ステップ201)。データパターン3aを認識できる
場合には(ステップ201の判断Yes)、デコード部
54においてデータパターン3aのドットデータのデコ
ードが行われる(ステップ203)。一方、データパタ
ーン3aを認識できない場合には(ステップ201の判
断No)、ステップ204に移行され、データパターン
3aは認識できないものとみなされる。
Next, the dot recognition section 53 determines whether or not the data pattern 3a can be recognized based on the guide mark 2a whose position and direction have been detected by the black L position detection section 51 and the direction detection section 52. (Step 201). If the data pattern 3a can be recognized (determination Yes in step 201), the decoding unit 54 decodes the dot data of the data pattern 3a (step 203). On the other hand, if the data pattern 3a cannot be recognized (No in step 201), the process proceeds to step 204, where it is considered that the data pattern 3a cannot be recognized.

【0085】ここで、上述の図3、図4、図5、図6に
示す実施形態の原理について説明する。
Here, the principle of the embodiment shown in FIGS. 3, 4, 5 and 6 will be described.

【0086】図7(a)は、黒い背景の画像が全て白い
画像になった場合を示す図であり、同図(b)は、白い
背景の画像が全て白い画像になった場合を示す図であ
る。
FIG. 7A is a diagram showing a case where all the images on the black background have become white images, and FIG. 7B is a diagram showing a case where the images on the white background have all become white images. It is.

【0087】同7図(a)の場合、9個の画素のうち3
個の画素が「黒」、つまり背景が3個の画素で「黒」と
なるので、9個の画素の全てを「白」にするには、背景
の3個の画素を「白」にする必要がある。
In the case of FIG. 7A, 3 out of 9 pixels
Since three pixels are “black”, that is, the background is “black” with three pixels, to make all nine pixels “white”, set the three background pixels to “white”. There is a need.

【0088】一方、同7図(b)の場合、9個の画素の
うち6個の画素が「黒」、つまり背景が3個の画素で
「白」となるので、9個の画素の全てを「白」にするに
は、背景の6個の画素を「白」にする必要がある。
On the other hand, in the case of FIG. 7B, six of the nine pixels are "black", that is, the background is "white" with three pixels. In order to make “white”, it is necessary to make the six background pixels “white”.

【0089】つまり、画像の形状が同一であっても、背
景が「黒」の場合と「白」の場合とでは、画素の全てを
「白」にした場合に「白」にする画素の数が異なってく
る。逆に画素の全てを「黒」にした場合には「黒」にす
る画素の数が異なってくる。
In other words, even if the image has the same shape, the number of pixels to be set to “white” when all of the pixels are set to “white” between the case where the background is “black” and the case where the background is “white” Will be different. Conversely, when all the pixels are set to “black”, the number of pixels to be set to “black” differs.

【0090】すなわち、背景を黒くして画像を読み取る
暗視野照明と、背景を白くして画像を読み取る明視野照
明とは互いに独立事象になる。
That is, dark-field illumination for reading an image with a black background and bright-field illumination for reading an image with a white background are mutually independent events.

【0091】従って、暗視野照明における画像を読み取
れる確率をA%、明視野照明における画像を読み取れる
確率をB%とすると、一つの画像を暗視野照明と明視野
照明とで交互に切り替えて画像を読み取った場合の確率
C%は下記(1)式で表される。
Accordingly, assuming that the probability of reading an image under dark-field illumination is A% and the probability of reading an image under bright-field illumination is B%, one image is alternately switched between dark-field illumination and bright-field illumination to switch the image. The probability C% at the time of reading is represented by the following equation (1).

【0092】 C=1−(1−A)(1−B) … (1) 例えば、暗視野照明で画像が読み取れる確率Aを90
%、明視野照明で画像が読み取れる確率Bを90%とす
ると、上記(1)式より確率Cは99%となる。つま
り、一つの画像を暗視野照明または明視野照明のどちら
か一方で読み取るよりも、暗視野照明と明視野照明とで
交互に切り替え、照明方法を増やして画像を読み取る
と、画像を読み取れる確率が向上することがわかる。
C = 1− (1−A) (1−B) (1) For example, the probability A that an image can be read by dark field illumination is 90
% And the probability B that an image can be read with bright field illumination is 90%, the probability C is 99% from the above equation (1). In other words, rather than reading a single image using either dark-field illumination or bright-field illumination, switching between dark-field illumination and bright-field illumination alternately, and increasing the number of illumination methods to read an image increases the probability that the image can be read. It turns out that it improves.

【0093】このことを実際の画像を参照して説明す
る。
This will be described with reference to an actual image.

【0094】図8(a)は、二次元コード1aの表面上
に生じた黒い線ノイズnsによって、二次元コード1a
を認識することができない場合を示す図であり、同図8
(b)は、二次元コード1aを認識することができる場
合を示す図である。
FIG. 8A shows two-dimensional code 1a due to black line noise ns generated on the surface of two-dimensional code 1a.
FIG. 8 is a diagram showing a case where it is not possible to recognize
(B) is a diagram showing a case where the two-dimensional code 1a can be recognized.

【0095】同図8(a)に示すように、二次元コード
1aに対して明視野照明した場合に、二次元コード1a
上に黒い線ノイズnsが生じると、黒い線ノイズnsも
L字形状のガイドマーク2aも背景の明度より低い
「黒」の画像になるので、二次元コード1のL字形状の
ガイドマーク2aが読み取りにくくなり、データパター
ン3aの認識率が低下する。
As shown in FIG. 8A, when the two-dimensional code 1a is illuminated with a bright field, the two-dimensional code 1a
When the black line noise ns occurs on the upper side, both the black line noise ns and the L-shaped guide mark 2a become a “black” image lower than the brightness of the background, so that the L-shaped guide mark 2a of the two-dimensional code 1 becomes Reading becomes difficult, and the recognition rate of the data pattern 3a decreases.

【0096】そこで、同図8(b)に示すように明視野
照明から暗視野照明に切り替えると黒い線ノイズnsが
見えにくくなり、ガイドマーク2aのドットが一部欠落
していてもデータパターン3aの認識率が向上する。
Therefore, as shown in FIG. 8B, when switching from bright-field illumination to dark-field illumination, the black line noise ns becomes difficult to see, and even if the dots of the guide mark 2a are partially missing, the data pattern 3a Recognition rate improves.

【0097】つまり、暗視野照明に切り替えた場合は、
黒い線ノイズnsによってガイドマーク2aのドットが
一部欠落しても、黒い線ノイズnsが背景の明度より低
い「黒」の画像であるのに対し、L字形状のガイドマー
ク2aが背景の明度より高い「白」の画像となるため、
黒い線ノイズnsとL字形状のガイドマーク2aとが識
別されることになる。
That is, when switching to dark field illumination,
Even if the dots of the guide mark 2a are partially missing due to the black line noise ns, the black line noise ns is a "black" image lower than the background brightness, whereas the L-shaped guide mark 2a is the background brightness. To get a higher "white" image,
The black line noise ns and the L-shaped guide mark 2a are identified.

【0098】従って、二次元コード1aのL字形状のガ
イドマーク2aが読み取りやすくなり、データパターン
3aの認識率が向上する。
Therefore, the L-shaped guide mark 2a of the two-dimensional code 1a can be easily read, and the recognition rate of the data pattern 3a is improved.

【0099】図9(a)は、二次元コード1aの画像に
生じた白濁によって、二次元コード1aを認識すること
ができない場合を示す図であり、同図9(b)は、二次
元コード1aを認識することができる場合を示す図であ
る。
FIG. 9A is a diagram showing a case where the two-dimensional code 1a cannot be recognized due to cloudiness generated in the image of the two-dimensional code 1a, and FIG. It is a figure which shows the case where 1a can be recognized.

【0100】同図9(a)に示すように、二次元コード
1aに対して暗視野照明した場合に、二次元コード1a
の画像に白濁が生じると、データパターン3aの認識率
が低下する。
As shown in FIG. 9A, when the two-dimensional code 1a is illuminated with a dark field, the two-dimensional code 1a
When the white turbidity occurs in the image, the recognition rate of the data pattern 3a decreases.

【0101】そこで、同図9(b)に示すように暗視野
照明から明視野照明に切り替えると白濁が見えなくな
る。従って、二次元コード1aのL字形状のガイドマー
ク2aが読み取りやすくなり、データパターン3aの認
識率が向上する。
Therefore, when dark field illumination is switched to bright field illumination as shown in FIG. Therefore, the L-shaped guide mark 2a of the two-dimensional code 1a can be easily read, and the recognition rate of the data pattern 3a is improved.

【0102】このように、暗視野照明によって得られた
暗視野像と、明視野照明によって得られた明視野像とに
基づいて二次元コードを読み取るようにしているので、
二次元コード上に、暗視野照明で生じるノイズ成分、あ
るいは明視野照明で生じるノイズ成分の何れが発生した
場合でも、二次元コードの認識率を向上させることがで
きる。
As described above, the two-dimensional code is read based on the dark field image obtained by the dark field illumination and the bright field image obtained by the bright field illumination.
Regardless of whether a noise component generated by dark-field illumination or a noise component generated by bright-field illumination occurs on the two-dimensional code, the recognition rate of the two-dimensional code can be improved.

【0103】次に、二次元コードの外周データに汚れ等
の読み取り不良を招く各種ノイズ成分が発生した場合で
も、二次元コードの認識率を向上させる実施形態につい
て説明する。
Next, an embodiment will be described in which the recognition rate of a two-dimensional code is improved even when various noise components that cause reading errors such as dirt occur in the outer peripheral data of the two-dimensional code.

【0104】図10は、二次元コードの外周データに汚
れ等の読み取り不良を招く各種ノイズ成分が発生した場
合でも、二次元コードの認識率を向上させる二次元コー
ドの読み取り装置の実施形態の構成を示すブロック図で
ある。
FIG. 10 shows a configuration of an embodiment of a two-dimensional code reading apparatus for improving the recognition rate of a two-dimensional code even when various noise components which cause reading errors such as dirt occur in the outer peripheral data of the two-dimensional code. FIG.

【0105】図10に示すように、この実施形態は、二
次元コードの外周データの欠落した部分以外の部分を検
出する検出ユニット60と、データパターンの欠落した
部分以外の部分を検出する検出ユニット61と、上記外
周データの欠落した部分以外の部分に基づいて上記外周
データの欠落した部分がデータパターンの外周形状に沿
って連続するように上記外周データの補正画像を生成す
る補正画像生成ユニット62と、上記外周データの基準
画像を記憶する基準画像記憶ユニット63と、上記補正
画像と上記基準画像とを突き合わせて、上記補正画像の
形状が上記基準画像の形状と一致するか否かを判断し、
一致するという判断結果に基づいて上記外周データを検
出するパターンマッチングユニット64と、パターンマ
ッチングユニット64によって検出された外周データと
検出ユニット61によって検出されたデータパターンの
欠落した部分以外の部分とを合成する画像合成ユニット
65と、画像合成ユニット65によって合成された外周
データとデータパターンの欠落した部分以外の部分とに
基づいて2次元コードを認識する2次元コード認識ユニ
ット66とから構成されている。
As shown in FIG. 10, this embodiment comprises a detection unit 60 for detecting a portion other than the missing portion of the outer peripheral data of a two-dimensional code, and a detection unit for detecting a portion other than the missing portion of the data pattern. 61 and a corrected image generation unit 62 for generating a corrected image of the outer peripheral data based on a part other than the outer peripheral data missing part so that the missing part of the outer peripheral data is continuous along the outer peripheral shape of the data pattern. And a reference image storage unit 63 for storing a reference image of the outer circumference data, and comparing the corrected image with the reference image to determine whether the shape of the corrected image matches the shape of the reference image. ,
A pattern matching unit 64 that detects the outer circumference data based on the result of the determination that they match, and combines the outer circumference data detected by the pattern matching unit 64 with a portion other than the missing part of the data pattern detected by the detection unit 61 And a two-dimensional code recognizing unit 66 for recognizing a two-dimensional code based on the outer peripheral data synthesized by the image synthesizing unit 65 and a portion other than the missing portion of the data pattern.

【0106】次に、この実施形態で行われる二次元コー
ドの読み取りの処理について、図11、図12(a)、
(b)、(c)、(d)、(e)、(f)を参照して説
明する。
Next, the processing of reading a two-dimensional code performed in this embodiment will be described with reference to FIGS.
This will be described with reference to (b), (c), (d), (e), and (f).

【0107】図11は、図10に示す二次元コードの読
み取り装置が行う二次元コードの読み取り処理のフロー
チャートである。また、図12(a)、(b)、
(c)、(d)、(e)、(f)は、図11に示すフロ
ーチャートに従って処理される二次元コードの画像の様
子を示す図である。
FIG. 11 is a flowchart of a two-dimensional code reading process performed by the two-dimensional code reading device shown in FIG. 12 (a), (b),
(C), (d), (e), (f) is a diagram showing a state of an image of a two-dimensional code processed according to the flowchart shown in FIG.

【0108】まず、同図12(a)に示すように、デー
タパターン3a上および外周データGD上に線ノイズn
sが発生したものとする。
First, as shown in FIG. 12A, a line noise n appears on the data pattern 3a and on the outer circumference data GD.
It is assumed that s has occurred.

【0109】そこで、検出ユニット60によって同図1
2(b)に示す外周データGDの線ノイズnsによる欠
落した部分以外の部分が検出される。同時に、検出ユニ
ット61によって同図12(c)に示すデータパターン
3aの線ノイズnsによる欠落した部分以外の部分が検
出される(ステップ300)。
Therefore, the detection unit 60 shown in FIG.
A portion other than a portion missing due to the line noise ns of the outer peripheral data GD shown in FIG. 2B is detected. At the same time, the detection unit 61 detects a portion of the data pattern 3a shown in FIG. 12C other than the portion missing due to the line noise ns (step 300).

【0110】次に、補正画像生成ユニット62におい
て、検出ユニット60で検出された同図12(b)に示
す外周データGDの欠落した部分以外の部分に基づい
て、外周データGDの欠落した部分がデータパターン3
aの外周形状に沿って連続するように外周データGDの
補正画像GD′が同図12(d)に示すように生成され
る(ステップ301)。
Next, in the corrected image generation unit 62, the missing portion of the outer peripheral data GD is determined based on the portion other than the missing portion of the outer peripheral data GD shown in FIG. Data pattern 3
A corrected image GD ′ of the outer peripheral data GD is generated as shown in FIG. 12D so as to be continuous along the outer peripheral shape of “a” (step 301).

【0111】次に、パターンマッチングユニット64に
おいて、補正画像GD′と基準画像記憶ユニット63に
記憶されている外周データGDの基準画像GDx(図1
2(e)参照。基準画像GDxは図12(e)に示すよ
うに欠落が生じていない画像である。)とが突き合わさ
れて、補正画像GD′の形状が基準画像GDxの形状と
一致するか否かが判断され(ステップ302)、一致す
るという判断結果に基づいて外周データGDが検出され
る(ステップ303)。ここで検出された外周データG
Dは欠落が生じているデータである。
Next, in the pattern matching unit 64, the corrected image GD 'and the reference image GDx of the outer peripheral data GD stored in the reference image storage unit 63 (FIG. 1).
See 2 (e). The reference image GDx is an image in which no dropout occurs as shown in FIG. ) Is determined, and it is determined whether or not the shape of the corrected image GD ′ matches the shape of the reference image GDx (step 302), and the outer circumference data GD is detected based on the determination result that the shape matches (step 302). 303). Outer circumference data G detected here
D is missing data.

【0112】次に、パターンマッチングユニット64に
よって検出された外周データGDと、検出ユニット61
によって検出されたデータパターン3aの欠落した部分
以外の部分とが、画像合成ユニット65によって同図1
2(f)に示すように合成される(ステップ304)。
Next, the outer circumference data GD detected by the pattern matching unit 64 and the detection unit 61
The portion other than the missing portion of the data pattern 3a detected by the image synthesizing unit 65 is
2 (f) (step 304).

【0113】そして、2次元コード認識ユニット66に
よって、合成された外周データGDとデータパターン3
aの欠落した部分以外の部分とに基づいて、データパタ
ーン3aが認識され、結果的に二次元コード1aが認識
される(ステップ305)。
Then, the outer peripheral data GD and the data pattern 3 synthesized by the two-dimensional code recognition unit 66 are obtained.
The data pattern 3a is recognized based on the portion other than the missing portion of a, and as a result, the two-dimensional code 1a is recognized (step 305).

【0114】なお、データパターン3aは、外周データ
GDと比べて認識しやすいので、外周データGDを検出
することができれば、データパターン3a自体が線ノイ
ズnsによって欠落しても認識することができる。
Since the data pattern 3a is easier to recognize than the outer circumference data GD, if the outer circumference data GD can be detected, it can be recognized even if the data pattern 3a itself is missing due to the line noise ns.

【0115】このように、外周データGDの欠落した部
分以外の部分に基づいて、外周データGDの欠落した部
分がデータパターン3aの外周形状に沿って連続するよ
うに外周データGDの補正画像GD′を生成し、生成さ
れた補正画像GD′と基準画像GDxとを突き合わせ
て、補正画像GD′の形状が基準画像GDxの形状と一
致するか否かを判断し、一致するという判断結果に基づ
いて外周データGDを検出し、検出された外周データG
Dに基づいて、二次元コード1aのデータパターン3a
を読み取るようにしているので、二次元コードの外周デ
ータに汚れ等の読み取り不良を招く各種ノイズ成分が発
生した場合でも、二次元コードの認識率を向上させるこ
とができる。
As described above, based on the portion other than the missing portion of the outer peripheral data GD, the corrected image GD 'of the outer peripheral data GD is set so that the missing portion of the outer peripheral data GD is continuous along the outer peripheral shape of the data pattern 3a. Is generated, and the generated corrected image GD ′ is compared with the reference image GDx to determine whether the shape of the corrected image GD ′ matches the shape of the reference image GDx, and based on the determination result that the shape matches. Detecting the outer circumference data GD and detecting the outer circumference data G
D, the data pattern 3a of the two-dimensional code 1a
Therefore, even if various noise components that cause reading errors such as dirt occur in the outer peripheral data of the two-dimensional code, the recognition rate of the two-dimensional code can be improved.

【0116】なお、本実施形態の補正画像GD′では、
データパターン3aの外周形状に沿って連続するように
生成された枠状の画像のみを示しているが(同図12
(d)参照。)、実際の補正画像GD′は、データパタ
ーン3aも連続するので、外周データGDの内側部分が
塗りつぶされた長方形の画像になる。
In the corrected image GD 'of this embodiment,
Only a frame-shaped image generated so as to be continuous along the outer peripheral shape of the data pattern 3a is shown (FIG. 12).
See (d). ), Since the actual corrected image GD 'also has the continuous data pattern 3a, it is a rectangular image in which the inner part of the outer peripheral data GD is filled.

【0117】つまり実際には、長方形の補正画像GD′
を生成し、生成された長方形の補正画像GD′と基準画
像GDxとを突き合わせて、この長方形の補正画像G
D′の形状が基準画像GDxの形状と一致するか否かを
判断し、一致するという判断結果に基づいて外周データ
GDを検出し、検出された外周データGDに基づいて、
二次元コード1aのデータパターン3aを読み取るよう
にしている。
That is, actually, the rectangular corrected image GD '
Is generated, and the generated rectangular corrected image GD ′ and the reference image GDx are compared, and this rectangular corrected image G
It is determined whether or not the shape of D 'matches the shape of the reference image GDx, the outer circumference data GD is detected based on the result of the determination, and based on the detected outer circumference data GD,
The data pattern 3a of the two-dimensional code 1a is read.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、本発明に係わる二次元コードの読み取
り装置の実施形態の構成を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an embodiment of a two-dimensional code reading device according to the present invention.

【図2】図2(a)は、図1に示す二次元コードの読み
取り装置が行う二次元コードの読み取り処理のフローチ
ャートであり、同図2(b)は、線ノイズが横方向に発
生した2つの二次元コードの読み取りの処理を説明する
ための図であり、同図2(c)は、線ノイズが縦方向に
発生した2つの二次元コードの読み取りの処理を説明す
るための図である。
2A is a flowchart of a two-dimensional code reading process performed by the two-dimensional code reading device shown in FIG. 1, and FIG. 2B is a diagram in which line noise is generated in a horizontal direction. FIG. 2C is a diagram for explaining a process of reading two two-dimensional codes, and FIG. 2C is a diagram for explaining a process of reading two two-dimensional codes in which line noise has occurred in the vertical direction. is there.

【図3】図3は、本発明に係わる二次元コードの読み取
り装置の実施形態の構成を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a configuration of an embodiment of a two-dimensional code reading device according to the present invention.

【図4】図4は、図3に示す二次元コードの読み取り装
置の実施形態の変形例を示す図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a modification of the embodiment of the two-dimensional code reading device illustrated in FIG. 3;

【図5】図5(a)は白ドット検出ユニットの構成を示
すブロック図であり、同図5(b)は黒ドット検出ユニ
ットの構成を示すブロック図である。
FIG. 5A is a block diagram showing a configuration of a white dot detection unit, and FIG. 5B is a block diagram showing a configuration of a black dot detection unit.

【図6】図6は、ドット認識部が行う二次元コードの読
み取り処理のフローチャートである。
FIG. 6 is a flowchart of a two-dimensional code reading process performed by a dot recognition unit.

【図7】図7(a)は、黒い背景の画像が全て白い画像
になった場合を示す図であり、同図7(b)は、白い背
景の画像が全て白い画像になった場合を示す図である。
FIG. 7A is a diagram showing a case where all the images on a black background are white images, and FIG. 7B is a diagram showing a case where all the images on a white background are white images. FIG.

【図8】図8(a)は、二次元コードの表面上に生じた
黒い線ノイズによって、二次元コードを認識することが
できない場合を示す図であり、同図8(b)は、二次元
コードを認識することができる場合を示す図である。
FIG. 8A is a diagram illustrating a case where a two-dimensional code cannot be recognized due to black line noise generated on the surface of the two-dimensional code. FIG. It is a figure showing the case where a dimensional code can be recognized.

【図9】図9(a)は、二次元コードの画像に生じた白
濁によって、二次元コードを認識することができない場
合を示す図であり、同図9(b)は、二次元コードを認
識することができる場合を示す図である。
FIG. 9A is a diagram illustrating a case where a two-dimensional code cannot be recognized due to white turbidity generated in an image of the two-dimensional code. FIG. It is a figure showing the case where it can be recognized.

【図10】図10は、本発明に係わる二次元コードの読
み取り装置の実施形態の構成を示すブロック図である。
FIG. 10 is a block diagram showing a configuration of an embodiment of a two-dimensional code reading device according to the present invention.

【図11】図11は、図10に示す二次元コードの読み
取り装置が行う二次元コードの読み取り処理のフローチ
ャートである。
FIG. 11 is a flowchart of a two-dimensional code reading process performed by the two-dimensional code reading device shown in FIG. 10;

【図12】図12(a)、(b)、(c)、(d)、
(e)、(f)は、図11に示すフローチャートに従っ
て処理される二次元コードの画像の様子を示す図であ
る。
12 (a), (b), (c), (d),
(E), (f) is a figure which shows the mode of the image of the two-dimensional code processed according to the flowchart shown in FIG.

【図13】図13は、従来技術を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing a conventional technique.

【図14】図14(a)は、線ノイズnsが2つの二次
元コード1a、1b上に横方向に発生した例を示す図で
あり、 同図14(b)は、線ノイズnsが2つの二次
元コード1a′、1b′上に縦方向に発生した例を示す
図である。
FIG. 14A is a diagram showing an example in which a line noise ns occurs on two two-dimensional codes 1a and 1b in a horizontal direction. FIG. 14B shows a case where the line noise ns is 2 It is a figure which shows the example which generate | occur | produced in the vertical direction on two two-dimensional code 1a ', 1b'.

【図15】図15(a)は、暗視野照明を用いた二次元
コードの読み取り装置を示す図であり、同図15(b)
は、ウェハ表面上の二次元コードを暗視野照明した場合
に得られた暗視野像を示す図である。
FIG. 15A is a diagram showing a two-dimensional code reader using dark-field illumination, and FIG.
FIG. 4 is a diagram showing a dark-field image obtained when a two-dimensional code on a wafer surface is dark-field illuminated.

【図16】図16(a)は、明視野照明を用いた二次元
コードの読み取り装置を示す図であり、同図16(b)
は、ウェハ表面上の二次元コードを明視野照明した場合
に得られた明視野像を示す図である。
FIG. 16A is a diagram showing a two-dimensional code reading device using bright-field illumination, and FIG.
FIG. 3 is a diagram showing a bright-field image obtained when a two-dimensional code on a wafer surface is bright-field illuminated.

【図17】図17(a)は、二次元コードを暗視野照明
した場合に、二次元コードの画像に生じた白濁を示す図
であり、同図17(b)は、二次元コードを暗視野照明
した場合に、二次元コードの表面上に生じた黒い線ノイ
ズを示す図である。
FIG. 17A is a diagram showing white turbidity generated in an image of the two-dimensional code when the two-dimensional code is illuminated with a dark field, and FIG. FIG. 7 is a diagram illustrating black line noise generated on the surface of a two-dimensional code when performing field illumination.

【図18】図18は、外周データ上に発生した線ノイズ
を示す図である。
FIG. 18 is a diagram illustrating a line noise generated on outer circumference data;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、1a、1b、1a′、1b′…二次元コード 3a、3a′…データパターン 22、23…上(左)部切出ユニット 24、25…下(右)部切出ユニット 1, 1a, 1b, 1a ', 1b' ... two-dimensional code 3a, 3a '... data pattern 22, 23 ... upper (left) cutout unit 24, 25 ... lower (right) cutout unit

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 データパターンを有する二次元コードを
物体表面に設け、該二次元コードのデータパターンを読
み取る二次元コードの読み取り装置において、 前記物体表面の複数箇所に同一のデータパターンを有す
る複数の二次元コードを設け、 該複数の二次元コードを相互に、前記物体表面に対する
相対姿勢が反転するように設け、 前記複数の二次元コードの各々を二分割する二次元コー
ド分割手段と、 該二次元コード分割手段によって前記複数の二次元コー
ドの各々を二分割することにより取り出された一方の二
次元コードのうちの分割された部分と他方の二次元コー
ドのうちの分割された部分とを前記二次元コードのデー
タパターンが読み取れるように合成する二次元コード合
成手段とを備えたことを特徴とする二次元コードの読み
取り装置。
1. A two-dimensional code reading device for providing a two-dimensional code having a data pattern on an object surface and reading the data pattern of the two-dimensional code, comprising: A two-dimensional code dividing means for providing a two-dimensional code, providing the plurality of two-dimensional codes with each other so that their relative attitudes with respect to the object surface are inverted, and dividing each of the plurality of two-dimensional codes into two; The divided part of one of the two-dimensional codes extracted by dividing each of the plurality of two-dimensional codes into two by the two-dimensional code dividing means and the divided part of the other two-dimensional code are divided into two parts. A two-dimensional code synthesizing means for synthesizing the data pattern of the two-dimensional code so that the data pattern can be read. Ri apparatus.
【請求項2】 平坦な物体表面に対して凹状または凸状
の二次元コードを形成し、該物体表面のうち該二次元コ
ードを除いた背景部分と前記二次元コードとから成る像
に基づいて前記二次元コードを読み取る二次元コードの
読み取り装置において、 前記照明手段として、前記背景部分の明度よりも前記二
次元コードの明度が高い暗視野像が得られるように前記
物体表面を照明する暗視野照明手段と前記背景部分の明
度よりも前記二次元コードの明度が低い明視野像が得ら
れるように前記物体表面を照明する明視野照明手段とを
備え、 前記暗視野像と前記明視野像とに基づいて前記二次元コ
ードを読み取るようにしたことを特徴とする二次元コー
ドの読み取り装置。
2. A two-dimensional code having a concave or convex shape formed on a flat object surface, based on an image composed of a background portion of the object surface excluding the two-dimensional code and the two-dimensional code. In the two-dimensional code reading device for reading the two-dimensional code, as the illuminating means, a dark field that illuminates the object surface such that a dark field image in which the brightness of the two-dimensional code is higher than the brightness of the background portion is obtained. Illuminating means and bright-field illuminating means for illuminating the object surface so that a bright-field image with a lower brightness of the two-dimensional code than the brightness of the background portion is obtained, wherein the dark-field image and the bright-field image 2. A two-dimensional code reading device, wherein the two-dimensional code is read based on the following.
【請求項3】 前記二次元コードは、前記二次元コード
の縁の一部をガイドマークとするものであり、 前記暗視野照明手段は、前記背景部分の明度よりも前記
ガイドマークの明度が高い暗視野像が得られるように前
記物体表面を照明するものであり、 前記明視野照明手段は、前記背景部分の明度よりも前記
ガイドマークの明度が低い明視野像が得られるように前
記物体表面を照明するものであることを特徴とする請求
項2記載の二次元コードの読み取り装置。
3. The two-dimensional code uses a part of an edge of the two-dimensional code as a guide mark, and the dark-field illuminating means has a higher brightness of the guide mark than a brightness of the background portion. Illuminating the object surface so that a dark-field image is obtained, wherein the bright-field illuminating means is configured to obtain a bright-field image in which the brightness of the guide mark is lower than the brightness of the background portion. 3. The two-dimensional code reading device according to claim 2, wherein the device illuminates the object.
【請求項4】 データパターンと、該データパターンの
外周形状に応じた検出対象のガイドマークとから成る二
次元コードの画像と、 前記データパターンの外周形状に応じた基準の形状のガ
イドマークの基準画像とを用意し、 前記ガイドマークと該基準画像とを突き合わせて、前記
ガイドマークの形状が前記基準画像の形状と一致するか
否かを判断し、一致するという判断結果に基づいて前記
ガイドマークを検出し、この検出されたガイドマークに
基づいて、前記二次元コードのデータパターンを読み取
る二次元コードの読み取り装置において、 前記ガイドマークの欠落した部分以外の部分に基づい
て、前記ガイドマークの欠落した部分が前記データパタ
ーンの外周形状に沿って連続するように前記ガイドマー
クの補正画像を生成する補正画像生成手段を備え、 前記補正画像と前記基準画像とを突き合わせて、前記補
正画像の形状が前記基準画像の形状と一致するか否かを
判断し、一致するという判断結果に基づいて前記ガイド
マークを検出し、この検出されたガイドマークに基づい
て、前記二次元コードのデータパターンを読み取るよう
にしたことを特徴とする二次元コードの読み取り装置。
4. A two-dimensional code image comprising a data pattern and a guide mark to be detected in accordance with the outer shape of the data pattern, and a guide mark having a reference shape in accordance with the outer shape of the data pattern. An image is prepared, the guide mark is matched with the reference image, it is determined whether or not the shape of the guide mark matches the shape of the reference image, and the guide mark is determined based on the determination result that the shape is matched. In the two-dimensional code reading device that reads the data pattern of the two-dimensional code based on the detected guide mark, based on a portion other than the missing portion of the guide mark, the missing of the guide mark A correction image for generating a correction image of the guide mark such that the set portion is continuous along the outer peripheral shape of the data pattern. Image correction means for comparing the corrected image with the reference image to determine whether or not the shape of the corrected image matches the shape of the reference image; and And a data pattern of the two-dimensional code is read based on the detected guide mark.
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Cited By (3)

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