JP2001121062A - Coating method and coating device - Google Patents
Coating method and coating deviceInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 貯蔵タンクに投入されたペーストをダイヘッ
ドへ供給して基板に塗工するに際し、ロット内での塗工
量を安定させることのできる塗工方法及び塗工装置を提
供する。
【解決手段】 液送ポンプ１２からの吐出量をペースト
Ｌの容積により規定するか、或いは、ペーストＬの流量
又は重量を測定し、その測定値を次回の塗布条件の補正
に利用することにより、貯蔵タンク１１に投入されたペ
ーストＬの使い始めから終りまで基板ごとに略一定した
量で塗布する。
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a coating method and a coating apparatus capable of stabilizing a coating amount in a lot when supplying a paste supplied to a storage tank to a die head and coating the substrate. provide. SOLUTION: The discharge amount from a liquid feed pump 12 is defined by the volume of the paste L, or the flow rate or the weight of the paste L is measured, and the measured value is used for correcting the next application condition. The paste L supplied to the storage tank 11 is applied in a substantially constant amount for each substrate from the beginning to the end of use.
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、大型の基板に対し
て比重が高くて粘度の大きなペースト材料を塗工する塗
工技術の分野に属する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention belongs to the field of coating technology for coating a large-sized substrate with a paste material having a high specific gravity and a high viscosity.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、自発光形式の表示パネルである
プラズマディスプレイパネルは、それを構成する２枚の
ガラス基板の内面側に電極、リブ、蛍光体層などの各構
成要素を有している。これらの各構成要素を形成する工
程においては、形成方法にもよるが、例えばフォトリソ
グラフィー法による場合は、まずペースト材料を略全面
に塗工する工程が行われる。このときに用いられるペー
ストは、最終的に各構成要素となるものであり、比重が
高くてしかも粘度が大きいため、従来の塗工工程は、ス
クリーン印刷によって全面ベタ印刷したり、またブレー
ドコーターによって塗工することで行われていた。2. Description of the Related Art In general, a plasma display panel, which is a self-luminous display panel, has components such as electrodes, ribs, and phosphor layers on the inner surface side of two glass substrates constituting the display panel. . In the step of forming each of these components, depending on the forming method, for example, in the case of using a photolithography method, first, a step of applying a paste material over substantially the entire surface is performed. The paste used at this time is ultimately used as each component, and has a high specific gravity and a high viscosity.Therefore, in the conventional coating process, the entire surface is solid-printed by screen printing or a blade coater. It was done by coating.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】上記したスクリーン印
刷による塗工方法は、膜厚を自由にコントロールするの
が難しい、基板内での塗工膜厚の分布が大きい、スクリ
ーン版の耐刷性に限界がある、等の問題点を有してい
る。このうち塗工膜厚については、スキージの印圧、ス
クリーン版のテンション等が基板内で異なることが起因
している。一方、ブレードコーターによる塗工方法は、
基板の周囲を残してペーストを塗工する、いわゆる「額
縁塗り」を連続運転で行うことが困難である。In the above-mentioned coating method by screen printing, it is difficult to freely control the film thickness, the distribution of the coating film thickness in the substrate is large, and the printing durability of the screen plate is reduced. There are problems such as limitations. Among them, the coating thickness is caused by the fact that the printing pressure of the squeegee, the tension of the screen plate, and the like are different in the substrate. On the other hand, the coating method using a blade coater
It is difficult to perform so-called "frame coating" in which the paste is applied while leaving the periphery of the substrate in a continuous operation.
【０００４】そこで、額縁塗りが可能なダイヘッドによ
る塗工方法を採用することが考えらているが、プラズマ
ディスプレイパネルのような大型基板へ比重、粘度の大
きなペースト材料を塗工する場合には次のような問題が
生じる。すなわち、塗工装置は図１に示す如くペースト
Ｌを蓄える貯蔵タンク１と液送ポンプ２と塗工部である
ダイヘッド３を備えており、ダイヘッド３からのペース
トの吐出により基板に対する塗工が進むに連れて、図１
の（Ａ）から（Ｂ）のように貯蔵タンク１内のペースト
Ｌが減少するが、この時に貯蔵タンク１内でのペースト
Ｌの自重、水頭差、タンク内壁の流動に対する抵抗の変
化により、貯蔵タンク１から液送ポンプ２へのペースト
Ｌの流れ込む力Ｆが変化してしまい、その液送量も変化
してしまう。そのため、貯蔵タンク１内のペーストＬの
使い始めと終りでは塗工重量が変化してしまい、貯蔵タ
ンク１に投入したペーストＬを１ロットとした場合、ロ
ット内での塗工量の変化が発生してしまう。また、液送
ポンプ２に回転式ポンプを用いた場合は、その長時間使
用時には、部品が摩耗して塗工量を変化させてしまう原
因となる。Therefore, it is considered to adopt a coating method using a die head capable of frame coating. However, when a paste material having a high specific gravity and viscosity is applied to a large substrate such as a plasma display panel, the following method is required. The following problems occur. That is, as shown in FIG. 1, the coating apparatus includes a storage tank 1 for storing a paste L, a liquid feed pump 2, and a die head 3 as a coating unit, and coating of the substrate proceeds by discharging the paste from the die head 3. Fig. 1
As shown in (A) and (B), the amount of the paste L in the storage tank 1 decreases. At this time, the paste L in the storage tank 1 changes due to its own weight, a head difference, and a change in resistance to the flow of the tank inner wall. The force F of the paste L flowing from the tank 1 to the liquid feed pump 2 changes, and the amount of liquid transferred also changes. Therefore, the coating weight changes at the beginning and end of use of the paste L in the storage tank 1, and when the amount of the paste L put into the storage tank 1 is one lot, the coating amount changes within the lot. Resulting in. Further, when a rotary pump is used as the liquid feed pump 2, when the rotary pump is used for a long time, the parts are worn, which causes a change in the coating amount.
【０００５】本発明は、上記のような問題点に鑑みてな
されたものであり、その目的とするところは、貯蔵タン
クに投入されたペーストをダイヘッドへ供給して基板に
塗工するに際し、ロット内での塗工量を安定させること
のできる塗工方法及び塗工装置を提供することにある。The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to supply a paste supplied to a storage tank to a die head and apply the paste to a substrate. An object of the present invention is to provide a coating method and a coating apparatus capable of stabilizing a coating amount in the inside.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明に係る第１の塗工方法は、貯蔵タンクに投入
されたペーストを液送ポンプを介してダイヘッドへ送
り、そのダイヘッドから吐出されるペーストを基板に塗
工する方法において、貯蔵タンク内のペーストの一部を
供給管路の途中にあるバッファタンクに液送ポンプによ
り一旦送り込み、そのバッファタンク内のペーストを塗
工用ポンプでダイヘッドから吐出して基板に塗工するよ
うにし、しかも液送ポンプを制御してバッファタンク内
のペースト量を維持するようにしたことを特徴とする。In order to achieve the above-mentioned object, a first coating method according to the present invention is to send a paste put in a storage tank to a die head via a liquid feed pump, and from the die head. In the method of applying the paste to be discharged onto a substrate, a part of the paste in the storage tank is once sent to a buffer tank in the middle of a supply pipe by a liquid feed pump, and the paste in the buffer tank is applied to a coating pump. In this method, the liquid is discharged from the die head and applied to the substrate, and the liquid supply pump is controlled to maintain the amount of paste in the buffer tank.
【０００７】この第１の塗工方法は、貯蔵タンクに投入
されたペーストを液送ポンプを介してダイヘッドへ送る
塗工装置であって、液送ポンプとダイヘッドの間の供給
管路に、バッファタンクとそのバッファタンク内のペー
ストをダイヘッドに供給するための塗工用ポンプとを配
置した構成の塗工装置で実施される。The first coating method is a coating apparatus for feeding a paste put into a storage tank to a die head via a liquid feed pump, and a buffer is provided in a supply pipe between the liquid feed pump and the die head. The application is performed by a coating apparatus having a configuration in which a tank and a coating pump for supplying the paste in the buffer tank to the die head are arranged.
【０００８】また、同様の目的を達成するため、本発明
に係る第２の塗工方法は、貯蔵タンクに投入されたペー
ストを液送ポンプを介してダイヘッドへ送り、そのダイ
ヘッドから吐出されるペーストを基板に塗工する方法に
おいて、液送ポンプにシリンジポンプを使用し、そのシ
リンジポンプに貯蔵タンクからペーストを供給して充填
するとともに、その充填されたペーストをシリンジポン
プからダイヘッドに供給するようにしたことを特徴とす
る。In order to achieve the same object, a second coating method according to the present invention is directed to a method in which a paste put in a storage tank is sent to a die head via a liquid feed pump, and the paste discharged from the die head is sent. In the method of coating the substrate, a syringe pump is used as a liquid feed pump, and the paste is supplied from the storage tank to the syringe pump and filled, and the filled paste is supplied from the syringe pump to the die head. It is characterized by having done.
【０００９】この第２の塗工方法は、貯蔵タンクに投入
されたペーストを液送ポンプを介してダイヘッドへ送る
塗工装置であって、液送ポンプにシリンジポンプを使用
するとともに、貯蔵タンクとダイヘッドを繋ぐ供給管路
の途中から枝分かれした分岐管路の先端にシリンジポン
プを配置し、供給管路における貯蔵タンクと分岐点の間
に注入バルブを配置するとともに分岐点とダイヘッドの
間に吐出バルブを配置した構成の塗工装置で実施され
る。This second coating method is a coating apparatus for feeding a paste put into a storage tank to a die head via a liquid feed pump, wherein a syringe pump is used as the liquid feed pump, and the storage tank is connected to the die. A syringe pump is placed at the end of the branch line that branches off from the middle of the supply line connecting the die head, an injection valve is placed between the storage tank and the branch point in the supply line, and a discharge valve is placed between the branch point and the die head. It is carried out by a coating apparatus having a configuration in which is disposed.
【００１０】また、同様の目的を達成するため、本発明
に係る第３の塗工方法は、貯蔵タンクに投入されたペー
ストを液送ポンプを介してダイヘッドへ送り、そのダイ
ヘッドから吐出されるペーストを基板に塗工する方法に
おいて、ダイヘッドの直前に配置した流量計により塗工
時の流量を測定し、その測定した流量の設定流量に対す
る偏差を補正してその後の塗工を実施するようにしたこ
とを特徴とする。In order to achieve the same object, a third coating method according to the present invention is characterized in that the paste put in a storage tank is sent to a die head via a liquid feed pump, and the paste discharged from the die head is sent. In the method of coating on the substrate, the flow rate at the time of coating was measured by a flow meter arranged immediately before the die head, and the subsequent coating was performed by correcting the deviation of the measured flow rate from the set flow rate. It is characterized by the following.
【００１１】この第３の塗工方法は、貯蔵タンクに投入
されたペーストを液送ポンプを介してダイヘッドへ送る
塗工装置であって、ダイヘッドの直前に塗工量を測定す
る流量計を配置し、設定流量に対する流量の偏差を補正
するペースト流量の補正手段を設けた構成の塗工装置で
実施される。そして、ペースト流量の補正を液送ポンプ
の出力変化で行うようにする場合と、貯蔵タンク内にか
かるエアー圧の変化で行うようにする場合とがある。The third coating method is a coating apparatus for feeding the paste put in the storage tank to the die head via a liquid feed pump, and a flow meter for measuring the coating amount is provided immediately before the die head. Then, the present invention is carried out by a coating apparatus having a configuration in which a paste flow rate correcting means for correcting a deviation of a flow rate from a set flow rate is provided. The correction of the paste flow rate may be performed by changing the output of the liquid pump, or may be performed by changing the air pressure applied to the storage tank.
【００１２】また、同様の目的を達成するため、本発明
に係る第４の塗工方法は、貯蔵タンクに投入されたペー
ストを液送ポンプを介してダイヘッドへ送り、そのダイ
ヘッドから吐出されるペーストを基板に塗工する方法に
おいて、塗工後の基板の重量を測定し、その測定した重
量の設定重量に対する偏差を補正してその後の塗工を実
施するようにしたことを特徴とする。In order to achieve the same object, a fourth coating method according to the present invention is directed to a method in which the paste put in the storage tank is sent to a die head via a liquid feed pump, and the paste discharged from the die head is sent. Is characterized in that the weight of the substrate after coating is measured, the deviation of the measured weight from the set weight is corrected, and then the subsequent coating is performed.
【００１３】この第４の塗工方法は、貯蔵タンクに投入
されたペーストを液送ポンプを介してダイヘッドへ送る
塗工装置であって、塗工後に基板の重量を測定する測定
手段を設け、設定重量に対する重量の偏差を補正するペ
ースト流量の補正手段を設けた構成の塗工装置で実施さ
れる。そして、ペースト流量の補正を液送ポンプの出力
変化で行うようにする場合と、貯蔵タンク内にかかるエ
アー圧の変化で行うようにする場合とがある。This fourth coating method is a coating apparatus for feeding the paste put in the storage tank to the die head via a liquid feed pump, and is provided with a measuring means for measuring the weight of the substrate after coating. The present invention is implemented by a coating apparatus having a paste flow rate correcting means for correcting a deviation of the weight from the set weight. The correction of the paste flow rate may be performed by changing the output of the liquid pump, or may be performed by changing the air pressure applied to the storage tank.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】図２は本発明に係る第１の塗工方
法を実施する塗工装置の一例を示す概略構成図である。
同図において１１はペーストＬを蓄えるための貯蔵タン
ク、１２は供給管路１３に設けられた液送ポンプ、１４
はダイヘッドであり、液送ポンプ１２とダイヘッド１４
の間の供給管路１３には、バッファタンク１５とそのバ
ッファタンク１５内のペーストＬをダイヘッド１４に供
給するための塗工用ポンプ１６が配置されている。１７
は液面センサーで、バッファタンク１５内のペーストの
液面高さを検知して液送ポンプ１２の駆動部に信号を送
るようになっている。FIG. 2 is a schematic diagram showing an example of a coating apparatus for carrying out a first coating method according to the present invention.
In the figure, 11 is a storage tank for storing the paste L, 12 is a liquid feed pump provided in the supply line 13, 14
Denotes a die head, and a liquid feed pump 12 and a die head 14
A supply pump 13 for supplying the buffer tank 15 and the paste L in the buffer tank 15 to the die head 14 is arranged in the supply pipe 13 between the two. 17
Is a liquid level sensor that detects the liquid level of the paste in the buffer tank 15 and sends a signal to the drive unit of the liquid feed pump 12.
【００１５】図２の塗工装置で基板に対するペーストの
塗工を行うに際しては、まず貯蔵タンク１１に１ロット
分のペーストＬを投入する。貯蔵タンクに投入されたペ
ーストＬは、液送ポンプ１２により供給管路１３を通っ
て途中のバッファタンク１５に一旦送り込まれる。ペー
ストＬがバッファタンク１５内で所定高さに達すると、
液面センサー１７がこれを検知して液送ポンプ１２の駆
動部に信号を送ることで液送ポンプ１２が停止してペー
ストＬの供給が止まる。続いて塗工用ポンプ１６が駆動
し、バッファタンク１５内のペーストＬがダイヘッド１
４に送られて基板に対する塗工が行われる。そして、１
枚又は所定枚数の基板に対する塗工が終わった時点でバ
ッファタンク１５内のペーストが所定量より少なくなっ
ていると、液面センサー１７がこれを検知して液送ポン
プ１２の駆動部に信号を送って液送ポンプ１２を駆動さ
せ、所定量になるまでバッファタンク１５にペーストＬ
を追加供給する。これを繰り返すことで、基板ごとに略
一定量のペーストが塗工される。When the paste is applied to the substrate by the coating apparatus shown in FIG. 2, one lot of the paste L is first put into the storage tank 11. The paste L put into the storage tank is once fed into the buffer tank 15 on the way through the supply pipe 13 by the liquid feed pump 12. When the paste L reaches a predetermined height in the buffer tank 15,
When the liquid level sensor 17 detects this and sends a signal to the drive unit of the liquid feed pump 12, the liquid feed pump 12 stops and the supply of the paste L stops. Subsequently, the coating pump 16 is driven, and the paste L in the buffer tank 15 is transferred to the die head 1.
4 and the coating on the substrate is performed. And 1
If the paste in the buffer tank 15 is smaller than a predetermined amount at the time when the coating on one or a predetermined number of substrates is completed, the liquid level sensor 17 detects this and sends a signal to the drive unit of the liquid feed pump 12. And the liquid feed pump 12 is driven so that the paste L
Additional supply. By repeating this, a substantially constant amount of paste is applied to each substrate.
【００１６】図３は本発明に係る第２の塗工方法を実施
する塗工装置の一例を示す概略構成図である。同図にお
いて２１はペーストＬを蓄えるための貯蔵タンク、２３
は貯蔵タンク２１からダイヘッド２２に至る供給管路
で、その供給管路２３の途中から枝別れした分岐管路２
４の先端にシリンジポンプ２５が接続されている。そし
て、供給管路２３における貯蔵タンク２１と分岐点Ｃの
間に注入バルブ２６が配置されているとともに分岐点Ｃ
とダイヘッド２２の間に吐出バルブ２７が配置されてい
る。シリンジポンプ２５は、摩耗部分がシリンジ２５ａ
と外枠２５ｂとが擦れ合う部分のみと非常に少なく、ま
た摩耗したとしても塗工時における実質的なストローク
範囲は狭いので、摩耗粉がポンプ外に送り出されること
は殆どない。構造的には、シリンジ２５ａが移動した分
のペーストを正確にダイヘッド２２の方へ送り出すよう
になっている。そして、モータによりシリンジ２５ａを
移動させることでペーストを送り出す圧力を発生し、ペ
ーストをダイヘッド２２から吐出するので、圧力損失が
なく吐出レスポンス性に優れている。FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing an example of a coating apparatus for performing the second coating method according to the present invention. In the figure, 21 is a storage tank for storing the paste L, 23
Is a supply line extending from the storage tank 21 to the die head 22, and a branch line 2 branched from the middle of the supply line 23.
A syringe pump 25 is connected to the end of the fourth. An injection valve 26 is arranged between the storage tank 21 and the branch point C in the supply line 23 and the branch point C
The discharge valve 27 is disposed between the discharge head 27 and the die head 22. The wear part of the syringe pump 25 is the syringe 25a.
And the outer frame 25b rubs only very little, and even if worn, the substantial stroke range during coating is narrow, so that wear powder is hardly sent out of the pump. Structurally, the amount of paste moved by the syringe 25a is accurately sent to the die head 22. Then, by moving the syringe 25a by the motor, a pressure for sending out the paste is generated, and the paste is discharged from the die head 22, so that there is no pressure loss and the discharge response is excellent.
【００１７】図３の塗工装置で基板に対するペーストの
塗工を行うに際しては、まず貯蔵タンク２１に１ロット
分のペーストＬを投入する。一方、注入バルブ２６と吐
出バルブ２７の両方を閉じた状態とし、分岐管路２４に
繋がる真空ポンプ（図示せず）により、分岐管路２４と
それに繋がる供給管路２３の一部およびシリンジポンプ
２５内を真空状態にした後、注入バルブ２６を開く。こ
れにより供給管路２３における注入バルブ２６と吐出バ
ルブ２７の間、分岐管路２４及びシリンジポンプ２５内
にペーストＬが充填される。この状態でシリンジ２５ａ
を引くことにより所定量のペーストを吸引し、さらに注
入バルブ２６を閉じて吐出バルブ２７を開いてからシリ
ンジ２５ａを押すことにより、シリンジポンプ２５内の
ペーストＬが、分岐管路２４、供給管路２３を通ってダ
イヘッド２２から吐出される。この場合、シリンジ２５
ａが移動した分のペーストＬが正確にダイヘッド２２の
方へと送り出される。したがって、シリンジポンプ２５
の容積を基板一枚の塗工量に設定しておくことで、基板
ごとに略一定量のペーストが塗工される。When the paste is applied to the substrate by the coating apparatus shown in FIG. 3, first, one lot of paste L is put into the storage tank 21. On the other hand, both the injection valve 26 and the discharge valve 27 are closed, and a vacuum pump (not shown) connected to the branch line 24 causes the branch line 24 and a part of the supply line 23 connected thereto and the syringe pump 25 to close. After the inside is evacuated, the injection valve 26 is opened. As a result, the paste L is filled into the branch pipe 24 and the syringe pump 25 between the injection valve 26 and the discharge valve 27 in the supply pipe 23. In this state, the syringe 25a
, A predetermined amount of paste is sucked, the injection valve 26 is closed, the discharge valve 27 is opened, and then the syringe 25a is pushed, so that the paste L in the syringe pump 25 is supplied to the branch line 24, the supply line The ink is discharged from the die head 22 through the nozzle 23. In this case, the syringe 25
The paste L corresponding to the movement of “a” is accurately sent out to the die head 22. Therefore, the syringe pump 25
Is set to the coating amount of one substrate, a substantially constant amount of paste is applied to each substrate.
【００１８】図４は本発明に係る第３の塗工方法を実施
する塗工装置の一例を示す概略構成図である。同図にお
いて３１はペーストＬを蓄えるための貯蔵タンク、３２
は供給管路３３に設けられた液送ポンプ、３４はダイヘ
ッドであり、液送ポンプ３２とダイヘッド３４の間の供
給管路３３には塗工量を測定する流量計３５が配置され
ており、測定した流量に基づいて液送ポンプ３２の駆動
部に信号を送って液送ポンプ３２を制御するようになっ
ている。FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of a coating apparatus for performing the third coating method according to the present invention. In the figure, 31 is a storage tank for storing the paste L, 32
Is a liquid feed pump provided in the supply pipe 33, 34 is a die head, and a flow meter 35 for measuring a coating amount is arranged in the supply pipe 33 between the liquid feed pump 32 and the die head 34. Based on the measured flow rate, a signal is sent to the drive unit of the liquid feed pump 32 to control the liquid feed pump 32.
【００１９】図４の塗工装置で基板に対するペーストの
塗工を行うに際しては、まず貯蔵タンク３１に１ロット
分のペーストＬを投入する。貯蔵タンクに投入されたペ
ーストＬは、液送ポンプ３２により供給管路３３を通っ
てダイヘッド３４に送られて基板に対する塗工が行われ
る。この時、流量計３５により基板１枚ごとにペースト
の流量が測定される。そして、その測定結果に基づいて
液送ポンプ３２の駆動部に信号が送られ、液送ポンプ３
２が制御されることで設定流量に対する偏差が補正され
る。When a paste is applied to a substrate by the coating apparatus shown in FIG. 4, one lot of paste L is first put into a storage tank 31. The paste L put in the storage tank is sent to the die head 34 through the supply pipe 33 by the liquid feed pump 32, and the coating on the substrate is performed. At this time, the flow rate of the paste is measured for each substrate by the flow meter 35. Then, based on the measurement result, a signal is sent to the drive unit of the liquid feed pump 32, and the liquid feed pump 3
By controlling 2, the deviation from the set flow rate is corrected.
【００２０】図５は本発明に係る第３の塗工方法を実施
する塗工装置の変形例を示す概略構成図である。同図に
おいて３１はペーストＬを蓄えるための貯蔵タンク、３
２は供給管路３３に設けられた液送ポンプ、３４はダイ
ヘッドであり、液送ポンプ３２とダイヘッド３４の間の
供給管路３３には塗工量を測定する流量計３５が配置さ
れ、また貯蔵タンク３１には切替バルブ３６を介してエ
アー源３７が接続されており、流量計３５での測定結果
に基づいて切替バルブ３６に信号を送り、その信号によ
り切替バルブ３６を切り替えることで貯蔵タンク３１内
の圧力を一定に保つようにしている。なお、３８は確認
のための圧力計である。FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing a modified example of the coating apparatus for performing the third coating method according to the present invention. In the figure, reference numeral 31 denotes a storage tank for storing the paste L, 3
Reference numeral 2 denotes a liquid feed pump provided in the supply pipe 33, reference numeral 34 denotes a die head, and a flow meter 35 for measuring a coating amount is disposed in the supply pipe 33 between the liquid feed pump 32 and the die head 34. An air source 37 is connected to the storage tank 31 via a switching valve 36, and a signal is sent to the switching valve 36 based on the measurement result of the flow meter 35, and the switching valve 36 is switched based on the signal, whereby the storage tank 31 is switched. The pressure in 31 is kept constant. Reference numeral 38 denotes a pressure gauge for confirmation.
【００２１】図５の塗工装置で基板に対するペーストの
塗工を行うに際しては、まず貯蔵タンク３１に１ロット
分のペーストＬを投入する。貯蔵タンクに投入されたペ
ーストＬは、液送ポンプ３２により供給管路３３を通っ
てダイヘッド３４に送られて基板に対する塗工が行われ
る。この時、流量計３５により基板１枚ごとにペースト
の流量が測定される。そして、その測定結果に基づいて
エアー源３７の切替バルブ３６に信号が送られ、貯蔵タ
ンク３１内の圧力が一定になるように制御されることで
設定流量に対する偏差が補正される。In applying the paste to the substrate by the coating apparatus shown in FIG. 5, first, one lot of paste L is put into the storage tank 31. The paste L put in the storage tank is sent to the die head 34 through the supply pipe 33 by the liquid feed pump 32, and the coating on the substrate is performed. At this time, the flow rate of the paste is measured for each substrate by the flow meter 35. Then, a signal is sent to the switching valve 36 of the air source 37 based on the measurement result, and the pressure in the storage tank 31 is controlled so as to be constant, whereby the deviation from the set flow rate is corrected.
【００２２】図６は本発明に係る第４の塗工方法の説明
図である。この方法では、図６に示すように、基板Ｇに
対してダイヘッド４１からペーストＬを吐出させて塗工
した後、重量測定手段４２によりペーストＬの付いた基
板Ｇの重量を測定する。その測定した重量の設定重量に
対する偏差を補正してその後の塗工を行うようにする。
この場合、ペーストの塗布重量は、測定した重量から基
板Ｇの重量を差し引いたものとなる。FIG. 6 is an explanatory view of a fourth coating method according to the present invention. In this method, as shown in FIG. 6, after the paste L is discharged from the die head 41 onto the substrate G and applied, the weight of the substrate G with the paste L is measured by the weight measuring means 42. The deviation of the measured weight from the set weight is corrected so that subsequent coating is performed.
In this case, the applied weight of the paste is obtained by subtracting the weight of the substrate G from the measured weight.
【００２３】第４の塗工方法を実施する塗工装置は、従
来の塗工装置に加えて、塗工後の基板の重量を測定する
測定手段と、設定重量に対する重量の偏差を補正するペ
ースト流量の補正手段とを付加した構成になる。このう
ちペースト流量の補正手段は、図４に示したのと同じく
液送ポンプの出力変化で行うようにするようにしてもよ
いし、或いは図５に示したのと同じく貯蔵タンク内にか
かるエアー圧の変化で行うようにしてもよい。The coating apparatus for performing the fourth coating method includes, in addition to the conventional coating apparatus, a measuring means for measuring the weight of the substrate after coating, and a paste for correcting a deviation of the weight from the set weight. The configuration is such that a flow rate correcting means is added. Among these, the means for correcting the flow rate of the paste may be performed by changing the output of the liquid feed pump as shown in FIG. 4, or the air flowing into the storage tank as shown in FIG. The change may be performed by changing the pressure.
【００２４】[0024]
【実施例】まず、ダイヘッドを用いた従来型の塗工設備
によりガラス基板にペーストを塗工した。具体的には、
下部がすり鉢状に細くなっている貯蔵タンクに下記組成
からなるプラズマディスプレイパネルのリブ形成用ペー
ストを投入し、液送ポンプによりダイヘッドに供給して
ガラス基板に塗工した。８０枚まで塗布したところ、枚
数を追う毎にペーストの塗布重量が減少していることが
確認され、塗布重量の設定重量に対する偏差の変化は±
３％であった。First, a paste was applied to a glass substrate by a conventional coating equipment using a die head. In particular,
A rib for forming a plasma display panel having the following composition was put into a storage tank having a lower part tapered into a mortar shape, and supplied to a die head by a liquid feed pump to coat the glass substrate. When the application was performed up to 80 sheets, it was confirmed that the applied weight of the paste decreased every time the number was applied, and the change of the deviation of the applied weight from the set weight was ±
3%.
【００２５】 ＜ペーストの組成＞ ガラスフリット：松浪硝子「ＭＢ−００８」 ６５重量部 フィラー（アルミナ）：岩谷化学工業「ＲＡ−４０」 ７重量部 顔料：大日精化工業「ダイピロキサイドブラック＃９５１０」 ７重量部 バインダー：ダウ・ケミカル「エトセルＳＴＤ−１００」 １重量部 溶剤：ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート １０重量部 ターピネオール １０重量部<Paste composition> Glass frit: Matsunami glass “MB-008” 65 parts by weight Filler (alumina): Iwatani Chemical Industry “RA-40” 7 parts by weight Pigment: Dainichi Seika Kogyo “Dipiroxide Side Black # 9510” 7 parts by weight Binder: Dow Chemical "Ethocel STD-100" 1 part by weight Solvent: diethylene glycol monobutyl ether acetate 10 parts by weight Terpineol 10 parts by weight
【００２６】（実施例１）従来型の塗工設備に図２の如
きバッファタンクを取り付けた構成の装置を使用し、前
記組成のペーストによりガラス基板に対する塗工を行っ
たところ、８０枚まで塗工した時点において、塗布重量
の設定重量に対する偏差の変化は±１％の範囲に納まっ
た。(Example 1) Using an apparatus having a configuration in which a buffer tank as shown in FIG. 2 was attached to a conventional type of coating equipment, and a glass substrate was coated with a paste having the above composition, up to 80 sheets were coated. At the time of the work, the change in the deviation of the applied weight from the set weight was within a range of ± 1%.
【００２７】（実施例２）従来型の塗工設備に図３の如
きシリンジポンプを取り付けた構成の装置を使用し、前
記組成のペーストによりガラス基板に対する塗工を行っ
たところ、８０枚まで塗工した時点において、塗布重量
の設定重量に対する偏差の変化は±１％の範囲に納まっ
た。(Example 2) Using an apparatus having a configuration in which a syringe pump as shown in FIG. 3 was attached to a conventional coating equipment, and coating was performed on a glass substrate with a paste having the above composition, up to 80 sheets were coated. At the time of the work, the change in the deviation of the applied weight from the set weight was within a range of ± 1%.
【００２８】（実施例３）従来型の塗工設備に図４の如
く流量計を設置し、さらに測定した流量に基づいて液送
ポンプの駆動部を制御する手段を取り付けた構成の装置
を使用した。そして、その装置を用いて前記組成のペー
ストによりガラス基板に対する塗工を行ったところ、８
０枚まで塗工した時点での塗布重量の設定重量に対する
偏差の変化は±１％の範囲に納まった。(Example 3) An apparatus having a construction in which a flow meter is installed in a conventional coating facility as shown in FIG. 4 and a means for controlling a driving section of a liquid feed pump based on the measured flow rate is used. did. Then, when the glass substrate was coated with the paste having the above composition using the apparatus, 8
The change in the deviation of the applied weight from the set weight at the time of coating up to zero sheets was within the range of ± 1%.
【００２９】（実施例４）従来型の塗工設備に図５の如
く流量計を設置し、さらに測定した流量に基づいて貯蔵
タンク内にかかるエアー圧を制御する手段を取り付けた
構成の装置を使用した。そして、その装置を用いて前記
組成のペーストによりガラス基板に対する塗工を行った
ところ、８０枚まで塗工した時点での塗布重量の設定重
量に対する偏差の変化は±１％の範囲に納まった。(Embodiment 4) An apparatus having a construction in which a flow meter is installed in a conventional coating facility as shown in FIG. 5 and a means for controlling an air pressure applied to a storage tank based on a measured flow rate is provided. used. Then, when the glass substrate was coated with the paste having the above composition using the apparatus, the change in the deviation of the applied weight from the set weight at the time of coating up to 80 sheets was within a range of ± 1%.
【００３０】（実施例５）従来型の塗工設備に図６の如
き重量測定手段と、測定した重量に基づいて液送ポンプ
の駆動部を制御する手段を取り付けた構成の装置でガラ
ス基板に対するペーストの塗工を行ったところ、８０枚
まで塗工した時の塗布重量の設定重量に対する偏差の変
化は±１％の範囲に納まった。(Embodiment 5) An apparatus having a configuration in which a weight measuring means as shown in FIG. 6 and a means for controlling a driving section of a liquid feed pump based on the measured weight are attached to a conventional coating equipment to a glass substrate. When the paste was applied, the change in the deviation of the applied weight from the set weight when coating up to 80 sheets was within a range of ± 1%.
【００３１】（実施例６）従来型の塗工設備に図６の如
き重量測定手段と、測定した重量に基づいて貯蔵タンク
内にかかるエアー圧を制御する手段を取り付けた構成の
装置でガラス基板に対するペーストの塗工を行ったとこ
ろ、８０枚まで塗工した時の塗布重量の設定重量に対す
る偏差の変化は±１％の範囲に納まった。(Embodiment 6) A glass substrate is mounted on a conventional coating equipment by using an apparatus having a weight measuring means as shown in FIG. 6 and a means for controlling an air pressure applied to a storage tank based on the measured weight. When the paste was applied, the change in the deviation of the applied weight from the set weight when 80 sheets were applied was within a range of ± 1%.
【００３２】[0032]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
貯蔵タンクに投入されたペーストを液送ポンプを介して
ダイヘッドへ送り、そのダイヘッドから吐出されるペー
ストを基板に塗工するに際して、液送ポンプからの吐出
量をペーストの容積により規定するか、或いは、ペース
トの流量又は重量を測定し、その測定値を次回の塗布条
件の補正に利用することにより、貯蔵タンクに投入され
たペーストの使い始めから終りまで基板ごとに略一定し
た量での塗布が可能となる。As described above, according to the present invention,
The paste put into the storage tank is sent to the die head via a liquid feed pump, and when applying the paste discharged from the die head to the substrate, the discharge amount from the liquid feed pump is defined by the volume of the paste, or By measuring the flow rate or weight of the paste and using the measured value for the next application condition correction, it is possible to apply the paste put into the storage tank in a substantially constant amount for each substrate from the beginning to the end of use. It becomes possible.
【図１】従来の塗工装置におけるペーストの変化を示す
説明図である。FIG. 1 is an explanatory view showing a change of a paste in a conventional coating apparatus.
【図２】本発明に係る第１の塗工方法を実施する塗工装
置の一例を示す概略構成図である。FIG. 2 is a schematic configuration diagram illustrating an example of a coating apparatus that performs a first coating method according to the present invention.
【図３】本発明に係る第２の塗工方法を実施する塗工装
置の一例を示す概略構成図である。FIG. 3 is a schematic configuration diagram illustrating an example of a coating apparatus that performs a second coating method according to the present invention.
【図４】本発明に係る第３の塗工方法を実施する塗工装
置の一例を示す概略構成図である。FIG. 4 is a schematic configuration diagram illustrating an example of a coating apparatus that performs a third coating method according to the present invention.
【図５】本発明に係る第３の塗工方法を実施する塗工装
置の変形例を示す概略構成図である。FIG. 5 is a schematic configuration diagram showing a modified example of a coating apparatus that performs a third coating method according to the present invention.
【図６】本発明に係る第４の塗工方法の説明図である。FIG. 6 is an explanatory view of a fourth coating method according to the present invention.
Ｌ ペースト １ 貯蔵タンク ２ 液送ポンプ ３ ダイヘッド １１ 貯蔵タンク １２ 液送ポンプ １３ 供給管路 １４ ダイヘッド １５ バッファタンク １６ 塗工用ポンプ １７ 液面センサー ２１ 貯蔵タンク ２２ ダイヘッド ２３ 供給管路 ２４ 分岐管路 ２５ シリンジポンプ ２５ａ シリンジ ２５ｂ 外枠 ２６ 注入バルブ ２７ 吐出バルブ ３１ 貯蔵タンク ３２ 液送ポンプ ３３ 供給管路 ３４ ダイヘッド ３５ 流量計 ３６ 切替バルブ ３７ エアー源 ３８ 圧力計 ４１ ダイヘッド ４２ 重量測定手段 L Paste 1 Storage tank 2 Liquid feed pump 3 Die head 11 Storage tank 12 Liquid feed pump 13 Supply pipe 14 Die head 15 Buffer tank 16 Coating pump 17 Liquid level sensor 21 Storage tank 22 Die head 23 Supply pipe 24 Branch pipe 25 Syringe pump 25a Syringe 25b Outer frame 26 Injection valve 27 Discharge valve 31 Storage tank 32 Liquid feed pump 33 Supply line 34 Die head 35 Flow meter 36 Switching valve 37 Air source 38 Pressure gauge 41 Die head 42 Weight measuring means
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｊ 11/02 Ｈ０１Ｊ 11/02 Ｂ (72)発明者 鈴木 智博 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 4D075 AC04 AC92 AC95 CA48 DA06 DB11 DC24 EA14 4F041 AA05 CA02 CA16 CA22 4F042 AA06 BA06 BA12 BA25 BA27 CB03 CB11 CB18 5C027 AA01 AA02 AA06 AA09 5C040 GC19 GD09 GE09 GF19 JA02 JA04 JA15 JA31 MA23 MA24──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H01J 11/02 H01J 11/02 B (72) Inventor Tomohiro Suzuki 1-1-1 Ichigaga-cho, Shinjuku-ku, Tokyo No. 1 F-term in Dai Nippon Printing Co., Ltd. (Reference) 4D075 AC04 AC92 AC95 CA48 DA06 DB11 DC24 EA14 4F041 AA05 CA02 CA16 CA22 4F042 AA06 BA06 BA12 BA25 BA27 CB03 CB11 CB18 5C027 AA01 AA02 AA06 AA09 5C040 GC19 GD01 JA01GE09 MA23 MA24
Claims (12)
ポンプを介してダイヘッドへ送り、そのダイヘッドから
吐出されるペーストを基板に塗工する方法において、貯
蔵タンク内のペーストの一部を供給管路の途中にあるバ
ッファタンクに液送ポンプにより一旦送り込み、そのバ
ッファタンク内のペーストを塗工用ポンプでダイヘッド
から吐出して基板に塗工するようにし、しかも液送ポン
プを制御してバッファタンク内のペースト量を維持する
ようにしたことを特徴とする塗工方法。In a method of feeding a paste put into a storage tank to a die head via a liquid feed pump and applying paste discharged from the die head to a substrate, a part of the paste in the storage tank is supplied to a supply pipe. The liquid tank is once fed into the buffer tank in the middle of the road by the liquid feed pump, and the paste in the buffer tank is discharged from the die head by the coating pump so that the paste is applied to the substrate. A coating method characterized by maintaining the amount of paste inside.
ポンプを介してダイヘッドへ送る塗工装置であって、液
送ポンプとダイヘッドの間の供給管路に、バッファタン
クとそのバッファタンク内のペーストをダイヘッドに供
給するための塗工用ポンプとを配置したことを特徴とす
る塗工装置。2. A coating device for feeding a paste put into a storage tank to a die head via a liquid feed pump, wherein a supply pipe between the liquid feed pump and the die head is provided with a buffer tank and a buffer tank in the buffer tank. A coating device comprising a coating pump for supplying a paste to a die head.
ポンプを介してダイヘッドへ送り、そのダイヘッドから
吐出されるペーストを基板に塗工する方法において、液
送ポンプにシリンジポンプを使用し、そのシリンジポン
プに貯蔵タンクからペーストを供給して充填するととも
に、その充填されたペーストをシリンジポンプからダイ
ヘッドに供給するようにしたことを特徴とする塗工方
法。3. A method for feeding a paste put into a storage tank to a die head via a liquid feed pump, and applying a paste discharged from the die head to a substrate, wherein a syringe pump is used as the liquid feed pump. A coating method, wherein a paste is supplied from a storage tank to a syringe pump for filling, and the filled paste is supplied to the die head from the syringe pump.
ポンプを介してダイヘッドへ送る塗工装置であって、液
送ポンプにシリンジポンプを使用するとともに、貯蔵タ
ンクとダイヘッドを繋ぐ供給管路の途中から枝分かれし
た分岐管路の先端にシリンジポンプを配置し、供給管路
における貯蔵タンクと分岐点の間に注入バルブを配置す
るとともに分岐点とダイヘッドの間に吐出バルブを配置
したことを特徴とする塗工装置。4. A coating apparatus for feeding a paste put into a storage tank to a die head via a liquid feed pump, wherein a syringe pump is used as the liquid feed pump, and a supply pipe connecting the storage tank and the die head is provided. A syringe pump is arranged at the end of a branch line branched from the middle, an injection valve is arranged between the storage tank and the branch point in the supply line, and a discharge valve is arranged between the branch point and the die head. Coating equipment.
ポンプを介してダイヘッドへ送り、そのダイヘッドから
吐出されるペーストを基板に塗工する方法において、ダ
イヘッドの直前に配置した流量計により塗工時の流量を
測定し、その測定した流量の設定流量に対する偏差を補
正してその後の塗工を実施するようにしたことを特徴と
する塗工方法。5. A method for feeding a paste put into a storage tank to a die head via a liquid feed pump and coating the paste discharged from the die head on a substrate, wherein the paste is applied by a flow meter disposed immediately before the die head. A coating method, wherein a flow rate at the time is measured, a deviation of the measured flow rate from a set flow rate is corrected, and the subsequent coating is performed.
ポンプを介してダイヘッドへ送る塗工装置であって、ダ
イヘッドの直前に塗工量を測定する流量計を配置し、設
定流量に対する流量の偏差を補正するペースト流量の補
正手段を設けたことを特徴とする塗工装置。6. A coating apparatus for feeding a paste put into a storage tank to a die head via a liquid feed pump, wherein a flow meter for measuring a coating amount is disposed immediately before the die head, and a flow rate of the flow rate with respect to a set flow rate is determined. A coating apparatus comprising a paste flow rate correcting means for correcting a deviation.
変化で行うようにした請求項６に記載の塗工装置。7. The coating apparatus according to claim 6, wherein the correction of the paste flow rate is performed by changing the output of the liquid feed pump.
かるエアー圧の変化で行うようにした請求項６に記載の
塗工装置。8. The coating apparatus according to claim 6, wherein the correction of the flow rate of the paste is performed by changing the air pressure applied to the inside of the storage tank.
ポンプを介してダイヘッドへ送り、そのダイヘッドから
吐出されるペーストを基板に塗工する方法において、塗
工後の基板の重量を測定し、その測定した重量の設定重
量に対する偏差を補正してその後の塗工を実施するよう
にしたことを特徴とする塗工方法。9. A method of feeding a paste put into a storage tank to a die head via a liquid feed pump and coating the substrate with the paste discharged from the die head, measuring the weight of the substrate after coating, A coating method, wherein a deviation of the measured weight from a set weight is corrected and a subsequent coating is performed.
送ポンプを介してダイヘッドへ送る塗工装置であって、
塗工後に基板の重量を測定する測定手段を設け、設定重
量に対する重量の偏差を補正するペースト流量の補正手
段を設けたことを特徴とする塗工装置。10. A coating apparatus for feeding a paste put into a storage tank to a die head via a liquid feed pump,
A coating apparatus, comprising: measuring means for measuring the weight of a substrate after coating; and correcting means for a paste flow rate for correcting a deviation of the weight from a set weight.
力変化で行うようにした請求項１０に記載の塗工装置。11. The coating apparatus according to claim 10, wherein the paste flow rate is corrected by changing the output of a liquid feed pump.
かかるエアー圧の変化で行うようにした請求項１０に記
載の塗工装置。12. The coating apparatus according to claim 10, wherein the correction of the flow rate of the paste is performed by changing the air pressure applied to the inside of the storage tank.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30792499A JP2001121062A (en) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | Coating method and coating device |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP30792499A JP2001121062A (en) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | Coating method and coating device |
Publications (1)
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|---|---|
| JP2001121062A true JP2001121062A (en) | 2001-05-08 |
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|---|---|---|---|
| JP30792499A Pending JP2001121062A (en) | 1999-10-29 | 1999-10-29 | Coating method and coating device |
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| Country | Link |
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- 1999-10-29 JP JP30792499A patent/JP2001121062A/en active Pending
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