JP2001115968A - インジェクター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な構造からなり、かつ小型化を図ること
ができ、しかも脈動の小さな安定した吐出流量が得られ
るインジェクターを提供する。 【解決手段】 被圧送流体Ｆのための第１外側流入部１
３と被圧送流体のための第１外側流出部１４を有する第
１外側ブロック１０と、第１外側流入部または第１外側
流出部と連通する接続流入部２１と接続流出部２２を有
する中間ブロック２０と、接続流入部または接続流出部
と連通する第２外側流入部３１と第２外側流出部３２を
有する第２外側ブロック３０と、第１外側ブロックと中
間ブロックで形成される第１チャンバ４０と、中間ブロ
ックと第２外側ブロックで形成される第２チャンバ５０
と、吸込用逆止弁６１，７１と、吐出用逆止弁６６，７
６と、与圧機構体８０と、与圧機構体を往復動させる作
動流体Ａを両チャンバの少なくとも一方に流出入する作
動流体流出入部９０とを備えるインジェクターＩ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、インジェクター
に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば半導体の製造ライン等における各
種装置には、薬液や超純水等の流体を圧送するためイン
ジェクターが組み込まれることがある。従来のこの種イ
ンジェクタとしては、被圧送流体のための流入口及び流
出口と、二つのチャンバと、前記各チャンバと流入口と
をそれぞれ連通する二つの流入部と、前記各チャンバと
流出口とをそれぞれ連通する二つの流出部が形成された
ボディ体と、前記各チャンバ内に配されるダイヤフラム
部が両端に設けられた与圧機構体を備え、前記チャンバ
内に気体等の作動流体を供給することにより前記与圧機
構体が往復動し、それによってチャンバ内の被圧送流体
を前記流出口から吐出するように構成されたものが知ら
れている。

【０００３】しかしながら、上記従来構造のインジェク
ターにあっては、構造が複雑となる問題があるととも
に、前記ボディ体を多数分割する必要が生じたり、ボデ
ィ体の体積が極めて大きくなり当該インジェクターの大
型化を招くといった問題があった。

【０００４】また、上記従来構造においては、前記与圧
機構体を往復動させる作動流体の供給の切り替えは、ボ
ディ体に内蔵された終端検出用スイッチ若しくはセンサ
ーにより与圧機構体の終端（ストロークエンド）が検出
された時点で行われるか、あるいは前記与圧機構体の終
端に到達したところで作動流体が供給されているチャン
バの内圧が上昇することを利用して当該切り替えが機械
的に行われるため、与圧機構体が反転する際の流出口に
おける被圧送流体の吐出圧力は殆ど０に近似してしま
い、吐出圧力が大きく脈動してしまう問題があった。ま
た、上記のように与圧機構体を往復動させる作動流体の
供給の切り替えがなされるので、当該インジェクターか
らの吐出流量は、容易には変更できなかった。

【０００５】さらに、上記従来のインジェクターは、前
記各チャンバ内を外部から確認することができないの
で、与圧機構体の作動状態を目視等で確認することがで
きないばかりか、与圧機構体のダイヤフラム部が破損す
る等の異常発生の発見が遅延してしまう問題もあった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】この発明は、前記の点
に鑑み提案されたものであって、簡単な構造からなり、
かつ小型化を図ることができ、しかも脈動の小さな安定
した吐出流量が得られるとともに該吐出流量を容易に変
更することができ、さらには異常発生を早期に発見する
ことができるインジェクターを提供することを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】すなわち、請求項１の発
明は、一側に被圧送流体（Ｆ）の第１外側流入部（１
３）及び他側に被圧送流体の第１外側流出部（１４）を
有する第１外側ブロック（１０）と、前記第１外側ブロ
ックの内側に配置され、前記第１外側流入部と連通する
接続流入部（２１）及び前記第１外側流出部と連通する
接続流出部（２２）を有する中間ブロック（２０）と、
前記中間ブロックの前記第１外側ブロックと反対側の外
側に配置され、前記中間ブロックの接続流入部と連通す
る第２外側流入部（３１）及び前記中間ブロックの接続
流出部と連通する第２外側流出部（３２）を有する第２
外側ブロック（３０）と、前記第１外側ブロックと中間
ブロックによって形成され、前記第１外側流入部と連通
する第１吸込部（４１）と、前記第１外側流出部と連通
する第１吐出部（４２）を有する第１チャンバ（４０）
と、前記中間ブロックと第２外側ブロックによって形成
され、前記第２外側流入部と連通する第２吸込部（５
１）と、前記第２外側流出部と連通する第２吐出部（５
２）を有する第２チャンバ（５０）と、前記第１外側流
入部と前記第１吸込部の間に該第１吸込部方向に被圧送
流体が流れるように介装された第１吸込用逆止弁（６
１）と、前記第１吐出部と前記第１外側流出部の間に該
第１外側流出部方向に被圧送流体が流れるように介装さ
れた第１吐出用逆止弁（６６）と、前記第２外側流入部
と前記第２吸込部の間に該第２吸込部方向に被圧送流体
が流れるように介装された第２吸込用逆止弁（７１）
と、前記第２吐出部と前記第２外側流出部の間に該第２
外側流出部方向に被圧送流体が流れるように介装された
第２吐出用逆止弁（７６）と、前記第１チャンバの内壁
に外周部が固定された第１ダイヤフラム部（８１）と前
記第２チャンバの内壁に外周部が固定された第２ダイヤ
フラム部（８２）とが前記中間ブロックを貫通する連結
部（８３）によって一体動自在に配置された与圧機構体
（８０）と、前記中間ブロックから前記第１チャンバま
たは第２チャンバの少なくとも一方に開口され、前記与
圧機構体を往復動させる作動流体（Ａ）を第１チャンバ
または第２チャンバの少なくとも一方に流出入する作動
流体流出入部（９０）とを備えることを特徴とするイン
ジェクター（Ｉ）に係る。

【０００８】また、請求項２の発明は、請求項１におい
て、前記第１外側流入部及び第１吸込用逆止弁を含む第
１吸込用逆止弁ブロック（６０）と、前記第１外側流出
部及び第１吐出用逆止弁を含む第１吐出用逆止弁ブロッ
ク（６５）とが第１外側ブロック内にそれぞれ組み付け
られているとともに、前記第２外側流入部及び第２吸込
用逆止弁を含む第２吸込用逆止弁ブロック（７０）と、
前記第２外側流出部及び第２吐出用逆止弁を含む第２吐
出用逆止弁ブロック（７５）とが第２外側ブロック内に
それぞれ組み付けられているインジェクターに係る。

【０００９】さらに、請求項３の発明は、請求項１また
は２において、前記与圧機構体を往復動させる作動流体
の第１チャンバまたは第２チャンバへの供給及び該チャ
ンバからの作動流体の排出が、外部の切り替え手段によ
り所定の切り替え周期で切り替えられるとともに、前記
切り替え周期が任意に変更できるように構成されている
インジェクターに係る。

【００１０】さらに、請求項４の発明は、請求項１ない
し３の何れかにおいて、前記中間ブロックが、与圧機構
体の作動状態が外部から視認できるように、透明体ある
いは半透明体より形成されているインジェクターに係
る。

【００１１】さらに、請求項５の発明は、請求項４にお
いて、前記中間ブロックの接続流入部及び接続流出部
が、当該中間ブロック内に埋設された管部材で構成され
ているインジェクターに係る。

【００１２】さらに、請求項６の発明は、請求項１ない
し５の何れかにおいて、前記第１チャンバまたは第２チ
ャンバの一方にのみ与圧機構体を往復動させる作動流体
が流出入され、かつ作動流体が流出入されないチャンバ
内壁と当該チャンバ内に配されるダイヤフラム部内面と
の間にスプリング（Ｓ）が配設されているインジェクタ
ーに係る。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下添付の図面に従ってこの発明
を詳細に説明する。図１はこの発明の一実施例に係るイ
ンジェクターの第一チャンバからの流体吐出状態を示す
縦断面図、図２は同インジェクターの第二チャンバから
の流体吐出状態を示す縦断面図、図３は同インジェクタ
ーに用いられる逆止弁を示す斜視図、図４は同インジェ
クターの一使用例を示す概略図、図５は同じく他の使用
例を示す概略図、図６は図５の使用例における効果を説
明するためのグラフ図、図７は他の実施例におけるイン
ジェクターの縦断面図である。

【００１４】図１及び図２に示すインジェクターＩは、
この発明の一実施例に係るもので、第１外側ブロック１
０と、中間ブロック２０と、第２外側ブロック３０と、
第１チャンバ４０と、第２チャンバ５０と、第１吸込用
逆止弁６１と、第１吐出用逆止弁６６と、第２吸込用逆
止弁７１と、第２吐出用逆止弁７６と、与圧機構体８０
と、作動流体流出入部９０とを備える。なお、前記第１
外側ブロック１０と中間ブロック２０と第２外側ブロッ
ク３０が一体に組み付けられたものが、先の従来技術の
欄で説明した従来構造におけるボディ体に相当する。ま
た、この実施例のインジェクターＩは、半導体の製造ラ
イン等における各種装置に、薬液や超純水等の流体を圧
送供給するために組み付けられる。以下、各部について
それぞれ詳述する。

【００１５】第１外側ブロック１０は、その一側に被圧
送流体Ｆの流入口１１及び該流入口１１と連通する第１
外側流入部１３が設けられるとともに、他側に被圧送流
体Ｆの流出口１２及び該流出口１２と連通する第１外側
流出部１４が設けられている。この実施例では、当該第
１外側ブロック１０は、フッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬
品性の高い樹脂から形成されている。

【００１６】中間ブロック２０は、前記第１外側ブロッ
ク１０の内側に配置され、前記第１外側流入部１３と連
通する接続流入部２１及び前記第１外側流出部１４と連
通する接続流出部２２を有している。この実施例では、
当該中間ブロック２０（前記接続流入部２１及び接続流
出部２２を除く。）は、請求項４の発明の如く、後述す
る与圧機構体８０の作動状態が外部から視認できるよう
に、透明塩化ビニル樹脂等からなる透明体あるいは半透
明体より形成されている。さらに、この実施例では、前
記接続流入部２１及び接続流出部２２は、請求項５の発
明のように、中間ブロック２０内に埋設された管部材Ｐ
１，Ｐ２で構成されている。また、前記管部材Ｐ１，Ｐ
２は、被圧送流体Ｆと接することを考慮して、フッ素樹
脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹脂から形成されるの
が好ましい。なお、図示の例では、前記管部材Ｐ１，Ｐ
２と前記第１外側ブロック１０間にはＯリング等のシー
ル部材ｏ１が介在されてシール性の向上が図られてい
る。

【００１７】第２外側ブロック３０は、前記中間ブロッ
ク２０の前記第１外側ブロック１０と反対側の外側に配
置されるもので、前記中間ブロック２０の接続流入部２
１と連通する第２外側流入部３１及び前記中間ブロック
２０の接続流出部２２と連通する第２外側流出部３２が
設けられている。この実施例では、当該第２外側ブロッ
ク３０は、フッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹
脂から形成されている。さらに、図示の例では、当該第
２外側ブロック３０と前記管部材Ｐ１，Ｐ２間にはＯリ
ング等のシール部材ｏ１が介在されてシール性の向上が
図られている。

【００１８】また、上記第１外側ブロック１０，中間ブ
ロック２０，第２外側ブロック３０は適宜手段により一
体に組み付けられる。なお、この実施例では、前記第１
外側ブロック１０と中間ブロック２０と第２外側ブロッ
ク３０とが一体に組み付けられたボディ体の全体外形状
は方形となっており、当該インジェクターＩは極めて配
置性が良い。

【００１９】第１チャンバ４０は、前記第１外側ブロッ
ク１０と中間ブロック２０によって形成されている。こ
の第１チャンバ４０は、前記第１外側流入部１３と連通
する第１吸込部４１と、前記第１外側流出部１４と連通
する第１吐出部４２とを有している。そして、前記第１
外側流入部１３と第１吸込部４１の間には該第１吸込部
４１方向に被圧送流体が流れるように構成された第１吸
込用逆止弁６１が介装されているとともに、前記第１外
側流出部１４と第１吐出部４２の間には前記第１外側流
出部１４方向に被圧送流体が流れるように構成された第
１吐出用逆止弁６６が介装されている。

【００２０】第２チャンバ５０は、前記中間ブロック２
０と第２外側ブロック３０によって形成されている。こ
の第２チャンバ５０は、前記第２外側流入部３１と連通
する第２吸込部５１と、前記第２外側流出部３２と連通
する第２吐出部５２とを有している。そして、前記第２
外側流入部３１と第２吸込部５１の間には該第２吸込部
５１方向に被圧送流体が流れるように構成された第２吸
込用逆止弁７１が介装されているとともに、前記第２外
側流出部３２と第２吐出部５２の間には前記第２外側流
出部３２方向に被圧送流体が流れるように構成された第
２吐出用逆止弁７６が介装されている。

【００２１】ここで、実施例においては、請求項２に規
定した発明のように、前記第１外側流入部１３及び第１
吸込用逆止弁６１を含む第１吸込用逆止弁ブロック６０
と、前記第１外側流出部１４及び第１吐出用逆止弁６６
を含む第１吐出用逆止弁ブロック６５とが第１外側ブロ
ック１０内にそれぞれ別部材として組み付けられるとと
もに、前記第２外側流入部３１及び第２吸込用逆止弁７
１を含む第２吸込用逆止弁ブロック７０と、前記第２外
側流出部３２及び第２吐出用逆止弁７６を含む第２吐出
用逆止弁ブロック７５とが第２外側ブロック３０内にそ
れぞれ別部材として組み付けられている。このようにす
れば、インジェクターＩ全体の体積を小さくすることが
でき、インジェクターＩ自体の小型化を実現できる。

【００２２】また、この実施例では、前記各逆止弁ブロ
ック６０，６５，７０，７５の第１外側流入部１３，第
１外側流出部１４，第２外側流入部３１，第２外側流出
部３２は、略直角に屈曲形成されている。このようにす
れば、図示のように前記各逆止弁６１，６６，７１，７
６の移動軸と前記流入口１１及び流出口１２の開口軸と
が直交し、被圧送流体Ｆの流れ方向を変換させる必要が
ある場合等であっても、各逆止弁ブロック６０，６５，
７０，７５内で被圧送流体Ｆの流れ方向を換えることが
でき、インジェクターＩ全体の体積をより効率的に小さ
くすることができる。なお、前記各逆止弁ブロック６
０，６５，７０，７５は、フッ素樹脂等の耐蝕性及び耐
薬品性の高い樹脂から形成されている。図示の符号ｏ２
は、前記各逆止弁ブロック６０，６５，７０，７５と前
記第１外側ブロック１０，中間ブロック２０，第２外側
ブロック３０間に介在されるＯリング等のシール部材で
ある。

【００２３】さらに、この実施例においては、前記各逆
止弁６１，６６，７１，７６は、図３から理解されるよ
うに、円柱体あるいは角柱体（図示では円柱体）からな
り、その一側端面Ｅ１及び外周壁面Ｅ２に複数の流体流
通路Ｃが放射状に形成されたものが用いられている。勿
論、当該各逆止弁としては、これに限定されるものでは
ない。

【００２４】与圧機構体８０は、前記第１チャンバ４０
内に配される第１ダイヤフラム部８１と、前記第２チャ
ンバ５０内に配される第２ダイヤフラム部８２とが、前
記中間ブロック２０を貫通する連結部８３によって一体
動自在に連結され、前記ボディ体内に配置されている。
実施例における与圧機構体８０は、前記各部８１，８
２，８３がそれぞれ螺合結合されている。勿論、これに
限らず、前記第１ダイヤフラム部８１と連結部８３とが
一体に形成され、前記連結部８３に第２ダイヤフラム部
８２が螺着固定されても良いし、前記第２ダイヤフラム
部８２と連結部８３とが一体に形成され、前記連結部８
３に第１ダイヤフラム部８１が螺着固定されても良い。
また、この実施例の与圧機構体８０は、前記各ブロック
と同様に、フッ素樹脂等の耐蝕性及び耐薬品性の高い樹
脂から形成されている。

【００２５】前記第１ダイヤフラム部８１は、ダイヤフ
ラム面である薄肉の可動部８１ａと、その外周側の外周
部８１ｂを有しており、前記外周部８１ｂが前記第１チ
ャンバ４０の内壁４０ａに固定されている。また、前記
第２ダイヤフラム部８２は、ダイヤフラム面である薄肉
の可動部８２ａと、その外周側の外周部８２ｂを有して
おり、前記外周部８２ｂが前記第２チャンバ５０の内壁
５０ａに固定されている。この実施例では、図示のよう
に、前記第１ダイヤフラム部８１の外周部８１ｂは、前
記第１外側ブロック１０と中間ブロック２０間に挟着さ
れて固定され、一方、前記第２ダイヤフラム部８２の外
周部８２ｂは、前記中間ブロック２０と第２外側ブロッ
ク３０間に挟着されて固定されている。図示の符号ｏ３
は前記各ダイヤフラム部８１，８２の外周部８１ｂ，８
２ｂと中間ブロック２０間に介在されるＯリング等のシ
ール部材、ｏ４は前記連結部８３と中間ブロック２０間
に介在されるＯリング等のシール部材である。

【００２６】作動流体流出入部９０は、前記中間ブロッ
ク２０内に形成され、前記第１チャンバ４０または第２
チャンバ５０の少なくとも一方に開口され、前記与圧機
構体８０を往復動させる作動流体、例えば前記各ダイヤ
フラム部８１，８２を加圧若しくは減圧する調圧気体Ａ
等を、前記二つのチャンバ４０，５０の何れか一方の内
壁４０ａまたは５０ａと当該チャンバ内に配されるダイ
ヤフラム部８１または８２の内面８１ｃまたは８２ｃと
の間に流出入させる部分である。前記作動流体流出入部
９０には、インジェクター外のコンプレッサー等の作動
流体供給装置が接続されることになる。

【００２７】この実施例では、当該作動流体流出入部９
０は、中間ブロック２０から第１チャンバ４０に開口さ
れ、第１チャンバ４０の内壁４０ａと第１ダイヤフラム
部８１の内面８１ｃ間に前記作動流体Ａを流出入させる
第１作動流体流出入部９１と、中間ブロック２０から第
２チャンバ５０に開口され、第２チャンバ５０の内壁５
０ａと第２ダイヤフラム部８２の内面８２ｃ間に前記作
動流体Ａを流出入させる第２作動流体流出入部９２とか
らなり、両チャンバ４０，５０内に前記作動流体Ａを交
互に供給することにより与圧機構体８０が往復動するよ
うになっている。ここで、一方のチャンバに前記第１作
動流体流出入部９１または第２作動流体流出入部９２を
介して作動流体Ａが供給されているときには、他方のチ
ャンバから該チャンバ内に充填されていた作動流体Ａ
は、前記第１作動流体流出入部９１または第２作動流体
流出入部９２を介してインジェクターＩ外へ排出される
ようになっている。

【００２８】このようにしてなるインジェクターＩは以
下のように作動する。すなわち、図１に示すように、前
記第１作動流体流出入部９１を介して第１チャンバ４０
の内壁４０ａと第１ダイヤフラム部８１の内面８１ｃと
の間に作動流体Ａが供給されるとともに、前記第２作動
流体流出入部９２を介して第２チャンバ５０の内壁５０
ａと第２ダイヤフラム部８２の内面８２ｃとの間に充填
されていた作動流体Ａが排出されると、前記与圧機構体
８０が第１外側ブロック１０側に移動する。これによっ
て、第１チャンバ４０の内壁４０ａと第１ダイヤフラム
部８１の外面８１ｄとの間に充填されていた被圧送流体
Ｆが、前記第１吐出部４２，第１吐出用逆止弁６６，第
１外側流出部１４を介して前記流出口１２から吐出され
ると同時に、前記流入口１１から前記第１外側流入部１
３，接続流入部２１，第２外側流入部３２，第２吸込用
逆止弁７１，第２吸込部５１を介して第２チャンバ５０
の内壁５０ａと第２ダイヤフラム部８２の外面８２ｄと
の間に被圧送流体Ｆが充填され、次の吐出動作に備え
る。

【００２９】これに対して、図２に示すように、前記第
２作動流体流出入部９２を介して第２チャンバ５０の内
壁５０ａと第２ダイヤフラム部８２の内面８２ｃとの間
に作動流体Ａが供給されるとともに、前記第１作動流体
流出入部９１を介して第１チャンバ４０の内壁４０ａと
第１ダイヤフラム部８１の内面８１ｃとの間に充填され
ていた作動流体Ａが排出されると、前記与圧機構体８０
が第２外側ブロック３０側に移動する。これによって、
第２チャンバ５０の内壁５０ａと第２ダイヤフラム部８
２の外面８２ｄとの間に充填されていた被圧送流体Ｆ
が、前記第２吐出部５２，第２吐出用逆止弁７６，第２
外側流出部３２，接続流出部２２，第１外側流出部１４
を介して前記流出口１２から吐出されると同時に、前記
流入口１１から前記第１外側流入部１３，第１吸込用逆
止弁６１，第１吸込部４１を介して第１チャンバ４０の
内壁４０ａと第１ダイヤフラム部８１の外面８１ｄとの
間に被圧送流体Ｆが充填され、次の吐出動作に備える。

【００３０】ところで、この実施例では、前記与圧機構
体８０を往復動させる作動流体Ａの第１チャンバ４０ま
たは第２チャンバ５０への供給および該チャンバからの
作動流体Ａの排出の切り替え、つまり作動流体供給側チ
ャンバの切り替えは、請求項３の発明のように、外部の
切り替え手段（図示せず）により所定の切り替え周期で
行われるとともに、該切り替え周期が任意に変更できる
ように構成されている。前記切り替え手段としては、シ
ーケンサーやタイマー等からの任意の周期的なＯＮ−Ｏ
ＦＦ信号に基づいて駆動する４または５方向電磁弁等の
切替え電磁弁が好適である。

【００３１】上記のように作動流体Ａの供給及び排出の
切り替え周期を変更可能にすれば、与圧機構体８０の往
復動の周期、ひいては与圧機構体８０の往復動範囲を容
易に変更することができる。これによって、前記切り替
え周期を、与圧機構体８０の各ダイヤフラム部８１，８
２が終端（ストロークエンド）に達する時間よりも短く
設定し、与圧機構体８０の各ダイヤフラム部８１，８２
が終端に達する前に与圧機構体８０を反転させることが
可能となり、前記与圧機構体８０の反転時に生じる流出
口１２における被圧送流体Ｆの吐出圧力の脈動を小さく
することができる（図６の（Ａ）および（Ｂ）図参
照）。

【００３２】なお、この実施例のインジェクターＩは、
上述したように前記中間ブロック２０が透明体（若しく
は半透明体）で形成されているので、与圧機構体８０の
作動状態が外部から視認できるようになっている。その
ため、与圧機構体８０、特には各ダイヤフラム部８１，
８２が破損する等の異常発生を早期に発見することがで
きるばかりか、前記与圧機構体８０の反転位置の決定に
よる与圧機構体８０の往復動範囲の設定、つまり吐出流
量の設定が簡単に行える利点がある。また、前記透明体
若しくは半透明体からなる中間ブロック２０に目盛りを
刻設する等して、与圧機構体８０の往復動における反転
位置を分かり易くすれば、前記吐出流量の設定がより容
易になる。また、上記のように中間ブロック２０が透明
体あるいは半透明体で形成されない場合には、前記チャ
ンバ４０，５０の内壁４０ａ，５０ａにＣＣＤやフォト
センサー等の検知手段を設けて、与圧機構体８０の作動
状態が外部から視認できるようにしてもよい。

【００３３】図４には上記構造からなるインジェクター
Ｉの一使用例が示されている。この例においては、当該
インジェクターＩは、タンクＴ１内の被圧送流体Ｆをポ
ンプＶによりユースポイントＵ１に供給する回路内の圧
力を増圧するための増圧器として用いられている。

【００３４】また、図５には上記構造からなるインジェ
クターＩの他の使用例が示されている。この例において
は、当該インジェクターＩは、タンクＴ２内の被圧送流
体ＦをユースポイントＵ２に圧送供給するための所謂ダ
イヤフラムポンプとして用いられている。図示の例で
は、前記インジェクターＩとユースポイントＵ２の間に
調整弁Ｈ（特許第２６７１１８３号等参照）が配備され
ている。このようにすれば、被圧送流体の吐出圧力と時
間との関係を表す図６の（Ａ）図のグラフから理解され
るように、与圧機構体８０が反転動作に移るタイミング
ｙにおける吐出圧力よりも前記調整弁Ｈの設定圧力ｚを
低く設定して被圧送流体の圧力調整を行うことにより、
ユースポイントＵ２に被圧送流体Ｆを安定して定圧供給
できる。すなわち、吐出圧力の脈動を除去することがで
きるようになる。図中の符号ｔは前記各チャンバに対す
る作動流体Ａの供給及び排出の切り替え周期を示してい
る。

【００３５】なお、図６においては、参考比較例とし
て、（Ｂ）図には前記調整弁Ｈが実施例のインジェクタ
ーＩとユースポイントＵ２の間に配備されない場合にお
ける被圧送流体の吐出圧力と時間との関係のグラフが、
（Ｃ）図には前記インジェクターＩの代わりに従来構造
のインジェクターを用い前記調整弁Ｈがインジェクター
ＩとユースポイントＵ２の間に配備されない場合におけ
る被圧送流体の吐出圧力と時間との関係のグラフが、
（Ｄ）図には従来構造のインジェクターを用い前記調整
弁ＨがインジェクターＩとユースポイントＵ２の間に配
備される場合における被圧送流体の吐出圧力と時間との
関係のグラフがそれぞれ表されている。（Ｄ）図から分
かるように、与圧機構体８０が反転動作に移るタイミン
グｙにおける吐出圧力が０に近似する従来構造のインジ
ェクターを用いる場合、インジェクターからの吐出圧力
が調整弁Ｈによる設定圧力以下になった時には、ユース
ポイントＵ２への被圧送流体Ｆの定圧供給が不可能とな
り、依然吐出圧力の脈動は残ってしまう。

【００３６】図７にはこの発明の他の実施例に係るイン
ジェクターＩｘが示されている。なお、以下の説明及び
図７において先に説明した実施例のインジェクターＩの
構成部材と同一部材については同一符号を付して、説明
を省略する。この実施例のインジェクターＩｘは、請求
項６に規定した発明のように、第１チャンバ４０または
第２チャンバ５０の一方にのみ、図示の例では第２チャ
ンバ５０にのみ、与圧機構体８０を往復動させる作動流
体Ａが流出入され、かつ前記作動流体Ａが流出入されな
いチャンバ、図示の例では第１チャンバ４０の内壁４０
ａと当該チャンバ内に配されるダイヤフラム部８１の内
面８１ｃとの間にスプリングＳが配設されている。な
お、この場合、前記作動流体Ａが流出入されない第１チ
ャンバ４０側の前記第１作動流体流出入部９１は呼吸路
となる。

【００３７】このように構成すれば、前記スプリングＳ
によって与圧機構体８０は常時一方の外側ブロック方向
へ付勢されるため、一方のチャンバ４０または５０に対
してのみ作動流体Ａの供給及び排出を行うだけで与圧機
構体８０を往復動させることができ、与圧機構体８０の
駆動制御が極めて簡単になる。なお、このように一方の
チャンバのみに作動流体Ａの供給及び排出を行う場合に
は、該作動流体Ａの供給及び排出の切り替えを行う切り
替え手段としては、シーケンサーやタイマー等からの任
意の周期的なＯＮ−ＯＦＦ信号に基づいて駆動する３方
向電磁弁が好適である。また、図示しないが、両チャン
バに与圧機構体を往復動させる作動流体が両作動流体流
出入部を介して流出入され、かつ両チャンバの内壁とダ
イヤフラム部の内面との間にスプリングがそれぞれ配設
されるようにしてもよい。

【００３８】なお、上記二つの実施例では前記被圧送流
体Ｆのための流入口１１及び流出口１２は、共に第１外
側ブロック１０に形成されているが、これに限らず、例
えば前記流入口１１を第１外側ブロック１０に形成し、
前記流出口１２を第２外側ブロック３０に形成する等、
当該流入口１１及び流入口１２を、第１外側ブロック１
０，中間ブロック２０，第２外側ブロックの何れか適宜
のブロックに形成することができる。その他、本発明に
係るインジェクターは、発明の趣旨を逸脱しない範囲に
おいて上記実施例の構成の一部を適宜に変更して実施す
ることができる。

【００３９】

【発明の効果】以上図示し説明したように、この発明に
係るインジェクターにあっては、第１外側ブロックと中
間ブロックと第２外側ブロックにより構成されるボディ
体内に逆止弁，与圧機構体，各流入部，各流出部等の構
成部材が全て組み込まれているので、従来に比しボディ
体の構造が簡単になるとともに、ボディ体を多数に分割
する必要がなくなり、しかもインジェクターそのものが
大変コンパクトになる。特に、請求項２の発明のよう
に、第１外側流入部及び第１吸込用逆止弁を含む第１吸
込用逆止弁ブロックと、第１外側流出部及び第１吐出用
逆止弁を含む第１吐出用逆止弁ブロックとが第１外側ブ
ロック内にそれぞれ組み付けられるとともに、第２外側
流入部及び第２吸込用逆止弁を含む第２吸込用逆止弁ブ
ロックと、第２外側流出部及び第２吐出用逆止弁を含む
第２吐出用逆止弁ブロックとが第２外側ブロック内にそ
れぞれ組み付けられるようにすれば、さらなるインジェ
クターの小型化を実現できる。

【００４０】また、請求項３の発明のように、前記与圧
機構体を往復動させる作動流体の第１チャンバまたは第
２チャンバへの供給及び該チャンバからの作動流体の排
出を、外部の切り替え手段により所定の切り替え周期で
切り替え、該切り替え周期を任意に変更できるようにす
れば、与圧機構体の往復動範囲を容易に変更することが
できる。その結果、前記切り替え周期を、与圧機構体の
各ダイヤフラム部が終端に達する時間よりも短く設定す
ることにより、与圧機構体の各ダイヤフラム部が終端に
達する前に当該与圧機構体を反転させることができ、そ
れによって、前記与圧機構体の反転時に生じる吐出圧力
の脈動を小さくすることができる。加えて、前記切り替
え周期の変更により、吐出流量を容易に変更することが
できる。

【００４１】さらに、請求項４の発明の如く、前記中間
ブロックが透明塩化ビニル樹脂等からなる透明体あるい
は半透明体より形成され、与圧機構体の作動状態が外部
から視認できるようにすれば、与圧機構体が破損する等
の異常発生を早期に発見することができるとともに、前
記与圧機構体の反転位置の決定による与圧機構体の往復
動範囲の設定、すなわち吐出流量の設定が容易になる。
加えて、請求項５の発明のように、前記透明塩化ビニル
樹脂等からなる中間ブロック内の接続流入部及び接続流
出部が管部材で構成され、該管部材を含む被圧送流体と
接する部分が、全て耐腐食性あるいは耐薬品性の高い材
質で形成されれば、被圧送流体が超純水や薬品である場
合において、当該インジェクターは高い適用性を有す
る。

【００４２】またさらに、請求項６の発明のように、前
記ボディ体内の第１チャンバまたは第２チャンバの一方
にのみ与圧機構体を往復動させる作動流体が流出入さ
れ、かつ作動流体が流出入されないチャンバ内壁と当該
チャンバ内に配されるダイヤフラム部内面との間にスプ
リングを配設すれば、前記スプリングによって与圧機構
体は常時一方の外側ブロック方向へ付勢されるため、一
方のチャンバに対してのみ前記作動流体の供給及び排出
を行うだけで与圧機構体を往復動させることができ、与
圧機構体の駆動制御が極めて簡単になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例に係るインジェクターの第
一チャンバからの流体吐出状態を示す縦断面図である。

【図２】同インジェクターの第二チャンバからの流体吐
出状態を示す縦断面図である。

【図３】同インジェクターに用いられる逆止弁を示す斜
視図である。

【図４】同インジェクターの一使用例を示す概略図であ
る。

【図５】同じく他の使用例を示す概略図である。

【図６】図５の使用例における効果を説明するためのグ
ラフ図である。

【図７】他の実施例におけるインジェクターの縦断面図
である。

【符号の説明】

１０ 第１外側ブロック １１ 流入口 １２ 流出口 １３ 第１外側流入部 １４ 第１外側流出部 ２０ 中間ブロック ２１ 接続流入部 ２２ 接続流出部 ３０ 第２外側ブロック ３１ 第２外側流入部 ３２ 第２外側流出部 ４０ 第１チャンバ ４０ａ 第１チャンバの内壁 ４１ 第１吸込部 ４２ 第１吐出部 ５０ 第２チャンバ ５０ａ 第２チャンバの内壁 ５１ 第２吸込部 ５２ 第２吐出部 ６０ 第１吸込用逆止弁ブロック ６１ 第１吸込用逆止弁 ６５ 第１吐出用逆止弁ブロック ６６ 第１吐出用逆止弁 ７０ 第２吸込用逆止弁ブロック ７１ 第２吸込用逆止弁 ７５ 第２吐出用逆止弁ブロック ７６ 第２吐出用逆止弁 ８０ 与圧機構体 ８１ 第１ダイヤフラム部 ８２ 第２ダイヤフラム部 ８３ 連結部 ９０ 作動流体流出入部 ９１ 第１作動流体流出入部 ９２ 第２作動流体流出入部 Ａ 作動流体 Ｆ 被圧送流体 Ｉ，Ｉｘ インジェクター Ｓ スプリング

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柴田 知子 愛知県名古屋市千種区上野３丁目11番８号 アドバンス電気工業株式会社内 Ｆターム(参考） 3H077 AA02 AA08 BB10 CC02 CC09 CC17 DD09 DD13 EE04 EE36 EE37 FF02 FF03 FF04 FF06 FF12 FF14 4F042 AA06 CB04 CB08

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一側に被圧送流体（Ｆ）の第１外側流入
   部（１３）及び他側に被圧送流体の第１外側流出部（１
   ４）を有する第１外側ブロック（１０）と、 前記第１外側ブロックの内側に配置され、前記第１外側
   流入部と連通する接続流入部（２１）及び前記第１外側
   流出部と連通する接続流出部（２２）を有する中間ブロ
   ック（２０）と、 前記中間ブロックの前記第１外側ブロックと反対側の外
   側に配置され、前記中間ブロックの接続流入部と連通す
   る第２外側流入部（３１）及び前記中間ブロックの接続
   流出部と連通する第２外側流出部（３２）を有する第２
   外側ブロック（３０）と、 前記第１外側ブロックと中間ブロックによって形成さ
   れ、前記第１外側流入部と連通する第１吸込部（４１）
   と、前記第１外側流出部と連通する第１吐出部（４２）
   を有する第１チャンバ（４０）と、 前記中間ブロックと第２外側ブロックによって形成さ
   れ、前記第２外側流入部と連通する第２吸込部（５１）
   と、前記第２外側流出部と連通する第２吐出部（５２）
   を有する第２チャンバ（５０）と、 前記第１外側流入部と前記第１吸込部の間に該第１吸込
   部方向に被圧送流体が流れるように介装された第１吸込
   用逆止弁（６１）と、 前記第１吐出部と前記第１外側流出部の間に該第１外側
   流出部方向に被圧送流体が流れるように介装された第１
   吐出用逆止弁（６６）と、 前記第２外側流入部と前記第２吸込部の間に該第２吸込
   部方向に被圧送流体が流れるように介装された第２吸込
   用逆止弁（７１）と、 前記第２吐出部と前記第２外側流出部の間に該第２外側
   流出部方向に被圧送流体が流れるように介装された第２
   吐出用逆止弁（７６）と、 前記第１チャンバの内壁に外周部が固定された第１ダイ
   ヤフラム部（８１）と前記第２チャンバの内壁に外周部
   が固定された第２ダイヤフラム部（８２）とが前記中間
   ブロックを貫通する連結部（８３）によって一体動自在
   に配置された与圧機構体（８０）と、 前記中間ブロックから前記第１チャンバまたは第２チャ
   ンバの少なくとも一方に開口され、前記与圧機構体を往
   復動させる作動流体（Ａ）を第１チャンバまたは第２チ
   ャンバの少なくとも一方に流出入する作動流体流出入部
   （９０）とを備えることを特徴とするインジェクター
   （Ｉ）。
2. 【請求項２】 請求項１において、前記第１外側流入部
   及び第１吸込用逆止弁を含む第１吸込用逆止弁ブロック
   （６０）と、前記第１外側流出部及び第１吐出用逆止弁
   を含む第１吐出用逆止弁ブロック（６５）とが第１外側
   ブロック内にそれぞれ組み付けられているとともに、前
   記第２外側流入部及び第２吸込用逆止弁を含む第２吸込
   用逆止弁ブロック（７０）と、前記第２外側流出部及び
   第２吐出用逆止弁を含む第２吐出用逆止弁ブロック（７
   ５）とが第２外側ブロック内にそれぞれ組み付けられて
   いるインジェクター。
3. 【請求項３】 請求項１または２において、前記与圧機
   構体を往復動させる作動流体の第１チャンバまたは第２
   チャンバへの供給及び該チャンバからの作動流体の排出
   が、外部の切り替え手段により所定の切り替え周期で切
   り替えられるとともに、前記切り替え周期が任意に変更
   できるように構成されているインジェクター。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３の何れかにおいて、前
   記中間ブロックが、与圧機構体の作動状態が外部から視
   認できるように、透明体あるいは半透明体より形成され
   ているインジェクター。
5. 【請求項５】 請求項４において、前記中間ブロックの
   接続流入部及び接続流出部が、当該中間ブロック内に埋
   設された管部材で構成されているインジェクター。
6. 【請求項６】 請求項１ないし５の何れかにおいて、前
   記第１チャンバまたは第２チャンバの一方にのみ与圧機
   構体を往復動させる作動流体が流出入され、かつ作動流
   体が流出入されないチャンバ内壁と当該チャンバ内に配
   されるダイヤフラム部内面との間にスプリング（Ｓ）が
   配設されているインジェクター。