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JP2001112215A - 減速機一体型アクチュエータ - Google Patents

減速機一体型アクチュエータ

Info

Publication number
JP2001112215A
JP2001112215A JP28440099A JP28440099A JP2001112215A JP 2001112215 A JP2001112215 A JP 2001112215A JP 28440099 A JP28440099 A JP 28440099A JP 28440099 A JP28440099 A JP 28440099A JP 2001112215 A JP2001112215 A JP 2001112215A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotating
actuator
fixed
position detector
shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP28440099A
Other languages
English (en)
Inventor
Masashi Tamai
真史 玉井
Tadahiro Miyamoto
恭祐 宮本
Mayumi Umetsu
真弓 梅津
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yaskawa Electric Corp filed Critical Yaskawa Electric Corp
Priority to JP28440099A priority Critical patent/JP2001112215A/ja
Priority to TW089120684A priority patent/TW486850B/zh
Priority to KR1020027004410A priority patent/KR100680152B1/ko
Priority to US10/089,062 priority patent/US6701803B1/en
Priority to PCT/JP2000/006966 priority patent/WO2001026203A1/ja
Priority to EP00964702A priority patent/EP1221755A4/en
Priority to CNB008157782A priority patent/CN1182642C/zh
Publication of JP2001112215A publication Critical patent/JP2001112215A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K7/00Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
    • H02K7/10Structural association with clutches, brakes, gears, pulleys or mechanical starters
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H49/00Other gearings
    • F16H49/001Wave gearings, e.g. harmonic drive transmissions
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K7/00Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
    • H02K7/10Structural association with clutches, brakes, gears, pulleys or mechanical starters
    • H02K7/116Structural association with clutches, brakes, gears, pulleys or mechanical starters with gears
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00Machine element or mechanism
    • Y10T74/19Gearing

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
  • Retarders (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】アクチュエータの軸方向長さを短縮でき、小型
・軽量化に相反せずに駆動トルクを増大できる、安価な
減速機一体型アクチュエータを提供する。 【解決手段】ハーモニック減速機14と電動機7と回転
位置検出器26とを備えた減速機一体型アクチュエータ
において、回転子11をカップ状の回転ヨーク12で構
成すると共に、永久磁石13を回転ヨーク12の外周に
固着してあり、サーキュラスプライン15はシルクハッ
ト状に形成され、フランジ部15aをアクチュエータフ
レーム2の一方の端部に固定し、円筒部15bを回転ヨ
ーク12の内周と空隙を介して対向配置してある。出力
軸5と回転軸6間に、フレクスプライン16の内周側に
出力軸5と連結したカップ状のハウジング18を設け、
回転軸6を支持する軸受21との間に予圧を与える弾性
部材25を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばロボットや
工作機械などに用いられると共に、電動機とハーモニッ
ク減速機とを一体化して構成される減速機一体型アクチ
ュエータに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ロボットや工作機械などに用いら
れ、ハーモニック減速機と電動機とを一体化したアクチ
ュエータは、図3のようになっている。図3は従来の減
速機一体型アクチュエータの側断面図である。図におい
て、30はアクチュエータ、31aは負荷側ブラケッ
ト、31b、31c、31dはアクチュエータフレー
ム、31eは反負荷側ブラケット、32は出力軸、33
は回転軸、34は電動機、35は固定子、36は固定子
鉄心、37は電機子巻線、38は回転子、39はヨー
ク、40は永久磁石、41はハーモニック減速機、42
はサーキュラスプライン、43はフレクスプライン、4
4はウェーブジェネレータ、45、46、47、48お
よび49は軸受、50および51は弾性部材、52は回
転位置検出器、53は回転ディスク、54は固定スリッ
ト、55は発光素子、56は受光素子、L0はアクチュ
エータ30の軸方向長さを示す。このような減速機一体
型のアクチュエータ30は、負荷側から反負荷側に向か
って、ハーモニック減速機41、電動機34、回転位置
検出器52の順に軸方向に直列に連結した構造となって
いる。また、これらの装置はそれぞれ中空円筒状のアク
チュエータフレーム31b、31c、31dの内側に固
定されており、両端部は負荷側ブラケット31aと、反
負荷側ブラケット31eにより覆われている。このう
ち、ハーモニック減速機41は、アクチュエータフレー
ム31bの内周に固定されると共に、環状で内歯を有す
るサーキュラスプライン42と、サーキュラスプライン
42の内側に装着され、かつ、出力軸32に連結される
と共に、カップ形状で、外歯を有した可撓性のあるフレ
クスプライン43と、フレクスプライン43の内側に軸
受47を介して装着され、かつ、回転軸33に連結され
ると共に、楕円形状をしたウェーブジェネレータ44か
ら構成されている。なお、軸受45、46は、出力軸3
2を支持すると共に、弾性部材50により予圧が与えら
れている。そして、軸受48、49は、回転軸33を支
持すると共に、弾性部材51により予圧が与えられてい
る。また、電動機34は、回転軸33に嵌合されたヨー
ク39と、磁極となる永久磁石40とよりなる回転子3
8を備えると共に、回転子38の外周側と空隙を介して
対向させて設けた固定子鉄心36と、固定子鉄心36に
回転磁界を発生させる電機子巻線37とを備えた固定子
35から構成されている。さらに、回転位置検出部52
は、回転軸33に固定した回転部となる回転ディスク5
3と、この回転部に対向する回転位置検出器の固定部と
なる固定スリット54と、発光素子55と、受光素子5
6とからなる光学式エンコーダで構成されている。発光
素子55からの光が回転ディスク53に投光されると、
固定スリット54を介して、受光素子56が受光・不受
光を繰り返し、受光・不受光をオン・オフの電気信号と
して検出する。この後、図示しない演算回路により回転
子の角度を演算するようになっている。次に、動作を説
明する。固定子35の電機子巻線37に図示しない駆動
回路より通電すると、回転子38の永久磁石40に駆動
トルクが発生し、その駆動トルクにより回転子38が高
速回転する。次に、回転子の回転軸33と結合されたウ
ェーブジェネレータ44が回転することにより、フレク
スプライン43が軸受47を介して楕円形状に撓めら
れ、ウェーブジェネレータ44における楕円の長軸方向
の両端位置でサーキュラスプライン42と噛み合う。こ
の時、フレクスプライン43とサーキュラスプライン4
2との間に相対回転が発生し、フレクスプライン43か
ら大幅に減速された回転力が出力軸32に伝達されて出
力される。
【0003】
【発明が解決しようとする問題】ところが、従来技術で
は、ハーモニック減速機、電動機および回転位置検出部
を直列に並べて連結していることから、特にハーモニッ
ク減速機と電動機の間、電動機と回転位置検出器の間を
結合した際の軸方向長さが長くなると共に、軸方向に配
置した回転位置検出器のスペースが大きくなり、アクチ
ュエータの小型・軽量化を図る上で問題となっていた。
また、ハーモニック減速機、電動機および回転位置検出
部は三つのアクチェエータフレームにそれぞれ固定され
ているため、部品点数が多く、組立工数も増えることか
らコストが高くなるという問題があった。さらに、アク
チュエータの小型・軽量化を図る要求と別に、アクチュ
エータのトルク性能を向上させる要求が有り、これには
回転子の永久磁石を取り付けた位置における外径を大き
くし、回転子の駆動トルクを増大させる必要がある。し
かしながら、従来技術の構造では、回転子の外径を大き
くすると、固定子およびアクチュエータフレームの外径
も大きくなるので、電動機全体として体積・重量が大き
くなり、アクチュエータの小型・軽量化と高トルク化は
相反するという問題があった。そこで、本発明は、アク
チュエータの軸方向長さを短縮できると共に、小型・軽
量化に相反することなく駆動トルクを増大することがで
きる、安価な減速機一体型アクチュエータを提供するこ
とを目的とする。
【0004】
【課題を解決しようとする手段】上記問題を解決するた
め、本発明は以下のような構成にしたものである。請求
項1の本発明は、中空円筒状のアクチュエータフレーム
と、前記アクチュエータフレームに固定され、かつ、内
周に内歯を有するサーキュラスプラインと、前記サーキ
ュラスプラインの内歯と歯合する外歯を有し、かつ、端
面にアクチュエータの出力軸を連結した円筒状のフレク
スプラインと、前記フレクスプラインの内周に装着され
た楕円状のウェーブジェネレータと、前記ウェーブジェ
ネレータを回転駆動する回転軸と、永久磁石よりなる磁
極を備えた回転子と前記回転子の外周側と空隙を介して
対向させた固定子鉄心に回転磁界を発生させる電機子巻
線を備えた固定子よりなる電動機と、前記回転軸に固定
した回転位置検出器の回転部と、この回転位置検出器の
回転部に対向する回転位置検出器の固定部を備えた減速
機一体型アクチュエータにおいて、前記回転子は、中心
に前記回転軸を貫通するように一体に設けられたカップ
状の回転ヨークを構成すると共に、前記永久磁石を前記
回転ヨークの外周に固着してあり、前記サーキュラスプ
ラインは、シルクハット状に形成されると共に、フラン
ジ部を前記アクチュエータフレームの一方の端部に固定
し、円筒部を前記回転ヨークの内周と空隙を介して対向
するように配置してあり、前記出力軸と前記回転軸との
間には、前記フレクスプラインの内周側に前記出力軸と
連結したカップ状のハウジングと、前記ハウジングの内
部に嵌合され前記回転軸を支持する軸受と、前記ハウジ
ングと前記軸受との軸方向の空隙部に設けられ、前記軸
受に予圧を与える弾性部材とを備えている。また、請求
項2の本発明は、請求項1記載の減速機一体型アクチュ
エータにおいて、前記回転位置検出器の回転部は、前記
回転軸と垂直な一方向に磁化された円板状の角度検出用
マグネットで構成され、前記回転位置検出器の固定部
は、前記回転位置検出器の回転部の外周側に設けた固定
リングと、この固定リングの周方向に少なくとも2個取
り付けた磁気センサとより構成されている。また、請求
項3の本発明は、中空円筒状のアクチュエータフレーム
と、前記アクチュエータフレームに固定され、かつ、内
周に内歯を有するサーキュラスプラインと、前記サーキ
ュラスプラインの内歯と歯合する外歯を有し、かつ、端
面にアクチュエータの出力軸を連結した円筒状のフレク
スプラインと、前記フレクスプラインの内周に装着され
た楕円状のウェーブジェネレータと、前記ウェーブジェ
ネレータを回転駆動する回転軸と、永久磁石よりなる磁
極を備えた回転子と前記回転子の内周側と空隙を介して
対向させた固定子鉄心に回転磁界を発生させる電機子巻
線を備えた固定子よりなる電動機と、前記回転軸に固定
した回転位置検出器の回転部と、この回転位置検出器の
回転部に対向する回転位置検出器の固定部を備えた減速
機一体型アクチュエータにおいて、前記回転子は、中心
に前記回転軸を貫通するように一体に設けられたカップ
状の回転ヨークを構成すると共に、前記永久磁石を前記
回転ヨークの内周に固着してあり、前記サーキュラスプ
ラインは、シルクハット状に形成されると共に、フラン
ジ部を前記アクチュエータフレームの一方の端部に固定
し、円筒部を前記固定子の内周側と固着するように配置
してあり、前記出力軸と前記回転軸との間には、前記フ
レクスプラインの内周側に前記出力軸と連結したカップ
状のハウジングと、前記ハウジングの内部に嵌合され前
記回転軸を支持する軸受と、前記ハウジングと前記軸受
との軸方向の空隙部に設けられ、前記軸受に予圧を与え
る弾性部材とを備えている。さらに、請求項4の本発明
は、請求項3記載の減速機一体型アクチュエータにおい
て、前記回転位置検出器の回転部は、前記回転軸と垂直
な一方向に磁化された円板状の角度検出用マグネットで
構成され、前記回転位置検出器の固定部は、前記回転位
置検出器の回転部の外周側に設けた固定リングと、この
固定リングの周方向に少なくとも2個取り付けた磁気セ
ンサとより構成されている。
【0005】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図1は、本発明の第1の実施例を示す減
速機一体型アクチュエータの側断面図である。図におい
て、1はアクチュエータ、2はアクチュエータフレー
ム、3は負荷側ブラケット、4は反負荷側ブラケット、
5は出力軸、6は回転軸、7は電動機、8は固定子、9
は固定子鉄心、10は電機子巻線、11は回転子、12
は回転ヨーク、13は永久磁石、14はハーモニック減
速機、15はサーキュラスプライン、16はフレクスプ
ライン、17はウェーブジェネレータ、18はハウジン
グ、19、20、21、22および23は軸受、24お
よび25は弾性部材、26は回転位置検出器、27は角
度検出マグネット、28は固定リング、29は磁気セン
サ、L1はアクチュエータ1の軸方向長さである。本発
明におけるアクチュエータの基本構成、つまりハーモニ
ック減速機14、電動機7、回転位置検出器26を備え
た構成、および負荷側に配置された出力軸5を軸受1
9、20により支持し、弾性部材24により予圧を与え
るようにした構成は、従来技術と同じであるが、本発明
は、次の4つの点で異なっている。すなわち、(1)回
転子11を、中心に回転軸6を貫通するように設けたカ
ップ状の回転ヨーク12を一体に構成し、永久磁石13
を回転ヨーク12の外周に固着した点、(2)サーキュ
ラスプライン15をシルクハット状に形成すると共に、
サーキュラスプライン15のフランジ部15aをアクチ
ュエータフレーム2の一方の端部に固定し、また、サー
キュラスプライン15の円筒部15bを回転ヨーク12
の内周と空隙を介して対向するように配置した点、
(3)出力軸5と回転軸6との間において、フレクスプ
ライン16の内周側に出力軸5と連結したカップ状のハ
ウジング18を設けると共に、ハウジング18の内部に
回転軸6を支持する軸受21を回転軸6に嵌合し、ハウ
ジング18と軸受21との軸方向の空隙部には軸受21
に予圧を与える弾性部材25とを挿設した点、(4)回
転位置検出器26の回転部として、回転軸6と垂直な一
方向に磁化された円板状の角度検出用マグネット27を
設けると共に、角度検出用マグネット27の外周側に、
回転位置検出器26の固定部として固定リング28を設
け、この固定リング28の周方向に磁気センサ29を少
なくとも2個設けて、すなわち回転位置検出器を磁気式
エンコーダで構成した点、である。ここで、回転位置検
出器26の磁気センサ29は、ホール効果素子を用いた
ものである。このような構成において、電動機7とハー
モニック減速機14とが、同一のアクチュエータフレー
ム1の内周に設けてあるため、従来、ハーモニック減速
機と電動機とを軸方向に直列に並べて接続するのに必要
であった各々のスペースが一つのスペースで足りること
になる。また、回転位置検出器を、従来の回転部と固定
部を軸方向に配置したものに替えて、径方向に配置した
ことでそれを収納するスペースが小さくなることから、
アクチュエータ全体の軸方向長さを短縮できる。これに
より、図1におけるアクチュエータの軸方向長さL
1は、図3に示した従来のアクチュエータの軸方向長さ
0と比較すると、約40%程度短くなっており、大き
く小型化されている。次に、動作を説明する。固定子8
の電機子巻線10に図示しない駆動回路より通電する
と、回転子11の永久磁石13に駆動トルクが発生し、
その駆動トルクにより回転子11が高速回転する。次
に、回転子の回転軸6と結合されたウェーブジェネレー
タ17が回転することにより、フレクスプライン16が
軸受22を介して楕円形状に撓められ、ウェーブジェネ
レータ17における楕円の長軸方向の両端位置でサーキ
ュラスプライン15と噛み合う。この時、フレクスプラ
イン16とサーキュラスプライン15との間に相対回転
が発生し、フレクスプライン16から大幅に減速された
回転力が出力軸5に伝達されて出力される。この時、回
転軸6に取り付けた角度検出用マグネット27に対向す
る磁気センサ29が、回転する角度検出用マグネット2
7の磁極位置を電気信号として検出するので、その電気
信号から図示しない演算回路により回転軸の回転角度位
置が演算される。
【0006】次に本発明の第2の実施例を説明する。図
2は、第2の実施例を示す減速機一体型アクチュエータ
の側断面図である。なお、第2実施例は第1の実施例と
同じ構成要素であるため、同一符号を付している。ま
た、アクチュエータの出力軸と回転軸間に設けたハウジ
ング部、回転位置検出器の構成と効果については第1の
実施例と同じであるためその説明を省略する。第2の実
施例は、第1の実施例に対して次の2つの点で異なって
いる。すなわち、(1)回転子11をカップ状に形成さ
れた回転ヨーク12で構成し、永久磁石13を回転ヨー
ク12の内周に固着すると共に、永久磁石13と空隙を
介しその内側に固定子8を配置にした点(アウターロー
タ方式)、(2)サーキュラスプライン15をシルクハ
ット状に形成すると共に、フランジ部15aをアクチュ
エータフレーム1の一方の端部に固定し、円筒部15b
を固定子8の内周側と固着するように配置した点、であ
る。このような構成において、第1の実施例と同様に電
動機7とハーモニック減速機14とが、同一のアクチュ
エータフレーム1の内周に設けてあることから、アクチ
ュエータ全体の軸方向長さを短縮できる。これにより、
図2におけるアクチュエータの軸方向長さL2は、図3
に示した従来のアクチュエータの軸方向長さL0と比較
すると、約40%程度短くなっており、大きく小型化さ
れている。なお、第2の実施例の動作については、第1
実施例と同じであるため説明を省略する。したがって、
第1および第2実施例は、回転子を構成する回転ヨーク
をカップ状にし、カップ状の回転ヨークの内周側と回転
軸との間に形成される空間部を利用してハーモニック減
速機を配置すると共に、固定子と回転子よりなる電動機
をハーモニック減速機の外周側に設ける構成にしたの
で、ハーモニック減速機および電動機の軸方向長さが、
径方向に対してほぼ同心円状に重なって配置される。そ
して、従来、ハーモニック減速機と電動機とを軸方向に
直列に接続するのに必要であった各々のスペースが不要
となると共に、これらの二つの装置を収納するスペース
が一つのスペースで共有できることになり、電動機とハ
ーモニック減速機を同一のアクチュエータフレームの内
周に設けることができる。さらに回転位置検出器を径方
向に設ける構成にすることで、アクチュエータ全体の軸
方向長さを短縮できる。これにより、小型・軽量のアク
チュエータを提供することができる。また、その結果、
本実施例によるアクチュエータは、従来、アクチュエー
タフレームを三つの部品で構成していたアクチュエータ
と比較すると、部品点数を一つに削減できることから、
組立工数の削減につながると共に、安価なアクチュエー
タを提供することができる。さらに、回転子の回転ヨー
クは、外径が大きく中空部を有したカップ形状であるこ
とから回転子の重量を小さくし軽量化できるため、アク
チュエータを軸方向に小型化し、かつ、高トルクが要求
される場合であっても、小型化・軽量化に相反すること
なく駆動トルクを増大させることができる。なお、各実
施例では、固定子側に電機子巻線を設け、回転子側に永
久磁石を設けた構成の磁気回路を有する電動機の例で説
明したが、本実施例の形態に限定されることなく、固定
子側あるいは回転子側の少なくとも何れかを他の磁気回
路で構成しても良い。また、軸受間に予圧を与える弾性
部材は、例えば板バネ、コイルバネを用いて良く、これ
に代わるものであれば限定されることはない。また、回
転位置検出器の磁気センサは、ホール効果素子に代え
て、磁気抵抗素子を用いたものあるいは磁気インピーダ
ンス効果を利用したアモルファスワイヤを用いたもので
も構わない。
【0007】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば以下
の効果がある。 (1)各実施例とも、回転子を構成するカップ状の回転
ヨークの内周側と回転軸との間に形成される空間部を利
用してハーモニック減速機を配置すると共に、固定子と
回転子よりなる電動機をハーモニック減速機の外周側に
設ける配置構成にしたため、従来、ハーモニック減速機
と電動機とを軸方向に直列に接続するのに必要であった
各々のスペースが不要となってそれらを収納する一つの
スペースで足りることになり、電動機とハーモニック減
速機を同一のアクチュエータフレームの内周に設けるこ
とができる。さらに回転位置検出器を径方向に設ける構
成にすることで、アクチュエータ全体の軸方向長さを短
縮できる。これにより、小型・軽量のアクチュエータを
提供することができる。 (2)本実施例によるアクチュエータは、アクチュエー
タフレームを三つの部品で構成していた従来のアクチュ
エータと比較して、部品点数は一つで良いので、大きく
組立工数を削減することができ、安価なアクチュエータ
を提供することができる。 (3)回転子の回転ヨークを、外径を大きくした中空部
を有するカップ形状としたため、回転子重量を小さくし
て軽量化できると共に、アクチュエータを軸方向に小型
化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す減速機一体型アク
チュエータの側断面図である。
【図2】本発明の第2の実施例を示す減速機一体型アク
チュエータ側断面図である。
【図3】従来の減速機一体型アクチュエータを示す側断
面図である。
【符号の説明】
1 アクチュエータ 2 アクチュエータフレーム 3 負荷側ブラケット 4 反負荷側ブラケット 5 出力軸 6 回転軸 7 電動機 8 固定子 9 固定子鉄心 10 電機子巻線 11 回転子 12 回転ヨーク 13 永久磁石 14 ハーモニック減速機 15 サーキュラスプライン 16 フレクスプライン 17 ウェーブジェネレータ 18 ハウジング 19、20、21、22、23 軸受 24、25 弾性部材 26 回転位置検出器 27 角度検出マグネット(回転部) 28 固定リング(固定部) 29 磁気センサ(固定部)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3J027 FA17 FA36 GB03 GC03 GC22 GD03 GD08 GD12 GE25 GE29 GE30 5H607 AA12 BB01 BB14 BB17 CC01 CC03 DD01 DD02 DD03 EE35 EE36 GG08 GG29 HH01 HH09

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】中空円筒状のアクチュエータフレームと、
    前記アクチュエータフレームに固定され、かつ、内周に
    内歯を有するサーキュラスプラインと、前記サーキュラ
    スプラインの内歯と歯合する外歯を有し、かつ、端面に
    アクチュエータの出力軸を連結した円筒状のフレクスプ
    ラインと、前記フレクスプラインの内周に装着された楕
    円状のウェーブジェネレータと、前記ウェーブジェネレ
    ータを回転駆動する回転軸と、永久磁石よりなる磁極を
    備えた回転子と前記回転子の外周側と空隙を介して対向
    させた固定子鉄心に回転磁界を発生させる電機子巻線を
    備えた固定子よりなる電動機と、前記回転軸に固定した
    回転位置検出器の回転部と、この回転位置検出器の回転
    部に対向する回転位置検出器の固定部を備えた減速機一
    体型アクチュエータにおいて、 前記回転子は、中心に前記回転軸を貫通するように一体
    に設けられたカップ状の回転ヨークを構成すると共に、
    前記永久磁石を前記回転ヨークの外周に固着してあり、 前記サーキュラスプラインは、シルクハット状に形成さ
    れると共に、フランジ部を前記アクチュエータフレーム
    の一方の端部に固定し、円筒部を前記回転ヨークの内周
    と空隙を介して対向するように配置してあり、 前記出力軸と前記回転軸との間には、前記フレクスプラ
    インの内周側に前記出力軸と連結したカップ状のハウジ
    ングと、前記ハウジングの内部に嵌合され前記回転軸を
    支持する軸受と、前記ハウジングと前記軸受との軸方向
    の空隙部に設けられ、前記軸受に予圧を与える弾性部材
    とを備えたことを特徴とする減速機一体型アクチュエー
    タ。
  2. 【請求項2】前記回転位置検出器の回転部は、前記回転
    軸と垂直な一方向に磁化された円板状の角度検出用マグ
    ネットで構成され、 前記回転位置検出器の固定部は、前記回転位置検出器の
    回転部の外周側に設けた固定リングと、この固定リング
    の周方向に少なくとも2個取り付けた磁気センサとより
    構成された請求項1記載の減速機一体型アクチュエー
    タ。
  3. 【請求項3】中空円筒状のアクチュエータフレームと、
    前記アクチュエータフレームに固定され、かつ、内周に
    内歯を有するサーキュラスプラインと、前記サーキュラ
    スプラインの内歯と歯合する外歯を有し、かつ、端面に
    アクチュエータの出力軸を連結した円筒状のフレクスプ
    ラインと、前記フレクスプラインの内周に装着された楕
    円状のウェーブジェネレータと、前記ウェーブジェネレ
    ータを回転駆動する回転軸と、永久磁石よりなる磁極を
    備えた回転子と前記回転子の内周側と空隙を介して対向
    させた固定子鉄心に回転磁界を発生させる電機子巻線を
    備えた固定子よりなる電動機と、前記回転軸に固定した
    回転位置検出器の回転部と、この回転位置検出器の回転
    部に対向する回転位置検出器の固定部を備えた減速機一
    体型アクチュエータにおいて、 前記回転子は、中心に前記回転軸を貫通するように一体
    に設けられたカップ状の回転ヨークを構成すると共に、
    前記永久磁石を前記回転ヨークの内周に固着してあり、 前記サーキュラスプラインは、シルクハット状に形成さ
    れると共に、フランジ部を前記アクチュエータフレーム
    の一方の端部に固定し、円筒部を前記固定子の内周側と
    固着するように配置してあり、 前記出力軸と前記回転軸との間には、前記フレクスプラ
    インの内周側に前記出力軸と連結したカップ状のハウジ
    ングと、前記ハウジングの内部に嵌合され前記回転軸を
    支持する軸受と、前記ハウジングと前記軸受との軸方向
    の空隙部に設けられ、前記軸受に予圧を与える弾性部材
    とを備えたことを特徴とする減速機一体型アクチュエー
    タ。
  4. 【請求項4】前記回転位置検出器の回転部は、前記回転
    軸と垂直な一方向に磁化された円板状の角度検出用マグ
    ネットで構成され、 前記回転位置検出器の固定部は、前記回転位置検出器の
    回転部の外周側に設けた固定リングと、この固定リング
    の周方向に少なくとも2個取り付けた磁気センサとより
    構成された請求項3記載の減速機一体型アクチュエー
    タ。
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