JP2001166704A - 表示装置 - Google Patents
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Abstract
成された表示装置に関し、表示装置の製造工程において
発生した断線や層間短絡などの欠陥を容易に修復して良
品化することができる表示装置を提供することを目的と
する。 【解決手段】グループ5−1〜5−mに分割された複数
のドレインバスライン220が表示領域(a)内に形成
されている。グループ5毎にn本形成され、バスライン
220と表示領域(a)外で絶縁膜を介して交差する第
1のリペア配線6Rと、表示領域(a)について第1の
リペア配線6Rの反対側にグループ毎にn本形成され、
バスライン220と表示領域(a)外で絶縁膜を介して
交差する第2のリペア配線7Rと、第2のリペア配線7
R全て(m×n本)と絶縁膜を介して交差する2×n本
の第3のリペア配線8Rとを有するように構成する。
Description
が表示領域内に形成された表示装置に関し、特に、表示
装置の製造工程において発生した断線や層間短絡などの
欠陥を修復(リペア)可能な表示装置に関する。
装置の構成の一例を示している。液晶パネルは、TFT
(薄膜トランジスタ)等が形成されたTFT基板200
とカラーフィルタ(CF)等が形成されたCF基板20
2の2枚のガラス基板を対向させてその間に液晶204
を封止して貼り合わせた構造を有している。
子の等価回路を示している。TFT基板200上には、
図中左右に延びるゲートバスライン218が平行に複数
形成され、それらに交差して図中上下に延びるドレイン
バスライン220が平行に複数形成されている。複数の
ゲートバスライン218とドレインバスライン220と
で囲まれた各領域が画素領域となる。画素領域内にはT
FT222と透明電極材料からなる表示電極224が形
成されている。各TFT222のドレイン電極は隣接す
るドレインバスライン220に接続され、ゲート電極は
隣接するゲートバスライン218に接続され、ソース電
極は表示電極224に接続されている。基板面に対して
表示電極224下方にはゲートバスライン218と平行
に蓄積容量バスライン226が形成されている。これら
のTFT222や各バスライン218、220、226
は、フォトリソグラフィ工程で形成され、「成膜→レジ
スト塗布→露光→現像→エッチング→レジスト剥離」と
いう一連の半導体プロセスを繰り返して形成される。
板202と対向配置されたTFT基板200には、複数
のゲートバスライン218を駆動するドライバICが実
装されたゲート駆動回路206と、複数のドレインバス
ライン220を駆動するドライバICが実装されたドレ
イン駆動回路208とが設けられている。これらの駆動
回路206、208は、制御回路216から出力された
所定の信号に基づいて、走査信号やデータ信号を所定の
ゲートバスライン218あるいはドレインバスライン2
20に出力するようになっている。TFT基板200の
素子形成面と反対側の基板面には偏光板212が配置さ
れ、偏光板212のTFT基板200と反対側の面には
バックライトユニット214が取り付けられている。一
方、CF基板202のCF形成面と反対側の面には、偏
光板212とクロスニコルに配置された偏光板210が
貼り付けられている。
ゲート電極上部にソース/ドレイン電極が形成された逆
スタガ型や、ソース/ドレイン電極上部にゲート電極が
形成されたスタガ型あるいはプレーナ型等がある。図6
は、代表的な逆スタガ型TFTを備えた画素領域の概略
構成を示している。図6(a)は、基板面に向かって見
た画素領域を表し、図6(b)は、図6(a)のA−A
線で切断したTFT断面を示している。また、図6
(c)は、図6(a)のB−B線で切断したゲートバス
ライン218(又は蓄積容量バスライン226)とドレ
インバスラインの交差領域の断面を示している。
トバスライン218とドレインバスライン220との交
差位置近傍に形成されている。TFT222のドレイン
電極230はドレインバスライン220から引き出さ
れ、その端部が、ゲートバスライン218上にアモルフ
ァスシリコン(a−Si)やポリシリコンで形成された
動作半導体層232と、その上に形成されたチャネル保
護膜242の一端辺側に位置するように形成されてい
る。
32及びチャネル保護膜242上の他端辺側に位置する
ように形成されている。このような構成においてチャネ
ル保護膜242直下のゲートバスライン218領域が当
該TFT222のゲート電極として機能するようになっ
ている。
スライン218上にはゲート絶縁膜240が形成され、
チャネルを構成する動作半導体層232はゲートバスラ
イン218直上のゲート絶縁膜240上に形成されてい
る。また、画素領域ほぼ中央を左右に延びる補助容量バ
スライン226が形成されている。補助容量バスライン
226の上層には絶縁膜240を介して画素毎に蓄積容
量電極236が形成されている。ソース電極228およ
び蓄積容量電極236の上層には透明電極からなる画素
電極224が形成されている。画素電極224は、その
下方に形成した保護膜244に設けられたコンタクトホ
ール234を介してソース電極228と電気的に接続さ
れている。また画素電極224は、コンタクトホール2
38を介して蓄積容量電極236と電気的に接続されて
いる。
るが、例えばスタガ型やプレーナ型では最下層にドレイ
ン電極があり、ゲート電極はその上部にあるという逆の
構造になっている。いずれの構造にせよここで留意すべ
きは各メタル層が絶縁膜を介して積層されて交差してい
る点である。
た場合の従来のリペア方法を示している。図7(a)
は、基板面に向かって見た画素領域を表し、図7(b)
は、図7(a)のA−A線で切断した断面を示してい
る。また、図8は、TFT基板200に形成されたリペ
ア配線を示している。ここで、図4乃至図6を用いて説
明した構成要素と同一の機能作用を有するものには同一
の符号を付してその説明は省略する。
ン226とドレインバスライン220とがゲート絶縁膜
240を貫通して層間短絡290を生じている状態を示
している。層間短絡290があると当該ドレインバスラ
イン220に所定の電圧が印加されなくなるため線状の
表示欠陥が発生する。この表示欠陥を修復するためにレ
ーザを用いたリペアが行われる。
レイン電極230と層間短絡290との間の切断位置3
00のドレインバスライン220をレーザ光の照射によ
り切断する。第2に、層間短絡290と次の画素のドレ
イン電極230との間の切断位置301のドレインバス
ライン220をレーザ光の照射により切断する。これに
より層間短絡290の短絡箇所を孤立させる。
200上にリペア用に設けられている予備配線(リペア
配線)302、303を用いて、切断されたドレインバ
スライン220にドレイン駆動回路208からの所定の
電圧が印加されるようにする。
間隔に形成された複数のドレインバスライン220は引
き出し配線部(b)で収束し、端子部(c)においてT
AB(Tape Automated Bondin
g)実装によりドライバICがFPC(Flexibl
e Printed Circuit)に搭載されたT
CP(Tape Carrier Package)に
接続されている。
レイン駆動回路208側端部で複数のドレインバスライ
ン220と絶縁膜を介して交差するように形成され、複
数のドレインバスライン220と共に引き出し配線部
(b)を通って端子部(c)においてTCPに接続され
ている。リペア配線302はゲートバスライン218形
成用メタルを用いて形成され、通常は絶縁膜240によ
りドレインバスライン220と絶縁されている。
290による欠陥が発生したら、当該ドレインバスライ
ン220とリペア配線302との交差領域304にレー
ザ光を照射して両配線メタルを溶融して接続し導通をと
る。
通ってゲート駆動回路206側から駆動回路の非実装側
のリペア配線303と接続されている。駆動回路の非実
装側のリペア配線303もゲートバスライン218形成
用メタルを用いて形成され、絶縁膜240を介して複数
のドレインバスライン220に交差して形成されてい
る。リペア時には、層間短絡290を生じているドレイ
ンバスライン220とリペア配線302との交差領域3
04にレーザ光を照射すると共に、当該ドレインバスラ
イン220とリペア配線303との交差領域305にも
レーザ光を照射することで両者を溶融して接続し導通を
とる。このようにして、層間短絡290の短絡個所を切
断したドレインバスライン220に対してドレイン駆動
回路208の反対側からも所定の電圧を印加して線状の
表示欠陥の発生を防止するリペアが行われる。
1〜Rnを有する従来の液晶表示装置におけるリペア配
線R1〜Rnの配置関係の一例を示す模式図である。T
FT基板200上には複数本のゲートバスライン(図示
せず)が相互に平行に配置されており、ゲートバスライ
ンに直交してドレインバスライン220が絶縁膜を介し
て配置されている。ドレインバスライン220は、TA
B接続されるグループ毎に束ねられてm個のグループ5
−1〜5−mに分割されている。
(b)には、n(=2×m)本の第1のリペア配線6R
1〜6Rnが絶縁膜を介してドレインバスライン220
と直交するように配置されている。例えばグループ5−
1では、表示領域(a)の外側の引き出し配線部(b)
でほぼ平行に並んだ2本の第1のリペア配線6R1、6
R2が絶縁膜を介してドレインバスライン220と直交
するように配置されている。同様にして、各グループ5
−1〜5−mのそれぞれにおいて、2本の第1のリペア
配線6R(2i−1)、6R2i(iは整数、1≦i≦
m)が絶縁膜を介してドレインバスライン220と直交
するように配置されている。
線部(b)と反対側のリペア部(d)には、n(=2×
m)本の第2のリペア配線7R1〜7Rnが絶縁膜を介
してドレインバスライン220と直交するように配置さ
れている。第2のリペア配線7R1〜7Rnは、2本毎
にグループ5−1〜5−mのいずれかのドレインバスラ
イン220と直交するように配置されている。
ア配線R1〜Rnを有する従来の液晶表示装置における
リペア配線R1〜Rnの他の配置関係を示している。図
9に示した従来例と異なるのは第1に、各グループ5−
1〜5−mの引き出し配線部(b)にそれぞれ2本形成
された第1のリペア配線6R(例えば、グループ5−1
の6R1と6R2)は、ドレインバスライン220と直
交する一直線上に配置され、各グループ5−1〜5−m
のほぼ中央で2本の第1のリペア配線6R端部同士が向
き合うように、各グループ5−1〜5−mの中央で切断
されて分離されていることにある。
部(d)にそれぞれ2本形成された第2のリペア配線7
R1〜7Rn(n=2×m)も、ドレインバスライン2
20と直交する一直線上に配置され、各グループ5−1
〜5−mのほぼ中央で2本の第2のリペア配線端部同士
が向き合うように、各グループ5−1〜5−mの中央で
切断されて分離されている。
は図9に示した従来例のようにTFT基板200端の端
子部まで達しておらず、絶縁膜を介してリペア部(d)
に配置された第3のリペア配線8R1〜8Rm(m=n
/2)と直交して配置されている点が異なっている。第
3のリペア配線8R1〜8Rmは、1本毎にグループ5
−1〜5−mのいずれかの2本の第2のリペア配線7R
1〜7Rnと直交するように配置されている。
ア配線R1〜Rnを有する従来の液晶表示装置における
リペア配線R1〜Rnのさらに他の配置関係を示す模式
図である。第1のリペア配線6R1〜6Rnは図9に示
す従来例と同一で、第2のリペア配線7R1〜7Rn及
び第3のリペア配線8R1〜8Rnが図10に示す従来
例と同一の構造になっている。但し、第2のリペア配線
7R1〜7Rnは中央部で分離されておらず、第1のリ
ペア配線6R1〜6Rnと同様に、グループ5−1〜5
−mのそれぞれの一端から他端まで貫通している。
ア構造によれば、グループ5−1〜5−m毎に2本のリ
ペアが可能である。例えば現状よく用いられるグループ
数としてm=8の場合、第2のリペア配線7R1〜7R
nの本数はn=2×m=16本となる。ところが、これ
だけ多数のリペア配線を形成するにはリペア部(d)の
パターン面積の増大が避けられず、パネルの狭額緑化が
要求されている現状において好ましくない。
Rn全てをリペア部(d)端部まで貫通させれば、第2
のリペア配線7R1〜7Rnの合計本数を減らしてリペ
ア部(d)の面積を減らすことが可能になるが、こうす
ると第2のリペア配線7R1〜7Rnとドレインバスラ
イン220との交差部が増加して付加容量の増加による
ドレイン駆動回路208にかかる負荷が増大してしまう
点や表示品質の劣化の原因になることから実現は困難で
ある。
来例の欠点である付加容量の増加を抑えるために、図9
における第2のリペア配線7R1〜7Rnを、別の第2
のリペア配線7R1〜Rnと第3のリペア配線8R1〜
8Rmに分割しているが、グループ5−1〜5−mのそ
れぞれに対して1本のリペアを可能にしようとすると、
第3のリペア配線8の数はグループ数m分必要となり、
やはりリペア部(d)のパターン面積が増大してしま
う。
例の欠点であるリペア可能数を改善したものであり、グ
ループ5−1〜5−mのうち隣り合う2グループ同士で
2本までのリペアが可能となっている。グループ数mを
m=8とすると、合計のリペア可能本数は図10に示し
た表示装置と同じ8本であるが、一部制約はあるものの
1グループ内で2本までリペア可能となる。
構造にしても、同一グループ内に断線欠陥が集中した場
合には、それらを救済することは不可能である。なお、
ここでの断線には、バスラインの断線欠陥のみではな
く、ドレインバスラインとゲートバスラインの短絡及び
ドレインバスラインと蓄積容量バスラインの短絡等、層
間短絡のリペア処理でドレインバスの断線処理を伴うも
のも含まれる。
いて発生した断線や層間短絡などの欠陥を容易に修復し
て良品化することができる表示装置を提供することにあ
る。
ープに分割された複数のバスラインが表示領域内に形成
された表示装置において、前記グループ毎にn本形成さ
れ、前記バスラインと前記表示領域外で絶縁膜を介して
交差する第1のリペア配線と、前記表示領域について前
記第1のリペア配線の反対側に前記グループ毎にn本形
成され、前記バスラインと前記表示領域外で前記絶縁膜
を介して交差する第2のリペア配線と、前記第2のリペ
ア配線全て(m×n本)と前記絶縁膜を介して交差する
2×n本の第3のリペア配線とを有することを特徴とす
る表示装置によって達成される。
ープ毎に、前記第1のリペア配線と前記絶縁膜を介して
交差する2×2×n本の第4のリペア配線を有すること
を特徴とする。
装置を図1乃至図3を用いて説明する。まず、本実施の
形態による表示装置の概略の構成を図1を用いて説明す
る。なお、本実施の形態において、従来の技術で説明し
た図4乃至図11に示した構成と同一の機能作用を有す
る構成要素には同一の符号を付してその説明は省略す
る。
置のリペア配線の配置関係を示す模式図である。TFT
基板200上には複数本のゲートバスライン(図示せ
ず)が相互に平行に配置されており、ゲートバスライン
に直交してドレインバスライン220が絶縁膜を介して
配置されている。ドレインバスライン220は、TAB
接続されるグループ毎に束ねられてm個のグループ5−
1〜5−mに分割されている。
線部(b)には、グループ5−1〜5−m毎にn本配置
され、グループ5−1〜5−m全体でx本の第1のリペ
ア配線6R1〜6Rx(x=n×m)が配置されてい
る。図1では、第1のリペア配線6Rがグループ5−1
〜5−m毎に3本(n=3)配置されている場合を例示
しており、例えばグループ5−1では、表示領域(a)
の外側の引き出し配線部(b)でほぼ平行に並んだ3本
の第1のリペア配線6R1、6R2、6R3が絶縁膜を
介してグループ5−1のドレインバスライン220と直
交するように配置されている。同様にして、グループ5
−2〜5−mのそれぞれにおいて、3本の第1のリペア
配線6R(3i−2)、6R(3i−1)、6R3i
(iは整数、1≦i≦m)が絶縁膜を介してグループ内
のドレインバスライン220と直交するように配置され
ている。
ア配線6Rは、それぞれ「コの字」形状に形成され、
「コの字」形状の両端部から引き出し配線部(b)を通
って端子部(c)に接続配線6Rxa、6Rxbが引き
出されて、グループ内のドレインバスライン220と共
にTAB接続されるように形成されている。
−mのm本の各第1のリペア配線6R(3i−2)の接
続配線6R(3i−2)a同士は共通接続されて後述の
第3のリペア配線8R1に接続され、接続配線6R(3
i−2)b同士は共通接続されて第3のリペア配線8R
6に接続されている。同様にして、グループ5−1〜5
−mのm本の各第1のリペア配線6R(3i−1)の接
続配線6R(3i−1)a同士は共通接続されて第3の
リペア配線8R2に接続され、接続配線6R(3i−
1)b同士は共通接続されて第3のリペア配線8R5に
接続されている。さらに同様にして、グループ5−1〜
5−mのm本の各第1のリペア配線6R3iの接続配線
6R3ia同士は共通接続されて第3のリペア配線8R
3に接続され、接続配線6R3ib同士は共通接続され
て第3のリペア配線8R4に接続されている。
線部(b)と反対側のリペア部(d)には、グループ5
−1〜5−m毎にn本配置され、グループ5−1〜5−
m全体でx本の第2のリペア配線7R1〜7Rx(x=
n×m)が配置されている。図1では、第1のリペア配
線6Rに対応させて、グループ5−1〜5−m毎に3本
(n=3)配置されている場合を例示しており、例えば
グループ5−1では、リペア部(d)でほぼ平行に並ん
だ3本の第2のリペア配線7R1、7R2、7R3が絶
縁膜を介してグループ5−1のドレインバスライン22
0と直交するように配置されている。
れぞれにおいて、3本の第2のリペア配線7R(3i−
2)、7R(3i−1)、7R3i(iは整数、1≦i
≦m)が絶縁膜を介して各グループ内のドレインバスラ
イン220と直交するように配置されている。各グルー
プに配置された3本の第2のリペア配線7Rのそれぞれ
は、第1のリペア配線6Rとは逆向きの「コの字」形状
に形成されている。
部7a、7bには、絶縁膜を介して2×n本の第3のリ
ペア配線8R1〜8R2nが配置されている。図1では
第1及び第2のリペア配線6R、7Rの本数n=3に対
応して6本の第3のリペア配線8R1〜8R6が示され
ている。6本の第3のリペア配線8R1〜8R6は、い
ずれのドレインバスライン220と交差することなく第
2のリペア配線7R1〜7Rxの全腕部7a、7bと絶
縁膜を介して交差するように配置されている。
る本実施の形態による表示装置におけるリペア動作につ
いて、図2を用いて説明する。説明を簡略にするため、
図2では、n=2の場合について説明する。すなわち、
表示領域(a)の外側の引き出し配線部(b)には、グ
ループ5−1〜5−m毎に2本配置され、グループ5−
1〜5−m全体で2m本の第1のリペア配線6R1〜6
R2mが配置されている。グループ5−1を例にとる
と、表示領域(a)の外側の引き出し配線部(b)でほ
ぼ平行に並んだ2本の第1のリペア配線6R1、6R2
が絶縁膜を介してグループ5−1のドレインバスライン
220と直交するように配置されている。
配線6R1は「コの字」形状に形成され、「コの字」形
状の両端部から引き出し配線部(b)を通って端子部
(c)に接続配線6R1a、6R1bが引き出されて、
グループ内のドレインバスライン220と共にTAB接
続されるように形成されている。第1のリペア配線6R
2は第1のリペア配線6R1の内方で「コの字」形状に
形成され、「コの字」形状の両端部から引き出し配線部
(b)を通って端子部(c)に接続配線6R2a、6R
2bが引き出されて、グループ内のドレインバスライン
220と共にTAB接続されるように形成されている。
の接続配線6R1aは第3のリペア配線8R1に接続さ
れ、接続配線6R1bは第3のリペア配線8R4に接続
されるようになっている。同様にして、第1のリペア配
線6R2の接続配線6R2aは第3のリペア配線8R2
に接続され、接続配線6R2bは第3のリペア配線8R
3に接続されるようになっている。
1〜5−m毎に2本配置され、グループ5−1〜5−m
全体で2m本の第2のリペア配線7R1〜7R2mが配
置されている。グループ5−1では、リペア部(d)で
ほぼ平行に並んだ2本の第2のリペア配線7R1、7R
2が絶縁膜を介してグループ5−1のドレインバスライ
ン220と直交するように配置されている。各グループ
に配置された2本の第2のリペア配線7R1、7R2の
それぞれは、第1のリペア配線6Rとは逆向きの「コの
字」形状に形成されている。
部7a、7bには、絶縁膜を介して2×n本の第3のリ
ペア配線8R1〜8R2nが配置されている。図2では
第1及び第2のリペア配線6R、7Rの本数n=2に対
応して4本の第3のリペア配線8R1〜8R4が示され
ている。4本の第3のリペア配線8R1〜8R4は、い
ずれのドレインバスライン220と交差することなく第
2のリペア配線7R1〜7Rxの全腕部7a、7bと絶
縁膜を介して交差するように配置されている。
は、第1のリペア配線6Rと第2のリペア配線7Rはそ
れぞれ各グループ5に2本づつあり、第3のリペア配線
8Rは4本あるので、全表示領域(a)において4本の
断線リペア処理が可能となる。
(a)内の左側で連続して4本のドレインバスライン2
20a〜200dがそれぞれ断線箇所10、11、1
2、13で断線している状態を示している。このような
状況でのリペア処理の手順を以下に示す。なお、図2に
おいて、リペア配線上白丸は切断箇所を表し、黒丸は接
続箇所を表している。
リペア配線6R1との交差部(短絡部)15にレーザ光
を照射して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていたドレ
インバスライン220aと第1のリペア配線6R1とを
短絡して電気的に接続する。 (2)左から2番目のドレインバスライン220bと第
1のリペア配線6R1との交差部16にレーザ光を照射
して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていたドレインバ
スライン220bと第1のリペア配線6R1とを短絡し
て電気的に接続する。 (3)左から3番目のドレインバスライン220cと第
1のリペア配線6R2との交差部17にレーザ光を照射
して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていたドレインバ
スライン220cと第1のリペア配線6R2とを短絡し
て電気的に接続する。 (4)左から4番目のドレインバスライン220dと第
1のリペア配線6R2との交差部18にレーザ光を照射
して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていたドレインバ
スライン220dと第1のリペア配線6R2とを短絡し
て電気的に接続する。 (5)第1のリペア配線6R1の交差部15、16間の
切断部20にレーザ光を照射して、第1のリペア配線6
R1の接続配線6R1a側と6R1b側とを切断して電
気的に分離する。 (6)第1のリペア配線6R2の交差部17、18間の
切断部21にレーザ光を照射して、第1のリペア配線6
R2の接続配線6R2a側と6R2b側とを切断して電
気的に分離する。
リペア配線7R1との交差部(短絡部)22にレーザ光
を照射して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていたドレ
インバスライン220aと第2のリペア配線7R1とを
短絡して電気的に接続する。 (2)左から2番目のドレインバスライン220bと第
2のリペア配線7R1との交差部23にレーザ光を照射
して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていたドレインバ
スライン220aと第2のリペア配線7R1とを短絡し
て電気的に接続する。 (3)左から3番目のドレインバスライン220cと第
2のリペア配線7R2との交差部24にレーザ光を照射
して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていたドレインバ
スライン220cと第2のリペア配線7R2とを短絡し
て電気的に接続する。 (4)左から4番目のドレインバスライン220dと第
2のリペア配線7R2との交差部25にレーザ光を照射
して、絶縁膜を破壊して上下層に別れていたドレインバ
スライン220dと第2のリペア配線7R2とを短絡し
て電気的に接続する。 (5)第2のリペア配線7R1の交差部22、23間の
切断部26にレーザ光を照射して、第2のリペア配線7
R1の腕部7a側と7b側とを切断して電気的に分離す
る。 (6)第2のリペア配線7R2の交差部24、25間の
切断部27にレーザ光を照射して、第2のリペア配線7
R2の腕部7a側と7b側とを切断して電気的に分離す
る。
1との交差部(短絡部)28にレーザ光を照射して、絶
縁膜を破壊して上下層に別れていた第3のリペア配線8
R1と第2のリペア配線7R1の腕部7a側とを短絡し
て電気的に接続する。 (2)第3のリペア配線8R2と第2のリペア配線7R
2との交差部29にレーザ光を照射して、絶縁膜を破壊
して上下層に別れていた第3のリペア配線8R2と第2
のリペア配線7R2の腕部7a側とを短絡して電気的に
接続する。 (3)第3のリペア配線8R3と第2のリペア配線7R
1との交差部30にレーザ光を照射して、絶縁膜を破壊
して上下層に別れていた第3のリペア配線8R3と第2
のリペア配線7R1の腕部7b側とを短絡して電気的に
接続する。 (4)第3のリペア配線8R4と第2のリペア配線7R
2との交差部31にレーザ光を照射して、絶縁膜を破壊
して上下層に別れていた第3のリペア配線8R4と第2
のリペア配線7R2の腕部7b側とを短絡して電気的に
接続する。
0の実装が完了すると、図2における第1のリペア配線
6Rの接続配線6R1a、6R1b、...は、対応す
る第3のリペア配線8R1〜8R4に電気的に接続され
る。このようにして、パネル全体で4本のドレインバス
ライン220に断線が生じてもリペアすることができ
る。
示装置のリペア配線構造によれば、グループ5のそれぞ
れに1本ずつの第1及び第2のリペア配線6R、7Rが
配置され、2本の第3のリペア配線8Rが配置されて最
大2本のドレインバスラインのリペアが可能になる。従
って、各グループ5に第1及び第2のリペア配線6R、
7Rがn本ずつ配置され、2×n本の第3のリペア配線
8Rを配置することにより、全パネル表示領域において
2×n本のドレインバスラインのリペアが可能になる。
この構成を採用することにより、付加容量を増大させる
ことなく、表示領域(a)の全ての領域において2×n
本のリペアが可能となる。
示装置の製造歩留まりについて、図9及び図10に示し
た従来の表示装置と比較しつつ説明する。バスラインの
断線欠陥をもたらすパターンの欠陥密度Dpに基づく表
示装置の歩留まりYpは次式で表すことができる。
し、F(i)は欠陥の位置に依存する係数を表してい
る。表示領域(a)全体で最大4本までリペアが可能な
場合における、欠陥の位置に依存する係数F(i)の値
を表1に示す。表示領域(a)全体で最大4本までリペ
ア可能であるとすると、図9に示す従来の表示装置では
1グループ当たり最大2本で、全体で2グループのリペ
アが可能であり、表1に示すようにi=2まではF
(i)の値が1であり、i=3以上では1より小さい値
になる。
プ当たり最大1本で、全体で4グループのリペアが可能
であり、表1に示すようにi=1まではF(i)の値が
1であり、i=2以上では1より小さい値になる。
る表示装置では、1グループ当たり4本で、全体で1グ
ループのリペアが可能であり、表1に示すようにi=4
まではF(i)の値が1となっている。
最大8本までリペアが可能な場合において、1グループ
当たり2本で、全体で4グループのリペアが可能な場合
の欠陥の位置に依存する係数F(i)を示している。最
大リペア数が大きい「参考」においても、表1に示すよ
うにF(i)の値が1であるのはi=2までである。こ
のように、本実施の形態による図2に示すリペア配線構
造によれば、数1に示した歩留まりYpを求める式にお
いてiの値が増加しても他のリペア配線構造と比較して
係数F(i)の値が1を長く維持するため、高い歩留ま
りYpを得られることが分かる。
態によれば、より少ないリペア配線数で、断線欠陥の発
生場所によらずにリペア配線数分のリペアが可能となる
と共に、リペア配線の配置による付加容量の増加も抑え
ることができる。
例について図3を用いて説明する。図3に示す例も図2
に示したのと同様にn=2の場合について説明する。表
示領域(a)の外側の引き出し配線部(b)には、グル
ープ5−1〜5−m毎に2本配置され、グループ5−1
〜5−m全体で2×m本の第1のリペア配線6R1〜6
R2mが配置されている。グループ5−1を例にとる
と、表示領域(a)の外側の引き出し配線部(b)でほ
ぼ平行に並んだ2本の第1のリペア配線6R1、6R2
が絶縁膜を介してグループ5−1のドレインバスライン
220と直交するように配置されている。第1のリペア
配線6R1は「コの字」形状に形成され、第1のリペア
配線6R2は第1のリペア配線6R1の内方で「コの
字」形状に形成されている。
1、6R2の両腕部には、絶縁膜を介して交差する第4
のリペア配線9Rが形成されている。図中、第1のリペ
ア配線6R1、6R2の左腕部には、2×n=4本の第
4のリペア配線9R1a〜9R4aが絶縁膜を介して交
差している。第4のリペア配線9R1a〜9R4aは端
子部(c)に形成された接続配線6R1a〜6R4aに
それぞれ接続されている。接続配線6R1a〜6R4a
はグループ内のドレインバスライン220と共にTAB
接続されるように形成されている。
の右腕部には、2×n=4本の第4のリペア配線9R1
b〜9R4bが配置されている。第4のリペア配線9R
1b〜9R4bは端子部(c)に形成された接続配線6
R1b〜6R4bにそれぞれ接続されている。接続配線
6R1b〜6R4bはグループ内のドレインバスライン
220と共にTAB接続されるように形成されている。
グループ5−1の例において、接続配線6R1a〜6R
4aは第3のリペア配線8R1〜8R4にそれぞれ接続
されるようになっており、接続配線6R1b〜6R4b
も第3のリペア配線8R1〜8R4にそれぞれ接続され
るようになっている。
リペア配線7R1〜7R2m及び第3のリペア配線8R
1〜8R4は図2に示した配置構成と同一であるので説
明は省略する。
は、第1のリペア配線6Rと第2のリペア配線7Rはそ
れぞれ各グループ5に2本づつあり、第3のリペア配線
8Rは4本あるので、全表示領域(a)において4本の
断線リペア処理が可能となる。また、第1のリペア配線
6RがTAB端子部まで延びておらず、第4のリペア配
線9Rと絶縁膜を介して交差している。また、第1のリ
ペア配線6Rは2本/グループであるのに対し、第4の
リペア配線9Rは4×2本/グループとなっている。
り、配線の交差部の付加容量をより小さくすることがで
きる。例えば図3では、グループ5−1の表示領域
(a)内の左側で連続して2本のドレインバスライン2
20a、200bがそれぞれ断線箇所10、11で断線
し、グループ5−2の表示領域(a)内の左側で連続し
て2本のドレインバスライン220c、200dがそれ
ぞれ断線箇所12、13で断線している状態を示してい
る。このような状況でのリペア処理の手順を以下に示
す。なお、図3において、リペア配線上白丸は切断箇所
を表し、黒丸は接続箇所を表している。
6R1との交差部(短絡部)15にレーザ光を照射し
て、ドレインバスライン220aと第1のリペア配線6
R1とを短絡して電気的に接続する。 (2)ドレインバスライン220bと第1のリペア配線
6R2との交差部16にレーザ光を照射して、ドレイン
バスライン220bと第1のリペア配線6R1とを短絡
して電気的に接続する。 (3)ドレインバスライン220cとグループ5−2の
第1のリペア配線6R1との交差部33にレーザ光を照
射して、ドレインバスライン220cと第1のリペア配
線6R1とを短絡して電気的に接続する。 (4)ドレインバスライン220dとグループ5−2の
第1のリペア配線6R2との交差部34にレーザ光を照
射して、ドレインバスライン220dと第1のリペア配
線6R2とを短絡して電気的に接続する。 (5)グループ5−1の第1のリペア配線6R1との第
4のリペア配線9R1aとの交差部35にレーザ光を照
射して、第1のリペア配線6R1と第4のリペア配線9
R1aとを短絡して電気的に接続する。 (6)グループ5−1の第1のリペア配線6R2との第
4のリペア配線9R2aとの交差部36にレーザ光を照
射して、第1のリペア配線6R12第4のリペア配線9
R2aとを短絡して電気的に接続する。 (7)グループ5−2の第1のリペア配線6R1との第
4のリペア配線9R3aとの交差部37にレーザ光を照
射して、第1のリペア配線6R1と第4のリペア配線9
R3aとを短絡して電気的に接続する。 (8)グループ5−2の第1のリペア配線6R2との第
4のリペア配線9R4aとの交差部38にレーザ光を照
射して、第1のリペア配線6R2と第4のリペア配線9
R4aとを短絡して電気的に接続する。 (9)グループ5−1の第1のリペア配線6R1の交差
部15近傍右側の切断部20にレーザ光を照射して、第
1のリペア配線6R1を2つに切断して電気的に分離す
る。 (10)グループ5−1の第1のリペア配線6R2の交
差部16近傍右側の切断部21にレーザ光を照射して、
第1のリペア配線6R2を2つに切断して電気的に分離
する。 (11)グループ5−2の第1のリペア配線6R1の交
差部33近傍右側の切断部39にレーザ光を照射して、
第1のリペア配線6R1を2つに切断して電気的に分離
する。 (12)グループ5−2の第1のリペア配線6R2の交
差部34近傍右側の切断部40にレーザ光を照射して、
第1のリペア配線6R2を2つに切断して電気的に分離
する。
7R1との交差部(短絡部)22にレーザ光を照射し
て、ドレインバスライン220aと第2のリペア配線7
R1とを短絡して電気的に接続する。 (2)ドレインバスライン220bと第2のリペア配線
7R2との交差部41にレーザ光を照射して、ドレイン
バスライン220bと第2のリペア配線7R2とを短絡
して電気的に接続する。 (3)ドレインバスライン220cと第2のリペア配線
7R1との交差部(短絡部)42にレーザ光を照射し
て、ドレインバスライン220cと第2のリペア配線7
R1とを短絡して電気的に接続する。 (4)ドレインバスライン220dと第2のリペア配線
7R2との交差部43にレーザ光を照射して、ドレイン
バスライン220dと第2のリペア配線7R2とを短絡
して電気的に接続する。 (5)グループ5−1の第2のリペア配線7R1の交差
部22近傍右側の切断部26にレーザ光を照射して、第
2のリペア配線7R1を2つに切断して電気的に分離す
る。 (6)グループ5−1の第2のリペア配線7R2の交差
部41近傍右側の切断部44にレーザ光を照射して、第
2のリペア配線7R2を2つに切断して電気的に分離す
る。 (7)グループ5−2の第2のリペア配線7R1の交差
部42近傍右側の切断部45にレーザ光を照射して、第
2のリペア配線7R1を2つに切断して電気的に分離す
る。 (8)グループ5−2の第2のリペア配線7R2の交差
部43近傍右側の切断部46にレーザ光を照射して、第
2のリペア配線7R2を2つに切断して電気的に分離す
る。
のリペア配線7R1との交差部(短絡部)28にレーザ
光を照射して、第3のリペア配線8R1と第2のリペア
配線7R1の腕部7a側とを短絡して電気的に接続す
る。 (2)第3のリペア配線8R2とグループ5−1の第2
のリペア配線7R2との交差部29にレーザ光を照射し
て、第3のリペア配線8R2と第2のリペア配線7R2
の腕部7a側とを短絡して電気的に接続する。 (3)第3のリペア配線8R3とグループ5−2の第2
のリペア配線7R1との交差部30にレーザ光を照射し
て、第3のリペア配線8R3と第2のリペア配線7R1
の腕部7a側とを短絡して電気的に接続する。 (4)第3のリペア配線8R4とグループ5−2の第2
のリペア配線7R2との交差部31にレーザ光を照射し
て、第3のリペア配線8R4と第2のリペア配線7R2
の腕部7a側とを短絡して電気的に接続する。
0の実装が完了すると、図2における第1のリペア配線
6Rの接続配線6R1a、6R1b、...は、対応す
る第3のリペア配線8R1〜8R4に電気的に接続され
る。このようにして、パネル全体で4本のドレインバス
ライン220に断線が生じてもリペアすることができ
る。
にグループ5−1、5−2のそれぞれ左側の2本のドレ
インバスライン220a〜220dに断線がある場合、
図2に示すリペア配線構造では、グループ5−1で第1
のリペア配線6R1と6R2に対して接続配線6R1a
と6R2aを使ってしまうと、グループ5−2では、接
続配線6R1bと6R2bを使わなければならなくな
る。接続配線6R1b、6R2bにそれぞれ接続された
第1のリペア配線6R1、6R2は図中グループ内で最
右方から延びているので、複数のドレインバスライン2
20との交差部が多くなり付加容量が増してしまう。
配線構造であれば、グループ5−2においても、断線箇
所に近い第1のリペア配線6R1、6R2の左側を使用
して第4のリペア配線9R3a、9R4aを介して接続
配線6R3a、6R4aに接続することができる。従っ
て、複数のドレインバスライン220との交差部を少な
くすることができ、付加容量の増加を抑制することがで
きるようになる。
表示装置によれば、第1のリペア配線及び第2のリペア
配線をリペア処理時に途中で切断し、結果的に2倍の配
線数として利用することができるので、より少ない配線
数でより多くのリペア処理を可能にすることができ、表
示装置の歩留まりを向上せることができるようになる。
変形が可能である。例えば上記実施の形態では、TFT
をスイッチング素子に用いたアクティブマトリクス型の
液晶表示装置を例にとって説明したが、本発明はこれに
限らず、他の表示装置、例えば、ダイオード素子(MI
M)等の非線型素子を用いたアクティブマトリクス型の
液晶表示装置、あるいはSTN方式等のパッシブ型の液
晶表示装置、あるいはEL(エレクトロルミネッセン
ス)表示装置やPDP(プラズマディスプレイ装置)等
種々の表示装置に適用することが可能である。
の製造工程において発生した断線や層間短絡などの欠陥
を容易に修復して良品化することができるようになる。
リペア配線R1〜Rnの配置関係を示す模式図である。
リペア配線R1〜Rnを用いたリペア方法を説明する図
である。
リペア配線R1〜Rnの他の配置関係及びリペア方法を
示す模式図である。
る。
ある。
図である。
図である。
晶表示装置におけるリペア配線R1〜Rnの配置関係を
示す模式図である。
液晶表示装置におけるリペア配線R1〜Rnの他の配置
関係を示す模式図である。
液晶表示装置におけるリペア配線R1〜Rnのさらに他
の配置関係を示す模式図である。
220のグループ 6R 第1のリペア配線 7R 第2のリペア配線 8R 第3のリペア配線 9R 第4のリペア配線 10〜13 ドレインバスライン220の断線箇所 15〜18 ドレインバスライン220と第1のリペア
配線6Rとの交差部(短絡部) 20、21 第1のリペア配線6Rの切断部 22〜25 ドレインバスライン220と第2のリペア
配線7Rとの交差部(短絡部) 26、27 第2のリペア配線7Rの切断部 28〜31 第2のリペア配線7Rと第3のリペア配線
8Rとの交差部(短絡部) 33、34 ドレインバスライン220とグループ5−
2の第1のリペア配線6Rとの交差部(短絡部) 35、36、37、38 第1のリペア配線6Rと第4
のリペア配線9Rとの交差部(短絡部) 200 TFT基板 202 CF基板 204 液晶 206 ゲート駆動回路 208 ドレイン駆動回路 210、212 偏光板 214 バックライトユニット 216 制御回路 218 ゲートバスライン 220 ドレインバスライン 224 画素電極 226 蓄積容量バスライン 228 ソース電極 230 ドレイン電極 232 動作半導体層 234、238 コンタクトホール 236 蓄積容量電極 240 ゲート絶縁膜 242 チャネル保護膜 244 保護膜 290 層間短絡 300、301 切断位置 302、303 リペア配線 304、305 交差領域
Claims (2)
- 【請求項1】m個のグループに分割された複数のバスラ
インが表示領域内に形成された表示装置において、 前記グループ毎にn本形成され、前記バスラインと前記
表示領域外で絶縁膜を介して交差する第1のリペア配線
と、 前記表示領域について前記第1のリペア配線の反対側に
前記グループ毎にn本形成され、前記バスラインと前記
表示領域外で前記絶縁膜を介して交差する第2のリペア
配線と、 前記第2のリペア配線全て(m×n本)と前記絶縁膜を
介して交差する2×n本の第3のリペア配線とを有する
ことを特徴とする表示装置。 - 【請求項2】請求項1記載の表示装置において、 前記グループ毎に、前記第1のリペア配線と前記絶縁膜
を介して交差する2×2×n本の第4のリペア配線を有
することを特徴とする表示装置。
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