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JP2001162719A - Polyimide single-layer body having reinforcing material and method for producing the same - Google Patents

Polyimide single-layer body having reinforcing material and method for producing the same

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JP2001162719A
JP2001162719A JP2000291886A JP2000291886A JP2001162719A JP 2001162719 A JP2001162719 A JP 2001162719A JP 2000291886 A JP2000291886 A JP 2000291886A JP 2000291886 A JP2000291886 A JP 2000291886A JP 2001162719 A JP2001162719 A JP 2001162719A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polyimide
reinforcing material
layer
thermocompression
metal foil
Prior art date
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Application number
JP2000291886A
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Japanese (ja)
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JP4360025B2 (en
Inventor
Tomohiko Yamamoto
智彦 山本
Katsuzo Kato
勝三 加藤
Toshinori Hosoma
敏徳 細馬
Kazuhiko Yoshioka
和彦 吉岡
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Ube Corp
Original Assignee
Ube Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 成形加工性が良好で他の基材と積層可能なオ
−ルポリイミドの金属箔積層体およびその製造法を提供
することである。 【解決手段】 耐熱性ポリイミド層の両面に熱圧着性ポ
リイミド層を有する多層ポリイミドフィルムの片面に金
属箔が補強材とポリイミドとの接着強度の2倍以上の接
着強度で積層され、他の面に補強材が接着強度0.00
1kg/cm以上0.5kg/cm以下でそれぞれ積層
されてなる補強材を有するポリイミド片面積層体および
その製造法。
An object of the present invention is to provide a metal foil laminate of all-polyimide which has good moldability and can be laminated with another substrate, and a method for producing the same. SOLUTION: A metal foil is laminated on one side of a multilayer polyimide film having a thermocompression-bondable polyimide layer on both sides of a heat-resistant polyimide layer with an adhesive strength of at least twice the adhesive strength between the reinforcing material and the polyimide, and Reinforcement has an adhesive strength of 0.00
A polyimide single-layer body having a reinforcing material laminated at 1 kg / cm or more and 0.5 kg / cm or less, and a method for producing the same.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、補強材を有する
ポリイミド片面積層体およびその製造法に関するもので
あり、さらに詳しくは耐熱性ポリイミド層の両面に熱圧
着性ポリイミド層を有する多層ポリイミドフィルムの片
面に金属箔が、他の面に引き剥がし可能な補強材が積層
されてなる補強材を有するポリイミド片面積層体および
その製造法に関するものである。この発明によれば、成
形加工性が良好で、同種あるいは異種の基材と積層する
ために補強材を引き剥がしてもシワがほとんど生じない
ポリイミド片面金属箔積層体をを与える補強材を有する
ポリイミド片面積層体を得ることができる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polyimide single-layer structure having a reinforcing material and a method for producing the same, and more particularly, to a single-sided multilayer polyimide film having a thermocompression-bondable polyimide layer on both sides of a heat-resistant polyimide layer. The present invention relates to a polyimide single-layer body having a reinforcing material in which a metal foil is laminated on another surface with a peelable reinforcing material, and a method for producing the same. According to the present invention, a polyimide having a reinforcing material that provides a polyimide single-sided metal foil laminate that has good moldability and hardly generates wrinkles even when the reinforcing material is peeled off for lamination with the same or different types of substrates. A single-area layer body can be obtained.

【0002】[0002]

【従来の技術】カメラ、パソコン、液晶ディスプレイな
どの電子機器類への用途として芳香族ポリイミドフィル
ムは広く使用されている。芳香族ポリイミドフィルムを
フレキシブルプリント板(FPC)やテ−プ・オ−トメ
イティッド・ボンディング(TAB)などの基板材料と
して使用するためには、エポキシ樹脂などの接着剤を用
いて銅箔を張り合わせる方法が採用されている。
2. Description of the Related Art Aromatic polyimide films are widely used for electronic devices such as cameras, personal computers, and liquid crystal displays. In order to use an aromatic polyimide film as a substrate material for a flexible printed board (FPC) or a tape-automated bonding (TAB), a copper foil is laminated using an adhesive such as an epoxy resin. The method has been adopted.

【0003】芳香族ポリイミドフィルムは耐熱性、機械
的強度、電気的特性などが優れているが、エポキシ樹脂
などの接着剤の耐熱性等が劣るため、本来のポリイミド
の特性を損なうことが指摘されている。このような問題
を解決するために、接着剤を使用しないでポリイミドフ
ィルムに銅を電気メッキしたり、銅箔にポリアミック酸
溶液を塗布し、乾燥、イミド化したり、熱可塑性のポリ
イミドを熱圧着させたオ−ルポリイミド基材も開発され
ている。
It has been pointed out that aromatic polyimide films are excellent in heat resistance, mechanical strength, electrical properties and the like, but deteriorate the original properties of polyimide due to poor heat resistance of an adhesive such as an epoxy resin. ing. In order to solve such problems, copper is electroplated on a polyimide film without using an adhesive, or a polyamic acid solution is applied to a copper foil, dried, imidized, or thermoplastic polyimide is thermocompressed. All-polyimide substrates have also been developed.

【0004】また、ポリイミドフィルムと金属箔との間
にフィルム状ポリイミド接着剤をサンドイッチ状に接合
させたポリイミドラミネ−トおよびその製法が知られて
いる(米国特許第4543295号)。しかし、このポ
リイミドラミネ−トおよびその製法は、フィルム状ポリ
イミド接着剤の取り扱いが容易ではなく、しかもある種
のポリイミドフィルムについては剥離強度(接着強度)
が小さく使用できないという問題がある。
Further, a polyimide laminate in which a film-like polyimide adhesive is sandwiched between a polyimide film and a metal foil and a method for producing the same are known (US Pat. No. 4,543,295). However, this polyimide laminate and its manufacturing method are not easy to handle a film-like polyimide adhesive, and the peel strength (adhesion strength) of some polyimide films is not good.
There is a problem that cannot be used because it is small.

【0005】さらに、金属箔積層ポリイミドフィルムお
よびその製造法が知られている(特開平4−33847
号、特開平4−33848号)。しかし、これらの文献
には、多層ポリイミドフィルムと金属箔とが強固に接着
された積層体が記載されているに過ぎない。
Further, a metal foil laminated polyimide film and a method for producing the same are known (Japanese Patent Laid-Open No. 4-33847).
No. JP-A-4-33848). However, these documents only describe a laminate in which a multilayer polyimide film and a metal foil are firmly bonded.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】この発明の目的は、従
来公知の基板用の金属箔積層体が有する前記の成形加工
性および表面特性における問題点のないオ−ルポリイミ
ドの金属箔積層体を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a metal foil laminate of all-polyimide which has no problem in the formability and surface characteristics of a conventionally known metal foil laminate for a substrate. To provide.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】すなわち、この発明は、
耐熱性ポリイミド層の両面に熱圧着性ポリイミド層を有
する多層ポリイミドフィルムの片面に金属箔が補強材と
ポリイミドとの接着強度の2倍以上の接着強度で積層さ
れ、他の面に補強材が接着強度0.001kg/cm以
上0.5kg/cm以下でそれぞれ積層されてなる補強
材を有するポリイミド片面積層体に関する。また、この
発明は、耐熱性ポリイミド層の両面に熱圧着性ポリイミ
ド層を有する多層ポリイミドフィルムの片面に金属箔、
好適には表面粗さ(Rz)が0.5μm以上の金属箔
を、他の面に補強材、好適には表面粗さ(Rz)が3μ
m以下の補強材を重ね、これらを熱圧着することを特徴
とする補強材を有するポリイミド片面積層体の製造法に
関する。
That is, the present invention provides:
A metal foil is laminated on one side of a multilayer polyimide film having a thermocompression-bondable polyimide layer on both sides of a heat-resistant polyimide layer with an adhesive strength of at least twice the adhesive strength between the reinforcing material and the polyimide, and the reinforcing material adheres to the other surface The present invention relates to a polyimide single-layer structure having a reinforcing material laminated at a strength of 0.001 kg / cm or more and 0.5 kg / cm or less. Further, the present invention provides a metal foil on one side of a multilayer polyimide film having a thermocompression bonding polyimide layer on both sides of a heat-resistant polyimide layer,
Preferably, a metal foil having a surface roughness (Rz) of 0.5 μm or more, a reinforcing material on the other surface, preferably a surface roughness (Rz) of 3 μm
The present invention relates to a method for producing a polyimide single-layer body having a reinforcing material, characterized by stacking reinforcing materials of m or less and thermocompressing them.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下にこの発明の好ましい態様を
列記ずる。 1)多層ポリイミドフィルムが、耐熱性ポリイミド層の
両面に熱圧着性ポリイミド層を一体に積層してなる多層
押出ポリイミドフィルムである上記の補強材を有するポ
リイミド片面積層体。 2)熱圧着を連続ラミネ−ト装置によって行って、長尺
のロ−ル状積層体とする上記の補強材を有するポリイミ
ド片面積層体の製造法。 3)熱圧着を、ダブルベルトプレスによって行う上記の
補強材を有するポリイミド片面積層体の製造法。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be listed below. 1) A polyimide single-layered product having the above-mentioned reinforcing material, wherein the multilayer polyimide film is a multilayer extruded polyimide film in which a thermocompression-bonding polyimide layer is integrally laminated on both surfaces of a heat-resistant polyimide layer. 2) A method of producing a polyimide single-layered product having the above-mentioned reinforcing material by performing thermocompression bonding with a continuous laminating device to form a long roll-shaped laminate. 3) A method for producing a polyimide single-layer body having the above-mentioned reinforcing material, wherein thermocompression bonding is performed by a double belt press.

【0009】この発明においては、耐熱性ポリイミド層
の両面に熱圧着性ポリイミド層を有する多層ポリイミド
フィルムを使用する。前記の多層ポリイミドフィルムと
しては、熱圧着性とともに線膨張係数(50〜200
℃)(MD)が30×10-6cm/cm/℃以下である
ものが好ましく、また、引張弾性率(MD、ASTM−
D882)が300kg/mm2以上であるものが好ま
しい。
In the present invention, a multilayer polyimide film having a thermocompression-bondable polyimide layer on both sides of a heat-resistant polyimide layer is used. The multilayer polyimide film has a coefficient of linear expansion (50 to 200) as well as thermocompression bonding.
C.) (MD) is preferably 30 × 10 −6 cm / cm / ° C. or less, and the tensile modulus (MD, ASTM−
D882) is preferably 300 kg / mm 2 or more.

【0010】前記の多層ポリイミドフィルムは、好適に
は共押出し−流延製膜法(単に、多層押出法ともい
う。)によって耐熱性ポリイミドの前駆体溶液と熱圧着
性ポリイミド前駆体溶液とを積層し、乾燥、イミド化し
て多層ポリイミドフィルムを得る方法、あるいは前記の
耐熱性ポリイミドの前駆体溶液を支持体上に流延塗布
し、乾燥したゲルフィルムの両面に熱圧着性ポリイミド
前駆体溶液を塗布し、乾燥、イミド化して多層ポリイミ
ドフィルムを得る方法によって得ることができる。上記
のいずれの方法においても、熱圧着性ポリイミドの前駆
体層を250〜420℃の最高加熱温度で乾燥、イミド
化することが好ましい。特に、共押出し−流延法によっ
て得られる自己支持性フィルムを250〜420℃の最
高加熱温度で乾燥、イミド化したものが好ましい。
The above-mentioned multilayer polyimide film is preferably formed by laminating a heat-resistant polyimide precursor solution and a thermocompression bonding polyimide precursor solution by a co-extrusion-casting film forming method (also simply referred to as a multilayer extrusion method). Then, drying and imidizing to obtain a multilayer polyimide film, or the above-mentioned heat-resistant polyimide precursor solution is applied by casting onto a support, and the thermocompression-bondable polyimide precursor solution is applied to both sides of the dried gel film. Then, it can be obtained by a method of obtaining a multilayer polyimide film by drying and imidizing. In any of the above methods, it is preferable to dry and imidize the thermocompression-bondable polyimide precursor layer at a maximum heating temperature of 250 to 420 ° C. In particular, a self-supporting film obtained by co-extrusion-casting is preferably dried and imidized at a maximum heating temperature of 250 to 420 ° C.

【0011】前記の多層ポリイミドフィルムの基体層と
しての耐熱性ポリイミドは、好適には3,3’,4,
4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(以下単に
s−BPDAと略記することもある。)とパラフェニレ
ンジアミン(以下単にPPDと略記することもある。)
と場合によりさらに4,4’−ジアミノジフェニルエ−
テル(以下単にDADEと略記することもある。)とか
ら製造される。この場合PPD/DADE(モル比)は
100/0〜85/15であることが好ましい。また、
基体層としての耐熱性ポリイミドは、3,3’,4,
4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物とピロメリ
ット酸二無水物とパラフェニレンジアミンと4,4’−
ジアミノジフェニルエ−テルとから製造される。また、
基体層としての耐熱性ポリイミドは、ピロメリット酸二
無水物とパラフェニレンジアミンおよび4,4’−ジア
ミノジフェニルエ−テルとから製造される。この場合D
ADE/PPD(モル比)は90/10〜10/90で
あることが好ましい。さらに、基体層としての耐熱性ポ
リイミドは、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテト
ラカルボン酸二無水物(BTDA)およびピロメリット
酸二無水物(PMDA)とパラフェニレンジアミン(P
PD)および4,4’−ジアミノジフェニルエ−テル
(DADE)とから製造される。この場合、酸二無水物
中BTDAが20〜90モル%、PMDAが10〜80
モル%、ジアミン中PPDが30〜90モル%、DAD
Eが10〜70モル%であることが好ましい。
The heat-resistant polyimide as the base layer of the multilayer polyimide film is preferably 3, 3 ', 4,
4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (hereinafter sometimes abbreviated simply as s-BPDA) and paraphenylenediamine (hereinafter sometimes abbreviated simply as PPD).
And optionally 4,4'-diaminodiphenyle-
And TELL (hereinafter may be simply abbreviated as DADE). In this case, the PPD / DADE (molar ratio) is preferably from 100/0 to 85/15. Also,
The heat-resistant polyimide as the base layer is 3, 3 ', 4,
4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride, paraphenylenediamine and 4,4'-
It is prepared from diaminodiphenyl ether. Also,
The heat-resistant polyimide as the base layer is produced from pyromellitic dianhydride, paraphenylenediamine and 4,4'-diaminodiphenyl ether. In this case D
ADE / PPD (molar ratio) is preferably 90/10 to 10/90. Further, the heat-resistant polyimide as the base layer includes 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA) and pyromellitic dianhydride (PMDA) and paraphenylenediamine (P
PD) and 4,4'-diaminodiphenyl ether (DADE). In this case, BTDA in the acid dianhydride is 20 to 90 mol%, and PMDA is 10 to 80 mol%.
Mol%, PPD in diamine 30-90 mol%, DAD
It is preferable that E is 10 to 70 mol%.

【0012】また、上記の基体層としての耐熱性ポリイ
ミドとしては、単独のポリイミドフィルムの場合にガラ
ス転移温度が350℃以上か確認不可能であるものが好
ましく、特に線膨張係数(50〜200℃)(MD)が
5×10-6〜20×10-6cm/cm/℃であるものが
好ましい。また、引張弾性率(MD、ASTM−D88
2)は300kg/mm2以上であるものが好ましい。
この基体層ポリイミドの合成は、最終的に各成分の割合
が前記範囲内であればランダム重合、ブロック重合、あ
るいはあらかじめ2種類のポリアミック酸を合成してお
き両ポリアミック酸溶液を混合後反応条件下で混合して
均一溶液とする、いずれの方法によっても達成される。
The heat-resistant polyimide used as the base layer is preferably a polyimide film having a glass transition temperature of 350 ° C. or more which cannot be confirmed in the case of a single polyimide film, and particularly has a linear expansion coefficient (50 to 200 ° C.). ) (MD) is preferably 5 × 10 −6 to 20 × 10 −6 cm / cm / ° C. In addition, the tensile modulus (MD, ASTM-D88
2) is preferably 300 kg / mm 2 or more.
In the synthesis of the base layer polyimide, random polymerization, block polymerization, or synthesis of two kinds of polyamic acids in advance if the proportion of each component is within the above range, and mixing of both polyamic acid solutions, followed by reaction conditions To obtain a homogeneous solution.

【0013】前記各成分を使用し、ジアミン成分とテト
ラカルボン酸二無水物の略等モル量を、有機溶媒中で反
応させてポリアミック酸の溶液(均一な溶液状態が保た
れていれば一部がイミド化されていてもよい)とする。
前記基体層ポリイミドの物性を損なわない種類と量の他
の芳香族テトラカルボン酸二無水物や芳香族ジアミン、
例えば4,4’−ジアミノジフェニルメタン等を使用し
てもよい。
Using each of the above components, a substantially equimolar amount of a diamine component and a tetracarboxylic dianhydride are reacted in an organic solvent to prepare a solution of a polyamic acid (partly if a uniform solution state is maintained). May be imidized).
Other aromatic tetracarboxylic dianhydride or aromatic diamine of the kind and amount that does not impair the physical properties of the substrate layer polyimide,
For example, 4,4'-diaminodiphenylmethane or the like may be used.

【0014】この発明における熱圧着層としての熱圧着
性ポリイミドとしては、種々の公知の熱可塑性ポリイミ
ドから選択することができ、好適には1,3−ビス(4
−アミノフェノキシベンゼン)(以下、TPERと略記
することもある。)と2,3,3’,4’−ビフェニル
テトラカルボン酸二無水物(以下、a−BPDAと略記
することもある。)とから製造される。また、前記の熱
圧着層としての熱圧着性ポリイミドとして、1,3−ビ
ス(4−アミノフェノキシ)−2,2−ジメチルプロパ
ン(DANPG)と4,4’−オキシジフタル酸二無水
物(ODPA)およびa−BPDAとから製造される。
あるいは、4,4’−オキシジフタル酸二無水物(OD
PA)およびピロメリット酸二無水物と1,3−ビス
(4−アミノフェノキシベンゼン)とから製造される。
The thermocompression-bondable polyimide as the thermocompression-bonding layer in the present invention can be selected from various known thermoplastic polyimides, and is preferably 1,3-bis (4
-Aminophenoxybenzene) (hereinafter sometimes abbreviated as TPER) and 2,3,3 ', 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (hereinafter sometimes abbreviated as a-BPDA). Manufactured from Further, as the thermocompression-bondable polyimide as the thermocompression bonding layer, 1,3-bis (4-aminophenoxy) -2,2-dimethylpropane (DANPG) and 4,4′-oxydiphthalic dianhydride (ODPA) And a-BPDA.
Alternatively, 4,4′-oxydiphthalic dianhydride (OD
PA) and pyromellitic dianhydride and 1,3-bis (4-aminophenoxybenzene).

【0015】前記の熱圧着性ポリイミドは、前記各成分
と、さらに場合により他のテトラカルボン酸二無水物お
よび他のジアミンとを、有機溶媒中、約100℃以下、
特に20〜60℃の温度で反応させてポリアミック酸の
溶液とし、このポリアミック酸の溶液をド−プ液として
使用し、そのド−プ液の薄膜を形成し、その薄膜から溶
媒を蒸発させ除去すると共にポリアミック酸をイミド環
化することにより製造することができる。また、前述の
ようにして製造したポリアミック酸の溶液を150〜2
50℃に加熱するか、またはイミド化剤を添加して15
0℃以下、特に15〜50℃の温度で反応させて、イミ
ド環化した後溶媒を蒸発させる、もしくは貧溶媒中に析
出させて粉末とした後、該粉末を有機溶液に溶解して熱
圧着性ポリイミドの有機溶媒溶液を得ることができる。
The above thermocompression-bondable polyimide is obtained by mixing the above-mentioned components and, if necessary, other tetracarboxylic dianhydrides and other diamines in an organic solvent at about 100 ° C. or lower.
In particular, the solution is reacted at a temperature of 20 to 60 ° C. to form a solution of polyamic acid, and the solution of polyamic acid is used as a dope solution, a thin film of the dope solution is formed, and the solvent is removed from the thin film by evaporating the solvent. And imide cyclization of the polyamic acid. Further, the solution of the polyamic acid produced as described above was used for 150 to 2 hours.
Heat to 50 ° C. or add imidizing agent to
The reaction is carried out at a temperature of 0 ° C. or less, particularly 15 to 50 ° C., and after the imide cyclization, the solvent is evaporated, or the powder is precipitated in a poor solvent to obtain a powder. An organic solvent solution of the functional polyimide can be obtained.

【0016】この発明で熱圧着性ポリイミドの物性を損
なわない範囲で他のテトラカルボン酸二無水物、例えば
3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無
水物、2,2−ビス(3、4−ジカルボキシフェニル)
プロパン二無水物あるいは2,3,6,7−ナフタレン
テトラカルボン酸二無水物など、好適には3,3’,
4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物で置き
換えられてもよい。また、熱圧着性ポリイミドの物性を
損なわない範囲で他のジアミン、例えば4,4’−ジア
ミノジフェニルエ−テル、4,4’−ジアミノベンゾフ
ェノン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、2,2
−ビス(4−アミノフェニル)プロパン、1,4−ビス
(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス
(4−アミノフェニル)ジフェニルエ−テル、4,4’
−ビス(4−アミノフェニル)ジフェニルメタン、4,
4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ジフェニルエ−テ
ル、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ジフェニ
ルメタン、2,2−ビス〔4−(アミノフェノキシ)フ
ェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−(4−アミノフ
ェノキシ)フェニル〕ヘキサフルオロプロパンなどの複
数のベンゼン環を有する柔軟な芳香族ジアミン、1,4
−ジアミノブタン、1,6−ジアミノヘキサン、1,8
−ジアミノオクタン、1,10−ジアミノデカン、1,
12−ジアミノドデカンなどの脂肪族ジアミン、ビス
(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサンなど
のジアミノジシロキサンによって置き換えられてもよ
い。他の芳香族ジアミンの使用割合は全ジアミンに対し
て20モル%以下、特に10モル%以下であることが好
ましい。また、脂肪族ジアミンおよびジアミノジシロキ
サンの使用割合は全ジアミンに対して20モル%以下で
あることが好ましい。この割合を越すと熱圧着性ポリイ
ミドの耐熱性が低下する。前記の熱圧着性ポリイミドの
アミン末端を封止するためにジカルボン酸無水物、例え
ば、無水フタル酸およびその置換体、ヘキサヒドロ無水
フタル酸およびその置換体、無水コハク酸およびその置
換体など、特に、無水フタル酸を使用してもよい。
In the present invention, other tetracarboxylic dianhydrides, for example, 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl)
Propane dianhydride or 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride such as 3,3 ′,
It may be replaced by 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride. Further, other diamines such as 4,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminobenzophenone, 4,4′-diaminodiphenylmethane, and 2,2 may be used as long as the physical properties of the thermocompression-bondable polyimide are not impaired.
-Bis (4-aminophenyl) propane, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 4,4'-bis (4-aminophenyl) diphenyl ether, 4,4 '
-Bis (4-aminophenyl) diphenylmethane, 4,
4'-bis (4-aminophenoxy) diphenyl ether, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) diphenylmethane, 2,2-bis [4- (aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis Flexible aromatic diamines having a plurality of benzene rings such as [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 1,4
-Diaminobutane, 1,6-diaminohexane, 1,8
-Diaminooctane, 1,10-diaminodecane, 1,
It may be replaced by an aliphatic diamine such as 12-diaminododecane, or a diaminodisiloxane such as bis (3-aminopropyl) tetramethyldisiloxane. The proportion of the other aromatic diamine used is preferably 20 mol% or less, particularly preferably 10 mol% or less based on the total diamine. The proportion of the aliphatic diamine and diaminodisiloxane used is preferably 20 mol% or less based on the total diamine. Exceeding this ratio lowers the heat resistance of the thermocompression bonding polyimide. In order to block the amine end of the thermocompression-bondable polyimide, dicarboxylic acid anhydrides, for example, phthalic anhydride and a substituted product thereof, hexahydrophthalic anhydride and a substituted product thereof, succinic anhydride and a substituted product thereof, in particular, Phthalic anhydride may be used.

【0017】この発明における熱圧着性ポリイミドを得
るためには、前記の有機溶媒中、ジアミン(アミノ基の
モル数として)の使用量が酸無水物の全モル数(テトラ
酸二無水物とジカルボン酸無水物の酸無水物基としての
総モルとして)に対する比として、好ましくは0.92
〜1.1、特に0.98〜1.1、そのなかでも特に
0.99〜1.1であり、ジカルボン酸無水物の使用量
がテトラカルボン酸二無水物の酸無水物基モル量に対す
る比として、好ましくは0.05以下であるような割合
の各成分を反応させることができる。
In order to obtain the thermocompression-bondable polyimide according to the present invention, the amount of the diamine (as the number of moles of amino group) used in the organic solvent is the total number of moles of the acid anhydride (tetraacid dianhydride and dicarboxylic acid). (Total moles of anhydrides as anhydride groups), preferably 0.92
To 1.1, particularly 0.98 to 1.1, especially 0.99 to 1.1, and the amount of the dicarboxylic anhydride used is based on the molar amount of the acid anhydride group of the tetracarboxylic dianhydride. Each component can be reacted in such a ratio that the ratio is preferably 0.05 or less.

【0018】前記のジアミンおよびジカルボン酸無水物
の使用割合が前記の範囲外であると、得られるポリアミ
ック酸、従って熱圧着性ポリイミドの分子量が小さく、
金属箔との積層体の接着強度の低下をもたらす。また、
ポリアミック酸のゲル化を制限する目的でリン系安定
剤、例えば亜リン酸トリフェニル、リン酸トリフェニル
等をポリアミック酸重合時に固形分(ポリマ−)濃度に
対して0.01〜1%の範囲で添加することができる。
また、イミド化促進の目的で、ド−プ液中に塩基性有機
化合物を添加することができる。例えば、イミダゾ−
ル、2−イミダゾ−ル、1,2−ジメチルイミダゾ−
ル、2−フェニルイミダゾ−ル、ベンズイミダゾ−ル、
イソキノリン、置換ピリジンなどをポリアミック酸に対
して0.05〜10重量%、特に0.1〜2重量%の割
合で使用することができる。これらは比較的低温でポリ
イミドフィルムを形成するため、イミド化が不十分とな
ることを避けるために使用することができる。また、接
着強度の安定化の目的で、熱圧着性ポリイミド原料ド−
プに有機アルミニウム化合物、無機アルミニウム化合物
または有機錫化合物を添加してもよい。例えば水酸化ア
ルミニウム、アルミニウムトリアセチルアセトナ−トな
どをポリアミック酸に対してアルミニウム金属として1
ppm以上、特に1〜1000ppmの割合で添加する
ことができる。
When the use ratio of the diamine and the dicarboxylic anhydride is out of the above range, the molecular weight of the obtained polyamic acid, that is, the thermocompression-bondable polyimide is small,
The adhesive strength of the laminate with the metal foil is reduced. Also,
For the purpose of limiting the gelling of the polyamic acid, a phosphorus-based stabilizer such as triphenyl phosphite, triphenyl phosphate or the like is used in the range of 0.01 to 1% with respect to the solid content (polymer) concentration at the time of polyamic acid polymerization. Can be added.
Further, a basic organic compound can be added to the dope solution for the purpose of accelerating imidization. For example, imidazo
, 2-imidazole, 1,2-dimethylimidazo-
, 2-phenylimidazole, benzimidazole,
Isoquinoline, substituted pyridine and the like can be used in a proportion of 0.05 to 10% by weight, particularly 0.1 to 2% by weight based on the polyamic acid. Since these form a polyimide film at a relatively low temperature, they can be used to avoid insufficient imidization. In addition, for the purpose of stabilizing the adhesive strength, a thermocompression-bonding polyimide raw material dope was used.
An organic aluminum compound, an inorganic aluminum compound or an organic tin compound may be added to the mold. For example, aluminum hydroxide, aluminum triacetylacetonate or the like is used as an aluminum metal for polyamic acid.
It can be added at a ratio of at least ppm, especially 1 to 1000 ppm.

【0019】前記のポリアミック酸製造に使用する有機
溶媒は、耐熱性ポリイミドおよび熱圧着性ポリイミドの
いずれに対しても、N−メチル−2−ピロリドン、N,
N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトア
ミド、N,N−ジエチルアセトアミド、ジメチルスルホ
キシド、ヘキサメチルホスホルアミド、N−メチルカプ
ロラクタム、クレゾ−ル類などが挙げられる。これらの
有機溶媒は単独で用いてもよく、2種以上を併用しても
よい。
The organic solvent used for the production of the polyamic acid is N-methyl-2-pyrrolidone, N,
N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, dimethylsulfoxide, hexamethylphosphoramide, N-methylcaprolactam, cresols and the like. These organic solvents may be used alone or in combination of two or more.

【0020】この発明における多層ポリイミドフィルム
の製造においては、例えば上記の基体層の耐熱性ポリイ
ミドのポリアミック酸溶液と熱圧着層用の熱圧着性ポリ
イミドまたはその前駆体の溶液を共押出して、これをス
テンレス鏡面、ベルト面等の支持体面上に流延塗布し、
100〜200℃で半硬化状態またはそれ以前の乾燥状
態とすることが好ましい。200℃を越えた高い温度で
流延フィルムを処理すると、多層ポリイミドフィルムの
製造において、接着性の低下などの欠陥を来す傾向にあ
る。この半硬化状態またはそれ以前の状態とは、加熱お
よび/または化学イミド化によって自己支持性の状態に
あることを意味する。
In the production of the multilayer polyimide film of the present invention, for example, a polyamic acid solution of the above-mentioned heat-resistant polyimide for the base layer and a solution of the thermocompression-bondable polyimide or a precursor thereof for the thermocompression bonding layer are co-extruded, and this is extruded. Casting coating on the support surface such as stainless steel mirror surface, belt surface, etc.
It is preferable to set the semi-cured state at 100 to 200 ° C. or the dried state before that. Treating a cast film at a high temperature exceeding 200 ° C. tends to cause defects such as a decrease in adhesiveness in the production of a multilayer polyimide film. The semi-cured state or a state before that means that it is in a self-supporting state by heating and / or chemical imidization.

【0021】前記の基体層ポリイミドを与えるポリアミ
ック酸の溶液と、熱圧着性ポリイミドを与えるポリアミ
ック酸の溶液あるいはポリイミドの溶液との共押出し
は、例えば特開平3−180343号公報(特公平7−
102661号公報)に記載の共押出法によって三層の
押出し成形用ダイスに供給し、支持体上にキャストして
おこなうことができる。前記の基体層ポリイミドを与え
る押出し物層の両面に、熱圧着性ポリイミドを与えるポ
リアミック酸の溶液あるいはポリイミド溶液を積層して
多層フィルム状物を形成して乾燥後、熱圧着性ポリイミ
ドのガラス転移温度(Tg)以上で劣化が生じる温度以
下の温度、好適には250〜420℃の温度(表面温度
計で測定した表面温度)まで加熱して(好適にはこの温
度で1〜60分間加熱して)乾燥およびイミド化して、
基体層ポリイミドの両面に熱圧着性ポリイミドを有する
多層押出しポリイミドフィルムを製造することができ
る。
Co-extrusion of the above-mentioned solution of a polyamic acid for providing a polyimide for the base layer with a solution of a polyamic acid or a solution of a polyimide for providing a thermocompression-bonding polyimide is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 3-180343 (Japanese Patent Publication No.
No. 102661), it can be supplied to a three-layer extrusion molding die by a coextrusion method and cast on a support. On both surfaces of the extruded material layer providing the base layer polyimide, a polyamic acid solution or a polyimide solution providing the thermocompression-bondable polyimide is laminated to form a multilayer film-like material, dried, and then heated to a glass transition temperature of the thermocompression-bondable polyimide. (Tg) or higher and a temperature lower than the temperature at which deterioration occurs, preferably 250 to 420 ° C. (surface temperature measured by a surface thermometer) (preferably at this temperature for 1 to 60 minutes) ) Dried and imidized,
A multilayer extruded polyimide film having a thermocompression-bondable polyimide on both sides of the substrate layer polyimide can be produced.

【0022】この発明における熱圧着性ポリイミドは、
前記の酸成分とジアミン成分とを使用することによっ
て、好適にはガラス転移温度が190〜280℃、特に
200〜275℃であって、好適には前記の条件で乾燥
・イミド化して熱圧着性ポリイミドのゲル化を実質的に
起こさせないことによって達成される、ガラス転移温度
以上で300℃以下の範囲内の温度で溶融せず、かつ弾
性率(通常、275℃での弾性率が50℃での弾性率の
0.001〜0.5倍程度)を保持しているものが好ま
しい。
The thermocompression-bondable polyimide according to the present invention comprises:
By using the above-mentioned acid component and diamine component, the glass transition temperature is preferably 190 to 280 ° C., particularly 200 to 275 ° C. It does not melt at a temperature in the range of not less than the glass transition temperature and not more than 300 ° C., which is achieved by substantially not causing gelation of the polyimide, and has an elastic modulus (usually, the elastic modulus at 275 ° C. is 50 ° C.). (Approximately 0.001 to 0.5 times the modulus of elasticity).

【0023】この発明において、基体層ポリイミドのフ
ィルム(層)の厚さは5〜125μmであることが好ま
しく、熱圧着性ポリイミド(Y)層の厚さは1〜25μ
m、特に1〜15μm、その中でも特に2〜12μmが
好ましい。また、前記の熱圧着性ポリイミド(Y)層の
厚さは、使用する金属箔の表面粗さ(Rz)以上である
ことが好ましい。
In the present invention, the thickness of the polyimide film (layer) of the base layer is preferably 5 to 125 μm, and the thickness of the thermocompression-bondable polyimide (Y) layer is 1 to 25 μm.
m, particularly preferably 1 to 15 μm, and particularly preferably 2 to 12 μm. The thickness of the thermocompression-bondable polyimide (Y) layer is preferably not less than the surface roughness (Rz) of the metal foil used.

【0024】この発明において使用される金属箔(回路
用)としては、銅、アルミニウム、金、合金の箔など各
種金属箔が挙げられるが、好適には圧延銅箔、電解銅箔
などがあげられる。金属箔として、表面粗さRzが0.
5μm以上であるものが好ましい。また、金属箔の表面
粗さRzが10μm以下、特に7μm以下であるものが
好ましい。このような金属箔、例えば銅箔はVLP、L
P(またはHTE)として知られている。金属箔の厚さ
は特に制限はないが、5〜60μm、特に5〜20μm
であるものが好ましい。
Examples of the metal foil (for a circuit) used in the present invention include various metal foils such as copper, aluminum, gold, and alloy foils, and preferably, rolled copper foil, electrolytic copper foil, and the like. . As the metal foil, the surface roughness Rz is equal to 0.
Those having a size of 5 μm or more are preferred. The metal foil preferably has a surface roughness Rz of 10 μm or less, particularly preferably 7 μm or less. Such a metal foil, for example, a copper foil is VLP, L
Also known as P (or HTE). The thickness of the metal foil is not particularly limited, but 5 to 60 μm, particularly 5 to 20 μm
Is preferred.

【0025】この発明においては、引き剥がし可能な補
強材を使用することが必要である。このような補強材と
しては、Rzが3μm未満の耐熱性フィルムや金属箔を
挙げることができる。前記の補強材としての耐熱性フィ
ルムとしては、フッ素樹脂(例えば、PTFEなど)、
ポリイミドフィルム(宇部興産製、ユ−ピレックスSあ
るいはユ−ピレックスSMB)などがあげられる。ま
た、前記の表面粗さRzが3μm未満の金属箔として
は、圧延アルミニウム箔などを挙げることができる。こ
の発明において、Rz(引き剥がし可能な補強材)<R
z(回路用金属箔)であることが好ましい。
In the present invention, it is necessary to use a peelable reinforcing material. Examples of such a reinforcing material include a heat-resistant film and a metal foil having an Rz of less than 3 μm. As the heat-resistant film as the reinforcing material, a fluororesin (for example, PTFE or the like),
A polyimide film (Ubelex S or Upixex SMB, manufactured by Ube Industries) and the like. Examples of the metal foil having a surface roughness Rz of less than 3 μm include a rolled aluminum foil. In the present invention, Rz (peelable reinforcing material) <R
It is preferably z (metal foil for circuit).

【0026】この発明においては、前記の耐熱性ポリイ
ミド層の両面に熱圧着性ポリイミド層を有する多層ポリ
イミドフィルムの片面に金属箔を、他面に前記の補強材
を重ねて、少なくとも一対の加圧部材で連続的に、加圧
部の温度が熱圧着性ポリイミドのガラス転移温度より3
0℃以上で420℃以下の温度で加熱下に熱圧着してこ
の発明のポリイミド片面積層体を製造することができ
る。このような加圧部材としては、一対の圧着金属ロ−
ル(圧着部は金属製、セラミック溶射金属製のいずれで
もよい)またはダブルベルトプレスが挙げられ、特に加
圧下に熱圧着および冷却できるものであって、そのなか
でも特に液圧式のダブルベルトプレスを好適に挙げるこ
とができる。この発明においては、前記の加圧部材、例
えば金属ロ−ル、好適にはダブルベルトプレスを使用
し、前記の多層ポリイミドフィルムと金属箔と補強材と
を重ね合わせて、連続的に加熱下に圧着して、ポリイミ
ド片面積層体を製造することができる。
In the present invention, at least one pair of pressurized sheets are prepared by laminating a metal foil on one side and the reinforcing material on the other side of a multilayer polyimide film having a thermocompression-bondable polyimide layer on both sides of the heat-resistant polyimide layer. The temperature of the pressurized part is continuously higher than the glass transition temperature of the thermocompression-bondable polyimide by 3 members.
The polyimide single-layered product of the present invention can be produced by thermocompression bonding under heating at a temperature of 0 ° C. or more and 420 ° C. or less. Such a pressing member includes a pair of pressure-bonded metal rollers.
(Compression part may be made of metal or ceramic sprayed metal) or double belt press. Particularly, it can be thermocompression-bonded and cooled under pressure. Among them, hydraulic double belt press is particularly preferable. It can be suitably mentioned. In the present invention, the above-mentioned pressure member, for example, a metal roll, preferably a double belt press is used, and the above-mentioned multilayer polyimide film, metal foil and reinforcing material are superimposed and continuously heated. By crimping, a polyimide single-layered body can be manufactured.

【0027】この発明の方法は、特に多層ポリイミドフ
ィルムおよび金属箔が、ロ−ル巻きの状態で加圧部材に
それぞれ供給され、ポリイミド片面積層体をロ−ル巻き
の状態で得られる場合に特に好適である。
The method of the present invention is particularly useful when the multi-layer polyimide film and the metal foil are supplied to the pressing member in the form of a roll, respectively, and the polyimide single-layered body can be obtained in the form of a roll. It is suitable.

【0028】前記の方法によって、多層ポリイミドフィ
ルムの片面に金属箔が、補強材とポリイミドとの接着強
度の2倍以上の接着強度で積層され、他の面に補強材が
接着強度0.001kg/cm以上0.5kg/cm以
下でそれぞれ積層されてなる補強材を有するポリイミド
片面積層体を得ることができる。この発明の補強材を有
するポリイミド片面積層体は、成形加工性が良好で、補
強材を引き剥がしてもシワが生じないので、補強材を引
き剥がした後、熱圧着性ポリイミド面に他の基材、例え
ば、同種または異種の金属箔、金属板、セラミック板な
どを重ね合わせて加熱下に加圧して積層することができ
る。また、そのまま穴あけ加工、折り曲げ加工や絞り加
工などを行った後補強材を剥がして片面積層体とし、熱
圧着ポリイミド面に他の基材を加熱下に加圧して積層す
ることもできる。
According to the above-described method, a metal foil is laminated on one side of the multilayer polyimide film with an adhesive strength of at least twice the adhesive strength between the reinforcing material and the polyimide, and the reinforcing material has an adhesive strength of 0.001 kg / on the other surface. It is possible to obtain a polyimide single-layered body having a reinforcing material laminated at a thickness of not less than 0.5 cm / cm and not more than 0.5 kg / cm. The polyimide single-layer layer body having the reinforcing material of the present invention has good moldability and does not cause wrinkles even when the reinforcing material is peeled off. Materials, for example, the same or different kinds of metal foils, metal plates, ceramic plates, and the like can be overlapped and laminated by pressing under heating. Alternatively, after performing a drilling process, a bending process, a drawing process, or the like, the reinforcing material is peeled off to form a one-area layer body, and another base material can be laminated on the thermocompression-bonded polyimide surface by heating under pressure.

【0029】[0029]

【実施例】以下、この発明を実施例および比較例により
さらに詳細に説明する。以下の各例において、部は重量
部を意味する。以下の各例において、物性評価および銅
箔積層フィルムの剥離強度は以下の方法に従って測定し
た。 線膨張係数:20〜200℃、5℃/分の昇温速度で測
定(MD)した。 積層体の剥離強度:90°剥離強度を測定した。 外観:補強材を引き剥がしてポリイミド片面積層体加工
中に皺発生有無を含め外観を観察し評価した。
The present invention will be described below in more detail with reference to examples and comparative examples. In each of the following examples, parts mean parts by weight. In each of the following examples, the evaluation of physical properties and the peel strength of the copper foil laminated film were measured according to the following methods. Linear expansion coefficient: Measured (MD) at a heating rate of 20 to 200 ° C and 5 ° C / min. Peel strength of laminate: 90 ° peel strength was measured. Appearance: The reinforcing material was peeled off, and the appearance was evaluated by observing the appearance including the presence or absence of wrinkles during processing of the polyimide single-layer structure.

【0030】参考例 基体層ポリイミド製造用ド−プの合成例1 攪拌機、窒素導入管を備えた反応容器に、N−メチル−
2−ピロリドンを加え、さらに、パラフェニレンジアミ
ン(PPD)と3,3’,4,4’−ビフェニルテトラ
カルボン酸二無水物(s−BPDA)とを1000:9
98のモル比でモノマ−濃度が18%(重量%、以下同
じ)になるように加えた。添加終了後50℃を保ったま
ま3時間反応を続けた。得られたポリアミック酸溶液は
褐色粘調液体であり、25℃における溶液粘度は約15
00ポイズであった。この溶液をド−プとして使用し
た。
Reference Example Synthetic Example 1 of Dope for Producing Substrate Layer Polyimide A reaction vessel equipped with a stirrer and a nitrogen inlet tube was charged with N-methyl-
2-Pyrrolidone was added, and paraphenylenediamine (PPD) and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (s-BPDA) were further added at 1000: 9.
At a molar ratio of 98, the monomer concentration was 18% (% by weight, the same applies hereinafter). After completion of the addition, the reaction was continued for 3 hours while maintaining the temperature at 50 ° C. The obtained polyamic acid solution is a brown viscous liquid, and the solution viscosity at 25 ° C. is about 15
It was 00 poise. This solution was used as a dope.

【0031】熱圧着性ポリイミド製造用ド−プの合成−
1 攪拌機、窒素導入管を備えた反応容器に、N−メチル−
2−ピロリドンを加え、さらに、1,3−ビス(4−ア
ミノフェノキシ)ベンゼン(TPE−R)と2,3,
3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(a
−BPDA)とを1000:1000のモル比でモノマ
−濃度が22%になるように、またトリフェニルホスフ
ェ−トをモノマ−重量に対して0.1%加えた。添加終
了後25℃を保ったまま1時間反応を続けた。25℃に
おける溶液粘度は約2000ポイズであった。この溶液
をド−プとして使用した。
Synthesis of Dope for Production of Thermocompression Bondable Polyimide
1 In a reaction vessel equipped with a stirrer and a nitrogen inlet tube, add N-methyl-
2-Pyrrolidone was added, and 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene (TPE-R) and 2,3,3
3 ', 4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (a
-BPDA) in a molar ratio of 1000: 1000 to give a monomer concentration of 22%, and triphenyl phosphate was added in an amount of 0.1% by weight of the monomer. After completion of the addition, the reaction was continued for 1 hour while maintaining the temperature at 25 ° C. The solution viscosity at 25 ° C. was about 2000 poise. This solution was used as a dope.

【0032】多層ポリイミドフィルムの製造 前記の基体層ポリイミド製造用ド−プと熱圧着性ポリイ
ミド製造用ド−プとを三層押出し成形用ダイス(マルチ
マニホ−ルド型ダイス)を設けた製膜装置を使用し、三
層押出ダイスから金属製支持体上に流延し、140℃の
熱風で連続的に乾燥し、固化フィルムを形成した。この
固化フィルムを支持体から剥離した後加熱炉で200℃
から320℃まで徐々に昇温して溶媒の除去、イミド化
を行い長尺状の三層押出しポリイミドフィルムを巻き取
りロ−ルに巻き取った。得られた三層押出しポリイミド
フィルムは、各層の厚みが4μm/17μm/4μmで
あり、線膨張係数(50−200℃)が、MD:23p
pm/℃、TD:19ppm/℃、平均:21ppm/
℃であり、引張弾性率が526kg/mm2で、基体層
ポリイミドのガラス転移温度は400℃以下の温度で確
認されず、熱圧着層ポリイミドはガラス転移温度が25
0℃であり、275℃での弾性率が50℃での弾性率の
0.002倍であり、ゲル化が実質的に生じていなかっ
た。
Production of Multilayer Polyimide Film A film-forming apparatus provided with a three-layer extrusion die (multi-manifold type die) of the above-mentioned base layer polyimide production dope and thermocompression bonding polyimide production dope. Used, it was cast on a metal support from a three-layer extrusion die and dried continuously with hot air at 140 ° C. to form a solidified film. After the solidified film is peeled from the support, the film is heated at 200 ° C.
Then, the temperature was gradually raised to 320 ° C. to remove the solvent and imidize, and a long three-layer extruded polyimide film was taken up on a take-up roll. The obtained three-layer extruded polyimide film has a thickness of each layer of 4 μm / 17 μm / 4 μm and a linear expansion coefficient (50-200 ° C.) of MD: 23 p.
pm / ° C, TD: 19 ppm / ° C, average: 21 ppm /
° C, the tensile modulus is 526 kg / mm 2 , the glass transition temperature of the polyimide of the base layer is not confirmed at a temperature of 400 ° C or less, and the polyimide of the thermocompression bonding layer has a glass transition temperature of 25 ° C.
It was 0 ° C., the elastic modulus at 275 ° C. was 0.002 times the elastic modulus at 50 ° C., and substantially no gelation occurred.

【0033】実施例1 ダブルベルトプレスに、前記の三層押出しポリイミドフ
ィルムを約150℃に予熱して連続的に供給し、その両
側からロ−ル巻きした電解銅箔(福田金属箔粉工業株式
会社製、CF−T9、VP、Rzが5μm、厚さ18μ
m)とフッ素樹脂(PTFE、Rzが1μm未満、厚さ
38μm)とを連続的に供給し、加熱ゾ−ンの温度(最
高加熱温度)380℃、冷却ゾ−ンの温度(最低冷却温
度)117℃で、連続的に加圧下に熱圧着−冷却して、
補強材を有するポリイミド片面積層体を巻き取った。評
価結果を次に示す。 補強材を有するポリイミド片面積層体の評価結果 接着強度(kg/cm) 銅箔側:1.2kg/cm 補強材側:0.001kg/cm 補強材引き剥がし時の加工性:良好、シワ発生なし
Example 1 The above-mentioned three-layer extruded polyimide film was preheated to about 150 ° C. and continuously supplied to a double belt press, and rolled from both sides of the electrodeposited copper foil (Fukuda Metal Foil & Powder Co., Ltd.) Made by company, CF-T9, VP, Rz is 5μm, thickness 18μ
m) and a fluororesin (PTFE, Rz less than 1 μm, thickness 38 μm) are continuously supplied, and the temperature of the heating zone (maximum heating temperature) 380 ° C., the temperature of the cooling zone (minimum cooling temperature) At 117 ° C., continuously thermocompression-pressed and cooled under pressure,
The polyimide single-layer body having the reinforcing material was wound up. The evaluation results are shown below. Evaluation result of polyimide single-area layer body with reinforcing material Adhesive strength (kg / cm) Copper foil side: 1.2 kg / cm Reinforcement side: 0.001 kg / cm Workability when peeling off reinforcing material: good, no wrinkles

【0034】実施例2 補強材として、ポリイミドフィルム(宇部興産製、ユ−
ピレックスS、Rzが0.01μm、25μm)に変え
た他は、実施例1と同様に実施した。結果を次に示す。 接着強度(kg/cm) 銅箔側:1.3kg/cm 補強材側:0.002kg/cm 補強材引き剥がし時の加工性:良好、シワ発生なし
Example 2 A polyimide film (Ube Industries, U.S.A.) was used as a reinforcing material.
Except that Pyrex S and Rz were changed to 0.01 μm and 25 μm), the same operation as in Example 1 was performed. The results are shown below. Adhesive strength (kg / cm) Copper foil side: 1.3 kg / cm Reinforcement side: 0.002 kg / cm Workability when peeling off reinforcement: good, no wrinkles

【0035】実施例3 補強材として、ポリイミドフィルム(宇部興産製、ユ−
ピレックスSMB、Rzが2μm未満、40μm)に変
えた他は、実施例1と同様に実施した。結果を次に示
す。 接着強度(kg/cm) 銅箔側:1.2kg/cm 補強材側:0.01kg/cm 補強材引き剥がし時の加工性:良好、シワ発生なし
Example 3 A polyimide film (Ube Industries, U.S.A.)
Pyrex SMB, Rz was less than 2 μm, 40 μm). The results are shown below. Adhesive strength (kg / cm) Copper foil side: 1.2 kg / cm Reinforcement side: 0.01 kg / cm Workability when peeling off reinforcement: good, no wrinkles

【0036】実施例4 補強材として、圧延銅箔(ポリイミドと積層するシャイ
ニ−面のRz0.7μm、厚さ15μm)に変えた他
は、実施例1と同様に実施した。結果を次に示す。 接着強度(kg/cm) 銅箔側:1.1kg/cm 補強材側:0.3kg/cm 補強材引き剥がし時の加工性:良好、シワ発生なし
Example 4 Example 4 was carried out in the same manner as in Example 1 except that the reinforcing material was changed to a rolled copper foil (Rz 0.7 μm on the shiny surface laminated with polyimide, thickness 15 μm). The results are shown below. Adhesive strength (kg / cm) Copper foil side: 1.1 kg / cm Reinforcement side: 0.3 kg / cm Workability when peeling off reinforcement: good, no wrinkles

【0037】実施例5 金属箔として電解銅箔(福田金属箔粉工業株式会社製、
CF−T9、VP、Rzが4.5μm、厚さ12μm)
を、補強材としてポリイミドフィルム(宇部興産製、ユ
−ピレックスS、Rzが0.01μm、厚さ25μm)
を使用した他は、実施例1と同様に実施した。結果を次
に示す。 接着強度(kg/cm) 銅箔側:1.0kg/cm 補強材側:0.002kg/cm 補強材引き剥がし時の加工性:良好、シワ発生なし
Example 5 Electrolytic copper foil (manufactured by Fukuda Metal Foil & Powder Co., Ltd.)
(CF-T9, VP, Rz is 4.5 μm, thickness 12 μm)
As a reinforcing material, a polyimide film (made by Ube Industries, UPYLEX S, Rz 0.01 μm, thickness 25 μm)
Was carried out in the same manner as in Example 1 except that was used. The results are shown below. Adhesive strength (kg / cm) Copper foil side: 1.0 kg / cm Reinforcement side: 0.002 kg / cm Workability when peeling off reinforcement: good, no wrinkles

【0038】実施例6 金属箔として電解銅箔(福田金属箔粉工業株式会社製、
CF−T9、VP、Rzが4.5μm、厚さ9μm)を
使用した他は、実施例5と同様に実施した。結果を次に
示す。 接着強度(kg/cm) 銅箔側:0.9kg/cm 補強材側:0.002kg/cm 補強材引き剥がし時の加工性:良好、シワ発生なし
Example 6 Electrolytic copper foil (manufactured by Fukuda Metal Foil Powder Co., Ltd.)
Except for using CF-T9, VP, and Rz of 4.5 μm and a thickness of 9 μm), the same operation as in Example 5 was performed. The results are shown below. Adhesive strength (kg / cm) Copper foil side: 0.9 kg / cm Reinforcement side: 0.002 kg / cm Workability when peeling off reinforcement: good, no wrinkles

【0039】実施例7 金属箔として圧延銅箔(株式会社ジャパンエナジ−製、
BHY13HT、Rzが0.8μm、厚さ18μm)を
使用した他は、実施例5と同様に実施した。結果を次に
示す。 接着強度(kg/cm) 銅箔側:1.3kg/cm 補強材側:0.002kg/cm 補強材引き剥がし時の加工性:良好、シワ発生なし
Example 7 Rolled copper foil (manufactured by Japan Energy Co., Ltd.
BHY13HT, Rz was 0.8 μm, and thickness was 18 μm), except that the same operation as in Example 5 was performed. The results are shown below. Adhesive strength (kg / cm) Copper foil side: 1.3 kg / cm Reinforcement side: 0.002 kg / cm Workability when peeling off reinforcement: good, no wrinkles

【0040】実施例8 金属箔として圧延銅箔(株式会社ジャパンエナジ−製、
BHY22B、Rzが0.8μm、厚さ12μm)を使
用した他は、実施例5と同様に実施した。結果を次に示
す。 接着強度(kg/cm) 銅箔側:1.0kg/cm 補強材側:0.002kg/cm 補強材引き剥がし時の加工性:良好、シワ発生なし
Example 8 Rolled copper foil (manufactured by Japan Energy Co., Ltd.,
BHY22B, Rz was 0.8 μm, and thickness was 12 μm), except that Example 5 was used. The results are shown below. Adhesive strength (kg / cm) Copper foil side: 1.0 kg / cm Reinforcement side: 0.002 kg / cm Workability when peeling off reinforcement: good, no wrinkles

【0041】実施例9 補強材として、アルミニウム箔(サンアルミニウム工業
株式会社製、Rz1.7μm、厚さ20μm)に変えた
他は、実施例1と同様に実施した。結果を次に示す。 接着強度(kg/cm) 銅箔側:1.0kg/cm 補強材側:0.005kg/cm 補強材引き剥がし時の加工性:良好、シワ発生なし
Example 9 The same procedure as in Example 1 was carried out except that the reinforcing material was changed to aluminum foil (Rz 1.7 μm, thickness 20 μm, manufactured by Sun Aluminum Industry Co., Ltd.). The results are shown below. Adhesive strength (kg / cm) Copper foil side: 1.0 kg / cm Reinforcement side: 0.005 kg / cm Workability when peeling off reinforcement: good, no wrinkles

【0042】比較例1 両面に金属箔:電解銅箔(福田金属箔粉工業株式会社
製、CF−T9、VP、Rzが5μm、厚さ18μm)
を積層した他は、実施例1と同様に実施した。結果を次
に示す。 接着強度(kg/cm) 銅箔側:1.2kg/cm 銅箔側:1.2kg/cm 補強材引き剥がし時の加工性:不良、シワ発生
Comparative Example 1 Metal foil on both sides: electrolytic copper foil (manufactured by Fukuda Metal Foil & Powder Co., Ltd., CF-T9, VP, Rz: 5 μm, thickness: 18 μm)
Was carried out in the same manner as in Example 1 except that was laminated. The results are shown below. Adhesive strength (kg / cm) Copper foil side: 1.2 kg / cm Copper foil side: 1.2 kg / cm Workability when peeling off reinforcing material: poor, wrinkles

【0043】比較例2 両面に金属箔:電解銅箔(福田金属箔粉工業株式会社
製、CF−T9、VP、Rzが4.5μm、厚さ9μ
m)を積層した他は、実施例1と同様に実施した。結果
を次に示す。 接着強度(kg/cm) 銅箔(上側):0.9kg/cm 銅箔(下側):0.8kg/cm 補強材引き剥がし時の加工性:不良、シワ発生
Comparative Example 2 Metal foil on both sides: electrolytic copper foil (manufactured by Fukuda Metal Foil & Powder Co., Ltd., CF-T9, VP, Rz 4.5 μm, thickness 9 μm)
m) was carried out in the same manner as in Example 1 except that m) was laminated. The results are shown below. Adhesive strength (kg / cm) Copper foil (upper): 0.9 kg / cm Copper foil (lower): 0.8 kg / cm Workability when peeling off reinforcing material: poor, wrinkles

【0044】実施例10 各実施例1〜9で得られた補強材を有するポリイミド片
面積層体補強材を引き剥がし、電解銅箔(厚み18μ
m)と340℃で60kg2/cm×5分の条件で積層
して基板を得た。成形加工の際に、シワが発生せず表面
状態も良好であり、曲げ加工や絞り加工も問題なく行う
ことができた。
Example 10 The polyimide single-layered layered body reinforcing material having the reinforcing material obtained in each of Examples 1 to 9 was peeled off, and an electrolytic copper foil (18 μm thick) was used.
m) at 340 ° C. under a condition of 60 kg 2 / cm × 5 minutes to obtain a substrate. During the forming process, no wrinkles were generated, the surface condition was good, and bending and drawing could be performed without any problem.

【0045】[0045]

【発明の効果】この発明によれば、以上のような構成を
有しているため、成形加工性が良好で補強材を引き剥が
してもシワがほとんど生じないポリイミド片面金属箔積
層体を与える補強材を有するポリイミド片面積層体を得
ることができる。
According to the present invention, there is provided a polyimide single-sided metal foil laminate which has the above-mentioned structure, has good moldability and hardly generates wrinkles even when the reinforcing material is peeled off. Thus, a polyimide single-layer material having a material can be obtained.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉岡 和彦 山口県宇部市大字小串1978番地の10 宇部 興産株式会社宇部ケミカル工場内 Fターム(参考) 4F100 AB01D AB17 AB33D AK49A AK49B AK49C BA05 BA07 BA10D BA10E CB00 DH00E EC032 EH20 EJ192 JJ03A JL11D JL12B JL12C YY00D YY00E  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Kazuhiko Yoshioka 10F, 1978 Kogushi, Obe-shi, Ube-shi, Yamaguchi F-term in the Ube Chemical Plant Ube Chemical Factory 4F100 AB01D AB17 AB33D AK49A AK49B AK49C BA05 BA07 BA10D BA10E CB00 DH00E EC032 EH20 EJ192 JJ03A JL11D JL12B JL12C YY00D YY00E

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 耐熱性ポリイミド層の両面に熱圧着性ポ
リイミド層を有する多層ポリイミドフィルムの片面に金
属箔が補強材とポリイミドとの接着強度の2倍以上の接
着強度で積層され、他の面に補強材が接着強度0.00
1kg/cm以上0.5kg/cm以下でそれぞれ積層
されてなる補強材を有するポリイミド片面積層体。
1. A multilayer polyimide film having a thermocompression-bondable polyimide layer on both sides of a heat-resistant polyimide layer, a metal foil laminated on one side with an adhesive strength of at least twice the adhesive strength between the reinforcing material and the polyimide, and Has a bonding strength of 0.00
A polyimide single-layered body having a reinforcing material laminated at 1 kg / cm or more and 0.5 kg / cm or less.
【請求項2】 多層ポリイミドフィルムが、耐熱性ポリ
イミド層の両面に熱圧着性ポリイミド層を一体に積層し
てなる多層押出ポリイミドフィルムである請求項1に記
載の補強材を有するポリイミド片面積層体。
2. The polyimide single-layer laminate having a reinforcing material according to claim 1, wherein the multilayer polyimide film is a multilayer extruded polyimide film obtained by integrally laminating a thermocompression-bondable polyimide layer on both surfaces of a heat-resistant polyimide layer.
【請求項3】 耐熱性ポリイミド層の両面に熱圧着性ポ
リイミド層を有する多層ポリイミドフィルムの片面に金
属箔を、他の面に補強材を重ね、これらを熱圧着するこ
とを特徴とする補強材を有するポリイミド片面積層体の
製造法。
3. A reinforcing material characterized by laminating a metal foil on one surface and a reinforcing material on the other surface of a multilayer polyimide film having a thermocompression-bonding polyimide layer on both surfaces of a heat-resistant polyimide layer, and thermocompressing them. A method for producing a polyimide single-layered product having:
【請求項4】 熱圧着を連続ラミネ−ト装置によって行
って、長尺のロ−ル状積層体とする請求項3に記載の補
強材を有するポリイミド片面積層体の製造法。
4. The method for producing a polyimide single-layered product having a reinforcing material according to claim 3, wherein the thermocompression bonding is performed by a continuous laminating device to form a long roll-shaped laminated product.
【請求項5】 熱圧着を、長尺のロ−ル状ダブルベルト
プレスによって行う請求項3に記載の補強材を有するポ
リイミド片面積層体の製造法。
5. The method according to claim 3, wherein the thermocompression bonding is performed by a long roll-shaped double belt press.
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