JP2001152175A - Low-dusting lubricant and low-dusting grease - Google Patents
Low-dusting lubricant and low-dusting greaseInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、潤滑剤の微細な
飛沫が発生し難い低発塵性の潤滑剤並びにグリース、及
びこれらを用いた転がり軸受並びに直動装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a low-dust lubricant and a grease which are unlikely to generate fine droplets of a lubricant, and a rolling bearing and a linear motion device using the same.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、半導体製造設備や液晶製造設備
などでは、製造工程において製品や部品に触れる空気中
の浮遊粒状物質量が一定の規定されたレベル以下となる
ように空調管理がなされている。これは、微細な塵埃が
製品や材料に付着すると、製品の歩留りが低下し、製造
効率を低下させるためであり、清浄な雰囲気に管理され
た空間はクリーンルームと呼ばれている。また、電子計
算機のハードディスク等の情報記録装置においても、記
録媒体の表面に微細な塵埃が付着しただけで誤作動が起
きる可能性がある。これらのため、クリーンルーム内の
設備や情報記録装置、又はそれらの付近で使用する軸受
には、潤滑グリースの飛沫（ミスト状の微細な飛沫）が
発生しないようなグリースを採用した低発塵性転がり軸
受が採用されている。2. Description of the Related Art In general, in semiconductor manufacturing equipment and liquid crystal manufacturing equipment, air conditioning is controlled so that the amount of suspended particulate matter in the air that comes into contact with products and parts in a manufacturing process is less than a certain prescribed level. . This is because, when fine dust adheres to a product or a material, the yield of the product is reduced, and the production efficiency is reduced. A space managed in a clean atmosphere is called a clean room. Further, even in an information recording device such as a hard disk of an electronic computer, a malfunction may be caused only by minute dust adhering to the surface of the recording medium. For these reasons, low-dust-generating rolling that uses grease that does not generate lubricating grease (fine mist-like droplets) is used for bearings used in or near facilities and information recording devices in clean rooms. Bearings are employed.
【０００３】ところで、大気中及び真空中の両条件下に
おいてクリーンルーム内で使用される装置の転がり軸受
や直動装置には、蒸気圧の低い潤滑剤を使用するか、あ
るいは潤滑部分に固体潤滑被膜を施していた。このよう
な潤滑剤の代表例として、パーフルオロポリエーテル
（ＰＦＰＥ）を基油とし、ポリテトラフルオロエチレン
（ＰＴＦＥ）を増ちょう剤とするグリースがある。ま
た、固体潤滑被膜の代表例としては、上記ＰＴＦＥが挙
げられる。これらのふっ素系グリースやＰＴＦＥは、飛
沫が発生しにくく低発塵性を有し、好ましい。For rolling bearings and linear motion devices used in a clean room under both atmospheric and vacuum conditions, a lubricant having a low vapor pressure is used, or a solid lubricating film is applied to the lubricating portion. Was given. A representative example of such a lubricant is grease using perfluoropolyether (PFPE) as a base oil and polytetrafluoroethylene (PTFE) as a thickener. A typical example of the solid lubricating film is PTFE. These fluorine-based greases and PTFE are preferable because they do not easily generate droplets and have low dust generation.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、蒸気圧
の低い潤滑剤として上記ふっ素系グリースを使用した場
合、潤滑性が不充分となりやすく、軸受トルクが大きく
なるという欠点を有する。一方、固体潤滑被膜としてＰ
ＴＦＥを使用した場合には、処理するのに多くの時間と
費用を要し、また、音響性能が良くないため、特に低騒
音、低振動性が重視される場合には適用できなかった。However, when the above-mentioned fluorine-based grease is used as a lubricant having a low vapor pressure, there is a disadvantage that lubricity tends to be insufficient and a bearing torque increases. On the other hand, P
When TFE is used, it takes a lot of time and cost to perform the treatment, and the acoustic performance is poor. Therefore, it cannot be applied particularly when low noise and low vibration are important.
【０００５】そこで、この発明は、低発塵性及び十分な
潤滑性を有し、真空中でも蒸気圧が低い潤滑剤やグリー
スを提供することを目的とする。Accordingly, an object of the present invention is to provide a lubricant or grease having low dust generation and sufficient lubricity and having a low vapor pressure even in a vacuum.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】この発明は、表面張力
（２５℃）が２５ｍＮ／ｍ以上の潤滑油を用いた、蒸気
圧（２５℃）が１×１０-5Ｐａ以下である潤滑剤を使用
することにより、また、上記潤滑油を基油として上記蒸
気圧を有するグリースに用いることにより、上記の課題
を解決したのである。According to the present invention, there is provided a lubricant having a vapor pressure (25 ° C.) of 1 × 10 −5 Pa or less using a lubricating oil having a surface tension (25 ° C.) of 25 mN / m or more. The above problem was solved by using the lubricating oil as a base oil for grease having the above vapor pressure.
【０００７】潤滑油の表面張力が大きい、すなわち、変
形させるのに大きなエネルギーを要する潤滑油は、潤滑
油切れを生じさせにくく、潤滑性が良好となる。また、
ミスト状の微細な飛沫が発生しにくいため、低発塵性と
なる。このため、上記所定の表面張力を有する潤滑油を
用いることにより、良好な潤滑性及び低発塵性を発揮す
ることができる。また、所定の蒸気圧を有するので、大
気中のみならず、真空中でも使用することができる。A lubricating oil having a large surface tension, that is, a lubricating oil that requires a large amount of energy to deform, is unlikely to cause lubrication oil shortage and has good lubricity. Also,
Since mist-like fine droplets are not easily generated, low dust generation is achieved. Therefore, by using the lubricating oil having the above-mentioned predetermined surface tension, good lubricity and low dust generation can be exhibited. Further, since it has a predetermined vapor pressure, it can be used not only in the atmosphere but also in a vacuum.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態を説明
する。Embodiments of the present invention will be described below.
【０００９】この発明にかかる低発塵潤滑剤及び低発塵
グリースは、２５℃における表面張力が２５ｍＮ／ｍ以
上の潤滑油を用いた、２５℃における蒸気圧が１×１０
-5Ｐａ以下である潤滑剤であり、また、上記潤滑油を基
油とした、２５℃における蒸気圧が１×１０-5Ｐａ以下
であるグリースである。The low dusting lubricant and the low dusting grease according to the present invention use a lubricating oil having a surface tension of 25 mN / m or more at 25 ° C. and a vapor pressure of 1 × 10 at 25 ° C.
A grease having a vapor pressure of 1 × 10 −5 Pa or less at 25 ° C. based on the lubricant described above.
【００１０】上記潤滑油としては、合成炭化水素油、エ
ーテル油、シクロペンタン油等をあげることができる
が、２５℃における表面張力が２５ｍＮ／ｍ以上であれ
ば、特に限定されるものではない。潤滑油の２５℃にお
ける表面張力が２５ｍＮ／ｍ以上であると、潤滑油を変
形させるので大きなエネルギーを要することとなり、潤
滑油切れを生じさせにくく、潤滑性が良好となる。ま
た、ミスト状の微細な飛沫が発生しにくいため、低発塵
性を発揮することができる。Examples of the lubricating oil include synthetic hydrocarbon oil, ether oil, cyclopentane oil and the like, but are not particularly limited as long as the surface tension at 25 ° C. is 25 mN / m or more. When the surface tension of the lubricating oil at 25 ° C. is 25 mN / m or more, the lubricating oil is deformed, so that a large amount of energy is required. Further, since mist-like fine droplets are not easily generated, low dust generation can be exhibited.
【００１１】潤滑油の粘度は、１０〜２００ｍｍ2 ／ｓ
が好ましく、２０〜１００ｍｍ2 ／ｓがより好ましい。
１０ｍｍ2 ／ｓ未満では蒸発量が多くなる場合があり、
軸受や直動装置の寿命が短くなることがある。また、２
００ｍｍ2 ／ｓを越えると、トルクが大きくなりすぎる
場合がある。The viscosity of the lubricating oil is 10 to 200 mm 2 / s
Is preferably 20 to 100 mm 2 / s.
If it is less than 10 mm 2 / s, the amount of evaporation may increase,
The life of bearings and linear motion devices may be shortened. Also, 2
If it exceeds 00 mm 2 / s, the torque may be too large.
【００１２】上記合成炭化水素としては、ポリ−α−オ
レフィン油、ポリ−α−オレフィンとエチレンのコオリ
ゴマー合成油、液状ポリブテンなどのオレフィン重合
油、又はアルキル芳香族油などがあげられる。このう
ち、１−デセン（ＣＨ3 −（ＣＨ 2 ）7 −ＣＨ＝Ｃ
Ｈ2 ）のオリゴマーやポリーα−オレフインとエチレン
の共重合体からなる合成油などを用いることが好まし
い。As the above synthetic hydrocarbon, poly-α-O
Refin oil, Koori of poly-α-olefin and ethylene
Olefin polymerization of sesame synthetic oil and liquid polybutene
And oils or alkyl aromatic oils. This
1-decene (CHThree− (CH Two)7-CH = C
HTwo) Oligomers and poly-α-olefins and ethylene
It is preferable to use a synthetic oil consisting of a copolymer of
No.
【００１３】上記エーテル油としては、市販されている
芳香環数が２〜５環のものがいずれも使用できるが、芳
香環の数が増えるとそれだけ低温域での性能が低下し、
高価になる。そのため、芳香環数が２〜４環であってア
ルキル置換基によって低温性能を向上させたジフェニ
ル、トリフェニル、テトラフェニルのＣ12〜Ｃ20のアル
キル基が導入されたフェニルエーテル油が好ましく、よ
り好ましくはアルキルジフェニルエーテル油である。As the ether oil, any commercially available ether oil having 2 to 5 aromatic rings can be used. However, as the number of aromatic rings increases, the performance in the low temperature range decreases.
It will be expensive. Therefore, diphenyl number aromatic rings to improve the low temperature performance by a alkyl substituent 2-4 ring, triphenyl, C 12 -C 20 phenyl ether oil in which the alkyl group is introduced in the tetraphenyl, more Preferably, it is an alkyl diphenyl ether oil.
【００１４】上記シクロペンタン油としては、アルキル
シクロペンタン油なども例示できる。この潤滑油の例と
してナイ ルブリカンツ社（Ｎｙｅ Ｌｕｂｒｉｃａｎ
ｔｓ社）製のナイ シンセティックオイル（ＮｙｅＳｙ
ｎｔｈｅｔｉｃ Ｏｉｌ）２００１Ａをあげることがで
きる。Examples of the above-mentioned cyclopentane oil include an alkylcyclopentane oil. An example of such a lubricating oil is Nye Lubricants.
ts) manufactured by NySy
(Abstract No. artificial oil) 2001A.
【００１５】上記潤滑油は、表面張力および蒸気圧が規
定の範囲であれば、単独で使用しても、混合して使用し
ても構わない。The above lubricating oils may be used alone or as a mixture as long as the surface tension and the vapor pressure are within specified ranges.
【００１６】上記潤滑油には機能を損なわない限り、酸
化防止剤、極圧剤、摩耗抑制剤、防錆剤、清浄分散剤な
どといった、いわゆる潤滑油添加剤を添加しても良い。So-called lubricating oil additives such as an antioxidant, an extreme pressure agent, a wear inhibitor, a rust inhibitor, a cleaning dispersant and the like may be added to the lubricating oil as long as the function is not impaired.
【００１７】また、上記潤滑油を基油としたグリースに
使用される増ちょう剤としては、リチウム石けん、ナト
リウム石けんのような金属石けん系や、ウレア化合物、
ベントンのような非石けん系を例示することができる。
ちょう度は特に限定されないが、軸受等への封入を考慮
すれば、ＪＩＳちょう度番号の２〜４号が好ましい。Thickeners used in the above-described greases based on lubricating oils include metal soaps such as lithium soap and sodium soap, urea compounds, and the like.
Non-soap systems such as Benton can be exemplified.
The consistency is not particularly limited, but JIS consistency numbers 2 to 4 are preferable in consideration of encapsulation in a bearing or the like.
【００１８】上記の潤滑油を用いた潤滑剤及びグリース
の２５℃における蒸気圧は、１×１０-5Ｐａ以下であれ
ば、特に限定されるものではない。潤滑油の２５℃にお
ける蒸気圧が１×１０-5Ｐａ以下であると、真空中で潤
滑油の発散を防止することができ、大気中のみならず、
真空中でも使用することが可能となる。The vapor pressure at 25 ° C. of the lubricant and grease using the above lubricating oil is not particularly limited as long as it is 1 × 10 −5 Pa or less. When the vapor pressure of the lubricating oil at 25 ° C. is 1 × 10 −5 Pa or less, it is possible to prevent the lubricating oil from diverging in a vacuum,
It can be used even in a vacuum.
【００１９】上記低発塵潤滑油や低発塵グリースを転が
り軸受や直動装置に使用することにより、その転がり軸
受や直動装置を低発塵化させることができ、また、大気
中だけでなく、真空中でも使用することができる。By using the low-dust lubricating oil and low-dust grease for a rolling bearing and a linear motion device, the rolling bearing and the linear motion device can be reduced in dust generation. And can be used in vacuum.
【００２０】上記低発塵潤滑油や低発塵グリースを使用
した転がり軸受や直動装置は、クリーンルーム内で使用
される半導体製造装置、液晶製造装置、これらの装置の
搬送装置、電子計算機のハードディスク等の情報記録装
置に用いることにより、クリーンルーム内の清浄状態を
維持することができ、不良品の発生を抑制することがで
きる。Rolling bearings and linear motion devices using the above-mentioned low-dust lubricating oil and low-dust grease are used in semiconductor manufacturing equipment and liquid crystal manufacturing equipment used in a clean room, transfer equipment for these equipment, and hard disks for electronic computers. And the like, it is possible to maintain a clean state in the clean room and suppress occurrence of defective products.
【００２１】[0021]
【実施例】以下に実施例および比較例を挙げて具体的に
説明するが、本特許はこれらの例に限定されるものでは
ない。なお、実施例及び比較例に用いた潤滑油は下記の
ものである。また、評価試験として、以下の試験を行っ
た。The present invention will be specifically described below with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to these examples. The lubricating oils used in Examples and Comparative Examples are as follows. The following tests were performed as evaluation tests.
【００２２】〔潤滑油〕 モレスコハイルーブＬＢ１００（組成：アルキルジフ
ェニルエーテル，松村石油研究所社製；以下、「ＬＢ１
００」と略する。） モレスコハイルーブＳ−３１０３（組成：テトラフェ
ニルエーテル，松村石油研究所社製；以下、「Ｓ−３１
０３」と略する。） ＮＹＥ２００１Ａ（組成：シクロペンタン，ＮＹＥ
Ｌｕｂｒｉｃａｎｔｓ社製） ＳＨ２００（組成：シリコーン，東レ・ダウコーニン
グ社製） Ｓ−２００（組成：ＰＦＰＥ，ダイキン工業社製） スーパオイルＣ（組成：鉱油，日石三菱社製） レオルーブＯＴＭ（組成：エステル，ＦＭＣ社製） クライトックスＧＰＬ２２５（グリース、組成：ＰＴ
ＦＥ＋ＰＦＰＥ，デュポン社製）。[Lubricating oil] Moresco Hylube LB100 (composition: alkyl diphenyl ether, manufactured by Matsumura Petroleum Institute Co., Ltd .; hereinafter, referred to as "LB1
00 ”. ) Moresco Hylube S-3103 (composition: tetraphenyl ether, manufactured by Matsumura Petroleum Institute Co., Ltd .; hereinafter, "S-31")
03 ”. NYE2001A (Composition: cyclopentane, NYE)
SH200 (composition: silicone, manufactured by Dow Corning Toray Co., Ltd.) S-200 (composition: PFPE, manufactured by Daikin Industries, Ltd.) Super Oil C (composition: mineral oil, manufactured by Nisseki Mitsubishi Co., Ltd.) REORV OTM (composition: ester , Manufactured by FMC) Krytox GPL225 (grease, composition: PT
FE + PFPE, manufactured by DuPont).
【００２３】〔発塵試験１（大気中）〕図１に示す試験
装置を用いて、下記の試験条件下で、大気中における軸
受の発塵個数を測定した。[Dust Generation Test 1 (in Air)] The number of generated particles of the bearing in the air was measured using the test apparatus shown in FIG. 1 under the following test conditions.
【００２４】具体的には、試験軸受５をクリーンボック
ス１内に設置した、回転止め８が付属したハウジング７
に組み込む。このハウジング７には、コイルばね６によ
って所定のスラスト荷重の負荷がかけられている。ま
た、試験軸受５には、モータ３によって連続回転が与え
られる。クリーンボックス１には、２つの穴を有し、一
方の穴からクリーンエアが導入され、他方の穴からダス
トカウンタ２に内蔵されたポンプによって一定の流量で
吸引される。More specifically, a housing 7 in which the test bearing 5 is installed in the clean box 1 and the rotation stopper 8 is attached
Incorporate in. A predetermined thrust load is applied to the housing 7 by the coil spring 6. The test bearing 5 is continuously rotated by the motor 3. The clean box 1 has two holes, clean air is introduced from one of the holes, and is suctioned at a constant flow rate from the other hole by a pump built in the dust counter 2.
【００２５】軸受より発生した塵は、このクリーンエア
にのり、ダストカウンタ２によりその個数及び粒子径が
計測される。なお、モータ３からの発塵は、磁性流体シ
ール４によって遮断されるため、ダストカウンタ２では
試験軸受５からの発塵のみが計測される。The dust generated from the bearings enters this clean air, and the number and particle diameter of the dust are measured by the dust counter 2. Since dust from the motor 3 is blocked by the magnetic fluid seal 4, the dust counter 2 measures only dust from the test bearing 5.
【００２６】 試験条件： 試験軸受…深溝玉軸受（φ８ｍｍ×φ２２ｍｍ×７ｍｍ） 回転速度…１５００ｒｐｍ 荷重…Ｆａ＝１０Ｎ 測定粒子径…０．１μｍ以上 測定時間…８時間 カウント条件…３０分あたりの発塵個数 雰囲気…大気中 試験温度…室温。Test conditions: Test bearing: deep groove ball bearing (φ8 mm × φ22 mm × 7 mm) Rotation speed: 1500 rpm Load: Fa = 10 N Measurement particle diameter: 0.1 μm or more Measurement time: 8 hours Counting condition: dust generation per 30 minutes Atmosphere… Atmosphere Test temperature… Room temperature.
【００２７】〔発塵試験２（真空中）〕図２に示す試験
装置を用いて、下記の試験条件下で、真空中における軸
受の発塵個数を測定した。[Dust Generation Test 2 (in Vacuum)] Using a test apparatus shown in FIG. 2, the number of generated particles of the bearing in vacuum was measured under the following test conditions.
【００２８】具体的には、試験軸受１１をセットし、下
記の試験条件下で回転させる。回転は駆動用モータ１３
で回転導入機１２を回転させ、この回転導入機１２に取
り付けられた軸を回転させ、この軸に取り付けられた上
記試験軸受１１を回転させるのである。試験軸受１１の
周囲には加熱用ヒータ１６を設け、必要に応じて加熱可
能となっている。試験軸受より発生した塵埃は重量によ
って落下し発塵測定センサ１５によって、計測される。Specifically, the test bearing 11 is set and rotated under the following test conditions. The rotation is the drive motor 13
Then, the rotation introducing machine 12 is rotated, the shaft attached to the rotation introducing machine 12 is rotated, and the test bearing 11 attached to the shaft is rotated. A heater 16 is provided around the test bearing 11 so that heating can be performed as necessary. Dust generated from the test bearing falls by weight and is measured by the dust measurement sensor 15.
【００２９】 試験条件： 試験軸受…深溝玉軸受（φ８ｍｍ×φ２２ｍｍ×７ｍｍ） 回転速度…５０ｒｐｍ 荷重…Ｆａ＝１０Ｎ 測定粒子径…０．１μｍ以上 測定時間…１時間 カウント条件…３０分あたりの発塵個数 雰囲気…真空中（１×１０-5Ｐａ以下） 試験温度…室温。Test conditions: Test bearing: deep groove ball bearing (φ8 mm × φ22 mm × 7 mm) Rotation speed: 50 rpm Load: Fa = 10 N Measurement particle diameter: 0.1 μm or more Measurement time: 1 hour Counting condition: dust generation per 30 minutes Atmosphere: In vacuum (1 × 10 -5 Pa or less) Test temperature: Room temperature.
【００３０】〔実施例１〜３、比較例１〜４〕表１に示
す潤滑油を用いた潤滑剤を試験軸受に平均膜厚が１μｍ
になるように塗布して発塵試験を行なった。その結果を
表１に示す。Examples 1-3, Comparative Examples 1-4 Lubricants using the lubricating oils shown in Table 1 were applied to test bearings with an average film thickness of 1 μm.
And a dusting test was performed. Table 1 shows the results.
【００３１】〔実施例４〜５、比較例５〕表１に示す潤
滑油を基油としたグリースを試験軸受に約０．１ｇ封入
して発塵試験を行なった。その結果を表１に示す。な
お、比較例５において、クライトックスＧＰＬの潤滑油
成分の表面張力は、２２ｍＮ／ｍである。Examples 4-5, Comparative Example 5 A grease using the lubricating oil shown in Table 1 as a base oil was sealed in a test bearing in an amount of about 0.1 g, and a dust generation test was conducted. Table 1 shows the results. In Comparative Example 5, the surface tension of the lubricating oil component of Krytox GPL was 22 mN / m.
【００３２】[0032]
【表１】 [Table 1]
【００３３】結果 表面張力が２５ｍＮ／ｍ以上である潤滑油を用いた、蒸
気圧が１×１０-5Ｐａ以下の潤滑剤を使用した実施例１
〜３の軸受の発塵個数は、いずれも大気中で１５０個／
ｃｆ以下、真空中でも８０個／ｃｆ以下と少なく、低発
塵であった。 Results Example 1 using a lubricant having a surface tension of 25 mN / m or more and a lubricant having a vapor pressure of 1 × 10 −5 Pa or less.
Each of the bearings No. 1 to No. 3 has 150 particles /
cf or less, even in a vacuum of 80 particles / cf or less, and low dust generation.
【００３４】これに対して、表面張力が２５ｍＮ／ｍ未
満の潤滑油を用いた、蒸気圧が１×１０-5Ｐａ以下であ
る潤滑剤を使用した比較例１、２の軸受では、真空中で
は良好な結果であったが、大気中では実施例の約１０倍
の発塵があった。また、表面張力が２５ｍＮ／ｍ以上で
ある潤滑油を用いた、蒸気圧が１×１０-5Ｐａを超える
潤滑剤を使用した比較例３、４の軸受では、真空中での
発塵が多かった。On the other hand, in the bearings of Comparative Examples 1 and 2 using a lubricant having a surface tension of less than 25 mN / m and a lubricant having a vapor pressure of 1 × 10 −5 Pa or less, the bearings in vacuum Was a good result, but in the air, about 10 times as much dust as in the example was generated. Further, in the bearings of Comparative Examples 3 and 4 using a lubricant having a surface tension of 25 mN / m or more and a lubricant having a vapor pressure exceeding 1 × 10 −5 Pa, dust generation in a vacuum was large. Was.
【００３５】また、表面張力が２５ｍＮ／ｍ以上の潤滑
油を用いた、蒸気圧が１×１０-5Ｐａ以下のグリースを
封入した実施例４、５の軸受の発塵個数は、いずれも大
気中で２２０個／ｃｆ以下、真空中でも１００個／ｃｆ
以下と少なく、低発塵であった。また、ふっ素グリース
を封入した比較例５では、大気中での発塵が多かった。The bearings of Examples 4 and 5 using lubricating oil having a surface tension of 25 mN / m or more and having a vapor pressure of 1 × 10 −5 Pa or less were used. 220 pieces / cf or less in vacuum, 100 pieces / cf in vacuum
It was low as below and low dust generation. In Comparative Example 5 in which fluorine grease was sealed, much dust was generated in the atmosphere.
【００３６】[0036]
【発明の効果】実施例に示したように、本発明によれ
ば、大気中、真空中とも優れた低発塵性が得られるの
で、大気・真空両用で低発塵が要求される軸受へ適用で
きる。As shown in the examples, according to the present invention, excellent low dusting properties can be obtained both in the atmosphere and in a vacuum. Applicable.
【図１】大気中における発塵試験の試験装置を示す模式
図FIG. 1 is a schematic diagram showing a test device for a dust generation test in the atmosphere.
【図２】真空中における発塵試験の試験装置を示す模式
図FIG. 2 is a schematic diagram showing a test device for a dust generation test in a vacuum.
１ クリーンボックス ２ ダストカウンタ ３ モータ ４ 磁性流体シール ５ 試験軸受 ６ コイルばね ７ ハウジング ８ 回転止め １１ 試験軸受 １２ 回転導入機 １３ 駆動用モータ １５ 発塵測定センサ １６ 加熱用ヒータ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Clean box 2 Dust counter 3 Motor 4 Magnetic fluid seal 5 Test bearing 6 Coil spring 7 Housing 8 Rotation stop 11 Test bearing 12 Rotary introduction machine 13 Driving motor 15 Dust measurement sensor 16 Heating heater
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ１０Ｎ 50:10 Ｃ１０Ｎ 50:10 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI Theme coat ゛ (Reference) C10N 50:10 C10N 50:10
Claims (8)
の潤滑油を用いた、蒸気圧（２５℃）が１×１０-5Ｐａ
以下である低発塵潤滑剤。1. A vapor pressure (25 ° C.) of 1 × 10 −5 Pa using a lubricating oil having a surface tension (25 ° C.) of 25 mN / m or more.
A low dusting lubricant that is:
の潤滑油を基油とした、蒸気圧（２５℃）が１×１０-5
Ｐａ以下である低発塵グリース。2. A vapor pressure (25 ° C.) of 1 × 10 −5 based on a lubricating oil having a surface tension (25 ° C.) of 25 mN / m or more.
Low dust grease having Pa or less.
求項２に記載の低発塵グリースを使用した転がり軸受。3. A rolling bearing using the low dust generating lubricating oil according to claim 1 or the low dust generating grease according to claim 2.
求項２に記載の低発塵グリースを使用した直動装置。4. A linear motion device using the low dust generation lubricating oil according to claim 1 or the low dust generation grease according to claim 2.
求項３に記載の転がり軸受。5. The rolling bearing according to claim 3, which is used both in the atmosphere and in a vacuum.
求項４に記載の直動装置。6. The linear motion device according to claim 4, which is used both in the atmosphere and in a vacuum.
造装置に用いられる請求項３に記載の転がり軸受。7. The rolling bearing according to claim 3, which is used in a semiconductor manufacturing apparatus used in a clean room.
造装置に用いられる請求項４に記載の直動装置。8. The linear motion device according to claim 4, which is used for a semiconductor manufacturing device used in a clean room.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33951399A JP2001152175A (en) | 1999-11-30 | 1999-11-30 | Low-dusting lubricant and low-dusting grease |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33951399A JP2001152175A (en) | 1999-11-30 | 1999-11-30 | Low-dusting lubricant and low-dusting grease |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001152175A true JP2001152175A (en) | 2001-06-05 |
Family
ID=18328201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33951399A Pending JP2001152175A (en) | 1999-11-30 | 1999-11-30 | Low-dusting lubricant and low-dusting grease |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001152175A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008047809A1 (en) * | 2006-10-17 | 2008-04-24 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Grease |
| US7703983B2 (en) * | 2004-06-10 | 2010-04-27 | Ntn Corporation | Sliding material and sliding bearing |
| US8673830B2 (en) | 2008-04-11 | 2014-03-18 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Grease composition and direct-acting devices with the grease composition |
| WO2020110900A1 (en) * | 2018-11-26 | 2020-06-04 | 昭和電工株式会社 | Method for inspecting lubricating oil compositions, and method for producing lubricating oil composition |
-
1999
- 1999-11-30 JP JP33951399A patent/JP2001152175A/en active Pending
Cited By (6)
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| JP6728511B1 (en) * | 2018-11-26 | 2020-07-22 | 昭和電工株式会社 | Method for inspecting lubricating oil composition and method for producing lubricating oil composition |
| JP2020158783A (en) * | 2018-11-26 | 2020-10-01 | 昭和電工株式会社 | Method for manufacturing lubricating oil composition |
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