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JP2001151345A - Transfer device - Google Patents

Transfer device

Info

Publication number
JP2001151345A
JP2001151345A JP33334999A JP33334999A JP2001151345A JP 2001151345 A JP2001151345 A JP 2001151345A JP 33334999 A JP33334999 A JP 33334999A JP 33334999 A JP33334999 A JP 33334999A JP 2001151345 A JP2001151345 A JP 2001151345A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solar cell
cell substrate
roller
transport roller
transport
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP33334999A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Noriyuki Hayashi
敬之 林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
Original Assignee
Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd filed Critical Kanegafuchi Chemical Industry Co Ltd
Priority to JP33334999A priority Critical patent/JP2001151345A/en
Priority to EP00105305A priority patent/EP1058290A1/en
Priority to US09/526,047 priority patent/US6365531B1/en
Priority to AU22379/00A priority patent/AU756947B2/en
Publication of JP2001151345A publication Critical patent/JP2001151345A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 この発明は太陽電池基板を所定方向に沿って
確実に搬送することができるようにした搬送装置を提供
することにある。 【解決手段】 太陽電池基板1を所定方向へ搬送する搬
送装置において、上記搬送装置は、回転駆動されるとと
もに上記太陽電池基板の搬送方向に沿って所定間隔で配
置された搬送ローラ12を備え、この搬送ローラは軸線
方向の両端から内方に向かって外形寸法が漸次小さくな
るテーパ形状であることを特徴とする。
(57) Abstract: An object of the present invention is to provide a transfer device capable of reliably transferring a solar cell substrate along a predetermined direction. SOLUTION: In the transfer device for transferring the solar cell substrate 1 in a predetermined direction, the transfer device is provided with transfer rollers 12 which are driven to rotate and arranged at predetermined intervals along the transfer direction of the solar cell substrate, This transport roller is characterized in that it has a tapered shape in which the outer dimensions gradually decrease inward from both ends in the axial direction.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、板状の太陽電池
基板を洗浄処理する場合などに所定方向に搬送するため
の搬送装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer device for transferring a plate-shaped solar cell substrate in a predetermined direction, for example, when performing a cleaning process.

【0002】[0002]

【従来の技術】たとえば、薄膜タイプの太陽電池モジュ
ールを製造する場合、ガラス製の太陽電池基板に第1の
電極となる透明導電膜を形成した後、この透明導電膜上
に半導体膜を成膜し、さらにその上に第2の電極となる
金属膜を形成するようにしている。
2. Description of the Related Art For example, when manufacturing a thin-film type solar cell module, a transparent conductive film to be a first electrode is formed on a glass solar cell substrate, and then a semiconductor film is formed on the transparent conductive film. Then, a metal film to be a second electrode is formed thereon.

【0003】太陽電池基板に半導体膜や金属膜等の薄膜
を成膜する際、その太陽電池基板にパーティクルが付着
していると欠陥の発生原因となる。とくに、薄膜タイプ
の太陽電池モジュールの場合、太陽電池基板の板面ほぼ
全体に成膜された透明導電膜、半導体膜及び金属膜は、
それぞれ成膜した後に溝加工することで複数のセルに分
割される。
[0003] When a thin film such as a semiconductor film or a metal film is formed on a solar cell substrate, defects are generated when particles are attached to the solar cell substrate. In particular, in the case of a thin-film type solar cell module, a transparent conductive film, a semiconductor film, and a metal film formed on almost the entire surface of the solar cell substrate are:
After each film is formed, it is divided into a plurality of cells by performing groove processing.

【0004】そのため、溝加工時に生じる切り滓やばり
などのパーティクルが上記各膜に入り込んで欠陥の発生
原因になり易いということがあったり、半導体膜や金属
膜の溝加工時に生じるパーティクルが付着していること
によっても種々の欠陥発生の原因になるということがあ
った。
For this reason, particles such as chips and burrs generated at the time of groove processing may easily enter the above-mentioned films and cause defects, or particles generated at the time of groove processing of a semiconductor film or a metal film may adhere. This may cause various defects.

【0005】したがって、上記太陽電池基板は、透明導
電膜、半導体膜及び金属膜に溝加工した後で必用に応じ
て洗浄処理し、パーティクルの残留に基づく欠陥の発生
を防止するようにしている。
Therefore, the solar cell substrate is subjected to a cleaning process as necessary after forming grooves in the transparent conductive film, the semiconductor film, and the metal film so as to prevent generation of defects due to residual particles.

【0006】太陽電池基板を洗浄処理する洗浄処理装置
は、洗浄精度と生産性との向上を図るため、所定枚数毎
にまとめて洗浄するバッチ方式に代わり、上記太陽電池
基板を所定方向に搬送しながら順次洗浄する連続方式が
採用されることが多くなっている。
A cleaning apparatus for cleaning a solar cell substrate transports the solar cell substrate in a predetermined direction in place of a batch method for cleaning a predetermined number of sheets at a time in order to improve cleaning accuracy and productivity. In many cases, a continuous method of sequentially cleaning is adopted.

【0007】連続方式で太陽電池基板を洗浄する場合、
太陽電池基板を所定方向に搬送するための搬送装置が用
いられている。この搬送装置は回転駆動される搬送ロー
ラを備え、この搬送ローラによって上記太陽電池基板を
搬送するようになっている。
When a solar cell substrate is cleaned in a continuous manner,
A transport device for transporting the solar cell substrate in a predetermined direction is used. The transport device includes a transport roller that is driven to rotate, and the transport roller transports the solar cell substrate.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】搬送ローラによって太
陽電池基板を搬送する場合、通常、太陽電池基板は複数
の搬送ローラに接触しており、しかも搬送ローラは太陽
電池基板の幅方向全長にわたって接触している。しかし
ながら、搬送時の条件、たとえば搬送ローラの加工精度
や搬送時に太陽電池基板が受ける洗浄液の影響などによ
って太陽電池基板と搬送ローラとが太陽電池基板の幅方
向全長にわたって均一な接触圧(接触抵抗)で接触しな
いことがあり、そのような場合には太陽電池基板が蛇行
したり、最悪の場合には搬送できなくなるということが
ある。
When the solar cell substrate is transported by the transport roller, the solar cell substrate is usually in contact with a plurality of transport rollers, and the transport roller is in contact with the entire length of the solar cell substrate in the width direction. ing. However, uniform contact pressure (contact resistance) over the entire width of the solar cell substrate in the width direction of the solar cell substrate due to conditions at the time of conveyance, for example, the processing accuracy of the conveyance roller and the effect of the cleaning liquid applied to the solar cell substrate during conveyance. In such a case, the solar cell substrate may meander, or in the worst case, may not be able to be conveyed.

【0009】そこで、搬送ローラの軸方向両端部にガイ
ド部材を設けて太陽電池基板の蛇行を制限し、太陽電池
基板を所定方向へ搬送できるようにしている。
Therefore, guide members are provided at both ends in the axial direction of the transport roller to limit the meandering of the solar cell substrate so that the solar cell substrate can be transported in a predetermined direction.

【0010】しかしながら、ガイド部材を設けて太陽電
池基板の蛇行を制限する場合、太陽電池基板が蛇行する
と、幅方向両端部がガイド部材に接触することになるか
ら、その接触によって太陽電池基板に欠けが生じる虞が
あったり、部品点数の増加や構造の複雑化を招くなどの
こともある。
However, when the guide member is provided to limit the meandering of the solar cell substrate, if the meandering of the solar cell substrate occurs, both ends in the width direction come into contact with the guide member. May occur, or the number of parts may be increased or the structure may be complicated.

【0011】一方、太陽電池基板を搬送ローラで搬送す
るときに、基板面(両面)を搬送ローラと接触させて搬
送することにより、ごみの付着やゴム等の搬送ローラの
成分が基板面に付着し、汚れの発生原因になるというこ
とがあった。とくに、電極層や半導体層の成膜面を下に
して搬送しなければならない場合は、ごみや搬送ローラ
の成分などの付着量が増大するということがある。
On the other hand, when the solar cell substrate is transported by the transport roller, the substrate surface (both sides) is brought into contact with the transport roller and transported, so that the components of the transport roller such as dust and rubber adhere to the substrate surface. In some cases, it may cause stains. In particular, in the case where the film needs to be conveyed with the electrode layer and the semiconductor layer formed face down, the amount of dust and components of the conveying roller may increase.

【0012】この発明は、ガイド部材を用いずに、搬送
ローラによる太陽電池基板の搬送を確実に行うことがで
き、太陽電池基板面を搬送ローラとにほとんど接触させ
ずに搬送することが可能な搬送装置を提供することにあ
る。
According to the present invention, the solar cell substrate can be reliably transported by the transport roller without using the guide member, and the solar cell substrate surface can be transported with almost no contact with the transport roller. An object of the present invention is to provide a transport device.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、太陽
電池基板を所定方向へ搬送する搬送装置において、上記
搬送装置は、回転駆動されるとともに上記太陽電池基板
の搬送方向に沿って所定間隔で配置された搬送ローラを
備え、この搬送ローラは軸線方向の両端から内方に向か
って外形寸法が漸次小さくなるテーパ形状であることを
特徴とする搬送装置にある。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a transfer device for transferring a solar cell substrate in a predetermined direction, wherein the transfer device is driven to rotate and a predetermined direction is set along the transfer direction of the solar cell substrate. The transport device includes transport rollers arranged at intervals, and the transport rollers have a tapered shape whose outer dimensions gradually decrease inward from both ends in the axial direction.

【0014】請求項2の発明は、上記太陽電池基板の上
記搬送ローラのテーパ形状の部分に接触する部分は、面
取り加工されていることを特徴とする請求項1記載の搬
送装置にある。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the transport apparatus according to the first aspect, wherein a portion of the solar cell substrate that contacts the tapered portion of the transport roller is chamfered.

【0015】請求項3の発明は、上記搬送ローラは、回
転軸と、この回転軸に設けられたローラ部とを備え、こ
のローラ部がテーパ形状に形成されていることを特徴と
する請求項1記載の搬送装置にある。
According to a third aspect of the present invention, the transport roller includes a rotating shaft and a roller portion provided on the rotating shaft, and the roller portion is formed in a tapered shape. 1.

【0016】請求項1の発明によれば、太陽電池基板を
搬送する搬送ローラを、軸線方向の両端から内方に向か
って外形寸法が漸次小さくなるテーパ形状にしたので、
その搬送ローラのテーパ形状によって太陽電池基板が幅
方向に蛇行するのが規制されるばかりか、太陽電池基板
面を搬送ローラにほとんど接触させずに搬送することが
可能となる。
According to the first aspect of the present invention, the transport roller for transporting the solar cell substrate is tapered such that the outer dimensions gradually decrease inward from both ends in the axial direction.
Not only is the solar cell substrate meandering in the width direction restricted by the tapered shape of the transport roller, but also the solar cell substrate surface can be transported with almost no contact with the transport roller.

【0017】請求項2の発明によれば、太陽電池基板の
搬送ローラのテーパ形状の部分に接触する部分を面取り
加工したことで、太陽電池基板と搬送ローラとの接触状
態が安定化する。そのため、太陽電池基板が幅方向に対
して傾くのが防止されるから、水平な状態で搬送するこ
とができる。
According to the second aspect of the present invention, since the portion of the solar cell substrate that comes into contact with the tapered portion of the transport roller is chamfered, the contact state between the solar cell substrate and the transport roller is stabilized. Therefore, the solar cell substrate is prevented from being inclined with respect to the width direction, and can be transported in a horizontal state.

【0018】また、太陽電池基板の面取り面が搬送ロー
ラのテーパ部分に接触するため、面取りされていない場
合に比べて搬送ローラを損傷させる度合を大幅に軽減す
ることが可能となる。
Further, since the chamfered surface of the solar cell substrate comes into contact with the tapered portion of the transport roller, the degree of damage to the transport roller can be greatly reduced as compared with the case where the bevel is not chamfered.

【0019】請求項3の発明によれば、搬送ローラを回
転軸とローラ部とから構成し、このローラ部をテーパ形
状としたので、製作の容易化を図ることができる。
According to the third aspect of the present invention, since the transport roller is constituted by the rotating shaft and the roller portion, and the roller portion has a tapered shape, manufacturing can be facilitated.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を参照して説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0021】図1は太陽電池基板を洗浄処理するための
洗浄処理装置を示す。この洗浄処理装置は、たとえば太
陽電池モジュールのガラス製の太陽電池基板1を洗浄処
理するためのものであって、この太陽電池基板1は図2
に鎖線で示すように矩形状をなしている。
FIG. 1 shows a cleaning apparatus for cleaning a solar cell substrate. This cleaning apparatus is for cleaning a solar cell substrate 1 made of glass of a solar cell module, for example.
Has a rectangular shape as shown by a chain line.

【0022】上記洗浄処理装置は装置本体10を有す
る。この装置本体10には、図1に矢印で示す太陽電池
基板1の搬送方向一端に搬入部2が設けられ、他端に搬
出部3が設けられている。搬入部2と搬出部3との間に
は、上記搬入部2側からブラシ洗浄部4、第1のシャワ
ー洗浄部5、超音波洗浄部6、第2のシャワー洗浄部
7、及び水切り部8が順次設けられている。
The cleaning apparatus has an apparatus main body 10. The apparatus main body 10 is provided with a carry-in section 2 at one end in the transport direction of the solar cell substrate 1 indicated by an arrow in FIG. 1 and a carry-out section 3 at the other end. Between the carry-in section 2 and the carry-out section 3, the brush cleaning section 4, the first shower cleaning section 5, the ultrasonic cleaning section 6, the second shower cleaning section 7, and the draining section 8 are arranged from the side of the carry-in section 2. Are sequentially provided.

【0023】上記装置本体10には、上記搬入部2から
搬出部3にわたって搬送装置11が設けられている。こ
の搬送装置11は、太陽電池基板1の搬送方向に沿って
所定間隔で配置された複数の搬送ローラ12を有する。
The apparatus main body 10 is provided with a transfer device 11 extending from the carry-in section 2 to the carry-out section 3. The transfer device 11 has a plurality of transfer rollers 12 arranged at predetermined intervals along the transfer direction of the solar cell substrate 1.

【0024】上記搬送ローラ12は、図2と図3に示す
ように回転軸12aと、この回転軸12aの軸方向中央
部分を除く一端部と他端部とにそれぞれ設けられたロー
ラ部12bとから構成されている。一対のローラ部12
bの外周面はテーパ面13に形成されている。つまり、
ローラ部12bは、回転軸12aの軸方向の端部から内
方へゆくにつれて外形寸法が漸次小径となるテーパ形状
に形成されていて、それによってローラ部12bの外周
面は上記テーパ面13となっている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the transport roller 12 includes a rotating shaft 12a, and roller portions 12b provided at one end and the other end of the rotating shaft 12a except for the central portion in the axial direction. It is composed of A pair of roller portions 12
The outer peripheral surface of b is formed on a tapered surface 13. That is,
The roller portion 12b is formed in a tapered shape in which the outer dimension gradually becomes smaller as it goes inward from the axial end of the rotating shaft 12a, whereby the outer peripheral surface of the roller portion 12b becomes the tapered surface 13. ing.

【0025】上記太陽電池基板1は、幅方向両端の下端
が上記搬送ローラ12のテーパ面13に接触して搬送さ
れるようになっている。上記太陽電池基板1の外周の上
下縁は、図3に示すように上記テーパ面13とほぼ同じ
傾斜角度で面取り加工されされた面取り面1aに形成さ
れている。なお、テーパ面13の傾斜角度が小さい場合
には、太陽電池基板1の面取り角度がテーパ面13の傾
斜角度と一致しなくなることもある。
The solar cell substrate 1 is conveyed with the lower ends at both ends in the width direction contacting the tapered surface 13 of the conveying roller 12. The upper and lower edges of the outer periphery of the solar cell substrate 1 are formed on a chamfered surface 1a which is chamfered at substantially the same inclination angle as the tapered surface 13 as shown in FIG. When the inclination angle of the tapered surface 13 is small, the chamfer angle of the solar cell substrate 1 may not match the inclination angle of the tapered surface 13 in some cases.

【0026】太陽電池基板1の外周縁の上下端を面取り
面1aとすることで、その面取り面1aが上記搬送ロー
ラ12のテーパ面13に安定的に接触するから、太陽電
池基板1が搬送ローラ12の軸方向に蛇行するのを防止
できるようになっている。
Since the upper and lower edges of the outer peripheral edge of the solar cell substrate 1 are chamfered surfaces 1a, the chamfered surface 1a is in stable contact with the tapered surface 13 of the conveying roller 12, so that the solar cell substrate 1 12 can be prevented from meandering in the axial direction.

【0027】また、太陽電池基板1の面取り面1aと搬
送ローラ12のテーパ面13とが確実に接合しない場合
であっても、面取り加工がなされていない太陽電池基板
では90度の角部が搬送ローラ12に当たるため、搬送
ローラ12が損傷を受け易い。しかしながら、太陽電池
基板1の角部を面取り加工することで、その角部の角度
が鈍角となっているから、搬送ローラ12を損傷させに
くい。
Even if the chamfered surface 1a of the solar cell substrate 1 and the tapered surface 13 of the conveying roller 12 are not securely joined, a 90-degree corner is not conveyed on the solar cell substrate that has not been chamfered. Since the transport roller 12 hits the roller 12, the transport roller 12 is easily damaged. However, since the corners of the solar cell substrate 1 are chamfered so that the angles of the corners are obtuse, the transport roller 12 is not easily damaged.

【0028】上記搬送ローラ12のローラ部12bは回
転軸12aと別部材となっている。つまり、ローラ部1
2bはフッ素系の樹脂などのように耐熱性と耐薬品性と
を備えた合成樹脂によって外周面が軸線方向に沿って傾
斜したテーパ面13の筒状に形成されていて、上記回転
軸12に外嵌固定されている。
The roller portion 12b of the transport roller 12 is a separate member from the rotating shaft 12a. That is, the roller unit 1
2b is formed of a synthetic resin having heat resistance and chemical resistance, such as a fluorine-based resin, having an outer peripheral surface formed in a cylindrical shape with a tapered surface 13 inclined along the axial direction. Externally fitted and fixed.

【0029】図2は上記搬出部3を示しており、この搬
出部3においては、上記回転軸12aの軸方向一端と他
端とがそれぞれ上記装置本体1内の幅方向両端部に設け
られたチャンネル状の一対の支持部材14に軸受15に
よって回転自在に支持されている。
FIG. 2 shows the unloading section 3. In the unloading section 3, one end and the other end in the axial direction of the rotary shaft 12a are provided at both ends in the width direction in the apparatus main body 1, respectively. It is rotatably supported by bearings 15 on a pair of channel-shaped support members 14.

【0030】各回転軸12aの両端部にはそれぞれスプ
ロケット16が設けられている。隣り合う2本の回転軸
12aの2つのスプロケット16にはチェーン17が張
設されている。なお、回転軸12aの軸方向一端と他端
とでは、異なる2本の回転軸12aに上記チェーン17
が張設されている。
Sprockets 16 are provided at both ends of each rotating shaft 12a. A chain 17 is stretched over two sprockets 16 of two adjacent rotating shafts 12a. Note that, at one end and the other end in the axial direction of the rotating shaft 12a, the chain 17 is attached to two different rotating shafts 12a.
Is stretched.

【0031】搬出部3の末端に位置する搬送ローラ12
に設けられたスプロケット16は図示しない駆動源によ
って回転駆動されるようになっている。したがって、上
記駆動源が作動することで、その回転がチェーン17を
介して搬出部3の全ての搬送ローラ12に伝達されるよ
うになっている。つまり、搬出部3の搬送ローラ12を
回転駆動することができるようになっている。
The transport roller 12 located at the end of the unloading section 3
Is rotated by a driving source (not shown). Therefore, the rotation of the drive source is transmitted to all the transport rollers 12 of the unloading section 3 via the chain 17 when the drive source operates. That is, the transport roller 12 of the unloading section 3 can be driven to rotate.

【0032】なお、他の各処理部2,4,5,6,7,
8の搬送ローラ12も、上記搬出部3と同様な構成によ
って回転駆動されるようになっており、それぞれの処理
部の搬送ローラ12の回転、つまり駆動源は図示しない
制御装置によって同期して駆動制御されるようになって
いる。それによって、太陽電池基板1を搬入部2から搬
出部3へ円滑に搬送できるようになっている。
The other processing units 2, 4, 5, 6, 7,
The transport rollers 12 are also driven to rotate by a configuration similar to that of the unloading section 3, and the rotation of the transport rollers 12 of each processing section, that is, the drive source is driven synchronously by a control device (not shown). It is controlled. Thereby, the solar cell substrate 1 can be smoothly transferred from the loading section 2 to the unloading section 3.

【0033】上記ブラシ洗浄部4は搬入部2から搬送さ
れてきた太陽電池基板1の上面と下面とを洗浄ブラシに
よって洗浄する。上記第1のシャワー洗浄部5はブラシ
洗浄部4で洗浄に用いられた洗剤を市水によって洗浄除
去するためのもので、太陽電池基板1の搬送方向上流側
と下流側との2つの部分5a,5bに分割され、下流側
の部分5bで使用された市水を上流側の部分5aに設け
られた貯水部25に蓄え、この貯水部25の市水を上流
側の部分5aで再使用することで、市水の使用量が少な
くなるようにしている。
The brush cleaning section 4 cleans the upper and lower surfaces of the solar cell substrate 1 carried from the carry-in section 2 with a cleaning brush. The first shower cleaning section 5 is for cleaning and removing the detergent used for cleaning in the brush cleaning section 4 with city water. The first shower cleaning section 5 has two portions 5a on the upstream side and the downstream side in the transport direction of the solar cell substrate 1. , 5b, and the city water used in the downstream portion 5b is stored in the water storage portion 25 provided in the upstream portion 5a, and the city water in the water storage portion 25 is reused in the upstream portion 5a. By doing so, the amount of city water used is reduced.

【0034】上記超音波洗浄部6は上記第1のシャワー
洗浄部5で洗浄された太陽電池基板1を純水に超音波振
動を与えながら洗浄するためのもので、それによって太
陽電池基板1を精密に洗浄することができるようになっ
ている。
The ultrasonic cleaning unit 6 is for cleaning the solar cell substrate 1 cleaned by the first shower cleaning unit 5 while applying ultrasonic vibration to pure water, thereby cleaning the solar cell substrate 1. It can be cleaned precisely.

【0035】上記第2のシャワー洗浄部7は上記超音波
洗浄部6で超音波洗浄された太陽電池基板1を純水によ
ってシャワー洗浄するためのもので、この第2のシャワ
ー洗浄部7によって太陽電池基板1は更に精密に洗浄さ
れることになる。この第2のシャワー洗浄部7内は太陽
電池基板1の搬送方向上流側の部分7aと下流側の部分
7bとに分けられ、上流側の部分7aには下流側の部分
7bで使用された純水を蓄える貯水部26が設けられて
いる。この貯水部26に蓄えられた純水は上記第2のシ
ャワー洗浄部7の上流側の部分7aで再使用される。
The second shower cleaning unit 7 is for shower cleaning the solar cell substrate 1 ultrasonically cleaned by the ultrasonic cleaning unit 6 with pure water. The battery substrate 1 will be more precisely cleaned. The inside of the second shower cleaning section 7 is divided into a portion 7a on the upstream side in the transport direction of the solar cell substrate 1 and a portion 7b on the downstream side, and the upstream portion 7a includes pure water used in the downstream portion 7b. A water storage unit 26 for storing water is provided. The pure water stored in the water storage section 26 is reused in the upstream portion 7a of the second shower cleaning section 7.

【0036】上記第2のシャワ−洗浄部7で洗浄された
太陽電池基板1は水切り部8に搬送される。この水切り
部8はエアーナイフによって搬送される太陽電池基板1
の上面と下面とに向けて圧縮空気を噴射することで、こ
の太陽電池基板1に付着した純水を除去乾燥するように
なっている。
The solar cell substrate 1 cleaned in the second shower cleaning section 7 is transported to a draining section 8. This draining part 8 is a solar cell substrate 1 transported by an air knife.
By injecting compressed air toward the upper and lower surfaces of the solar cell, the pure water adhering to the solar cell substrate 1 is removed and dried.

【0037】そして、この水切り部8で乾燥処理された
太陽電池基板1が上記搬出部3へ搬出されることで、こ
の太陽電池基板1の一連の洗浄処理が終了することにな
る。
Then, the solar cell substrate 1 dried in the draining section 8 is carried out to the carry-out section 3, whereby a series of cleaning processing of the solar cell substrate 1 is completed.

【0038】このような構成の洗浄処理装置において、
太陽電池基板1を搬入部2から搬出部3へ搬送するため
の搬送装置11は、搬送ローラ12によって構成されて
いる。この搬送ローラ12は回転軸12aと、ローラ部
12bとによって構成され、ローラ部12bは回転軸1
2aの軸線方向外側から内方に向かって漸次小径となる
テーパ面13に形成されている。
In the cleaning apparatus having such a configuration,
The transport device 11 for transporting the solar cell substrate 1 from the loading unit 2 to the unloading unit 3 is configured by a transport roller 12. The transport roller 12 includes a rotating shaft 12a and a roller portion 12b, and the roller portion 12b is
It is formed on a tapered surface 13 that gradually decreases in diameter from the outside in the axial direction of 2a.

【0039】そのため、上記搬送ローラ12によって搬
送される太陽電池基板1は、幅方向両端が上記テーパ面
13に接触して搬送されることになるから、このテーパ
面13の傾斜によって搬送中に太陽電池基板1が幅方向
に蛇行するのが阻止されることになる。
Therefore, the solar cell substrate 1 conveyed by the conveying roller 12 is conveyed while both ends in the width direction are in contact with the tapered surface 13. The meandering of the battery substrate 1 in the width direction is prevented.

【0040】つまり、搬送ローラ12のローラ部12b
の外周面をテーパ面13に形成したことで、たとえば従
来のように太陽電池基板1の蛇行を制限するため、太陽
電池基板1の幅方向両端に当接するガイド部材を設ける
ということをせずにすむ。
That is, the roller portion 12b of the transport roller 12
Is formed on the tapered surface 13 so that, for example, the meandering of the solar cell substrate 1 is restricted as in the related art, without providing guide members that contact both ends of the solar cell substrate 1 in the width direction. Yes.

【0041】その結果、太陽電池基板1をガイド部材に
当接させて蛇行を規制する場合のように、太陽電池基板
1の幅方向両端に欠けを招くのを防止することができ
る。また、搬送ローラ12によって蛇行を制限できるか
ら、ガイド部材を用いる場合に比べて部品点数を少なく
することができる。
As a result, it is possible to prevent the solar cell substrate 1 from being chipped at both ends in the width direction as in the case where the solar cell substrate 1 is brought into contact with the guide member to restrict meandering. In addition, since the meandering can be restricted by the transport roller 12, the number of components can be reduced as compared with the case where a guide member is used.

【0042】上記太陽電池基板1は外周縁が面取り加工
されている。そのため、太陽電池基板1は、面取り加工
された面取り部1aが上記ローラ部12bのテーパ面1
3に接触するから、太陽電池基板1が面取り加工されて
いない場合に比べてテーパ面13と太陽電池基板1との
接触状態が安定化し、太陽電池基板1が搬送途中で幅方
向にずれ動くのをより一層、確実に防止することができ
る。
The outer peripheral edge of the solar cell substrate 1 is chamfered. Therefore, in the solar cell substrate 1, the chamfered chamfered portion 1a is formed on the tapered surface 1 of the roller portion 12b.
3, the contact state between the tapered surface 13 and the solar cell substrate 1 is stabilized as compared with the case where the solar cell substrate 1 is not chamfered, and the solar cell substrate 1 shifts in the width direction during transportation. Can be more reliably prevented.

【0043】その結果、太陽電池基板1はその板面がほ
ぼ水平な状態を維持して搬送されることになるから、太
陽電池基板1の幅方向を均一に洗浄処理することが可能
となる。たとえば、超音波洗浄部6において、太陽電池
基板1が幅方向に傾斜すると、幅方向一端部と他端部と
の超音波発振器に対する距離が異なってしまうことで、
均一な超音波洗浄ができなくなる虞がある。
As a result, the solar cell substrate 1 is conveyed while its plate surface is maintained in a substantially horizontal state, so that the width direction of the solar cell substrate 1 can be uniformly cleaned. For example, in the ultrasonic cleaning unit 6, when the solar cell substrate 1 is inclined in the width direction, the distance between the one end and the other end in the width direction with respect to the ultrasonic oscillator differs.
There is a possibility that uniform ultrasonic cleaning cannot be performed.

【0044】しかしながら、この発明のように、太陽電
池基板1を面取り加工し、ローラ部12bのテーパ面1
3に接触する部分を面取り部1aとしたことで、太陽電
池基板1をほぼ水平な状態で安定的に搬送できるため、
太陽電池基板1が搬送中に幅方向に傾き、洗浄が均一に
行えなくなるのを防止できる。
However, as in the present invention, the solar cell substrate 1 is chamfered and the tapered surface 1 of the roller portion 12b is formed.
Since the portion in contact with 3 is a chamfered portion 1a, the solar cell substrate 1 can be stably transported in a substantially horizontal state,
It is possible to prevent the solar cell substrate 1 from being tilted in the width direction during transportation and from being unable to perform uniform cleaning.

【0045】とくに、太陽電池基板1の面取り部1aの
角度がテーパ面13の傾斜角度とほぼ同じであれば、こ
れらが線接触することになるから、太陽電池基板1の搬
送状態をさらに安定化することができる。
In particular, if the angle of the chamfered portion 1a of the solar cell substrate 1 is almost the same as the inclination angle of the tapered surface 13, they will come into line contact, so that the transport state of the solar cell substrate 1 is further stabilized. can do.

【0046】上記搬送ローラ12は回転軸12aとロー
ラ部12bとを組合わせて構成されている。そのため、
ローラ部12bが使用に伴い損耗したような場合、その
交換を容易に、しかも経済的に行うことができるばかり
か、ローラ部12bを回転軸12aと別に取り扱うこと
ができるから、テーパ面13の加工も容易に行うことが
できる。
The transport roller 12 is constructed by combining a rotating shaft 12a and a roller portion 12b. for that reason,
When the roller portion 12b is worn out due to use, it can be easily and economically replaced, and the roller portion 12b can be handled separately from the rotary shaft 12a. Can also be easily performed.

【0047】また、搬送ローラ12による太陽電池基板
1の搬送時に、太陽電池基板1の外周縁のみがテーパ面
13と接触することにより、太陽電池基板1と搬送ロー
ラ12との接触面積を大幅に低減することが可能であ
る。とくに、電極層や半導体層を成膜する場合や成膜し
た成膜面を下にして搬送したい場合でも、搬送ローラ1
2に成膜面をほとんど接触させずに搬送できるから、成
膜面をごみや搬送ローラ12のゴム等の成分によって汚
染するのを防止できる。
Further, when the solar battery substrate 1 is transported by the transport roller 12, only the outer peripheral edge of the solar battery substrate 1 comes into contact with the tapered surface 13, so that the contact area between the solar battery substrate 1 and the transport roller 12 is greatly increased. It is possible to reduce. In particular, even when the electrode layer or the semiconductor layer is formed, or when the film is to be conveyed with the formed film face down, the transfer roller 1
Since the film formation surface can be conveyed with almost no contact with the film 2, the film formation surface can be prevented from being contaminated by dust and components such as rubber of the conveyance roller 12.

【0048】この発明は上記一実施の形態に限定される
ものでなく、たとえば洗浄処理装置としてはブラシ洗浄
部、シャワー洗浄部、超音波洗浄部などの複数の洗浄部
が連続して設けられたものに限られず、少なくとも複数
の洗浄部のうちの1つを有する構成であれば、この発明
の搬送装置を適用できること明らかである。また、この
発明の搬送装置は洗浄処理装置以外にも適用することが
でき、要は板状の太陽電池基板を搬送する装置であれば
適用可能であること明らかである。
The present invention is not limited to the above-described embodiment. For example, a plurality of cleaning units such as a brush cleaning unit, a shower cleaning unit, and an ultrasonic cleaning unit are continuously provided as a cleaning processing apparatus. It is apparent that the transfer apparatus of the present invention can be applied to any configuration having at least one of the plurality of cleaning units, without being limited to the one described above. Further, it is apparent that the transfer device of the present invention can be applied to devices other than the cleaning treatment device, and in other words, any transfer device for transferring a plate-shaped solar cell substrate can be applied.

【0049】また、太陽電池基板の面取り加工は、その
外周の上下縁全長に行うようにしたが、少なくとも搬送
ローラのテーパ面に接触する縁部だけに面取り加工が行
われていればよい。
Further, the chamfering of the solar cell substrate is performed on the entire length of the upper and lower edges of the outer periphery, but it is sufficient that the chamfering is performed only on at least the edge portion which comes into contact with the tapered surface of the transport roller.

【0050】[0050]

【発明の効果】請求項1の発明によれば、太陽電池基板
を搬送する搬送ローラを、軸線方向の両端から内方に向
かって外形寸法が漸次小さくなるテーパ形状にした。
According to the first aspect of the present invention, the transport roller for transporting the solar cell substrate has a tapered shape whose outer dimensions gradually decrease inward from both ends in the axial direction.

【0051】そのため、搬送ローラのテーパ形状によっ
て太陽電池基板が幅方向に蛇行するのが規制されること
になるから、太陽電池基板を損傷させるようなことなく
円滑かつ確実に搬送することが可能となる。
Therefore, the meandering of the solar cell substrate in the width direction is restricted by the tapered shape of the conveying roller, so that the solar cell substrate can be smoothly and reliably conveyed without damaging the solar cell substrate. Become.

【0052】また、太陽電池基板の外周縁のみが搬送ロ
ーラと接触することにより、太陽電池基板面を搬送ロー
ラにほとんど接触させずに搬送することができるから、
とくに太陽電池基板の電極層や半導体層を成膜する場合
や成膜した成膜面を下にして搬送する場合でも、電極層
や半導体層に汚染などによる悪影響を与えるのを回避す
ることができる。
In addition, since only the outer peripheral edge of the solar cell substrate comes into contact with the transport roller, the solar cell substrate can be transported with almost no contact with the transport roller.
In particular, even when the electrode layer or the semiconductor layer of the solar cell substrate is formed, or when the film is transported with the formed film surface down, it is possible to prevent the electrode layer and the semiconductor layer from being adversely affected by contamination and the like. .

【0053】請求項2の発明によれば、太陽電池基板の
搬送ローラのテーパ形状の部分に接触する部分を面取り
加工した。
According to the second aspect of the present invention, the portion of the solar cell substrate which comes into contact with the tapered portion of the transport roller is chamfered.

【0054】そのため、太陽電池基板と搬送ローラとの
接触状態が安定化し、太陽電池基板が幅方向に対して傾
くのが防止されて水平な状態で搬送されるから、例えば
太陽電池基板を洗浄するような場合、その太陽電池基板
を洗浄むらが生じるよなことなく均一に洗浄することが
可能となる。
Accordingly, the contact state between the solar cell substrate and the transport roller is stabilized, and the solar cell substrate is prevented from being inclined with respect to the width direction and is transported in a horizontal state. In such a case, the solar cell substrate can be uniformly cleaned without causing unevenness in cleaning.

【0055】また、太陽電池基板の面取り面と搬送ロー
ラのテーパ面が確実に接合しない場合でも、面取り加工
がなされていることで、太陽電池基板の角部が面取り加
工されていない場合に比べて鈍角になって搬送ローラに
強く接触しなくなるから、搬送ローラが損傷されにくく
なる。
Even when the chamfered surface of the solar cell substrate and the tapered surface of the transport roller are not securely joined, the chamfering is performed, so that the corners of the solar cell substrate are not chamfered. Since the obtuse angle results in a strong contact with the transport roller, the transport roller is less likely to be damaged.

【0056】請求項3の発明によれば、搬送ローラを回
転軸とローラ部とから構成し、このローラ部をテーパ形
状とした。
According to the third aspect of the present invention, the transport roller comprises a rotating shaft and a roller portion, and the roller portion has a tapered shape.

【0057】そのため、ローラ部が使用に伴い損耗した
ような場合、その交換を容易に、しかも経済的に行うこ
とできるばかりか、搬送ローラの製作の容易化を図るこ
ともできる。
Therefore, when the roller part is worn out due to its use, it can be easily and economically replaced, and the production of the transport roller can be facilitated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施の形態に係る洗浄処理装置の
概略的構成図。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】同じく搬出部に設けられた搬送装置の平面図。FIG. 2 is a plan view of a transport device provided in the unloading unit.

【図3】同じく搬送ローラのローラ部と太陽電池基板と
の接触部分の拡大図。
FIG. 3 is an enlarged view of a contact portion between a roller portion of a transport roller and a solar cell substrate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…太陽電池基板 11…搬送装置 12…搬送ローラ 12a…回転軸 12b…ローラ部 13…テーパ面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Solar cell board 11 ... Conveying device 12 ... Conveying roller 12a ... Rotating shaft 12b ... Roller part 13 ... Tapered surface

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 太陽電池基板を所定方向へ搬送する搬送
装置において、 上記搬送装置は、回転駆動されるとともに上記太陽電池
基板の搬送方向に沿って所定間隔で配置された搬送ロー
ラを備え、この搬送ローラは軸線方向の両端から内方に
向かって外形寸法が漸次小さくなるテーパ形状であるこ
とを特徴とする搬送装置。
1. A transfer device for transferring a solar cell substrate in a predetermined direction, wherein the transfer device includes transfer rollers that are driven to rotate and are disposed at predetermined intervals along a transfer direction of the solar cell substrate. The transport device is characterized in that the transport roller has a tapered shape whose outer dimensions gradually decrease inward from both ends in the axial direction.
【請求項2】 上記太陽電池基板の上記搬送ローラのテ
ーパ形状の部分に接触する部分は、面取り加工されてい
ることを特徴とする請求項1記載の搬送装置。
2. The transfer device according to claim 1, wherein a portion of the solar cell substrate that contacts the tapered portion of the transfer roller is chamfered.
【請求項3】 上記搬送ローラは、回転軸と、この回転
軸に設けられたローラ部とを備え、このローラ部がテー
パ形状に形成されていることを特徴とする請求項1記載
の搬送装置。
3. The transport device according to claim 1, wherein the transport roller includes a rotation shaft and a roller portion provided on the rotation shaft, and the roller portion is formed in a tapered shape. .
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