JP2001148109A - Magnetic disk, magnetic disk device - Google Patents
Magnetic disk, magnetic disk deviceInfo
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Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【課題】超高密度記録を行う場合に好適な情報記録媒体
の提供。
【解決手段】 磁気記録用の磁性膜として、2層からな
る磁性膜を用いことにより解決した。第1層目の磁性膜
は、希土類‐鉄族からなるフェリ磁性体の非晶質合金を
用いる。この磁性膜は、基板と垂直方向に大きな磁気異
方性を有し、かつ、活性化体積が大きいので高熱安定性
を有する高密度磁気記録に好適な磁性膜である。さら
に、第2層目の磁性膜は、第1層目の磁性膜より大きな飽
和磁化を有する垂直磁化膜を形成する。これにより、磁
気記録媒体起因のノイズの低減に加えて、再生出力の増
大を図ることに有効である。
(57) [Summary] (With correction) [Problem] To provide an information recording medium suitable for performing ultra-high density recording. The problem has been solved by using a magnetic film having two layers as a magnetic film for magnetic recording. The first magnetic film uses a ferrimagnetic amorphous alloy made of a rare earth-iron group. This magnetic film has a large magnetic anisotropy in a direction perpendicular to the substrate and has a large activation volume, so that it is suitable for high-density magnetic recording having high thermal stability. Further, the second magnetic film forms a perpendicular magnetization film having a larger saturation magnetization than the first magnetic film. This is effective in reducing the noise due to the magnetic recording medium and increasing the reproduction output.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、大量の情報を迅速
かつ正確に格納するための情報記録媒体にかかり、特
に、高性能でかつ高信頼性を有する磁気記録用磁性膜お
よびそれを用いた磁気ディスク、磁気ディスク装置に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an information recording medium for storing a large amount of information quickly and accurately, and more particularly to a magnetic film for magnetic recording which has high performance and high reliability and uses the same. The present invention relates to a magnetic disk and a magnetic disk device.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年の高度情報化社会の進展にはめざま
しいものがあり、各種形態の情報を統合したマルチメデ
ィアが急速に普及してきている。これを支える情報記録
装置の1つに磁気ディスク装置がある。現在、磁気ディ
スク装置は、記録密度を向上させつつ小型化が図られて
いる。それと並行して、ディスク装置の低価格化が急速
に進められている。ところで、磁気ディスクの記録容量
の高密度化を実現するためには、1)ディスクと磁気ヘ
ッドとの距離をつめること、2)媒体の保磁力を増大さ
せること、3)信号処理方法を工夫すること、4)熱揺
らぎの小さい媒体を開発するなどが必須の技術である。2. Description of the Related Art In recent years, there has been a remarkable progress in the advanced information society, and multimedia in which various forms of information are integrated has rapidly spread. One of the information recording devices that support this is a magnetic disk device. At present, the magnetic disk drive is being downsized while improving the recording density. At the same time, the cost of disk devices has been rapidly reduced. By the way, in order to realize a higher recording capacity of the magnetic disk, 1) shorten the distance between the disk and the magnetic head, 2) increase the coercive force of the medium, and 3) devise a signal processing method. 4) Developing a medium with small thermal fluctuation is an essential technology.
【0003】中でも、磁気記録媒体においては、高密度
磁気記録を実現するためには、保磁力の増大が必須であ
る。現在、磁気記録媒体としてはCo-Cr-Pt(-Ta)系が広
く用いられている。この材料は、20nm程度のCoの結晶粒
子が析出した結晶質材料である。この材料を用いて、40
Gb/in2を超える面記録密度を実現するためには、記録や
消去時に磁化反転が生じる単位(磁気クラスター)をさら
に小さくしたり、さらには、その粒子サイズの分布を小
さくするなど精密に制御しなければならない。この結
果、再生時に媒体から発生するノイズを低減することが
できる。さらに、結晶粒子サイズに分布が存在すると、
特に、サイズの小さな粒子が存在していると熱減磁が生
じたり、熱揺らぎが生じることにより、形成した磁区が
安定に存在できない場合があった。このように、熱減磁
ならびに熱揺らぎ低減の観点から、結晶粒子サイズの分
布を制御することが重要な技術となってきている。これ
らを実現する方法として、磁性膜の下にシード膜を設け
ることが提案されている。その一例としてUSP-4652499
をあげることができる。[0003] Above all, in a magnetic recording medium, an increase in coercive force is essential for realizing high-density magnetic recording. At present, a Co-Cr-Pt (-Ta) system is widely used as a magnetic recording medium. This material is a crystalline material in which about 20 nm of Co crystal particles are precipitated. Using this material, 40
In order to achieve a surface recording density exceeding Gb / in 2 , precise control is performed by further reducing the unit (magnetic cluster) where magnetization reversal occurs during recording or erasing, and further reducing the particle size distribution. Must. As a result, noise generated from the medium during reproduction can be reduced. Furthermore, if there is a distribution in the crystal grain size,
In particular, when small-sized particles are present, thermal demagnetization occurs or thermal fluctuations occur, so that the formed magnetic domains may not exist stably. As described above, from the viewpoint of thermal demagnetization and thermal fluctuation reduction, controlling the crystal grain size distribution has become an important technique. As a method for achieving these, it has been proposed to provide a seed film below the magnetic film. USP-4652499 as an example
Can be given.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術では、
まず、磁気ディスクにおいては、シード層による情報記
録用磁性膜の結晶粒子サイズの分布を制御するには限度
があり、微小な粒子や粗大化した粒子が共存している場
合があった。これらの微小な粒子や粗大化した粒子は、
情報を記録する場合(磁化を反転させる場合)に、周囲の
磁性粒子からの漏洩磁界の影響を受けたり、逆に、大き
な粒子では相互作用を与えるために、40Gb/inch2を超え
る超高密度記録を行う場合、安定した記録が行えないと
いう課題があった。この点について、Ku・V/k・T(Ku:磁気
異方性エネルギー、V:活性化体積、k:ボルツマン定数、
T:温度)により表した熱的安定性において、活性化体積
の値が重要なパラメータになる。この値が大きいほど熱
的に安定である。これと同時に、Kuも熱的安定性に大き
く関わっている。このような傾向は、Co-Cr系の垂直磁
気記録用の磁性膜においても同様である。これは、結晶
性の磁性材料を用いる上で発生する解決するための必然
的な課題である。In the above prior art,
First, in a magnetic disk, there is a limit in controlling the crystal grain size distribution of an information recording magnetic film by a seed layer, and fine particles and coarse particles may coexist. These fine particles and coarse particles are
When recording information (when reversing the magnetization), it is affected by the leakage magnetic field from the surrounding magnetic particles, and conversely, for large particles, it has an ultra-high density exceeding 40 Gb / inch 2 to give an interaction. When performing recording, there is a problem that stable recording cannot be performed. In this regard, KuV / kT (Ku: magnetic anisotropy energy, V: activation volume, k: Boltzmann constant,
The value of the activation volume is an important parameter in the thermal stability expressed by (T: temperature). The larger the value, the more thermally stable. At the same time, Ku is also significantly involved in thermal stability. This tendency is the same in a Co—Cr-based magnetic film for perpendicular magnetic recording. This is an inevitable problem to be solved when using a crystalline magnetic material.
【0005】そこで、このような状況を鑑み、本発明の
第1の目的は、見かけの活性化体積の大きな熱的安定性
に優れた磁気記録用磁性材料を提供することにある。次
に、本発明の第2の目的は、磁化遷移領域における磁区
の形状がジグザグパターンを形成しない低ノイズな磁気
記録用磁性材料を提供するとともに、このパターンを反
映しない低ノイズの磁気記録媒体を提供することにあ
る。さらに、本発明の第3の目的は、磁気異方性の大き
な磁気記録用磁性膜を提供することにある。最後に、本
発明の第4の目的は、磁気ディスクを形成したときに積
層構造が簡素化でき、しかも、量産に適した磁気記録媒
体の構造を提供し、安価な磁気ディスクを提供すること
にある。In view of such circumstances, a first object of the present invention is to provide a magnetic material for magnetic recording which has a large apparent activation volume and is excellent in thermal stability. Next, a second object of the present invention is to provide a low-noise magnetic recording magnetic material in which the shape of a magnetic domain in a magnetization transition region does not form a zigzag pattern, and a low-noise magnetic recording medium that does not reflect this pattern. To provide. Further, a third object of the present invention is to provide a magnetic film for magnetic recording having a large magnetic anisotropy. Finally, a fourth object of the present invention is to provide a structure of a magnetic recording medium that can simplify a laminated structure when a magnetic disk is formed, and is suitable for mass production, and to provide an inexpensive magnetic disk. is there.
【0006】以上の技術を総合することにより、40Gb/i
nch2を越える超高密度記録を行うのに好適な情報記録媒
体を提供することができる。[0006] By integrating the above technologies, 40Gb / i
An information recording medium suitable for performing ultra-high density recording exceeding nch 2 can be provided.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記の目的は、少なくと
も基板と情報記録用の磁性膜を有する磁気ディスクにお
いて、用いる磁性膜が少なくとも2層からなっている薄
膜を用いることが好ましい。ここで、基板に近い第1層
目の磁性層がフェリ磁性体で、しかも、基板面に対して
垂直な方向に磁化容易軸を有する強磁性薄膜である。こ
の強磁性薄膜には結晶粒界が存在しておらず、しかも、
X線的に非晶質な薄膜であることが好ましい。第2層目
の磁性膜は、第1層目の磁性膜より飽和磁化が大きく、
これに加えて、この2層の磁性膜が互いに磁気的に結合
していることが好ましい。この第2層目の磁性膜は、基
板面に対して垂直な方向に磁化容易軸を有する強磁性薄
膜であり、しかも、強磁性薄膜には結晶粒界が存在して
おらず、X線的に非晶質な薄膜である磁気記録用磁性膜
である。ここで、基板と平行方向の面内の磁気異方性エ
ネルギーが1×104erg/cm3以下であり、基板と垂直方向
の磁気異方性エネルギーが1×107erg/cm3以上である磁
性膜を用いるのが好適である。In order to achieve the above object, it is preferred that a magnetic disk having at least a substrate and a magnetic film for information recording be formed of a thin film having at least two magnetic films. Here, the first magnetic layer near the substrate is a ferrimagnetic material, and is a ferromagnetic thin film having an easy axis of magnetization in a direction perpendicular to the substrate surface. This ferromagnetic thin film has no grain boundaries, and moreover,
It is preferably an X-ray amorphous thin film. The second magnetic film has a larger saturation magnetization than the first magnetic film,
In addition, the two magnetic films are preferably magnetically coupled to each other. The second magnetic film is a ferromagnetic thin film having an easy axis of magnetization in a direction perpendicular to the substrate surface, and further, has no crystal grain boundaries in the ferromagnetic thin film. This is a magnetic film for magnetic recording, which is an amorphous thin film. Here, the magnetic anisotropy energy in the plane parallel to the substrate is 1 × 10 4 erg / cm 3 or less, and the magnetic anisotropy energy in the direction perpendicular to the substrate is 1 × 10 7 erg / cm 3 or more. It is preferable to use a certain magnetic film.
【0008】このような磁気特性を有する磁気記録用磁
性膜において、まず、第1層目の磁性膜は鉄族元素と希
土類元素とからなる非晶質合金であり、さらに具体的に
は、鉄族元素がFe,Co,Niの内より選ばれる少なくとも1
種類の元素であり、希土類元素がTb,Gd,Dy,Hoの内より
選ばれる少なくとも1種類の元素とからなる合金薄膜を
磁気記録用磁性膜として用いればよい。この磁性膜は、
第1層目の磁性膜の有する磁性がフェリ磁性体を用いる
ことが好ましく、特に、鉄族元素の副格子磁化が優勢で
あることが最も好ましい。この第1層目の磁性膜の熱的
安定性が、KuV/kT(Ku:結晶磁気異方性定数、V:活性化体
積、k:ボルツマン定数、T:温度)で表され、この値の中
で、活性化体積:Vが、該磁性膜に形成される1つの磁
区における体積に相当する。さらに、この磁性膜の磁気
異方性は大きいので、KuV/kTの値は大きく、熱安定性に
優れた媒体を得ることができる。さらに、静磁気的な特
性としては、第1層目の磁性膜の飽和磁化が200 emu/cm
3以上、保磁力が3kOe以上、さらに磁性膜の膜厚が40nm
以下であることが好ましい。次に、第2層目の磁性膜と
しては、Coを主体とする合金あるいはCoの酸化物の磁性
薄膜であり、これに、Cr,Pt,Pd,Ta,Nb,Si,Tiのうちより
選ばれる少なくとも1種類の元素を含んだ磁性膜を用い
る。In the magnetic film for magnetic recording having such magnetic characteristics, first, the first magnetic film is an amorphous alloy composed of an iron group element and a rare earth element. At least one element selected from the group consisting of Fe, Co and Ni
An alloy thin film composed of at least one element selected from the group consisting of Tb, Gd, Dy, and Ho may be used as the magnetic film for magnetic recording. This magnetic film
It is preferable to use a ferrimagnetic material for the magnetism of the first magnetic film, and it is most preferable that the sublattice magnetization of the iron group element is dominant. The thermal stability of the first magnetic film is represented by KuV / kT (Ku: crystal magnetic anisotropy constant, V: activation volume, k: Boltzmann constant, T: temperature). Among them, the activation volume: V corresponds to the volume in one magnetic domain formed in the magnetic film. Further, since the magnetic anisotropy of this magnetic film is large, the value of KuV / kT is large, and a medium having excellent thermal stability can be obtained. Further, as a magnetostatic characteristic, the saturation magnetization of the first magnetic film is 200 emu / cm.
3 or more, coercive force is 3 kOe or more, and magnetic film thickness is 40 nm
The following is preferred. Next, the second magnetic film is a magnetic thin film of an alloy mainly composed of Co or an oxide of Co, which is selected from Cr, Pt, Pd, Ta, Nb, Si, and Ti. A magnetic film containing at least one type of element is used.
【0009】上述の磁気記録用磁性膜をはじめ磁気記録
媒体をガラス、樹脂あるいはAl合金まどの基板上に作製
することで磁気ディスクを形成した。このディスクに磁
気ヘッドを用いて一定幅、一定長さの磁区を形成するこ
とにより情報を記録したり、あるいは消去を行った。こ
こで、情報の記録あるいは消去により磁性膜に形成され
る磁区の体積が、先の活性化体積に相当する。また、さ
らにディスクに形成される磁区の長さや幅などの形成精
度を向上させるのに、基板表面に凹凸のテクスチャを有
した円形の基板上に上述の2層からなる磁性膜を形成す
ることが効果がある。このテクスチャにより記録膜上に
生じた記録膜のうねりにより、記録や消去に伴う磁壁の
移動が抑制され、その結果として磁性膜に形成される磁
区のディスク上の位置を制御することができる。A magnetic disk was formed by preparing a magnetic recording medium including the above-described magnetic film for magnetic recording on a substrate such as glass, resin or Al alloy. Information was recorded or erased by forming magnetic domains of a fixed width and a fixed length on the disk using a magnetic head. Here, the volume of the magnetic domain formed in the magnetic film by recording or erasing of information corresponds to the activation volume. Further, in order to further improve the formation accuracy such as the length and width of the magnetic domain formed on the disk, it is preferable to form the above-described two-layer magnetic film on a circular substrate having an uneven texture on the substrate surface. effective. Due to the undulation of the recording film generated on the recording film due to the texture, the movement of the domain wall during recording or erasing is suppressed, and as a result, the position on the disk of the magnetic domain formed in the magnetic film can be controlled.
【0010】このようにして作製した磁気ディスクを用
いて、磁気ディスク装置を構成することが好ましい。磁
気ディスク装置は、少なくとも磁気ディスク、磁気ヘッ
ド、ディスク駆動系、および信号処理回路を含む電気回
路からなる。この装置に、上述の磁気記録用磁性膜を用
いた磁気ディスクを用いることにより高密度磁気ディス
ク装置を得ることができる。この磁気ディスク装置を用
いて、各種形態の情報をディスク上の磁性膜に記録した
り、記録した情報を再生したり、あるいは消去する。It is preferable to configure a magnetic disk drive using the magnetic disk manufactured as described above. The magnetic disk device includes an electric circuit including at least a magnetic disk, a magnetic head, a disk drive system, and a signal processing circuit. A high-density magnetic disk device can be obtained by using a magnetic disk using the above-described magnetic film for magnetic recording in this device. Using this magnetic disk device, various forms of information are recorded on a magnetic film on the disk, and the recorded information is reproduced or erased.
【0011】[0011]
【発明の実施の形態】実施例を用いて本発明を詳細に説
明する。 〈実施の形態1)本実施例は、情報記録用の磁性膜が第
1層目の磁性膜にTb-Fe-Co非晶質合金膜を、第2層目の磁
性膜にCo-Cr膜をそれぞれ用いた場合である。作製した
磁気ディスクの断面構造の模式図を図1に示す。まず、
磁気ディスク用の基板(1)として、2.5″直径のガラス基
板を用いた。ここで用いた基板はほんの1例であり、い
ずれのサイズのディスク基板を用いても、また、AlやAl
合金などの金属や樹脂の基板を用いても、用いる基板の
材質やサイズに本発明の効果は左右されるものではない
ことは言うまでもない。また、ガラス、樹脂、AlやAl合
金の基板上にNiP膜をメッキ法などにより形成しても良
い。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail with reference to embodiments. <Embodiment 1> In this embodiment, the magnetic film for recording information is
This is a case where a Tb-Fe-Co amorphous alloy film is used as the first magnetic film and a Co-Cr film is used as the second magnetic film. FIG. 1 shows a schematic diagram of a cross-sectional structure of the magnetic disk thus manufactured. First,
A 2.5 ″ diameter glass substrate was used as the substrate for the magnetic disk (1). The substrate used here is only one example, and the disk substrate of any size can be used.
It goes without saying that even if a metal or resin substrate such as an alloy is used, the effect of the present invention does not depend on the material and size of the substrate used. Further, a NiP film may be formed on a glass, resin, Al or Al alloy substrate by a plating method or the like.
【0012】この基板(1)上に、磁性膜の保護や基板と
の接着性向上を図ることを目的とした下地膜(2)を形成
した。用いた材料は窒化シリコン膜で、膜厚は10nmであ
る。もちろん、この膜は必ず形成しなければならない膜
ではないことは言うまでもない。この膜の作製には、マ
グネトロンスパッタ法を用いて行った。ターゲットには
Si3N4を、放電ガスにArをそれぞれ用いた。放電ガス圧
力は10mTorr、投入RF電力は1kW/150mmφである。この他
に、Siをターゲットに、Ar/N2を放電ガスに用いた反応
性スパッタ法により成膜してもよいことは言うまでもな
い。また、窒化シリコン以外に、酸化シリコンなどの酸
化物膜や窒化シリコン以外の窒化物、さらには酸窒化物
を用いても良いことは言うまでもない。ここで用いた材
料により本発明の効果が左右されることはない。On this substrate (1), a base film (2) was formed for the purpose of protecting the magnetic film and improving the adhesion to the substrate. The material used is a silicon nitride film, and the film thickness is 10 nm. Of course, it is needless to say that this film is not necessarily formed. This film was formed by using a magnetron sputtering method. The target is
Si 3 N 4 was used, and Ar was used as a discharge gas. The discharge gas pressure is 10 mTorr, and the input RF power is 1 kW / 150 mmφ. In addition, it goes without saying that a film may be formed by a reactive sputtering method using Si / target as a target and Ar / N 2 as a discharge gas. Further, it goes without saying that an oxide film such as silicon oxide, a nitride other than silicon nitride, or an oxynitride may be used instead of silicon nitride. The effects of the present invention are not affected by the materials used here.
【0013】この膜の上に、情報記録用の2層からなる
磁性膜を形成した。第1層目の磁性膜(3)として、Tb19Fe
71Co10膜をマグネトロンスパッタ法により形成した。こ
の組成は遷移金属の副格子磁化優勢側のTb-Fe-Co合金を
ターゲットに、純Arを放電ガスにそれぞれ使用した。形
成した磁性膜の厚さは20nmである。スパッタ時の圧力は
5mTorr、投入RF電力は1kW/150mmφである。ここでは、R
Fマグネトロンスパッタ法で作製したが、DCマグネトロ
ンスパッタ法やエレクトロンサイクロトロンレゾナンス
を利用したスパッタ法(ECRスパッタ法)を用いて行って
もよいことは言うまでもない。On this film, a magnetic film consisting of two layers for information recording was formed. Tb 19 Fe as the first magnetic film (3)
A 71 Co 10 film was formed by magnetron sputtering. This composition uses a Tb-Fe-Co alloy on the sub-lattice magnetization dominant side of the transition metal as a target and pure Ar as a discharge gas. The thickness of the formed magnetic film is 20 nm. The pressure during sputtering is
5mTorr, input RF power is 1kW / 150mmφ. Where R
Although produced by the F magnetron sputtering method, it goes without saying that the sputtering may be performed by a DC magnetron sputtering method or a sputtering method using electron cyclotron resonance (ECR sputtering method).
【0014】次に、第1の磁性膜に磁気的な交換相互作
用を生じるように第2の磁性膜(4)として、Co67Cr33膜を
形成した。膜厚は8nmである。この膜厚は、第1層目の磁
性膜の交換結合力が及び最大の膜厚である。磁気的な結
合が生じるために、第1層目のTb-Fe-Co膜を形成した後
に、途中真空を破ることなく連続で成膜することが必要
である。ここで、Co-Cr膜は結晶化させないと良好な磁
性を示さない。そのためには、ECRスパッタ法に代表さ
れる共鳴吸収を用いて励起した粒子を一定の引き込むた
めの電圧をバイアスとして印加して粒子の有するエネル
ギーを一定に揃えてスパッタすることにより、基板温度
を高くすることなく成膜できる。この系の場合、先に形
成したTb-Fe-Co磁性膜を過熱すると、結晶化はしないも
のの、構造緩和により磁気特性が変化する。特に、垂直
磁気異方性エネルギーや保磁力の低下をきたすので基板
加熱をしてCo-Cr膜を作製することは好ましくない。そ
こで、Co-Cr系磁性膜のように、結晶質磁性膜を低温で
形成するにはECRスパッタ法は有効な成膜手法である。
スパッタの条件は、スパッタ時の圧力は3 mTorr、投入
マイクロ波電力は1kWである。また、マイクロ波により
励起されたプラズマを引き込むために500VのDCバイアス
電圧を印加した。ここでは、スパッタガスにArを使用し
た。また、ここでは、第2層目の磁性膜としてCo-Cr形を
用いたが、Co-Cr-TaやCo-Cr-Pt形を用いてもよい。Next, a Co 67 Cr 33 film was formed as the second magnetic film (4) so that a magnetic exchange interaction occurred in the first magnetic film. The thickness is 8 nm. This thickness is the thickness at which the exchange coupling force of the first magnetic film is the largest. In order to cause magnetic coupling, it is necessary to continuously form the first Tb-Fe-Co film without breaking the vacuum after forming the first Tb-Fe-Co film. Here, the Co-Cr film does not show good magnetism unless crystallized. To achieve this, the substrate temperature is increased by applying a voltage to bias the particles excited by resonance absorption typified by the ECR sputtering method as a bias and applying uniform energy to the particles to sputter them. The film can be formed without performing. In the case of this system, if the previously formed Tb-Fe-Co magnetic film is overheated, crystallization does not occur, but the magnetic properties change due to structural relaxation. In particular, since the perpendicular magnetic anisotropy energy and the coercive force decrease, it is not preferable to heat the substrate to form a Co—Cr film. Therefore, ECR sputtering is an effective film forming method for forming a crystalline magnetic film at a low temperature, such as a Co-Cr magnetic film.
The sputtering conditions are as follows: the pressure during sputtering is 3 mTorr, and the input microwave power is 1 kW. In addition, a DC bias voltage of 500 V was applied to draw in plasma excited by microwaves. Here, Ar was used as the sputtering gas. Also, here, the Co-Cr type is used as the second magnetic film, but a Co-Cr-Ta or Co-Cr-Pt type may be used.
【0015】ここで重要なのは、Coの濃度とそれ以外の
元素の濃度の割合である。この割合が、垂直磁気異方性
を決定するからである。また、ここでCo系を用いたの
は、Fe系より飽和磁化が大きいからである。ここで用い
たCo-Cr系では380emu/cm3であり、第1層目の磁性膜よ
り大きな値であることがわかる。ここで、第1層目の磁
性膜の飽和磁化の値は、230 emu/cm3であった。また、
交換結合力が強い本実施例の試料では、磁気的には1層
の膜のように振舞うことが、振動試料型の磁力計(VSM)
による測定よりわかった。What is important here is the ratio of the concentration of Co to the concentration of other elements. This ratio determines the perpendicular magnetic anisotropy. In addition, the reason why the Co system is used here is that the saturation magnetization is larger than that of the Fe system. It is 380 emu / cm 3 in the Co-Cr system used here, which is larger than that of the first magnetic film. Here, the value of the saturation magnetization of the first magnetic film was 230 emu / cm 3 . Also,
In the sample of this example having a strong exchange coupling force, it can behave magnetically like a single-layer film.
It was found from the measurement by.
【0016】このように、第1層目の磁性膜より大きな
飽和磁化を有する材料層を第2の磁性膜として用いるの
は、磁区からの磁束密度が増大するために、磁気ヘッド
から大きな再生出力が得られるからである。As described above, the material layer having a higher saturation magnetization than the first magnetic film is used as the second magnetic film because the magnetic flux density from the magnetic domain is increased, so that the magnetic head has a large reproduction output. Is obtained.
【0017】最後に、保護膜(4)としてC膜を5nmの膜厚
に形成した。ターゲットにCを、放電ガスにArをそれぞ
れ用いた。成膜にはマイクロ波を用いたECRスパッタ法
を用いた。スパッタ時の圧力は3 mTorr、投入マイクロ
波電力は1kWである。また、マイクロ波により励起され
たプラズマを引き込むために500VのDCバイアス電圧を印
加した。ここでは、スパッタガスにArを使用したが、窒
素を含むガスを用いて成膜してもよいことは言うまでも
ない。窒素を含むガスを用いると、粒子が微細化すると
ともに、得られるC膜が緻密化し、保護性能をさらに向
上させることができる。この膜の膜質は、このようなス
パッタの条件や電極構造に大きく依存しているので、こ
の条件は絶対的なものではない。ここで、保護膜の作製
にECRスパッタ法を用いたのは、2〜3nmの極薄膜でも、
緻密でかつピンホールフリーで、しかも、カバレージの
良いC膜が得られるからである。これは、RFスパッタ法
やDCスパッタ法に比べて顕著な違いである。これに加え
て、保護膜を作製する場合に磁性膜の受けるダメージが
著しく小さいという特徴もある。これは、高密度化の進
行とともに、磁性膜の薄膜化が進むので、成膜時に受け
るダメージによる磁気特性の低下は致命的になる。この
他に、成膜にDCスパッタ法を用いても良いことは言うま
でもない。しかし、この手法では形成する保護膜の膜厚
が5nm以上の場合には用いることができるが、これより
薄い場合は不向きな場合がある。これは、1)磁性膜表面
のカバレージが悪い、2)膜の密度や硬度が十分ではな
い、などの理由による。Finally, a C film having a thickness of 5 nm was formed as a protective film (4). C was used for the target, and Ar was used for the discharge gas. ECR sputtering using microwaves was used for film formation. The pressure during sputtering is 3 mTorr, and the input microwave power is 1 kW. In addition, a DC bias voltage of 500 V was applied to draw in plasma excited by microwaves. Here, Ar is used as the sputtering gas, but it goes without saying that the film may be formed using a gas containing nitrogen. When a gas containing nitrogen is used, the particles become finer, and the obtained C film becomes denser, so that the protection performance can be further improved. Since the film quality of this film greatly depends on such sputtering conditions and the electrode structure, these conditions are not absolute. Here, the ECR sputtering method was used for the production of the protective film, even for a very thin film of 2-3 nm,
This is because a dense and pinhole-free C film with good coverage can be obtained. This is a remarkable difference compared to the RF sputtering method and the DC sputtering method. In addition to this, there is a feature that the damage to the magnetic film when forming the protective film is extremely small. This is because the thinning of the magnetic film progresses as the density increases, so that the deterioration of the magnetic properties due to the damage received during the film formation is fatal. It goes without saying that a DC sputtering method may be used for film formation. However, this method can be used when the thickness of the protective film to be formed is 5 nm or more, but may be unsuitable when the thickness is smaller than 5 nm. This is due to 1) poor coverage of the magnetic film surface, and 2) insufficient density and hardness of the film.
【0018】このようにして作製した磁気記録媒体の磁
気特性を測定した。VSMによるM-Hループから、角型比S
およびS*ともに1.0であり、良好な角型性が得られた。
また、保磁力:Hcは3.5kOe、であった。また、磁性膜の
有する基板と平行方向の面内の磁気異方性エネルギーが
1×104erg/cm3であり、基板と垂直方向の垂直磁気異方
性エネルギーが2×107erg/cm3でった。この磁気記録媒
体の活性化体積を測定したところ、磁気記録媒体として
広く用いられているCo-Cr-Pt系磁性膜における値の約40
倍と著しく大きかった。このことは、この磁性膜が熱揺
らぎや熱減磁が小さい熱的安定性に優れた材料であるこ
とを示している。The magnetic characteristics of the magnetic recording medium thus manufactured were measured. From MH loop by VSM, squareness ratio S
And S * were both 1.0, and good squareness was obtained.
The coercive force: Hc was 3.5 kOe. In addition, the magnetic anisotropy energy in a plane parallel to the substrate having the magnetic film is
It was 1 × 10 4 erg / cm 3 , and the perpendicular magnetic anisotropy energy in the direction perpendicular to the substrate was 2 × 10 7 erg / cm 3 . When the activation volume of this magnetic recording medium was measured, it was found that the value of the Co-Cr-Pt-based magnetic film widely used as a magnetic recording medium was about 40%.
It was remarkably large by a factor of two. This indicates that this magnetic film is a material having a small thermal fluctuation and a small thermal demagnetization and having excellent thermal stability.
【0019】この磁性膜の構造をX線回折法により調べ
たところ、Co-Crによる回折ピークのみのピークが得ら
れた。また、高分解能透過型電子顕微鏡(高分解能TEM)
により磁性膜の組織や構造を調べたところ、明確な格子
が見られたのは第2層目の磁性膜であるCo-Cr膜のみであ
った。その他の膜は、非晶質か、極微細な組織の集合体
であることがわかった。When the structure of the magnetic film was examined by an X-ray diffraction method, only a diffraction peak due to Co-Cr was obtained. In addition, high-resolution transmission electron microscope (high-resolution TEM)
Inspection of the structure and structure of the magnetic film revealed that a clear lattice was found only in the Co-Cr film, which was the second magnetic film. The other films were found to be amorphous or aggregates with an extremely fine structure.
【0020】次に、このような磁気特性を有する磁気記
録媒体を用いた磁気ディスクの媒体表面に潤滑剤を塗布
してディスクの記録再生特性を評価した。磁気ディスク
装置の構成の概略を図2に示す。磁気ヘッド(53)とし
て、記録には、2.1Tの高飽和磁束密度を有する軟磁性膜
を用いた薄膜磁気ヘッドを記録ヘッドとして用いた。ま
た、巨大磁気抵抗効果を有するデュアルスピンバルブ型
GMR磁気ヘッドにより再生した。磁気ヘッドのギャップ
長は0.12μmである。磁気ヘッドは駆動系(54)により制
御される。磁気ディスク(51)はスピンドル(52)により回
転し、ヘッド面と磁性膜との距離を12nmに保った。この
ディスクに40 Gb/inch2に相当する信号(700kFCI)を記
録してディスクのS/Nを評価したところ、34dBの再生出
力が得られた。また、このディスクの欠陥レートを測定
したところ、信号処理を行わない場合の値で、1×10-5
以下であった。Next, a lubricant was applied to the surface of a magnetic disk using a magnetic recording medium having such magnetic characteristics, and the recording / reproducing characteristics of the disk were evaluated. FIG. 2 schematically shows the configuration of the magnetic disk drive. As the magnetic head (53), a thin-film magnetic head using a soft magnetic film having a high saturation magnetic flux density of 2.1 T was used for recording. In addition, dual spin valve type with giant magnetoresistance effect
Reproduced with a GMR magnetic head. The gap length of the magnetic head is 0.12 μm. The magnetic head is controlled by a drive system (54). The magnetic disk (51) was rotated by the spindle (52), and the distance between the head surface and the magnetic film was kept at 12 nm. When a signal (700 kFCI) corresponding to 40 Gb / inch 2 was recorded on this disk and the S / N of the disk was evaluated, a reproduction output of 34 dB was obtained. When the defect rate of this disk was measured, the value was 1 × 10 −5 when no signal processing was performed.
It was below.
【0021】ここで、磁気力顕微鏡(MFM)により、記録
した部分の磁化状態を観察したところ、磁化遷移領域に
特有なジグザグパターンが観測されなかった。そのため
に、ノイズレベルがCo-Cr-Pt系の通常の磁気記録媒体に
比べて著しく小さいことがわかる。その様子を模式的に
示したのが図3である。これに加えて、磁性膜が非晶質
であることもノイズレベルが低い原因である。また、Co
-Cr系磁性膜で見られたような磁区と磁区の間や磁区の
中で観察された微小な逆磁区はこの磁性膜系では観察さ
れなかった。これも、媒体からのノイズが低い原因の1
つである。本実施例では、磁性膜にはTb-Fe-Co系を用い
た場合を示したが、Tb以外にGd,Dy,Hoのうちの1種類の
元素を用いても、また、Gd-Tb,Gd-Dy,Gd-Ho,Tb-Dy,Tb-H
oについても同様の効果が得られるからである。さら
に、遷移金属としてFe-Co合金を用いたが、Fe-Ni,Co-Ni
などの合金を用いても良いことは言うまでもない。 〈実施の形態2〉本実施例は、第2の磁性膜にCoO膜を用
いた場合である。作製した磁気ディスクの構造は、実施
の形態1と同様で、その構造の模式図は図1に示すとおり
である。用いた成膜の方法は、スパッタリング法で、ス
パッタの条件などは実施の形態1と同じである。CoO膜の
作製は、ここでは蒸着法を用いたが、先のECRスパッタ
法を用いてもよい。この手法を用いると、CoOのストイ
キオメトリを維持したまま成膜することができる。RFス
パッタ法やDCスパッタ法を用いると、ストイキオメトリ
のずれを生じ、磁気特性が変化するので、好ましくな
い。CoOのECRスパッタ法による作製の条件は、スパッタ
時の圧力は3 mTorr、投入マイクロ波電力は1kWである。
また、マイクロ波により励起されたプラズマを引き込む
ために500VのDCバイアス電圧を印加した。ここでは、ス
パッタガスにArを使用した。このCoO膜のみの飽和磁化
は、450 emu/cm3である。Here, when the magnetization state of the recorded portion was observed with a magnetic force microscope (MFM), no zigzag pattern peculiar to the magnetization transition region was observed. For this reason, it can be seen that the noise level is significantly lower than that of a normal Co-Cr-Pt magnetic recording medium. FIG. 3 schematically shows this state. In addition, the fact that the magnetic film is amorphous also causes a low noise level. Also, Co
The minute reverse magnetic domains observed between magnetic domains and in the magnetic domains as in the -Cr based magnetic film were not observed in this magnetic film system. This is also one of the causes of low noise from the medium.
One. In the present embodiment, the case where a Tb-Fe-Co system is used for the magnetic film is shown, but in addition to Tb, Gd, Dy, even if one element of Ho is used, Gd-Tb, Gd-Dy, Gd-Ho, Tb-Dy, Tb-H
This is because the same effect can be obtained for o. Furthermore, although Fe-Co alloy was used as the transition metal, Fe-Ni, Co-Ni
Needless to say, such an alloy may be used. <Embodiment 2> This embodiment is a case where a CoO film is used as the second magnetic film. The structure of the manufactured magnetic disk is the same as that of the first embodiment, and a schematic diagram of the structure is as shown in FIG. The film formation method used is a sputtering method, and the conditions for the sputtering and the like are the same as in the first embodiment. Here, the CoO film is formed by a vapor deposition method, but the above-described ECR sputtering method may be used. Using this method, a film can be formed while maintaining the stoichiometry of CoO. The use of the RF sputtering method or the DC sputtering method is not preferable because stoichiometry shifts and magnetic properties change. The conditions for producing CoO by the ECR sputtering method are as follows: the pressure during sputtering is 3 mTorr, and the input microwave power is 1 kW.
In addition, a DC bias voltage of 500 V was applied to draw in plasma excited by microwaves. Here, Ar was used as the sputtering gas. The saturation magnetization of only this CoO film is 450 emu / cm 3 .
【0022】このようにして作製した磁気記録媒体の磁
気特性を測定した。VSMによるM-Hループから、2層合わ
せた磁性膜の角型比SおよびS*は1.0であり、良好な角型
性を有していた。また、保磁力:Hcは3.5kOeであった。
また、磁性膜の基板と平行方向の面内の磁気異方性エネ
ルギーが1×104erg/cm3であり、基板と垂直方向の垂直
磁気異方性エネルギーが3×107erg/cm3であり、基板と
垂直方向に大きな磁気異方性を有する磁性体であった。
この磁気記録媒体の活性化体積を測定したところ、磁気
記録媒体として広く用いられているCo-Cr-Pt系磁性膜に
おける値の約30倍と大きかった。このことは、この磁性
膜が熱的安定性に優れていることを示している。The magnetic characteristics of the magnetic recording medium thus manufactured were measured. From the MH loop by VSM, the squareness ratio S and S * of the magnetic film obtained by combining the two layers was 1.0, indicating that the magnetic film had good squareness. The coercive force: Hc was 3.5 kOe.
The magnetic anisotropy energy in the plane parallel to the substrate of the magnetic film is 1 × 10 4 erg / cm 3 , and the perpendicular magnetic anisotropy energy in the direction perpendicular to the substrate is 3 × 10 7 erg / cm 3 And a magnetic material having a large magnetic anisotropy in a direction perpendicular to the substrate.
When the activation volume of this magnetic recording medium was measured, it was about 30 times as large as that of a Co—Cr—Pt-based magnetic film widely used as a magnetic recording medium. This indicates that this magnetic film has excellent thermal stability.
【0023】次に、このような磁気特性を有する磁気記
録媒体を用いた磁気ディスクの媒体表面に潤滑剤を塗布
してディスクの記録再生特性を評価した。用いた磁気デ
ィスク装置の構成は実施の形態1と同様で、その模式図
は図2に示すとおりである。ヘッドと磁気記録媒体との
距離を12nmに保ち、このディスクに40 Gb/inch2に相当
する信号(700kFCI)を記録してディスクのS/Nを評価し
た。その結果、34dBの再生出力が得られた。また、この
ディスクの欠陥レートを測定したところ、信号処理を行
わない場合の値で、1×10-5以下であった。Next, a lubricant was applied to the surface of a magnetic disk using a magnetic recording medium having such magnetic characteristics, and the recording / reproducing characteristics of the disk were evaluated. The configuration of the magnetic disk device used is the same as that of the first embodiment, and its schematic diagram is as shown in FIG. The distance between the head and the magnetic recording medium was kept at 12 nm, and a signal (700 kFCI) corresponding to 40 Gb / inch 2 was recorded on this disk to evaluate the S / N of the disk. As a result, a reproduction output of 34 dB was obtained. When the defect rate of this disk was measured, the value was 1 × 10 −5 or less when no signal processing was performed.
【0024】ここで、磁気力顕微鏡(MFM)により、記録
した部分の磁化状態を観察したところ、磁化遷移領域に
特有なジグザグパターンが観測されなかった。また、磁
区と磁区の間や磁区の中に周囲と異なる向きを向いたい
わゆる逆磁区は観察されなかった。そのために、ノイズ
レベルがCo-Cr-Pt系の通常の磁気記録媒体に比べて著し
く小さかった。この様子は、実施の形態1と同様で、模
式的に示したのが図3である。Here, when the magnetization state of the recorded portion was observed with a magnetic force microscope (MFM), no zigzag pattern peculiar to the magnetization transition region was observed. Also, no so-called reverse magnetic domains oriented between the magnetic domains or in the magnetic domains in directions different from the surroundings were observed. For this reason, the noise level was significantly lower than that of a normal Co-Cr-Pt magnetic recording medium. This situation is the same as in the first embodiment, and FIG. 3 schematically shows the situation.
【0025】本実施例では、磁性膜にはTb-Fe-Co/CoOか
らなる2層膜を用いたが、CoO以外に垂直磁気異方性を有
し、しかも、第1層目の磁性膜より大きな飽和磁化を有
する磁性膜を用いても同様の効果が得られる。 〈実施の形態3〉本実施例は、基板表面に凹凸のテクス
チャを有する基板を用いた場合である。テクスチャの形
成は、1)基板の表面を研磨と同時に設ける場合、2)アイ
ランド状の極薄の薄膜を形成し、これをテクスチャとし
て用いる、などの手法がある。これらいずれの手法を用
いても良いことは言うまでもない。この基板上に、実施
の形態1と同様の磁気記録媒体を形成した。In this embodiment, a two-layer film made of Tb-Fe-Co / CoO is used for the magnetic film. However, the magnetic film has perpendicular magnetic anisotropy in addition to CoO and has a first magnetic film. The same effect can be obtained by using a magnetic film having a larger saturation magnetization. <Embodiment 3> In this embodiment, a case is used in which a substrate having an uneven texture on the substrate surface is used. The texture may be formed by, for example, 1) forming the surface of the substrate at the same time as polishing, or 2) forming an extremely thin island-shaped thin film and using the thin film as the texture. It goes without saying that any of these methods may be used. On this substrate, the same magnetic recording medium as in the first embodiment was formed.
【0026】この磁気記録媒体の磁気特性は実施の形態
1と同様であった。このディスクの記録再生特性を図2に
示す磁気ディスク装置を用いて評価した。その結果、実
施の形態1よりノイズレベルが約1dB低かった。これは、
基板表面に形成されたテクスチャの凹凸のために、磁壁
の移動がピン止めされるので、情報を記録した後の磁化
遷移領域のジグザグパターンがより平坦になったためで
あることがMFMを用いた解析により判明した。この効果
は、用いる磁性膜材料に依存しないことは言うまでもな
い。The magnetic characteristics of this magnetic recording medium are described in the embodiment.
Same as 1. The recording and reproduction characteristics of this disk were evaluated using the magnetic disk device shown in FIG. As a result, the noise level was about 1 dB lower than in the first embodiment. this is,
The analysis using MFM shows that the zigzag pattern of the magnetization transition area after recording information became flatter because the domain wall movement was pinned due to the texture unevenness formed on the substrate surface It turned out. Needless to say, this effect does not depend on the magnetic film material used.
【0027】[0027]
【発明の効果】本発明によれば、互いに磁気的に結合し
た2層よりなる磁性膜を用い、第1の磁性膜が垂直磁気異
方性を有する遷移金属の副格子磁化優勢側の希土類―鉄
族元素(RE-TM)合金から成る非晶質合金を用いた磁性膜
を磁気記録媒体に用いると、大きな活性化体積を有する
ので熱減磁や熱揺らぎの小さいなどの熱安定性に優れた
磁気記録材料を提供することができた。さらに、RE-TM
膜上にこの膜より大きな飽和磁化を有し、かつ垂直磁気
異方性を有する磁性膜を形成することで再生信号出力の
増大を図る効果がある。さらに、第2層目の磁性膜が結
晶質であっても、主となる第1層目の磁性膜は非晶質で
あり、しかも、時期的な結合状態にあるので、媒体に起
因するノイズを小さくできる。これに加えて、磁性膜が
非晶質であるので、磁性膜の結晶配向性を制御するため
のシード層を形成する必要がなく、磁気記録媒体の積層
構造を簡素化できるなど量産化および低価格化に有効で
ある。さらに、表面にテクスチャを有する基板を用いる
と磁区の形成精度の向上ならびにノイズの低減に効果が
ある。According to the present invention, a magnetic film composed of two layers magnetically coupled to each other is used, and the first magnetic film is a rare-earth element on the sub-lattice magnetization dominant side of a transition metal having perpendicular magnetic anisotropy. When a magnetic film made of an amorphous alloy made of an iron-group element (RE-TM) alloy is used for a magnetic recording medium, it has a large activation volume and therefore has excellent thermal stability such as thermal demagnetization and small thermal fluctuation. Magnetic recording material can be provided. In addition, RE-TM
Forming a magnetic film having a higher saturation magnetization than the film and having perpendicular magnetic anisotropy on the film has an effect of increasing the output of a reproduction signal. Furthermore, even if the second magnetic film is crystalline, the main first magnetic film is amorphous and is in a temporally coupled state, so that noise due to the medium is reduced. Can be reduced. In addition, since the magnetic film is amorphous, there is no need to form a seed layer for controlling the crystal orientation of the magnetic film, and mass production and low production can be achieved by simplifying the laminated structure of the magnetic recording medium. Effective for pricing. Furthermore, using a substrate having a texture on the surface is effective in improving the accuracy of forming magnetic domains and reducing noise.
【0028】以上の技術により、40Gb/in2を超える面記
録密度を実現することができた。With the above technology, a surface recording density exceeding 40 Gb / in 2 could be realized.
【図1】磁気ディスクの断面構造を示す模式図FIG. 1 is a schematic diagram showing a cross-sectional structure of a magnetic disk.
【図2】磁気ディスク装置の構成を示す図FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a magnetic disk drive.
【図3】磁性膜に形成された磁区をMFMにより観察した
結果を示す模式図FIG. 3 is a schematic view showing a result of observing magnetic domains formed in a magnetic film by MFM.
1・・・基板 2・・・下地膜 3・・・第1の磁性膜 4・・・第2の磁性膜 5・・・保護膜 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Substrate 2 ... Underlayer 3 ... 1st magnetic film 4 ... 2nd magnetic film 5 ... Protective film
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若林 康一郎 大阪府茨木市丑寅一丁目1番88号 日立マ クセル株式会社内 (72)発明者 竹内 輝明 大阪府茨木市丑寅一丁目1番88号 日立マ クセル株式会社内 Fターム(参考) 5D006 BB01 BB07 BB08 CB07 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Koichiro Wakabayashi 1-1-88 Ushitora, Ibaraki City, Osaka Prefecture Inside Hitachi Maxell Co., Ltd. (72) Teruaki Takeuchi 1-188 Ushitora, Ibaraki City, Osaka Hitachi Maxell Inc. F term (reference) 5D006 BB01 BB07 BB08 CB07
Claims (15)
する磁気ディスクにおいて、該磁性膜は少なくとも基板
に近い第1磁性膜と磁気ヘッドに近い第2磁性膜からな
り、該第1磁性膜は、フェリ磁性体で、基板面に対して
垂直な方向に磁化容易軸を有し、結晶粒界が存在しな
い、X線的に非晶質な強磁性薄膜であり、該第2磁性膜
は、基板面に対して垂直な方向に磁化容易軸を有し、か
つ、該第1磁性膜より飽和磁化が大きいことを特徴とす
る磁気ディスク。1. A magnetic disk having a substrate and a magnetic film for recording information, wherein the magnetic film comprises at least a first magnetic film near the substrate and a second magnetic film near the magnetic head. Is a ferrimagnetic material, has an easy axis of magnetization in a direction perpendicular to the substrate surface, has no grain boundaries, is an X-ray amorphous ferromagnetic thin film, and the second magnetic film is A magnetic disk having an easy axis of magnetization in a direction perpendicular to the substrate surface and having a larger saturation magnetization than the first magnetic film.
に磁気的に結合していることを特徴とする請求項1記載
の磁気ディスク。2. The magnetic disk according to claim 1, wherein the first magnetic film and the second magnetic film are magnetically coupled to each other.
内の磁気異方性エネルギーが1×104erg/cm3以下であ
り、基板と垂直方向の磁気異方性エネルギーが1×107er
g/cm3以上であることを特徴とする請求項1記載の磁気
ディスク。3. The magnetic film has an in-plane magnetic anisotropy energy of 1 × 10 4 erg / cm 3 or less in a direction parallel to the substrate, and a magnetic anisotropy energy in a direction perpendicular to the substrate of 1 × 10 4 erg / cm 3 or less. 7 er
2. The magnetic disk according to claim 1, wherein the g / cm 3 is not less than g / cm 3 .
とからなる合金でああることを特徴とする請求項1記載
の磁気ディスク。4. The magnetic disk according to claim 1, wherein said first magnetic film is an alloy comprising an iron group element and a rare earth element.
る少なくとも1種類の元素であり、前記希土類元素がT
b,Gd,Dy,Hoの内より選ばれる少なくとも1種類の元素と
からなる合金薄膜であることを特徴とする請求項4記載
の磁気ディスク。5. The iron group element is at least one element selected from the group consisting of Fe, Co, and Ni, and the rare earth element is T
5. The magnetic disk according to claim 4, wherein the magnetic disk is an alloy thin film made of at least one element selected from b, Gd, Dy, and Ho.
性体であり、鉄族元素の副格子磁化が優勢であることを
特徴とする請求項1記載の磁気ディスク。6. The magnetic disk according to claim 1, wherein the magnetism of the first magnetic film is a ferrimagnetic material, and the sublattice magnetization of the iron group element is dominant.
(Ku:結晶磁気異方性定数、V:活性化体積、k:ボルツマ
ン定数、T:温度)で表され、該第1磁性膜における活性
化体積:Vが、該磁性膜に形成される1つの磁区におけ
る体積に相当することを特徴とする請求項1記載の磁気
ディスク。7. The thermal stability of the first magnetic film is KuV / kT
(Ku: crystal magnetic anisotropy constant, V: activation volume, k: Boltzmann constant, T: temperature), and the activation volume: V in the first magnetic film is 1 2. The magnetic disk according to claim 1, wherein the magnetic disk corresponds to a volume in one magnetic domain.
以上、保磁力が3kOe以上、膜厚が40nm以下であることを
特徴とする請求項1記載の磁気ディスク。8. The saturation magnetization of the first magnetic film is 200 emu / cm 3.
2. The magnetic disk according to claim 1, wherein the coercive force is 3 kOe or more and the film thickness is 40 nm or less.
るいはCoの酸化物の磁性薄膜であり、これに、Cr,Pt,P
d,Ta,Nb,Si,Tiのうちより選ばれる少なくとも1種類の元
素を含んだことを特徴とする請求項1記載のディスク。9. The second magnetic film is a magnetic thin film of an alloy mainly composed of Co or an oxide of Co, wherein Cr, Pt, P
2. The disk according to claim 1, wherein the disk contains at least one element selected from d, Ta, Nb, Si, and Ti.
合金から選ばれる少なくとも1種類の基板上に作製する
ことで磁気ディスクを形成し、該磁気ディスクに磁気ヘ
ッドを用いて一定幅、一定長さの磁区を形成することに
より情報を記録あるいは消去をしたことを特徴とする請
求項1記載の磁気ディスク。10. The magnetic film is made of glass, resin or Al.
A magnetic disk was formed by manufacturing on at least one type of substrate selected from alloys, and information was recorded or erased by forming magnetic domains of a constant width and a constant length on the magnetic disk using a magnetic head. The magnetic disk according to claim 1, wherein:
性膜に形成される磁区における体積が、請求項7に記載
の活性化体積であることを特徴とする請求項10に記載
の磁気ディスク。11. The magnetic disk according to claim 10, wherein a volume in a magnetic domain formed in the magnetic film by recording or erasing the information is the activation volume according to claim 7.
を有する円形の基板上に形成したことを特徴とする請求
項1記載の磁気ディスク。12. The magnetic disk according to claim 1, wherein the magnetic film is formed on a circular substrate having a texture having irregularities on the surface.
録や消去に伴う磁壁の移動を制御し、磁性膜に形成され
る磁区のディスク上の位置を制御したことを特徴とする
請求項12記載の磁気ディスク。13. The magnetic recording medium according to claim 12, wherein the movement of the domain wall during recording or erasing is controlled by the texture of the substrate surface, and the position of the magnetic domain formed on the magnetic film on the disk is controlled. disk.
ド、ディスク駆動装置、および電気回路からなる磁気デ
ィスク装置において、該磁気ディスクは請求項1から請
求項13に記載の磁気記録用磁性膜を用いた磁気ディス
クを用いて該磁気ディスク装置を構成したことを特徴と
する磁気ディスク装置。14. A magnetic disk device comprising at least a magnetic disk, a magnetic head, a disk drive, and an electric circuit, wherein the magnetic disk uses the magnetic film for magnetic recording according to claim 1. A magnetic disk drive characterized in that the magnetic disk drive is constituted by using the above.
形態の情報を該装置により記録、再生あるいは消去をし
たことを特徴とする請求項14に記載の磁気ディスク装
置。15. The magnetic disk drive according to claim 14, wherein various types of information are recorded, reproduced, or erased by using the magnetic disk drive.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32991699A JP2001148109A (en) | 1999-11-19 | 1999-11-19 | Magnetic disk, magnetic disk device |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32991699A JP2001148109A (en) | 1999-11-19 | 1999-11-19 | Magnetic disk, magnetic disk device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001148109A true JP2001148109A (en) | 2001-05-29 |
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ID=18226709
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|---|---|---|---|
| JP32991699A Withdrawn JP2001148109A (en) | 1999-11-19 | 1999-11-19 | Magnetic disk, magnetic disk device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001148109A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6875527B2 (en) | 2001-12-27 | 2005-04-05 | Fujitsu Limited | Information recording medium and information storing device |
| US7094482B2 (en) | 2002-08-15 | 2006-08-22 | Fujitsu Limited | Recording medium having magnetic layer of smaller thickness |
| KR100699822B1 (en) * | 2002-09-19 | 2007-03-27 | 삼성전자주식회사 | Vertical magnetic recording media |
| US7611783B2 (en) | 2005-03-31 | 2009-11-03 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic recording device |
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1999
- 1999-11-19 JP JP32991699A patent/JP2001148109A/en not_active Withdrawn
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