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JP2001038144A - ガス処理装置 - Google Patents

ガス処理装置

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Publication number
JP2001038144A
JP2001038144A JP11221335A JP22133599A JP2001038144A JP 2001038144 A JP2001038144 A JP 2001038144A JP 11221335 A JP11221335 A JP 11221335A JP 22133599 A JP22133599 A JP 22133599A JP 2001038144 A JP2001038144 A JP 2001038144A
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JP
Japan
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desorption
gas
recovery
adsorption
concentration
Prior art date
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Pending
Application number
JP11221335A
Other languages
English (en)
Inventor
Sadasuke Maekawa
禎佑 前川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taikisha Ltd
Original Assignee
Taikisha Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Taikisha Ltd filed Critical Taikisha Ltd
Priority to JP11221335A priority Critical patent/JP2001038144A/ja
Priority to KR1020000045061A priority patent/KR100353274B1/ko
Priority to US09/632,177 priority patent/US6364943B1/en
Publication of JP2001038144A publication Critical patent/JP2001038144A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガス処理装置の小型化及び消費エネルギの節
減を可能する。 【解決手段】 吸着ロータ４の回転域に、ガス状炭化水
素を含む被処理ガスＡを対応ロータ部分に通過させる吸
着域ｘと、脱着・濃縮用ガスＢを対応ロータ部分に通過
させる脱着域ｙとを形成した濃縮用の回転式吸脱着装置
１を設け、脱着域ｙを通過した脱着・濃縮用ガスＢ′を
吸着剤層９に通過させる吸着工程と、脱着・回収用ガス
Ｃを吸着剤層９に通過させる脱着工程とを切り換え実施
する回収用の吸脱着装置２を設け、吸着剤層９を通過し
た脱着・回収用ガスＣ′を冷却することでガス状炭化水
素を凝縮させて分離回収する回収用の凝縮装置３を設け
るガス処理装置において、脱着域ｙの通過に続き吸着剤
層９を通過した脱着・濃縮用ガスＢ″を吸着域ｘへ返送
して、被処理ガスＡとともに吸着域ｘに通過させる脱着
・濃縮用ガス返送路１２を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、工場排ガスなどの
被処理ガスに含まれるガス状炭化水素（例えば、溶剤と
して用いられるトルエンやキシレンなどの蒸気）を分離
回収するガス処理装置に関し、詳しくは（図４参照）、
吸着剤を構成材とする通気性の吸着ロータ４の回転域
に、ガス状炭化水素を含む被処理ガスＡを対応ロータ部
分に通過させる吸着域ｘと、脱着・濃縮用ガスＢを対応
ロータ部分に通過させる脱着域ｙとを、ロータ回転方向
に並べて区画形成した濃縮用の回転式吸脱着装置１を設
け、前記脱着域ｙを通過した脱着・濃縮用ガスＢ′を吸
着剤層９に通過させる吸着工程と、脱着・回収用ガスＣ
を前記吸着剤層９に通過させる脱着工程とを切り換え実
施する回収用の吸脱着装置２を設け、前記吸着剤層９を
通過した脱着・回収用ガスＣ′を冷却することで、その
ガス中のガス状炭化水素を凝縮させてガス中から分離回
収する回収用の凝縮装置３を設けるガス処理装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のガス処理装置では、図４
に示す如く、回収用吸脱着装置２における吸着工程の吸
着剤層９（同図４に示す状態では右側のもの）を通過さ
せて、濃縮用回転式吸脱着装置１での被処理ガスＡから
の移行炭化水素を吸着除去した脱着・濃縮用ガスＢ″
を、濃縮用回転式吸脱着装置１の吸着域ｘから送出され
る処理済みの被処理ガスＡ′とともに大気中へ放出して
いた（特公昭６０−１０７７２号公報参照）。
【０００３】なお、回収用吸脱着装置２における脱着工
程の吸着剤層９（同図４に示す状態では左側のもの）の
通過に続き回収用凝縮装置３を通過させた脱着・回収用
ガスＣ″（すなわち、吸着剤層９からの脱着炭化水素を
凝縮させて分離除去したガス）については、それを吸着
工程の吸着剤層９へ返送するようにした回収用吸脱着装
置が種々提案されている（例えば、特開平１１−５７３
７２号公報、特開平９−３８４４５号公報、特開平６−
２２６０２９号公報、特公平４−６６６０５号公報、特
公昭５３−２２５４１号公報参照）。
【０００４】また、このように凝縮装置通過後の脱着・
回収用ガスＣ″を吸着工程の吸着剤層９へ返送するにあ
たっては、脱着工程の吸着剤層９を通過した脱着・回収
用ガスＣ′を脱着工程の吸着剤層９へ戻して再通過させ
る循環路を設け、この循環路から一部抜き出した脱着・
回収用ガスを回収用凝縮装置３を通じて吸着工程の吸着
剤層９へ返送するようにした回収用吸脱着装置もある
（例えば、特開平９−３８４４５号公報、特開平６−２
２６０２９号公報参照）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、濃縮用の回転
式吸脱着装置１における脱着域ｙの通過でガス状炭化水
素を含んだ脱着・濃縮用ガスＢ′（濃縮ガス）を回収用
吸脱着装置２における吸着工程の吸着剤層９に通過させ
て、その炭化水素濃度を大気中への放出が許される程度
まで低下させるには、未だかなり高い処理効率が回収用
吸脱着装置２に要求され、この為、回収用吸脱着装置２
における吸着剤の必要量が大きくて装置の小型化が難し
い、また、回収用吸脱着装置２での脱着に高い温度（例
えば、一般の蒸気熱源では得られない高温度）が必要に
なって消費エネルギが嵩む問題があり、さらに、その脱
着温度の高温化で吸着剤の劣化が促進されたり、回収す
る溶剤等の炭化水素の変質を生じ易い問題もあった。
【０００６】そしてまた、先述の如く凝縮装置通過後の
脱着・回収用ガスＣ″を吸着工程の吸着剤層９へ戻すよ
うにして（換言すれば、凝縮装置通過後の脱着・回収用
ガスＣ″に未凝縮のガス状炭化水素がある程度高い濃度
で残ることを許容するようにして）、回収用凝縮装置３
での必要冷却温度の高温化（常温化）を図るにしても、
その凝縮装置通過後の脱着・回収用ガスＣ″と合流状態
で吸着工程の吸着剤層９を通過させた脱着・濃縮用ガス
Ｂ″の炭化水素濃度を大気中への放出が許される値に保
つ上で、冷却温度の高温化には限界があって回収用凝縮
装置３でのガス冷却に相応の低温が要求され、この点で
も消費エネルギが嵩む問題があった。
【０００７】以上の実情に鑑み、本発明の主たる課題
は、濃縮用の回転式吸脱着装置をさらに有効に利用する
合理的な改良により、ガス状炭化水素の回収効率を高く
確保しながら、装置の小型化及び消費エネルギの低減を
可能にする点にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】〔１〕請求項１に係る発
明では（図１又は図３参照）、吸着剤を構成材とする通
気性の吸着ロータ４の回転域に、ガス状炭化水素を含む
被処理ガスＡを対応ロータ部分に通過させる吸着域ｘ
と、脱着・濃縮用ガスＢを対応ロータ部分に通過させる
脱着域ｙとを、ロータ回転方向に並べて区画形成した濃
縮用の回転式吸脱着装置１を設け、前記脱着域ｙを通過
した脱着・濃縮用ガスＢ′を吸着剤層９に通過させる吸
着工程と、脱着・回収用ガスＣを前記吸着剤層９に通過
させる脱着工程とを切り換え実施する回収用の吸脱着装
置２を設け、前記吸着剤層９を通過した脱着・回収用ガ
スＣ′を冷却することで、そのガス中のガス状炭化水素
を凝縮させてガス中から分離回収する回収用の凝縮装置
３を設けるガス処理装置において、前記脱着域ｙの通過
に続き前記吸着剤層９を通過した脱着・濃縮用ガスＢ″
を前記吸着域ｘへ返送して、被処理ガスＡとともに前記
吸着域ｘに通過させる脱着・濃縮用ガス返送路１２を設
ける。
【０００９】つまり、この構成では（同図１又は図３参
照）、濃縮用の回転式吸脱着装置１における脱着域ｙの
通過に続き回収用の吸脱着装置２における吸着工程の吸
着剤層９を通過させた脱着・濃縮用ガスＢ″（その吸着
剤層９の通過過程で被処理ガスＡからの移行炭化水素を
吸着除去したガス）を、そのままでは大気中へ放出せ
ず、上記の脱着・濃縮用ガス返送路１２を通じ濃縮用の
回転式吸脱着装置１における吸着域ｘへ返送して、それ
よりも大風量の被処理ガスＡとともに吸着域ｘに通過さ
せ、これにより、その返送の脱着・濃縮用ガスＢ″に残
るガス状炭化水素を、大風量の被処理ガスＡに含まれる
ガス状炭化水素とともに濃縮用の回転式吸脱着装置１に
おける吸着域ｘの通過過程（具体的には吸着域ｘでのロ
ータ通過過程）で吸着除去し、その上で、これらガスを
処理済み被処理ガスＡ′として大気中へ放出する。
【００１０】したがって、回収用の吸脱着装置２では、
濃縮用の回転式吸脱着装置１における脱着域ｙから吸着
工程の吸着剤層９に送られる脱着・濃縮用ガスＢ′（濃
縮ガス）について、その炭化水素濃度を吸着剤層９の通
過過程で大気中への放出が可能な程度まで低下させる必
要がなくなり、このことから、先述の従来装置に比べ回
収用の吸脱着装置２に要求される処理効率を低くするこ
とができて、回収用吸脱着装置２における吸着剤の必要
量を少なくすることができ、また、回収用吸脱着装置２
での脱着に必要な温度も低くする（例えば１３０℃以下
といった温度にする）ことができて、一般蒸気や電熱を
熱源とする脱着なども可能にすることができる。
【００１１】なお、回転式の吸脱着装置１は、被処理ガ
スＡの風量に大きな変化が無ければ、吸着剤の使用量が
一定のもとで被処理ガスＡの炭化水素濃度が多少変化し
たとしても、ロータ回転速度などの運転条件の調整によ
り運転状態をそのときの炭化水素濃度に対する最適の運
転状態（そのときの炭化水素濃度に対して最も高い処理
効率を得られる運転状態）に調整すれば、吸着域ｘから
送出される処理済み被処理ガスＡ′の残存炭化水素濃度
を変化前とほぼ同等の低い値に維持できる特性があるこ
とから、上記の如く処理効率を低下させた回収用吸脱着
装置２から送出される脱着・濃縮用ガスＢ″（残存炭化
水素濃度が未だ高い小風量のガス）を、大風量の被処理
ガスＡとともに濃縮用の回転式吸脱着装置１における吸
着域ｘに通過させたとしても、その吸着域ｘから送出さ
れる処理済みガスＡ′の残存炭化水素濃度は、被処理ガ
スＡのみを吸着域ｘに通過させた場合とほぼ同等の低い
値（大気中への放出が可能な値）に保つことができる。
【００１２】以上のことから、請求項１に係る発明によ
れば、ガス状炭化水素の回収効率を高く確保しながら
も、先述の従来装置に比べ、装置全体を小型化し得ると
ともに、省エネ面でより優れた装置にすることができ、
また、脱着温度の低温化により吸着剤の劣化を抑止して
装置耐用性を高めるとともに、回収する炭化水素の変質
を防止して回収炭化水素の再利用も促進することができ
る。
【００１３】〔２〕請求項２に係る発明では（図１参
照）、請求項１に係る発明の実施において、脱着工程の
前記吸着剤層９を通過した脱着・回収用ガスＣ′を脱着
工程の前記吸着剤層９へ戻して再通過させる脱着・回収
用ガス循環路１６を設け、この脱着・回収用ガス循環路
１６への新鮮脱着・回収用ガスＣｉの補給量に相当する
量の脱着・回収用ガスＣ′を前記脱着・回収用ガス循環
路１６から抜き出すとともに、この抜き出した脱着・回
収用ガスＣｒを前記凝縮装置３を通じ吸着工程の前記吸
着剤層９へ返送して、前記脱着域ｙを通過した脱着・濃
縮用ガスＢ′とともに吸着工程の前記吸着剤層９に通過
させる脱着・回収用ガス返送路１９を設ける。
【００１４】つまり、この構成では（同図１参照）、上
記の脱着・回収用ガス循環路１６から一部抜き出した脱
着・回収用ガスＣｒを回収用凝縮装置３を通じ回収用吸
脱着装置２における吸着工程の吸着剤層９へ返送するこ
とで（すなわち、凝縮装置３を通過した抜き出し脱着・
回収用ガスＣｒに未凝縮のガス状炭化水素がある程度高
い濃度で残るのを許すことで）、回収用凝縮装置３での
必要冷却温度の高温化（常温化）を図るが、この場合、
その凝縮装置通過後の抜き出し脱着・回収用ガスＣｒと
合流状態で吸着工程の吸着剤層９を通過させた脱着・濃
縮用ガスＢ″を前述の如く脱着・濃縮用ガス返送路１２
を通じ濃縮用の回転式吸脱着装置１における吸着域ｘへ
返送して更に処理することから、この吸着剤層通過の脱
着・濃縮用ガスＢ″をそのまま大気中へ放出する場合に
比べ、回収用凝縮装置３でのガス冷却に必要な温度をさ
らに高めることができて、一般冷却水によるガス冷却
（いわゆる常温冷却）なども可能にすることができる。
【００１５】このことから、請求項２に係る発明によれ
ば、前述の如き脱着温度の低温化と相俟って省エネ面で
さらに優れた装置にすることができる。
【００１６】また、脱着・回収用ガス循環路１６から一
部抜き出す極僅かな風量（脱着・回収用ガス循環路１６
への新鮮脱着・回収用ガスＣｉの補給量に相当する量）
の脱着・回収用ガスＣｒのみを回収用凝縮装置３に通過
させるから、脱着・回収用ガス循環路１６で循環させる
脱着・回収用ガスＣ′の全量を回収用凝縮装置３に通過
させて、その通過に続き脱着の為に再び加熱するといっ
た形式を採るに比べ、冷却と加熱の繰り返しによる熱的
な無駄を低減でき、また、回収用の凝縮装置３を小型な
もので済ませることができる。
【００１７】〔３〕請求項３に係る発明では（図３参
照）、請求項１に係る発明の実施において、脱着工程の
前記吸着剤層９を通過した脱着・回収用ガスＣ′を前記
凝縮装置３を通じ脱着工程の前記吸着剤層９へ戻して再
通過させる脱着・回収用ガス循環路１６を設け、この脱
着・回収用ガス循環路１６への新鮮脱着・回収用ガスＣ
ｉの補給量に相当する量の脱着・回収用ガスＣ′を前記
脱着・回収用ガス循環路１６における前記凝縮装置３の
下流側箇所から抜き出すとともに、この抜き出した脱着
・回収用ガスＣｒ′を吸着工程の前記吸着剤層９へ返送
して、前記脱着域ｙを通過した脱着・濃縮用ガスＢ′と
ともに吸着工程の前記吸着剤層９に通過させる脱着・回
収用ガス返送路１９を設ける。
【００１８】つまり、この構成では（同図３参照）、上
記の脱着・回収用ガス循環路１６における回収用凝縮装
置３の下流側箇所から一部抜き出した脱着・回収用ガス
Ｃｒ′を回収用吸脱着装置２における吸着工程の吸着剤
層９へ返送することで（すなわち、凝縮装置３を通過し
た抜き出し脱着・回収用ガスＣｒ′に未凝縮のガス状炭
化水素がある程度高い濃度で残るのを許すことで）、回
収用凝縮装置３での必要冷却温度の高温化（常温化）を
図るが、この場合、その凝縮装置通過後の抜き出し脱着
・回収用ガスＣｒ′と合流状態で吸着工程の吸着剤層９
を通過させた脱着・濃縮用ガスＢ″を前述の如く脱着・
濃縮用ガス返送路１２を通じ濃縮用の回転式吸脱着装置
１における吸着域ｘへ返送して更に処理することから、
また、回収用吸脱着装置２の処理効率を前述の如く低く
し得て凝縮装置３の通過に続き脱着工程の吸着剤層９に
再通過させる循環脱着・回収用ガスＣの未凝縮炭化水素
濃度をより高く許容し得ることからも、吸着剤層通過の
脱着・濃縮用ガスＢ″をそのまま大気中へ放出する場合
に比べ、回収用凝縮装置３でのガス冷却に必要な温度を
さらに高めることができて、一般冷却水によるガス冷却
（いわゆる常温冷却）なども可能にすることができる。
【００１９】このことから、請求項３に係る発明によれ
ば、請求項２に係る発明と同様、前述の如き脱着温度の
低温化と相俟って省エネ面でさらに優れた装置にするこ
とができる。
【００２０】また、請求項３に係る発明では、回収用凝
縮装置３を通過させて炭化水素濃度を低減した脱着・回
収用ガスＣを脱着工程の吸着剤層９に送って脱着を行う
から、回収用吸脱着装置２での脱着処理の処理能率を高
めることができる。
【００２１】〔４〕請求項４に係る発明では（図１又は
図３参照）、請求項１〜３のいずれか１項に係る発明の
実施にあたり、前記脱着・濃縮用ガス返送路１２を通じ
て前記吸着域ｘへ返送する脱着・濃縮用ガスＢ″の炭化
水素濃度を、被処理ガスＡの炭化水素濃度と等しく又は
それよりも高くする。
【００２２】つまり（同図１又は図３参照）、吸着工程
の吸着剤層９を通過した脱着・濃縮用ガスＢ″の炭化水
素濃度が被処理ガスＡの炭化水素濃度と等しく又はそれ
よりも高くなるように装置設定して、被処理ガスＡと等
しい又はそれよりも高い炭化水素濃度の脱着・濃縮用ガ
スＢ″を脱着・濃縮用ガス返送路１２を通じ濃縮用回転
式吸脱着装置１における吸着域ｘへ返送することによ
り、被処理ガスＡよりも炭化水素濃度の低い脱着・濃縮
用ガスＢ″を吸着域ｘへ返送するに比べ、回収用吸脱着
装置２に要求される処理効率を一層低くすることができ
て、また、請求項２又は３に係る発明では回収用凝縮装
置３での必要冷却温度をより高温化することができて、
請求項１〜３に係る発明の効果をより顕著に発揮させる
ことができ、これにより、装置の小型化及び省エネ性の
向上を一層効果的に達成できる。
【００２３】
【発明の実施の形態】図１は塗装工場や印刷工場、ある
いは、半導体電子部品工場などで発生する排ガスを被処
理ガスとして、そのガス中に含まれる溶剤蒸気（ガス状
炭化水素）を分離回収するガス処理装置を示し、１は濃
縮用の回転式吸脱着装置、２は回収用の塔切換式吸脱着
装置、３は回収用の凝縮装置である。
【００２４】濃縮用の回転式吸脱着装置１は、吸着剤を
構成材とするハニカム材を主材とする通気性の円盤状吸
着ロータ４を有し、図１，図２に示す如く、この吸着ロ
ータ４を内蔵するケーシング５の内部に、吸着ロータ４
の回転方向における一部分を途中開口間に挟む状態の内
部区画風路６を形成し、これにより、吸着ロータ４の回
転域に、ケーシング５内に導入される被処理ガスＡを対
応ロータ部分に通過させる吸着域ｘと、内部区画風路６
に導入される脱着・濃縮用ガスＢを対応ロータ部分に通
過させる脱着域ｙとを、ロータ回転方向に並べて区画形
成し、吸着ロータ４の回転に伴いロータ各部を吸着域ｘ
と脱着域ｙとに交互に通過させる構造にしてある。
【００２５】つまり、濃縮用の回転式吸脱着装置１で
は、被処理ガス導入路７ａからケーシング５内に導入さ
れる被処理ガスＡを吸着域ｘに通過させることで、その
被処理ガスＡに含まれる溶剤蒸気を吸着域通過過程にあ
るロータ部分の吸着剤に吸着させて除去し、また、脱着
・濃縮用ガス導入路８ａから内部区画風路６に導入され
る高温の脱着・回収用ガスＢを脱着域ｙに通過させるこ
とで、脱着域通過過程にあるロータ部分の吸着剤から先
の吸着域通過過程で吸着した溶剤蒸気を脱着・濃縮用ガ
スＢ中へ脱着させ、これにより、吸着ロータ４の回転に
伴い、大風量の被処理ガスＡから小風量の脱着・濃縮用
ガスＢへ溶剤蒸気を連続的に移行させて溶剤蒸気の濃度
を高める連続濃縮処理を行う。
【００２６】なお、図示は省略してあるが、脱着域ｙの
ロータ回転方向下手側（すなわち、吸着域ｘのロータ回
転方向上手側）で脱着域ｙと吸着域ｘとの間には、冷却
用ガスを通過ロータ部分に通過させて、その後の吸着域
ｘでの吸着効率を高める冷却域を形成してある。
【００２７】吸着域ｘの通過過程で溶剤蒸気を除去して
溶剤蒸気濃度を大気への放出が可能な値まで低下させた
処理済みの被処理ガスＡ′は、被処理ガス導出路７ｂを
通じケーシング５内から導出して大気中へ放出し、一
方、脱着域ｙの通過過程で溶剤蒸気を含む状態になった
脱着・濃縮用ガスＢ′（濃縮ガス）は、脱着・濃縮用ガ
ス導出路８ｂを通じ内部区画風路６から導出して回収用
の塔切換式吸脱着装置２へ送る。
【００２８】回収用の塔切換式吸脱着装置２は、通気性
の固定吸着剤層９を内蔵する複数の吸着塔１０を有し、
各吸着塔１０に対する接続風路をダンパ装置１１により
開閉することで、各吸着塔１０について、前記の脱着・
濃縮用ガス導出路８ｂを通じ濃縮用の回転式吸脱着装置
１から送られる脱着域通過後の脱着・濃縮用ガスＢ′
（濃縮ガス）を内蔵吸着剤層９に通過させて、その脱着
・濃縮用ガスＢ′に含まれる溶剤蒸気を内蔵吸着剤層９
の吸着剤に吸着させる吸着工程と、脱着・回収用ガスＣ
を内蔵吸着剤層９に通過させて、内蔵吸着剤層９の吸着
剤から先の吸着工程で吸着した溶剤蒸気を脱着・回収用
ガスＣ中へ脱着させる脱着工程との交互切り換えを行う
構造にしてある。
【００２９】この回収用の塔切換式吸脱着装置２では、
複数の吸着塔１０のうち一部のもので吸着工程を実施す
る間に他のものにおいて脱着工程を実施することより吸
着処理と脱着処理とを並行させて連続化し、この吸脱着
処理により、濃縮用の回転式吸脱着装置１から送られる
脱着・濃縮用ガスＢ′（濃縮ガス）から、それより更に
小風量の脱着・回収用ガスＣへ溶剤蒸気を移行させて、
溶剤蒸気の濃度を回収用凝縮装置３での冷却凝縮による
溶剤回収が可能な濃度まで高める。
【００３０】なお、回収用の塔切換式吸脱着装置２にお
いて、実線の矢印は図中右側の吸着塔１０が吸着工程で
図中左側の吸着塔１０が脱着工程にあるときのガスの流
れ経路を示し、破線の矢印は逆に図中左側の吸着塔１０
が吸着工程で図中右側の吸着塔１０が脱着工程にあると
きのガスの流れ経路を示す。
【００３１】１２は回収用の塔切換式吸脱着装置２にお
いて吸着工程の吸着剤層９を通過した脱着・濃縮用ガス
Ｂ″を被処理ガス導入路７ａの被処理ガスＡに合流させ
て、その被処理ガスＡとの混合状態で濃縮用の回転式吸
脱着装置１における吸着域ｘに通過させる脱着・濃縮用
ガス返送路であり、このように塔切換式吸脱着装置２に
おける吸着工程の吸着剤層９を通過した脱着・濃縮用ガ
スＢ″を濃縮用の回転式吸脱着装置１における吸着域ｘ
へ返送して、大風量の被処理ガスＡととともに吸着域ｘ
に通過させることにより、その返送の脱着・濃縮用ガス
Ｂ″（本例では溶剤蒸気濃度が被処理ガスＡと等しい又
はそれよりも高いガス）に残存する溶剤蒸気を、大風量
の被処理ガスＡに含まれる溶剤蒸気とともに濃縮用の回
転式吸脱着装置１における吸着域ｘの通過過程で吸着除
去し、その上で、これらガスを処理済みの被処理ガス
Ａ′として大気中へ放出する。
【００３２】そして、回収用の塔切換式吸脱着装置２に
おける吸着工程の吸着剤層９を通過した脱着・濃縮用ガ
スＢ″について上記の返送方式を採ることにより、回収
用の塔切換式吸脱着装置２に要求される処理効率を低く
して、吸着剤必要量の低減による装置の小型化、及び、
回収用の塔切換式吸脱着装置２での脱着に要する温度の
低温化を可能にしてある。
【００３３】なお、濃縮用の回転式吸脱着装置１では、
被処理ガス導入路７ａから導入される被処理ガスＡと脱
着・濃縮用ガスＢ″（吸着工程の吸着剤層９を通過した
ガス）との混合ガスの溶剤蒸気濃度に応じ吸着ロータ４
の回転速度を設定することで、その混合ガスの溶剤蒸気
濃度に対して最大の処理効率を得られるようにし、これ
により、等しい吸着剤使用量の下で被処理ガスＡのみを
処理する場合とほぼ同等の処理効率を得る。
【００３４】１３は脱着域ｙの通過に続き脱着・濃縮用
ガス導出路８ｂを通じて吸着工程の吸着剤層９に送る脱
着・濃縮用ガスＢ′を冷却する冷却器であり、Ｆは夫
々、送風機である。
【００３５】１４は吸着剤層９中に配置した伝熱管に水
蒸気ｖを通過させて脱着工程にある吸着剤層９を加熱す
る加熱器、１５は脱着工程の吸着剤層９に通過させる脱
着・回収用ガスＣを加熱する加熱器であり、これら加熱
器１４，１５による吸着剤層加熱及びガス加熱により、
脱着工程にある吸着剤層９から溶剤蒸気を脱着させる。
【００３６】脱着工程の吸着剤層９を通過した脱着・回
収用ガスＣ′は、脱着・回収用ガス循環路１６を通じ脱
着工程の吸着剤層９へ戻して再通過させる（すなわち、
脱着工程の吸着剤層９に対し循環給送する）ようにして
あり、この脱着・回収用ガス循環路１６には、前記のガ
ス用加熱器１５を介装するとともに、不活性ガス（例え
ば窒素ガス）を新鮮脱着・回収用ガスＣｉとして循環路
中へ補給する不活性ガス供給装置１８を接続してある。
すなわち、このガス処理装置では、この不活性ガス供給
装置１８から供給する不活性ガスを脱着・回収用ガスＣ
に用いて溶剤回収を行う。
【００３７】１９は脱着・回収用ガス循環路１６への新
鮮脱着・回収用ガスＣｉの補給量に相当する量の脱着・
回収用ガスＣ′を脱着・回収用ガス循環路１６から抜き
出し、この抜き出し脱着・回収用ガスＣｒを回収用凝縮
装置３を通じ脱着・濃縮用ガス導出路８ｂの脱着・濃縮
用ガスＢ′に合流させて、その脱着・濃縮用ガスＢ′と
の混合状態で回収用の塔切換式吸脱着装置２における吸
着工程の吸着剤層９に通過させる脱着・回収用ガス返送
路であり、この脱着・回収用ガス返送路１９に介装の回
収用凝縮装置３では、それを通過する抜き出し脱着・回
収用ガスＣｒ（すなわち、脱着工程の吸着剤層９を通過
した脱着・回収用ガス）を冷却することで、そのガス中
に含まれる高濃度の溶剤蒸気を凝縮させて凝縮溶剤を貯
留槽１７に回収する。
【００３８】つまり、上記の如く脱着・回収用ガス循環
路１６から一部抜き出した脱着・回収用ガスＣｒを凝縮
装置３を通じ吸着工程の吸着剤層９へ返送して、濃縮用
の回転式吸脱着装置１における脱着域ｙを通過した脱着
・濃縮用ガスＢ′（濃縮ガス）とともに吸着工程の吸着
剤層９に通過させることにより、凝縮装置通過後の抜き
出し脱着・回収用ガスＣｒに残存する未凝縮の溶剤蒸気
を、脱着域通過後の脱着・濃縮用ガスＢ′に含まれる溶
剤蒸気とともに回収用の塔切換式吸脱着装置２における
吸着工程の吸着剤層９で吸着除去する。
【００３９】そして、このように凝縮装置通過後の抜き
出し脱着・回収用ガスＣｒとの合流状態で吸着工程の吸
着剤層９を通過させた脱着・濃縮用ガスＢ″を、前記の
脱着・濃縮用ガス返送路１２を通じ濃縮用の回転式吸脱
着装置１における吸着域ｘへ返送して被処理ガスＡとと
もに吸着域ｘに通過させる。
【００４０】すなわち、脱着・回収用ガス循環路１６か
らの一部抜き出し脱着・回収用ガスＣｒについて上記の
返送方式を採ることにより、回収用凝縮装置３での冷却
に要する温度の高温化を可能にしてある。
【００４１】２０は冷却塔で大気中へ放熱させた冷却水
ｗをガス冷却用媒体として回収用凝縮装置３及び前記の
冷却器１３に供給する冷却水循環路である。
【００４２】なお、図中のＱ，ｄ，ｔは、装置各部にお
けるガス風量、ガス中の溶剤蒸気濃度、温度を示す。
【００４３】〔別実施形態〕図３は前述の実施形態で示
したガス処理装置の一部構成を変更したものを示し、そ
の変更点として、このガス処理装置では、回収用凝縮装
置３を脱着・回収用ガス循環路１６に介装して、脱着・
回収用ガス循環路１６における循環脱着・回収用ガス
Ｃ′の全量を凝縮装置３に通過させるようにしてあり、
そして、脱着・回収用ガス返送路１９は、脱着・回収用
ガス循環路１６への新鮮脱着・回収用ガスＣｉの補給量
に相当する量の脱着・回収用ガスＣ′を脱着・回収用ガ
ス循環路１６における凝縮装置３の下流側箇所から抜き
出し、その抜き出し脱着・回収用ガスＣｒ′を吸着工程
の吸着剤層９へ返送して、濃縮用の回転式吸脱着装置１
における脱着域ｙを通過した脱着・濃縮用ガスＢ′とと
もに吸着工程の吸着剤層９に通過させるものにしてあ
る。
【００４４】濃縮用の回転式吸脱着装置１における吸着
ロータ４は、回転軸芯方向にガスを通過させる円盤状の
ものに代え、回転軸芯（筒芯）に対し直交する方向にガ
スを通過させる円筒状のものであってもよく、また、吸
着域と脱着域とにわたらせた状態で循環回動させる無端
帯状のものであってもよく、その具体的構造は種々の変
更が可能である。
【００４５】前述の実施形態では回収用吸脱着装置２に
塔切換式のものを用いる例を示したが、場合によって
は、回収用吸脱着装置２に吸着ロータを用いる回転式の
ものや、その他の形式ものを採用してもよい。
【００４６】回収用吸脱着装置２での脱着のための加熱
手段は、蒸気（水蒸気）を熱源とするものに限らず、電
熱形式のものや燃焼ガスを熱源とするものなど、種々の
加熱形式ものを採用でき、また、回収用凝縮装置３もガ
ス冷却用媒体に冷却塔による冷却水を用いるものに限ら
ず、冷水やブライン、あるいは、ヒートポンプ回路にお
ける膨張冷媒をガス冷却用媒体に用いるものなど、種々
の冷却形式のものを採用できる。
【００４７】請求項１に係る発明の実施にあたり、場合
によっては、脱着・回収用ガス循環路１６から一部抜き
出した脱着・回収用ガスＣｒを回収用凝縮装置３に通過
させた上で大気中へ放出してしまう形式や、脱着・回収
用ガス循環路１６における回収用凝縮装置３の下流側箇
所から一部抜き出した脱着・回収用ガスＣｒ′をそのま
ま大気中へ放出してしまう形式、あるいは、脱着工程の
吸着剤層９に通過させた脱着・回収用ガスＣ′の全量を
回収用凝縮装置３に通過させた上で大気中へ放出してし
まう形式を採用してもよく、また、脱着工程の吸着剤層
９に通過させた脱着・回収ガスＣ′の全量を回収用凝縮
装置３に通過させた上で吸着工程の吸着剤層９へ返送し
て、脱着域ｙを通過した脱着・濃縮用ガスＢ′とともに
吸着工程の吸着剤層に通過させる形式を採用してもよ
い。
【００４８】さらにまた、前述の実施形態では、回収用
凝縮装置３を通過させた一部抜き出し脱着・回収用ガス
Ｃｒ，Ｃｒ′を脱着・回収用ガス返送路１９を通じ回収
用吸脱着装置２における吸着工程の吸着剤層９へ返送し
て、濃縮用の回転式吸脱着装置１における脱着域ｙを通
過した脱着・濃縮用ガスＢ′とともに、回収用吸脱着装
置２における吸着工程の吸着剤層９に通過させるように
したが、これに代え、回収用凝縮装置３を通過させた一
部抜き出し脱着・回収用ガスＣｒ，Ｃｒ′や、脱着工程
の通過に続き回収用凝縮装置３を通過させた脱着・回収
用ガスＣ″の全量を返送路を通じ濃縮用の回転式吸脱着
装置１における吸着域ｘへ返送して、被処理ガスＡ及び
脱着・濃縮用ガス返送路１２による返送ガスＢ″ととも
に、濃縮用の回転式吸脱着装置１における吸着域ｘに通
過させるようにしてもよい。
【００４９】回収対象のガス状炭化水素は、塗装や印刷
あるいは半導体部品の洗浄などに用いられる溶剤の蒸気
に限られるものではなく、被処理ガス及びそれに含まれ
るガス状炭化水素の発生形態はどのようなものであって
もよい。
【００５０】また、吸着剤には活性炭やゼオライトを初
め、回収対象の炭化水素に応じて種種のものを採用でき
る。
【００５１】被処理ガスからのガス状炭化水素の分離回
収は、炭化水素の再利用を主目的とするもの、あるい
は、被処理ガスの浄化を主目的とするもの、いずれであ
ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施形態を示す装置構成図
【図２】吸着ロータ部分の概略斜視図
【図３】別実施形態を示す装置構成図
【図４】従来の装置構成を示す図
【符号の説明】
１ 濃縮用の回転式吸脱着装置 ２ 回収用の吸脱着装置 ３ 回収用の凝縮装置 ４ 吸着ロータ ９ 吸着剤層 １２ 脱着・濃縮用ガス返送路 １６ 脱着・回収用ガス循環路 １９ 脱着・回収用ガス返送路 Ａ 被処理ガス Ｂ 脱着・濃縮用ガス ｘ 吸着域 ｙ 脱着域

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 吸着剤を構成材とする通気性の吸着ロー
    タ（４）の回転域に、ガス状炭化水素を含む被処理ガス
    （Ａ）を対応ロータ部分に通過させる吸着域（ｘ）と、
    脱着・濃縮用ガス（Ｂ）を対応ロータ部分に通過させる
    脱着域（ｙ）とを、ロータ回転方向に並べて区画形成し
    た濃縮用の回転式吸脱着装置（１）を設け、 前記脱着域（ｙ）を通過した脱着・濃縮用ガス（Ｂ′）
    を吸着剤層（９）に通過させる吸着工程と、脱着・回収
    用ガス（Ｃ）を前記吸着剤層（９）に通過させる脱着工
    程とを切り換え実施する回収用の吸脱着装置（２）を設
    け、 前記吸着剤層（９）を通過した脱着・回収用ガス
    （Ｃ′）を冷却することで、そのガス中のガス状炭化水
    素を凝縮させてガス中から分離回収する回収用の凝縮装
    置（３）を設けるガス処理装置であって、 前記脱着域（ｙ）の通過に続き前記吸着剤層（９）を通
    過した脱着・濃縮用ガス（Ｂ″）を前記吸着域（ｘ）へ
    返送して、被処理ガス（Ａ）とともに前記吸着域（ｘ）
    に通過させる脱着・濃縮用ガス返送路（１２）を設けて
    あるガス処理装置。
  2. 【請求項２】 脱着工程の前記吸着剤層（９）を通過し
    た脱着・回収用ガス（Ｃ′）を脱着工程の前記吸着剤層
    （９）へ戻して再通過させる脱着・回収用ガス循環路
    （１６）を設け、 この脱着・回収用ガス循環路（１６）への新鮮脱着・回
    収用ガス（Ｃｉ）の補給量に相当する量の脱着・回収用
    ガス（Ｃ′）を前記脱着・回収用ガス循環路（１６）か
    ら抜き出すとともに、この抜き出した脱着・回収用ガス
    （Ｃｒ）を前記凝縮装置（３）を通じ吸着工程の前記吸
    着剤層（９）へ返送して、前記脱着域（ｙ）を通過した
    脱着・濃縮用ガス（Ｂ′）とともに吸着工程の前記吸着
    剤層（９）に通過させる脱着・回収用ガス返送路（１
    ９）を設けてある請求項１記載のガス処理装置。
  3. 【請求項３】 脱着工程の前記吸着剤層（９）を通過し
    た脱着・回収用ガス（Ｃ′）を前記凝縮装置（３）を通
    じ脱着工程の前記吸着剤層（９）へ戻して再通過させる
    脱着・回収用ガス循環路（１６）を設け、 この脱着・回収用ガス循環路（１６）への新鮮脱着・回
    収用ガス（Ｃｉ）の補給量に相当する量の脱着・回収用
    ガス（Ｃ′）を前記脱着・回収用ガス循環路（１６）に
    おける前記凝縮装置（３）の下流側箇所から抜き出すと
    ともに、この抜き出した脱着・回収用ガス（Ｃｒ′）を
    吸着工程の前記吸着剤層（９）へ返送して、前記脱着域
    （ｙ）を通過した脱着・濃縮用ガス（Ｂ′）とともに吸
    着工程の前記吸着剤層（９）に通過させる脱着・回収用
    ガス返送路（１９）を設けてある請求項１記載のガス処
    理装置。
  4. 【請求項４】 前記脱着・濃縮用ガス返送路（１２）を
    通じて前記吸着域（ｘ）へ返送する脱着・濃縮用ガス
    （Ｂ″）の炭化水素濃度を、被処理ガス（Ａ）の炭化水
    素濃度と等しく又はそれよりも高くしてある請求項１〜
    ３のいずれか１項の記載のガス処理装置。
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