JP2001024264A - 波長変換レーザ装置 - Google Patents
波長変換レーザ装置Info
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- JP2001024264A JP2001024264A JP11190549A JP19054999A JP2001024264A JP 2001024264 A JP2001024264 A JP 2001024264A JP 11190549 A JP11190549 A JP 11190549A JP 19054999 A JP19054999 A JP 19054999A JP 2001024264 A JP2001024264 A JP 2001024264A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、ＯＰＯ変換効率を向上すること。
【解決手段】同じ波長のアイドラ光及びシグナル光を発
生するとともに偏光方向の異なる第１及び第２のＫＴＰ
結晶２６、２７を挿入したＯＰＯ共振器２３を備え、最
初は第１のＫＴＰ結晶２６によりＯＰＯ光を発生し、こ
のＯＰＯ共振器２３において波長変換されずに出射され
たＹＡＧレーザ光Ｑの偏光方向を、励起光戻し光学系２
９により第２のＫＴＰ結晶２７の偏光方向に合わせてＯ
ＰＯ共振器２３に入射させてＯＰＯ光を発生させる。
生するとともに偏光方向の異なる第１及び第２のＫＴＰ
結晶２６、２７を挿入したＯＰＯ共振器２３を備え、最
初は第１のＫＴＰ結晶２６によりＯＰＯ光を発生し、こ
のＯＰＯ共振器２３において波長変換されずに出射され
たＹＡＧレーザ光Ｑの偏光方向を、励起光戻し光学系２
９により第２のＫＴＰ結晶２７の偏光方向に合わせてＯ
ＰＯ共振器２３に入射させてＯＰＯ光を発生させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光パラメトリック
共振を用いた波長変換レーザ装置に関する。
共振を用いた波長変換レーザ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザ光の波長可変技術の１つに光パラ
メトリック共振（Optical ParametricOscillation：以
下、ＯＰＯと称する）技術がある。このＯＰＯは、波長
λｐの励起光から波長λｓと波長λｉとの２波長を発生
する現象であり、これら波長λｓ、波長λｉの関係は、 １／λｐ＝（１／λｓ）＋（１／λｉ） …(1) を満たすものである。ここで、一般のＯＰＯ光（本明細
書ではＯＰＯで波長変換された光をいう）のうち短波長
光をシグナル光（波長λｓ）、長波長光をアイドラ光
（波長λｉ）と呼ばれている。
メトリック共振（Optical ParametricOscillation：以
下、ＯＰＯと称する）技術がある。このＯＰＯは、波長
λｐの励起光から波長λｓと波長λｉとの２波長を発生
する現象であり、これら波長λｓ、波長λｉの関係は、 １／λｐ＝（１／λｓ）＋（１／λｉ） …(1) を満たすものである。ここで、一般のＯＰＯ光（本明細
書ではＯＰＯで波長変換された光をいう）のうち短波長
光をシグナル光（波長λｓ）、長波長光をアイドラ光
（波長λｉ）と呼ばれている。
【０００３】例えば、励起光として波長１０６４ｎｍの
Ｎｄ：ＹＡＧレーザを使用した場合、波長λｓ＝１５０
０ｎｍ、波長λｉ＝３６６０ｎｍといったＯＰＯ光を発
生することが可能である。
Ｎｄ：ＹＡＧレーザを使用した場合、波長λｓ＝１５０
０ｎｍ、波長λｉ＝３６６０ｎｍといったＯＰＯ光を発
生することが可能である。
【０００４】これらシグナル光、アイドラ光の各波長の
組み合わせは、ＯＰＯに用いる結晶の角度や温度、ＯＰ
Ｏに用いるミラー（ＯＰＯミラー）の特性などに依存
し、上記式(1)を満たす限りにおいてかなりの自由度で
波長選択が可能となっている。
組み合わせは、ＯＰＯに用いる結晶の角度や温度、ＯＰ
Ｏに用いるミラー（ＯＰＯミラー）の特性などに依存
し、上記式(1)を満たす限りにおいてかなりの自由度で
波長選択が可能となっている。
【０００５】この波長選択性を利用することによってＯ
ＰＯは、波長可変レーザ光源の少ない波長域で波長可変
光源としてよく利用されている。その用途としては、例
えば分光などの理化学用、環境測定などのリモートセン
シング用が多く、その他に医療用途への応用も行われて
いる。
ＰＯは、波長可変レーザ光源の少ない波長域で波長可変
光源としてよく利用されている。その用途としては、例
えば分光などの理化学用、環境測定などのリモートセン
シング用が多く、その他に医療用途への応用も行われて
いる。
【０００６】一般にＯＰＯは、シグナル光及びアイドラ
光に対してＯＰＯ共振器を構成して光発振を達成するも
のであるが、励起光はＯＰＯ共振器内に閉じ込めること
はできない。
光に対してＯＰＯ共振器を構成して光発振を達成するも
のであるが、励起光はＯＰＯ共振器内に閉じ込めること
はできない。
【０００７】当初、励起光は、ＯＰＯ共振器内を１回通
過するだけであったので、励起光とシグナル光及びアイ
ドラ光との相互作用は励起光がＯＰＯ共振器を通過する
間のみであった。このために励起光からＯＰＯ光（シグ
ナル光、アイドラ光）への変換効率は低いものであっ
た。
過するだけであったので、励起光とシグナル光及びアイ
ドラ光との相互作用は励起光がＯＰＯ共振器を通過する
間のみであった。このために励起光からＯＰＯ光（シグ
ナル光、アイドラ光）への変換効率は低いものであっ
た。
【０００８】このような低い変換効率を改善しようとＯ
ＰＯ共振器の共振ミラーののうち１枚を励起光の反射に
用いることとした技術がある。この技術を使用すると、
励起光は、ＯＰＯ共振器の共振ミラーで反射してＯＰＯ
共振器を１往復するものとなり、励起光からＯＰＯ光へ
の相互作用の時間が２倍になり、変換効率も増加する。
ＰＯ共振器の共振ミラーののうち１枚を励起光の反射に
用いることとした技術がある。この技術を使用すると、
励起光は、ＯＰＯ共振器の共振ミラーで反射してＯＰＯ
共振器を１往復するものとなり、励起光からＯＰＯ光へ
の相互作用の時間が２倍になり、変換効率も増加する。
【０００９】しかしながら、励起光をＯＰＯ共振器内で
１往復させる技術を用いても、励起光のうちＯＰＯ光に
変換されないものが半分以上であり、ＯＰＯによる波長
変換効率が向上しない原因となっている。
１往復させる技術を用いても、励起光のうちＯＰＯ光に
変換されないものが半分以上であり、ＯＰＯによる波長
変換効率が向上しない原因となっている。
【００１０】上記の如くＯＰＯでは、ＯＰＯ共振器に直
線偏光した励起光を入射し、非線形結晶中において励起
光から発生したシグナル光とアイドラ光とのいずれか１
波又は２波を同時に共振させて、そのＯＰＯ光を得てい
る。
線偏光した励起光を入射し、非線形結晶中において励起
光から発生したシグナル光とアイドラ光とのいずれか１
波又は２波を同時に共振させて、そのＯＰＯ光を得てい
る。
【００１１】ここで、利用される光学過程は、２次の非
線形光学現象であり、そのためにＯＰＯに必要な励起光
のパワー密度（発振閾値）は、数１０ＭＷ・ｃｍ-2であ
る。従って、励起光としては、ＯＰＯによる波長変換を
可能にするのに十分なパワー密度を持ち、かつ直線偏光
であることが必要である。
線形光学現象であり、そのためにＯＰＯに必要な励起光
のパワー密度（発振閾値）は、数１０ＭＷ・ｃｍ-2であ
る。従って、励起光としては、ＯＰＯによる波長変換を
可能にするのに十分なパワー密度を持ち、かつ直線偏光
であることが必要である。
【００１２】このためには、励起光を極短パルス化する
ことにより尖頭値を高くすることが直接的であり、例え
ばＴｉ：Ｓレーザのフェムト秒（fs）パルス光を再生増
幅して平均出力１００ｍＷ、繰り返し数１ｋＨｚ、パル
ス幅１００fsの出力を得ることは可能であり、この場合
の尖頭値は〜１ＧＷになる。
ことにより尖頭値を高くすることが直接的であり、例え
ばＴｉ：Ｓレーザのフェムト秒（fs）パルス光を再生増
幅して平均出力１００ｍＷ、繰り返し数１ｋＨｚ、パル
ス幅１００fsの出力を得ることは可能であり、この場合
の尖頭値は〜１ＧＷになる。
【００１３】又、非線形結晶中における励起光のパワー
密度（ＭＷ・ｃｍ-2）は、励起光のビーム径を小さくし
集光することによっても高くすることができるが、その
半径は非線形結晶中でのウォークオフ角度によって制限
されている。そこで、非線形結晶を励起光源のレーザ共
振器内部に配置した内部共振器型ＯＰＯが例えばOptics
Letter Vol.21,800(1996)に考案されている。
密度（ＭＷ・ｃｍ-2）は、励起光のビーム径を小さくし
集光することによっても高くすることができるが、その
半径は非線形結晶中でのウォークオフ角度によって制限
されている。そこで、非線形結晶を励起光源のレーザ共
振器内部に配置した内部共振器型ＯＰＯが例えばOptics
Letter Vol.21,800(1996)に考案されている。
【００１４】外部共振器型ＯＰＯ（レーザ共振器外部に
非線形結晶を配置したもの）と内部共振器型ＯＰＯとで
は、ＯＰＯに寄与する励起光エネルギーの比率は、およ
そ （１＋Ｒ）／（１−Ｒ） …(2) Ｒ：励起光に対する励起レーザ共振器の出力ミラーの反
射率 となり、同じ励起光源でより高い励起エネルギーを利用
することができる。
非線形結晶を配置したもの）と内部共振器型ＯＰＯとで
は、ＯＰＯに寄与する励起光エネルギーの比率は、およ
そ （１＋Ｒ）／（１−Ｒ） …(2) Ｒ：励起光に対する励起レーザ共振器の出力ミラーの反
射率 となり、同じ励起光源でより高い励起エネルギーを利用
することができる。
【００１５】又、ＯＰＯの励起光源レーザの高出力化も
励起光のパワー密度（ＭＷ・ｃｍ-2）を高めることの１
方策である。その出力光特性は、レーザ共振器内部に配
置されている非線形結晶の持つ結晶軸方向に一致する直
線偏光であることが要求されるが、その偏光方向を規定
した固体レーザによる高出力化では、熱の効果に由来し
てレーザロッド中に生じた複屈折のためにレーザ共振器
内での損失が大きくなり、その高出力化が妨げられるこ
とが知られている。
励起光のパワー密度（ＭＷ・ｃｍ-2）を高めることの１
方策である。その出力光特性は、レーザ共振器内部に配
置されている非線形結晶の持つ結晶軸方向に一致する直
線偏光であることが要求されるが、その偏光方向を規定
した固体レーザによる高出力化では、熱の効果に由来し
てレーザロッド中に生じた複屈折のためにレーザ共振器
内での損失が大きくなり、その高出力化が妨げられるこ
とが知られている。
【００１６】この効果を補償するために例えばOptics L
etter Vol.18,116(1993)には、ファラデー回転子をレー
ザ共振器内部に配置することによって複屈折による損失
を補償することが記載されている。
etter Vol.18,116(1993)には、ファラデー回転子をレー
ザ共振器内部に配置することによって複屈折による損失
を補償することが記載されている。
【００１７】しかしながら、上記励起光を極短パルス化
する方式は、高い尖頭値により十分なパワー密度を得る
ことに優れているが、その反面、全体を構成する装置数
が多く、大掛かりな装置になる欠点がある。又、平均パ
ワーの高出力化においてもＹＡＧレーザなどのナノ秒パ
ルスレーザと比べて劣っている。
する方式は、高い尖頭値により十分なパワー密度を得る
ことに優れているが、その反面、全体を構成する装置数
が多く、大掛かりな装置になる欠点がある。又、平均パ
ワーの高出力化においてもＹＡＧレーザなどのナノ秒パ
ルスレーザと比べて劣っている。
【００１８】非線形結晶中における励起光ビーム径を小
さくして高いパワー密度を実現する方法では、ウォーク
・オフ効果によりＯＰＯを行う効率低下に由来して、最
小ビーム径に制限が与えられる問題がある。内部共振器
型ＯＰＯでは、最小ビーム径に制限が与えられることに
対処した方式となっているが、励起光の偏光方向を規定
するためにレーザ共振器本体での損失が複屈折のために
大きくなる欠点がある。又、偏光方向を規定しない構成
の場合には、非線形結晶軸に直交な励起光成分がＯＰＯ
に寄与できずに効率が悪くなる。
さくして高いパワー密度を実現する方法では、ウォーク
・オフ効果によりＯＰＯを行う効率低下に由来して、最
小ビーム径に制限が与えられる問題がある。内部共振器
型ＯＰＯでは、最小ビーム径に制限が与えられることに
対処した方式となっているが、励起光の偏光方向を規定
するためにレーザ共振器本体での損失が複屈折のために
大きくなる欠点がある。又、偏光方向を規定しない構成
の場合には、非線形結晶軸に直交な励起光成分がＯＰＯ
に寄与できずに効率が悪くなる。
【００１９】又、レーザ共振器内に偏光回転素子を配置
するものでは、偏光規定した出力の複屈折損失を補償す
ることができるが、その場合でもマルチモード発振の場
合よりは低くなることが知られている。又、部品点数が
多く、共振器サイズが大きくなる。
するものでは、偏光規定した出力の複屈折損失を補償す
ることができるが、その場合でもマルチモード発振の場
合よりは低くなることが知られている。又、部品点数が
多く、共振器サイズが大きくなる。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】以上のように励起光を
ＯＰＯ共振器内で１往復させる技術を用いても、励起光
のうちＯＰＯ光に変換されないものが半分以上であり、
ＯＰＯによる波長変換効率が向上しない原因となってい
る。
ＯＰＯ共振器内で１往復させる技術を用いても、励起光
のうちＯＰＯ光に変換されないものが半分以上であり、
ＯＰＯによる波長変換効率が向上しない原因となってい
る。
【００２１】又、ＯＰＯに必要な励起光のパワー密度を
持たせて高出力のＯＰＯ光を出力するために励起光を極
短パルス化したり、非線形結晶中における励起光ビーム
径を小さくして高いパワー密度を実現するなどの各方式
が行われているが、全体を構成する装置数が多くなって
大掛かりな装置になる欠点や、励起光のビーム径が非線
形結晶中でのウォークオフ角度によって制限されたりし
て、いずれの方式でも十分にＯＰＯに必要な励起光のパ
ワー密度を持たせて高出力のＯＰＯ光を出力することは
できない。
持たせて高出力のＯＰＯ光を出力するために励起光を極
短パルス化したり、非線形結晶中における励起光ビーム
径を小さくして高いパワー密度を実現するなどの各方式
が行われているが、全体を構成する装置数が多くなって
大掛かりな装置になる欠点や、励起光のビーム径が非線
形結晶中でのウォークオフ角度によって制限されたりし
て、いずれの方式でも十分にＯＰＯに必要な励起光のパ
ワー密度を持たせて高出力のＯＰＯ光を出力することは
できない。
【００２２】そこで本発明は、ＯＰＯによる波長変換効
率を向上できる波長変換レーザ装置を提供することを目
的とする。
率を向上できる波長変換レーザ装置を提供することを目
的とする。
【００２３】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
レーザロッドを配置したレーザ共振器の内部に、複数の
光パラメトリック共振素子が挿入された光パラメトリッ
ク共振器を配置した波長変換レーザ装置である。
レーザロッドを配置したレーザ共振器の内部に、複数の
光パラメトリック共振素子が挿入された光パラメトリッ
ク共振器を配置した波長変換レーザ装置である。
【００２４】請求項２記載の発明は、請求項１記載の波
長変換レーザ装置において、レーザ共振器の出力ミラー
と光パラメトリック共振器の出射ミラーとを兼用した構
成である。
長変換レーザ装置において、レーザ共振器の出力ミラー
と光パラメトリック共振器の出射ミラーとを兼用した構
成である。
【００２５】請求項３記載の発明は、レーザロッドを配
置したレーザ共振器と、このレーザ共振器のレーザ出力
光路上に配置された、複数の光パラメトリック共振素子
が挿入された光パラメトリック共振器と、を備えた波長
変換レーザ装置である。
置したレーザ共振器と、このレーザ共振器のレーザ出力
光路上に配置された、複数の光パラメトリック共振素子
が挿入された光パラメトリック共振器と、を備えた波長
変換レーザ装置である。
【００２６】請求項４記載の発明は、それぞれ偏光方向
の異なる励起光によりほぼ同じ波長を発生する複数の光
パラメトリック共振素子が挿入された光パラメトリック
共振器と、この光パラメトリック共振器において波長変
換されずに出射された励起光の偏光方向を複数の光パラ
メトリック共振素子のうちいずれかの光パラメトリック
共振素子の偏光方向に合わせて再び光パラメトリック共
振器に入射させる励起光戻し光学系と、を備えた波長変
換レーザ装置である。
の異なる励起光によりほぼ同じ波長を発生する複数の光
パラメトリック共振素子が挿入された光パラメトリック
共振器と、この光パラメトリック共振器において波長変
換されずに出射された励起光の偏光方向を複数の光パラ
メトリック共振素子のうちいずれかの光パラメトリック
共振素子の偏光方向に合わせて再び光パラメトリック共
振器に入射させる励起光戻し光学系と、を備えた波長変
換レーザ装置である。
【００２７】請求項５記載の発明は、請求項４記載の波
長変換レーザ装置において、光パラメトリック共振器に
は、互いに偏光方向がほぼ９０度異なる第１及び第２の
光パラメトリック共振素子が挿入されている。
長変換レーザ装置において、光パラメトリック共振器に
は、互いに偏光方向がほぼ９０度異なる第１及び第２の
光パラメトリック共振素子が挿入されている。
【００２８】請求項６記載の発明は、請求項４記載の波
長変換レーザ装置において、光パラメトリック共振素子
は、ＫＴｉＯＰＯ４結晶である。
長変換レーザ装置において、光パラメトリック共振素子
は、ＫＴｉＯＰＯ４結晶である。
【００２９】請求項７記載の発明は、請求項４記載の波
長変換レーザ装置において、励起光戻し光学系は、光パ
ラメトリック共振器において波長変換されずに出射され
た励起光の偏光方向を回転させるファラデーローテータ
と、このファラデーローテータを透過した励起光を再び
ファラデーローテータを透過させて光パラメトリック共
振器に戻す反射ミラーと、を有するものである。
長変換レーザ装置において、励起光戻し光学系は、光パ
ラメトリック共振器において波長変換されずに出射され
た励起光の偏光方向を回転させるファラデーローテータ
と、このファラデーローテータを透過した励起光を再び
ファラデーローテータを透過させて光パラメトリック共
振器に戻す反射ミラーと、を有するものである。
【００３０】請求項８記載の発明は、請求項７記載の波
長変換レーザ装置において、ファラデーローテータは、
励起光の偏光方向をほぼ４５度回転させるものである。
長変換レーザ装置において、ファラデーローテータは、
励起光の偏光方向をほぼ４５度回転させるものである。
【００３１】請求項９記載の発明は、請求項４記載の波
長変換レーザ装置において、励起光戻し光学系は、光パ
ラメトリック共振器において波長変換されずに出射ミラ
ーから出射された励起光の偏光方向を回転させるファラ
デーローテータと、このファラデーローテータを透過し
た励起光を反射して光パラメトリック共振器の入射ミラ
ーに戻す反射ミラーと、を有するものである。
長変換レーザ装置において、励起光戻し光学系は、光パ
ラメトリック共振器において波長変換されずに出射ミラ
ーから出射された励起光の偏光方向を回転させるファラ
デーローテータと、このファラデーローテータを透過し
た励起光を反射して光パラメトリック共振器の入射ミラ
ーに戻す反射ミラーと、を有するものである。
【００３２】請求項１０記載の発明は、請求項９記載の
波長変換レーザ装置において、ファラデーローテータ
は、励起光の偏光方向を９０度回転させるものである。
波長変換レーザ装置において、ファラデーローテータ
は、励起光の偏光方向を９０度回転させるものである。
【００３３】請求項１１記載の発明は、レーザロッドが
配置された共振器内部に少なくとも１つの偏光プリズム
を配置し、この偏光プリズムによって分離される少なく
とも２つの共振光路を形成したレーザ共振器と、このレ
ーザ共振器の各共振光路上に配置され、レーザ共振器で
発振されたレーザ光を互いに波長の異なる少なくとも２
つのレーザ光に変換する少なくとも２つの光パラメトリ
ック共振器と、を備えた波長変換レーザ装置である。
配置された共振器内部に少なくとも１つの偏光プリズム
を配置し、この偏光プリズムによって分離される少なく
とも２つの共振光路を形成したレーザ共振器と、このレ
ーザ共振器の各共振光路上に配置され、レーザ共振器で
発振されたレーザ光を互いに波長の異なる少なくとも２
つのレーザ光に変換する少なくとも２つの光パラメトリ
ック共振器と、を備えた波長変換レーザ装置である。
【００３４】請求項１２記載の発明は、請求項１１記載
の波長変換レーザ装置において、少なくとも２つの光パ
ラメトリック共振器は、それぞれ同じ材質の非線形結晶
又は互いに異なる材質の非線形結晶を用いたものであ
る。
の波長変換レーザ装置において、少なくとも２つの光パ
ラメトリック共振器は、それぞれ同じ材質の非線形結晶
又は互いに異なる材質の非線形結晶を用いたものであ
る。
【００３５】請求項１３記載の発明は、請求項１１記載
の波長変換レーザ装置において、少なくとも２つの光パ
ラメトリック共振器には、それぞれＫＴｉＯＰＯ４結晶
が配置されたものである。
の波長変換レーザ装置において、少なくとも２つの光パ
ラメトリック共振器には、それぞれＫＴｉＯＰＯ４結晶
が配置されたものである。
【００３６】請求項１４記載の発明は、請求項１１記載
の波長変換レーザ装置において、少なくとも２つの光パ
ラメトリック共振器から出射されたレーザ光をそれぞれ
互いに波長の異なる２つのレーザ光に分離する分離光学
系を備えたものである。
の波長変換レーザ装置において、少なくとも２つの光パ
ラメトリック共振器から出射されたレーザ光をそれぞれ
互いに波長の異なる２つのレーザ光に分離する分離光学
系を備えたものである。
【００３７】
【発明の実施の形態】(1) 以下、本発明の第１の実施の
形態について図面を参照して説明する。
形態について図面を参照して説明する。
【００３８】図１は波長変換レーザ装置の構成図であ
る。
る。
【００３９】レーザ共振器１は、高反射ミラー２と出力
ミラー３との間にＮｄ：ＹＡＧレーザロッド４を配置し
たものとなっている。このＮｄ：ＹＡＧレーザロッド４
は、その周囲に配置された複数のレーザダイオード５か
らの励起光の照射により励起されるものとなっている。
ミラー３との間にＮｄ：ＹＡＧレーザロッド４を配置し
たものとなっている。このＮｄ：ＹＡＧレーザロッド４
は、その周囲に配置された複数のレーザダイオード５か
らの励起光の照射により励起されるものとなっている。
【００４０】又、このレーザ共振器１の内部には、ＯＰ
Ｏ共振器６が配置されている。このＯＰＯ共振器６は、
入射ミラー７と出射ミラーとして兼用したレーザ共振器
１の出力ミラー３との間に複数のＯＰＯ素子、例えば２
つのＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ４）結晶８、９を配置したも
のとなっている。
Ｏ共振器６が配置されている。このＯＰＯ共振器６は、
入射ミラー７と出射ミラーとして兼用したレーザ共振器
１の出力ミラー３との間に複数のＯＰＯ素子、例えば２
つのＫＴＰ（ＫＴｉＯＰＯ４）結晶８、９を配置したも
のとなっている。
【００４１】これらＫＴＰ結晶８、９は、結晶軸に対し
てｘｙ面は０度、ｘｚ面は５２度にカットした場合、例
えば波長２１００ｎｍのシグナル光と波長２１５７ｎｍ
のアイドラ光とに対して位相整合条件が整うものとな
る。このときレーザ共振器１により発振される励起光及
びアイドラ光の偏光方向はｙ軸方向となり、シグナル光
の偏光方向はｘｚ平面内になる。これにより、一方のＫ
ＴＰ結晶８と他方のＫＴＰ結晶９とは、互いに偏光方向
が例えばほぼ９０度異なるように配置されている。
てｘｙ面は０度、ｘｚ面は５２度にカットした場合、例
えば波長２１００ｎｍのシグナル光と波長２１５７ｎｍ
のアイドラ光とに対して位相整合条件が整うものとな
る。このときレーザ共振器１により発振される励起光及
びアイドラ光の偏光方向はｙ軸方向となり、シグナル光
の偏光方向はｘｚ平面内になる。これにより、一方のＫ
ＴＰ結晶８と他方のＫＴＰ結晶９とは、互いに偏光方向
が例えばほぼ９０度異なるように配置されている。
【００４２】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。
いて説明する。
【００４３】複数のレーザダイオード５からの励起光が
Ｎｄ：ＹＡＧレーザロッド４に照射されて、このＮｄ：
ＹＡＧレーザロッド４が励起されると、高反射ミラー２
と出力ミラー３との間で光共振が発生する。
Ｎｄ：ＹＡＧレーザロッド４に照射されて、このＮｄ：
ＹＡＧレーザロッド４が励起されると、高反射ミラー２
と出力ミラー３との間で光共振が発生する。
【００４４】この光共振で発生するランダム偏光の光が
励起光として２つのＫＴＰ結晶８、９を透過する。この
うち一方のＫＴＰ結晶８に励起光が透過し、かつ入射ミ
ラー７と出力ミラー３との間で行われるＯＰＯによる波
長変換でアイドラ光及びシグナル光が発生し、ＯＰＯ光
として出力される。
励起光として２つのＫＴＰ結晶８、９を透過する。この
うち一方のＫＴＰ結晶８に励起光が透過し、かつ入射ミ
ラー７と出力ミラー３との間で行われるＯＰＯによる波
長変換でアイドラ光及びシグナル光が発生し、ＯＰＯ光
として出力される。
【００４５】これと共に光共振で発生するランダム偏光
の光が励起光として他方のＫＴＰ結晶９を透過し、かつ
入射ミラー７と出力ミラー３とによるＯＰＯ共振によ
り、一方のＫＴＰ結晶８により発生したアイドラ光及び
シグナル光は偏光方向がほぼ９０度異なるアイドラ光及
びシグナル光が発生し、ＯＰＯ光として出力される。
の光が励起光として他方のＫＴＰ結晶９を透過し、かつ
入射ミラー７と出力ミラー３とによるＯＰＯ共振によ
り、一方のＫＴＰ結晶８により発生したアイドラ光及び
シグナル光は偏光方向がほぼ９０度異なるアイドラ光及
びシグナル光が発生し、ＯＰＯ光として出力される。
【００４６】このように上記第１の実施の形態において
は、Ｎｄ：ＹＡＧレーザロッド４を配置したレーザ共振
器１の内部に、２つのＫＴＰ結晶８、９を挿入したＯＰ
Ｏ共振器６を配置したので、レーザ共振器１で発生する
ランダム偏光の光を、偏光方向の異なる２つのＫＴＰ結
晶８、９でアイドラ光とシグナル光とに波長変換するこ
とができ、ＯＰＯによる波長変換効率を向上できる。そ
して、この変換効率を向上できることから高出力のＯＰ
Ｏ光を出力できるものとなる。
は、Ｎｄ：ＹＡＧレーザロッド４を配置したレーザ共振
器１の内部に、２つのＫＴＰ結晶８、９を挿入したＯＰ
Ｏ共振器６を配置したので、レーザ共振器１で発生する
ランダム偏光の光を、偏光方向の異なる２つのＫＴＰ結
晶８、９でアイドラ光とシグナル光とに波長変換するこ
とができ、ＯＰＯによる波長変換効率を向上できる。そ
して、この変換効率を向上できることから高出力のＯＰ
Ｏ光を出力できるものとなる。
【００４７】(2) 次に、本発明の第２の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。なお、図１と同一部分に
は同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
いて図面を参照して説明する。なお、図１と同一部分に
は同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００４８】図２は波長変換レーザ装置の構成図であ
る。
る。
【００４９】この波長変換レーザ装置は、レーザ共振器
１の外部にＯＰＯ共振器１０を配置したもので、レーザ
共振器１のレーザ出力光路にＯＰＯ共振器１０が配置さ
れている。このＯＰＯ共振器１０は、入射ミラー７と出
射ミラー１１との間に複数のＯＰＯ素子、例えば２つの
ＫＴＰ結晶８、９を配置したものとなっている。
１の外部にＯＰＯ共振器１０を配置したもので、レーザ
共振器１のレーザ出力光路にＯＰＯ共振器１０が配置さ
れている。このＯＰＯ共振器１０は、入射ミラー７と出
射ミラー１１との間に複数のＯＰＯ素子、例えば２つの
ＫＴＰ結晶８、９を配置したものとなっている。
【００５０】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。
いて説明する。
【００５１】複数のレーザダイオード５からの励起光が
Ｎｄ：ＹＡＧレーザロッド４に照射されて、このＮｄ：
ＹＡＧレーザロッド４が励起されると、高反射ミラー２
と出力ミラー３との間で光共振が発生し、ランダム偏光
のＮｄ：ＹＡＧレーザ光がレーザ共振器１から出力され
る。
Ｎｄ：ＹＡＧレーザロッド４に照射されて、このＮｄ：
ＹＡＧレーザロッド４が励起されると、高反射ミラー２
と出力ミラー３との間で光共振が発生し、ランダム偏光
のＮｄ：ＹＡＧレーザ光がレーザ共振器１から出力され
る。
【００５２】このＮｄ：ＹＡＧレーザ光は、励起光とし
てＯＰＯ共振器１０に入射し、２つのＫＴＰ結晶８、９
を透過する。このうち一方のＫＴＰ結晶８に励起光が透
過し、かつ入射ミラー７と出射ミラー１１とによるＯＰ
Ｏによる波長変換によりアイドラ光及びシグナル光が発
生し、ＯＰＯ光として出力される。
てＯＰＯ共振器１０に入射し、２つのＫＴＰ結晶８、９
を透過する。このうち一方のＫＴＰ結晶８に励起光が透
過し、かつ入射ミラー７と出射ミラー１１とによるＯＰ
Ｏによる波長変換によりアイドラ光及びシグナル光が発
生し、ＯＰＯ光として出力される。
【００５３】これと共にランダム偏光のＮｄ：ＹＡＧレ
ーザ光が励起光として他方のＫＴＰ結晶９を透過し、か
つ入射ミラー７と出射ミラー１１とによるＯＰＯ共振に
より、一方のＫＴＰ結晶８により発生したアイドラ光及
びシグナル光は偏光方向がほぼ９０度異なるアイドラ光
及びシグナル光が発生し、ＯＰＯ光として出力される。
ーザ光が励起光として他方のＫＴＰ結晶９を透過し、か
つ入射ミラー７と出射ミラー１１とによるＯＰＯ共振に
より、一方のＫＴＰ結晶８により発生したアイドラ光及
びシグナル光は偏光方向がほぼ９０度異なるアイドラ光
及びシグナル光が発生し、ＯＰＯ光として出力される。
【００５４】このように上記第２の実施の形態において
は、レーザ共振器１の外部に、２つのＫＴＰ結晶８、９
を挿入したＯＰＯ共振器１０を配置したので、レーザ共
振器１で発生するランダム偏光のＮｄ：ＹＡＧレーザ光
を、偏光方向の異なる２つのＫＴＰ結晶８、９でアイド
ラ光とシグナル光とに波長変換することができ、ＯＰＯ
による波長変換効率を向上できる。そして、この変換効
率を向上できることから高出力のＯＰＯ光を出力できる
ものとなる。
は、レーザ共振器１の外部に、２つのＫＴＰ結晶８、９
を挿入したＯＰＯ共振器１０を配置したので、レーザ共
振器１で発生するランダム偏光のＮｄ：ＹＡＧレーザ光
を、偏光方向の異なる２つのＫＴＰ結晶８、９でアイド
ラ光とシグナル光とに波長変換することができ、ＯＰＯ
による波長変換効率を向上できる。そして、この変換効
率を向上できることから高出力のＯＰＯ光を出力できる
ものとなる。
【００５５】(3) 次に、本発明の第３の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。
いて図面を参照して説明する。
【００５６】図３は波長変換レーザ装置の構成図であ
る。
る。
【００５７】Ｎｄ：ＹＡＧレーザ装置２０は、励起光と
して波長１０６４ｎｍのＹＡＧレーザ光Ｑを出力するも
のである。このＮｄ：ＹＡＧレーザ装置２０から出力さ
れるＹＡＧレーザ光Ｑの光路上には、偏光ビームスプリ
ッタ２１、ファラデーローテータ２２を介してＯＰＯ共
振器２３が配置されている。
して波長１０６４ｎｍのＹＡＧレーザ光Ｑを出力するも
のである。このＮｄ：ＹＡＧレーザ装置２０から出力さ
れるＹＡＧレーザ光Ｑの光路上には、偏光ビームスプリ
ッタ２１、ファラデーローテータ２２を介してＯＰＯ共
振器２３が配置されている。
【００５８】このＯＰＯ共振器２３は、入射ミラー２４
と出射ミラー２５との間に、互いに偏光方向が９０度異
なる第１及び第２のＯＰＯ素子、例えばＫＴＰ結晶２
６、２７を挿入し、それぞれ偏光方向の異なるＹＡＧレ
ーザ光Ｑにより同じ波長を発生するものとなっている。
と出射ミラー２５との間に、互いに偏光方向が９０度異
なる第１及び第２のＯＰＯ素子、例えばＫＴＰ結晶２
６、２７を挿入し、それぞれ偏光方向の異なるＹＡＧレ
ーザ光Ｑにより同じ波長を発生するものとなっている。
【００５９】これら第１及び第２のＫＴＰ結晶２６、２
７は、結晶軸に対して、ｘｙ面を０度、ｘｚ面を５２度
にカットした場合、波長２１００ｎｍのシグナル光と波
長２１５７ｎｍのアイドラ光とに対して位相整合条件が
整うものとなっている。このときＹＡＧレーザ光Ｑ及び
アイドラ光の偏光方向は結晶ｙ軸方向、シグナル光の偏
光方向はｘｚ平面内になる。これにより、第１のＫＴＰ
結晶２６は、ＹＡＧレーザ光Ｑの偏光方向が結晶ｙ軸方
向になるように配置され、かつ第２のＫＴＰ結晶２７
は、ＹＡＧレーザ光Ｑの偏光方向が結晶ｙ軸方向と一致
するように配置されている。そして、第２のＫＴＰ結晶
２７のカット角は第１のＫＴＰ結晶２６のカット角と同
一になっている。
７は、結晶軸に対して、ｘｙ面を０度、ｘｚ面を５２度
にカットした場合、波長２１００ｎｍのシグナル光と波
長２１５７ｎｍのアイドラ光とに対して位相整合条件が
整うものとなっている。このときＹＡＧレーザ光Ｑ及び
アイドラ光の偏光方向は結晶ｙ軸方向、シグナル光の偏
光方向はｘｚ平面内になる。これにより、第１のＫＴＰ
結晶２６は、ＹＡＧレーザ光Ｑの偏光方向が結晶ｙ軸方
向になるように配置され、かつ第２のＫＴＰ結晶２７
は、ＹＡＧレーザ光Ｑの偏光方向が結晶ｙ軸方向と一致
するように配置されている。そして、第２のＫＴＰ結晶
２７のカット角は第１のＫＴＰ結晶２６のカット角と同
一になっている。
【００６０】前記偏光ビームスプリッタ２１及び前記フ
ァラデーローテータ２２は、反射ミラー２８とともに励
起光戻し光学系２９を構成するもので、この励起光戻し
光学系２９は、ＯＰＯ共振器２３において波長変換され
ずに出射されたＹＡＧレーザ光Ｑの偏光方向を第１及び
第２のＫＴＰ結晶２６、２７のうちいずれかのＫＴＰ結
晶２６又は２７の偏光方向に合わせて再びＯＰＯ共振器
２３に入射させる作用を有するものである。
ァラデーローテータ２２は、反射ミラー２８とともに励
起光戻し光学系２９を構成するもので、この励起光戻し
光学系２９は、ＯＰＯ共振器２３において波長変換され
ずに出射されたＹＡＧレーザ光Ｑの偏光方向を第１及び
第２のＫＴＰ結晶２６、２７のうちいずれかのＫＴＰ結
晶２６又は２７の偏光方向に合わせて再びＯＰＯ共振器
２３に入射させる作用を有するものである。
【００６１】このうちファラデーローテータ２２は、Ｏ
ＰＯ共振器２３において波長変換されずに出射されたＹ
ＡＧレーザ光Ｑの偏光方向を例えばほぼ４５度回転さ
せ、かつ偏光ビームスプリッタ２１を透過して反射ミラ
ー２８で反射して戻ってきたＹＡＧレーザ光Ｑの偏光方
向を再び例えばほぼ４５度回転させる作用を持ってい
る。
ＰＯ共振器２３において波長変換されずに出射されたＹ
ＡＧレーザ光Ｑの偏光方向を例えばほぼ４５度回転さ
せ、かつ偏光ビームスプリッタ２１を透過して反射ミラ
ー２８で反射して戻ってきたＹＡＧレーザ光Ｑの偏光方
向を再び例えばほぼ４５度回転させる作用を持ってい
る。
【００６２】偏光ビームスプリッタ２１は、Ｎｄ：ＹＡ
Ｇレーザ装置２０から出力されるＹＡＧレーザ光Ｑを透
過させ、かつファラデーローテータ２２からのＹＡＧレ
ーザ光Ｑ及び反射ミラー２８からのＹＡＧレーザ光Ｑを
反射する作用を持っている。
Ｇレーザ装置２０から出力されるＹＡＧレーザ光Ｑを透
過させ、かつファラデーローテータ２２からのＹＡＧレ
ーザ光Ｑ及び反射ミラー２８からのＹＡＧレーザ光Ｑを
反射する作用を持っている。
【００６３】反射ミラー２８は、ファラデーローテータ
２２を透過したＹＡＧレーザ光Ｑを再びファラデーロー
テータ２２を透過させてＯＰＯ共振器２３に戻すものと
なっている。
２２を透過したＹＡＧレーザ光Ｑを再びファラデーロー
テータ２２を透過させてＯＰＯ共振器２３に戻すものと
なっている。
【００６４】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。
いて説明する。
【００６５】Ｎｄ：ＹＡＧレーザ装置２０から波長１０
６４ｎｍのＹＡＧレーザ光Ｑが出力されると、このＹＡ
Ｇレーザ光Ｑは、偏光ビームスプリッタ２１に対してｐ
偏光を有しているので、この偏光ビームスプリッタ２１
を透過し、次のファラデーローテータ２２で偏光方向が
４５度回転されて水平方向に対して４５度傾いた偏光を
持ったものとなってＯＰＯ共振器２３に入射する。
６４ｎｍのＹＡＧレーザ光Ｑが出力されると、このＹＡ
Ｇレーザ光Ｑは、偏光ビームスプリッタ２１に対してｐ
偏光を有しているので、この偏光ビームスプリッタ２１
を透過し、次のファラデーローテータ２２で偏光方向が
４５度回転されて水平方向に対して４５度傾いた偏光を
持ったものとなってＯＰＯ共振器２３に入射する。
【００６６】このＯＰＯ共振器２３の第１のＫＴＰ結晶
２６は、上記の如くＹＡＧレーザ光Ｑの偏光方向が結晶
ｙ軸方向になるように配置されているので、入射したＹ
ＡＧレーザ光Ｑは、第１のＫＴＰ結晶２６と入射ミラー
２４及び出射ミラー２５とによりＯＰＯ共振が発生して
波長変換され、波長２１００ｎｍのシグナル光と波長２
１５７ｎｍのアイドラ光が発生して出射ミラー２５から
出射される。
２６は、上記の如くＹＡＧレーザ光Ｑの偏光方向が結晶
ｙ軸方向になるように配置されているので、入射したＹ
ＡＧレーザ光Ｑは、第１のＫＴＰ結晶２６と入射ミラー
２４及び出射ミラー２５とによりＯＰＯ共振が発生して
波長変換され、波長２１００ｎｍのシグナル光と波長２
１５７ｎｍのアイドラ光が発生して出射ミラー２５から
出射される。
【００６７】一方、このＯＰＯ共振器２３において波長
変換されないＹＡＧレーザ光Ｑは、出射ミラー２５で反
射し、入射ミラー２４を通ってＯＰＯ共振器２３から出
射される。この出射されたＹＡＧレーザ光Ｑは、ファラ
デーローテータ２２を再び透過することにより偏光方向
がほぼ４５度回転し、偏光ビームスプリッタ２１に対し
てｓ偏光となる。
変換されないＹＡＧレーザ光Ｑは、出射ミラー２５で反
射し、入射ミラー２４を通ってＯＰＯ共振器２３から出
射される。この出射されたＹＡＧレーザ光Ｑは、ファラ
デーローテータ２２を再び透過することにより偏光方向
がほぼ４５度回転し、偏光ビームスプリッタ２１に対し
てｓ偏光となる。
【００６８】そして、このＹＡＧレーザ光Ｑは、偏光ビ
ームスプリッタ２１で反射して反射ミラー２８に進行
し、この反射ミラー２８で反射して再び通ってきた光経
路を戻る。この際、ＹＡＧレーザ光Ｑは、偏光ビームス
プリッタ２１で反射し、ファラデーローテータ２２でさ
らに偏光方向がほぼ４５度回転し、ＯＰＯ共振器２３に
入射する。
ームスプリッタ２１で反射して反射ミラー２８に進行
し、この反射ミラー２８で反射して再び通ってきた光経
路を戻る。この際、ＹＡＧレーザ光Ｑは、偏光ビームス
プリッタ２１で反射し、ファラデーローテータ２２でさ
らに偏光方向がほぼ４５度回転し、ＯＰＯ共振器２３に
入射する。
【００６９】このときＯＰＯ共振器２３に入射するＹＡ
Ｇレーザ光Ｑは、最初にＯＰＯ共振器２３に往復したと
きに偏光方向がほぼ４５度回転していたが、今回再びＯ
ＰＯ共振器２３を往復するときには偏光方向がほぼ１３
５度回転しており、最初の往復と２度目の往復とでは偏
光方向がほぼ９０度異なっている。
Ｇレーザ光Ｑは、最初にＯＰＯ共振器２３に往復したと
きに偏光方向がほぼ４５度回転していたが、今回再びＯ
ＰＯ共振器２３を往復するときには偏光方向がほぼ１３
５度回転しており、最初の往復と２度目の往復とでは偏
光方向がほぼ９０度異なっている。
【００７０】ＯＰＯ共振器２３の第２のＫＴＰ結晶２７
は、上記の如く２度目の往復の際のＹＡＧレーザ光Ｑの
偏光方向を結晶ｙ軸方向と一致するように配置されてい
るので、入射したＹＡＧレーザ光Ｑは、第２のＫＴＰ結
晶２７と入射ミラー２４及び出射ミラー２５とによりＯ
ＰＯが発生して波長変換され、波長２１００ｎｍのシグ
ナル光と波長２１５７ｎｍのアイドラ光が発生して出射
ミラー２５から出射される。
は、上記の如く２度目の往復の際のＹＡＧレーザ光Ｑの
偏光方向を結晶ｙ軸方向と一致するように配置されてい
るので、入射したＹＡＧレーザ光Ｑは、第２のＫＴＰ結
晶２７と入射ミラー２４及び出射ミラー２５とによりＯ
ＰＯが発生して波長変換され、波長２１００ｎｍのシグ
ナル光と波長２１５７ｎｍのアイドラ光が発生して出射
ミラー２５から出射される。
【００７１】このときのアイドラ光及びシグナル光は、
第１のＫＴＰ結晶２６によって発生したアイドラ光及び
シグナル光に対して波長が同一であるが、偏光方向は直
交するものとなっている。
第１のＫＴＰ結晶２６によって発生したアイドラ光及び
シグナル光に対して波長が同一であるが、偏光方向は直
交するものとなっている。
【００７２】このように上記第１の実施の形態において
は、同じ波長のアイドラ光及びシグナル光を発生すると
ともに偏光方向の異なる第１及び第２のＫＴＰ結晶２
６、２７を挿入したＯＰＯ共振器２３を備え、最初は第
１のＫＴＰ結晶２６によりＯＰＯ光を発生し、このＯＰ
Ｏ共振器２３において波長変換されずに出射されたＹＡ
Ｇレーザ光Ｑの偏光方向を、励起光戻し光学系２９によ
り第２のＫＴＰ結晶２７の偏光方向に合わせてＯＰＯ共
振器２３に入射させてＯＰＯ光を発生させるようにした
ので、ＹＡＧレーザ光ＱをＯＰＯ共振器２３内で２往復
するものとなり、１回のみ往復して波長変換した場合と
比較して高出力のＯＰＯ光を出力でき、ＯＰＯによる波
長変換効率を向上できる。
は、同じ波長のアイドラ光及びシグナル光を発生すると
ともに偏光方向の異なる第１及び第２のＫＴＰ結晶２
６、２７を挿入したＯＰＯ共振器２３を備え、最初は第
１のＫＴＰ結晶２６によりＯＰＯ光を発生し、このＯＰ
Ｏ共振器２３において波長変換されずに出射されたＹＡ
Ｇレーザ光Ｑの偏光方向を、励起光戻し光学系２９によ
り第２のＫＴＰ結晶２７の偏光方向に合わせてＯＰＯ共
振器２３に入射させてＯＰＯ光を発生させるようにした
ので、ＹＡＧレーザ光ＱをＯＰＯ共振器２３内で２往復
するものとなり、１回のみ往復して波長変換した場合と
比較して高出力のＯＰＯ光を出力でき、ＯＰＯによる波
長変換効率を向上できる。
【００７３】又、第１のＫＴＰ結晶２６に関係する励起
光、シグナル光、アイドラ光は、第２のＫＴＰ結晶２７
において吸収、散乱などによる光学的なロスが非常に小
さく、第２のＫＴＰ結晶２７の挿入による第１のＫＴＰ
結晶２６でのＯＰＯによる波長変換は影響を受けない。
これは第２のＫＴＰ結晶２７に関する励起光、シグナル
光、アイドラ光に対しても同様であり、ＫＴＰ結晶を２
つ挿入することによる効率の低下はごく僅かである。
光、シグナル光、アイドラ光は、第２のＫＴＰ結晶２７
において吸収、散乱などによる光学的なロスが非常に小
さく、第２のＫＴＰ結晶２７の挿入による第１のＫＴＰ
結晶２６でのＯＰＯによる波長変換は影響を受けない。
これは第２のＫＴＰ結晶２７に関する励起光、シグナル
光、アイドラ光に対しても同様であり、ＫＴＰ結晶を２
つ挿入することによる効率の低下はごく僅かである。
【００７４】又、第１のＫＴＰ結晶２６により発生する
ＯＰＯ光と第２のＫＴＰ結晶２７により発生するＯＰＯ
光とは、同一波長においては偏光がほぼ直交するので、
互いに干渉を生ぜず、干渉効果による出力の不安定性な
ども生じない。
ＯＰＯ光と第２のＫＴＰ結晶２７により発生するＯＰＯ
光とは、同一波長においては偏光がほぼ直交するので、
互いに干渉を生ぜず、干渉効果による出力の不安定性な
ども生じない。
【００７５】(4) 次に、本発明の第４の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。なお、図３と同一部分に
は同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
いて図面を参照して説明する。なお、図３と同一部分に
は同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００７６】図４は波長変換レーザ装置の構成図であ
る。
る。
【００７７】Ｎｄ：ＹＡＧレーザ装置２０から出力され
るＹＡＧレーザ光Ｑの光路上には、リング型ＯＰＯ共振
器３０が配置されている。
るＹＡＧレーザ光Ｑの光路上には、リング型ＯＰＯ共振
器３０が配置されている。
【００７８】このリング型ＯＰＯ共振器３０は、偏光ミ
ラー３１と出射ミラー３２との間に第１及び第２のＫＴ
Ｐ２６、２７を配置し、かつ出射ミラー３２の反射光路
上に反射ミラー３３を配置して、波長変換されないＹＡ
Ｇレーザ光Ｑを偏光ミラー３１に戻すものとなってい
る。なお、第１のＫＴＰ結晶２６は、ＹＡＧレーザ光Ｑ
の偏光方向が結晶ｙ軸方向になるように配置され、かつ
第２のＫＴＰ結晶２７は、ＹＡＧレーザ光Ｑの偏光方向
が結晶ｙ軸方向と一致するように配置されている。そし
て、第２のＫＴＰ結晶２７のカット角は第１のＫＴＰ結
晶２６のカット角と同一になっている。
ラー３１と出射ミラー３２との間に第１及び第２のＫＴ
Ｐ２６、２７を配置し、かつ出射ミラー３２の反射光路
上に反射ミラー３３を配置して、波長変換されないＹＡ
Ｇレーザ光Ｑを偏光ミラー３１に戻すものとなってい
る。なお、第１のＫＴＰ結晶２６は、ＹＡＧレーザ光Ｑ
の偏光方向が結晶ｙ軸方向になるように配置され、かつ
第２のＫＴＰ結晶２７は、ＹＡＧレーザ光Ｑの偏光方向
が結晶ｙ軸方向と一致するように配置されている。そし
て、第２のＫＴＰ結晶２７のカット角は第１のＫＴＰ結
晶２６のカット角と同一になっている。
【００７９】このうち出射ミラー３２から反射ミラー３
３を通って偏光ミラー３１に戻す経路を励起光戻し光学
系と呼び、この経路上にファラデーローテータ３４が配
置されている。このファラデーローテータ３４は、ＯＰ
Ｏ共振器３０において波長変換されずに出射ミラー３２
から出射されたＹＡＧレーザ光Ｑの偏光方向を例えばほ
ぼ９０度回転させるものとなっている。
３を通って偏光ミラー３１に戻す経路を励起光戻し光学
系と呼び、この経路上にファラデーローテータ３４が配
置されている。このファラデーローテータ３４は、ＯＰ
Ｏ共振器３０において波長変換されずに出射ミラー３２
から出射されたＹＡＧレーザ光Ｑの偏光方向を例えばほ
ぼ９０度回転させるものとなっている。
【００８０】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。
いて説明する。
【００８１】Ｎｄ：ＹＡＧレーザ装置２０から波長１０
６４ｎｍのＹＡＧレーザ光Ｑが出力されると、このＹＡ
Ｇレーザ光Ｑは、リング型ＯＰＯ共振器３０に入射す
る。
６４ｎｍのＹＡＧレーザ光Ｑが出力されると、このＹＡ
Ｇレーザ光Ｑは、リング型ＯＰＯ共振器３０に入射す
る。
【００８２】このリング型ＯＰＯ共振器３０の第１のＫ
ＴＰ結晶２６は、上記の如くＹＡＧレーザ光Ｑの偏光方
向が結晶ｙ軸方向と一致するように配置されているの
で、入射したＹＡＧレーザ光Ｑは、第１のＫＴＰ結晶２
６と偏光ミラー３１及び出射ミラー３２とによりＯＰＯ
が発生して波長変換され、波長２１００ｎｍのシグナル
光と波長２１５７ｎｍのアイドラ光が発生して出射ミラ
ー３２から出射される。
ＴＰ結晶２６は、上記の如くＹＡＧレーザ光Ｑの偏光方
向が結晶ｙ軸方向と一致するように配置されているの
で、入射したＹＡＧレーザ光Ｑは、第１のＫＴＰ結晶２
６と偏光ミラー３１及び出射ミラー３２とによりＯＰＯ
が発生して波長変換され、波長２１００ｎｍのシグナル
光と波長２１５７ｎｍのアイドラ光が発生して出射ミラ
ー３２から出射される。
【００８３】一方、このリング型ＯＰＯ共振器３０にお
いて波長変換されないＹＡＧレーザ光Ｑは、出射ミラー
３２で反射され、ファラデーローテータ３４を透過する
ことにより偏光方向がほぼ９０度回転し、反射ミラー３
３で反射して偏光ミラー３１に送られる。すなわち、波
長変換されないＹＡＧレーザ光Ｑは、リング型ＯＰＯ共
振器３０内にとどまる。
いて波長変換されないＹＡＧレーザ光Ｑは、出射ミラー
３２で反射され、ファラデーローテータ３４を透過する
ことにより偏光方向がほぼ９０度回転し、反射ミラー３
３で反射して偏光ミラー３１に送られる。すなわち、波
長変換されないＹＡＧレーザ光Ｑは、リング型ＯＰＯ共
振器３０内にとどまる。
【００８４】このＹＡＧレーザ光Ｑの偏光方向に対して
第２のＫＴＰ結晶２７は、結晶ｙ軸方向と一致するよう
に配置されているので、入射したＹＡＧレーザ光Ｑは、
第２のＫＴＰ結晶２７と偏光ミラー３１及び出射ミラー
３２とによりＯＰＯ共振が発生して波長変換され、波長
２１００ｎｍのシグナル光と波長２１５７ｎｍのアイド
ラ光が発生して出射ミラー２５から出射される。
第２のＫＴＰ結晶２７は、結晶ｙ軸方向と一致するよう
に配置されているので、入射したＹＡＧレーザ光Ｑは、
第２のＫＴＰ結晶２７と偏光ミラー３１及び出射ミラー
３２とによりＯＰＯ共振が発生して波長変換され、波長
２１００ｎｍのシグナル光と波長２１５７ｎｍのアイド
ラ光が発生して出射ミラー２５から出射される。
【００８５】このように上記第４の実施の形態において
は、第１及び第２のＫＴＰ結晶２６、２７を挿入したリ
ング型ＯＰＯ共振器３０を備え、最初は第１のＫＴＰ結
晶２６によりＯＰＯ光を発生し、このリング型ＯＰＯ共
振器３０において波長変換されずに出射されたＹＡＧレ
ーザ光Ｑの偏光方向をほぼ９０度回転させ、第２のＫＴ
Ｐ結晶２７によりＯＰＯ光を発生させるようにしたの
で、ＹＡＧレーザ光Ｑをリング型ＯＰＯ共振器３０内で
２回転させることにより、ＯＰＯ光の出力を増加でき、
ＯＰＯによる波長変換効率を向上できる。
は、第１及び第２のＫＴＰ結晶２６、２７を挿入したリ
ング型ＯＰＯ共振器３０を備え、最初は第１のＫＴＰ結
晶２６によりＯＰＯ光を発生し、このリング型ＯＰＯ共
振器３０において波長変換されずに出射されたＹＡＧレ
ーザ光Ｑの偏光方向をほぼ９０度回転させ、第２のＫＴ
Ｐ結晶２７によりＯＰＯ光を発生させるようにしたの
で、ＹＡＧレーザ光Ｑをリング型ＯＰＯ共振器３０内で
２回転させることにより、ＯＰＯ光の出力を増加でき、
ＯＰＯによる波長変換効率を向上できる。
【００８６】又、上記第３の実施の形態と同様に、ＫＴ
Ｐ結晶を２つ挿入することによる効率の低下はごく僅か
であり、かつ干渉効果による出力の不安定性なども生じ
ない。
Ｐ結晶を２つ挿入することによる効率の低下はごく僅か
であり、かつ干渉効果による出力の不安定性なども生じ
ない。
【００８７】(5) 次に、本発明の第５の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。
いて図面を参照して説明する。
【００８８】図５は波長変換レーザ装置の構成図であ
る。
る。
【００８９】Ｎｄ：ＹＡＧレーザ共振器４０は、共振器
内部に偏光プリズム４１が配置され、この偏光プリズム
４１によって分離される２つの共振光路が形成され、こ
れにより高反射ミラー４２と２つの出力ミラー４３、４
４とが偏光プリズム４１を介して光学的に対向配置され
ている。すなわち、このＮｄ：ＹＡＧレーザ共振器４０
は、フロントミラーとなる１つの高反射ミラー４２とリ
アミラーとなる２つの出力ミラー４３、４４とを配置し
たＴ型構成となっている。
内部に偏光プリズム４１が配置され、この偏光プリズム
４１によって分離される２つの共振光路が形成され、こ
れにより高反射ミラー４２と２つの出力ミラー４３、４
４とが偏光プリズム４１を介して光学的に対向配置され
ている。すなわち、このＮｄ：ＹＡＧレーザ共振器４０
は、フロントミラーとなる１つの高反射ミラー４２とリ
アミラーとなる２つの出力ミラー４３、４４とを配置し
たＴ型構成となっている。
【００９０】このＮｄ：ＹＡＧレーザ共振器４０内に
は、Ｎｄ：ＹＡＧレーザロッド４５、Ｑスイッチ４６が
配置され、このうちＮｄ：ＹＡＧレーザロッド４５の周
囲には複数のレーザダイオード４７が配置されている。
は、Ｎｄ：ＹＡＧレーザロッド４５、Ｑスイッチ４６が
配置され、このうちＮｄ：ＹＡＧレーザロッド４５の周
囲には複数のレーザダイオード４７が配置されている。
【００９１】又、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ共振器４０内の各
共振光路上には、それぞれＯＰＯ共振器４８、４９が配
置されている。このうちＯＰＯ共振器４８は、出力ミラ
ー４３を出射ミラーとして兼用し、入射ミラー５０と出
力ミラー４３との間にＫＴＰ結晶５１を配置したものと
なっている。又、ＯＰＯ共振器４９は、出力ミラー４４
を出射ミラーとして兼用し、入射ミラー５２と出力ミラ
ー４４との間にＫＴＰ結晶５３を配置したものとなって
いる。
共振光路上には、それぞれＯＰＯ共振器４８、４９が配
置されている。このうちＯＰＯ共振器４８は、出力ミラ
ー４３を出射ミラーとして兼用し、入射ミラー５０と出
力ミラー４３との間にＫＴＰ結晶５１を配置したものと
なっている。又、ＯＰＯ共振器４９は、出力ミラー４４
を出射ミラーとして兼用し、入射ミラー５２と出力ミラ
ー４４との間にＫＴＰ結晶５３を配置したものとなって
いる。
【００９２】そして、これらＯＰＯ共振器４８、４９の
出射光路上には、それぞれＯＰＯ光高反射ミラー５４、
５５が配置され、これらＯＰＯ光用高反射ミラー５４、
５５の反射光路の交わるところにＯＰＯ光用偏光プリズ
ム５６が配置されている。このＯＰＯ光用偏光プリズム
５６は、２つのＯＰＯ共振器４８、４９からのアイドラ
光及びシグナル光を、アイドラ光とシグナル光とに分離
するものとなっている。
出射光路上には、それぞれＯＰＯ光高反射ミラー５４、
５５が配置され、これらＯＰＯ光用高反射ミラー５４、
５５の反射光路の交わるところにＯＰＯ光用偏光プリズ
ム５６が配置されている。このＯＰＯ光用偏光プリズム
５６は、２つのＯＰＯ共振器４８、４９からのアイドラ
光及びシグナル光を、アイドラ光とシグナル光とに分離
するものとなっている。
【００９３】なお、偏光プリズム４１、ＯＰＯ光用偏光
プリズム５６及び２枚のＯＰＯ光用高反射ミラー５４、
５５によりマッハ・ツェンダー干渉計型の分離・結合光
学系が形成されている。
プリズム５６及び２枚のＯＰＯ光用高反射ミラー５４、
５５によりマッハ・ツェンダー干渉計型の分離・結合光
学系が形成されている。
【００９４】次に上記の如く構成された装置の作用につ
いて説明する。
いて説明する。
【００９５】複数のレーザダイオード４７からの励起光
がＮｄ：ＹＡＧレーザロッド４５に照射されて、このＮ
ｄ：ＹＡＧレーザロッド４５が励起されると、このＮ
ｄ：ＹＡＧレーザ共振器４０の共振光路内に偏光プリズ
ム４１が配置されていることから、高反射ミラー４２と
各出力ミラー４３、４４とにおける２つの共振光路にお
いてそれぞれ波長１μｍの光共振が発生する。これら２
つの共振光路において発生した光は、それぞれ直交した
偏光成分となっている。
がＮｄ：ＹＡＧレーザロッド４５に照射されて、このＮ
ｄ：ＹＡＧレーザロッド４５が励起されると、このＮ
ｄ：ＹＡＧレーザ共振器４０の共振光路内に偏光プリズ
ム４１が配置されていることから、高反射ミラー４２と
各出力ミラー４３、４４とにおける２つの共振光路にお
いてそれぞれ波長１μｍの光共振が発生する。これら２
つの共振光路において発生した光は、それぞれ直交した
偏光成分となっている。
【００９６】又、Ｑスイッチ４６が予め設定された周波
数でスイッチング動作することによりパルス発振とな
る。
数でスイッチング動作することによりパルス発振とな
る。
【００９７】これと共にこれら２つの共振光路において
発生した光は、それぞれ各ＯＰＯ共振器４８、４９に入
射する。このうちＯＰＯ共振器４８では、ＫＴＰ結晶５
１と入射ミラー５０及び出力ミラー４３とによりＯＰＯ
が発生して励起光が波長変換され、波長２０００ｎｍ帯
のシグナル光とアイドラ光とを発生して出力ミラー４３
から出射される。
発生した光は、それぞれ各ＯＰＯ共振器４８、４９に入
射する。このうちＯＰＯ共振器４８では、ＫＴＰ結晶５
１と入射ミラー５０及び出力ミラー４３とによりＯＰＯ
が発生して励起光が波長変換され、波長２０００ｎｍ帯
のシグナル光とアイドラ光とを発生して出力ミラー４３
から出射される。
【００９８】又、ＯＰＯ共振器４９は、ＫＴＰ結晶５３
と入射ミラー５２及び出力ミラー４４とによりＯＰＯが
発生して波長変換され、同じく波長２０００ｎｍ帯のシ
グナル光とアイドラ光とを発生して出力ミラー４４から
出射される。
と入射ミラー５２及び出力ミラー４４とによりＯＰＯが
発生して波長変換され、同じく波長２０００ｎｍ帯のシ
グナル光とアイドラ光とを発生して出力ミラー４４から
出射される。
【００９９】このときのＯＰＯ光は、シグナル光とアイ
ドラ光との偏光方向が直交した２波、例えば光学軸に対
してＹＡＧレーザ光が角度５５度で入射した場合、例え
ば波長１９８０ｎｍのシグナル光と波長２３００ｎｍの
アイドラ光となる。
ドラ光との偏光方向が直交した２波、例えば光学軸に対
してＹＡＧレーザ光が角度５５度で入射した場合、例え
ば波長１９８０ｎｍのシグナル光と波長２３００ｎｍの
アイドラ光となる。
【０１００】又、これらＯＰＯ共振器４８、４８に入射
するＹＡＧレーザ光の偏光方向が互いに直交しているの
で、これらＯＰＯ共振器４８、４８から出射される各シ
グナル光同士と、各アイドラ光同士は、それぞれ偏光方
向が互いにほぼ直交関係にある。
するＹＡＧレーザ光の偏光方向が互いに直交しているの
で、これらＯＰＯ共振器４８、４８から出射される各シ
グナル光同士と、各アイドラ光同士は、それぞれ偏光方
向が互いにほぼ直交関係にある。
【０１０１】そして、これらＯＰＯ共振器４８、４８か
ら出射される各シグナル光、各アイドラ光は、それぞれ
ＯＰＯ光高反射ミラー５４、５５で反射して偏光プリズ
ム５６に入射する。
ら出射される各シグナル光、各アイドラ光は、それぞれ
ＯＰＯ光高反射ミラー５４、５５で反射して偏光プリズ
ム５６に入射する。
【０１０２】このＯＰＯ光用偏光プリズム５６は、２つ
のＯＰＯ共振器４８、４９からのアイドラ光及びシグナ
ル光を、アイドラ光とシグナル光とに分離する。
のＯＰＯ共振器４８、４９からのアイドラ光及びシグナ
ル光を、アイドラ光とシグナル光とに分離する。
【０１０３】このように上記第５の実施の形態において
は、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ共振器４０内部に偏光プリズム
４１を配置して２つの共振光路を形成し、これら共振光
路上にそれぞれＯＰＯ共振器４８、４９を配置したの
で、２つのＯＰＯ共振器４８、４９でそれぞれアイドラ
光とシグナル光とに波長変換でき、これらアイドラ光と
シグナル光とを合わせることにより高出力のＯＰＯ光を
出力でき、ＯＰＯによる波長変換効率を向上できる。
は、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ共振器４０内部に偏光プリズム
４１を配置して２つの共振光路を形成し、これら共振光
路上にそれぞれＯＰＯ共振器４８、４９を配置したの
で、２つのＯＰＯ共振器４８、４９でそれぞれアイドラ
光とシグナル光とに波長変換でき、これらアイドラ光と
シグナル光とを合わせることにより高出力のＯＰＯ光を
出力でき、ＯＰＯによる波長変換効率を向上できる。
【０１０４】又、偏光プリズム５６によってアイドラ光
とシグナル光とを別々に取り出すことができる。
とシグナル光とを別々に取り出すことができる。
【０１０５】又、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ共振器４０内部の
２つの共振光路においてそれぞれ共振光を発生させるの
で、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ共振器４０は偏光の規定を行う
必要がなく、複屈折による出力の損失が少ない。
２つの共振光路においてそれぞれ共振光を発生させるの
で、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ共振器４０は偏光の規定を行う
必要がなく、複屈折による出力の損失が少ない。
【０１０６】さらに、Ｎｄ：ＹＡＧレーザ共振器４０内
部に各ＯＰＯ共振器４８、４９を配置したので、Ｎｄ：
ＹＡＧレーザ共振器４０外部にＯＰＯ共振器を配置する
場合よりも高い励起光を利用でき、かつ部品点数が少な
く、コンパクトな構成にできる。
部に各ＯＰＯ共振器４８、４９を配置したので、Ｎｄ：
ＹＡＧレーザ共振器４０外部にＯＰＯ共振器を配置する
場合よりも高い励起光を利用でき、かつ部品点数が少な
く、コンパクトな構成にできる。
【０１０７】なお、本発明は、上記第１〜第５の実施の
形態に限定されるものでなく次の通り変形してもよい。
形態に限定されるものでなく次の通り変形してもよい。
【０１０８】例えば、上記第５の実施の形態において各
ＯＰＯ共振器４８、４９にそれぞれＫＴＰ結晶５１、５
３を用いているが、これらＫＴＰ結晶５１、５３に対し
て異なった角度チューニングを施したり、又は一方のＫ
ＴＰ結晶５１又は５３を別の非線形結晶、例えばＫＴｉ
ＯＡｓＯ４などに置き換えてもよく、この場合には４波
長のＯＰＯ光の発振が可能である。
ＯＰＯ共振器４８、４９にそれぞれＫＴＰ結晶５１、５
３を用いているが、これらＫＴＰ結晶５１、５３に対し
て異なった角度チューニングを施したり、又は一方のＫ
ＴＰ結晶５１又は５３を別の非線形結晶、例えばＫＴｉ
ＯＡｓＯ４などに置き換えてもよく、この場合には４波
長のＯＰＯ光の発振が可能である。
【０１０９】
【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、Ｏ
ＰＯ変換効率を向上できる波長変換レーザ装置を提供で
きる。
ＰＯ変換効率を向上できる波長変換レーザ装置を提供で
きる。
【図１】本発明に係わる波長変換レーザ装置の第１の実
施の形態を示す構成図。
施の形態を示す構成図。
【図２】本発明に係わる波長変換レーザ装置の第２の実
施の形態を示す構成図。
施の形態を示す構成図。
【図３】本発明に係わる波長変換レーザ装置の第３の実
施の形態を示す構成図。
施の形態を示す構成図。
【図４】本発明に係わる波長変換レーザ装置の第４の実
施の形態を示す構成図。
施の形態を示す構成図。
【図５】本発明に係わる波長変換レーザ装置の第５の実
施の形態を示す構成図。
施の形態を示す構成図。
１：レーザ共振器、 ２：高反射ミラー、 ３：出力ミラー、 ４：Ｎｄ：ＹＡＧレーザロッド、 ５：レーザダイオード、 ６：ＯＰＯ共振器、 ７：入射ミラー、 ８，９：ＫＴＰ結晶、 １０：ＯＰＯ共振器 １１：出射ミラー、 ２０：Ｎｄ：ＹＡＧレーザ装置、 ２１：偏光ビームスプリッタ、 ２２：ファラデーローテータ、 ２３：ＯＰＯ共振器、 ２４：入射ミラー、 ２５：出射ミラー、 ２６：第１のＫＴＰ結晶、 ２７：第２のＫＴＰ結晶、 ２８：反射ミラー、 ２９：励起光戻し光学系、 ３０：リング型ＯＰＯ共振器、 ３１：偏光ミラー、 ３２：出射ミラー、 ３３：反射ミラー、 ３４：ファラデーローテータ、 ４０：Ｎｄ：ＹＡＧレーザ共振器、 ４１：偏光プリズム、 ４２：高反射ミラー、 ４３，４４：出力ミラー、 ４５：Ｎｄ：ＹＡＧレーザロッド、 ４６：Ｑスイッチ、 ４７：レーザダイオード、 ４８，４９：ＯＰＯ共振器、 ５０，５２：入射ミラー、 ５１，５３：ＫＴＰ結晶、 ５４，５５：ＯＰＯ光用高反射ミラー、 ５６：ＯＰＯ光用偏光プリズム。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2K002 AA04 AB12 BA03 CA02 GA04 HA21 5F072 AB02 AK01 JJ02 KK06 KK11 KK15 KK30 QQ03 RR01 SS06 YY01 YY20
Claims (14)
- 【請求項１】 レーザロッドを配置したレーザ共振器の
内部に、複数の光パラメトリック共振素子が挿入された
光パラメトリック共振器を配置したことを特徴とする波
長変換レーザ装置。 - 【請求項２】 前記レーザ共振器の出力ミラーと前記光
パラメトリック共振器の出射ミラーとを兼用した構成で
あることを特徴とする請求項１記載の波長変換レーザ装
置。 - 【請求項３】 レーザロッドを配置したレーザ共振器
と、 このレーザ共振器のレーザ出力光路上に配置された、複
数の光パラメトリック共振素子が挿入された光パラメト
リック共振器と、を具備したことを特徴とする波長変換
レーザ装置。 - 【請求項４】 それぞれ偏光方向の異なる励起光により
ほぼ同じ波長を発生する複数の光パラメトリック共振素
子が挿入された光パラメトリック共振器と、 この光パラメトリック共振器において波長変換されずに
出射された前記励起光の偏光方向を複数の前記光パラメ
トリック共振素子のうちいずれかの前記光パラメトリッ
ク共振素子の偏光方向に合わせて再び前記光パラメトリ
ック共振器に入射させる励起光戻し光学系と、を具備し
たことを特徴とする波長変換レーザ装置。 - 【請求項５】 前記光パラメトリック共振器には、互い
に偏光方向がほぼ９０度異なる第１及び第２の光パラメ
トリック共振素子が挿入されていることを特徴とする請
求項４記載の波長変換レーザ装置。 - 【請求項６】 前記光パラメトリック共振素子は、ＫＴ
ｉＯＰＯ４結晶であることを特徴とする請求項４記載の
波長変換レーザ装置。 - 【請求項７】 前記励起光戻し光学系は、前記光パラメ
トリック共振器において波長変換されずに出射された前
記励起光の偏光方向を回転させるファラデーローテータ
と、 このファラデーローテータを透過した前記励起光を再び
前記ファラデーローテータを透過させて前記光パラメト
リック共振器に戻す反射ミラーと、を有することを特徴
とする請求項４記載の波長変換レーザ装置。 - 【請求項８】 前記ファラデーローテータは、前記励起
光の偏光方向をほぼ４５度回転させることを特徴とする
請求項７記載の波長変換レーザ装置。 - 【請求項９】 前記励起光戻し光学系は、前記光パラメ
トリック共振器において波長変換されずに出射ミラーか
ら出射された前記励起光の偏光方向を回転させるファラ
デーローテータと、 このファラデーローテータを透過した前記励起光を反射
して前記光パラメトリック共振器の入射ミラーに戻す反
射ミラーと、を有することを特徴とする請求項４記載の
波長変換レーザ装置。 - 【請求項１０】 前記ファラデーローテータは、前記励
起光の偏光方向を９０度回転させることを特徴とする請
求項９記載の波長変換レーザ装置。 - 【請求項１１】 レーザロッドが配置された共振器内部
に少なくとも１つの偏光プリズムを配置し、この偏光プ
リズムによって分離される少なくとも２つの共振光路を
形成したレーザ共振器と、 このレーザ共振器の各共振光路上に配置され、前記レー
ザ共振器で発振されたレーザ光を互いに波長の異なる少
なくとも２つのレーザ光に変換する少なくとも２つの光
パラメトリック共振器と、を具備したことを特徴とする
波長変換レーザ装置。 - 【請求項１２】 少なくとも２つの前記光パラメトリッ
ク共振器は、それぞれ同じ材質の非線形結晶又は互いに
異なる材質の非線形結晶を用いたものであることを特徴
とする請求項１１記載の波長変換レーザ装置。 - 【請求項１３】 少なくとも２つの前記光パラメトリッ
ク共振器には、それぞれＫＴｉＯＰＯ４結晶が配置され
たことを特徴とする請求項１１記載の波長変換レーザ装
置。 - 【請求項１４】 少なくとも２つの前記光パラメトリッ
ク共振器から出射されたレーザ光をそれぞれ互いに波長
の異なる２つのレーザ光に分離する分離光学系を備えた
ことを特徴とする請求項１１記載の波長変換レーザ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11190549A JP2001024264A (ja) | 1999-07-05 | 1999-07-05 | 波長変換レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11190549A JP2001024264A (ja) | 1999-07-05 | 1999-07-05 | 波長変換レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001024264A true JP2001024264A (ja) | 2001-01-26 |
| JP2001024264A5 JP2001024264A5 (ja) | 2006-08-24 |
Family
ID=16259937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11190549A Pending JP2001024264A (ja) | 1999-07-05 | 1999-07-05 | 波長変換レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001024264A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2007052289A (ja) * | 2005-08-18 | 2007-03-01 | Advantest Corp | 光生成装置および該装置を備えたテラヘルツ光生成装置 |
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| JP2018530011A (ja) * | 2015-10-05 | 2018-10-11 | キュービテック，インコーポレイテッド | バイフォトンの調整可能な光源 |
| CN111162439A (zh) * | 2019-12-19 | 2020-05-15 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 一种高转换效率的中红外光参量振荡器 |
| CN112164970A (zh) * | 2020-10-28 | 2021-01-01 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 任意偏振态信号光的光参量放大装置 |
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-
1999
- 1999-07-05 JP JP11190549A patent/JP2001024264A/ja active Pending
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| CN112164970B (zh) * | 2020-10-28 | 2023-03-14 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 任意偏振态信号光的光参量放大装置 |
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