JP2001002428A - Optical element molding die and method of manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 複数の分割型を用いた場合、表面性を変化さ
せることなく、パーティングラインにガラス素材の流入
を防ぎ、成形時に悪影響を与えない光学素子成形用型及
びその製造方法を提供することにある。
【解決手段】 母材の一部に光学素子を成形するための
転写面を有する複数の分割型からなる光学素子成形用型
において、湿式メッキ膜で転写面及び隣接する分割型の
パーティングラインを被覆したのち、転写面のみエッチ
ングによりメッキ膜が除去した光学素子成形用型及びそ
の製造方法。
(57) [Problem] To use a plurality of split dies, prevent a glass material from flowing into a parting line without changing the surface property, and provide a mold for forming an optical element which does not adversely affect molding. It is to provide a manufacturing method. SOLUTION: In an optical element molding die composed of a plurality of split dies having a transfer surface for forming an optical element on a part of a base material, a transfer surface and a parting line of an adjacent split die are formed by a wet plating film. An optical element molding die in which a plating film is removed by etching only a transfer surface after coating, and a method of manufacturing the same.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、レンズ、プリズム
等のガラスよりなる光学素子を、ガラス素材のプレス成
形により高精度に製造するのに使用される光学素子成型
用型及びその製造方法に関し、詳しくは複数の分割型か
らなる複合型の光学素子成型用型及びその製造方法に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mold for molding an optical element used for producing an optical element made of glass, such as a lens or a prism, with high precision by pressing a glass material, and a method for producing the same. More specifically, the present invention relates to a composite optical element molding die including a plurality of split dies and a method of manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】研磨工程を必要とせず、ガラス素材のプ
レス成形によってレンズを製造する技術は、従来の製造
において必要とされた複雑な工程をなくし、簡単かつ安
価にレンズを製造することを可能とし、近年レンズのみ
ならずプリズムその他のガラスよりなる光学素子の製造
に使用されるようになった。2. Description of the Related Art The technology of manufacturing a lens by press molding a glass material without the need for a polishing step eliminates the complicated steps required in conventional manufacturing, making it possible to manufacture a lens simply and inexpensively. In recent years, it has been used in the manufacture of optical elements made of not only lenses but also prisms and other glasses.
【0003】更に、光学素子成形技術の向上・拡大に伴
い、複数の自由曲面を持つプリズム等のニーズが高まっ
てきている。これらの光学素子に対応する型は、型加工
時に研削工具が入り込めないため、複数の分割型を用
い、パーティングラインを被膜で覆うことにより、ガラ
ス素材の流入を防ぐことが実開平4−69422号公報
に提案されている。Further, with the improvement and expansion of optical element molding techniques, the need for prisms having a plurality of free-form surfaces is increasing. Since molds corresponding to these optical elements do not allow a grinding tool to enter at the time of mold processing, it is necessary to use a plurality of divided molds and cover the parting line with a coating to prevent the inflow of glass material. No. 69422.
【0004】しかし、上記従来の分割型では、被膜の厚
みが2μm以上必要なため、転写面が変化するという問
題点があり、また厚みを2μm未満にした場合、膜強度
が不充分という問題があった。[0004] However, in the above-mentioned conventional split type, there is a problem that the transfer surface changes because the thickness of the coating is required to be 2 µm or more, and when the thickness is less than 2 µm, the film strength is insufficient. there were.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、かか
る従来の問題点を解決したもので、複数の分割型を用い
た場合、表面性を変化させることなく、パーティングラ
インにガラス素材の流入を防ぎ、成形時に悪影響を与え
ない光学素子成形用型及びその製造方法を提供すること
にある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve such a conventional problem. When a plurality of split molds are used, the surface of a glass material is not changed on the parting line without changing the surface properties. An object of the present invention is to provide an optical element molding die that prevents inflow and has no adverse effect upon molding, and a method for producing the same.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明に従って、母材の
一部に光学素子を成形するための転写面を有する複数の
分割型からなる光学素子成形用型において、湿式メッキ
膜で転写面及び隣接する分割型のパーティングラインを
被覆した後、転写面のみエッチングによりメッキ膜を除
去した光学素子成形用型が提供される。According to the present invention, in a mold for forming an optical element comprising a plurality of split molds having a transfer surface for forming an optical element on a part of a base material, a transfer surface and a wet plating film are used. An optical element molding die is provided in which a plating film is removed by etching only a transfer surface after covering a parting line of an adjacent split mold.
【0007】また本発明に従って、母材の一部に光学素
子を成形するための転写面を有する複数の分割型からな
る光学素子成形用型の製造方法において、湿式メッキ膜
で転写面及び隣接する分割型のパーティングラインを被
覆したのち、転写面のみエッチングによりメッキ膜を除
去する光学素子成形用型の製造方法が提供される。Further, according to the present invention, in a method for manufacturing an optical element molding die comprising a plurality of split dies having a transfer surface for molding an optical element on a part of a base material, the transfer surface and the adjacent surface are formed by a wet plating film. There is provided a method for manufacturing an optical element molding die in which a plating film is removed by etching only a transfer surface after covering a parting line of a split mold.
【0008】[0008]
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を詳
細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail.
【0009】本発明は、母材の一部に光学素子を成形す
るための転写面を有する複数の分割型からなる成形用型
が、湿式メッキ膜で転写面及び隣接する分割型のパーテ
ィングラインを被覆した後、転写面のみエッチングによ
りメッキ膜を除去するものである。According to the present invention, there is provided a molding die comprising a plurality of split dies having a transfer surface for forming an optical element on a part of a base material, wherein a wet plating film is used to form the transfer surface and an adjacent split mold parting line. Then, the plating film is removed by etching only the transfer surface.
【0010】更に、好ましくは、母材の転写面を構成す
る材料のエッチング速度が、湿式メッキ膜のエッチング
速度より遅くなるようなエッチング液を選択すること
が、転写面の精度を維持する上で望ましい。Further, it is preferable to select an etching solution such that the etching rate of the material constituting the transfer surface of the base material is lower than the etching rate of the wet plating film, in order to maintain the accuracy of the transfer surface. desirable.
【0011】母材の材質としては、アルミナ、ジルコニ
アを主成分とする酸化物系セラミックス、炭化珪素、窒
化珪素、炭化チタン、窒化チタン、炭化タングステンを
主成分とする炭化物・窒化系セラミックス、炭化タング
ステンを主成分とする超硬合金、モリブデン(Mo)、
タングステン(W)、タンタル(Ta)を主成分とする
金属であり、好ましくは炭化タングステンを主成分とす
る超硬合金である。[0011] Materials of the base material include oxide ceramics mainly containing alumina and zirconia, silicon carbide, silicon nitride, titanium carbide, titanium nitride, carbide and nitride ceramics mainly containing tungsten carbide, and tungsten carbide. A cemented carbide mainly composed of molybdenum (Mo),
A metal containing tungsten (W) and tantalum (Ta) as main components, preferably a cemented carbide mainly containing tungsten carbide.
【0012】更に、母材が精密切削加工できない、炭化
タングステンを主成分とする超硬合金の場合、加工層と
して、ニッケル(Ni)とリン(P)の2元合金とその
合金の炭化物との混合物、又はその合金の窒化物との混
合物、又はその合金の炭窒化物との混合物、又はニッケ
ル(Ni)と、銅(Cu)又はタングステン(W)と、
リン(P)の3元合金とその合金の炭化物との混合物、
又はその合金の窒化物との混合物、又はその合金の炭窒
化物との混合物が使用される。Further, in the case where the base material is a cemented carbide mainly composed of tungsten carbide, which cannot be precision-cut, a binary alloy of nickel (Ni) and phosphorus (P) and a carbide of the alloy are used as a working layer. A mixture with a nitride of the alloy, or a mixture with a carbonitride of the alloy, or nickel (Ni), copper (Cu) or tungsten (W),
A mixture of a ternary alloy of phosphorus (P) and a carbide of the alloy,
Alternatively, a mixture with a nitride of the alloy or a mixture with a carbonitride of the alloy is used.
【0013】湿式メッキ膜としては、銅(Cu)、コバ
ルト(Co)及びクロム(Cr)から選ばれる1種類の
金属が用いられ、そのエッチング液として、銅(Cu)
にはエチルアルコール、塩素及び塩化鉄の混合液、コバ
ルト(Co)にはメチルアルコールと硝酸の混合液、ク
ロム(Cr)には蒸留水と硫酸の混合液を用いると、母
材及び加工層のエッチング速度がメッキ膜のエッチング
速度より遅くなり、母材及び加工層の面変化に悪影響を
与えない点で好ましい。As the wet plating film, one kind of metal selected from copper (Cu), cobalt (Co) and chromium (Cr) is used, and copper (Cu) is used as an etching solution.
A mixed solution of ethyl alcohol, chlorine and iron chloride, a mixed solution of methyl alcohol and nitric acid for cobalt (Co), and a mixed solution of distilled water and sulfuric acid for chromium (Cr). This is preferable because the etching rate is lower than the etching rate of the plating film and does not adversely affect the surface changes of the base material and the processed layer.
【0014】そして、この成形型を実際ガラス成形に使
用する場合は、融着防止の観点で、転写面のみエッチン
グによりメッキ膜を除去した後、転写面に、チタン、タ
ンタル、クロム、シリコンからなる炭化物、窒化物、炭
窒化物の中間層を成膜し、更にその上に、硬質炭素膜、
又は白金(Pt)、パラジウム(Pd)、イリジウム
(Ir)、ロジウム(Rh)、オスミウム(Os)、ル
テニウム(Ru)、レニウム(Re)、金(Au)、タ
ングステン(W)、タンタル(Ta)から選ばれる1種
以上の金属又は合金薄膜の表面層を成膜することが望ま
しい。When the molding die is actually used for glass molding, in order to prevent fusion, after removing the plating film by etching only the transfer surface, the transfer surface is made of titanium, tantalum, chromium, or silicon. An intermediate layer of carbide, nitride, carbonitride is formed, and further thereon, a hard carbon film,
Or platinum (Pt), palladium (Pd), iridium (Ir), rhodium (Rh), osmium (Os), ruthenium (Ru), rhenium (Re), gold (Au), tungsten (W), tantalum (Ta) It is desirable to form a surface layer of at least one metal or alloy thin film selected from the group consisting of:
【0015】上記構成の光学素子成形用型によれば、パ
ーティングラインは、湿式メッキ膜で被覆されているた
め、軟化状態にある光学ガラスは、パーティングライン
の内部に流入することが無く、また転写面はエッチング
により湿式メッキ膜が除去されており、母材及び加工層
が面変化することはない。そして、湿式メッキ液は毛細
管現象で内部まで入り込んでいるため、加圧成形した際
も、充分な強度が確保できる。According to the optical element molding die having the above structure, since the parting line is covered with the wet plating film, the optical glass in a softened state does not flow into the parting line. In addition, the wet plating film is removed from the transfer surface by etching, and the surface of the base material and the processed layer does not change. And since the wet plating liquid has penetrated into the inside by the capillary phenomenon, sufficient strength can be ensured even when pressure molding is performed.
【0016】[0016]
【実施例】以下に、具体的な実施例を挙げて本発明をよ
り詳細に説明する。The present invention will be described below in more detail with reference to specific examples.
【0017】(実施例1)図1は、実施例1の光学素子
成形用型の工程図である。(Example 1) FIG. 1 is a process chart of an optical element molding die of Example 1.
【0018】第1工程は、分割成形型母材11、12及
び13はWCを主成分とする超硬合金を、所望の自由曲
面の近似形状にそれぞれ研削加工を行う。In the first step, the divided mold base materials 11, 12, and 13 respectively grind a cemented carbide mainly composed of WC into a desired approximate shape of a free-form surface.
【0019】第2工程は、これらの研削面上に、Ni−
Pターゲットを用い、導入ガスとしてアルゴンとメタン
を用いたスパッタ成膜によりNi−PとNi−Pの炭化
物との混合膜の加工層21、22及び23を50μmの
膜厚にそれぞれ形成する。In the second step, Ni-
Using a P target, processed layers 21, 22, and 23 of a mixed film of Ni-P and a carbide of Ni-P are formed to a thickness of 50 µm by sputtering film formation using argon and methane as an introduced gas.
【0020】第3工程は、この加工層を、ダイヤモンド
バイトにより所望の自由曲面形状にそれぞれ切削加工を
行い、均等研磨により仕上げ加工を行う。In the third step, this processed layer is cut into a desired free-form surface by a diamond tool, and finished by uniform polishing.
【0021】第4工程は、この分割成形型11、12及
び13を組み合わせ複合型を構成する。In the fourth step, the split molds 11, 12, and 13 are combined to form a composite mold.
【0022】第5工程は、市販の無電解銅メッキ液(商
品名:C−200LT、(株)高純度化学研究所)を用
いて、加工層上にメッキ膜3を10μmの膜厚に形成す
る。この時、パーティングラインには表面から深さ2m
mのメッキ膜が形成された。In the fifth step, a plating film 3 is formed to a thickness of 10 μm on the processed layer using a commercially available electroless copper plating solution (trade name: C-200LT, High Purity Chemical Laboratory Co., Ltd.). I do. At this time, the parting line is 2m deep from the surface
m of the plating film was formed.
【0023】第6工程は、エッチング液として、エチル
アルコール、塩酸及び塩化鉄の混合液を用いて、加工層
上のメッキ膜を除去する。In the sixth step, the plating film on the processed layer is removed by using a mixed solution of ethyl alcohol, hydrochloric acid and iron chloride as an etching solution.
【0024】第7工程は、このメッキ膜が除去された加
工層21、22及び23上に、イオンプレーティング法
によりTiN膜の中間層4を0.5μmの膜厚に形成す
る。In a seventh step, an intermediate layer 4 of a TiN film is formed to a thickness of 0.5 μm on the processed layers 21, 22 and 23 from which the plating film has been removed by an ion plating method.
【0025】第8工程は、この中間層4上に、イオンビ
ーム蒸着法により硬質炭素膜の表面層5を100nmの
膜厚に形成する。In an eighth step, a surface layer 5 of a hard carbon film is formed on the intermediate layer 4 to a thickness of 100 nm by ion beam evaporation.
【0026】この型を連続成形機を用いてガラス成形
(リン酸系ガラス)を行った所、3000ショット成形
後も良好な成形品が得られ、また、型材表面、パーティ
ングラインの劣化も観察されなかった。When this mold was subjected to glass molding (phosphate-based glass) using a continuous molding machine, a good molded product was obtained even after 3000 shot molding, and deterioration of the mold material surface and parting line was also observed. Was not done.
【0027】(実施例2)第2工程を省き、第3工程を
母材を直接研削加工する以外は実施例1と同様にして、
光学素子成形型を得た。(Example 2) The second step was omitted, and the third step was performed in the same manner as in Example 1 except that the base material was directly ground.
An optical element mold was obtained.
【0028】この型を連続成形機を用いてガラス成形
(リン酸系ガラス)を行った所、3000ショット成形
後も良好な成形品が得られ、また、型材表面、パーティ
ングラインの劣化も観察されなかった。When this mold was subjected to glass molding (phosphate-based glass) using a continuous molding machine, a good molded product was obtained even after 3000 shot molding, and deterioration of the mold material surface and parting line was also observed. Was not done.
【0029】(実施例3)第5及び6工程を以下に変更
する以外は、実施例1と同様にして光学素子成形型を得
た。(Example 3) An optical element molding die was obtained in the same manner as in Example 1 except that the fifth and sixth steps were changed as follows.
【0030】第5工程は、市販の電解コバルトメッキ液
(商品名:COM03LA、(株)高純度化学研究所)
を用いて、加工層上にメッキ膜3を10μmの膜厚に形
成する。この時、パーティングラインには表面から深さ
1.8mmのメッキ膜が形成された。In the fifth step, a commercially available electrolytic cobalt plating solution (trade name: COM03LA, Kojundo Chemical Laboratory Co., Ltd.)
Is used to form a plating film 3 to a thickness of 10 μm on the processing layer. At this time, a plating film having a depth of 1.8 mm from the surface was formed on the parting line.
【0031】第6工程は、エッチング液として、蒸留水
及び塩酸の混合液を用いて、加工層上のメッキ膜を除去
する。In the sixth step, the plating film on the working layer is removed by using a mixed solution of distilled water and hydrochloric acid as an etching solution.
【0032】この型を連続成形機を用いてガラス成形
(リン酸系ガラス)を行った所、3000ショット成形
後も良好な成形品が得られ、また、型材表面、パーティ
ングラインの劣化も観察されなかった。When this mold was subjected to glass molding (phosphate-based glass) using a continuous molding machine, a good molded product was obtained even after 3000 shot molding, and deterioration of the mold material surface and parting line was also observed. Was not done.
【0033】(実施例4)第5及び6工程を以下に変更
する以外は、実施例1と同様にして光学素子成形型を得
た。Example 4 An optical element molding die was obtained in the same manner as in Example 1 except that the fifth and sixth steps were changed as follows.
【0034】第5工程は、無水クロム酸を主成分とし、
少量の硫酸を用いて、加工層上に電解クロムメッキ膜3
を10μmの膜厚に形成する。この時、パーティングラ
インには表面から深さ1.7mmのメッキ膜が形成され
た。The fifth step comprises chromic anhydride as a main component,
Using a small amount of sulfuric acid, electrolytic chromium plating film 3
Is formed to a thickness of 10 μm. At this time, a plating film having a depth of 1.7 mm was formed on the parting line from the surface.
【0035】第6工程は、エッチング液として、蒸留水
及び硫酸の混合液を煮沸して、加工層上のメッキ膜を除
去する。In the sixth step, a mixed solution of distilled water and sulfuric acid is boiled as an etching solution to remove the plating film on the processed layer.
【0036】この型を連続成形機を用いてガラス成形
(リン酸系ガラス)を行った所、3000ショット成形
後も良好な成形品が得られ、また、型材表面、パーティ
ングラインの劣化も観察されなかった。When this mold was subjected to glass molding (phosphate glass) using a continuous molding machine, a good molded product was obtained even after 3000 shot molding, and deterioration of the mold material surface and parting line was also observed. Was not done.
【0037】(実施例5)第2工程の、Ni−PとNi
−Pの炭化物との混合膜の代わりに、Ni−PとNi−
Pの窒化物との混合膜、Ni−PとNi−Pの炭窒化物
との混合膜、Ni−P−CuとNi−P−Cuの炭化物
との混合膜、Ni−P−CuとNi−P−Cuの窒化物
との混合膜、Ni−P−CuとNi−P−Cuの炭窒化
物との混合膜、Ni−P−WとNi−P−Wの炭化物と
の混合膜、Ni−P−WとNi−P−Wの窒化物との混
合膜、Ni−P−WとNi−P−Wの炭窒化物との混合
膜に変更する以外は実施例1と同様にして、光学素子成
形型を得た。(Embodiment 5) In the second step, Ni-P and Ni
Instead of a mixed film with -P carbide, Ni-P and Ni-
Mixed film with P nitride, mixed film with Ni-P and Ni-P carbonitride, mixed film with Ni-P-Cu and Ni-P-Cu carbide, Ni-P-Cu and Ni A mixed film of -P-Cu nitride, a mixed film of Ni-P-Cu and Ni-P-Cu carbonitride, a mixed film of Ni-P-W and Ni-P-W carbide, Except for changing to a mixed film of Ni-P-W and Ni-P-W nitride and a mixed film of Ni-P-W and Ni-P-W carbonitride, the same as in Example 1 Thus, an optical element molding die was obtained.
【0038】この型を連続成形機を用いてガラス成形
(リン酸系ガラス)を行った所、3000ショット成形
後も良好な成形品が得られ、また、型材表面、パーティ
ングラインの劣化も観察されなかった。When this mold was subjected to glass molding (phosphate-based glass) using a continuous molding machine, a good molded product was obtained even after 3000 shot molding, and deterioration of the mold material surface and parting line was also observed. Was not done.
【0039】(実施例6)第7工程の、中間層のTiN
膜をTiC、TiCN、TaN、TaC、TaCN、S
iC、SiN、SiCN、CrN、CrC、CrCNに
変更する以外は実施例1と同様にして、光学素子成形型
を得た。(Embodiment 6) TiN of the intermediate layer in the seventh step
The film is made of TiC, TiCN, TaN, TaC, TaCN, S
An optical element mold was obtained in the same manner as in Example 1 except that iC, SiN, SiCN, CrN, CrC, and CrCN were changed.
【0040】この型を連続成形機を用いてガラス成形
(リン酸系ガラス)を行った所、3000ショット成形
後もパーティングラインの劣化は観察されなかった。When this mold was subjected to glass molding (phosphate glass) using a continuous molding machine, no deterioration of the parting line was observed even after 3000 shot molding.
【0041】(実施例7)第8工程の、表面層の硬質炭
素膜を白金(Pt)、パラジウム(Pd)、イリジウム
(Ir)、ロジウム(Rh)、オスミウム(Os)、ル
テニウム(Ru)、レニウム(Re)、金(Au)、タ
ングステン(W)、タンタル(Ta)から選ばれる1種
以上の金属又は合金薄膜にする以外は実施例1と同様に
して、光学素子成形型を得た。(Embodiment 7) In the eighth step, the hard carbon film of the surface layer was formed of platinum (Pt), palladium (Pd), iridium (Ir), rhodium (Rh), osmium (Os), ruthenium (Ru), An optical element molding die was obtained in the same manner as in Example 1, except that at least one metal or alloy thin film selected from rhenium (Re), gold (Au), tungsten (W), and tantalum (Ta) was formed.
【0042】この型を連続成形機を用いてガラス成形
(リン酸系ガラス)を行った所、3000ショット成形
後もパーティングラインの劣化は観察されなかった。When this mold was subjected to glass molding (phosphate glass) using a continuous molding machine, no deterioration of the parting line was observed even after 3000 shot molding.
【0043】(比較例1)第5及び6工程を省き、第7
工程のTiN膜の膜厚を3μm形成する以外は実施例1
と同様にして、光学素子成形型を得たが、所望した精度
の面形状が得られなかった。(Comparative Example 1) The fifth and sixth steps were omitted, and the seventh
Example 1 except that the thickness of the TiN film in the step was 3 μm.
An optical element mold was obtained in the same manner as described above, but the surface shape with the desired accuracy could not be obtained.
【0044】この型を連続成形機を用いてガラス成形
(リン酸系ガラス)を行った所、300ショット成形後
にパーティングラインに亀裂が観察された。When this mold was subjected to glass molding (phosphate-based glass) using a continuous molding machine, cracks were observed in the parting line after 300 shots were molded.
【0045】[0045]
【発明の効果】以上のように、本発明の光学素子成形用
型によれば、パーティングラインは、湿式メッキ膜で被
覆されているため、軟化状態にある光学ガラスは、パー
ティングラインの内部に流入することが無く、また転写
面はエッチングにより湿式メッキ膜が除去されており、
母材及び加工層が面変化することがないため、良好な成
形品が得られた。そして、湿式メッキ液は毛細管現象で
内部まで入り込んでいるため、繰り返し加圧成形した際
も、充分な強度が確保できたため、パーティングライン
の劣化が観察されなかった。As described above, according to the mold for molding an optical element of the present invention, the parting line is covered with the wet plating film, so that the optical glass in a softened state is formed inside the parting line. And the transfer surface has the wet plating film removed by etching,
Since the base material and the processed layer did not change in surface, a good molded product was obtained. Since the wet plating solution penetrated into the interior due to the capillary phenomenon, sufficient strength could be ensured even when the pressure was repeatedly molded, so that the deterioration of the parting line was not observed.
【図1】本発明の光学素子成形型の製造工程の概略図で
ある。 (a)第1工程:研削加工 (b)第2工程:加工層の形成 (c)第3工程:切削加工及び均等研磨 (d)第4工程:複合型の構成 (e)第5工程:メッキ膜の形成 (f)第6工程:メッキ膜の除去 (g)第7工程:中間層の形成 (h)第8工程:表面層の形成FIG. 1 is a schematic view of a manufacturing process of an optical element molding die of the present invention. (A) First step: grinding processing (b) Second step: formation of a working layer (c) Third step: cutting and uniform polishing (d) Fourth step: configuration of a composite mold (e) Fifth step: Formation of plating film (f) Sixth step: removal of plating film (g) Seventh step: formation of intermediate layer (h) Eighth step: formation of surface layer
11,12,13 分割成形型母材 21,22,23 加工層 3 メッキ膜 4 中間層 5 表面層 11, 12, 13 Split mold base material 21, 22, 23 Working layer 3 Plating film 4 Intermediate layer 5 Surface layer
Claims (10)
転写面を有する複数の分割型からなる光学素子成形用型
において、湿式メッキ膜で転写面及び隣接する分割型の
パーティングラインを被覆した後、該転写面のみエッチ
ングによりメッキ膜を除去したことを特徴とする光学素
子成形用型。1. An optical element molding die comprising a plurality of split dies having a transfer surface for forming an optical element on a part of a base material, wherein a transfer surface is formed by a wet plating film and a parting line of an adjacent split die. Wherein the plating film is removed by etching only the transfer surface after coating.
チング速度が、湿式メッキ膜のエッチング速度より遅い
請求項1に記載の光学素子成形用型。2. The optical element molding die according to claim 1, wherein an etching rate of a material forming the transfer surface of the base material is lower than an etching rate of the wet plating film.
する超硬合金であり、湿式メッキ膜は、銅(Cu)、コ
バルト(Co)及びクロム(Cr)から選ばれる1種類
の金属である請求項1に記載の光学素子成形用型。3. The base material is a cemented carbide having tungsten carbide as a main component, and the wet plating film is one kind of metal selected from copper (Cu), cobalt (Co) and chromium (Cr). The mold for molding an optical element according to claim 1.
転写面を有する複数の分割型からなる光学素子成形用型
において、該母材は、炭化タングステンを主成分とする
超硬合金であり、母材上に、ニッケル(Ni)とリン
(P)の2元合金とその合金の炭化物との混合物、又は
その合金の窒化物との混合物、又はその合金の炭窒化物
との混合物、又はニッケル(Ni)と、銅(Cu)又は
タングステン(W)と、リン(P)の3元合金とその合
金の炭化物との混合物、又はその合金の窒化物との混合
物、又はその合金の炭窒化物との混合物の加工層が、所
望の形状に加工されており、その上に、銅(Cu)、コ
バルト(Co)及びクロム(Cr)から選ばれる1種類
の金属により形成される湿式メッキ膜を被覆した後、該
転写面のみエッチングによりメッキ膜が除去されている
ことを特徴とする光学素子成形用型。4. A mold for forming an optical element comprising a plurality of split molds having a transfer surface for forming an optical element on a part of a base material, wherein the base material is a cemented carbide mainly composed of tungsten carbide. And a mixture of a binary alloy of nickel (Ni) and phosphorus (P) with a carbide of the alloy, a mixture of the alloy with a nitride thereof, or a mixture of the alloy with a carbonitride of the alloy Or a mixture of a ternary alloy of nickel (Ni), copper (Cu) or tungsten (W), and phosphorus (P) and a carbide of the alloy, or a mixture of a nitride of the alloy, or a mixture of the alloys. A processed layer of a mixture with carbonitride is processed into a desired shape, and a wet-processed layer formed of one type of metal selected from copper (Cu), cobalt (Co), and chromium (Cr) is formed thereon. After coating the plating film, only the transfer surface is etched An optical element molding die, wherein a plating film is removed by the method.
転写面を有する複数の分割型からなる光学素子成形用型
において、該転写面のみエッチングによりメッキ膜を除
去した後、該転写面に、チタン、タンタル、クロム、シ
リコンからなる炭化物、窒化物、炭窒化物の中間層を成
膜し、更にその上に、硬質炭素膜、又は白金(Pt)、
パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、ロジウム
(Rh)、オスミウム(Os)、ルテニウム(Ru)、
レニウム(Re)、金(Au)、タングステン(W)、
タンタル(Ta)から選ばれるの1種以上の金属又は合
金薄膜の表面層を成膜していることを特徴とする光学素
子成形用型。5. In an optical element molding die comprising a plurality of split dies having a transfer surface for forming an optical element on a part of a base material, after removing a plating film by etching only the transfer surface, the transfer is performed. On the surface, an intermediate layer of carbide, nitride, carbonitride made of titanium, tantalum, chromium, silicon is formed, and further, a hard carbon film or platinum (Pt),
Palladium (Pd), iridium (Ir), rhodium (Rh), osmium (Os), ruthenium (Ru),
Rhenium (Re), gold (Au), tungsten (W),
An optical element molding die, wherein a surface layer of at least one metal or alloy thin film selected from tantalum (Ta) is formed.
転写面を有する複数の分割型からなる光学素子成形用型
の製造方法において、湿式メッキ膜で転写面及び隣接す
る分割型のパーティングラインを被覆したのち、該転写
面のみエッチングによりメッキ膜を除去することを特徴
とする光学素子成形用型の製造方法。6. A method for manufacturing an optical element molding die comprising a plurality of split dies having a transfer surface for forming an optical element on a part of a base material, wherein the transfer surface and an adjacent split die are formed by a wet plating film. A method of manufacturing a mold for forming an optical element, comprising: after coating a parting line, removing a plating film by etching only the transfer surface.
チング速度が、湿式メッキ膜のエッチング速度より遅く
なるようなエッチング液を用いる請求項6に記載の光学
素子成形用型の製造方法。7. The method of manufacturing an optical element molding die according to claim 6, wherein an etching solution is used such that an etching rate of a material forming a transfer surface of the base material is lower than an etching rate of a wet plating film.
する超硬合金であり、湿式メッキ膜に、銅(Cu)、コ
バルト(Co)及びクロム(Cr)から選ばれる1種類
の金属を用いる請求項6に記載の光学素子成形用型の製
造方法。8. The base material is a cemented carbide mainly composed of tungsten carbide, and one kind of metal selected from copper (Cu), cobalt (Co) and chromium (Cr) is used for a wet plating film. A method for manufacturing the optical element molding die according to claim 6.
転写面を有する複数の分割型からなる光学素子成形用型
の製造方法において、該母材は、炭化タングステンを主
成分とする超硬合金であり、母材上に、ニッケル(N
i)とリン(P)の2元合金とその合金の炭化物との混
合物、又はその合金の窒化物との混合物、又はその合金
の炭窒化物との混合物、又はニッケル(Ni)と、銅
(Cu)又はタングステン(W)と、リン(P)の3元
合金とその合金の炭化物との混合物、又はその合金の窒
化物との混合物、又はその合金の炭窒化物との混合物の
加工層が、所望の形状に加工されており、その上に、銅
(Cu)、コバルト(Co)及びクロム(Cr)から選
ばれる1種類の金属により形成される湿式メッキ膜を被
覆した後、該転写面のみエッチングによりメッキ膜を除
去することを特徴とする光学素子成形用型の製造方法。9. A method for manufacturing an optical element molding die comprising a plurality of split molds having a transfer surface for molding an optical element on a part of a base material, wherein the base material mainly comprises tungsten carbide. This is a cemented carbide, with nickel (N
i) a mixture of a binary alloy of phosphorus (P) and a carbide of the alloy, or a mixture of a nitride of the alloy, or a mixture of a carbonitride of the alloy, or nickel (Ni) and copper ( A working layer of a mixture of Cu) or tungsten (W) and a ternary alloy of phosphorus (P) and a carbide of the alloy, a mixture of a nitride of the alloy, or a mixture of a carbonitride of the alloy, Is processed into a desired shape, and a wet plating film formed of one kind of metal selected from copper (Cu), cobalt (Co) and chromium (Cr) is coated thereon, and then the transfer surface is formed. A method of manufacturing an optical element molding die, comprising removing a plating film by etching only.
の転写面を有する複数の分割型からなる光学素子成形用
型の製造方法において、該転写面のみエッチングにより
メッキ膜を除去した後、該転写面に、チタン、タンタ
ル、クロム、シリコンからなる炭化物、窒化物、炭窒化
物の中間層を成膜し、更にその上に、硬質炭素膜、又は
白金(Pt)、パラジウム(Pd)、イリジウム(I
r)、ロジウム(Rh)、オスミウム(Os)、ルテニ
ウム(Ru)、レニウム(Re)、金(Au)、タング
ステン(W)、タンタル(Ta)から選ばれる1種以上
の金属又は合金薄膜の表面層を成膜することを特徴とす
る光学素子成形用型の製造方法。10. A method of manufacturing an optical element molding die comprising a plurality of split dies having a transfer surface for molding an optical element on a part of a base material, wherein a plating film is removed by etching only the transfer surface. An intermediate layer of a carbide, nitride, or carbonitride made of titanium, tantalum, chromium, or silicon is formed on the transfer surface, and a hard carbon film or platinum (Pt) or palladium (Pd) is further formed thereon. , Iridium (I
r) Surface of at least one metal or alloy thin film selected from rhodium (Rh), osmium (Os), ruthenium (Ru), rhenium (Re), gold (Au), tungsten (W), and tantalum (Ta) A method for producing an optical element molding die, comprising forming a layer.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11168389A JP2001002428A (en) | 1999-06-15 | 1999-06-15 | Optical element molding die and method of manufacturing the same |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11168389A JP2001002428A (en) | 1999-06-15 | 1999-06-15 | Optical element molding die and method of manufacturing the same |
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| JP2001002428A true JP2001002428A (en) | 2001-01-09 |
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|---|---|
| JP (1) | JP2001002428A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007186384A (en) * | 2006-01-13 | 2007-07-26 | Kobe Steel Ltd | Hard film for glass molding and glass molding die equipped with the same |
-
1999
- 1999-06-15 JP JP11168389A patent/JP2001002428A/en active Pending
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