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JP2001085751A - Thermoelectric conversion material, element using the same, and method of manufacturing thermoelectric conversion material - Google Patents

Thermoelectric conversion material, element using the same, and method of manufacturing thermoelectric conversion material

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JP2001085751A
JP2001085751A JP26357099A JP26357099A JP2001085751A JP 2001085751 A JP2001085751 A JP 2001085751A JP 26357099 A JP26357099 A JP 26357099A JP 26357099 A JP26357099 A JP 26357099A JP 2001085751 A JP2001085751 A JP 2001085751A
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JP
Japan
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site
elements
group
thermoelectric conversion
conversion material
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JP26357099A
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Japanese (ja)
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Hideto Imai
英人 今井
Yuichi Shimakawa
祐一 島川
Yoshimi Kubo
佳実 久保
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来室温付近で使用されるBi2Te3系熱電
材料は、構成物質の原料が高価である上、毒性の強いS
eなどの元素を添加する必要があり、実用上の問題があ
る。また、従来の酸化物を使用した熱電材料は、室温付
近で用いるには電気抵抗が高すぎて性能は極めて悪いと
いう問題があった。 【解決手段】 本発明では、一般式、InGaOy(Z
nO)m (2<y<3、1≦m≦19)で表わされるY
bFe24類縁型層状構造の物質に対し、適当な還元処
理、または元素置換により、最適なキャリア導入を行な
う。本発明によれば、毒性がなく、室温から300℃付
近で電気抵抗が低く、熱電特性に優れた酸化物熱電材料
を提供できる。
(57) [Problem] To provide a Bi 2 Te 3 type thermoelectric material conventionally used at around room temperature, the raw material of the constituent material is expensive, and highly toxic S
It is necessary to add an element such as e, which poses a practical problem. Further, the conventional thermoelectric material using an oxide has a problem that the electric resistance is too high to be used near room temperature and the performance is extremely poor. SOLUTION: In the present invention, a general formula: InGaO y (Z
nO) m (2 <y <3, 1 ≦ m ≦ 19)
Optimum carrier introduction is performed on the substance having the bFe 2 O 4 -related layered structure by appropriate reduction treatment or element substitution. According to the present invention, it is possible to provide an oxide thermoelectric material having no toxicity, low electric resistance from room temperature to about 300 ° C., and excellent thermoelectric properties.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、熱電変換材料およ
びそれを用いた素子並びに熱電変換材料の製造方法に関
し、特に、室温から300℃付近までの熱源に適した酸
化物熱電変換材料に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thermoelectric conversion material, an element using the same, and a method for producing the thermoelectric conversion material, and more particularly to an oxide thermoelectric conversion material suitable for a heat source from room temperature to about 300.degree.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、化石燃料の代替エネルギー問題、
あるいは環境保全問題が世界的規模で注目されている。
その中で、二酸化炭素や窒素酸化物などの有害ガスを全
く排出せず、分散型の廃熱を利用した熱電エネルギー変
換技術、また、フロンなどの有害な冷却媒体を使用しな
い熱電冷却技術の重要性はますます高まっている。
2. Description of the Related Art In recent years, the problem of alternative energy to fossil fuels has been increasing.
Alternatively, environmental protection issues are receiving worldwide attention.
Among them, the importance of thermoelectric energy conversion technology that emits no harmful gases such as carbon dioxide and nitrogen oxides, uses distributed waste heat, and thermoelectric cooling technology that does not use harmful cooling media such as chlorofluorocarbons. Sex is growing more and more.

【0003】熱電変換のエネルギー変換効率は、性能指
数 (ZT)で表わされ、この性能指数は下記式(1)
から求められる。
[0003] The energy conversion efficiency of thermoelectric conversion is represented by a figure of merit (ZT).
Required from.

【0004】ZT=S2/ρκ (1) ここで、Sはゼーベック係数、ρは電気抵抗率、κは熱
伝導率である。
ZT = S 2 / ρκ (1) where S is the Seebeck coefficient, ρ is the electrical resistivity, and κ is the thermal conductivity.

【0005】この式(1)から求められる性能指数(Z
T)が大きくなるほど変換効率はよくなる。したがっ
て、一般的にはゼーベック係数(S)の絶対値が大き
く、電気抵抗率(ρ)及び熱伝導率(κ)の小さな材料
が、熱電変換材料開発の目標になっている。
The figure of merit (Z) obtained from the equation (1)
The conversion efficiency increases as T) increases. Therefore, in general, a material having a large absolute value of the Seebeck coefficient (S) and a small electric resistivity (ρ) and a small thermal conductivity (κ) has been a target of the thermoelectric conversion material development.

【0006】また、一般的に性能指数(ZT)は、物質
に固有の温度依存性を持ち、実用化できる温度領域は物
質により異なる。
In general, the figure of merit (ZT) has a temperature dependency inherent to a substance, and the temperature range in which the substance can be put into practical use differs depending on the substance.

【0007】従来、熱電変換材料は、非酸化物半導体と
しては、ビスマス−テルル系熱電変換材料が室温から4
00℃程度まで、鉛−テルル系材料が700℃程度ま
で、シリコン−ゲルマニウム系材料が1000℃程度で
良好な性能を示す材料として知られている。このうち、
ビスマス−テルル系材料は熱電冷却用として、鉛−テル
ル系材料およびシリコン−ゲルマニウム系材料は熱電発
電用として用いられている。
Conventionally, as a non-oxide semiconductor, a bismuth-tellurium-based thermoelectric conversion material has been used as a non-oxide semiconductor.
Up to about 00 ° C., up to about 700 ° C. for lead-tellurium-based materials and up to about 1000 ° C. for silicon-germanium-based materials are known as materials exhibiting good performance. this house,
Bismuth-tellurium-based materials are used for thermoelectric cooling, and lead-tellurium-based materials and silicon-germanium-based materials are used for thermoelectric power generation.

【0008】また、従来、酸化物熱電変換材料として
は、(Zn0.98Al0.02)O (M.Ohtaki、T.Tsubota、K.
Eguchi and H.Arai, J. Appl. Phys. 79 (1996) 181
6)、AB 24 (A、Bは金属元素であって、Bサイト
にInを含む)型構造(特開平7−231122号公
報)などが、主に700℃程度の高温熱源の利用を想定
した熱電発電用素子として提案されている。
Conventionally, as an oxide thermoelectric conversion material,
Is (Zn0.98Al0.02) O (M.Ohtaki, T.Tsubota, K.
Eguchi and H. Arai, J. Appl. Phys. 79 (1996) 181
6), AB TwoOFour (A and B are metal elements and B site
(Including In) is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-231122.
Report) mainly assumes the use of a high-temperature heat source of about 700 ° C.
Has been proposed as a thermoelectric power generating element.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】今後の熱電変換技術の
動向を察すると、700℃以上の高温熱源を利用した熱
電発電はもちろんであるが、自動車や工場、家庭におけ
る300℃程度の比較的低温かつ分散型の熱源を利用し
た熱電変換技術の需要がますます増加するものと予想さ
れている。したがって、毒性がなく、比較的安価で、3
00℃付近で良好な性能を示す熱電変換材料が強く望ま
れている。
The trend of thermoelectric conversion technology in the future is not limited to thermoelectric power generation using a high-temperature heat source of 700 ° C. or more, but relatively low temperature of about 300 ° C. in automobiles, factories, and homes. In addition, it is expected that demand for thermoelectric conversion technology using a distributed heat source will increase more and more. Therefore, it is non-toxic, relatively inexpensive, and 3
There is a strong demand for a thermoelectric conversion material that exhibits good performance at around 00 ° C.

【0010】室温から300℃付近で良好な性能を示す
ビスマス−テルル系の熱電材料は、構成する材料元素が
比較的高価である上、n型素子の場合、毒性の強いセレ
ンを添加する必要があり、環境への影響や一般家庭への
普及を考えた場合問題がある。
Bismuth-tellurium-based thermoelectric materials exhibiting good performance from room temperature to about 300 ° C. are relatively expensive as constituent material elements. In the case of n-type devices, it is necessary to add highly toxic selenium. Yes, there is a problem when considering the impact on the environment and the spread to general households.

【0011】一方、酸化物を使用した熱電材料は上述の
ような問題は特に生じないが、もともと絶縁体に近い半
導体にキャリアを添加しているため、電気抵抗が半導体
的温度依存性を示し、主に700℃を超える高温には適
するものの、室温付近で用いるには電気抵抗が高すぎて
性能は極めて低いという問題があった。そこで、室温付
近でも良好な熱電特性を示す酸化物熱電材料の開発が強
く望まれている。
On the other hand, a thermoelectric material using an oxide does not particularly cause the above-described problem, but since a carrier is added to a semiconductor close to an insulator from the beginning, the electric resistance exhibits semiconductor-like temperature dependence, Although suitable mainly for high temperatures exceeding 700 ° C., there is a problem that the electric resistance is too high and the performance is extremely low for use near room temperature. Therefore, development of an oxide thermoelectric material exhibiting good thermoelectric properties even at around room temperature is strongly desired.

【0012】そこで本発明の目的は、このような課題を
解決するために、毒性がなく、従来材料よりも室温付近
で小さな電気抵抗率を持ち、かつ良好な熱電特性を示す
酸化物熱電材料およびそれを用いた素子を提供すること
にある。
Accordingly, an object of the present invention is to provide an oxide thermoelectric material which is non-toxic, has a lower electrical resistivity at around room temperature than conventional materials, and exhibits good thermoelectric properties, in order to solve such problems. An object is to provide an element using the same.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】第1の発明は、YbFe
24類縁型層状構造を有し、一般式ABOy(CO)m
(2<y<3、1≦m≦19)で表わされ、この一般式
において、Aサイトが、IIIB族元素、スカンジウム
(Sc)、イットリウム(Y)、ランタノイド元素の中
から選ばれる少なくとも1種の元素からなり、Bサイト
がIIIB族元素の中から選ばれる少なくとも1種の元素
からなり、Cサイトが、亜鉛(Zn)、3d、4d、5
d遷移金属元素、IIA族元素の中から選ばれる少なくと
も1種の元素からなり、還元性雰囲気下で熱処理されて
酸素欠陥が導入されたことを特徴とする熱電変換材料に
関する。
Means for Solving the Problems The first invention is directed to YbFe
It has a 2 O 4 -related layered structure and has the general formula ABO y (CO) m
(2 <y <3, 1 ≦ m ≦ 19), and in this general formula, the A site is at least one selected from the group IIIB elements, scandium (Sc), yttrium (Y), and lanthanoid elements. B site is made of at least one element selected from Group IIIB elements, and C site is made of zinc (Zn), 3d, 4d,
The present invention relates to a thermoelectric conversion material comprising at least one element selected from d transition metal elements and Group IIA elements, which is heat-treated in a reducing atmosphere to introduce oxygen defects.

【0014】第2の発明は、YbFe24類縁型層状構
造を有し、一般式ABOy(CO)m (2<y<3、1≦
m≦19)で表わされ、この一般式において、Aサイト
が、IIIB族元素、スカンジウム(Sc)、イットリウ
ム(Y)、ランタノイド元素の中から選ばれる少なくと
も1種の元素からなり、BサイトがIIIB族元素の中か
ら選ばれる少なくとも1種の元素からなり、Cサイト
が、亜鉛(Zn)、3d、4d、5d遷移金属元素、II
A族元素の中から選ばれる少なくとも1種の元素からな
り、さらに前記AサイトとBサイトの少なくとも一方
に、IVB族元素の中から選ばれる少なくとも1種の元素
を含有することを特徴とする熱電変換材料に関する。
The second invention has a YbFe 2 O 4 -related layered structure, and has the general formula ABO y (CO) m (2 <y <3, 1 ≦
m ≦ 19), and in this general formula, the A site is made of at least one element selected from group IIIB elements, scandium (Sc), yttrium (Y), and lanthanoid elements, and the B site is III At least one element selected from Group B elements, wherein the C site is zinc (Zn), 3d, 4d, 5d transition metal element, II
A thermoelectric element comprising at least one element selected from Group A elements, wherein at least one of the A site and the B site contains at least one element selected from Group IVB elements. Regarding conversion materials.

【0015】第3の発明は、前記熱電変換材料が還元性
雰囲気下で熱処理されて酸素欠陥が導入されていること
を特徴とする第2の発明の熱電変換材料に関する。
A third invention relates to the thermoelectric conversion material according to the second invention, wherein the thermoelectric conversion material is heat-treated in a reducing atmosphere to introduce oxygen defects.

【0016】第4の発明は、第1、第2又第3の発明の
熱電変換材料を用いたことを特徴とする熱電発電用素子
に関する。
A fourth aspect of the present invention relates to a thermoelectric power generation element using the thermoelectric conversion material according to the first, second or third aspect.

【0017】第5の発明は、第1、第2又第3の発明の
熱電変換材料を用いたことを特徴とする熱電冷却用素子
に関する。
A fifth invention relates to a thermoelectric cooling element characterized by using the thermoelectric conversion material according to the first, second or third invention.

【0018】第6の発明は、YbFe24類縁型層状構
造を有し、一般式ABOy(CO)m(2<y<3、1≦
m≦19)で表わされ、この一般式において、Aサイト
が、IIIB族元素、スカンジウム(Sc)、イットリウ
ム(Y)、ランタノイド元素の中から選ばれる少なくと
も1種の元素からなり、BサイトがIIIB族元素の中か
ら選ばれる少なくとも1種の元素からなり、Cサイト
が、亜鉛(Zn)、3d、4d、5d遷移金属元素、II
A族元素の中から選ばれる少なくとも1種の元素からな
る酸化物材料を形成した後、還元性雰囲気下で熱処理し
て酸素欠陥を導入することを特徴とする熱電変換材料の
製造方法に関する。
The sixth invention has a YbFe 2 O 4 -related layered structure, and has a general formula ABO y (CO) m (2 <y <3, 1 ≦
m ≦ 19), and in this general formula, the A site is made of at least one element selected from group IIIB elements, scandium (Sc), yttrium (Y), and lanthanoid elements, and the B site is III At least one element selected from Group B elements, wherein the C site is zinc (Zn), 3d, 4d, 5d transition metal element, II
The present invention relates to a method for producing a thermoelectric conversion material, comprising: forming an oxide material composed of at least one element selected from Group A elements, and then performing heat treatment in a reducing atmosphere to introduce oxygen defects.

【0019】第7の発明は、YbFe24類縁型層状構
造を有し、一般式ABOy(CO)m(2<y<3、1≦
m≦19)で表わされ、この一般式において、Aサイト
が、IIIB族元素、スカンジウム(Sc)、イットリウ
ム(Y)、ランタノイド元素の中から選ばれる少なくと
も1種の元素からなり、BサイトがIIIB族元素の中か
ら選ばれる少なくとも1種の元素からなり、Cサイト
が、亜鉛(Zn)、3d、4d、5d遷移金属元素、II
A族元素の中から選ばれる少なくとも1種の元素からな
り、さらに前記AサイトとBサイトの少なくとも一方
に、IVB族元素の中から選ばれる少なくとも1種の元素
を含有する酸化物材料を形成した後、還元性雰囲気下で
熱処理して酸素欠陥を導入することを特徴とする熱電変
換材料の製造方法に関する。
The seventh invention has a YbFe 2 O 4 -related layered structure, and has a general formula ABO y (CO) m (2 <y <3, 1 ≦
m ≦ 19), and in this general formula, the A site is made of at least one element selected from group IIIB elements, scandium (Sc), yttrium (Y), and lanthanoid elements, and the B site is III At least one element selected from Group B elements, wherein the C site is zinc (Zn), 3d, 4d, 5d transition metal element, II
An oxide material comprising at least one element selected from Group A elements and further containing at least one element selected from Group IVB elements on at least one of the A site and the B site is formed. Thereafter, the present invention relates to a method for producing a thermoelectric conversion material, which comprises heat-treating in a reducing atmosphere to introduce oxygen defects.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
を説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below.

【0021】本発明者らは、YbFe24類縁型層状構
造を有し、一般式InGaOy(ZnO)m (2<y<
3、1≦m≦19)で表わされる一連の化合物は、特定
元素の置換または還元性雰囲気下の熱処理を行なうこと
によって最適なキャリアの導入を行なうことが可能であ
り、そしてキャリア導入された上記酸化物熱電変換材料
は、室温付近であっても、電気抵抗率が1mΩcm程度
あるいはそれ以下で、かつゼーベック係数の絶対値が1
00μV/K程度あるいはそれ以上であり、室温から3
00℃付近で良好に使用可能であることを見出した。そ
して、さらにAサイトのIn及びBサイトのGaをそれ
ぞれ後述の元素で一部又は全てを置換した構造であって
も同様な性能を有することを見出した。
The present inventors have a YbFe 2 O 4 -related layered structure and have the general formula InGaO y (ZnO) m (2 <y <
3, 1 ≦ m ≦ 19), a series of compounds represented by the formula (1) can be subjected to optimal carrier introduction by substitution of a specific element or heat treatment in a reducing atmosphere. The oxide thermoelectric conversion material has an electric resistivity of about 1 mΩcm or less and an absolute value of the Seebeck coefficient of 1 even at around room temperature.
About 00 μV / K or more, and 3
It has been found that it can be used favorably at around 00 ° C. Further, they have found that the same performance can be obtained even in a structure in which In or A at the site and Ga at the B site are partially or entirely substituted by the elements described below.

【0022】本発明の熱電変換材料が有するYbFe2
4類縁型層状構造は、比較的電気伝導性の高い層と比
較的絶縁性が高い層が交互に積層した構造を有してお
り、このような層状構造は電気伝導性の高い層にキャリ
アを高濃度に導入して電気抵抗率を低下させる一方で、
ゼーベック係数はその絶対値が、低次元伝導性のため比
較的大きな値を維持することができる。本発明の特徴
は、このようなYbFe24類縁型層状構造の特性を利
用した点にある。
YbFe 2 contained in the thermoelectric conversion material of the present invention
The O 4 -related layered structure has a structure in which layers having a relatively high electrical conductivity and layers having a relatively high insulating property are alternately stacked. While introducing a high concentration to lower the electrical resistivity,
The Seebeck coefficient can maintain a relatively large absolute value due to low dimensional conductivity. The feature of the present invention resides in utilizing the characteristics of such a YbFe 2 O 4 -related layered structure.

【0023】YbFe24類縁型層状構造を有し、一般
式ABOy(CO)m (2<y<3、1≦m≦19)で表
わされる本発明の熱電変換材料は、A23からなる層
と、B 225からなる層が交互に積層した構造を持
ち、mが増加するとCOからなる層が加わっていく構造
を持っている。
YbFeTwoOFourHas an analogous layered structure,
Formula ABOy(CO)m (2 <y <3, 1 ≦ m ≦ 19)
The thermoelectric conversion material of the present invention is represented by ATwoOThreeLayer consisting of
And B TwoCTwoOFiveHas a structure in which layers consisting of
In addition, a structure in which a layer made of CO is added as m increases
have.

【0024】例えば、InGaOy(ZnO)m (2<
y<3、1≦m≦19)の場合、In23層は、酸素欠
損の形成や、Inと価数の異なる元素でInの一部を置
換することによりキャリアの導入が可能で、導入された
キャリアの移動度も大きく、電気抵抗を低下させること
が容易である。また、Ga225層は、元素添加によ
るキャリアをIn23層に導入する役割、また電気伝導
層を低次元化し、ゼーベック係数の絶対値を大きくする
役割を持っている。
For example, InGaO y (ZnO) m (2 <
In the case of y <3, 1 ≦ m ≦ 19), the In 2 O 3 layer can introduce carriers by forming oxygen vacancies or replacing part of In with an element having a valence different from that of In. The mobility of the introduced carriers is also high, and it is easy to lower the electric resistance. Further, the Ga 2 C 2 O 5 layer has a role of introducing carriers by adding elements into the In 2 O 3 layer, and also has a role of reducing the dimension of the electric conduction layer and increasing the absolute value of the Seebeck coefficient.

【0025】本発明の熱電変換材料の構成元素は、Aサ
イト、Bサイト及びCサイトがそれぞれインジウム、ガ
リウム及び亜鉛に限定されることはなく、Aサイトのイ
ンジウムは、価数が3価である元素でその一部または全
てを置き換えることができる。具体的には、インジウム
(In)と同族のIIIB族元素(ホウ素(B)、アルミ
ニウム(Al)、ガリウム(Ga)、タリウム(T
l))、スカンジウム(Sc)、イットリウム(Y)、
ランタノイド元素の中から選ばれる少なくとも1種の元
素である。
The constituent elements of the thermoelectric conversion material of the present invention are not limited to indium, gallium and zinc at the A site, the B site and the C site, respectively. Indium at the A site has a valence of three. Elements can replace some or all of them. Specifically, group IIIB elements (boron (B), aluminum (Al), gallium (Ga), thallium (T
l)), scandium (Sc), yttrium (Y),
It is at least one element selected from lanthanoid elements.

【0026】Bサイトのガリウム(Ga)についても同
族のIIIB族元素(ホウ素(B)、アルミニウム(A
l)、インジウム(In)、タリウム(Tl))の中か
ら選ばれる少なくとも1種の元素で一部または全てを置
換することが可能である。
For gallium (Ga) at the B site, the same group IIIB elements (boron (B), aluminum (A
l), indium (In), and thallium (Tl)) can be partially or entirely substituted with at least one element selected from the group consisting of:

【0027】Cサイトの亜鉛(Zn)については、2価
の価数をとる3d、4d、5d遷移金属(鉄(Fe)、
マンガン(Mn)、コバルト(Co)、ニッケル(N
i)、銅(Cu)等)や、IIA族元素(マグネシウム
(Mg)、カルシウム(Ca)、ストロンチウム(S
r)、バリウム(Ba)等)によって一部または全てを
置換することが可能である。
As for zinc (Zn) at the C site, 3d, 4d, 5d transition metals (iron (Fe),
Manganese (Mn), cobalt (Co), nickel (N
i), copper (Cu), etc.) and Group IIA elements (magnesium (Mg), calcium (Ca), strontium (S
r), barium (Ba), etc.).

【0028】これらの元素置換によって、性能指数が最
大値をとる温度をコントロールすることが可能であり、
実際の熱電変換を用いたシステムを作る上で、発生する
温度差、また動作温度に合わせて材料を選択することが
可能になる。
By these element substitutions, it is possible to control the temperature at which the figure of merit takes the maximum value,
In making a system using actual thermoelectric conversion, it becomes possible to select a material according to the generated temperature difference and the operating temperature.

【0029】以上に説明した基本構造を有する酸化物
に、キャリアを高濃度に導入した酸化物材料が本発明の
熱電変換材料となる。
An oxide material obtained by introducing a carrier at a high concentration into the oxide having the basic structure described above is the thermoelectric conversion material of the present invention.

【0030】本発明の熱電変換材料の製造には、公知の
YbFe24類縁型層状構造形成条件に従って、原料粉
末を混合した後に焼成する一般的なセラミックスの合成
法が適用できる。また、高温液化状態からの析出や、帯
溶融法、化学輸送法などを用いた単結晶として合成する
こともできる。さらに、スパッタ法、レーザー蒸着法、
真空蒸着法を用いて膜状とすることも可能である。
For the production of the thermoelectric conversion material of the present invention, a general method of synthesizing a ceramic, which is obtained by mixing the raw material powder and then firing the mixture in accordance with the known conditions for forming a YbFe 2 O 4 analogous layer structure, can be applied. Further, it can be synthesized as a single crystal using a precipitation from a high-temperature liquefied state, a zone melting method, a chemical transport method, or the like. In addition, sputtering, laser deposition,
It is also possible to form a film using a vacuum deposition method.

【0031】キャリアの導入方法としては、水素ガス、
窒素ガス、アルゴンガスなどの還元性雰囲気中で熱処理
を行なうことにより酸素欠損を導入する方法(以下「酸
素欠陥導入法」という)、又は前記基本構造を構成する
元素とは価数の異なる元素で特定の構成元素の一部ある
いは全てを置換することによってキャリアを導入する方
法(以下「元素置換法」という)、あるいはこれらの両
方を行なう方法がある。
As a method for introducing the carrier, hydrogen gas,
A method of introducing oxygen deficiency by heat treatment in a reducing atmosphere such as nitrogen gas or argon gas (hereinafter referred to as “oxygen deficiency introducing method”), or an element having a valence different from that of the element constituting the basic structure. There is a method of introducing a carrier by substituting part or all of a specific constituent element (hereinafter referred to as an “element substitution method”), or a method of performing both of them.

【0032】酸素欠陥導入法における還元性雰囲気は、
アルゴンガスによって作り出す方が好ましい。安全性が
比較的高く、還元速度も適度であり、プロセスが簡単に
なるためである。また、熱処理温度は、600℃〜90
0℃が好ましい。温度が低すぎると十分に脱酸素が行わ
れにくくなり、温度が高すぎると分解反応が起こり、金
属元素が析出しやすくなる。
The reducing atmosphere in the oxygen defect introduction method is as follows:
It is more preferable to use argon gas. This is because the safety is relatively high, the reduction rate is moderate, and the process is simplified. Further, the heat treatment temperature is from 600 ° C to 90 ° C.
0 ° C. is preferred. If the temperature is too low, it is difficult to sufficiently perform deoxygenation, and if the temperature is too high, a decomposition reaction occurs and the metal element is easily deposited.

【0033】元素置換法においては、Aサイトを構成す
る元素を、4価の価数をとるIVB族元素(ケイ素(S
i)、ゲルマニウム(Ge)、スズ(Sn)等)の中か
ら選ばれる少なくとも1種の元素で一部を置換すること
によりキャリアの導入が可能になる。また、Bサイトに
対しても同様に4価の価数をとるIVB族元素(ケイ素
(Si)、ゲルマニウム(Ge)、スズ(Sn)等)の
中から選ばれる少なくとも1種の元素で一部を置換する
ことによりキャリアの導入が可能になる。また、Aサイ
トとBサイトの両方の元素の一部をそれぞれIVB族元素
で置換してもよい。
In the element replacement method, the element constituting the A site is replaced with a tetravalent valence IVB group element (silicon (S
i), germanium (Ge), tin (Sn), etc.), the carrier can be introduced by partially substituting at least one element. Similarly, the B site is partly composed of at least one element selected from the group IVB elements (silicon (Si), germanium (Ge), tin (Sn), etc.) having a tetravalent valence. Is replaced, the introduction of carriers becomes possible. Further, a part of the elements at both the A site and the B site may be respectively replaced with an IVB group element.

【0034】このような元素置換法によりキャリアを導
入して伝導性を付与した後、還元性雰囲気中で熱処理を
行なう酸素欠陥導入法により更にキャリアを導入して電
気抵抗率を低下させ、最適化を行なうこともできる。
After the conductivity is imparted by introducing a carrier by such an element substitution method, the carrier is further introduced by an oxygen defect introduction method in which heat treatment is performed in a reducing atmosphere to lower the electric resistivity, thereby optimizing the conductivity. Can also be performed.

【0035】以上のようにして合成された熱電変換材料
を用いて、公知の方法によって、公知の素子構造を有す
る熱電発電用素子や熱電冷却用素子を作製することがで
きる。
Using the thermoelectric conversion material synthesized as described above, a thermoelectric power generation element and a thermoelectric cooling element having a known element structure can be manufactured by a known method.

【0036】[0036]

【実施例】以下、実施例により本発明をさらに具体的に
説明する。
The present invention will be described more specifically with reference to the following examples.

【0037】酸化インジウム(In23)、酸化ガリウ
ム(Ga23)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化スカンジウ
ム(Sc23)、酸化イットリウム(Y23)、酸化セ
リウム(CeO2)、酸化ネオジウム(Nd23)、酸
化ガドリニウム(Gd23)、酸化テルビウム(Tb4
7)、酸化ディスプロシウム(Dy23)、酸化エル
ビウム(Er23)、酸化ツリウム(Tm23)、酸化
イッテルビウム(Yb23)、酸化珪素(SiO2)、
酸化ゲルマニウム(GeO2)、酸化錫(SnO2)、酸
化アルミニウム(Al23)、酸化鉄(FeO)、酸化
マンガン(MnO)、酸化ニッケル(NiO)、酸化コ
バルト(CoO)、酸化銅(CuO)、炭酸マグネシウ
ム(MgCO3)、炭酸カルシウム(CaCO3)、炭酸
ストロンチウム(SrCO3)、炭酸バリウム(BaC
3)の粉末原料を、表1に示す所定モル比に秤量した
後十分に混合し、空気中で1000℃で5時間仮焼きし
た。その後、直径15mmの円盤状に1GPaでプレス
成形し、空気中1400℃で12時間焼結した。
Indium oxide (In 2 O 3 ), gallium oxide (Ga 2 O 3 ), zinc oxide (ZnO), scandium oxide (Sc 2 O 3 ), yttrium oxide (Y 2 O 3 ), cerium oxide (CeO 2) ), Neodymium oxide (Nd 2 O 3 ), gadolinium oxide (Gd 2 O 3 ), terbium oxide (Tb 4
O 7 ), dysprosium oxide (Dy 2 O 3 ), erbium oxide (Er 2 O 3 ), thulium oxide (Tm 2 O 3 ), ytterbium oxide (Yb 2 O 3 ), silicon oxide (SiO 2 ),
Germanium oxide (GeO 2 ), tin oxide (SnO 2 ), aluminum oxide (Al 2 O 3 ), iron oxide (FeO), manganese oxide (MnO), nickel oxide (NiO), cobalt oxide (CoO), copper oxide ( CuO), magnesium carbonate (MgCO 3 ), calcium carbonate (CaCO 3 ), strontium carbonate (SrCO 3 ), barium carbonate (BaC)
The O 3 ) powder material was weighed to a predetermined molar ratio shown in Table 1, mixed well, and calcined in air at 1000 ° C. for 5 hours. Then, it was press-formed into a disk having a diameter of 15 mm at 1 GPa and sintered in air at 1400 ° C. for 12 hours.

【0038】この時点で既に十分に導電性が得られてい
るものもあるが、さらにキャリアを導入するために、ア
ルゴン雰囲気中で800℃で24時間加熱還元処理を行
なった。
At this point, there is a case in which sufficient conductivity has already been obtained, but in order to further introduce a carrier, a heat reduction treatment was performed at 800 ° C. for 24 hours in an argon atmosphere.

【0039】X線回折による結晶構造解析を行なった結
果、試料No.1〜No.28については、一般式、I
nGaOy(ZnO)m (2<y<3、1≦m≦19)
において m=1、試料No.29〜No.32につい
てはm=2、試料No.33〜No.36についてはm
=3、試料No.37〜No.40についてはm=4、
試料No.41〜No.44についてはm=10、試料
No.45〜No.48についてはm=15、試料N
o.49〜No.52についてはm=19に対応する前
記のYbFe24類縁型層状構造であることが明らかで
あった。
As a result of the crystal structure analysis by X-ray diffraction, the sample No. 1 to No. For 28, the general formula:
nGaO y (ZnO) m (2 <y <3, 1 ≦ m ≦ 19)
In m = 1, sample No. 29-No. 32, m = 2, sample no. 33-No. M for 36
= 3, Sample No. 37-No. M = 4 for 40,
Sample No. 41-No. M = 10 for Sample No. 44; 45-No. M = 15 for 48, sample N
o. 49-No. It was clear that the sample No. 52 had the above-mentioned YbFe 2 O 4 -related layered structure corresponding to m = 19.

【0040】熱電材料としての評価は、ゼーベック係数
と電気抵抗率の測定によって行なった。ゼーベック係数
は、試料の両端に温度差をつけ、その温度差と発生した
熱起電力を測定する定常法で測定した。電気抵抗率は、
直流4端子法で行なった。また、測定は室温(28℃)
で行なった。熱電特性は、S2/ρで表わされる電力因
子で評価した。
The evaluation as a thermoelectric material was performed by measuring the Seebeck coefficient and the electric resistivity. The Seebeck coefficient was measured by a stationary method in which a temperature difference was applied to both ends of the sample, and the temperature difference and the generated thermoelectromotive force were measured. The electrical resistivity is
The test was performed by a DC four-terminal method. The measurement is performed at room temperature (28 ° C)
Performed in The thermoelectric properties were evaluated using a power factor represented by S 2 / ρ.

【0041】その結果を表1に示した。表中においてA
サイトは、一般式InGaOy(ZnO)m (2<y<
3、1≦m≦19)におけるInサイト、Bサイトはガ
リウムサイト、Cサイトは亜鉛サイトを表わしている。
なお、表中のNo.53は、比較のため加熱還元処理を
行なわない試料について同様の測定を行なったものであ
る。
Table 1 shows the results. A in the table
The site has the general formula InGaO y (ZnO) m (2 <y <
3, 1 ≦ m ≦ 19), the In site, the B site represent a gallium site, and the C site represents a zinc site.
In addition, No. in the table. Reference numeral 53 indicates the same measurement performed on a sample not subjected to the heat reduction treatment for comparison.

【0042】表1から明らかなように、本発明の一般式
InGaOy(ZnO)m (2<y<3、1≦m≦1
9)で表わされるYbFe24類縁型層状構造の物質に
対し、適当な加熱還元処理または元素置換を行うことに
よりキャリアを導入すると、電気抵抗率が著しく低下し
1mΩcm程度あるいはそれ以下になり、かつゼーベッ
ク係数の絶対値が100μV/K程度あるいはそれ以上
と大きな値を維持している。電力因子も大きな値を示し
ている。
As is clear from Table 1, the general formula InGaO y (ZnO) m (2 <y <3, 1 ≦ m ≦ 1)
When a carrier is introduced into the material of the YbFe 2 O 4 analogous layer structure represented by 9) by performing an appropriate heat reduction treatment or element substitution, the electric resistivity is remarkably reduced to about 1 mΩcm or less, In addition, the absolute value of the Seebeck coefficient is maintained as large as about 100 μV / K or more. The power factor also shows a large value.

【0043】[0043]

【表1】 [Table 1]

【0044】[0044]

【発明の効果】本発明によれば、一般式ABOy(C
O)m (2<y<3、1≦m≦19)で表わされるYb
Fe24類縁型層状構造を有する物質に対し、適当な加
熱還元処理または元素置換を行ってキャリアを導入する
ことにより、比較的安価で製造プロセスも容易であり、
材料の毒性も低く、室温付近で用いても従来材料より電
気抵抗が低く且つ熱電変換特性にも優れる熱電変換材料
が得られる。
According to the present invention, the general formula ABO y (C
O) Yb represented by m (2 <y <3, 1 ≦ m ≦ 19)
By introducing a carrier by performing an appropriate heat reduction treatment or element substitution on a substance having an Fe 2 O 4 analogous layered structure, the production process is relatively inexpensive, and the production process is easy.
A thermoelectric conversion material having low toxicity of the material, lower electric resistance than conventional materials and excellent thermoelectric conversion characteristics even when used near room temperature can be obtained.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 YbFe24類縁型層状構造を有し、 一般式ABOy(CO)m (2<y<3、1≦m≦19)
で表わされ、この一般式において、Aサイトが、IIIB
族元素、スカンジウム(Sc)、イットリウム(Y)、
ランタノイド元素の中から選ばれる少なくとも1種の元
素からなり、BサイトがIIIB族元素の中から選ばれる
少なくとも1種の元素からなり、Cサイトが、亜鉛(Z
n)、3d、4d、5d遷移金属元素、IIA族元素の中
から選ばれる少なくとも1種の元素からなり、 還元性雰囲気下で熱処理されて酸素欠陥が導入されたこ
とを特徴とする熱電変換材料。
1. An ABO y (CO) m (2 <y <3, 1 ≦ m ≦ 19) having a YbFe 2 O 4 analogous layer structure.
In this general formula, A site is represented by IIIB
Group elements, scandium (Sc), yttrium (Y),
The B site is made of at least one element selected from the group IIIB elements, and the C site is made of zinc (Z
n) a thermoelectric conversion material comprising at least one element selected from the group consisting of a 3d, 4d, 5d transition metal element and a Group IIA element, wherein heat treatment is performed in a reducing atmosphere to introduce oxygen defects. .
【請求項2】 YbFe24類縁型層状構造を有し、 一般式ABOy(CO)m (2<y<3、1≦m≦19)
で表わされ、この一般式において、Aサイトが、IIIB
族元素、スカンジウム(Sc)、イットリウム(Y)、
ランタノイド元素の中から選ばれる少なくとも1種の元
素からなり、BサイトがIIIB族元素の中から選ばれる
少なくとも1種の元素からなり、Cサイトが、亜鉛(Z
n)、3d、4d、5d遷移金属元素、IIA族元素の中
から選ばれる少なくとも1種の元素からなり、 さらに前記AサイトとBサイトの少なくとも一方に、IV
B族元素の中から選ばれる少なくとも1種の元素を含有
することを特徴とする熱電変換材料。
2. A compound having a YbFe 2 O 4 analogous layer structure and having the general formula ABO y (CO) m (2 <y <3, 1 ≦ m ≦ 19)
In this general formula, A site is represented by IIIB
Group elements, scandium (Sc), yttrium (Y),
The B site is made of at least one element selected from the group IIIB elements, and the C site is made of zinc (Z
n) at least one element selected from the group consisting of 3d, 4d, 5d transition metal elements and Group IIA elements, and at least one of the A site and the B site has an IV
A thermoelectric conversion material comprising at least one element selected from Group B elements.
【請求項3】 前記熱電変換材料が還元性雰囲気下で熱
処理されて酸素欠陥が導入されていることを特徴とする
請求項2記載の熱電変換材料。
3. The thermoelectric conversion material according to claim 2, wherein the thermoelectric conversion material is heat-treated in a reducing atmosphere to introduce oxygen defects.
【請求項4】 請求項1、2又3記載の熱電変換材料を
用いたことを特徴とする熱電発電用素子。
4. A thermoelectric power generation element using the thermoelectric conversion material according to claim 1, 2, or 3.
【請求項5】 請求項1、2又3記載の熱電変換材料を
用いたことを特徴とする熱電冷却用素子。
5. A thermoelectric cooling element using the thermoelectric conversion material according to claim 1, 2, or 3.
【請求項6】 YbFe24類縁型層状構造を有し、一
般式ABOy(CO)m (2<y<3、1≦m≦19)で
表わされ、この一般式において、Aサイトが、IIIB族
元素、スカンジウム(Sc)、イットリウム(Y)、ラ
ンタノイド元素の中から選ばれる少なくとも1種の元素
からなり、BサイトがIIIB族元素の中から選ばれる少
なくとも1種の元素からなり、Cサイトが、亜鉛(Z
n)、3d、4d、5d遷移金属元素、IIA族元素の中
から選ばれる少なくとも1種の元素からなる酸化物材料
を形成した後、還元性雰囲気下で熱処理して酸素欠陥を
導入することを特徴とする熱電変換材料の製造方法。
6. It has a YbFe 2 O 4 analogous layered structure and is represented by the general formula ABO y (CO) m (2 <y <3, 1 ≦ m ≦ 19). Is composed of at least one element selected from Group IIIB elements, scandium (Sc), yttrium (Y), and lanthanoid elements, and the B site is composed of at least one element selected from Group IIIB elements; C site is zinc (Z
n) forming an oxide material composed of at least one element selected from the group consisting of 3d, 4d, 5d transition metal elements and Group IIA elements, followed by heat treatment in a reducing atmosphere to introduce oxygen defects. A method for producing a thermoelectric conversion material.
【請求項7】 YbFe24類縁型層状構造を有し、一
般式ABOy(CO)m (2<y<3、1≦m≦19)で
表わされ、この一般式において、Aサイトが、IIIB族
元素、スカンジウム(Sc)、イットリウム(Y)、ラ
ンタノイド元素の中から選ばれる少なくとも1種の元素
からなり、BサイトがIIIB族元素の中から選ばれる少
なくとも1種の元素からなり、Cサイトが、亜鉛(Z
n)、3d、4d、5d遷移金属元素、IIA族元素の中
から選ばれる少なくとも1種の元素からなり、さらに前
記AサイトとBサイトの少なくとも一方に、IVB族元素
の中から選ばれる少なくとも1種の元素を含有する酸化
物材料を形成した後、還元性雰囲気下で熱処理して酸素
欠陥を導入することを特徴とする熱電変換材料の製造方
法。
7. It has a YbFe 2 O 4 analogous layered structure and is represented by the general formula ABO y (CO) m (2 <y <3, 1 ≦ m ≦ 19). Is composed of at least one element selected from Group IIIB elements, scandium (Sc), yttrium (Y), and lanthanoid elements, and the B site is composed of at least one element selected from Group IIIB elements; C site is zinc (Z
n) at least one element selected from the group consisting of 3d, 4d, 5d transition metal elements and Group IIA elements, and at least one of the A site and the B site includes at least one element selected from the group IVB elements. A method for producing a thermoelectric conversion material, comprising forming an oxide material containing a kind of element and then heat-treating it in a reducing atmosphere to introduce oxygen defects.
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