JP2001075609A - 生産ラインバッチ構成方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 バッチ設備でのロット待機時間の減少、バッ
チ充填率の向上、製品ウエハ製造の稼働率向上を期す生
産ラインバッチ構成方法および装置を提供すること。 【解決手段】 製造装置制御部７が製造装置１０からバ
ッチ設備の数工程前に次のロットの搬送要求受信時に、
ロット搬送制御部１が棚在庫テーブルを参照してマスタ
管理部８の上のディスパッチルールマスタに基づき棚制
御部５にロットの出庫指示を与え、棚８からロットを出
庫させ、ＡＶＧ制御部６がＡＶＧ９に対して棚８から出
庫されたロットを製造装置に搬送させ、作業終了後のロ
ットを上記とは逆の順序で製造装置１０から棚８に入庫
させ、棚８へのロットの入出庫のタイミングにより棚在
庫テーブルを棚在庫テーブル更新部２で更新し、設備ご
とのディスパッチルールマスタやロットの工程進捗デー
タを工程進捗管理部４に保存する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、生産ラインにお
けるバッチ装置へのロットの搬送に際して、バッチ設備
の数工程前に、次回バッチ設備での作業条件を考慮して
ディスパッチを行うことにより、バッチ設備でのバッチ
構成のためのロット待機時間を減少させ、バッチ充填率
を上げるとともに、バッチ構成単位をウエハの枚数単位
にして、搬送することにより、バッチ内の製品ウエハの
不足を補うダミーウエハを削減し、バッチ設備の製品ウ
エハを製造するための稼働率を向上するようにした生産
ラインバッチ構成方法および装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】複数のロットを集めてバッチ単位で処理
する処理工程を含む半導体製造工程において、バッチ内
のロットの編成、分割作業を行うための生産ラインバッ
チ構成は、従来より自動的に行われている。このような
ロットの編成、分割を行う装置として、たとえば、特開
平０７−２２４９０号公報（ロット自動編成装置及び方
法）には、整列、配置されて複数のロットを収納可能の
ストッカの前面に第１搬送ロボットを設置し、このスト
ッカの前面からロットの出し入れを行うようにしてい
る。また、このストッカの背面には第２の搬送ロボット
を設置し、ストッカの背面からロボットの出し入れを行
うようにしている。

【０００３】このステーション上のロットの識別情報を
ロット識別装置で読み取るとともに、第１、第２の搬送
ロボットがストッカに出し入れするロボットを複数個ス
テーションに載置し、このステーション上のロットを第
３の搬送ロボットにより搬送して第１、第２搬送ロボッ
トに受け渡しする。また、制御装置により、ストッカ、
ステーション、第１ないし第３搬送ロボットを統括制御
して、ロット識別装置で識別したロットの識別情報に基
づき、ステーション上のロットを所定のストッカの所定
位置に収納するとともに、次工程の処理条件、装置負
荷、処理の優先順位などのロット編成条件にしたがって
バッチ内のロットの編成、分類作業を自動的に行うよう
にすることが開示されている。

【０００４】この公報によるロット自動編成方法では、
複数個のロットを集めてバッチ単位で処理する複数の処
理工程を含む半導体生産工程において、ロット編成工程
により、次工程の処理条件、装置不可、処理の優先順位
などのロット編成条件にしたがってバッチ内のロットの
編成、分割作業を自動的に行うことが開示されている。
しかし、この公報の場合には、たとえば、４ロット処理
のバッチ工程について、あくまでロット単位で４ロット
のバッチ組を行うために、それぞれのロットの枚数が少
ない場合には、４ロット以上を組むことができないとい
う不都合がある。さらに、バッチの次工程条件を考慮し
てバッチ内の編成を自動的に行っていても、バッチ設備
へのロットの到着を制御するものでないから、バッチ設
備の数工程前の工程でバッチ設備でのバッチ構成待ち時
間を最小限に減少するようにロットの流し方をするよう
にしていないので、バッチ充填率の向上が期待できない
とともに、バッチ設備での処理効率、稼動率の向上が期
待できない。

【０００５】一方、特開平０８−３１７０８号公報（製
造工程着工指示システム）には、進捗管理と工程着工指
示の制御を司る主制御手段に所定のデータを入力するデ
ータ入力手段と主制御手段とデータ入力手段により入出
力されるデータを表示する表示手段とからなる複数の制
御手段とを回線で接続し、データ入力手段により更新さ
れるそれぞれの製造工程ごとの生産実績データを主制御
手段により管理することにより、製造工程ごとの半導体
ウエハの仕掛かり数を示す第１のテーブルを作成し、バ
ッチ処理工程において半導体ウエハを処理する前にデー
タ入力手段から所定の問い合わせデータを入力し、第１
のテーブルと所定のデータに基づいてバッチ処理工程で
の半導体ウエハの仕掛かり数とバッチ処理工程前後の工
程における半導体ウエハの仕掛かり数が示される第２の
データテーブルを主制御手段により生成し、第２のテー
ブルにおける停滞時間が最も長い半導体ウエハから優先
的に処理するように表示手段に表示することが開示され
ている。

【０００６】しかし、この公報の場合には、バッチ条件
を考慮してバッチ組の前工程でロットのディスパッチを
行うようにしていないので、バッチ設備での処理効率、
稼働率の向上という点で問題があり、効率的なライン運
用が不可能である。このように、いずれの従来の生産ラ
インのバッチ構成方法においても、次の処理ロットをバ
ッチに搬送する場合に、ロットを保管する棚からロット
の搬出をディスパッチルールにしたがって搬送する際
に、従来では、最大バッチ数をロット数で管理してい
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】このため、バッチロッ
ト数としては、ロットのウエハ枚数が最大埋っていない
場合に、製品ウエハに対する設備の稼働率は低くなり、
非効率的になるという課題がある。この場合、たとえ
ば、１ロット２５枚のウエハを最大４ロット同時に処理
できるバッチ設備に場合に、各ロットのウエハ枚数がす
べて２５枚のときには、バッチ充填率は１００％となる
が、仮に１０枚ずつの４ロットのときには、合計４０枚
のウエハでバッチ充填率は４０％となり、設備の稼働率
は低くなる。また、この場合、製品ウエハの不足分を補
うダミーウエハが大量に必要になるという課題もある。

【０００８】さらに、ロット数の管理に関して、後述す
るこの発明に適用する、図２の棚在庫テーブルおよび図
３に示すディスパッチルールマスタを援用して述べる
と、ロット数管理における最大バッチ数では、４（１ロ
ット最大２５枚）となり、仕掛日時からロットＡ，ロッ
トＣ、ロットＦ、ロットＧがバッチ構成対象となり、こ
のとき、それぞれのウエハ枚数は２５枚、１０枚、５
枚、３枚である。したがって、バッチ構成ロットの合計
枚数は４３枚まであり、１００枚には大きく不足する。

【０００９】加えて、バッチ設備の数工程前に、次回バ
ッチ設備での作業条件を考慮してディスパッチを行う場
合に、次の処理ロットの搬送要求としてロード要求をす
る製造装置がバッチ設備の場合に、同一作業条件のロッ
トを棚在庫テーブルから検索し、バッチ構成を行うとき
に、同一作業条件のロットが棚在庫テーブルに存在しな
い場合、あるいは存在しても最大バッチ数に満たない場
合には、バッチ効率が悪いために、該当する棚に同一作
業条件のロットが搬送されてくるのを一定時間待つこと
になる。この待ち時間は、バッチ設備の稼働率を落とす
原因となるとともに、一定時間待機した末に同一条件ロ
ットが該当棚に搬送されないと、最大バッチ数が満たさ
れない状態でバッチ構成を組むことになるため、バッチ
設備の稼動効率が悪くなるという課題がある。

【００１０】この発明は、上記従来の課題を解決するた
めになされたもので、バッチ設備でのバッチ構成のため
のロット待機時間を減少させ、バッチ充填率の向上を期
することができるとともに、バッチ内の製品ウエハの不
足を補うダミーウエハの削減を可能とし、かつバッチ設
備の製品ウエハを製造するための稼働率を向上すること
ができる生産ラインバッチ構成方法および装置を提供す
ることを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の生産ラインバッチ構成方法は、ロット搬
送制御部が製造装置からバッチ設備の数工程前に次の処
理ロットの搬送を要求するロード要求を受信すると棚在
庫テーブルを参照してマスタ管理部上のディスパッチル
ールマスタにしたがって設備ごとの指定されたディスパ
ッチルールを決定して棚制御部に搬送指示を出力する第
１ステップと、上記棚制御部が上記搬送指示を受けるこ
とによりロットを保管する棚に対するロットの入出庫の
動作制御を行う第２ステップと、上記ロットが上記棚に
対しする入出庫するタイミングにより上記棚在庫テーブ
ルを棚在庫テーブル更新部により更新するとともに、設
備ごとのディスパッチルールマスタやロットの工程進捗
データを工程進捗管理部に保持する第３ステップと、上
記棚制御部により上記棚から出庫されたロットを上記製
造装置に搬送し、かつ上記製造装置からロットを棚に回
収する自走型搬送車の制御を自走型搬送車制御部により
行う第４ステップとを含むことを特徴とする。

【００１２】そのため、ロット搬送制御部が製造装置か
らバッチ設備の数工程前に、次のロットの搬送を要求す
るロード要求を受信すると棚在庫テーブルを参照してマ
スタ管理部上のディスパッチルールマスタにしたがって
設備ごとの指定されたディスパッチルールを決定して棚
制御部に搬送指示を出力する。棚制御部が搬送指示を受
けると棚に対するロットの搬入と出庫の動作制御を行
い、ロットが棚に対して入出庫するタイミングにより棚
在庫テーブルを棚在庫テーブル更新部により更新すると
ともに、設備ごとのディスパッチルールマスタやロット
の工程進捗データを工程進捗管理部に保持する。ロット
搬送制御部により自走型搬送車制御部が制御されて棚か
ら出庫されたロットを自走型搬送車により設備装置に搬
送し、かつ設備装置からロットを棚に回収するようにし
たので、バッチ設備でのバッチ構成のためのロット待機
時間を減少させ、バッチ充填率の向上を期することがで
きるとともに、バッチ内の製品ウエハの不足を補うダミ
ーウエハの削減を可能とし、かつバッチ設備の製品ウエ
ハを製造するための稼働率を向上することができる。

【００１３】また、この発明の生産ラインバッチ構成装
置は、ロットを保管する棚内のロットの中からバッチ設
備の数工程前に製造装置に搬送するべきロット決定し、
棚制御部に対し搬送指示を出すロット搬送制御部と、上
記棚にロットが入庫されたタイミングや棚から出向され
たタイミングで棚在庫テーブルを更新する棚在庫テーブ
ル更新部と、設備ごとのディスパッチルールマスタやロ
ットの工程手順、作業条件などのマスタデータを管理す
るマスタ管理部と、ロットの工程進捗データを保持する
工程進捗管理部と、上記ロット搬送制御部からの指示に
より上記棚からロットを入出庫する動作を制御する棚制
御部と、上記ロット搬送制御部からの指示により棚から
出庫されたロットを製造装置に搬送し、かつ製造装置か
らロットを棚に回収する自走型搬送車の制御を行う自走
型搬送車制御部と、上記バッチ設備の数工程前に製造装
置から次のロットの搬送を要求するロード要求を上記ロ
ット搬送制御部に対して出力し、かつ作業が終了したロ
ットを上記製造装置から上記棚に戻すアンロード要求を
出力する製造装置制御部とを備えることを特徴とする。

【００１４】そのため、製造装置からバッチ設備の数工
程前に次のロットの搬送を要求するロード要求を製造装
置制御部がロット搬送制御部に送信すると、ロット搬送
制御部が棚内のロットの中から製造装置に搬送するロッ
ト決定し、棚制御部に対して搬送指示を出すと、棚制御
部は棚からロットを入出庫させ、ロット搬送制御部から
の指示により自走型搬送車制御部が自走型搬送車の制御
を行うことにより、自走型搬送車が棚から出庫されたロ
ットを製造装置に搬送し、製造装置の作業が終了する
と、製造装置制御部からアンロード要求をロット搬送制
御部に出力し、ロット搬送制御部からの指示により自走
型搬送車制御部が自走型搬送車の制御を行うことによ
り、製造装置から作業の終了したロットを自走型搬送車
に対して棚に入庫させる。棚在庫テーブル更新部は、棚
にロットが入庫されたタイミングや棚から出庫されたタ
イミングで棚在庫テーブルを更新し、マスタ管理部は設
備ごとのディスパッチルールマスタやロットの工程手
順、作業条件などのマスタデータを管理し、このロット
の工程進捗データを工程進捗管理部が保持するようにし
たので、バッチ設備でのバッチ構成のためのロット待機
時間を減少させ、バッチ充填率の向上を期することがで
きるとともに、バッチ内の製品ウエハの不足を補うダミ
ーウエハの削減を可能とし、かつバッチ設備の製品ウエ
ハを製造するための稼働率を向上することができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】次に、この発明による生産ライン
バッチ構成方法および装置の実施の形態について図面に
基づき説明する。図１は、この発明による生産ラインバ
ッチ構成装置の第１実施の形態を説明するための機能ブ
ロック図である。この図１において、ロット搬送制御部
１は、棚在庫保管テーブル更新部２、マスタ管理部３、
工程進捗管理部４とともにデータライン１１に接続され
ている。このデータライン１１には、棚制御部５、ＡＧ
Ｖ（自走型搬送車）制御部６、製造装置制御部７も接続
されている。

【００１６】ロット搬送制御部１は、ロットを保管する
棚８内のロットの中から、製造装置に搬送するべきロッ
トを決定し、棚制御部５に対して搬送指示を出すように
している。棚在庫更新部２は、棚８にロットが入庫され
たタイミングや、棚８からロットが出庫されたタイミン
グで棚在庫テーブルを更新する。この棚在庫テーブルは
図２に示されている。この棚在庫テーブルは、図２から
も明らかなように、各棚内の仕掛ロットＮＯ．、すなわ
ち、ロットＡ、ロットＢ、……ロットＩに対して「作業
条件」、「枚数（ウエハの枚数）」、「優先度」、「仕
掛日時」、「次バッチ条件」、「次バッチまでの工程
数」の各情報を管理するために登録されている。

【００１７】マスタ管理部３は、図３に示すディパッチ
ルールマスタにしたがって「設備Ａ」、「設備Ｂ」、
「設備Ｃ」，「設備Ｄ」ごとの「ディスパッチルー
ル」、「バッチ枚数」ロットの工程手順、作業条件など
のマスタデータを管理するようにしている。この図３に
示す「ディスパッチルール」として、たとえば、各「設
備Ａ」、「設備Ｂ」、「設備Ｃ」，「設備Ｄ」ごとに、
対応して「優先度順」、「仕掛日時順」、「仕掛日時
順」、「次パッチ条件優先」の順に搬送ロットを決定す
るようにしている。

【００１８】上記工程進捗管理部４は、ロットの工程進
捗データを保持用にしており、また、棚制御部５は、ロ
ット搬送制御部１からの指示により、棚８からロットを
入出庫する動作を行うようにしている。ＡＧＶ制御部６
はロット搬送制御部１からの指示により、棚８から出庫
されたロットを製造装置１０に搬送したり、製造装置１
０から作業の終了したロットを棚に回収するＡＧＶ９の
制御を行う。製造装置制御部７は、ロット搬送制御部１
に対して、製造装置１０からバッチ設備の数工程前に次
のロットの搬送を要求するロード要求や、作業が終了し
たロットを棚８へ戻すアンロード要求を出す。

【００１９】次に、以上のように構成されたこの発明に
よる生産ラインバッチ構成装置の第１実施の形態の動作
について説明する。まず、棚８から製造装置１０にロッ
トを搬送する場合から説明する。この場合は、図３に示
したディスパッチルールマスタにしたがって、製造装置
制御部７からロット搬送制御部１に対して次のロットの
搬送を要求するロード要求を出力することにより、この
ロード要求をロット搬送制御部１が入力すると、ロット
搬送制御部１は棚８内に保管されているロットの中から
製造装置１０に搬送すべきロットを決定して、棚制御部
５に対してロットの搬送指示を出力する。

【００２０】これにより、棚制御部５は棚８から指示さ
れたロットを保管する棚８内のロットの中から取り出し
て棚８からロットを出庫する。このとき、ロット搬送制
御部１からＡＶＧ制御部６に対して、棚８から出庫され
たロットを製造装置１０に搬送する指示が出され、これ
によりＡＶＧ制御部６がＡＶＧ９の駆動制御を行うこと
により、ＡＶＧ９が棚８から出庫されたロットを製造装
置１０に搬送する。このような製造装置１０へのロット
の搬送時において、棚８からロットが出庫されると、こ
の出庫したタイミングで、棚在庫テーブル更新部２が棚
在庫テーブルを更新する。また、ロットが製造装置１０
に搬送されることにより、ロットの作業工程の進捗状況
に応じたロットの工程進捗データを工程進捗管理部４に
より保持する。

【００２１】次に、製造装置１０から作業工程の終了し
たロットを棚８に入庫する場合の動作について説明す
る。このロットが上記のように、製造装置１０に搬送さ
れて、作業が終了すると、製造装置制御部７からロット
搬送制御部１に対して、作業の終了したロットを棚８に
返送するアンロード要求を出力する。ロット搬送制御部
１は、このアンロード要求を入力することにより、ＡＶ
Ｇ制御部６に対して作業工程の終了したロットを製造装
置１０から搬出させるように指令を出力する。

【００２２】この指令を受けたＡＧＶ制御部６は、ＡＧ
Ｖ９に対して製造装置１０から作業工程の終了したロッ
トを搬出するように駆動制御を行う。ＡＧＶ９が製造装
置１０からこのロットを搬出して棚８に搬送すると、棚
制御部５はロットを棚８に入庫させる。この棚８へのロ
ットの入庫時にも、そのタイミングで棚在庫テーブルの
更新を行う。

【００２３】次に、この発明による生産ラインバッチ構
成装置の第２実施の形態について説明する。図１に示し
たこの発明による生産ラインバッチ構成装置の第１実施
の形態では、棚制御部５、ＡＧＶ制御部６、製造装置制
御部７、棚８、ＡＧＶ９、製造装置１０はそれぞれ一つ
ずつで構成されているが、それぞれＮ個（Ｎは整数）に
拡張することが可能である。また、ラインが複数のフロ
アで構成されている場合は、ロット搬送制御部１、棚在
庫テーブル更新部２をフロアごとに用意し、それぞれの
フロアの製造装置、ＡＧＶ、棚のロットの搬送制御を分
担するような構成も可能である。

【００２４】次に、上記のような動作をするこの発明に
よる生産ラインバッチ装置に適用して、この発明による
生産ラインバッチ構成方法の第１実施の形態について説
明する。図２に示す棚在庫テーブルにより、すでに述べ
たように、各棚内の仕掛ロットの「作業条件」、「ウエ
ハ枚数」、「優先度」、「仕掛日時」、「次バッチ条
件」、「次パットまでの工定数」の各情報が管理されて
いる。ロットが棚８に入庫されたタイミング、または、
棚８から出庫されたタイミングで、棚在庫テーブル更新
部２が棚在庫テーブルを更新する。

【００２５】通常、製造装置１０から次の処理ロットの
搬送を要求するロード要求がロット搬送制御部１に送信
されると、ロット搬送制御部１は、棚在庫テーブルか
ら、棚８内の仕掛ロットの優先度と仕掛日時を参照し、
マスタ管理部３上のディスパッチルールマスタ（図３）
にしたがって、設備ごとの指定されたディスパッチルー
ル、たとえば、「優先度順」や「仕掛日時順」に搬送ロ
ットを決定し、棚制御部５に搬送指示を出す。

【００２６】ロード要求を送信している製造装置１０が
バッチ設備の場合は、上記ロジックで搬送ロットを１ロ
ット決定した後、同一作業条件のロットを棚在庫テーブ
ルから検索し、バッチ構成を行う。このとき、この第１
実施の形態では、特に、図３のディスパッチテーブルで
管理する各設備の最大バッチ構成数をウエハ枚数で管理
する。

【００２７】このため、たとえば、１００枚同時に処理
できるバッチ製造装置（図３の「設備Ｂ」）の属するロ
ットを保管する棚８の棚在庫テーブルが図２の状況であ
ったときに、この棚在庫テーブルの「作業条件」が「０
００１」のバッチ構成を行おうとすると、この第１実施
の形態では、ウエハ単位でバッチ構成を行うため、ロッ
ト数に関係なくロットＡ（ロット枚数２５）、ロットＣ
（ロット枚数１０）、ロットＦ（ロット枚数５）、ロッ
トＧ（ロット枚数３）、ロットＨ（ロット枚数２５）、
ロットＩ（ロット枚数２０）がバッチ構成対象になる。
この場合、合計ロット枚数は８８枚となり、前述のロッ
ト数管理に比較して、バッチ充填率が大きく向上すると
ともに、ダミーウエハを減少させることができる。

【００２８】次に、バッチ設備の数工程前に、次回バッ
チ設備での作業条件を考慮してディスパッチを行う方法
について説明する。前述のとおり、ロード要求を送信し
ている製造装置がバッチ設備の場合は、同一作業条件の
ロットを棚在庫テーブルから検索し、バッチ構成を行
う。このとき、同一作業条件のロットが棚在庫テーブル
に存在しない場合、あるいは、存在しても最大バッチ数
に満たない場合は、すでに述べたようにバッチ効率が悪
いために、該当棚に同一作業条件ロットが搬送されてく
るのを一定時間待つことになる。

【００２９】この結果、この待ち時間は、バッチ設備の
稼働率を落とす原因になり、また、一定時間待機した末
に同一条件のロットが該当棚に搬送されなかった場合
は、最大バッチ数が満たされていない状態でバッチ構成
を組むことになるため、バッチ設備の稼働効率が非常に
悪くなる。そこで、この発明のバッチ構成方法の第１実
施の形態では、バッチ設備の数工程前で次バッチ設備で
の作業条件を考慮してディスパッチを行うことにより、
バッチ構成のためのロット待機時間を減少させ、バッチ
充填率を上げることを実現する。

【００３０】このため、まず、製造設備１０から次のロ
ットの搬送を要求するロード要求がロット搬送制御部１
に送信されると、ロット搬送制御部１は、棚在庫テーブ
ルの棚内仕掛ロットの中から、マスタ管理部３上の図３
に示すディスパッチルールマスタにしたがって棚制御部
５に搬送指示を出す。このとき、ディスパッチルール
が、図３のディスパッチルールマスタにおける「設備
Ｄ」で示すように「次バッチ条件優先」になっていた場
合は、棚在庫テーブル中の「次バッチ条件」欄を参照
し、条件が同じものをグルーピングして、連続してロッ
トをディスパッチする。

【００３１】図２の棚在庫テーブルの例では、ロット
Ｂ、ロットＣ、ロットＥ、ロットＧの「次バッチ条件」
が「０００２」で同一のため、グルーピングされ、連続
して処理される。このようにすることにより、各ロット
が次のバッチ設備の仕掛になったときに、条件が同一の
ものが揃うため、バッチ構成のための待機時間が発生す
ることなく、設備でのバッチ処理を行うことが可能にな
る。

【００３２】なお、ロットごとの工程手順の違いによ
り、次回のバッチ設備までの工程数が異なる場合があ
る。この場合、バッチの数工程前で上記のグルーピング
を行っても、バッチ設備に仕掛かる時には時間差が生
じ、バッチ構成ができない場合が考えられる。このた
め、図２に示すように、棚在庫テーブル更新時に次バッ
チまでの工程数をカウントし、次バッチ条件のグルーピ
ング時には、この工程数が最大のものからディスパッチ
するようにする。

【００３３】たとえば、図２の例では、「次バッチ条
件」が「０００２」でグルーピングできるロットが、ロ
ットＢ、ロットＣ、ロットＥ、ロットＧと存在するが、
その中で「次バッチまでの工程数」が「４」で最も大き
いロットＢから順に、ディスパッチする。なお、その際
に、グルーピングされたロットの中で最も少ない工程数
を基準にし、それよりも多い工程数のロットには優先フ
ラグの情報を保持する。たとえば、上記ロットＢ、ロッ
トＣ、ロットＥ、ロットＧの４ロットでは、基準工程数
が「２」になるため、ロットＢとロットＧに優先フラグ
を保持する。

【００３４】優先フラグ情報を保持したロットは、グル
ーピングされた他のロットに比べ、次のバッチ設備まで
に多くの工程数を進むが、これらの工程では、ロット搬
送制御部１が優先フラグ情報を保持したロットを優先的
にディスパッチし、また、優先フラグを保持したロット
が複数存在する場合は、工程数が大きいものからディス
パッチする。上記から明らかなように、この発明による
生産ラインバッチ構成方法により、バッチ設備に仕掛か
る時間差は少なくなり、バッチ構成のための待機時間が
最小限に抑えられる。

【００３５】なお、この発明による生産ラインバッチ構
成方法を上記この発明による生産ラインバッチ構成装置
の第２実施の形態にも適用することができるのはいうま
でもない。

【００３６】

【発明の効果】以上のように、この発明による生産ライ
ンバッチ構成方法によれば、バッチ設備の数工程前に次
回バッチ設備での作業条件を考慮してディスパッチを行
うようにしたので、バッチ設備でのバッチ構成のための
ロット待機時間を減少させ、バッチ充填率の向上を期す
ることができるとともに、バッチ内の製品ウエハの不足
を補うダミーウエハの削減を可能とし、かつバッチ設備
の製品ウエハを製造するための稼働率を向上することが
できる。

【００３７】また、この発明の生産ラインバッチ構成装
置によれば、ロット搬送制御部が棚内のロットの中から
製造装置に搬送するロットをバッチ設備の数工程前に決
定し、棚制御部に対して棚からロットを入出庫させ、自
走型搬送車により棚から出庫されたロットを製造装置に
搬送し、製造装置からロットを棚に入庫させ、マスタ管
理部により棚に対するロットの入出庫タイミングで棚在
庫テーブルを更新し、設備ごとのディスパッチルールマ
スタやロットの工程手順、作業条件などのマスタデータ
を管理し、ロットの工程進捗データを工程進捗管理部で
保持するようにしたので、バッチ設備でのバッチ構成の
ためのロット待機時間を減少させ、バッチ充填率の向上
を期することができるとともに、バッチ内の製品ウエハ
の不足を補うダミーウエハの削減を可能とし、かつバッ
チ設備の製品ウエハを製造するための稼働率を向上する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による生産ラインバッチ構成装置の第
１実施の形態の構成を示す機能ブロック図である。

【図２】この発明による生産ラインバッチ構成方法およ
び装置に適用される棚在庫テーブルを示す説明図であ
る。

【図３】この発明による生産ラインバッチ構成方法およ
び装置に適用されるディスパッチルールマスタを示す説
明図である。

【符号の説明】

１……ロット搬送制御部、２……棚在庫テーブル更新
部、３……マスタ管理部、４……工程進捗管理部、５…
…棚制御部、６……ＡＧＶ（自走型搬送車）制御部、７
……製造装置制御部、８……棚、９……ＡＧＶ、１０…
…製造装置。

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ロット搬送制御部が製造装置からバッチ
   設備の数工程前に次の処理ロットの搬送を要求するロー
   ド要求を受信すると棚在庫テーブルを参照してマスタ管
   理部上のディスパッチルールマスタにしたがって設備ご
   との指定されたディスパッチルールを決定して棚制御部
   に搬送指示を出力する第１ステップと、 上記棚制御部が上記搬送指示を受けることによりロット
   を保管する棚に対するロットの入出庫の動作制御を行う
   第２ステップと、 上記ロットが上記棚に対する入出庫するタイミングによ
   り上記棚在庫テーブルを棚在庫テーブル更新部により更
   新するとともに、設備ごとのディスパッチルールマスタ
   やロットの工程進捗データを工程進捗管理部に保持する
   第３ステップと、 上記棚制御部により上記棚から出庫されたロットを上記
   製造装置に搬送し、かつ上記製造装置からロットを棚に
   回収する自走型搬送車の制御を自走型搬送車制御部によ
   り行う第４ステップと、 を含むことを特徴とする生産ラインバッチ構成方法。
2. 【請求項２】 上記棚在庫テーブルは、仕掛ロットに対
   する各棚内の仕掛ロットの作業条件、ウエハ枚数、優先
   度、仕掛日時、次バッチ条件の各情報を管理することを
   特徴とする請求項１記載の生産ラインバッチ構成方法。
3. 【請求項３】 上記製造装置は、バッチ設備の場合にお
   いて、上記搬送するロットを１ロット決定した後に同一
   作業条件のロットを上記棚在庫テーブルから検索して、
   バッチ構成を行うことを特徴とする請求項１記載の生産
   ライン構成方法。
4. 【請求項４】 上記ディスパッチルールマスタは、各設
   備に対するディスパッチルールとバッチ数を管理するこ
   とを特徴とする請求項１記載の生産ラインバッチ構成方
   法。
5. 【請求項５】 上記ディスパッチルールは、優先度順、
   仕掛日時順、次バッチ条件優先の各情報を含むことを特
   徴とする請求項４記載の生産ラインバッチ構成方法。
6. 【請求項６】 上記ロット搬送制御部は、上記ディスパ
   ッチルールとして次バッチ条件優先になっている場合に
   おいて、上記棚在庫テーブル中の次バッチ条件欄を参照
   して条件の同じものをグループ化して連続してロットを
   ディスパッチすることを特徴とする請求項４記載の生産
   ラインバッチ構成方法。
7. 【請求項７】 上記棚在庫テーブル更新部は、上記在庫
   管理テーブル更新時に次のバッチまでの工程数をカウン
   トして、次バッチ条件のグルーピング時にこの工程数が
   最大のものからディスパッチすることを特徴とする請求
   項１記載の生産ラインバッチ構成方法。
8. 【請求項８】 ロットを保管する棚内のロットの中から
   バッチ設備の数工程前に製造装置に搬送するべきロット
   決定し、棚制御部に対し搬送指示を出すロット搬送制御
   部と、 上記棚にロットが入庫されたタイミングや棚から出向さ
   れたタイミングで棚在庫テーブルを更新する棚在庫テー
   ブル更新部と、 設備ごとのディスパッチルールマスタやロットの工程手
   順、作業条件などのマスタデータを管理するマスタ管理
   部と、 ロットの工程進捗データを保持する工程進捗管理部と、 上記ロット搬送制御部からの指示により上記棚からロッ
   トを入出庫する動作を制御する棚制御部と、 上記ロット搬送制御部からの指示により棚から出庫され
   たロットを製造装置に搬送し、かつ製造装置からロット
   を棚に回収する自走型搬送車の制御を行う自走型搬送車
   制御部と、 上記製造装置からバッチ設備の数工程前に次のロットの
   搬送を要求するロード要求を上記ロット搬送制御部に対
   して出力し、かつ作業が終了したロットを上記製造装置
   から上記棚に戻すアンロード要求を出力する製造装置制
   御部と、 を備えることを特徴とする生産ラインバッチ構成装置。
9. 【請求項９】 上記棚在庫テーブルは、仕掛ロットに対
   する各棚内の仕掛ロットの作業条件、ウエハ枚数、優先
   度、仕掛日時、次バッチ条件の各情報を管理することを
   特徴とする請求項８記載の生産ラインバッチ構成装置。
10. 【請求項１０】 上記製造装置は、バッチ設備の場合に
    おいて、上記搬送するロットを１ロット決定した後に同
    一作業条件のロットを上記棚在庫テーブルから検索し
    て、バッチ構成を行うことを特徴とする請求項８記載の
    生産ラインバッチ構成装置。
11. 【請求項１１】 上記ディスパッチルールマスタは、各
    設備に対するディスパッチルールとバッチ数を管理する
    ことを特徴とする請求項８記載の生産ラインバッチ構成
    装置。
12. 【請求項１２】 上記ディスパッチルールは、優先度
    順、仕掛日時順、次バッチ条件優先の各情報を含むこと
    を特徴とする請求項１１記載の生産ラインバッチ構成装
    置。
13. 【請求項１３】 上記ロット搬送制御部は、上記ディス
    パッチルールとして次バッチ条件優先になっている場合
    に、上記棚在庫テーブル中の次バッチ条件欄を参照して
    条件の同じものをグループ化して連続してロットをディ
    スパッチすることを特徴とする請求項１１記載の生産ラ
    インバッチ構成装置。
14. 【請求項１４】 上記棚在庫テーブル更新部は、上記在
    庫管理テーブル更新時に次のバッチまでの工程数をカウ
    ントして、次バッチ条件のグルーピング時にこの工程数
    が最大のものからディスパッチすることを特徴とする請
    求項８記載の生産ラインバッチ構成装置。
15. 【請求項１５】 上記棚制御部と、上記自走型搬送車制
    御部と、上記製造装置制御部と、上記棚と、上記自走型
    搬送車と、上記製造装置は、それぞれ複数個使用される
    ことを特徴とする請求項８記載の生産ラインバッチ構成
    装置。
16. 【請求項１６】 上記ロット搬送制御部と、上記棚在庫
    テーブル更新部は、ラインが複数のフロアで構成されて
    いる場合において、フロアごとにそれぞれの製造装置、
    自走型搬送車、棚のロットの搬送制御を分担するように
    構成されることを特徴とする請求項８記載の生産ライン
    バッチ構成装置。