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JP2001068768A - 光励起固体レーザ発振器 - Google Patents

光励起固体レーザ発振器

Info

Publication number
JP2001068768A
JP2001068768A JP23885599A JP23885599A JP2001068768A JP 2001068768 A JP2001068768 A JP 2001068768A JP 23885599 A JP23885599 A JP 23885599A JP 23885599 A JP23885599 A JP 23885599A JP 2001068768 A JP2001068768 A JP 2001068768A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
laser
laser medium
optical
excitation light
medium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP23885599A
Other languages
English (en)
Inventor
Minoru Kojima
実 小島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Amada Co Ltd
Amada Engineering Center Co Ltd
Original Assignee
Amada Co Ltd
Amada Engineering Center Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Amada Co Ltd, Amada Engineering Center Co Ltd filed Critical Amada Co Ltd
Priority to JP23885599A priority Critical patent/JP2001068768A/ja
Publication of JP2001068768A publication Critical patent/JP2001068768A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 共振器システムの直列結合による高出力化が
可能な光励起固体レーザ発振器の提供。 【解決手段】 レーザ媒質3を励起する励起光源に半導
体レーザ9を用いた光励起固体レーザ発振器1におい
て、前記励起光源からの励起光11をレーザ媒質中へ集
光する光学素子13を前記レーザ媒質の上方空間に1個
と下方空間に2個設け、該上方下方の合わせて3個の光
学素子と前記励起光源とで閉じた励起用光学系を構成
し、かつ前記レーザ媒質の上方空間と下方空間とに該レ
ーザ媒質にほぼ垂直な光軸27を有する光共振器25を
構成する光学素子を設けたことを特徴とする光励起固体
レーザ発振器。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は光励起固体レーザ発
振器に関する。さらに詳細には、固体レーザ発振器を複
数段連結することで容易に高出力が得られる光励起固体
レーザ発振器に関する。
【0002】
【従来の技術】図4は、Apllied Physics B58,365-372
(1994)に開示されている光励起固体レーザ発振器の概要
を示したものである。
【0003】図4に示すように、レーザ媒質(Yb:Y
AG)41が冷却可能な金属製ヒートシンク42上に配
置してある。このレーザ媒質41の裏面には後述の励起
光44を全反射する反射膜(図示省略)がコーティング
してある。
【0004】レーザ媒質41の左側斜め上方にはレーザ
光を出射する光ファイバの出射端43が設けてある。ま
た、ここから出射される励起光44をレーザ媒質41の
反射膜上に入射角iで集光する集光レンズ45が設けて
ある。
【0005】レーザ媒質41に入射された励起光44は
レーザ媒質41を励起するとき一部が吸収され、吸収さ
れなかった励起光44は上述の反射膜で反射角r(r=
i)で反射され、このとき再びレーザ媒質41に一部が
吸収される。
【0006】この段階で吸収されなかった残余の励起光
44は、レーザ媒質41の右側斜め上方に設けた集光レ
ンズ46を通過してほぼ平行となり、背後に設けた平面
鏡47に反射され、往路を逆進して再度レーザ媒質41
に入射される様に設けてある。
【0007】この結果、励起光44はレーザ媒質41を
二回通過することになり、この間に計4回の励起が行わ
れる様に構成してある。
【0008】また、前記レーザ媒質41の裏面には、発
振光48に対しても全反射するコーティングもなされて
おり、レーザ媒質41の前側上方に配置した全反射鏡4
9と出力鏡51とで構成するV字型の光路を有する光共
振器でレーザ発振をする様に設けてある。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上述の如き従来の光励
起固体レーザ発振器のV字型光路の共振器構造では共振
器システムの直列結合による高出力化ができないという
問題がある。
【0010】本発明は上述の如き問題を解決するために
成されたものであり、本発明の課題は、共振器システム
の直列結合による高出力化が可能な光励起固体レーザ発
振器を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する手段
として請求項1に記載の光励起固体レーザ発振器は、レ
ーザ媒質を励起する励起光源に半導体レーザを用いた光
励起固体レーザ発振器において、前記励起光源からの励
起光をレーザ媒質中へ集光する光学素子を前記レーザ媒
質の表側上方空間に1個と裏側下方空間に2個設け、該
上方下方の合わせて3個の光学素子と前記励起光源とで
閉じた励起用光学系を構成し、かつ前記レーザ媒質の表
側上方空間と裏側下方空間とにレーザ媒質にほぼ垂直な
光軸を有する光共振器を構成する光学素子を設けことを
要旨とするものである。
【0012】請求項2に記載の光励起固体レーザ発振器
は、請求項1に記載の光励起固体レーザ発振器におい
て、前記レーザ媒質の形状を板状に形成すると共に、該
レーザ媒質を励起する前記励起光源と励起用光学系とを
複数組設けたことを要旨とするものである。
【0013】請求項3に記載の光励起固体レーザ発振器
は、請求項1または請求項2に記載の光励起固体レーザ
発振器において、前記レーザ媒質を透明な熱良導体基板
上に設けると共に、該熱良導体基板をヒートシンクに支
持して設けたことを要旨とするものである。
【0014】請求項4に記載の光励起固体レーザ発振器
は、請求項1〜請求項3に記載の光励起固体レーザ発振
器において、前記光共振器の光軸上に複数個のレーザ媒
質を離隔して設け、該複数個のレーザ媒質を励起する前
記励起光源と励起用光学系とを個別に設けたことを要旨
とするものである。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
によって説明する。
【0016】図1は本発明に係る光励起固体レーザ発振
器置の第一実施例の説明図である。光励起固体レーザ発
振器1は、レーザ媒質とこのレーザ媒質を励起する励起
手段および光共振器などで構成してある。
【0017】レーザ媒質3は、例えばYb:YAG(Ytt
rium Alminium Garnet)の結晶からなり、形状は板状を
なし、表面および裏面ともに励起光の波長に対して無反
射のコーティングを施してある。また、レーザ媒質3は
レーザ発振によるレーザ光および励起光の波長に対して
透明であり、かつ熱伝導率の大きい、例えばサファイア
またはダイアモンドなどからなる板状の熱伝導性基板5
の上に光学的に接着してある。さらに熱伝導性基板5は
冷却可能な金属製のヒートシンク7によってその円周部
を支持されている。
【0018】レーザ媒質3の左側斜め上方には励起用の
半導体レーザ9が設けてあり、この半導体レーザ9から
出射される励起用のレーザ光11aを前記レーザ媒質3
の厚み方向のほぼ中心部Oに集光照射する光学素子とし
ての集光レンズ13が設けてある。
【0019】また、レーザ媒質3と熱伝導性基板5とを
透過して発散光となったレーザ光11bを受けて、ほぼ
平行なレーザ光11cとして前記ヒートシンク7に直交
する方向に反射する光学素子としての第一球面鏡15が
レーザ媒質3の右側斜め下に設けてある。レーザ媒質3
の右側斜め上方で、かつ第一球面鏡15の上方には、第
一球面鏡15からのレーザ光11cを受けて、レーザ媒
質3の中心部Oに集光照射する光学素子としての第二球
面鏡17が設けてある。
【0020】なお、第一球面鏡15と第二球面鏡17と
の間に位置する前記ヒートシンク7には平行光線11c
が通過可能な開口19が設けてある。
【0021】また、レーザ媒質3の左側斜め下方には、
前記第二球面鏡17からのレーザ光11dがレーザ媒質
3と熱伝導性基板5とを透過して発散光となったレーザ
光11eを受けて前記レーザ媒質3の中心部Oに集光照
射する光学素子としての第三球面鏡21が設けてある。
そして、前記レーザ媒質3の板面に直交する方向の上下
の空間には、例えば、凹面鏡で構成した光学素子として
の出力鏡23aと全反射鏡23bからなる光共振器25
が設けてある。
【0022】上記構成において、前記半導体レーザ9か
らの励起光11aは、レーザ媒質3(YAG)の中心部
Oに集光され、励起光11aの一部がレーザ媒質3に吸
収されてレーザ媒質3の中の活性物質(イッテルビウム
イオン:Yb3+)を励起する。
【0023】レーザ媒質3を透過した励起光11bは、
第一球面鏡15、第二球面鏡17を経て再びレーザ媒質
3の中心部Oに集光され、励起光11dの一部がレーザ
媒質3に吸収され再度レーザ媒質3の中の活性物質を励
起する。ここで吸収されずにレーザ媒質3を透過した励
起光11eは、第三球面鏡21によって、レーザ媒質3
の中心部Oに集光されると共に、往路の光路を逆進して
レーザ媒質3を裏面から二回通過することになる。
【0024】すなわち、半導体レーザ9からの励起光は
レーザ媒質3を表面から二回、裏面から二回の計四回通
過させることができる。このため、レーザ媒質3の中心
部Oの励起密度は高くなり、低い閾値でのレーザ発振が
可能となる。レーザ出力は光共振器25の光軸27方向
に出力鏡23aから出力される。
【0025】図1に示した2次元的な光学系の配置は、
レーザ媒質3一個に対して3次元的に複数組配置するこ
とが可能である。
【0026】図2に示す光励起固体レーザ発振器2は、
励起用光学系を光共振器の光軸を中心に120°間隔で
配置した第二実施例をに示したものである。なお、図2
は前記光共振器25の出力鏡23a側から見た図であ
り、集光レンズ13および下側の第一球面鏡15、第三
球面鏡21などは図示を省略してある。また、図1と同
一の部品には同一の参照番号を付し詳細な説明を省略し
てある。
【0027】第二実施例によれば、レーザ媒質3を取り
囲む様に三組のレーザ励起システムを配置することによ
り励起エネルギー密度を増大しレーザ出力を上げること
が容易にできる。また、レーザ媒質3は発振したレーザ
光が表面から裏面に透過可能な形状であるので、このシ
ステムを直列に複数段配置することが可能である。
【0028】図3は第三実施例を示したものであり、上
述の図1の光励起固体レーザ発振器1または図2の光励
起固体レーザ発振器2を直列に連結したレーザ発振器の
例である。なお、図1および図2と同一の部品には同一
の参照番号を付し詳細な説明を省略してある。
【0029】この第三実施例においては、光共振器の光
軸27上に複数個(実施例では2個)のレーザ媒質3を
離隔して設け、この複数個(実施例では2個)のレーザ
媒質3を励起する前記励起光源9と励起用光学系とを個
別に設けたものである。
【0030】上記図3構成により、連結したレーザ発振
器1の段数にほぼ比例したレーザ出力を得ることができ
る。
【0031】
【発明の効果】請求項1の発明によれば、励起光がレー
ザ媒質の中心部を表裏から2回ずつ計4回透過する様に
したので、レーザ媒質中心部の励起密度(励起エネルギ
ー密度)が高くなり低い閾値でのレーザ発振が可能とな
る。また、光共振器はレーザ媒質にほぼ垂直な光軸を有
するので共振器を直列に連結して、より高出力のシステ
ムを作ることが可能である。
【0032】請求項2の発明によれば、請求項1の発明
による効果に加えてさらに容易に高出力のシステムを作
ることが可能となる。
【0033】請求項3の発明によれば、レーザ媒質を冷
却することにより熱レンズ効果などを抑制し安定した出
力を得ることができると共にモードの変動を抑制するこ
とができる。
【0034】請求項4の発明によれば、複数のレーザ媒
質に個別に励起光源を設け、このレーザ媒質を複数段直
列に配置して光共振器を構成してあるので、レーザ媒質
を効率的に励起することができる。したがって、必要な
高出力を有する発振器を容易に製作することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光励起固体レーザ発振器の第一実
施例の説明図。
【図2】本発明に係る光励起固体レーザ発振器の第二実
施例の説明図。
【図3】本発明に係る光励起固体レーザ発振器の第三実
施例の説明図。
【図4】従来の光励起固体レーザ発振器(Apllied Phys
ics B58,365-372(1994))の例の説明図。
【符号の説明】
1 光励起固体レーザ発振器 3 レーザ媒質 5 熱伝導性基板 7 ヒートシンク 9,9(a〜c) 半導体レーザ 11(a〜e) 励起用のレーザ光 13 集光レンズ 15 第一球面鏡 17,17(a〜c) 第二球面鏡 19 開口 21 第三球面鏡 23a 出力鏡 23b 全反射鏡 25 光共振器 27 光軸 O レーザ媒質の中心部

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 レーザ媒質を励起する励起光源に半導体
    レーザを用いた光励起固体レーザ発振器において、前記
    励起光源からの励起光をレーザ媒質中へ集光する光学素
    子を前記レーザ媒質の上方空間に1個と下方空間に2個
    設け、該上方下方の合わせて3個の光学素子と前記励起
    光源とで閉じた励起用光学系を構成し、かつ前記レーザ
    媒質の上方空間と下方空間とに該レーザ媒質にほぼ垂直
    な光軸を有する光共振器を構成する光学素子を設けたこ
    とを特徴とする光励起固体レーザ発振器。
  2. 【請求項2】 前記レーザ媒質の形状を板状に形成する
    と共に、該レーザ媒質を励起する前記励起光源と励起用
    光学系とを複数組設けたことを特徴とする請求項1に記
    載の光励起固体レーザ発振器。
  3. 【請求項3】 前記レーザ媒質を透明な熱良導体基板上
    に設けると共に、該熱良導体基板をヒートシンクに支持
    して設けたことを特徴とする請求項1または請求項2に
    記載の光励起固体レーザ発振器。
  4. 【請求項4】 前記光共振器の光軸上に複数個のレーザ
    媒質を離隔して設け、該複数個のレーザ媒質を励起する
    前記励起光源と励起用光学系とを個別に設けたことを特
    徴とする請求項1〜請求項3に記載の光励起固体レーザ
    発振器。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7653100B2 (en) 2004-12-28 2010-01-26 Osaka University Solid laser module, optical amplifier, and laser oscillator
JP2013508987A (ja) * 2009-10-26 2013-03-07 バイオレイズ,インク. 活性媒質筐体を含む高出力放射線源

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