JP2000338017A - 走査電子顕微鏡観察用試料の前処理装置及び前処理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 試料表面に導電性ペーストを塗布する際に、
試料の一部またはすべてが非導電性である試料のチャー
ジアップや汚染を防ぎ、良好な電子顕微鏡像が得られる
ための処理機能を有した前処理装置、ならびに前処理方
法を提供する。 【解決手段】 試料上の任意の箇所に導電性物質を含む
微量の液滴を付与する手段と、付与位置を観察、特定す
るための光学顕微鏡と、試料と液滴付与手段および光学
顕微鏡の相対位置を変位させるための移動手段。ならび
に試料上の任意の箇所に液滴付与手段を用いて導電性微
粒子を含む分散液の液滴を付与した後溶媒を蒸発させる
ことにより、微粒子からなる導電性薄膜を任意の形状で
形成する試料の前処理方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、走査電子顕微鏡観
察用試料の前処理装置ならびに前処理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に走査電子顕微鏡で試料形態の観察
を行なう場合、試料が導電性であれば特に前処理をせず
に観察することが可能である。一方、試料の一部あるい
はすべてが非導電性(抵抗率としておよそ１０⁹Ω・cｍ以
上)である場合には、電子線の照射箇所とアースが接続
されないために試料に電荷が蓄積する、いわゆるチャー
ジアップが起こり、電子線の軌道や像が乱れて正常な観
察が困難になることがある。このような際には、従来よ
り低加速電圧で観察を行なったり、試料表面に金属ある
いはカーボンを蒸着し、さらに導電性ペーストを塗布す
る等によりチャージアップを防ぐ方法が採られてきた。

【０００３】しかしながら、低加速電圧観察には分解能
が低い、ビームが不安定、コンタミの影響が出やすい等
の問題がある。

【０００４】一方、試料表面への導電性物質の蒸着もす
べての場合に適用できるとは限らず、以下に示したよう
に、観察目的や試料形状によっては望ましい処理とは言
えないことがある。 ・微粒子や試料表面の微細な形状の観察を目的とし、導
電性物質の蒸着粒子により試料表面が覆われることでこ
れらの観察に支障が生じる場合。 ・ＥＤＸ等による元素分析も合わせて測定する場合など
で、試料以外の元素の混入が望ましくない場合。 ・蒸着時に発生する輻射熱により、試料がダメージを受
けるおそれがある場合。 これらの場合、導電性ペーストのみを用いて試料の導電
性を確保することが必要となる。例えば試料の導電部間
をペーストで接続したり、観察箇所が非導電性の場合は
そのごく近傍までペーストを塗布することにより、チャ
ージアップを抑制している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら試料表面
に導電性ペーストを塗布する場合、現状では塗布位置や
量を厳密に制御することは難しく、例えば数ｍｍ角以下
の小さな試料や、観察箇所が微小領域に特定されている
試料等では観察箇所をペーストで汚染することなく、そ
のごく近傍にペーストを塗布することが困難なことがあ
る。さらに、ペーストを多量に塗布すると、試料表面や
電子顕微鏡の試料室内部を汚染するおそれがあり、望ま
しいことではない。

【０００６】そこで本発明の目的は、上記のような従来
法の課題を解決し、試料の一部またはすべてが非導電性
である試料のチャージアップや汚染を防ぎ、良好な電子
顕微鏡像が得られるための処理機能を有した前処理装
置、ならびに前処理方法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明はこの目的を達成
するために以下の特徴を有する。

【０００８】すなわち第１の発明は、走査電子顕微鏡察
用の試料の一部に導電性薄膜を形成するための前処理装
置であって、該試料の表面の任意の箇所に導電性物質を
含む液滴を付与する液滴付与手段と、該液滴の付与位置
を観察、特定するための光学顕微鏡と、該試料と該液滴
付与手段の相対位置を変位させるための位置変位手段と
を装備することを特徴とするものである。

【０００９】第２の発明は、第１の発明の装置を用いた
具体的処理方法、すなわち、走査電子顕微鏡を用いて試
料の観察を行なうにあたり、試料上の任意の箇所に液滴
付与手段を用いて導電性微粒子を含む分散液の液滴を付
与した後乾燥することにより、微粒子からなる導電性薄
膜を任意の形状で形成することを特徴とする試料の前処
理方法に関するものである。

【００１０】液滴の付与手段としてはインクジェット方
式のものが好ましい。また液滴は、導電性微粒子の分散
液、例えばグラファイトあるいは金属からなる微粒子の
分散液からなるものが好ましい。また、液滴付与を光学
顕微鏡による付与位置の観察と同時に行なう機能を持つ
ことが好ましい。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明をより詳細に説明す
る。

【００１２】図１は本発明の１実施形態に係る前処理装
置の構成を示す図である。

【００１３】この装置は、ステージ１上に置かれた電子
顕微鏡観察用試料２の任意の位置に液滴３を付与するた
めの液滴付与手段４と、付与位置を観察、特定するため
の光学顕微鏡５と、試料と液滴付与手段及び光学顕微鏡
との相対位置を変位させるために液滴付与手段及び光学
顕微鏡を移動する手段６等を装備している。図１(a)の
ように光学顕微鏡５で付与位置が特定されると、移動手
段６が作動して液滴付与手段４が付与位置の真上に移動
し、図１(b)のように導電性物質を含む液滴３を試料に
付与する。液滴の吐出量や吐出タイミングの制御は制御
装置７によって行なわれる。付与された液滴は、溶媒の
蒸発により導電性薄膜となり、処理は終了する。

【００１４】図２は、別の形態に係る前処理装置を示
す。この場合、光学顕微鏡の光軸と液滴付与手段が付与
する液滴の弾道とが一致する構成になっており、したが
って光学顕微鏡で観察して液滴を付与する箇所を定め、
そのまま光学顕微鏡を移動させることなく、その部位に
液滴を付与することが可能である。光学顕微鏡の光路１
４は図２において破線で示している。図２において、発
光手段１２より直線偏光を射出し、射出された光はビー
ムスプリッター１３及び１/４λ板８を透過し、凹面ミ
ラー９で反射し、そして試料２に入射する。試料２で反
射した光は戻り光となり、凹面ミラー９、１/４λ板８
を経た時点で１/４λ板を２回通過することになり、発
光手段１２を射出した時に比べ、９０°回転した直線偏
光となっている。したがって１/４λ板８を通過した戻
り光は、ビームスプリッター１３で９０°進路を曲げら
れ、受光手段に入射する。上記光学顕微鏡で位置決めを
行なった後、液滴付与手段４の吐出ノズル１１から導電
性物質を含む液滴３を付与する。吐出量や吐出タイミン
グの制御は制御装置７によって行なわれる。付与された
液滴は、溶媒の乾燥により導電性薄膜となり、処理は終
了する。

【００１５】さらに図３は、別の形態に係る前処理装置
を示す。この場合、液滴付与手段及び光学顕微鏡の構成
は図２と同様であるが、ステージ１と、液滴付与手段４
及び光学顕微鏡との相対移動は、ステージ１の駆動手段
１５により行なう。

【００１６】以上図１〜図３に示された各実施形態にお
いては、それぞれ、液滴付与位置を観察しながら同時に
液滴付与を行なうことが可能である。なお、位置決めと
液滴付与を１回毎繰り返し行なう以外に、予め複数の付
与箇所を制御装置に入力し、その後入力結果に基づいて
移動手段及び液滴付与手段が駆動し、自動的に処理を行
なうこともできる。これによって、試料上の任意の箇所
に任意のパターンで容易に導電性薄膜を形成することが
できる。

【００１７】本発明において、前記液滴の付与手段は微
小量(およそ十数ngから数十ng程度)の範囲の液滴を容易
に形成できるインクジェット方式のものが好ましい。イ
ンクジェット方式には、圧電素子を用いたピエゾジェッ
ト方式のもの、熱エネルギーによって液内に気泡を生じ
させてその液体を液滴として吐出するバブルジェット方
式のもの等が挙げられる。

【００１８】また、本発明において付与液は、導電性微
粒子の分散液を用いる。導電性微粒子材料としては主に
グラファイトやＰt、Ａu、Ａg、Ａl、Ｐd、Ir、Ｒh、Ｎ
i、Ｃo、Ｓn、Ｃr、In等の金属微粒子が好ましく用いら
れ、その他金属化合物、表面に導電性物質をコーティン
グした微粒子等も用いることができ、必要に応じて２種
以上を混合して用いることもできる。これらのなかでは
グラファイト、Ａu、Ａg、Ｐdが好ましい。微粒子の粒
径は、分散安定の観点からは１μｍ以下であればよい
が、インクジェット装置のノズルの目詰まりを防止する
ためには、０.５μｍ以下がより好ましい。これらの微
粒子の添加量は、分散液全体の３〜２０ｗt％の範囲に
あることが好ましい。

【００１９】本発明において使用される導電性微粒子
は、市販されているものをそのまま使用することもでき
るが、金属微粒子においては公知の方法、例えば上記金
属の塩を化学還元して製造することも可能である。化学
還元法により、金属微粒子を生成する場合、用いられる
金属塩としては、例えば塩化第一白金、塩化第一白金ア
ンモニウム、塩化第一金、塩化第二金、硝酸銀、塩化
銀、酢酸パラジウム、塩化パラジウム、三塩化イリジウ
ム、酢酸ロジウム、三塩化ロジウム、酢酸ニッケル、酢
酸コバルト、塩化第一錫、酢酸第二クロム、硝酸インジ
ウムなどが挙げられる。これらのなかでは塩化第一金、
酢酸パラジウム、硝酸銀が好ましい。また上記金属塩の
還元剤としては、水素化ナトリウム、水素化リチウム、
水素化ホウ素カリウム、蟻酸、シュウ酸等を使用するこ
とができる。これらのなかでは水素化ホウ素カリウムが
好ましい。

【００２０】導電性微粒子を分散する溶媒としては、水
を主成分とする水性溶媒が好ましく用いられ、その他に
水溶性有機溶剤、界面活性剤等を添加することが可能で
ある。添加剤を加える目的は微粒子の分散性の向上、液
の粘度調整、吐出安定性の向上、濡れ性向上等である。
水と混合して使用される水溶性有機溶剤としては、例え
ばメチルアルコール、エチルアルコール、n-プロピルア
ルコール、イソプロピルアルコール、n-ブチルアルコー
ル等の炭素数１〜４のアルキルアルコール類、ジメチル
ホルムアミド等のアミド類、アセトン等のケトン類、ポ
リエチレングリコール等のポリアルキレングリコール
類、ジオキサン等のエーテル類、エチレングリコール、
プロピレングリコール、トリエチレングリコール等のア
ルキレングリコール類等が挙げられ、必要に応じて２種
以上を混合して用いることができる。これらのなかでは
エタノール、イソプロピルアルコール、ジエチレングリ
コールが好ましい。

【００２１】本発明の分散液中の上記水溶性有機溶剤の
含有量は分散液全重量の３〜３０ｗt％の範囲が望まし
い。

【００２２】また界面活性剤としては脂肪酸塩類、高級
アルコール硫酸エステル塩類等の陰イオン界面活性剤、
多価アルコールと脂肪酸のエステル等の非イオン性界面
活性剤等などが挙げられる。これらのなかではポリオキ
シエチレンアルキルエーテル類、グリセリン脂肪酸エス
テルがより好ましい。

【００２３】分散液を調整する際は、導電性微粒子を溶
媒に均一に分散させることが重要であり、そのための手
段として、例えばボールミル、ロールミル、サンドミ
ル、ホモミキサー、超音波分散など各種分散方法を用い
ることができる。これらのなかではボールミルがより好
ましい。

【００２４】上記に示した導電性微粒子、水、水溶性有
機溶剤その他の添加剤を含んだ分散液の粘度は、３０cp
s以下に調整されることが好ましい。

【００２５】以上のような液滴付与装置と分散液を用い
て試料上に液滴を付与すれば、試料表面のヌレ性にもよ
るが、一回の液滴付与あたり結果的に直径約１００μｍ
の微小な導電性薄膜を形成することができる。なお、付
与される液量が少ないことから、液滴付着部の乾燥には
特別な処理は必要としないが、耐熱性に優れた試料の場
合には、加熱して乾燥を促進することも可能である。

【００２６】このように本発明の前処理装置を用いるこ
とにより、試料表面の任意の位置に導電性微粒子からな
る微小な導電性薄膜を任意の形状で形成することができ
る。またこの処理を連続して行なうことにより、約１０
０μｍ幅の微細な線を任意のパターンで描くことができ
る。したがって、試料形状に応じた導電処理が可能とな
る。また従来チャージアップによって観察が困難であっ
た非導電性試料の場合も、観察箇所のごく近傍まで導電
性を確保することが可能となり、良好な像を得ることが
できるようになる。さらに従来の導電性ペーストに比べ
て、非常に少ない塗布量で済むことから、試料や電子顕
微鏡の試料室の汚染を低減することが可能である。

【００２７】

【実施例】以下、本発明を実施例によって説明する。

【００２８】[実施例１]図４(a)に示したような、３ｍ
ｍ角のガラス基板表面に蒸着されたＮi薄膜１６のモフ
ォロジー観察を行なった。試料前処理及び観察を以下の
ような手順で行なった。 試料に付与するための導電性微粒子を含む分散液を調
整した。ここでは導電性微粒子として市販のグラファイ
ト微粒子(平均粒径０.２μｍ)を用い、他の成分(溶剤・
乳化剤・水)と以下に示す組成になるように混合し、ボ
ールミルを用いて均一に分散した。このようにして調整
した分散液を液滴付与手段に装着した。

【００２９】 次に、直径１０ｍｍのＡl製試料台１７に両面テープ
を用いて図４(b)のように試料１６を固定した。 前処理装置として図１に示したような装置を用い、液
滴付与手段としてはピエゾヘッド方式のインクジェット
装置を用いた。の試料をステージ上に置き、光学顕微
鏡で試料表面を観察しながら光学顕微鏡及び液滴付与手
段を移動し、試料のエッジ部に視野を合わせた。その後
液滴付与手段を駆動させて、エッジ部にで調整したグ
ラファイトの分散液を滴下した。この作業を連続して行
ない、図４(b)試料のエッジ約１００μｍの位置から試
料台にかけて、連続して液滴を付与した。 室温下で試料を約１時間放置し、乾燥した結果、グラ
ファイトからなる微粒子膜１８が形成された。この微粒
子膜の表面抵抗値は５×１０³Ω/□であった。 以上のように前処理を行なった試料についてＳＥＭ観
察を行なった結果、加速電圧２５kＶでもチャージアッ
プは起こらず、また観察中のコンタミネーションもほと
んどない良好なＮi微粒子像が得られた。

【００３０】[比較例１]実施例１と同様の試料について
前処理を行なうにあたり、本発明の前処理装置を用いず
に以下に示す方法で前処理を行なった。まず実施例１の
と同様の方法で試料台に試料を固定した。次に市販の
カーボンペーストを先端の細い針状器具の先につけ、試
料エッジ部及び試料台に塗布したが、実施例１のような
精密な位置制御と塗布量の調整が難しいため、ペースト
の一部が試料中央部まで及び試料を汚染してしまうこと
があった。

【００３１】[実施例２]実施例１と同じ試料の観察を行
なった。ここでは導電性微粒子としてＡu微粒子を用い
た。Ａu微粒子は、塩化第一金水溶液に水素化ホウ素カ
リウムを添加し、還元析出させた。これを洗浄、ろ過、
乾燥した後、ボールミルで他の成分(溶剤・乳化剤・水)
からなる溶媒中に以下に示す組成になるように均一に分
散させた。

【００３２】得られた金微粒子の平均粒径は０.３μｍ
であった。

【００３３】 このようにして調整した分散液を液滴付与手段に装着
し、その後実施例１の〜と同様の方法で試料のエッ
ジ部分から試料台にかけてＡu微粒子膜を形成した。こ
の微粒子膜の表面抵抗値は８×１０²Ω/□であった。

【００３４】以上のように前処理を行なった試料につい
てＳＥＭ観察を行なった結果、加速電圧２５kＶでもチ
ャージアップは起こらず、また観察中のコンタミネーシ
ョンもほとんどない良好な像が得られた。

【００３５】[実施例３]図５(a)に示したように、ガラ
ス基板上に１ｍｍ間隔で１ｍｍ角のＰt薄膜がパターン
ニングされている試料１９について、各々のＰt薄膜の
表面状態の比較をＳＥＭ観察により行なった。

【００３６】試料前処理及び観察を以下のような手順で
行なった。 試料に付与するための導電性微粒子の含む分散液を調
整した。ここでは分散液として実施例１と同じ方法で調
整したグラファイトの分散液を用いた。 ダイヤモンドカッターを用いて試料を約１０ｍｍ角に
切断し、それを直径２０ｍｍのＡl製試料台２０に両面
テープを用いて図５(b)に示したように固定した。 前処理装置として図２に示したような装置を用い、液
滴付与手段としてはバブルジェット方式のインクジェッ
ト装置を用いた。の試料をステージ上に置き、光学顕
微鏡で試料表面を観察しながらステージを移動し、各々
のＰtパターンとアースが接続されるように、試料台、
ガラス部分及びＰt薄膜の端部に、液滴付与手段より
で調整したカーボンブラックの分散液を次々に滴下し
た。この作業により図５(c)に示したよう位置に液滴が
付与された。 室温下で試料を約１時間放置し、乾燥した結果、グラ
ファイトからなる微粒子膜２１が形成された。この微粒
子膜の表面抵抗値は５×１０³Ω/□であった。 以上のように前処理を行なった試料についてＳＥＭ観
察を行なった結果、いずれのＰt薄膜においても加速電
圧２５kＶでチャージアップは起こらず、また観察中の
コンタミネーションもはとんどない良好な像が得られ
た。

【００３７】[実施例４]実施例３と同じ試料の観察を行
なった。ここでは導電性微粒子としてＰd微粒子を用い
た。Ｐd微粒子は、酢酸パラジウムの弱アルカリ性水溶
液に水素化ホウ素ナトリウムを添加し、還元析出させ
た。これを洗浄、ろ過、乾燥した後、ボールミルで他の
成分(溶剤・乳化剤・水)からなる溶媒中に以下に示す組
成になるように均一に分散させた。得られたＰd微粒子
の平均粒径は０.２μｍであった。

【００３８】 このようにして調整した分散液を液滴付与手段に装着
し、その後実施例３の〜と同様の方法で、各々のＰ
tパターンとアースを接続するようにＰd微粒子膜を形成
した。この微粒子膜の表面抵抗値は１×１０³Ω/□であ
った。以上のように前処理を行なった試料についてＳＥ
Ｍ観察を行なった結果、いずれのＰt薄膜でも加速電圧
２５kＶでチャージアップは起こらず、また観察中のコ
ンタミネーションもほとんどない良好なＰt薄膜の像が
得られた。

【００３９】[実施例５]図６(a)に示したように、ガラ
ス基板上に形成されたＡl₂Ｏ₃蒸着膜２２の表面形状観
察を行なった。試料前処理及び観察を以下のような手順
で行なった。 試料に付与するための導電性微粒子の含む分散液を調
整した。ここでは分散液としてＡgの分散液を用いた。
Ａg微粒子は、硝酸銀のアルカリ性水溶液に水素化ホウ
素ナトリウムを添加し、還元析出させた。これを洗浄、
ろ過、乾燥した後、ボールミルで他の成分(溶剤・乳化
剤・水)からなる溶媒中に以下に示す組成になるように
均一に分散させた。得られたＡg微粒子の平均粒径は０.
３μｍであった。

【００４０】 このようにして調整した分散液を液滴付与手段に入れ
た。 ダイヤモンドカッターを用いてガラス基板の中心部を
約５ｍｍ角に切断し、それを直径１０ｍｍのＡl製試料
台２３に両面テープを用いて図６(b)に示したように固
定した。 前処理装置として図３に示したような装置を用い、液
滴付与手段としてはピエゾヘッド方式のインクジェット
装置を用いた。の試料をステージ上に置き、光学顕微
鏡で試料表面を観察しながらステージを移動し、３００
μｍ間隔で図６(c)のように、試料及び試料台にで調
整したＡg分散液を付与した。 室温下で試料を約１時間放置し、乾燥した結果、Ａg
微粒子膜２４が形成された。この微粒子膜の表面抵抗値
は９×１０²Ω/□であった。 以上のように前処理を行なった試料について、Ａl₂Ｏ
₃膜を加速電圧１０kＶで観察した結果、チャージアップ
は起こらず、また観察中のコンタミネーションもはとん
どない良好な像を得ることができた。

【００４１】[比較例２]実施例５と同様の試料について
前処理を行なうにあたり、本発明の前処理装置を用いず
に以下に示す方法で前処理を行なった。まず実施例５の
と同様の方法で試料台に試料を固定した。次に実施例
５ので調整したＡg分散液を先端の細い針状器具の先
につけ、試料エッジ部及び試料台に塗布したが、本発明
の前処理装置を使用した場合に比べて位置制御と塗布量
の調整が難しく、実施例５のように狭い領域を残して試
料上にＡg膜を形成することができなかった。この試料
を加速電圧１０kＶでＳＥＭ観察したところ、Ａg膜のご
く近傍以外はＡl₂Ｏ₃膜のチャージアップが起こり、観
察が困難であった。

【００４２】

【発明の効果】以上のように本発明の前処理装置を用い
ることにより、試料表面の任意の位置に導電性微粒子か
らなる微小な導電性薄膜を任意の形状で形成することが
できる。またこの処理を連続して行なうことにより、約
１００μｍ幅の微細な線を任意のパターンで描くことが
できる。したがって、試料形状に応じた導電処理が可能
となった。また従来チャージアップによって観察が困難
であった非導電性試料の場合も、観察箇所のごく近傍ま
で導電性を確保することが可能となり、良好な像を得る
ことができるようになった。さらに従来の導電性ペース
トに比べて、非常に少ない塗布量で済むことから、試料
や電子顕微鏡の試料室の汚染を低減することが可能とな
った。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に従った前処理装置を示す図である。

【図２】本発明に従った別の前処理装置を示す図であ
る。

【図３】本発明に従った別の前処理装置を示す図であ
る。

【図４】本発明の実施例１で説明した導電性薄膜の形成
方法を示す図である。

【図５】本発明の実施例２で説明した導電性薄膜の形成
方法を示す図である。

【図６】本発明の実施例３で説明した導電性薄膜の形成
方法を示す図である。

【符号の説明】

１ ステージ ２ 試料 ３ 液滴 ４ 液滴付与手段 ５ 光学顕微鏡 ６ 光学顕微鏡及び液滴付与手段を移動する手段 ７ 制御装置 ８ １/４λ板 ９ 凹面ミラー １０ 受光手段 １１ ノズル １２ 発光手段 １３ ビームスプリッター １４ 光学顕微鏡の光路 １５ ステージ移動手段 １６、１９、２２ 試料 １７、２０、２３ 試料台 １８、２１、２４ 導電性膜

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 走査電子顕微鏡察用の試料の一部に導電
   性薄膜を形成するための前処理装置であって、該試料の
   表面の任意の箇所に導電性物質を含む液滴を付与する液
   滴付与手段と、該液滴の付与位置を観察、特定するため
   の光学顕微鏡と、該試料と該液滴付与手段の相対位置を
   変位させるための位置変位手段とを装備することを特徴
   とする、電子顕微鏡観察用試料の前処理装置。
2. 【請求項２】 前記液滴付与手段が、インクジェット方
   式のものである請求項１に記載の前処理装置。
3. 【請求項３】 前記液滴が導電性微粒子の分散液からな
   る請求項１または２に記載の前処理装置。
4. 【請求項４】 前記導電性微粒子が、グラファイトある
   いは金属からなる微粒子である請求項３に記載の前処理
   装置。
5. 【請求項５】 前記光学顕微鏡による前記液滴の付与位
   置の観察と前記の液滴の付与を同時に行なう機能をも
   つ、請求項１〜４のいずれかに記載の前処理装置。
6. 【請求項６】 走査電子顕微鏡を用いて試料の観察を行
   なうにあたり、試料上の任意の箇所に液滴付与手段を用
   いて導電性微粒子を含む分散液の液滴を付与した後乾燥
   することにより、微粒子からなる導電性薄膜を任意の形
   状で形成することを特徴とする、電子顕微鏡観察用試料
   の前処理方法。
7. 【請求項７】 前記液滴付与手段が、インクジェット方
   式のものである請求項６に記載の前処理方法。
8. 【請求項８】 前記液滴が導電性微粒子の分散液からな
   る請求項６または７に記載の前処理方法。
9. 【請求項９】 前記導電性微粒子が、グラファイトある
   いは金属からなる微粒子である請求項８に記載の前処理
   方法。
10. 【請求項１０】 前記光学顕微鏡による前記液滴の付与
    位置の観察と前記の液滴の付与を同時に行なう機能をも
    つ、請求項６〜９のいずれかに記載の前処理方法。