JP2000318184A - インクジェット記録装置および、該インクジェット記録装置を有するカラーフィルタ製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 インクジェットヘッド内で常にインクが流動
するように構成された液体供給経路で、インクジェット
ヘッドの回復動作や交換などを行う際に吐出口や供給経
路からインクが流れっ放しになることを防止する。 【解決手段】 サブタンク４０１ａ内のインクはチュー
ブ４５１，４５５，５７１，５７２，５７４，５５３，
５５１を通してインクジェットヘッド１２０ａ内のイン
ク循環経路１２１ａに供給され、インク循環経路１２１
ａを通過したインクはチューブ５５２，５５４，５７
６，４５２，４５７，４５８，４５９を通してメインタ
ンク３０１ａ内に流し込まれる。それぞれの流路ではチ
ューブ４５８の先端と、サブタンク４０１ａ内の液面と
の水頭差によりインクが連続的に流れる。インクジェッ
トヘッド１２０ａの回復動作やインクジェットヘッド１
２０ａの交換などを行う際に三方弁５０２，５０４，５
０５の動作によりインクの連続的な流れを停止させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドにインクを循環させつつインクジェットヘッドから
インクを吐出させるインクジェット記録装置、およびそ
のインクジェット記録装置を用いてインクにより透明基
板を着色することでカラーフィルタを製造するカラーフ
ィルタ製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、インクジェット記録方式は、
情報処理システムの出力手段、例えば複写機、ファクシ
ミリ、電子タイプライタ、ワードプロセッサ、ワークス
テーションなどの出力端末としてのプリンタ、あるいは
パーソナルコンピュータ、ホストコンピュータ、光ディ
スク装置、ビデオ装置などに具備されるハンディまたは
ポータブルのプリンタの記録方式として利用されてい
る。

【０００３】このインクジェット記録方式は、インクを
微小な液滴としてノズル（以下、吐出口ともいう）から
吐出して文字や図形などの記録を行うもので、高精細な
画像の出力、高速記録の手段としてすぐれた利点を有す
る。また、インクジェット記録方式を適用した記録装置
（以下、インクジェット記録装置ともいう）はノンイン
パクト型の記録装置であって、騒音が少ないこと、多色
のインクを使うことによってカラー画像の記録も容易で
あること、さらに装置本体の小型化や、画像の高密度化
も容易であることなどの特長を有しており、近年、急速
に普及しつつあるものである。

【０００４】また、近年、パーソナルコンピュータの発
達、特に携帯用のパーソナルコンピュータの発達に伴
い、液晶ディスプレイ、とりわけカラー液晶ディスプレ
イの需要が増加する傾向にある。しかしながら、さらな
る普及のためには液晶ディスプレイのコストダウンが必
要であり、特にコスト的に比重の高いカラーフィルタの
コストダウンに対する要求が高まっている。従来から、
カラーフィルタが要求される特性を満足しつつコストダ
ウンの要求に応えるべく種々の方法が試みられている
が、いまだ全ての要求特性を満足する方法は確立されて
いない。以下では、カラーフィルタの製造方法につい
て、いくつか説明する。以下の説明で用いるＲ，Ｇ，Ｂ
はそれぞれ赤，緑，青を表わす。

【０００５】第１のカラーフィルタの製造方法としては
染色法がある。染色法は、ガラス基板上に染色用の材料
である水溶性高分子材料を塗布し、その水溶性高分子材
料をフォトリソグラフィー工程により所望の形状にパタ
ーニングした後、得られたパターンを染色浴に浸漬する
ことでガラス基板上に着色されたパターンを得るもので
ある。これを３回繰り返すことによりガラス基板上に
Ｒ，Ｇ，Ｂのカラーフィルタ層が得られる。

【０００６】第２のカラーフィルタの製造方法としては
顔料分散法があり、顔料分散法は、近年、最も多く用い
られている方法である。この顔料分散法は、基板上に顔
料を分散して感光性樹脂層を形成し、この感光性樹脂層
をパターニングすることにより単色のパターンを得るも
のである。さらに、この工程を３回繰り返すことによ
り、基板上にＲ，Ｇ，Ｂのカラーフィルタ層が形成され
る。

【０００７】第３のカラーフィルタの製造方法としては
電着法がある。電着法は、基板上に透明電極をパターニ
ングした後、その基板を、顔料、樹脂、電解液などの入
った電着塗装液に浸漬して基板上に所望の色を電着させ
るものである。この工程を３回繰り返して基板上にＲ，
Ｇ，Ｂを塗り分けた後、樹脂を熱硬化させることにより
基板上に表色層が形成される。

【０００８】第４のカラーフィルタの製造方法としては
印刷法がある。印刷法は、熱硬化型の樹脂に顔料を分散
させ、その樹脂を用いて印刷を３回繰り返すことにより
Ｒ，Ｇ，Ｂを基板上に塗り分けた後、樹脂を熱硬化させ
ることで基板上に着色層を形成するものである。また、
上記のいずれの方法においても着色層の表面に保護層を
形成するのが一般的である。

【０００９】これらの方法に共通している点は、Ｒ，
Ｇ，Ｂの３色を着色するために同―の工程を３回繰り返
す必要があり、コストが高くなることである。また、工
程が多いほど歩溜まりが低下するという問題点を有して
いる。さらに、電着法においては、形成可能なパターン
形状が限定されるため、現状の技術ではＴＦＴ方式のカ
ラー液晶ディスプレイを製造する際には適用できない。
また、印刷法では、解像性、平滑性が悪いためファイン
ピッチのパターンを形成できない。

【００１０】これらの欠点を補うべく特開昭５９−７５
２０５号公報、特開昭６３−２３５９０１号公報、特開
昭６３−２９４５０３号公報、あるいは特開平１−２１
７３０２号公報などには、インクジェット記録方式を用
いてカラーフィルタを製造する方法が記載されている。

【００１１】その中で、インクジェット記録方式でカラ
ーフィルタを作製する方法としては、透明基板上に所定
の規則性がある開口部を有するように遮光膜を設け、そ
の開口部に露出した透明基板上にインクジェットヘッド
からインクを吐出して着色を行うなどの方法が記載され
ている。

【００１２】インクジェット記録方式によるカラーフィ
ルタは、必要な部分にのみ着色を行うので材料コストを
低くすることができ、さらに、３色同時に着色が可能で
あるため、製造工程が短く、ゴミの影響を受けにくい。
また、製造装置のコストを押さえることができるなどの
理由から、低材料費、高歩留まりが期待でき、他の製造
方法と比較してより低コストのカラーフィルタの製造が
可能である。

【００１３】一方、従来のインクジェット記録装置にお
いてインク吐出を安定させる方法として、インクジェッ
トヘッドへ供給するインク中の溶存気体を除去する方法
が知られている。その方法の中で、インクジェット記録
用のインクの脱気方法として、気体透過性のある膜を介
してインク中の溶存気体を透過させてインクから溶存気
体を除去する方法が、特開平５−１７７１２号公報に記
載されている。その特開平５−１７７１２号公報の中
で、圧電素子を用いたインクジェット記録装置において
インクを脱気することによる効果は、圧縮室にあるイン
クに急激な圧縮の繰り返しを行ってもキャビテーション
が発生せず、キャビテーションが原因で発生するインク
の不吐出などの印字不良が発生しないということであ
る。そのため、インクの脱気装置としては、気体透過性
のある膜をチューブ状にし、そのチューブ内にインクを
通過させると共にチューブの外部を真空にして、インク
中の溶存気体をチューブ外に除去することによりインク
を脱気するものを用いていた。そのときの脱気装置の使
用方法としては、チューブ外部の真空度は０．１ａｔｍ
（７６Torr）以下であり、また、脱気装置を通過した後
のインクの脱気レベルについては特開平５−１７７１２
号公報に特に記載されていない。

【００１４】また、膜沸騰を利用してインクを吐出する
インクジェット記録方式においても、インクを脱気する
ことによる効果が確認されている。その効果としては、
脱気したインクをインクジェットヘッドに供給すること
により、吐出不良の原因となる気泡をインクジェットヘ
ッドへ送り込むことを防止でき、また、膜沸騰により生
じ、残存する泡を溶かし込む作用により、インクジェッ
トヘッド内に吐出不安定の原因となる泡の残留を防止で
き、インクの不吐出を防止できたり、連続吐出時に、一
回に吐出するインク滴の大きさが、溶存気体を脱気しな
い場合と比較して大幅に安定することが確認されてい
る。

【００１５】インクジェット記録方式を用いたカラーフ
ィルタ製造装置においては、ごくわずかなインク吐出量
の変化があった場合でも、透明基板上のインク量の違い
によって、吐出量の変化がすじムラとなって見えてしま
い、不良品となってしまう。そのため、吐出量の安定性
に対しても、通常のインクジェット記録装置より高いレ
ベルのものが求められる。そこで、吐出量の変動により
生じるすじムラなどの不良を防止して、吐出の安定化を
実現するために、カラーフィルタ製造装置のインクジェ
ットヘッドにインクを供給する供給経路で、空気の滞留
する部分を極力無くし、さらに、その供給経路の途中に
脱気装置を組み込み、脱気されたインクをインクジェッ
トヘッドへ供給する試みがなされている。

【００１６】また、インクジェットヘッドからインクを
吐出させる動作を行いながらインククジェットヘッド内
でインクを連続的に流動させることにより、インクジェ
ットヘッド内で発生した気泡や汚染物を除去する方法
が、特開昭５１−７７０３６号公報、特開昭５５−５３
５７０号公報、特開昭５５−１２１０７４号公報、特開
昭６１−１００４６１号公報のそれぞれに記載されてい
る。特開昭５１−７７０３６号公報、特開昭５５−５３
５７０号公報および特開昭５５−１２１０７４号公報に
記載されている方法は、１つのインクタンクで、あるい
は２つのインクタンク間でポンプを用いてインクを加圧
あるいは吸引することにより、インクジェットヘッド内
でインクを循環させるものである。特開昭６１−１００
４６１号公報に記載されているインクジェット記録装置
は、１つのインクタンクをインクジェットヘッドのオリ
フィス面より高い位置に配置し、インクタンクの高さ
と、インクジェットヘッドのオリフィス面との水頭差に
よってインクジェットヘッド内でインクを循環させ、イ
ンクジェットヘッド内を循環したインクがインク流出路
によりもう一方のインクタンクに導かれるように構成さ
れたものである。

【００１７】さらに、インクジェットヘッドのオリフィ
スからインクを排出することなく、インクジェットヘッ
ド内のオリフィス近傍で、脱気されたインクを確保する
ためのインクジェットヘッド用のインク供給システム
が、特許第２６７８２４１号公報に示されている。この
特許第２６７８２４１号公報に示されたインクジェット
ヘッド用のインク供給システムには、第１貯蔵手段およ
び第２貯蔵手段と、インクから溶解ガスを取り出して除
去する脱気手段と、インク噴射ヘッドからインクを放出
するためのオリフィス手段と、第１貯蔵手段から脱気手
段を経由しオリフィス手段の近傍を通過して第２貯蔵手
段へと延在するインク通路手段とが備えられている。イ
ンク通路手段は、第１貯蔵手段から脱気手段を経由しオ
リフィス手段の近傍を通過して第２貯蔵手段までインク
が連続的に流れることを可能にするものである。このイ
ンク通路手段を通してオリフィス手段にインクを供給
し、オリフィス手段の領域で、脱気されたインクを確保
することにより、インクジェットヘッドのオリフィスか
らインクを排出させることなく、インクジェットヘッド
内のオリフィス近傍で、脱気されたインクを確保する。

【００１８】上記のインクジェットヘッド用のインク供
給システムにおいて、より具体的には、インクジェット
ヘッド内に第１貯蔵手段と第２貯蔵手段と脱気手段とが
備えられ、インクジェットヘッドの往復移動によって、
第１貯蔵手段と第２貯蔵手段との間にインクの液面高さ
の違いを生じさせる。そして、その液面高さの違いによ
る水頭圧差を利用してインク供給経路内にインクの流動
を連続的に生じさせ、オリフィス近傍で、脱気されたイ
ンクを確保していた。

【００１９】カラーフィルタ製造装置にインクジェット
ヘッドを用いた場合では、インクジェットヘッドを通常
のプリンタに用いた場合と異なり、透明基板上に規則性
をもって配列された所定の開口部に向けてインクジェッ
トヘッドからインクを吐出することで着色を行うので、
カラーフィルタ製造装置におけるインクの着弾精度は、
一般のプリンタにおける精度と比較してほぼ一桁高い値
が要求される。

【００２０】そのため、カラーフィルタ製造装置の構成
は、通常のインクジェット方式のプリンタのものとは異
なっている。通常のプリンタの場合では、搬送される被
記録媒体の上をインクジェットヘッドが被記録媒体の搬
送方向と直角な方向に往復走査しながらインクを吐出し
て、画像の記録を行うのが一般的である。

【００２１】一方、カラーフィルタ製造装置は、その要
求される精度から、インクジェットヘッドを固定し、そ
のインクジェットヘッドの下方で、ステージ上に載置さ
れた透明基板をＸ−Ｙ方向に走査させながらインクの吐
出を行うように構成されている。

【００２２】また、通常のプリンタの場合で、紙など、
インクを吸収する被記録媒体に記録を行うときには、被
記録媒体がインクを吸収することにより被記録媒体の表
面に凹凸が生じてしまう。このため、インクジェットヘ
ッドのインク吐出面から、被記録媒体である紙などの表
面までの距離は、一定以上近づけることはできず、吐出
口面から被記録媒体までの距離は一般的に１ｍｍ程度で
あった。

【００２３】一方、カラーフィルタ製造装置では被記録
媒体としてガラス基板などの透明基板を用いており、こ
の透明基板では、紙などインク吸収性のある被記録媒体
のようにインク滴が付着することで凹凸を生じることが
ない。従って、インク滴の吐出方向がずれてしまう、い
わゆるよれと呼ばれる現象の影響を極力少なくしてイン
クの着弾位置の精度をより高めるために、インクジェッ
トヘッドの吐出口面と、透明基板の表面との間隔を３０
０μｍ以下まで狭くしてインクの吐出を行うようにす
る。

【００２４】カラーフィルタ製造装置において、より生
産性を上げるためには、１台の製造装置で、透明基板に
着色する複数種の色のインク、通常の場合はＲ（赤），
Ｇ（緑），Ｂ（青）の３種類の色のインクを同時に着色
できるように３つのインクジェットヘッドを一組のイン
クジェットヘッドユニットとし、そのインクジェットヘ
ッドユニットを１台あるいは複数台搭載可能としてい
る。そのため、１つのインクジェットヘッドユニット内
で、３つのインクジェットヘッドの相対的な位置ずれが
ミクロンオーダとなるように、それぞれのインクジェッ
トヘッドに対して非常に高精度な位置決めを行う必要が
ある。また、透明基板上に所定の規則性で配列された開
口部に露出している透明基板上にインクジェットヘッド
からインクを吐出して透明基板の着色を行うためには、
透明基板上の開口部に対する各インクジェットヘッドの
位置合わせ、すなわちインクジェットヘッドユニットの
位置合わせもミクロンオーダで行う必要がある。さら
に、インクジェットヘッドユニットを複数搭載するよう
なカラーフィルタ製造装置においては、透明基板の開口
部に対する全てのインクジェットヘッドの位置ずれがミ
クロンオーダになるように非常に高精度な位置決めを行
う必要がある。

【００２５】そのため、インクジェットヘッドユニット
には、３つのインクジェットヘッドの相対的な位置を自
動あるいは手動により調整するような位置調整機構が備
えられている。また、複数のインクジェットヘッドユニ
ットを有するカラーフィルタ製造装置には、透明基板上
の開口部に対するインクジェットヘッドの位置合わせが
可能な位置合わせ機構が、各インクジェットヘッドユニ
ットごとにそれぞれ独立して備えられている。

【００２６】近年、カラーフィルタ用の基板は大型化の
傾向にあり、カラーフィルタ用基板の大きさは、従来で
３６０×４６５ｍｍ程度であったが、近年では５５０×
６５０ｍｍ、あるいは６００×７２０ｍｍ程度にまで大
型化している。さらに近い将来には、カラーフィルタ用
基板の一辺が１ｍにまで達することが予想されている。
ここで、このような大型の基板に対して、インクジェッ
トヘッドを固定し、基板を平面的に走査させながらほぼ
基板の全域に着色を行うようにし、かつ、インクジェッ
ト記録装置全体の大きさを必要以上に大きくしないため
には、基板が載置されるＸＹステージの移動範囲に対し
て、その移動範囲のほぼ中央部にインクジェットヘッド
を配置させる必要がある。

【００２７】このように大型のカラーフィルタを製造す
る装置では、インクジェットヘッドが製造装置のほぼ中
央部に固定されたままであると、インクジェットヘッド
を交換したり、インクジェットヘッドの位置を手動で調
整したりする作業が非常に困難であり、場合によっては
これらの作業ができないような装置となってしまうとい
う問題点がある。また、インクジェットヘッドの交換
や、インクジェットヘッドの位置の調整という作業を人
手により行わず、自動によって行うようにした場合であ
っても、インクジェットヘッドの交換を自動で行うため
の機構や、インクジェットヘッドの相対な位置合わせを
自動で行うための機構をカラーフィルタ製造装置に搭載
する必要がある。その結果、装置自体が複雑になり、ま
た、それらの機構により装置が重くなったりするため、
製造装置の精度を高く保つことが困難になるというおそ
れがある。従って、インクジェットヘッドを手動で交換
する際や、インクジェットヘッドの位置を手動で調整す
る際には、インクジェットヘッドユニット全体を装置の
中央部から、基板が搭載されるＸＹステージの走査領域
の外側にまで移動させ、インクジェットヘッドユニット
全体を作業の行いやすい位置に配置させるような構成と
する必要がある。

【００２８】

【発明が解決しようとする課題】本出願人は、カラーフ
ィルタ製造装置において、インクジェットヘッドへイン
クを供給する供給経路の途中に脱気装置を組み込み、脱
気されたインクをインクジェットヘッドへ供給すること
により、インクジェットヘッドの吐出量の変動により生
じるすじムラ等の不良を防止して、カラーフィルタを安
定して製造できるように試みた。そのカラーフィルタ製
造装置では、インク供給経路に気体透過性のないステン
レスチューブを用いことが理想的であるが、インクジェ
ットヘッドの位置合わせや交換作業を行うためにはイン
ク供給経路に柔軟性を持たせておく必要があるため、イ
ンク供給用のチューブとしては、柔軟性のある樹脂のチ
ューブ、中でも気体透過性が低く、またインクに対する
耐性を有するポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）チュー
ブを用いた。このＰＶＤＦチューブはＰＴＦＥチューブ
などと比較して、気体の透過性ははるかに少ないが、時
間とともにわずかずつ気体がチューブを透過し、チュー
ブ内の脱気されたインクの溶存酸素量もわずかずつ上昇
していく。

【００２９】従って、溶存酸素量が常に一定値以下のイ
ンクをインクジェットヘッドに供給するために、溶存酸
素計によりインク中の溶存酸素量をモニタしながら、溶
存酸素量が一定値を超えた場合にインクジェットヘッド
からインクを押し出す加圧回復動作を実施することによ
って、脱気装置から供給された、より高レベルに脱気さ
れたインクをインクジェットヘッドに供給するようにし
た。ここで、透明基板への着色中にインクジェットヘッ
ドからインクを押し出すことはできないため、インク着
色動作以外の時にインクジェットヘッドからインクを押
し出すようにした。実際には、基板一枚を着色するごと
に約１０ｃｃのインクをインクジェットヘッドから押し
出した。インクを押し出した後には、インクジェットヘ
ッドの吐出口面にインク滴が残ってしまい、そのままの
状態ではインクの吐出ができないだけでなく、吐出口面
に残ったインク滴がオリフィスにかかってしまった場合
には、インクの吐出方向がオリフィスの中心軸方向から
ずれてしまう、よれと呼ばれる現象を引き起こしてしま
う。その結果、所望の位置にインク滴を着弾させること
ができなくなり、隣の画素の異なる色のインクと混ざり
合ってしまう混色と呼ばれる現象を引き起こすことで不
良品が発生してしまう。

【００３０】さらに、インクジェットヘッドにより透明
基板の着色を行う際にはインクジェットヘッドの吐出口
面と透明基板との間の距離は、前述したように３００μ
ｍ以下と非常に接近しているため、吐出口面に残ったイ
ンクが透明基板に付着してしまい、不良となってしま
う。これらのことを防止するために、インクをインクジ
ェットヘッドから押し出した後には、インクジェットヘ
ッドの吐出口面に残ったインク滴を完全に払拭する必要
がある。

【００３１】従って、このようなカラーフィルタ製造装
置では、インクをインクジェットヘッドから押し出して
しまう分だけ余計にインクが必要となり、基板上の必要
な部分のみを着色して着色材料の消費量を減らすことが
可能なインクジェット記録方式によるカラーフィルタ製
造装置の利点を生かすことができない。また、インク押
し出しと、その後に吐出口面に残ったインク滴の払拭の
ために余計な時間が必要となるため、基板１枚当たりに
かかる生産時間が長くなってしまい、生産タクトがより
長くなってしまうという問題点があった。

【００３２】上記の問題点を解消するために、従来のイ
ンクジェット記録装置で実施されていたようにインクを
吐出している動作中にインクジェットヘッド内でインク
を循環させ、その時に、脱気装置を通過して脱気された
インクをインクジェットヘッド内で循環させることで、
常時、高レベルに脱気されたインクをインクジェットヘ
ッドに供給することにより、インクジェットヘッドの吐
出の安定性の確保と、無駄なインク消費量の削滅、さら
に、生産タクトの短縮を実現しようと試みた。

【００３３】しかしながら、そのようなカラーフィルタ
製造装置においては、インクジェットヘッドあるいはイ
ンクジェットヘッドユニット全体の高精度の位置決めが
必要であり、それらの位置決めを行う際には、インクジ
ェットヘッド、またはインクジェットヘッドユニット全
体を移動させる必要がある。その際、インクジェットヘ
ッドへインクを供給する、柔軟性を有するチューブもイ
ンクジェットヘッドと共に移動し、そのチューブが変形
する。このとき、上述したようにインクジェットヘッド
内でインクを常に循環させるために、変形したチューブ
内でもインクが常時流れており、チューブの変形の仕方
によっては、インクジェットヘッド内の圧力が高まり、
オリフィスからインクが押し出されてしまう可能性があ
る。前述したように、インクジェットヘッドのインク吐
出口面にわずかでもインク滴があると、インクの吐出方
向が曲がってしまうという、よれが生じたり、基板上に
インク滴が付着して不良品が発生したりする可能性があ
る。

【００３４】また、インクジェットヘッドが、ある一定
の回数以上だけインクの吐出を行うと、インクジェット
ヘッド内の変化により、インクジェットヘッドからイン
クを吐出できなくなってしまうという場合があり、その
場合には、インクジェットヘッドを交換する必要があ
る。インクジェットヘッドを交換する場合には、インク
供給経路の途中でインク供給系とインクジェットヘッド
とを切り離す必要があり、従来のカラーフィルタ製造装
置では、インク供給系とインクジェットヘッドとの間の
カプラ部によってインク供給系からインクジェットヘッ
ドを切り離していた。このようにカプラ部でインクジェ
ットヘッドを切り離すとき、インクジェットヘッド内で
インクが循環するようにインク供給系路内でインクが流
れたままであると、切り離した部分、すなわちカプラ部
からインクが流出し、装置内がインクで汚れてしまうだ
けでなく、装置の電気回路にインクがかかってしまった
場合など、装置を破壊してしまう可能性がある。

【００３５】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、本発明の目的は、吐出量の安定化のために、
一定レベルに脱気されたインクが循環によりインクジェ
ットヘッドに確実に供給されるように構成されたインク
ジェット記録装置で、インクジェットヘッドの取付け位
置の調整やインクジェットヘッドの交換を行うためにイ
ンクジェットヘッドを移動させる際や、インクジェット
ヘッドを交換する際に、インクジェットヘッドの吐出口
からインクがたれたり、インクジェットヘッドやインク
経路からインクが流れっ放しになったりすることが防止
され、装置内がインクで汚れたり、装置が損傷したりす
ることのないインクジェット記録装置および、そのイン
クジェット記録装置を有するカラーフィルタ製造装置を
提供することにある。

【００３６】また、本発明の目的は、インクジェットヘ
ッドを移動させる際やインクジェットヘッドを交換する
際などに、インクジェットヘッドの吐出口からインクが
たれたり、インクジェットヘッドやインク経路からイン
クが流れっ放しになったりすることが防止されたインク
ジェット記録装置をカラーフィルタ製造装置で用いるこ
とで、カラーフィルタ用の基板に液体がかかることによ
り不良品が発生することがなく、また、装置内を汚した
り、装置が損傷したりすることのない、高歩留りで、か
つ低価格のカラーフィルタを製造することが可能なカラ
ーフィルタ製造装置を提供することにある。

【００３７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、液体が通る液体通過経路および、該液体
通過経路内の液体の一部を吐出する吐出口を有するイン
クジェットヘッドに供給するための液体を貯留するタン
クと、前記タンクに貯留された液体を前記インクジェッ
トヘッドに供給するための第１の液体経路と、前記イン
クジェットヘッドの前記液体通過経路を通過した液体が
流れ込む第２の液体経路とを有し、前記タンクから前記
第１の液体経路、前記インクジェットヘッドの前記液体
通過経路、前記第２の液体経路の順で液体が連続的に流
れるように構成されたインクジェット記録装置におい
て、少なくとも前記液体通過経路内の液体の連続的な流
れを停止させる停止手段をさらに有する。

【００３８】具体的には、前記第２の液体経路の、前記
インクジェットヘッド側と反対側の先端から流れ出た液
体を前記タンクに戻すための液体戻し経路をさらに有す
る。

【００３９】また、前記第２の液体経路の、前記インク
ジェットヘッド側と反対側の先端と、前記タンクに貯留
された液体の上面との水頭差によって前記タンクから前
記第１の液体経路、前記インクジェットヘッドの前記液
体通過経路、前記第２の液体経路の順で液体が連続的に
流れるように構成されていることが好ましい。

【００４０】また、本発明は、液体が通る液体通過経路
および、該液体通過経路内の液体の一部を吐出する吐出
口を有するインクジェットヘッドに供給するための液体
を貯留する第１のタンクと、前記第１のタンクに貯留さ
れた液体を前記インクジェットヘッドに供給するための
第１の液体経路と、前記インクジェットヘッドの前記液
体通過経路を通過した液体が流れ込む第２の液体経路
と、前記第２の液体経路の、前記インクジェットヘッド
側と反対側の先端から流れ出た液体を貯留する第２のタ
ンクとを有し、前記第１のタンクから前記第１の液体経
路、前記インクジェットヘッドの前記液体通過経路、前
記第２の液体経路、前記第２のタンクの順で液体が連続
的に流れるように構成されたインクジェット記録装置に
おいて、少なくとも前記液体通過経路内の液体の連続的
な流れを停止させる停止手段をさらに有する。

【００４１】さらに、前記第２のタンクに貯留された液
体を前記第１のタンクに供給するタンク間液体供給手段
を有することが好ましい。さらに、前記第２の液体経路
の、前記インクジェットヘッド側と反対側の先端と、前
記第１のタンクに貯留された液体の上面との水頭差によ
って前記第１のタンクから前記第１の液体経路、前記イ
ンクジェットヘッドの前記液体通過経路、前記第２の液
体経路、前記第２のタンクの順で液体が連続的に流れる
ように構成されていることが好ましい。

【００４２】さらに、前記第１の液体経路の途中に備え
られ、前記第１の液体経路を通る液体に溶存する気体を
該液体から除去する脱気装置を有することが好ましい。
さらに、前記インクジェットヘッドの前記液体通過経路
の少なくとも一部が、前記インクジェットヘッドの前記
吐出口の近傍に配置されていることが好ましい。

【００４３】さらに、前記第１のインク経路、前記イン
クジェットヘッドの前記液体通過経路、および前記第２
の液体経路でインクを流動させつつ前記インクジェット
ヘッドから被記録媒体に向けてインクを吐出させる際に
前記インクジェットヘッドが固定される支持部材と、前
記インクジェットヘッドの前記吐出口近傍の一平面上で
前記被記録媒体を移動させる移動手段とをさらに有する
ことが好ましい。

【００４４】さらに、前記第１のタンクから前記第１の
液体経路、前記インクジェットヘッドの前記液体通過経
路、前記第２の液体経路の順で液体が連続的に流れる状
態で前記インクジェットヘッドの前記吐出口から液体を
強制的に排出させるために、前記第１のインク経路内の
液体を前記インクジェットヘッドに向けて強制的に送る
ための加圧手段を有し、前記停止手段は、前記加圧手段
により前記吐出口から液体を強制的に排出させた直後に
前記液体通過経路内の液体の連続的な流れを停止させる
ものである。

【００４５】さらに、前記インクジェットヘッドの吐出
口面を払拭する払拭手段を有し、前記停止手段が、前記
払拭手段によりインクジェットヘッドの吐出口面を払拭
する動作中に前記液体通過経路内の液体の連続的な流れ
を停止させるものである。この場合、前記払拭手段によ
りインクジェットヘッドの吐出口面を払拭する動作の終
了後、前記液体通過経路内で液体が連続的に流れるよう
に前記停止手段を制御する制御手段をさらに有すること
が好ましい。

【００４６】さらに、前記インクジェットヘッドの取付
け位置を調整する際に前記停止手段により前記液体通過
経路内の液体の連続的な流れを停止させることが好まし
く、前記インクジェットヘッドを別のインクジェットヘ
ッドに交換する際には、前記停止手段により前記液体通
過経路内、前記第１および第２の液体経路内の液体の連
続的な流れを停止させることが好ましい。

【００４７】さらに、前記インクジェットヘッドが、被
記録媒体を移動させつつ前記インクジェットヘッドから
前記被記録媒体に向けて液体を吐出する際に前記被記録
媒体の移動範囲の中央部の上方に配置され、前記インク
ジェットヘッドを別のインクジェットヘッドに交換する
際、または前記インクジェットヘッドの取付け位置を調
整する際に前記移動範囲の端部の上方、または前記移動
範囲の外側上方に配置されるものであることが好まし
い。この場合、前記被記録媒体の前記移動範囲の中央部
の上方から前記移動範囲の端部の上方、または前記移動
範囲の外側上方に前記インクジェットヘッドを移動させ
る際に、前記停止手段が、前記液体通過経路内の液体の
連続的な流れを停止させるものであることが好ましい。

【００４８】上記のとおりの発明では、液体を貯留する
タンクまたは第１のタンクから第１の液体経路、インク
ジェットヘッドの液体通過経路、第２の液体経路の順で
液体が連続的に流れるように構成されたインクジェット
記録装置に、前記液体通過経路内の液体の連続的な流れ
を停止させる停止手段が備えられたことにより、例えば
インクジェットヘッドの状態を回復させるために加圧手
段により吐出口から液体を強制的に排出させた直後に停
止手段によって前記液体通過経路内の液体の連続的な流
れを停止させることで、インクジェットヘッドの吐出口
から液体が流れっ放しになることが防止される。また、
インクジェットヘッドの吐出口面を払拭手段により払拭
する動作中において、停止手段によって前記液体通過経
路内の液体の連続的な流れを停止させることにより、イ
ンクジェットヘッドのノズル先端に形成されたメニスカ
スが破壊されてもインクジェットヘッドの吐出口から液
体が流れっ放しになることが防止される。さらに、イン
クジェット記録装置に取り付けられたインクジェットヘ
ッドの取付け位置を調整する際にも、停止手段によって
前記液体通過経路内の液体の連続的な流れを停止させる
ことにより、インクジェットヘッドに接続されたチュー
ブなどに圧力が加わってチューブが変形しても、インク
ジェットヘッドの吐出口から液体がたれることや、吐出
口から液体が流れっ放しになることが防止される。さら
に、インクジェットヘッドを交換する際には、停止手段
によって前記液体通過経路内や、第１および第２の液体
経路内の液体の連続的な流れを停止させることにより、
例えば第１および第２の液体経路の途中で液体供給経路
からインクジェットヘッドを切り離しても、第１の液体
経路や第２の液体経路から液体が流れっ放しになること
が防止される。さらに、インクジェットヘッドを交換可
能、または前記インクジェットヘッドの取付け位置を調
整可能な位置にインクジェットヘッドを移動させる際
に、停止手段によって前記液体通過経路内の液体の連続
的な流れを停止させることにより、インクジェットヘッ
ドに接続されたチューブなどがインクジェットヘッドと
共に移動してそのチューブが変形しても、インクジェッ
トヘッドの吐出口から液体がたれることや、吐出口から
液体が流れっ放しになることが防止される。従って、イ
ンクジェットヘッドの吐出口から流れ出た液体により装
置が汚れたり、装置が損傷したりすることが防止され、
また、インクジェット記録装置における液体の消費量を
最小限にとどめることができる。

【００４９】また、本発明のカラーフィルタ製造装置
は、上述したインクジェット記録装置を有し、前記イン
クジェット記録装置の前記インクジェットヘッドからイ
ンクを吐出させてカラーフィルタを製造する。

【００５０】上記の発明のカラーフィルタ製造装置で
は、上述したようなインクジェット記録装置を用いるこ
とにより、上記のようにインクジェットヘッドの吐出口
面の払拭、インクジェットヘッドの取付け位置の調整、
およびインクジェットヘッドの交換などを行う際にイン
クジェットヘッドや供給経路からインクなどの液体が流
れ出たり、インクが流れっ放しになったりすることが停
止手段によって防止されるので、カラーフィルタ用の基
板にインクがかかることによる不良品の発生がなくな
り、カラーフィルタの歩留まりが高くなる。また、イン
クジェットヘッドから流れ出たインクによってカラーフ
ィルタ製造装置の内部が汚れたり、装置が損傷したりす
ることが防止されるので、カラーフィルタのコストが抑
えられ、低価格のカラーフィルタをより確実に製造する
ことができる。

【００５１】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００５２】〈カラーフィルタ製造装置の全体の構成〉
図１は、本発明の一実施形態のカラーフィルタ製造装置
を示す斜視図である。図２は、図１に示されるＸＹステ
ージ周辺の斜視図であり、図３は、図１に示されるヘッ
ドユニットを構成するインクジェットヘッドおよび、検
出光学系の配置図である。本実施形態のカラーフィルタ
製造装置は、インクジェット方式を用いたものであり、
インクジェットヘッドからインクなどの液体を吐出させ
て透明基板を着色するインクジェット記録装置を有して
いる。

【００５３】本実施形態のカラーフィルタ製造装置で
は、図１に示すように、装置搭載用の定盤６０１およ
び、搬入搬出装置６１８がサーマルチャンバ６１７の内
部に配置されている。定盤６０１の上面には、後述する
ように位置決め装置６３１などの装置が搭載されてい
る。これらの定盤６０１、定盤６０１上の装置および、
搬入搬出装置６１８がサーマルチャンバ６１７によって
覆われている。サーマルチャンバ６１７内の温度は厳密
に管理されており、サーマルチャンバ６１７の内部でカ
ラーフィルタが製造される。搬入搬出装置６１８は、サ
ーマルチャンバ６１７の外部からサーマルチャンバ６１
７の内部へのガラス基板の搬入および、サーマルチャン
バ６１７の内部からサーマルチャンバ６１７の外部への
ガラス基板の搬出を行うものである。

【００５４】図１および図２に示すように、定盤６０１
は、定盤６０１の外部から定盤６０１への振動を遮断す
る除振台６０２により支持されている。定盤６０１で
は、図１に示すように、定盤６０１の上面と平行な一方
向をＸ方向とし、定盤６０１の上面と平行、かつ、Ｘ方
向と直行する方向をＹ方向とする。Ｙ方向に搬入搬出装
置６１８および定盤６０１が並んでいる。また、定盤６
０１の上面に対して垂直な方向をＺ方向とする。

【００５５】定盤６０１上の位置決め装置６３１は、定
盤６０１の上面に配置されたＸＹステージ６０３、ＸＹ
ステージ６０３上に搭載されたチルトステージ６０４
や、Ｚ方向検出用光学系６０８などから構成されてい
る。チルトステージ６０４の上面には、図１３に基づい
て後述するようにブラックマトリクスおよび樹脂組成物
層が形成された、被記録媒体であるガラス基板１が搭載
されている。

【００５６】ＸＹステージ６０３は、大きなストローク
でガラス基板１をＸ方向およびＹ方向に移動させる移動
手段である。このＸＹステージ６０３によって、ヘッド
ユニット６０６に搭載されたインクジェットヘッドの吐
出口近傍の一平面上、ここではＸ方向およびＹ方向と平
行な一平面上でガラス基板１が移動させられる。チルト
ステージ６０４は、チルトステージ６０４上のガラス基
板１のＺ方向の位置決めおよび、Ｘ，Ｙ方向に平行な面
に対するガラス基板１の傾きθの調整を行うものであ
る。Ｚ方向検出用光学系６０８は、ガラス基板１のＺ方
向の位置を検出するためのものである。

【００５７】また、定盤６０１上には、インクなどの液
体を吐出するヘッドユニット６０６をＸ方向に移動させ
るためのヘッドステージ６１０が搭載されている。ヘッ
ドユニット６０６には、インクをガラス基板に向けて吐
出してそのガラス基板を着色するインクジェットヘッド
が備えられている。本実施形態のカラーフィルタ製造装
置では、ヘッドユニット６０６のインクジェットヘッド
の内部でインクを常に流動させ、流動するインクのうち
の一部をインクジェットヘッドの吐出口から吐出させて
ガラス基板を着色させる。ヘッドユニット６０６のイン
クジェットヘッドには、微小な吐出口の他に、後述する
ようにインクジェットヘッドの内部にインクを供給する
ための供給口および、インクジェットヘッドの内部から
インクジェットヘッドの外部へとインクを排出させるた
めの排出口や、それらの供給口および排出口と連通する
インク循環経路が形成されている。

【００５８】ヘッドステージ６１０は、支柱６１１によ
って定盤６０１の上面に支持されている。ヘッドステー
ジ６１０の上面には、ヘッドユニット６０６を支持する
支持アーム６１３が２つ、Ｘ方向に移動可能に載置され
ている。本実施形態のカラーフィルタ製造装置では、ヘ
ッドユニット６０６を２つ搭載するために、このように
支持アーム６１３が２つ備えられている。それぞれの支
持アーム６１３は、ヘッドステージ６１０からＹ方向と
平行に搬入搬出装置６１８側に突出しており、それらの
突出部分のそれぞれの下面にヘッドθモータ６１２が取
り付けられ、ヘッドθモータ６１２の下面にヘッドユニ
ット６０６が取り付けられている。ヘッドθモータ６１
２は、ヘッドユニット６０６全体を回転させるためのも
のである。ヘッドユニット６０６に搭載されたインクジ
ェットヘッドからガラス基板１に向けてインクを吐出さ
せる際にヘッドユニット６０６が固定される支持部材が
支柱６１１およびヘッドステージ６１０などから構成さ
れている。

【００５９】それぞれの支持アーム６１３の上面には、
三方弁や溶存酸素計などが組み込まれた弁ボックス６１
４が搭載されている。支持アーム６１３、ヘッドユニッ
ト６０６および弁ボックス６１４は一体となって、ヘッ
ドステージ６１０によりヘッドステージ６１０の中央部
からＸ方向に沿ってヘッドステージ６１０の端部まで移
動可能となっている。従って、支持アーム６１３、ヘッ
ドユニット６０６および弁ボックス６１４をヘッドステ
ージ６１０の端部に移動させることで、ヘッドユニット
６０６の取付け作業、交換作業および、ヘッドユニット
６０６に備えられたインクジェットヘッドの位置を調整
する作業を作業者が行うことが可能となっている。ま
た、このようにヘッドユニット６０６が２つ搭載された
ヘッドステージ６１０においては、これら２つのヘッド
ユニット６０６におけるＸ方向の相対位置がミクロンオ
ーダで位置決めされるような機構となっている。

【００６０】さらに、定盤６０１の上面におけるヘッド
ステージ６１０の、搬入搬出装置６１８側と反対側の部
分には、回復系ユニット６１５および洗浄系ユニット６
１６が配置されている。回復系ユニット６１５には、ヘ
ッドユニット６０６のインクジェットヘッドのキャッピ
ングを行ったり、そのインクジェットヘッドから吐出さ
れたインクを受けたりするためのキャップや、インクジ
ェットヘッドのノズル面に付着したインク滴を払拭する
払拭手段であるワイピングブレードなどが備えられてい
る。この回復系ユニット６１５はヘッドユニット６０６
の真下まで移動可能となっており、回復系ユニット６１
５によってヘッドユニット６０６のインクジェットヘッ
ドを回復させる動作が行われる。洗浄系ユニット６１６
は、回復系ユニット６１５に備えられたキャップおよび
クリーニングブレードを洗浄するためのものである。

【００６１】サーマルチャンバ６１７の外部からサーマ
ルチャンバ６１７の内部へと搬入されたガラス基板は、
搬入搬出装置６１８によってチルトステージ６０４上へ
と搬送される。また、ヘッドユニット６０６のインクジ
ェットヘッドにより着色されたガラス基板は、搬入搬出
装置６１８によってサーマルチャンバ６１７の外部へと
搬出される。

【００６２】一方、ヘッドユニット６０６には、図３に
示されるインクジェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１
２０ｃが備えられている。インクジェットヘッド１２０
ａは赤色のインクを吐出するものであり、インクジェッ
トヘッド１２０ｂは、緑色のインクを吐出するものであ
り、インクジェットヘッド１２０ｃは、青色のインクを
吐出するものである。インクジェットヘッド１２０ａ，
１２０ｂ，１２０ｃのそれぞれからインクを吐出させる
ための位置にヘッドユニット６０６を配置させた際に、
インクジェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃの
近傍に、Ｚ方向検出用光学系６０８を構成するＺ方向検
出光学素子６０８ａ，６０８ｂ，６０８ｃや、アライメ
ント検出用光学系６０７および着弾位置検出用光学系６
０９が配置されるようにそれらの光学素子や光学系が設
けられている。

【００６３】さらに、図１に示すように、インクジェッ
トヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃのそれぞれにイ
ンクを供給するインク供給ユニット６１９はサーマルチ
ャンバ６１７の外部に配置されている。図１では、イン
ク供給ユニット６１９が１つしか示されていないが、ヘ
ッドユニット６０６の数に対応してインク供給ユニット
６１９も２つ備えられており、１つのヘッドユニット６
０６に１つのインク供給ユニット６１９が対応してい
る。

【００６４】インク供給ユニット６１９には、第２のタ
ンクとしてのメインタンク３０１ａ，３０１ｂ，３０１
ｃ、メインポンプ３０２、第１のタンクとしてのサブタ
ンク４０１ａ，４０２ｂ，４０１ｃ、およびメイン脱気
装置５１１ａ，５１１ｂ，５１１ｃが備えられている。
インクジェットヘッド１２０ａには、メインタンク３０
１ａ、サブタンク４０１ａおよびメイン脱気装置５１１
ａが対応しており、インクジェットヘッド１２０ｂに
は、メインタンク３０１ｂ、サブタンク４０１ｂおよび
メイン脱気装置５１１ｂが対応している。また、インク
ジェットヘッド１２０ｃには、メインタンク３０１ｃ、
サブタンク４０１ｃおよびメイン脱気装置５１１ｃが対
応している。サブタンク４０１ａ，４０２ｂ，４０１ｃ
やメイン脱気装置５１１ａ，５１１ｂ，５１１ｃのそれ
ぞれは、サーマルチャンバ６１７に形成された穴６２１
を通ったチューブ束６２０によって弁ボックス６１４と
連結されている。チューブ束６２０は、インク供給ユニ
ット６１９からヘッドユニット６０６に向けてインクを
供給するチューブと、ヘッドユニット６０６から排出さ
れたインクをヘッドユニット６０６に戻すチューブとか
ら構成されている。

【００６５】さらに、弁ボックス６１４の、ヘッドユニ
ット６０６側の側面からは、ヘッドユニット６０６にイ
ンクを供給するためのチューブ束が延びており、そのチ
ューブ束の先端にはカプラ部６２６を介して複数のイン
ク供給チューブ６２５の一端が接続されている。それぞ
れのインク供給チューブ６２５の他端には、インクジェ
ットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃのうち、それ
ぞれのインク供給チューブ６２５に対応するインクジェ
ットヘッドヘッドが独立して接続されている。インク供
給ユニット６１９、チューブ束６２０、弁ボックス６１
４、ヘッドユニット６０６、弁ボックス６１４とヘッド
ユニット６０６との間のチューブや、定盤６０１上のＸ
Ｙステージ６０３、チルトステージ６０４およびヘッド
ステージ６１０などからインクジェット記録装置が構成
されている。

【００６６】このようにそれぞれの構成部品が接続され
ていることで、インク供給ユニット６１９からインクジ
ェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃのそれぞれ
に向けてインクが供給される。従って、このカラーフィ
ルタ製造装置では、インク供給ユニット６１９や弁ボッ
クス６１４および、インク供給ユニット６１９からヘッ
ドユニット６０６までのインク供給経路を構成するチュ
ーブなどによってインク供給系が構成されている。この
インク供給系については、図７に基づいて詳細に説明す
る。

【００６７】また、インクジェットヘッド１２０ａ，１
２０ｂ，１２０ｃのそれぞれには、電気信号用のケーブ
ル（不図示）の一端が独立して接続されており、電気信
号用のケーブルの他端は、サーマルチャンバ６１７の外
部に配置された制御手段としての制御ユニット（不図
示）に接続されている。制御ユニットはパソコンなどか
ら構成されており、その制御ユニットによってインクジ
ェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃのそれぞれ
から独立にインクを吐出させることができるように構成
されている。さらに、弁ボックス６１４からは、弁ボッ
クス６１４内の三方弁を駆動するための、その三方弁に
一端が接続されたケーブル（不図示）と、弁ボックス６
１４内の溶存酸素計のセンサに一端が接続されたケーブ
ル（不図示）とが束になったケーブル束が出ている。そ
のケーブル束は、チューブ束６２０と同様に穴６２１を
通って、サーマルチャンバ６１７の外部の前記制御ユニ
ットに接続されている。

【００６８】〈ヘッドユニットの構成〉図４は、図１に
示したヘッドユニット６０６の上面図であり、図５は、
ヘッドユニット６０６の正面図であり、図６は、ヘッド
ユニット６０６の側面図である。インクジェットヘッド
１２０ａはアーム５１ａに固定され、アーム５１ａは調
整板５２ａに固定されている。インクジェットヘッド１
２０ｂはアーム５１ｂに固定され、アーム５１ｂは調整
板５２ｂに固定されている。インクジェットヘッド１２
０ｃはアーム５１ｃに固定され、アーム５１ｃは調整板
５２ｃに固定されている。また、調整板５２ａは固定ブ
ロック５３ａを介して調整板５２ｂに固定され、調整板
５２ｃは固定ブロック５３ｃを介して調整板５２ｂに固
定されており、調整板５３ａ，５３ｂ，５３ｃが一体と
なっている。

【００６９】インクジェットヘッド１２０ａの描画方向
（Ｙ方向）と直行する方向（Ｘ方向）の位置合わせは、
インクジェットヘッド１２０ｂのＸ方向の位置を基準と
してマイクロメータ５５ａによって行われる。インクジ
ェットヘッド１２０ｃの描画方向（Ｙ方向）と直行する
方向（Ｘ方向）の位置合わせは、インクジェットヘッド
１２０ｂのＸ方向の位置を基準としてマイクロメータ５
５ａによって行われる。また、インクジェットヘッド１
２０ａの、描画面（Ｘ−Ｙ面）と平行な平面内での回転
方向の位置合わせは、インクジェットヘッド１２０ｂ
の、描画面（Ｘ−Ｙ面）と平行な平面内での回転角を基
準としてマイクロメータ５５ａによって行われる。イン
クジェットヘッド１２０ｃの、描画面（Ｘ−Ｙ面）と平
行な平面内での回転方向の位置合わせは、インクジェッ
トヘッド１２０ｂの、描画面（Ｘ−Ｙ面）と平行な平面
内での回転角を基準としてマイクロメータ５５ｃによっ
て行われる。

【００７０】マイクロメータ５４ａによりインクジェッ
トヘッド１２０ａのＸ方向の位置合わせを行った後に、
インクジェットヘッド１２０ｂに対するインクジェット
ヘッド１２０ａのＸ方向の位置がロックねじ５６ａによ
って固定される。同じように、マイクロメータ５４ｃに
よりインクジェットヘッド１２０ｃのＸ方向の位置合わ
せを行った後に、インクジェットヘッド１２０ｂに対す
るインクジェットヘッド１２０ｃのＸ方向の位置がロッ
クねじ５６ｃによって固定される。また、マイクロメー
タ５５ａによりインクジェットヘッド１２０ａの前記回
転方向の位置合わせを行った後に、インクジェットヘッ
ド１２０ｂに対するインクジェットヘッド１２０ａの回
転方向の相対位置がロックねじ５７ａによって固定され
る。同じように、マイクロメータ５５ｃによりインクジ
ェットヘッド１２０ｃの前記回転方向の位置合わせを行
った後に、インクジェットヘッド１２０ｂに対するイン
クジェットヘッド１２０ｃの回転方向の相対位置がロッ
クねじ５７ｃによって固定される。

【００７１】このようなヘッドユニット６０６の構成に
関しては、特開平９−４９９１９号公報に詳細に記載さ
れている。上記のように、インクジェットヘッド１２０
ｂに対するインクジェットヘッド１２０ａ，１２０ｃの
相対的な位置合わせでは、マイクロメータ５４ａ，５４
ｃ，５５ａ，５５ｃを用いることによってミクロンオー
ダの調整を行うようにしている。

【００７２】ヘッドユニット６０６にインクジェットヘ
ッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃを組み込む作業は、
カラーフィルタ製造装置上ではなく、専用のヘッドユニ
ット組立治具によって行われる。そのヘッドユニット組
立治具によりインクジェットヘッド１２０ａ，１２０
ｂ，１２０ｃを組み込んだ後に、インクジェットヘッド
間の厳密な相対位置合わせが、ヘッドユニット６０６を
カラーフィルタ製造装置または位置合わせ専用の装置に
搭載した状態で行われる。

【００７３】このヘッドユニット６０６に対しては、イ
ンクジェットヘッド１２０ａ，１２０ｃの描画方向と直
行する方向（Ｙ方向）の位置合わせと、描画面（Ｘ−Ｙ
面）と平行な平面内の回転方向（Ｚ方向の軸回り）の位
置合わせとだけでなく、インクジェットヘッドの６自由
度の位置合わせを行っている。すなわち、Ｚ方向の位置
合わせおよび、Ｘ方向の軸回りの位置合わせは、専用の
ヘッドユニット組立治具でのユニット組立時にインクジ
ェットヘッド１２０ａ〜１２０ｃのそれぞれが固定され
たアーム５１ａ〜５１ｃを調整板５２ａ〜５２ｃに取り
付ける際に、インクジェットヘッド１２０ａ〜１２０ｃ
のそれぞれの吐出口面を、平面度が高い超平面を有する
治具に押し当てて取付けねじを締めることにより行う。
ここで、ロックねじ５６ａを用いてＹ方向の位置合わせ
と同時に行うこともできる。また、Ｘ方向の位置合わせ
および、Ｙ方向の軸回りの位置合わせは、ロックねじ５
７ａを用いてＺ方向の軸回りの位置合わせと同時に行う
ことができる。このＸ方向の位置合わせおよび、Ｙ方向
の軸回りの位置合わせは、それぞれのインクジェットヘ
ッドに電気信号を送ってインクジェットヘッドからイン
クを吐出させる際に吐出タイミングを電気的に調整する
ことによって行ってもよい。

【００７４】このように組立および位置合わせが行われ
たヘッドユニット６０６は、図１に示したヘッドθモー
タ６１２の底面に、図４に示されるねじ穴５９，６０を
用いて吊り下げられて固定されている。

【００７５】図１〜図６を参照して説明した本実施形態
のカラーフィルタ製造装置では、上述したようにインク
ジェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃのそれぞ
れが位置合わせされた後にカラーフィルタ製造装置に搭
載されたヘッドユニット６０６の位置の調整を行う時に
は、チルトステージ６０４の上面にダミー基板（不図
示）を搭載する。そして、アライメント検出用光学系６
０７を用いてダミー基板のＸ，Ｙ，θ方向のアライメン
トを行い、ヘッドユニット６０６の位置を評価するため
にインクジェットヘッド１２０ａ〜１２０ｃによってダ
ミー基板に評価用のパターンを描画する。さらに、ＸＹ
ステージ６０３を移動させ、インクジェットヘッド１２
０ａ〜１２０ｃから吐出されたインクの着弾位置を着弾
位置検出用光学系６０９によって測定する。これによ
り、チルトステージ６０４上のダミー基板の座標と、イ
ンクジェットヘッド１２０ａ〜１２０ｃから吐出された
インクの着弾位置の座標値を正確に測定することができ
る。ダミー基板におけるこれらの座標値は、ダミー基板
の代わりに、ダミー基板と異なる別の基板をチルトステ
ージ６０４上に搭載した場合でも変化しないので、装置
組立時やインクジェットヘッド交換時など、装置のシス
テムパラメータが変化した時に、ダミー基板を用いてそ
れらの座標値を測定すればよい。あるいは、着弾位置を
他の装置で測定しておき、この測定値が本実施形態のカ
ラーフィルタ製造装置において再現されるようにしても
よい。

【００７６】また、カラーフィルタを製造する時には、
ガラス基板１をチルトステージ６０４に搭載すると、ア
ライメント検出用光学系６０７によりガラス基板１とイ
ンクジェットヘッド１２０ａ〜１２０ｃのそれぞれとの
Ｘ，Ｙ，θの３方向での位置ずれ量が検出される。その
アライメント検出用光学系６０７による検出結果に基づ
き、θ成分のずれをチルトステージ６０４により補正
し、Ｘ方向のずれはＸＹステージ６０３のＸ方向の位置
を合わせることにより補正する。また、Ｙ方向（印字走
査方向）のずれは、ＸＹステージ６０３のＹ方向の位置
を合わせるか、あるいはインクジェットヘッド１２０ａ
〜１２０ｃの吐出タイミングを制御することにより行
う。

【００７７】さらに、本実施形態のカラーフィルタ製造
装置では、インクジェットヘッドを交換する際にヘッド
ユニット６０６ごと交換する構成となっている。その
際、図１に示したように２つの支持アーム６１３がヘッ
ドステージ６１０のほぼ中央に位置している状態から、
ヘッドステージ６１０によって２つのヘッドユニット６
０６が互いに離れる方向、すなわちＸ方向にそれぞれの
ヘッドユニット６０６を移動させ、それぞれのヘッドユ
ニット６０６を、Ｘ方向におけるヘッドステージ６１０
の端部に配置させてから、ヘッドユニット６０６を別の
異なるヘッドユニットに交換する。また、それぞれのヘ
ッドユニット６０６がＸ方向におけるヘッドステージ６
１０の端部に位置している状態で、必要に応じて、ヘッ
ドユニット６０６に取り付けられたマイクロメータ５４
ａ，５４ｃ，５５ａ，５５ｃによってインクジェットヘ
ッド同士の相対的な位置の微調整を行う。

【００７８】〈インク供給系の構成〉図７は、図１に示
したカラーフィルタ製造装置のインク供給系の構成を示
す模式図である。図７では、図１に示したインク供給系
のうち、インクジェットヘッド１２０ａにインクなどの
液体を供給するためのインク供給系が示されている。イ
ンクジェットヘッド１２０ｂおよび１２０ｃのためのイ
ンク供給系は、図７に示されるインク供給系と同様のも
のである。

【００７９】図７に示すように、本実施形態のカラーフ
ィルタ製造装置のインク供給系には、インクジェットヘ
ッド１２０ａに供給するためのインクを貯留する第１の
タンクとしてのサブタンク４０１ａと、サブタンク４０
１ａに供給するためのインクを貯留する第２のタンクと
してのメインタンク３０１ａとが備えられている。メイ
ンタンク３０１ａの内部には、メインタンク３０１ａ内
のインクの残量を検知するためのインク残量センサ３５
０が備えられている。

【００８０】メインタンク３０１ａ内部の底面にはチュ
ーブ３５１の一端が配置され、チューブ３５１の他端は
ジョイント３７１によりチューブ３５２の一端と接続さ
れている。ジョイント３７１には、大気連通用のチュー
ブ３５７の一端が接続され、チューブ３５７の他端に二
方弁３０４が接続されている。二方弁３０４によってチ
ューブ３５７の他端部が開閉される。チューブ３５２の
他端にはメインポンプ３０２が接続されている。メイン
ポンプ３０２としては、インクの進行方向に向ってチュ
ーブを押し潰しながらインクを送り出すチューブポンプ
が用いられている。そのメインポンプ３０２にチューブ
３５３の一端が接続され、チューブ３５３の他端に、捕
捉粒子径２μｍのフィルタ３１１を介してチューブ３５
４の一端が接続されている。チューブ３５４の他端に
は、ジョイント３７２を介してチューブ３５５の一端が
接続されている。ジョイント３７２にはチューブ３７３
を介してカプラプラグ３７４が取り付けられている。チ
ューブ３５５の他端にはサブの脱気装置３２１が接続さ
れており、その脱気装置３２１にはチューブ３２３を介
して真空ポンプ３２２が接続されている。

【００８１】脱気装置３２１の内部には、気体透過性を
有する中空糸を複数本束ねたものが備えられている。脱
気装置３２１内の中空糸の中にインクを通過させて、中
空糸の外部から真空ポンプ３２２で真空引きすることに
よってインク中に溶け込んでいる気体がインクから取り
除かれる。中空糸を構成する中空糸脱気膜として、ポリ
（４−メチルペンテン−１）が用いられている。脱気装
置３２１では、真空ポンプ３２２によって３２±２Torr
の真空度で、脱気装置３２１を通過するインクの脱気を
行っている。

【００８２】さらに、脱気装置３２１にはチューブ３５
６の一端が接続されている。チューブ３５６の他端は、
タンク間供給経路切り替え手段である三方弁４０３を介
して、チューブ４５３の一端および、チューブ４５４の
一端と接続されている。チューブ４５４の他端はサブタ
ンク４０１ａの内部と連通している。従って、メインタ
ンク３０１ａからサブタンク４０１ａへのインクの供給
は、チューブ３５１，３５２，３５３，３５４，３５
５，３５６，４５４を通して行われる。これらのチュー
ブや、それぞれのチューブと接続されたメインポンプ３
０２などの構成部品からタンク間液体供給手段が構成さ
れており、そのタンク間液体供給手段によって、メイン
タンク３０１ａに貯留された液体がサブタンク４０１ａ
に供給される。よって、メインタンク３０１ａから、チ
ューブ３５１、メインポンプ３０２、フィルタ３１１、
脱気装置３２１、三方弁４０３およびチューブ４５４を
通ってサブタンク４０１ａに至るまでの間のインク経路
によってタンク間供給経路が構成されている。

【００８３】前述したカプラプラグ３７４にはカプラソ
ケット３７５が接続可能であるが、図７では、カプラソ
ケット３７５がカプラプラグ３７４から取り外された状
態が示されている。カプラプラグ３７４は、カプラプラ
グ３７４に何も接続されていない状態で先端が閉じる機
構となっているものである。一方、カプラソケット３７
５にはチューブ３７６の一端が接続され、チューブ３７
６の他端に吸引ポンプ３７７が接続されている。その吸
引ポンプ３７７にはチューブ３７８を介して廃液タンク
３７９が接続されている。カプラソケット３７５、チュ
ーブ３７６、吸引ポンプ３７７、チューブ３７８および
廃液タンク３７９からインク吸引装置が構成されてい
る。そのインク吸引装置は、インク供給経路内のインク
を抜く際にカプラプラグ３７４に接続される。

【００８４】サブタンク４０１ａの底部にはチューブ４
５１の一端が接続され、チューブ４５１の他端に流量計
４５６を介してチューブ４５５の一端が接続されてい
る。チューブ４５５の他端にはメイン脱気装置５１１ａ
が接続されている。メイン脱気装置５１１ａにはチュー
ブ５８０を介して真空メータ５２１が接続され、真空メ
ータ５２１にはチューブ５８１を介して真空ポンプ５２
２が接続されている。

【００８５】メイン脱気装置５１１ａには、さらに、チ
ューブ５７１を介して溶存気体測定装置である溶存酸素
計５２０の下部が接続されている。溶存酸素計５２０に
は、測定手段であるセンサ５２３、およびマグネチック
スターラー５３４が備えられている。溶存酸素計５２０
の上部にはチューブ５７２の一端が接続され、チューブ
５７１の他端にはジョイント５７７を介してチューブ５
７３および５７４のそれぞれの一端が接続されている。
チューブ５７４の他端には三方弁５０４が接続されてお
り、三方弁５０４には、さらに、チューブ５５３およ
び、バイパス路であるチューブ５７５のそれぞれの一端
が接続されている。

【００８６】一方、ジョイント５７７によりチューブ５
７１および５７４と接続されたチューブ５７３の他端に
は三方弁５０２が接続されている。この三方弁５０２に
は、さらに、チューブ５７６および４５２のそれぞれの
一端が接続されている。チューブ５７６の他端には三方
弁５０５が接続されており、三方弁５０５にはチューブ
５７５の他端および、チューブ５５４の一端が接続され
ている。三方弁５０４と５０５とから液体供給経路切り
替え手段が構成されている。チューブ５５３の他端には
カプラ５５５を介してチューブ５５１の一端が接続さ
れ、チューブ５５４の他端にはカプラ５５６を介してチ
ューブ５５２の一端が接続されている。

【００８７】チューブ５５１および５５２のそれぞれの
他端には、チューブ５５１および５５２をインクジェッ
トヘッド１２０ａに接続するためのコネクタ５６１が接
続されている。インクジェットヘッド１２０ａには、上
述したように供給口および排出口が設けられており、イ
ンクジェットヘッド１２０ａの、供給口および排出口が
設けられた部分にコネクタ５６１が取り付けられてい
る。これにより、インクジェットヘッド１２０ａの供給
口がチューブ５５１と連通し、インクジェットヘッド１
２０ａの排出口がチューブ５５２と連通している。

【００８８】インクジェットヘッド１２０ａの内部に
は、インクジェットヘッド１２０ａの供給口からインク
ジェットヘッド１２０ａ内に流れ込んだインクが、イン
クジェットヘッド１２０ａの排出口からインクジェット
ヘッド１２０ａの外部に排出されるように液体通過経路
としてのインク循環経路１２１ａが形成されている。イ
ンクジェットヘッド１２０ａにおけるインク循環経路１
２１ａの近傍の部分には複数のノズルが配置されてお
り、複数のノズルのそれぞれに、インク循環経路１２１
ａ内を流れる液体をインクジェットヘッド１２０ａから
吐出させるための熱エネルギーを発生する電気熱変換体
が備えられている。これにより、インク循環経路１２１
ａを流れるインクの一部が電気熱変換体の駆動によって
インクジェットヘッド１２０ａのそれぞれのノズル先端
の吐出口（オリフィス）から吐出される。

【００８９】インク吐出時にインクジェットヘッド１２
０ａに供給されるインクはインクジェットヘッド１２０
ａの外部のインク経路や、インクジェットヘッド１２０
ａのインク循環経路１２１ａ内を常に流動している。こ
こで、インクジェットヘッド１２０ａに供給されるイン
クの量に比べて、インクジェットヘッド１２０ａから吐
出されるインクの量は非常に少ないため、インクジェッ
トヘッド１２０ａから吐出されなかったインクは、イン
クジェットヘッド１２０ａの排出口からチューブ５５２
に排出される。

【００９０】チューブ５５１および５５２の他端にコネ
クタ５６１を介してインクジェットヘッド１２０ａが接
続されている際に、カプラ５５５および５５６でチュー
ブ５５１および５５２のそれぞれを、チューブ５５３お
よび５５４から切り離すことによって、インクジェット
ヘッド１２０ａがインク供給系から分離される。カプラ
５５５および５５６としては、カプラ５５５および５５
６のそれぞれでチューブ同士を切り離した状態でカプラ
５５５および５５６の端部が閉じることなく、開放状態
のままであるものが用いられている。これにより、カプ
ラ５５５および５５６によりチューブ同士を接続した際
に、カプラ５５５および５５６の内部に入り込む空気の
抜けがよくなる。

【００９１】カプラ５５５には脱着センサ５５７が取り
付けられ、カプラ５５６には脱着センサ５５８が取り付
けられている。脱着センサ５５７によって、カプラ５５
５によりチューブ同士が接続されているか否かが検知さ
れ、脱着センサ５５８によって、カプラ５５６によりチ
ューブ同士が接続されているか否かが検知される。これ
により、カプラ５５５および５５６のそれぞれでチュー
ブ同士が確実に接続されない状態でインク供給系を稼動
しないようにカラーフィルタ製造装置が構成されてい
る。

【００９２】一方、三方弁５０２に接続されたチューブ
４５２の他端には、三方弁４０３に接続されたチューブ
４５３の他端、およびチューブ４５７の一端がジョイン
ト４７１を介して接続されている。チューブ４５７の他
端は、インク戻り弁としての二方弁４０６を介してチュ
ーブ４５８の一端と接続され、チューブ４５８の他端
は、第３の液体経路としてのチューブ４５９の上部の内
部に差し込まれている。チューブ４５９の内径はチュー
ブ４５８の外径よりも大きくなっている。このチューブ
４５９は、後述するようにサブタンク４０１ａ内のイン
クが所定の量に達した際にサブタンク４０１ａ内のイン
クをメインタンク３０１ａ内に戻す第４の液体経路とし
ても用いられており、第３の液体経路と第４の液体経路
の一部とが共通となっている。チューブ４５９の下部
は、メインタンク３０１ａの上面からメインタンク３０
１ａの内部に差し込まれている。

【００９３】それぞれのチューブのサイズとしては、チ
ューブ５５１，５５２，５５３，５５４が外径φ４ｍ
ｍ、内径φ２ｍｍであり、チューブ４５９が外径φ１２
ｍｍ、内径φ８ｍｍである。それ以外の、図７に示した
チューブのサイズは、全て外径φ６ｍｍ、内径φ４ｍｍ
である。また、チューブの材質としては、チューブ３５
１，３５２，３５３，３５４，３５５，３７６，３７
８，４５９が、特殊ポリオレフィン系樹脂を用いたＰＮ
チューブ（ニッタ・ムアー社製）であり、真空系で用い
るチューブ３２３，５８０，５８１はウレタンチューブ
である。それ以外の、図７に示したチューブは全てＰＶ
ＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）チューブであり、このＰ
ＶＤＦチューブとして、材料としてより柔軟性のあるＥ
ＬＦアトケムジャパン社のＫＹＮＥＲ２８００を用いた
株式会社イワセ社製のＥＸＬＯＮ ＰＶＤＦチューブを
用いた。

【００９４】次に、上述したインク供給系におけるイン
クの供給経路に配置された構成部品について説明する。

【００９５】サブタンク４０１ａには、チューブ４５１
を通してインクを流量計４５６に向けて圧送するための
タービン４０２ａと、タービン４０２ａを駆動するため
の加圧モータ４０２とが備えられている。加圧モータ４
０２およびタービン４０２ａによって、加圧手段が構成
されていて、この加圧手段の駆動および停止が制御ユニ
ットにより制御される。また、サブタンク４０１ａ側面
の、底面から所定の高さの位置にはドレイン４０４が設
けられている。このドレイン４０４は、上端が大気に開
放されたやや大径（外径φ１２ｍｍ／内径φ８ｍｍ）の
チューブ４５９の途中と接続されている。チューブ４５
９の下端はメインタンク３０１ａの内部に導かれてい
る。また、チューブ４５９の上部には、ジョイント４７
１にチューブ４５７および二方弁４０６を介して一端が
接続されたチューブ４５８の他端部が差し込まれてい
る。

【００９６】このチューブ４５８の、インクジェットヘ
ッド１２０ａ側と反対側となるチューブ４５９側の先端
は、サブタンク４０１ａ内のインクがドレイン４０４か
ら流れ出る液面の高さから所定の距離δだけ低い位置に
配置されている。本実施形態では、サブタンク４０１ａ
内のインクがドレイン４０４から流れ出る液面の高さか
ら３００ｍｍ下にチューブ４５８の先端が配置されてい
る。また、サブタンク４０１ａ内のインクの液面に対す
るチューブ４５８の先端の高さは、チューブ４５９への
差込量を変えることで簡単に変更可能となっている。

【００９７】この距離δの３００ｍｍという設定値はイ
ンクの粘度によって決まる値で、この値を大きくし過ぎ
るとインクジェットヘッド１２０ａのノズルから空気を
吸い込んで吐出不能となる恐れがある。また、小さくし
過ぎると、インクの循環量が少なくなるので、インクジ
ェットヘッド１２０ａ内で十分に脱気されたインクを確
保できなくなり、吐出の安定化を実現できなくなる恐れ
がある。従って、インクの粘度により距離δの値を最適
値に設定する必要があり、色によってインクの粘度が異
なれば距離δの設定値を色ごとに変化させることが望ま
しい。本実施形態では、インクの粘度が３色ともほぼ同
じであるため、距離δを全ての色で同じ設定値としてい
る。

【００９８】また、サブタンク４０１ａには、サブタン
ク４０１ａ内のインクの液位が一定の高さ以下とならな
いように、サブタンク４０１ａ内のインクの残量を検知
する残量センサ４０５が設けられている。これにより、
サブタンク４０１ａ内のインクがタービン４０２ａによ
って圧送されたり、サブタンク４０１ａ内の液面の高さ
と、チューブ４５８の先端の高さとの差である水頭差に
よってサブタンク４０１ａ内のインクがチューブ４５８
の先端から流れ出たりすることによりサブタンク４０１
ａ内の液位が下がり、サブタンク４０１ａが空になるこ
とでインクの供給経路内に空気が圧送されることが防止
される。本実施形態では、サブタンク４０１ａ内のイン
クがドレイン４０４を通ってメインタンク３０１ａへ流
れ出るインクの高さから１０ｍｍ下がった液位で残量セ
ンサ４０５がインクの液面を検知するような構成となっ
ている。また、サブタンク４０１ａ内のインクがドレイ
ン４０４に流れ出す液面の高さは、インクジェットヘッ
ド１２０ａの吐出口面（ノズル面）から２５ｍｍだけ下
の位置になるように設定されている。

【００９９】残量センサ４０５がインクの液面を検知す
ると、メインポンプ３０２の駆動によりメインタンク３
０１ａからサブタンク４０１ａにインクが補充される。
この補充の際の三方弁４０３では、チューブ３５６から
三方弁４０３に向かって流れるインクをチューブ４５４
にのみ、すなわち図７の矢印Ａの方向にのみに流す状態
になっている。メインポンプ３０２は、ドレイン４０４
からインクが流れ出るまで一定時間の間だけ駆動する。

【０１００】流量計４５６は、サブタンク４０１ａから
圧送されたインクの流量を測定するものであり、流量計
４５６としては、瞬時流量および積算流量のいずれも測
定可能なものを用いている。

【０１０１】メイン脱気装置５１１ａは、脱気装置３２
１と同様に、インク中に溶け込んでいる気体を取り除く
ものあり、メイン脱気装置５１１ａ内には、気体透過性
を有する中空糸を複数本束ねたものが備えられている。
その中空糸の中にインクを通過させると共に真空ポンプ
５２２により中空糸の外部から真空引きすることによっ
て、インク中に溶け込んでいる気体が取り除かれる。メ
イン脱気装置５１１ａでは、中空糸を構成する中空糸脱
気膜としてフッ素樹脂（四フッ化エチレン）が用いられ
ている。メイン脱気装置５１１ａには、インクの出入り
口となるポート以外に真空引きをするためのポートが備
えられており、そのポートにはチューブ５８０、真空メ
ータ５２１およびチューブ５８１を介して真空ポンプ５
２２が接続されている。これにより、メイン脱気装置５
１１ａは真空ポンプ５２２によって真空度１０±２Torr
でインクの脱気を行う。

【０１０２】溶存酸素計５２０は、メイン脱気装置５１
１ａを通過してきたインクの脱気レベルを測定するため
のものである。図８は、溶存酸素計５２０の詳細を示す
断面図である。図８に示すように、溶存酸素計５２０で
は、気体透過性の低い樹脂（例えばＰＶＤＦ）、あるい
はステンレスからなる容器５２８の下部の側面に、チュ
ーブ継手５２７ａによりチューブ５７１が接続されてい
る。容器５２８の上面にはチューブ継手５２７ｂにより
チューブ５７２が接続されている。そして、容器５２８
側面の、チューブ５７１と異なる位置には、センサ５２
３がセンサ固定治具５２９によって、容器５２８内のイ
ンクが漏れないように、センサ５２３がほぼ水平となっ
て固定されている。容器５２８内部の形状としては、容
器５２８内の空気がインクと共にチューブ５７２へ抜け
やすいように上部がテーパ状になっている。これによ
り、容器５２８内に空気が入ったとしても、サブタンク
４０１ａから圧送されたインクがチューブ５７１を通し
て容器５２８内に底部から入って、容器５２８内の空気
が容器５２８の上部からチューブ５７２に流れ込みやす
くなる。

【０１０３】センサ５２３は、ポーラロ式の酸素電極を
用いたものである。センサ５２３の測定原理により、セ
ンサ５２３の、容器５２８内部の先端の電極部で酸素が
消費されるので、正確な溶存気体量の測定を行うために
は、後述する溶存酸素計の測定原理から、センサ５２３
の先端部付近の液体を撹拌する必要がある。

【０１０４】本実施形態では、インクジェットヘッド１
２０ａからインクを吐出させている間、インク供給経路
内でインクを循環させているが、その循環量は数ｍｌ／
ｍｉｎの微量であり、また、インクジェットヘッド１２
０ａで吐出により消費されるインクの量はごくわずかで
あり、容器５２８内でインクの流れはほとんど生じてい
ない。従って、容器５２８内には、液体を攪拌するため
の、磁石が内蔵された回転子５２６が入れられている。
また、容器５２８の底面には、回転子５２６を回転させ
るためのマグネチックスターラー５２４が備えられてい
る。このマグネチックスターラー５２４によって、回転
子５２６が容器５２８内の底面に接した状態で回転子５
２６が回転させられる。このようにして容器５２８内の
インクを常に撹拌することで、インク中の溶存酸素量を
正確に測定することができる。

【０１０５】〈溶存酸素計の測定原理〉図７および図８
に示した溶存酸素計５２０として用いたポーラロ式の溶
存酸素計は、一般的に隔膜式溶存酸素電極と呼ばれてい
るものであり、酸素の還元を測定原理として用いてい
る。

【０１０６】図９は、ポーラロ式の溶存酸素計の測定原
理を説明するための模式図である。図９に示すように、
ポーラロ式の溶存酸素計は、酸素電極５３７ａと低電圧
電源５３３と直流電流計５３８とで構成されている。酸
素電極５３７ａでは、電極ボディ５３７の一端が開口し
ており、その電極ボディ５３７の開口部が隔膜５３４で
覆われることで電極ボディ５３７の一端が塞がれてい
る。電極ボディ５３７の内部には、銀からなる棒状の陽
極５３２が備えられている。陽極５３２の隔膜５３５側
の端部には、白金からなる陰極５３１が備えられてい
る。また、電極ボディ５３７内には電解液５３６が満た
され、その電解液５３６に陰極５３１および陽極５３２
が浸っている。このような酸素電極５３７ａが、隔膜５
３５を下方に向けて容器５３９内の測定液５３４に浸さ
れている。陰極５３１および陽極５３２は、容器５３９
の外部の定電圧電源５３３および直流電流計５３８と電
気的に接続されている。

【０１０７】このような溶存酸素計では、陰極５３１と
陽極５３２との間に、酸素を還元するために必要な定電
圧（例えば、６００〜７００ｍＶ）を低電圧電源５３３
により予めかけておく。測定液５３４中の酸素が隔膜５
３５を透過して電解液５３６に溶け込むと、溶け込んだ
酸素は陰極５３１で水酸基に還元され、溶存酸素計の回
路中に還元電流が流れる。このときの陽極５３２での化
学反応は下記の式（１）で表わされ、陰極５３１での化
学反応は下記の式（２）で表わされる。

【０１０８】 陽極：４Ａｇ ＋ ４ＯＨ^- → ２Ａｇ₂Ｏ ＋ ２Ｈ₂Ｏ・・・・・（１） 陰極：Ｏ₂ ＋ ２Ｈ₂Ｏ ＋ ４ｅ → ４ＯＨ^-・・・・・・・・・（２）

【０１０９】上記の式（２）で示される還元電流は測定
液５３４中の酸素濃度に比例する。例えば測定液５３４
中の酸素が増すと、隔膜５３５を透過して電解液５３６
に溶け込む酸素の量が多くなり、直流電流計５３８に流
れる還元電流が電解液５３６中の酸素濃度に比例して大
きくなる。ここで、測定中の測定液５３４では、隔膜５
３５付近が酸素濃度が低い低濃度領域５３４ａとなって
おり、低濃度領域５３４ａの外側が、低濃度領域５３４
ａよりも酸素濃度が高い中濃度領域５３４ｂとなってい
る。そして、中濃度領域５３４ｂの外側が、中濃度領域
５３４ｂよりも酸素濃度が高い高濃度領域５３４ｃとな
っている。このように、溶存酸素計は、溶存酸素計の回
路中を流れる還元電流を測定し、その還元電流の測定値
を酸素濃度に換算することによって測定液５３４の酸素
濃度の測定を行っている。

【０１１０】上述したように、ポーラロ式の酸素電極
は、陰極として白金、陽極として銀、電解液としてアル
カリ溶液を用い、外部電極による酸素の定電位電解を用
いた酸素電極である。このポーラロ式に対して、隔膜式
の溶存酸素計のもう一つの測定方法であるガルバニ式で
は、陽極として白金、陰極として鉛、電解液としてアル
カリ溶液を用い、外部電極を用いないで酸素電極自身の
電池反応による電圧を利用し、酸素の定電位電解を用い
ている。

【０１１１】ポーラロ式はガルバニ式と比較して、次に
説明する利点を有している。第１の利点としては測定の
再現性がよい。第２の利点としては、沈殿物の発生が少
ないので長期的に測定が安定している。第３の利点とし
ては電圧を酸素電極にかけているので温度の影響が小さ
い。これらの利点により、本実施形態ではポーラロ式の
溶存酸素計を用いている。

【０１１２】次に、図８に示したように、センサ５２３
をほぼ水平となるように容器５２８に取り付けたことに
ついて説明する。図９に示した溶存酸素計を長時間使用
していると、陽極５３２の表面に塩化銀の層が形成さ
れ、その塩化銀の層が陽極５３２から剥離して、陰極５
３１と隔膜５３５との間に入る。このように、陰極５３
１と隔膜５３５との間に塩化銀が入り込むと、溶存酸素
計の安定した性能が得られなくなってしまう。従って、
隔膜５３５を下方に向けて酸素電極５３７ａを取り付け
る方法では、塩化銀が陰極５３１と隔膜５３５との間に
入り込みやすいので、この取り付け方法は、長期にわた
って使用する場合、望ましいものでない。また、これと
は逆に隔膜５３５を上方に向けて酸素電極５３７ａを取
り付けようとすると、酸素電極５３７ａを容器５３９の
底面に取り付けることになり、図８に示した溶存酸素計
５２０の場合、センサ５２３を容器５２８の底面に取り
付けなければならない。しかしながら、容器５２８内の
底部では、回転子５２６で撹拌を行うので、容器５２８
の底面でセンサ５２３とマグネチックスターラー５２４
とを並べる必要があり、容器５２８が大きくなる。容器
５２８が大きくなると容器５２８内に滞留するインクの
量が多くなってしまい望ましくない。従って、図８に示
した溶存酸素計５２０では、センサ５２３の寿命が長
く、かつ、容器５２８内部の容積が小さくなるように、
センサ５２３がほぼ水平に容器５２８に取り付けられて
いる。

【０１１３】〈三方弁の切り替え動作〉次に、図７に示
した三方弁５０２，５０４，５０５の切り替え動作につ
いて図１０〜図１２を参照して説明する。三方弁５０
２，５０４，５０５の切り替え動作は制御ユニットによ
って制御される。

【０１１４】図１０は、図７に示したインクジェットヘ
ッド１２０ａからインクを吐出する際の三方弁５０２，
５０４，５０５の状態を示す図である。

【０１１５】図１０に示すように、インクジェットヘッ
ド１２０ａからインクを吐出する際には、三方弁５０２
によってチューブ４５２とチューブ５７６とが連通し、
チューブ５７３の三方弁５０２側の端部は閉じた状態と
なる。三方弁５０５では、チューブ５７６とチューブ５
５４とが連通し、チューブ５７５の三方弁５０５側の端
部が閉じた状態となる。三方弁５０４では、チューブ５
５３とチューブ５７４とが連通し、チューブ５７５の三
方弁５０４側の端部が閉じた状態となる。

【０１１６】従って、インクの吐出時には、サブタンク
４０１ａからメイン脱気装置５１１ａに向って流れるイ
ンクは、溶存酸素計５２０を通過した後に、チューブ５
７２、ジョイント５７７、チューブ５７４、三方弁５０
４およびチューブ５５３などを通してインクジェットヘ
ッド１２０ａの供給口に供給される。インクジェットヘ
ッド１２０ａにインクが供給された後に、インクジェッ
トヘッド１２０ａから吐出されずにインクジェットヘッ
ド１２０ａの外部に排出されたインクは、チューブ５５
２、カプラ５５６、チューブ５５４、三方弁５０５、チ
ューブ５７６、三方弁５０２、チューブ４５２、ジョイ
ント４７１、チューブ４５７、二方弁４０６およびチュ
ーブ４５８，４５９を通してメインタンク３０１ａの内
部に流れ込む。

【０１１７】サブタンク４０１ａから、チューブ４５
１、流量計４５６、チューブ４５５、メイン脱気装置５
１１ａ、チューブ５７１、溶存酸素計５２０、チューブ
５７２，５７４，５５３，５５１を通ってインクジェッ
トヘッド１２０ａに至るまでのインク経路によって、サ
ブタンク４０１ａ内に貯留されたインクをインクジェッ
トヘッド１２０ａに供給するための第１の液体経路が構
成されている。また、チューブ５５２，５５４，５７
６，４５２，４５７，４５８や、それらのチューブに間
を接続する構成部品などから第２の液体経路が構成さ
れ、この第２の液体経路の、インクジェットヘッド１２
０ａ側と反対側の端部に相当する、チューブ４５８の端
部が第３の液体経路としてのチューブ４５９の差し込ま
れている。さらに、第２の液体経路の、インクジェット
ヘッド１２０ａ側と反対側の先端、すなわちチューブ４
５８の先端から流れ出たインクをサブタンク４０１ａに
戻すための液体戻し経路が、チューブ４５９と、メイン
タンク３０１ａと、上述したタンク間供給経路とから構
成されている。

【０１１８】図１１は、インクジェットヘッド１２０ａ
を避けてインクを循環させるために、インクをバイパス
する際の三方弁５０２，５０４，５０５の状態を示す図
である。三方弁５０２，５０４，５０５を、図１１に示
す状態にした後に、後述するようにインクをインク供給
系に充填する動作や、インク供給系のインクを交換する
動作などが行われる。

【０１１９】図１１に示すように、インクのバイパス時
には、三方弁５０２によってチューブ４５２とチューブ
５７６とが連通し、チューブ５７３の三方弁５０２側の
端部は閉じた状態となる。三方弁５０５では、チューブ
５７６とチューブ５７５とが連通し、チューブ５５４の
三方弁５０５側の端部は閉じた状態となる。三方弁５０
４では、チューブ５７５とチューブ５７４とが連通し、
チューブ５５３の三方弁５０４側の端部は閉じた状態と
なる。

【０１２０】従って、インクのバイパス時では、サブタ
ンク４０１ａからメイン脱気装置５１１ａに向って流れ
るインクは、溶存酸素計５２０を通過した後に、チュー
ブ５７２、ジョイント５７７、チューブ５７４、三方弁
５０４、チューブ５７５、三方弁５０５、チューブ５７
６、三方弁５０２およびチューブ４５２をこの順番で通
過してメインタンク３０１ａの内部に送り込まれる。そ
の場合とインクの流れが反対の場合、三方弁４０３、チ
ューブ４５３，４５２をこの順番で通過して三方弁５０
２に向って流れるインクはチューブ５７６、三方弁５０
５、チューブ５７５、三方弁５０４、チューブ５７４な
どを通して溶存酸素計５２０の内部に送り込まれる。三
方弁５０２，５０４，５０５がこのようなバイパス状態
にあるときでは、インクジェットヘッド１２０ａはメイ
ンタンク３０１ａおよびサブタンク４０１ａとインク供
給路によってつながっていない。

【０１２１】図１２は、後述するようにインクジェット
ヘッド１２０ａの供給口および排出口の両側に向けてイ
ンク供給経路内のインクを加圧する際の三方弁５０２，
５０４，５０５の状態を示す図である。

【０１２２】後述するようにサブタンク４０１ａ内のイ
ンクをインクジェットヘッド１２０ａの供給口および排
出口の両側に向けて加圧する際には、図１２に示すよう
に、三方弁５０２によってチューブ５７３とチューブ５
７６とが連通し、チューブ４５２の三方弁５０２側の端
部は閉じた状態となる。三方弁５０５では、チューブ５
７６とチューブ５５４とが連通し、チューブ５７５の三
方弁５０５側の端部が閉じた状態となる。三方弁５０４
では、チューブ５７４とチューブ５５３とが連通し、チ
ューブ５７５の三方弁５０４側の端部が閉じた状態とな
る。

【０１２３】サブタンク４０１ａ内のインクをインクジ
ェットヘッド１２０ａに向けて加圧するには、サブタン
ク４０１ａに備えられたタービン４０２ａを回転させ
る。図１２に示した状態でタービン４０２ａを回転させ
ると、サブタンク４０１ａ内のインクはチューブ４５１
を通してメイン脱気装置５１１ａに向けて送り出され
る。送り出されたインクは、メイン脱気装置５１１ａお
よび溶存酸素計５２０を通過した後に、ジョイント５７
７でチューブ５７４および５７３に分岐される。ジョイ
ント５７７でチューブ５７４および５７３のそれぞれに
分岐されたインクは、それぞれの供給経路を通してイン
クジェットヘッド１２０ａに送り込まれる。

【０１２４】上述したように、これらの三方弁５０２，
５０４，５０５は、図７に示したインク供給経路におけ
るインクの流れを切り替えるものであるが、これらの三
方弁５０２，５０４，５０５から、図７に示したインク
供給経路、およびインクジェットヘッド１２０内のイン
ク循環経路１２１ａにおけるインクの連続的な流れ、す
なわちそれぞれのインク流路内におけるインクの流動を
停止させる停止手段が構成されている。従って、三方弁
５０２，５０４，５０５の動作によって、サブタンク４
０１ａに貯留された液体をインクジェットヘッド１２０
ａに供給するための前記第１の液体経路内、インクジェ
ットヘッド１２０ａ内のインク循環経路１２１ａ内や、
インク循環経路１２１ａを通過した液体が流れ込む前記
第２の液体経路内のインクの流動が停止される。

【０１２５】このように三方弁５０２，５０４，５０５
の動作によりインクの流れを停止させる動作は、後述す
るようにインクジェットヘッド１２０ａの吐出口から液
体を強制的に排出させた直後や、インクジェットヘッド
１２０ａの吐出口面をワイピングブレードにより払拭す
る動作中、インクジェットヘッド１２０ａの取付け位置
を調整する際、およびインクジェットヘッド１２０ａを
交換する際に行われる。さらに、インクジェットヘッド
１２０ａを有するヘッドユニット６０６を、ガラス基板
１の、ＸＹステージ６０３による移動範囲の中央部の上
方、すなわち装置の中央部から、前記移動範囲の端部の
上方、または前記移動範囲の外側上方、すなわちインク
ジェットヘッド１２０ａを交換可能、またはインクジェ
ットヘッド１２０ａの取付け位置が調整可能となるよう
な装置の端部に移動させる際にも、三方弁５０２，５０
４，５０５の動作によってインクジェットヘッド１２０
内のインク循環経路１２１ａ、およびインク供給経路に
おけるインクの連続的な流れが停止される。

【０１２６】〈インク供給系の動作〉次に、図７に示し
たインク供給系の動作について、図７および図１０を参
照して説明する。本実施形態では、インクジェットヘッ
ド１２０ａがインクを吐出しているときであっても、吐
出していない時であっても、後述するようなインク供給
系のインク充填時および交換時の動作を除く通常時に、
三方弁５０２，５０４，５０５を、図１０に示した吐出
時の状態に切り替えると共に、三方弁４０３では、チュ
ーブ３５６とチューブ４５４とが連通し、チューブ４５
３の三方弁４０３側の端部が閉じた状態となっている。
従って、三方弁４０３では、チューブ３５６から三方弁
４０３に向かって流れるインクがチューブ４５４の方
向、すなわち図７の矢印Ａの方向に流れる。二方弁４０
６は開いた状態となり、チューブ４５７とチューブ４５
８とが連通している。

【０１２７】このような状態では、サブタンク４０１ａ
内のインクの液面の高さと、チューブ４５８の先端の高
さとの水頭差δによって、サブタンク４０１ａからチュ
ーブ４５１、流量計４５６、チューブ４５５、メイン脱
気装置５１１ａ、チューブ５７１、溶存酸素計５２０、
チューブ５７２，５７４、三方弁５０４、チューブ５５
３、カプラ５５５、チューブ５５１およびコネクタ５６
１を介してインクジェットヘッド１２０ａに流れ込み、
インクジェットヘッド１２０ａのインク循環経路１２１
ａによりインクジェットヘッド１２０ａのノズル面近傍
を通過する。ここで、インクジェットヘッド１２０ａの
吐出口から吐出されるインクとして消費されないインク
は、インクジェットヘッド１２０ａの排出口から再びコ
ネクタ５６１、チューブ５５２、カプラ５５６、チュー
ブ５５４、三方弁５０５、チューブ５７６、三方弁５０
２、チューブ４５２、ジョイント４７１、チューブ４５
７、通常は開状態になっている二方弁４０６、チューブ
４５８をこの順番で流れる。そして、チューブ４５８の
先端から流れ出たインクはチューブ４５９の内壁をつた
ってメインタンク３０１ａへと流れ込む。

【０１２８】サブタンク４０１ａ内のインクが減少し、
残量センサ４０５によってサブタンク４０１ａ内の液面
を検知すると、メインポンプ３０２を一定時間駆動させ
てメインタンク３０１ａ内のインクをサブタンク４０１
ａ内に供給し、サブタンク４０１ａ内のインクがドレイ
ン４０４からオーバーフローして、チューブ４５９の内
壁をつたい落ちるまで、サブタンク４０１ａ内にインク
を補充する。このときのサブタンク４０１ａ内の液面高
さの変化量は１０ｍｍ程度であり、その変化量は、イン
ク循環のための水頭差δ（本実施形態では３００ｍｍ）
と比較すると遥かに小さな値となっているため、サブタ
ンク４０１ａ内の液面の変化がインクの循環量に影響を
与えることはない。

【０１２９】このようにサブタンク４０１ａ内の液面高
さと、チューブ４５８の先端の高さとの水頭差δを利用
することで、インク供給系をインクが循環するような構
成になっている。これにより、インクジェットヘッド１
２０ａ内には、常にメイン脱気装置５１１ａを通過して
溶存気体を充分に除去されたインクが循環しながら供給
されており、必要に応じて吐出信号によってインクジェ
ットヘッド１２０ａからインクを吐出させ、透明ガラス
基板上に着色を行う。

【０１３０】上述したように、常時、インクジェットヘ
ッド１２０ａ内を、脱気されたインクが循環するように
構成しても、例えば装置のメンテナンスなどで、インク
経路内をインクが循環したままインクを吐出させないで
長時間放置しておくと、インクジェットヘッド１２０ａ
のノズル内のインクにおけるメニスカスの状態が微妙に
変化し、吐出開始時だけわずかに吐出量が多くなった
り、一定時間吐出できなかったりして、吐出不良を生じ
る場合がある。また、装置のわずかなトラブルによりイ
ンク経路内のインク中の溶存酸素量が、ある一定値を越
えてしまった場合、吐出の不安定を引き起こす可能性が
生じる。

【０１３１】これらのことを防止するために、一定時間
以上インクを循環したまま放置した場合、あるいは、溶
存酸素量が、ある一定値を越えてしまったような場合
は、加圧モータ４０２を駆動してタービン４０２ａを回
転させ、タービン４０２ａによって、サブタンク４０１
ａ内のインクをチューブ４５１に向けて圧送し、インク
をインクジェットヘッド１２０ａへと送り込む加圧回復
の動作を行う。加圧時のインク供給経路におけるそれぞ
れの弁の状態は、前述したインクを循環させている状態
とまったく同じであるが、タービン４０２ａによる加圧
を停止すると直ちに三方弁５０２を、図１２に示した両
側加圧時の状態に切り替える。これによってインクジェ
ットヘッド１２０ａからメインタンク３０１ａへと戻る
経路がなくなり、インクの循環が停止する。これは、加
圧回復によってインクジェットヘッド１２０ａのノズル
からインクを排出することで、ノズル内に形成されてい
たインクのメニスカスが破壊され、インクジェットヘッ
ド１２０ａ内をインクが循環したままではインクがノズ
ルから流れっぱなしになる可能性があるので、これを防
止するためである。また、サブタンク４０１ａ内の液面
の高さはインクジェットヘッド１２０ａのノズル面より
２５〜３５ｍｍ低い位置にあるので、このとき、インク
ジェットヘッド１２０ａには負圧が働き、ノズルからイ
ンクが出っ放しになることはない。従って、インクによ
り装置内が汚れたり、インクによって装置が損傷したり
するということが防止される。

【０１３２】また、加圧回復が終了した後には、インク
ジェットヘッド１２０ａのノズル面にインク滴が付着し
た状態となり、このインク滴を除去ために、ワイピング
ブレードでインクジェットヘッド１２０ａのノズル面を
払拭する必要がある。そのときも、加圧回復終了時と同
様に、三方弁５０２を、図１２に示した両側加圧時の状
態にして、インクジェットヘッド１２０ａ内の循環を停
止するようにする。これは、ワイピングブレードによっ
てノズル面を払拭することによって、ノズル内に形成さ
れていたインクのメニスカスが破壊されるので、インク
ジェットヘッド１２０ａ内をインクが循環したままでは
インクがノズルから流れっばなしになる可能性があるか
らである。また、ワイピングブレードに付着していたイ
ンク滴、あるいはワイピングブレードの洗浄水をインク
ジェットヘッド１２０ａのノズルが吸い込んで、吐出開
始直後における吐出不良を生じることを防止するためで
もある。

【０１３３】ワイピング動作を終了した後に、三方弁５
０２を、図１０に示した描画時の位置に切り替えると、
再び、サブタンク４０１ａ内の液面の高さと、チューブ
４５８の先端の高さとの差δにより、インクジェットヘ
ッド１２０ａ内をインクが循環する。このとき、インク
ジェットヘッド１２０ａへ供給されるインクの脱気レベ
ルは、溶存酸素計５２０によって常にモニタされる。こ
のように、脱気されたインクがインクジェットヘッド１
２０ａ内を常に循環しているので、インクを循環させて
いなかったときにはインクジェットヘッド１２０ａ内に
脱気インクを供給するためにカラーフィルタ基板一枚を
描画するごとに一回程度の加圧回復の動作が必要であっ
た場合と比較して、本実施形態では、通常にカラーフィ
ルタ基板を描画している最中に、加圧回復なしで連続的
に複数枚のカラーフィルタ基板の描画が可能になり、イ
ンクの消費量を大幅に削減することや、加圧回復及びワ
イピングのための時間が不要となることのため、基板一
枚当たりに要する時間（タクト）およびコストを大幅に
削減できる。

【０１３４】また、装置のトラブルや、インクジェット
ヘッド交換などのために、長時間インクの循環を停止し
て、溶存酸素量が大幅に上昇した場合は、三方弁５０
４，５０５を、図１１に示したバイパス時の状態に切り
替えた後に、加圧モータ４０２駆動してタービン４０２
ａを回転させ、サブタンク４０１ａ内のインクを圧送
し、メイン脱気装置５１１ａ内でより脱気されたインク
を送り出す。このときサブタンク４０１ａ内のインクは
加圧モータ４０２およびタービン４０２ａにより急激に
減少させられるので、メインポンプ３０２を同時に動作
させて、メインタンク３０１ａからサブタンク４０１ａ
にインクを供給しながら加圧モータ４０２によりインク
を圧送する。これにより、サブタンク４０１ａ内のイン
クの残量を気にすることなく、加圧モータ４０２により
インクを送り続けることができる。また、メインタンク
３０１ａから、メインポンプ３０２によってサブタンク
４０１ａへと供給されるインクは脱気装置３２１を通過
しているので、そのインクは、サブタンク４０１ａに供
給された段階で、ある程度脱気されたインクとなってい
る。

【０１３５】溶存酸素量が、ある一定値以下になった
ら、三方弁５０４，５０５を、図１０に示した描画時の
状態に戻し、加圧モータ４０２を再度回転させ、より脱
気されたインクをインクジェットヘッド１２０ａに送り
込む。これは、前述した加圧回復の動作とまったく同じ
動作である。このとき、前述したのと同様に、サブタン
ク４０１ａ内のインクが急激に減少するので、メインポ
ンプ３０２を同時に動作させ、メインタンク３０１ａか
らサブタンク４０１ａへインクを供給する。また、イン
クジェットヘッド１２０ａに供給されたインクは、ノズ
ルから排出されるインクと、インクジェットヘッド１２
０ａ内を循環してチューブ５５２，５５４，５７６，４
５２，４５７，４５８を通過した後にチューブ４５８の
先端から排出され、チューブ４５９の内壁をつたってメ
インタンク３０１へと戻されるインクとに分かれる。こ
こで、本実施形態では、インクジェットヘッド１２０ａ
のノズルから排出されるインクと、メインタンク３０１
ａに戻されるインクとの比率は、ほぼ１：１である。こ
の加圧回復の動作が終了した直後は、前述したのと同様
に三方弁５０２を、図１２に示した両側加圧時の状態に
切り替え、ワイピングの動作を行った後に、三方弁５０
２を、図１０に示した描画時の状態に切り替えて、イン
クジェットヘッド１２０ａ内をインクが循環する状態に
戻す。

【０１３６】このように、インクジェットヘッド１２０
ａ内を常に一定値以下の溶存酸素量のインクが循環する
ように、溶存酸素計５２０における測定値を基にインク
供給系の動作を切り替える。これにより、インクジェッ
トヘッド１２０ａの吐出の安定化が実現される。

【０１３７】また、インクがインクジェットヘッド１２
０ａを循環した後に流れ込む、戻りのチューブ４５８の
先端を、メインタンク３０１ａへとつながる太いチュー
ブ４５９の上部に差し込んであるため、チューブ４５８
の差し込む深さを変更することで、サブタンク４０１ａ
内の液面に対するチューブ４５８の先端の高さを調整す
ることが可能となっている。これにより、チューブ４５
８の先端の高さを調整して循環のための水頭差を決定す
る機構が簡単で、かつ、水頭差の変更も非常に容易に行
うことができ、インク循環のための水頭差を変更する機
構のための必要なスペースをほとんど要しない。

【０１３８】さらに、このようにチューブ４５８の先端
の高さを調整することで、インクを連続的に流すための
水頭差を変更してインクの循環量を簡単に調整すること
が可能となっていることによって、より多くの種類のイ
ンクに対して対応可能となる。さらに、このように水頭
圧を利用してインクジェットヘッド１２０ａにインクを
供給するインクジェット記録装置では、インクジェット
ヘッドからインクが出っ放しにならないように簡単に構
成することができ、インクで装置内を汚したり、インク
によって装置が損傷したりすることを防止することがで
きる。

【０１３９】上述したように、本実施形態のインクジェ
ット記録装置では、インクジェットヘッド１２０ａのイ
ンク循環経路１２１ａを通過したインクが流れ込む第２
の液体経路の、インクジェットヘッド１２０ａと反対側
の先端と、サブタンク４０１ａに貯留されたインクの上
面との水頭差によってサブタンク４０１ａから、メイン
脱気装置５１１ａが備えられた第１の液体経路、インク
循環経路１２１ａ、第２の液体経路の順で液体が連続的
に流れるようにインク供給系が構成されている。このこ
とにより、メイン脱気装置５１１ａを通過することで一
定レベルに脱気されたインクが常にインクジェットヘッ
ド１２０ａに供給され、インクジェットヘッド１２０ａ
の吐出量が安定する。また、このように連続的にインク
ジェットヘッド１２０ａのインク循環経路１２１ａにイ
ンクを流すようにしてインクを循環させることにより、
従来のようにインクジェットヘッドや液体供給経路を回
復させるためにインクジェットヘッドから液体を押し出
す頻度を減らすことができ、インクジェット記録装置に
おけるインクの消費量を最小限にとどめることができ
る。

【０１４０】〈インク充填時の動作〉次に、図７に示し
たインク供給系にインクを充填するときの動作について
説明する。

【０１４１】まず、インク供給系にインクを充填すると
きには、二方弁３０４，４０６を閉じ、三方弁５０２，
５０４，５０５を、図１１に示したバイパス時の状態に
切り替える。また、三方弁４０３では、チューブ３５６
とチューブ４５３とが連通し、チューブ４５４の三方弁
４０３側の端部が閉じた状態となっている。従って、三
方弁４０３では、チューブ３５６から三方弁４０３に向
かって流れるインクがチューブ４５３の方向、すなわち
図７の矢印Ｂの方向に流れる。

【０１４２】この状態で第１の工程として、メインポン
プ３０２を動作させ、メインタンク３０１ａ内のインク
をチューブ３５１および３５２を通してくみ上げると、
インクは、チューブ３５３、フィルタ３１１、チューブ
３５４，３５５、脱気装置３２１、チューブ３５６、三
方弁４０３、チューブ４５３，４５２、三方弁５０２、
チューブ５７６、三方弁５０５、チューブ５７５、三方
弁５０４、チューブ５７４，５７２、溶存酸素計５２
０、チューブ５７１、メイン脱気装置５１１ａ、チュー
ブ４５５、流量計４５６、チューブ４５１、サブタンク
４０１ａ、ドレイン４０４、チューブ４５９をこの順番
で通過し、インク供給経路のほぼ全体にインクが行き渡
る。このとき、メインポンプ３０２の流量は、２００cc
/minに設定する。また、脱気装置３２１用の真空ポンプ
３２２は、脱気装置３２１内の真空度が約３２±２Torr
となるように運転し、メイン脱気装置５１１ａ用の真空
ポンプ５２２は、メイン脱気装置５１１ａ内の真空度が
約１０Torrとなるように運転する。

【０１４３】上記のような第１の工程によってインク供
給系にインクを充填した直後は、脱気装置３２１を通過
したインクが、チューブ３５６、三方弁４０３、チュー
ブ４５３，４５２、三方弁５０２、チューブ５７６、三
方弁５０５、チューブ５７５、三方弁５０４、チューブ
５７４，５７２、溶存酸素計５２０、チューブ５７１、
メイン脱気装置５１１ａに行き渡る。メイン脱気装置５
１１ａを通過したインクはさらに脱気されており、脱気
されたインクがチューブ４５５、流量計４５６、チュー
ブ４５１、サブタンク４０１ａの各々の内部に満たされ
る。

【０１４４】ところが、図８に示したように、溶存酸素
計５２０を構成する容器５２８の内部には、センサ５２
３の先端部のためのスペースや、回転子５２６が回転す
るためのスペースとして、ある程度の容積が必要とさ
れ、この容器５２８内の容積が約１０ｍｌとなってい
る。また、チューブ５７１から容器５２８の内部に送り
込まれた空気がチューブ５７２を通して容器５２８の外
部に抜けやすくなるように、容器５２８でのチューブ５
７１および５７２の接続位置が決定されている。従っ
て、前述したようにチューブ５７１が容器５２８の下部
に接続され、チューブ５７２が容器５２８の上部に接続
されている。そのため、上述したインクの充填時にチュ
ーブ５７２から容器５２８の内部に入った空気が全てチ
ューブ５７１に抜けていかず、一部の空気が容器５２８
の内部に残ってしまう。

【０１４５】従って、一定時間、メインポンプ３０２を
運転させてインク供給系にインクを充填してからメイン
ポンプ３０２を停止した後に、二方弁４０６を開けた状
態にする。そして、第２の工程として、加圧モータ４０
２を駆動させ、前述したインクの充填時におけるインク
の流れとは逆向きにインクを送る。ここで、メインポン
プ３０２としては、メインポンプ３０２が運転停止の状
態のときに、メインポンプ３０２に接続されたチューブ
内のインクの流れを遮断する構造のものを用いている。
従って、サブタンク４０１ａから送られるインクは、ジ
ョイント４７１でチューブ４５３の方向へは流れず、チ
ューブ４５７、二方弁４０６およびチューブ４５８，４
５９を通ってメインタンク３０１ａに戻される。

【０１４６】この第２の工程によって、サブタンク４０
１ａから流量計４５６、メイン脱気装置５１１ａ、溶存
酸素計５２０、三方弁５０４，５０５，５０２および二
方弁４０６を通ってメインタンク３０１ａに至るインク
の経路内から、ほぼ完全に空気が取り除かれる。また、
このようにして脱気されたインクは、メイン脱気装置５
１１ａから溶存酸素計５２０、三方弁５０４，５０５，
５０２を通過してチューブ４５２，４５７、二方弁４０
６、チューブ４５８を経てメインタンク３０１ａ内へ、
あるいは、さらにメイン脱気装置５１１ａへと循環され
る。これによりインク経路内は、チューブ５７３を除い
て、脱気されたインクで全て満たされることとなる。こ
のような第１および第２の工程の循環動作を数回繰り返
すことによって、循環されるインクがメイン脱気装置５
１１ａを何回か通過することとなり、インクの脱気レベ
ルが上がる。上述した第１および第２の工程における動
作は制御ユニットによって制御される。

【０１４７】次に、インクが充填されていない残りの部
分に、脱気されたインクを充填するために、三方弁５０
２，５０４，５０５を、図１２に示したようにインクジ
ェットヘッド１２０ａの供給口および排出口の両側に向
けてインクを加圧するための状態に切り替える。そし
て、加圧モータ４０２を駆動してサブタンク４０１ａか
らインクを送り出すと、チューブ５７３，５５３，５５
４，５５１，５５２やインクジェットヘッド１２０ａ内
に、脱気されたインクが充填される。

【０１４８】このように、本実施形態では、インクジェ
ットヘッド１２０ａの近傍でインクジェットヘッド１２
０ａを通らない経路を経由してインクを循環させること
のできる液体循環経路を設けることによって、メイン脱
気装置５１１ａとインクジェットヘッド１２０ａとの間
のインクを無駄に捨てずに、インクの消費を最小限にと
どめて効率的にインク供給系全体に、脱気されたインク
を満たすことができる。

【０１４９】〈インク交換時の動作〉次に、図７に示さ
れるインク供給系でインクを交換する時の動作について
説明する。インク供給経路内のインクの交換は、コネク
タ５６１の接続を切り離すことなく実現される。

【０１５０】まず、インク供給系からインクを抜く動作
について説明する。二方弁３０４を開き、二方弁４０６
を閉じて、三方弁５０２，５０４，５０５を、図１１に
示したバイパス時の状態に切り替える。また、三方弁４
０３では、チューブ３５６とチューブ４５３とが連通
し、チューブ３５６からチューブ４５３に向かって、図
７の矢印Ｂの方向にインクが流れる状態にする。この状
態でメインポンブ３０２を動作させると、二方弁３０４
の、何も接続されていない口から空気が吸い込まれる。
二方弁３０４から吸い込まれた空気は、チューブ３５
７，３５２、メインポンプ３０２、チューブ３５３、フ
ィルタ３１１、チューブ３５４，３５５、脱気装置３２
１、チューブ３５６、三方弁４０３、チューブ４５３，
４５２、三方弁５０２、チューブ５７６、三方弁５０
５、チューブ５７５、三方弁５０４、チューブ５７４，
５７２、溶存酸素計５２０、チューブ５７１、メイン脱
気装置５１１ａ、チューブ４５５、流量計４５６、チュ
ーブ４５１をこの順番で通過してサブタンク４０１ａの
内部に流し込まれる。

【０１５１】このようにインク供給系に空気が流し込ま
れることにより、インク経路の内部にあったインクはサ
ブタンク４０１ａの内部へ流し込まれる。サブタンク４
０１ａでは、チューブ４５１からサブタンク４０１ａ内
にインクが流し込まれることでインクの液位が上昇し、
サブタンク４０１ａ内のインクがドレイン４０４および
チューブ４５９を通してメインタンク３０１ａの内部へ
流し込まれる。従って、サブタンク４０１ａ内のドレイ
ン４０４よりも低い部分のインクを除いて、インク経路
内のインクがほぼ全てメインタンク３０１ａに流し込ま
れ、インク経路内に残されたインクのほとんどがメイン
タンク３０１ａに回収される。

【０１５２】サブタンク４０１ａ内に残されたインクを
回収するためには、カプラプラグ３７４にカプラソケッ
ト３７５を接続する。そして、吸引ポンプ３７７を駆動
することによって、サブタンク４０１ａ内のインクが、
チューブ４５１、流量計４５６、チューブ４５５、メイ
ン脱気装置５１１ａ、チューブ５７１、溶存酸素計５２
０、チューブ５７２，５７４、三方弁５０４、チューブ
５７５、三方弁５０５、チューブ５７６、三方弁５０
２、チューブ４５２，４５３、三方弁４０３、チューブ
３５６、脱気装置３２１、チューブ３５５，３７３、カ
プラプラグ３７４、カプラソケット３７５、チューブ３
７６、吸引ポンプ３７７、チューブ３７８をこの順番で
通過して廃液タンク３７９に流し込まれる。

【０１５３】上記の動作により、メインタンク３０１ａ
や、三方弁５０４および５０５からインクジェットヘッ
ド１２０ａまでの間のチューブ５５３，５５４，５５
１，５５２および、チューブ５７３以外のインク経路
は、ほぼ完全にインクが抜けた状態となる。その後、メ
インタンク３０１ａごと別のメインタンクに交換する
か、メインタンク３０１ａ内のインクを入れ換えること
によってインクが交換される。

【０１５４】さらにその後、インク供給系のインク経路
内に、入れ換えた新しいインクを充填する際には、前述
したようなインクを充填する動作を行う。そのインクの
充填動作を行う際には、チューブ５７３およびチューブ
５５３，５５４，５５１，５５２や、インクジェットヘ
ッド１２０ａの内部には交換前のインクが残されたまま
であるが、残されたインクは、ある程度脱気されて残っ
ており、交換前のインクで満たされたインク経路には空
気が入り込んでいない。しかし、インク抜きの動作を行
う最中にチューブ５７３に空気が入り込んだ場合には、
次に説明する動作によりチューブ５７３内の空気を排除
することができる。

【０１５５】二方弁３０４を閉じ、二方弁４０６を開
き、三方弁５０２，５０４，５０５を、図１２に示した
両側加圧時の状態に切り替える。そして、わずかな時間
だけ加圧モータ４０２を駆動してサブタンク４０１ａ内
のインクをチューブ４５１へ加圧し、チューブ５７３内
の空気を、三方弁５０２を通してチューブ５７６の内部
へ送り込む。次に、三方弁５０２，５０４，５０５をバ
イパス時の状態に切り替え、加圧モータ４０２を駆動す
ることによって、チューブ５７６内の空気が、三方弁５
０２、チューブ４５２，４５７，４５８と経由してメイ
ンタンク３０１ａの内部に送り込まれる。これにより、
インク供給路内は全て、空気が一切含まれていない状態
となる。また、このとき、チューブ５７３に残っている
交換前のインクが、交換後の新しいインクと混じり合っ
てしまうが、チューブ５７３内の残っていたインクはイ
ンク供給系の総インク量に対してごくわずかな量であ
り、また、全く異なる色ではなく、濃度や色が若干異な
る程度の違いであるため、カラーフィルタを形成する際
に特に問題となるレベルではない。

【０１５６】その後、三方弁５０２，５０４，５０５
を、図１２に示した両側加圧時の状態に切り替えて加圧
モータ４０２を駆動することによって、チューブ５５
３，５５４，５５１，５５２、およびインクジェットヘ
ッド１２０ａの内部に残っている交換前のインクがイン
クジェットヘッド１２０ａの吐出口から押し出される。
このとき、インク供給経路中に空気が一切存在しないの
で、インクジェットヘッド１２０ａに空気が送り込まれ
ないだけでなく、インクジェットヘッド１２０ａには、
高いレベルに脱気されたインクが供給されることとな
る。

【０１５７】また、インクを交換する際にインクジェッ
トヘッド１２０ａを取り外す必要がないので、インクジ
ェットヘッド取り付け直後に、そのインクジェットヘッ
ドの位置合わせの操作を行う必要がない。

【０１５８】〈インクジェットヘッド交換時の動作〉次
に、インクジェットヘッドを交換する際の動作について
説明する。上述したカラーフィルタ製造装置およびイン
クジェット記録装置で１つのインクジェットヘッドを一
定期間使い続けると、インクジェットヘッドからインク
を吐出できなくなり、インクジェットヘッドを交換する
必要が生じる。その場合、以下で説明する交換方法によ
ってインクジェットヘッドが交換される。

【０１５９】上述したように本実施形態のカラーフィル
タ製造装置およびインクジェット記録装置では、インク
ジェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃの高精度
の位置決めを実現するため、図４〜６に示したようにイ
ンクジェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃがヘ
ッドユニット６０６として一体になるように構成されて
いるので、インクジェットヘッドを交換する場合には装
置上からインクジェットヘッドを単体で取り外すことが
できない。そのため、インクジェットヘッドの交換を行
う際には、このヘッドユニット６０６ごと交換を行う。
従って、インクジェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１
２０ｃを交換する際には、インク供給経路の途中でイン
ク供給系からインクジェットヘッドを切り離す必要があ
り、図１に示したカプラ部６２６でヘッドユニット６０
６とインク供給系との切り離しを行う。

【０１６０】このヘッドユニット６０６は、通常の稼働
時において、図１に示すようにガラス基板１のほぼ全域
に着色することが可能となるように、装置のほぼ中央
部、すなわちガラス基板１の上方に配置されている。従
って、ヘッドユニット６０６を交換する際には、交換作
業が容易に行えるように、装置の端部、すなわちガラス
基板１の上方とは異なる位置にヘッドステージ６１０に
よってヘッドユニット６０６を移動させる。ここで、ヘ
ッドユニット６０６と共に弁ボックス６１４も装置の端
部に移動し、弁ボックス６１４の移動によりチューブ束
６２０が曲げられて変形する。このとき、ヘッドユニッ
ト６０６のそれぞれのインクジェットヘッド内、および
チューブ束６２０のそれぞれのチューブ内をインクが循
環したままであると、チューブが曲げられ、その内部の
容積変化によりインクジェットヘッドのノズルからイン
クがたれてしまうことがある。ヘッドユニット６０６の
インクジェットヘッドからインクがたれると、たれたイ
ンクにより装置内が汚してしまうだけでなく、装置の電
気回路にインクがかかってしまった場合などに装置を破
壊してしまうおそれがある。

【０１６１】従って、ヘッドステージ６１０によってヘ
ッドユニット６０６を移動させる前に、三方弁５０２
を、図１２に示した両側加圧時の状態と同じ状態に切り
換えて、インクジェットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１
２０ｃ内のそれぞれのインク循環経路におけるインクの
循環を停止させておく。ヘッドユニット６０６が交換位
置に移動した後に、カプラ部６２６でヘッドユニット６
０６を切り離す作業が行われる。上述したようにカプラ
部６２６として使用されているカプラ５５５，５５６
は、インク供給系の配管内に入り込んだ空気の通りをよ
くするために、切り離したときにカプラの端部が閉じる
機構が着いていないものを使用している。そのため、イ
ンクの循環を停止しただけの状態でカプラ部６２６でヘ
ッドユニット６０６を切り離すと、カプラ部６２６はサ
ブタンク４０１ａ，４０１ｂ，４０１ｃ内のそれぞれの
インクの液面より高い位置に配置されているので、イン
ク供給経路内にカプラ部６２６から空気が入り込んでし
まう。このようなインク供給経路内への空気の流入を防
止するために、ヘッドユニット６０６の交換を行うとき
には、ヘッドユニット６０１を移動させる前に三方弁５
０２だけでなく三方弁５０４，５０５を、図１１に示し
たバイパス時の状態と同じ状態に切り換えておく。これ
により、カプラ部６２６でヘッドユニット６０６を切り
離しても、カプラ部６２６からインク供給系路内に空気
が入り込むことがない。

【０１６２】一方、カプラ部６２６でインク供給系から
ヘッドユニット６０６を切り離したとき、図７に示した
インク供給経路においてコネクタ５６１からカプラ５５
５までの間のインク、およびコネクタ５６１からカプラ
５５６までの間のインクは、インクジェットヘッド１２
０ａの吐出口面（ノズル面）よりも高い位置にあるの
で、インクジェットヘッド１２０ａのノズルからたれ落
ちてくる。従って、ヘッドユニット６０６を交換する位
置の下には、インクジェットヘッド１２０ａ，１２０
ｂ，１２０ｃのそれぞれのノズルからたれ落ちたインク
を受ける不図示の受容器を配置しておけばよい。

【０１６３】インク供給系から切り離したヘッドユニッ
ト６０６をさらに放って置くと、インクジェットヘッド
１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃのノズルからインクがた
れ続けるので、それぞれのインクジェットヘッドにチュ
ーブを介して接続されているカプラの端部、図７におい
てはカプラ５５５，５５６のインクジェットヘッド１２
０ａ側の端部を密閉するように、それらのカプラの端部
に栓をはめ込む。これにより、インクジェットヘッド１
２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃのそれぞれのノズルからイ
ンクがたれ落ちることが停止される。次に、インクジェ
ットヘッド１２０ａ，１２０ｂ，１２０ｃのそれぞれの
ノズル面に残ったインク滴を手動で拭き取り、その後、
ヘッドユニット６０６をヘッドθモータ６１２の下部か
ら切り離し、ヘッドユニット６０６を装置の本体から取
り外す。

【０１６４】次に、インクジェットヘッド１２０ａ，１
２０ｂ，１２０ｃとは異なる別の新しいインクジェット
ヘッドが３つ搭載されたヘッドユニット６０６をヘッド
θモータ６１２の下部に取り付ける。次に、取り付けら
れたヘッドユニット６０６から延びるチューブ先端のカ
プラ部６２６の端部をカプラ部６２６の弁ボックス６１
４側の端部に接続し、ヘッドユニット６０６のそれぞれ
のインクジェットヘッドと装置本体とを、不図示の電気
信号用のケーブルを介して電気的に接続する。カプラ部
６２６でチューブ同士を接続する際に、カプラ部６２６
に入った空気により、ヘッドユニット６０６に搭載され
たインクジェットヘッドのノズルからインク滴がわずか
に押し出される。この、押し出されたインク滴を手動で
ふき取った後、再び、図７に示したような装置の中央部
にヘッドステージ６１０によってヘッドユニット６０６
を移動させる。ヘッドステージ６１０によってヘッドユ
ニット６０６を移動させる際には、三方弁５０２は、図
１２に示した両側加圧時の状態と同じ状態、三方弁５０
４，５０５は、図１１に示したバイパス時の状態と同じ
状態に保たれている。このようなインクジェット方式の
カラーフィルタ製造装置におけるインクジェットヘッド
の交換作業では、三方弁５０２，５０４，５０５によっ
てそれぞれの流路内でのインクの流動が停止されること
により、インクジェットヘッドを液体供給経路から切り
離しても液体供給経路内に必要以上に空気が入り込むこ
とがない。

【０１６５】ヘッドステージ６１０によってヘッドユニ
ット６０６を装置のほぼ中央部の所定の位置に移動させ
た後、三方弁５０４，５０５のみを、図１０に示した描
画時の状態と同じ状態に切り換え、加圧モータ４０２を
駆動させてインクジェットヘッド１２０ａの供給口およ
び排出口の両側に向けてインクを加圧する。これによ
り、カプラ部５５５，５５６をはめ込むときにインク供
給系路内に入り込んで、インク供給経路内におけるカプ
ラ部の周辺に取り残された空気が、チューブ５５１，５
５２を通じてインクジェットヘッド１２０ａ内に流れ込
み、その空気がインクジェットヘッド１２０ａのノズル
から排出される。その結果、インク供給経路内に入り込
んだ空気はすべてインク供給経路およびインクジェット
ヘッド１２０ａの外部へと排出される。

【０１６６】次に、ヘッドユニット６０６に搭載された
新しい３つのインクジェットヘッドの位置出しのため
に、それらのインクジェットヘッドからインクを吐出し
てドットパターンを描画し、描画されたドットパターン
の位置を読み取ることによって、それぞれのヘッドユニ
ット６０６の新しい３つのインクジェットヘッドのアラ
イメント作業を行う。このとき、各インクジェットヘッ
ドの位置調整は、ヘッドユニット６０６に搭載されてい
るマイクロメータ５４ａ，５４ｃ，５５ａ，５５ｃのダ
イヤルを回すことによって行う。

【０１６７】ヘッドユニット６０６が、図７に示したよ
うに装置の中央部の位置にあるままでは、マイクロメー
タ５４ａ，５４ｃ，５５ａ，５５ｃによってそれぞれの
インクジェットヘッドの位置を調整することができない
ので、そのときも、ヘッドステージ６１０によってヘッ
ドユニット６０６を、ヘッドユニット６０６を交換した
位置と同等な位置、すなわち装置の端部ヘと移動させ
る。このとき、三方弁５０２は、図１２に示した両側加
圧時の状態と同じ状態のままであり、インクはインク供
給経路内を循環していないので、ヘッドユニット６０６
が移動してもノズルからインク滴がたれたりすることは
ない。

【０１６８】このように、ドットパターンの描画とその
位置の読みとり、さらにマイクロメータによる位置調整
を数回繰り返すことにより、各インクジェットヘッドの
位置決めを行う。次に、三方弁５０２を両側加圧時の状
態から描画時の状態に戻し、インク供給経路内とインク
ジェットヘッド内でインクを循環させる。このインクジ
ェットヘッドの交換と、インクジェットヘッドの取り付
け位置の調整の作業を行っている間（２時間程度）、イ
ンク供給経路内は、インクが循環しないままで放置され
ている状態にあるので、前述したようにインクを加圧モ
ータ４０２により圧送させて循環させる動作などを行っ
て、それぞれのインクジェットヘッド内とインク供給系
路内のインクの溶存酸素量を下げた状態にし、その後、
サブタンク４０１ａ内のインクの液面と、チューブ４５
８の先端高さとの差による水頭差によって、インクジェ
ットヘッド内を、脱気されたインクが循環する状態とし
て、カラーフィルタの描画作業に入る。

【０１６９】以上で説明した本実施形態のインクジェッ
ト記録装置およびカラーフィルタ製造装置では、サブタ
ンク４０１ａから第１の液体経路、インクジェットヘッ
ド１２０ａのインク通過経路１２１ａ、第２の液体経路
の順でインクが連続的に流れるように構成された液体供
給経路に、インク通過経路１２１ａ内のインクの連続的
な流れを停止させるための三方弁５０２，５０４，５０
５から構成された停止手段が備えられた。これにより、
インクジェットヘッド１２０ａの状態を回復させるため
に加圧モータ４０２の駆動により吐出口からインクを強
制的に排出させた直後に三方弁５０２，５０４，５０５
によってインク通過経路１２１ａ内の液体の連続的な流
れを停止させることで、インクジェットヘッド１２０ａ
の吐出口からインクが流れっ放しになることが防止され
る。

【０１７０】また、インクジェットヘッド１２０ａの吐
出口面をワイピングブレードにより払拭する動作中にお
いて、三方弁５０２，５０４，５０５によってインク通
過経路１２１ａ内のインクの連続的な流れを停止させる
ことにより、インクジェットヘッド１２０ａのノズル先
端に形成されたメニスカスが破壊されてもインクジェッ
トヘッド１２０ａの吐出口からインクが流れっ放しにな
ることが防止される。さらに、インクジェットヘッド１
２０ａの取付け位置を調整する際にも、三方弁５０２，
５０４，５０５によってインク通過経路１２１ａ内のイ
ンクの連続的な流れを停止させることにより、インクジ
ェットヘッド１２０ａに接続されたチューブなどに圧力
が加わってチューブが変形しても、インクジェットヘッ
ド１２０ａの吐出口から液体がたれることや、吐出口か
ら液体が流れっ放しになることが防止される。

【０１７１】さらに、インクジェットヘッド１２０ａを
交換する際には、三方弁５０２，５０４，５０５によっ
てインク通過経路１２１ａ内や、第１および第２の液体
経路内のインクの連続的な流れを停止させることによ
り、第１および第２の液体経路の途中で液体供給経路か
らインクジェットヘッド１２０ａを切り離しても、第１
の液体経路や第２の液体経路からインクが流れっ放しに
なることが防止される。

【０１７２】さらに、インクジェットヘッド１２０ａを
交換可能、またはインクジェットヘッド１２０ａの取付
け位置を調整可能な位置にインクジェットヘッド１２０
ａを移動させる際に、三方弁５０２，５０４，５０５に
よってインク通過経路１２１ａのインクの連続的な流れ
を停止させることにより、インクジェットヘッドに接続
されたチューブなどがインクジェットヘッドと共に移動
してそのチューブが変形しても、インクジェットヘッド
１２０ａの吐出口からインクがたれることや、吐出口か
らインクが流れっ放しになることが防止される。従っ
て、インクジェットヘッド１２０ａの吐出口から流れ出
た液体により装置が汚れたり、装置が損傷したりするこ
とが防止され、また、インクジェット記録装置における
液体の消費量を最小限にとどめることができる。

【０１７３】また、このようなインクジェット記録装置
を用いたカラーフィルター製造装置では、上述したよう
にインクジェットヘッド１２０ａの吐出口面の払拭、イ
ンクジェットヘッド１２０ａの取付け位置の調整、およ
びインクジェットヘッド１２０ａの交換などを行う際に
インクジェットヘッド１２０ａや供給経路からインクが
流れ出たり、インクが流れっ放しになったりすることが
三方弁５０２，５０４，５０５の動作によって防止され
るので、カラーフィルタ用の基板にインクがかかること
による不良品の発生がなくなり、カラーフィルタの歩留
まりが高くなる。また、インクジェットヘッド１２０ａ
から流れ出たインクによってカラーフィルタ製造装置の
内部が汚れたり、装置が損傷したりすることが防止され
るので、カラーフィルタのコストが抑えられ、低価格の
カラーフィルタをより確実に製造することができる。

【０１７４】〈カラーフィルタの製造方法〉図１に示さ
れる本実施形態のカラーフィルタ製造装置を用いたカラ
ーフィルタの製造方法について図１３を参照して説明す
る。

【０１７５】図１３は、図１に示されるカラーフィルタ
製造装置を用いたカラーフィルタの製造方法を説明する
ための図である。本実施形態のカラーフィルタ製造装置
によるカラーフィルタの製造方法では、図１３に示され
る図（ａ）〜図（ｆ）の工程を経てカラーフィルタが製
造される。図１３（ｃ）および（ｅ）の中のｈνは、照
射する光の強度を示している。

【０１７６】本実施形態においては、カラーフィルタを
製造するための基板として一般にガラス基板が用いられ
るが、液晶用カラーフィルタとしての透明性、機械的強
度などの必要特性を有するものであればガラス基板に限
定されるものではない。

【０１７７】まず、図１３（ａ）において、ガラス基板
１の表面に、遮光部であるブラックマトリクス２を形成
する。ブラックマトリクス２には開口部が形成されてい
て、その開口部がガラス基板１の表面で光透過部７とな
っている。

【０１７８】次に、図１３（ｂ）において、ブラックマ
トリクス２が形成されたガラス基板１の表面上に、光を
照射するか、あるいは光を照射すると共と加熱すること
により硬化可能であり、かつインク受容性を有する樹脂
組成物を塗布し、必要に応じてプリベークを行って樹脂
組成物層３を形成する。ガラス基板１の表面に樹脂組成
物を塗布する方法として、スピンコート、ロールコー
ト、バーコート、スプレーコート、ディップコートなど
の塗布方法を用いることができ、特に限定されるもので
はない。

【０１７９】次に、図１３（ｃ）において、樹脂組成物
層３の、ブラックマトリクス２に対応する部分を、フォ
トマスク４を使用して予めパターン露光を行うことによ
り、樹脂組成物層３の一部を硬化させて、インクを吸収
しない非着色部５を形成する。この非着色部５は、ブラ
ックマトリクス２に形成された複数の開口部を１つずつ
区分けするように形成されている。

【０１８０】次に、図１３（ｄ）において、図１に示し
たカラーフィルタ製造装置のヘッドユニット６０６を用
いて、樹脂組成物層３に対してＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ
（青）の各色を一度に着色し、必要に応じてガラス基板
１上のインクの乾燥を行う。このとき、樹脂組成物層３
では、Ｒ（赤）に対応する領域にＲのインクが、Ｇ
（緑）に対応する領域にＧのインクが、Ｂ（青）に対応
する領域にＢのインクがヘッドユニット６０６から吐出
される。このヘッドユニット６０６による樹脂組成物層
３の着色は１つの工程で一度に行われる。

【０１８１】図１３（ｃ）に示したフォトマスク４とし
ては、前述したように、樹脂組成物層３の、ブラックマ
トリクス２に対応する部分を硬化させるために開口部を
有したものを用いる。この際、ブラックマトリクス２に
接する部分での着色剤の色抜けを防止するために比較的
多くのインクを付与することが必要である。そのため
に、フォトマスク４としては、図１３（ｃ）に示される
ようにブラックマトリクス２の幅よりも狭い開口部を有
するマスクを用いることが好ましい。

【０１８２】着色に使用するインクとしては、色素系、
顔料系のどちらのものも使用可能であり、また、液状イ
ンク、ソリッドインク共に使用可能である。

【０１８３】本実施形態で使用するインクジェット方式
としては、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用
いたバブルジェットタイプ、あるいは圧電素子を用いた
ピエゾジェットタイプなどが使用可能であり、着色面積
および着色パターンを任意に設定することができる。

【０１８４】また、本実施形態では、基板上にブラック
マトリクスが形成された例を示しているが、ブラックマ
トリクスは、硬化可能な樹脂組成物層を形成後、あるい
は着色後に樹脂組成物層上に形成されたものであっても
特に問題はなく、そのブラックマトリクスが形成される
形態は本実施形態に限定されるものではない。また、ブ
ラックマトリクスの形成方法としては、基板上にスパッ
タもしくは蒸着により金属薄膜を形成し、その金属薄膜
をフォトリソグラフィー工程によりパターニングするこ
とが好ましいが、この形成方法に限定されるものではな
い。

【０１８５】次に、図１３（ｅ）において、光照射の
み、熱処理のみ、または光照射および熱処理を行って硬
化可能な樹脂組成物層３を硬化させる。これにより、ガ
ラス基板１の表面に、画素を構成する赤色着色部６ａ、
緑色着色部６ｂおよび青色着色部６ｃが形成される。

【０１８６】次に、図１３（ｆ）において、赤色着色部
６ａ，緑色着色部６ｂ，青色着色部６ｃ、および非着色
部５の表面全体に、必要に応じて保護層８を形成する。
なお、図１３（ｃ）および（ｅ）において光の強度をｈ
νで示したが、熱処理の場合は、強度がｈνの光の代わ
りに熱を加える。保護層８としては、光硬化タイプ、熱
硬化タイプあるいは光熱併用タイプの樹脂組成物を用い
て形成するか、あるいは無機材料を用いて蒸着またはス
パッタによって形成することができ、カラーフィルタと
した場合の透明性を有し、その後のＩＴＯ（Indium Tin
Oxide）形成プロセス、配向膜形成プロセスなどに十分
耐えうるものであればよい。

【０１８７】〈カラーフィルタの構成〉次に、上述した
カラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィ
ルタについて説明する。図１４は、本実施形態のカラー
フィルタ製造装置により製造されたカラーフィルタのカ
ラーパターンを示す図である。

【０１８８】図１４に示すように、Ｒ（赤），Ｇ
（緑），Ｂ（青）のインクにより着色された赤色着色部
６ａ，緑色着色部６ｂ，青色着色部６ｃのそれぞれが、
一つの画素（フィルタエレメント）を構成しており、各
画素の形状はほぼ長方形をしている。各画素の大きさは
全て同じで、一方の辺の長さａが１５０μｍであり、他
方の辺の長さｂが６０μｍである。一つの画素の長手方
向をＸ方向とし、Ｘ方向と直角な方向をＹ方向とする
と、Ｘ方向のピッチｃが３００μｍ、Ｙ方向のピッチｄ
が１００μｍである。そして、Ｘ方向には同じ色の画素
が一直線上に配列され、Ｙ方向には、隣り合う画素の色
が異なるように、本実施形態ではＲ，Ｇ，Ｂの順で並ん
だ３つの画素がＹ方向に繰り返すように、それぞれの画
素が配列されている。また、この図１４に示されるカラ
ーフィルタのパターンは、図１３（ａ）の工程で形成さ
れたブラックマトリクス２のパターンに相当する。画素
の個数は、Ｘ方向に４８０個、Ｙ方向に１９２０個（各
色６４０個）である。

【０１８９】図１５は、図１に示した本実施形態のカラ
ーフィルタ製造装置により製造されたカラーフィルタの
画面全体の大きさを示す図である。図１５に示すよう
に、カラーフィルタの画面全体の大きさは、一方の辺の
長さｅが１４４ｍｍ、他方の辺の長さｆが１９２ｍｍ、
対角線の長さｇが２４０ｍｍとなっており、９．４イン
チサイズの液晶パネル用に対応している。

【０１９０】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、インクジ
ェットヘッド内の液体通過経路を液体が連続的に流れる
ようにインクジェットヘッドへの液体供給経路が構成さ
れたインクジェット記録装置に、前記液体通過経路内の
液体の連続的な流れを停止する停止手段が備えられたこ
とにより、インクジェットヘッドの吐出口から液体を強
制的に排出させた直後や、インクジェットヘッドの吐出
口面を払拭手段により払拭する動作中、インクジェット
ヘッドの取付け位置を調整する際、インクジェットヘッ
ドを交換する際などに、吐出口やインク供給経路から液
体が流れ出たり、流れっ放しになったりすることを停止
手段によって防止することができ、流れ出た液体によっ
て装置が汚れたり、装置が損傷したりすることを防止す
ることができるという効果がある。また、インクジェッ
ト記録装置における液体の消費量を最小限にとどめるこ
とができるという効果がある。

【０１９１】また、上記のようなインクジェット記録装
置を用いたカラーフィルタ製造装置では、上述のように
インクジェットヘッドの吐出口面の払拭、インクジェッ
トヘッドの取付け位置の調整、およびインクジェットヘ
ッドの交換などを行う際に停止手段によってインクジェ
ットヘッドや供給経路から液体が流れ出たり、液体が流
れっ放しになったりすることが防止されるので、カラー
フィルタ用の基板にインクなどの液体がかかることによ
る不良品の発生がなくなり、カラーフィルタの歩留まり
が高くなるという効果がある。また、インクジェットヘ
ッドから流れ出た液体によってカラーフィルタ製造装置
の内部が汚れたり、装置が損傷したりすることが防止さ
れるので、カラーフィルタのコストが抑えられ、低価格
のカラーフィルタをより確実に製造することができると
いう効果がある。さらに、インクジェット方式のカラー
フィルタ製造装置におけるインクジェットヘッドの交換
作業で、インクジェットヘッドを液体供給経路から切り
離しても液体供給経路内に必要以上に空気が入り込むこ
とがないという効果がある。また、インクジェットヘッ
ドの吐出口から液体がたれることなくインクジェットヘ
ッドを移動させることができるので、インクジェットヘ
ッドの交換作業、インクジェットヘッドの取付け位置を
調整する作業を装置端部で行うことができ、それらの作
業を、より簡単で確実に行うことができるという効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態のカラーフィルタ製造装置
を示す斜視図である。

【図２】図１に示されるＸＹステージ周辺の斜視図であ
る。

【図３】図１に示されるヘッドユニットを構成するイン
クジェットヘッドおよび、検出光学系の配置図である。

【図４】図１に示したヘッドユニットの上面図である。

【図５】図１に示したヘッドユニットの正面図である。

【図６】図１に示したヘッドユニットの側面図である。

【図７】図１に示したカラーフィルタ製造装置のインク
供給系の構成を示す模式図である。

【図８】図７に示した溶存酸素計の詳細を示す断面図で
ある。

【図９】ポーラロ式の溶存酸素計の測定原理を説明する
ための模式図である。

【図１０】図７に示したインクジェットヘッドからイン
クを吐出する際の三方弁の状態を示す図である。

【図１１】図７に示したインクジェットヘッドを避けて
インクを循環させるために、インクをバイパスする際の
三方弁の状態を示す図である。

【図１２】図７に示したインクジェットヘッドの供給口
および排出口の両側に向けてインク供給経路内のインク
を加圧する際の三方弁の状態を示す図である。

【図１３】図１に示したカラーフィルタ製造装置を用い
たカラーフィルタの製造方法を説明するための図であ
る。

【図１４】図１に示したカラーフィルタ製造装置により
製造されたカラーフィルタのカラーパターンを示す図で
ある。

【図１５】図１に示した本実施形態のカラーフィルタ製
造装置により製造されたカラーフィルタの画面全体の大
きさを示す図である。

【符号の説明】

１ ガラス基板 ２ ブラックマトリクス ３ 樹脂組成物層 ４ フォトマスク ５ 非着色部 ６ａ 赤色着色部 ６ｂ 緑色着色部 ６ｃ 青色着色部 ７ 光透過部 ８ 保護層 ５１ａ、５１ｂ、５１ｃ アーム ５２ａ、５２ｂ、５２ｃ 調整板 ５３ａ、５３ｃ 固定ブロック ５４ａ、５４ｃ、５５ａ、５５ｃ マイクロメータ ５６ａ、５６ｃ、５７ａ、５７ｃ ロックねじ ５９、６０ ねじ穴 １２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ インクジェットヘッ
ド １２１ａ インク循環経路 ３０１ａ、３０１ｂ、３０１ｃ メインタンク ３０２ メインポンプ ３０４、４０６ 二方弁 ３１１ フィルタ ３２１ 脱気装置 ３２２ 真空ポンプ ３２３、３５１、３５２、３５３、３５４、３５５、３
５６、３５７、３７３、３７６、３７８、４５１、４５
２、４５３、４５４、４５５、４５７、４５８、４５
９、５５１、５５２、５５３、５５４、５７１、５７
２、５７３、５７４、５７５、５７６、５８０、５８１
チューブ ３５０ インク残量センサ ３７１、３７２、４７１、５７７ ジョイント ３７４ カプラプラグ ３７５ カプラソケット ３７７ 吸引ポンプ ３７９ 廃液タンク ４０１ａ、４０１ｂ、４０１ｃ サブタンク ４０２ 加圧モータ ４０２ａ タービン ４０４ ドレイン ４０５ 残量センサ ４５６ 流量計 ４０３、５０２、５０４、５０５ 三方弁 ５１１ａ、５１１ｂ、５１１ｃ メイン脱気装置 ５２０ 溶存酸素計（チャンバ） ５２１ 真空メータ ５２２ 真空ポンプ ５２３ センサ ５２４ マグネチックスターラー ５２６ 回転子 ５２７ａ、５２７ｂ チューブ継手 ５２８ 容器 ５２９ センサ固定治具 ５３１ 陰極 ５３２ 陽極 ５３３ 定電圧電源 ５３４ 測定液 ５３４ａ 低濃度領域 ５３４ｂ 中濃度領域 ５３４ｃ 高濃度領域 ５３５ 隔膜 ５３６ 電解液 ５３７ 電極ボディ ５３７ａ 酸素電極 ５３８ 直流電流計 ５３９ 容器 ５５５、５５６ カプラ ５５７、５５８ 脱着センサ ５６１ コネクタ ６０１ 定盤 ６０２ 除振台 ６０３ ＸＹステージ ６０４ チルトステージ ６０６ ヘッドユニット ６０７ アライメント検出用光学系 ６０８ Ｚ方向検出用光学系 ６０８ａ、６０８ｂ、６０８ｃ Ｚ方向検出用光学素
子 ６０９ 着弾位置検出用光学系 ６１０ ヘッドステージ ６１１ 支柱 ６１２ ヘッドθモータ ６１３ ヘッドユニット支持アーム ６１４ 弁ボックス ６１５ 回復系ユニット ６１６ 洗浄系ユニット ６１７ サーマルチャンバ ６１８ 搬入搬出装置 ６１９ インク供給ユニット ６２０ チューブ束 ６２１ 穴 ６２５ インク供給チューブ ６２６ カプラ部 ６３１ 位置決め装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 和田 聡 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 藤池 弘 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C056 EA15 EC18 EC40 FA15 FB01 FB08 JC23 KA01 KB04 KB10 KB15 KB16 KB37 KD02 2H048 BA11 BA64 BB02 BB14 BB44

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液体が通る液体通過経路および、該液体
   通過経路内の液体の一部を吐出する吐出口を有するイン
   クジェットヘッドに供給するための液体を貯留するタン
   クと、 前記タンクに貯留された液体を前記インクジェットヘッ
   ドに供給するための第１の液体経路と、 前記インクジェットヘッドの前記液体通過経路を通過し
   た液体が流れ込む第２の液体経路とを有し、 前記タンクから前記第１の液体経路、前記インクジェッ
   トヘッドの前記液体通過経路、前記第２の液体経路の順
   で液体が連続的に流れるように構成されたインクジェッ
   ト記録装置において、 少なくとも前記液体通過経路内の液体の連続的な流れを
   停止させる停止手段をさらに有することを特徴とするイ
   ンクジェット記録装置。
2. 【請求項２】 前記第２の液体経路の、前記インクジェ
   ットヘッド側と反対側の先端から流れ出た液体を前記タ
   ンクに戻すための液体戻し経路をさらに有する請求項１
   に記載のインクジェット記録装置。
3. 【請求項３】 前記第２の液体経路の、前記インクジェ
   ットヘッド側と反対側の先端と、前記タンクに貯留され
   た液体の上面との水頭差によって前記タンクから前記第
   １の液体経路、前記インクジェットヘッドの前記液体通
   過経路、前記第２の液体経路の順で液体が連続的に流れ
   るように構成されている請求項１または２に記載のイン
   クジェット記録装置。
4. 【請求項４】 液体が通る液体通過経路および、該液体
   通過経路内の液体の一部を吐出する吐出口を有するイン
   クジェットヘッドに供給するための液体を貯留する第１
   のタンクと、 前記第１のタンクに貯留された液体を前記インクジェッ
   トヘッドに供給するための第１の液体経路と、 前記インクジェットヘッドの前記液体通過経路を通過し
   た液体が流れ込む第２の液体経路と、 前記第２の液体経路の、前記インクジェットヘッド側と
   反対側の先端から流れ出た液体を貯留する第２のタンク
   とを有し、 前記第１のタンクから前記第１の液体経路、前記インク
   ジェットヘッドの前記液体通過経路、前記第２の液体経
   路、前記第２のタンクの順で液体が連続的に流れるよう
   に構成されたインクジェット記録装置において、 少なくとも前記液体通過経路内の液体の連続的な流れを
   停止させる停止手段をさらに有することを特徴とするイ
   ンクジェット記録装置。
5. 【請求項５】 前記第２のタンクに貯留された液体を前
   記第１のタンクに供給するタンク間液体供給手段をさら
   に有する請求項４に記載のインクジェット記録装置。
6. 【請求項６】 前記第２の液体経路の、前記インクジェ
   ットヘッド側と反対側の先端と、前記第１のタンクに貯
   留された液体の上面との水頭差によって前記第１のタン
   クから前記第１の液体経路、前記インクジェットヘッド
   の前記液体通過経路、前記第２の液体経路、前記第２の
   タンクの順で液体が連続的に流れるように構成されてい
   る請求項４または５に記載のインクジェット記録装置。
7. 【請求項７】 前記第１の液体経路の途中に備えられ、
   前記第１の液体経路を通る液体に溶存する気体を該液体
   から除去する脱気装置をさらに有する請求項１〜６のい
   ずれか１項に記載のインクジェット記録装置。
8. 【請求項８】 前記インクジェットヘッドの前記液体通
   過経路の少なくとも一部が、前記インクジェットヘッド
   の前記吐出口の近傍に配置されている請求項１〜７のい
   ずれか１項に記載のインクジェット記録装置。
9. 【請求項９】 前記第１のインク経路、前記インクジェ
   ットヘッドの前記液体通過経路、および前記第２の液体
   経路でインクを流動させつつ前記インクジェットヘッド
   から被記録媒体に向けてインクを吐出させる際に前記イ
   ンクジェットヘッドが固定される支持部材と、前記イン
   クジェットヘッドの前記吐出口近傍の一平面上で前記被
   記録媒体を移動させる移動手段とをさらに有する請求項
   １〜８のいずれか１項に記載のインクジェット記録装
   置。
10. 【請求項１０】 前記第１のタンクから前記第１の液体
    経路、前記インクジェットヘッドの前記液体通過経路、
    前記第２の液体経路の順で液体が連続的に流れる状態で
    前記インクジェットヘッドの前記吐出口から液体を強制
    的に排出させるために、前記第１のインク経路内の液体
    を前記インクジェットヘッドに向けて強制的に送るため
    の加圧手段をさらに有し、 前記停止手段が、前記加圧手段により前記吐出口から液
    体を強制的に排出させた直後に前記液体通過経路内の液
    体の連続的な流れを停止させるものである請求項１〜９
    のいずれか１項に記載のインクジェット記録装置。
11. 【請求項１１】 前記インクジェットヘッドの吐出口面
    を払拭する払拭手段をさらに有し、 前記停止手段が、前記払拭手段によりインクジェットヘ
    ッドの吐出口面を払拭する動作中に前記液体通過経路内
    の液体の連続的な流れを停止させるものである請求項１
    〜１０のいずれか１項に記載のインクジェット記録装
    置。
12. 【請求項１２】 前記払拭手段によりインクジェットヘ
    ッドの吐出口面を払拭する動作の終了後、前記液体通過
    経路内で液体が連続的に流れるように前記停止手段を制
    御する制御手段をさらに有する請求項１１に記載のイン
    クジェット記録装置。
13. 【請求項１３】 前記停止手段が、前記インクジェット
    ヘッドの取付け位置を調整する際に前記液体通過経路内
    の液体の連続的な流れを停止させるものである請求項１
    〜１２のいずれか１項に記載のインクジェット記録装
    置。
14. 【請求項１４】 前記停止手段が、前記インクジェット
    ヘッドを別のインクジェットヘッドに交換する際に前記
    液体通過経路内、前記第１および第２の液体経路内の液
    体の連続的な流れを停止させるものである請求項１〜１
    ３のいずれか１項に記載のインクジェット記録装置。
15. 【請求項１５】 前記インクジェットヘッドが、被記録
    媒体を移動させつつ前記インクジェットヘッドから前記
    被記録媒体に向けて液体を吐出する際に前記被記録媒体
    の移動範囲の中央部の上方に配置され、 前記インクジェットヘッドを別のインクジェットヘッド
    に交換する際、または前記インクジェットヘッドの取付
    け位置を調整する際に前記移動範囲の端部の上方、また
    は前記移動範囲の外側上方に配置されるものである請求
    項１〜１４のいずれか１項に記載のインクジェット記録
    装置。
16. 【請求項１６】 前記被記録媒体の前記移動範囲の中央
    部の上方から前記移動範囲の端部の上方、または前記移
    動範囲の外側上方に前記インクジェットヘッドを移動さ
    せる際に、前記停止手段が、前記液体通過経路内の液体
    の連続的な流れを停止させるものである請求項１５に記
    載のインクジェット記録装置。
17. 【請求項１７】 請求項１〜１６のいずれか１項に記載
    のインクジェット記録装置を有し、前記インクジェット
    記録装置の前記インクジェットヘッドからインクを吐出
    させてカラーフィルタを製造するカラーフィルタ製造装
    置。