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JP2000311028A - 位相制御回路、半導体装置及び半導体メモリ - Google Patents

位相制御回路、半導体装置及び半導体メモリ

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Publication number
JP2000311028A
JP2000311028A JP11121211A JP12121199A JP2000311028A JP 2000311028 A JP2000311028 A JP 2000311028A JP 11121211 A JP11121211 A JP 11121211A JP 12121199 A JP12121199 A JP 12121199A JP 2000311028 A JP2000311028 A JP 2000311028A
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JP
Japan
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circuit
delay
clock signal
signal
output
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP11121211A
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English (en)
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Satoru Hanzawa
悟 半澤
Takeshi Sakata
健 阪田
Yasushi Nagashima
靖 永島
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Priority to TW089107279A priority patent/TW461188B/zh
Priority to KR1020000022422A priority patent/KR20000077097A/ko
Priority to US09/560,724 priority patent/US6205086B1/en
Priority to US09/666,598 priority patent/US6222792B1/en
Publication of JP2000311028A publication Critical patent/JP2000311028A/ja
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    • G11C7/1051Data output circuits, e.g. read-out amplifiers, data output buffers, data output registers, data output level conversion circuits
    • G11C7/1057Data output buffers, e.g. comprising level conversion circuits, circuits for adapting load
    • GPHYSICS
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    • G11C7/1051Data output circuits, e.g. read-out amplifiers, data output buffers, data output registers, data output level conversion circuits
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 遅延時間の微調整にSMDや格子状遅延回路
(SQUAD)を用いた構成に比べて位相制御可能な信
号のクロック周波数を向上させる。 【解決手段】 第1のクロック信号(BDA1)に夫々
異なる所定の遅延時間を与える複数個の固定遅延回路
(200−0〜200−5)、複数個の固定遅延回路か
ら出力されるクロック信号と前記第1のクロック信号に
対して位相が相異された第2のクロック信号(PCL
K)とを入力し、第2のクロック信号に対する第1のク
ロック信号の位相差に応ずる複数ビットの検出信号(2
02)を生成する検出回路(201)、及び第3のクロ
ック信号(BDA2)に前記検出信号に応ずる前記位相
差の遅延を与える可変遅延回路(200−6)によって
位相制御回路を実現する。複数個の固定遅延回路に対し
て1個の可変遅延回路を用いるだけで、固定遅延回路の
数に応ずる階調数若しくは分解能で位相制御が可能にな
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、位相制御技術、ク
ロック信号に同期動作される半導体装置及び半導体メモ
リに係り、特に、外部から入力されるクロック信号に同
期した内部クロック信号の位相を制御して外部出力動作
を外部クロック信号の位相に合わせることを可能にする
位相制御技術に関し、例えば、SDRAM(シンクロナ
ス・ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ)のような
クロック同期メモリに適用して有効な技術に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】SDRAMは外部から入力されるクロッ
ク信号に同期してデータの入出力を行う。SDRAMに
おいてその動作周波数を向上させてクロックサイクル時
間を短縮していくとき、そのクロックサイクルに応じて
データ読み出しのアクセスタイムも短縮されなければな
らない。そのために、外部クロック信号とデータ出力制
御用の内部クロック信号との間のクロックスキューを外
部クロック信号の周波数に拘わらず低減するため、換言
すれば、外部クロック信号とデータ出力制御用の内部ク
ロック信号との位相を一定に合わせるための位相制御回
路若しくはクロック再生回路が採用されている。
【0003】従来のクロック再生回路にはPLL(フェ
ーズ・ロックド・ループ)やDLL(ディレイ・ロック
ド・ループ)を用いたものがある。しかしながら、それ
らはフィードバック回路であるため、位相を所定に合わ
せる為に数百サイクルも要し、待機状態から動作可能状
態への復帰に時間を要し、それを回避するには待機時で
あっても常に動作させておかなければならず、待機電力
が大きくなる。
【0004】そこで、International Solid-State Circ
uit Conference Digest of Technical Papers, pp. 374
-375, Feb. 1996に、待機時に動作を停止できるクロッ
ク再生回路としてSMD(シンクロナス・ミラー・ディ
レイ)が提案されている。SMDは、遅延時間の同じ2
個の遅延回路列、即ち進行方向遅延回路、逆方向遅延回
路、鏡像制御回路及び遅延モニタを有する。進行方向遅
延回路、逆方向遅延回路は、互いに信号の伝達経路が逆
向きになるように配置され、進行方向遅延回路の各遅延
段の出力は鏡像制御回路を介して逆方向遅延回路の対応
遅延段の入力に結合される。遅延モニタはクロック入力
バッファの遅延時間とクロックドライバの遅延時間のダ
ミー回路である。SMDの動作は上記文献において以下
のように説明されている。先ず、n番目のクロックは遅
延モニタを通過し、n+1番目のクロックが鏡像制御回
路に入るまで進行方向遅延回路内を進行する。鏡像制御
回路にn+1番目のクロックが入ったとき、n番目のク
ロックは進行方向遅延回路から逆方向遅延回路に転送さ
れる。n番目のクロックは進行方向遅延回路を通過した
ときとほぼ同じ時間で逆方向遅延回路を通過し、クロッ
クドライバに入力される。この結果、n番目のクロック
のクロックドライバ出力は、n+2番目の外部クロック
と位相が合う。即ち、遅延モニタを通したn番目のクロ
ックからn+1番目のクロックまでの時間を、遅延回路
の段数として計測し、その分だけ更に遅延回路を通すこ
とにより、n+2番目の外部クロックに位相を合わせた
内部クロックを生成する。したがって、SMDは動作を
開始してから2クロックサイクルで外部クロックと位相
を合わせた内部クロックを生成することができる。
【0005】フィードバック回路を用いない従来のその
他のクロック再生回路について記載された文献として以
下のものがある。特開平10−126254号公報、特
開平8−223031号公報にもSMDが示されてい
る。その他に、T. Yamada, etal., Symposium of VLSI
Circuits Digest of Technical Papers, pp. 112-113,J
une. 1996、特開平7−106956号公報がある。
【0006】また、前記SMDにおいて外部クロックと
内部クロックとの位相同期の最大誤差は前記進行方向遅
延回路や逆方向遅延回路における遅延段1段分の遅延時
間に相当する。このため、そのような誤差を最小限にす
るためにクロック再生回路に微調整回路を追加したもの
がある。例えば、J. Han, et al., Symposium of VLSI
Circuits Digest of Technical Papers, pp. 192-193,
June. 1996、そして特開平10−13395号公報に
は、微調整にもSMDを用いたクロック再生回路が示さ
れている。
【0007】また、特開平11−24785号公報には
2個の入力端子を容量でカップリングさせた論理ゲート
をアレイ状に配置してクロック信号を遅延させる格子状
遅延回路(SQUAD)を遅延時間の微調整用に持ち、
その前段に遅延調整を拡大を図るための別の遅延要素を
挿入して、外部クロックに同期させた内部クロックを形
成可能にした回路が示される。その前提技術は特開平8
−78951号公報に示されていいる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記微
調整にもSMDを用いた回路では、論理ゲート2段で構
成される単位遅延回路による単位遅延時間よりも分解能
を向上させることができず、構成が複雑な割には遅延時
間の調整精度を向上させることができないという問題点
のあることが本発明者によって明らかにされた。また、
遅延時間の微調整に格子状遅延回路(SQUAD)を用
いる場合には回路素子数が多くなり、更に高分解能の微
小遅延を安定して発生する為に複数遅延段を必要とする
ので、計測可能なクロックサイクル時間を短縮できな
い、という問題点が本発明者によって見出された。
【0009】本発明の目的は、遅延時間の微調整にSM
Dや格子状遅延回路(SQUAD)を用いた構成に比べ
て回路構成が簡単な位相制御回路、そしてクロック再生
回路を提供することにある。
【0010】本発明の別の目的は、遅延時間の微調整に
SMDや格子状遅延回路(SQUAD)を用いた構成に
比べて、計測可能なクロックサイクル時間の短縮、換言
すれば位相制御可能なクロック信号の周波数向上を達成
できる位相制御回路、そしてクロック再生回路を提供す
ることにある。
【0011】本発明の別の目的は、クロック信号に同期
動作される半導体装置の電力消費を低減することにあ
る。
【0012】本発明のその他の目的は、外部クロック信
号に同期してデータの入出力を行う半導体装置において
動作周波数の向上によるクロックサイクル時間の短縮幅
を広げることが可能な半導体装置、更には半導体メモリ
を提供することにある。
【0013】本発明の前記並びにその他の目的と新規な
特徴は本明細書の記述及び添付図面から明らかになるで
あろう。
【0014】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記
の通りである。
【0015】〔1〕位相制御回路の観点による発明は、
第1のクロック信号(BDA1)を夫々入力し、入力し
た第1のクロック信号に夫々異なる所定の遅延時間を与
える複数個の固定遅延回路(200−0〜200−5)
と、前記複数個の固定遅延回路から出力されるクロック
信号と前記第1のクロック信号に対して位相が相異され
た第2のクロック信号とを入力し、前記第2のクロック
信号(PCLK)に対する第1のクロック信号の位相差
に応ずる複数ビットの検出信号(202)を生成する検
出回路(201)と、前記検出回路から前記複数ビット
の検出信号を並列に入力し、第3のクロック信号(BD
A2)に、前記入力された検出信号に応ずる前記位相差
に対応する遅延を与える可変遅延回路(200−6)と
によって位相制御回路(94)を実現する。上記位相制
御回路によれば、複数個の固定遅延回路に対して1個の
可変遅延回路を用いるだけで、固定遅延回路の数に応ず
る階調数若しくは分解能で位相制御を可能にする。これ
により、遅延時間の微調整にSMDや格子状遅延回路
(SQUAD)を用いた場合に比べて回路構成を簡素化
することができる。回路構成が簡素になるから、SMD
や格子状遅延回路(SQUAD)を用いた構成に比べ
て、計測可能なクロックサイクル時間を短縮できる。即
ち、高精度で位相制御可能な動作周波数を向上させるこ
とができる。
【0016】前記固定遅延回路及び可変遅延回路の夫々
を、電流源トランジスタ(Wp0〜Wp6、Wn0〜W
n6)のスイッチ状態に応じて動作電流が決定される電
流制御型インバータ(IV0,IV1)によって実現で
きる。前記可変遅延回路は前記電流源トランジスタを複
数個並列に有し、前記複数個の電流源トランジスタは前
記複数ビットの検出信号によってスイッチ制御される。
動作電流の制御によって遅延時間を決めるから、インバ
ータの直列段数によって遅延時間を制御する場合に比べ
て、制御可能な遅延時間幅の最小値を更に小さくするこ
とが可能に成る。
【0017】遅延時間の制御に容量素子(C0〜Cs)
を用いる場合も同様である。即ち、前記固定遅延回路及
び可変遅延回路の夫々に、信号伝達経路にスイッチトラ
ンジスタ(M0〜Ms)を介して容量素子を設ける。前
記可変遅延回路は前記容量素子及びスイッチトランジス
タを複数個並列に有し、前記複数個のスイッチトランジ
スタは前記複数ビットの検出信号によってスイッチ制御
される。
【0018】前記第2のクロック信号の1周期以上の期
間毎に前記検出信号をラッチして前記可変遅延回路に与
えるラッチ回路(CIV11,CIV12,NAND1
3)を設ける。これにより、検出回路による位相差の検
出動作を間欠的に行うことも可能になり、これは低消費
電力に寄与する。
【0019】前記第1のクロック信号を、前記第2のク
ロック信号に第1の遅延時間(td1+td3)と第2
の遅延時間とを与えたクロック信号とすると、前記第3
のクロック信号は前記第2のクロック信号に前記第2の
遅延時間が与えられたクロック信号となる。この関係に
よれば、外部クロック信号の入力回路(2)の動作遅延
時間や、外部クロックと位相を揃えて出力動作を行う出
力回路の動作遅延時間等を模擬するダミー回路によって
前記第1の遅延時間を形成し、別の遅延要素回路(10
1)による遅延時間を第2の遅延時間(tD×n)とし
て設定すれば、前記可変遅延回路の出力クロック信号を
受ける出力回路は外部クロック信号の位相に合わせて出
力動作可能にされる。前記可変遅延回路が前記第3のク
ロック信号に与える遅延時間の調整単位を、前記別の遅
延要素による遅延時間の設定単位よりも小さくすること
により、前記出力回路の出力動作と外部クロック信号と
の位相合わせを更に高精度化できる。
【0020】前記位相制御回路を採用した半導体装置
(1)は、外部クロック信号(EX−CL)が入力され
るクロック端子と、クロック端子に接続されたクロック
入力回路(2)と、クロック入力回路に接続された前記
位相制御回路(9)と、前記位相制御回路に接続された
データ出力回路(10)と、前記データ出力回路に接続
され外部にデータを出力するデータ端子と、を半導体チ
ップに含む。前記第2のクロック信号は前記外部クロッ
ク信号に対して所定時間遅延されたクロック信号であ
り、前記データ出力回路は、前記位相制御回路の前記可
変遅延回路から出力される信号に同期し前記外部ロック
信号と同位相で前記データを出力する回路である。
【0021】前記データ出力回路は、前記位相制御回路
の前記可変遅延回路から出力される信号に同期し前記外
部ロック信号と同位相でデータストローブ信号(DQ
S)を出力してもよい。そのようなストローブ信号を半
導体装置をアクセスする回路に与えることによってシス
テム設計等が更に容易になる。
【0022】〔2〕本発明の更に具体的な観点による半
導体装置は、前記位相制御回路を位相制御の微調整に採
用すると共にその調整幅を広げる回路としてSMDを採
用したクロック再生回路(9)を有する。即ち、半導体
装置は、外部クロック信号を入力して内部クロック信号
を生成するクロック入力回路(2)と、前記内部クロッ
ク信号に同期して動作を行う内部回路(3)と、前記内
部回路の動作結果を外部に出力する出力回路(10)
と、前記出力回路による出力動作の位相を前記外部クロ
ック信号の位相に合わせるためのクロック再生回路
(9)とを含む。前記クロック再生回路は、前記内部ク
ロック信号に同期する参照クロック信号に夫々規定の遅
延時間を与え直列形態で接続された第1及び第2の既定
遅延回路(91,92)と、前記第2の既定遅延回路の
出力と前記参照クロック信号(PCLK)との位相差を
検出する位相差検出回路(100)と、前記位相差検出
回路によって検出された位相差を前記第1の既定遅延回
路の出力クロック信号(NDMY)に与える第1の位相
差再現回路(101)と、前記第1の位相差再現回路か
ら出力される第1のクロック信号(BDA1)を夫々入
力し、入力した第1のクロック信号に夫々異なる所定の
遅延時間を与える複数個の固定遅延回路(200−0〜
200−5)と、前記複数個の固定遅延回路から出力さ
れるクロック信号と前記参照クロック信号とを入力し、
前記参照信号に対する第1のクロック信号の位相差に応
ずる複数ビットの検出信号を生成する検出回路(20
1)と、前記位相差検出回路によって検出された位相差
を前記参照クロック信号に与える第2の位相差再現回路
(102)と、前記検出回路から前記複数ビットの検出
信号を並列に入力し、前記第2の位相差再現回路の出力
クロック信号(BDA2)に、前記入力された検出信号
に応ずる前記位相差の遅延を与える可変遅延回路(20
0−6)と、を含む。前記出力回路は可変遅延回路の出
力クロック信号(SDCLK)に同期して出力動作の位
相を前記外部クロック信号(EX−CLK)の位相に合
わせる。このように位相の粗調整と微調整の2段階で位
相制御を行うから、微調整を行う固定遅延回路及び可変
遅延回路から成る微調整回路部分(94)による調整の
階調数を少なくしても、比較的広い位相調整範囲を確保
でき、しかも上述の如く、小さな回路規模でそれを実現
することができる。
【0023】前記第1の既定遅延回路は、前記クロック
入力回路において外部クロック信号から前記内部クロッ
ク信号が生成され且つ当該内部クロック信号から前記参
照信号が生成されるまでの動作遅延時間と、前記可変遅
延回路の出力クロック信号を入力して前記出力回路に出
力動作させるときの動作遅延時間との合計遅延時間に相
当する信号伝播遅延時間を有する遅延時間のダミー回路
で構成することができる。
【0024】このとき、前記第2の既定遅延回路は、前
記可変遅延回路により与えることができる遅延時間の最
大調整幅よりも小さい遅延時間を有する回路によって構
成すれば、可変遅延回路による調整幅が大きくなり、外
部クロック信号の動作帯域を高周波側に拡大することが
容易になる。
【0025】更に詳しくは、前記粗調整を行う回路部分
である前記位相差検出回路、前記第1及び第2の位相差
再現回路はSMDを採用して構成することができる。即
ち、前記位相差検出回路(100)は、前記第2の既定
遅延回路の出力を順次伝播させる単位遅延回路(11
0)を直列形態で複数個有し前記参照クロック信号の信
号状態に最も近似する前記単位遅延回路の出力の位置を
選択する進行方向遅延回路として実現できる。前記第1
の位相差再現回路(101)は、前記進行方向遅延回路
と同じ若しくは実質的に同じ遅延特性を有する直列形態
の単位遅延回路(120)を逆向きに複数個有し前記進
行方向遅延回路で選択された出力位置に応ずる単位遅延
回路段数と同じ段数を後段に持つ単位遅延回路の入力位
置を選択し、選択した入力位置に前記第1の既定遅延回
路の出力を与える第1の逆方向遅延回路として実現でき
る。前記第2の位相差再現回路(102)は、前記進行
方向遅延回路と同じ若しくは実質的に同じ遅延特性を持
つ直列形態の単位遅延回路(140)を逆向きに複数個
有し前記進行方向遅延回路で選択された出力位置に応ず
る単位遅延回路段数と同じ段数を後段に持つ単位遅延回
路の入力位置を選択し、選択した入力位置に前記参照ク
ロック信号を与える第2の逆方向遅延回路として実現で
きる。
【0026】前記固定遅延回路及び可変遅延回路の夫々
には前述のように電流制御型のインバータ、或いは容量
素子を用いた構成を採用することができる。
【0027】更に、前記位相差検出回路によって検出さ
れた位相差を前記第2のクロック信号の1周期以上の期
間毎にラッチして前記第2の位相差再現回路に与える第
1のラッチ回路(103)と、前記第1のラッチ回路の
ラッチ動作に同期して前記検出回路による検出信号をラ
ッチして前記可変遅延回路に与える第2のラッチ回路
(CIV11,CIV12,NAND13)とを採用す
れば、位相差の検出動作を間欠的に行って更に低消費電
力の実現に寄与することができる。
【0028】〔3〕前記半導体装置はSDRAM等のク
ロック同期の半導体メモリに適用することができる。こ
の半導体メモリによれば、PLLやDLLに比べて内部
クロックを外部クロックに同期させるまでのロック動作
時間を短縮でき、クロック再生のための回路構成も簡素
化でき、また、電力消費を低減でき、更に、動作周波数
の向上によるクロックサイクル時間の短縮幅も広げるこ
とが可能になる。
【0029】〔4〕本発明の更に別の観点による信号発
生回路は、変化タイミングが夫々異なる複数の信号(N
FTD0〜NFTD5)と基準クロック信号(DCL
K)の所定サイクルにおける信号(PCLK)とを比較
して検出信号(202)を出力する制御回路(200−
0〜200−5,201)と、前記検出信号に基づいて
前記基準クロック信号に対応した信号(SDCLK)を
出力する出力回路(200−6)とを備える。前記信号
発生回路は、夫々遅延時間調整部(Wp0〜Wp6,W
n0〜Wn6)を備えた複数の遅延回路(200−0〜
200−6)を備える。前記複数の遅延回路の1個(2
00−6)は前記出力回路内に設けられた第1遅延回路
であり、前記複数の第1遅延回路を除く他の前記複数の
遅延回路は前記制御回路内に設けられた複数の第2遅延
回路(200−0〜200−5)である。前記複数の第
2遅延回路は共通の入力信号(BDA1)を受けて変化
タイミングが夫々異なる前記複数の信号(NFTD0〜
NFTD5)を出力し、前記第1遅延回路の遅延調整部
(200−6のWp0〜Wp6、Wn0〜Wn6)は前
記検出信号に基づいて可変制御される。これにより、遅
延時間の微調整にSMDや格子状遅延回路(SQUA
D)を用いた場合に比べて、回路構成を簡素化すること
ができ、高精度で位相制御可能な動作周波数を向上させ
ることができる。
【0030】前記複数の遅延回路の各々は遅延調整部に
対して主遅延部(IV0,IV1)を有するとき、前記
主遅延部と前記遅延調整部とにより各遅延回路の遅延時
間を夫々設定する。
【0031】前記信号発生回路が半導体装置に含まれる
とき、前記半導体装置は、半導体装置外部から外部クロ
ック信号(EX−CLK)が入力されるクロック端子と
前記半導体装置の外部にデータを出力するデータ端子
(DQS,DQn)と前記データ端子に接続されたデー
タ出力回路(10)とを含む。前記基準クロック信号
(DCLK)は前記外部クロック信号(EX−CLK)
に対応した信号であり、前記データ出力回路は、前記信
号発生回路の前記出力回路から出力される前記信号(S
DCLK)に応答し、前記外部クロック信号と同期した
タイミングで前記データを出力する。
【0032】
【発明の実施の形態】《クロック再生回路》図1には本
発明に係る位相制御回路の一例であるクロック再生回路
が示される。図1のクロック再生回路は図2の半導体装置
に適用される。
【0033】図2に示される半導体装置1は、外部クロ
ック信号EX−CLKを入力して内部クロック信号DC
LKを生成するクロック入力回路2と、前記内部クロッ
ク信号DCLKに同期して動作を行う内部回路3と、前
記内部回路3の動作結果を外部に出力するための出力バ
ッファ4,5と、前記内部回路にデータなどを入力する
入力バッファ6,7と、前記出力バッファ4,5の出力
動作を制御する出力制御回路8と、前記出力制御回路8
が前記出力バッファ4,5を介して行う出力動作の位相
を前記外部クロック信号EX−CLKの位相に合わせる
ためのクロック再生回路9とを有する。それら回路は、
特に制限されないが、単結晶シリコンのような1個の半
導体基板に形成されている。前記出力制御回路8及び前
記出力バッファ4,5は、内部回路3の動作結果を外部
に出力する出力回路10を構成する。
【0034】図1に示されるクロック再生回路9は、ク
ロックバッファ90、第1の既定遅延回路91、第2の既
定遅延回路92、粗調回路93、及び微調回路94を有
する。
【0035】クロックバッファ90は前記内部クロック
信号DCLKを入力し、それに対して僅かに遅れた位相
を持った参照クロック信号PCLKを出力する。制御信
号CRCEはクロック再生回路9のイネーブル信号であ
り、クロックバッファ90の制御端子に与えられる。ク
ロックバッファ90は、イネーブル信号CRCEがハイ
レベルにされることによって参照クロック信号PCLK
を出力して、クロック再生回路9を動作可能にする。イ
ネーブル信号CRCEがローレベルのとき、クロックバ
ッファ90の出力は例えばローレベルに固定され、これ
によってクロック再生回路9の動作は停止される。例え
ば半導体装置1にスタンバイ状態若しくは定消費電力状
態が指示されると、これに応答して、イネーブル信号C
RCEがローレベルにされる。
【0036】前記第1の既定遅延回路91は参照クロッ
ク信号に夫々規定の遅延時間を与える回路である。詳し
くは、当該第1の既定遅延回路91は、前記クロック入
力回路2において外部クロック信号を入力して内部クロ
ック信号DCLKを生成する時の動作遅延時間(td
1)と、前記微調回路94の出力クロック信号SDCL
Kを入力してから前記出力回路10に出力動作させるま
での動作遅延時間(td2)と、前記クロックバッファ
90の動作遅延時間(td3)との合計遅延時間に相当
する信号伝播遅延時間を有する遅延時間のダミー回路で
構成される。前記遅延時間td1+td2は、半導体装
置がメモリであるとき、メモリにおいて、これから説明
するクロック再生制御を行なわないとしたときのアクセ
スサイクル時間(tAC)に相当する。第1の既定遅延
回路91を、便宜上tAC系遅延時間のレプリカ回路
(tAC系レプリカ回路)とも称する。
【0037】前記第2の既定遅延回路92は、前記微調
回路による遅延時間の最大調整幅よりも小さな遅延時間
を有する回路によって構成される。第2の既定遅延回路
92を便宜上微小遅延回路とも称する。
【0038】前記粗調回路93は、前記第2の既定遅延
回路92の出力FDAと前記参照クロック信号PCLK
との位相差を検出する位相差検出回路100と、前記位
相差検出回路100によって検出された位相差を前記第
1の既定遅延回路91の出力クロック信号NDMYに与
える第1の位相差再現回路101と、前記位相差検出回
路100によって検出された位相差を前記参照クロック
信号PCLKに与える第2の位相差再現回路102と、
前記位相差検出回路100によって検出された位相差を
前記参照クロック信号PCLKの1周期以上の期間毎に
ラッチして前記第2の位相差再現回路102に与える第
1のラッチ回路103とによって構成される。
【0039】前記位相差検出回路100は、前記第2の
既定遅延回路92の出力FDAを順次伝播させる単位遅
延回路110を直列形態で複数個有し、前記参照クロッ
ク信号PCLKの信号状態に最も近似する前記単位遅延
回路110の出力の位置を位相比較回路111で選択す
る進行方向遅延回として実現することができる。
【0040】前記単位遅延回路110は図3の(A)に
例示されるように、2個の2入力ナンドゲートNAND
1,NAND2を直列接続して構成することができる。
図3の(A)においてFDAnは出力ノード、FDA
(n−1)は前段の出力ノード、STOP(n−2)は
更に前段の位相比較回路の出力ノードである。
【0041】前記位相比較回路111は各単位遅延回路
110の出力ノードに夫々1個づつアレイ状に配置され
ている。位相比較回路111は図4に例示されるよう
に、2個の2入力ナンドゲートNAND3,NAND4
の相互に一方のナンドゲートの出力が他方のナンドゲー
トの入力に帰還接続され、参照クロック信号PCLKの
立ち上がりエッジのタイミングで対応する単位遅延回路
110の出力(FDAn)がハイレベルであれば、ノア
ゲートNOR1の出力がハイレベルにされる。ノアゲー
トNOR1の出力は、入力ゲート用のクロックドインバ
ータCIV1、ノアゲートNOR2、帰還用クロックド
インバータCIV2から成るスタティックラッチを経由
して、ハイレベルの比較結果信号HITnとして出力さ
れる。クロックドインバータCIV1、ノアゲートNO
R2、及びクロックドインバータCIV2から成るスタ
ティックラッチは、特に制限されないが、クロック信号
SWCLKに同期してラッチ動作を行う。参照クロック
信号PCLKに同期して毎回ラッチ動作を行う場合には
SWCLKCをPCLKとすることができる。また、P
CLKの8サイクルに1度ラッチ動作を行う場合には、
位相比較動作に合わせてPCLKを8サイクルに1回出
力する信号をSWCLKCとすればよい。更に、ノアゲ
ートNOR1の出力からインバータを経由してSTOP
nが発生される。例えば、HITnがハイレベルのと
き、ローレベルのSTOPnが前記単位遅延回路110
の2段後の単位遅延回路に入力され、前記単位遅延回路
110におけるクロックの伝播が止まる。
【0042】前記ラッチ回路103はアレイ状に配置さ
れた位相比較回路111に1対1対応で配置されたラッ
チ130を有する。図4には前記ラッチ130の一例が
示される。ラッチ130は、入力ゲート用クロックドイ
ンバータCIV3、ノアゲートNOR3、帰還用クロッ
クドインバータCIV4から成る前段スタティックラッ
チと、入力ゲート用クロックドインバータCIV5、ナ
ンドゲートNAND9、帰還用クロックドインバータC
IV6から成る後段スタティックラッチとで、ハイレベ
ルの比較結果信号HITnをラッチする。ラッチ制御
は、特に制限されないが、前記クロック信号SWCLK
Cで行う。直列2段のスタティックラッチを介する出力
信号TAPnの確定は、位相比較結果信号HITnの確
定に対して、参照クロック信号PCLKの1サイクル遅
延する。特に制限されないが、DDR(ダブル・データ
・レート)SDRAMはクロック信号の立ち上がり及び
立ち下がりの双方でデータ出力を行い、リードコマンド
の指示から最初のデータ出力を開始する1サイクル前
に、データ出力端子をローレベルに強制するという仕様
がある。これに対処する為に、図4のラッチ130は、
リードコマンドの後、参照クロック信号PCLKの2サ
イクル目で信号PREAをハイレベルに強制し、当該信
号PREAを受けるナンドゲートNAND10を介して
ノアゲートNOR1の出力信号をTAPnとしてラッチ
130から1サイクル早く出力可能になっている。CR
CRSTは前記スタティックラッチのリセット信号であ
る。
【0043】第1の位相差再現回路101は、前記進行
方向遅延回路と同じ若しくは実質的に同じ遅延特性を持
つ直列形態の単位遅延回路120を逆向きに複数個有し
前記進行方向遅延回路で選択された出力位置に応ずる単
位遅延回路段数と同じ段数を後段に持つ単位遅延回路の
入力位置を選択し、選択した入力位置に前記第1の既定
遅延回路91の出力NDMYを与える第1の逆方向遅延
回路として実現される。図1において単位遅延回路12
0の入力位置の選択ノードは模式的にスイッチのように
図示されている。図3の(B)には前記単位遅延回路1
20を前記選択ノードと共に構成した回路例が示され
る。単位遅延回路120は例えば3個のナンドゲートN
AND5〜NAND7によって構成される。ナンドゲー
トNAND5は、対応する位相比較結果信号HITnの
ハイレベルによって前記第1の既定遅延回路91の出力
信号NDMYを選択する選択ゲート(図1において模式
的に図示されたスイッチ)として機能される。BDA1
(n−1)は単位遅延回路120の出力ノード、BDA
1(n)は前段の単位遅延回路120の出力ノードであ
る。
【0044】前記第2の位相差再現回路102は、前記
進行方向遅延回路100と同じ若しくは実質的に同じ遅
延特性を持つ直列形態の単位遅延回路140を逆向きに
複数個有し、前記進行方向遅延回路100で選択された
出力位置に応ずる単位遅延回路段数と同じ段数を後段に
持つ単位遅延回路140の入力位置を前記ラッチ信号T
APnで選択し、選択した入力位置に前記参照クロック
信号PCLKを与える第2の逆方向遅延回路として実現
される。図1において単位遅延回路140の入力位置の
選択ノードは模式的にスイッチのように図示されてい
る。単位遅延回路130には図3の(B)と同じ回路構
成を採用することができる。図3の(B)において、ナ
ンドゲートNAND5は、対応するラッチ信号TAPn
のハイレベルによって前記第参照クロック信号PCLK
を選択する選択ゲート(図1において模式的に図示され
たスイッチ)として機能される。BDA2(n−1)は
単位遅延回路140の出力ノード、BDA2(n)は前
段の単位遅延回路140の出力ノードである。
【0045】前記微調回路94は、図1に例示されるよ
うに、前記第1の位相差再現回路101から出力される
第1のクロック信号BDA1を夫々入力し、入力した第
1のクロック信号BDA1に夫々異なる所定の遅延時間
を与える複数個例えば6個の固定遅延回路200―0〜
200―5と、前記複数個の固定遅延回路から出力され
るクロック信号と前記参照クロック信号PCLKとを入
力し、前記参照クロック信号PCLKに対する第1のク
ロック信号BDA1の位相差に応ずる複数ビットの検出
信号202を生成する検出回路201と、前記検出回路
201から前記複数ビットの検出信号202を並列に入
力し、前記第2の位相差再現回路102の出力クロック
信号BDA2に、前記入力された検出信号202に応ず
る前記位相差の遅延を与える可変遅延回路200−6と
によって構成される。
【0046】前記微調回路94の詳細な一例を図5に示
す。前記固定遅延回路200−0〜200−5及び可変
遅延回路200−6の夫々は、複数個のpチャンネル型
電流源トランジスタWp0〜Wp6と、複数個のnチャ
ンネル型電流源トランジスタWn0〜Wn6とのスイッ
チ状態に応じて動作電流が決定される電流制御型インバ
ータIV0,IV1によって実現することができる。特
に、前記固定遅延回路200−0〜200−5の電流源
トランジスタWp0〜Wp6、Wn0〜Wn6のゲート
電極は、それに設定すべき遅延時間に応じて、電源電圧
Vdd、接地電圧Vssに固定される。
【0047】前記固定遅延回路200−0〜200−5
及び可変遅延回路200−6の夫々において、ドレイン
を共有する電流源トランジスタの全てがオフ状態にされ
ることは動作上無いので、電源電圧Vdd側では一つの
電流源トランジスタWp6が常時オン状態に設定され、
接地電圧Vss側では一つの電流源トランジスタWn6
が常時オン状態に設定されている。
【0048】前記電流源トランジスタWp0〜Wp6の
サイズ(ゲート幅)は相互に同一であっても、或いは2
の階乗の重みを付けて順次大きく、或いは小さく設定さ
れていてよい。nチャンネル型の前記電流源トランジス
タWn0〜Wn6も同様である。例えば、図6に例示さ
れるように電流源トランジスタWp0〜Wp6のサイズ
(ゲート幅)は順次小さくされ、同様に、電流源トラン
ジスタWn0〜Wn6のサイズ(ゲート幅)も順次小さ
くされる。
【0049】そのようなトランジスタサイズを有すると
き、前記夫々の固定遅延回路200−0〜200−5に
おける電流源トランジスタWp0〜Wp6、Wn0〜W
n6のスイッチ状態は例えば図7に例示される。N0〜
N5は、前記固定遅延回路200−0〜200−5の電
流源トランジスタWn0〜Wn5のゲート信号である。
前記固定遅延回路200−0〜200−5の電流源トラ
ンジスタWp0〜Wp5のゲート信号はゲート信号N0
〜N5の反転レベル信号であり、図5において、/N0
〜/N5として図示されている。図7の設定状態によれ
ば、固定遅延回路200−0から200−5の順に遅延
時間と遅延時間の刻みが大きくなっている。
【0050】図5に従えば、前記検出回路201、固定
遅延回路200−0〜200−5から夫々出力される位
相の異なるクロック信号NFTD0〜NFTD5と前記
参照クロック信号PCLKとの位相を比較する位相比較
回路201−0〜201−5を有する。位相比較回路2
01−1〜201−5の比較結果は、可変遅延回路20
0−6における電流源トランジスタWn0〜Wn5のス
イッチ制御信号M0〜M5、電流源トランジスタWp0
〜Wp5のスイッチ制御信号/M0〜/M5とされる。
前記信号M0〜M5、/M0〜M5は図1の信号202
を詳細に示した信号に相当する。
【0051】位相比較回路201−0〜201−5の一
例は図8に示される。図8に示される位相比較回路20
1−i(i=0〜5)は、2個の2入力ナンドゲートN
AND11,NAND12の相互に一方の出力が他方の
入力に帰還接続される。図9の(A)に例示されるよう
に、参照クロック信号PCLKの立ち上がりエッジのタ
イミングで対応する固定遅延回路200−iの出力NF
TDiがハイレベルであれば、クロックドインバータV
IV11及びナンドゲートNAND13を介して出力さ
れるスイッチ制御信号Miはローレベルにされる。逆
に、図9の(B)に示されるように、参照クロック信号
PCLKの立ち上がりエッジのタイミングで対応する固
定遅延回路200−iの出力NFTDiがローレベルで
あれば、クロックドインバータVIV11及びナンドゲ
ートNAND13を介して出力されるスイッチ制御信号
Miはハイレベルにされる。
【0052】ここで、図9の(A)に示される位相状態
は、信号NFTDiの遅延量が参照クロック信号PCL
Kの1サイクルに満たない状態であり、位相同期させる
には、更に遅延量を大きくすることが必要であり、Mi
がローレベルにされる。これにより、可変遅延回路20
0−6において信号Miを受けるnチャンネル型電流源
トランジスタWniをオフ状態、信号/Miを受けるp
チャンネル型電流源トランジスタWpiをオフ状態にし
て、可変遅延回路200−6の遅延量を大きくする。一
方、図9の(B)に示される位相状態は、信号NFTD
iの遅延量が参照クロック信号PCLKの1サイクルを
超えた状態であり、位相同期させるには、遅延量を小さ
くすることが必要であり、Miがハイレベルにされる。
これにより、可変遅延回路200−6において信号Mi
を受けるnチャンネル型電流源トランジスタWniをオ
ン状態、信号/Miを受けるpチャンネル型電流源トラ
ンジスタWpiをオン状態にして、可変遅延回路200
−6の遅延量を小さくする。
【0053】図10には前記微調回路94による位相制
御動作の動作タイミングの一例が示されている。図10
の例ではNFTD0,NFTD1が図9の(A)の状
態、NFTD2〜NFTD5が図9の(B)の状態であ
るから、信号M0,M1,M2,M3,M4,M5=
0,0,1,1,1,1とされる。ここで、論理値
“1”(ハイレベル)にされた最下位の信号M2に対応
される信号NFTD2を出力する固定遅延回路200−
2の制御信号N0〜N5は、図7より明らかなように、
前記信号M0〜M5と同じ0,0,1,1,1,1にさ
れている。このことから理解されるように、検出回路2
01は信号BDA1を参照クロックPCLKの位相状態
に最も近似させることができる遅延を生成する1つの固
定遅延回路における制御信号N0〜N5と同一のコード
を生成する。したがって、固定遅延回路と同一のトラン
ジスタによって構成されていて当該コードを信号M0〜
M5として受け取る可変遅延回路200−6は、それと
同じ遅延を再現することができ、信号BDA2にその再
現された遅延を与えて信号SDCLKを生成することが
できる。
【0054】図8において、ナンドゲートNAND12
の出力は、入力ゲート用クロックドインバータCIV1
1、ナンドゲートNAND13及び帰還用クロックドイ
ンバータCIV12から成るスタティックラッチにラッ
チされ、ラッチされた信号が前記信号Miになる。SW
CLKはラッチ制御信号であり、参照クロック信号PC
LKに同期して毎回ラッチ動作を行う場合にはSWCL
KをPCLKとすることができる。また、PCLKの8
サイクルに1度ラッチ動作を行う場合には位相比較動作
に合わせてPCLKを8サイクルに1回出力する信号を
SWCLKFとすればよい。
【0055】《クロック再生動作》次に、クロック再生
回路の動作を全体的に説明する。図11にはクロック再
生回路による位相同期動作が粗調遅延時間及び微調遅延
時間の配分の観点から示されている。
【0056】図11において1サイクルとは外部クロッ
ク信号EX−CLKの1サイクルである。外部クロック
信号EX−CLKに対して位相のみ相異されている参照
クロック信号PCLKなどのクロック信号も同じ1サイ
クルである。その1サイクルに対してクロック再生制御
を行わない場合のアクセスサイクル時間は当該1サイク
ルよりも短い。外部クロック信号EX−CLKの周波数
が高くなると、1サイクルに対するアクセスサイクル時
間の割合も相異される。クロック再生回路9を用いたア
クセスサイクル時間の制御は、アクセスサイクルを外部
クロック信号EX−CLKのサイクルに同位相化する。
クロック再生回路9の動作は、粗調遅延測定(粗調測
定)、微調遅延測定(微調測定)、粗調遅延及び微
調遅延の再生(粗調・微調再生)の3種類に大別され
る。
【0057】図1において、粗調測定の経路にはの矢
印が付され、微調測定の経路にはの矢印が付され、粗
調・微調再生の経路にはの矢印が付されている。
【0058】図1及び図11を参照するに、の粗調測
定では、参照クロック信号PCLKがtAC系レプリカ
回路91を通過することによって、参照クロック信号P
CLKに、クロック入力回路2の動作遅延と出力回路1
0の動作遅延が仮想的に与えられる。微小遅延回路92
は、tAC系レプリカ回路91の出力に、例えば、前記
可変遅延回路200−6において全部のトランジスタW
p0〜Wp6,Wn0〜Wn6をオン状態にしたときに
得られる遅延時間を更に与える。そして、微小遅延回路
92の出力に対して、参照クロック信号PCLKとの位
相差が前記位相差検出回路100で検出される。検出さ
れる位相差は、単位遅延回路110による遅延時間(単
位遅延時間tD)の整数倍の遅延時間に相当する。この
遅延時間が粗調遅延時間である。実際は、粗調遅延時間
を得る為の単位遅延回路の位置情報が信号によって得ら
れる。このようにして累積された遅延時間の合計と外部
クロック信号EX−CLKの1サイクルとの間には、最
大で、単位遅延回路110による遅延時間の誤差があ
る。前述の通り位相比較回路111は単位遅延回路11
0の出力位相が参照クロック信号PCLKの位相に追い
つく(同相になる)前の状態を検出するから、累積され
た遅延時間の合計は外部クロック信号EX−CLKの1
サイクルを超えない。
【0059】図1及び図11を参照するに、の微調測
定では、前記第1の位相差再現回路101が、tAC系
レプリカ回路91の出力に前記粗調遅延時間分の遅延を
与えた信号BDA1を生成する。そして、微調回路94
は、参照クロック信号PCLKと前記信号BDA1との
位相差に応ずる微調遅延時間の情報を生成する。
【0060】の粗調・微調再生では、参照クロック信
号PCLKに、第2の位相差再現回路102で再現され
た粗調遅延時間と、微調回路94で生成された微調遅延
時間が与えられた信号SDCLKを出力する。したがっ
て、クロック再生回路9の入力クロック信号DCLKに
対して、その出力クック信号SDCLKは、前記粗調遅
延時間と微調遅延時間との分だけ位相が遅延される。よ
って、図11のの記載からも明らかなように、入力ク
ロック信号DCLKを得るまでのクロック入力回路2並
びに参照クロック信号PCLKを得るまでのクロックバ
ッファ90の動作遅延時間と、クロック信号SDCLK
の変化に同期してデータDQnが出力されるまでの出力
回路1の動作遅延時間を考慮すると、出力回路10によ
るデータDQnの出力、そして、データストローブ信号
DQSの出力は、外部クロック信号EX−CLKと同位
相にされる。外部クロック信号EX−CLKの周波数を
高くしても、それは変わりない。
【0061】前記の粗調測定動作は参照クロック信号
PCLKに同期して毎回行っても、或いは4サイクル、
8サイクル、或いは16サイクル毎に間欠的に行なって
もよい。粗調測定の結果は、その動作サイクル毎に前記
ラッチ信号SWCLKCでラッチ回路103にラッチす
ればよい。の微調測定は粗調測定の次の1サイクルで
行なえばよい。微調測定の結果は、その動作サイクル毎
に各位相比較回路201−0〜201−5内のスタティ
ックラッチに前記ラッチ信号SWCLKFでラッチすれ
ばよい。の粗調・微調再生動作は微調測定の次の1サ
イクルで行なえばよい。したがて、クロック再生回路9
は、スタンバイ状態の解除などによって動作可能になっ
てから、3サイクル後に、出力動作を外部クロック信号
EX−CLKと同相化することができる。
【0062】図12にはクロック再生回路の位相同期動
作タイミングの一例が示される。図12においてS1
は、微小遅延回路92の出力FDAが単位遅延回路11
0を単位遅延時間tD毎に伝達していく様子を示した信
号である。信号HITnは参照クロック信号PCLKの
立ち上がりにほぼ同期してハイレベルになる。サイクル
C1のDEL1が粗調遅延時間である。粗調遅延時間D
EL1の情報はラッチ回路130にラッチされ、また、
単位遅延回路120に入力される信号NDMYに粗調遅
延時間DEL1が与えられる。これにより、第1の位相
差再現回路101の出力信号BDA1は、参照クロック
信号PCLKに対して時間tAC及び粗調時間DEL1
の分だけ遅延された信号とされる。更に、信号BDA1
は微調回路94に入力され、参照クロック信号PCLK
との位相差に基づいて微調遅延時間DEL2が計測され
る。サイクルC2のDEL2が、計測された微調遅延時
間である。この微調遅延時間に応ずる情報はラッチされ
信号202として可変遅延回路200−6に与えられ
る。サイクルC3では前記ラッチ130に保持された粗
調遅延時間DEL1の情報に従って選択された単位遅延
回路140に参照クロック信号PCLKが入力され、第
2の位相差再現回路102で粗調遅延時間DEL1が与
えられた信号BDA2が形成され、この信号BDA2に
可変遅延回路200−6で微調遅延時間DEL2が与え
られる。これにより、サイクルC3において、参照クロ
ック信号PCLKに対して粗調遅延時間DEL1及び微
調遅延時間DEL2分だけ遅延されたクロック信号SD
CLKが生成される。したがって、外部クロック信号E
X−CLKと同相化してデータDQnの出力とデータス
トローブ信号DQSの出力を行なうことができる。
【0063】《SDRAM》図13には前記クロック再
生回路9を適用した半導体装置の具体的な一例としてD
DR形式のSDRAMを示す。同図に示されるSDRA
Mは、特に制限されないが、公知の半導体集積回路製造
技術によって単結晶シリコンのような一つの半導体基板
に形成される。このSDRAMは、複数個のメモリバン
クを有するが、代表的に1つのメモリバンクを構成する
1個のメモリアレイ300が図示されている。メモリア
レイ300は、クロック信号の立ち上がりに同期したデ
ータ出力の対象とされる偶数ブロックと、クロック信号
の立ち下がりに同期したデータ出力の対象とされる奇数
ブロックとを有し、各ブロックは複数メモリマットから
成る。夫々のブロックには、マトリクス配置されたダイ
ナミック型のメモリセルを備え、同一列に配置されたメ
モリセルの選択端子は列毎にワード線に結合され、同一
行に配置されたメモリセルのデータ入出力端子は行毎に
相補データ線に結合される。奇数側ブロックの各マット
に対応して、相補データ線DLo、センスアンプSA
o、YゲートYGo、コモンデータ線SIOo、Y選択
信号YSo、YデコーダYDo、マット選択スイッチI
OSoを有する。MIOoは各マットに共通化されたメ
インデータ線であり、メインアンプMAoに接続され、
その出力はリードデータ線RDoからデータラッチDL
oに与えられる。偶数側ブロックの各マットに対しても
同様に、相補データ線DLe、センスアンプSAe、Y
ゲートYGe、コモンデータ線SIOe、Y選択信号Y
Se、YデコーダYDe、マット選択スイッチIOSe
を有する。メインデータ線MIOeは各マットに共通化
されたメインデータ線であり、メインアンプMAeに接
続され、その出力はリードデータ線RDeからデータラ
ッチDLeに与えられる。
【0064】データラッチDLo,DLeの出力はセレ
クタRDSで選択され、出力バッファ5から外部に出力
される。また、これに同期してバッファ4からデータス
トローブ信号DQSが出力される。
【0065】外部アドレス信号ADDはアドレスバッフ
ァADBに与えられ、内部Xアドレス信号(ロウアドレ
ス信号)XAは図示を省略するXアドレスデコーダに供
給され、図示を省略するワード線を経由してメモリセル
を選択する。選択されたメモリセルの記憶情報は相補デ
ータ線に微小電位差を形成し、その電位差をセンスアン
プで増幅する。内部Yアドレス信号(カラムアドレス信
号)YAはプリデコーダPYDを通して前記Yデコーダ
YDe,YDoに与えられ、Yゲートを介して、センス
アンプの増幅出力を選択する。このようにして読み出さ
れたデータはメインアンプで増幅され、データラッチに
与えられる。
【0066】SDRAMは外部クロック信号EX−CL
Kに同期動作される。CLKBは外部クロック信号EX
−CLKを受けるクロックバッファである。コマンドデ
コーダCDは、クロックイネーブル信号CKE、チップ
セレクト信号CSb(サフィックスbはそれが付された
信号がローイネーブルの信号又はレベル反転信号である
ことを意味する)、カラムアドレスストローブ信号CA
Sb、ロウアドレスストローブ信号RASb、及びライ
トイネーブル信号WEを入力し、それら信号のレベルや
変化のタイミングなどに基づいてSDRAMの動作モー
ド及び上記回路の動作を制御するための内部タイミング
信号を形成する。クロックバッファCLKB及びコマン
ドデコーダCDは、クロックイネーブル信号CKEがア
サートされた状態でクロック信号EX−CLKを有効と
みなす。クロック信号EX−CLKはSDRAMのマス
タクロックとされ、その他の外部入力信号は当該クロッ
ク信号CLKの立ち上がりエッジに同期して有意とされ
る。
【0067】チップセレクト信号CSbはそのローレベ
ルによってコマンド入力サイクルの開始を指示する。チ
ップセレクト信号がハイレベルのとき(チップ非選択状
態)その他の入力は意味を持たない。但し、後述するメ
モリバンクの選択状態やバースト動作などの内部動作は
チップ非選択状態への変化によって影響されない。
【0068】RASb,CASb,WEbの各信号は通
常のDRAMにおける対応信号とは機能が相違され、コ
マンドサイクルを定義するときに有意の信号とされる。
【0069】次にコマンドによって指示されるSDRA
Mの動作モードには、ロウアドレスストローブ・バンク
アクティブコマンド、カラムアドレス・リードコマンド
等がある。
【0070】前記ロウアドレスストローブ・バンクアク
ティブコマンドは、ロウアドレスストローブの指示とメ
モリバンクの選択を有効にするコマンドであり、CS
b,RASb=ローレベル、CASb,WEb=ハイレ
ベルによって指示され、このときロウアドレス信号とメ
モリバンク選択信号が取り込まれる。取り込動作は上述
のようにクロック信号の立ち上がりエッジに同期して行
われる。例えば、当該コマンドが指定されると、それに
よって指定されるメモリバンクにおけるワード線が選択
され、当該ワード線に接続されたメモリセルが夫々対応
する相補データ線に導通される。
【0071】前記カラムアドレス・リードコマンドは、
バーストリード動作を開始するために必要なコマンドで
あると共に、カラムアドレスストローブの指示を与える
コマンドであり、CSb,CASb,=ロウレベル、R
ASb,WEb=ハイレベルによって指示され、このと
きカラムアドレス信号が取り込まれる。これによって取
り込まれたカラムアドレス信号はバーストスタートアド
レスとして図示を省略するカラムアドレスカウンタに供
給される。これによって指示されたバーストリード動作
においては、その前にロウアドレスストローブ・バンク
アクティブコマンドサイクルでメモリバンクとそれにお
けるワード線の選択が行われており、当該選択ワード線
のメモリセルは、クロック信号に同期してカラムアドレ
スカウンタから出力されるアドレス信号に従って順次選
択されて連続的に読出される。連続的に読出されるデー
タ数は上記バーストレングスによって指定された個数と
される。また、出力バッファ4,5からのデータ読出し
開始と、データストローブの出力は、CASレイテンシ
ーで規定されるクロック信号CLKのサイクル数を待っ
て行われることになる。その制御は出力制御回路8を介
して行われる。
【0072】バッファ回路4,5に設けられたセレクタ
QSS,DSはデータ出力動作の最初にデータDQn及
びデータストローブ信号DQSを共にローレベルとする
DDR形式のSDRAMにおけるプリアンブル出力の仕
様を満足する為のものである。図4で説明したように、
信号PREAとプリアンブルパス(Preamble path)に
よってTAPnをカラムアドレス・リードコマンドによ
る動作の指示から2サイクル目で出力可能にするのはそ
のためである。
【0073】図13において出力制御回路8が出力する
制御信号CNT1,CNT2はバッファ回路4,5を出
力動作可能にする為の制御信号である。例えば、制御信
号CNT1,CNT2がハイレベルにされることによっ
てバッファ4,5は出力動作可能にされ、ローレベルの
ときは高出力インピーダンス状態にされる。制御信号C
NT3はプリアンブル出力の為のスイッチ制御信号であ
る。
【0074】図14には図13に示されるSDRAMの
データ読み出し動作の一例が示される。クロックイネー
ブル信号CKEがハイレベルに反転されてパワーダウン
モードが解除され、ロウアドレスストローブ・バンクア
クティブコマンド(ACTV)が発行される。これによ
ってロウ系のワード線選択動作が開始される。これと共
に、次のサイクルでコマンドデコーダCDよりイネーブ
ル信号がクロック再生回路9に与えられ、クロック再生
回路9によるクロック再生動作が開始される。次いで、
カラムアドレス・リードコマンド(READ)が発行さ
れることにより、カラム選択動作が開始される。クロッ
ク再生回路9は、前述のように、動作開始から3サイク
ルで位相同期が完了された信号SDCLKを生成するこ
とができる。即ち、サイクルC1で前記粗調測定、サイ
クルC2で前記微調測定、サイクルC3で前記粗調・微
調再生を行なうことができる。位相引き込みの為のロッ
ク期間は3サイクルで済む。サイクルC4以降、クロッ
ク信号EX−CLKに同期してデータDQnとデータス
トローブ信号DQSを順次出力することができる。
【0075】《微調回路の別の例》図15には微調回路
を構成する可変遅延回路及び固定遅延回路の別の例が示
される。図5乃至図7の説明では固定遅延回路200−
0〜200−5及び可変遅延回路200−6は、相互に
同じトランジスタ配列の回路とし、サイズの異なるトラ
ンジスタを遅延量に応じて単数又は複数個選択するよう
にした。図15の例は、固定遅延回路及び可変遅延回路
に用いるpチャンネル型トランジスタWp0〜Wp6、
nチャンネル型トランジスタWn0〜Wn6毎に、サイ
ズを1種類とする。固定遅延回路については、図15の
(A)、(B)に例示されるように、オン状態にすべき
トランジスタを必要な数だけ配置して遅延時間を決定す
る。固定遅延回路にはオフ状態のトランジスタは存在し
ない。可変遅延回路は、図15の(C)に示されるよう
に、当該同一サイズのトランジスタの選択個数を制御信
号N1〜N5、/N1〜/N5で決めて遅延時間を制御
する。
【0076】また、特に図示はしないが、固定遅延回路
及び可変遅延回路に用いる夫々のトランジスタのサイズ
を図6で説明したように相異させる。そして、固定遅延
回路及び可変遅延回路の何れにおいても、選択するトラ
ンジスタは1個だけとする。さらにこのとき、固定遅延
回路については、図15で説明したように、オン状態に
すべきトランジスタだけ配置し、固定遅延回路にはオフ
状態のトランジスタを存在させないようにしてもよい。
【0077】また、トランジスタサイズに2のべき乗の
重みを付け、選択するトランジスタの種類に応じて遅延
時間を決定するように構成してもよい。
【0078】また、固定遅延回路及び可変遅延回路は遅
延時間の制御に容量素子を用いて構成してもよい。例え
ば、図16に例示されるように、前記固定遅延回路及び
可変遅延回路の夫々に、信号伝達経路にスイッチトラン
ジスタSM0〜SMsを介して容量素子C0〜Csを設
ける。固定遅延回路に対してはスイッチトランジスタS
M0〜SMsの選択端子N0〜Nsは、必要な遅延時間
に応じて電源電圧又は接地電圧に固定する。可変遅延回
路の複数個のスイッチトランジスタSM0〜SMsは前
記複数ビットの検出信号202(M0〜Ms)によって
スイッチ制御すればよい。容量素子C0〜Csの容量値
は夫々同一値であっても、或いは所定の重みを持って変
化されていてもよい。容量値が同一の場合には、図17
の(B)に例示されるように、複数個の固定遅延回路F
TD0〜FTDsに対して夫々異なる遅延時間を得るた
めに、オン状態にするスイッチトランジスタSM0〜S
Msの数を固定遅延回路毎に変えればよい。個々の容量
値が相異する場合には、図17の(A)に例示されるよ
うに、オン状態にするスイッチトランジスタを1個と
し、固定遅延回路FTD0〜FTDs毎にオン状態にす
るスイッチトランジスタを変えればよい。
【0079】容量を用いる場合は抵抗の場合とは逆に、
遅延を得る為にスイッチトランジスタをオン状態にしな
ければならない。換言すれば、遅延時間が最も少ない設
定状態ではスイッチトランジスタを全てオフにする状態
を選択することができる。したがって、固定遅延回路が
n個ある場合、可変遅延回路はn−1ビットの位相比較
信号で制御することができる。その場合の位相比較回路
として図18のMCCを採用することができる。このM
MCは、先ず、それぞれ異なる遅延時間を発生する前記
固定遅延回路FTD0〜FTDsの出力と前記参照クロ
ック信号PCLKとの位相差を、位相比較回路PC0〜
PCsで比較する。次に、PC(t−1)とPCtの出
力から論理演算回路LCt(t=1〜s)を経由して、
可変遅延回路におけるスイッチトランジスタの前記選択
信号M1〜Msを発生し、オン状態にするスイッチトラ
ンジスタの数を制御する。また、別の例として、LC1
〜LCsが相補の選択信号M1〜Ms、/M1〜/Ms
(記号/は論理反転を意味する)を発生するMCCを用
いれば、電流源トランジスタを用いた可変遅延回路にお
いて、オン状態にするトランジスタの数を制御すること
もできる。前記回路MMCにおいて位相比較回路PCを
図4のようにナンドゲートNAND3,NAND4によ
り構成し、論理演算回路LCを図4のようにノアゲート
NOR1,NOR2及びクロックドインバータCIV
1,CIV2により構成すれば、前記固定遅延回路FT
D0〜FTDsの出力に応じてスイッチトランジスタの
選択信号M1〜Msの内の一つを選択レベルトするデコ
ード論理を回路MMCによて実現できる。MMCの具体
的な回路構成はデコード論理に限定されず、図8と同様
の論理構成を利用することも可能である。
【0080】以上説明したクロック再生回路9を適用し
た半導体装置1若しくはSDRAMによれば以下の作用
効果を得ることができる。
【0081】〔1〕微調回路94によれば、複数個の固
定遅延回路200−0〜200−5に対して1個の可変
遅延回路200−6を用いるだけで、固定遅延回路の数
に応ずる階調数若しくは分解能で位相制御を行なうこと
ができる。これにより、遅延時間の微調整にSMDや格
子状遅延回路(SQUAD)を用いた場合に比べて回路
構成を簡素化することができる。PLLやDLLを用い
た構成に比べて位相同期までのロック動作時間を短縮で
きる。位相制御の精度も向上させることができる。
【0082】〔2〕前記固定遅延回路及び可変遅延回路
は、インバータIV0,IV1の動作電流の制御によっ
て遅延時間を決めるから、インバータの直列段数によて
遅延時間を制御する場合に比べて、制御可能な遅延時間
幅の最小値を更に小さくすることが可能になる。この点
においても、位相制御の精度を向上させることができ
る。
【0083】〔3〕遅延時間の制御に容量素子C0〜C
sを用いる場合には、動作電流制御に比べて、検出回路
201による検出信号のビット数を減らすことができ
る。
【0084】〔4〕検出回路201にラッチ回路(CI
V11,CIV12,NAND13)を設けることによ
り、検出回路による位相差の検出動作を間欠的に行うこ
とが可能になり、低消費電力に寄与できる。
【0085】〔5〕クロック再生回路を粗調回路93と
微調回路94の2段階構成にすることにより、位相調整
幅を広げることができる。また、粗調整と微調整の2段
階で位相制御を行うから、微調整を行う固定遅延回路2
00−0〜200−5及び可変遅延回路200−6から
成る微調整回路94による調整の階調数を少なくして
も、比較的広い位相調整範囲を確保でき、しかも上述の
如く、小さな回路規模でそれを実現することができる。
【0086】〔6〕粗調回路93にSMD構成を採用す
ることにより、位相引き込み時間を短縮することができ
る。
【0087】〔7〕前記可変遅延回路200−6により
与えることができる遅延時間の最大調整幅よりも小さい
遅延時間を有する回路によって、前記微小遅延回路のよ
うな第2の既定遅延回路92を構成すれば、可変遅延回
路200−6による調整幅が大きくなり、外部クロック
信号の動作帯域を高周波側に拡大することが容易にな
る。
【0088】〔8〕前記位相差検出回路100によって
検出された位相差をラッチして前記第2の位相差再現回
路102に与える第1のラッチ回路103と、前記第1
のラッチ回路103のラッチ動作に同期して前記検出回
路201による検出信号をラッチして前記可変遅延回路
200−6に与える第2のラッチ回路(CIV11,C
IV12,NAND13)とを採用すれば、位相差の検
出動作を間欠的に行って更に低消費電力の実現に寄与す
ることができる。
【0089】
〔9〕前記出力回路10が外部ロック信号
EX−CLKと同位相でデータストローブ信号DQSを
出力可能であるから、そのようなストローブ信号DQS
を半導体装置1をアクセスする回路に与えることによっ
てシステム設計等が更に容易になる。
【0090】〔10〕クロック再生装置9を適用したS
DRAMによれば、PLLやDLLをを用いた構成に比
べて内部クロックを外部クロックに同期させるまでのロ
ック動作時間を短縮でき、SMDや格子状遅延回路(S
QUAD)を用いた構成に比べてクロック再生のための
回路構成も簡素化でき、また、電力消費を低減でき、更
に、動作周波数の向上によるクロックサイクル時間の短
縮幅も広げることが可能になる。
【0091】以上本発明者によってなされた発明を実施
形態に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限
定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲にお
いて種々変更可能であることは言うまでもない。
【0092】例えば、単位遅延回路は図3及び図4で説
明したナンドゲート構成に限定されず、インバータやノ
アゲート等その他の論理ゲートを用いて構成してもよ
い。また、位相比較の回路構成も図8などで説明したナ
ンドゲートのスタティックラッチ・接続形態の回路によ
って実現する場合に限定されず適宜変更可能である。ま
た、固定遅延回路や可変遅延回路のスイッチトランジス
タの並列段数は図5などに例に限定されず、適宜増減す
ることができる。また、本発明はDDR形態のSDRA
Mに適用する場合に限定されず、シングルデータレート
のSDRAM、クロック同期型のSRAM、そのような
メモリをオンチップしたマイクロコンピュータやシステ
ムLSI等の半導体装置に広く適用することができる。
【0093】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記
の通りである。
【0094】すなわち、遅延時間の微調整にSMDや格
子状遅延回路(SQUAD)を用いた構成に比べて回路
構成が簡単な位相制御回路、そしてクロック再生回路を
実現することができる。
【0095】遅延時間の微調整にSMDや格子状遅延回
路(SQUAD)を用いた構成に比べて少ない遅延段数
で、高分解能の微小遅延を発生できる位相制御回路、そ
してクロック再生回路を実現することができる。
【0096】PLLやDLLに比べて位相同期までのロ
ック動作時間を短縮できる位相制御回路、そしてクロッ
ク再生回路を実現することができる。
【0097】クロック信号に同期動作される半導体装置
の電力消費を低減することができる。
【0098】外部クロック信号に同期してデータの入出
力を行う半導体装置において動作周波数の向上によるク
ロックサイクル時間の短縮幅を広げることが可能な半導
体装置、更には半導体メモリを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る位相制御回路の一例であるクロッ
ク再生回路を示すブロック図である。
【図2】図1のクロック再生回路を適用した半導体装置
の一例を示すブロック図である。
【図3】位相差検出回路に含まれる単位遅延回路と第1
の位相差再現回路に含まれる単位遅延回路を夫々示す論
理回路図である。
【図4】位相差検出回路に含まれる位相比較回路とラッ
チ130の一例を示す論理回路図である。
【図5】前記微調回路の詳細な一例を示す回路図であ
る。
【図6】固定遅延回路及び可変遅延回路を構成する各電
流源トランジスタのサイズの関係を示す説明図である。
【図7】複数個の固定遅延回路における電流源トランジ
スタのスイッチ状態の態様を例示する説明図である。
【図8】微調回路に含まれる検出回路の位相比較回路を
詳細に示す論理回路図である。
【図9】図8の位相比較回路の動作態様説明図である。
【図10】微調回路による位相制御動作の動作タイミン
グの一例を示すタイミングチャートである。
【図11】クロック再生回路による位相同期動作を粗調
遅延時間及び微調遅延時間の配分の観点から示した動作
説明図である。
【図12】クロック再生回路の位相同期動作タイミング
の一例を示すタイミングチャートである。
【図13】クロック再生回路を適用した半導体装置の具
体的な一例であるDDR形式のSDRAMの一部を示す
ブロック図である。
【図14】図13に示されるSDRAMのデータ読み出
し動作の一例を示すタイミングチャートである。
【図15】微調回路を構成する可変遅延回路及び固定遅
延回路の別の例を示す説明図である。
【図16】固定遅延回路及び可変遅延回路の遅延時間の
制御に容量素子を用いる例を示す回路図である。
【図17】図16の構成を採用した複数個の固定遅延回
路に対して夫々異なる遅延時間を得るためのスイッチト
ランジスタの状態を示す説明図である。
【図18】可変遅延回路の遅延時間を制御する複数個の
トランジスタのうちオン状態にするトランジスタの数を
制御するための位相比較・論理演算用の回路の別の例を
示すブロック図である。
【符号の説明】
1 半導体装置 2 クロック入力回路 EX−CLK 外部クロック信号 3 内部回路 4,5 出力バッファ 8 出力制御回路 9 クロック再生回路 10 出力回路 90 クロックバッファ 91 第1の既定遅延回路 92 第2の既定遅延回路 93 粗調回路 94 微調回路 DCLK 内部クロック信号 PCLK 参照クロック信号 100 位相差検出回路 101 第1の位相差再現回路 102 第2の位相差再現回路 103 ラッチ回路 110 単位遅延回路 111 位相比較回路 120 単位遅延回路 130 ラッチ 140 単位遅延回路 BDA1 第1のクロック信号 200−0〜200−5 固定遅延回路 200−6 可変遅延回路 201 検出回路 201−1〜201−5 位相比較回路 202 検出信号 Wp0〜Wp6 pチャンネル型電流源トランジスタ Wn0〜Wn6 nチャンネル型電流源トランジスタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 永島 靖 東京都青梅市新町六丁目16番地の3 株式 会社日立製作所デバイス開発センタ内 Fターム(参考) 5B024 AA03 BA21 CA13 5B079 BC01 CC02 CC08 CC14 DD06 DD13 DD17 DD20

Claims (25)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1のクロック信号を夫々入力し、入力
    した第1のクロック信号に夫々異なる所定の遅延時間を
    与える複数個の固定遅延回路と、 前記複数個の固定遅延回路から出力されるクロック信号
    と前記第1のクロック信号に対して位相が相異された第
    2のクロック信号とを入力し、前記第2のクロック信号
    に対する第1のクロック信号の位相差に応ずる複数ビッ
    トの検出信号を生成する検出回路と、 前記検出回路から前記複数ビットの検出信号を並列に入
    力し、第3のクロック信号に、前記入力された検出信号
    に応ずる前記位相差の遅延を与える可変遅延回路と、を
    含んで成るものであることを特徴とする位相制御回路。
  2. 【請求項2】 前記固定遅延回路及び可変遅延回路の夫
    々は、電流源トランジスタのスイッチ状態に応じて動作
    電流が決定される電流制御型インバータから成り、 前記可変遅延回路は前記電流源トランジスタを複数個並
    列に有し、前記複数個の電流源トランジスタは前記複数
    ビットの検出信号によってスイッチ制御されるものであ
    ることを特徴とする請求項1記載の位相制御回路。
  3. 【請求項3】 前記固定遅延回路及び可変遅延回路の夫
    々は、信号伝達経路にスイッチトランジスタを介して容
    量素子を有して成り、 前記可変遅延回路は前記容量素子及びスイッチトランジ
    スタを複数個並列に有し、前記複数個のスイッチトラン
    ジスタは前記複数ビットの検出信号によってスイッチ制
    御されるものであることを特徴とする請求項1記載の位
    相制御回路。
  4. 【請求項4】 前記第2のクロック信号の1周期以上の
    期間毎に前記検出信号をラッチして前記可変遅延回路に
    与えるラッチ回路を有して成るものであることを特徴と
    する請求項2又は3記載の位相制御回路。
  5. 【請求項5】 前記第1のクロック信号は前記第2のク
    ロック信号に第1の遅延時間と第2の遅延時間が与えら
    れたクロック信号であり、 前記第3のクロック信号は前記第2のクロック信号に前
    記第2の遅延時間が与えられたクロック信号であること
    を特徴とする請求項4記載の位相制御回路。
  6. 【請求項6】 外部クロック信号が入力されるクロック
    端子と、クロック端子に接続されたクロック入力回路
    と、クロック入力回路に接続された請求項1乃至5の何
    れか1項記載の位相制御回路と、前記位相制御回路に接
    続されたデータ出力回路と、前記データ出力回路に接続
    され外部にデータを出力するデータ端子と、を半導体チ
    ップに含み、 前記第3のクロック信号は前記外部クロック信号に対し
    て所定時間遅延されたクロック信号であり、 前記データ出力回路は、前記位相制御回路の前記可変遅
    延回路から出力される信号に同期し前記外部ロック信号
    と同位相で前記データを出力する回路であることを特徴
    とする半導体装置。
  7. 【請求項7】 前記データ出力回路は、前記位相制御回
    路の前記可変遅延回路から出力される信号に同期し前記
    外部ロック信号と同位相でデータストローブ信号を出力
    可能な回路であることを特徴とする請求項6記載の半導
    体装置。
  8. 【請求項8】 外部クロック信号を入力して内部クロッ
    ク信号を生成するクロック入力回路と、前記内部クロッ
    ク信号に同期して動作を行う内部回路と、前記内部回路
    の動作結果を外部に出力する出力回路と、前記出力回路
    による出力動作の位相を前記外部クロック信号の位相に
    合わせるためのクロック再生回路とを含む半導体装置で
    あって、 前記クロック再生回路は、前記内部クロック信号に同期
    する参照クロック信号に夫々所定の遅延時間を与え直列
    形態で接続された第1及び第2の既定遅延回路と、 前記第2の既定遅延回路の出力と前記参照クロック信号
    との位相差を検出する位相差検出回路と、 前記位相差検出回路によって検出された位相差を前記第
    1の既定遅延回路の出力クロック信号に与える第1の位
    相差再現回路と、 前記第1の位相差再現回路から出力される第1のクロッ
    ク信号を夫々入力し、入力した第1のクロック信号に夫
    々異なる所定の遅延時間を与える複数個の固定遅延回路
    と、 前記複数個の固定遅延回路から出力されるクロック信号
    と前記参照クロック信号とを入力し、前記参照信号に対
    する第1のクロック信号の位相差に応ずる複数ビットの
    検出信号を生成する検出回路と、 前記位相差検出回路によって検出された位相差を前記参
    照クロック信号に与える第2の位相差再現回路と、 前記検出回路から前記複数ビットの検出信号を並列に入
    力し、前記第2の位相差再現回路の出力クロック信号
    に、前記入力された検出信号に応ずる前記位相差の遅延
    を与える可変遅延回路と、を含み、 前記出力回路は可変遅延回路の出力クロック信号に同期
    して出力動作の位相を前記外部クロック信号の位相に合
    わせるものであることを特徴とする半導体装置。
  9. 【請求項9】 前記第1の既定遅延回路は、前記クロッ
    ク入力回路において外部クロック信号から前記内部クロ
    ック信号が生成され且つ当該内部クロック信号から前記
    参照信号が生成されるまでの動作遅延時間と、前記可変
    遅延回路の出力クロック信号を入力して前記出力回路に
    出力動作させるときの動作遅延時間との合計遅延時間に
    相当する信号伝播遅延時間を有するものであることを特
    徴とする請求項8記載の半導体装置。
  10. 【請求項10】 前記第2の既定遅延回路は、前記可変
    遅延回路により与えることができる遅延時間の最大調整
    幅よりも小さい遅延時間を有するものであることを特徴
    とする請求項9記載の半導体装置。
  11. 【請求項11】 前記位相差検出回路は、前記第2の既
    定遅延回路の出力を順次伝播させる単位遅延回路を直列
    形態で複数個有し前記参照クロック信号の信号状態に最
    も近似する前記単位遅延回路の出力の位置を選択する進
    行方向遅延回路であり、 前記第1の位相差再現回路は、前記進行方向遅延回路と
    同じ若しくは実質的に同じ遅延特性を持つ直列形態の単
    位遅延回路を逆向きに複数個有し前記進行方向遅延回路
    で選択された出力位置に応ずる単位遅延回路段数と同じ
    段数を後段に持つ単位遅延回路の入力位置を選択し、選
    択した入力位置に前記第1の既定遅延回路の出力を与え
    る第1の逆方向遅延回路であり、 前記第2の位相差再現回路は、前記進行方向遅延回路と
    同じ若しくは実質的に同じ遅延特性を持つ直列形態の単
    位遅延回路を逆向きに複数個有し前記進行方向遅延回路
    で選択された出力位置に応ずる単位遅延回路段数と同じ
    段数を後段に持つ単位遅延回路の入力位置を選択し、選
    択した入力位置に前記参照クロック信号を与える第2の
    逆方向遅延回路であることを特徴とする請求項10記載
    の半導体装置。
  12. 【請求項12】 前記固定遅延回路及び可変遅延回路の
    夫々は、電流源トランジスタのスイッチ状態に応じて動
    作電流が決定される電流制御型インバータから成り、 前記可変遅延回路は前記電流源トランジスタを複数個並
    列に有し、前記複数個の電流源トランジスタは前記複数
    ビットの検出信号によってスイッチ制御されるものであ
    ることを特徴とする請求項11記載の半導体装置。
  13. 【請求項13】 前記固定遅延回路及び可変遅延回路の
    夫々は、信号伝達経路にスイッチトランジスタを介して
    容量素子を有して成り、 前記可変遅延回路は前記容量素子及びスイッチトランジ
    スタを複数個並列に有し、前記複数個のスイッチトラン
    ジスタは前記複数ビットの検出信号によってスイッチ制
    御されるものであることを特徴とする請求項11記載の
    半導体装置。
  14. 【請求項14】 前記位相差検出回路によって検出され
    た位相差を前記第2のクロック信号の1周期以上の期間
    毎にラッチして前記第2の位相差再現回路に与える第1
    のラッチ回路と、前記第1のラッチ回路のラッチ動作に
    同期して前記検出回路による検出信号をラッチして前記
    可変遅延回路に与える第2のラッチ回路と、を有して成
    るものであることを特徴とする請求項8記載の半導体装
    置。
  15. 【請求項15】 前記出力回路は、前記クロック再生回
    路の前記可変遅延回路から出力される信号に同期し前記
    外部ロック信号と同位相でデータストローブ信号を出力
    可能な回路であることを特徴とする請求項8記載の半導
    体装置。
  16. 【請求項16】 外部クロック信号を入力して内部クロ
    ック信号を生成するクロック入力回路と、前記内部クロ
    ック信号に同期してメモリ動作を行う内部回路と、前記
    内部回路のメモリ動作によってメモリセルから得られた
    データを外部に出力する出力回路と、前記出力回路によ
    る出力動作の位相を前記外部クロック信号の位相に合わ
    せるためのクロック再生回路とを含む半導体メモリであ
    って、 前記クロック再生回路は、前記内部クロック信号に同期
    する参照クロック信号に夫々所定の遅延時間を与え直列
    形態で接続された第1及び第2の既定遅延回路と、 前記第2の既定遅延回路の出力を順次伝播させる単位遅
    延回路を直列形態で複数個有し前記参照クロック信号の
    信号状態に最も近似する前記単位遅延回路の出力の位置
    を選択する進行方向遅延回路と、 前記進行方向遅延回路と同じ若しくは実質的に同じ遅延
    特性を持つ直列形態の単位遅延回路を逆向きに複数個有
    し前記進行方向遅延回路で選択された出力位置に応ずる
    単位遅延回路段数と同じ段数を後段に持つ単位遅延回路
    の入力位置を選択し、選択した入力位置に前記第1の既
    定遅延回路の出力を与える第1の逆方向遅延回路と、 前記逆方向遅延回路から出力される第1のクロック信号
    を夫々入力し、入力した第1のクロック信号に夫々異な
    る一定の遅延時間を与える複数個の固定遅延回路と、 前記複数個の固定遅延回路から出力されるクロック信号
    と前記参照クロック信号とを入力し、前記参照信号に対
    する第1のクロック信号の位相差に応ずる複数ビットの
    検出信号を生成する検出回路と、 前記進行方向遅延回路と同じ若しくは実質的に同じ遅延
    特性を持つ直列形態の単位遅延回路を逆向きに複数個有
    し前記進行方向遅延回路で選択された出力位置に応ずる
    単位遅延回路段数と同じ段数を後段に持つ単位遅延回路
    の入力位置を選択し、選択した入力位置に前記参照クロ
    ック信号を与える第2の逆方向遅延回路と、 前記検出回路から前記複数ビットの検出信号を並列に入
    力し、前記第2の逆方向遅延回路の出力クロック信号
    に、前記入力された検出信号に応ずる前記位相差の遅延
    を与える可変遅延回路と、を含み、 前記出力回路は可変遅延回路の出力クロック信号に同期
    してその出力動作の位相を前記外部クロック信号の位相
    に合わせるものであることを特徴とする半導体メモリ。
  17. 【請求項17】 前記第1の既定遅延回路は、前記クロ
    ック入力回路において外部クロック信号から前記内部ク
    ロック信号が生成され且つ当該内部クロック信号から前
    記参照信号が生成されるまでの動作遅延時間と、前記可
    変遅延回路の出力クロック信号を入力して前記出力回路
    に出力動作させるときの動作遅延時間との合計遅延時間
    に相当する信号伝播遅延時間を有するものであることを
    特徴とする請求項16記載の半導体メモリ。
  18. 【請求項18】 前記第2の既定遅延回路は、前記可変
    遅延回路により与えることができる遅延時間の最大調整
    幅よりも小さい遅延時間を有するものであることを特徴
    とする請求項16記載の半導体メモリ。
  19. 【請求項19】 前記固定遅延回路及び可変遅延回路の
    夫々は、電流源トランジスタのスイッチ状態に応じて動
    作電流が決定される電流制御型インバータから成り、 前記可変遅延回路は前記電流源トランジスタを複数個並
    列に有し、前記複数個の電流源トランジスタは前記複数
    ビットの検出信号によってスイッチ制御されるものであ
    ることを特徴とする請求項16記載の半導メモリ。
  20. 【請求項20】 前記固定遅延回路及び可変遅延回路の
    夫々は、信号伝達経路にスイッチトランジスタを介して
    容量素子を有して成り、 前記可変遅延回路は前記容量素子及びスイッチトランジ
    スタを複数個並列に有し、前記複数個のスイッチトラン
    ジスタは前記複数ビットの検出信号によってスイッチ制
    御されるものであることを特徴とする請求項16記載の
    半導体メモリ。
  21. 【請求項21】 前記進行方向遅延回路で選択された出
    力位置の情報を前記第2のクロック信号の1周期以上の
    期間毎にラッチして前記第2の逆方向遅延回路における
    前記入力位置の情報として与える第1のラッチ回路と、
    前記第1のラッチ回路のラッチ動作に同期して前記検出
    回路による検出信号をラッチして前記可変遅延回路に与
    える第2のラッチ回路と、を有して成るものであること
    を特徴とする請求項16記載の半導体メモリ。
  22. 【請求項22】 前記出力回路は、前記クロック再生回
    路の前記可変遅延回路から出力される信号に同期し前記
    外部ロック信号と同位相でデータストローブ信号を出力
    可能な回路であることを特徴とする請求項16記載の半
    導体メモリ。
  23. 【請求項23】 変化タイミングが夫々異なる複数の信
    号と基準クロック信号の所定サイクルにおける信号とを
    比較して検出信号を出力する制御回路と、前記検出信号
    に基づいて前記基準クロック信号に対応した信号を出力
    する出力回路とを備えた信号発生回路であって、 前記信号発生回路は、夫々遅延時間調整部を備えた複数
    の遅延回路を備え、 前記複数の遅延回路の1個は前記出力回路内に設けられ
    た第1遅延回路であり、 前記複数の第1遅延回路を除く他の前記複数の遅延回路
    は前記制御回路内に設けられた複数の第2遅延回路であ
    り、 前記複数の第2遅延回路は共通の入力信号を受けて変化
    タイミングが夫々異なる前記複数の信号を出力し、 前記第1遅延回路の遅延調整部は前記検出信号に基づい
    て可変制御されるものであることを特徴とする信号発生
    回路。
  24. 【請求項24】 前記信号発生回路は半導体装置に含ま
    れ、 前記半導体装置は、半導体装置外部から外部クロック信
    号が入力されるクロック端子と前記半導体装置の外部に
    データを出力するデータ端子と前記データ端子に接続さ
    れたデータ出力回路とを含み、 前記基準クロック信号は前記外部クロック信号に対応し
    た信号であり、 前記データ出力回路は、前記信号発生回路の前記出力回
    路から出力される前記信号に応答し、前記外部クロック
    信号と同期したタイミングで前記データを出力するもの
    であることを特徴とする請求項23記載の信号発生装
    置。
  25. 【請求項25】 前記複数の遅延回路の各々は主遅延部
    を更に有し、前記主遅延部と前記遅延調整部とにより各
    遅延回路の遅延時間が夫々設定されるものであることを
    特徴とする請求項23記載の信号発生回路。
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