JP2000309760A - 両面粘着テープ - Google Patents
両面粘着テープInfo
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- JP2000309760A JP2000309760A JP11819599A JP11819599A JP2000309760A JP 2000309760 A JP2000309760 A JP 2000309760A JP 11819599 A JP11819599 A JP 11819599A JP 11819599 A JP11819599 A JP 11819599A JP 2000309760 A JP2000309760 A JP 2000309760A
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- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被研磨材を研磨するための研磨材をポリッシ
ングマシーンの定盤に固定するために使用され、使用後
には定盤に糊残りせずに剥離することのできる両面粘着
テープを提供する。 【解決手段】 本発明の両面粘着テープは、研磨材をポ
リッシングマシーンの定盤に固定するための両面粘着テ
ープであって、定盤に貼り付けられる側の粘着面が、ゲ
ル分率が７０〜９０％であるアクリル系粘着剤であるこ
とを特徴とするものである。
ングマシーンの定盤に固定するために使用され、使用後
には定盤に糊残りせずに剥離することのできる両面粘着
テープを提供する。 【解決手段】 本発明の両面粘着テープは、研磨材をポ
リッシングマシーンの定盤に固定するための両面粘着テ
ープであって、定盤に貼り付けられる側の粘着面が、ゲ
ル分率が７０〜９０％であるアクリル系粘着剤であるこ
とを特徴とするものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レンズ、ガラス、
アルミディスク、ウエハー等の被研磨材を研磨するため
の研磨材をポリッシングマシーンの定盤に固定するため
の両面粘着テープに関する。
アルミディスク、ウエハー等の被研磨材を研磨するため
の研磨材をポリッシングマシーンの定盤に固定するため
の両面粘着テープに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、レンズ、ガラス、アルミディス
ク、ウエハー等を研磨するための研磨材をポリッシング
マシーンの定盤に固定するために両面粘着テープが使用
されてきた。このような両面粘着テープとしては、定盤
に確実に接着できる、研磨時に研磨材が剥がれない、研
磨材を定盤から剥がす際に粘着テープを定盤から容易に
剥がすことができ、定盤に糊残りしないという性能が要
求される。通常の粘着テープの粘着剤としては、初期接
着性と保持性とのバランスをとるためにゲル分率が２０
〜６０％のものが用いられている。
ク、ウエハー等を研磨するための研磨材をポリッシング
マシーンの定盤に固定するために両面粘着テープが使用
されてきた。このような両面粘着テープとしては、定盤
に確実に接着できる、研磨時に研磨材が剥がれない、研
磨材を定盤から剥がす際に粘着テープを定盤から容易に
剥がすことができ、定盤に糊残りしないという性能が要
求される。通常の粘着テープの粘着剤としては、初期接
着性と保持性とのバランスをとるためにゲル分率が２０
〜６０％のものが用いられている。
【０００３】一方、一部の研磨材が巨大化する傾向にあ
り（例えば、直径１．５ｍ以上の円形）、研磨終了後に
研磨材を定盤から剥がす作業が非常に困難となってき
た。上記の問題に鑑み、使用後の剥離性を改良するため
に種々の提案がなされている。
り（例えば、直径１．５ｍ以上の円形）、研磨終了後に
研磨材を定盤から剥がす作業が非常に困難となってき
た。上記の問題に鑑み、使用後の剥離性を改良するため
に種々の提案がなされている。
【０００４】例えば、特開昭６１−２３６７３号公報に
は、ポリエーテルを含む粘着剤を使用した両面粘着テー
プで研磨材を定盤に固定することが記載されているが、
使用後に定盤から剥離する際には５０〜１５０℃に加熱
する必要があり、大型の定盤に貼付した研磨材を能率的
に剥離するための方法としては適当ではない。
は、ポリエーテルを含む粘着剤を使用した両面粘着テー
プで研磨材を定盤に固定することが記載されているが、
使用後に定盤から剥離する際には５０〜１５０℃に加熱
する必要があり、大型の定盤に貼付した研磨材を能率的
に剥離するための方法としては適当ではない。
【０００５】特開平６−１７２７２１号公報には、研磨
材を定盤に固定するために再剥離性粘着剤を用いた両面
粘着テープが記載されている。この粘着テープを使用す
れば定盤から容易に剥離することはできるが、大型の定
盤に研磨材を確実に固定し、且つ容易に剥離するための
手段は明確に開示されていない。
材を定盤に固定するために再剥離性粘着剤を用いた両面
粘着テープが記載されている。この粘着テープを使用す
れば定盤から容易に剥離することはできるが、大型の定
盤に研磨材を確実に固定し、且つ容易に剥離するための
手段は明確に開示されていない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、被研磨材を
研磨するための研磨材をポリッシングマシーンの定盤に
固定するために使用され、使用後には定盤に糊残りせず
に剥離することのできる両面粘着テープを提供すること
を目的とする。
研磨するための研磨材をポリッシングマシーンの定盤に
固定するために使用され、使用後には定盤に糊残りせず
に剥離することのできる両面粘着テープを提供すること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
研磨材をポリッシングマシーンの定盤に固定するための
両面粘着テープであって、定盤に貼り付けられる側の粘
着面が、ゲル分率が７０〜９０％であるアクリル系粘着
剤であることを特徴とする両面粘着テープである。
研磨材をポリッシングマシーンの定盤に固定するための
両面粘着テープであって、定盤に貼り付けられる側の粘
着面が、ゲル分率が７０〜９０％であるアクリル系粘着
剤であることを特徴とする両面粘着テープである。
【０００８】請求項２記載の発明は、研磨材をポリッシ
ングマシーンの定盤に固定するための両面粘着テープで
あって、定盤に貼り付けられる側の粘着面が、天然ゴム
１００重量部、官能基を有する液状ゴム成分３０〜７０
重量部、粘着付与樹脂９０〜１２０重量部、架橋剤５〜
４０重量部とからなるゴム系粘着剤であることを特徴と
する両面粘着テープである。
ングマシーンの定盤に固定するための両面粘着テープで
あって、定盤に貼り付けられる側の粘着面が、天然ゴム
１００重量部、官能基を有する液状ゴム成分３０〜７０
重量部、粘着付与樹脂９０〜１２０重量部、架橋剤５〜
４０重量部とからなるゴム系粘着剤であることを特徴と
する両面粘着テープである。
【０００９】先ず、請求項１記載の両面粘着テープの基
材は、それ自体が平滑であり、定盤から剥離する際に切
れないよう一定の強度が要求されるので合成樹脂フィル
ムが好ましい。使用される合成樹脂フィルムとして代表
的なものとして、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリ
プロピレン、ポリエステル等が挙げられる。これらのフ
ィルムは単層であっても、２種以上のフィルムや金属箔
などとのラミネートフィルムであってもよい。全体の厚
みは２０〜２００μｍ程度が好適である。
材は、それ自体が平滑であり、定盤から剥離する際に切
れないよう一定の強度が要求されるので合成樹脂フィル
ムが好ましい。使用される合成樹脂フィルムとして代表
的なものとして、ポリ塩化ビニル、ポリエチレン、ポリ
プロピレン、ポリエステル等が挙げられる。これらのフ
ィルムは単層であっても、２種以上のフィルムや金属箔
などとのラミネートフィルムであってもよい。全体の厚
みは２０〜２００μｍ程度が好適である。
【００１０】研磨材と貼り合わされる側の粘着剤層（以
下「第１粘着剤層」という）に使用される粘着剤は、研
磨終了後に磨耗した研磨材を交換する際に両面粘着テー
プとともに研磨材を定盤から剥離するので、再剥離性は
不要であり、研磨材と強固に接着できるものであれば特
に制限はない。例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着
剤、ウレタン系粘着剤、シリコーン系粘着剤等があり、
特にアクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤が好適である。
下「第１粘着剤層」という）に使用される粘着剤は、研
磨終了後に磨耗した研磨材を交換する際に両面粘着テー
プとともに研磨材を定盤から剥離するので、再剥離性は
不要であり、研磨材と強固に接着できるものであれば特
に制限はない。例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着
剤、ウレタン系粘着剤、シリコーン系粘着剤等があり、
特にアクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤が好適である。
【００１１】定盤と貼り合わされる側の粘着剤層（以下
「第２粘着剤層」という）に使用される粘着剤は、定盤
から剥離したとき定盤に糊残りしないように７０〜９０
％のゲル分率を有するアクリル系粘着剤である。定盤の
表面状態は研磨仕上げをよくするために鏡面状態に非常
に近くなされているので、上記のように高いゲル分率の
ために初期接着力がそれほど高くなくても充分に対応す
ることができる。
「第２粘着剤層」という）に使用される粘着剤は、定盤
から剥離したとき定盤に糊残りしないように７０〜９０
％のゲル分率を有するアクリル系粘着剤である。定盤の
表面状態は研磨仕上げをよくするために鏡面状態に非常
に近くなされているので、上記のように高いゲル分率の
ために初期接着力がそれほど高くなくても充分に対応す
ることができる。
【００１２】アクリル系粘着剤は下記一般式で表される
アクリル酸エステルの単独重合体、あるいは１種以上の
アクリル酸エステルとアクリル酸エステル以外の単量体
とからなる共重合体を主とする組成物である。
アクリル酸エステルの単独重合体、あるいは１種以上の
アクリル酸エステルとアクリル酸エステル以外の単量体
とからなる共重合体を主とする組成物である。
【００１３】
【化１】 （但し、Ｒ1 は炭素数２〜１４のアルキル基を表す）
【００１４】上記単量体としては酢酸ビニル、スチレ
ン、無水マレイン酸、（メタ）アクリル酸、アクリロア
ミド、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２
−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、アクリル
ニトリルなどが挙げられ、これらを常法によりアクリル
酸エステルと共重合して用いられる。
ン、無水マレイン酸、（メタ）アクリル酸、アクリロア
ミド、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２
−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、アクリル
ニトリルなどが挙げられ、これらを常法によりアクリル
酸エステルと共重合して用いられる。
【００１５】上記アクリル酸エステルの単独重合体もし
くは共重合体に架橋剤としてポリイソシアネート、メラ
ミン樹脂、エポキシ樹脂等が添加され、前記ゲル分率と
なるように架橋される。また、必要に応じて粘着付与樹
脂が添加されてもよい。粘着付与樹脂としてはフェノー
ル系樹脂、テルペン系樹脂、スチレン系樹脂、キシレン
系樹脂、ロジン系樹脂、塩化ビニル系樹脂、石油系樹脂
などが挙げられる。
くは共重合体に架橋剤としてポリイソシアネート、メラ
ミン樹脂、エポキシ樹脂等が添加され、前記ゲル分率と
なるように架橋される。また、必要に応じて粘着付与樹
脂が添加されてもよい。粘着付与樹脂としてはフェノー
ル系樹脂、テルペン系樹脂、スチレン系樹脂、キシレン
系樹脂、ロジン系樹脂、塩化ビニル系樹脂、石油系樹脂
などが挙げられる。
【００１６】上記ゲル分率は粘着剤試料Ｗ0 を大容量の
テトラヒドロフランに２０℃で２４時間浸漬して非ゲル
分をテトラヒドロフランに溶解させ、これを２００メッ
シュの金網で濾過し、回収された不溶部分を１１０℃で
３時間乾燥した重量Ｗ1 を測定してＷ0 ／Ｗ1 ×１００
で表したものである。
テトラヒドロフランに２０℃で２４時間浸漬して非ゲル
分をテトラヒドロフランに溶解させ、これを２００メッ
シュの金網で濾過し、回収された不溶部分を１１０℃で
３時間乾燥した重量Ｗ1 を測定してＷ0 ／Ｗ1 ×１００
で表したものである。
【００１７】次に、請求項２記載の両面粘着テープにお
ける基材及び第１粘着剤層は請求項１記載のものと同じ
ものが使用される。第２粘着剤層におけるゴム系粘着剤
は天然ゴム、粘着付与樹脂に加え、液状ゴム成分を含有
することにより粘着剤層と定盤との界面が平滑となり、
定盤に対して接着力が強くなる。上記粘着付与樹脂は軟
化点が１００〜１１５℃であるものが好ましい。また、
天然ゴム１００重量部に対して架橋剤を５〜４０重量部
が配合されることにより、研磨時に受ける剪断力に耐
え、剥離時に糊残りしないものとなる。
ける基材及び第１粘着剤層は請求項１記載のものと同じ
ものが使用される。第２粘着剤層におけるゴム系粘着剤
は天然ゴム、粘着付与樹脂に加え、液状ゴム成分を含有
することにより粘着剤層と定盤との界面が平滑となり、
定盤に対して接着力が強くなる。上記粘着付与樹脂は軟
化点が１００〜１１５℃であるものが好ましい。また、
天然ゴム１００重量部に対して架橋剤を５〜４０重量部
が配合されることにより、研磨時に受ける剪断力に耐
え、剥離時に糊残りしないものとなる。
【００１８】
【発明の実施の形態】次に本発明の両面粘着テープの実
施例を図面を参照して説明する。 （実施例１、２、比較例１、２）表１に示す粘着剤組成
物をＰＥＴフィルム（二村化学社製，商品名「ＦＥ２０
０１」，厚み２３μｍ，片面コロナ放電処理）のコロナ
放電処理面に乾燥後の厚みが３５μｍとなるように塗布
乾燥した第２粘着剤層を有する両面粘着テープを作製し
た。
施例を図面を参照して説明する。 （実施例１、２、比較例１、２）表１に示す粘着剤組成
物をＰＥＴフィルム（二村化学社製，商品名「ＦＥ２０
０１」，厚み２３μｍ，片面コロナ放電処理）のコロナ
放電処理面に乾燥後の厚みが３５μｍとなるように塗布
乾燥した第２粘着剤層を有する両面粘着テープを作製し
た。
【００１９】（実施例３、４、比較例３、４）表２に示
す粘着剤組成物をＰＥＴフィルム（実施例１で使用した
ものと同じもの）のコロナ放電処理面に乾燥後の厚みが
３５μｍとなるように塗布乾燥した第２粘着剤層を有す
る両面粘着テープを作製した。
す粘着剤組成物をＰＥＴフィルム（実施例１で使用した
ものと同じもの）のコロナ放電処理面に乾燥後の厚みが
３５μｍとなるように塗布乾燥した第２粘着剤層を有す
る両面粘着テープを作製した。
【００２０】物性測定 （１）ゲル分率：前記の測定方法による。 （２）９０度剥離力：ＪＩＳ Ｚ ０２３７に規定され
るステンレス板（ＳＵＳ−２８０）からの９０度剥離力
と剪断接着力を測定し、再剥離し易さと研磨時の剥がれ
難さを評価した。 以上の結果を表１および表２に示した。
るステンレス板（ＳＵＳ−２８０）からの９０度剥離力
と剪断接着力を測定し、再剥離し易さと研磨時の剥がれ
難さを評価した。 以上の結果を表１および表２に示した。
【００２１】
【表１】
【００２２】
【表２】
【００２３】
【発明の効果】本発明の粘着テープは、被研磨材を研磨
するための研磨材をポリッシングマシーンの定盤に貼り
付けて使用すると、研磨時に受ける剪断力に耐えて確実
に固定することができ、また、使用後には定盤に糊残り
せずに剥離することができる。
するための研磨材をポリッシングマシーンの定盤に貼り
付けて使用すると、研磨時に受ける剪断力に耐えて確実
に固定することができ、また、使用後には定盤に糊残り
せずに剥離することができる。
Claims (2)
- 【請求項１】 研磨材をポリッシングマシーンの定盤に
固定するための両面粘着テープであって、定盤に貼り付
けられる側の粘着面が、ゲル分率が７０〜９０％である
アクリル系粘着剤であることを特徴とする両面粘着テー
プ。 - 【請求項２】 研磨材をポリッシングマシーンの定盤に
固定するための両面粘着テープであって、定盤に貼り付
けられる側の粘着面が、天然ゴム１００重量部、官能基
を有する液状ゴム成分３０〜７０重量部、粘着付与樹脂
９０〜１２０重量部、架橋剤５〜４０重量部とからなる
ゴム系粘着剤であることを特徴とする両面粘着テープ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11819599A JP2000309760A (ja) | 1999-04-26 | 1999-04-26 | 両面粘着テープ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11819599A JP2000309760A (ja) | 1999-04-26 | 1999-04-26 | 両面粘着テープ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000309760A true JP2000309760A (ja) | 2000-11-07 |
Family
ID=14730532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11819599A Withdrawn JP2000309760A (ja) | 1999-04-26 | 1999-04-26 | 両面粘着テープ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000309760A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002285114A (ja) * | 2001-03-26 | 2002-10-03 | Sekisui Chem Co Ltd | 研磨材固定用テープ |
| JP2008227252A (ja) * | 2007-03-14 | 2008-09-25 | Toyo Tire & Rubber Co Ltd | 研磨パッド |
| JP2010053258A (ja) * | 2008-08-28 | 2010-03-11 | Sekisui Chem Co Ltd | 研磨布固定用両面テープ |
| JP2012102165A (ja) * | 2010-11-05 | 2012-05-31 | Nitto Denko Corp | 両面粘着テープおよび研磨部材 |
| JP2015034302A (ja) * | 2014-11-11 | 2015-02-19 | 日東電工株式会社 | 再剥離粘着剤組成物、粘着シート及びテープ |
| CN111662663A (zh) * | 2020-06-24 | 2020-09-15 | 北京理工大学珠海学院 | 一种防扎记忆胶及其制备方法和应用 |
| CN115247032A (zh) * | 2022-04-06 | 2022-10-28 | 上海固柯胶带科技有限公司 | 一种晶圆减薄用高效研磨胶带及其制备方法 |
| JP7385803B1 (ja) | 2022-11-09 | 2023-11-24 | 東洋インキＳｃホールディングス株式会社 | 研磨部材固定用両面粘着テープ、トップパッドを定盤に固定する方法、および複層タイプの研磨パッドを定盤に固定する方法 |
| JP7406693B1 (ja) | 2022-11-09 | 2023-12-28 | 東洋インキＳｃホールディングス株式会社 | 研磨部材固定用両面粘着テープ、複層タイプの研磨パッド、トップパッドを定盤に固定する方法、および複層タイプの研磨パッドを定盤に固定する方法 |
-
1999
- 1999-04-26 JP JP11819599A patent/JP2000309760A/ja not_active Withdrawn
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN111662663A (zh) * | 2020-06-24 | 2020-09-15 | 北京理工大学珠海学院 | 一种防扎记忆胶及其制备方法和应用 |
| CN111662663B (zh) * | 2020-06-24 | 2022-07-08 | 北京理工大学珠海学院 | 一种防扎记忆胶及其制备方法和应用 |
| CN115247032A (zh) * | 2022-04-06 | 2022-10-28 | 上海固柯胶带科技有限公司 | 一种晶圆减薄用高效研磨胶带及其制备方法 |
| CN115247032B (zh) * | 2022-04-06 | 2023-10-17 | 上海固柯胶带科技有限公司 | 一种晶圆减薄用高效研磨胶带及其制备方法 |
| JP7385803B1 (ja) | 2022-11-09 | 2023-11-24 | 東洋インキＳｃホールディングス株式会社 | 研磨部材固定用両面粘着テープ、トップパッドを定盤に固定する方法、および複層タイプの研磨パッドを定盤に固定する方法 |
| JP7406693B1 (ja) | 2022-11-09 | 2023-12-28 | 東洋インキＳｃホールディングス株式会社 | 研磨部材固定用両面粘着テープ、複層タイプの研磨パッド、トップパッドを定盤に固定する方法、および複層タイプの研磨パッドを定盤に固定する方法 |
| JP2024068758A (ja) * | 2022-11-09 | 2024-05-21 | ａｒｔｉｅｎｃｅ株式会社 | 研磨部材固定用両面粘着テープ、トップパッドを定盤に固定する方法、および複層タイプの研磨パッドを定盤に固定する方法 |
| JP2024068757A (ja) * | 2022-11-09 | 2024-05-21 | ａｒｔｉｅｎｃｅ株式会社 | 研磨部材固定用両面粘着テープ、複層タイプの研磨パッド、トップパッドを定盤に固定する方法、および複層タイプの研磨パッドを定盤に固定する方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20040326 |