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JP2000351649A - 基板用ガラスおよびガラス基板 - Google Patents

基板用ガラスおよびガラス基板

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JP2000351649A
JP2000351649A JP11161639A JP16163999A JP2000351649A JP 2000351649 A JP2000351649 A JP 2000351649A JP 11161639 A JP11161639 A JP 11161639A JP 16163999 A JP16163999 A JP 16163999A JP 2000351649 A JP2000351649 A JP 2000351649A
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glass
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less
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coefficient
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哲也 中島
Yasumasa Nakao
泰昌 中尾
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Asahi Glass Co Ltd
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00Glass compositions
    • C03C3/04Glass compositions containing silica
    • C03C3/076Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
    • C03C3/089Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
    • C03C3/091Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium

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  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】化学強化処理等の付加処理を行わなくとも耐候
性に優れる基板用ガラスおよびガラス基板の提供。 【解決手段】重量%表示で、SiO2:45〜59、A
23:2〜20、B2 3:0〜1未満、MgO:0〜
10、CaO:3〜12、SrO:1〜12未満、Ba
O:0〜2、Na2O:0〜10、K2O:0〜12、T
iO2:0〜10、ZrO2:0〜5、MgO+CaO+
SrO+BaO<15である基板用ガラス。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク、光
ディスク等の情報記録媒体の基板、PDP(プラズマデ
ィスプレイパネル)、FED(フィールドエミッション
ディスプレイ)等のフラットディスプレイの基板、等に
用いられる基板用ガラスおよびガラス基板に関する。
【0002】
【従来の技術】情報記録媒体基板、フラットディスプレ
イパネル基板、等に用いられる基板用ガラスとして、ソ
ーダライムシリカガラスが広く用いられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ソーダライム
シリカガラスからなる基板は、いわゆる白ヤケ現象によ
りその在庫中に表面性状が著しく変化するおそれがあっ
た。特に磁気ディスク基板の場合には、前記基板上に形
成される下地膜、磁性膜、保護膜等の膜がはがれやすく
なる。
【0004】ソーダライムシリカガラスは化学強化処理
によって白ヤケ現象が起りにくくなる。しかし化学強化
処理には、工程が増加する、化学強化処理後の基板表面
によごれが付着しやすい、等の問題がある。本発明は、
化学強化処理等の付加処理を行わなくとも耐候性に優
れ、白ヤケ現象が起りにくい基板用ガラスの提供を目的
とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、重量%表示で
実質的に、 SiO2 45〜59、 Al23 2〜20、 B23 0〜1未満、 MgO 0〜10、 CaO 3〜12、 SrO 1〜12未満、 BaO 0〜2、 Na2O 0〜10、 K2O 0〜12、 TiO2 0〜10、 ZrO2 0〜5、 からなり、かつ、MgO+CaO+SrO+BaO<1
5である基板用ガラスを提供する。
【0006】また、前記基板用ガラスからなるガラス基
板であって、120℃、2気圧の水蒸気雰囲気に20時
間保持した該ガラス基板表面に存在する大きさが10μ
m以上の付着物の数が1個/cm2以下であり、大きさ
が1μm以上10μm未満の付着物の数が105個/c
2以下であるガラス基板を提供する。
【0007】
【発明の実施の形態】本発明の基板用ガラスの50〜3
50℃における平均線膨張係数は、ソーダライムシリカ
ガラスと同程度またはそれ以上、すなわち70×10-7
/℃以上であることが好ましい。より好ましくは75×
10-7/℃以上である。以下、50〜350℃における
平均線膨張係数を熱膨張係数という。
【0008】上記の熱膨張係数が好ましい理由は、情報
記録媒体基板に対しては、基板を取り付けるハブの金属
の熱膨張係数(典型的には100×10-7/℃以上)に
より近い熱膨張係数、少なくとも従来使用されているソ
ーダライムシリカガラスの熱膨張係数以上、が求められ
ているからである。フラットディスプレイパネル基板に
対しては、シール等に従来使用されているガラスフリッ
ト等の従来の無機材料粉末の熱膨張係数がソーダライム
シリカガラス基板の熱膨張係数に整合しており、前記従
来の無機材料粉末の熱膨張係数と整合させやすくするた
めである。本発明の基板用ガラスはフロート成形できる
ことが好ましい。
【0009】次に、本発明の基板用ガラスの組成につい
て、重量%を単に%と表示して以下で説明する。SiO
2はガラスの骨格を形成する必須成分である。45%未
満では、ガラスが不安定になる。好ましくは46%以上
である。59%超では、熱膨張係数が小さくなりすぎ
る。好ましくは58.5%以下である。
【0010】Al23はガラスの耐候性を高くする必須
成分である。2%未満では前記効果が小さい。好ましく
は3%以上である。20%超では溶融ガラスの粘度が高
くなりすぎ成形、特にフロート成形が困難になる。好ま
しくは19%以下である。
【0011】B23は必須成分ではないが、ガラスの耐
候性を高くする効果を有し、1%未満の範囲で含有して
もよい。1%以上では溶融時の揮散が多くなりすぎ均質
なガラスが得にくくなるおそれがある。好ましくは0.
8%以下である。
【0012】MgOは、必須成分ではないが、溶融ガラ
スの粘度を低下させガラスを溶融しやすくする効果を有
し、10%まで含有してもよい。10%超ではガラスが
不安定になるおそれがある。好ましくは9%以下であ
る。MgOを含有する場合、1%以上含有することが好
ましい。
【0013】CaOは、熱膨張係数を大きくし、また溶
融ガラスの粘度を低下させガラスを溶融しやすくする必
須成分である。3%未満では前記効果が小さい。好まし
くは4%以上である。12%超ではガラスが不安定にな
るおそれがある。好ましくは11%以下である。
【0014】SrOは熱膨張係数を大きくし、また溶融
ガラスの粘度を低下させガラスを溶融しやすくする成分
であり、必須である。1%未満では前記効果が小さい。
好ましくは2%以上である。12%以上ではガラスが不
安定になる。好ましくは11%以下である。
【0015】BaOは必須成分ではないが、熱膨張係数
を大きくし、また溶融ガラスの粘度を低下させガラスを
溶融しやすくする効果を有し、2%まで含有してもよ
い。2%超ではガラスの耐候性を低下させるおそれがあ
る。好ましくは1.8%以下である。BaOを含有する
場合、0.2%以上含有することが好ましい。
【0016】MgO、CaO、SrOおよびBaOの合
量は15%未満である。15%以上では、ガラスが不安
定になる。好ましくは14.8%以下である。
【0017】Na2Oは必須成分ではないが、熱膨張係
数を大きくし、また溶融ガラスの粘度を低下させガラス
を溶融しやすくする効果を有し、10%まで含有しても
よい。10%超ではガラスの耐候性を低下させるおそれ
がある。好ましくは8%以下である。Na2Oを含有す
る場合、2%以上含有することが好ましい。
【0018】K2Oは必須成分ではないが、熱膨張係数
を大きくし、また溶融ガラスの粘度を低下させガラスを
溶融しやすくする効果を有し、12%まで含有してもよ
い。12%超ではガラスの耐候性を低下させるおそれが
ある。好ましくは10%以下である。K2Oを含有する
場合、2%以上含有することが好ましい。
【0019】TiO2は必須成分ではないが、熱膨張係
数を大きくし、またガラスの耐候性を高くする効果を有
し、10%まで含有してもよい。10%超ではガラスが
不安定になるおそれがある。好ましくは9%以下であ
る。TiO2を含有する場合、1%以上含有することが
好ましく、2%以上含有することがより好ましい。
【0020】ZrO2は必須成分ではないが、ガラスの
耐候性を高くする効果を有し、5%まで含有してもよ
い。5%超ではガラスが不安定になるおそれがある。好
ましくは4%以下である。ZrO2を含有する場合、1
%以上含有することが好ましい。
【0021】本発明のガラスは実質的に上記成分からな
るが、この他に以下に例示する成分を、本発明の目的を
損なわない範囲で含有してもよい。SO3、Cl、As2
3、Sb23等の清澄剤、Fe23、NiO、CoO
等の着色剤、を合量で1%まで含有してもよい。熱膨張
係数を大きくし、また溶融ガラスの粘度を低下させガラ
スを溶融しやすくするためにZnO、Li2Oを合量で
2%まで含有してもよい。ガラスの溶解性や安定性を向
上させるために、P25、V25等を、ヤング率を大き
くするためにLa25、Y25、等の希土類金属酸化物
を、それらの合量で2%まで含有してもよい。
【0022】本発明のガラス基板は本発明の基板用ガラ
スからなり、表面を充分洗浄して付着物が認められない
状態にした後、120℃、2気圧の水蒸気雰囲気に20
時間保持したとき、該ガラス基板表面に存在する大きさ
が10μm以上の付着物の数NLは1個/cm2以下であ
り、大きさが1μm以上10μm未満の付着物の数N S
は105個/cm2以下である。
【0023】NLが1個/cm2超またはNSが105個/
cm2超では、ガラス基板在庫中にガラス基板表面に付
着物(白ヤケ)が発生し、磁気ディスクにおいてはガラ
ス基板上に形成される下地膜、磁性膜、保護膜等の膜が
はがれやすくなる。また、フラットディスプレイパネル
においてはガラス基板が曇り、また、端子取り出し部に
発生した前記付着物により絶縁破壊が起こりフラットデ
ィスプレイパネルの信頼性を低下させる。この付着物
は、空気中の水分や炭酸ガスの影響によりガラス基板に
生成付着した反応生成物であると考えられ、拭いても除
去できないものである。NLは好ましくは0.5個/c
2以下、より好ましくは0.2個/cm2以下である。
Sは好ましくは0.8×105個/cm2以下、より好
ましくは0.6×105個/cm2以下である。
【0024】本発明の基板用ガラスおよびガラス基板の
製造方法は特に限定されず、各種方法を適用できる。た
とえば、通常使用される各成分の原料を目標組成となる
ように調合し、これをガラス溶融窯で加熱溶融する。バ
ブリング、撹拌、清澄剤の添加等によりガラスを均質化
し、周知のフロート法、プレス法、またダウンドロー法
などの方法により所定の厚さの板ガラスに成形し、徐冷
後必要に応じて研削、研磨などの加工を行った後、所定
の寸法・形状のガラス基板とされる。成形法としては、
特に、大量生産に適したフロート法が好適である。
【0025】
【実施例】各成分の原料を表のSiO2からZrO2まで
の欄に重量%表示で示した組成となるように調合し、白
金るつぼを用いて1550〜1650℃の温度で3〜5
時間溶解した。次いで溶融ガラスを流し出して板状に成
形し、徐冷した。なお、表のRO計は、MgO、Ca
O、SrOおよびBaOの含有量(単位:重量%)の合
計である。
【0026】こうして得られたガラス板について、熱膨
張係数α(単位:×10-7/℃)、前記NL(単位:個
/cm2)、前記NS(単位:104個/cm2)、密度ρ
(単位:g/cm3)、ガラス転移点Tg(単位:℃)、
液相温度TL(単位:℃)、粘度が104Pとなる温度T
4(単位:℃)、および粘度が102Pとなる温度T
2(単位:℃)を、以下に示す方法により測定した。結
果を表に示す。
【0027】α:示差熱膨張計を用いて、石英ガラスを
参照試料として室温から5℃/分の割合で昇温した際の
ガラスの伸び率を、ガラスが軟化してもはや伸びが観測
されなくなる温度、すなわち屈伏点まで測定し、得られ
た熱膨張曲線から50〜350℃における平均線膨張係
数を算出した。
【0028】NL、NS:厚さが1〜2mm、大きさが4
cm×4cmのガラス板の両面を鏡面研磨し、炭酸カル
シウムおよび中性洗剤を用いて洗浄した後、超加速寿命
試験器(不飽和型プレッシャークッカーTPC−41
0、タバイエスペック(株))に入れて120℃、2気
圧の水蒸気雰囲気に20時間静置した。取り出したガラ
ス板の表面200μm角の範囲を微分干渉顕微鏡で観察
し、大きさが10μm以上の付着物の個数と大きさが1
μm以上10μm未満の付着物の個数をカウントし、こ
れら個数と前記観察面積200μm×200μmから算
出した。
【0029】ρ:泡を含まない約30gのガラスについ
てアルキメデス法により測定した。 Tg:前記αの測定と同様にして得られた熱膨張曲線に
おける屈曲点に相当する温度をガラス転移点とした。
【0030】TL:ガラスを乳鉢で2mm程度のガラス
粒に粉砕し、このガラス粒を白金ボートに並べて置き、
温度傾斜炉中で24時間熱処理した。結晶が析出してい
るガラス粒の温度の最高値を液相温度とした。フロート
成形を行うためには、TLはT4以下であることが好まし
い。 T4、T2:回転粘度計により測定した。
【0031】例1〜12のガラスは実施例、例13のガ
ラスはソーダライムシリカガラス、例14のガラスは磁
気ディスクに従来使用されているアルミノシリケートガ
ラス、例15のガラスはPDPに従来使用されているア
ルミノシリケートガラスである。例1〜12のガラスの
前記NL、NSの測定において観察された付着物の大きさ
は10μm以下であり、平均的な大きさは3〜5μmで
あった。これに対し、例13、14のガラスにおいては
100μm以上の大きな付着物が多数観察された。
【0032】
【表1】
【0033】
【表2】
【0034】
【発明の効果】本発明によれば、以下のような特長を有
する情報記録媒体用ガラス基板、フラットディスプレイ
用ガラス基板を提供できる。 (1)化学強化処理がなくとも耐候性に優れ、在庫中に
付着物(白ヤケ)が発生しにくい。 (2)熱膨張係数が従来使用されているソーダライムシ
リカガラスと同程度またはそれ以上である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01J 17/16 G11B 5/704 Fターム(参考) 4G062 AA18 BB01 DA05 DA06 DB03 DB04 DC01 DC02 DD01 DE01 DF01 EA01 EB01 EB02 EB03 EC01 EC02 EC03 EC04 ED01 ED02 ED03 EE03 EE04 EF03 EF04 EG01 EG02 EG03 FA01 FA10 FB01 FB02 FB03 FC01 FC02 FC03 FD01 FE01 FF01 FG01 FH01 FJ01 FK01 FL01 GA01 GA10 GB01 GC01 GD01 GE01 HH01 HH03 HH05 HH07 HH09 HH11 HH13 HH15 HH17 HH20 JJ01 JJ03 JJ05 JJ07 JJ10 KK01 KK03 KK05 KK07 KK10 MM27 NN30 NN34 5C040 GA02 GA09 KA07 KB03 KB11 KB19 KB29 MA10 5D006 CB04 CB07 FA00 5D029 KA24 KC14

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】重量%表示で実質的に、 SiO2 45〜59、 Al23 2〜20、 B23 0〜1未満、 MgO 0〜10、 CaO 3〜12、 SrO 1〜12未満、 BaO 0〜2、 Na2O 0〜10、 K2O 0〜12、 TiO2 0〜10、 ZrO2 0〜5、 からなり、かつ、MgO+CaO+SrO+BaO<1
    5である基板用ガラス。
  2. 【請求項2】50〜350℃における平均線膨張係数が
    70×10-7/℃以上である請求項1に記載の基板用ガ
    ラス。
  3. 【請求項3】請求項1または2に記載の基板用ガラスか
    らなるガラス基板であって、120℃、2気圧の水蒸気
    雰囲気に20時間保持した該ガラス基板表面に存在する
    大きさが10μm以上の付着物の数が1個/cm2以下
    であり、大きさが1μm以上10μm未満の付着物の数
    が105個/cm2以下であるガラス基板。
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