JP2000348395A - 光ディスク成形用スタンパおよびそのスタンパを製造するための基板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ディスク成形用スタンパおよびそのスタン
パを製造するための基板を提供する。 【解決手段】一方向凝固組織を有する多結晶金属で構成
された光ディスク成形用スタンパおよびそのスタンパを
製造するための基板。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、各種光ディスクを製
造するためのスタンパおよびそのスタンパを作製するた
めの基板に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、高密度に情報を蓄積できる光記録
媒体として、光ディスクの製造が盛んに行われている。
これら光ディスクは、表面にランドおよびグルーブが形
成された光ディスク盤の上に追記型媒体、相変化媒体、
もしくは光磁気記録媒体などの記録膜を成膜し、さらに
保護膜を成膜して製造される。情報は光ディスク盤のラ
ンドまたはグルーブのどちらかに記録され、これらラン
ドおよびグルーブを有する光ディスク盤は、通常、熱可
塑性樹脂を微小凹凸の情報信号が形成された金属製母型
（以下、金属スタンパという）をセットした金型内に高
温で注入し、金属スタンパの微小凹凸を熱可塑性樹脂表
面に転写してランドおよびグルーブを形成した後、冷却
し硬化させることにより作製する。前記金属スタンパ
は、従来、電鋳法で作製されていたが、この方法による
金属スタンパの製造には大型の電鋳装置を必要とし、さ
らに大きな電力を得るための配電設備や広いクリーンル
ームを必要とし、さらに、電鋳を行った後、スタンパ内
外周のトリミング、研磨、打つ抜きなどの後処理工程を
必要とすることなどから製造コストが高くなるという問
題点があった。

【０００３】そこで、近年、金属スタンパは金属基板の
表面にＡｒイオンを照射してエッチングするドライエッ
チング法により製造することが盛んに行われるようにな
ってきた。このＡｒイオンを照射するドライエッチング
法は一般にイオンミリング法と呼ばれており、このイオ
ンミリング法による金属スタンパの製造方法を図３
（ａ）〜（ｆ）の断面図により説明する。まず、図３
（ａ）に示される金属基板１を用意する。この金属基板
１はステンレス鋼（例えばＳＵＳ３０３）またはＮｉの
金属板が用いられている。この金属基板１の上に図３
（ｂ）に示されるようにフォトレジストを塗布してフォ
トレジスト層２を形成する。次に、図３（ｃ）に示され
るようにフォトレジスト層２に情報に対応するレーザ光
（Ａｒレーザ光）を照射してフォトレジスト層２を記録
露光し、露光レジスト層２１および非露光レジスト層２
２からなるフォトレジスト層２を形成する。この記録露
光されたフォトレジスト層２を現像処理して図３（ｄ）
に示されるように非露光レジスト層２２を除去し、金属
基板１の表面に露光レジスト層２１を残して金属基板１
の一部表面を露出させる。かかる一部表面が露出した金
属基板１にＡｒイオンを照射すると、図３（ｅ）に示さ
れるように金属基板１の一部表面が露出した部分がエッ
チングされて凹部３が形成され、その後、露光レジスト
層２１を除去することにより図３（ｆ）に示されるよう
な凸部４および凹部３を有する金属スタンパ５が作られ
る。前記金属基板１にＡｒイオン照射してエッチングす
ることにより凹部を形成したりカッティングしたりする
ことを一般にイオンミリングと称している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】近年、光ディスクに蓄
積される情報はますます高密度化しており、高密度な情
報が内蔵された光ディスクを作製するには一層微細で精
密なランドおよびグルーブを有する光ディスク盤が必要
となり、この一層微細で精密なランドおよびグルーブを
有する高精度な光ディスク盤を作るには表面に一層微細
で寸法精度の高い凹部および凸部が形成された金属スタ
ンパが必要である。しかし、従来のステンレス板または
Ｎｉ板では十分に精度の高い微細な凹部および凸部を有
する金属スタンパを形成することができないところから
前記要求に十分に対応することができなかった。

【０００５】

【課題を解決する手段】そこで、本発明者らは従来の金
属スタンパよりも一層高精度の凹凸を有する金属スタン
パ得るべく鋭意研究を行った結果、結晶の成長方向に対
して結晶方位のそろった一方向凝固組織を有する多結晶
金属板から作製した光ディスク成形用スタンパは、通常
の圧延金属板で作製した光ディスク成形用スタンパに比
べて精度が優れている、という知見を得たのである。

【０００６】この発明は、かかる知見に基づいてなされ
たものであって、（１）一方向凝固組織を有する多結晶
金属からなる光ディスク成形用スタンパ、に特徴を有す
るものである。

【０００７】前記光ディスク成形用スタンパを構成する
一方向凝固組織を有する多結晶金属は、腐食しにくくし
かも樹脂の高温射出成形に対して変形することのない十
分な硬度を有し、さらに熱膨張係数の小さな金属または
合金であればいかなる金属または合金であっても良い。
しかし、耐食性、熱膨張係数および硬度を考慮すると、
純ＮｉもしくはＮｉ基合金、純ＣｏもしくはＣｏ基合
金、または耐食性の優れたＦｅ基合金であることが好ま
しい。

【０００８】したがって、この発明は、（２）一方向凝
固組織を有する多結晶純ＮｉもしくはＮｉ基合金からな
る光ディスク成形用スタンパ、（３）一方向凝固組織を
有する多結晶純ＣｏもしくはＣｏ基合金からなる光ディ
スク成形用スタンパ、（４）耐食性の優れた一方向凝固
組織を有する多結晶Ｆｅ基合金からなる光ディスク成形
用スタンパ、に特徴を有するものである。

【０００９】光ディスク成形用スタンパの素材として、
従来の圧延された多結晶組織を有する純Ｎｉよりも前記
一方向凝固組織を有する多結晶純Ｎｉの方が好ましい。
また、一方向凝固組織を有する多結晶純Ｎｉよりも一方
向凝固組織を有する多結晶Ｎｉ基合金の方が好ましく、
前記Ｎｉ基合金の内でも、重量％で、Ｍｏ：１０．０〜
３０．０％を含有し、残部がＮｉおよび不可避不純物か
らなる組成を有するＮｉ基合金、Ｍｏ：１０．０〜３
０．０％、Ｃｒ：３．０〜２５．０％を含有し、残部が
Ｎｉおよび不可避不純物からなる組成を有するＮｉ基合
金、Ａｌ：２．５〜８．０％を含有し、残部がＮｉおよ
び不可避不純物からなる組成を有するＮｉ基合金、Ａ
ｌ：２．５〜８．０％、Ｔｉ：０．５〜５．０％を含有
し、残部がＮｉおよび不可避不純物からなる組成を有す
るＮｉ基合金はいずれも熱膨張係数が小さくしかも硬度
を高めることができるので一層好ましい、

【００１０】したがって、この発明は、（５）重量％
で、Ｍｏ：１０．０〜３０．０％を含有し、残部がＮｉ
および不可避不純物からなる組成を有しかつ一方向凝固
組織を有する多結晶Ｎｉ基合金からなる光ディスク成形
用スタンパ、（６）重量％で、Ｍｏ：１０．０〜３０．
０％、Ｃｒ：３．０〜２５．０％を含有し、残部がＮｉ
および不可避不純物からなる組成を有しかつ一方向凝固
組織を有する多結晶Ｎｉ基合金からなる光ディスク成形
用スタンパ、（７）重量％で、Ａｌ：２．５〜８．０％
を含有し、残部がＮｉおよび不可避不純物からなる組成
を有しかつ一方向凝固組織を有する多結晶Ｎｉ基合金か
らなる光ディスク成形用スタンパ、（８）重量％で、Ａ
ｌ：２．５〜８．０％、Ｔｉ：０．５〜５．０％を含有
し、残部がＮｉおよび不可避不純物からなる組成を有し
かつ一方向凝固組織を有する多結晶Ｎｉ基合金からなる
光ディスク成形用スタンパ、に特徴を有するものであ
る。

【００１１】一方向凝固組織を有する多結晶純Ｃｏおよ
び一方向凝固組織を有する多結晶Ｃｏ基合金で構成され
る光ディスク成形用スタンパは、いずれも優れた特性を
有するが、前記Ｃｏ基合金としては特に重量％でＮｉ：
５〜３０％，Ｃｒ：１０〜３０％，Ｗ：３〜２０％を含
有し、残部Ｃｏおよび不可避不純物からなる組成を有す
るＣｏ基合金が好ましい。したがって、この発明は、
（９）重量％でＮｉ：５〜３０％，Ｃｒ：１０〜３０
％，Ｗ：３〜２０％を含有し、残部Ｃｏおよび不可避不
純物からなる組成を有しかつ一方向凝固組織を有する多
結晶Ｃｏ基合金からなる光ディスク成形用スタンパ、に
特徴を有するものである。

【００１２】Ｆｅ系の光ディスク成形用スタンパの素材
としては耐食性に優れた一方向凝固組織を有する多結晶
Ｆｅ基合金が好ましく、Ｆｅ基合金の内でも、重量％で
Ｃｒ：１０〜３５％を含有し、残部Ｆｅおよび不可避不
純物からなる組成を有するＦｅ基合金、Ｃｒ：１０〜３
５％、Ｍｏ：０．２〜１０％を含有し、残部Ｆｅおよび
不可避不純物からなる組成を有するＦｅ基合金、Ｃｒ：
１０〜３５％、Ｎｉ：２〜８％を含有し、残部Ｆｅおよ
び不可避不純物からなる組成を有するＦｅ基合金、Ｃ
ｒ：１０〜３５％、Ｎｉ：２〜８％、Ｍｏ：０．２〜１
０％を含有し、残部Ｆｅおよび不可避不純物からなる組
成を有するＦｅ基合金であることが一層好ましい。

【００１３】したがって、この発明は、（10）重量％で
Ｃｒ：１０〜３５％を含有し、残部Ｆｅおよび不可避不
純物からなる組成を有しかつ一方向凝固組織を有する多
結晶Ｆｅ基合金からなる光ディスク成形用スタンパ、
（11）Ｃｒ：１０〜３５％、Ｍｏ：０．２〜１０％を含
有し、残部Ｆｅおよび不可避不純物からなる組成を有し
かつ一方向凝固組織を有する多結晶Ｆｅ基合金からなる
光ディスク成形用スタンパ、（12）Ｃｒ：１０〜３５
％、Ｎｉ：２〜８％を含有し、残部Ｆｅおよび不可避不
純物からなる組成を有しかつ一方向凝固組織を有する多
結晶Ｆｅ基合金からなる光ディスク成形用スタンパ、
（13）Ｃｒ：１０〜３５％、Ｎｉ：２〜８％、Ｍｏ：
０．２〜１０％を含有し、残部Ｆｅおよび不可避不純物
からなる組成を有しかつ一方向凝固組織を有する多結晶
Ｆｅ基合金からなる光ディスク成形用スタンパ、に特徴
を有するものである。

【００１４】この発明の一方向凝固組織を有する多結晶
金属からなる光ディスク成形用スタンパは、前記（１）
〜（13）に記載の一方向凝固組織を有する多結晶金属か
らなる基板から作られ、この発明は、前記基板をも含む
ものである。したがって、この発明は、（14）前記
（１）〜（13）の内のいずれかに記載の組成を有しかつ
一方向凝固組織を有する多結晶金属からなるスタンパ製
造用基板、に特徴を有するものである。

【００１５】光ディスク成形用スタンパを一方向凝固組
織を有する多結晶金属で作製すると寸法精度の優れた凹
凸を有するスタンパが得られる理由としてエッチングの
方向性が均一になることが考えられる。次に、この発明
の一方向凝固組織を有する多結晶金属からなる光ディス
ク成形用スタンパおよびそのスタンパを製造するための
基板の合金組成における各元素の限定理由について詳述
する。

【００１６】（ａ）Ｎｉ基合金 Ｍｏ Ｍｏは、Ｎｉ素地中に固溶して、熱膨張率を低下させ、
さらに樹脂の型離れを良くする作用があるので含有させ
るが、その含有量が１０．０％未満では不十分であり、
一方、３０．０％を越えて添加すると合金の硬さが不均
一になり、結果としてイオンミリングによるエッチング
形状が不均一になるので好ましくない。したがって、Ｍ
ｏの含有量は１０．０〜３０．０％に定めた。Ｍｏ含有
量の一層好ましい範囲は、２３．０〜２８．０％であ
る。

【００１７】Ｃｒ Ｃｒは、Ｍｏ：１０．０〜３０．０％含有のＮｉ基合金
の硬さ分布を一層均一にする作用を有するので、必要に
応じて含有させるが、その含有量が３．０％未満では不
十分であり、一方、２５．０％を越えて添加すると靭性
が低下して樹脂の射出成形時にスタンパの凹凸部の端部
（角部）が欠けることがあり、スタンパの形状変化を起
こすようになるので好ましくない。したがって、Ｃｒの
含有量は３．０〜２５．０％に定めた。

【００１８】Ａｌ Ａｌは、熱処理によりＮｉ基合金素地中に非常に微細な
析出物を均一に分散することにより硬さを増加させるこ
とができ、さらに樹脂の型離れを良くする作用があるの
で含有させるが、その含有量が２．５％未満では不十分
であり、一方、８．０％を越えて添加すると表面研磨し
たときにピーリングと呼ばれる傷が発生しやすくなるの
で好ましくない。したがって、Ａｌの含有量は２．５〜
８．０％に定めた。Ａｌ含有量一層好ましい範囲は４．
０〜５．０％である。

【００１９】Ｔｉ Ｔｉは、熱処理によりＡｌとの相乗効果でＮｉ基合金素
地中に非常に微細な析出物を均一に分散することにより
硬度を増加させ、さらに射出成形した樹脂の離型性を増
す作用を有するので、必要に応じて含有させるが、その
含有量が０．５％未満では不十分であり、一方、５．０
％を越えて添加すると表面研磨したときにピーリングと
呼ばれる傷が発生しやすくなるので好ましくない。した
がって、Ｔｉの含有量は０．５〜８．０％に定めた。

【００２０】（ｂ）Ｃｏ基合金 Ｎｉ Ｎｉは、Ｃｏ基合金素地中に固溶して、熱膨張率を低下
させ、さらにイオンミリング性を良くする作用があるの
で含有させるが、その含有量が５．０％未満では不十分
であり、一方、３０．０％を越えて添加すると硬さが低
下するようになり、スタンパ寿命が短くなるので好まし
くない。したがって、Ｎｉの含有量は５．０〜３０．０
％に定めた。Ｎｉ含有量の一層好ましい範囲は、２１．
０〜２３．０％である。

【００２１】Ｃｒ Ｃｒは、Ｃｏ基合金の硬さ分布を一層均一にする作用を
有するので含有させるが、その含有量が１０．０％未満
では不十分であり、一方、３０．０％を越えて添加する
と靭性が低下して樹脂の射出成形時にスタンパの凹凸部
の端部（角部）が欠けることがあり、スタンパの形状変
化を起こすようになるので好ましくない。したがって、
Ｃｒの含有量は１０．０〜３０．０％に定めた。Ｃｒ含
有量の一層好ましい範囲は、２１．０〜２３．０％であ
る。

【００２２】Ｗ Ｗは、Ｃｏ基合金素地中に固溶して、熱膨張率を低下さ
せ、さらにイオンミリング時のスタンパの寸法変化を少
なくし、さらに射出成形樹脂の型離れを良くする作用を
有するので含有させるが、その含有量が３．％未満では
不十分であり、一方、２０．０％を越えて添加すると合
金中の硬さ分布が不均一となり、結果としてイオンミリ
ングによるエッチング形状が不均一になるので好ましく
ない。したがって、Ｗの含有量は３．０〜２０．０％に
定めた。Ｗ含有量の一層好ましい範囲は、１３．０〜１
６．０％である

【００２３】（ｃ）Ｆｅ基合金 Ｃｒ Ｃｒは、Ｆｅ基合金の熱膨張係数を低下させる作用を有
するので添加するが、その含有量が１０．０％未満では
不十分であり、一方、３５．０％を越えて添加すると靭
性が低下して樹脂の射出成形時にスタンパの凹凸部の端
部（角部）が欠けることがあり、スタンパの形状変化を
起こすようになるので好ましくない。したがって、Ｃｒ
の含有量は１０．０〜３５．０％に定めた。Ｃｒ含有量
の一層好ましい範囲は、１５．０〜２０．０％である。

【００２４】Ｍｏ Ｍｏは、Ｆｅ基合金素地中に固溶して熱膨張係数を低下
させ、さらに射出成形樹脂の型離れを良くする作用があ
るので必要に応じて含有させるが、その含有量が０．２
％未満では不十分であり、一方、１０．０％を越えて添
加すると靭性が低下して樹脂の射出成形時にスタンパの
凹凸部の端部（角部）が欠けることがあり、スタンパの
形状変化を起こすようになるので好ましくない。したが
って、Ｍｏの含有量は０．２〜１０．０％に定めた。

【００２５】Ｎｉ Ｎｉは、イオンミリング性を良くする作用があるので必
要に応じて含有させるが、その含有量が２０％未満では
不十分であり、一方８．０％を越えて添加すると熱膨張
係数を大きくする作用があり、スタンパの寸法精度を悪
くするので好ましくない。したがって、Ｎｉの含有量は
５．０〜３０．０％に定めた。

【００２６】この発明の一方向凝固組織を有する多結晶
金属からなる光ディスク成形用スタンパは、一方向凝固
組織を有する多結晶金属からなる基板から作られるが、
前記一方向凝固組織を有する多結晶金属からなる基板の
製造方法の一例を以下に説明する。

【００２７】まず、図２の断面図に示されるように、こ
の鋳型１０を冷却板１１の上に載置し、鋳型１０に金属
（純金属または合金）の溶湯を注入する。注入された溶
湯は冷却板１１に接する部分から凝固しはじめ、矢印に
示される方向に凝固して一方向凝固組織を有する多結晶
金属インゴットが得られる。

【００２８】このようにして得られた一方向凝固組織を
有する多結晶金属インゴットを図１の斜視図に示す。図
１において、６は一方向凝固組織を有する多結晶金属イ
ンゴット、７はスライス線でありスライス線は点線で示
されている。８は一方向凝固組織を有する多結晶金属イ
ンゴット６をスライス線７に沿ってスライスして得られ
た一方向凝固組織を有する多結晶金属板である。この一
方向凝固組織を有する多結晶金属板８を所定の寸法に切
断して基板を作製し、これを図３に示される金属基板１
として通常の方法により光ディスク成形用スタンパ５を
作製する。

【００２９】前記一方向凝固組織を有する多結晶金属イ
ンゴット６をスライス線７に沿ってスライスする場合、
結晶の成長方向に対するスライスの角度は特に限定され
るものではないが、結晶の成長方向に対して直角となる
ようにスライスすることが最も好ましく、したがって、
結晶の成長方向に対して直角となるようにスライスして
得られた一方向凝固組織を有する多結晶金属板から作製
した光ディスク成形用スタンパが最も好ましい。したが
って、この発明は、（15）前記（１）〜（13）の内のい
ずれかに記載の組成を有しかつ厚さ方向に成長した一方
向凝固組織を有する多結晶金属からなるディスク成形用
スタンパ、（16）前記（１）〜（13）の内のいずれかに
記載の組成を有しかつ厚さ方向に成長した一方向凝固組
織を有する多結晶金属からなるスタンパ製造用基板、に
特徴を有するものである。

【００３０】

【発明の実施の形態】実施例１ 表１に示される組成の純ＮｉおよびＮｉ基合金を通常の
真空溶解炉を用いて溶解し、得られた溶湯を温度：１５
７０℃で内径：１５０ｍｍ、外径：１７０ｍｍ、高さ：
２５０ｍｍの寸法を有する図２に示される鋳型１０に鋳
造して図１に示される形状の一方向凝固組織を有する多
結晶純Ｎｉおよび一方向凝固組織を有する多結晶Ｎｉ基
合金のインゴット６を作製し、この一方向凝固組織を有
する多結晶純ＮｉおよびＮｉ基合金インゴット６をスラ
イスして外径：１５０ｍｍ、厚さ：１ｍｍの寸法を有す
る一方向凝固組織を有する多結晶純Ｎｉ板および一方向
凝固組織を有する多結晶Ｎｉ基合金板を作製した。な
お、Ｘ線法により各板中の各結晶の方位を測定したとこ
ろ、すべて００１の方位に揃っていることを確認した。

【００３１】このようにして得られた一方向凝固組織を
有する多結晶純Ｎｉ板および一方向凝固組織を有する多
結晶Ｎｉ基合金板から直径：１５０ｍｍの円板を切りだ
し、この円板の表裏両面を両面砥石ラップ盤によりラッ
ピングし、その後、表面のみを片面ポリッシング機で研
磨し、Ｒｍａｘ：０．０２μｍ以下の鏡面に仕上げるこ
とによりスタンパ製造用基板を作製した。

【００３２】これらスタンパ製造用基板の表面にフォト
レジスト層を０．４μｍの厚さに均一にコーティングし
た。このフォトレジスト層の上から記録すべき情報に対
応するＡｒレーザービームを照射してフォトレジスト層
を露光し、現像してＡｒレーザービームの照射された領
域のフォトレジスト層を除去し、基板表面の一部を露出
させた後、焼き付けを行った。

【００３３】前記基板表面の一部が露出しかつ基板表面
に残存フォトレジスト層を有するスタンパ用基板の上か
らＡｒイオンを照射し、残存フォトレジスト層をマスク
としてイオンミリングを行い、スタンパ用基板の表面に
深さ：０．１μｍの凹部を形成したのち、前記残存フォ
トレジスト層を除去することにより本発明の一方向凝固
組織を有する多結晶金属スタンパ（以下、本発明多結晶
金属スタンパという）１〜９を製造した。

【００３４】従来例１ 比較のために、実施例１で作製した純Ｎｉ溶湯を温度：
１５５０℃で通常の鋳造法により縦：２５０ｍｍ、横：
２００ｍｍ、高さ：２０００ｍｍの寸法を有する純Ｎｉ
インゴットを作製し、このインゴットを圧延し、圧延し
て得られた厚さ：１ｍｍの寸法を有する圧延板から直
径：１５０ｍｍの円板を切りだし、この円板の表裏両面
を両面砥石ラップ盤によりラッピングし、その後、表面
のみを片面ポリッシング機で研磨し、Ｒｍａｘ：０．０
２μｍ以下の鏡面に仕上げることによりスタンパ製造用
基板を作製した。このスタンパ製造用基板により実施例
１と同様にして従来スタンパ１を作製した。

【００３５】実施例１で作製した本発明多結晶金属スタ
ンパ１〜９および従来例１で作製した従来スタンパ１を
射出成形機の金型内にセットし、ポリカーボネート樹脂
を射出成形して光ディスク盤を作製した。得られた光デ
ィスク盤の表面にそれぞれ窒化シリコン（Ｓｉ₃ Ｎ₄ ）
誘電体層、ＴｂＦｅＣｏ光磁気記録層、窒化シリコン
（Ｓｉ₃ Ｎ₄ ）誘電体層の順に成膜することにより光デ
ィスクを作製した。

【００３６】このようにして作製した光ディスクを、 波長：８３０ｎｍ、 ＮＡ：０．５５、 ケラレ係数：０．１、 波面収差：０．０３λ（ｒｍｓ値）、 偏向状態：直線偏光、 の条件でガイド溝に対して平行となる方向のピックアッ
プにより再生し、反射光量信号出力をスペクトラムアナ
ライザーに入力し、ランド部およびグルーブ部のノイズ
レベルの測定し、その結果を表１に示した。

【００３７】

【表１】

【００３８】表１に示される結果から、本発明多結晶金
属スタンパ１〜９を用いて作製した光ディスク盤に誘電
体層および光磁気記録層を塗布した光ディスクのランド
部およびグルーブ部のノイズレベルは、純Ｎｉ圧延板製
の従来スタンパ１を用いて作製した光ディスク盤に誘電
体層および光磁気記録層を塗布した光ディスクのランド
部およびグルーブ部のノイズレベルに比べて低いところ
から、本発明多結晶金属スタンパ１〜９は従来スタンパ
１に比べて精度の高い優れた光ディスク盤を製造できる
ことが分かる。

【００３９】実施例２ 表２に示される成分組成の純ＣｏおよびＣｏ基合金を用
意し、これらＣｏ基合金を実施例１と同様にして溶解
し、鋳造して一方向凝固組織を有する多結晶純Ｃｏおよ
び一方向凝固組織を有する多結晶Ｃｏ基合金のインゴッ
トを作製し、このインゴットを実施例１と同様にしてス
ライスして外径：１５０ｍｍ、厚さ：１ｍｍの寸法を有
する一方向凝固組織を有する多結晶純Ｃｏ板および一方
向凝固組織を有する多結晶Ｃｏ基合金板を作製した。こ
れら一方向凝固組織を有する多結晶純Ｃｏ板および一方
向凝固組織を有する多結晶Ｃｏ基合金板から実施例１と
同様にしてスタンパ製造用基板を作製し、このスタンパ
製造用基板から実施例１と同様にして本発明多結晶金属
スタンパ１０〜１８を作製した。これら本発明多結晶金
属スタンパ１０〜１８を用い、実施例１と同様にして光
ディスクを作製し、得られた光ディスクのランド部およ
びグルーブ部のノイズレベルを前記方法と同じ方法で測
定し、その結果を表２に示した

【００４０】

【表２】

【００４１】表２の本発明多結晶金属スタンパ１０〜１
８を用いて作製した光ディスク盤に誘電体層および光磁
気記録層を塗布した光ディスクのランド部およびグルー
ブ部のノイズレベルは、表１の従来スタンパ１を用いて
作製した光ディスク盤に誘電体層および光磁気記録層を
塗布した光ディスクのランド部およびグルーブ部のノイ
ズレベルに比べて低いところから、本発明多結晶金属ス
タンパ１０〜１８は従来スタンパ１に比べて精度の高い
優れた光ディスクを作製できることが分かる。

【００４２】実施例３ 表３に示される成分組成のＦｅ基合金を用意し、これら
Ｆｅ基合金を実施例１と同様にして溶解し、鋳造して一
方向凝固組織を有する多結晶Ｃｏ基合金インゴットを作
製し、このインゴットを実施例１と同様にしてスライス
して外径：１５０ｍｍ、厚さ：１ｍｍの寸法を有する一
方向凝固組織を有する多結晶Ｆｅ基合金板を作製した。
これら一方向凝固組織を有する多結晶Ｆｅ基合金板から
実施例１と同様にしてスタンパ製造用基板を作製し、こ
のスタンパ製造用基板から実施例１と同様にして本発明
多結晶金属スタンパ１９〜２７を作製した。これら本発
明多結晶金属スタンパ１９〜２７を用い、実施例１と同
様にして光ディスクを作製し、得られた光ディスクのラ
ンド部およびグルーブ部のノイズレベルを前記方法と同
じ方法で測定し、その結果を表３に示した。

【００４３】

【表３】

【００４４】表３に示される本発明多結晶金属スタンパ
１９〜２７を用いて作製した光ディスクのランド部およ
びグルーブ部のノイズレベルは、表１の従来スタンパを
用いて作製した光ディスクのランド部およびグルーブ部
のノイズレベルに比べて低いところから、本発明多結晶
金属スタンパ１９〜２７は従来スタンパに比べて精度の
高い優れた光ディスクを作製できることが分かる。

【００４５】

【発明の効果】上述のように、この発明の光ディスク成
形用スタンパは、高精度のランドおよびグルーブを有す
る光ディスクを製造できるところから、光記録媒体産業
の発展に大いに貢献し得るものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】一方向凝固組織を有する多結晶金属のインゴッ
トおよびこれらをスライスして得られた板の斜視図であ
る。

【図２】一方向凝固組織を有する多結晶金属のインゴッ
トを製造するための鋳型の断面図である。

【図３】従来の金属スタンパの製造方法を説明するため
の断面図である。

【符号の説明】

１ 金属基板 ２ フォトレジスト層 ３ 凹部 ４ 凸部 ５ 金属スタンパ ６ 一方向凝固組織を有する多結晶金属インゴット ７ スライス線 ８ 一方向凝固組織を有する多結晶金属板 １０ 鋳型 １１ 冷却板 ２１ 露光レジスト層 ２２ 非露光レジスト層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上野 博規 埼玉県桶川市上日出谷1230 三菱マテリア ル株式会社桶川製作所内 (72)発明者 加藤 公明 埼玉県桶川市上日出谷1230 三菱マテリア ル株式会社桶川製作所内 (72)発明者 佐々木 尚 埼玉県桶川市上日出谷1230 三菱マテリア ル株式会社桶川製作所内 (72)発明者 渋谷 巧 埼玉県桶川市上日出谷1230 三菱マテリア ル株式会社桶川製作所内 (72)発明者 三橋 章 埼玉県桶川市上日出谷1230 三菱マテリア ル株式会社桶川製作所内 Ｆターム(参考） 5D121 CA07

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一方向凝固組織を有する多結晶金属からな
   ることを特徴とする光ディスク成形用スタンパ。
2. 【請求項２】厚さ方向に成長した一方向凝固組織を有す
   る多結晶金属からなることを特徴とする光ディスク成形
   用スタンパ。
3. 【請求項３】前記一方向凝固組織を有する多結晶金属
   は、一方向凝固組織を有する多結晶純Ｎｉまたは一方向
   凝固組織を有する多結晶Ｎｉ基合金であることを特徴と
   する請求項１または２記載の光ディスク成形用スタン
   パ。
4. 【請求項４】前記一方向凝固組織を有する多結晶金属
   は、一方向凝固組織を有する多結晶純Ｃｏまたは一方向
   凝固組織を有する多結晶Ｃｏ基合金であることを特徴と
   する請求項１または２記載の光ディスク成形用スタン
   パ。
5. 【請求項５】前記一方向凝固組織を有する多結晶金属
   は、一方向凝固組織を有する多結晶Ｆｅ基合金であるこ
   とを特徴とする請求項１または２記載の光ディスク成形
   用スタンパ。