JP2000343751A - Ledプリントヘッド - Google Patents
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- JP2000343751A JP2000343751A JP15675399A JP15675399A JP2000343751A JP 2000343751 A JP2000343751 A JP 2000343751A JP 15675399 A JP15675399 A JP 15675399A JP 15675399 A JP15675399 A JP 15675399A JP 2000343751 A JP2000343751 A JP 2000343751A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】LEDプリントヘッドについて、結像光学系の
光軸が傾いた場合でも、結像の変形が生じにくいように
LEDヘッドの構造を工夫すること。 【解決手段】LEDプリントヘッドの結像光学系とLE
Dアレイ素子について、上記結像光学系とLEDアレイ
素子が光学的に結合する視野角度範囲内で、各LED素
子の放射角分布を平坦化したこと。上記結像光学系とL
EDアレイ素子が光学的に結合する視野角度範囲内で、
各LED素子の放射角分布を平坦化(概ね平坦化)した
ことにより、LEDプリントヘッドの結像光学系全体、
あるいは結像系を構成するレンズアレイの各々の光軸が
取り付け精度などの理由で本来の光軸からずれた場合で
も、結像光学系からみたLED光源の放射角分布が変わ
りにくく、このため結像後の像のぼけや変形に起因した
画像劣化が抑制される。結像光学系のアレイレンズの1
つ1つから見た場合も、発光位置が変わっても放射角分
布が同じであるため、結像後の画像の劣化が抑制され
る。
光軸が傾いた場合でも、結像の変形が生じにくいように
LEDヘッドの構造を工夫すること。 【解決手段】LEDプリントヘッドの結像光学系とLE
Dアレイ素子について、上記結像光学系とLEDアレイ
素子が光学的に結合する視野角度範囲内で、各LED素
子の放射角分布を平坦化したこと。上記結像光学系とL
EDアレイ素子が光学的に結合する視野角度範囲内で、
各LED素子の放射角分布を平坦化(概ね平坦化)した
ことにより、LEDプリントヘッドの結像光学系全体、
あるいは結像系を構成するレンズアレイの各々の光軸が
取り付け精度などの理由で本来の光軸からずれた場合で
も、結像光学系からみたLED光源の放射角分布が変わ
りにくく、このため結像後の像のぼけや変形に起因した
画像劣化が抑制される。結像光学系のアレイレンズの1
つ1つから見た場合も、発光位置が変わっても放射角分
布が同じであるため、結像後の画像の劣化が抑制され
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は発光ダイオードアレイ
などの微小光源アレイを光源とした光学装置、殊に、L
EDプリントヘッドに関するものであり、光プリンタ、
コピア、ファクシミリ、スキャナなどの光書き込みユニ
ットに利用されるものであって、結像光学系の光軸が傾
いた場合でも、結像の変形が生じにくくすることができ
るものである。
などの微小光源アレイを光源とした光学装置、殊に、L
EDプリントヘッドに関するものであり、光プリンタ、
コピア、ファクシミリ、スキャナなどの光書き込みユニ
ットに利用されるものであって、結像光学系の光軸が傾
いた場合でも、結像の変形が生じにくくすることができ
るものである。
【0002】
【従来の技術】LEDアレイ素子を用いた光プリンタ
は、レーザーラスタ方式の光プリンタに比較して、振動
や熱による光学系の変形に強いメリットがある。この従
来の光プリンタの書き込み系の感光ドラム及び光学系の
概要は図11に示すとおりあって、LEDアレイ光源6
1から発した光62は、等倍結像光学系63を経由し
て、等倍結像光学系の視野内に入射した光だけが感光ド
ラム64に集光し感光面を露光する。結像光学系63は
入射角度に依存して収差が変動する。取り付けの機械精
度等の起因する結像光学系63の光軸に対する傾が大き
い場合、結像光学系63から見た光源61の放射角分布
が大きく変化して、結像形状の変形に起因した画像の劣
化が顕著になる。またLEDヘッドの結像光学系は通常
レンズアレイで構成されているが、製造工程でレンズ1
つ1つの光軸の傾きが生じるとやはり画像の劣化が生じ
る。一方、光源の放射角分布に起因した画像劣化もあ
る。図11のLEDアレイ光源61を構成するLED素
子は、通常ランバート分布に近い放射分布を示すことが
知られている。例えばランバート分布では、結像光学系
の視野が±20度の場合、光軸方向に対して視野周辺で
は6%の照度が減少する。結像光学系の光軸が本来の光
軸と同じだとしても、結像光学系から見たアレイ光源の
発光位置に依存して、結像光学系のレンズの各々から見
える光源の放射方向が、変わってみえる。そのため同じ
ように結像後の画像劣化が生じる。実際のLED素子
は、その構造と製造工程に依存してランバート分布から
ずれていて、放射角分布が非対称な分布であったり、あ
るいはピークを複数持つ場合もあるため、一層の画像劣
化が生じることになる。
は、レーザーラスタ方式の光プリンタに比較して、振動
や熱による光学系の変形に強いメリットがある。この従
来の光プリンタの書き込み系の感光ドラム及び光学系の
概要は図11に示すとおりあって、LEDアレイ光源6
1から発した光62は、等倍結像光学系63を経由し
て、等倍結像光学系の視野内に入射した光だけが感光ド
ラム64に集光し感光面を露光する。結像光学系63は
入射角度に依存して収差が変動する。取り付けの機械精
度等の起因する結像光学系63の光軸に対する傾が大き
い場合、結像光学系63から見た光源61の放射角分布
が大きく変化して、結像形状の変形に起因した画像の劣
化が顕著になる。またLEDヘッドの結像光学系は通常
レンズアレイで構成されているが、製造工程でレンズ1
つ1つの光軸の傾きが生じるとやはり画像の劣化が生じ
る。一方、光源の放射角分布に起因した画像劣化もあ
る。図11のLEDアレイ光源61を構成するLED素
子は、通常ランバート分布に近い放射分布を示すことが
知られている。例えばランバート分布では、結像光学系
の視野が±20度の場合、光軸方向に対して視野周辺で
は6%の照度が減少する。結像光学系の光軸が本来の光
軸と同じだとしても、結像光学系から見たアレイ光源の
発光位置に依存して、結像光学系のレンズの各々から見
える光源の放射方向が、変わってみえる。そのため同じ
ように結像後の画像劣化が生じる。実際のLED素子
は、その構造と製造工程に依存してランバート分布から
ずれていて、放射角分布が非対称な分布であったり、あ
るいはピークを複数持つ場合もあるため、一層の画像劣
化が生じることになる。
【0003】従来型のLEDヘッド向けLEDアレイの
例として、化合物半導体基板に拡散法でpn接合を形成
し、基板面と発光面が同一面にある面発光LEDがある
(図12(a),(b)、特開平9ー148627)。
これは半導体基板に拡散開口部70で形成された発光領
域77に、絶縁膜73を部分的に除去されたコンタクト
領域71が設けられ、配線電極であるp型電極72と基
板間でpn接合を有するLEDアレイである。この従来
例では拡散法で発光部を形成しているが、拡散開口部7
0で拡散フロントを詳細に画定することが難しいため、
発光領域77の大きさや発光強度にむらが生じやすい。
拡散させた材料の分布のむらに応じて放射角分布の対称
性が崩れるなどしてランバート分布からずれるため、結
像光学系に入射する角度と光量が変動し、結像光学系で
結像されたLEDの像が広がり、あるいは変形して画像
の劣化を引き起こすことになる。
例として、化合物半導体基板に拡散法でpn接合を形成
し、基板面と発光面が同一面にある面発光LEDがある
(図12(a),(b)、特開平9ー148627)。
これは半導体基板に拡散開口部70で形成された発光領
域77に、絶縁膜73を部分的に除去されたコンタクト
領域71が設けられ、配線電極であるp型電極72と基
板間でpn接合を有するLEDアレイである。この従来
例では拡散法で発光部を形成しているが、拡散開口部7
0で拡散フロントを詳細に画定することが難しいため、
発光領域77の大きさや発光強度にむらが生じやすい。
拡散させた材料の分布のむらに応じて放射角分布の対称
性が崩れるなどしてランバート分布からずれるため、結
像光学系に入射する角度と光量が変動し、結像光学系で
結像されたLEDの像が広がり、あるいは変形して画像
の劣化を引き起こすことになる。
【0004】従来型のLEDヘッド向けLEDアレイの
他の例として、シリコン基板に化合物半導体を成長させ
たpn接合を形成し、基板に対して突起状の発光部分を
もつ発光素子アレイが報告されている(図13(a)
(b)、特開平9ー45955)。半導体基板81の上
に個別電極85と共通電極86a,86bで電気的に接
続された半導体層82,83,84からなるLED発光
素子からの発光は、紙面に垂直の方向へ取り出され、図
11のものと同様に結像光学系で感光ドラムに結像され
る。このようなLED素子の構造では、発光部となる半
導体層84から紙面垂直方向へ放射されるランバート分
布に近い光を利用するのであるが、それ以外に半導体層
84の側面からも光が放射されるため、放射角分布はラ
ンバート分布とは異なり、光軸からずれた方向で照度が
向上するなど、非対称な放射角分布となりやすい。その
結果、光軸から傾いた等倍結像光学系でLEDの像を結
像させた場合に結像パターンが広がり、あるいは変形し
画質の劣化を引き起こすことになる。
他の例として、シリコン基板に化合物半導体を成長させ
たpn接合を形成し、基板に対して突起状の発光部分を
もつ発光素子アレイが報告されている(図13(a)
(b)、特開平9ー45955)。半導体基板81の上
に個別電極85と共通電極86a,86bで電気的に接
続された半導体層82,83,84からなるLED発光
素子からの発光は、紙面に垂直の方向へ取り出され、図
11のものと同様に結像光学系で感光ドラムに結像され
る。このようなLED素子の構造では、発光部となる半
導体層84から紙面垂直方向へ放射されるランバート分
布に近い光を利用するのであるが、それ以外に半導体層
84の側面からも光が放射されるため、放射角分布はラ
ンバート分布とは異なり、光軸からずれた方向で照度が
向上するなど、非対称な放射角分布となりやすい。その
結果、光軸から傾いた等倍結像光学系でLEDの像を結
像させた場合に結像パターンが広がり、あるいは変形し
画質の劣化を引き起こすことになる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、LEDプリ
ントヘッドについて上記の問題を解消することを目的と
し、結像光学系の光軸が傾いた場合でも、結像の変形が
生じにくいようにLEDヘッドの構造を工夫することを
その課題とするものである。
ントヘッドについて上記の問題を解消することを目的と
し、結像光学系の光軸が傾いた場合でも、結像の変形が
生じにくいようにLEDヘッドの構造を工夫することを
その課題とするものである。
【0006】
【課題解決のために講じた手段】上記課題解決のために
講じた手段は、LEDプリントヘッドの結像光学系とL
EDアレイ素子について、上記結像光学系とLEDアレ
イ素子が光学的に結合する視野角度範囲内で、各LED
素子の放射角分布を平坦化したことである。
講じた手段は、LEDプリントヘッドの結像光学系とL
EDアレイ素子について、上記結像光学系とLEDアレ
イ素子が光学的に結合する視野角度範囲内で、各LED
素子の放射角分布を平坦化したことである。
【0007】
【作用】上記結像光学系とLEDアレイ素子が光学的に
結合する視野角度範囲内で、各LED素子の放射角分布
を平坦化(概ね平坦化)したことにより、LEDプリン
トヘッドの結像光学系全体、あるいは結像系を構成する
レンズアレイの各々の光軸が取り付け精度などの理由で
本来の光軸からずれた場合でも、結像光学系からみたL
ED光源の放射角分布が変わりにくく、このため結像後
の像のぼけや変形に起因した画像劣化が抑制される。結
像光学系のアレイレンズの1つ1つから見た場合も、発
光位置が変わっても放射角分布が同じであるため、結像
後の画像の劣化が抑制される。放射方向全域ではなく結
像レンズの視野内に平坦化する角度範囲を限定している
ので、平坦化に用いる手段として手段の選択範囲が広が
る利点もある。
結合する視野角度範囲内で、各LED素子の放射角分布
を平坦化(概ね平坦化)したことにより、LEDプリン
トヘッドの結像光学系全体、あるいは結像系を構成する
レンズアレイの各々の光軸が取り付け精度などの理由で
本来の光軸からずれた場合でも、結像光学系からみたL
ED光源の放射角分布が変わりにくく、このため結像後
の像のぼけや変形に起因した画像劣化が抑制される。結
像光学系のアレイレンズの1つ1つから見た場合も、発
光位置が変わっても放射角分布が同じであるため、結像
後の画像の劣化が抑制される。放射方向全域ではなく結
像レンズの視野内に平坦化する角度範囲を限定している
ので、平坦化に用いる手段として手段の選択範囲が広が
る利点もある。
【0008】
【実施態様1】実施態様1は、上記解決手段について、
結像光学系の視野内の放射角分布を平坦化するため、L
ED基板に設けられた面発光LEDの基板に平行な面か
ら放射される主光の一部を、各LED素子の周辺に設け
られた光学素子で反射、あるいは屈折、あるいは透過率
を変調して重畳する方式を用いたことである。
結像光学系の視野内の放射角分布を平坦化するため、L
ED基板に設けられた面発光LEDの基板に平行な面か
ら放射される主光の一部を、各LED素子の周辺に設け
られた光学素子で反射、あるいは屈折、あるいは透過率
を変調して重畳する方式を用いたことである。
【作用】主光だけでは放射角分布が平坦にならない場
合、LED素子の周辺に光学素子を設けて、この素子で
主光の一部を反射、屈折、あるいは透過率を変調するこ
とで放射角分布を平坦に制御する。より具体的には、主
光は主に光軸方向が光量が一番強く、光軸方向から外れ
るに従って弱くなるが、LED素子の周辺に設けられた
光学素子、例えばレンズ、ミラー、透過率変調膜と組み
合わせることにより、光軸周辺方向以外の弱い光量部分
に主光の光を一部振り分けて補うことで放射角分布の平
坦化を行なう。
合、LED素子の周辺に光学素子を設けて、この素子で
主光の一部を反射、屈折、あるいは透過率を変調するこ
とで放射角分布を平坦に制御する。より具体的には、主
光は主に光軸方向が光量が一番強く、光軸方向から外れ
るに従って弱くなるが、LED素子の周辺に設けられた
光学素子、例えばレンズ、ミラー、透過率変調膜と組み
合わせることにより、光軸周辺方向以外の弱い光量部分
に主光の光を一部振り分けて補うことで放射角分布の平
坦化を行なう。
【0009】
【実施態様2】実施態様2は、実施態様1における透過
率を変調する方法として、LED基板面内に発光部をも
つ面発光LEDについて、発光部の全体あるいは一部を
光透過率を変調する膜で被覆する構造を用いたことであ
る。
率を変調する方法として、LED基板面内に発光部をも
つ面発光LEDについて、発光部の全体あるいは一部を
光透過率を変調する膜で被覆する構造を用いたことであ
る。
【作用】この構造は、基板と発光面が同一平面内にある
平面型のLED素子に適用され、透過率を変調する膜を
部分的に形成するという簡単な構造であるため、実現が
容易である。より具体的には、拡散型LEDの発光部の
うち抵抗が高く電流が流れにくかったり、拡散量が少な
く発光量が少ない部分では、発光強度が強い部分に比べ
て放射角分布が異なり、放射光軸が偏るなど本来の光軸
に対して非対称になる場合がある。LEDの発光部の一
部に、放射角分布の平坦性を崩すピーク状の発光をする
部分を透過率を変調する膜で被覆することで、全体とし
て放射角の平坦性を確保することができる。透過率を変
調する膜として誘電体多層膜などの、入射角度に依存し
て透過率を変えられる膜を用いれば、より詳細な放射角
分布の制御ができる。
平面型のLED素子に適用され、透過率を変調する膜を
部分的に形成するという簡単な構造であるため、実現が
容易である。より具体的には、拡散型LEDの発光部の
うち抵抗が高く電流が流れにくかったり、拡散量が少な
く発光量が少ない部分では、発光強度が強い部分に比べ
て放射角分布が異なり、放射光軸が偏るなど本来の光軸
に対して非対称になる場合がある。LEDの発光部の一
部に、放射角分布の平坦性を崩すピーク状の発光をする
部分を透過率を変調する膜で被覆することで、全体とし
て放射角の平坦性を確保することができる。透過率を変
調する膜として誘電体多層膜などの、入射角度に依存し
て透過率を変えられる膜を用いれば、より詳細な放射角
分布の制御ができる。
【0010】
【実施態様3】実施態様3は、解決手段に加えて、LE
D基板に設けられた面発光LEDについて、主光が放射
される基板に平行な主面以外の面(非主面)から放射さ
れる光(非主光)を主光に重畳し、非主面の発光面の面
積、あるいは角度、あるいは発光面に設けた膜の透過率
を制御する方式を用いたことである。
D基板に設けられた面発光LEDについて、主光が放射
される基板に平行な主面以外の面(非主面)から放射さ
れる光(非主光)を主光に重畳し、非主面の発光面の面
積、あるいは角度、あるいは発光面に設けた膜の透過率
を制御する方式を用いたことである。
【作用】主面の放射分布は平坦ではないので、光量が落
ちる方向に非主面から放射される非主光を重ねれば、全
体として放射角分布の平坦化を実現できる。より具体的
には、次ぎのようにして放射角を制御する。すなわち、
LEDの非主面からの放射光は主面の放射光と同様に、
発光する面積と表面の透過率に依存して発光強度が変わ
ること、非主面の角度を変えることで放射方向が変わる
ことを利用して主面の放射角分布を平坦に補正すること
ができる。LEDの非主面の形状と表面の透過率は、L
EDの製造工程で決められるので、LEDの製造プロセ
ス技術、例えばエッチング、エピタキシャル成長、表面
保護膜の設計と選択次第で放射角分布を平坦化できる利
点を有する。
ちる方向に非主面から放射される非主光を重ねれば、全
体として放射角分布の平坦化を実現できる。より具体的
には、次ぎのようにして放射角を制御する。すなわち、
LEDの非主面からの放射光は主面の放射光と同様に、
発光する面積と表面の透過率に依存して発光強度が変わ
ること、非主面の角度を変えることで放射方向が変わる
ことを利用して主面の放射角分布を平坦に補正すること
ができる。LEDの非主面の形状と表面の透過率は、L
EDの製造工程で決められるので、LEDの製造プロセ
ス技術、例えばエッチング、エピタキシャル成長、表面
保護膜の設計と選択次第で放射角分布を平坦化できる利
点を有する。
【0011】
【実施態様4】実施態様4は、LED基板に設けられた
面発光LEDについて、主光が放射される基板に平行な
主面以外の面(非主面)から放射される放射光(非主
光)を、光源の周辺に配置した光学素子で結像光学系の
方向に反射あるいは屈折させて、基板に平行な主面から
放射される放射光(主光)と重ね、屈折方向あるいは反
射方向、あるいは反射率を制御する方式を用いたことで
ある。
面発光LEDについて、主光が放射される基板に平行な
主面以外の面(非主面)から放射される放射光(非主
光)を、光源の周辺に配置した光学素子で結像光学系の
方向に反射あるいは屈折させて、基板に平行な主面から
放射される放射光(主光)と重ね、屈折方向あるいは反
射方向、あるいは反射率を制御する方式を用いたことで
ある。
【作用】実施態様3のようにLED光源を直接制御する
のではなく、LEDの周辺に光学素子、例えばレンズや
ミラーなどを配置し、この光学素子で屈折あるいは反射
させることで、主面の光量が平坦からずれている部分を
補うよう光学素子を配置すれば、全体として放射角分布
を平坦化することができる。
のではなく、LEDの周辺に光学素子、例えばレンズや
ミラーなどを配置し、この光学素子で屈折あるいは反射
させることで、主面の光量が平坦からずれている部分を
補うよう光学素子を配置すれば、全体として放射角分布
を平坦化することができる。
【0012】
【実施態様5】実施態様5は上記実施態様1あるいは上
記実施態様4において、各LED素子の周辺に設けられ
た光学素子が面発光LEDの放射光軸に対して軸対称で
あり、前記光学素子により反射、屈折、あるいは透過率
を変調された光の放射分布が、放射光軸に対して軸対称
である方式を用いたことである。
記実施態様4において、各LED素子の周辺に設けられ
た光学素子が面発光LEDの放射光軸に対して軸対称で
あり、前記光学素子により反射、屈折、あるいは透過率
を変調された光の放射分布が、放射光軸に対して軸対称
である方式を用いたことである。
【作用】主光の放射分布は一般にランバート分布に近
く、光軸に対してほぼ回転対称性を有すると考えてよ
い。ところがLEDの形状によっては、非主面の放射角
分布が回転対称性を持たない場合があり、例えば長方体
のLEDの特定の側面が発光する場合がこれに当たる。
この場合は、非主面から放射される非主光の放射角分布
は光軸からずれた方向に偏るため、単純に非主光を主光
に重ねても回転対称性が得られず平坦化が難しい。この
実施態様のように放射光軸に対して軸対称な光学系を用
いると、光学系を経た後の放射角分布が軸対称に近く変
形され、この放射角分布を主光の放射角分布に重畳する
と、軸対称性を大幅に損なうことなく放射角分布の平坦
化が図られる。
く、光軸に対してほぼ回転対称性を有すると考えてよ
い。ところがLEDの形状によっては、非主面の放射角
分布が回転対称性を持たない場合があり、例えば長方体
のLEDの特定の側面が発光する場合がこれに当たる。
この場合は、非主面から放射される非主光の放射角分布
は光軸からずれた方向に偏るため、単純に非主光を主光
に重ねても回転対称性が得られず平坦化が難しい。この
実施態様のように放射光軸に対して軸対称な光学系を用
いると、光学系を経た後の放射角分布が軸対称に近く変
形され、この放射角分布を主光の放射角分布に重畳する
と、軸対称性を大幅に損なうことなく放射角分布の平坦
化が図られる。
【0013】
【実施態様6】実施態様6は、上記実施態様5に加え
て、各LED素子の周辺に設けられた光学素子が凹面鏡
である構成をとったことである。
て、各LED素子の周辺に設けられた光学素子が凹面鏡
である構成をとったことである。
【作用】LEDの製造プロセスの一部である電極形成や
エッチングといった工程でミラー構造体を作ることが容
易であるので、光学系として反射光学系を用いることが
製造工程の簡単化のために有利である。
エッチングといった工程でミラー構造体を作ることが容
易であるので、光学系として反射光学系を用いることが
製造工程の簡単化のために有利である。
【0014】
【実施例】次いで、図面を参照しながら本発明の実施例
を説明する。 〔実施例1〕この実施例1は上記実施態様2をさらに具
体的にした例であり、拡散型LEDの発光部を透過率を
変調(遮蔽)する膜として電極を用い、放射角分布を制
御するものである。 図1に示すLEDの断面を示し
てある。半導体基板1にLEDの発光部となる拡散領域
2を設け、絶縁膜3のコンタクトホール6を介して配線
電極4で拡散領域2と配線を行なう。また、図2にLE
Dの平面図(上面図)を示しめしてある。その絶縁膜3
には、大きさ10×16μmの拡散領域2に配線電極4
の引き出し方向に大きさ2×10μm、間隔12μmの
コンタクトホール5を2つ設けてあり、電流が図中左右
方向に対称になるように工夫している。大きさ8×8μ
mの光取出し窓10を介して発光領域である拡散領域2
から放射光11aが放射され、図3に示すように、基板
1の各LED6から放射された光が等倍結像系7の結像
レンズ8で集光され、感光体ドラム9の表面にLED6
の像を結ぶ。光取出し窓10の下は拡散領域2が遮蔽さ
れないため、拡散領域2中央の放射光11aは通常のラ
ンバート分布に近い分布になる。一方、コンタクトホー
ル5の直下付近の発光は配線電極4で一部覆い隠されて
いるので、基板垂直方向に放射される放射光11bは電
極で遮光されるが、斜め方向へ放射される放射光11c
は遮光されない。拡散領域2で生じる電圧降下のため、
コンタクトホール5の直下付近の発光が最も強くなりや
すいことから、コンタクトホール5から光取出し窓10
までの配線電極4による被覆長16(本実施例では2μ
m)で放射光11cの量を制御できる。例えば被覆長1
6が短いとコンタクトホール5近くの強い放射光11c
が取出されるため、垂直方向以外の方向の放射分布の強
度が増しやすくなるが、この場合は、拡散領域2の発光
効率と発光強度分布を考慮し配線電極4による被覆長1
6を制御して、全体として放射角分布が平坦になるよう
最適化する。この実施例1では、配線電極4の被覆長1
6だけで放射角分布を制御するため、光取出し窓10に
透過率を変調する膜を配線電極4で代用しており、製造
工程に余分な負担はない。なお、この実施例で放射角が
平坦化されるのは、配線電極4の取出し方向(図2の左
右方向)に限られ、それと垂直方向(図2の上下方向)
では放射角はほぼランバート分布となる。
を説明する。 〔実施例1〕この実施例1は上記実施態様2をさらに具
体的にした例であり、拡散型LEDの発光部を透過率を
変調(遮蔽)する膜として電極を用い、放射角分布を制
御するものである。 図1に示すLEDの断面を示し
てある。半導体基板1にLEDの発光部となる拡散領域
2を設け、絶縁膜3のコンタクトホール6を介して配線
電極4で拡散領域2と配線を行なう。また、図2にLE
Dの平面図(上面図)を示しめしてある。その絶縁膜3
には、大きさ10×16μmの拡散領域2に配線電極4
の引き出し方向に大きさ2×10μm、間隔12μmの
コンタクトホール5を2つ設けてあり、電流が図中左右
方向に対称になるように工夫している。大きさ8×8μ
mの光取出し窓10を介して発光領域である拡散領域2
から放射光11aが放射され、図3に示すように、基板
1の各LED6から放射された光が等倍結像系7の結像
レンズ8で集光され、感光体ドラム9の表面にLED6
の像を結ぶ。光取出し窓10の下は拡散領域2が遮蔽さ
れないため、拡散領域2中央の放射光11aは通常のラ
ンバート分布に近い分布になる。一方、コンタクトホー
ル5の直下付近の発光は配線電極4で一部覆い隠されて
いるので、基板垂直方向に放射される放射光11bは電
極で遮光されるが、斜め方向へ放射される放射光11c
は遮光されない。拡散領域2で生じる電圧降下のため、
コンタクトホール5の直下付近の発光が最も強くなりや
すいことから、コンタクトホール5から光取出し窓10
までの配線電極4による被覆長16(本実施例では2μ
m)で放射光11cの量を制御できる。例えば被覆長1
6が短いとコンタクトホール5近くの強い放射光11c
が取出されるため、垂直方向以外の方向の放射分布の強
度が増しやすくなるが、この場合は、拡散領域2の発光
効率と発光強度分布を考慮し配線電極4による被覆長1
6を制御して、全体として放射角分布が平坦になるよう
最適化する。この実施例1では、配線電極4の被覆長1
6だけで放射角分布を制御するため、光取出し窓10に
透過率を変調する膜を配線電極4で代用しており、製造
工程に余分な負担はない。なお、この実施例で放射角が
平坦化されるのは、配線電極4の取出し方向(図2の左
右方向)に限られ、それと垂直方向(図2の上下方向)
では放射角はほぼランバート分布となる。
【0015】〔実施例2〕実施例2は、実施態様2、実
施態様3をさらに具体的にした例であり、基板から突出
した発光部を持つLEDの発光部の側面から放射される
光をLEDの主面から放射される主光に重畳させて、全
体として放射角分布を平坦化するものである。図4の基
板を含むLEDの断面図で示すように、半導体基板1に
エピタキシャル成長で形成された発光層12に対して、
配線電極4で電極を形成する。なお、ここでは分かりや
すくするため実施例1で示した絶縁膜やコンタクトホー
ルなどは省略してある。図4の断面図および、上面図で
ある図5に示すように、配線電極4の引き出し方向(図
4,5の左右方向)の発光層の側面は、配線電極4で遮
光されている。配線電極4の引き出し方向と直交方向
(図5の上下方向)は配線電極4で遮光されていないの
で、光取出し窓10から放射される放射光とともに発光
層12の側面の放射光が重畳される。図6は図5の発光
層を上下方向に切断した断面図であるが、光取出し窓1
0から放射された放射光11aと、発光層12の横から
放射される放射光11dの両方が基板垂直方向に寄与す
るため、LEDの放射角分布は全体として、この2つの
放射光の重ね合わせとなる。発光層12から外部に取出
される放射光11dの強度は、取出される面積に依存し
て増減する。例えば光取出し窓の大きさが10μm角の
場合、3μmの厚さで発光層を形成すると、発光層12
の側面の放射光11dが光取出し窓から放射される放射
光11aに対して約30%の大きさになる。このとき、
図5の上下方向では、概ね放射角分布が光軸方向近傍で
平坦になる。
施態様3をさらに具体的にした例であり、基板から突出
した発光部を持つLEDの発光部の側面から放射される
光をLEDの主面から放射される主光に重畳させて、全
体として放射角分布を平坦化するものである。図4の基
板を含むLEDの断面図で示すように、半導体基板1に
エピタキシャル成長で形成された発光層12に対して、
配線電極4で電極を形成する。なお、ここでは分かりや
すくするため実施例1で示した絶縁膜やコンタクトホー
ルなどは省略してある。図4の断面図および、上面図で
ある図5に示すように、配線電極4の引き出し方向(図
4,5の左右方向)の発光層の側面は、配線電極4で遮
光されている。配線電極4の引き出し方向と直交方向
(図5の上下方向)は配線電極4で遮光されていないの
で、光取出し窓10から放射される放射光とともに発光
層12の側面の放射光が重畳される。図6は図5の発光
層を上下方向に切断した断面図であるが、光取出し窓1
0から放射された放射光11aと、発光層12の横から
放射される放射光11dの両方が基板垂直方向に寄与す
るため、LEDの放射角分布は全体として、この2つの
放射光の重ね合わせとなる。発光層12から外部に取出
される放射光11dの強度は、取出される面積に依存し
て増減する。例えば光取出し窓の大きさが10μm角の
場合、3μmの厚さで発光層を形成すると、発光層12
の側面の放射光11dが光取出し窓から放射される放射
光11aに対して約30%の大きさになる。このとき、
図5の上下方向では、概ね放射角分布が光軸方向近傍で
平坦になる。
【0016】〔実施例3〕実施例3は、上記実施態様4
をさらに具体化した例であり、基板から突出した発光部
を持つLEDの発光部の側面から放射される光を、LE
Dの側面に設けられた平板反射ミラーで反射させ、放射
角分布を平坦化させるものである。なお、発光部の構造
は実施例2と共通である。図7(a)に示すように、ま
ずGaAs半導体基板1に厚さ5μmのAlGaAs半
導体層をエピタキシャル成長し、基板までエッチングす
ることで、大きさ10×16μmの発光部13と、発光
部13から2μm離した大きさ9×20μmのミラー部
14に分離する。次に図7bのように、発光部13だけ
をさらに2μmエッチングして発光部13の高さを3μ
mに調整する。さらに図7cに示すように、ミラー部1
4の側面だけを60度にエッチングして、反射ミラー1
5のミラー面15aを形成する。図8の上面図に示すよ
うに、反射ミラー15はLEDの間に位置している。光
取出し窓10の大きさは10×10μmである。図9に
示すように、反射ミラー15の厚さが発光層の高さに近
いため、光取出し窓10から放射される放射光11aで
はなく、主に発光層12の側面から放射される放射光1
1eだけが反射ミラー15で反射される。発光層12の
屈折率は3.4から3.6程度であり反射率が約30%
となる。この反射率条件で光軸周辺方向の放射角分布が
ほぼ平坦化されるため、半導体で形成された反射ミラー
15のミラー面15aに反射膜を設ける必要がなく、製
造工程が簡単化される。さらに工程を簡略化したい場合
は、反射ミラー15の高さを発光層と同じにして、図7
(b)のエッチングの工程を省略する。ただし、この場
合はミラー面15aで反射される光量が減少する。
をさらに具体化した例であり、基板から突出した発光部
を持つLEDの発光部の側面から放射される光を、LE
Dの側面に設けられた平板反射ミラーで反射させ、放射
角分布を平坦化させるものである。なお、発光部の構造
は実施例2と共通である。図7(a)に示すように、ま
ずGaAs半導体基板1に厚さ5μmのAlGaAs半
導体層をエピタキシャル成長し、基板までエッチングす
ることで、大きさ10×16μmの発光部13と、発光
部13から2μm離した大きさ9×20μmのミラー部
14に分離する。次に図7bのように、発光部13だけ
をさらに2μmエッチングして発光部13の高さを3μ
mに調整する。さらに図7cに示すように、ミラー部1
4の側面だけを60度にエッチングして、反射ミラー1
5のミラー面15aを形成する。図8の上面図に示すよ
うに、反射ミラー15はLEDの間に位置している。光
取出し窓10の大きさは10×10μmである。図9に
示すように、反射ミラー15の厚さが発光層の高さに近
いため、光取出し窓10から放射される放射光11aで
はなく、主に発光層12の側面から放射される放射光1
1eだけが反射ミラー15で反射される。発光層12の
屈折率は3.4から3.6程度であり反射率が約30%
となる。この反射率条件で光軸周辺方向の放射角分布が
ほぼ平坦化されるため、半導体で形成された反射ミラー
15のミラー面15aに反射膜を設ける必要がなく、製
造工程が簡単化される。さらに工程を簡略化したい場合
は、反射ミラー15の高さを発光層と同じにして、図7
(b)のエッチングの工程を省略する。ただし、この場
合はミラー面15aで反射される光量が減少する。
【0017】〔実施例4〕実施例4は上記の実施態様
4、実施態様6を具体化した例であり、基板から突出し
た発光部を持つLEDの発光部の側面から放射される光
を、LEDの側面に設けられた反射ミラーで反射させ、
放射角分布を平坦化させるものである。なお、実施例3
と異なり、反射ミラーはLEDの中心を通る光軸に対し
て軸対称に近い構造である。発光部の構造は実施例2と
共通である。反射ミラーを含む製造工程は実施例3と共
通であるが、半導体基板1を上からみた場合、図10に
示すように、反射ミラー15が光取出し窓10の中心を
通り光軸に対して、軸対称構造をもつ凹面ミラーとなっ
ている。反射ミラー15が基板に垂直な光軸方向に対し
て部分的に軸対称性を保持しているので、発光層12の
側面から放射される放射光11eが、光軸方向に集光さ
れて、放射光11eの放射角分布が軸対称に近くなる。
そのため、放射光11aと放射光11eを重ねても、放
射角分布が平坦化されるだけでなく、光軸に対する軸対
称性がくずれ難い。そのため、結像光学系7で感光体ド
ラム面9に結像されたLEDの像が、結像レンズ8の収
差の入射角依存性に起因して変形する効果を抑制するこ
とができる。
4、実施態様6を具体化した例であり、基板から突出し
た発光部を持つLEDの発光部の側面から放射される光
を、LEDの側面に設けられた反射ミラーで反射させ、
放射角分布を平坦化させるものである。なお、実施例3
と異なり、反射ミラーはLEDの中心を通る光軸に対し
て軸対称に近い構造である。発光部の構造は実施例2と
共通である。反射ミラーを含む製造工程は実施例3と共
通であるが、半導体基板1を上からみた場合、図10に
示すように、反射ミラー15が光取出し窓10の中心を
通り光軸に対して、軸対称構造をもつ凹面ミラーとなっ
ている。反射ミラー15が基板に垂直な光軸方向に対し
て部分的に軸対称性を保持しているので、発光層12の
側面から放射される放射光11eが、光軸方向に集光さ
れて、放射光11eの放射角分布が軸対称に近くなる。
そのため、放射光11aと放射光11eを重ねても、放
射角分布が平坦化されるだけでなく、光軸に対する軸対
称性がくずれ難い。そのため、結像光学系7で感光体ド
ラム面9に結像されたLEDの像が、結像レンズ8の収
差の入射角依存性に起因して変形する効果を抑制するこ
とができる。
【0018】
【効果】本発明の効果を、各請求項に係る発明毎に整理
すると次ぎの通りである。 (1)請求項1に係る発明について 請求項1に係る発明は、LEDプリントヘッドの結像光
学系とLEDアレイ素子が光学的に結合する視野角度範
囲内で、各LED素子の放射角分布を平坦化(概ね平坦
化)するため、レンズアレイの各々の光軸が取り付け精
度などの理由で本来の光軸からずれた場合でも、結像光
学系の光軸傾きに起因した画像劣化を抑制できる。
すると次ぎの通りである。 (1)請求項1に係る発明について 請求項1に係る発明は、LEDプリントヘッドの結像光
学系とLEDアレイ素子が光学的に結合する視野角度範
囲内で、各LED素子の放射角分布を平坦化(概ね平坦
化)するため、レンズアレイの各々の光軸が取り付け精
度などの理由で本来の光軸からずれた場合でも、結像光
学系の光軸傾きに起因した画像劣化を抑制できる。
【0019】(2)請求項2に係る発明について 請求項2に係る発明は、LED基板に設けられた面発光
LEDの基板に平行な面から放射される主光の一部を、
各LED素子の周辺に設けられた光学素子で反射、ある
いは屈折、あるいは透過率を変調して重畳することで放
射角の平坦化しているので、亜鉛拡散などで製作された
LEDのように主光だけしか放射されない場合にも、放
射角を平坦化する手法を適用できる。
LEDの基板に平行な面から放射される主光の一部を、
各LED素子の周辺に設けられた光学素子で反射、ある
いは屈折、あるいは透過率を変調して重畳することで放
射角の平坦化しているので、亜鉛拡散などで製作された
LEDのように主光だけしか放射されない場合にも、放
射角を平坦化する手法を適用できる。
【0020】(3)請求項3に係る発明について 請求項3に係る発明は、請求項2の透過率を変調する方
法として、LED基板面内に発光部をもつ面発光LED
において、発光部の全体あるいは一部を光透過率を変調
する膜で被覆する構造を用いているので、LEDの電極
や保護膜のパターンや厚さを制御するだけでよいから製
造が容易である。
法として、LED基板面内に発光部をもつ面発光LED
において、発光部の全体あるいは一部を光透過率を変調
する膜で被覆する構造を用いているので、LEDの電極
や保護膜のパターンや厚さを制御するだけでよいから製
造が容易である。
【0021】(4)請求項4に係る発明について 請求項4に係る発明は、請求項2に係る発明が主光を利
用するのに対し、主光以外の光を重畳し、非主面の発光
面の面積、あるいは角度、あるいは発光面に設けた膜の
透過率を制御することで平坦化しているので、LEDの
製造プロセス技術、例えばエッチング、エピタキシャル
成長、表面保護膜形成と親和性が良く、放射角分布の平
坦化を容易に実現することができる。
用するのに対し、主光以外の光を重畳し、非主面の発光
面の面積、あるいは角度、あるいは発光面に設けた膜の
透過率を制御することで平坦化しているので、LEDの
製造プロセス技術、例えばエッチング、エピタキシャル
成長、表面保護膜形成と親和性が良く、放射角分布の平
坦化を容易に実現することができる。
【0022】(5)請求項5に係る発明について 請求項に係る発明は、請求項4に係る発明のようにLE
D光源自体の構造を直接制御するのではなく、放射角分
布を平坦化するためLEDの周辺に配置した光学素子で
屈折あるいは反射させているので、放射角分布制御の範
囲が広がる利点を有する。
D光源自体の構造を直接制御するのではなく、放射角分
布を平坦化するためLEDの周辺に配置した光学素子で
屈折あるいは反射させているので、放射角分布制御の範
囲が広がる利点を有する。
【0023】(6)請求項6に係る発明について 請求項6に係る発明は、請求項2に係る発明あるいは請
求項5に係る発明では各LED素子の周辺に設けられた
光学素子が面発光LEDの放射光軸に対して軸対称であ
るため、放射角分布を主光の光軸に軸対称にしやすく、
結像光学系で結像された像の光軸対称性が軸対称でビー
ム幅のばらつきが少なくなる利点を有する。
求項5に係る発明では各LED素子の周辺に設けられた
光学素子が面発光LEDの放射光軸に対して軸対称であ
るため、放射角分布を主光の光軸に軸対称にしやすく、
結像光学系で結像された像の光軸対称性が軸対称でビー
ム幅のばらつきが少なくなる利点を有する。
【0024】(7)請求項7に係る発明について 請求項7に係る発明は、請求項6に係る発明における各
LED素子の周辺に設けられた光学素子が、凹面鏡であ
る構成をとっているため、LEDの製造プロセスの一部
である電極形成やエッチングといった工程でミラー構造
体を作ることが容易であり、製造工程を簡単化できる利
点がある。
LED素子の周辺に設けられた光学素子が、凹面鏡であ
る構成をとっているため、LEDの製造プロセスの一部
である電極形成やエッチングといった工程でミラー構造
体を作ることが容易であり、製造工程を簡単化できる利
点がある。
【図1】は実施例1のLEDの断面図である。
【図2】は実施例1のLEDの平面図(上面図)であ
る。
る。
【図3】は実施例1全体の斜視図である。
【図4】は実施例2の基板を含むLEDの断面図であ
る。
る。
【図5】は図4のLEDの平面図(上面図)である。
【図6】は図5の発光層を縦に切断した断面図である。
【図7】(a),(b),(c)は実施例3のミラー部
及び発光部の各製造工程を示す正面図である。
及び発光部の各製造工程を示す正面図である。
【図8】は実施例3のミラー部及び発光部の平面図(上
面図)である。
面図)である。
【図9】は実施例3の作動状態を示す正面図である。
【図10】は実施例4の平面図である。
【図11】は従来の光プリンタにおける感光ドラム及び
光学系の模式図である。
光学系の模式図である。
【図12】(a)は従来のLEDの平面図であり、
(b)は(a)におけるAーA断面図である。
(b)は(a)におけるAーA断面図である。
【図13】(a)は他の従来の発光素子アレイの平面図
であり、(b)は(a)におけるAーA断面図である。 実施例における符号の説明 1:基板 2:拡散領域 3:絶縁膜 4:配線電極 5:コンタクトホール 6:LED 7:結像光学系 8:結像レンズ 9:感光体ドラム 10:光取出し窓 11a,11b,11c:放射光 12:発光層 13:発光部 14:ミラー部 15:反射ミラー 15a:ミラー面 16:被覆長
であり、(b)は(a)におけるAーA断面図である。 実施例における符号の説明 1:基板 2:拡散領域 3:絶縁膜 4:配線電極 5:コンタクトホール 6:LED 7:結像光学系 8:結像レンズ 9:感光体ドラム 10:光取出し窓 11a,11b,11c:放射光 12:発光層 13:発光部 14:ミラー部 15:反射ミラー 15a:ミラー面 16:被覆長
Claims (7)
- 【請求項1】LEDプリントヘッドの結像光学系とLE
Dアレイ素子において、結像光学系とLEDアレイ素子
が光学的に結合する視野角度範囲内で、各LED素子の
放射角分布が平坦であることを特徴としたLEDプリン
トヘッド。 - 【請求項2】LED基板に設けられた面発光LEDの基
板に平行な面から放射される主光の一部を、各LED素
子の周辺に設けられた光学素子で反射、あるいは屈折、
あるいは透過率を変調して重畳することにより、結像光
学系の視野内の放射角分布を平坦化することを特徴とす
る、請求項1のLEDプリントヘッド。 - 【請求項3】LED基板面内に発光部をもつ面発光LE
Dにおいて、発光部の全体あるいは一部を光透過率を変
調する膜で被覆することで、放射角分布を平坦化するこ
とを特徴とする、請求項2のLEDプリントヘッド。 - 【請求項4】LED基板に設けられた面発光LEDにお
いて、主光が放射される基板に平行な主面以外の面(非
主面)から放射される光(非主光)を主光に重畳し、非
主面の発光面の面積、あるいは角度、あるいは発光面に
設けた膜の透過率を制御することで、結像光学系の視野
内の放射角分布を平坦化することを特徴とする、請求項
1のLEDプリントヘッド。 - 【請求項5】LED基板に設けられた面発光LEDにお
いて、主光が放射される基板に平行な主面以外の面(非
主面)から放射される放射光(非主光)を、光源の周辺
に配置した光学素子で結像光学系の方向に反射あるいは
屈折させて、基板に平行な主面から放射される放射光
(主光)と重ね、屈折方向あるいは反射方向、あるいは
反射率を制御することで、結像光学系の視野内の放射角
分布を平坦化することを特徴とする、請求項1のLED
プリントヘッド。 - 【請求項6】各LED素子の周辺に設けられた光学素子
が面発光LEDの放射光軸に対して軸対称であり、前記
光学素子により反射、屈折、あるいは透過率を変調され
た光の放射分布が、放射光軸に対して軸対称であること
を特徴とする、請求項2又は請求項5のLEDプリント
ヘッド。 - 【請求項7】各LED素子の周辺に設けられた光学素子
が凹面鏡である、請求項6のLEDプリントヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15675399A JP2000343751A (ja) | 1999-06-03 | 1999-06-03 | Ledプリントヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15675399A JP2000343751A (ja) | 1999-06-03 | 1999-06-03 | Ledプリントヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000343751A true JP2000343751A (ja) | 2000-12-12 |
Family
ID=15634574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15675399A Pending JP2000343751A (ja) | 1999-06-03 | 1999-06-03 | Ledプリントヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000343751A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004207519A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Toyoda Gosei Co Ltd | 発光装置 |
| JP2010040861A (ja) * | 2008-08-06 | 2010-02-18 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 発光装置 |
-
1999
- 1999-06-03 JP JP15675399A patent/JP2000343751A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004207519A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Toyoda Gosei Co Ltd | 発光装置 |
| JP2010040861A (ja) * | 2008-08-06 | 2010-02-18 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 発光装置 |
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