JP2000340631A - ウェーハ搬送用台車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】台車を用いたウェーハの各種工程間の搬送を行
う際に、ウェーハの汚染を極力防止することが可能で、
かつ仕様が異なるウェーハ保持具の搬送に共用可能なウ
ェーハ搬送用台車を提供する。 【解決手段】ウェーハ保持具６１、６５を収納する収納
空間部３と、ウェーハ保持具６１、６５を収納空間部３
内で移動可能に保持する複数の収納空間内保持機構部３
１、４１と、収納空間部３内で移動可能かつ収納空間部
３外に移動可能なウェーハ保持具６１、６５を保持する
移載用保持機構１１とを具備し、移載用保持機構１１と
複数の収納空間内保持手段３１、４１のうち任意の収納
空間内保持機構との協動によってウェーハ保持具６１、
６５の受け渡しを行い、ウェーハ保持具６１、６５を各
処理工程に設置された処理装置と収納空間部３との間で
移載する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウェーハをクリー
ン室内で搬送するのに用いるウェハ搬送用台車に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程における、たとえ
ば、ウェーハプロセスでは、コンタミネーションを避け
るため、ウェーハに対して所定の処理を施す処理設備は
クリーンルーム内に設置される。クリーンルーム内での
ウェーハの搬送は、たとえば、ウェーハカセット等のウ
ェーハ保持具にウェーハを収容し、これを各種処理装置
間で搬送することにより行なわれる。従来において、た
とえば、直径が２００ｍｍにウェーハの搬送システムで
は、天井搬送用モノレール、床上搬送用無人車、床上搬
送用ロボットアーム付き無人車等の自動化された搬送手
段を用いた搬送システムが構築されてきた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、たとえ
ば、直径が３００ｍｍのウェーハのようにウェーハの大
径化に伴って上記のような自動化された搬送システムを
構築すると、搬送設備の大型化、設備投資額の増大等の
不利益があった。また、従来においてウェーハを保持す
るウェーハカセットは、たとえば、クリーンルーム内の
雰囲気に晒した状態で搬送するオープン式のカセット
と、ウェーハを密閉状態で搬送する密閉式のカセットを
作業内容に応じて使い分けており、これら仕様の異なる
ウェーハカセットにそれぞれ専用の搬送手段が必要であ
り、固定化されたフレキシビリティが少ない搬送システ
ムであった。一方、製品のライフサイクルが短くなり需
要に即応するには、自動化された搬送手段によって搬送
を行うよりも、人中心の搬送のほうが対応しやすい。こ
のため、人力による台車を用いたウェーハの搬送が行わ
れるようになった。しかし、台車を用いたウェーハの搬
送では、人によってウェーハの移載が行われるため、人
からの発塵が半導体装置の品質に大きな影響を与え、特
に、近年の半導体チップの微細化、高集積化が進む中で
は顕著であった。たとえば、従来においては、ウェーハ
に所定の処理を施す処理装置へのウェーハの投入、排出
は、たとえば、作業者がウェーハをウェーハカセット単
位で行っていたため、ウェーハが作業者の発塵によって
汚染される可能性が高かった。

【０００４】本発明は、上述の不利益を解消すべくなさ
れたものであって、台車を用いたウェーハの各種工程間
の搬送を行う際に、ウェーハの汚染を極力防止すること
が可能で、仕様が異なるウェーハ保持具の搬送に共用可
能で、簡易にかつ安価にウェーハ搬送システムを構築可
能なウェーハ搬送用台車を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、ウェーハを収
納保持するウェーハ保持具を所定の処理工程間で搬送す
るウェーハ搬送用台車であって、前記ウェーハ保持具を
収納する収納空間部と、前記ウェーハ保持具を前記収納
空間部内で独立に移動可能に保持する複数の収納空間内
保持手段と、前記収納空間部内で移動可能かつ前記収納
空間部外に移動可能な前記ウェーハ保持具を保持する移
載用保持手段とを具備し、前記移載用保持手段と前記複
数の収納空間内保持手段のうち任意の収納空間内保持手
段との協動によって前記ウェーハ保持具の受け渡しを行
い、前記ウェーハ保持具を前記各処理工程に設置された
処理装置と前記収納空間部との間で移載する。

【０００６】前記移載用保持手段は、仕様の異なる複数
種類のウェーハ保持具を前記収納空間部と前記処理装置
との間で移載可能である。

【０００７】前記ウェーハ保持具は、被保持部がそれぞ
れ異なる複数のウェーハ保持具からなり、前記移載用保
持手段は、前記複数のウェーハ保持具の各被保持部をそ
れぞれ保持可能な複数の保持アームを具備する保持アー
ム部を有する。

【０００８】前記ウェーハ保持具は、前記ウェーハを密
閉状態で収容保持する第１のウェーハ保持具と、前記ウ
ェーハを雰囲気に晒した状態で収容保持する第２のウェ
ーハ保持具とからなり、前記第１および第２のウェーハ
保持具の被保持部は、それぞれ異なる位置に設けられて
いる。

【０００９】前記移載用保持手段の保持アーム部は、前
記第１および第２のウェーハ保持具の被保持部を保持す
る第１および第２の保持アームを備えている。

【００１０】前記移載用保持手段は、前記保持アーム部
を前記収納空間部の有する出入口に対して出入する出入
方向にスライドさせるスライド機構と、前記保持アーム
部を前記収納空間部内で所定の昇降方向に昇降させる昇
降機構と、を具備し、前記収納空間内保持手段は、前記
ウェーハ保持具を載置保持可能な第１および第２の可動
部材と、前記第１の可動部材を前記収納空間部内で前記
出入方向にスライドさせるスライド機構と、前記第２の
可動部材を前記収納空間部内で前記昇降方向に移動させ
る昇降機構とを具備する。

【００１１】また、本発明は、前記移載用保持手段の保
持アーム部と前記第１または第２の可動部材との間の前
記ウェーハ保持具の受け渡し動作を前記保持アーム部と
前記第１および第２の可動部材とのスライド動作および
昇降動作の組合せによって行う。

【００１２】本発明のウェーハ搬送用台車では、各処理
装置間のウェーハの搬送は、ウェーハを保持収納したウ
ェーハ保持具を収納空間部にある複数の収納空間内保持
手段に保持させた状態、すなわち、収納空間部に収納し
た状態で、作業者がウェーハ搬送用台車を移動させるこ
とで行われる。ウェーハ搬送用台車を一の処理装置に移
動すると、ウェーハ搬送用台車は、収納空間部の複数の
収納空間内保持手段に保持された任意のウェーハ保持具
が移載用保持手段に受け渡され、移載用保持手段が選択
されたウェーハ保持具を処理装置に移載する。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図１は、本発明のウェーハ
搬送用台車の一実施形態を示す構成図であり、（ａ）は
前面図であり、（ｂ）は側面図である。図１に示すよう
に、本実施形態に係るウェーハ搬送用台車１は、ケース
２に囲まれた収納空間部３と、移載用保持機構部１１
と、第１の収納空間保持機構部３１と、第２の収納空間
保持機構部４１とを有している。

【００１４】収納空間部３は、後述するウェーハを収納
保持するウェーハ保持具を収納するための空間であり、
ウェーハ搬送用台車１のケース２によって囲まれている
ため、収納空間部３には外部からの塵等が侵入しにくく
なっている。収納空間部３の一側面には、ウェーハ保持
具を収納空間部３内から外部に排出し、かつ収納空間部
３内に投入するための出入口５が開口している。

【００１５】また、ウェーハ搬送用台車１のケース２の
下部には、複数（４個）の車輪７０が回動自在に設けら
れており、ウェーハ搬送用台車１を手動で移動させるこ
とができる。これら車輪７０は、例えば、ウレタン系の
材料等の比較的軟らかい材料から形成され、ウェーハ搬
送用台車１への振動を和らげている。

【００１６】ここで、図２は移載用保持機構部１１の構
造を示す図であって、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は
側面図である。図２に示すように、移載用保持機構部１
１は、アーム昇降用フレーム１５と、保持アーム部１２
とを有しており、アーム昇降用フレーム１５は４本のリ
ニアガイド８に沿って矢印Ｂ１およびＢ２方向に移動自
在に保持されている。また、アーム昇降用フレーム１５
はリニアガイド８に対して平行となるように、かつ、回
転自在に設けられたボールネジ１６と螺合連結されてお
り、ボールネジ１６は図示しない伝達機構を介して駆動
モータ１７に接続されている。ボールネジ１６は駆動モ
ータ１７によって回転駆動され、アーム昇降用フレーム
１５が矢印Ｂ１およびＢ２方向に昇降する。

【００１７】保持アーム部１２は、リニアガイド２０に
よってアーム昇降用フレーム１５に対して矢印Ａ１およ
びＡ２方向に移動自在に保持されている。また、保持ア
ーム部１２は、たとえば、ラックおよびピニオン等から
なる伝達手段によって駆動モータ１８と接続されてお
り、駆動モータ１８の回転駆動によって略水平方向であ
る矢印Ａ１およびＡ２にスライドする。

【００１８】保持アーム部１２は、ウェーハ保持具を保
持するための第１および第２の保持アーム１３、１４を
有している。第１の保持アーム１３は、保持アーム部１
２のフレームに対して略水平方向に延びており、先端に
互いに平行な２つのフォーク部１３ａを備えている。第
２の保持アーム１４は、互いに平行な２本のアームから
なり、図２（ａ）に示すように、第１の保持アーム１３
の両側に配置されている。

【００１９】図３および図４は、保持アーム部１２によ
って、それぞれ異なる仕様のウェーハ保持具６１、６２
を保持した状態を示す図であり、（ａ）は前面図であ
り、（ｂ）は側面図である。図３に示すウェーハ保持具
６１は、上面にホルダ部６２が設けられている。ホルダ
部６２のネック部６１ｂに対して第１の保持アーム１３
を２つのフォーク部１３ａで挟むように挿入し、第１の
保持アーム１３を上昇させることにより、ホルダ部６２
は２つのフォーク部１３ａによって保持される。

【００２０】図４に示すウェーハ保持具６５は、底部の
両側に沿って２本の第２の保持アーム１４が嵌まる溝部
６５ａが設けられている。第２の保持アーム１４をウェ
ーハ保持具６５に底部に位置させ、第２の保持アーム１
４をウェーハ保持具６５に対してスライドさせることに
より、ウェーハ保持具６５は第２の保持アーム１４によ
って保持される。

【００２１】上記したウェーハ保持具６１は、たとえ
ば、図示しない開閉蓋を有し、内部にウェーハを収納
し、開閉蓋を閉じることによりウェーハを密閉状態で搬
送することができるタイプのものを用いることができ
る。また、ウェーハ保持具６５は、たとえば、いわゆる
オープンカセットと呼ばれる、ウェーハをクリーンルー
ムの雰囲気に晒した状態でウェーハを収容保持するもの
を用いることができる。

【００２２】図５は、第１の収納空間保持機構部３１の
構造を示す図であって、（ａ）は上面図であり、（ｂ）
は側面図である。図５に示すように、第１の収納空間保
持機構部３１は、ウェーハ保持具６１、６を載置保持す
る可動板３２と、可動板３２を略水平方向である矢印Ｃ
１およびＣ２方向に移動自在に保持するリニアガイド３
３と、可動板３２を駆動するための駆動モータ３４とを
有している。可動板３２と駆動モータ３４は、たとえ
ば、ラックとピニオンからなる伝達機構によって接続さ
れ、可動板３２は、駆動モータ３４の回転駆動によって
矢印Ｃ１およびＣ２方向に駆動される。

【００２３】図６は、第２の収納空間保持機構部４１の
構造を示す図であって、（ａ）は上面図であり、（ｂ）
は側面図である。図６に示すように、第２の収納空間保
持機構部４１は、ウェーハ保持具６１、６を載置保持す
る可動板４２と、可動板４２を矢印Ｄ１およびＤ２方向
に移動自在に保持するリニアガイド４７と、リニアガイ
ド４７に平行に回転自在に設けられたボールネジ４６
と、ボールネジ４６を回転駆動する駆動モータ４４とを
有する。

【００２４】可動板４２は、ボールネジ４６に螺合連結
されており、ボールネジ４６が回転することによって矢
印Ｄ１およびＤ２方向に昇降する。ボールネジ４６は、
ベルト４５を介して駆動モータ４４と連結されており、
駆動モータ４４の回転駆動によって駆動される。

【００２５】次に、上記構成のウェーハ搬送用台車１の
動作の一例について図７〜図１２を参照して説明する。
ウェーハの加工工程では、ウェーハを比較的高いクリー
ン度の下で取り扱う必要がある工程と、比較的低いクリ
ーン度の下で処理が行われ、ウェーハをクリーンルーム
の雰囲気に晒した状態で搬送可能な工程とが存在する。
このため、高いクリーン度を要する工程では、たとえ
ば、上記したウェーハを密閉状態で搬送することができ
るウェーハ保持具６１が用いられる。また、ウェーハを
クリーンルームの雰囲気に晒してもよい工程では、たと
えば、上記したオープンカセットのようなウェーハ保持
具６５が用いられる。

【００２６】収納動作 まず、ウェーハに対して処理を行う処理装置に存在する
ウェーハ保持具６１（または６５）のウェーハ搬送用台
車１への収納動作について説明する。たとえば、作業者
がウェーハ搬送用台車１を押して移動し、ウェーハ搬送
用台車１に収納すべきウェーハ保持具６１（または６
５）が存在する処理装置に移動させる。次いで、図７に
示すように、保持アーム部１２を駆動して矢印Ａ１の向
きにスライドさせ、出入口５を通じて収納空間部３から
突出させ、保持アーム部１２を処理装置のアンロードポ
ートにあるウェーハ保持具６１（または６５）に対して
スライドさせて保持アーム１３または１４によってウェ
ーハ保持具６１（または６５）を保持する。次いで、保
持アーム部１２を矢印Ａ２方向にスライドさせて、保持
しているウェーハ保持具６１（または６５）を収納空間
部３内に収容する。

【００２７】第１の可動板３２への移載動作 ウェーハ保持具６１（または６５）を第１の可動板３２
上に移載する場合には、図８に示すように、第１の可動
板３２を矢印Ｃ１の向きにスライドさせ、第１の可動板
３２を収納空間部３内の出入口５側の所定の位置まで移
動させる。保持アーム部１２は、出入口５側の所定の位
置まで移動した第１の可動板３２の上方に位置させてお
り、アーム昇降用フレーム１５を矢印Ｂ１の向きに下降
させていく。

【００２８】アーム昇降用フレーム１５の下降によって
保持アーム部１２が所定の位置に達すると、保持アーム
部１２によって保持されたウェーハ保持具６１（または
６５）が第１の可動板３２上に載置される。この状態か
ら、保持アーム部１２を出入口５とは反対側の方向、す
なわち、矢印Ａ２の向きにスライドさせ、さらに、アー
ム昇降用フレーム１５を原位置に上昇させ、第１の可動
板３２を出入口５とは反対側の終端位置にスライドさせ
ると、図９に示すように、ウェーハ保持具６１（または
６５）の第１の可動板３２への移載が完了する。

【００２９】第２の可動板４２への移載動作 ウェーハ保持具６１（または６５）を第２の可動板４２
へ移載する場合には、図１０に示すように、第２の可動
板４２を矢印Ｄ１の向きに上昇させ、上方に位置する保
持アーム部１２に保持されたウェーハ保持具６１（また
は６５）を第２の可動板４２上に載置させる。この状態
から、保持アーム部１２を出入口５とは反対側の終端位
置までスライドさせることにより、図１０に示す状態と
なる。ウェーハ保持具６１（または６５）を載置保持し
た第２の可動板４２を原位置まで下降させることによ
り、ウェーハ保持具６１（または６５）の第２の可動板
４２への移載が完了する。

【００３０】排出動作 次に、第１または第２の可動板３２、４２上に保持さ
れ、収納空間部３内に収納されたウェーハ保持具６１
（または６５）を排出して、処理装置のロードポートに
移載する動作について説明する。

【００３１】第１の可動板３２からの排出動作 第１の可動板３２に載置保持された状態のウェーハ保持
具６１（または６５）を出入口５を通じて収納空間部３
から排出し、処理装置のロードポートに移載する場合に
は、図１１に示すように、ウェーハ保持具６１（または
６５）を保持した状態にある第１の可動板３２を出入口
５側の終端位置までスライドさせる。原位置にあるアー
ム昇降用フレーム１５において、保持アーム部１２を出
入口５とは反対側の終端位置までスライドさせた状態に
し、アーム昇降用フレーム１５を下降させ、保持アーム
部１２の保持アーム１３または１４が第１の可動板３２
に保持されたウェーハ保持具６１（または６５）を受け
渡し可能な位置に位置決めし、図１１に示す状態にす
る。

【００３２】この状態から、保持アーム部１２を出入口
５側である矢印Ａ１の向きにスライドさせ、ウェーハ保
持具６１（または６５）を第１の可動板３２から保持ア
ーム部１２に移載する。ウェーハ保持具６１（または６
５）が移載された保持アーム部１２を出入口５まで上昇
させ、保持アーム部１２を出入口５を通じて収納空間部
３の外にスライドさせることにより、ウェーハ保持具６
１（または６５）の処理装置のロードポートへの移載が
行われる。

【００３３】第２の可動板４２からの排出動作 第２の可動板４２に載置保持された状態のウェーハ保持
具６１（または６５）を出入口５を通じて収納空間部３
から排出し、処理装置のロードポートに移載する場合に
は、まず、保持アーム部１２を出入口５とは反対側の終
端位置までスライドさせて退避させておき、図１２に示
すように、ウェーハ保持具６１（または６５）を保持し
た状態にある第２の可動板４２を出入口５の位置まで上
昇させ、図１２に示す状態とする。

【００３４】この状態から、保持アーム部１２を出入口
５側にスライドさせて第２の可動板４２から保持アーム
部１２にウェーハ保持具６１（または６５）を受け渡
し、第２の可動板４２を終端位置まで下降させる。ウェ
ーハ保持具６１（または６５）を保持した状態にある保
持アーム部１２を出入口５を通じて収納空間部３の外に
スライドさせることにより、ウェーハ保持具６１（また
は６５）の処理装置のロードポートへの移載が行われ
る。

【００３５】以上のように、本実施形態によれば、ウェ
ーハ搬送用台車１を各処理装置間で人力で移動させるの
みで、処理装置とウェーハ搬送用台車１の有する収納空
間部３との間のウェーハ保持具６１、６５の移載は自動
的に行われる。このため、たとえば、ウェーハが大径化
してウェーハ保持具６１、６５の重量が増大しても、人
力を中心としたウェーハ搬送システムを簡易かつ安価に
構築することができる。また、ウェーハ搬送用台車１の
作業者による搬送中には、ウェーハ保持具６１、６５
は、収納空間部３に収納されているため、人からの発塵
の影響が抑制され、ウェーハ保持具６１、６５の処理装
置との間の移載は自動化されているため、人からの発塵
による汚染を極力抑制することができる。

【００３６】また、本実施形態に係るウェーハ搬送用台
車１では、収納空間部３には、複数の可動板３２、４２
が設けられており、移載用保持機構部１１は、可動板３
２、４２に保持されたウェーハ保持具６１、６５のうち
任意のものを移載することが可能であるので、ウェーハ
搬送用台車１を処理段階や処理工程の異なるウェーハの
搬送に同時に用いることができる。また、本実施形態に
係るウェーハ搬送用台車１の保持アーム部１２は、異な
る仕様のウェーハ保持具６１、６５のいずれも保持可能
な保持アーム１３、１４を有しているため、異なる仕様
のウェーハ保持具６１、６５に共用でき、ウェーハ搬送
用台車１の汎用性が高い。すなわち、ウェーハを密閉状
態で搬送する必要がある工程と、ウェーハをクリーンル
ームの雰囲気に晒した状態で搬送可能な工程とのいずれ
にもウェーハ搬送用台車１を用いることで、ウェーハ搬
送用台車１の導入台数を抑制することが可能となる。

【００３７】

【発明の効果】本発明によれば、異なる仕様のウェーハ
保持具の搬送にウェーハ搬送用台車を共用できる。たと
えば、クリーンルーム内の雰囲気に晒した状態で搬送す
ることが可能な場合と、ウェーハを密閉状態で搬送しな
けらばならない場合に対応可能である。また、本発明に
よれば、ウェーハ搬送用台車と各処理装置との間でのウ
ェーハ保持具の受け渡しが自動化することができるた
め、ウェーハ保持具の受け渡しの際にウェーハ搬送用台
車の操作者からの発塵によるウェーハ汚染を極力防止す
ることができるとともに、ウェーハ保持具の受け渡しを
迅速に行なうことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のウェーハ搬送用台車の一実施形態を示
す構成図である。

【図２】移載用保持機構部１１の構成を示す構成図であ
る。

【図３】保持アーム部１２に第１のウェーハ保持具を保
持した状態を示す図である。

【図４】保持アーム部１２に第２のウェーハ保持具を保
持した状態を示す図である。

【図５】第１の収納空間保持機構部３１の構成を示す構
成図である。

【図６】第２の収納空間保持機構部４１の構成を示す構
成図である。

【図７】処理装置から収納空間部にウェーハ保持具を移
載する動作を説明するための図である。

【図８】保持アーム部から第１の可動板にウェーハ保持
具を受け渡す動作を説明するための図である。

【図９】図８に続く動作を説明するための図である。

【図１０】保持アーム部から第２の可動板にウェーハ保
持具を受け渡す動作を説明するための図である。

【図１１】第１の可動板から保持アーム部にウェーハ保
持具を受け渡す動作を説明するための図である。

【図１２】第２の可動板から保持アーム部にウェーハ保
持具を受け渡す動作を説明するための図である。

【符号の説明】

１…ウェーハ搬送用台車、２…ケース、３…収納空間
部、１１…移載用保持機構部、３１…第１の収納空間保
持機構部、４１…第２の収納空間保持機構部。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ウェーハを収納保持するウェーハ保持具を
   所定の処理工程間で搬送するウェーハ搬送用台車であっ
   て、 前記ウェーハ保持具を収納する収納空間部と、 前記ウェーハ保持具を前記収納空間部内で独立に移動可
   能に保持する複数の収納空間内保持手段と、 前記収納空間部内で移動可能かつ前記収納空間部外に移
   動可能な前記ウェーハ保持具を保持する移載用保持手段
   とを具備し、 前記移載用保持手段と前記複数の収納空間内保持手段の
   うち任意の収納空間内保持手段との協動によって前記ウ
   ェーハ保持具の受け渡しを行い、前記ウェーハ保持具を
   前記各処理工程に設置された処理装置と前記収納空間部
   との間で移載するウェーハ搬送用台車。
2. 【請求項２】前記移載用保持手段は、仕様の異なる複数
   種類のウェーハ保持具を前記収納空間部と前記処理装置
   との間で移載可能である請求項１に記載のウェーハ搬送
   用台車。
3. 【請求項３】前記ウェーハ保持具は、被保持部がそれぞ
   れ異なる複数のウェーハ保持具からなり、 前記移載用保持手段は、前記複数のウェーハ保持具の各
   被保持部をそれぞれ保持可能な複数の保持アームを具備
   する保持アーム部を有する請求項２に記載のウェーハ搬
   送用台車。
4. 【請求項４】前記ウェーハ保持具は、前記ウェーハを密
   閉状態で収容保持する第１のウェーハ保持具と、 前記ウェーハを雰囲気に晒した状態で収容保持する第２
   のウェーハ保持具とからなり、 前記第１および第２のウェーハ保持具の被保持部は、そ
   れぞれ異なる位置に設けられている請求項２に記載のウ
   ェーハ搬送用台車。
5. 【請求項５】前記移載用保持手段の保持アーム部は、前
   記第１および第２のウェーハ保持具の被保持部を保持す
   る第１および第２の保持アームを備えている請求項４に
   記載のウェーハ搬送用台車。
6. 【請求項６】前記移載用保持手段は、前記保持アーム部
   を前記収納空間部の有する出入口に対して出入する出入
   方向にスライドさせるスライド機構と、前記保持アーム
   部を前記収納空間部内で所定の昇降方向に昇降させる昇
   降機構と、を具備し、 前記収納空間内保持手段は、前記ウェーハ保持具を載置
   保持可能な第１および第２の可動部材と、前記第１の可
   動部材を前記収納空間部内で前記出入方向にスライドさ
   せるスライド機構と、前記第２の可動部材を前記収納空
   間部内で前記昇降方向に移動させる昇降機構とを具備す
   る請求項３に記載のウェーハ搬送用台車。
7. 【請求項７】前記移載用保持手段の保持アーム部と前記
   第１または第２の可動部材との間の前記ウェーハ保持具
   の受け渡し動作を前記保持アーム部と前記第１および第
   ２の可動部材とのスライド動作および昇降動作の組合せ
   によって行う請求項６に記載のウェーハ搬送用台車。