JP2000235019A - 渦流探傷プローブ - Google Patents
渦流探傷プローブInfo
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 信号線数をケーブル内に収容可能な数に押さ
えつつ、コイル群と探傷モードを増やして空間解像度及
び周軸両方の欠陥検出性を向上させた渦流探傷プローブ
を提供する。 【解決手段】 複数の磁場励起素子13と、複数の磁場
検出素子14と、これらの素子13,14を時分割駆動
するためのスイッチング回路16、18及び前記複数の
検出素子14を時分割駆動するスイッチング回路よりも
計測器側に設けた検出信号増幅回路20からなる渦流探
傷プローブである。
えつつ、コイル群と探傷モードを増やして空間解像度及
び周軸両方の欠陥検出性を向上させた渦流探傷プローブ
を提供する。 【解決手段】 複数の磁場励起素子13と、複数の磁場
検出素子14と、これらの素子13,14を時分割駆動
するためのスイッチング回路16、18及び前記複数の
検出素子14を時分割駆動するスイッチング回路よりも
計測器側に設けた検出信号増幅回路20からなる渦流探
傷プローブである。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、熱交換器内部にあ
る細管等の非破壊検査に用いる渦流探傷プローブに関す
るものである。
る細管等の非破壊検査に用いる渦流探傷プローブに関す
るものである。
【0002】
【従来技術】複数の磁場励起素子と磁場検出素子を搭載
した渦流探傷プローブとしては、例えば特開平6−16
0357号記載のものがある。これは図15に示すよう
に円筒形の母体111上に3個1組のパンケーキコイル
群を配置したものであり、1コイル群は1個の励起コイ
ル112と差動接続された2個の検出コイル113とか
ら構成されている。このプローブの特徴は1コイル群で
伝熱管の円周方向に存在する欠陥と軸方向に存在する欠
陥の両方を検出することであり、またコイル群間での検
出性低下を防止するためコイル群を2段互い違いに配置
し、合計8コイル群を内部に備えている。
した渦流探傷プローブとしては、例えば特開平6−16
0357号記載のものがある。これは図15に示すよう
に円筒形の母体111上に3個1組のパンケーキコイル
群を配置したものであり、1コイル群は1個の励起コイ
ル112と差動接続された2個の検出コイル113とか
ら構成されている。このプローブの特徴は1コイル群で
伝熱管の円周方向に存在する欠陥と軸方向に存在する欠
陥の両方を検出することであり、またコイル群間での検
出性低下を防止するためコイル群を2段互い違いに配置
し、合計8コイル群を内部に備えている。
【0003】一方、空間的配置パターンの異なる磁場励
起・検出対を持つ渦流探傷プローブとしては例えば図1
6に示すような磁場検出コイル123と周方向(欠陥検
出用)磁場励起コイル122及び軸方向(欠陥検出用)
磁場励起コイル121からなる回転型渦流探傷プローブ
があり、このプローブは管の軸方向欠陥検出用のコイル
配置と周方向欠陥検出用のコイル配置を持ち、周方向欠
陥、軸方向欠陥ともに検出性が最大となる配置で使用さ
れる。
起・検出対を持つ渦流探傷プローブとしては例えば図1
6に示すような磁場検出コイル123と周方向(欠陥検
出用)磁場励起コイル122及び軸方向(欠陥検出用)
磁場励起コイル121からなる回転型渦流探傷プローブ
があり、このプローブは管の軸方向欠陥検出用のコイル
配置と周方向欠陥検出用のコイル配置を持ち、周方向欠
陥、軸方向欠陥ともに検出性が最大となる配置で使用さ
れる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記記
載のプローブ では空間分解能がコイル群の数によって
規制を受けるため、空間分解能を向上するにはコイル数
を増やさざるを得ないが、その場合、探傷装置とプロー
ブ間の信号線が増えるため、信号線を内包しプローブヘ
ッドと探傷装置を繋ぐシース内に信号線が収容仕切れな
くなる。勿論、各信号線の径を細くすれば格納可能であ
るが、30m以上の長さにわたり信号を送受信するに
は、信号線が細い場合は信号減衰度が大きくなるので、
SN比が低下し、さらに近接する信号線間におけるクロ
ストークの増大、機械的強度の低下による断線確率の増
大などから信号線の細径化は現実的ではない。
載のプローブ では空間分解能がコイル群の数によって
規制を受けるため、空間分解能を向上するにはコイル数
を増やさざるを得ないが、その場合、探傷装置とプロー
ブ間の信号線が増えるため、信号線を内包しプローブヘ
ッドと探傷装置を繋ぐシース内に信号線が収容仕切れな
くなる。勿論、各信号線の径を細くすれば格納可能であ
るが、30m以上の長さにわたり信号を送受信するに
は、信号線が細い場合は信号減衰度が大きくなるので、
SN比が低下し、さらに近接する信号線間におけるクロ
ストークの増大、機械的強度の低下による断線確率の増
大などから信号線の細径化は現実的ではない。
【0005】なお、以上は内挿型渦流探傷プローブにつ
いて論じているわけであるが、一方、信号径に強い制限
のない貫通型プローブや上置型プローブについては信号
ケーブル全体の重量増、大径化は装置の大型化およびプ
ローブ固定部の強化を招くので、やはり信号線の増加は
好ましくない。このためコイル数に上限が存在するとい
う問題は依然残存している。また、一般に励起素子と検
出素子の配置について、周方向欠陥で検出性が最大にな
るとき軸方向欠陥の検出性は最低になり、軸方向欠陥で
検出性が最大のときは周方向欠陥で検出性は最低となっ
てしまう。
いて論じているわけであるが、一方、信号径に強い制限
のない貫通型プローブや上置型プローブについては信号
ケーブル全体の重量増、大径化は装置の大型化およびプ
ローブ固定部の強化を招くので、やはり信号線の増加は
好ましくない。このためコイル数に上限が存在するとい
う問題は依然残存している。また、一般に励起素子と検
出素子の配置について、周方向欠陥で検出性が最大にな
るとき軸方向欠陥の検出性は最低になり、軸方向欠陥で
検出性が最大のときは周方向欠陥で検出性は最低となっ
てしまう。
【0006】前記特開平6−160357号公報記載の
ものは軸方向欠陥と周方向欠陥の感度がバランスするよ
うに配置されているが、これは逆に考えれば周軸両方の
欠陥で検出性を低下させていることにもなっている。と
は云え、各方向の欠陥に最適な複数の探傷モードを搭載
するためには異なる配置のコイル群が必要であり、さら
なる信号線の増加を招く。
ものは軸方向欠陥と周方向欠陥の感度がバランスするよ
うに配置されているが、これは逆に考えれば周軸両方の
欠陥で検出性を低下させていることにもなっている。と
は云え、各方向の欠陥に最適な複数の探傷モードを搭載
するためには異なる配置のコイル群が必要であり、さら
なる信号線の増加を招く。
【0007】本発明は上述の如き実状に鑑み、これに対
処してその問題を解決すべく、信号線数をケーブル内に
収容可能な数に押さえつつ、コイル群と探傷モードを増
やして空間解像度及び周軸両方の欠陥検出性を向上させ
た渦流探傷プローブを提供することを目的とする。
処してその問題を解決すべく、信号線数をケーブル内に
収容可能な数に押さえつつ、コイル群と探傷モードを増
やして空間解像度及び周軸両方の欠陥検出性を向上させ
た渦流探傷プローブを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】即ち、上記目的に適合す
る本発明の渦流探傷プローブの構成は、複数の磁場励起
素子と、複数の磁場検出素子と、これらの素子を時分割
駆動するためのスイッチング回路および前記複数の検出
素子を時分割駆動するスイッチング回路よりも計測機器
側に設けた検出信号増幅回路からなることを特徴とす
る。
る本発明の渦流探傷プローブの構成は、複数の磁場励起
素子と、複数の磁場検出素子と、これらの素子を時分割
駆動するためのスイッチング回路および前記複数の検出
素子を時分割駆動するスイッチング回路よりも計測機器
側に設けた検出信号増幅回路からなることを特徴とす
る。
【0009】また本発明は複数の磁場励起兼検出素子を
備え、同一素子に励起素子を時分割駆動するためのスイ
ッチング回路と検出素子を時分割駆動するためのスイッ
チング回路の双方を接続してタイミングによって該同素
子を励起素子または検出素子として用いることも特徴と
する。そして、この場合、検出素子を時分割するための
スイッチング回路の出力側に検出信号増幅回路を設ける
ことが好ましいことは上記構成と同様である。更に、上
記の各構成において、複数の磁場励起素子・磁場検出素
子について、複数の空間的配置をもち、かつ、磁場励起
素子・磁場検出素子の組み合わせの変更が可能であるこ
とも好適な実施の態様である。
備え、同一素子に励起素子を時分割駆動するためのスイ
ッチング回路と検出素子を時分割駆動するためのスイッ
チング回路の双方を接続してタイミングによって該同素
子を励起素子または検出素子として用いることも特徴と
する。そして、この場合、検出素子を時分割するための
スイッチング回路の出力側に検出信号増幅回路を設ける
ことが好ましいことは上記構成と同様である。更に、上
記の各構成において、複数の磁場励起素子・磁場検出素
子について、複数の空間的配置をもち、かつ、磁場励起
素子・磁場検出素子の組み合わせの変更が可能であるこ
とも好適な実施の態様である。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、更に添付図面を参照し、本
発明の具体的な実施の形態を説明する。
発明の具体的な実施の形態を説明する。
【0011】図1は本発明に係る渦流探傷プローブの1
例を示す外観図であり、この渦流探傷プローブはケーブ
ル15に結合された円筒形の母体11上に8個のコイル
12を円周方向に沿って並べ、更にこれを軸方向に2
段、計16個並べて形成されている。このうち、上段の
コイル群13は管内に渦電流が発生するよう磁場励磁装
置に結合されている励磁専用コイル、下段のコイル群1
4は前記励磁装置に結合された励磁専用コイルに発生す
る電流を検出し、管内に欠陥があることを示す信号を発
生する検出専用コイルとなっており、励起・検出コイル
対としては検出コイルと隣接する励起コイルを対として
考えるため、全部で8対のセンサー対を具備している。
例を示す外観図であり、この渦流探傷プローブはケーブ
ル15に結合された円筒形の母体11上に8個のコイル
12を円周方向に沿って並べ、更にこれを軸方向に2
段、計16個並べて形成されている。このうち、上段の
コイル群13は管内に渦電流が発生するよう磁場励磁装
置に結合されている励磁専用コイル、下段のコイル群1
4は前記励磁装置に結合された励磁専用コイルに発生す
る電流を検出し、管内に欠陥があることを示す信号を発
生する検出専用コイルとなっており、励起・検出コイル
対としては検出コイルと隣接する励起コイルを対として
考えるため、全部で8対のセンサー対を具備している。
【0012】図2は上記各コイルのプローブ内部におけ
る回路ブロックであり、スイッチング回路としてマルチ
プレクサが用いられ、同図に示す如く、前記コイルの励
起コイル群13は励起信号線21に接続する励起コイル
用8チャンネル(ch)マルチプレクサ16へ、一方、
検出コイル群14は検出用8chマルチプレクサ18へ
夫々接続されている。そして、検出用マルチプレクサ1
8の出力は検出信号線22に接続され、途中に設けられ
た増幅アンプ20を含む検出信号増幅回路により増幅さ
れて計測器、即ち、探傷器側へ出力される。なお、図中
の17は励起用マルチプレクサ制御信号線、19は検出
用マルチプレクサ制御信号線である。
る回路ブロックであり、スイッチング回路としてマルチ
プレクサが用いられ、同図に示す如く、前記コイルの励
起コイル群13は励起信号線21に接続する励起コイル
用8チャンネル(ch)マルチプレクサ16へ、一方、
検出コイル群14は検出用8chマルチプレクサ18へ
夫々接続されている。そして、検出用マルチプレクサ1
8の出力は検出信号線22に接続され、途中に設けられ
た増幅アンプ20を含む検出信号増幅回路により増幅さ
れて計測器、即ち、探傷器側へ出力される。なお、図中
の17は励起用マルチプレクサ制御信号線、19は検出
用マルチプレクサ制御信号線である。
【0013】ここで、上記回路で必要な信号線はマルチ
プレクサを用いない場合には少なくとも18本必要なの
に比べ、励起用マルチプレクサ制御信号線17が4本、
検出用マルチプレクサ制御信号線19が4本、励起信号
線21が2本、検出信号線22が2本、回路駆動用電源
が3本の計15本と削減される。当然ながらコイルが増
えた場合でも多チャンネルマルチプレクサを用いること
で信号線の増加は押さえられる。従って信号線を細径化
する必要がなくなるか、または従来ほど細径化する必要
がなくなり、この結果、信号ケーブル全体の径を変える
ことなく検出対象の形状や位置に関する空間分解能の向
上が達せられる。同時に探傷器とケーブルを接続するコ
ネクターの芯数も削減されるため、より小型のコネクタ
ーが使用可能になり、ケーブル接続時の操作性も向上す
る。
プレクサを用いない場合には少なくとも18本必要なの
に比べ、励起用マルチプレクサ制御信号線17が4本、
検出用マルチプレクサ制御信号線19が4本、励起信号
線21が2本、検出信号線22が2本、回路駆動用電源
が3本の計15本と削減される。当然ながらコイルが増
えた場合でも多チャンネルマルチプレクサを用いること
で信号線の増加は押さえられる。従って信号線を細径化
する必要がなくなるか、または従来ほど細径化する必要
がなくなり、この結果、信号ケーブル全体の径を変える
ことなく検出対象の形状や位置に関する空間分解能の向
上が達せられる。同時に探傷器とケーブルを接続するコ
ネクターの芯数も削減されるため、より小型のコネクタ
ーが使用可能になり、ケーブル接続時の操作性も向上す
る。
【0014】なお、前記実施例はある励起コイルと、隣
接する検出コイルを対にして考えているが、図3におけ
る励起コイルTと隣接しない検出コイルRの組み合わせ
も可能であり、その場合は異なる配置状態のコイル対が
増加することになる。コイル対の配置状態が異なるとい
うことは、欠陥に対する検出感度が最大になる位置が変
化することと同じなので、故にコイル数を増やすことな
く空間分解能が向上する。また、欠陥に対する感度特性
を変化させることでもあり、目的とする欠陥の検出に最
適な状態にすることも1種類の渦流探傷プローブで可能
になる。
接する検出コイルを対にして考えているが、図3におけ
る励起コイルTと隣接しない検出コイルRの組み合わせ
も可能であり、その場合は異なる配置状態のコイル対が
増加することになる。コイル対の配置状態が異なるとい
うことは、欠陥に対する検出感度が最大になる位置が変
化することと同じなので、故にコイル数を増やすことな
く空間分解能が向上する。また、欠陥に対する感度特性
を変化させることでもあり、目的とする欠陥の検出に最
適な状態にすることも1種類の渦流探傷プローブで可能
になる。
【0015】このコイル対の組み合わせは探傷器および
制御回路からの指令により容易に変更可能なためプロー
ブを変更することなく異なる感度特性でプローブを用い
ることが出来る。またマルチプレクサによる検出信号を
増幅するため、増幅回路は通常必要であるが、とくに検
出信号の劣化が問題にならないような場合は増幅アンプ
を省略することも可能である。
制御回路からの指令により容易に変更可能なためプロー
ブを変更することなく異なる感度特性でプローブを用い
ることが出来る。またマルチプレクサによる検出信号を
増幅するため、増幅回路は通常必要であるが、とくに検
出信号の劣化が問題にならないような場合は増幅アンプ
を省略することも可能である。
【0016】図4は本発明渦流探傷プローブの第2の実
施例を示す外観図であり、プローブ母体41の円周上
に、円周方向に沿ってコイル42を等間隔に8個並べた
ものである。ここで各コイルは図5に示す如く励起用マ
ルチプレクサ43と検出用マルチプレクサ44の両方に
接続しており、当然ながら、あるコイルが励起コイルT
として作動しているときに、当該コイル以外のコイルが
検出コイルRとして作動する。時分割駆動時における各
コイルの状態を図6に示す。
施例を示す外観図であり、プローブ母体41の円周上
に、円周方向に沿ってコイル42を等間隔に8個並べた
ものである。ここで各コイルは図5に示す如く励起用マ
ルチプレクサ43と検出用マルチプレクサ44の両方に
接続しており、当然ながら、あるコイルが励起コイルT
として作動しているときに、当該コイル以外のコイルが
検出コイルRとして作動する。時分割駆動時における各
コイルの状態を図6に示す。
【0017】図示の如くタイムスロット1〜8におい
て、タイムスロット1にはaコイルが励起コイルTで、
これに隣接するbコイルが検出コイルRとなり、次のタ
イムスロット2にはさきに検出したbコイルが励起コイ
ルTで、隣接するcコイルが検出コイルRとして用いら
れる。このようにして、上記形態では次々に励起・検出
コイルを切り替えてゆくので、コイル総数は8個である
にもかかわらず、全部で8対の励起・検出コイル対とし
て用いることが出来る。
て、タイムスロット1にはaコイルが励起コイルTで、
これに隣接するbコイルが検出コイルRとなり、次のタ
イムスロット2にはさきに検出したbコイルが励起コイ
ルTで、隣接するcコイルが検出コイルRとして用いら
れる。このようにして、上記形態では次々に励起・検出
コイルを切り替えてゆくので、コイル総数は8個である
にもかかわらず、全部で8対の励起・検出コイル対とし
て用いることが出来る。
【0018】また、上記第2の実施例は、もう1つの使
い方として、上記の如く隣接するコイル同士で励起・検
出コイル対とするのではなく、図7に示すようにコイル
1つ飛ばしに励起・検出コイル対とすることもできる。
例えば、図7でaコイルが励起状態の時、cコイルを検
出コイルRにし、タイムスロット2でbコイルを励起コ
イル、dコイルを検出コイルにすることが可能である。
い方として、上記の如く隣接するコイル同士で励起・検
出コイル対とするのではなく、図7に示すようにコイル
1つ飛ばしに励起・検出コイル対とすることもできる。
例えば、図7でaコイルが励起状態の時、cコイルを検
出コイルRにし、タイムスロット2でbコイルを励起コ
イル、dコイルを検出コイルにすることが可能である。
【0019】更に前記図6に示す隣接するコイル同士で
励起・検出コイル対を作る場合を探傷モードAとし、図
7の如く1つ置きに励起・検出コイル対を作る場合を探
傷モードBとすると、両モード合わせて16対の組み合
わせが8個のコイルで作り出せ、Aモード又はBモード
のみの使用も可能であるし、時分割数を増すことで両モ
ードを同時に使用することも可能である。この場合、構
成するコイル群はAモード、Bモードで同じであるが、
個々の素子対でみると、両モードでは構成素子は空間的
な配置パターンが異なるため、空間分解能や欠陥に対す
る感度特性などは当然異なる。
励起・検出コイル対を作る場合を探傷モードAとし、図
7の如く1つ置きに励起・検出コイル対を作る場合を探
傷モードBとすると、両モード合わせて16対の組み合
わせが8個のコイルで作り出せ、Aモード又はBモード
のみの使用も可能であるし、時分割数を増すことで両モ
ードを同時に使用することも可能である。この場合、構
成するコイル群はAモード、Bモードで同じであるが、
個々の素子対でみると、両モードでは構成素子は空間的
な配置パターンが異なるため、空間分解能や欠陥に対す
る感度特性などは当然異なる。
【0020】次に、図8は本発明の第3の実施例であ
り、円筒形81の円周上に8個のコイルが3段、計24
個のコイルを装備し、その内部においては図9の如く励
起コイル用8chマルチプレクサ90、検出コイル用8
chマルチプレクサ86、88、91、92、信号増幅
アンプ87,89,93,94が具備されている。
り、円筒形81の円周上に8個のコイルが3段、計24
個のコイルを装備し、その内部においては図9の如く励
起コイル用8chマルチプレクサ90、検出コイル用8
chマルチプレクサ86、88、91、92、信号増幅
アンプ87,89,93,94が具備されている。
【0021】この図9に示す回路の接続を詳しく説明す
ると、3段の配置されているコイル群のうち上段8個の
コイル群82と下段8個のコイル群84は検出専用コイ
ル群であり、夫々8chマルチプレクサ86及び88に
接続され、その出力側には増幅アンプ87及び89が介
設されている。
ると、3段の配置されているコイル群のうち上段8個の
コイル群82と下段8個のコイル群84は検出専用コイ
ル群であり、夫々8chマルチプレクサ86及び88に
接続され、その出力側には増幅アンプ87及び89が介
設されている。
【0022】また中段8個のコイル群83は励起兼検出
コイル群であり、励起用8chマルチプレクサ90と検
出用8chマルチプレクサ91と同じく検出用8chマ
ルチプレクサ92に接続され、各検出用マルチプレクサ
の出力側には夫々、増幅アンプ93及び94が接続され
ている。当然ながら、マルチプレクサ91,92は常に
別々のコイルを動作状態にしている。
コイル群であり、励起用8chマルチプレクサ90と検
出用8chマルチプレクサ91と同じく検出用8chマ
ルチプレクサ92に接続され、各検出用マルチプレクサ
の出力側には夫々、増幅アンプ93及び94が接続され
ている。当然ながら、マルチプレクサ91,92は常に
別々のコイルを動作状態にしている。
【0023】図10はこの各コイル群の動作状態を示し
たものであり、ある励起コイルTに隣接するコイル4個
が検出コイルRとして動作し、結局、5個のコイルが一
群として動作していることを示している。コイル群の切
り替えは第2の実施例と同様で、各タイムスロット毎に
励起・検出コイル群を切り替えていく。
たものであり、ある励起コイルTに隣接するコイル4個
が検出コイルRとして動作し、結局、5個のコイルが一
群として動作していることを示している。コイル群の切
り替えは第2の実施例と同様で、各タイムスロット毎に
励起・検出コイル群を切り替えていく。
【0024】この実施例では伝熱管の軸方向欠陥と周方
向欠陥夫々について最大感度を持つコイル配置になって
いるため、夫々の欠陥に対して探傷モードを持ってお
り、更にこれらを一度に探傷することが可能となってい
る。また、探傷器側において、片線接地入力と差動入力
のチャンネルを用意することにより、プローブを絶対型
としても差動型としても使用することが可能である。軸
方向欠陥用センサー対を差動型として使用する場合は、
上段コイル群82の検出信号を探傷器の差動増幅器の非
反転入力へ、下段コイル群84の検出信号を反転入力へ
接続すればよい。同様にマルチプレクサ91の出力を非
反転入力へ、マルチプレクサ92の出力を反転入力へ接
続すれば周方向欠陥用センサー対も差動型として使用す
ることが出来る。勿論、これは探傷器内部の結線なので
同時に絶対型チャンネルとしても使用できる。
向欠陥夫々について最大感度を持つコイル配置になって
いるため、夫々の欠陥に対して探傷モードを持ってお
り、更にこれらを一度に探傷することが可能となってい
る。また、探傷器側において、片線接地入力と差動入力
のチャンネルを用意することにより、プローブを絶対型
としても差動型としても使用することが可能である。軸
方向欠陥用センサー対を差動型として使用する場合は、
上段コイル群82の検出信号を探傷器の差動増幅器の非
反転入力へ、下段コイル群84の検出信号を反転入力へ
接続すればよい。同様にマルチプレクサ91の出力を非
反転入力へ、マルチプレクサ92の出力を反転入力へ接
続すれば周方向欠陥用センサー対も差動型として使用す
ることが出来る。勿論、これは探傷器内部の結線なので
同時に絶対型チャンネルとしても使用できる。
【0025】絶対型チャンネルを使用しないことを前提
とするならば、増幅アンプ87及び89をひとまとめに
して差動入力アンプとしておけばよく、その場合は回路
実装スペースの削減や信号線数の低減が可能となる。こ
のことは、増幅アンプ93及び94についても同様であ
る。
とするならば、増幅アンプ87及び89をひとまとめに
して差動入力アンプとしておけばよく、その場合は回路
実装スペースの削減や信号線数の低減が可能となる。こ
のことは、増幅アンプ93及び94についても同様であ
る。
【0026】図11は、本発明の第4の実施例として、
周方向欠陥検出用にコイル101〜108及びコイル2
01〜208を用い、軸方向欠陥検出用にコイル101
〜108とコイル301〜308を用いるものである。
この場合、図示例においては軸方向検出モードにおい
て、軸方向の感度低下領域を無くすためにコイル301
〜308はコイル101〜108、201〜208とは
角度をずらして配置されている。例えばコイル301は
コイル101とコイル102の中間点とコイル201と
コイル202の中間点を結ぶ直線上に配置される。駆動
に関してはコイル102が励起状態にあるときコイル3
01及びコイル302が検出状態に入り、さらに制御装
置で301の信号と302の信号が差分される。また、
同様に周方向欠陥検出モードはコイル101が励起状態
の時、コイル103が検出状態に入る。その後、コイル
201が励起状態に入りコイル203が検出状態に入
る。 制御装置においてコイル103の出力とコイル2
03の出力を差分することで周方向欠陥の差分信号が得
られる。
周方向欠陥検出用にコイル101〜108及びコイル2
01〜208を用い、軸方向欠陥検出用にコイル101
〜108とコイル301〜308を用いるものである。
この場合、図示例においては軸方向検出モードにおい
て、軸方向の感度低下領域を無くすためにコイル301
〜308はコイル101〜108、201〜208とは
角度をずらして配置されている。例えばコイル301は
コイル101とコイル102の中間点とコイル201と
コイル202の中間点を結ぶ直線上に配置される。駆動
に関してはコイル102が励起状態にあるときコイル3
01及びコイル302が検出状態に入り、さらに制御装
置で301の信号と302の信号が差分される。また、
同様に周方向欠陥検出モードはコイル101が励起状態
の時、コイル103が検出状態に入る。その後、コイル
201が励起状態に入りコイル203が検出状態に入
る。 制御装置においてコイル103の出力とコイル2
03の出力を差分することで周方向欠陥の差分信号が得
られる。
【0027】図12は上記図11に示す各コイル群の動
作状況を示すものであり、これを時分割駆動例として例
示表記すると、下記表1の如くである。表中、s1は第
1スロット、s2は第2スロットなどを示し、例えば第
1スロットs1ではコイル101を励起コイルとして、
コイル103、コイル308、コイル301が検出コイ
ルとして動作することを示している。
作状況を示すものであり、これを時分割駆動例として例
示表記すると、下記表1の如くである。表中、s1は第
1スロット、s2は第2スロットなどを示し、例えば第
1スロットs1ではコイル101を励起コイルとして、
コイル103、コイル308、コイル301が検出コイ
ルとして動作することを示している。
【0028】
【表1】
【0029】なお、上記各実施例の外、更に図13に示
す配置や図14に示す配置、動作状況も可能である。以
上、本発明の実施例について説明したが、この説明では
磁場励起素子・磁場検出素子として共にコイルを用いた
が、勿論、これに限らず、その他の素子でも有効であ
る。また、コイル数やスイッチング回路であるマルチプ
レクサのチャンネル数についても同様に、特に8chで
ある必要は一切なく、必要に応じて適宜、増減すればよ
い。また回路を内蔵する場所について、プローブ母体内
部が最も望ましいが、物理的に不可能な場合は一般にシ
ースと呼ばれる信号線を内包するチューブ内部やその周
囲に設けることも可能である。
す配置や図14に示す配置、動作状況も可能である。以
上、本発明の実施例について説明したが、この説明では
磁場励起素子・磁場検出素子として共にコイルを用いた
が、勿論、これに限らず、その他の素子でも有効であ
る。また、コイル数やスイッチング回路であるマルチプ
レクサのチャンネル数についても同様に、特に8chで
ある必要は一切なく、必要に応じて適宜、増減すればよ
い。また回路を内蔵する場所について、プローブ母体内
部が最も望ましいが、物理的に不可能な場合は一般にシ
ースと呼ばれる信号線を内包するチューブ内部やその周
囲に設けることも可能である。
【0030】
【発明の効果】以上、説明した如く、本発明渦流探傷プ
ローブは、複数の磁場励起素子と、複数の磁場検出素子
と、これらの素子を時分割駆動するためのスイッチング
回路と、更に加えて複数の検出素子を時分割駆動するス
イッチング回路よりも計測器側に検出信号増幅回路を設
けた構成からなるものであり、多チャンネルマルチプレ
クサを用いることにより信号線の増加が押さえられ、従
って、信号線を細径化する必要はなく、信号ケーブル全
体の径を変えることなく検出素子数を増やすことができ
て、内挿型渦流探傷プローブの空間分解能の向上を達成
することができると共に、探傷器とケーブルを接続する
コネクターの芯数も削減され、小型コネクターの使用が
可能となり、ケーブル操作性の向上も得られる顕著な効
果を奏する。
ローブは、複数の磁場励起素子と、複数の磁場検出素子
と、これらの素子を時分割駆動するためのスイッチング
回路と、更に加えて複数の検出素子を時分割駆動するス
イッチング回路よりも計測器側に検出信号増幅回路を設
けた構成からなるものであり、多チャンネルマルチプレ
クサを用いることにより信号線の増加が押さえられ、従
って、信号線を細径化する必要はなく、信号ケーブル全
体の径を変えることなく検出素子数を増やすことができ
て、内挿型渦流探傷プローブの空間分解能の向上を達成
することができると共に、探傷器とケーブルを接続する
コネクターの芯数も削減され、小型コネクターの使用が
可能となり、ケーブル操作性の向上も得られる顕著な効
果を奏する。
【0031】また、本発明渦流探傷プローブでは、検出
側スイッチング回路の出力側に増幅回路を設けたことに
より信号線内での電圧降下が無視できるようになったと
同時に、スイッチング回路を用いて同一素子を検出素子
兼励起素子として使用することにより、物理的な素子配
列を変更することなく感度特性の異なる複数の探傷モー
ドを使用することが可能となる効果も達成される。
側スイッチング回路の出力側に増幅回路を設けたことに
より信号線内での電圧降下が無視できるようになったと
同時に、スイッチング回路を用いて同一素子を検出素子
兼励起素子として使用することにより、物理的な素子配
列を変更することなく感度特性の異なる複数の探傷モー
ドを使用することが可能となる効果も達成される。
【図1】本発明渦流探傷プローブの1例を示す外観概要
図である。
図である。
【図2】上記図1の渦流探傷プローブの電気的接続を示
す回路ブロックである。
す回路ブロックである。
【図3】図1の実施例によるコイルの配列態様を平面化
した説明図である。
した説明図である。
【図4】本発明渦流探傷プローブの第2の実施例に係る
外観概要図である。
外観概要図である。
【図5】上記図4の渦流探傷プローブの電気的接続を示
す回路ブロック図である。
す回路ブロック図である。
【図6】上記実施例の時分割駆動時における各コイルの
1つの状態を示す説明図である。
1つの状態を示す説明図である。
【図7】同じく図5の実施例の時分割駆動時における各
コイルの他の状態を示す説明図である。
コイルの他の状態を示す説明図である。
【図8】本発明渦流探傷プローブの第3の実施例を示す
外観概要図である。
外観概要図である。
【図9】図8の実施例における電気的接続を示す回路ブ
ロック図である。
ロック図である。
【図10】上記図8の実施例の各コイル群の時分割駆動
時における動作状態を示す説明図である。
時における動作状態を示す説明図である。
【図11】本発明渦流探傷プローブの第4の実施例を示
す外観概要図である。
す外観概要図である。
【図12】図11の第4実施例の時分割駆動時における
各コイルの動作状態を示す説明図である。
各コイルの動作状態を示す説明図である。
【図13】本発明渦流探傷プローブの更に他のコイル配
置態様と動作状態を示す説明図である。
置態様と動作状態を示す説明図である。
【図14】本発明渦流探傷プローブの更に別のコイル配
置状態と時分割駆動時における動作状態を示す説明図で
ある。
置状態と時分割駆動時における動作状態を示す説明図で
ある。
【図15】従来の渦流探傷プローブの1例を示す外観概
要図である。
要図である。
【図16】従来の渦流探傷プローブの別の例を示す外観
概要図である。
概要図である。
13 励起コイル(磁場励起素子) 14 検出コイル(磁場検出素子) 16,43,90 励起用マルチプレクサ(スイッチン
グ回路) 18,44,86,88,91,92 検出用マルチプ
レクサ(スイッチング回路) 20,47,87,89,93,94 増幅アンプ(検
出信号増幅回路)
グ回路) 18,44,86,88,91,92 検出用マルチプ
レクサ(スイッチング回路) 20,47,87,89,93,94 増幅アンプ(検
出信号増幅回路)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 599019948 4495 Wilfrid−Hamel Qu ebec,Qebec, Canada (72)発明者 原田 豊 大阪市西区土佐堀一丁目3番7号 株式会 社原子力エンジニアリング内 (72)発明者 下根 純理 大阪市西区土佐堀一丁目3番7号 株式会 社原子力エンジニアリング内 (72)発明者 フローリアン ハーディ カナダ国.ケベック州 セント−オーガス チン リュ デ ラバンディエーレ 121 (72)発明者 ロック サムソン カナダ国 ケベック州 セント−ニコラス ド ラ ショーディエル 177 Fターム(参考) 2F063 AA03 BC02 BD07 CA08 CA09 CA34 DA01 DD07 DD09 EB24 GA08 LA09 LA11 2G053 AA11 AB21 BA12 BA23 CB19 DB02 DB04 DB27
Claims (5)
- 【請求項1】 複数の磁場励起素子と、複数の磁場検出
素子と、これらの素子を時分割駆動するためのスイッチ
ング回路および前記複数の検出素子を時分割駆動するス
イッチング回路よりも計測器側に設けた検出信号増幅回
路からなることを特徴とする渦流探傷プローブ。 - 【請求項2】 複数の磁場励起素子・磁場検出素子が、
複数の空間的配置パターンを持っている請求項1記載の
渦流探傷プローブ。 - 【請求項3】 複数の磁場励起兼検出素子を備え、同一
素子に励起素子を時分割駆動するためのスイッチング回
路と検出素子を時分割駆動するためのスイッチング回路
の双方を接続してタイミングによって該同一素子を励起
素子または検出素子として用いることを特徴とする渦流
探傷プローブ。 - 【請求項4】 検出素子を時分割するためのスイッチン
グ回路の出力側に検出信号増幅回路を設けた請求項3記
載の渦流探傷プローブ。 - 【請求項5】 複数の磁場励起素子・磁場検出素子が、
複数の空間的配置を持ち、かつ磁場励起素子・磁場検出
素子の組み合わせの変更が可能なことを特徴とする請求
項3または4記載の渦流探傷プローブ。
Priority Applications (12)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11034446A JP2000235019A (ja) | 1999-02-12 | 1999-02-12 | 渦流探傷プローブ |
| US09/350,183 US6344739B1 (en) | 1999-02-12 | 1999-07-09 | Eddy current probe with multi-use coils and compact configuration |
| CA002372259A CA2372259C (en) | 1999-02-12 | 2000-02-14 | Eddy current testing with compact configuration |
| PCT/CA2000/000135 WO2000047986A1 (en) | 1999-02-12 | 2000-02-14 | Eddy current testing with compact configuration |
| DE60038483T DE60038483T2 (de) | 1999-02-12 | 2000-02-14 | Wirbelstromprüfung mit raumsparender konfiguration |
| AT00903465T ATE391292T1 (de) | 1999-02-12 | 2000-02-14 | Wirbelstromprüfung mit raumsparender konfiguration |
| EP00903465A EP1153289B1 (en) | 1999-02-12 | 2000-02-14 | Eddy current testing with compact configuration |
| PCT/CA2000/000136 WO2000047987A1 (en) | 1999-02-12 | 2000-02-14 | Multi-element probe with multiplexed elements for non-destructive testing |
| KR1020017010220A KR100756763B1 (ko) | 1999-02-12 | 2000-02-14 | 밀집 구조의 에디 전류 검사 방법 및 그 프로브 |
| ES00903465T ES2306656T3 (es) | 1999-02-12 | 2000-02-14 | Ensayo mediante corrientes de foucault con una configuracion compacta. |
| AU25300/00A AU2530000A (en) | 1999-02-12 | 2000-02-14 | Eddy current testing with compact configuration |
| AU25301/00A AU2530100A (en) | 1999-02-12 | 2000-02-14 | Multi-element probe with multiplexed elements for non-destructive testing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11034446A JP2000235019A (ja) | 1999-02-12 | 1999-02-12 | 渦流探傷プローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000235019A true JP2000235019A (ja) | 2000-08-29 |
Family
ID=12414486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11034446A Pending JP2000235019A (ja) | 1999-02-12 | 1999-02-12 | 渦流探傷プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000235019A (ja) |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003240761A (ja) * | 2002-02-15 | 2003-08-27 | Jfe Steel Kk | 磁性金属被検体の表層欠陥又は表面欠陥の検出方法及び装置 |
| JP2005315840A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-11-10 | Hitachi Ltd | レゾルバ/デジタル変換器及びこれを用いた制御システム |
| JP2005337909A (ja) * | 2004-05-27 | 2005-12-08 | Olympus Corp | 渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ |
| JP2006010438A (ja) * | 2004-06-24 | 2006-01-12 | Jfe Steel Kk | 磁性金属被検体の欠陥の検出方法及びその検出装置 |
| JP2007033027A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Uchihashi Estec Co Ltd | 鉄系材埋設コンクリート構造物の鉄系材の診断方法 |
| JP2007513330A (ja) * | 2003-11-18 | 2007-05-24 | アルセロール・フランス | 連続鋳造される粗金属製品の表面欠陥を検出するための方法およびシステム |
| JP2008046069A (ja) * | 2006-08-21 | 2008-02-28 | Hitachi Ltd | 渦電流探傷方法および渦電流探傷システム |
| WO2009037954A1 (ja) | 2007-09-20 | 2009-03-26 | Nuclear Engineering, Ltd. | 渦流探傷方法、渦流探傷装置及び渦流探傷プローブ |
| JP2009069155A (ja) * | 2007-09-11 | 2009-04-02 | Olympus Ndt | 同期式走査渦電流アレイプローブ及び機械的に走査することなく検査面の完全で連続的な到達範囲を提供する同期式走査方法 |
| JP2012173121A (ja) * | 2011-02-21 | 2012-09-10 | Toshiba Corp | 渦電流探傷試験装置およびその試験方法 |
| JP2013242223A (ja) * | 2012-05-21 | 2013-12-05 | Toshiba Corp | 渦電流探傷装置及び方法 |
| JP2018066671A (ja) * | 2016-10-20 | 2018-04-26 | 日立Geニュークリア・エナジー株式会社 | 渦電流探傷システム及び渦電流探傷方法 |
| KR20180079989A (ko) * | 2017-01-03 | 2018-07-11 | 한국수력원자력 주식회사 | 송수신부가 절연된 배열 와전류 탐촉자 및 이를 이용한 와전류 탐상 검사 방법 |
| CN111351843A (zh) * | 2018-12-24 | 2020-06-30 | 核动力运行研究所 | 一种bobbin线圈激励点式线圈接收的涡流多路复用阵列探头 |
| KR102214144B1 (ko) * | 2020-09-10 | 2021-02-09 | 한전케이피에스 주식회사 | 검사용 와전류프로브 |
| CN116223613A (zh) * | 2022-12-29 | 2023-06-06 | 深圳市华芯半导体装备技术有限公司 | 一种利用涡流探伤的阵列探头 |
-
1999
- 1999-02-12 JP JP11034446A patent/JP2000235019A/ja active Pending
Cited By (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003240761A (ja) * | 2002-02-15 | 2003-08-27 | Jfe Steel Kk | 磁性金属被検体の表層欠陥又は表面欠陥の検出方法及び装置 |
| JP2007513330A (ja) * | 2003-11-18 | 2007-05-24 | アルセロール・フランス | 連続鋳造される粗金属製品の表面欠陥を検出するための方法およびシステム |
| JP2005315840A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-11-10 | Hitachi Ltd | レゾルバ/デジタル変換器及びこれを用いた制御システム |
| JP2005337909A (ja) * | 2004-05-27 | 2005-12-08 | Olympus Corp | 渦流探傷装置のマルチコイル式プローブ |
| JP2006010438A (ja) * | 2004-06-24 | 2006-01-12 | Jfe Steel Kk | 磁性金属被検体の欠陥の検出方法及びその検出装置 |
| JP2007033027A (ja) * | 2005-07-22 | 2007-02-08 | Uchihashi Estec Co Ltd | 鉄系材埋設コンクリート構造物の鉄系材の診断方法 |
| JP2008046069A (ja) * | 2006-08-21 | 2008-02-28 | Hitachi Ltd | 渦電流探傷方法および渦電流探傷システム |
| JP2009069155A (ja) * | 2007-09-11 | 2009-04-02 | Olympus Ndt | 同期式走査渦電流アレイプローブ及び機械的に走査することなく検査面の完全で連続的な到達範囲を提供する同期式走査方法 |
| KR101450842B1 (ko) * | 2007-09-20 | 2014-10-14 | 가부시키가이샤 겐시료쿠엔지니어링 | 와류탐상방법, 와류탐상장치 및 와류탐상 프로브 |
| WO2009037954A1 (ja) | 2007-09-20 | 2009-03-26 | Nuclear Engineering, Ltd. | 渦流探傷方法、渦流探傷装置及び渦流探傷プローブ |
| JP2009074943A (ja) * | 2007-09-20 | 2009-04-09 | Nuclear Engineering Ltd | 渦流探傷方法、渦流探傷装置及び渦流探傷プローブ |
| US8421449B2 (en) | 2007-09-20 | 2013-04-16 | Nuclear Engineering, Ltd. | Eddy-current flaw detection method, eddy-current flaw detection device and eddy-current flaw detection probe |
| JP2012173121A (ja) * | 2011-02-21 | 2012-09-10 | Toshiba Corp | 渦電流探傷試験装置およびその試験方法 |
| JP2013242223A (ja) * | 2012-05-21 | 2013-12-05 | Toshiba Corp | 渦電流探傷装置及び方法 |
| JP2018066671A (ja) * | 2016-10-20 | 2018-04-26 | 日立Geニュークリア・エナジー株式会社 | 渦電流探傷システム及び渦電流探傷方法 |
| KR20180079989A (ko) * | 2017-01-03 | 2018-07-11 | 한국수력원자력 주식회사 | 송수신부가 절연된 배열 와전류 탐촉자 및 이를 이용한 와전류 탐상 검사 방법 |
| WO2018128225A1 (ko) * | 2017-01-03 | 2018-07-12 | 한국수력원자력 주식회사 | 송수신부가 절연된 배열 와전류 탐촉자 및 이를 이용한 와전류 탐상 검사 방법 |
| KR101941354B1 (ko) * | 2017-01-03 | 2019-01-22 | 한국수력원자력 주식회사 | 송수신부가 절연된 배열 와전류 탐촉자 및 이를 이용한 와전류 탐상 검사 방법 |
| CN110140049A (zh) * | 2017-01-03 | 2019-08-16 | 韩国水力原子力株式会社 | 具有绝缘收发器单元的涡流阵列探针和使用其的涡流检查方法 |
| CN111351843A (zh) * | 2018-12-24 | 2020-06-30 | 核动力运行研究所 | 一种bobbin线圈激励点式线圈接收的涡流多路复用阵列探头 |
| KR102214144B1 (ko) * | 2020-09-10 | 2021-02-09 | 한전케이피에스 주식회사 | 검사용 와전류프로브 |
| CN116223613A (zh) * | 2022-12-29 | 2023-06-06 | 深圳市华芯半导体装备技术有限公司 | 一种利用涡流探伤的阵列探头 |
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